JP2006205303A - Method of manufacturing mold and forming mold - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a mold, and a forming mold capable of setting the arranging direction of a recessed part or a projection part of the mold in the desired direction. <P>SOLUTION: A mark 112 for indicating the arranging direction on design of the recessed part, is formed in advance on a base material 10 of the forming mold. This mark 112 is imaged by an imaging means 34, and dislocation between the indicating direction of the mark 112 and the moving direction of a Y stage 42 and an X stage 43 of a jig 4 is detected. When the dislocation is a predetermined value or more, an inclination of the base material 10 is adjusted by rotatingly driving a rotary stage body 442 of a rotary stage 44 of the jig 4. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、成形品の製造方法、成形型に関する。   The present invention relates to a method for producing a molded article and a mold.

従来から、表面に複数の凹部又は凸部がマトリクス状に形成された成形品、例えば、レンズアレイを製造するための成形型を製造する際には、凹部又は凸部を加工するための工具と、この工具に対向配置された保持部とを備えた加工機を使用している。加工機の保持部に母材が固定された治具を保持させ、治具のステージを凹部又は凸部の配列方向に沿って駆動することで母材の位置を調整し、複数の凹部又は凸部を順次形成している(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, when manufacturing a molded product having a plurality of recesses or projections formed in a matrix on the surface, for example, a mold for manufacturing a lens array, a tool for processing the recesses or projections A processing machine provided with a holding portion disposed opposite to the tool is used. Hold the jig with the base material fixed to the holding part of the processing machine, and adjust the position of the base material by driving the jig stage along the arrangement direction of the concave parts or convex parts. The parts are sequentially formed (see, for example, Patent Document 1).

特開平11−179601号公報(第3〜第5頁、図1)Japanese Patent Laid-Open No. 11-179601 (pages 3 to 5 and FIG. 1)

このように、治具のステージを凹部又は凸部の配列方向に沿って移動させて、凹部又は凸部の加工を順次行う場合、母材の凹部又は凸部の設計上の配列方向と、治具のステージの移動方向とが一致していないと、成形型の外周部に対する凹部又は凸部の配列方向が所望の方向とならず、凹部又は凸部の配列方向が傾いた状態となる。
外周部に対して凹部又は凸部の配列方向が傾いた成形型を用いてレンズアレイを製造すると、外周部に対し、小レンズの配列方向が傾いたレンズアレイができてしまう。
レンズアレイを光学機器に搭載する際には、レンズアレイの外形を基準とし、レンズアレイを設置するため、小レンズの配列方向が傾いたレンズアレイを搭載すると、レンズアレイの光軸が所望の位置になく、光学機器の明るさの向上を図ることができないという問題が生じる。
Thus, when the jig stage is moved along the arrangement direction of the recesses or projections and the recesses or projections are sequentially processed, the design arrangement direction of the recesses or projections of the base material and the healing direction are determined. If the moving direction of the tool stage does not match, the arrangement direction of the recesses or projections with respect to the outer periphery of the mold is not a desired direction, and the arrangement direction of the depressions or projections is inclined.
If a lens array is manufactured using a mold in which the arrangement direction of the concave portions or the convex portions is inclined with respect to the outer peripheral portion, a lens array in which the arrangement direction of the small lenses is inclined with respect to the outer peripheral portion is formed.
When mounting a lens array on an optical device, the lens array is set based on the outer shape of the lens array. Therefore, if a lens array with a small lens arrangement direction is mounted, the optical axis of the lens array is at the desired position. Therefore, there arises a problem that the brightness of the optical device cannot be improved.

本発明の目的は、成形品の凹部又は凸部の配列方向を所望の方向とすることができる成形品の製造方法、成形型を提供することである。   The objective of this invention is providing the manufacturing method of a molded article, and a shaping | molding die which can make the arrangement direction of the recessed part or convex part of a molded article into a desired direction.

本発明の成形品の製造方法は、表面に複数の凹部又は凸部がマトリクス状に配置された成形品の製造方法であって、前記成形品の母材表面に、前記凹部又は凸部の配列方向を示すマークを形成するマーク形成工程と、加工機を使用し、成形品の母材表面に前記凹部又は凸部を加工する加工工程とを備え、前記加工機は、前記母材を回転可能に保持する保持部と、保持部に保持された母材表面に切削又は研削によって凹部又は凸部を形成する加工部とを備え、前記母材は、前記保持部に対し、治具を介して取り付けられ、この治具は、前記凹部又は凸部の配列方向に沿って母材を移動させるステージと、このステージ上に設けられた回転ステージとを有しており、前記加工工程の前段で、前記母材を治具に取り付けて、前記マーク形成工程で形成されたマークと、治具のステージの移動方向とのずれを検出し、この検出結果に基づいて、回転ステージを駆動し、母材を回転させて、母材の凹部又は凸部の配列方向と治具のステージの移動方向とを略一致させる母材移動方向調整工程を実施することを特徴とする。   The method for manufacturing a molded product according to the present invention is a method for manufacturing a molded product in which a plurality of concave portions or convex portions are arranged in a matrix on the surface, and the array of the concave portions or convex portions is provided on the base material surface of the molded product. A mark forming step for forming a mark indicating a direction, and a processing step for processing the concave portion or the convex portion on the surface of the base material of the molded product using a processing machine, wherein the processing machine is capable of rotating the base material. And a processing portion that forms a concave portion or a convex portion by cutting or grinding on the surface of the base material held by the holding portion, and the base material is connected to the holding portion via a jig. The jig, which is attached, has a stage for moving the base material along the direction of arrangement of the concave or convex portions, and a rotary stage provided on the stage. Attach the base material to a jig and form it in the mark forming process. The deviation between the mark and the moving direction of the stage of the jig is detected, and based on the detection result, the rotating stage is driven to rotate the base material, and the arrangement direction of the concave or convex portions of the base material A base material moving direction adjusting step is performed in which the moving direction of the stage of the jig substantially coincides.

本発明の成形品は、凹部がマトリクス状に配置されたものであってもよく、また、凸部がマトリクス状に配置されたものであってもよい。
このような本発明によれば、母材に凹部又は凸部の配列方向を示すマークが形成されており、加工工程では、前記母材を治具のステージに取り付けて、前記マーク形成工程で形成されたマークと、治具のステージの移動方向とのずれを検出し、この検出結果に基づいて、回転ステージを回転駆動して、母材を回転し、母材の凹部又は凸部の配列方向と治具のステージの移動方向とを略一致させているので、母材に形成される凹部又は凸部の配列方向を所望の方向とすることができる。
例えば、成形品がレンズアレイを製造するための成形型である場合には、成形型の外周部に対し、所望の方向に凹部又は凸部が配列した成形型を得ることができる。
この成形型を用いてレンズアレイを製造すれば、小レンズの配列方向がレンズアレイの外周部に対し所望の方向となるので、このようなレンズアレイを光学機器に搭載した際に、小レンズの配列方向のずれによる明るさの低下を引き起こすことがない。
The molded product of the present invention may have concave portions arranged in a matrix, or may have convex portions arranged in a matrix.
According to the present invention, the mark indicating the arrangement direction of the concave portion or the convex portion is formed on the base material. In the processing step, the base material is attached to the stage of the jig and formed in the mark forming step. The deviation between the marked mark and the moving direction of the stage of the jig is detected, and based on the detection result, the rotating stage is driven to rotate, the base material is rotated, and the arrangement direction of the concave or convex portions of the base material And the moving direction of the jig stage substantially coincide with each other, so that the arrangement direction of the concave portions or the convex portions formed in the base material can be set as a desired direction.
For example, when the molded product is a molding die for manufacturing a lens array, a molding die in which concave portions or convex portions are arranged in a desired direction with respect to the outer peripheral portion of the molding die can be obtained.
When a lens array is manufactured using this mold, the arrangement direction of the small lenses becomes a desired direction with respect to the outer periphery of the lens array. Therefore, when such a lens array is mounted on an optical apparatus, It does not cause a decrease in brightness due to a shift in the arrangement direction.

本発明では、前記治具のステージには、ステージの移動方向を示すマークが形成されており、前記母材移動方向調整工程の前段では、前記治具を加工機の保持部に取り付け、前記ステージに形成されたマークの示す方向と、鉛直方向及び/又は水平方向とのずれを検出し、この検出結果に基づいて、ステージの移動方向と、鉛直方向及び/又は水平方向とを略一致させることが好ましい。
このような本発明では、ステージに形成されたマークに基づいてステージの移動方向を鉛直方向及び/又は水平方向に設定しているので、ステージの傾きを容易に調整することができる。
In the present invention, a mark indicating the moving direction of the stage is formed on the stage of the jig, and the jig is attached to a holding part of a processing machine before the base material moving direction adjustment step, and the stage The deviation between the direction indicated by the mark formed on the vertical direction and / or the horizontal direction is detected, and the moving direction of the stage and the vertical direction and / or the horizontal direction are substantially matched based on the detection result. Is preferred.
In the present invention, the stage moving direction is set to the vertical direction and / or the horizontal direction based on the marks formed on the stage, so that the tilt of the stage can be easily adjusted.

さらに、本発明では、前記治具は、前記加工機の保持部に固定される基部と、この基部上に摺動自在に設けられた前記ステージと、このステージに当接し、ステージの位置決めを行なう位置決め部とを備え、前記母材移動方向調整工程と、前記加工工程との間で、前記母材の表面の前記凹部又は凸部の中心に対応する位置のうち、何れか一つを基準位置とし、この基準位置と保持部の回転軸とを一致させる原点出し工程と、前記母材の基準位置と、他の凹部又は凸部の中心に対応する位置との距離に応じた調整スペーサを用意し、ステージを摺動させ、前記調整スペーサを介して前記位置決め部を前記ステージに当接させることにより、保持部の回転軸と母材表面の凹部又は凸部の中心とを合わせる調整工程とを実施することが好ましい。   Furthermore, in the present invention, the jig contacts the stage fixed to the holding part of the processing machine, the stage slidably provided on the base, and positions the stage. A positioning portion, and between the base material moving direction adjustment step and the processing step, one of the positions corresponding to the center of the concave portion or convex portion of the surface of the base material is a reference position And an adjustment spacer according to the distance between the reference position of the base material and the position corresponding to the center of the other concave or convex portion is prepared. And adjusting the rotation axis of the holding portion and the center of the concave portion or convex portion of the base material surface by sliding the stage and bringing the positioning portion into contact with the stage via the adjustment spacer. It is preferable to implement.

このような本発明によれば、母材表面の凹部又は凸部の加工中心に対向する基準位置と、他の凹部又は凸部の加工中心に対応する位置との距離に応じた調整スペーサを用意し、前記基準位置と、保持部の回転軸とを一致させた後、ステージを摺動し、前記調整スペーサを介してステージと位置決め部とを当接させているため、保持部の回転軸と、母材の表面の凹部又は凸部の加工中心に対応する位置とを正確に一致させることができる。
このように、調整スペーサを介してステージと位置決め部とを当接させる、すなわち、調整スペーサをステージと位置決め部との間に挟むだけで、保持部の回転軸と、母材の凹部又は凸部の加工中心に対応する位置とを一致させることができるので、ステージの位置決めを手間をかけずに迅速、かつ容易に行うことができる。
そして、このように、ステージの位置決めを迅速に行うことができるので、成形品の製造時間を短縮することができる。
According to the present invention, an adjustment spacer is prepared in accordance with the distance between the reference position facing the processing center of the concave or convex portion on the surface of the base material and the position corresponding to the processing center of another concave or convex portion. Then, after the reference position and the rotation axis of the holding portion are matched, the stage is slid and the stage and the positioning portion are brought into contact with each other via the adjustment spacer. The position corresponding to the processing center of the concave portion or the convex portion on the surface of the base material can be exactly matched.
In this manner, the stage and the positioning portion are brought into contact with each other via the adjustment spacer, that is, the rotation shaft of the holding portion and the concave portion or the convex portion of the base material are simply sandwiched between the stage and the positioning portion. Since the position corresponding to the machining center can be made coincident with each other, the stage can be positioned quickly and easily without trouble.
Since the stage can be positioned quickly in this way, the manufacturing time of the molded product can be shortened.

本発明の成形型は、レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した凹部又は凸部が形成された成形型であって、上述した何れかの製造方法により製造されたことを特徴とする。
本発明の成形型は、上述した何れかに記載の製造方法により製造されたものであるため、所望の方向に沿って凹部又は凸部が配列した成形型となる。
The molding die of the present invention is a molding die for molding a lens array, and is a molding die in which concave portions or convex portions corresponding to small lenses arranged in a matrix shape of the lens array are formed on the molding surface, It is manufactured by any of the manufacturing methods described above.
Since the shaping | molding die of this invention is manufactured by the manufacturing method in any one of the above-mentioned, it becomes a shaping | molding die in which the recessed part or the convex part was arranged along the desired direction.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
[成形型の構成]
図1には、本実施形態の成形型1が示されている。
この成形型1は、成形面(表面)11に複数の凹部111が形成されたものである。この凹部111はマトリクス状に配置されており、行を横一並びの要素、列を縦一並びの要素とすると、例えば、6行×4列で配置されている。
この成形型1は、レンズアレイ8(図15参照)の製造に使用される型であり、凹部111はレンズアレイ8の小レンズ81に対応したものとなっている。
成形型1は平面略矩形形状であり、成形面11の四隅には、凹部111の配列方向を示す十字状のマーク112が形成されている。このマーク112は、凹状に窪んで形成されており、マーク112の一方の辺112Aは、凹部111の配列の一方の方向と略平行であり、他方の辺112Bは、凹部111の配列の他方の方向と略平行である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Configuration of mold]
FIG. 1 shows a mold 1 of the present embodiment.
The mold 1 has a molding surface (surface) 11 formed with a plurality of recesses 111. The concave portions 111 are arranged in a matrix, and are arranged in, for example, 6 rows × 4 columns, where rows are arranged in a row and columns are arranged in a row.
The mold 1 is a mold used for manufacturing the lens array 8 (see FIG. 15), and the concave portion 111 corresponds to the small lens 81 of the lens array 8.
The molding die 1 has a substantially rectangular shape on a plane, and at the four corners of the molding surface 11, cross-shaped marks 112 indicating the arrangement direction of the recesses 111 are formed. The mark 112 is formed in a concave shape, and one side 112A of the mark 112 is substantially parallel to one direction of the array of the recesses 111, and the other side 112B is the other side of the array of the recesses 111. It is substantially parallel to the direction.

[加工機の構成]
図2には、この成形型1を製造するための加工機3が示されている。
この加工機3は、成形型1の母材10を保持する保持部31と、母材10の表面に凹部111を加工する加工部32とを備える。
ここで母材10とは、成形型1の成形面に完全な形状の凹部111が形成されていない状態のものをいう。
加工機3の保持部31は、加工部32側に向かって延びる円柱状に形成されており、加工部32側の円形状の面311(図4参照)に母材10が取り付けられた治具4が取り付けられる。
この保持部31は、その基端側(面311と反対側)に設けられた支持部33により支持されている。そして、保持部31は、Z軸に沿って進退可能となっており、加工部32のディスク型砥石321に対して進退する構成となっている。また、この保持部31は、保持部31の円形状の面311の中心を通る中心軸を回転軸312として、矢印R1方向或いは反矢印R1方向に回転可能に構成されている。なお、保持部31の回転軸312は、Z軸と平行である。
[Processing machine configuration]
FIG. 2 shows a processing machine 3 for manufacturing the mold 1.
The processing machine 3 includes a holding unit 31 that holds the base material 10 of the mold 1 and a processing unit 32 that processes the recess 111 on the surface of the base material 10.
Here, the base material 10 refers to a material in which the concave portion 111 having a complete shape is not formed on the molding surface of the mold 1.
The holding unit 31 of the processing machine 3 is formed in a columnar shape extending toward the processing unit 32 side, and a jig in which the base material 10 is attached to a circular surface 311 (see FIG. 4) on the processing unit 32 side. 4 is attached.
The holding portion 31 is supported by a support portion 33 provided on the base end side (the side opposite to the surface 311). The holding portion 31 can be advanced and retracted along the Z axis, and is configured to advance and retract with respect to the disc-type grindstone 321 of the processing portion 32. In addition, the holding portion 31 is configured to be rotatable in the direction of the arrow R1 or the counter arrow R1 with the central axis passing through the center of the circular surface 311 of the holding portion 31 as the rotation axis 312. The rotating shaft 312 of the holding unit 31 is parallel to the Z axis.

加工部32は、工具としてのディスク型砥石321と、このディスク型砥石321が先端に取り付けられる砥石軸322と、軸受け部323とを備え、加工部32端部にはこの砥石軸322を回転させる図示しないモーター部を備える。
なお、本実施形態の加工部32はディスク型砥石321を備え、母材10の表面を研削加工し、凹部111を形成するものであるが、これに限らず、例えば、図3に示すように、ディスク型砥石321に換えて、切削工具321’を備える加工部32’としてもよい。この切削工具321’は、平面略円形状の円盤部321A’と、この円盤部321A’に設けられ、外方に突出した切削部321B’とを備える。このような切削工具321’を使用することで、母材10表面に切削により凹部111を形成することが可能となる。
また、軸受け部323にバイト台を固定し凹部111を切削加工するようにしてもよい。
砥石軸322は、保持部31の進退方向に対して直交する2方向、すなわち、Y軸方向、X軸方向に移動可能となっている。また、砥石軸322の軸方向とY軸方向とは平行である。
The processing unit 32 includes a disc-type grindstone 321 as a tool, a grindstone shaft 322 to which the disc-type grindstone 321 is attached, and a bearing portion 323, and the grindstone shaft 322 is rotated at the end of the processing unit 32. A motor unit (not shown) is provided.
In addition, the processing part 32 of this embodiment is provided with the disk-type grindstone 321 and grinds the surface of the base material 10 to form the recess 111. However, the present invention is not limited to this, for example, as shown in FIG. Instead of the disk-type grindstone 321, a processing unit 32 ′ including a cutting tool 321 ′ may be used. The cutting tool 321 ′ includes a substantially circular disk portion 321A ′ and a cutting portion 321B ′ provided on the disk portion 321A ′ and protruding outward. By using such a cutting tool 321 ′, it is possible to form the recess 111 on the surface of the base material 10 by cutting.
Alternatively, the bite base may be fixed to the bearing portion 323 and the recess 111 may be cut.
The grindstone shaft 322 is movable in two directions orthogonal to the advancing / retreating direction of the holding portion 31, that is, in the Y-axis direction and the X-axis direction. Further, the axial direction of the grindstone shaft 322 and the Y-axis direction are parallel.

従って、このような砥石軸322に取り付けられたディスク型砥石321は、Y軸方向、X軸方向に移動可能であるとともに、砥石軸322の回転に伴ってY軸に沿った軸を回転軸として回転可能となっている。
このような加工機3では、保持部31により母材10を回転させるとともに、母材10をZ軸方向に沿って移動させる。さらに、ディスク型砥石321を回転させながら、母材10の表面に当接させ、ディスク型砥石321をY軸方向、X軸方向に移動させる。このようにして、母材10に凹部111が形成される。
なお、研削を行う際には、ディスク型砥石321と母材10の表面との間には図示しない研削液が供給される。
このような加工機3によりマトリクス状に形成される凹部111の配列方向は、加工機3のX軸方向と、Y軸方向に沿ったものとなる。
なお、加工機3の砥石軸322には、撮像手段34、例えば、CCDカメラ等が取り付けられている。この撮像手段34は、保持部31に取り付けられた母材10のマーク112を撮像するためのものである。
Therefore, the disc-type grindstone 321 attached to such a grindstone shaft 322 can move in the Y-axis direction and the X-axis direction, and the axis along the Y-axis as the grindstone shaft 322 rotates is used as a rotation axis. It can be rotated.
In such a processing machine 3, the base material 10 is rotated by the holding unit 31 and the base material 10 is moved along the Z-axis direction. Further, while rotating the disc type grindstone 321, the disc type grindstone 321 is brought into contact with the surface of the base material 10, and the disc type grindstone 321 is moved in the Y axis direction and the X axis direction. In this way, the recess 111 is formed in the base material 10.
When grinding is performed, a grinding liquid (not shown) is supplied between the disk-type grindstone 321 and the surface of the base material 10.
The arrangement direction of the concave portions 111 formed in a matrix by such a processing machine 3 is along the X-axis direction and the Y-axis direction of the processing machine 3.
An imaging means 34, for example, a CCD camera or the like is attached to the grindstone shaft 322 of the processing machine 3. The imaging unit 34 is for imaging the mark 112 of the base material 10 attached to the holding unit 31.

[治具の構成]
図2、図4〜図8を参照して、母材10を加工機3の保持部31に取り付けるための治具4について説明する。
この治具4は、保持部31の面311に固定されるとともに、基部41が取り付けられる基部取り付け板40と、この基部取り付け板40に取り付けられる基部41と、基部41上をY軸方向に沿って摺動するYステージ(第一ステージ)42と、Yステージ42上をX軸方向に沿って摺動するXステージ(第二ステージ)43と、Xステージ43上に固定された回転ステージ44と、Yステージ42の位置決めを行う位置決め部45Yと、Xステージ43の位置決めを行う位置決め部45Xと、スペーサ46(図7,図8参照)とを備える。
[Jig configuration]
The jig 4 for attaching the base material 10 to the holding portion 31 of the processing machine 3 will be described with reference to FIGS. 2 and 4 to 8.
The jig 4 is fixed to the surface 311 of the holding portion 31 and has a base mounting plate 40 to which the base 41 is mounted, a base 41 to be mounted on the base mounting plate 40, and the base 41 on the Y axis direction. A Y stage (first stage) 42, a X stage (second stage) 43 sliding on the Y stage 42 along the X-axis direction, and a rotary stage 44 fixed on the X stage 43. A positioning unit 45Y for positioning the Y stage 42, a positioning unit 45X for positioning the X stage 43, and a spacer 46 (see FIGS. 7 and 8).

基部取り付け板40は、Z軸方向から見て平面略円形形状であり、この基部取り付け板40の保持部31の面311側と反対側の面には、基部41がねじで固定される。
基部41は、平面略矩形形状であり、基部41のYステージ42側の面には、Y軸方向に沿って延びるとともに、保持部31側に窪んだ溝部411が形成されている。この基部41の側面は、図2のX軸又はY軸に略平行な面となっている。
Yステージ42も基部41と同様、Z軸方向から見て平面略矩形形状である。このYステージ42は、基部41上に設置される平面矩形形状の第一部材42Aと、この第一部材42A上に設置される平面略矩形形状の第二部材42Bと、当接部42Cを備えている。
なお、第一部材42Aと第二部材42Bとはねじで固定され一体化されており、第一部材42A及び第二部材42Bの側面は、X軸又はY軸と略平行な面となっている。ここで、第一部材42Aの4つの側面のうち、摺動方向に沿った一方の側面42A2とし、他方の側面を42A3(図5参照)とする。また、第二部材42Bの4つの側面のうち、摺動方向に直交する一方の側面を側面42B1(図5参照)とし、他方の側面を42B3とする。
The base mounting plate 40 has a substantially circular shape when viewed from the Z-axis direction, and the base 41 is fixed to the surface of the base mounting plate 40 on the side opposite to the surface 311 side with screws.
The base 41 has a substantially rectangular planar shape, and a groove 411 that extends along the Y-axis direction and is recessed toward the holding portion 31 is formed on the surface of the base 41 on the Y stage 42 side. The side surface of the base portion 41 is a surface substantially parallel to the X axis or the Y axis in FIG.
Similarly to the base portion 41, the Y stage 42 has a substantially rectangular shape when viewed from the Z-axis direction. The Y stage 42 includes a planar rectangular first member 42A installed on the base 41, a planar substantially rectangular second member 42B installed on the first member 42A, and a contact portion 42C. ing.
The first member 42A and the second member 42B are fixed and integrated with a screw, and the side surfaces of the first member 42A and the second member 42B are substantially parallel to the X axis or the Y axis. . Here, of the four side surfaces of the first member 42A, one side surface 42A2 along the sliding direction is defined, and the other side surface is defined as 42A3 (see FIG. 5). Of the four side surfaces of the second member 42B, one side surface orthogonal to the sliding direction is a side surface 42B1 (see FIG. 5), and the other side surface is 42B3.

第一部材42Aの基部41側の面には、Y軸方向に沿って延びるとともに、基部41側に突出したレール部42A1が形成されている。このレール部42A1は、前記基部41の溝部411に嵌め込まれ、Y軸方向に沿って溝部411内を摺動する。第一部材42Aは、図6〜図8に示すように、第一部材42Aを摺動させていない初期状態から反矢印Y1側にのみ摺動可能となっており、図示しないばね等の付勢手段により、矢印Y1方向に付勢されている。すなわち、Yステージ42は、初期状態から一方向側にのみ摺動可能となっている。
また、図2及び図4に示すように、第二部材42BのXステージ43側の面には、X軸方向に延びる溝部42B2が形成されている。
当接部42Cは、直方体形状のブロックであり、第一部材42Aの摺動方向に沿った一方の側面42A2に取り付けられている。この当接部42Cには、第一部材42Aの摺動方向に沿って突出した略半球状の度当たり部42C1が形成されている。
A rail portion 42A1 that extends along the Y-axis direction and protrudes toward the base portion 41 side is formed on the surface of the first member 42A on the base portion 41 side. The rail portion 42A1 is fitted into the groove portion 411 of the base portion 41 and slides in the groove portion 411 along the Y-axis direction. As shown in FIGS. 6 to 8, the first member 42 </ b> A is slidable only from the initial state in which the first member 42 </ b> A is not slid toward the opposite arrow Y <b> 1, and is biased by a spring or the like (not shown). By means, it is urged in the direction of arrow Y1. That is, the Y stage 42 can slide only in one direction from the initial state.
2 and 4, a groove 42B2 extending in the X-axis direction is formed on the surface of the second member 42B on the X stage 43 side.
The contact portion 42C is a rectangular parallelepiped block, and is attached to one side surface 42A2 along the sliding direction of the first member 42A. The abutting portion 42C is formed with a substantially hemispherical contact portion 42C1 protruding along the sliding direction of the first member 42A.

Xステージ43もYステージ42及び基部41と同様、Z軸方向から見て平面矩形形状となっている。このXステージ43は、ステージ本体43Aと、当接部43Bとを備える。
ステージ本体43Aは、Yステージ42上に設けられており、ステージ本体43AのYステージ42側の面には、X軸方向に沿って延びるとともに、Yステージ43側に突出したレール部43A1が形成されている。このレール部43A1は、Yステージ42の溝部42B2に嵌め込まれ、溝部42B2内を摺動する。
このようなステージ本体43Aの4つの側面は、図2のX軸又はY軸に略平行な面となっており、ステージ本体43Aの摺動方向に沿った一方の側面を側面43A2とし、摺動方向に沿った他方の側面を側面43A3とする。
ステージ本体43Aは、図6〜図8に示すように、ステージ本体43Aを摺動させていない初期状態から反矢印X1側にのみ摺動可能となっており、図示しないばね等の付勢手段により、矢印X1方向に付勢されている。すなわち、Xステージ43は、初期状態から一方向側にのみ摺動可能となっている。
図2,図4に示すように、当接部43Bは、直方体形状のブロックであり、ステージ本体43Aの摺動方向に沿った一方の側面43A2に取り付けられている。この当接部43Bにも略半球状の度当たり部43B1(図6参照)が形成されている。
Similarly to the Y stage 42 and the base portion 41, the X stage 43 has a planar rectangular shape when viewed from the Z-axis direction. The X stage 43 includes a stage main body 43A and a contact portion 43B.
The stage main body 43A is provided on the Y stage 42, and a rail 43A1 extending along the X-axis direction and protruding toward the Y stage 43 is formed on the surface of the stage main body 43A on the Y stage 42 side. ing. The rail portion 43A1 is fitted into the groove portion 42B2 of the Y stage 42 and slides in the groove portion 42B2.
The four side surfaces of the stage main body 43A are substantially parallel to the X axis or the Y axis in FIG. 2, and one side surface along the sliding direction of the stage main body 43A is a side surface 43A2. The other side surface along the direction is referred to as a side surface 43A3.
As shown in FIGS. 6 to 8, the stage main body 43A is slidable only in the direction opposite to the arrow X1 from the initial state where the stage main body 43A is not slid, and is urged by a biasing means such as a spring (not shown). , Is biased in the direction of the arrow X1. That is, the X stage 43 can slide only in one direction from the initial state.
As shown in FIGS. 2 and 4, the abutting portion 43B is a rectangular parallelepiped block, and is attached to one side surface 43A2 along the sliding direction of the stage main body 43A. The contact portion 43B is also formed with a substantially hemispherical contact portion 43B1 (see FIG. 6).

このようなXステージ43の摺動方向に沿った一方の側面43A3(図2における下側の面)には、図5に示すように、固定部材であるねじ47が取り付けられている。Xステージ43に取り付けられるねじ47は、側面43A3に形成されるとともに、Xステージ43のY軸方向に沿って延びるねじ孔43A4(図4参照)に挿入される。このねじ47は、Xステージ43の位置決めを行う位置決め板48をXステージ43の側面43A3に当接させるためのものである。位置決め板48は、Yステージ42の側面42B1に固定され、先端がXステージ43の側面43A3にまで突出している。この位置決め板48の前記先端には、Xステージ43の摺動方向に沿った長孔481が形成されており、ねじ47は、この長孔481を介して、前記ねじ孔43A4に挿入される。これにより、Yステージ42の第二部材42Bに固定されている位置決め板48が、Xステージ43の側面43A3に面状に当接することとなり、Xステージ43がYステージ42に固定されることとなる。   A screw 47 as a fixing member is attached to one side surface 43A3 (the lower surface in FIG. 2) along the sliding direction of the X stage 43 as shown in FIG. A screw 47 attached to the X stage 43 is formed on the side surface 43A3 and is inserted into a screw hole 43A4 (see FIG. 4) extending along the Y-axis direction of the X stage 43. The screw 47 is for bringing a positioning plate 48 for positioning the X stage 43 into contact with the side surface 43A3 of the X stage 43. The positioning plate 48 is fixed to the side surface 42B1 of the Y stage 42, and the tip protrudes to the side surface 43A3 of the X stage 43. A long hole 481 along the sliding direction of the X stage 43 is formed at the tip of the positioning plate 48, and the screw 47 is inserted into the screw hole 43A4 through the long hole 481. As a result, the positioning plate 48 fixed to the second member 42B of the Y stage 42 comes into contact with the side surface 43A3 of the X stage 43 in a plane, and the X stage 43 is fixed to the Y stage 42. .

なお、Yステージ42も同様に、ねじ47及び位置決め板48により位置決めされており、図5に示すように、ねじ47は、第一部材42Aの側面42A3に形成されたY軸方向に沿って延びるねじ孔42A31に挿入されている。位置決め板48は、基部41のYステージ42の摺動方向に沿った側面に固定されており、先端がYステージ42の第一部材42Aの摺動方向に沿った側面42A3にまで突出している。位置決め板48には、Yステージ42の摺動方向に沿った長孔481が形成されており、ねじ47は、この長孔481を介して、前記ねじ孔42A31に挿入される。これにより、基部41に固定されている位置決め板48が、Yステージ42の第一部材42Aの側面42A3に面状に押し当てられることとなり、Yステージ42が基部41に固定されることとなる。   Similarly, the Y stage 42 is positioned by a screw 47 and a positioning plate 48. As shown in FIG. 5, the screw 47 extends along the Y-axis direction formed on the side surface 42A3 of the first member 42A. It is inserted into the screw hole 42A31. The positioning plate 48 is fixed to the side surface of the base 41 along the sliding direction of the Y stage 42, and the tip protrudes to the side surface 42 </ b> A <b> 3 along the sliding direction of the first member 42 </ b> A of the Y stage 42. A long hole 481 is formed in the positioning plate 48 along the sliding direction of the Y stage 42, and the screw 47 is inserted into the screw hole 42A31 via the long hole 481. As a result, the positioning plate 48 fixed to the base 41 is pressed against the side surface 42A3 of the first member 42A of the Y stage 42 so that the Y stage 42 is fixed to the base 41.

回転ステージ44は、Z軸方向から見て平面正円形状となっている。この回転ステージ44は、Xステージ43上に固定された基台441と、この基台441上に設置された回転ステージ本体442とを有する。
回転ステージ本体442は、基台441に回転可能に支持されており、回転軸312と平行な回転軸を中心に回転駆動する。
回転ステージ本体442の側面及び基台441の側面には目盛りが付されており、回転ステージ本体442の回転量が把握できるようになっている。
回転ステージ本体442の側面には、図示しないがクランプが取り付けられており、このクランプを回転ステージ本体442に押し込むことで、回転ステージ本体442を基台441に固定することができる。
回転ステージ本体442の一対の円形面のうち、基台441と反対側の面(母材10が取り付けられる面)には、母材10側に向かって立ち上がった段部442Aが形成されている。この段部442Aは平面略扇形形状であり、母材10側に向かって立ち上がった段差面がなす角度は略90°となっている。この段部442Aの段差面は、母材10を回転ステージ本体442の円形面の平面中心に設置した際に、母材10の外周縁のうちの直交する2辺に沿うように形成されている。
The rotary stage 44 has a planar circular shape when viewed from the Z-axis direction. The rotary stage 44 includes a base 441 fixed on the X stage 43 and a rotary stage main body 442 installed on the base 441.
The rotary stage main body 442 is rotatably supported by the base 441 and is driven to rotate about a rotation axis parallel to the rotation axis 312.
A scale is attached to the side surface of the rotary stage main body 442 and the side surface of the base 441 so that the amount of rotation of the rotary stage main body 442 can be grasped.
A clamp (not shown) is attached to the side surface of the rotary stage main body 442, and the rotary stage main body 442 can be fixed to the base 441 by pushing the clamp into the rotary stage main body 442.
Of the pair of circular surfaces of the rotary stage main body 442, a step portion 442A that rises toward the base material 10 side is formed on the surface opposite to the base 441 (surface on which the base material 10 is attached). The step portion 442A has a substantially fan-shaped plane, and the angle formed by the step surface rising toward the base material 10 is approximately 90 °. The step surface of the stepped portion 442A is formed along two orthogonal sides of the outer peripheral edge of the base material 10 when the base material 10 is installed at the center of the plane of the circular surface of the rotary stage main body 442. .

このような回転ステージ本体442の前記一方の円形面には、図2,図4〜8に示すように、母材10を固定するための母材固定部材443が取り付けられる。この母材固定部材443は、前記段部442Aに沿って配置され、回転ステージ本体442に固定された第一固定部材443Aと、第二固定部材443Bと、母材10の直交する側面を前記第一固定部材443A及び第二固定部材443Bに当接させて固定するための第三固定部材443Cとを備える。
第三固定部材443Cは、周囲にねじが刻設されたねじ部443C1と、ねじ部443C1の先端に取り付けられた固定部材本体443C2と、ねじ部443C1が螺合する螺合部443C3とを備える。固定部材本体443C2の先端は、略直角に切りかかれており、ねじ部443C1を螺合部443C3に螺合することで、切り欠き部分443C4が母材10の角部に当接する。これにより、母材10は第三固定部材443Cと、第一固定部材443A、第二固定部材443Bとにより、挟持されることとなる。
なお、螺合部443C3は、回転ステージ本体442に固定されている。
このような母材固定部材443により固定される母材10の表面のうち、レンズアレイ8を成形する部分の外形中心位置P1と、回転ステージ本体442の母材10が取り付けられる円形面の中心位置とは一致している。
A base material fixing member 443 for fixing the base material 10 is attached to the one circular surface of the rotary stage main body 442 as shown in FIGS. 2 and 4 to 8. The base material fixing member 443 is disposed along the step portion 442A, and the first fixing member 443A, the second fixing member 443B, and the side surface orthogonal to the base material 10 are fixed to the rotary stage main body 442. A third fixing member 443C for contacting and fixing the first fixing member 443A and the second fixing member 443B.
The third fixing member 443C includes a screw portion 443C1 having a screw engraved around it, a fixing member body 443C2 attached to the tip of the screw portion 443C1, and a screwing portion 443C3 into which the screw portion 443C1 is screwed. The distal end of the fixing member main body 443C2 is cut at a substantially right angle, and the notched portion 443C4 comes into contact with the corner portion of the base material 10 by screwing the screw portion 443C1 into the screwed portion 443C3. Accordingly, the base material 10 is sandwiched between the third fixing member 443C, the first fixing member 443A, and the second fixing member 443B.
The screwing portion 443C3 is fixed to the rotary stage main body 442.
Of the surface of the base material 10 fixed by such a base material fixing member 443, the outer shape center position P1 of the portion where the lens array 8 is molded and the center position of the circular surface to which the base material 10 of the rotary stage body 442 is attached. Is consistent.

図2、及び図4〜図8に示すように、位置決め部45Yは、Yステージ42を位置決めするものである。この位置決め部45Yは、基部41のYステージ42の摺動方向に沿った側面41Aに取り付けられたブロック412に固定されており、Yステージ42の摺動方向に沿った方向、換言すると、Yステージ42の付勢方向と対向する方向(図6の矢印Y1と対向する方向)からYステージ42の当接部42Cに当接する。
この位置決め部45Yは、いわゆるマイクロメータヘッドと呼ばれるものであり、Yステージ42の当接部42Cの度当たり部42C1に当接するスピンドル451と、このスピンドル451と一体回転可能に設けられたシンブル452と、スピンドル451が挿通されるスリーブ453とを備えている。
このスリーブ453の内周には雌ねじ(図示略)が設けられており、この雌ねじは、スピンドル451と螺合されている。従って、スピンドル451は螺合回転によってY軸方向に沿って進退する。スリーブ453の外表面には図示しないが主尺目盛が設けられている。
シンブル452は、スリーブ453の外側を筒状に覆う円筒形状である。シンブル452とスピンドル451とは一体回転する構成となっている。このようなシンブル452の一端側外表面には円周を等分する副尺目盛(図示略)が設けられている。
このような位置決め部45Yでは、シンブル452を回転させることにより、スピンドル451がYステージ42の摺動方向に沿って進退する。このスピンドル451の先端は、Yステージ42に固定された当接部42Cに当接し、Yステージ42の位置決めを行う。
As shown in FIGS. 2 and 4 to 8, the positioning portion 45 </ b> Y positions the Y stage 42. The positioning portion 45Y is fixed to a block 412 attached to a side surface 41A along the sliding direction of the Y stage 42 of the base 41, and in other words, the direction along the sliding direction of the Y stage 42, in other words, the Y stage. 42 abuts against the abutting portion 42C of the Y stage 42 from a direction facing the urging direction of 42 (a direction facing the arrow Y1 in FIG. 6).
The positioning portion 45Y is a so-called micrometer head, and includes a spindle 451 that abuts against the contact portion 42C1 of the abutting portion 42C of the Y stage 42, and a thimble 452 that is provided to rotate integrally with the spindle 451. , And a sleeve 453 through which the spindle 451 is inserted.
A female screw (not shown) is provided on the inner periphery of the sleeve 453, and the female screw is screwed to the spindle 451. Accordingly, the spindle 451 advances and retreats along the Y-axis direction by screwing rotation. Although not shown, a main scale is provided on the outer surface of the sleeve 453.
The thimble 452 has a cylindrical shape that covers the outside of the sleeve 453 in a cylindrical shape. The thimble 452 and the spindle 451 are configured to rotate integrally. A vernier scale (not shown) for equally dividing the circumference is provided on the outer surface on one end side of such a thimble 452.
In such a positioning part 45Y, the spindle 451 advances and retreats along the sliding direction of the Y stage 42 by rotating the thimble 452. The tip of the spindle 451 comes into contact with a contact portion 42C fixed to the Y stage 42 to position the Y stage 42.

位置決め部45Xは、Xステージ43を位置決めをするためのものである。
この位置決め部45Xの構成は、位置決め部45Yと同様の構成である。この位置決め部45Xは、Yステージ42の第二部材42Bの摺動方向に直交する側面42B3に固定されたブロック424に取り付けられている。位置決め部45Xのスピンドル451は、X軸方向に進退可能となっており、Xステージ43の摺動方向に沿った方向から、換言すると、Xステージ43の付勢方向と対向する方向(図6の矢印X1方向)からXステージ43の当接部43Bに当接する。
The positioning unit 45X is for positioning the X stage 43.
The configuration of the positioning unit 45X is the same as that of the positioning unit 45Y. The positioning portion 45X is attached to a block 424 fixed to a side surface 42B3 orthogonal to the sliding direction of the second member 42B of the Y stage 42. The spindle 451 of the positioning unit 45X can be moved back and forth in the X-axis direction. In other words, from the direction along the sliding direction of the X stage 43, in other words, the direction facing the biasing direction of the X stage 43 (FIG. 6). Abutting on the abutting portion 43B of the X stage 43 from the direction of arrow X1).

図7及び図8に示すように、スペーサ46は、位置決め部45XとXステージ43の当接部43Bとの間、或いは、位置決め部45Yと、Yステージ42の当接部42Cとの間で挟持されるものである。このスペーサ46は、平面略矩形形状の直方体であり、調整スペーサ461と、原点出しスペーサ462とを備える。スペーサ46の位置決め部45X,45Yとの当接面は、例えば、10mm×10mmの正方形形状となっている。   As shown in FIGS. 7 and 8, the spacer 46 is sandwiched between the positioning portion 45X and the contact portion 43B of the X stage 43 or between the positioning portion 45Y and the contact portion 42C of the Y stage 42. It is what is done. The spacer 46 is a rectangular parallelepiped having a substantially rectangular shape, and includes an adjustment spacer 461 and an origination spacer 462. The contact surface of the spacer 46 with the positioning portions 45X and 45Y has a square shape of 10 mm × 10 mm, for example.

調整スペーサ461は、母材10の表面上の基準位置P0と、小レンズ81に対応する各凹部111の加工中心となる位置、すなわち小レンズ81の光学中心に対応する位置との設計上の距離に応じた幅寸法Tを有する。
ここで、本実施形態では、母材10の基準位置P0は、小レンズ81の配列に対応して形成される凹部111の配列のうち、最上段の最も左側の凹部111の加工中心(小レンズ81の光学中心に対応する位置)である。この母材10の基準位置P0は、凹部111の配列のXステージ43及びYステージ42の付勢方向最後端に位置する。
調整スペーサ461は、Xステージ43の位置決めを行う位置決め部45Xのスピンドル451の先端と、Xステージ43の当接部43Bとの間に挿入されるX軸方向調整スペーサ461Xと、Yステージ42の位置決めを行う位置決め部45Yのスピンドル451の先端と、Yステージ42の当接部42Cとの間に挿入されるY軸方向調整スペーサ461Yとを備える。
本実施形態では、レンズアレイ8の小レンズ81は、6行×4列で配列されているため、3種類のX軸方向調整スペーサ461Xと、5種類のY軸方向調整スペーサ461Yとを備えている。
ここで、X軸方向調整スペーサ461Xを幅寸法Tの小さい方から、No.1スペーサ、No.2スペーサ、No.3スペーサとする。
詳細に説明すると、No.1スペーサは、基準位置P0から2列目の凹部111の加工中心までのX軸方向に沿った幅寸法を有する。また、No.2スペーサは、基準位置P0から3列目の凹部111の加工中心までのX軸方向に沿った幅寸法を有する。No.3スペーサは、基準位置P0から4列目の凹部111の加工中心までのX軸方向に沿った幅寸法を有する。
また、Y軸方向調整スペーサ461Yを幅寸法Tの小さい方から、No.5スペーサ、No.6スペーサ、No.7スペーサ、No.8スペーサ、No.9スペーサとする。
No.5スペーサは、基準位置P0から2行目の凹部111の加工中心までのY軸方向に沿った幅寸法を有する。No.6スペーサ、No.7スペーサ、No.8スペーサ、No.9スペーサは、それぞれ、基準位置P0から3行目、4行目、5行目、6行目の凹部111の加工中心までのY軸方向に沿った幅寸法である。
The adjustment spacer 461 is a design distance between the reference position P0 on the surface of the base material 10 and the position corresponding to the processing center of each recess 111 corresponding to the small lens 81, that is, the position corresponding to the optical center of the small lens 81. Width dimension T according to
Here, in the present embodiment, the reference position P0 of the base material 10 is the processing center (small lens) of the leftmost concave portion 111 in the uppermost row in the arrangement of the concave portions 111 formed corresponding to the arrangement of the small lenses 81. The position corresponding to the optical center 81). The reference position P0 of the base material 10 is located at the rearmost end in the biasing direction of the X stage 43 and the Y stage 42 in the arrangement of the recesses 111.
The adjustment spacer 461 positions the X stage adjustment spacer 461X inserted between the tip of the spindle 451 of the positioning portion 45X for positioning the X stage 43 and the contact portion 43B of the X stage 43, and the positioning of the Y stage 42. The Y-axis direction adjusting spacer 461Y is inserted between the tip of the spindle 451 of the positioning part 45Y that performs the above and the abutting part 42C of the Y stage 42.
In the present embodiment, since the small lenses 81 of the lens array 8 are arranged in 6 rows × 4 columns, the lens array 8 includes three types of X-axis direction adjustment spacers 461X and five types of Y-axis direction adjustment spacers 461Y. Yes.
Here, the X-axis direction adjusting spacer 461X is changed from No. 1 spacer, no. 2 spacer, no. Three spacers are used.
More specifically, no. One spacer has a width dimension along the X-axis direction from the reference position P0 to the processing center of the recesses 111 in the second row. No. The two spacers have a width dimension along the X-axis direction from the reference position P0 to the processing center of the recesses 111 in the third row. No. The three spacers have a width dimension along the X-axis direction from the reference position P0 to the processing center of the recesses 111 in the fourth row.
Further, the Y-axis direction adjusting spacer 461Y is changed from No. 5 spacer, No. 5 6 spacer, No. 6 7 spacer, no. 8 Spacer, No. 9 spacers are used.
No. The five spacers have a width dimension along the Y-axis direction from the reference position P0 to the processing center of the recess 111 in the second row. No. 6 spacer, No. 6 7 spacer, no. 8 Spacer, No. The 9 spacers each have a width dimension along the Y-axis direction from the reference position P0 to the processing center of the concave portion 111 in the third row, the fourth row, the fifth row, and the sixth row.

原点出しスペーサ462は、母材10の表面のうち、レンズアレイ8を成形する部分の外形中心位置P1と、母材10の基準位置P0との距離に応じた幅寸法を有するものである。この原点出しスペーサ462は、Xステージ43の位置決めを行う位置決め部45Xのスピンドル451の先端と、Xステージ43の当接部43Bとの間に挿入されるX軸方向原点出しスペーサ462Xと、Yステージ42の位置決めを行う位置決め部45Yのスピンドル451の先端と、Yステージ42の当接部42Cとの間に挿入されるY軸方向原点出しスペーサ462Yとを備える。
ここで、X軸方向原点出しスペーサ462Xを、No.4スペーサ、Y軸方向原点出しスペーサ462YをNo.10スペーサとする。No.4スペーサの幅寸法T0Xは、No.1スペーサの幅寸法とNo.2スペーサの幅寸法との略中間の幅寸法であり、No.10スペーサの幅寸法T0yは、No.6スペーサの幅寸法と、No.7スペーサの幅寸法との略中間の幅寸法である。
The origin-departing spacer 462 has a width dimension corresponding to the distance between the outer shape center position P1 of the portion of the surface of the base material 10 where the lens array 8 is molded and the reference position P0 of the base material 10. The origin-seeking spacer 462 includes an X-axis origin finding spacer 462X that is inserted between the tip of the spindle 451 of the positioning portion 45X that positions the X stage 43 and the contact portion 43B of the X stage 43, and the Y stage. Y-axis direction origin spacer 462Y inserted between the tip of spindle 451 of positioning portion 45Y for positioning 42 and contact portion 42C of Y stage 42.
Here, the X-axis direction origin positioning spacer 462X is set to No. No. 4 spacer, Y-axis direction origin spacer 462Y 10 spacers are used. No. The width dimension T 0X of the 4 spacer is No. No. 1 spacer width and No. 2 is a width dimension substantially in the middle of the width dimension of the spacer. The width dimension T0y of the 10 spacer is No. 6 spacer width dimension, 7 is a width dimension substantially in the middle of the width dimension of the spacer.

以上のような調整スペーサ461、原点出しスペーサ462の各スペーサと、母材10表面に形成される凹部111の加工中心となる位置との関係は図9に示すようになる。図9の各セルは、母材10に形成される凹部111に対応するものである。図9において、例えば、『X:1』とあるのは、X軸方向調整スペーサ461XのNo.1スペーサをXステージ43の当接部43Bと位置決め部45Xとの間に、挿入することを意味し、『Y:5』とあるのは、Y軸方向調整スペーサ461YのNo.5スペーサをYステージ42の当接部42Cと位置決め部45Yとの間に挿入することを意味する。また、『無』は、スペーサを挿入しないことを意味する。
原点出しを行う際には、Xステージ43の当接部43Bと位置決め部45Xとの間に、No.4スペーサを挿入し、Yステージ42の当接部42Cと位置決め部45Yとの間にNo.10スペーサを挿入する。
また、例えば、2列目の2行目(上から2段目の左から2つめ)の凹部111を形成したい場合には、Xステージ43の当接部43Bと位置決め部45Xとの間に、No.1スペーサを挿入し、Yステージ42の当接部42Cと位置決め部45Yとの間にNo.5スペーサを挿入する。
FIG. 9 shows the relationship between the spacers such as the adjustment spacer 461 and the origination spacer 462 as described above, and the position serving as the processing center of the recess 111 formed on the surface of the base material 10. Each cell in FIG. 9 corresponds to a recess 111 formed in the base material 10. In FIG. 9, for example, “X: 1” indicates the No. of the X-axis direction adjustment spacer 461X. 1 spacer is inserted between the abutting portion 43B of the X stage 43 and the positioning portion 45X, and “Y: 5” is the No. of the Y-axis direction adjusting spacer 461Y. 5 means that a spacer is inserted between the contact portion 42C of the Y stage 42 and the positioning portion 45Y. “None” means that no spacer is inserted.
When performing the origin search, the No. 4 is placed between the contact portion 43B of the X stage 43 and the positioning portion 45X. No. 4 spacer is inserted, and No. 4 is provided between the contact portion 42C of the Y stage 42 and the positioning portion 45Y. Insert 10 spacers.
Further, for example, when it is desired to form the concave portion 111 in the second row of the second column (second from the left in the second row from the top), between the contact portion 43B of the X stage 43 and the positioning portion 45X, No. No. 1 spacer is inserted, and No. 1 is placed between the contact part 42C of the Y stage 42 and the positioning part 45Y. 5 Insert the spacer.

[成形型の製造方法]
以上のような加工機3と、治具4とを用いた成形型1の製造方法について図10及び図11を参照して説明する。
はじめに、母材10にマーク112を形成する(処理S1、マーク形成工程)。このマーク112の一方の辺112Aが凹部111の一方の設計上の配列方向に沿うように形成する。また、マーク112の他方の辺112Bが凹部111の他方の設計上の配列方向に沿うように形成する。
次に、加工機3の保持部31に母材10を取り付ける(処理S2)。
具体的には、図11のフローチャートを参照して説明する。
まず、加工機3の保持部31に治具4の基部取り付け板40を取り付ける(処理S2-1)。
次に、基部取り付け板40に、基部41、Yステージ42、Xステージ43を取り付け、仮止めする(処理S2-2)。
さらに、基部41、Yステージ42、Xステージ43の傾きを調べる(処理S2-3)。
基部41、Yステージ42、Xステージ43の側面であって、図2の上方側に位置する面に、ダイアルゲージを接触させ、この状態でダイアルゲージをX軸方向に動かし、目盛りの変動を計測する。ダイアルゲージを移動させた距離と、目盛りの変動とから傾きを算出し、この傾きが所定値以上の場合には、基部41、Yステージ42、Xステージ43の傾きを修正する(処理S2-4)。
その後、基部41、Yステージ42、Xステージ43をねじで固定し、本固定する(処理S2-5)。
さらに、その後、Xステージ43上に母材10が固定された回転ステージ44を取り付ける(処理S2-6)。
なお、回転ステージ44には、次のようにして、母材10を固定しておく。
回転ステージ44の段部442Aに沿って第一固定部材443A、第二固定部材443Bを固定する。次に、母材10の直交する側面を前記第一固定部材443A及び第二固定部材443Bに当接させて第三固定部材443Cにより固定する。その後、母材10をねじで回転ステージ44の回転ステージ本体442に固定する。
これにより、回転ステージ44の平面中心と、母材10の外形中心位置P1とが一致することとなる。
次に、母材10がY軸方向及びX軸方向、すなわち、凹部111の設計上の配列方向に対し、傾いて取り付けられていないかを確認する(処理S2-7、母材移動方向調整工程)。
換言すると、この母材移動方向調整工程において、母材10の凹部111の配列方向と、母材10を移動させるステージ42,43の移動方向とを一致させる。
加工部32を駆動し、砥石軸322をX軸方向に沿って移動させる。これにより、砥石軸322に固定された撮像手段34がX軸方向に沿って移動する。この撮像手段34により、例えば、図2右上及び左上のマーク112を検出し、撮像手段34の移動方向と、マーク112の一方の辺112A(X軸方向に沿った辺)とのずれを検出する。ずれが所定値以上である場合には、回転ステージ44を駆動し、母材10の傾きを調整して(処理S2-8)、母材10の移動方向と母材10の凹部111の配列方向とを略一致させる。
そして、ずれが所定値以下となるまで、処理S2-7、S2-8を繰り返す。
ずれが所定値以下となったら、回転ステージ44の回転ステージ本体442を基台441に固定して(処理S2-9)、図10に示すように、母材10の基準位置P0と、保持部31の回転軸312とを一致させるための原点出しを行う(処理S3、原点出し工程)。
ここでは、Xステージ43の当接部43Bと、位置決め部45Xのスピンドル451の先端との間にX軸方向原点出しスペーサ462Xを挿入し、Yステージ42の当接部42Cと位置決め部45Yのスピンドル451の先端との間にY軸方向原点出しスペーサ462Yを挿入する。
そして、回転ステージ44の側面にダイアルゲージ等の測定機器を当接させる。その後、保持部31を回転駆動する。回転ステージ44の平面中心と、母材10の外形中心位置P1とは一致しているので、保持部31の回転軸312と、母材10の表面の外形中心位置P1とがずれている場合には、回転ステージ44の側面に当接したダイアルゲージ等の測定機器が示す値が大きく変動することとなる。この場合には、位置決め部45Y及び/又は位置決め部45Xのスピンドル451の先端を進退させて、治具4のXステージ43及び/又はYステージ42を摺動し、位置合わせを行う。そして、ねじ47により、位置決め板48をXステージ43又は、Yステージ42に当接させることより、Xステージ43及びYステージ42を固定する。これにより、母材10の外形中心位置P1と、保持部31の回転軸312とが一致することとなり、原点出しスペーサ462を挟まない状態において、母材10の基準位置P0と、保持部31の回転軸312とが一致することとなる。
なお、保持部31の回転軸312と、母材10の表面の外形中心位置P1とが略一致している場合には、ダイアルゲージ等の示す値は略一定となる。
[Method of manufacturing mold]
The manufacturing method of the shaping | molding die 1 using the above processing machines 3 and the jig | tool 4 is demonstrated with reference to FIG.10 and FIG.11.
First, the mark 112 is formed on the base material 10 (processing S1, mark formation process). One side 112 </ b> A of the mark 112 is formed along one designed arrangement direction of the recesses 111. Further, the mark 112 is formed so that the other side 112B of the mark 112 is along the other designed arrangement direction of the recesses 111.
Next, the base material 10 is attached to the holding part 31 of the processing machine 3 (processing S2).
Specifically, this will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, the base attachment plate 40 of the jig 4 is attached to the holding part 31 of the processing machine 3 (Process S2-1).
Next, the base 41, the Y stage 42, and the X stage 43 are attached to the base mounting plate 40 and temporarily fixed (processing S2-2).
Further, the inclination of the base 41, the Y stage 42, and the X stage 43 is examined (processing S2-3).
The dial gauge is brought into contact with the side surfaces of the base 41, the Y stage 42, and the X stage 43, which are located on the upper side of FIG. 2, and in this state, the dial gauge is moved in the X-axis direction to measure the scale fluctuation. To do. The inclination is calculated from the distance the dial gauge is moved and the change in the scale. If the inclination is equal to or greater than a predetermined value, the inclination of the base 41, the Y stage 42, and the X stage 43 is corrected (processing S2-4). ).
Thereafter, the base 41, the Y stage 42, and the X stage 43 are fixed with screws and fixed (process S2-5).
Further, after that, the rotary stage 44 on which the base material 10 is fixed is mounted on the X stage 43 (processing S2-6).
The base material 10 is fixed to the rotary stage 44 as follows.
The first fixing member 443A and the second fixing member 443B are fixed along the step portion 442A of the rotation stage 44. Next, the orthogonal side surfaces of the base material 10 are brought into contact with the first fixing member 443A and the second fixing member 443B and fixed by the third fixing member 443C. Thereafter, the base material 10 is fixed to the rotary stage main body 442 of the rotary stage 44 with screws.
As a result, the center of the plane of the rotary stage 44 coincides with the outer shape center position P1 of the base material 10.
Next, it is confirmed whether or not the base material 10 is tilted with respect to the Y-axis direction and the X-axis direction, that is, the design arrangement direction of the recesses 111 (processing S2-7, base material moving direction adjustment step). ).
In other words, in this base material movement direction adjustment step, the arrangement direction of the recesses 111 of the base material 10 and the movement directions of the stages 42 and 43 for moving the base material 10 are made to coincide.
The processing unit 32 is driven to move the grindstone shaft 322 along the X-axis direction. Thereby, the imaging means 34 fixed to the grindstone shaft 322 moves along the X-axis direction. The imaging unit 34 detects, for example, the upper right and upper left marks 112 in FIG. 2 and detects a shift between the moving direction of the imaging unit 34 and one side 112A (side along the X-axis direction) of the mark 112. . When the deviation is equal to or larger than the predetermined value, the rotary stage 44 is driven to adjust the inclination of the base material 10 (processing S2-8), and the movement direction of the base material 10 and the arrangement direction of the recesses 111 of the base material 10 And approximately match.
Then, the processes S2-7 and S2-8 are repeated until the deviation becomes equal to or less than a predetermined value.
When the deviation is less than or equal to a predetermined value, the rotary stage main body 442 of the rotary stage 44 is fixed to the base 441 (processing S2-9), and as shown in FIG. 10, the reference position P0 of the base material 10 and the holding portion The origin search is performed to match the 31 rotation axis 312 (process S3, origin search step).
Here, an X-axis direction origin spacer 462X is inserted between the contact portion 43B of the X stage 43 and the tip of the spindle 451 of the positioning portion 45X, and the contact portion 42C of the Y stage 42 and the spindle of the positioning portion 45Y. A Y-axis direction origin spacer 462Y is inserted between the tip of 451.
Then, a measuring instrument such as a dial gauge is brought into contact with the side surface of the rotary stage 44. Thereafter, the holding unit 31 is rotationally driven. Since the plane center of the rotary stage 44 and the outer shape center position P1 of the base material 10 coincide with each other, the rotation shaft 312 of the holding unit 31 and the outer shape center position P1 of the surface of the base material 10 are shifted. The value indicated by a measuring instrument such as a dial gauge in contact with the side surface of the rotary stage 44 varies greatly. In this case, the positioning part 45Y and / or the tip of the spindle 451 of the positioning part 45X is advanced and retracted, and the X stage 43 and / or the Y stage 42 of the jig 4 is slid to perform alignment. Then, the X stage 43 and the Y stage 42 are fixed by bringing the positioning plate 48 into contact with the X stage 43 or the Y stage 42 with the screws 47. As a result, the outer center position P1 of the base material 10 and the rotation shaft 312 of the holding portion 31 coincide with each other, and the reference position P0 of the base material 10 and the holding portion 31 The rotation axis 312 matches.
In addition, when the rotating shaft 312 of the holding part 31 and the outer shape center position P1 of the surface of the base material 10 substantially coincide with each other, the value indicated by the dial gauge or the like is substantially constant.

次に、ねじ47を緩め、Xステージ43及び/又はYステージ42を摺動させて、Xステージ43と位置決め部45Xとの間、及び/又はYステージ42と位置決め部45Yとの間に調整スペーサ461を挟む。例えば、ここでは、例えば、2列目の2行目(上から2段目の左から2つめ)の凹部111を形成する場合には、No.1の調整スペーサ461XをXステージ43の当接部43Bと位置決め部45Xのスピンドル451の先端との間に挿入する。また、No.5の調整スペーサ461YをYステージ42の当接部42Cと位置決め部45Yのスピンドル451の先端との間に挿入する。これにより、図8に示すように、保持部31の回転軸312と、一つ目の凹部111の加工中心となる位置P2、すなわち、母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置P2とが一致することとなる(処理S4、調整工程)。
なお、回転ステージ44の移動量と、調整スペーサの幅寸法とが一致していることを確認するために、以下のようにしてもよい。
まず、回転ステージ44の側面にX軸、Y軸に平行な面となる一対の基準面を形成し、原点出し工程が終了した後、回転ステージ44の基準面にダイアルゲージ等の測定機器を当てて、回転ステージ44のX軸上の位置、Y軸上の位置を測定しておく。そして、調整工程が終わった後、母材10が固定されている治具4の回転ステージ44の基準面にダイアルゲージ等の測定機器を当てて、X軸方向及びY軸方向の移動量を測定する。このX軸方向及びY軸方向の移動量と、はさんだ調整スペーサ461X,461Yの幅寸法とが一致していることを確認する。
Next, the screw 47 is loosened and the X stage 43 and / or the Y stage 42 is slid to adjust the spacer between the X stage 43 and the positioning portion 45X and / or between the Y stage 42 and the positioning portion 45Y. 461 is sandwiched. For example, here, for example, when forming the recess 111 in the second row of the second column (second from the left in the second row from the top), No. One adjustment spacer 461X is inserted between the contact portion 43B of the X stage 43 and the tip of the spindle 451 of the positioning portion 45X. No. The fifth adjustment spacer 461Y is inserted between the abutting portion 42C of the Y stage 42 and the tip of the spindle 451 of the positioning portion 45Y. As a result, as shown in FIG. 8, the optical axis of the small lens 81 of the lens array 8 on the surface P <b> 2 of the surface of the base material 10, i.e., the position P <b> 2 that is the processing center of the first recess 111. The position P2 corresponding to the center coincides (processing S4, adjustment step).
In order to confirm that the amount of movement of the rotary stage 44 matches the width dimension of the adjustment spacer, the following may be performed.
First, a pair of reference surfaces that are parallel to the X axis and Y axis are formed on the side surface of the rotary stage 44. After the origin finding process is completed, a measuring instrument such as a dial gauge is applied to the reference surface of the rotary stage 44. Then, the position on the X axis and the position on the Y axis of the rotary stage 44 are measured. Then, after the adjustment process is finished, a measuring instrument such as a dial gauge is applied to the reference surface of the rotary stage 44 of the jig 4 to which the base material 10 is fixed, and the movement amount in the X-axis direction and the Y-axis direction is measured. To do. It is confirmed that the movement amounts in the X-axis direction and the Y-axis direction coincide with the width dimensions of the sandwiched adjustment spacers 461X and 461Y.

その後、凹部111の形成を行う。ここでは、粗研削を行う(処理S5、粗研削工程(加工工程))。
次に、二つ目の凹部111の加工を行う。Xステージ43及び/又はYステージ42を摺動させて、二つ目の凹部111に対応する調整スペーサ461をXステージ43と位置決め部45Xとの間、及び/又はYステージ42と位置決め部45Yとの間に挟む。そして、粗研削する。
このような作業を24番目の凹部111が形成されるまで、繰り返す(処理S6)。なお、母材10の表面上の基準位置P0を加工中心とする凹部111を削る際には、調整スペーサ461を挟む必要は無い。
Thereafter, the recess 111 is formed. Here, rough grinding is performed (processing S5, rough grinding step (processing step)).
Next, the second recess 111 is processed. The X stage 43 and / or the Y stage 42 are slid to adjust the adjustment spacer 461 corresponding to the second recess 111 between the X stage 43 and the positioning unit 45X and / or the Y stage 42 and the positioning unit 45Y. Between them. Then, rough grinding is performed.
Such an operation is repeated until the 24th recess 111 is formed (step S6). It should be noted that there is no need to sandwich the adjustment spacer 461 when the recess 111 having the reference position P0 on the surface of the base material 10 as the processing center is cut.

次に、凹部111の仕上げ研削を行う。ここでも、粗研削を行った際の調整工程(処理S4)と同様の調整工程(処理S7)を行い、仕上げ研削する(加工工程、処理S8)。このような作業を24番目の凹部111が仕上げ研削されるまで行う(処理S9)。
その後、このようにして仕上げ研削された凹部111の形状及び表面粗さを測定する(処理S10)。形状精度は、3次元測定機器により測定し、表面精度は表面粗さ測定機器により測定する。
ここで、測定結果と、成形型1の設計寸法とを比較して、その差が所定値以下であるかどうかを判断する(処理S11)。
測定結果と、設計寸法との差が、所定値を超える場合には、再度、仕上げ研削を行う。具体的には、調整工程(処理S7)と仕上げ研削工程(処理S8)とを行う。これを測定値と設計寸法との差が所定値以下となるまで繰り返す。
測定結果と、設計寸法との差が所定値以下である場合には、凹部111により形成されるレンズアレイの小レンズの光学中心(光軸)のずれが所定値以下であるか否かを、凹部111を3次元測定機器で測定することにより(処理S12)、確認する(処理S13)。
そして、光学中心のずれが所定値以下であることが確認されたら(光軸位置の精度が良好であることが確認されたら)、成形型1の凹部111が形成された面(成形面)の表面処理を行う(処理S14)。
光学中心のずれが所定値を超える場合には、再度、仕上げ研削を行い、処理S7〜処理S13を繰り返す。これを光学中心のずれが所定値以下となるまで繰り返す。
Next, finish grinding of the recess 111 is performed. Also here, the adjustment process (process S7) similar to the adjustment process (process S4) at the time of rough grinding is performed, and finish grinding is performed (processing process, process S8). Such an operation is performed until the 24th recess 111 is finish-ground (processing S9).
Thereafter, the shape and surface roughness of the recess 111 finish-ground in this way are measured (processing S10). The shape accuracy is measured with a three-dimensional measuring device, and the surface accuracy is measured with a surface roughness measuring device.
Here, the measurement result is compared with the design dimension of the mold 1 to determine whether or not the difference is equal to or less than a predetermined value (processing S11).
If the difference between the measurement result and the design dimension exceeds a predetermined value, finish grinding is performed again. Specifically, an adjustment process (process S7) and a finish grinding process (process S8) are performed. This is repeated until the difference between the measured value and the design dimension becomes a predetermined value or less.
When the difference between the measurement result and the design dimension is not more than a predetermined value, whether or not the deviation of the optical center (optical axis) of the small lens of the lens array formed by the recess 111 is not more than a predetermined value, The concave portion 111 is confirmed by measuring it with a three-dimensional measuring device (processing S12) (processing S13).
When it is confirmed that the deviation of the optical center is equal to or less than a predetermined value (when it is confirmed that the accuracy of the optical axis position is good), the surface of the mold 1 on which the concave portion 111 is formed (molded surface). Surface treatment is performed (processing S14).
When the deviation of the optical center exceeds a predetermined value, finish grinding is performed again, and processing S7 to processing S13 are repeated. This is repeated until the deviation of the optical center becomes a predetermined value or less.

最後に、このようにして製造された成形型1の検査を行う。
成形型1と、レンズアレイの平面側を構成する型とを対向配置して、金型を組み立てる(処理S15)。成形型1と、型との間にレンズアレイの原料となる硝子板(硝材)を配置して、プレス成形する(処理S16)。
次に、このようにして製造されたレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心の位置精度を確認する。小レンズ81の光学中心のずれが所定の値以下であること、例えば、0.01mm以下、好ましくは5μm以下であることが確認されたら(処理S17)、成形型1の製造が完了する。
Finally, the mold 1 thus manufactured is inspected.
The mold 1 and the mold constituting the plane side of the lens array are arranged to face each other, and the mold is assembled (process S15). A glass plate (glass material) as a raw material for the lens array is placed between the mold 1 and the mold, and press molding is performed (processing S16).
Next, the positional accuracy of the optical center of the small lens 81 of the lens array 8 manufactured in this way is confirmed. When it is confirmed that the deviation of the optical center of the small lens 81 is not more than a predetermined value, for example, 0.01 mm or less, preferably 5 μm or less (processing S17), the manufacturing of the mold 1 is completed.

[レンズアレイの製造方法]
以上のようにして製造された成形型1を使用し、次のようにしてレンズアレイ8を製造する。図12〜図15を参照して説明する。
まず、成形型1をはめ込んだ下型51と、この下型51に対向配置される上型52とを用意する。
下型51は、平面略矩形形状の凹部511が形成された型枠51Aと、複数の成形型1とを備える。
型枠51Aの凹部511には、複数個の成形型1が設置される。例えば、本実施形態では、凹部511に4つの成形型1が設置される。
上型52は、下型51側の面が平面となっている。
次に、図13(A)に示すように、下型51と上型52とを離間配置し、この下型51と上型52との間に板状の一枚の硝子板(硝材)6を設置する。この硝材6は、レンズアレイ8の原料となるものである。
そして、図13(B)に示すように、下型51と上型52とで硝材6をプレスして熱成形する。その後、下型51と上型52とを離間して、図13(C)に示すように、成形体7を取り出す。
成形体7は、図14に示すように、4つのレンズアレイ8が一体的に形成されたものとなっている。この成形体7の各レンズアレイ8には、マーク112に対応したマーク82が転写されている。このような成形体7をダイシングすることで、レンズアレイ8を得ることができる。
レンズアレイ8のマーク82から切断線までの距離を予め把握しておくことで、ダイシングの際に、マーク82に基づいて切断線を検出することができる。例えば、ダイシングの際に、成形体7のマーク82をCCD等の撮像手段で検出し、このマーク82を結んだ線を切断線とし、ダイシングすることができるのである。
以上の工程により、図15に示すレンズアレイ8を得ることができる。
[Lens Array Manufacturing Method]
Using the mold 1 manufactured as described above, the lens array 8 is manufactured as follows. This will be described with reference to FIGS.
First, a lower mold 51 in which the molding die 1 is fitted and an upper mold 52 arranged to face the lower mold 51 are prepared.
The lower mold 51 includes a mold 51 </ b> A in which a substantially rectangular planar recess 511 is formed, and a plurality of molds 1.
A plurality of molds 1 are installed in the recess 511 of the mold 51A. For example, in the present embodiment, four molds 1 are installed in the recess 511.
The upper mold 52 has a flat surface on the lower mold 51 side.
Next, as shown in FIG. 13A, the lower mold 51 and the upper mold 52 are spaced apart, and a single glass plate (glass material) 6 between the lower mold 51 and the upper mold 52. Is installed. The glass material 6 is a raw material for the lens array 8.
Then, as shown in FIG. 13B, the glass material 6 is pressed and thermoformed by the lower mold 51 and the upper mold 52. Thereafter, the lower mold 51 and the upper mold 52 are separated from each other, and the molded body 7 is taken out as shown in FIG.
As shown in FIG. 14, the molded body 7 is formed by integrally forming four lens arrays 8. A mark 82 corresponding to the mark 112 is transferred to each lens array 8 of the molded body 7. The lens array 8 can be obtained by dicing such a molded body 7.
By knowing in advance the distance from the mark 82 of the lens array 8 to the cutting line, the cutting line can be detected based on the mark 82 during dicing. For example, at the time of dicing, the mark 82 of the molded body 7 is detected by an imaging means such as a CCD, and the line connecting the marks 82 can be used as a cutting line for dicing.
Through the above steps, the lens array 8 shown in FIG. 15 can be obtained.

従って、本実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。
(1)母材10に凹部111の配列方向を示すマーク112が形成されており、加工工程では、前記母材10を治具4のステージ42,43に取り付けて、マーク112と、治具4のステージ42,43の移動方向とのずれを検出し、この検出結果に基づいて、回転ステージ44を回転駆動して、母材10を回転し、母材10の凹部111の設計上の配列方向と治具のステージ42,43の移動方向とを略一致させているので、母材10に形成される凹部111の配列方向を所望の方向とすることができる。
本実施形態では、成形品がレンズアレイを製造するための成形型1であるため、成形型1の外周部に対し、所望の方向に凹部111が配列した成形型1を得ることができる。
この成形型1を用いてレンズアレイ8を製造すれば、小レンズ81の配列方向がレンズアレイ8の外周部に対し所望の方向となるので、このようなレンズアレイ8を光学機器に搭載した際に、小レンズ81の配列方向のずれによる明るさの低下を引き起こすことがない。
Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) A mark 112 indicating the arrangement direction of the recesses 111 is formed on the base material 10. In the processing step, the base material 10 is attached to the stages 42 and 43 of the jig 4, and the mark 112 and the jig 4 are attached. The deviation of the moving direction of the stages 42 and 43 is detected, and based on the detection result, the rotary stage 44 is driven to rotate, the base material 10 is rotated, and the design arrangement direction of the recesses 111 of the base material 10 And the movement direction of the jig stages 42 and 43 are substantially coincided with each other, so that the arrangement direction of the recesses 111 formed in the base material 10 can be set to a desired direction.
In the present embodiment, since the molded product is the molding die 1 for manufacturing the lens array, the molding die 1 in which the concave portions 111 are arranged in a desired direction with respect to the outer peripheral portion of the molding die 1 can be obtained.
When the lens array 8 is manufactured using the mold 1, the arrangement direction of the small lenses 81 becomes a desired direction with respect to the outer peripheral portion of the lens array 8. Therefore, when such a lens array 8 is mounted on an optical device. In addition, a decrease in brightness due to a shift in the arrangement direction of the small lenses 81 is not caused.

(2)本実施形態では、レンズアレイ8を製造する際に、複数の成形型1を、下型51の型枠51Aの凹部511にはめ込み、一枚の硝材6から複数のレンズアレイ8を得ている。そのため、レンズアレイをひとつずつ成形する場合に比べ、製造効率を高めることができる。
(3)さらに、本実施形態では、複数枚のレンズアレイ8が一体的に成形された成形体7をダイシングする際にマーク82を基準にして切断線を検出できるので、正確にダイシングすることが可能となる。
(2) In the present embodiment, when manufacturing the lens array 8, the plurality of molds 1 are fitted into the recesses 511 of the mold 51 </ b> A of the lower mold 51 to obtain a plurality of lens arrays 8 from a single glass material 6. ing. Therefore, the manufacturing efficiency can be increased as compared with the case where the lens arrays are molded one by one.
(3) Further, in the present embodiment, since the cutting line can be detected on the basis of the mark 82 when dicing the molded body 7 in which the plurality of lens arrays 8 are integrally molded, the dicing can be accurately performed. It becomes possible.

(4)母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置のうち何れか一つである基準位置P0と、他の小レンズ81の光学中心に対応する位置との距離に応じた調整スペーサ461を用意し、基準位置P0と、保持部31の回転軸312とを一致させた後、調整スペーサ461を介してXステージ43と位置決め部45X、及び/又は、Yステージ42と位置決め部45Yとを当接させているため、保持部31の回転軸312と、母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置とを正確に一致させることができる。
このように、調整スペーサ461をXステージ43と位置決め部45X、及び/又は、Yステージ42と位置決め部45Yとの間に挟むだけで、保持部31の回転軸312と、母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置とを一致させることができ、ステージ42,43の位置決めを迅速、かつ容易に行うことができる。
また、このように、ステージ42,43の位置決めを迅速に行うことができるので、成形型の製造時間を短縮することができる。
さらに、保持部31の回転軸312と、母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置とを正確に一致させることができるので、本実施形態の製造方法で製造された成形型1により成形されるレンズアレイ8の小レンズ81の光軸の位置精度を高くすることができる。
(4) A reference position P0 that is one of positions corresponding to the optical center of the small lens 81 of the lens array 8 on the surface of the base material 10 and a position corresponding to the optical center of the other small lens 81. An adjustment spacer 461 corresponding to the distance is prepared, and after aligning the reference position P0 and the rotation shaft 312 of the holding portion 31, the X stage 43, the positioning portion 45X, and / or the Y stage via the adjustment spacer 461. 42 and the positioning portion 45Y are brought into contact with each other, so that the rotation shaft 312 of the holding portion 31 and the position corresponding to the optical center of the small lens 81 of the lens array 8 on the surface of the base material 10 are accurately matched. Can do.
In this manner, the adjustment spacer 461 is simply sandwiched between the X stage 43 and the positioning portion 45X and / or the Y stage 42 and the positioning portion 45Y, and the rotation shaft 312 of the holding portion 31 and the surface of the base material 10 are The position corresponding to the optical center of the small lens 81 of the lens array 8 can be matched, and the positioning of the stages 42 and 43 can be performed quickly and easily.
In addition, since the stages 42 and 43 can be positioned quickly in this way, the manufacturing time of the mold can be shortened.
Furthermore, since the rotation axis 312 of the holding part 31 and the position corresponding to the optical center of the small lens 81 of the lens array 8 on the surface of the base material 10 can be accurately matched, the manufacturing method of this embodiment is used. The positional accuracy of the optical axis of the small lens 81 of the lens array 8 molded by the molded mold 1 can be increased.

(5)本実施形態では、原点出しスペーサ462は、母材10の外形中心位置P1と、基準位置P0間の距離に応じたものであるため、原点出しスペーサ462を、位置決め部45X,45Yと、ステージ42,43との間に挿入し、保持部31の回転軸312と、母材10の外形中心位置P1とをあわせることにより、原点出しスペーサ462を挟まない状態において、母材10の基準位置P0と保持部31の回転軸312とが一致することとなる。
このような本実施形態では、原点出し工程において、母材10の外形中心位置P1と保持部31の回転軸312とを一致させており、母材10が保持部31に対し、バランスよく取り付けられることとなるため、原点出しを容易に行うことができる。
また、原点出し工程では、ステージ42,43は、原点出しスペーサ462(462X,462Y)の幅寸法の分だけ、初期状態から摺動した状態となっている。X軸方向原点出しスペーサ462Xの幅寸法T0Xは、調整スペーサ461XのNo.1スペーサの幅寸法とNo.2スペーサの幅寸法との略中間の幅寸法であり、Y軸方向原点出しスペーサ462Yの幅寸法T0yは、調整スペーサ461YのNo.6スペーサの幅寸法と、No.7スペーサの幅寸法との略中間の幅寸法である。すなわち、原点出し工程では、各ステージ42,43は、最大に摺動した状態ではないので、保持部31を回転させても、各ステージ42,43のバランスが崩れにくく、原点出しを容易に行うことができる。
(5)ステージ42,43は、初期状態から一方向側にのみ摺動し、一方向と反対の他方向側に付勢されている。母材10の基準位置P0は、レンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置のうち、付勢方向最後端に位置する部分であるため、調整工程では、ステージ42,43と、このステージ42,43に付勢方向と対向する方向から当接する位置決め部45X,45Yとの間に、順次、調整スペーサ461をはめ、ステージ42,43を付勢方向と反対方向に駆動するだけでよいので、ステージ42,43の位置決め作業を容易化することができる。
(5) In the present embodiment, the origin search spacer 462 corresponds to the distance between the outer shape center position P1 of the base material 10 and the reference position P0. Therefore, the origin search spacer 462 is replaced with the positioning portions 45X and 45Y. The base material 10 is inserted into the stage 42, 43 and the rotation shaft 312 of the holding portion 31 is aligned with the outer shape center position P1 of the base material 10 so that the origin spacer 462 is not sandwiched. The position P0 and the rotation axis 312 of the holding unit 31 coincide with each other.
In such an embodiment, in the origin finding process, the outer shape center position P1 of the base material 10 and the rotation shaft 312 of the holding part 31 are matched, and the base material 10 is attached to the holding part 31 in a balanced manner. Therefore, the origin can be easily obtained.
Further, in the origin setting process, the stages 42 and 43 are slid from the initial state by the width dimension of the origin setting spacer 462 (462X, 462Y). The width dimension T 0X of the X-axis direction origin-departing spacer 462X is the same as the No. of the adjusting spacer 461X. No. 1 spacer width and No. 2 is a width dimension of approximately midway between the width dimension of the spacer, the width T 0y in the Y-axis direction home search spacer 462Y is adjusted spacer 461Y No. No. 6 spacer width dimension, 7 is a width dimension substantially in the middle of the width dimension of the spacer. That is, in the origin setting process, the stages 42 and 43 are not slid to the maximum, so that even if the holding unit 31 is rotated, the balance of the stages 42 and 43 is not easily lost, and the origin setting is easily performed. be able to.
(5) The stages 42 and 43 slide only in one direction from the initial state, and are biased in the other direction opposite to the one direction. Since the reference position P0 of the base material 10 is a portion located at the rearmost end in the urging direction among the positions corresponding to the optical center of the small lens 81 of the lens array 8, in the adjustment process, the stages 42 and 43, An adjustment spacer 461 is sequentially fitted between the positioning portions 45X and 45Y that come into contact with the stages 42 and 43 from the direction opposite to the biasing direction, and the stages 42 and 43 need only be driven in the direction opposite to the biasing direction. Therefore, the positioning work of the stages 42 and 43 can be facilitated.

(6)本実施形態では、位置決め部45X,45Yをマイクロメータヘッドとしている。従って、原点出し工程において、ステージ42,43と、位置決め部45X,45Yとの間に、原点出しスペーサ462を挟み、母材10の外形中心位置P1と、保持部31の回転軸312とを一致させる際に、位置決め部45X,45Yのスピンドル415の先端を進退させることができるので、母材10の外形中心位置P1と、保持部31の回転軸312とを容易に一致させることができる。
(7)位置決め部45X,45Yのスピンドル451の先端を進退させて、ステージ42,43を摺動させ、保持部31の回転軸312と、母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置とを一致させる方法も考えられるが、この場合には、スピンドル451は、基準位置P0から最も離れた小レンズ81の光学中心に対応する位置までの長さ寸法を有するものでなければならない。
これに対し、本実施形態では、ステージ42,43と、位置決め部45X,45Yとの間に、調整スペーサ461、原点出しスペーサ462を挟む構成としているので、スピンドル451を、基準位置P0から最も離れた小レンズ81の光学中心に対応する位置までの長さ寸法を有するものとする必要がない。従って、スピンドル451の先端を進退させて、ステージ42,43を摺動させる場合に比べ、スピンドル451の長さ寸法が短くて済むため、治具4の軽量化を図ることができる。
(6) In this embodiment, the positioning portions 45X and 45Y are micrometer heads. Therefore, in the origin-finding step, the origin-seeking spacer 462 is sandwiched between the stages 42 and 43 and the positioning portions 45X and 45Y so that the outer shape center position P1 of the base material 10 and the rotation shaft 312 of the holding portion 31 coincide. In doing so, the tips of the spindles 415 of the positioning portions 45X and 45Y can be moved back and forth, so that the outer shape center position P1 of the base material 10 and the rotation shaft 312 of the holding portion 31 can be easily matched.
(7) The tips of the spindles 451 of the positioning portions 45X and 45Y are moved forward and backward to slide the stages 42 and 43, and the rotation shaft 312 of the holding portion 31 and the small lenses 81 of the lens array 8 on the surface of the base material 10 Although a method of matching the position corresponding to the optical center is also conceivable, in this case, the spindle 451 has a length dimension to a position corresponding to the optical center of the small lens 81 farthest from the reference position P0. Must.
On the other hand, in this embodiment, since the adjustment spacer 461 and the origination spacer 462 are sandwiched between the stages 42 and 43 and the positioning portions 45X and 45Y, the spindle 451 is farthest from the reference position P0. It is not necessary to have a length dimension up to a position corresponding to the optical center of the small lens 81. Therefore, the length of the spindle 451 can be shortened as compared with the case where the stage 42, 43 is slid by moving the tip of the spindle 451 forward and backward, so that the jig 4 can be reduced in weight.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、母材10に凹部111の配列方向を示す十字形状のマーク112を形成したが、これに限らず、例えば、図16に示すように、凹部111の配列方向に沿った直線状の一対のマーク112’を形成してもよい。
また、前記実施形態では、十字形状のマーク112は、凹状に窪んだものであったが、これに限らず、凸状のものであってもよい。また、マークを凹状、凸状の立体的な形状とせずに、例えば、印刷等で形成した平面的なものとしてもよい。
さらに、前記実施形態では、Yステージ42、Xステージ43の傾きを調整する際に、Yステージ42、Xステージ43の側面にダイアルゲージを接触させ、ダイアルゲージをX軸方向に動かし、目盛りの変動を計測し、ダイアルゲージを移動させた距離と、目盛りの変動とから傾きを算出し、この傾きが所定値以上の場合にYステージ42、Xステージ43の傾きを調整したが、Yステージ42、Xステージ43の傾きの調整方法は、これに限られるものではない。例えば、図17に示すように、Xステージ43の回転ステージ44がとりつけられた面にXステージ43,Yステージ42の移動方向を示すマーク442Bを形成しておき、このマーク442Bの示す方向と、鉛直方向、水平方向とのずれを検出し、この検出結果に基づいて、保持部31を回転駆動して、Xステージ43の移動方向及び水平方向とを略一致させ、Yステージ42の移動方向と鉛直方向とを略一致させてもよい。このようにすることで、Xステージ43に形成されたマーク442Bに基づいてXステージ43,Yステージ42の移動方向をそれぞれ、水平方向、鉛直方向に設定しているので、ステージ42,43の傾きの調整を容易に行うことができる。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
For example, in the embodiment, the cross-shaped mark 112 indicating the arrangement direction of the recesses 111 is formed on the base material 10, but the present invention is not limited thereto. For example, as shown in FIG. A pair of straight marks 112 ′ may be formed.
Moreover, in the said embodiment, although the cross-shaped mark 112 was a thing dented in concave shape, it may not be restricted to this but may be convex. Further, the mark may be a flat one formed by printing or the like, for example, without forming a concave or convex three-dimensional shape.
Furthermore, in the embodiment, when adjusting the tilt of the Y stage 42 and the X stage 43, the dial gauge is brought into contact with the side surfaces of the Y stage 42 and the X stage 43, and the dial gauge is moved in the X-axis direction to change the scale. And the inclination is calculated from the distance the dial gauge is moved and the change in the scale. When the inclination is equal to or larger than a predetermined value, the inclination of the Y stage 42 and the X stage 43 is adjusted. The method for adjusting the tilt of the X stage 43 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 17, a mark 442B indicating the moving direction of the X stage 43 and the Y stage 42 is formed on the surface of the X stage 43 to which the rotary stage 44 is attached, and the direction indicated by the mark 442B, A deviation between the vertical direction and the horizontal direction is detected, and based on the detection result, the holding unit 31 is rotationally driven so that the movement direction and the horizontal direction of the X stage 43 are substantially coincided with each other. The vertical direction may be substantially matched. By doing so, the movement directions of the X stage 43 and the Y stage 42 are set to the horizontal direction and the vertical direction based on the marks 442B formed on the X stage 43, respectively. Can be easily adjusted.

また、前記実施形態では、Xステージ43、Yステージ42に形成された当接部43B,42Cをブロックとし、位置決め部45X,45Yをマイクロメータヘッドとしたが、これに限らず、例えば、当接部をマイクロメータヘッドとし、位置決め部をブロックとしてもよい。さらに、位置決め部及び当接部の双方をブロックで構成してもよい。
前記実施形態では、母材10の外形中心位置P1と、母材10表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置とが異なっていたが、これに限らず、母材の外形中心位置と、母材の表面のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する位置のうちの何れか一つとが一致していてもよい。このような場合には、原点出しスペーサが調整スペーサを兼ねることとなり、スペーサの数を低減させることができる。
In the embodiment, the contact portions 43B and 42C formed on the X stage 43 and the Y stage 42 are blocks, and the positioning portions 45X and 45Y are micrometer heads. The part may be a micrometer head and the positioning part may be a block. Furthermore, you may comprise both a positioning part and a contact part with a block.
In the embodiment, the outer shape center position P1 of the base material 10 and the position corresponding to the optical center of the small lens 81 of the lens array 8 on the surface of the base material 10 are different. The center position may coincide with any one of the positions corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the base material. In such a case, the origin return spacer also serves as the adjustment spacer, and the number of spacers can be reduced.

また、前記実施形態では、原点出し工程では、母材10の外形中心位置P1と、母材10の基準位置P0との距離に応じた原点出しスペーサ462を用意し、原点出し工程では、原点出しスペーサ462を、位置決め部45X,45Yとステージ42,43とで挟持し、保持部31の回転軸312と、母材10の外形中心位置P1とをあわせることにより、母材10の基準位置P0と、保持部31の回転軸312とを一致させていたが、これに限らず、母材10の基準位置P0と保持部31の回転軸312とを直接一致させてもよい。このようにすることで、原点出しスペーサが不要となり、部材点数の削減を図ることができる。   Further, in the above-described embodiment, in the origin finding process, an origin finding spacer 462 corresponding to the distance between the outer shape center position P1 of the base material 10 and the reference position P0 of the base material 10 is prepared. The spacer 462 is sandwiched between the positioning portions 45X and 45Y and the stages 42 and 43, and the rotation axis 312 of the holding portion 31 and the outer shape center position P1 of the base material 10 are aligned, so that the reference position P0 of the base material 10 is However, the present invention is not limited to this, and the reference position P0 of the base material 10 and the rotation shaft 312 of the holding unit 31 may be directly matched. By doing in this way, the origin origin spacer becomes unnecessary and the number of members can be reduced.

さらに、前記実施形態では、ステージは、初期状態から一方向側にのみ摺動可能となっていたが、これに限らず、他方向側にも摺動するようなものであってもよい。このような場合には、母材の基準位置を、マトリクス状に配置されたレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する位置のうち、配列の端の位置ではなく、配列の中央等とすることができる。
また、前記実施形態では、レンズアレイ8は、小レンズ81が6行×4列に配置されていたが、これに限られず、配列は任意である。例えば、6行×1列、4列×6行等であってもよい。
Furthermore, in the above embodiment, the stage is slidable only in one direction from the initial state, but is not limited thereto, and may be slid in the other direction. In such a case, the reference position of the base material is not the position of the end of the array but the center of the array among the positions corresponding to the optical centers of the small lenses of the lens array arranged in a matrix. Can do.
In the above-described embodiment, the lens array 8 has the small lenses 81 arranged in 6 rows × 4 columns, but is not limited thereto, and the arrangement is arbitrary. For example, it may be 6 rows × 1 column, 4 columns × 6 rows, and the like.

さらに、前記実施形態では、治具4のステージ42,43を移動させる際に、調整スペーサ461を使用して、ステージ42,43を移動させていたが、調整スペーサ461を使用せずに、ステージ42,43を所定距離移動させてもよい。例えば、位置決め部45X,45Yのスピンドル451の先端を進退させて、ステージ42,43を摺動させ、保持部31の回転軸312と、母材10の表面のレンズアレイ8の小レンズ81の光学中心に対応する位置とを一致させてもよい。
また、前記実施形態では、凹部111が形成された成形型1を製造したが、これに限らず、凸部が形成された成形型を製造してもよい。また、本発明で製造する成形品は、成形型1には限られず、凹部又は凸部がマトリクス状に配列したものであればよく、例えば、光学部品等であってもよい。
Further, in the embodiment, when the stages 42 and 43 of the jig 4 are moved, the stages 42 and 43 are moved using the adjustment spacer 461. However, the stage 42 and 43 are moved without using the adjustment spacer 461. 42 and 43 may be moved a predetermined distance. For example, the tips of the spindles 451 of the positioning units 45X and 45Y are moved forward and backward to slide the stages 42 and 43, and the optical axes of the rotating shaft 312 of the holding unit 31 and the small lenses 81 of the lens array 8 on the surface of the base material 10 are detected. The position corresponding to the center may be matched.
Moreover, in the said embodiment, although the shaping | molding die 1 in which the recessed part 111 was formed was manufactured, you may manufacture not only this but the shaping | molding die in which the convex part was formed. Moreover, the molded article manufactured by this invention is not restricted to the shaping | molding die 1, What is necessary is just the thing which the recessed part or the convex part arranged in the matrix form, for example, an optical component etc. may be sufficient.

本発明は、レンズアレイの製造に使用する成形型に利用することができる。   The present invention can be used for a mold used for manufacturing a lens array.

本発明の実施形態にかかる成形型を示す斜視図。The perspective view which shows the shaping | molding die concerning embodiment of this invention. 前記成形型を製造するための加工機及び治具を示す斜視図。The perspective view which shows the processing machine and jig | tool for manufacturing the said shaping | molding die. 前記加工機の変形例を示す模式図。The schematic diagram which shows the modification of the said processing machine. 前記成形型の母材を加工機に取り付けるための治具を示す側面図。The side view which shows the jig | tool for attaching the base material of the said shaping | molding die to a processing machine. 図4とは異なる方向から前記治具を見た側面図。The side view which looked at the said jig | tool from the direction different from FIG. 前記治具の正面図。The front view of the said jig | tool. 前記治具の正面図。The front view of the said jig | tool. 前記治具の正面図。The front view of the said jig | tool. スペーサと母材表面に形成される凹部の加工中心となる位置との関係を示す模式図。The schematic diagram which shows the relationship between a spacer and the position used as the process center of the recessed part formed in the base material surface. 成形型の製造方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing method of a shaping | molding die. 成形型の製造方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing method of a shaping | molding die. 前記成形型を使用した下型及びこの下型に対向配置される上型を示す斜視図。The perspective view which shows the lower mold | type using the said shaping | molding die, and the upper mold | type arrange | positioned facing this lower mold | type. レンズアレイの製造工程を示す模式図であり、図13(A)は、下型及び上型の間に硝材を挟む状態を示している。図13(B)は、下型及び上型により硝材をプレス成形した状態を示す図であり、図13(C)は、プレス成形された成形体の断面図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of a lens array, and FIG. 13 (A) has shown the state which pinches | interposes a glass material between a lower mold | type and an upper mold | type. FIG. 13B is a view showing a state in which the glass material is press-molded by the lower mold and the upper mold, and FIG. 13C is a cross-sectional view of the press-molded molded body. 前記成形体を示す斜視図。The perspective view which shows the said molded object. レンズアレイを示す図であり、図15(A)は、レンズアレイの正面図、図15(B)は、レンズアレイの側面図、図15(C)は図15(B)とは異なる方向から見たレンズアレイの側面図である。FIG. 15A is a front view of the lens array, FIG. 15B is a side view of the lens array, and FIG. 15C is from a direction different from FIG. 15B. It is the side view of the lens array which looked. 成形型の変形例を示す斜視図。The perspective view which shows the modification of a shaping | molding die. 治具の変形例を示す図。The figure which shows the modification of a jig | tool.

符号の説明Explanation of symbols

1…成形型、3…加工機、4…治具、6…硝材(原料)、7…成形体、8…レンズアレイ、10…母材、11…成形面(表面)、31…保持部、32…加工部、42…Yステージ、44…回転ステージ、45Y…位置決め部、45X…位置決め部、46…スペーサ、51…下型、52…上型、81…小レンズ、82…マーク、111…凹部、112…マーク、461…調整スペーサ、461X…調整スペーサ、461Y…調整スペーサ、462…スペーサ、462X…スペーサ、462Y…スペーサ、P0…基準位置、P1…外形中心位置   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mold, 3 ... Processing machine, 4 ... Jig, 6 ... Glass material (raw material), 7 ... Molded object, 8 ... Lens array, 10 ... Base material, 11 ... Molding surface (surface), 31 ... Holding part, 32 ... Processing part, 42 ... Y stage, 44 ... Rotary stage, 45Y ... Positioning part, 45X ... Positioning part, 46 ... Spacer, 51 ... Lower mold, 52 ... Upper mold, 81 ... Small lens, 82 ... Mark, 111 ... Recess, 112 ... Mark, 461 ... Adjustment spacer, 461X ... Adjustment spacer, 461Y ... Adjustment spacer, 462 ... Spacer, 462X ... Spacer, 462Y ... Spacer, P0 ... Reference position, P1 ... Outline center position

Claims (4)

表面に複数の凹部又は凸部がマトリクス状に配置された成形品の製造方法であって、
前記成形品の母材表面に、前記凹部又は凸部の配列方向を示すマークを形成するマーク形成工程と、
加工機を使用し、成形品の母材表面に前記凹部又は凸部を加工する加工工程とを備え、
前記加工機は、前記母材を回転可能に保持する保持部と、保持部に保持された母材表面に切削又は研削によって凹部又は凸部を形成する加工部とを備え、
前記母材は、前記保持部に対し、治具を介して取り付けられ、この治具は、前記凹部又は凸部の配列方向に沿って母材を移動させるステージと、このステージ上に設けられた回転ステージとを有しており、
前記加工工程の前段で、前記母材を治具に取り付けて、前記マーク形成工程で形成されたマークの示す方向と、治具のステージの移動方向とのずれを検出し、
この検出結果に基づいて、回転ステージを駆動し、母材を回転させて、母材の凹部又は凸部の配列方向と治具のステージの移動方向とを略一致させる母材移動方向調整工程を実施することを特徴とする成形品の製造方法。
A method for producing a molded article in which a plurality of concave portions or convex portions are arranged in a matrix on the surface,
A mark forming step of forming a mark indicating the arrangement direction of the concave portion or the convex portion on the surface of the base material of the molded article;
Using a processing machine, and processing the recess or projection on the surface of the base material of the molded product,
The processing machine includes a holding unit that rotatably holds the base material, and a processing unit that forms a concave or convex portion by cutting or grinding on the surface of the base material held by the holding unit,
The base material is attached to the holding portion via a jig, and the jig is provided on the stage and a stage for moving the base material along the arrangement direction of the concave portion or the convex portion. A rotating stage,
At the preceding stage of the processing step, the base material is attached to a jig, and a deviation between the direction indicated by the mark formed in the mark forming step and the moving direction of the stage of the jig is detected,
Based on the detection result, a base material moving direction adjustment step is performed in which the rotating stage is driven, the base material is rotated, and the arrangement direction of the concave or convex portions of the base material and the moving direction of the jig stage are substantially matched. The manufacturing method of the molded article characterized by implementing.
請求項1に記載の成形品の製造方法において、
前記治具のステージには、ステージの移動方向を示すマークが形成されており、
前記母材移動方向調整工程の前段では、前記治具を加工機の保持部に取り付け、前記ステージに形成されたマークの示す方向と、鉛直方向及び/又は水平方向とのずれを検出し、この検出結果に基づいて、ステージの移動方向と、鉛直方向及び/又は水平方向とを略一致させることを特徴とする成形品の製造方法。
In the manufacturing method of the molded article according to claim 1,
A mark indicating the moving direction of the stage is formed on the stage of the jig,
In the previous stage of the base material moving direction adjustment step, the jig is attached to a holding part of a processing machine, and a deviation between a direction indicated by a mark formed on the stage and a vertical direction and / or a horizontal direction is detected. A method of manufacturing a molded product, characterized in that, based on the detection result, the moving direction of the stage substantially matches the vertical direction and / or the horizontal direction.
請求項1又は2に記載の成形品の製造方法において、
前記治具は、前記加工機の保持部に固定される基部と、この基部上に摺動自在に設けられた前記ステージと、このステージに当接し、ステージの位置決めを行なう位置決め部とを備え、
前記母材移動方向調整工程と、前記加工工程との間で、
前記母材の表面の前記凹部又は凸部の中心に対応する位置のうち、何れか一つを基準位置とし、この基準位置と保持部の回転軸とを一致させる原点出し工程と、
前記母材の基準位置と、他の凹部又は凸部の中心に対応する位置との距離に応じた調整スペーサを用意し、ステージを摺動させ、前記調整スペーサを介して前記位置決め部を前記ステージに当接させることにより、保持部の回転軸と母材表面の凹部又は凸部の中心とを合わせる調整工程とを実施することを特徴とする成形品の製造方法。
In the manufacturing method of the molded article according to claim 1 or 2,
The jig includes a base fixed to the holding unit of the processing machine, the stage slidably provided on the base, and a positioning unit that contacts the stage and positions the stage.
Between the base material moving direction adjustment step and the processing step,
An origin finding step in which any one of the positions corresponding to the center of the concave portion or the convex portion on the surface of the base material is set as a reference position, and the reference position and the rotation axis of the holding portion coincide with each other.
An adjustment spacer is prepared according to the distance between the reference position of the base material and the position corresponding to the center of another concave or convex portion, a stage is slid, and the positioning portion is moved to the stage via the adjustment spacer. A method of manufacturing a molded article, comprising: performing an adjustment step of aligning the rotation axis of the holding portion with the center of the concave portion or convex portion of the surface of the base material by contacting with the base material.
前記成形品がレンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した凹部又は凸部が形成された成形型であって、
請求項1から3の何れかに記載の成形品の製造方法により製造されたことを特徴とする成形型。
The molded product is a molding die for molding a lens array, and a molding die in which concave portions or convex portions corresponding to small lenses arranged in a matrix shape of the lens array are formed on the molding surface,
A molding die manufactured by the method for manufacturing a molded product according to any one of claims 1 to 3.
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