JP2006208677A - Liquid crystal display device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device equipped with a pad portion with which an inspection using an inspection probe is feasible while ensuring electrical connection with lower layer wires, even when the pad portion is narrowed. <P>SOLUTION: The pad portion 3 has wires 31, an insulating film 32 with a contact hole C1 extending to the wires 31 formed thereon, and a conductive film 33 formed in the contact hole C1 and on the insulating film 32. The contact hole C1 is formed by being divided into two or more portions in the region of the pad portion 3. A contact portion Ar with which the inspection probe is brought into contact is ensured by the conductive film 33 in the region where the contact hole C1 is not formed. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶に電界を印加する、いわゆる駆動基板の一部に対向基板が重ねられ、当該2枚の基板間に液晶が封入されて表示部が形成されている液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device in which a counter substrate is superimposed on a part of a so-called drive substrate that applies an electric field to liquid crystal, and a display portion is formed by sealing liquid crystal between the two substrates.

直視型液晶表示パネル、及びアモルファスシリコンにより形成されたTFT(Thin Film Transistor)を用いた液晶表示パネルでは、駆動素子(駆動用IC)を外付けし、当該駆動素子を通して各画素のTFTを動作させる液晶表示パネルが多い。しかし、高温ポリシリコンにより形成されたTFTを用いたプロジェクタ用途向け液晶表示パネルでは、従来より駆動素子を内蔵した液晶表示パネルのみが用いられてきた。これは高温ポリシリコンの移動度が高い為であった。   In a direct-view type liquid crystal display panel and a liquid crystal display panel using a TFT (Thin Film Transistor) formed of amorphous silicon, a driving element (driving IC) is externally attached, and the TFT of each pixel is operated through the driving element. There are many liquid crystal display panels. However, in a liquid crystal display panel for a projector application using a TFT formed of high-temperature polysilicon, only a liquid crystal display panel incorporating a driving element has been used conventionally. This was due to the high mobility of high temperature polysilicon.

今後、プロジェクタ用途の高温ポリシリコンを用いた液晶表示パネルにおいては、高精細、高開口化が一層進展する。その際、駆動素子を外付けにし、有効エリアをより広くしたり、さらに高精細化とともにより高速駆動化に対応する事が考え得る。   In the future, liquid crystal display panels using high-temperature polysilicon for projector applications will be further advanced in high definition and high aperture. At that time, it is conceivable that the drive element is externally attached to widen the effective area, or to cope with higher speed and higher definition.

駆動素子を外付けにした方式であって、プロジェクタ用途向けの液晶表示パネルにおいて、外付け方式としては、COF(Chip On Film)及びCOG(Chip On Glass)方式があるが、このうちCOF方式においてはフレキシブル基板上に実装された駆動素子から多数の配線が繋がるため、TFT基板(駆動基板)上の接続パッドも多数必要となり、パッドの狭ピッチ化が必要となる。   In a liquid crystal display panel for a projector application, there are a COF (Chip On Film) method and a COG (Chip On Glass) method. Since a large number of wirings are connected to the driving element mounted on the flexible substrate, a large number of connection pads on the TFT substrate (driving substrate) are required, and the pitch of the pads needs to be reduced.

パッドの狭ピッチ化が進むと、検査用プローブ針(検査用触手)より細いパッドとなる場合がある。パッドが針径よりも細くなると、針がパッドに十分に接触することが出来ず、正確な測定が出来ない。しかしフレキシブル基板は異方性導電膜(ACF)を介してTFT基板と接続されている。ACFは絶縁樹脂内に導電粒子を充填し、加熱圧着する事でパッドとリードを導電粒子を介して電気的に接合し、面方向には絶縁性を、厚み方向には導電性を有するものである。その為、狭ピッチ化が進みスペースが狭くなると、隣接するパッドにおいて導電粒子の連結によるショート不良が起こりやすくなる為、針を当てる為にパッドを可能な限り幅広にしたいが、隣接するパッドとのスペースを確保する必要があり、限界がある。   When the pitch of the pad is reduced, the pad may be thinner than the inspection probe needle (inspection tentacle). If the pad becomes thinner than the needle diameter, the needle cannot sufficiently contact the pad and accurate measurement cannot be performed. However, the flexible substrate is connected to the TFT substrate via an anisotropic conductive film (ACF). ACF is a material in which conductive particles are filled in an insulating resin, and the pad and the lead are electrically bonded via the conductive particles by thermocompression bonding, and the surface direction has insulation and the thickness direction has conductivity. is there. Therefore, if the pitch becomes narrower and the space becomes narrower, a short circuit failure due to the connection of the conductive particles is likely to occur in the adjacent pad, so it is desirable to make the pad as wide as possible in order to hit the needle. Space needs to be secured and there are limitations.

パッド幅を検査用触手が接触する部分だけ拡大させ、当該拡大された部分を千鳥配置にする方法もある(特許文献1参照)。しかしながら、拡大された部分と隣接するパッドとの間隔が狭くなるため、パネルの検査後にCOFをパッドに実装する際にショート不良がやはり起こりやすくなる。   There is also a method in which the pad width is enlarged only at a portion where the tentacle for inspection comes into contact, and the enlarged portion is arranged in a staggered manner (see Patent Document 1). However, since the distance between the enlarged portion and the adjacent pad is narrowed, a short circuit failure is likely to occur when the COF is mounted on the pad after the panel inspection.

現在のアモルファスシリコンにより形成されたTFTを使用する液晶パネル等でのパッドピッチは小さいもので50μm程度であり、使用される検査用触手の径は20μm程度である。プロジェクタ用途向け液晶表示パネルとしては更なる狭ピッチが必要であるが、その際には更なる小径の針が必要であり、検査コスト、安定性、針の寿命等を考えると量産に導入するのは難しい。
特開2002−196703号公報
The pad pitch in a liquid crystal panel or the like using TFTs formed of current amorphous silicon is as small as about 50 μm, and the diameter of the inspection tentacle used is about 20 μm. A liquid crystal display panel for projector applications requires a narrower pitch, but in that case, a needle with a smaller diameter is necessary, and considering the inspection cost, stability, needle life, etc., it will be introduced into mass production. Is difficult.
JP 2002-196703 A

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、パッド部が狭小化した場合においても、下層の配線との電気的接続を確保しつつ、検査用触手を用いた検査を行うことができるパッド部を備えた液晶表示装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to perform inspection using an inspection tentacle while ensuring electrical connection with the lower layer wiring even when the pad portion is narrowed. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a pad portion that can be performed.

上記の目的を達成するため、本発明の液晶表示装置は、駆動基板と対向基板との間に液晶が封入されて表示部が形成され、前記表示部から引き出されているデータ線に電気的に接続される複数のパッド部が前記駆動基板に形成された液晶表示装置であって、前記パッド部は、前記データ線に電気的に接続される配線と、前記配線に達するコンタクトホールが形成された絶縁膜と、前記コンタクトホール内および前記絶縁膜上に形成され、前記配線に電気的に接続された導電膜とを有し、前記コンタクトホールが、前記パッド部の領域内で複数に分割して形成されており、前記コンタクトホールの非形成領域における前記導電膜により検査用触手の接触部を確保したものである。   In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention includes a liquid crystal sealed between a driving substrate and a counter substrate to form a display portion, and electrically connected to a data line drawn from the display portion. A liquid crystal display device in which a plurality of pad portions to be connected are formed on the driving substrate, wherein the pad portion is formed with a wiring electrically connected to the data line and a contact hole reaching the wiring. An insulating film; and a conductive film formed in the contact hole and on the insulating film and electrically connected to the wiring, wherein the contact hole is divided into a plurality in the region of the pad portion. The contact portion of the inspection tentacle is secured by the conductive film in the non-contact hole formed region.

上記の本発明の液晶表示装置では、コンタクトホールが、パッド部の領域内で複数に分割して形成されている。これにより、パッド部は、下層の配線との電気的接続を確保するためのコンタクトホールの形成領域と、非形成領域とを備える。コンタクトホールの非形成領域には絶縁膜が残り、この絶縁膜上に導電膜が形成されていることから、この部分の導電膜とパッド部の外側の領域との段差がなくなる。これにより、検査用触手が接触する接触部が確保される。   In the above-described liquid crystal display device of the present invention, the contact hole is formed by being divided into a plurality of parts in the region of the pad portion. As a result, the pad portion includes a contact hole formation region and a non-formation region for ensuring electrical connection with the underlying wiring. Since the insulating film remains in the non-contact hole formation region and the conductive film is formed on the insulating film, the step between the conductive film in this portion and the region outside the pad portion is eliminated. Thereby, the contact part which the tentacle for a test | inspection contacts is ensured.

上記の目的を達成するため、本発明の液晶表示装置は、駆動基板と対向基板との間に液晶が封入されて表示部が形成され、前記表示部から引き出されているデータ線に電気的に接続される複数のパッド部が前記駆動基板に形成された液晶表示装置であって、前記パッド部は、前記データ線に電気的に接続される配線と、前記配線に達するコンタクトホールが形成された絶縁膜と、前記コンタクトホール内および前記絶縁膜上に形成され、前記配線に電気的に接続された導電膜とを有し、前記コンタクトホールが、前記パッド部の一部の領域にのみ形成されており、前記コンタクトホールの非形成領域における前記導電膜により検査用触手の接触部を確保したものである。   In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention includes a liquid crystal sealed between a driving substrate and a counter substrate to form a display portion, and electrically connected to a data line drawn from the display portion. A liquid crystal display device in which a plurality of pad portions to be connected are formed on the driving substrate, wherein the pad portion is formed with a wiring electrically connected to the data line and a contact hole reaching the wiring. An insulating film; and a conductive film formed in and on the contact hole and electrically connected to the wiring, wherein the contact hole is formed only in a partial region of the pad portion. The contact portion of the tentacle for inspection is secured by the conductive film in the contact hole non-formation region.

上記の本発明の液晶表示装置では、コンタクトホールが、パッド部の一部の領域にのみ形成されている。これにより、パッド部は、下層の配線との電気的接続を確保するためのコンタクトホールの形成領域と、非形成領域とを備える。コンタクトホールの非形成領域には絶縁膜が残り、この絶縁膜上に導電膜が形成されていることから、この部分の導電膜とパッド部の外側の領域との段差がなくなる。これにより、検査用触手が接触する接触部が確保される。   In the above-described liquid crystal display device of the present invention, the contact hole is formed only in a partial region of the pad portion. As a result, the pad portion includes a contact hole formation region and a non-formation region for ensuring electrical connection with the underlying wiring. Since the insulating film remains in the non-contact hole formation region and the conductive film is formed on the insulating film, the step between the conductive film in this portion and the region outside the pad portion is eliminated. Thereby, the contact part which the tentacle for a test | inspection contacts is ensured.

本発明の液晶表示装置によれば、パッド部が狭小化した場合においても、下層の配線との電気的接続を確保しつつ、検査用触手を用いた検査を行うことができる。   According to the liquid crystal display device of the present invention, even when the pad portion is narrowed, the inspection using the inspection tentacle can be performed while ensuring the electrical connection with the lower layer wiring.

以下に、本発明の液晶表示装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of a liquid crystal display device of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1(a)は、本実施形態に係る液晶表示装置の概略構成を説明するための図である。   FIG. 1A is a diagram for explaining a schematic configuration of the liquid crystal display device according to the present embodiment.

液晶表示装置は、駆動基板1を有する。駆動基板1は、複数の画素電極がマトリックス状に配置された表示部2を有し、周辺領域に複数のパッド部3が形成されている。この駆動基板1の表示部2を覆うように、対向電極が形成された対向基板4が重ねられる。   The liquid crystal display device has a drive substrate 1. The drive substrate 1 has a display unit 2 in which a plurality of pixel electrodes are arranged in a matrix, and a plurality of pad units 3 are formed in a peripheral region. A counter substrate 4 on which a counter electrode is formed is overlaid so as to cover the display unit 2 of the drive substrate 1.

駆動基板1と対向基板4との間には、液晶が封入される。駆動基板1のパッド部3には、駆動素子(駆動用IC)6が搭載されたフレキシブル基板5が異方性導電膜を介して実装される。各パッド部3と、フレキシブル基板5の不図示のリードとが電気的に接続されることにより、パッド部3と駆動素子6とがフレキシブル基板5を介して電気的に接続される。   Liquid crystal is sealed between the driving substrate 1 and the counter substrate 4. A flexible substrate 5 on which a driving element (driving IC) 6 is mounted is mounted on the pad portion 3 of the driving substrate 1 via an anisotropic conductive film. Each pad portion 3 and a lead (not shown) of the flexible substrate 5 are electrically connected, whereby the pad portion 3 and the drive element 6 are electrically connected via the flexible substrate 5.

以上により、図1(b)に示すように、駆動基板1と対向基板4とを有する液晶パネル10が作製される。本実施形態に係る液晶表示装置は、上記の液晶パネル10を備えるものである。従って、本実施形態に係る液晶表示装置は、透過型液晶表示装置、反射型液晶表示装置、投射型液晶表示装置のいずれにも適用可能である。   As described above, as shown in FIG. 1B, the liquid crystal panel 10 having the driving substrate 1 and the counter substrate 4 is manufactured. The liquid crystal display device according to this embodiment includes the liquid crystal panel 10 described above. Therefore, the liquid crystal display device according to this embodiment can be applied to any of a transmissive liquid crystal display device, a reflective liquid crystal display device, and a projection liquid crystal display device.

図2は、駆動基板の構成例を示すブロック図である。   FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration example of the drive substrate.

駆動基板1の表示部2には、画素を構成する画素電極21が行列状に2次元配置されている。表示部2には、m行n列の画素配列に対して行毎に走査線22−1〜22−mが配置され、列毎にデータ線23−1〜23−nが配置されている。図示はしないが、各走査線22とデータ線23の交差部には、TFTが設けられている。TFTのゲートは走査線22(22−1〜22−m)に接続され、TFTのソースはデータ線23(23−1〜23−n)に接続され、TFTのドレインは画素電極21に接続されている。TFTとしては、移動度が高いポリシリコンTFTが用いられる。   On the display unit 2 of the driving substrate 1, pixel electrodes 21 constituting pixels are two-dimensionally arranged in a matrix. In the display unit 2, scanning lines 22-1 to 22-m are arranged for each row with respect to a pixel arrangement of m rows and n columns, and data lines 23-1 to 23-n are arranged for each column. Although not shown, TFTs are provided at intersections between the scanning lines 22 and the data lines 23. The gate of the TFT is connected to the scanning line 22 (22-1 to 22-m), the source of the TFT is connected to the data line 23 (23-1 to 23-n), and the drain of the TFT is connected to the pixel electrode 21. ing. As the TFT, a polysilicon TFT having high mobility is used.

駆動基板1における表示部2の左右両側には、それぞれ垂直駆動回路25が配置され、かつ、表示部2の例えば上側にはセレクタ回路26が配置されている。ここでは、表示部2の左右両側に垂直駆動回路25を配置するとしたが、1つの垂直駆動回路25を表示部2の左右の一方側にのみ配置する構成を採ることも可能である。垂直駆動回路25およびセレクタ回路26も、ポリシリコンTFTを用いて作製される。   Vertical drive circuits 25 are disposed on the left and right sides of the display unit 2 on the drive substrate 1, and a selector circuit 26 is disposed on, for example, the upper side of the display unit 2. Here, the vertical drive circuits 25 are arranged on the left and right sides of the display unit 2, but it is also possible to adopt a configuration in which one vertical drive circuit 25 is arranged only on one of the left and right sides of the display unit 2. The vertical drive circuit 25 and the selector circuit 26 are also manufactured using polysilicon TFTs.

垂直駆動回路25は、シフトレジスタなどにより構成される。垂直駆動回路25は、走査パルスV1−Vmを順に出力する。走査パルスV1−Vmが、走査線22−1〜22−mに順に与えられることによって、画素が行単位で選択される。   The vertical drive circuit 25 is configured by a shift register or the like. The vertical drive circuit 25 sequentially outputs the scan pulses V1-Vm. The scan pulses V1-Vm are sequentially applied to the scan lines 22-1 to 22-m, so that pixels are selected in units of rows.

セレクタ回路26は、例えば、水平方向の画素数n、すなわちデータ線23−1〜23−nの本数nの半分の個数k(n/2)のスイッチ素子SW1〜SWkによって構成されている。これらスイッチ素子SW1〜SWkは、1入力2出力の構成となっており、駆動素子6から液晶パネル10にアナログ映像信号を入力するk本の配線31−1〜31−kに入力端が接続され、奇数のデータ線23−1,23−3,…,23−n−1に一方の出力端が接続され、偶数のデータ線23−2,23−4,…,23−nに他方の出力端が接続されている。   The selector circuit 26 includes, for example, the number n of horizontal horizontal pixels, that is, the number k (n / 2) of the switch elements SW1 to SWk, which is half the number n of the data lines 23-1 to 23-n. These switch elements SW1 to SWk are configured to have one input and two outputs, and input terminals are connected to k wirings 31-1 to 31-k for inputting an analog video signal from the driving element 6 to the liquid crystal panel 10. , Odd-numbered data lines 23-1, 23-3,..., 23-n-1 are connected to one output terminal, and the other data lines 23-2, 23-4,. The ends are connected.

これにより、スイッチ素子SW1〜SWkは、奇数のデータ線23−1,23−3,…,23−n−1と、偶数のデータ線23−2,23−4,…,23−nとを選択することによって、垂直駆動回路25による垂直走査によって選択された行の画素に対して、配線31−1〜31−kを通して入力されるアナログの映像信号を、奇数番目の画素と偶数番目の画素とに分けて2回にわたって書き込む。   Thereby, the switch elements SW1 to SWk connect the odd data lines 23-1, 23-3,..., 23-n-1 and the even data lines 23-2, 23-4,. By selecting, the analog video signals input through the wirings 31-1 to 31-k to the pixels in the row selected by the vertical scanning by the vertical drive circuit 25 are converted into odd-numbered pixels and even-numbered pixels. And write twice.

なお、ここでは、奇数のデータ線23−1,23−3,…,23−n−1と、偶数のデータ線23−2,23−4,…,23−nとに選択的にアナログ映像信号を供給する2データ線選択による駆動の場合を例に挙げたが、2データ線選択に限られるものではなく、4本のデータ線に対して選択的にアナログ映像信号を供給する4データ線選択や、6本のデータ線に対して選択的にアナログ映像信号を供給する6データ線選択や、8本のデータ線に対して選択的にアナログ映像信号を供給する8データ線選択を採用することも可能である。   Here, the analog video is selectively applied to the odd data lines 23-1, 23-3,..., 23-n-1 and the even data lines 23-2, 23-4,. The case of driving by selecting two data lines for supplying a signal has been described as an example, but it is not limited to selecting two data lines, but four data lines for selectively supplying an analog video signal to four data lines. Selection, 6 data line selection for selectively supplying analog video signals to 6 data lines, and 8 data line selection for selectively supplying analog video signals to 8 data lines are employed. It is also possible.

k本の配線31−1〜31−kの先には、それぞれパッド部3が形成される。このため、セレクタ回路26は、このパッド部3の数を減らす役割をもつ。すなわち、k本の配線31−1〜31−kとn本のデータ線23−1〜23−nとを直接に接続すると、データ線の本数分だけパッド部3を形成する必要が生じ、パッド部3へのフレキシブル基板5の実装が困難となるからである。   Pad portions 3 are respectively formed at the ends of the k wirings 31-1 to 31-k. For this reason, the selector circuit 26 has a role of reducing the number of the pad portions 3. That is, when the k wirings 31-1 to 31 -k and the n data lines 23-1 to 23 -n are directly connected, it is necessary to form the pad portion 3 by the number of data lines. This is because it becomes difficult to mount the flexible substrate 5 on the portion 3.

図3は、駆動基板1の概略平面図である。   FIG. 3 is a schematic plan view of the drive substrate 1.

液晶パネルの検査は、各パッド部3に検査用触手を接触させることにより行われる。なお、この検査は、対向基板4を重ねあわせる前であってもよい。本実施形態では、このパッド部3へ検査用触手を良好に接触させることができるように、各パッド部3の構造に特徴を有する。   The liquid crystal panel is inspected by bringing an inspection tentacle into contact with each pad portion 3. This inspection may be performed before the counter substrate 4 is overlaid. The present embodiment has a feature in the structure of each pad portion 3 so that the tentacle for inspection can be brought into good contact with the pad portion 3.

図4(a)は、図3のA部における拡大平面図であり、図4(b)は、図4(a)のB−B’線における断面図である。   4A is an enlarged plan view of part A in FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line B-B ′ in FIG. 4A.

図4(b)に示すように、駆動基板1のパッド部3には、表示部2から配線31が引き出されている。配線31上に、例えば酸化シリコンなどからなる絶縁膜32が形成されている。絶縁膜32には、配線31に達するコンタクトホールC1が形成されている。コンタクトホールC1内および絶縁膜32上には、例えばITO(Indium Tin Oxide)からなる導電膜33が形成されている。導電膜33は、コンタクトホールC1を介して配線31に電気的に接続されている。   As shown in FIG. 4B, the wiring 31 is drawn from the display unit 2 to the pad unit 3 of the drive substrate 1. An insulating film 32 made of, for example, silicon oxide is formed on the wiring 31. A contact hole C <b> 1 reaching the wiring 31 is formed in the insulating film 32. A conductive film 33 made of, for example, ITO (Indium Tin Oxide) is formed in the contact hole C1 and on the insulating film 32. The conductive film 33 is electrically connected to the wiring 31 through the contact hole C1.

本実施形態では、コンタクトホールC1がパッド部3の領域内で複数に分割して形成されている。図4に示す例では、各パッド部3には、長手方向に伸びる2つのコンタクトホールC1が形成されている。この結果、パッド部3内において、コンタクトホールC1の非形成領域である、コンタクトホールC1の間の領域には、絶縁膜32が残ることとなる。この絶縁膜32上に形成された導電膜33は、パッド部3の外側の領域との段差がないことから、検査用触手が接触できる。すなわち、この領域の導電膜33により検査用触手の接触部Arが確保される。図4に示す例では、パッド部3には、2つのコンタクトホールC1の間の領域に接触部Arが確保される。   In the present embodiment, the contact hole C <b> 1 is divided into a plurality of parts in the region of the pad portion 3. In the example shown in FIG. 4, two contact holes C <b> 1 extending in the longitudinal direction are formed in each pad portion 3. As a result, in the pad portion 3, the insulating film 32 remains in a region between the contact holes C1, which is a region where the contact hole C1 is not formed. Since the conductive film 33 formed on the insulating film 32 is not stepped from the region outside the pad portion 3, it can be contacted by a tentacle for inspection. That is, the contact portion Ar of the inspection tentacle is secured by the conductive film 33 in this region. In the example shown in FIG. 4, the contact portion Ar is ensured in the region between the two contact holes C <b> 1 in the pad portion 3.

上記のパッド部3の幅W1は、25μm以下、例えば、20〜23μm程度である。また、パッド部3のピッチP1(パッド部3の間隔)は、20〜50μm、例えば、38μm程度である。検査用触手40の先端の径Eは20μm程度である。   The width W1 of the pad portion 3 is 25 μm or less, for example, about 20 to 23 μm. Further, the pitch P1 of the pad portions 3 (the interval between the pad portions 3) is 20 to 50 μm, for example, about 38 μm. The diameter E of the tip of the inspection tentacle 40 is about 20 μm.

上記のように、検査用触手40の径Eよりもパッド部3の幅W1が小さくても、図4(b)に示すように、検査用触手40が接触部Arにおける導電膜33に対して良好に面接触することができる。   As described above, even if the width W1 of the pad portion 3 is smaller than the diameter E of the inspection tentacle 40, as shown in FIG. 4B, the inspection tentacle 40 is in contact with the conductive film 33 in the contact portion Ar. Good surface contact can be achieved.

図5(a)は、比較例におけるパッド部300の平面図であり、図5(b)は図5(a)のF−F’線における断面図である。   FIG. 5A is a plan view of the pad portion 300 in the comparative example, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line F-F ′ of FIG.

図5に示す比較例では、配線301上の絶縁膜302には、配線301を一括して開口するコンタクトホールCが形成され、このコンタクトホールC内に導電膜303が形成される。   In the comparative example shown in FIG. 5, a contact hole C is formed in the insulating film 302 on the wiring 301, and the conductive film 303 is formed in the contact hole C.

この場合には、検査用触手40の径よりもパッド部300の幅が小さくなると、図4(b)に示すように、検査用触手40はコンタクトホールC内に入り込めないため、検査用触手40と導電膜303との十分な接触が得られなくなってしまう。   In this case, if the width of the pad portion 300 is smaller than the diameter of the inspection tentacle 40, the inspection tentacle 40 cannot enter the contact hole C as shown in FIG. 40 and the conductive film 303 cannot be sufficiently contacted.

また、従来のようにパッド部の一部に幅広な部分を設けると、当該幅広な部分と隣接するパッド部との間隔が小さくなり、実装時において隣接するパッド部の間でショートが起こりやすくなるが、本実施形態では、均一な幅のパッド部3において配線31との電気的接続を担うコンタクトホールC1と、接触部Arとを設けているため、パッド部3間の間隔を確保することができ、実装時におけるショートの発生を防止することができる。   In addition, when a wide portion is provided in a part of the pad portion as in the prior art, the interval between the wide portion and the adjacent pad portion is reduced, and a short circuit is likely to occur between adjacent pad portions during mounting. However, in the present embodiment, since the contact hole C1 responsible for electrical connection with the wiring 31 and the contact portion Ar are provided in the pad portion 3 having a uniform width, the interval between the pad portions 3 can be ensured. It is possible to prevent occurrence of a short circuit during mounting.

以上説明したように、本実施形態に係る液晶表示装置によれば、パッド部3が狭小化した場合においても、下層の配線との電気的接続を確保しつつ、検査用触手を用いた検査を行うことができる液晶表示装置を実現することができる。   As described above, according to the liquid crystal display device according to this embodiment, even when the pad portion 3 is narrowed, the inspection using the inspection tentacle is performed while ensuring the electrical connection with the lower layer wiring. A liquid crystal display device that can be performed can be realized.

また、検査用触手40を接触部Arに接触させた検査において、検査用触手40と配線31との間に絶縁膜32が介在することから、検査用触手40の圧力による配線31へのダメージを防止することができる。   Further, in the inspection in which the inspection tentacle 40 is brought into contact with the contact portion Ar, since the insulating film 32 is interposed between the inspection tentacle 40 and the wiring 31, damage to the wiring 31 due to the pressure of the inspection tentacle 40 is caused. Can be prevented.

以下に、パッド部3の変形例について、図6〜図8を参照して説明する。   Below, the modification of the pad part 3 is demonstrated with reference to FIGS.

図6(a)は、パッド部3の領域のうち、一部の領域にのみ接触部Arを設けた例を示す図である。図6(a)に示すように、パッド部3の長手方向において、検査用触手40が接触する可能性のある箇所にのみ複数のコンタクトホールC1を分割形成して接触部Arを設け、残りの領域には配線31を一括して開口するコンタクトホールC2を形成してもよい。この場合には、パッド部3に占めるコンタクトホールの面積を大きくできることから、配線31と導電膜33との間の抵抗を小さくすることができる。   FIG. 6A is a diagram illustrating an example in which the contact portion Ar is provided only in a part of the region of the pad portion 3. As shown in FIG. 6 (a), in the longitudinal direction of the pad portion 3, a plurality of contact holes C1 are divided and formed only at locations where the inspection tentacle 40 may come into contact, and the remaining portions are provided. In the region, a contact hole C2 that opens the wirings 31 at once may be formed. In this case, since the area of the contact hole occupying the pad portion 3 can be increased, the resistance between the wiring 31 and the conductive film 33 can be reduced.

図6(b)は、隣接するパッド部3間において、パッド部3の接触部Arの位置を異ならせた例を示す図である。図6(b)に示すように、コンタクトホールC1を分割形成する箇所を隣接するパッド部3間において異ならせて、接触部Arの位置を異なる位置に設けても良い。このように、接触部Arの位置は、検査用触手40の配置に合わせることができる。   FIG. 6B is a diagram illustrating an example in which the positions of the contact portions Ar of the pad portions 3 are different between adjacent pad portions 3. As shown in FIG. 6B, the position where the contact hole Ar is divided and formed may be different between the adjacent pad parts 3, and the position of the contact part Ar may be provided at a different position. Thus, the position of the contact portion Ar can be matched with the arrangement of the inspection tentacle 40.

図7(a)は、隣接するパッド部3間において、パッド部3の接触部Arが千鳥配置になっている例を示す図である。図7(a)に示すように、コンタクトホールC1を分割形成する箇所を隣接するパッド部3間において千鳥配置となるように異ならせて、接触部Arの位置を千鳥配置にしてもよい。千鳥配置とする場合には、検査用触手40の配置も千鳥配置とすることができ、パッド部3の間隔が狭い場合においても安定した検査を行うことができる。   FIG. 7A is a diagram illustrating an example in which the contact portions Ar of the pad portions 3 are arranged in a staggered manner between the adjacent pad portions 3. As shown in FIG. 7A, the positions of the contact portions Ar may be arranged in a staggered manner by changing the locations where the contact holes C1 are divided and formed in a staggered arrangement between the adjacent pad portions 3. When the staggered arrangement is used, the inspection tentacles 40 can be arranged in a staggered arrangement, and stable inspection can be performed even when the interval between the pad portions 3 is narrow.

図7(b)は、接触部Arが確保されたパッド部3と、接触部のないパッド部3とを併用した例を示す図である。図7(b)に示すように、特定のパッド部3については、検査用触手40が接触しないことが明らかな場合には、当該パッド部3には接触部Arを設けず、配線31を一括して開口するコンタクトホールC2を設けても良い。これにより、検査用触手40が接触しないパッド部3については、配線31との電気的接続性を優先することができる。   FIG. 7B is a diagram illustrating an example in which the pad portion 3 in which the contact portion Ar is secured and the pad portion 3 having no contact portion are used in combination. As shown in FIG. 7B, when it is clear that the inspection tentacle 40 does not contact the specific pad portion 3, the pad portion 3 is not provided with the contact portion Ar, and the wirings 31 are collectively arranged. Then, a contact hole C2 that opens may be provided. Thereby, priority can be given to the electrical connectivity with the wiring 31 about the pad part 3 which the test tentacle 40 does not contact.

図8(a)は、パッド部3間において、接触部Arを確保するために分割形成するコンタクトホールC1の形状を異ならせた例を示す図である。図8(a)に示すように、複数のパッド部3間においてコンタクトホールC1の形状や配置を変えることにより、接触部Arの面積をパッド部3毎に適宜変更することができる。   FIG. 8A is a diagram showing an example in which the shape of the contact hole C1 formed separately in order to secure the contact portion Ar is different between the pad portions 3. As shown in FIG. 8A, the area of the contact portion Ar can be appropriately changed for each pad portion 3 by changing the shape and arrangement of the contact hole C <b> 1 between the plurality of pad portions 3.

図8(b)は、パッド部3内の一部のみにコンタクトホールC3を設け、他の箇所は全て接触部Arとした例を示す図である。   FIG. 8B is a diagram showing an example in which the contact hole C3 is provided only in a part of the pad part 3 and all other parts are contact parts Ar.

コンタクトホールを形成しない箇所は導電膜33と配線31との接続性を考えると可能な限り少ない方が好ましく、検査用触手40の配置に合わせて行うのが望ましい。しかしながら、デバイスの特性上十分な接続性が確保できる場合は、図8(b)に示すように、パッド部3内の一部のみにコンタクトホールC3を設け、他の箇所は全て接触部Arとしてもよい。図8(b)に示す例は、上記したパッド配置を拡張させた極端な例である。   Considering the connectivity between the conductive film 33 and the wiring 31, the number of locations where no contact holes are formed is preferably as small as possible, and is preferably adjusted according to the arrangement of the inspection tentacles 40. However, when sufficient connectivity can be secured due to the characteristics of the device, as shown in FIG. 8B, the contact hole C3 is provided only in a part of the pad part 3 and all other parts are used as contact parts Ar. Also good. The example shown in FIG. 8B is an extreme example in which the above-described pad arrangement is expanded.

上記のパッド部3に形成するコンタクトホールと接触部Arの形状と配置は、検査用触手40との一定の接続面積の確保と、配線31と導電膜33との接続面積の確保とを両立できれば、種々の変更が可能である。   The shape and arrangement of the contact hole and the contact portion Ar formed in the pad portion 3 described above can ensure both a certain connection area with the inspection tentacle 40 and a connection area between the wiring 31 and the conductive film 33. Various modifications are possible.

次に、上記した液晶パネル10を適用した液晶表示装置の一例について説明する。図9は、投射型液晶表示装置の全体構成の一例を示す図である。図9に示す投射型液晶表示装置は、3枚の透過型の液晶パネル10R,10G,10Bを用いてカラー画像表示を行ういわゆる3板方式のものである。   Next, an example of a liquid crystal display device to which the above-described liquid crystal panel 10 is applied will be described. FIG. 9 is a diagram illustrating an example of the overall configuration of the projection type liquid crystal display device. The projection type liquid crystal display device shown in FIG. 9 is a so-called three-plate type that performs color image display using three transmissive liquid crystal panels 10R, 10G, and 10B.

投射型液晶表示装置は、照明手段として、光を出射する光源101と、一対の第1および第2フライアイレンズ102,103と、PS分離合成素子104と、コンデンサレンズ105とを有する。   The projection-type liquid crystal display device includes a light source 101 that emits light, a pair of first and second fly-eye lenses 102 and 103, a PS separation / combination element 104, and a condenser lens 105 as illumination means.

光源101は、カラー画像表示に必要とされる、赤色光、青色光、緑色光を含んだ白色光を出射する。光源101は、白色光を発する発光体と、発光体から発せられた光を反射、集光する凹面鏡を有する。発光体として、例えば、ハロゲンランプ、メタルハライドランプまたはキセノンランプなどが使用される。凹面鏡は、集光効率がよい形状であることが望ましく、例えば回転楕円面鏡や回転放物面鏡等の回転対象な面形状となっている。   The light source 101 emits white light including red light, blue light, and green light required for color image display. The light source 101 includes a light emitter that emits white light and a concave mirror that reflects and collects light emitted from the light emitter. For example, a halogen lamp, a metal halide lamp, or a xenon lamp is used as the light emitter. The concave mirror desirably has a shape with good light collection efficiency, and has a surface shape to be rotated, such as a spheroidal mirror or a parabolic mirror.

第1フライアイレンズ102および第2フライアイレンズ103には、それぞれ複数のマイクロレンズが2次元的に配列されている。第1フライアイレンズ102および第2フライアイレンズ103は、光の照度分布を均一化させるためのものであり、入射した光を複数の小光束に分割する機能を有する。   A plurality of microlenses are two-dimensionally arranged on the first fly-eye lens 102 and the second fly-eye lens 103, respectively. The first fly-eye lens 102 and the second fly-eye lens 103 are for uniformizing the illuminance distribution of light, and have a function of dividing incident light into a plurality of small light beams.

PS分離合成素子104は、第2フライアイレンズ103における隣り合うマイクロレンズ間に対応する位置に、複数の1/2波長板を有する。PS分離合成素子104は、入射した光をP偏光成分とS偏光成分とに分離する。また、PS分離合成素子104は、分離された2つの偏光のうち、一方の偏光をその偏光方向(例えばP偏光)を保ったまま出射し、他方の偏光(例えば、S偏光)を1/2波長板の作用により、他の偏光成分(例えば、P偏光成分)に変換して出射する。   The PS separation / combination element 104 has a plurality of half-wave plates at positions corresponding to adjacent microlenses in the second fly-eye lens 103. The PS separation / combination element 104 separates incident light into a P-polarized component and an S-polarized component. Further, the PS separation / combination element 104 emits one of the two separated polarized lights while maintaining the polarization direction (for example, P-polarized light) and ½ of the other polarized light (for example, S-polarized light). By the action of the wave plate, it is converted into another polarization component (for example, P polarization component) and emitted.

色分離フィルタ(色分離手段)106は、コンデンサレンズ105を介して入射した光を、例えば赤色光LRとその他の色光(青色光LBおよび緑色光LG)とに分離する。色分離フィルタ106は、例えば、入射した光のうち、赤色光LRを反射し、他の色光(青色光LBおよび緑色光LG)を透過するダイクロイックミラーにより構成される。   The color separation filter (color separation means) 106 separates the light incident through the condenser lens 105 into, for example, red light LR and other color light (blue light LB and green light LG). The color separation filter 106 is configured by, for example, a dichroic mirror that reflects red light LR out of incident light and transmits other color light (blue light LB and green light LG).

色分離フィルタ106によって分離された赤色光LRの光路に沿って、ミラー108−1が設けられている。ミラー108−1は、色分離フィルタ106によって分離された赤色光LRを液晶パネル10Rに向けて反射する。   A mirror 108-1 is provided along the optical path of the red light LR separated by the color separation filter 106. The mirror 108-1 reflects the red light LR separated by the color separation filter 106 toward the liquid crystal panel 10R.

色分離フィルタ106によって分離された他の色光の光路には、色分離フィルタ(色分離手段)107が設けられている。色分離フィルタ107は、入射した光を例えば緑色光LGと青色光LBとに分離する。色分離フィルタ107は、例えば、入射した光のうち、緑色光LGを反射し、青色光LBを透過するダイクロイックミラーにより構成される。   A color separation filter (color separation means) 107 is provided in the optical path of the other color light separated by the color separation filter 106. The color separation filter 107 separates incident light into, for example, green light LG and blue light LB. For example, the color separation filter 107 includes a dichroic mirror that reflects green light LG and transmits blue light LB in incident light.

色分離フィルタ107によって分離された青色光LBの光路には、リレーレンズ109−1と、ミラー108−2と、リレーレンズ109−2と、ミラー108−3とが順に配置されている。   In the optical path of the blue light LB separated by the color separation filter 107, a relay lens 109-1, a mirror 108-2, a relay lens 109-2, and a mirror 108-3 are arranged in this order.

ミラー108−2は、リレーレンズ109−1を介して入射した青色光LBをミラー108−3に向けて反射する。ミラー108−3は、ミラー108−2によって反射され、リレーレンズ109−2を介して入射した青色光LBを、液晶パネル10Bへ向けて反射する。   The mirror 108-2 reflects the blue light LB incident through the relay lens 109-1 toward the mirror 108-3. The mirror 108-3 reflects the blue light LB reflected by the mirror 108-2 and incident via the relay lens 109-2 toward the liquid crystal panel 10B.

ミラー108−1によって反射された赤色光LRの光路には、フィールドレンズ110R、入射側偏光子111R、液晶パネル10R、出射側偏光子112Rが順に配置されている。   In the optical path of the red light LR reflected by the mirror 108-1, a field lens 110R, an incident side polarizer 111R, a liquid crystal panel 10R, and an emission side polarizer 112R are arranged in this order.

入射側偏光子111Rは、入射する赤色光LRの偏光方向を一方向に規制する。液晶パネル10Rは、各々の画素への電圧の印加、または非印加により、入射した赤色光LRの偏光方向を変調し、または変調せずに透過する。出射側偏光子112Rは、液晶パネル10Rで画素ごとに変調され、または変調されずに透過した赤色光LRのうち、特定の偏光成分を透過し、それ以外の偏光成分を遮光する。   The incident side polarizer 111R regulates the polarization direction of the incident red light LR in one direction. The liquid crystal panel 10R modulates or transmits the polarization direction of the incident red light LR by applying or not applying a voltage to each pixel. The exit-side polarizer 112R transmits a specific polarization component of the red light LR that is modulated for each pixel in the liquid crystal panel 10R or transmitted without being modulated, and blocks the other polarization components.

色分離フィルタ107によって反射された緑色光LGの光路には、フィールドレンズ110G、入射側偏光子111G、液晶パネル10G、出射側偏光子112Gが順に配置されている。フィールドレンズ110G、入射側偏光子111G、液晶パネル10G、出射側偏光子112Gの構成については、フィールドレンズ110R、入射側偏光子111R、液晶パネル10R、出射側偏光子112Rと同様である。   In the optical path of the green light LG reflected by the color separation filter 107, a field lens 110G, an incident side polarizer 111G, a liquid crystal panel 10G, and an output side polarizer 112G are arranged in this order. The configuration of the field lens 110G, the incident side polarizer 111G, the liquid crystal panel 10G, and the output side polarizer 112G is the same as that of the field lens 110R, the incident side polarizer 111R, the liquid crystal panel 10R, and the output side polarizer 112R.

ミラー108−3によって反射された青色光LBの光路には、フィールドレンズ110B、入射側偏光子111B、液晶パネル10B、出射側偏光子112Bが順に配置されている。フィールドレンズ110B、入射側偏光子111B、液晶パネル10B、出射側偏光子112Bの構成については、フィールドレンズ110R、入射側偏光子111R、液晶パネル10R、出射側偏光子112Rと同様である。   In the optical path of the blue light LB reflected by the mirror 108-3, a field lens 110B, an incident side polarizer 111B, a liquid crystal panel 10B, and an emission side polarizer 112B are arranged in this order. The configuration of the field lens 110B, the incident side polarizer 111B, the liquid crystal panel 10B, and the output side polarizer 112B is the same as that of the field lens 110R, the incident side polarizer 111R, the liquid crystal panel 10R, and the output side polarizer 112R.

液晶パネル10Bを透過した青色光LB、液晶パネル10Gを透過した緑色光LG、液晶パネル10Rを透過した赤色光LRの光路が交わる位置に、3つの色光LG,LB,LRを合成するダイクロイックプリズム(色合成手段)114が配置されている。   A dichroic prism that synthesizes three color lights LG, LB, and LR at a position where the optical paths of the blue light LB transmitted through the liquid crystal panel 10B, the green light LG transmitted through the liquid crystal panel 10G, and the red light LR transmitted through the liquid crystal panel 10R intersect ( Color composition means) 114 is arranged.

投射レンズ(投射手段)115は、ダイクロイックプリズム114により合成された光を、スクリーン116に拡大投影させる。   The projection lens (projection unit) 115 enlarges and projects the light combined by the dichroic prism 114 onto the screen 116.

以上の構成により、スクリーン116上にフルカラーの拡大画像が投影される。本実施形態に係る液晶表示装置は、上記した投射型表示装置に適用することができる。   With the above configuration, a full-color enlarged image is projected on the screen 116. The liquid crystal display device according to the present embodiment can be applied to the above-described projection display device.

本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。
例えば、各パッド部の詳細な寸法の一例について説明したが、これに限定されるものではない。また、本実施形態では、液晶パネル10を投射型液晶表示装置に適用する例について説明したが、本実施形態に係る液晶表示装置は、透過型の液晶パネル10を備えた透過型液晶表示装置であっても、反射型の液晶パネル10を備えた反射型液晶表示装置であってもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
The present invention is not limited to the description of the above embodiment.
For example, although an example of detailed dimensions of each pad portion has been described, the present invention is not limited to this. Further, in the present embodiment, the example in which the liquid crystal panel 10 is applied to the projection type liquid crystal display device has been described. However, the liquid crystal display device according to the present embodiment is a transmissive liquid crystal display device including the transmissive liquid crystal panel 10. Alternatively, a reflective liquid crystal display device including the reflective liquid crystal panel 10 may be used.
In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本実施形態に係る液晶表示装置の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment. 駆動基板の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a drive board | substrate. 駆動基板の概略平面図である。It is a schematic plan view of a drive substrate. (a)は本実施形態におけるパッド部の平面図であり、(b)はパッド部の断面図である。(A) is a top view of the pad part in this embodiment, (b) is sectional drawing of a pad part. (a)は比較例におけるパッド部の平面図であり、(b)はパッド部の断面図である。(A) is a top view of the pad part in a comparative example, (b) is sectional drawing of a pad part. 本実施形態におけるパッド部の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the pad part in this embodiment. 本実施形態におけるパッド部の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the pad part in this embodiment. 本実施形態におけるパッド部の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the pad part in this embodiment. 本実施形態に係る液晶パネルを備えた投射型液晶表示装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the projection type liquid crystal display device provided with the liquid crystal panel which concerns on this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…駆動基板、2…表示部、3…パッド部、4…対向基板、5…フレキシブル基板、5a…リード、6…駆動素子、10…液晶パネル、21…画素電極、22…走査線、23…データ線、25…垂直駆動回路、26…セレクタ回路、31…配線、32…絶縁膜、33…導電膜、40…検査用触手、300…パッド部、301…配線、302…絶縁膜、303…導電膜、C,C1,C2,C3…コンタクトホール、Ar…接触部

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Drive substrate, 2 ... Display part, 3 ... Pad part, 4 ... Opposite substrate, 5 ... Flexible substrate, 5a ... Lead, 6 ... Drive element, 10 ... Liquid crystal panel, 21 ... Pixel electrode, 22 ... Scanning line, 23 Data line 25 ... Vertical drive circuit 26 ... Selector circuit 31 ... Wiring 32 ... Insulating film 33 ... Conductive film 40 ... Tentacle for inspection 300 ... Pad part 301 ... Wiring 302 ... Insulating film 303 ... conductive film, C, C1, C2, C3 ... contact hole, Ar ... contact part

Claims (7)

駆動基板と対向基板との間に液晶が封入されて表示部が形成され、前記表示部から引き出されているデータ線に電気的に接続される複数のパッド部が前記駆動基板に形成された液晶表示装置であって、
前記パッド部は、
前記データ線に電気的に接続される配線と、
前記配線に達するコンタクトホールが形成された絶縁膜と、
前記コンタクトホール内および前記絶縁膜上に形成され、前記配線に電気的に接続された導電膜とを有し、
前記コンタクトホールが、前記パッド部の領域内で複数に分割して形成されており、前記コンタクトホールの非形成領域における前記導電膜により検査用触手の接触部を確保した
液晶表示装置。
A liquid crystal is sealed between a driving substrate and a counter substrate to form a display portion, and a plurality of pad portions that are electrically connected to data lines drawn from the display portion are formed on the driving substrate. A display device,
The pad portion is
A wiring electrically connected to the data line;
An insulating film in which a contact hole reaching the wiring is formed;
A conductive film formed in the contact hole and on the insulating film and electrically connected to the wiring;
The liquid crystal display device, wherein the contact hole is formed by being divided into a plurality in the region of the pad portion, and a contact portion of an inspection tentacle is secured by the conductive film in a region where the contact hole is not formed.
前記接触部が、前記パッド部の領域において前記検査用触手が接触し得る一部の領域にのみ設けられ、前記パッド部の残りの領域において前記配線を一括して開口するコンタクトホールが形成された
請求項1記載の液晶表示装置。
The contact portion is provided only in a partial region where the inspection tentacle can contact in the region of the pad portion, and a contact hole that collectively opens the wiring is formed in the remaining region of the pad portion. The liquid crystal display device according to claim 1.
前記接触部が、隣接するパッド部間において異なる位置に設けられた
請求項2記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the contact portion is provided at a different position between adjacent pad portions.
前記接触部が、隣接するパッド部間において千鳥配置となるように設けられた
請求項2記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the contact portion is provided in a staggered arrangement between adjacent pad portions.
前記配線を一括して開口するコンタクトホールが形成されたパッド部をさらに有する
請求項1記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a pad portion in which a contact hole for opening the wirings is formed.
分割して複数形成される前記コンタクトホールの形状が、前記パッド部間において異なる
請求項1記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the contact holes formed in a plurality of divided portions have different shapes between the pad portions.
駆動基板と対向基板との間に液晶が封入されて表示部が形成され、前記表示部から引き出されているデータ線に電気的に接続される複数のパッド部が前記駆動基板に形成された液晶表示装置であって、
前記パッド部は、
前記データ線に電気的に接続される配線と、
前記配線に達するコンタクトホールが形成された絶縁膜と、
前記コンタクトホール内および前記絶縁膜上に形成され、前記配線に電気的に接続された導電膜とを有し、
前記コンタクトホールが、前記パッド部の一部の領域にのみ形成されており、前記コンタクトホールの非形成領域における前記導電膜により検査用触手の接触部を確保した
液晶表示装置。
A liquid crystal is sealed between a driving substrate and a counter substrate to form a display portion, and a plurality of pad portions that are electrically connected to data lines drawn from the display portion are formed on the driving substrate. A display device,
The pad portion is
A wiring electrically connected to the data line;
An insulating film in which a contact hole reaching the wiring is formed;
A conductive film formed in the contact hole and on the insulating film and electrically connected to the wiring;
The liquid crystal display device, wherein the contact hole is formed only in a partial region of the pad portion, and a contact portion of an inspection tentacle is secured by the conductive film in a region where the contact hole is not formed.
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Citations (5)

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