JP2006194303A - Plasma resisting seal - Google Patents

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Daihachi Shojima
大八 庄島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma resisting seal of a structure provided with a plasma seal in a plasma irradiation side of an elastomer seal 5 which is a main seal capable of sufficiently demonstrating both of plasma resisting performance and sealing performance. <P>SOLUTION: A non-contact labyrinth seal 6 attenuating plasma by producing diffused reflection of plasma, or a non-contact labyrinth seal 6 attenuating plasma by absorbing charge of plasma is provided in the plasma irradiation side of the elastomer seal 5. In an embodiment, the labyrinth seal 6 includes rough surfaces 7, 8 producing diffused reflection of plasma and the rough surfaces 7, 8 are formed out of conductive material. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、密封装置の一種である耐プラズマ用シールに係り、更に詳しくは、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に、このエラストマー製シールをプラズマから保護するためのプラズマシールを設けた構造の耐プラズマ用シールに関するものである。本発明のシールは、半導体産業、液晶産業またはセンサー産業等の電子産業等でプラズマを使用する分野に用いられる。また、核融合施設等で用いることも可能である。   The present invention relates to a plasma-resistant seal which is a kind of sealing device, and more specifically, a plasma seal for protecting the elastomeric seal from plasma is provided on the plasma irradiation side of the elastomeric seal which is a main seal. The present invention relates to a plasma-resistant seal having a structure. The seal of the present invention is used in the field of using plasma in the electronic industry such as the semiconductor industry, the liquid crystal industry, or the sensor industry. It can also be used in fusion facilities.

エッチング、アッシング、プラズマＣＶＤ等の半導体を製造する装置でプラズマを使用する装置のシール部分には、従来から、図９に示すように、プラズマに対する耐性を備えたＦＦＫＭゴムまたはＦＫＭゴムよりなるＯリング５１が使用されている。上記装置はプラズマを照射して半導体デバイス等を製造するものであって、プラズマの照射が真空雰囲気で行なわれることから装置の内部を大気圧と遮断する必要があり、よってこのためにプラズマに対する耐性を備えた上記Ｏリング５１が用いられている。   As shown in FIG. 9, conventionally, an O-ring made of FFKM rubber or FKM rubber having resistance to plasma is used as a seal portion of an apparatus that uses plasma in an apparatus for manufacturing semiconductors such as etching, ashing, and plasma CVD. 51 is used. The above apparatus irradiates plasma to manufacture semiconductor devices and the like, and since the plasma irradiation is performed in a vacuum atmosphere, it is necessary to shut off the inside of the apparatus from the atmospheric pressure. The O-ring 51 having the above is used.

しかしながら、プラズマはそのエネルギーが非常に強いことから、このプラズマの影響を受けて上記耐性を備えたＦＦＫＭやＦＫＭ等のＯリング５１であっても図１０に示すように削られ、場合によっては損失してしまい、シール機能が低下することがある。特に装置の開閉部では、開閉による金属コンタミの発生の可能性があり、発塵対策として多くの場合、開閉部に間隙（ＧＡＰ）５２が設けられていることから（半導体製造装置等は金属コンタミを極端に嫌うことがその背景にある）、この間隙５２をプラズマ（励起したラジカル種）が通り、Ｏリング５１にアタックする。   However, since the energy of plasma is very strong, even the O-ring 51 such as FFKM or FKM having the above-mentioned resistance under the influence of the plasma is scraped as shown in FIG. As a result, the sealing function may deteriorate. In particular, there is a possibility of metal contamination due to opening / closing in the opening / closing part of the device, and in many cases as a countermeasure against dust generation, a gap (GAP) 52 is provided in the opening / closing part (semiconductor manufacturing equipment, etc. In the background, plasma (excited radical species) passes through the gap 52 and attacks the O-ring 51.

また、損失したＯリング片が異物となって半導体デバイスのパーティクルの原因となることから、半導体デバイスの機能を著しく低下させることがある。特に近年は、半導体製造におけるプラズマ条件が徐々に厳しくなってきており（プラズマ周波数の上昇）、これに対応すべく耐プラズマ性およびシール性の双方に優れたシールの開発が求められている。   Moreover, since the lost O-ring piece becomes a foreign substance and causes particles of the semiconductor device, the function of the semiconductor device may be remarkably deteriorated. Particularly in recent years, plasma conditions in semiconductor manufacturing have become increasingly severe (increased plasma frequency), and in order to cope with this, development of a seal excellent in both plasma resistance and sealing performance is required.

また、プラズマに対する耐性のあるものとして、上記ゴム製Ｏリング５１に代えて、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）よりなるシールを用いることがあるが、ＰＴＦＥは弾性を備えていないために、シール性が余り良くない。   Further, as a material having resistance to plasma, a seal made of PTFE (polytetrafluoroethylene) may be used in place of the rubber O-ring 51. However, since PTFE does not have elasticity, it has a sealing property. Not very good.

また、従来、耐プラズマ性シールとして特開２００２−１６１２６４号公報に記載されたものや、特開２０００−３４４６６号公報に記載されたものが知られているが、これらの従来技術は、耐プラズマ性を向上させるべくエラストマー製シールの組成構造に改良を加えたものであって、本発明のようにメインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側にプラズマシールを併設するものではない。   Conventionally, as plasma-resistant seals, those described in JP-A No. 2002-161264 and those described in JP-A No. 2000-34466 are known. The composition structure of the elastomer seal is improved in order to improve the properties, and the plasma seal is not provided on the plasma irradiation side of the elastomer seal as the main seal as in the present invention.

特開２００２−１６１２６４号公報JP 2002-161264 A 特開２０００−３４４６６号公報JP 2000-34466 A

本発明は以上の点に鑑みて、耐プラズマ性およびシール性の双方を十分に発揮することが可能な耐プラズマ用シールを提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the plasma-resistant seal | sticker which can fully exhibit both plasma resistance and sealing performance in view of the above point.

上記目的を達成するため、本発明の請求項１による耐プラズマ用シールは、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に、プラズマを乱反射させて減衰させる非接触のラビリンスシールを設けたことを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, the plasma-resistant seal according to claim 1 of the present invention is provided with a non-contact labyrinth seal that attenuates the plasma by irregularly reflecting the plasma on the plasma irradiation side of the elastomer seal that is the main seal. It is a feature.

また、本発明の請求項２による耐プラズマ用シールは、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に、プラズマの電荷を吸収してプラズマを減衰させる非接触のラビリンスシールを設けたことを特徴とするものである。   The plasma-resistant seal according to claim 2 of the present invention is characterized in that a non-contact labyrinth seal that absorbs plasma charge and attenuates the plasma is provided on the plasma irradiation side of the elastomer seal that is the main seal. It is what.

また、本発明の請求項３による耐プラズマ用シールは、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に非接触のラビリンスシールを設け、前記ラビリンスシールは、プラズマを乱反射させる凹凸表面を有し、かつ前記凹凸表面を導電性材料にて成形されていることを特徴とするものである。   The plasma-resistant seal according to claim 3 of the present invention is provided with a non-contact labyrinth seal on the plasma irradiation side of the elastomer seal which is a main seal, and the labyrinth seal has an uneven surface for irregularly reflecting plasma, And the said uneven | corrugated surface is shape | molded with the electroconductive material, It is characterized by the above-mentioned.

また、本発明の請求項４による耐プラズマ用シールは、上記した請求項１、２または３の何れかに記載した耐プラズマ用シールにおいて、ラビリンスシールは、エラストマー製シールを装着するハウシングとは別体に成形されて前記ハウジングに後付けされるラビリンス形成部材にて形成されていることを特徴とするものである。   Further, the plasma-resistant seal according to claim 4 of the present invention is the plasma-resistant seal according to any one of claims 1, 2, or 3, wherein the labyrinth seal is different from the housing having the elastomer seal attached thereto. It is formed of a labyrinth forming member that is molded into a body and is retrofitted to the housing.

また、本発明の請求項５による耐プラズマ用シールは、上記した請求項４の耐プラズマ用シールにおいて、ラビリンス形成部材は、導電性材料にて成形されていることを特徴とするものである。   The plasma-resistant seal according to claim 5 of the present invention is the plasma-resistant seal according to claim 4, wherein the labyrinth forming member is formed of a conductive material.

また、本発明の請求項６による耐プラズマ用シールは、上記した請求項４の耐プラズマ用シールにおいて、ラビリンス形成部材は、金型にて成形される材料にて成形されていることを特徴とするものである。   The plasma-resistant seal according to claim 6 of the present invention is characterized in that, in the plasma-resistant seal according to claim 4, the labyrinth forming member is formed of a material formed by a mold. To do.

更にまた、本発明の請求項７による耐プラズマ用シールは、上記した請求項４の耐プラズマ用シールにおいて、ラビリンス形成部材は、導電性樹脂材料にて成形されていることを特徴とするものである。   Furthermore, the plasma-resistant seal according to claim 7 of the present invention is the plasma-resistant seal according to claim 4, wherein the labyrinth forming member is formed of a conductive resin material. is there.

上記構成を備えた本発明の請求項１による耐プラズマ用シールにおいては、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に、プラズマを乱反射させて減衰させる非接触のラビリンスシールが設けられているために、このラビリンスシールにおいてプラズマが乱反射し、このときそのエネルギーや電子密度が低減せしめられる。   In the plasma-resistant seal according to claim 1 of the present invention having the above-described configuration, a non-contact labyrinth seal is provided on the plasma irradiation side of the elastomer seal as the main seal to attenuate the plasma by irregular reflection. In addition, plasma is irregularly reflected in the labyrinth seal, and at this time, energy and electron density are reduced.

また、上記構成を備えた本発明の請求項２による耐プラズマ用シールにおいては、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に、プラズマの電荷を吸収してプラズマを減衰させる非接触のラビリンスシールが設けられているために、このラビリンスシールにおいてプラズマの電荷が吸収され、プラズマが中性粒子（分子）化する。   Further, in the plasma-resistant seal according to claim 2 of the present invention having the above-described configuration, a non-contact labyrinth seal that absorbs plasma charges and attenuates the plasma on the plasma irradiation side of the elastomer seal that is the main seal. In this labyrinth seal, the plasma charge is absorbed and the plasma becomes neutral particles (molecules).

また、上記構成を備えた本発明の請求項３による耐プラズマ用シールにおいては、メインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に非接触のラビリンスシールが設けられ、このラビリンスシールが、プラズマを乱反射させる凹凸表面を有し、かつ凹凸表面を導電性材料にて成形されているために、凹凸表面においてプラズマが乱反射し、このときそのエネルギーや電子密度が低減せしめられる。また、凹凸表面の導電性材料によってプラズマの電荷が吸収され、プラズマが中性粒子（分子）化する。   Further, in the plasma-resistant seal according to claim 3 of the present invention having the above-described configuration, a non-contact labyrinth seal is provided on the plasma irradiation side of the elastomer seal as the main seal, and the labyrinth seal diffuses the plasma. Since the concavo-convex surface is formed and the concavo-convex surface is formed of a conductive material, plasma is irregularly reflected on the concavo-convex surface, and at this time, energy and electron density are reduced. Further, the electric charge of the plasma is absorbed by the conductive material on the uneven surface, and the plasma becomes neutral particles (molecules).

上記請求項１、２または３による耐プラズマ用シールにおいて、ラビリンスシールはこれを、エラストマー製シールを装着するハウシングに直接形成しても良いが、この場合には大型のハウジングに細かな加工を施すことになるために、加工に多くの手間とコストがかかることになる。そこで、本発明の請求項４による耐プラズマ用シールにおいては、ラビリンスシールをハウジングとは別体に成形し、ハウジングに対して後付けすることにした。ラビリンスシールは間隙を含むものであるので、構成部品としてはラビリンス形成部材を加えることにする。   In the plasma-resistant seal according to claim 1, 2, or 3, the labyrinth seal may be directly formed on the housing to which the elastomer seal is attached. In this case, the large housing is finely processed. As a result, the processing takes a lot of labor and cost. Therefore, in the plasma-resistant seal according to claim 4 of the present invention, the labyrinth seal is formed separately from the housing and is retrofitted to the housing. Since the labyrinth seal includes a gap, a labyrinth forming member is added as a component.

そして、このラビリンス形成部材を導電性材料にて成形すると、請求項２または３に係る発明と同様にプラズマ電荷吸収作用を奏し（請求項５）、金型にて成形される材料にて成形すると、その成形が比較的容易であることから、成形にかかる手間とコストを低減させることが可能となる（請求項６）。また、導電性樹脂材料にて成形すると、この導電性樹脂材料が導電性材料（請求項５）でありかつ金型にて成形される材料（請求項６）であることから、請求項５に係る作用と請求項６に係る作用とを兼ね備えることが可能となる（請求項７）。   And, when this labyrinth forming member is molded with a conductive material, the plasma charge absorbing action is exhibited as in the invention according to claim 2 or 3 (Claim 5), and when the material is molded with a mold. Since the molding is relatively easy, it is possible to reduce the labor and cost for the molding (claim 6). Further, when molded with a conductive resin material, the conductive resin material is a conductive material (Claim 5) and a material molded with a mold (Claim 6). It is possible to combine such an action and the action according to claim 6 (claim 7).

本発明は、以下の効果を奏する。   The present invention has the following effects.

すなわち、本発明の請求項１による耐プラズマ用シールにおいては、上記したようにメインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に配置されるラビリンスシールにおいてプラズマが乱反射し、このときそのエネルギーや電子密度が低減せしめられるために、プラズマがエラストマー製シールに到達したときには、そのエラストマー破壊力が低減されているので、エラストマー製シールをプラズマから保護することができる。メインのシール性は、適宜弾性を有するエラストマー製シールにて発揮される。したがって所期の目的どおり、耐プラズマ性およびシール性の双方を発揮する耐プラズマ用シールを提供することができる。   That is, in the plasma-resistant seal according to claim 1 of the present invention, the plasma is irregularly reflected on the labyrinth seal arranged on the plasma irradiation side of the elastomer seal as the main seal as described above. Therefore, when the plasma reaches the elastomeric seal, the elastomer destructive force is reduced, so that the elastomeric seal can be protected from the plasma. The main sealing property is exhibited by an elastomer seal having elasticity as appropriate. Therefore, a plasma-resistant seal that exhibits both plasma resistance and sealability can be provided as intended.

また、本発明の請求項２による耐プラズマ用シールにおいては、上記したようにメインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に配置されるラビリンスシールにおいてプラズマの電荷が吸収され、プラズマが中性粒子化するために、やはりエネルギーや電子密度が低減せしめられ、プラズマがエラストマー製シールに到達したときにはエラストマー破壊力が低減されているので、エラストマー製シールをプラズマから保護することができる。メインのシール性は、適宜弾性を有するエラストマー製シールにて発揮される。したがって所期の目的どおり、耐プラズマ性およびシール性の双方を発揮する耐プラズマ用シールを提供することができる。   In the plasma-resistant seal according to claim 2 of the present invention, as described above, the plasma charge is absorbed in the labyrinth seal disposed on the plasma irradiation side of the elastomer seal as the main seal, and the plasma is neutral particles. Therefore, energy and electron density are also reduced, and when the plasma reaches the elastomeric seal, the elastomer breaking force is reduced, so that the elastomeric seal can be protected from the plasma. The main sealing property is exhibited by an elastomer seal having elasticity as appropriate. Therefore, a plasma-resistant seal that exhibits both plasma resistance and sealability can be provided as intended.

また、本発明の請求項３による耐プラズマ用シールにおいては、上記したようにメインシールであるエラストマー製シールのプラズマ照射側に配置されるラビリンスシールの凹凸表面においてプラズマが乱反射し、このときそのエネルギーや電子密度が低減せしめられるために、プラズマがエラストマー製シールに到達したときには、そのエラストマー破壊力が低減されているので、エラストマー製シールをプラズマから保護することができる。また併せて、ラビリンスシールにおける凹凸表面の導電性材料においてプラズマの電荷が吸収され、プラズマが中性粒子化するために、やはりエネルギーや電子密度が低減せしめられ、プラズマがエラストマー製シールに到達したときにはエラストマー破壊力が低減されているので、エラストマー製シールをプラズマから保護することができる。当該請求項に係る発明では、凹凸表面によるプラズマの乱反射と、導電性材料によるプラズマ電荷の吸収とが双方なされるので、エネルギーや電子密度の低減効果が頗る大きい。メインのシール性については、上記と同様、適宜弾性を有するエラストマー製シールにて発揮される。したがって所期の目的どおり、耐プラズマ性およびシール性の双方を発揮し、しかも一段と優れた耐プラズマ性を発揮することが可能な耐プラズマ用シールを提供することができる。   In the plasma-resistant seal according to claim 3 of the present invention, as described above, the plasma is irregularly reflected on the uneven surface of the labyrinth seal disposed on the plasma irradiation side of the elastomer seal which is the main seal. Since the electron density is reduced, when the plasma reaches the elastomer seal, the elastomer breaking force is reduced, so that the elastomer seal can be protected from the plasma. At the same time, the electric charge of the plasma is absorbed in the conductive material on the uneven surface of the labyrinth seal, and the plasma becomes neutral particles, so the energy and electron density are also reduced, and when the plasma reaches the elastomer seal Since the elastomer breaking force is reduced, the elastomeric seal can be protected from plasma. In the invention according to the claim, since both the irregular reflection of the plasma by the uneven surface and the absorption of the plasma charge by the conductive material are both performed, the effect of reducing energy and electron density is greatly increased. The main sealing performance is exhibited by an elastomeric seal having elasticity as appropriate, as described above. Therefore, as intended, it is possible to provide a plasma-resistant seal that exhibits both plasma resistance and sealing properties, and that can exhibit even more excellent plasma resistance.

また、本発明の請求項４による耐プラズマ用シールにおいては、ラビリンスシールが、エラストマー製シールを装着するハウシングとは別体に成形されてハウジングに後付けされるラビリンス形成部材にて形成されているために、その製作にかかる手間とコストを、ハウジングに直接設ける場合よりも低減させることができる。   In the plasma-resistant seal according to claim 4 of the present invention, the labyrinth seal is formed by a labyrinth forming member that is formed separately from the housing that is fitted with the elastomer seal and is retrofitted to the housing. In addition, it is possible to reduce the labor and cost for the production compared to the case where it is directly provided on the housing.

また、本発明の請求項５による耐プラズマ用シールにおいては、ラビリンス形成部材が導電性材料にて成形されているために、請求項２または３に係る発明と同様、プラズマ電荷吸収作用による耐プラズマ性を発揮することができる。   Further, in the plasma-resistant seal according to claim 5 of the present invention, since the labyrinth forming member is formed of a conductive material, the plasma-resistant due to the plasma charge absorption action as in the invention according to claim 2 or 3. Can demonstrate its sexuality.

また、本発明の請求項６による耐プラズマ用シールにおいては、ラビリンス形成部材が金型にて成形される材料にて成形されているために、その成形が比較的容易で、成形にかかる手間とコストを低減させることができる。   Further, in the plasma-resistant seal according to claim 6 of the present invention, since the labyrinth forming member is formed of a material formed by a mold, the forming is relatively easy, and the time and effort required for forming are reduced. Cost can be reduced.

更にまた、本発明の請求項７による耐プラズマ用シールにおいては、ラビリンス形成部材が導電性樹脂材料にて成形性されているために、請求項５に係る作用効果と請求項６に係る作用効果とを双方発揮することができる。   Furthermore, in the plasma-resistant seal according to claim 7 of the present invention, since the labyrinth forming member is moldable with a conductive resin material, the function and effect according to claim 5 and the function and effect according to claim 6 are provided. Both can be demonstrated.

尚、本発明には、以下の実施形態が含まれる。   The present invention includes the following embodiments.

（１） プラズマ側がくる位置にラビリンスシールを１個または数個設置する。ラビリンスの形状（断面形状）は、三角形状、四角形状、円（半円）形状等とする。また、金属、導電性樹脂等との組み合わせとしても良い。その後ろ側にエラストマー製のシールを設置する。励起したラジカル（プラズマ）は、設置されたラビリンスシールの各壁に乱反射し、何度も衝突する。壁は、金属、導電性樹脂等で構成されており、励起したラジカル（プラズマ）は電荷を失い、中性粒子（分子）化する。エラストマー製シールのところにラジカル（プラズマ）が到達した際、エネルギーや電子密度は低い状態で到達する。 (1) Install one or several labyrinth seals at the position where the plasma side comes. The shape (cross-sectional shape) of the labyrinth is a triangle shape, a square shape, a circle (semicircle) shape, or the like. Moreover, it is good also as a combination with a metal, conductive resin, etc. Install an elastomeric seal behind it. Excited radicals (plasma) are irregularly reflected on the walls of the installed labyrinth seal and collide many times. The walls are made of metal, conductive resin, etc., and the excited radicals (plasma) lose their charge and become neutral particles (molecules). When radicals (plasma) reach the elastomeric seal, energy and electron density are reached in a low state.

（２） プラズマ中には、中性の気体原子、分子および荷電粒子としての電子、イオンが多数存在する。これらの粒子間で衝突が頻繁に起こっている。原子または外部からエネルギーを与えると、内部エネルギーがより高い状態に遷移する。この状態を励起状態という。プラズマ中の電子・イオンの消失過程として、電子が原子に付着して起こる「負イオン」の生成と、正イオンと電子または負イオンが中和して原子や分子に戻る「再結合」がある。通常の溝の場合、ＧＡＰ部分の隙間を、ラジカル（プラズマ）が通り、Ｏリングをアタックする。ラジカル（プラズマ）は、Ｏリング部分に到達するまで障害がないため、直接接触し、著しい劣化を生じる。シール部分の手前側にラビリンスシールを設けることで、励起種であるラジカル（プラズマ）は、ラビリンスの中で、乱反射を起こし、各壁に衝突する。壁は、金属等で構成されており、励起したラジカル（プラズマ）は、電荷を失い、中性粒子（分子）化する。エラストマー製シールのところにラジカル（プラズマ）が到達した際、エネルギーや電子密度は低い状態となり、エラストマー製シールが劣化しにくくなる。また、メンテナンスのために、狭い入口のアリ溝に入ったＯリングを取り外すという困難な作業もしなくて良い。 (2) There are many electrons and ions as neutral gas atoms, molecules, and charged particles in the plasma. There are frequent collisions between these particles. When energy is applied from an atom or the outside, the internal energy transitions to a higher state. This state is called an excited state. Electron / ion disappearance processes in plasma include the generation of “negative ions” caused by the attachment of electrons to atoms, and the “recombination” of neutralizing positive ions and electrons or negative ions back to atoms and molecules. . In the case of a normal groove, radicals (plasma) pass through the gap of the GAP portion and attack the O-ring. Since radicals (plasma) are not obstructed until they reach the O-ring portion, they directly contact and cause significant deterioration. By providing a labyrinth seal on the front side of the seal portion, radicals (plasma) which is an excited species cause irregular reflection in the labyrinth and collide with each wall. The wall is made of metal or the like, and the excited radical (plasma) loses electric charge and becomes neutral particles (molecules). When radicals (plasma) reach the elastomer seal, the energy and electron density are low, and the elastomer seal is unlikely to deteriorate. Further, for maintenance, it is not necessary to perform a difficult operation of removing the O-ring that has entered the dovetail at the narrow entrance.

（３−１） ラビリンスシールを耐プラズマ性の良い材質のもので別体にする（ＰＴＦＥ樹脂、金属、導電性樹脂を含む）。効果・・・装置にわざわざ複雑な凹凸の加工をする必要がなく、コストを低減できる。
（３−２） 上記（３−１）において、別体部分を導電性の良い材質にする（金属、導電性樹脂を含む）。効果・・・励起したラジカル（プラズマ）は電荷を失い、中性粒子（分子）化する。
（３−３） 上記（３−１）において、別体部分を樹脂にする（ＰＴＦＥ樹脂、導電性樹脂を含む）。効果・・・成型したものを装置に取り付けるだけで良い。複雑なラビリンス凹凸部分の加工が成型で済む。
（３−４） 上記（３−２）（３−３）の合体案として、別体部分を導電性樹脂材にする。効果・・・上記（３−１）〜（３−３）の効果を全て奏する。 (3-1) Separate the labyrinth seal with a material having good plasma resistance (including PTFE resin, metal, and conductive resin). Effect: It is not necessary to process complicated irregularities in the apparatus, and the cost can be reduced.
(3-2) In the above (3-1), the separate part is made of a material having good conductivity (including metal and conductive resin). Effect: Excited radicals (plasma) lose charge and become neutral particles (molecules).
(3-3) In the above (3-1), the separate part is made into a resin (including PTFE resin and conductive resin). Effect: Simply attach the molded product to the device. Complex labyrinth irregularities can be processed by molding.
(3-4) As a combined plan of the above (3-2) and (3-3), a separate part is made a conductive resin material. Effects: All the effects (3-1) to (3-3) are exhibited.

つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第一実施例・・・
図１は、本発明の第一実施例に係る耐プラズマ用シール１の要部断面を示している。当該実施例に係る耐プラズマ用シール１は、半導体製造装置、更に具体的には半導体用真空ポンプの排気部、吸気部もしくはチャンバー部またはエッチング、アッシングもしくはプラズマＣＶＤ装置の配管部もしくはチャンバー部等に用いられるものであって、以下のように構成されている。 First embodiment ...
FIG. 1 shows a cross section of the main part of a plasma-resistant seal 1 according to a first embodiment of the present invention. The plasma-resistant seal 1 according to the embodiment is applied to a semiconductor manufacturing apparatus, more specifically, to an exhaust part, an intake part or a chamber part of a semiconductor vacuum pump, or a pipe part or a chamber part of an etching, ashing or plasma CVD apparatus. It is used and is configured as follows.

すなわち、当該耐プラズマ用シール１は、所定の大きさの間隙Ｇを介して互いに対向する一対のハウジング（一対の装着部材）２，３間をシールするものであって、当該シール１を装着する一方のハウジング２の対向面２ａにシール装着溝４が設けられて、このシール装着溝４にエラストマー製シール５が装着されており、このエラストマー製シール５から見てプラズマが照射されてくる側（図上左側）に、プラズマを乱反射させて減衰させる非接触のラビリンスシール（ラビリンス部または狭隘部とも称する）６がプラズマシールとして設けられている。ハウジング２，３は一般に導電性を備えた金属によって成形されているので、上記ラビリンスシール６はプラズマの電荷を吸収してプラズマを減衰させるものでもある。ハウジング２，３間の間隙Ｇは一般に０．２〜０．３ｍｍ程度の大きさに設定されている。   That is, the plasma-resistant seal 1 seals between a pair of housings (a pair of mounting members) 2 and 3 that face each other with a gap G having a predetermined size. A seal mounting groove 4 is provided on the opposite surface 2 a of one housing 2, and an elastomer seal 5 is mounted in the seal mounting groove 4, and the side irradiated with plasma when viewed from the elastomer seal 5 ( A non-contact labyrinth seal (also referred to as a labyrinth portion or a narrow portion) 6 that attenuates plasma by irregular reflection is provided as a plasma seal on the left side of the drawing. Since the housings 2 and 3 are generally formed of metal having conductivity, the labyrinth seal 6 also absorbs the charge of the plasma and attenuates the plasma. The gap G between the housings 2 and 3 is generally set to a size of about 0.2 to 0.3 mm.

エラストマー製シール５は、具体的にはＯリングよりなり、所定のエラストマー（ゴム状弾性材）、例えばＦＫＭゴム、更に具体的には無機成分レス耐プラズマＦＫＭゴムによって断面円形状に成形されており、装着時に一対のハウジング２，３間にて圧縮されてシール作用を発揮することにより大気の流入を防止する。また、このエラストマー製シール５を装着するシール装着溝４は、その開口幅が底面幅よりも狭い蟻溝状とされており、エラストマー製シール５の最大幅よりも開口幅の方が狭く設定されることによりエラストマー製シール５の抜け止めをなしている。   The elastomer seal 5 is specifically composed of an O-ring, and is formed into a circular cross section by a predetermined elastomer (rubber-like elastic material), for example, FKM rubber, more specifically, an inorganic component-less plasma resistant FKM rubber. The air is prevented from flowing in by being compressed between the pair of housings 2 and 3 and exhibiting a sealing action when mounted. The seal mounting groove 4 for mounting the elastomer seal 5 has a dovetail shape whose opening width is narrower than the bottom surface width, and the opening width is set narrower than the maximum width of the elastomer seal 5. This prevents the elastomer seal 5 from coming off.

非接触のラビリンスシール６は、一対のハウジング２，３の対向面２ａ，３ａに互いに対向するように設けられた凹凸表面７，８の組み合わせよりなり、当該実施例では、この凹凸表面７，８が断面三角形状の凹部７ａ，８ａを複数（図では３箇所ずつ）設けることによって形成されている。一方のハウジング２側の凹部７ａと他方のハウジング３側の凹部８ａは、互いに対向するよう配置しても良いが、当該実施例では互い違いとなるように配置されている。   The non-contact labyrinth seal 6 is composed of a combination of concave and convex surfaces 7 and 8 provided to face the opposing surfaces 2a and 3a of the pair of housings 2 and 3, and in this embodiment, the concave and convex surfaces 7 and 8 are combined. Is formed by providing a plurality (three in the figure) of recesses 7a and 8a having a triangular cross section. The concave portion 7a on the one housing 2 side and the concave portion 8a on the other housing 3 side may be arranged so as to face each other, but are arranged alternately in the present embodiment.

このようなラビリンスシール６が設けられた当該耐プラズマ用シール１に対してプラズマが照射されると、照射されたプラズマはラビリンスシール６の凹凸表面７，８の非平行壁のあちらこちらに衝突して乱反射し、このときそのエネルギーないし電子密度を徐々に低減せしめられる。また、ハウジング２，３の材質に伴って凹凸表面７，８が導電性材料である金属にて成形されているので、プラズマは衝突時に電荷を吸収されて中性粒子（分子）化し、これによってもエネルギーないし電子密度を低減せしめられる。また、一般に非接触のラビリンスシール６は圧力損失を発生させる抵抗体であるので、この抵抗体としての作用によってもプラズマはエネルギーないし電子密度を低減せしめられる。したがって、プラズマがラビリンスシール６を通過してエラストマー製シール５に到達したときには、そのエラストマー破壊力が随分と低減されているので、これによりエラストマー製シール５をプラズマから保護し、その劣損を抑えることができる。また当該シール１では、メインのシール性が適宜弾性を有するエラストマー製シール５によって十分に確保される。したがってこれらのことから所期の目的どおり、耐プラズマ性およびシール性の双方を発揮することが可能な耐プラズマ用シール１を提供することができる。   When the plasma-resistant seal 1 provided with such a labyrinth seal 6 is irradiated with plasma, the irradiated plasma collides with non-parallel walls of the uneven surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6. The energy or electron density is gradually reduced at this time. In addition, since the concave and convex surfaces 7 and 8 are formed of a metal which is a conductive material in accordance with the materials of the housings 2 and 3, the plasma absorbs electric charges at the time of collision and becomes neutral particles (molecules). Can also reduce energy or electron density. In general, the non-contact labyrinth seal 6 is a resistor that generates a pressure loss, so that the plasma can reduce the energy or the electron density by the action of the resistor. Therefore, when the plasma passes through the labyrinth seal 6 and reaches the elastomer seal 5, the elastomer breaking force is considerably reduced, thereby protecting the elastomer seal 5 from the plasma and suppressing its deterioration. be able to. Further, in the seal 1, the main sealability is sufficiently ensured by the elastomer seal 5 having elasticity as appropriate. Therefore, the plasma-resistant seal 1 that can exhibit both the plasma resistance and the sealing performance can be provided according to the intended purpose.

尚、上記実施例においては、その構成を以下のように変更しても良い。   In addition, in the said Example, you may change the structure as follows.

（１） 上記実施例では、ラビリンスシール６の凹凸表面７，８に設ける凹部７ａ，８ａの断面形状を三角形状としたが、その断面形状は特に限定されず、例えば図２に示す四角形状や、図３に示す半円形状等であっても良い。 (1) In the embodiment described above, the cross-sectional shape of the recesses 7a and 8a provided on the concave and convex surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6 is triangular, but the cross-sectional shape is not particularly limited. The semicircular shape shown in FIG.

（２） 上記実施例では、ラビリンスシール６の凹凸表面７，８に凹部７ａ，８ａのみを設けて凹部７ａ，７ａ、８ａ，８ａ間を相対の凸部としたが、凸部を積極的に設けるようにしても良い。ここに凸部を積極的に設けるとは、凸部をハウジング２，３の対向面２ａ，３ａから突出するように設けることを云い、例えば図４の例では、一方のハウジング２（３）に積極的に設けた凸部７ｂ（８ｂ）が他方のハウジング３（２）に設けた凹部８ａ（７ａ）と互いに対向して組み合わされている。また、この図４の例では、凸部７ｂ，８ｂの高さが間隙Ｇの大きさよりも大きく形成されているので、間隙Ｇはエラストマー製シール５まで直線的に通じないように構成されており、このような間隙Ｇであると、プラズマ通路として屈曲したものとなり、プラズマ衝突回数の増大が期待できるので、プラズマ減衰効果が大きなものとなる。 (2) In the above embodiment, the concave and convex surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6 are provided with only the concave portions 7a and 8a, and the concave portions 7a, 7a, 8a and 8a are formed as relative convex portions. You may make it provide. Providing a convex part positively here means providing a convex part so that it may protrude from the opposing surfaces 2a and 3a of the housings 2 and 3, for example, in the example of FIG. 4, one housing 2 (3) is provided. The positively provided convex portion 7b (8b) is combined with the concave portion 8a (7a) provided in the other housing 3 (2) so as to face each other. Further, in the example of FIG. 4, the height of the convex portions 7 b and 8 b is formed larger than the size of the gap G, and thus the gap G is configured not to communicate linearly with the elastomer seal 5. In such a gap G, the plasma passage is bent, and an increase in the number of plasma collisions can be expected, so that the plasma attenuation effect becomes large.

（３） また上記実施例では、ラビリンスシール６の凹凸表面７，８を、互いに対向する一対のハウジング２，３の双方に設けたが、何れか一方のみに設けることにしても良い。この場合、凹凸表面を設けない他方のハウジングの対向面は平坦状のままとされる。 (3) Moreover, in the said Example, although the uneven | corrugated surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6 were provided in both of a pair of housings 2 and 3 which mutually oppose, you may decide to provide only in any one. In this case, the opposing surface of the other housing not provided with the uneven surface remains flat.

第二実施例・・・
図５は、本発明の第二実施例に係る耐プラズマ用シール１の要部断面を示している。当該実施例に係る耐プラズマ用シール１は、半導体製造装置、更に具体的には半導体用真空ポンプの排気部、吸気部もしくはチャンバー部またはエッチング、アッシングもしくはプラズマＣＶＤ装置の配管部もしくはチャンバー部等に用いられるものであって、以下のように構成されている。 Second embodiment ...
FIG. 5 shows a cross section of the main part of the plasma-resistant seal 1 according to the second embodiment of the present invention. The plasma-resistant seal 1 according to the embodiment is applied to a semiconductor manufacturing apparatus, more specifically, to an exhaust part, an intake part or a chamber part of a semiconductor vacuum pump, or a pipe part or a chamber part of an etching, ashing or plasma CVD apparatus. It is used and is configured as follows.

すなわち、当該耐プラズマ用シール１は、所定の大きさの間隙Ｇを介して互いに対向する一対のハウジング（一対の装着部材）２，３間をシールするものであって、当該シール１を装着する一方のハウジング２の対向面２ａにシール装着溝４が設けられて、このシール装着溝４にエラストマー製シール５が装着されており、このエラストマー製シール５から見てプラズマが照射されてくる側（図上左側）に、プラズマを乱反射させて減衰させる非接触のラビリンスシール（ラビリンス部または狭隘部とも称する）６がプラズマシールとして設けられている。ハウジング２，３には、導電性材料よりなるラビリンス形成部材１１，１２が取り付けられて、このラビリンス形成部材１１，１２によりラビリンスシール６が形成されているので、ラビリンスシール６はプラズマの電荷を吸収してプラズマを減衰させるものでもある。ハウジング２，３間の間隙Ｇは一般に０．２〜０．３ｍｍ程度の大きさに設定されている。ハウジング２，３の材質は金属であるが、特に問わない。   That is, the plasma-resistant seal 1 seals between a pair of housings (a pair of mounting members) 2 and 3 that face each other with a gap G having a predetermined size. A seal mounting groove 4 is provided on the opposite surface 2 a of one housing 2, and an elastomer seal 5 is mounted in the seal mounting groove 4, and the side irradiated with plasma when viewed from the elastomer seal 5 ( A non-contact labyrinth seal (also referred to as a labyrinth portion or a narrow portion) 6 that attenuates plasma by irregular reflection is provided as a plasma seal on the left side of the drawing. Labyrinth forming members 11 and 12 made of a conductive material are attached to the housings 2 and 3, and the labyrinth seal 6 is formed by the labyrinth forming members 11 and 12. Therefore, the labyrinth seal 6 absorbs the charge of plasma. This also attenuates the plasma. The gap G between the housings 2 and 3 is generally set to a size of about 0.2 to 0.3 mm. The material of the housings 2 and 3 is metal, but is not particularly limited.

エラストマー製シール５は、具体的にはＯリングよりなり、所定のエラストマー（ゴム状弾性材）、例えばＦＫＭゴム、更に具体的には無機成分レス耐プラズマＦＫＭゴムによって断面円形状に成形されており、装着時に一対のハウジング２，３間にて圧縮されてシール作用を発揮することにより大気の流入を防止する。また、このエラストマー製シール５を装着するシール装着溝４は、その開口幅が底面幅よりも狭い蟻溝状とされており、エラストマー製シール５の最大幅よりも開口幅の方が狭く設定されることによりエラストマー製シール５の抜け止めをなしている。   The elastomer seal 5 is specifically composed of an O-ring, and is formed into a circular cross section by a predetermined elastomer (rubber-like elastic material), for example, FKM rubber, more specifically, an inorganic component-less plasma resistant FKM rubber. The air is prevented from flowing in by being compressed between the pair of housings 2 and 3 and exhibiting a sealing action when mounted. The seal mounting groove 4 for mounting the elastomer seal 5 has a dovetail shape whose opening width is narrower than the bottom surface width, and the opening width is set narrower than the maximum width of the elastomer seal 5. This prevents the elastomer seal 5 from coming off.

非接触のラビリンスシール６は、エラストマー製シール５を装着するハウシング２，３とは別体に成形されてハウジング２，３に後付けされる一対のラビリンス形成部材１１，１２にて形成されており、ハウジング２，３の対向面２ａ，３ａには、このラビリンス形成部材１１，１２を取り付けるための凹部状の装着空間９，１０が設けられている。また、このラビリンスシール６は、一対のラビリンス形成部材１１，１２の互いの対向面に互いに対向するように設けられた凹凸表面７，８の組み合わせよりなり、当該実施例では、この凹凸表面７，８が断面三角形状の凹部７ａ，８ａを複数（図では３箇所ずつ）設けることによって形成されている。一方のハウジング２側の凹部７ａと他方のハウジング３側の凹部８ａは、互いに対向するよう配置しても良いが、当該実施例では互い違いとなるように配置されている。ラビリンス形成部材１１，１２は、導電性を備えた金属によって成形されている。   The non-contact labyrinth seal 6 is formed by a pair of labyrinth forming members 11 and 12 which are formed separately from the housings 2 and 3 to which the elastomer seal 5 is attached and are attached to the housings 2 and 3 later. Recessed mounting spaces 9 and 10 for attaching the labyrinth forming members 11 and 12 are provided on the opposing surfaces 2a and 3a of the housings 2 and 3, respectively. Further, the labyrinth seal 6 is composed of a combination of concave and convex surfaces 7 and 8 provided to face each other on the opposing surfaces of the pair of labyrinth forming members 11 and 12, and in this embodiment, the concave and convex surfaces 7 and 8 8 is formed by providing a plurality of recesses 7a, 8a having a triangular cross section (three in the figure). The concave portion 7a on the one housing 2 side and the concave portion 8a on the other housing 3 side may be arranged so as to face each other, but are arranged alternately in the present embodiment. The labyrinth forming members 11 and 12 are formed of a metal having conductivity.

このようなラビリンスシール６が設けられた当該耐プラズマ用シール１に対してプラズマが照射されると、照射されたプラズマはラビリンスシール６の凹凸表面７，８の非平行壁のあちらこちらに衝突して乱反射し、このときそのエネルギーないし電子密度を徐々に低減せしめられる。また、ラビリンス形成部材１１，１２の材質に伴って凹凸表面７，８が導電性材料である金属にて成形されているので、プラズマは衝突時に電荷を吸収されて中性粒子（分子）化し、これによってもエネルギーないし電子密度を低減せしめられる。また、一般に非接触のラビリンスシール６は圧力損失を発生させる抵抗体であるので、この抵抗体としての作用によってもプラズマはエネルギーないし電子密度を低減せしめられる。したがって、プラズマがラビリンスシール６を通過してエラストマー製シール５に到達したときには、そのエラストマー破壊力が随分と低減されているので、これによりエラストマー製シール５をプラズマから保護し、その劣損を抑えることができる。また当該シール１では、メインのシール性が適宜弾性を有するエラストマー製シール５によって十分に確保される。したがってこれらのことから所期の目的どおり、耐プラズマ性およびシール性の双方を発揮することが可能な耐プラズマ用シール１を提供することができる。   When the plasma-resistant seal 1 provided with such a labyrinth seal 6 is irradiated with plasma, the irradiated plasma collides with non-parallel walls of the uneven surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6. The energy or electron density is gradually reduced at this time. In addition, since the uneven surfaces 7 and 8 are formed of a metal which is a conductive material in accordance with the material of the labyrinth forming members 11 and 12, the plasma is absorbed into charges at the time of collision and becomes neutral particles (molecules). This also reduces energy or electron density. In general, the non-contact labyrinth seal 6 is a resistor that generates a pressure loss, so that the plasma can reduce the energy or the electron density by the action of the resistor. Therefore, when the plasma passes through the labyrinth seal 6 and reaches the elastomer seal 5, the elastomer breaking force is considerably reduced, thereby protecting the elastomer seal 5 from the plasma and suppressing its deterioration. be able to. Further, in the seal 1, the main sealability is sufficiently ensured by the elastomer seal 5 having elasticity as appropriate. Therefore, the plasma-resistant seal 1 that can exhibit both the plasma resistance and the sealing performance can be provided according to the intended purpose.

また、当該シール１では、ラビリンスシール６が、エラストマー製シール５を装着するハウシング２，３とは別体に成形されてハウジング２，３に後付けされるラビリンス形成部材１１，１２にて形成されているために、その製作にかかる手間とコストを、ハウジング２，３に直接設ける場合よりも低減させることができる。   In the seal 1, the labyrinth seal 6 is formed by labyrinth forming members 11 and 12 that are formed separately from the housings 2 and 3 to which the elastomeric seal 5 is attached and are attached to the housings 2 and 3. Therefore, it is possible to reduce labor and cost for the production compared to the case where the housings 2 and 3 are directly provided.

尚、上記実施例においては、その構成を以下のように変更しても良い。   In addition, in the said Example, you may change the structure as follows.

（１） 上記実施例では、ラビリンスシール６の凹凸表面７，８に設ける凹部７ａ，８ａの断面形状を三角形状としたが、その断面形状は特に限定されず、例えば図６に示す四角形状や、図７に示す半円形状等であっても良い。 (1) In the above embodiment, the cross-sectional shape of the recesses 7a and 8a provided on the concave and convex surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6 is triangular, but the cross-sectional shape is not particularly limited, and for example, the rectangular shape shown in FIG. The semicircular shape shown in FIG.

（２） 上記実施例では、ラビリンスシール６の凹凸表面７，８に凹部７ａ，８ａのみを設けて凹部７ａ，７ａ、８ａ，８ａ間を相対の凸部としたが、凸部を積極的に設けるようにしても良い。ここに凸部を積極的に設けるとは、凸部をハウジング２，３の対向面２ａ，３ａから突出するように設けることを云い、例えば図８の例では、一方のハウジング２（３）に積極的に設けた凸部７ｂ（８ｂ）が他方のハウジング３（２）に設けた凹部８ａ（７ａ）と互いに対向して組み合わされている。また、この図８の例では、凸部７ｂ，８ｂの高さが間隙Ｇの大きさよりも大きく形成されているので、間隙Ｇはエラストマー製シール５まで直線的に通じないように構成されており、このような間隙Ｇであると、プラズマ通路として屈曲したものとなり、プラズマ衝突回数の増大が期待できるので、プラズマ減衰効果が大きなものとなる。 (2) In the above embodiment, the concave and convex surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6 are provided with only the concave portions 7a and 8a, and the concave portions 7a, 7a, 8a and 8a are formed as relative convex portions. You may make it provide. Providing a convex part positively here means providing a convex part so that it may protrude from the opposing surfaces 2a and 3a of the housings 2 and 3, for example, in the example of FIG. 8, one housing 2 (3) is provided. The positively provided convex portion 7b (8b) is combined with the concave portion 8a (7a) provided in the other housing 3 (2) so as to face each other. Further, in the example of FIG. 8, the height of the convex portions 7 b and 8 b is formed larger than the size of the gap G. Therefore, the gap G is configured not to communicate linearly with the elastomer seal 5. In such a gap G, the plasma passage is bent, and an increase in the number of plasma collisions can be expected, so that the plasma attenuation effect becomes large.

（３） 上記実施例では、ラビリンスシール６の凹凸表面７，８、この凹凸表面７，８を設けたラビリンス形成部材１１，１２、およびこのラビリンス形成部材１１，１２を収容する凹部状の装着空間９，１０を、互いに対向する一対のハウジング２，３の双方に設けたが、何れか一方のみに設けることにしても良い。この場合、これらを設けない他方のハウジングの対向面は平坦状のままとされる。 (3) In the above embodiment, the concave and convex surfaces 7 and 8 of the labyrinth seal 6, the labyrinth forming members 11 and 12 provided with the concave and convex surfaces 7 and 8, and the concave mounting space for housing the labyrinth forming members 11 and 12. Although 9 and 10 are provided in both of the pair of housings 2 and 3 facing each other, they may be provided in only one of them. In this case, the opposing surface of the other housing not provided with these remains flat.

（４） 上記実施例では、ラビリンス形成部材１１，１２の材質を、導電性を備えた金属としたが、これに代えて、導電性を備えた樹脂（導電性樹脂）としても良く、この場合には、ラビリンス形成部材１１，１２が金型にて成形可能な材料にて成形されることになるために、その成形が比較的容易で、成形にかかる手間とコストを低減させることができる。
（５） 更にまた、ラビリンス形成部材１１，１２の材質は、導電性を備えない通常の樹脂（例えば、耐プラズマ性に優れたＰＴＦＥ等）としても良い。この場合、導電性材料に特有のプラズマ電荷吸収作用は喪失されるが、その他は上記と同じ作用効果を得ることができる。 (4) In the above embodiment, the labyrinth forming members 11 and 12 are made of a metal having conductivity, but instead of this, a resin having conductivity (conductive resin) may be used. Since the labyrinth forming members 11 and 12 are formed of a material that can be molded by a mold, the molding is relatively easy, and the labor and cost for the molding can be reduced.
(5) Furthermore, the material of the labyrinth forming members 11 and 12 may be a normal resin not having electrical conductivity (for example, PTFE having excellent plasma resistance). In this case, the plasma charge absorption action peculiar to the conductive material is lost, but the other actions and effects can be obtained.

本発明の第一実施例に係る耐プラズマ用シールの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the plasma-resistant seal which concerns on 1st Example of this invention. 凹凸表面についての他の例を示す要部断面図Cross-sectional view of the main part showing another example of the uneven surface 凹凸表面についての他の例を示す要部断面図Cross-sectional view of the main part showing another example of the uneven surface 凹凸表面についての他の例を示す要部断面図Cross-sectional view of the main part showing another example of the uneven surface 本発明の第二実施例に係る耐プラズマ用シールの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the plasma-resistant seal which concerns on 2nd Example of this invention. 凹凸表面についての他の例を示す要部断面図Cross-sectional view of the main part showing another example of the uneven surface 凹凸表面についての他の例を示す要部断面図Cross-sectional view of the main part showing another example of the uneven surface 凹凸表面についての他の例を示す要部断面図Cross-sectional view of the main part showing another example of the uneven surface 従来例に係る耐プラズマ用シールの要部断面図Cross section of the main part of the plasma-resistant seal according to the conventional example 同シールの不具合発生状態を示す写真図Photograph showing the failure occurrence state of the seal

符号の説明Explanation of symbols

１ 耐プラズマ用シール
２，３ ハウジング
２ａ，３ａ 対向面
４ シール装着溝
５ エラストマー製シール
６ ラビリンスシール
７，８ 凹凸表面
７ａ，８ａ 凹部
７ｂ，８ｂ 凸部
９，１０ 装着空間
１１，１２ ラビリンス形成部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plasma-resistant seal 2, 3 Housing 2a, 3a Opposing surface 4 Seal mounting groove 5 Elastomer seal 6 Labyrinth seal 7, 8 Concave surface 7a, 8a Concave 7b, 8b Convex 9, 10 Mounting space 11, 12 Labyrinth forming member

Claims (7)

メインシールであるエラストマー製シール（５）のプラズマ照射側に、プラズマを乱反射させて減衰させる非接触のラビリンスシール（６）を設けたことを特徴とする耐プラズマ用シール。   A plasma-resistant seal characterized in that a non-contact labyrinth seal (6) that diffuses and attenuates plasma is provided on the plasma irradiation side of an elastomer seal (5) that is a main seal. メインシールであるエラストマー製シール（５）のプラズマ照射側に、プラズマの電荷を吸収してプラズマを減衰させる非接触のラビリンスシール（６）を設けたことを特徴とする耐プラズマ用シール。   A plasma-resistant seal comprising a non-contact labyrinth seal (6) for absorbing plasma charge and attenuating plasma on the plasma irradiation side of an elastomer seal (5) as a main seal. メインシールであるエラストマー製シール（５）のプラズマ照射側に非接触のラビリンスシール（６）を設け、
前記ラビリンスシール（６）は、プラズマを乱反射させる凹凸表面（７）（８）を有し、かつ前記凹凸表面（７）（８）を導電性材料にて成形されていることを特徴とする耐プラズマ用シール。 A non-contact labyrinth seal (6) is provided on the plasma irradiation side of the elastomer seal (5) as the main seal,
The labyrinth seal (6) has uneven surfaces (7) and (8) for irregularly reflecting plasma, and the uneven surfaces (7) and (8) are formed of a conductive material. Plasma seal. 請求項１、２または３の何れかに記載した耐プラズマ用シールにおいて、
ラビリンスシール（６）は、エラストマー製シール（５）を装着するハウシング（２）（３）とは別体に成形されて前記ハウジング（２）（３）に後付けされるラビリンス形成部材（１１）（１２）にて形成されていることを特徴とする耐プラズマ用シール。 In the plasma-resistant seal according to any one of claims 1, 2, and 3,
The labyrinth seal (6) is formed separately from the housing (2) (3) to which the elastomer seal (5) is attached, and is attached to the housing (2) (3) afterwards to the labyrinth forming member (11) ( The plasma-resistant seal, which is formed in 12). 請求項４の耐プラズマ用シールにおいて、
ラビリンス形成部材（１１）（１２）は、導電性材料にて成形されていることを特徴とする耐プラズマ用シール。 The plasma-resistant seal according to claim 4,
The labyrinth forming member (11) (12) is formed of a conductive material, and is a plasma-resistant seal. 請求項４の耐プラズマ用シールにおいて、
ラビリンス形成部材（１１）（１２）は、金型にて成形される材料にて成形されていることを特徴とする耐プラズマ用シール。 The plasma-resistant seal according to claim 4,
The labyrinth forming member (11) (12) is formed of a material formed by a mold, and is a plasma-resistant seal. 請求項４の耐プラズマ用シールにおいて、
ラビリンス形成部材（１１）（１２）は、導電性樹脂材料にて成形されていることを特徴とする耐プラズマ用シール。 The plasma-resistant seal according to claim 4,
The labyrinth forming member (11) (12) is formed of a conductive resin material, and is a plasma-resistant seal.
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