JP2006192903A - Manufacturing method of metal foil laminate - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means which does not need a mold releasing film, and manufactures a one-sided metal foil laminate of polymer capable of forming an optically anisotropic melt phase, especially, to provide a means to manufacture a one-sided metal foil laminate having a thin layer of the above polymer having improved isotropy. <P>SOLUTION: A double-sided metal foil laminate 11 comprising: a polymer layer 2 capable of forming an optically anisotropic melt phase; a metal foil layer 3 joined to the top surface thereof; and a metal foil layer 3 joined to the under surface thereof is torn to the thickness direction of the polymer layer 2 into the top surface and the under surface to manufacture a one-sided metal foil laminates (11a) and (11b). <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、素地(金属箔)に圧着された、光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマー(以下、「液晶ポリマー」ということがある)から成形されるフィルム(以下、「液晶ポリマーフィルム」ということがある)の一部を引き剥がして得られる、等方性のコート層を有するコート体、およびこの製造方法に関する。
本発明は、さらに、金属箔に圧着された液晶ポリマーフィルムの一部を層の厚さ方向に引き裂いて得られる、液晶ポリマーの金属箔積層体、およびこの製造方法に関する。ここで、コート体とは、被コート体(金属箔)に液晶ポリマーをコートして液晶ポリマーコート層を形成させた物体をいう。
The present invention relates to a film (hereinafter referred to as “liquid crystal polymer”) formed from a polymer (hereinafter sometimes referred to as “liquid crystal polymer” ) that is pressure-bonded to a substrate (metal foil) and can form an optically anisotropic molten phase. The present invention relates to a coated body having an isotropic coating layer, which is obtained by peeling off a part of a film (sometimes referred to as a “film”), and a method for producing the same.
The present invention further relates to a metal foil laminate of a liquid crystal polymer obtained by tearing a part of a liquid crystal polymer film pressure-bonded to a metal foil in the layer thickness direction, and a method for producing the same. Here, the coated body refers to an object obtained by coating a coated body (metal foil) with a liquid crystal polymer to form a liquid crystal polymer coating layer.

液晶ポリマーには、(1) 金属箔と直接熱圧着できること、(2) 高い耐熱性を有すること、(3) 低吸湿性であること、(4) 熱寸法安定性に優れること、(5) 湿度寸法安定性に優れること、(6) 高周波数特性に優れること、(7) 有毒なハロゲン、燐、アンチモン等を含んだ難燃剤を加えなくても難燃性であること、(8) 耐薬品性に優れること、(9) 耐放射線性に優れること、(10)熱膨張係数が制御できること、(11)低温でもしなやかであること、(12)高ガスバリヤ性(酸素などの気体の透過率が非常に低いこと)であることなどの特長がある。   The liquid crystal polymer has (1) ability to be thermocompression bonded directly to the metal foil, (2) high heat resistance, (3) low hygroscopicity, (4) excellent thermal dimensional stability, (5) Excellent humidity dimensional stability, (6) Excellent high frequency characteristics, (7) Flame retardant without adding toxic halogen, phosphorus, antimony, etc. Excellent chemical properties, (9) Excellent radiation resistance, (10) Controllable thermal expansion coefficient, (11) Flexible at low temperatures, (12) High gas barrier properties (permeability of gases such as oxygen) Is very low).

近年この優れた液晶ポリマーを金属箔やシリコン平板やセラミックス平板などの被コート体に薄くコーティングすることで、精密回路基板、多層回路基板、封止材、パッケージなどに用いる材料を構成したいとする要求が特に高まっている。また、耐熱性、耐薬品性、低吸水性、ガスバリヤ性を活かして、腐食されやすい金属等の保護層としてのコーティングが要求されている。 This excellent liquid crystal polymer by thin coatings to be coated member such as a metal foil or a silicon flat plate or a ceramic flat Recently, precision circuit board, a multilayer circuit board, sealing material, and want to configure the material used, such as the package The demand is particularly high. In addition, coating as a protective layer for metals and the like that are easily corroded is required by utilizing heat resistance, chemical resistance, low water absorption, and gas barrier properties.

まず、第1の問題点について述べる。
物体の表面に樹脂などの薄い皮膜を形成させることは、ライニング加工、コーティング加工としてよく知られており、両者は一般には次のように区別されている。コーティングは素地に連続した皮膜を形成し、汚染、腐食からの保護と美観を与える装飾性が主目的であるが、非粘着性や低摩擦性付与の目的にも利用され、ライニングは腐食、エロージョンなどの化学的、物理的に厳しい環境下で使用される容器(槽)、管の保護用内装肉厚皮膜形成法であり、両者は種々の点で類似した面があって区別は難しい。一般に、一つは皮膜の厚さ0.5mm 以上のものをライニング、それ以下のものをコーティングと称するのが普通であるとされ、他方では、コーティングは主として構造物の表面上に数十ミクロン程度の膜を形成することであり、ライニングは数百ミクロン以上の場合をいうとされている。
いずれにせよ、本発明は、液晶ポリマーの非常に薄い皮膜(厚さ25μm以下、主として15μm以下)を素地に形成する技術に関連しているから、コーティングに関するものであると言える。
First, the first problem will be described.
Forming a thin film such as a resin on the surface of an object is well known as a lining process or a coating process, and the two are generally distinguished as follows. The main purpose of the coating is to form a continuous film on the substrate, and to protect it from contamination and corrosion, and to give it a decorative appearance, but it is also used for the purpose of imparting non-stickiness and low friction, and the lining is corrosion and erosion. This is a method for forming an internal thick film for protecting containers (tanks) and pipes used in a chemically and physically severe environment such as these, and they are similar in various respects and are difficult to distinguish. In general, it is common to call one with a coating thickness of 0.5 mm or more as a lining and a coating with a thickness less than 0.5 mm as a coating. On the other hand, the coating is mainly on the surface of a structure of several tens of microns. It is to form a film, and the lining is said to be a case of several hundred microns or more.
In any case, the present invention relates to a technique for forming a very thin film (thickness of 25 μm or less, mainly 15 μm or less) of a liquid crystal polymer on a substrate, and thus can be said to relate to coating.

コーティングの性能の重要な項目として温度変化に対する耐久性がまず注目されるが、これは被コート体とコーティング層の熱膨張係数の違いに如何に対処できるかが問題となるとされている。コーティング方法の代表的なものは、・ディッピング法(浸漬法)、・フローコーター法、・カーテンコーター法、・ロールコーター法、・電着法、・刷毛塗り法、・スプレー法、・気相コーティング法であるが、液晶ポリマーのコーティングの場合はこれら従来のコーティング法を適用することができない。その理由は、液晶ポリマー分子は分子が相互に同じ方向に配列しやすい、すなわち配向しやすい、という液晶ポリマー特有の性質に起因して、溶融液晶ポリマーを薄く膜状にする過程で加わる力によって配向してしまい、配向の方向とその直角方向では熱膨張係数などの物性が大幅に異なる(すなわち異方性である)ために、例えば被コート体と液晶ポリマーコート層の熱膨張係数を平面内すべての方向において合わせることができないためである。従来技術により被コート体表面に比較的厚く、例えば厚さ50μm以上で、液晶ポリマー膜を形成することは可能であるが、形成された液晶ポリマー膜は異方性であり、コート層としては実用に供することはできなかった。まして、等方性の向上した液晶ポリマーコート層を薄く、例えば厚さ15μm以下に、する技術は従来なかったものである。   Durability against temperature changes is first noticed as an important item of coating performance, but this is a problem of how to cope with the difference in thermal expansion coefficient between the coated body and the coating layer. Typical coating methods are: • Dipping method (dipping method) • Flow coater method • Curtain coater method • Roll coater method • Electrodeposition method • Brush coating method • Spray method • Gas phase coating However, in the case of a liquid crystal polymer coating, these conventional coating methods cannot be applied. The reason is that the liquid crystal polymer molecules are aligned by the force applied in the process of making the molten liquid crystal polymer into a thin film due to the unique property of the liquid crystal polymer that the molecules are easy to align in the same direction, that is, easy to align. Therefore, since the physical properties such as the thermal expansion coefficient are significantly different (that is, anisotropic) in the direction of orientation and the direction perpendicular thereto, for example, the thermal expansion coefficients of the coated body and the liquid crystal polymer coating layer are all in the plane. This is because they cannot be matched in the direction of. Although it is possible to form a liquid crystal polymer film relatively thick on the surface of the body to be coated by conventional techniques, for example, with a thickness of 50 μm or more, the formed liquid crystal polymer film is anisotropic, and is practical as a coating layer. Could not be used. Furthermore, there has been no technique for thinning the liquid crystal polymer coat layer with improved isotropic properties, for example, to a thickness of 15 μm or less.

次に、第2の問題点について述べる。
エレクトロニクス分野における回路基板等には、導電性の金属箔と電気絶縁性のフィルム状絶縁材料(フィルムあるいはシートあるいはフィルムやシート形状に金属箔上にコートされたもの)とを重ね合わせて圧着してなる金属箔積層体が用いられる。かかる金属箔積層体には、2つの金属箔層の間に電気絶縁層が挟み込まれた形態の両面金属箔積層体と、1つの金属箔層と電気絶縁層が合わされた形態の片面金属箔積層体の2形態があり、電気絶縁層には、上記の特長を有する液晶ポリマーが理想的な材料の一つであるとされている。
Next, the second problem will be described.
On circuit boards in the electronics field, a conductive metal foil and an electrically insulating film-like insulating material (film or sheet or film or sheet coated on the metal foil) are overlaid and pressure bonded. A metal foil laminate is used. Such a metal foil laminate includes a double-sided metal foil laminate in which an electrical insulating layer is sandwiched between two metal foil layers, and a single-sided metal foil laminate in which one metal foil layer and an electrical insulating layer are combined. There are two forms of the body, and it is said that the liquid crystal polymer having the above features is one of the ideal materials for the electrical insulating layer.

上記の液晶ポリマーの特長を消失させない液晶ポリマー金属箔積層体の製造方法として、従来より次に述べる方法が知られている。・両面積層体の場合は、2枚の金属箔の間に液晶ポリマーフィルムを挟み、熱平板あるいは熱ロールで熱プレスして、液晶ポリマーフィルムを溶融させ、金属箔と液晶ポリマーとを熱圧着させることにより製造する。・一方、片面積層体の場合は、1枚の金属箔と1枚の離型フィルムとの間に液晶ポリマーフィルムを挟み、熱平板あるいは熱ロールで熱プレスして、液晶ポリマーフィルムを溶融させ、金属箔と液晶ポリマーとを熱圧着させたあと、該離型フィルムを剥がし除去することによって製造する。   As a method for producing a liquid crystal polymer metal foil laminate that does not lose the characteristics of the liquid crystal polymer, the following methods are conventionally known.・ In the case of a double-sided laminate, a liquid crystal polymer film is sandwiched between two metal foils and hot pressed with a hot plate or a hot roll to melt the liquid crystal polymer film and thermocompression bond the metal foil and the liquid crystal polymer. By manufacturing. On the other hand, in the case of a single-area layered body, a liquid crystal polymer film is sandwiched between one metal foil and one release film, and hot-pressed with a hot plate or a hot roll to melt the liquid crystal polymer film, After the metal foil and the liquid crystal polymer are thermocompression bonded, the release film is peeled off and removed.

かかる従来技術の製造方法において、両面金属積層体の場合は特に問題はないが、片面金属積層体の場合は、離型フィルムを剥がし除去しなければならないために、離型フィルムが無駄になり、製造コストがそれだけ高くなることが重大な問題であった。しかも、液晶ポリマーフィルムを溶融するためには300℃付近の高温にする必要があるために、離型フィルムとしては、優れた耐熱性フィルムでなければならないので、テフロン(登録商標)、ポリイミド等の高価なものが必要であり、離型フィルムのためのコスト高は、実際上、液晶ポリマーの片面金属箔積層体のコマーシャルベースの製造を非常に困難にするものであった。   In such a conventional manufacturing method, there is no particular problem in the case of a double-sided metal laminate, but in the case of a single-sided metal laminate, the release film must be peeled off and removed, so that the release film is wasted, The high production cost was a serious problem. Moreover, in order to melt the liquid crystal polymer film, it is necessary to have a high temperature around 300 ° C., so the release film must be an excellent heat-resistant film, so that Teflon (registered trademark), polyimide, etc. Expensive ones were required and the high cost for the release film actually made it very difficult to produce a commercial base of a single-sided metal foil laminate of a liquid crystal polymer.

また、近年エレクトロニクス分野を中心に、回路基板の厚さを薄くしたいという要求は益々強くなってきている。上述したように、液晶ポリマーは回路基板の電気絶縁層に適しているため、薄い液晶ポリマー層と金属箔層とで構成される回路基板の実現は強く要請されている。   In recent years, there has been an increasing demand for reducing the thickness of circuit boards, particularly in the electronics field. As described above, since the liquid crystal polymer is suitable for the electrical insulating layer of the circuit board, there is a strong demand for a circuit board composed of a thin liquid crystal polymer layer and a metal foil layer.

したがって、薄い液晶ポリマー層として、液晶ポリマーフィルムが必要であるが、普通に製膜すれば一方向に強い分子配向をもつフィルムとなる。一方向に強い分子配向をもつフィルムは、分子配向の方向に引き裂けやすく、また熱寸法変化率も分子配向の方向とその直角方向とでは著しく異なるフィルム、すなわち異方性フィルムであって、回路基板の電気絶縁層材料として用いることは難しい。しかし、第1の問題点で示したように、電気絶縁材料としての等方性液晶ポリマーを15μm以下の薄いフィルムにはしにくく、特に膜厚が10μm以下のフィルムは、非常に製造しにくいものであって、これまで報告された例はない。   Therefore, a liquid crystal polymer film is necessary as a thin liquid crystal polymer layer, but if it is formed normally, it becomes a film having strong molecular orientation in one direction. A film having a strong molecular orientation in one direction is a film that is easily torn in the direction of molecular orientation and has a thermal dimensional change rate that is significantly different between the direction of molecular orientation and its perpendicular direction, that is, an anisotropic film. It is difficult to use as an electrical insulating layer material. However, as indicated by the first problem, it is difficult to make an isotropic liquid crystal polymer as an electrically insulating material into a thin film of 15 μm or less, and in particular, a film with a film thickness of 10 μm or less is very difficult to manufacture. And no examples have been reported so far.

本発明は、第1の問題を解消するために、異方性を解消した、すなわち等方性を向上した、液晶ポリマーコート層を形成する手段を提供するものであり、特に厚さが薄い液晶ポリマーコート層を形成する手段を提供するものである。   In order to solve the first problem, the present invention provides a means for forming a liquid crystal polymer coat layer having anisotropy eliminated, that is, improved isotropic property, and particularly a thin liquid crystal. A means for forming a polymer coat layer is provided.

また、本発明は、第2の問題を解消するために、液晶ポリマーの片面金属箔積層体の製造において、離型フィルムを必要としない片面金属箔積層体の製造方法を提供するものである。さらに、本発明は、異方性を解消した液晶ポリマー電気絶縁層と金属箔層とで構成される積層体をも提供する。   Moreover, in order to eliminate the 2nd problem, this invention provides the manufacturing method of the single-sided metal foil laminated body which does not require a release film in manufacture of the single-sided metal foil laminated body of a liquid crystal polymer. Furthermore, this invention also provides the laminated body comprised by the liquid crystal polymer electric insulation layer and metal foil layer which eliminated the anisotropy.

本発明に係るコーティング方法は、液晶ポリマーから成形されて分子配向度SORが1.3以下のフィルムを被コート体(金属箔)に熱圧着により接合した後、前記フィルムの薄い層を被コート体上に残すように、フィルムを引き剥がす。これにより、容易に薄い液晶ポリマーコート層を形成することができる。
本発明に係る被コート体上に残されたコート層を有するコート体は、光学的異方性の溶融層を形成し得るポリマーのコート層を有し、前記ポリマーの層の分子配向度が1.3以下である。また、本発明に係る被コート体の好ましい実施形態は、前記コート層の厚さが15μm以下である。したがって、本発明に係るコート体のコート層は、薄さを確保しながらも、等方性であるので、液晶ポリマーの上述の優れた特長を利用して、精密回路基板、多層回路基板、封止材、パッケージなどの材料とすることができる。
In the coating method according to the present invention, a film formed from a liquid crystal polymer and having a molecular orientation SOR of 1.3 or less is bonded to a coated body (metal foil) by thermocompression bonding, and then a thin layer of the film is coated. Peel off the film to leave it on top. Thereby, a thin liquid crystal polymer coat layer can be easily formed.
The coated body having the coating layer left on the coated body according to the present invention has a polymer coating layer capable of forming an optically anisotropic molten layer, and the molecular orientation of the polymer layer is 1. .3 or less. Moreover, as for the preferable embodiment of the to-be-coated body which concerns on this invention, the thickness of the said coating layer is 15 micrometers or less. Therefore, since the coating layer of the coated body according to the present invention is isotropic while ensuring thinness, the above-mentioned excellent features of the liquid crystal polymer are utilized to obtain a precision circuit board, a multilayer circuit board, a sealing circuit. sealing material can be a material, such as packages.

ここで、分子配向度SOR(Segment Orientation Ratio) とは、分子を構成するセグメントについての分子配向の度合いを与える指標をいい、従来のMOR
(Molecular Orientation Ratio) とは異なり、物体の厚さを考慮した値である。この分子配向度SORは、以下のように算出される。
Here, the molecular orientation degree SOR (Segment Orientation Ratio) is an index that gives the degree of molecular orientation of the segments constituting the molecule.
Unlike (Molecular Orientation Ratio), this is a value considering the thickness of the object. This molecular orientation degree SOR is calculated as follows.

まず、周知のマイクロ波分子配向度測定機、例えば、図6に示す、KSシステムズ社製のマイクロ波分子配向度測定機61を用いて、液晶ポリマーフィルムを透過したマイクロ波の電場強度(マイクロ波透過強度)が測定される。この測定機61は、液晶ポリマーフィルム65に照射する所定波長のマイクロ波MWを発生させるマイクロ波発生装置63、マイクロ波共振導波管64および透過強度検出手段68を備えている。上記マイクロ波共振導波管64は、その中央部に、マイクロ波MWの進行方向にフィルム面が垂直になるようにフィルム65を配置し、このフィルム65を、図示しない回転機構により、マイクロ波MWの進行方向と垂直な面内でR方向に回転可能な状態にして保持するとともに、フィルム65を透過するマイクロ波MWを、両端部に設けられた一対の反射鏡67,67で反射させることにより共振させるものである。上記フィルム65を透過した後のマイクロ波透過強度は、透過強度検出手段68により検出される。上記透過強度検出手段68は、上記マイクロ波共振導波管64内の後方の所定位置に挿入した検出素子68aにより、マイクロ波の透過強度を測定する。   First, using a known microwave molecular orientation measuring instrument, for example, a microwave molecular orientation measuring instrument 61 manufactured by KS Systems, shown in FIG. Transmission intensity) is measured. The measuring device 61 includes a microwave generator 63 that generates a microwave MW having a predetermined wavelength to be irradiated onto the liquid crystal polymer film 65, a microwave resonant waveguide 64, and transmission intensity detection means 68. The microwave resonant waveguide 64 has a film 65 disposed at the center thereof so that the film surface is perpendicular to the traveling direction of the microwave MW, and the film 65 is placed on the microwave MW by a rotation mechanism (not shown). The microwave MW that passes through the film 65 is reflected by a pair of reflecting mirrors 67 and 67 provided at both ends, while being held in a rotatable state in the R direction within a plane perpendicular to the traveling direction of It resonates. The microwave transmission intensity after passing through the film 65 is detected by transmission intensity detection means 68. The transmission intensity detecting means 68 measures the transmission intensity of the microwave by a detection element 68a inserted at a predetermined position behind the microwave resonant waveguide 64.

そして、このマイクロ波透過強度の測定値に基づいて、次式により、m値(屈折率と称する)が算出される。
m=(Z0 /△z)×(1−νmax /ν0 )
ただし、Z0 は装置定数、△zは被測定物体の平均厚、νmax はマイクロ波の振動数を変化させたときの最大マイクロ波透過強度を与える振動数、ν0 は平均厚ゼロのとき(すなわち物体がないとき)の最大マイクロ波透過強度を与える振動数である。
Then, based on the measured value of the microwave transmission intensity, an m value (referred to as a refractive index) is calculated by the following equation.
m = (Z0 / Δz) × (1-νmax / ν0)
Where Z0 is a device constant, Δz is the average thickness of the object to be measured, νmax is the frequency that gives the maximum microwave transmission intensity when the microwave frequency is changed, and ν0 is zero when the average thickness is zero (ie, the object Is the frequency that gives the maximum microwave transmission intensity.

つぎに、マイクロ波の振動方向に対する物体の上記R方向の回転角が0°のとき、つまり、マイクロ波の振動方向と、物体の分子が最もよく配向されている方向であって、最小マイクロ波透過強度を与える方向とが合致しているときのm値をm0 、回転角が90°のときのm値をm90として、分子配向度SORはm0 /m90により算出される。   Next, when the rotation angle in the R direction of the object with respect to the vibration direction of the microwave is 0 °, that is, the vibration direction of the microwave and the direction in which the molecules of the object are best oriented, the minimum microwave The degree of molecular orientation SOR is calculated by m0 / m90, where m is the m value when the transmission intensity is given and the m value is m90 when the rotation angle is 90 °.

理想的な等方性フィルムでは、この指標SORは1であり、通常Tダイ製膜法で得られる一方向に強く分子配向した液晶ポリマーフィルムのSORは1.5程度である。また、通常等方性インフレーション製膜法で得られる等方性フィルムのSORは1.3以下である。
また、液晶ポリマーとは、半1型液晶ポリマー、全1型液晶ポリマー、半2型液晶ポリマー、全2型液晶ポリマー[末長純一著「成形・設計のための液晶ポリマー」シグマ出版]などすべての液晶ポリマーを含むものである。
In an ideal isotropic film, this index SOR is 1, and the SOR of a liquid crystal polymer film that is strongly molecularly oriented in one direction usually obtained by a T-die film forming method is about 1.5. Moreover, the SOR of the isotropic film usually obtained by the isotropic inflation film-forming method is 1.3 or less.
In addition, liquid crystal polymers include all types of liquid crystal polymers such as half type 1 liquid crystal polymers, full type 1 liquid crystal polymers, half type 2 liquid crystal polymers, full type 2 liquid crystal polymers [Liquid Crystal Polymers for Molding and Design, Sigma Publishing]. Includes liquid crystal polymer.

液晶ポリマーの代表例として、以下に例示する(1)から(4)に分類される化合物およびその誘導体から導かれる公知のサーモトロピック液晶ポリエステルおよびサーモトロピック液晶ポリエステルアミドを挙げることができる。ただし、高分子液晶を形成するためには、種々の原料化合物の組合せに適当な範囲があることは言うまでもない。   As typical examples of the liquid crystal polymer, there can be mentioned known thermotropic liquid crystal polyesters and thermotropic liquid crystal polyester amides derived from the compounds classified as (1) to (4) and their derivatives. However, it goes without saying that there is an appropriate range of combinations of various raw material compounds in order to form a polymer liquid crystal.

(1)芳香族または脂肪族ジヒドロキシ化合物(代表例は表1参照)   (1) Aromatic or aliphatic dihydroxy compounds (see Table 1 for typical examples)

Figure 2006192903
Figure 2006192903

(2)芳香族または脂肪族ジカルボン酸(代表例は表2参照)   (2) Aromatic or aliphatic dicarboxylic acids (see Table 2 for typical examples)

Figure 2006192903
Figure 2006192903

(3)芳香族ヒドロキシカルボン酸(代表例は表3参照)   (3) Aromatic hydroxycarboxylic acids (see Table 3 for typical examples)

Figure 2006192903
Figure 2006192903

(4)芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミンまたは芳香族アミノカルボン酸(代表例は表4参照)   (4) Aromatic diamine, aromatic hydroxyamine or aromatic aminocarboxylic acid (see Table 4 for typical examples)

Figure 2006192903
Figure 2006192903

(5)これらの原料化合物から得られる液晶ポリマーの代表例として、表5に示す構造単位を有する共重合体(a)〜(e)を挙げることができる。   (5) As typical examples of the liquid crystal polymer obtained from these raw material compounds, copolymers (a) to (e) having the structural units shown in Table 5 can be mentioned.

Figure 2006192903
Figure 2006192903

これらの液晶ポリマーは、フィルムの耐熱性、加工性の点で200〜400℃、特に250〜350℃の範囲内に光学的異方性の溶融相への転移温度を有するものが好ましい。また、フィルムとしての物性を損なわない範囲内で、滑剤、酸化防止剤、充填材等を配合してもよい。   These liquid crystal polymers are preferably those having a transition temperature to an optically anisotropic melt phase in the range of 200 to 400 ° C., particularly 250 to 350 ° C., from the viewpoint of heat resistance and workability of the film. Moreover, you may mix | blend a lubricant, antioxidant, a filler, etc. within the range which does not impair the physical property as a film.

上記液晶ポリマーよりなるフィルムは、Tダイ法、インフレーション法、これらの方法を組み合わせた方法等の公知の製造方法によって成形される。特にインフレーション法では、フィルムの機械軸方向(以下、MD方向と略す)だけでなく、これと直交する方向(以下、TD方向と略す)にも応力が加えられて、MD方向とTD方向における機械的性質および熱的性質のバランスのとれたフィルムが得られるので、より好適に用いることができる。   The film made of the liquid crystal polymer is formed by a known production method such as a T-die method, an inflation method, or a method combining these methods. In particular, in the inflation method, stress is applied not only in the machine axis direction of the film (hereinafter abbreviated as MD direction) but also in the direction orthogonal to the direction (hereinafter abbreviated as TD direction). Since a film having a good balance between mechanical properties and thermal properties can be obtained, it can be used more suitably.

本発明の重要な点は、コーティング材料として等方性液晶ポリマーフィルムを用いることであり、仮に分子配向度SORが1.3を越える異方性液晶ポリマーフィルムをコーティング材料として用い、これをコーティングした後に加熱して異方性液晶ポリマーコート層を溶融したとしても、これが等方性液晶ポリマーコート層に転じるものではない。このことは液晶ポリマーの分子物性に関する基本的な挙動であって、異方性液晶ポリマーコート層を液晶ポリマーの融点より35℃高い温度に加熱しても等方性にならないことが、本発明者らにより確認されている。 An important point of the present invention is that an isotropic liquid crystal polymer film is used as a coating material, and an anisotropic liquid crystal polymer film having a molecular orientation degree SOR exceeding 1.3 is used as a coating material and coated. Even if the anisotropic liquid crystal polymer coat layer is melted by heating later, this does not turn into an isotropic liquid crystal polymer coat layer. This is a basic behavior related to the molecular properties of the liquid crystal polymer, and it is the inventor that the anisotropic liquid crystal polymer coat layer does not become isotropic even when heated to a temperature 35 ° C. higher than the melting point of the liquid crystal polymer. Have been confirmed .

本発明の液晶ポリマーコート層は、電子回路基板を構成する部品、あるいは電子回路を保持することに適しており、金属箔が被コート体となる。金属箔の材質としては、電気的接続に使用されるような金属等から選択され、好ましくは金、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、鉄、鋼、錫、真鍮、マグネシウム、モリブデン、銅/ニッケル合金、銅/ベリリウム合金、ニッケル/クロム合金、炭化珪素合金、グラファイト、およびこれらの混合物からなる群から選択することが可能である。 The liquid crystal polymer coat layer of the present invention is suitable for holding parts constituting an electronic circuit board or an electronic circuit, and a metal foil is a coated body. The material of the metal foil is selected from metals used for electrical connection, preferably gold, silver, copper, nickel, aluminum, iron, steel, tin, brass, magnesium, molybdenum, copper / nickel alloy , Copper / beryllium alloy, nickel / chromium alloy, silicon carbide alloy, graphite, and mixtures thereof.

本発明における第2の特徴は、先ず厚い等方性液晶ポリマーフィルムを被コート体に熱圧着して、しかる後に、被コート体より該フィルムを引き剥がし、該被コート体上に薄い液晶ポリマーコート層を残すことにある。これは、通常のポリマーでは難しいことであるが、液晶ポリマーフィルム特有の優れた層内剥離性(フィルム内部で雲母のように薄い層状に剥離される性質)を利用して初めて可能になるコーティング方法である。この優れた層内剥離性を維持したまま等方性液晶ポリマーフィルムを被コート体に熱圧着するためには、加熱温度を液晶ポリマーの融点以上に上げないことが重要である。   The second feature of the present invention is that a thick isotropic liquid crystal polymer film is first thermocompression bonded to a coated body, and then the film is peeled off from the coated body, and a thin liquid crystal polymer coating is formed on the coated body. There is to leave a layer. This is difficult with ordinary polymers, but it is only possible to use the coating method that makes it possible to take advantage of the excellent delaminating properties inherent in liquid crystal polymer films (the property of being peeled into a thin layer like mica inside the film). It is. In order to thermocompression bond the isotropic liquid crystal polymer film to the coated body while maintaining this excellent in-layer peelability, it is important not to raise the heating temperature above the melting point of the liquid crystal polymer.

かかる方法で被コート体の表面に形成された液晶ポリマーコート層は、さらに融点以上に加熱することにより、層内剥離性を失わせることができる。また、液晶ポリマーコート層表面を他の物体表面にあわせ液晶ポリマーの融点以上の温度で、被コート体と他の物体とを熱圧着する場合においては、この熱圧着の過程で液晶ポリマーコート層が融点以上に加熱されるために液晶ポリマーコート層で層内剥離が起こることはない。   The liquid crystal polymer coat layer formed on the surface of the body to be coated by such a method can lose in-layer peelability by further heating to the melting point or higher. When the surface of the liquid crystal polymer coat layer is aligned with the surface of another object and the object to be coated and the other object are subjected to thermocompression bonding at a temperature equal to or higher than the melting point of the liquid crystal polymer, In-layer peeling does not occur in the liquid crystal polymer coat layer because it is heated above the melting point.

本発明に係る等方性液晶ポリマーを有するコート体は、液晶ポリマーコート層の厚さが15μm以下であることが好ましい。
液晶ポリマーフィルムの製膜技術は非常に高度な技術であり、薄いフィルムを製造することは困難で製造コストが高くなる。通常、厚さ20μm以上の液晶ポリマーフィルムは安定に製造することができるので、液晶ポリマーコート層を20μm以上で形成することは比較的容易であって、場合によっては上述の引き剥がし過程を必要とせず液晶ポリマーコート層を形成することもできる。むろん、引き剥がすことにより引き剥がし面が微細な粗さを有するようになり接着剤で接着する面として好ましいものになるので、厚さ20μm以上の液晶ポリマーコート層を引き剥がし過程を経て形成することが重要であることも多い。本発明に係るコート体は、特に電子回路基板およびその部品用途において、薄い液晶ポリマーコート層が要求される場合に有効なものであって、厚さ20μm以下、特に厚さ15μm以下の等方性液晶ポリマーコート層を設けるためには、請求項1に述べられた方法が実用上唯一のものである。実現できる液晶ポリマーコート層の平均厚の下限は限りなく0に近く、例えば平均厚が1μm以下であるような液晶ポリマーコート層は容易に実現することができ、精密に制御された条件下では平均厚0.1μm以下であるような等方性液晶ポリマーコート層も実現することができる。
In the coated body having an isotropic liquid crystal polymer according to the present invention, the liquid crystal polymer coat layer preferably has a thickness of 15 μm or less.
The liquid crystal polymer film forming technique is a very advanced technique, and it is difficult to manufacture a thin film, which increases the manufacturing cost. Usually, since a liquid crystal polymer film having a thickness of 20 μm or more can be stably produced, it is relatively easy to form a liquid crystal polymer coat layer with a thickness of 20 μm or more, and in some cases, the above-described peeling process is required. It is also possible to form a liquid crystal polymer coat layer. Of course, by peeling off, the peeled surface has a fine roughness and is preferable as a surface to be bonded with an adhesive, so that a liquid crystal polymer coat layer having a thickness of 20 μm or more is formed through a peeling process. Is often important. The coated body according to the present invention is effective when a thin liquid crystal polymer coating layer is required particularly in an electronic circuit board and its components, and is isotropic with a thickness of 20 μm or less, particularly a thickness of 15 μm or less. In order to provide the liquid crystal polymer coat layer, the method described in claim 1 is the only practical one. The lower limit of the average thickness of the liquid crystal polymer coat layer that can be realized is as close to 0 as possible, and for example, a liquid crystal polymer coat layer having an average thickness of 1 μm or less can be easily realized, and the average is reduced under precisely controlled conditions. An isotropic liquid crystal polymer coat layer having a thickness of 0.1 μm or less can also be realized.

本発明に係る等方性液晶ポリマーコート層を有するコート体は、等方性液晶ポリマーコート層の熱膨張係数が被コート体の熱膨張係数と同等であることが好ましい。
先に「背景技術」の項で述べたように液晶ポリマーコート層の熱膨張係数が被コート体の熱膨張係数とできる限り近いことが望ましい。特に、100℃の温度変化に対して被コート体とコート層の寸法変化のずれが0.2%以下であれば、エレクトロニクス部品等の精密なコート層として使用できる。したがって、ここで等方性液晶ポリマーコート層の熱膨張係数と被コート体の熱膨張係数が同等であるとは、被コート体表面の熱膨張係数に対してプラスマイナス20ppm/℃(すなわち、プラスマイナス1000分の2%/℃)であることである。このように、被コート体とコート層の熱膨張係数を近づけることは、最も単純にはコート層の原料となる液晶ポリマーフィルムの熱膨張係数を被コート体の熱膨張係数と同等にしておくことであるが、原材料である液晶ポリマーフィルムの熱膨張係数が被コート体の熱膨張係数と異なっていても、該液晶ポリマーフィルムを用いて形成された液晶ポリマーコート層を加熱処理することにより、双方の熱膨張係数を同等にすることが可能である。加熱処理において非常に精密に加熱温度をコントロールすれば被コート体とコート層の熱膨張係数を測定誤差範囲内で一致させることも可能である。液晶性を示さない通常の熱可塑性ポリマーやエポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂をコート層に用いる場合に熱膨張係数を制御するためには、無機粉体や無機クロスをコート層に組み入れてその分率を制御することやコート層を構成するポリマー分子の架橋密度を制御するなどの特別の操作を実施しなければならないが、液晶ポリマーコート層の場合は、液晶ポリマー分子の特異な性質を利用することによって、加熱処理という単純な操作で実現することが可能である。
In the coated body having an isotropic liquid crystal polymer coat layer according to the present invention, the thermal expansion coefficient of the isotropic liquid crystal polymer coat layer is preferably equal to the thermal expansion coefficient of the coated body.
As described above in the “Background Art” section, it is desirable that the thermal expansion coefficient of the liquid crystal polymer coat layer is as close as possible to the thermal expansion coefficient of the coated body. In particular, if the deviation in dimensional change between the coated body and the coating layer with respect to a temperature change of 100 ° C. is 0.2% or less, it can be used as a precise coating layer for electronic parts and the like. Accordingly, the fact that the thermal expansion coefficient of the isotropic liquid crystal polymer coating layer and the thermal expansion coefficient of the coated body are equivalent here is plus or minus 20 ppm / ° C. (that is, plus) with respect to the thermal expansion coefficient of the coated body surface. Minus 2/1000 / ° C). In this way, to make the thermal expansion coefficient of the coated body and the coating layer close to each other, the simplest thing is to make the thermal expansion coefficient of the liquid crystal polymer film that is the raw material of the coating layer equal to the thermal expansion coefficient of the coated body. However, even if the thermal expansion coefficient of the liquid crystal polymer film as a raw material is different from the thermal expansion coefficient of the object to be coated, both the liquid crystal polymer coat layer formed using the liquid crystal polymer film can be heated. It is possible to make the thermal expansion coefficients of the same. If the heating temperature is controlled very precisely in the heat treatment, the thermal expansion coefficients of the coated body and the coating layer can be matched within the measurement error range. In order to control the thermal expansion coefficient when using a thermosetting resin such as an ordinary thermoplastic polymer or epoxy resin that does not exhibit liquid crystallinity for the coating layer, an inorganic powder or inorganic cloth is incorporated into the coating layer. Special operations such as controlling the fraction and controlling the crosslink density of the polymer molecules that make up the coat layer must be carried out. In the case of the liquid crystal polymer coat layer, the unique properties of the liquid crystal polymer molecules are used. By doing so, it can be realized by a simple operation of heat treatment.

上述したように、本発明は液晶ポリマーの分子が配向しやすく、フィルム状に成形した場合には優れた層内剥離性をもつという特徴を利用したもので、被コート体表面に熱圧着した液晶ポリマーフィルムを引き剥がす過程において層内剥離を発生させ、原材料である液晶ポリマーフィルムの厚さ方向の一部を被コート体上に残留させることにより、容易に薄い液晶ポリマーコート層を形成するものである。   As described above, the present invention utilizes the characteristics that liquid crystal polymer molecules are easily oriented and have excellent in-layer peelability when formed into a film shape. In the process of peeling off the polymer film, in-layer peeling occurs, and a thin liquid crystal polymer coat layer is easily formed by leaving a part of the raw material liquid crystal polymer film in the thickness direction on the coated body. is there.

次に説明する本発明の液晶ポリマーの金属箔積層体の製造方法は、液晶ポリマーの層内剥離性という特徴を利用して製造する点で、上記の液晶ポリマーコーティングと関連性がある。 The method for producing a metal foil laminate of the liquid crystal polymer of the present invention described below is related to the above-mentioned liquid crystal polymer coating in that it is produced by utilizing the feature of peelability of the liquid crystal polymer in the layer.

本発明の片面金属箔積層体の製造方法は、液晶ポリマーの層とその上面に接合された金属箔層と下面に接合された金属箔層とからなる両面金属箔積層体を、前記ポリマーの層の厚さ方向に上面と下面に引き裂くことによって、液晶ポリマーの層とその上面の金属箔層とからなる第1の片面金属箔積層体と、液晶ポリマーの層とその下面の金属箔層とからなる第2の片面金属箔積層体とに分割する。これにより、片面金属箔積層体が、従来手法では必要であった離型フィルムを使用することなく製造でき、また、一回のプロセスで2枚の片面金属箔積層体が製造できるので製造速度はほぼ2倍になる。   The method for producing a single-sided metal foil laminate according to the present invention comprises: a double-sided metal foil laminate comprising a liquid crystal polymer layer, a metal foil layer bonded to the upper surface thereof, and a metal foil layer bonded to the lower surface; From the first single-sided metal foil laminate composed of the liquid crystal polymer layer and the upper metal foil layer, and the liquid crystal polymer layer and the lower metal foil layer It divides | segments into the 2nd single-sided metal foil laminated body which becomes. As a result, a single-sided metal foil laminate can be manufactured without using a release film, which was necessary in the conventional method, and since two single-sided metal foil laminates can be manufactured in a single process, the production speed is Almost doubled.

本発明の片面金属箔積層体の製造方法では、前記両面金属箔積層体は、液晶ポリマーから成形されるフィルムを2枚の金属箔で層状に挟み、これを熱プレスして製造されることが好ましい。
本発明の片面金属箔積層体は上記の製造方法によって得られるものである。
本発明の片面金属箔積層体は前記液晶ポリマーの層が15μm以下であることが好ましい。
本発明の片面金属箔積層体は、前記液晶ポリマーの層の分子配向度が1.3以下であることが好ましい。
In the method for producing a single-sided metal foil laminate according to the present invention, the double-sided metal foil laminate may be produced by sandwiching a film formed from a liquid crystal polymer in a layer form with two metal foils and hot pressing the film. preferable.
The single-sided metal foil laminate of the present invention is obtained by the above production method.
In the single-sided metal foil laminate of the present invention, the liquid crystal polymer layer is preferably 15 μm or less.
In the single-sided metal foil laminate of the present invention, the liquid crystal polymer layer preferably has a molecular orientation of 1.3 or less.

本発明の実装回路基板は、上記の片面金属箔積層体を用い、その積層体上に電子部品を搭載して接続してなる。
本発明の多層実装回路基板は、上記の片面金属箔積層体に、この積層体または他の積層体を重ねてなる多層積層体を用い、その多層積層体上に電子部品を搭載して接続してなる。
The mounting circuit board of the present invention is formed by using the above-described single-sided metal foil laminate and mounting and connecting electronic components on the laminate.
The multilayer mounted circuit board of the present invention uses a multilayer laminate in which this laminate or another laminate is stacked on the single-sided metal foil laminate, and an electronic component is mounted on the multilayer laminate and connected. It becomes.

本発明の両面金属箔積層体の製造方法では、前記片面金属箔積層体の前記ポリマーの層側に金属箔を重ね合わせて熱プレスして、両面金属箔積層体を製造する。
本発明の両面金属箔積層体は上記の製造方法によって得られるものである。
In the method for producing a double-sided metal foil laminate of the present invention, the double-sided metal foil laminate is produced by superposing and heating the metal foil on the polymer layer side of the single-sided metal foil laminate.
The double-sided metal foil laminate of the present invention is obtained by the above production method.

本発明の片面金属箔積層体の製造装置は、2枚の金属箔で層状に挟まれた、液晶ポリマーから成形されるフィルムを厚さ方向に熱プレスする熱プレス装置と、熱プレスによって形成された液晶ポリマーの層とその上面の金属箔層と下面の金属箔層とからなる両面金属箔積層体を、前記ポリマーの層の厚さ方向に上面と下面に引き裂く分割装置とを備える。   An apparatus for producing a single-sided metal foil laminate of the present invention is formed by a hot press apparatus that heat-presses a film formed from a liquid crystal polymer sandwiched between two metal foils in a thickness direction, and a hot press. And a splitting device for tearing a double-sided metal foil laminate composed of a liquid crystal polymer layer, a metal foil layer on the top surface thereof, and a metal foil layer on the bottom surface in the thickness direction of the polymer layer.

本発明における重要なポイントは、液晶ポリマー層が、上述した層内剥離性により厚さ方向で2分される性質を利用することであり、この性質を消失せしめることなく目的とする片面金属箔積層体を作るに至らしめることである。このためには、液晶ポリマー層を軟化させても溶融させないことが必須であり、液晶ポリマー層の温度を融点を越えて上昇せしめてはならない。しかし、液晶ポリマー層は、必ずしも一定の融点を示すものではなく、融点は液晶ポリマー層に加えられる熱履歴などに依存する。例えば、液晶ポリマーフィルムあるいは層を、融点付近ではあるが融点より低い温度(例えば継続して常に15℃低い温度)の環境におけば、融点は時間と共に上昇し、終には融点がもとの出発時点の融点よりも120℃程度上昇してしまう。このように出発時点よりも融点が上昇した時点では、そのときの融点を越えない温度であれば液晶ポリマー層が厚さ方向で2分される性質が損なわれることはない。   An important point in the present invention is to utilize the property that the liquid crystal polymer layer is bisected in the thickness direction by the above-described intra-layer peelability, and the desired single-sided metal foil lamination without losing this property. It is to make a body. For this purpose, it is essential that the liquid crystal polymer layer is not melted even if it is softened, and the temperature of the liquid crystal polymer layer should not be raised beyond the melting point. However, the liquid crystal polymer layer does not necessarily have a constant melting point, and the melting point depends on the thermal history applied to the liquid crystal polymer layer. For example, if a liquid crystal polymer film or layer is placed in an environment that is near the melting point but lower than the melting point (for example, continuously 15 ° C. lower), the melting point increases with time, and finally the melting point is the original. The temperature rises by about 120 ° C. from the starting melting point. Thus, when the melting point rises from the starting point, the property that the liquid crystal polymer layer is divided into two in the thickness direction is not impaired as long as the temperature does not exceed the melting point at that time.

また、熱プレスの方法としては、熱プレス機、真空熱プレス機、熱ロールプレス機、および加熱手段が別に実質上隣接されて設置されているプレス機、真空プレス機、ロールプレス機などを用いることができる。   Moreover, as a method of hot pressing, a hot press machine, a vacuum hot press machine, a hot roll press machine, and a press machine, a vacuum press machine, a roll press machine, etc. in which heating means are installed substantially adjacent to each other are used. be able to.

片面金属箔積層体は、回路基板用途だけでなく、汎用のプラスチックと金属箔の積層体用途に用いることができる。しかし、特に回路基板用途においては、原料となる液晶ポリマーフィルムの製膜方向と、それに直角な方向で熱膨張係数などの物性ができる限り同じであることが望ましい。しかしながら、液晶ポリマーは分子が非常に配向しやすく、通常の製膜方法により液晶ポリマーフィルムを製膜するとフィルムを構成する液晶ポリマーが製膜方向に強く分子配向(分子配向度SORが1.5程度以上)してしまう。このような製膜方向に強く分子配向した液晶ポリマーフィルムを片面金属箔積層体の原料とする場合には、片面金属箔積層体の液晶ポリマー層が原料フィルムと同等の製膜方向に強く配向したものとなり、製膜方向とその直角な方向で熱膨張係数などの物性が食い違うものとなる。   The single-sided metal foil laminate can be used not only for circuit board applications but also for general-purpose plastic and metal foil laminate applications. However, particularly in circuit board applications, it is desirable that the physical properties such as the thermal expansion coefficient be the same as much as possible in the direction in which the liquid crystal polymer film as a raw material is formed and in the direction perpendicular thereto. However, the liquid crystal polymer is very easy to align molecules. When a liquid crystal polymer film is formed by a normal film forming method, the liquid crystal polymer constituting the film is strongly aligned in the film forming direction (molecular orientation degree SOR is about 1.5). Or more). When the liquid crystal polymer film strongly molecularly oriented in such a film forming direction is used as the raw material of the single-sided metal foil laminate, the liquid crystal polymer layer of the single-sided metal foil laminate is strongly oriented in the film forming direction equivalent to the raw film. Therefore, the physical properties such as the coefficient of thermal expansion differ between the film forming direction and the direction perpendicular thereto.

そこで、特に回路基板用途向けには、片面金属箔積層体製造のために用いられる液晶ポリマーフィルムは等方性であること(分子配向度SORが1.3以下、理想的に望ましいSORは1)が望ましい。   Therefore, especially for circuit board applications, the liquid crystal polymer film used for the production of a single-sided metal foil laminate is isotropic (molecular orientation degree SOR is 1.3 or less, ideally desirable SOR is 1). Is desirable.

以上述べたように、本発明は、液晶ポリマー電気絶縁層と金属箔層とで構成される積層体を提供するものであり、また、液晶ポリマー層は薄くすることが可能であり、特に回路基板に望ましいものとして、液晶ポリマー電気絶縁層の分子配向が等方性である積層体を提供するものである。したがって、本発明の片面積層体の液晶ポリマー層は、薄さを確保しながらも、等方性であるため、実現が強く要請されていた薄い液晶ポリマー層と金属箔層とで構成される回路基板の実現を可能とする。   As described above, the present invention provides a laminate composed of a liquid crystal polymer electrical insulating layer and a metal foil layer, and the liquid crystal polymer layer can be made thin, particularly a circuit board. It is desirable to provide a laminate in which the molecular orientation of the liquid crystal polymer electrical insulating layer is isotropic. Therefore, since the liquid crystal polymer layer of the one-area layered body of the present invention is isotropic while ensuring thinness, a circuit composed of a thin liquid crystal polymer layer and a metal foil layer that are strongly required to be realized. Realization of a substrate is possible.

以上述べたように、本発明により、等方性液晶ポリマーコート層を形成する手段が提供され、また特に厚さ15μm以下の等方性液晶ポリマーコート層、さらに等方性液晶ポリマーコート層の熱膨張係数が被コート体の熱膨張係数と同等であるような等方性液晶ポリマーコート層を形成する手段が提供される。   As described above, according to the present invention, means for forming an isotropic liquid crystal polymer coat layer is provided, and in particular, an isotropic liquid crystal polymer coat layer having a thickness of 15 μm or less, and further heat of the isotropic liquid crystal polymer coat layer. Means are provided for forming an isotropic liquid crystal polymer coat layer having an expansion coefficient equivalent to the thermal expansion coefficient of the substrate.

また、上述したように、本発明の手段によれば、離型フィルムを必要とせず、液晶ポリマーの片面金属箔積層体を製造することができる。このために、離型フィルムに要するコストが削減される。さらに、両面金属箔積層体1枚から一回のプロセスで2枚の片面金属箔積層体が製造されるので、従来技術による片面金属箔積層体の製造方法よりほぼ2倍の速度で生産できるので生産性向上が可能となる。   Further, as described above, according to the means of the present invention, a single-sided metal foil laminate of a liquid crystal polymer can be produced without requiring a release film. For this reason, the cost required for the release film is reduced. Furthermore, since two single-sided metal foil laminates are manufactured from one double-sided metal foil laminate in a single process, it can be produced at a rate almost twice as fast as the conventional method for producing single-sided metal foil laminates. Productivity can be improved.

さらに、以上述べたように、本発明は、超薄液晶ポリマー層と金属箔層とで構成される積層体、さらには該液晶ポリマー層の分子配向が平面内のどの方向でも均等な積層体を提供するものである。   Furthermore, as described above, the present invention provides a laminate composed of an ultrathin liquid crystal polymer layer and a metal foil layer, and further a laminate in which the molecular orientation of the liquid crystal polymer layer is uniform in any direction in the plane. It is to provide.

図1(a)から(c)に、本発明の第1実施形態である等方性液晶ポリマーフィルムを用いたコーティング方法を示す。図1(a)に示すように、コート体1は、液晶ポリマーフィルム2を被コート体3に熱圧着したものである。液晶ポリマーフィルム2の分子配向度SORは1.3以下であり、厚さは15μm以上である。図1(b)に示すように、薄い液晶ポリマーコート層2aを被コート体3上に残して、他の液晶ポリマーフィルム2bを引き剥がす。この液晶ポリマーフィルム2bを引き剥がす工程は、液晶ポリマーフィルムの層内剥離性を利用するため、容易に行うことができる。液晶ポリマーフィルム2bが引き剥がされた後は、図1(c)に示すように、被コート体3に薄い液晶ポリマー層2aがコーティングされたコート体1となる。
このコーティング方法により、分子配向度SORが1.3以下で液晶ポリマーコート層の厚さが15μm以下のコート体を製造することができる。
FIGS. 1A to 1C show a coating method using an isotropic liquid crystal polymer film according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1 (a), the coated body 1 is obtained by thermocompression bonding a liquid crystal polymer film 2 to a coated body 3. The liquid crystal polymer film 2 has a molecular orientation SOR of 1.3 or less and a thickness of 15 μm or more. As shown in FIG. 1B, the other liquid crystal polymer film 2b is peeled off while leaving the thin liquid crystal polymer coat layer 2a on the body 3 to be coated. The step of peeling off the liquid crystal polymer film 2b can be easily performed because it utilizes the in-layer peelability of the liquid crystal polymer film. After the liquid crystal polymer film 2b is peeled off, as shown in FIG. 1 (c), the coated body 1 is obtained by coating the coated body 3 with a thin liquid crystal polymer layer 2a.
By this coating method, a coated body having a molecular orientation degree SOR of 1.3 or less and a liquid crystal polymer coat layer thickness of 15 μm or less can be produced.

図2(a)から(g)に、本発明の第2実施形態である片面金属箔積層体の製造方法を示す。図2(a)に示す液晶ポリマーフィルム2と上面の金属箔層3と下面の金属箔層3とからなる両面金属箔積層体11を、図2(b)のように液晶ポリマー層2の厚さ方向Zに上面と下面とに、例えば厚さ方向の中央で引き裂く。これによって、図2(c)に示すように、上面の金属箔層3と液晶ポリマー層2とからなる第1の片面金属箔積層体11aと下面の金属箔層3と液晶ポリマー層2とからなる第2の片面金属箔積層体11bとに分割される。
図2(b)に示す液晶ポリマー層2を引き裂く工程は、第1実施形態と同様に液晶ポリマーフィルムの層内剥離性を利用するため、容易に行うことができる。 図2(a)から(c)の工程により、離型フィルムを使用することなく、液晶ポリマーの片面金属箔積層体を同時に2つ製造できる。
2 (a) to 2 (g) show a method for producing a single-sided metal foil laminate that is a second embodiment of the present invention. A double-sided metal foil laminate 11 comprising the liquid crystal polymer film 2, the upper metal foil layer 3 and the lower metal foil layer 3 shown in FIG. 2 (a) is formed as shown in FIG. 2 (b). In the thickness direction Z, the upper surface and the lower surface are torn, for example, at the center in the thickness direction. As a result, as shown in FIG. 2 (c), from the first single-sided metal foil laminate 11 a composed of the upper metal foil layer 3 and the liquid crystal polymer layer 2, the lower metal foil layer 3 and the liquid crystal polymer layer 2. The second single-sided metal foil laminate 11b is divided.
The step of tearing the liquid crystal polymer layer 2 shown in FIG. 2 (b) can be easily performed because it uses the in-layer peelability of the liquid crystal polymer film as in the first embodiment. 2A to 2C, two single-sided metal foil laminates of a liquid crystal polymer can be produced simultaneously without using a release film.

また、図2(d)に示すように、この片面金属箔積層体11bの液晶ポリマー層2側に金属箔3aを重ね合わせて熱プレスすると、図2(e)に示す両面金属箔積層体11cが得られるが、分割前の両面金属箔積層体11に比べて、液晶ポリマー層2の厚さが約半分である。さらに、図2(f)に示すように、この両面金属箔積層体11cを厚さ方向Zに上面と下面とに引き裂くと、図2(g)に示すように、上面の金属箔層3aと液晶ポリマー層2とからなる第1の片面金属箔積層体11dと下面の金属箔層3と液晶ポリマー層2とからなる第2の片面金属箔積層体11eとに分割される。図2(d)から(g)の工程を繰り返すことで、液晶ポリマー層2の厚さをさらに薄くすることが可能である。   Further, as shown in FIG. 2D, when the metal foil 3a is superposed on the liquid crystal polymer layer 2 side of the single-sided metal foil laminate 11b and hot-pressed, the double-sided metal foil laminate 11c shown in FIG. However, the thickness of the liquid crystal polymer layer 2 is about half that of the double-sided metal foil laminate 11 before division. Further, as shown in FIG. 2 (f), when the double-sided metal foil laminate 11c is torn into the upper surface and the lower surface in the thickness direction Z, as shown in FIG. 2 (g), the upper surface metal foil layer 3a A first single-sided metal foil laminate 11d composed of the liquid crystal polymer layer 2 is divided into a second single-sided metal foil laminate 11e composed of the lower-surface metal foil layer 3 and the liquid crystal polymer layer 2. By repeating the steps of FIGS. 2D to 2G, the thickness of the liquid crystal polymer layer 2 can be further reduced.

図3に本発明の片面金属箔積層体の製造設備の具体例を示す。片面金属箔積層体の製造方法は、以下のとおりである。片面金属箔積層体11a,11bの原材料ともいうべき上面の金属箔3、液晶ポリマーフィルム2、下面の金属箔3を、重ね合わせて、予熱チャンバー20において金属箔3,3と液晶ポリマーフィルム2を同一温度の雰囲気中を通過させ、その直後に熱プレス装置である熱プレスローラ21,21で熱プレスすることによって液晶ポリマーの両面金属箔積層体11を形成する。次いで、該両面金属箔積層体11を上下面に2分するための適切な温度に調整するために温度調整チャンバー22を通過させた後、分割装置23において該両面金属箔積層体11を上面側と下面側に厚さ方向で2分し、片面金属箔積層体11aおよび片面金属箔積層体11bが巻き取られる。   The specific example of the manufacturing equipment of the single-sided metal foil laminated body of this invention is shown in FIG. The manufacturing method of a single-sided metal foil laminated body is as follows. The metal foil 3 on the upper surface, the liquid crystal polymer film 2, and the metal foil 3 on the lower surface, which should be called raw materials of the single-sided metal foil laminates 11a and 11b, are overlapped, and the metal foils 3, 3 and the liquid crystal polymer film 2 are laminated in the preheating chamber 20. A double-sided metal foil laminate 11 of a liquid crystal polymer is formed by passing through an atmosphere of the same temperature and immediately pressing it with hot press rollers 21 and 21 as hot press devices. Subsequently, after passing the temperature adjustment chamber 22 in order to adjust the double-sided metal foil laminate 11 to an appropriate temperature for dividing the double-sided metal foil laminate 11 into the upper and lower surfaces, the double-sided metal foil laminate 11 is placed on the upper surface side in the dividing device 23. The single-sided metal foil laminate 11a and the single-sided metal foil laminate 11b are wound up in two on the lower surface side in the thickness direction.

図4に本発明の第3実施形態に係る実装回路基板の概念図を示す。実装回路基板12は、第2実施形態で製造される片面金属箔積層体11a(図2(c))における金属箔3が銅箔であり、印刷されたパターン部分以外の銅箔をエッチングにより除去して、回路パターンが形成されている。この回路パターン上に、抵抗、コイル、コンデンサおよびICなどの電子部品13が搭載され、回路パターンに接続されている。本発明の片面金属箔積層体11aは、電気絶縁層である液晶ポリマー層2を薄くすることが可能であるため、厚さの薄い実装回路基板12が実現できる。   FIG. 4 shows a conceptual diagram of a mounting circuit board according to the third embodiment of the present invention. In the mounted circuit board 12, the metal foil 3 in the single-sided metal foil laminate 11a (FIG. 2C) manufactured in the second embodiment is a copper foil, and the copper foil other than the printed pattern portion is removed by etching. Thus, a circuit pattern is formed. On this circuit pattern, electronic components 13 such as resistors, coils, capacitors, and ICs are mounted and connected to the circuit pattern. Since the single-sided metal foil laminate 11a of the present invention can make the liquid crystal polymer layer 2 that is an electrical insulating layer thin, a thin mounting circuit board 12 can be realized.

図5に本発明の両面金属箔積層体同士を液晶ポリマーフィルム4を挟んで重ねた多層回路基板14の断面概略図を示す。両面金属箔積層体11c(図2(e))における金属箔3は銅箔であり、両面金属箔積層体11cは、エッチングにより印刷されたパターン部分以外の銅箔を除去して、回路パターンが形成されている。この回路パターンが形成された2つの両面金属箔積層体11cの間に、液晶ポリマーフィルム4を挟んで熱プレスした後、部品取り付け穴をあけてメッキ5を施し、スルーホール6を形成する。本発明の両面金属箔積層体11cは、電気絶縁層である液晶ポリマー層2を薄くすることが可能であるため、厚さの薄い多層回路基板14が実現できる。   FIG. 5 shows a schematic cross-sectional view of a multilayer circuit board 14 in which the double-sided metal foil laminates of the present invention are stacked with the liquid crystal polymer film 4 interposed therebetween. The metal foil 3 in the double-sided metal foil laminate 11c (FIG. 2E) is a copper foil, and the double-sided metal foil laminate 11c removes the copper foil other than the pattern portion printed by etching, so that the circuit pattern is Is formed. Between the two double-sided metal foil laminates 11c on which this circuit pattern is formed, the liquid crystal polymer film 4 is sandwiched and hot-pressed, and then component mounting holes are formed and plated 5 is applied to form through holes 6. Since the double-sided metal foil laminate 11c of the present invention can make the liquid crystal polymer layer 2 that is an electrical insulating layer thin, a multilayer circuit board 14 having a small thickness can be realized.

以下、実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited at all by these Examples.

〔実施例1〕
6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸単位27モル%、p−ヒドロキシ安息香酸単位73モル%からなるサーモトロピック液晶ポリエステルを単軸押出機を用いて280〜300℃で加熱混練し、直径40mm、スリット間隔0.6mmのインフレーションダイより押し出し、厚さ75μmの液晶ポリマーフィルムを得た。得られた液晶ポリマーフィルムの融点は280℃で、その分子配向度SORは1.2であった。厚さ200μmのアルミ箔(被コート体)と該液晶ポリマーフィルムとを重ね合わせ、上下より真空平板熱プレス機を用いて全体を40mmHgの真空とし、温度275℃、圧力20Kg/cm2 で熱圧着した後、該液晶ポリマーフィルムの一部が残るように引き剥がした。
しかる後に、アルミ箔を化学エッチングにより除去し、得られた液晶ポリマーコート層の分子配向度SORを測定したところ1.2で、厚さは30μmであった。
比較のために、同じアルミ箔(被コート体)に上記の液晶ポリマーを溶融してロールコーター法でコーティングして液晶ポリマーコート層を得、上に述べたようにして該液晶ポリマーコート層の分子配向度SORを測定したところ1.5であった。
[Example 1]
A thermotropic liquid crystal polyester composed of 27 mol% of 6-hydroxy-2-naphthoic acid units and 73 mol% of p-hydroxybenzoic acid units was heated and kneaded at 280-300 [deg.] C. using a single screw extruder, diameter 40 mm, slit interval A liquid crystal polymer film having a thickness of 75 μm was obtained by extrusion from a 0.6 mm inflation die. The obtained liquid crystal polymer film had a melting point of 280 ° C. and a molecular orientation degree SOR of 1.2. A 200 μm thick aluminum foil (coated body) and the liquid crystal polymer film are overlaid, and the whole is vacuumed to 40 mmHg using a vacuum flat plate heat press from above and below, and thermocompression bonded at a temperature of 275 ° C. and a pressure of 20 kg / cm 2. Then, the liquid crystal polymer film was peeled off so that a part of it remained.
Thereafter, the aluminum foil was removed by chemical etching, and the molecular orientation SOR of the obtained liquid crystal polymer coat layer was measured. As a result, it was 1.2 and the thickness was 30 μm.
For comparison, the above liquid crystal polymer is melted on the same aluminum foil (coated body) and coated by a roll coater method to obtain a liquid crystal polymer coat layer. As described above, the molecules of the liquid crystal polymer coat layer are obtained. The degree of orientation SOR was measured and found to be 1.5.

〔実施例2〕
6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸単位27モル%、p−ヒドロキシ安息香酸単位73モル%からなるサーモトロピック液晶ポリエステルを単軸押出機を用いて280〜300℃で加熱混練し、直径40mm、スリット間隔0.6mmのインフレーションダイより押し出し、厚さ20μmの液晶ポリマーフィルムを得た。得られた液晶ポリマーフィルムの融点は280℃で、その分子配向度SORは1.03であった。
上記の液晶ポリマーフィルムを液晶ポリマーコート層材料とし、厚さ18μmの電解銅箔(被コート体)と重ね合わせて真空熱プレス機を用いて実施例1と同様に熱圧着した後、該液晶ポリマーフィルムの一部が残るように引き剥がして、液晶ポリマーコート層を得た。電解銅箔を化学エッチングにより除去して、液晶ポリマーコート層の分子配向度SOR、厚さを測定したところ、それぞれ1.03、および9μmであった。
[Example 2]
A thermotropic liquid crystal polyester composed of 27 mol% of 6-hydroxy-2-naphthoic acid units and 73 mol% of p-hydroxybenzoic acid units was heated and kneaded at 280-300 [deg.] C. using a single screw extruder, diameter 40 mm, slit interval Extrusion was performed from a 0.6 mm inflation die to obtain a liquid crystal polymer film having a thickness of 20 μm. The obtained liquid crystal polymer film had a melting point of 280 ° C. and a molecular orientation SOR of 1.03.
The above-mentioned liquid crystal polymer film is used as a liquid crystal polymer coat layer material, and is superposed on an electrolytic copper foil (coated body) having a thickness of 18 μm and thermocompression bonded in the same manner as in Example 1 using a vacuum hot press machine. It peeled off so that a part of film might remain, and the liquid crystal polymer coat layer was obtained. The electrolytic copper foil was removed by chemical etching, and the molecular orientation degree SOR and the thickness of the liquid crystal polymer coat layer were measured and found to be 1.03 and 9 μm, respectively.

〔実施例3〕
6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸単位27モル%、p−ヒドロキシ安息香酸単位73モル%からなるサーモトロピック液晶ポリエステルを単軸押出機を用いて280〜300℃で加熱混練し、直径40mm、スリット間隔0.6mmのインフレーションダイより押し出し、厚さ50μmの液晶ポリマーフィルムを得た。得られた液晶ポリマーフィルムの融点は280℃で、分子配向度SORは1.02、熱膨張係数は−8ppm/℃であった。
上記の液晶ポリマーフィルムを液晶ポリマーコート層材料とし、厚さ10μm、熱膨張係数18ppm/℃の圧延銅箔を被コート体材料とし、両者を重ね合わせて真空熱プレス機を用いて実施例1と同様に熱圧着した後、該液晶ポリマーフィルムの一部が残るように引き剥がして液晶ポリマーコート層を得た。圧延銅箔を化学エッチングして、得られた液晶ポリマーコート層の分子配向度SORと厚さを測定したところ、それぞれ1.02および15μmであった。また熱膨張係数は−8ppm/℃であった。
Example 3
A thermotropic liquid crystal polyester composed of 27 mol% of 6-hydroxy-2-naphthoic acid units and 73 mol% of p-hydroxybenzoic acid units was heated and kneaded at 280-300 [deg.] C. using a single screw extruder, diameter 40 mm, slit interval A liquid crystal polymer film having a thickness of 50 μm was obtained by extrusion from a 0.6 mm inflation die. The obtained liquid crystal polymer film had a melting point of 280 ° C., a molecular orientation SOR of 1.02, and a thermal expansion coefficient of −8 ppm / ° C.
The above liquid crystal polymer film is used as a liquid crystal polymer coat layer material, a rolled copper foil having a thickness of 10 μm and a thermal expansion coefficient of 18 ppm / ° C. is used as a material to be coated, Similarly, after thermocompression bonding, the liquid crystal polymer film was peeled off so that a part of the liquid crystal polymer film remained to obtain a liquid crystal polymer coat layer. When the rolled copper foil was chemically etched and the molecular orientation degree SOR and thickness of the obtained liquid crystal polymer coat layer were measured, they were 1.02 and 15 μm, respectively. The thermal expansion coefficient was −8 ppm / ° C.

〔実施例4〕
実施例3において得られた液晶ポリマーコート層を有する被コート体を、熱風循環式オーブンを用いて、292℃に加熱した。圧延銅箔を化学エッチングにより除去した。得られた液晶ポリマーコート層の分子配向度SORは1.02、厚さは15μm、熱膨張係数は18ppm/℃であった。
Example 4
The coated body having the liquid crystal polymer coating layer obtained in Example 3 was heated to 292 ° C. using a hot air circulation oven. The rolled copper foil was removed by chemical etching. The obtained liquid crystal polymer coat layer had a molecular orientation SOR of 1.02, a thickness of 15 μm, and a thermal expansion coefficient of 18 ppm / ° C.

〔実施例5〕
厚さ18μmの電解銅箔を上面の金属箔とし、厚さ18μmの電解銅箔を下面の金属箔として、これら2枚の金属箔の間に、実施例3で用いたものと同じ厚さ50μmの液晶ポリマーフィルムを挟み、真空平板熱プレス機を用いて、全体を30mmHgの真空とし、プレス温度270℃、プレス圧60Kg/cm2 で熱プレスし、厚さ86μmの両面金属箔積層体を作製した。ここで用いた液晶ポリマーフィルムの分子配向度SORは1.02であった。
上記の両面金属箔積層体を上面側と下面側に厚さ方向に中央部で分離し、2枚の片面金属箔積層体を得た。液晶ポリマー層における分離面は毛羽立ちがなく平滑であった。これら2枚の片面金属箔積層体の厚さはいずれも43μmで、金属箔の厚さ18μmを差し引けば、液晶ポリマー層の厚さは25μmである。
こうして得られた片面金属箔積層体より電解銅箔を化学エッチングにより除去した。残されたフィルム状の液晶ポリマー層の分子配向度SORは1.02であって、分子配向度は変化しなかった。
Example 5
An electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm is used as a metal foil on the upper surface, and an electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm is used as a metal foil on the lower surface. Between these two metal foils, the same thickness as that used in Example 3 is 50 μm. Using a vacuum flat plate hot press machine, the whole is vacuumed at 30 mmHg and hot pressed at a press temperature of 270 ° C. and a press pressure of 60 kg / cm 2 to produce a double-sided metal foil laminate with a thickness of 86 μm. did. The liquid crystal polymer film used here had a molecular orientation SOR of 1.02.
Said double-sided metal foil laminated body was isolate | separated by the center part in the thickness direction on the upper surface side and the lower surface side, and two single-sided metal foil laminated bodies were obtained. The separation surface in the liquid crystal polymer layer was smooth with no fuzz. The thickness of these two single-sided metal foil laminates is 43 μm, and the thickness of the liquid crystal polymer layer is 25 μm if the thickness of the metal foil is 18 μm.
The electrolytic copper foil was removed by chemical etching from the single-sided metal foil laminate thus obtained. The molecular orientation degree SOR of the remaining film-like liquid crystal polymer layer was 1.02, and the degree of molecular orientation did not change.

〔実施例6〕
実施例5で作製した厚さ86μmの両面金属箔積層体の上面の金属箔層側と下面の金属箔層側とを、実施例5とは別の位置で引き剥がすように力を加えて、液晶ポリマー層を上下に2分し、上側の金属箔層と液晶ポリマー層とからなる第1の積層体と、下側の金属箔層と液晶ポリマー層とからなる第2の積層体を作製した。
第1の積層体の厚さは48μm、したがって、液晶ポリマー層の厚さは30μm、また第2の積層体の厚さは38μm、したがって、液晶ポリマー層の厚さは20μmであった。
上記の第1の積層体および第2の積層体の金属箔層を化学エッチングすることにより除去した。得られた液晶ポリマー層の分子配向度SORは、第1の積層体も第2の積層体も1.02であった。
Example 6
Applying force to peel off the metal foil layer side of the upper surface and the metal foil layer side of the lower surface of the double-sided metal foil laminate having a thickness of 86 μm prepared in Example 5 at a position different from Example 5, The liquid crystal polymer layer was divided into two parts up and down to produce a first laminate composed of the upper metal foil layer and the liquid crystal polymer layer, and a second laminate composed of the lower metal foil layer and the liquid crystal polymer layer. .
The thickness of the first laminate was 48 μm, therefore the thickness of the liquid crystal polymer layer was 30 μm, and the thickness of the second laminate was 38 μm, and thus the thickness of the liquid crystal polymer layer was 20 μm.
The metal foil layers of the first laminate and the second laminate were removed by chemical etching. The molecular orientation degree SOR of the obtained liquid crystal polymer layer was 1.02 for both the first laminate and the second laminate.

〔実施例7〕
6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸単位27モル%、p−ヒドロキシ安息香酸単位73モル%からなるサーモトロピック液晶ポリエステルを単軸押出機を用いて280〜300℃で加熱混練し、直径40mm、スリット間隔0.6mmのインフレーションダイより押し出し、厚さ16μmの液晶ポリマーフィルムを得た。得られた液晶ポリマーフィルムの融点は280℃で、分子配向度SORは1.02であった。
上記の厚さ16μmの液晶ポリマーフィルムを、厚さ18μmの電解銅箔2枚の間に挟み、一対の熱プレスロールを用いてロール温度280℃、線圧100kg/cmで熱接着して、上面の金属箔層、液晶ポリマー層、下面の金属箔層で構成される積層体を作製した。該積層体の厚さは52μmであった。
次いで、厚さ52μmの上記積層体の上面の金属箔層側と下面の金属箔層側とを引き剥がすように力を加え、液晶ポリマー層を上下に2分し、上側の金属箔層と液晶ポリマー層とからなる第1の積層体と、下側の金属箔層と液晶ポリマー層とからなる第2の積層体を作製した。
第1の積層体の厚さは26μm、したがって、液晶ポリマー層の厚さは8μm、また第2の積層体の厚さも26μm、したがって、液晶ポリマー層の厚さは8μmであった。
上記の第1の積層体および第2の積層体の金属箔層を化学エッチングすることにより除去した。得られた液晶ポリマー層の分子配向度SORは、第1の積層体も第2の積層体も1.02であった。
Example 7
A thermotropic liquid crystal polyester composed of 27 mol% of 6-hydroxy-2-naphthoic acid units and 73 mol% of p-hydroxybenzoic acid units was heated and kneaded at 280-300 [deg.] C. using a single screw extruder, diameter 40 mm, slit interval A liquid crystal polymer film with a thickness of 16 μm was obtained by extrusion from a 0.6 mm inflation die. The obtained liquid crystal polymer film had a melting point of 280 ° C. and a molecular orientation SOR of 1.02.
The above liquid crystal polymer film having a thickness of 16 μm is sandwiched between two pieces of electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm and thermally bonded at a roll temperature of 280 ° C. and a linear pressure of 100 kg / cm using a pair of hot press rolls. A laminate comprising a metal foil layer, a liquid crystal polymer layer, and a metal foil layer on the lower surface was prepared. The thickness of the laminate was 52 μm.
Next, a force was applied so as to peel off the metal foil layer side on the upper surface and the metal foil layer side on the lower surface of the laminate having a thickness of 52 μm, the liquid crystal polymer layer was divided into two parts up and down, and the upper metal foil layer and the liquid crystal A first laminate composed of a polymer layer, and a second laminate composed of a lower metal foil layer and a liquid crystal polymer layer were prepared.
The thickness of the first laminate was 26 μm, therefore the thickness of the liquid crystal polymer layer was 8 μm, and the thickness of the second laminate was also 26 μm, and thus the thickness of the liquid crystal polymer layer was 8 μm.
The metal foil layers of the first laminate and the second laminate were removed by chemical etching. The molecular orientation degree SOR of the obtained liquid crystal polymer layer was 1.02 for both the first laminate and the second laminate.

〔実施例8〕
実施例7で得られた厚さ26μmの積層体の液晶ポリマー層側に厚さ18μmの電解銅箔1枚を重ね、実施例7と同様に熱接着して、上面の金属箔層、液晶ポリマー層、下面の金属箔層とで構成される積層体を作製した。積層体の厚さは44μmであった。
次いで、厚さ44μmの上記積層体の上面の金属箔層側と下面の金属箔層側とを引き剥がすように力を加え、液晶ポリマー層を上下に2分し、上側の金属箔層と液晶ポリマー層とからなる第1の積層体と、下側の金属箔層と液晶ポリマー層とからなる第2の積層体を作製した。
第1の積層体の厚さは22μm、したがって、液晶ポリマー層の厚さは4μm、また第2の積層体の厚さも22μm、したがって、液晶ポリマー層の厚さは4μmであった。
上記の第1の積層体および第2の積層体の金属箔層を化学エッチングすることにより除去した。得られた液晶ポリマー層の分子配向度SORは、第1の積層体1も第2の積層体も1.02であった。
Example 8
One electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm was stacked on the liquid crystal polymer layer side of the 26 μm-thick laminate obtained in Example 7, and thermally bonded in the same manner as in Example 7. A laminate composed of a layer and a metal foil layer on the lower surface was produced. The thickness of the laminated body was 44 μm.
Next, a force was applied so as to peel off the metal foil layer side on the upper surface and the metal foil layer side on the lower surface of the laminate having a thickness of 44 μm, the liquid crystal polymer layer was divided into two parts up and down, and the upper metal foil layer and the liquid crystal A first laminate composed of a polymer layer, and a second laminate composed of a lower metal foil layer and a liquid crystal polymer layer were prepared.
The thickness of the first laminate was 22 μm, and therefore the thickness of the liquid crystal polymer layer was 4 μm, and the thickness of the second laminate was 22 μm, and thus the thickness of the liquid crystal polymer layer was 4 μm.
The metal foil layers of the first laminate and the second laminate were removed by chemical etching. The molecular orientation degree SOR of the obtained liquid crystal polymer layer was 1.02 for both the first laminate 1 and the second laminate.

〔実施例9〕
実施例8において得られた厚さ22μmの積層体の液晶ポリマー層側に厚さ18μmの電解銅箔1枚を重ね、熱プレス機を用いてプレス温度294℃、圧力20kg/cm2 で熱接着して、上面の金属箔層、液晶ポリマー層、下面の金属箔層とで構成される積層体を作製した。積層体の厚さは40μmであった。該積層体の金属箔層をエッチングして15×15mm角の範囲で回路を形成し、該回路を半導体チップに熱固定して貼り付け、実装回路基板を作製した。
Example 9
One electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm was stacked on the liquid crystal polymer layer side of the laminate having a thickness of 22 μm obtained in Example 8, and heat bonding was performed at a press temperature of 294 ° C. and a pressure of 20 kg / cm 2 using a hot press machine. And the laminated body comprised by the metal foil layer of an upper surface, a liquid crystal polymer layer, and the metal foil layer of a lower surface was produced. The thickness of the laminated body was 40 μm. The metal foil layer of the laminate was etched to form a circuit in a range of 15 × 15 mm square, and the circuit was heat-fixed and attached to a semiconductor chip to produce a mounting circuit board.

〔実施例10〕
実施例8において得られた厚さ22μmの積層体の液晶ポリマー層側に厚さ18μmの電解銅箔1枚を重ね、熱プレス機を用いて、プレス温度294℃、圧力20kg/cm2 で熱接着して、上面の金属箔層、液晶ポリマー層、下面の金属箔層とで構成される積層体を2枚作製した。積層体の厚さは40μmであった。こうして作製した2枚の厚さ40μmの積層体の金属箔に回路パターンを、エッチングにより形成した。この2枚の回路パターンが形成された積層体の間に、実施例3で使用したものと同じ厚さ50μmの液晶ポリマーフィルムを挟み、プレス温度284℃、圧力10kg/cm2 で熱プレスして多層化した。ついで、回路パターン中の接続部の位置にドリルによって貫通孔をあけた後に、クリムソン無電解銅メッキ法によってメッキスルーホール部を形成して多層回路基板を作製した。
Example 10
One electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm is stacked on the liquid crystal polymer layer side of the laminate having a thickness of 22 μm obtained in Example 8 and heated at a press temperature of 294 ° C. and a pressure of 20 kg / cm 2 using a hot press machine. Two laminates composed of a metal foil layer on the upper surface, a liquid crystal polymer layer, and a metal foil layer on the lower surface were produced by bonding. The thickness of the laminated body was 40 μm. A circuit pattern was formed by etching on the two metal foils of the laminate having a thickness of 40 μm produced in this way. Between the laminate on which the two circuit patterns are formed, a liquid crystal polymer film having the same thickness of 50 μm as that used in Example 3 is sandwiched and hot pressed at a pressing temperature of 284 ° C. and a pressure of 10 kg / cm 2. Multi-layered. Next, after a through hole was made by a drill at the position of the connection portion in the circuit pattern, a plated through hole portion was formed by a Crimson electroless copper plating method to produce a multilayer circuit board.

(a)〜(c)は、本発明の第1実施形態に係る等方性液晶ポリマーフィルムを用いたコーティング方法を示す説明図である。(A)-(c) is explanatory drawing which shows the coating method using the isotropic liquid crystal polymer film which concerns on 1st Embodiment of this invention. (a)〜(g)は、本発明の第2実施形態に係る片面金属箔積層体の製造方法を示す説明図である。(A)-(g) is explanatory drawing which shows the manufacturing method of the single-sided metal foil laminated body which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の片面金属箔積層体の製造装置の正面図である。It is a front view of the manufacturing apparatus of the single-sided metal foil laminated body of this invention. 本発明の第3実施形態に係る実装回路基板を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the mounting circuit board which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態に係る多層実装回路基板の断面概略図である。It is a section schematic diagram of the multilayer mounting circuit board concerning a 4th embodiment of the present invention. 分子配向度の測定機を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the measuring machine of a molecular orientation degree.

符号の説明Explanation of symbols

1…コート体、2,2a,2b…液晶ポリマーフィルム、3,3a…被コート体、11,11c…両面金属箔積層体、11a,11b,11d,11e…片面金属箔積層体、12…実装回路基板、14…多層回路基板、21…熱プレス装置、23…分割装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Coated body, 2, 2a, 2b ... Liquid crystal polymer film, 3, 3a ... Coated body, 11, 11c ... Double-sided metal foil laminated body, 11a, 11b, 11d, 11e ... Single-sided metal foil laminated body, 12 ... Mounting Circuit board, 14 ... multilayer circuit board, 21 ... heat press device, 23 ... dividing device.

Claims (16)

光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーから成形されて分子配向度が1.3以下のフィルムを被コート体に熱圧着した後、前記フィルムの薄い層を被コート体上に残すように、フィルムを引き剥がすことを特徴とするコーティング方法。   A film formed from a polymer capable of forming an optically anisotropic melt phase and having a molecular orientation of 1.3 or less is thermocompression bonded to the coated body, and then a thin layer of the film is left on the coated body. And a coating method, wherein the film is peeled off. 請求項1に記載のコーティング方法によって得られる前記被コート体上に残されたコート層を有するコート体。   A coated body having a coating layer left on the coated body obtained by the coating method according to claim 1. 請求項2において、前記コート層の厚さが15μm以下であることを特徴とするコート体。   The coated body according to claim 2, wherein the thickness of the coating layer is 15 µm or less. 厚さが15μm以下の光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーのコート層と被コート体とを有し、前記ポリマーの層の分子配向度が1.3以下であるコート体。   A coated body having a polymer coating layer capable of forming an optically anisotropic melt phase having a thickness of 15 μm or less and a coated body, wherein the molecular orientation of the polymer layer is 1.3 or less. 請求項2ないし4のいずれかにおいて、前記コート層の熱膨張係数が前記被コート体の熱膨張係数と同等であることを特徴とするコート体。   5. The coated body according to claim 2, wherein a thermal expansion coefficient of the coat layer is equal to a thermal expansion coefficient of the body to be coated. 光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層とその上面の金属箔層と下面の金属箔層とからなる両面金属箔積層体を、前記ポリマーの層の厚さ方向に上面と下面に引き裂くことによって、光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層とその上面の金属箔層とからなる第1の片面金属箔積層体と、光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層とその下面の金属箔層とからなる第2の片面金属箔積層体とに分割することを特徴とする片面金属箔積層体の製造方法。   A double-sided metal foil laminate comprising a polymer layer capable of forming an optically anisotropic melt phase, a metal foil layer on the upper surface thereof, and a metal foil layer on the lower surface thereof, and the upper and lower surfaces in the thickness direction of the polymer layer. A first single-sided metal foil laminate comprising a polymer layer capable of forming an optically anisotropic molten phase and a metal foil layer on the upper surface thereof, and an optically anisotropic molten phase is formed. A method for producing a single-sided metal foil laminate, comprising: dividing into a second single-sided metal foil laminate comprising a polymer layer and a metal foil layer on a lower surface thereof. 請求項6において、前記両面金属箔積層体は、光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーから成形されるフィルムを2枚の金属箔で層状に挟み、これを熱プレスして製造されることを特徴とする片面金属箔積層体の製造方法。   7. The double-sided metal foil laminate according to claim 6, wherein a film formed from a polymer capable of forming an optically anisotropic melt phase is sandwiched between two metal foils in a layered form, and is hot-pressed. The manufacturing method of the single-sided metal foil laminated body characterized by the above-mentioned. 請求項6または7のいずれかに記載の製造方法によって得られる片面金属箔積層体。   The single-sided metal foil laminated body obtained by the manufacturing method in any one of Claim 6 or 7. 請求項8において、前記片面金属箔積層体の前記光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層が15μm以下であることを特徴とする片面金属箔積層体。   9. The single-sided metal foil laminate according to claim 8, wherein the polymer layer capable of forming the optically anisotropic molten phase of the single-sided metal foil laminate is 15 μm or less. 請求項8または9において、前記光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層の分子配向度が1.3以下であることを特徴とする片面金属箔積層体。   The single-sided metal foil laminate according to claim 8 or 9, wherein the polymer layer capable of forming the optically anisotropic melt phase has a molecular orientation of 1.3 or less. 厚さが15μm以下の光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層とその片面に接合された金属箔層とからなり、前記ポリマーの層の分子配向度が1.3以下である片面金属箔積層体。   It consists of a polymer layer capable of forming an optically anisotropic melt phase having a thickness of 15 μm or less and a metal foil layer bonded to one surface thereof, and the molecular orientation of the polymer layer is 1.3 or less. Single-sided metal foil laminate. 請求項8ないし11のいずれかに記載の片面金属箔積層体を用い、その積層体上に電子部品を搭載して接続してなる実装回路基板。   The mounting circuit board formed by mounting and connecting an electronic component on the laminated body using the single-sided metal foil laminated body according to claim 8. 請求項8ないし11のいずれかに記載の片面金属箔積層体に、この積層体または他の積層体を重ねてなる多層積層体を用い、その多層積層体上に電子部品を搭載して接続してなる多層実装回路基板。   A multi-layer laminate in which this laminate or another laminate is superposed on the single-sided metal foil laminate according to any one of claims 8 to 11, and an electronic component is mounted and connected on the multi-layer laminate. A multilayer mounting circuit board. 請求項8ないし11のいずれかに記載の前記片面金属箔積層体の前記ポリマーの層側に金属箔を重ね合わせて熱プレスして、両面金属箔積層体を製造することを特徴とする両面金属箔積層体の製造方法。   The double-sided metal, wherein the double-sided metal foil laminate is produced by superposing and heating the metal foil on the polymer layer side of the single-sided metal foil laminate according to any one of claims 8 to 11. Manufacturing method of foil laminated body. 請求項14に記載の製造方法によって得られる両面金属箔積層体。   The double-sided metal foil laminated body obtained by the manufacturing method of Claim 14. 2枚の金属箔で層状に挟まれた、光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーから成形されるフィルムを厚さ方向に熱プレスする熱プレス装置と、
熱プレスによって形成された光学的異方性の溶融相を形成し得るポリマーの層とその上面の金属箔層と下面の金属箔層とからなる両面金属箔積層体を、前記ポリマーの層の厚さ方向に上面と下面に引き裂く分割装置とを備えた片面金属箔積層体の製造装置。
A hot press apparatus for hot pressing a film formed from a polymer that can form an optically anisotropic melt phase sandwiched between two metal foils in a thickness direction;
A double-sided metal foil laminate comprising a polymer layer capable of forming an optically anisotropic melt phase formed by hot pressing, a metal foil layer on the upper surface thereof, and a metal foil layer on the lower surface thereof is formed by the thickness of the polymer layer. The manufacturing apparatus of the single-sided metal foil laminated body provided with the division | segmentation apparatus torn to an upper surface and a lower surface in a length direction.
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