JP2006208184A - Method and apparatus for inspecting sheet to be inspected and its system - Google Patents

Method and apparatus for inspecting sheet to be inspected and its system Download PDF

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JP2006208184A JP2005020328A JP2005020328A JP2006208184A JP 2006208184 A JP2006208184 A JP 2006208184A JP 2005020328 A JP2005020328 A JP 2005020328A JP 2005020328 A JP2005020328 A JP 2005020328A JP 2006208184 A JP2006208184 A JP 2006208184A
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文男 後藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect inspection method highly accurately detecting hollow defects on sheets to be inspected, which have been difficult to detect by conventional devices. <P>SOLUTION: In the method for inspecting surface defects of sheets to be inspected, a sheet P to be inspected, which is being transferred, is irradiated with irradiation light from an irradiation device 20, and light reflected on the sheet P to be inspected is received by a light receiving device 40. A main light area of light irradiated to the sheet P to be inspected is shielded by a light shielding mask 50, and a region on the sheet to be inspected irradiated with light past the light shielding mask 50 is inspected. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、被検査シートの表面検査方法、装置、およびそのシステムに関するもので、特に被検査シートがブルーレイディスクの表面被覆に用いられる透明カバーシートであり、その表面を光学的に検査して表面の欠陥を検出するものに関する。   The present invention relates to a surface inspection method, apparatus, and system for a sheet to be inspected, and in particular, the sheet to be inspected is a transparent cover sheet used for the surface coating of a Blu-ray disc. It relates to those that detect defects.

ブルーレイディスクの表面被覆に用いられる透明シートは、PET(ポリエチレンテレフタレート)等のフィルムからなるベース層と、ベース層の一方の面に形成される磁性体層と、ベース層の他方の面に形成されるバック層等から構成されている。このような透明シートはデータを記録する際または透明シートからデータを再生する際に所定の安定した性能を発揮することが重要である。ところが、記録メディアの透明カバーシートを生産する塗布工程で、ベース端面に付着した裁断クズなどが浮遊し、搬送時に発生する静電気でシート面やパスロールに付着したゴミなどの影響で図1に示すような4種類の表面欠陥が発生することが起こった。   A transparent sheet used for the surface coating of a Blu-ray disc is formed on a base layer made of a film such as PET (polyethylene terephthalate), a magnetic layer formed on one side of the base layer, and on the other side of the base layer. The back layer etc. are comprised. It is important that such a transparent sheet exhibits a predetermined stable performance when recording data or reproducing data from the transparent sheet. However, in the coating process for producing a transparent cover sheet for recording media, cutting waste adhering to the end surface of the base floats, and as shown in FIG. 1 due to the influence of dust adhering to the sheet surface and pass roll due to static electricity generated during conveyance. 4 types of surface defects occurred.

図1は透明カバーシートに発生する4種類の表面欠陥を説明する図で、(a)は透明カバーシートの塗布面表面にできた突起状欠陥、(b)は透明カバーシートの塗布面表面に付着した異物欠陥、(c)は透明カバーシートの塗布面表面にできたキズ欠陥、(d)は透明カバーシートの塗布面表面に窪んでできた凹み欠陥である。これらの表面欠陥(a)〜(d)のどれか1つでもあると、記録時や再生時に記録や再生時の出力の低下が発生し、正しくデータを記録できなかったりあるいはデータを正しく再生できなかったりし、ドロップアウトが発生する原因となるので、いずれも製品として使用することができなくなる。したがって、これらの表面欠陥は検査段階で確実に検出されて、その部分シートを使用しないように排除されなければならないものである。そのためには、透明シートの表面欠陥を正確に検出する必要がある。   FIG. 1 is a diagram for explaining four types of surface defects that occur on a transparent cover sheet. (A) is a protrusion defect formed on the surface of the transparent cover sheet, and (b) is a surface of the transparent cover sheet. The attached foreign substance defect, (c) is a scratch defect formed on the coated surface of the transparent cover sheet, and (d) is a dent defect formed on the coated surface of the transparent cover sheet. If any one of these surface defects (a) to (d) occurs, the output during recording or playback will drop during recording or playback, and data cannot be recorded correctly or data can be played back correctly. In some cases, it becomes a cause of dropout, and neither can be used as a product. Therefore, these surface defects must be reliably detected at the inspection stage and excluded so as not to use the partial sheet. For this purpose, it is necessary to accurately detect surface defects of the transparent sheet.

現在知られている、透明シートの欠陥検査装置としては、特許文献1および2に記載のようなものがある。
特開平8−50012号公報 特開2003−172708号公報
Currently known transparent sheet defect inspection apparatuses include those described in Patent Documents 1 and 2.
Japanese Patent Laid-Open No. 8-50012 JP 2003-172708 A

特許文献1記載の発明は、透明シート検査装置において微小欠陥の検出精度を向上するもので、そのために、具体的には第1欠陥検出部を、信号変化を取り出す微分回路と、それぞれしきい値が設定されて大きな欠陥を検出する第1スレッショルド回路、と中位の欠陥を検出する第2スレッショルド回路によって構成し、第2欠陥検出部を微分回路の前段に微小欠陥レベルとほぼ同等のテープの走行ノイズ、電気的ノイズ等を除去するバンドパスフィルタと、微小欠陥レベルに対応したしきい値が設定されている第3スレッショルド回路によって構成してなるものである。   The invention described in Patent Document 1 improves the detection accuracy of minute defects in a transparent sheet inspection apparatus. Specifically, the first defect detection unit includes a differentiation circuit that extracts a signal change, and a threshold value. Is set by a first threshold circuit that detects a large defect and a second threshold circuit that detects a medium defect, and a second defect detection unit is provided in front of the differentiating circuit on a tape substantially equal to a minute defect level. It is composed of a bandpass filter that removes running noise, electrical noise, and the like, and a third threshold circuit in which a threshold value corresponding to a minute defect level is set.

また、特許文献2記載の発明は、本出願人の先行発明に係るもので、非破壊検査により透明シートの傷の検出に加えて異物の特定もできるようにした透明シートの欠陥検査装置を提供するもので、そのために、透明シートを光学的に検査し、透明シートの欠陥を検出する透明シートの欠陥検査装置であって、透明シートに光を投光する投光手段と、透明シートで反射された光を受光する受光手段と、予め求めておいた欠陥で反射された光の成分と受光手段で受光した光の成分とに基づいて透明シートの欠陥を検出する検出手段であるパーソナルコンピュータとを備えることを特徴としている。   The invention described in Patent Document 2 is related to the prior invention of the present applicant, and provides a defect inspection apparatus for a transparent sheet that can identify a foreign object in addition to detecting a scratch on the transparent sheet by nondestructive inspection. Therefore, it is a transparent sheet defect inspection apparatus that optically inspects a transparent sheet and detects defects in the transparent sheet, the light projecting means for projecting light on the transparent sheet, and reflected by the transparent sheet A light receiving means for receiving the received light, and a personal computer which is a detection means for detecting a defect in the transparent sheet based on a light component reflected by a predetermined defect and a light component received by the light receiving means; It is characterized by having.

特許文献1および2記載の発明はいずれも2つのガイドロール間を走行しているテープを検査している点で共通しているが、このパスロール間での検査では走行のバタツキや揺れによって、反射方向の位置が不安定になるという欠点があることが判明した。
また、パスロール間での検査では、直接透明シート面を捉えているので、凹凸の濃度差が得られ難いという欠点があった。
また、出願人は、パスロール間ではなくてパスロール上の透明シートに直接、光を当てて、その反射する正反射光を受光装置で検出することを試みたが、突起状欠陥は検出できても、窪み欠陥は光の散乱が少ないためか捉えることが極めて困難であった。
The inventions described in Patent Documents 1 and 2 are common in that the tape running between the two guide rolls is inspected, but in the inspection between the pass rolls, the reflection is caused by fluttering and shaking of the running. It has been found that there is a disadvantage that the position of the direction becomes unstable.
Further, in the inspection between the pass rolls, since the transparent sheet surface is directly captured, there is a drawback that it is difficult to obtain the uneven density difference.
In addition, the applicant tried to detect the reflected specular light with the light receiving device by directly shining light on the transparent sheet on the pass roll, not between the pass rolls. It was extremely difficult to catch the dent defect because of less light scattering.

そこで、本発明はこれらの欠点を解決するためになされたもので、シート表面をインライン検査して表面欠陥を正確に検出し、規格外欠陥を仕分けして、その位置を特定することができる表面検査方法およびその装置を提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention was made to solve these drawbacks, and the surface on which the surface of the sheet can be in-line detected to detect the surface defects accurately, sort out the non-standard defects, and specify the position thereof. An object is to provide an inspection method and an apparatus therefor.

上記の目的を達成するため、請求項1記載の発明は被検査シートの表面検査方法に係り、搬送される被検査シートに光を照射し、該被検査シート上で反射した光を受光装置で受光することにより被検査シート表面の欠陥を検査する被検査シート表面欠陥検査方法において、前記被検査シートに照射する光の主光領域に遮光マスクをし、該遮光マスクの横を通過する光が照射する前記被検査シート上の領域を検査するようにしたことを特徴としている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の被検査シートの表面検査方法において、前記被検査シートをバックアップロール上へ搬送させて、該被検査シートを前記バックアップロール上で検査することを特徴としている。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の被検査シートの表面の欠陥検査方法において、前記被検査シートが透明シートであることを特徴としている。
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 relates to a surface inspection method for a sheet to be inspected, and irradiates light to the sheet to be inspected and reflects the light reflected on the sheet to be inspected by a light receiving device. In the inspection sheet surface defect inspection method for inspecting a defect on the inspection sheet surface by receiving light, a light shielding mask is provided in a main light region of light irradiated on the inspection sheet, and light passing next to the light shielding mask is transmitted. An area on the inspection sheet to be irradiated is inspected.
According to a second aspect of the present invention, in the surface inspection method for an inspected sheet according to the first aspect, the inspected sheet is conveyed onto a backup roll, and the inspected sheet is inspected on the backup roll. It is said.
According to a third aspect of the present invention, in the defect inspection method for a surface of the inspected sheet according to the first or second aspect, the inspected sheet is a transparent sheet.

請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれか1項記載の被検査シートの表面の欠陥検査方法において、欠陥が検出された位置を前記シートに指示するため、前記シートの幅方向側縁に巻長、欠陥位置および欠陥ランクの少なくとも1つを印字することを特徴としている。   According to a fourth aspect of the present invention, in the defect inspection method for a surface of the inspected sheet according to any one of the first to third aspects, in order to indicate the position where the defect is detected to the sheet, the width direction of the sheet It is characterized in that at least one of winding length, defect position and defect rank is printed on the side edge.

請求項5記載の発明はシート表面の欠陥検査装置に係り、バックアップロールと、該バックアップロール上を走行するシートを照射するロッド照明装置と、該ロッド照明装置が前記シートを照射する主光照射領域を遮光する遮光マスクと、前記シートから反射した光を明暗信号として取り込む受光装置と、を備えたことを特徴としている。
請求項6記載の発明は、請求項5記載のシート欠陥検査装置において、前記バックアップロールは黒色つや消しのものであることを特徴としている。
請求項7記載の発明は、請求項5又は6記載のシート欠陥検査装置において、前記受光装置はラインCCDカメラであることを特徴としている。
請求項8記載の発明は、シート欠陥検査装置において、請求項5〜7のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置を複数台併置したことを特徴としている。
The invention according to claim 5 relates to a defect inspection device for a sheet surface, a backup roll, a rod illumination device that irradiates a sheet traveling on the backup roll, and a main light irradiation region in which the rod illumination device irradiates the sheet. And a light receiving device that captures light reflected from the sheet as a light / dark signal.
A sixth aspect of the present invention is the sheet defect inspection apparatus according to the fifth aspect, wherein the backup roll is of a black matte.
According to a seventh aspect of the invention, in the sheet defect inspection apparatus according to the fifth or sixth aspect, the light receiving device is a line CCD camera.
The invention according to claim 8 is characterized in that in the sheet defect inspection apparatus, a plurality of sheet defect inspection apparatuses according to any one of claims 5 to 7 are juxtaposed.

請求項9記載の発明は欠陥検査システムに係り、請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、前記シート欠陥検査装置のシート搬送方向下流に配設されて前記欠陥検査装置が検出した欠陥の位置アドレスを前記シートに記入する欠陥アドレス印字マーカーと、シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記欠陥アドレス印字マーカーに出力するパソコンとを備えたことを特徴としている。
請求項10記載の発明は、請求項9記載の欠陥検査システムにおいて、前記パソコンはさらに前記欠陥アドレス印字マーカーに欠陥のランクを記入させることを特徴としている。
請求項11記載の発明は、請求項9又は10記載の欠陥検査システムにおいて、前記シートの測長を記入する測長印字マーカーを備え、前記パソコンが前記測長印字マーカーに前記シートの測長を記入させることを特徴としている。
請求項12記載の発明は、請求項11記載の欠陥検査システムにおいて、前記欠陥アドレス印字マーカーおよび測長印字マーカーは前記シートの互いに端縁に配設されたことを特徴としている。
The invention according to claim 9 relates to a defect inspection system, wherein the sheet defect inspection apparatus according to any one of claims 5 to 8 and the defect inspection apparatus disposed downstream of the sheet defect inspection apparatus in the sheet conveying direction. A defect address printing marker for writing the position address of the defect detected by the sheet on the sheet, and a personal computer for calculating the defect address based on the inspection data from the sheet defect inspection apparatus and outputting it to the defect address printing marker. It is a feature.
According to a tenth aspect of the present invention, in the defect inspection system according to the ninth aspect, the personal computer further causes a defect rank to be entered in the defect address print marker.
The invention described in claim 11 is the defect inspection system according to claim 9 or 10, further comprising a length measurement printing marker for entering the length measurement of the sheet, and the personal computer measures the length of the sheet on the length measurement print marker. It is characterized by having you fill in.
According to a twelfth aspect of the present invention, in the defect inspection system according to the eleventh aspect of the invention, the defect address print marker and the length measurement print marker are disposed on the edges of the sheet.

請求項13記載の発明は欠陥検査システムに係り、請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、画像表示モニタと、前記シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記画像表示モニタに出力するパソコンとを備えた欠陥検査システムにおいて、欠陥のアドレスを前記画像表示モニタの二次元平面上に数値で表わす詳細アドレス画面を表示させることを特徴としている欠陥検査システム。   A thirteenth aspect of the present invention relates to a defect inspection system, and the defect address is based on the sheet defect inspection apparatus according to any one of the fifth to eighth aspects, the image display monitor, and inspection data from the sheet defect inspection apparatus. In a defect inspection system comprising a personal computer that calculates and outputs to the image display monitor, a defect inspection characterized by displaying a detailed address screen that numerically displays the address of the defect on the two-dimensional plane of the image display monitor system.

請求項14記載の発明は欠陥検査システムに係り、請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、画像表示モニタと、前記シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記画像表示モニタに出力するパソコンとを備えた欠陥検査システムにおいて、欠陥の位置を前記画像表示モニタの二次元平面上にドットで表わすマップ画面を表示させることを特徴としている欠陥検査システム。   The invention described in claim 14 relates to a defect inspection system, wherein the defect address is based on the sheet defect inspection apparatus according to any one of claims 5 to 8, the image display monitor, and inspection data from the sheet defect inspection apparatus. A defect inspection system comprising a personal computer that calculates and outputs to the image display monitor, and displays a map screen that displays the position of the defect as a dot on a two-dimensional plane of the image display monitor. .

請求項15記載の発明は欠陥検査システムに係り、請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、画像表示モニタと、前記シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記画像表示モニタに出力するパソコンとを備えた欠陥検査システムにおいて、複数の欠陥画像を前記画像表示モニタの二次元平面上にマルチ画像で表わすマルチ画像表示画面を表示させることを特徴としている。   A fifteenth aspect of the invention relates to a defect inspection system, wherein the defect address is based on the sheet defect inspection apparatus according to any one of the fifth to eighth aspects, an image display monitor, and inspection data from the sheet defect inspection apparatus. In a defect inspection system comprising a personal computer that calculates and outputs to the image display monitor, a multi-image display screen that displays a plurality of defect images on a two-dimensional plane of the image display monitor is displayed. Yes.

請求項16記載の発明は、請求項13〜15のいずれか1項記載の欠陥検査システムにおいて、さらにメモリを備え、前記シート欠陥検査装置からの検査データを前記メモリに保存し、該メモリに保存された検査データを基に前記詳細アドレス画面、前記マップ画面、前記マルチ画像表示画面の少なくとも1つを表示させることを特徴としている。   A sixteenth aspect of the present invention is the defect inspection system according to any one of the thirteenth to fifteenth aspects, further comprising a memory, wherein inspection data from the sheet defect inspection apparatus is stored in the memory and stored in the memory. Based on the inspection data, at least one of the detailed address screen, the map screen, and the multi-image display screen is displayed.

ブルーレイの記録メディアとしての製品の特質上、図1のような各種の規定外欠陥が存在すると本来の製品性能を発揮することができなかったが、上記構成によって、規格外欠陥を確実に検出でき、その部分を排除することで、製品の高品質を保証することが可能になる。   Due to the characteristics of Blu-ray recording media, the original product performance could not be achieved if various types of non-specified defects such as those shown in Fig. 1 existed. However, the above configuration can reliably detect non-standard defects. By eliminating that part, it becomes possible to guarantee the high quality of the product.

〈実施例1〉
以下、本発明の実施例1に係るシート表面の欠陥検査装置について説明する。
図2は本発明に係るシート表面の欠陥検査装置の斜視図である。
図において、本発明に係るシート表面の欠陥検査装置10は、ロッド照明装置20と、ロッド照明装置20からの光を集光照射されるバックアップロール30と、バックアップロール30上を走行する透明シートPからの反射光を明暗信号として取り込む受光装置40とを備え、さらにロッド照明装置20が透明シートPを照射する主光照射領域を遮光する遮光マスク50をバックアップロール30の近傍に備えたことを特徴としている。
<Example 1>
The sheet surface defect inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described below.
FIG. 2 is a perspective view of a sheet surface defect inspection apparatus according to the present invention.
In the figure, the defect inspection apparatus 10 for a sheet surface according to the present invention includes a rod illumination device 20, a backup roll 30 that collects and irradiates light from the rod illumination apparatus 20, and a transparent sheet P that travels on the backup roll 30. And a light receiving device 40 that captures reflected light from the light source as a light / dark signal, and further includes a light shielding mask 50 in the vicinity of the backup roll 30 that shields the main light irradiation region where the rod illumination device 20 irradiates the transparent sheet P. It is said.

ここで、各装置について説明をする。
図3は本発明で用いるロッド照明装置の一例を説明する図で、(a)の(イ)はロッド照明装置の正面図、(ロ)は側面図である。また(b)は石英ロッドの断面図、(c)はロッド照明装置の照度分布図である。
〈ロッド照明装置の構成〉
ロッド照明装置20は(a)に示すように、光源部と石英のロッドユニットとにより構成されており、光源部には集光性の高いミラー付ハロゲンランプを使用している。また、ロッドユニットは光を伝送する石英の中実のロッドと、それを支持するアルミケーシングよりなっており、ロッドの背面には軸方向に白色縞が塗布加工されている。アルミケーシングには、カバーガラスやシリンドリカルレンズを装着し、また、ビーム角の幅と長さを制限するスリットや偏光板などの装着も可能である。光源部と反射側の端面には反射膜が加工されているが、反射膜の代わりにもう1個光源部を用意して前記光源部と対称位置に設けてもよい。
〈ロッド照明装置の原理〉
端部の光源部より没射された光は、石英ロッドの端面に入射され、石英ロッドの中を全反射伝送する。反射側の端面には反射膜が加工されているので、ここで反射されて、石英ロッドの反対側に戻る。反射して戻った光はこのままでは外に出ないが、ロッドの背面の一部に塗布加工された白色縞に当たると、光はそこで拡散され、ロッドのレンズ作用により指向性を伴って前方に射出される。前方に射出された拡散光を遠方の被検査シートの表面に集光させることにより、被検査シート表面の照明を行うことができる。
〈ロッド照明装置の照度分布〉
このような石英ロッドを使用する照明では、ロッドにより光がスクランブルされるため、ロッドの入射部における色むら及び照度むらがロッドの中で解消され、結果として図(c)に示すようなロッドの軸方向に均一でむらの無い良好な照明が得られようになる。図(c)において、縦軸は照度(ルクスLx)で、端面より20mmの位置で測定している。横軸はロッドの長さ方向である。ロッド照明装置20は両端部を除いてほぼ均一な4800Lxの照度が得られることが判る。
Here, each device will be described.
3A and 3B are diagrams for explaining an example of a rod illumination device used in the present invention. FIG. 3A is a front view of the rod illumination device, and FIG. (B) is a sectional view of the quartz rod, and (c) is an illuminance distribution diagram of the rod illumination device.
<Configuration of rod lighting device>
As shown in FIG. 2A, the rod illuminating device 20 includes a light source unit and a quartz rod unit, and the light source unit uses a highly condensing halogen lamp with a mirror. The rod unit includes a solid quartz rod that transmits light and an aluminum casing that supports the rod. White stripes are applied to the back surface of the rod in the axial direction. A cover glass or a cylindrical lens can be attached to the aluminum casing, and a slit or a polarizing plate for limiting the width and length of the beam angle can be attached. Although the reflection film is processed on the light source part and the end face on the reflection side, another light source part may be prepared instead of the reflection film and provided at a position symmetrical to the light source part.
<Principle of rod lighting device>
The light incident from the light source at the end is incident on the end face of the quartz rod and is totally reflected through the quartz rod. Since the reflection film is processed on the end surface on the reflection side, it is reflected here and returns to the opposite side of the quartz rod. The reflected light does not go out as it is, but when it hits a white stripe applied to a part of the back of the rod, the light is diffused there and emitted forward with directivity by the lens action of the rod. Is done. By condensing the diffused light emitted forward on the surface of the far inspection sheet, the surface of the inspection sheet can be illuminated.
<Illuminance distribution of rod lighting device>
In the illumination using such a quartz rod, since the light is scrambled by the rod, the color unevenness and the illuminance unevenness at the incident part of the rod are eliminated in the rod, and as a result, the rod as shown in FIG. Good illumination that is uniform in the axial direction and has no unevenness can be obtained. In FIG. 3C, the vertical axis represents illuminance (lux Lx), which is measured at a position 20 mm from the end face. The horizontal axis is the length direction of the rod. It can be seen that the rod illumination device 20 can obtain substantially uniform 4800 Lx illuminance except for both ends.

バックアップロール30はその表面が黒色ツヤ消し処理を施したロールであり、照射した光が透明シートPを透過した後、黒色ツヤ消し処理によって反射させないようにして、外乱となることを防止している。バックアップロール30のサイズはΦ50〜Φ500であれば検査に適応できることが確認されたが、サイズが大きくなれば平面に近づくので、更に適応し易くなるので好ましい。   The backup roll 30 is a roll whose surface has been subjected to black matting treatment, and after the irradiated light is transmitted through the transparent sheet P, it is not reflected by the black matting treatment, thereby preventing disturbance. . It has been confirmed that the size of the backup roll 30 is Φ50 to Φ500, but it is confirmed that the backup roll 30 can be adapted to the inspection.

受光装置40として、ここでは公知のCCDカメラを複数台ライン状に配設したもので構成している。   Here, the light receiving device 40 is constituted by a plurality of known CCD cameras arranged in a line.

遮光マスク50は、反射散乱受光方式の光学系における主光照射領域を完全に覆う遮光部材であり、これを主光照射領域に置くことにより、ハレーションを防止し、ラインCCDカメラにハレーション光が入光しないようにしている。遮光マスク50を置く位置は主照射部位A1の搬送方向の上流側でも下流側でもどちらでもよい。   The light-shielding mask 50 is a light-shielding member that completely covers the main light irradiation area in the reflection / scattering light receiving optical system. By placing this in the main light irradiation area, halation is prevented and halation light enters the line CCD camera. I try not to shine. The position where the light-shielding mask 50 is placed may be either upstream or downstream in the conveyance direction of the main irradiation site A1.

図4は照射位置と遮光マスクと検査位置の関係を示す概念図である。
図において、ロッド照明装置20からの出射光はバックアップロール30の法線に対して入射角θ=約20°の傾斜でバックアップロール30に照射される。これに対して、受光装置40はバックアップロール30の法線に対してロッド照明装置20と反対側の約20°の出射光を受光できるように配置されている。
遮光マスク50は、ロッド照明装置20からの出射光のうち主光照射領域(後述)を覆うようにし、バックアップロール30に近づけて配置すると、主光照射領域からのハレーションがラインCCDカメラに入光しにくくなるのでよい。
FIG. 4 is a conceptual diagram showing the relationship between the irradiation position, the light shielding mask, and the inspection position.
In the figure, the outgoing light from the rod illumination device 20 is irradiated to the backup roll 30 at an inclination of an incident angle θ = about 20 ° with respect to the normal line of the backup roll 30. On the other hand, the light receiving device 40 is arranged so as to receive the emitted light of about 20 ° on the opposite side to the rod illumination device 20 with respect to the normal line of the backup roll 30.
When the light shielding mask 50 is disposed so as to cover a main light irradiation region (described later) of the light emitted from the rod illumination device 20 and is placed close to the backup roll 30, halation from the main light irradiation region is incident on the line CCD camera. It will be hard to do.

図5は、上記遮光マスク50の機能について説明する図で、(a)は本発明による遮光マスクを置かない場合の透明シート上の照射状態、(b)は本発明で使用する遮光マスク、(c)は遮光マスクを置いた場合の透明シート上の照射状態の各平面図をそれぞれ示している。
(a)において、Pはロッド照明装置20(図4)からの出射光が照射される透明シート、A1はロッド照明装置20からの出射光が最も集中する主照射部位、A2及びA3は主照射部位A1を外れた近傍の光散乱部位、Kは透明シートP上の表面欠陥(図1のa〜dのいずれか1つ)である。図から判るように、最も明るい主照射部位S1から外れた光散乱部位A2,A3は主照射部位A1のシート搬送方向の上流と下流の両側にあり、両部位A2,A3は主照射部位A1からシート搬送方向に離れるにしたがって次第に暗くなる。
主照射部位A1には表面欠陥Kがあるけれども、主照射部位A1が明るいためハレーションを起こし、ラインCCDカメラ40(図4)は表面欠陥Kを検知することができない(したがって、ここでは点線Kで示している。)。
5A and 5B are diagrams for explaining the function of the light shielding mask 50. FIG. 5A is an irradiation state on the transparent sheet when the light shielding mask according to the present invention is not placed, and FIG. 5B is a light shielding mask used in the present invention. c) shows respective plan views of the irradiation state on the transparent sheet when the light shielding mask is placed.
In (a), P is a transparent sheet irradiated with the light emitted from the rod illumination device 20 (FIG. 4), A1 is the main irradiation site where the light emitted from the rod illumination device 20 is most concentrated, and A2 and A3 are the main irradiation. A light scattering site in the vicinity of the site A1, K is a surface defect on the transparent sheet P (any one of a to d in FIG. 1). As can be seen from the drawing, the light scattering portions A2 and A3 deviating from the brightest main irradiation portion S1 are on both sides of the main irradiation portion A1 in the upstream and downstream of the sheet conveyance direction, and both portions A2 and A3 are from the main irradiation portion A1. It becomes darker as it goes away in the sheet conveying direction.
Although the main irradiation site A1 has a surface defect K, halation occurs because the main irradiation site A1 is bright, and the line CCD camera 40 (FIG. 4) cannot detect the surface defect K (therefore, the dotted line K here). Is shown.)

そこで、実施例1では、(b)のような遮光マスク50で主照射部位A1と一方(図で右側)の光散乱部位A2とを覆い、この部位に影MS(図c)を作るようにしたところ、その結果、(c)のようになった。
図で、MSは主光遮断用遮光マスク50によって遮られる透明シート上の影である。図から判るように、主照射部位A1と一方の光散乱部位A2とが影MSで覆われるので暗くなるため、ハレーションを起こさなくなり、そして主照射部位A1の中心線から1mm〜5mm外れた散乱光受光部位A3を実検査位置として用いることで、ラインCCDカメラ40(図4)には外乱が入光しないようになり、主照射部位A1では欠陥として検出することが困難であった表面欠陥Kがここでは周囲と異なる濃度で認識できるようになる。なお、主照射部位A1と比べて実検査位置の照度は低くなっているが、これは全体の感度を上げることで解決できる。
Therefore, in the first embodiment, the main irradiation site A1 and one (right side in the figure) light scattering site A2 are covered with the light shielding mask 50 as shown in (b), and a shadow MS (FIG. C) is formed in this site. As a result, the result was as shown in (c).
In the figure, MS is a shadow on the transparent sheet blocked by the main light blocking mask 50. As can be seen from the figure, the main irradiation part A1 and one light scattering part A2 are covered with the shadow MS, so it becomes dark, so that halation does not occur, and the scattered light deviates from 1 mm to 5 mm from the center line of the main irradiation part A1. By using the light receiving portion A3 as the actual inspection position, disturbance is not incident on the line CCD camera 40 (FIG. 4), and the surface defect K that is difficult to detect as a defect in the main irradiation portion A1 is generated. Here, it becomes possible to recognize at a different density from the surroundings. The illuminance at the actual inspection position is lower than that of the main irradiation site A1, but this can be solved by increasing the overall sensitivity.

このように、主照射部位で表面欠陥を検査していた従来の検査方法ではハレーションにより欠陥を確実に検出することは困難であったが、実施例1により遮光マスクで主照射部位を覆ってこの部位に影を作るようにし、そこから僅か離れた部位を実検査位置としたことで、規格外欠陥を確実に検出できるようになり、製品の高品質を保証することが可能になった。   Thus, in the conventional inspection method in which the surface defect was inspected at the main irradiation site, it was difficult to reliably detect the defect by halation. By making a shadow on the part and setting the part slightly away from it as the actual inspection position, it becomes possible to reliably detect non-standard defects, and it is possible to guarantee the high quality of the product.

〈実施例2〉
被検査透明シートの幅が広い場合、図3の長尺ロッド照明1個では照度が不足して、十分な反射光が得られないことがある。実施例2はこれを解決するものである。図6は実施例2に係る検査装置を示すもので、(a)の被検査シートPの幅方向の図で左側を検査する検査装置10と、同じ被検査透明シートPの幅方向の図で右側を検査する(b)の検査装置10’とを並列配置して成る。この場合、検査装置10のロッド照明20とラインCCDカメラ40と遮光マスク50の各長さ方向の延長線上に、検査装置10’の各ロッド照明20’とラインCCDカメラ40’と遮光マスク50’とを配設し、共通のバックアップロール30上の被検査透明シートPのそれぞれ左右を同時に検査している。
このようにすることで、被検査透明シートの幅が広くても、表面欠陥の正確な検査が可能となる。
<Example 2>
When the width of the transparent sheet to be inspected is wide, the illuminance is insufficient with one long rod illumination in FIG. 3, and sufficient reflected light may not be obtained. Embodiment 2 solves this problem. FIG. 6 shows an inspection apparatus according to the second embodiment. FIG. 6A is a view in the width direction of the transparent sheet P to be inspected and the inspection apparatus 10 inspecting the left side in the width direction view of the inspection sheet P in FIG. (B) Inspection apparatus 10 'which inspects the right side is arranged in parallel. In this case, the rod illumination 20 ′, the line CCD camera 40 ′, and the light shielding mask 50 ′ of the inspection apparatus 10 ′ are provided on the extension lines in the length direction of the rod illumination 20, the line CCD camera 40, and the light shielding mask 50 of the inspection apparatus 10. And the left and right sides of the inspected transparent sheet P on the common backup roll 30 are simultaneously inspected.
By doing in this way, even if the width | variety of a to-be-inspected transparent sheet is wide, the exact test | inspection of a surface defect is attained.

以上は、被検査シートPが透明シートである場合について説明してきたが、被検査シートPが透明シートでなく、反射率の低い黒系の例えば磁気テープのようなものの欠陥検査をすることも本発明によれば可能である。
この場合は被検査シートPが透明シートでないので、反射光量が少ないため、反射光量を多くするには照射光量を多くする工夫をすればよい。
そこで、図3のロッド照明20における長軸体のロッド23をその長さを半分以下して、左右のハロゲンランプ光源22を互いに近づけることで軸方向の単位長さ当たりの光量を増すことができる。そしてロッド照明の長さ方向(被検査シートの幅方向)は、図6の実施例2のように2個か、それ以上の複数個併設することで、必要な長さ方向を稼ぐようにすればよい。
このようにすることで、透明シートでない磁気テープのようなシートをも検査することができるようになる。したがって、以後は、「透明シート」と限定せずに、「シート」ということにする。
The above has described the case where the sheet P to be inspected is a transparent sheet, but it is also possible to inspect the defect of a black system such as a magnetic tape having a low reflectivity instead of the sheet P to be inspected. This is possible according to the invention.
In this case, since the sheet P to be inspected is not a transparent sheet, the amount of reflected light is small. Therefore, in order to increase the amount of reflected light, a device for increasing the amount of irradiated light may be used.
Therefore, the amount of light per unit length in the axial direction can be increased by reducing the length of the long-axis rod 23 in the rod illumination 20 of FIG. 3 to less than half and bringing the left and right halogen lamp light sources 22 closer to each other. . The length direction of the rod illumination (the width direction of the sheet to be inspected) can be increased by providing two or more as in Example 2 of FIG. That's fine.
By doing so, a sheet such as a magnetic tape that is not a transparent sheet can be inspected. Therefore, hereinafter, it will be referred to as “sheet” without being limited to “transparent sheet”.

〈実施例3〉
実施例1及び2は検査装置10自体に関するものであったが、実施例3は検査装置10によって検査したデータを処理して、被検査シート自体に欠陥位置を特定するマークを印字する印字ステーションの発明に関するものである。
図7は実施例1及び2の検査ステーションと実施例3に印字ステーションの位置関係を説明する概念斜視図である。図において、被検査シートPが図の右から左に搬送されているその上流(右)側に検査ステーションIを置き、検査ステーションIが被検査シートPに表面欠陥(図1)を検出したとき、被検査シートP自体にその欠陥位置を特定するマークをその位置近傍に印字する印字ステーションIIを下流(左)側に置いている。検査ステーションIには検査装置10を設置し、印字ステーションIIには、被検査シートPの幅方向両端にそれぞれ印字マーカーを設置している。一方は欠陥アドレスを記入する欠陥種・アドレス印字マーカー60であり、他方は被検査シートPの幅方向の長さを記入する測長マーカー70である。検査装置10、欠陥種・アドレス印字マーカー60、測長マーカー70は図8に示すシステムに組み込まれている。
<Example 3>
The first and second embodiments relate to the inspection apparatus 10 itself, but the third embodiment is a printing station that processes data inspected by the inspection apparatus 10 and prints a mark for specifying a defect position on the inspected sheet itself. It relates to the invention.
FIG. 7 is a conceptual perspective view for explaining the positional relationship between the inspection station in the first and second embodiments and the printing station in the third embodiment. In the figure, when the inspection station I is placed on the upstream (right) side of the inspected sheet P being conveyed from right to left in the figure, and the inspection station I detects a surface defect (FIG. 1) in the inspected sheet P. A printing station II for printing a mark for specifying the defect position on the inspection sheet P itself is provided in the vicinity of the position on the downstream (left) side. An inspection apparatus 10 is installed at the inspection station I, and print markers are installed at both ends in the width direction of the inspection sheet P at the printing station II. One is a defect type / address printing marker 60 for entering a defect address, and the other is a length measuring marker 70 for entering the length in the width direction of the inspection sheet P. The inspection apparatus 10, the defect type / address printing marker 60, and the length measurement marker 70 are incorporated in the system shown in FIG.

図8は検査・印字システム全体を説明する概念構成図である。
この検査・印字システムは、検査ステーションの検査装置10と10’と、印字ステーションの欠陥種・アドレス印字マーカー60および測長用マーカー70と、さらに検査装置10と10’の検出結果をデータ化し、欠陥種・アドレス印字マーカー60と測長用マーカー70に出力するデータ処理部80を設置して成る。
データ処理部80は、検査条件設定と各種データ処理を行なうオペレーション・集計パソコン82を設置し、そのデータを生産機室外で参照できるように複数台のクライアントパソコン84,86を設置している。なお、集計パソコンからは上位の生産管理側に必要データを加工して送信している。
FIG. 8 is a conceptual diagram illustrating the entire inspection / printing system.
This inspection / printing system converts the inspection devices 10 and 10 'of the inspection station, the defect type / address printing marker 60 and the length measuring marker 70 of the printing station, and the detection results of the inspection devices 10 and 10' into data, A data processing unit 80 for outputting to the defect type / address printing marker 60 and the length measurement marker 70 is provided.
The data processing unit 80 is provided with an operation / counting personal computer 82 for setting inspection conditions and various data processing, and a plurality of client personal computers 84 and 86 are provided so that the data can be referred to outside the production machine room. In addition, the necessary data is processed and transmitted from the aggregate PC to the higher-level production management side.

検査の全体的な流れは、先ず生産ラインが稼動し、塗布が開始されたタイミングが検査開始となるが、実際は塗布部先頭が検査ロール上に到達するまでトラッキングさせて、そこから検査は開始される。
検査装置10,10’で全面検査を行ない、欠陥と判定されたものが検査されたら、そのときの巻取り位置と幅方向の位置をパソコン82に送信する。
The overall flow of inspection starts with the production line first, and when the application is started, the inspection starts. Actually, the inspection is started by tracking until the top of the application part reaches the inspection roll. The
The entire surface is inspected by the inspection devices 10 and 10 ′, and when a defect is inspected, the winding position and the position in the width direction at that time are transmitted to the personal computer 82.

図9は実施例3に係る印字ステーションII(図7)が行う作業の1例を説明する図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
図において、被検査シートPに3つの異なる大きさの表面欠陥K1,K2,K3があるとする。60は欠陥の位置する幅方向のアドレスを欠陥種の符号と共に記入する欠陥種・アドレス印字マーカーであり、70は被検査シートPの幅方向の長さを測長印(図では○)を印字する印字間隔L2(図では、L2=10cm)で検査開始位置を0cmとして巻取り長を10cm単位で○印を印字していき、かつ測長数値(0,10,20,・・・)を印字する印字間隔L1(図では、L1=1m)で数字を印字する測長印字マーカーである。両マーカーとも塵埃の出ないレーザーマーカーを用いるとメンテナンスフリーとなるので、他のマーカー(例えば、インクジェット)と比べてレーザーマーカーが推奨される。
9A and 9B are diagrams for explaining an example of work performed by the printing station II (FIG. 7) according to the third embodiment. FIG. 9A is a plan view and FIG. 9B is a side view.
In the figure, it is assumed that the inspection sheet P has surface defects K1, K2, and K3 having three different sizes. Reference numeral 60 denotes a defect type / address printing marker for entering a width direction address where a defect is located together with a defect type code, and 70 denotes a length measurement mark (◯ in the figure) indicating the width direction length of the inspection sheet P. The printing interval L2 (L2 = 10 cm in the figure) is set to 0 cm, the inspection start position is set to 0 cm, the winding length is printed in units of 10 cm, and length measurement values (0, 10, 20,...) Are displayed. This is a length measurement marker that prints numbers at a printing interval L1 (L1 = 1 m in the figure). Since both markers are maintenance-free if dust-free laser markers are used, laser markers are recommended compared to other markers (for example, inkjet).

検出対象の欠陥サイズは、ここでは数10μm以上のものとし、そのを大きさ基準に3段階のS1〜S3に分別している。S1は実用上の欠陥とはならない管理サイズ、S2は規格によっては使用可能なサイズ、S3は除外対象となるNGレベルのサイズである。もちろん3段階に限られるものではなく、必要に応じて多段階に分類することができることは言うまでもない。   Here, the defect size to be detected is set to several tens of μm or more, and is classified into S1 to S3 in three stages on the basis of the size. S1 is a management size that does not become a practical defect, S2 is a size that can be used depending on the standard, and S3 is an NG level size to be excluded. Of course, it is not limited to three stages, and it is needless to say that it can be classified into multiple stages as needed.

3個の欠陥のうち、搬送中に最初に現れた欠陥K1はパソコンの判定結果、実用上の欠陥とはならない管理サイズS1とされたので、欠陥種・アドレス印字マーカー60は欠陥K1の幅方向線上のシートの縁部に幅方向のアドレス番号「52」と共にS1を意味する黒色四角記号を印字するようにしている。   Of the three defects, the defect K1 that first appears during transportation is the management size S1 that does not become a practical defect as a result of the personal computer determination, so the defect type / address print marker 60 is in the width direction of the defect K1. A black square symbol meaning S1 is printed together with the address number “52” in the width direction on the edge of the sheet on the line.

次に出現した欠陥K2はパソコンの判定結果、規格によっては使用可能なS2とされたので、欠陥種・アドレス印字マーカー60は欠陥K2の幅方向線上のシートの縁部に幅方向のアドレス番号「86」と共にS2を意味する黒色三角記号を印字する。   Since the defect K2 that appears next is S2 that can be used depending on the standard as a result of determination by the personal computer, the defect type / address print marker 60 is addressed in the width direction at the edge of the sheet on the width direction line of the defect K2. 86 "is printed together with a black triangle symbol meaning S2.

3つ目の欠陥K3はパソコンの判定結果、除外対象となるNGレベルの大きさS3とされたので、欠陥種・アドレス印字マーカー60は欠陥K3の幅方向線上のシートの縁部に幅方向のアドレス番号「67」と共にS3を意味する黒色丸記号を印字する。   Since the third defect K3 is determined to be an NG level S3 to be excluded as a result of the personal computer determination, the defect type / address printing marker 60 is placed in the width direction on the edge of the sheet on the width line of the defect K3. A black circle sign indicating S3 is printed together with the address number “67”.

このように、被検出シートP自体の縁部に欠陥情報をマークしておくことで、後日、製造者は縁部に印字されたマークを手がかりに欠陥K1〜Kを簡単に見つけることができ、欠陥K1〜KのランクS1〜S3から処理方法も即座に知ることができる。
なお、シートの縁部にマークするのではなく、直接欠陥自体をマークで囲むようにすると、製造者はさらに欠陥位置を簡単に知ることができるようになるが、この場合、製造に用いる被検出シートPの上をマーカーが常時往来・通過することは、これにより被検出シートPの上に塵埃が付着するという二次災害の恐れがあるので、推奨できない。
したがって、本発明では、上記のように被検出シートPの製造時に使用されない縁部に欠陥種と長さ方向のアドレスとを印字しているので塵埃が付着しても全く問題がない。
Thus, by marking the defect information on the edge of the detected sheet P itself, the manufacturer can easily find the defects K1 to K at a later date using the mark printed on the edge, The processing method can be immediately known from the ranks S1 to S3 of the defects K1 to K.
In addition, if the defect itself is directly surrounded by a mark instead of marking the edge of the sheet, the manufacturer can more easily know the position of the defect. It is not recommended that the marker always come and go on the sheet P because this may cause a secondary disaster that dust adheres to the sheet P to be detected.
Therefore, in the present invention, since the defect type and the address in the length direction are printed on the edge that is not used when the detection sheet P is manufactured as described above, there is no problem even if dust adheres.

検査終了は塗布終了の信号をトラッキングし、検査位置に到達した時点が検査終了となり、検査データは各種処理を施して集計パソコンに過去データとして保存される。
また、欠陥を排除するために位置を特定できるように、巻取り方向の位置と幅アドレスをパソコンのモニタ上に明示している。画面に表示される内容はいくつかあるが、その中に詳細アドレス画面・マップ画面・マルチ画像表示画面がある。
詳細アドレス画面は欠陥の位置を二次元平面上に正確な数値で表示させるものであり(実施例4)、マップ画面は欠陥の位置を二次元平面上にドットで表示させて、分布状況を判りやすくするものであり(実施例5)、マルチ画像表示画面は画像を保存するレベルの欠陥画像をトリミングして保存し、見たいときに画面を再表示させるものである(実施例6)。以下、3つの表示画面について実施例4〜6として説明する。
At the end of the inspection, the application end signal is tracked, and when the inspection position is reached, the inspection ends. The inspection data is subjected to various processes and stored as past data in a totaling personal computer.
Also, the position in the winding direction and the width address are clearly shown on the monitor of the personal computer so that the position can be specified in order to eliminate the defect. There are several contents displayed on the screen. Among them, there are a detailed address screen, a map screen, and a multi-image display screen.
The detailed address screen displays the position of the defect with an accurate numerical value on the two-dimensional plane (Example 4), and the map screen displays the position of the defect with a dot on the two-dimensional plane to determine the distribution status. The multi-image display screen trims and stores a defect image at a level for storing the image, and redisplays the screen when the user wants to view the image (Example 6). Hereinafter, three display screens will be described as Examples 4 to 6.

〈実施例4〉
図10は実施例4である「欠陥詳細アドレス」表示画面の1例である。
図において、左欄101は「過去リスト情報」、右欄102は「欠陥詳細アドレス」を表示させる表示部である。また、上欄は左から、「停止」ボタン、「塗布長」表示部(図では、6.5mと表示)、「現在日時」表示部(図では、2004年10月12日、16時42分と表示)、「速度」表示部(図では、0m/分)である。その下段には、左から現在表示中のロールNo.表示部(図では、0404061)、表示している画面の種類を表示する画面種類表示部(図では、「過去欠陥詳細アドレス画面」)、「現在」又は「過去」の現在過去表示部である。
また、下欄は左から、「現在詳細」、「現在グラフ」、「現在マップ」、「現在累計」、「過去詳細」、「過去グラフ」、「過去マップ」、「過去累計」、「現在画像」、「過去画像」、「集計」の各ボタンがある。「現在・・・」をクリックすると選択した画面が表示される。また、過去は表示したいファイルをクリックし、項目は「過去・・・」をクリックすると選択した画面が表示される。これと共に、現在過去表示部の対応する「現在」ランプ又は「過去」ランプを明るくする(図では、「過去」ランプを選択している。)。
<Example 4>
FIG. 10 shows an example of the “detailed defect address” display screen according to the fourth embodiment.
In the figure, the left column 101 is a display unit for displaying “past list information” and the right column 102 is for displaying “detailed address of defect”. From the left, the upper column is a “stop” button, an “application length” display section (displayed as 6.5 m in the figure), a “current date and time” display section (in the figure, October 12, 2004, 16:42). Minute) and a “speed” display (0 m / min in the figure). The lower row shows the roll number currently displayed from the left. A display unit (0404061 in the figure), a screen type display unit (in the figure, “past defect detailed address screen”) for displaying the type of the screen being displayed, a “current” or “past” present past display unit. .
From the left, the lower column is “Current Details”, “Current Graph”, “Current Map”, “Current Cumulative”, “Past Details”, “Past Graph”, “Past Map”, “Past Cumulative”, “Current” There are buttons for “image”, “past image”, and “total”. Click “Current ...” to display the selected screen. Click the file you want to display in the past, and click “Past ...” for the item to display the selected screen. At the same time, the corresponding “current” lamp or “past” lamp in the current past display portion is brightened (in the figure, the “past” lamp is selected).

左欄101の「過去リスト情報」には、これまで検査したシートロールの番号とその検査を行った検査開始日時が表示されている。図では、291個のロールのうちロール番号No.22〜No.66までが表示されている。ロール番号No.22から小さいロール番号に戻るには右側の上向き三角△ボタンをクリックし、ロール番号No.66からさらに進むには下向きの三角▽ボタンをクリックする。パソコンディスプレー画面で表示させたいシートロール番号をマウスでクリックすることにより、クリックされたシートロール番号のシートロールに存在した表面欠陥のアドレスが右側の詳細アドレス画面表示される。図では、符号103で示す「No.57」のロールNo.「0404061」を選択している。   The “past list information” in the left column 101 displays the number of the sheet roll that has been inspected so far and the inspection start date and time when the inspection was performed. In the figure, among the 291 rolls, the roll number No. 22-No. Up to 66 are displayed. Roll number no. To return to the smaller roll number from No. 22, click the upward triangle △ button on the right side, and roll number No. To proceed further from 66, click the downward triangle ▽ button. By clicking the sheet roll number to be displayed on the personal computer display screen with the mouse, the address of the surface defect existing on the sheet roll of the clicked sheet roll number is displayed on the right detailed address screen. In the figure, a roll No. “No. 57” indicated by reference numeral 103 is shown. “0404061” is selected.

右欄102の詳細アドレス画面は、縦軸が検査開始点からの長さ方向の距離を10cm単位で示し、横軸がシートの幅方向の欠陥情報を示している。縦軸は欠陥が検出される毎に記入されるので、幅方向の線上に欠陥が検出されなければそのときの距離は記入されないし、逆に長さ方向の距離10cm内に複数の幅方向の線上に欠陥が検出されれば、その幅方向毎の検査開始点からの長さ方向の距離が記入されるので、複数回同じ数値の記入がなされることになる。
上の横軸はシートの幅方向のスリット情報で、左から右に向かって第1スリット〜第8スリットが刻まれている。ここで言う1スリットは、製品としてのブルーレイディスクにコーティングされるシートの横幅に等しくなっている。また、下の横軸はシートの幅方向をmm単位で刻んでいる。
In the detailed address screen in the right column 102, the vertical axis indicates the distance in the length direction from the inspection start point in units of 10 cm, and the horizontal axis indicates the defect information in the width direction of the sheet. Since the vertical axis is entered every time a defect is detected, if no defect is detected on the line in the width direction, the distance at that time is not entered, and conversely, a plurality of width directions are within a distance of 10 cm in the length direction. If a defect is detected on the line, the distance in the length direction from the inspection start point for each width direction is entered, so the same numerical value is entered multiple times.
The upper horizontal axis is slit information in the width direction of the sheet, and the first to eighth slits are engraved from left to right. One slit here is equal to the width of the sheet coated on the Blu-ray disc as a product. Further, the lower horizontal axis indicates the sheet width direction in mm.

そこで、例えば、図の符号104で示す部位の表示内容「c30.5」は欠陥種cがシートエッジから30.5mmの位置に存在することを示すものである。また、図の符号105で示す部位の表示内容「b690.7」は、欠陥種bがシートエッジから690.7mmの位置に存在することを示すものである。   Therefore, for example, the display content “c30.5” of the part indicated by reference numeral 104 in the figure indicates that the defect type c exists at a position 30.5 mm from the sheet edge. Further, the display content “b690.7” of the part indicated by reference numeral 105 in the drawing indicates that the defect type b exists at a position of 690.7 mm from the sheet edge.

なお、詳細アドレス画面には、欠陥画像(実施例6で後述)が保存されている個所(例えば、符号106参照)にアスタリスクマーク「*」を表示することで、その位置をクリックすると図12(後述)で示す保存画像が表示され、欠陥形状を目視で確認できるようにしてある。   In the detailed address screen, an asterisk mark “*” is displayed at a location where a defect image (described later in Example 6) is stored (for example, refer to reference numeral 106). The stored image shown below is displayed so that the defect shape can be visually confirmed.

検査者はこの「欠陥詳細アドレス画面」から、被検査シートの欠陥位置を正確に知ることができるので、このシートを製造した製造装置の特性を分析する際にこの情報を有効に使うことができる。   Since the inspector can accurately know the defect position of the inspected sheet from this “detailed address screen of defect”, this information can be used effectively in analyzing the characteristics of the manufacturing apparatus that manufactured the sheet. .

また、図10の下方にある「現在マップ」と「過去マップ」ファイルで選択されたボタンのいずれかをマウスでクリックすることにより、次の実施例5で説明する「マップ」画面に切り替わる。   Further, by clicking on any of the buttons selected in the “current map” and “past map” files at the bottom of FIG. 10 with the mouse, the screen is switched to the “map” screen described in the fifth embodiment.

〈実施例5〉
図11は実施例5である「マップ」表示画面の1例である。
マップ表示画面は、X軸にシート幅・Y軸に巻取り長を振り、欠陥が発生した時点でリアルタイムに打点され、発生位置分布が容易に確認できるような構成になっており、さらに欠陥レベル単位で表示させることも可能である。なお、欠陥点をダブルクリックすると、詳細アドレス画面に切り替わり、点近傍の情報が表示される。
図において、左欄111は「過去リスト情報」、右欄112は「マップ」を表示させる表示部である。上欄、次欄、下欄の各種ボタンで図10のそれと同じものは重複説明を省略する。欠陥レベルを色別のa・b・c・d各ボタンを設けており、個別の欠陥レベルを選択して表示できるようにしている。
右欄112のマップ画面は、縦軸が検査開始点からの長さ方向の距離をメートル(m)で表示し、10cm単位で目盛を打っている。横軸がシートの幅方向の欠陥情報を示し、上の横軸はシートの幅方向のスリット情報、また、下の横軸はシートの幅方向をmm単位で刻んでいる。
欠陥はドットで表示される。長さ方向又は幅方向にドットが連続している場合は、それぞれ独立した別個の欠陥が長さ方向又は幅方向に偶々連続して発生している可能性もあるが、むしろ長さ方向又は幅方向に繋がった長い1個の欠陥である可能性が高い。どちらにしても、このような欠陥は使用することなく排除されなければならないので、本発明ではどちらの欠陥であるかの区別はしていないし、区別する必要もない。幅同一箇所にある場合は、同期性欠陥が予想され、パスロール系に起因の欠陥が多くある。
<Example 5>
FIG. 11 shows an example of a “map” display screen according to the fifth embodiment.
The map display screen is configured so that the sheet width is set on the X axis and the winding length is set on the Y axis. When a defect occurs, the map is displayed in real time, and the distribution of the occurrence position can be easily confirmed. It is also possible to display in units. If a defect point is double-clicked, the detailed address screen is displayed and information about the point is displayed.
In the figure, the left column 111 is a display unit that displays “past list information”, and the right column 112 is a display unit that displays “map”. Of the various buttons in the upper column, the next column, and the lower column, the same as those in FIG. The defect level buttons a, b, c, and d are provided for each color so that individual defect levels can be selected and displayed.
In the map screen in the right column 112, the vertical axis displays the distance in the length direction from the inspection start point in meters (m), and the scale is given in units of 10 cm. The horizontal axis indicates defect information in the width direction of the sheet, the upper horizontal axis indicates slit information in the width direction of the sheet, and the lower horizontal axis indicates the width direction of the sheet in mm.
Defects are displayed as dots. When dots are continuous in the length direction or width direction, independent and independent defects may occur by chance in the length direction or width direction, but rather the length direction or width. There is a high possibility that the defect is one long piece connected in the direction. In any case, since such defects must be eliminated without using them, the present invention makes no distinction between the defects and does not require any distinction. If they are at the same width, a synchronization defect is expected, and there are many defects due to the pass roll system.

本実施例では、カーソル線113を境に上流(図の上側)のドットは表示をし、下流のドットは表示させないようにして、いまどこを観測しているのかを明確にすることで、見易くしている。また、カーソル線113上のドットだけ他のドットよりも表示色を変えると更に見易い画面となる。   In the present embodiment, the upstream (upper side in the figure) dot is displayed with the cursor line 113 as the boundary, and the downstream dot is not displayed, and it is easy to see by clarifying where the observation is now. ing. Further, if the display color is changed for the dots on the cursor line 113 as compared to other dots, the screen becomes easier to see.

検査者はこの「マップ画面」から、被検査シートの欠陥の分布状況を一目に知ることができるので、このシートを製造した製造装置の特性を分析する際にこの情報を有効に使うことができる。   Since the inspector can know at a glance the defect distribution status of the sheet to be inspected from this “map screen”, this information can be used effectively when analyzing the characteristics of the manufacturing equipment that manufactured the sheet. .

また、図11の下方にある「現在画像」と「過去画像」のボタンのいずれかをマウスでクリックすることにより、次の実施例6で説明する「画像」画面に切り替わる。   Further, by clicking one of the “current image” and “past image” buttons at the bottom of FIG. 11 with the mouse, the screen is switched to the “image” screen described in the sixth embodiment.

〈実施例6〉
図12は実施例6である「マルチ画像」表示画面の1例である。
図において、左欄121は「過去リスト情報」、右欄122は「マルチ画像」を表示させる表示部である。上欄、次欄、下欄の各種ボタンで図10のそれと同じものは説明を省略し、異なる第3欄について説明する。
第3欄には、「拡大率」表示部があり、現在101%で表示していることが表示されている。その横は「拡大」ボタンと「縮小」ボタンで、それぞれをクリックすることにより、所望の拡大率に設定する。「画像数」表示部は、当該ロールNo.のロールシートについての欠陥画像数を表示するもので、図では1493個の画像が収録されていることが判る。
左欄121の「過去リスト情報」で、符号123で示す「No.51」のロール0902−3が選択されている。右のマルチ画面にはラインCCDカメラ40(図6)が捕らえた欠陥画像を拡大又は縮小して(図では、拡大率101%)、左上→右上→左下→右下の順にシートの欠陥をシート上流から順に(図では6個の欠陥を)表示している。
各画面には、CCDカメラが捕らえた欠陥画像を中央に表示し、パソコンが判断した欠陥種a,b,c(欠陥面積の大きさを基準にa,b,cでランク付け)と測長数字0.3(開始点から0.3mの部位)を上部に表示し、そのアドレスSを下部に表示している。欠陥をカーソルで囲むことで、XYの方向の大きさを知ることができる。
<Example 6>
FIG. 12 is an example of a “multi-image” display screen according to the sixth embodiment.
In the figure, the left column 121 is a display unit for displaying “past list information”, and the right column 122 is a display unit for displaying “multi-image”. The description of various buttons in the upper column, the next column, and the lower column that are the same as those in FIG. 10 will be omitted, and a different third column will be described.
In the third column, there is an “enlargement ratio” display portion, which indicates that it is currently displayed at 101%. Next to the buttons are an “enlarge” button and a “reduced” button. By clicking on each of them, a desired enlargement ratio is set. The “number of images” display section displays the roll number. The number of defect images for the roll sheet is displayed, and it can be seen that 1493 images are recorded in the figure.
In the “past list information” in the left column 121, a roll “No. 51” 0902-3 indicated by reference numeral 123 is selected. On the right multi-screen, the defect image captured by the line CCD camera 40 (FIG. 6) is enlarged or reduced (in the figure, the enlargement ratio is 101%), and the sheet defects are displayed in the order of upper left → upper right → lower left → lower right. It is displayed in order from the upstream (six defects in the figure).
On each screen, the defect image captured by the CCD camera is displayed in the center, and the defect types a, b, and c (ranked by a, b, and c based on the size of the defect area) and length measurement determined by the personal computer. A number 0.3 (part 0.3 m from the starting point) is displayed at the top, and its address S is displayed at the bottom. By enclosing the defect with a cursor, the size in the XY direction can be known.

さらに、次の下流の画像を表示させたいときは、右下の「指先」ボタンを、最新画像を表示させたいときは、右下の「最新」ボタンをクリックする。逆に、上流の画像を表示させたいときは、左上の「指先」ボタンを、最古の画像を表示させたいときは、左上の「最古」ボタンをクリックする。   Further, when the next downstream image is to be displayed, the lower right “fingertip” button is clicked. When the latest image is to be displayed, the lower right “latest” button is clicked. Conversely, if you want to display the upstream image, click the “fingertip” button in the upper left, and if you want to display the oldest image, click the “oldest” button in the upper left.

なお、このマルチウインドウ表示は、表示後一定時間キーボードやマウスの操作がなされないときは、ホーム画面に戻るようになっている。   The multi-window display returns to the home screen when the keyboard or mouse is not operated for a certain period of time after the display.

表面欠陥は図1のように多種であるが、いずれの表面欠陥も排除すべきである点で共通しているので、本発明では表面欠陥の種類は区別することなくその大きさを規定して分別するようにしている。
このように、検出した欠陥は図12のように可視化画像を残し、事後確認できるようにして発生起因を探る手立てとしている。その際、欠陥画像全体を表示させるマルチ画像表示画面は、発生毎に画像が表示されるので、欠陥形状全体を一覧できるので便利である。
There are various types of surface defects as shown in FIG. 1, but they are common in that any surface defects should be eliminated. Therefore, in the present invention, the types of surface defects are defined without distinction. I try to sort it out.
In this way, the detected defect leaves a visualized image as shown in FIG. 12, and is used as a means of searching for the cause of occurrence by making it possible to confirm it after the fact. At that time, the multi-image display screen for displaying the entire defect image is convenient because the entire defect shape can be listed because an image is displayed for each occurrence.

その他に本発明では、下部のボタンが表示しているように、ロール単位での欠陥数のグラフを表示する「現在グラフ」や「過去グラフ」機能、そして数ロールの欠陥数を比較するグラフ表示ができる「現在累計」や「過去累計」機能を備えるようにしている。   In addition, in the present invention, as indicated by the button at the bottom, a "current graph" or "past graph" function that displays a graph of the number of defects in roll units, and a graph display that compares the number of defects of several rolls “Current total” and “Past total” functions are available.

また、本発明によれば、過去の図と現在の図を任意に表示させることができるが、ただいまの表示はどちらであるかが判り難いので、表示全体の色彩を現在表示と過去表示で変えるようにしておくと判り易い。   Further, according to the present invention, it is possible to arbitrarily display the past figure and the current figure, but it is difficult to determine which is the current display, so the color of the entire display is changed between the current display and the past display. This is easy to understand.

また、過去の図と現在の図を任意に表示させるとき、過去の図の表示になったときは所定の時間(例えば、1分後)で現在の図に自動的に戻るようにしておくと、使い勝手がよくなる。   In addition, when the past figure and the current figure are arbitrarily displayed, when the past figure is displayed, the display automatically returns to the current figure at a predetermined time (for example, one minute later). , It improves usability.

このように、本発明によれば、バックアップロール上を走行するシートに光を照射し、その際、光の主光領域に遮光マスクをし、遮光マスクの横を通過する光が照射される被検査シート上の領域を検査するようにしたので、凹凸等の欠陥は暗部になり、高コントラストが得られるので、従来装置では不可能であった凹凸等の欠陥の検出が可能となった。   As described above, according to the present invention, the sheet traveling on the backup roll is irradiated with light, and at that time, the light shielding mask is applied to the main light region of the light, and the light passing through the side of the light shielding mask is irradiated. Since the area on the inspection sheet is inspected, defects such as irregularities become dark portions and high contrast can be obtained, so that it is possible to detect irregularities such as irregularities that were impossible with conventional devices.

また、欠陥と判定したとき、実際のシート上の欠陥情報を印字マーカーで、製品として使用されないシート縁部に印字することで後日の検査者に判り易くしている。
また、欠陥と判定した欠陥情報とその画像をメモリに保存することで、品質管理者が事後再判定する事や発生起因解析材料のひとつになった。その際、表面欠陥データを見易いように種々のグラグや画像をマルチウインドウで表示したので、判定が早く正確に行うことが出来るようになる。
Further, when it is determined as a defect, the defect information on the actual sheet is printed on a sheet edge portion which is not used as a product with a print marker, so that it can be easily understood by an inspector at a later date.
In addition, by storing defect information and images determined as defects in a memory, it has become one of the materials that cause the quality manager to re-determine and analyze the cause of occurrence. At this time, since various grags and images are displayed in a multi-window so that the surface defect data can be easily seen, the determination can be made quickly and accurately.

以上の表示画面はプリンタでプリントして紙資料として残すことができる。
また、過去データを数ファイル集計して比較参照する機能も有しており、データ処理は多岐に渡っている。なお、検査機動作中でも検査に影響することなく、過去データを読み出して参照することにも制限はない。
The above display screen can be printed by a printer and left as paper material.
In addition, it has a function of compiling and comparing several files of past data, and data processing is diverse. Note that there is no restriction on reading and referring to past data without affecting the inspection even during the operation of the inspection machine.

透明カバーシートに発生する4種類の表面欠陥を説明する図で、(a)は透明カバーシートの塗布面表面にできた突起状欠陥、(b)は透明カバーシートの塗布面表面に付着した異物欠陥、(c)は透明カバーシートの塗布面表面にできたキズ欠陥、(d)は透明カバーシートの塗布面表面に窪んでできた凹み欠陥である。It is a figure explaining the four types of surface defects which generate | occur | produce in a transparent cover sheet, (a) is a protrusion-like defect made on the coating surface surface of a transparent cover sheet, (b) is a foreign substance adhering to the coating surface surface of a transparent cover sheet. Defects, (c) are scratch defects formed on the coated surface of the transparent cover sheet, and (d) are dent defects formed on the coated surface of the transparent cover sheet. 本発明に係るシート表面の欠陥検査装置の斜視図、照射位置と検査位置の関係を示す概念図である。It is a perspective view of the defect inspection apparatus of the sheet | seat surface which concerns on this invention, and a conceptual diagram which shows the relationship between an irradiation position and an inspection position. 本発明で用いるロッド照明装置の一例を説明する図で、(a)の(イ)はロッド照明装置の正面図、(ロ)は側面図である。また(b)は石英ロッドの断面図、(c)はロッド照明装置の照度分布図である。It is a figure explaining an example of the rod illuminating device used by this invention, (a) (a) is a front view of a rod illuminating device, (b) is a side view. (B) is a sectional view of the quartz rod, and (c) is an illuminance distribution diagram of the rod illumination device. 照射位置と遮光マスクと検査位置の関係を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the relationship between an irradiation position, a light shielding mask, and an inspection position. 遮光マスクの機能について説明する図で、(a)は本発明による遮光マスクを置かない場合の透明シート上の照射状態、(b)は本発明で使用する遮光マスク、(c)は遮光マスクを置いた場合の透明シート上の照射状態の各平面図をそれぞれ示している。It is a figure explaining the function of a light-shielding mask, (a) is the irradiation state on the transparent sheet when not placing the light-shielding mask according to the present invention, (b) is a light-shielding mask used in the present invention, and (c) is a light-shielding mask. Each plan view of the irradiation state on the transparent sheet when placed is shown. 実施例2に係る検査装置を示すもので、(a)は被検査シートPの幅方向の左側を検査する検査装置と、(b)は幅方向の右側を検査するの検査装置とを示している。The inspection apparatus which concerns on Example 2 is shown, (a) shows the inspection apparatus which test | inspects the left side of the width direction of the to-be-inspected sheet P, (b) shows the inspection apparatus which inspects the right side of the width direction. Yes. 実施例1及び2の検査ステーションと実施例3に印字ステーションの位置関係を説明する概念斜視図である。FIG. 6 is a conceptual perspective view illustrating the positional relationship between an inspection station according to Examples 1 and 2 and a printing station according to Example 3. 検査・印字システム全体を説明する概念構成図である。It is a conceptual block diagram explaining the whole inspection and printing system. 実施例3に係る印字ステーションIIが行う作業の1例を説明する図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of work performed by the printing station II according to the third embodiment, where (a) is a plan view and (b) is a side view. 実施例4である「欠陥詳細アドレス」表示画面の1例である。FIG. 10 is an example of a “detailed defect address” display screen that is Embodiment 4. FIG. 実施例5である「マップ」表示画面の1例である。FIG. 10 is an example of a “map” display screen that is Embodiment 5. FIG. 実施例6である「マルチ画像」表示画面の1例である。FIG. 10 is an example of a “multi-image” display screen that is Embodiment 6. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10,10’本発明に係るシート表面の欠陥検査装置
20 ロッド照明装置
21 反射ミラー
22 ハロゲンランプ光源
23 長軸体のロッド
30 バックアップロール
40 受光装置
50 遮光マスク
P 透明シート
10, 10 ′ Sheet surface defect inspection device 20 according to the present invention Rod illumination device 21 Reflection mirror 22 Halogen lamp light source 23 Long axis rod 30 Backup roll 40 Light receiving device 50 Light shielding mask P Transparent sheet

Claims (16)

搬送される被検査シートに光を照射し、該被検査シート上で反射した光を受光装置で受光することにより被検査シート表面の欠陥を検査する被検査シート表面欠陥検査方法において、前記被検査シートに照射する光の主光領域に遮光マスクをし、該遮光マスクの横を通過する光が照射する前記被検査シート上の領域を検査するようにしたことを特徴とする被検査シートの表面検査方法。   In the inspection sheet surface defect inspection method for inspecting a defect on the inspection sheet surface by irradiating the inspection sheet to be conveyed with light and receiving the light reflected on the inspection sheet with a light receiving device. A surface of a sheet to be inspected, characterized in that a light shielding mask is provided on a main light region of light irradiated on the sheet, and the region on the sheet to be inspected that is irradiated with light passing through the side of the light shielding mask is inspected. Inspection method. 前記被検査シートをバックアップロール上へ搬送させて、該被検査シートを前記バックアップロール上で検査することを特徴とする請求項1記載の被検査シートの表面検査方法。   2. The surface inspection method for an inspection sheet according to claim 1, wherein the inspection sheet is conveyed onto a backup roll and the inspection sheet is inspected on the backup roll. 前記被検査シートが透明シートであることを特徴とする請求項1又は2記載の被検査シートの表面の欠陥検査方法。   3. The method for inspecting a defect on a surface of an inspected sheet according to claim 1, wherein the inspected sheet is a transparent sheet. 欠陥が検出された位置を前記シートに指示するため、前記シートの幅方向側縁に巻長、欠陥位置および欠陥ランクの少なくとも1つを印字することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の被検査シートの表面の欠陥検査方法。   4. At least one of a winding length, a defect position, and a defect rank is printed on a side edge in the width direction of the sheet in order to indicate to the sheet a position where a defect is detected. A method for inspecting defects on the surface of a sheet to be inspected according to 1. バックアップロールと、該バックアップロール上を走行するシートを照射するロッド照明装置と、該ロッド照明装置が前記シートを照射する主光照射領域を遮光する遮光マスクと、前記シートから反射した光を明暗信号として取り込む受光装置と、を備えたことを特徴とするシート表面の欠陥検査装置。   A backup roll, a rod illumination device that irradiates a sheet traveling on the backup roll, a light-shielding mask that shields a main light irradiation area that the rod illumination device irradiates the sheet, and a light-dark signal that reflects light reflected from the sheet A sheet surface defect inspection apparatus, comprising: 前記バックアップロールは黒色つや消しのものであることを特徴とする請求項5記載のシート欠陥検査装置。   6. The sheet defect inspection apparatus according to claim 5, wherein the backup roll is a matte black mat. 前記受光装置はラインCCDカメラであることを特徴とする請求項5又は6記載のシート欠陥検査装置。   7. The sheet defect inspection apparatus according to claim 5, wherein the light receiving device is a line CCD camera. 請求項5〜7のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置を複数台併置したことを特徴とするシート欠陥検査装置。   A sheet defect inspection apparatus comprising a plurality of sheet defect inspection apparatuses according to any one of claims 5 to 7. 請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、前記シート欠陥検査装置のシート搬送方向下流に配設されて前記欠陥検査装置が検出した欠陥の位置アドレスを前記シートに記入する欠陥アドレス印字マーカーと、シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記欠陥アドレス印字マーカーに出力するパソコンとを備えたことを特徴とする欠陥検査システム。   The sheet defect inspection apparatus according to any one of claims 5 to 8, and a position address of a defect that is disposed downstream of the sheet defect inspection apparatus in the sheet conveyance direction and detected by the defect inspection apparatus is written on the sheet. A defect inspection system comprising: a defect address print marker; and a personal computer that calculates a defect address based on inspection data from a sheet defect inspection apparatus and outputs the defect address to the defect address print marker. 前記パソコンはさらに前記欠陥アドレス印字マーカーに欠陥のランクを記入させることを特徴とする請求項9記載の欠陥検査システム。   The defect inspection system according to claim 9, wherein the personal computer further causes a defect rank to be entered in the defect address printing marker. 前記シートの測長を記入する測長印字マーカーを備え、前記パソコンが前記測長印字マーカーに前記シートの測長を記入させることを特徴とする請求項9又は10記載の欠陥検査システム。   11. The defect inspection system according to claim 9, further comprising a length measurement printing marker for entering the length measurement of the sheet, wherein the personal computer causes the length measurement print marker to enter the length measurement of the sheet. 前記欠陥アドレス印字マーカーおよび測長印字マーカーは前記シートの互いに端縁に配設されたことを特徴とする請求項11記載の欠陥検査システム。   The defect inspection system according to claim 11, wherein the defect address print marker and the length measurement print marker are disposed at edges of each other of the sheet. 請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、画像表示モニタと、前記シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記画像表示モニタに出力するパソコンとを備えた欠陥検査システムにおいて、欠陥のアドレスを前記画像表示モニタの二次元平面上に数値で表わす詳細アドレス画面を表示させることを特徴とする欠陥検査システム。   9. A sheet defect inspection apparatus according to claim 5, an image display monitor, and a personal computer that calculates a defect address based on inspection data from the sheet defect inspection apparatus and outputs the defect address to the image display monitor. A defect inspection system comprising: a detailed address screen for displaying a defect address numerically on a two-dimensional plane of the image display monitor. 請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、画像表示モニタと、前記シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記画像表示モニタに出力するパソコンとを備えた欠陥検査システムにおいて、欠陥の位置を前記画像表示モニタの二次元平面上にドットで表わすマップ画面を表示させることを特徴とする欠陥検査システム。   9. A sheet defect inspection apparatus according to claim 5, an image display monitor, and a personal computer that calculates a defect address based on inspection data from the sheet defect inspection apparatus and outputs the defect address to the image display monitor. A defect inspection system comprising: a defect inspection system that displays a map screen in which dots are displayed on a two-dimensional plane of the image display monitor. 請求項5〜8のいずれか1項記載のシート欠陥検査装置と、画像表示モニタと、前記シート欠陥検査装置からの検査データを基に欠陥アドレスを演算し前記画像表示モニタに出力するパソコンとを備えた欠陥検査システムにおいて、複数の欠陥画像を前記画像表示モニタの二次元平面上にマルチ画像で表わすマルチ画像表示画面を表示させることを特徴とする欠陥検査システム。   9. A sheet defect inspection apparatus according to claim 5, an image display monitor, and a personal computer that calculates a defect address based on inspection data from the sheet defect inspection apparatus and outputs the defect address to the image display monitor. A defect inspection system comprising: a defect inspection system that displays a plurality of defect images on a two-dimensional plane of the image display monitor as a multi-image display screen. さらにメモリを備え、前記シート欠陥検査装置からの検査データを前記メモリに保存し、該メモリに保存された検査データを基に前記詳細アドレス画面、前記マップ画面、前記マルチ画像表示画面の少なくとも1つを表示させることを特徴とする請求項13〜15のいずれか1項記載の欠陥検査システム。   And a memory, wherein inspection data from the sheet defect inspection apparatus is stored in the memory, and at least one of the detailed address screen, the map screen, and the multi-image display screen based on the inspection data stored in the memory The defect inspection system according to claim 13, wherein the defect inspection system is displayed.
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