JP2006189510A - Microscope apparatus and magnified image forming method - Google Patents

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Yosuke Umeshima
洋介 梅島
Yoshiharu Marumo
好春 丸茂
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscope apparatus capable of quickly imaging a sample, using a simple constitution and with high sharpness. <P>SOLUTION: The microscope apparatus 100 is provided with a microscope 3, a line sensor 4 which scans the sample magnified by the microscope 3 and images the same, and a control part 5 which forms a magnified image of the sample from a photographed image of the line sensor 4. When the focus level of the pickup image is lower than the focus level of the immediately preceding pickup image, the control part 5 reverses the moving direction Dir. When the focus level of the photographed image is higher than the focus level of the immediately preceding pickup image, the control part 5 maintains the moving direction Dir, as it is, and moves the focus position of the line sensor 4 in the moving direction Dir by a prescribed amount dZ. Such a process is repeated during the scanning. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、イメージセンサによって試料を走査しつつ撮像する顕微鏡装置と拡大画像生成方法に関する。   The present invention relates to a microscope apparatus that captures an image while scanning a sample with an image sensor, and an enlarged image generation method.

顕微鏡による様々な観察・検査が頻繁に行われている。また、近時のディジタル画像技術の進歩に伴って、拡大画像をCCDカメラなどで撮影して表示するタイプの顕微鏡も広く用いられるようになっており、例えば、ラインCCDカメラを用いた顕微鏡装置が特許文献1に開示されている。
特開2003−295063
Various observations and inspections using a microscope are frequently performed. With recent advances in digital image technology, microscopes of the type that capture and display enlarged images with a CCD camera or the like are also widely used. For example, a microscope apparatus using a line CCD camera is used. It is disclosed in Patent Document 1.
JP 2003-295063 A

特許文献1に開示されているような顕微鏡装置を用いて観察・測定対象の試料の画像を取得する際、試料の表面に凹凸があるため、明瞭な撮像画面を得るためには、1画面ずつ移動する毎に試料を停止して撮像する必要がある。しかし、これでは、所定の領域内を撮像するためには、多くの時間が掛かる。また鮮明な撮像画面を得るためには、各々の撮像毎に焦点距離を正しく設定する必要がある。   When acquiring an image of a sample to be observed / measured using a microscope apparatus as disclosed in Patent Document 1, since the surface of the sample has irregularities, in order to obtain a clear imaging screen, one screen at a time It is necessary to stop and image the sample every time it moves. However, in this case, it takes a lot of time to image the inside of the predetermined area. Further, in order to obtain a clear imaging screen, it is necessary to correctly set the focal length for each imaging.

そこで本発明の目的は、簡単な構成で試料の撮像を、高い鮮明度で、かつ迅速に行なうことができる顕微鏡装置と拡大画像生成方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a microscope apparatus and a magnified image generation method capable of capturing a sample with a simple configuration with high definition and speed.

上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る顕微鏡装置は、
試料の像を拡大する顕微鏡と、
前記試料に対して所定方向に走査して前記像の分割撮影を繰り返す画像センサ装置と、
前記画像センサ装置で撮影した分割画像群を結合して前記試料の拡大画像を作成する画像処理手段と、
前記画像センサ装置の出力画像データに基づいて、前記画像センサ装置の走査中に前記画像センサ装置の焦点位置を調整する焦点位置調整手段と、
を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a microscope apparatus according to the first aspect of the present invention provides:
A microscope that magnifies the image of the sample,
An image sensor device that scans the sample in a predetermined direction and repeats division imaging of the image;
Image processing means for creating an enlarged image of the sample by combining divided image groups photographed by the image sensor device;
A focal position adjusting means for adjusting a focal position of the image sensor device during scanning of the image sensor device based on output image data of the image sensor device;
It is characterized by providing.

例えば、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時に当該画像のフォーカスレベルとその直前の分割画像のフォーカスレベルとの関係に基づいて、前記焦点位置を調整する。この場合、例えば、前記分割画像の撮影時に当該画像のフォーカスレベルとその直前の分割画像のフォーカスレベルとの差分に基づいて、前記焦点位置の調整方向と調整量とを決定する。   For example, the focus position adjusting unit adjusts the focus position based on the relationship between the focus level of the image and the focus level of the immediately preceding divided image when the divided image is captured. In this case, for example, when the divided image is captured, the adjustment direction and the adjustment amount of the focal position are determined based on the difference between the focus level of the image and the focus level of the immediately preceding divided image.

例えば、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時に当該画像のフォーカスレベルがその直前の分割画像のフォーカスレベルよりも高い場合には、前記調整方向をそのまま維持し、当該画像のフォーカスレベルがその直前の分割画像のフォーカスレベルよりも低い場合には、前記調整方向を反転する。     For example, if the focus level of the image is higher than the focus level of the immediately preceding divided image when the divided image is captured, the focus position adjusting unit maintains the adjustment direction as it is, and the focus level of the image is If the focus level of the immediately preceding divided image is lower, the adjustment direction is reversed.

例えば、前記画像センサ装置は、ラインセンサと、前記ラインセンサを前記試料に対して相対的に移動することにより、前記ラインセンサの長辺に対して直角方向に走査し、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時にその直前のm(mは自然数)個の分割画像に基づいて、焦点位置を調整する。
また、前記焦点位置調整手段は、所定の色成分を含む画像データに基づいて、焦点位置を調整する。
For example, the image sensor device scans in a direction perpendicular to the long side of the line sensor by moving the line sensor and the line sensor relative to the sample. The focus position is adjusted based on m (m is a natural number) divided images immediately before the divided image is captured.
The focal position adjusting unit adjusts the focal position based on image data including a predetermined color component.

上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る拡大画像生成方法は、
試料の像を顕微鏡で拡大し、
前記試料に対して画像センサを所定方向に走査しつつ当該画像センサによって前記試料の像の分割撮影を繰り返すとともに、前記画像センサの出力画像データに基づいて、前記画像センサの走査中に前記画像センサの焦点位置を調整し、
前記画像センサで撮影した分割画像群を結合して前記試料の拡大画像を作成する、
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an enlarged image generation method according to the second aspect of the present invention includes:
Magnify the sample image with a microscope,
While the image sensor is scanned with respect to the sample in a predetermined direction, the image sensor repeatedly divides and captures an image of the sample, and the image sensor is scanned during the scanning of the image sensor based on output image data of the image sensor. Adjust the focal position of
Creating a magnified image of the sample by combining divided image groups taken by the image sensor;
It is characterized by that.

上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係るコンピュータプログラムは、 コンピュータに、
試料に対して画像センサを所定方向に走査しつつ顕微鏡で拡大された前記試料の像の分割撮影を繰り返すとともに、前記画像センサの出力画像データに基づいて、前記画像センサの走査中に前記画像センサの焦点位置を調整させるように撮像装置を制御し、
前記撮像装置から得られた分割画像群を結合して前記試料の拡大画像を作成する、
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a computer program according to the third aspect of the present invention provides a computer,
While repeatedly scanning the image sensor in a predetermined direction with respect to the sample, the divided image of the sample image magnified by the microscope is repeatedly taken, and the image sensor is scanned during the scanning of the image sensor based on the output image data of the image sensor. Control the imaging device to adjust the focal position of
Creating a magnified image of the sample by combining divided image groups obtained from the imaging device;
It is characterized by that.

上記構成によれば、試料の形状に対応して画像センサ装置の焦点位置が変わり、適切な焦点位置での撮影が可能となる。   According to the above configuration, the focal position of the image sensor device changes corresponding to the shape of the sample, and imaging at an appropriate focal position becomes possible.

以下、図1〜図3を参照しつつ、本発明の実施の形態にかかる顕微鏡装置100を説明する。
この顕微鏡装置100は、染色された細胞やプラスチックで形成された固体飛跡検出器等の試料1を移動させる移動部2と、試料1の像を拡大する顕微鏡3と、顕微鏡3により拡大された試料の像を撮像するラインセンサ4と、ラインセンサ4で取得されたライン画像から試料1の画像を作成する制御部5とを備えている。移動部2と顕微鏡3とは、L字型の架台7によって、それぞれ支持されている。
Hereinafter, a microscope apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
This microscope apparatus 100 includes a moving unit 2 for moving a sample 1 such as a solid track detector formed of stained cells or plastic, a microscope 3 for enlarging an image of the sample 1, and a sample enlarged by the microscope 3. A line sensor 4 that captures the image of the sample 1 and a control unit 5 that creates an image of the sample 1 from the line image acquired by the line sensor 4. The moving unit 2 and the microscope 3 are respectively supported by an L-shaped gantry 7.

移動部2は、架台7の水平部に設置されており、試料1を、左右及び前後方向(X−Y方向)に水平移動させるX−Yステージ21を備える。このX−Yステージ21は、例えば、図示せぬリニアモータにより駆動される。リニアモータは、制御部5によってコントロールされ、所定の位置に試料1を移動させる。   The moving unit 2 is installed on the horizontal part of the gantry 7 and includes an XY stage 21 that horizontally moves the sample 1 in the left-right and front-back directions (XY directions). The XY stage 21 is driven by a linear motor (not shown), for example. The linear motor is controlled by the control unit 5 and moves the sample 1 to a predetermined position.

X−Yステージ21の上には、試料台22が配置されている。試料台22には、例えば、プレパレートにセットされた試料1が配置され、X−Yステージ21の動きに合わせて試料1を移動する。試料台22の下には、コンデンサレンズ23が配置されている。また、X−Yステージ21の近傍にはエンコーダ(Xエンコーダ及びYエンコーダ)24が配置されており、X−Yステージ21のX軸方向及びY軸方向の移動量を求め、制御部5にフィードバックする。   A sample stage 22 is disposed on the XY stage 21. For example, the sample 1 set in a preparation is disposed on the sample stage 22, and the sample 1 is moved in accordance with the movement of the XY stage 21. A condenser lens 23 is disposed under the sample table 22. An encoder (X encoder and Y encoder) 24 is disposed in the vicinity of the XY stage 21, and the movement amount of the XY stage 21 in the X axis direction and the Y axis direction is obtained and fed back to the control unit 5. To do.

顕微鏡3は、光学顕微鏡から構成されており、対物レンズ31と、試料1を照射する落射照明部32と、制御用撮像ユニット33と、鏡筒34と、目視観察用の接眼レンズ35と、顕微鏡3の位置を上下方向(Z軸方向)に調整する(移動する)Z軸駆動部36と、から構成される。   The microscope 3 includes an optical microscope, and includes an objective lens 31, an epi-illumination unit 32 that irradiates the sample 1, a control imaging unit 33, a lens barrel 34, an eyepiece 35 for visual observation, and a microscope. And a Z-axis drive unit 36 that adjusts (moves) the position 3 in the vertical direction (Z-axis direction).

対物レンズ31は、例えば、10倍及び20倍のレンズから構成され、レボルバ37によって、切り替え可能に構成されている。   The objective lens 31 is composed of, for example, 10 × and 20 × lenses, and is configured to be switchable by a revolver 37.

落射照明部32は、内蔵する光源からの光を、顕微鏡3の光軸に沿うよう屈曲させて試料1に照射し、試料1からの反射光を得る。また、透過照明も照射できるように架台7には、外部光源からの光を導入する光ファイバ8が設けられている。   The epi-illumination unit 32 irradiates the sample 1 with light from a built-in light source bent along the optical axis of the microscope 3 to obtain reflected light from the sample 1. Further, the gantry 7 is provided with an optical fiber 8 for introducing light from an external light source so that transmitted illumination can also be irradiated.

制御用撮像ユニット33は、2次元CCDセンサ331を備え、比較的広いエリアの画像を撮像して、制御部5に出力する。2次元CCDセンサ331の画像を用いて、ラインセンサ4を走査して高解像度の画像を取得する範囲や、おおよそのフォーカス位置(ラインセンサ4の位置)などを簡便に設定可能である。   The control imaging unit 33 includes a two-dimensional CCD sensor 331, captures a relatively wide area image, and outputs the image to the control unit 5. Using the image of the two-dimensional CCD sensor 331, the range in which the line sensor 4 is scanned to obtain a high-resolution image, the approximate focus position (position of the line sensor 4), and the like can be easily set.

2次元CCDセンサ331は、例えば、縦横640 × 480 = 約31万画素の比較的小容量のものである。2次元CCDセンサ331は、図3に示すように、試料1の表面であって、ラインセンサ4の撮像範囲Cを挟む比較的広い範囲Eを撮像する。   The two-dimensional CCD sensor 331 has a relatively small capacity of, for example, vertical and horizontal 640 × 480 = about 310,000 pixels. As shown in FIG. 3, the two-dimensional CCD sensor 331 images a relatively wide range E on the surface of the sample 1 and sandwiching the imaging range C of the line sensor 4.

鏡筒34は、目視観察用の接眼レンズ35と、ラインセンサ4とを支持する。   The lens barrel 34 supports the eyepiece 35 for visual observation and the line sensor 4.

鏡筒34の側部は、Z軸駆動部36を介して、L字型架台7の直立部分に取り付けられている。Z軸駆動部36は、架台7に固定されたスライド板36aと鏡筒34に固定されたスライド板36bとを備える。   A side portion of the lens barrel 34 is attached to an upright portion of the L-shaped gantry 7 via a Z-axis drive portion 36. The Z-axis drive unit 36 includes a slide plate 36 a fixed to the gantry 7 and a slide plate 36 b fixed to the lens barrel 34.

図4に示すように、スライド板36aと36bとの一方には、モータ361と、モータ361の回転軸362に固定されたピニオンギア363と、回転軸362と共軸に構成された操作つまみ364とを備える。また、スライド板36aと36bとの他方には、ラック365が形成されており、ラック365にピニオンギア363が係合して、ラックアンドピニオン機構を構成している。モータ361の回転駆動及び操作つまみ364の回転駆動により、ピニオンギア363が回転し、ラック365を駆動する。このため、架台7に固定されているスライド板36aに対してスライド板36bが上下方向にスライドして、鏡筒34が上下(Z軸方向)に移動する。   As shown in FIG. 4, one of the slide plates 36 a and 36 b includes a motor 361, a pinion gear 363 fixed to the rotation shaft 362 of the motor 361, and an operation knob 364 configured to be coaxial with the rotation shaft 362. With. Further, a rack 365 is formed on the other of the slide plates 36a and 36b, and a pinion gear 363 is engaged with the rack 365 to constitute a rack and pinion mechanism. The pinion gear 363 is rotated by the rotational drive of the motor 361 and the rotational drive of the operation knob 364 to drive the rack 365. For this reason, the slide plate 36b slides up and down with respect to the slide plate 36a fixed to the gantry 7, and the lens barrel 34 moves up and down (Z-axis direction).

ラインセンサ4のオートフォーカス(AF)は、制御部5がラインセンサ4の撮像画像に基づいてモータ361を制御して顕微鏡3を上下にスライドすることにより、実現される。   The autofocus (AF) of the line sensor 4 is realized by the control unit 5 controlling the motor 361 based on the captured image of the line sensor 4 and sliding the microscope 3 up and down.

目視観察用の接眼レンズ35は、対物レンズ31からの光軸をプリズムで傾けて、目視観察が容易になるようにしている。   The eyepiece 35 for visual observation tilts the optical axis from the objective lens 31 with a prism to facilitate visual observation.

ラインセンサ4はケースに収納されており、このケースは、鏡筒34の先端に着脱可能に装着される。装着部は、例えば、Fマウントを採用する。   The line sensor 4 is housed in a case, and this case is detachably attached to the tip of the lens barrel 34. For example, an F mount is used as the mounting portion.

ラインセンサ4は、例えば、1辺が7マイクロメートルの荷電結合素子を1個ずつ、直線状に約4000(1×4000)個配列して構成されている。したがって、撮像倍率が10倍の場合は、幅(dX)が、7マイクロメートル ÷ 10 = 0.7マイクロメートル、長さ(dY)が、7マイクロメートル × 4000個 ÷ 10 = 2.8ミリメートルの範囲(図3の範囲C)を、一度に撮像することができる。ラインセンサ4は、移動部2によってX軸方向に移動する試料1を、この範囲毎に順次撮像し、各々のライン画像データを連結コード(図示せず)を介して、制御部5に伝達する。即ち、ラインセンサ4は、試料1に対して相対運動を行って、顕微鏡3により拡大された試料1の像を走査(スキャン)し、対応する画像データを制御部5に供給する。   The line sensor 4 is configured, for example, by arranging approximately 4000 (1 × 4000) charge-coupled elements each having a side of 7 μm in a straight line. Therefore, when the imaging magnification is 10 times, the width (dX) is 7 micrometers / 10 = 0.7 micrometers, and the length (dY) is 7 micrometers × 4000 pieces / 10 = 2.8 millimeters. The range (range C in FIG. 3) can be imaged at once. The line sensor 4 sequentially images the sample 1 moving in the X-axis direction by the moving unit 2 for each range, and transmits each line image data to the control unit 5 through a connection code (not shown). . That is, the line sensor 4 performs relative movement with respect to the sample 1, scans the image of the sample 1 magnified by the microscope 3, and supplies corresponding image data to the control unit 5.

制御部5は、コンピュータから構成され、機能的に、演算処理部51、表示部52、ライン画像データを記録するメモリ部53とを備える。演算処理部51は、例えば、試料1の撮像領域の設定、移動部2の移動、オートフォーカスのためのラインセンサ4の位置(Z軸方向の位置)の調整、移動部2のエンコーダからフィードバックされた移動量を基にしたラインセンサ4の撮像実行指示、ラインセンサ4からのライン画像データの取り込み、ライン画像データから撮像領域の全体画像を作成する処理などを行う。   The control unit 5 includes a computer, and functionally includes an arithmetic processing unit 51, a display unit 52, and a memory unit 53 that records line image data. The arithmetic processing unit 51, for example, sets the imaging region of the sample 1, moves the moving unit 2, adjusts the position of the line sensor 4 for autofocus (position in the Z-axis direction), and feeds back from the encoder of the moving unit 2. Based on the amount of movement, the imaging execution instruction of the line sensor 4, the capture of line image data from the line sensor 4, and the process of creating the entire image of the imaging region from the line image data are performed.

さらに、制御部5は、ライン画像データのフォーカスレベル(例えば、画像の鮮鋭度を評価するレスポンス関数の絶対値MTF:modulation transfer functionで表される。画像のボケが大きい場合MTFが小さく、ボケが小さい場合MTFが大きくなる)を求め、前回の撮像画像よりも画像のフォーカスレベルがよい(高い)場合には、Z軸駆動部36を駆動してラインセンサ4を同じ方向に移動し、前回の撮像よりも画像のフォーカスレベルが悪い(低い)場合には、Z軸駆動部36を駆動してラインセンサ4を逆の方向に移動するように制御する。   Furthermore, the control unit 5 represents the focus level of the line image data (for example, an absolute value MTF: modulation transfer function of a response function for evaluating the sharpness of the image. If the image blur is large, the MTF is small and the blur is small. If the focus level of the image is better (higher) than the previous captured image, the Z-axis drive unit 36 is driven to move the line sensor 4 in the same direction. When the focus level of the image is worse (lower) than the imaging, the Z-axis drive unit 36 is driven to control the line sensor 4 to move in the opposite direction.

次に、図1〜図9を参照して、本実施の形態の顕微鏡装置100の動作を説明する。
顕微鏡装置100を用いて試料を測定・観察などする場合には、図5に概略的に示すように、まず、観察対象の試料1を、試料台22の上面にセットする(ステップS11)。次に、試料1の測定領域11を設定する(ステップS12)。
Next, with reference to FIGS. 1-9, operation | movement of the microscope apparatus 100 of this Embodiment is demonstrated.
When measuring and observing a sample using the microscope apparatus 100, as shown schematically in FIG. 5, first, the sample 1 to be observed is set on the upper surface of the sample stage 22 (step S11). Next, the measurement area 11 of the sample 1 is set (step S12).

測定領域11は図6に示すように、試料1の表面上の撮像対象の矩形形状の範囲である。この範囲を確定することにより、ラインセンサ4で順次撮像するライン画像の撮像の、始点11aと終点11bとを設定することができる。   As shown in FIG. 6, the measurement region 11 is a rectangular range of an imaging target on the surface of the sample 1. By determining this range, it is possible to set the start point 11a and the end point 11b of the line images sequentially picked up by the line sensor 4.

測定領域11は、目視観察用の接眼レンズ35を見ながら設定可能である。また、2次元CCDセンサ331の撮像領域E(図3参照)を表示部52に表示させ、表示画像上で測定領域11を指定するようにしてもよい。例えば、2次元CCDセンサ331により、図6に示すほぼ矩形形状をした試料1の対角線上にある一端の角部近傍の位置11a周辺を表示部52に表示させて、ラインセンサ4による撮像開始点を設定し、次に対角線上にある角部近傍の位置11b周辺を表示させて撮像終了点を設定し、それらの位置をパソコンに登録する。これにより、位置11aと11bのXY座標が、移動部2のリニアモータの移動始点と終点位置に対応する情報として、パソコンの演算処理部51に記録される。   The measurement region 11 can be set while viewing the eyepiece 35 for visual observation. Alternatively, the imaging region E (see FIG. 3) of the two-dimensional CCD sensor 331 may be displayed on the display unit 52, and the measurement region 11 may be designated on the display image. For example, the two-dimensional CCD sensor 331 displays the periphery of the position 11a near the corner of one end on the diagonal line of the substantially rectangular sample 1 shown in FIG. Next, the periphery of the position 11b near the corner on the diagonal line is displayed to set the imaging end point, and those positions are registered in the personal computer. Thus, the XY coordinates of the positions 11a and 11b are recorded in the arithmetic processing unit 51 of the personal computer as information corresponding to the movement start point and end point position of the linear motor of the moving unit 2.

測定領域11のY軸方向をラインセンサ4の長さdYで区分した帯が、ラインセンサ4の1回の走査で撮像できる領域である。従って、ラインセンサ4によって試料1を撮像する場合には、演算処理部51からの指示によって、移動部2のリニアモータを、最初の撮像位置である内側位置11aから、最後の撮像位置である水平方向位置11bまで順次移動させる。   A band obtained by dividing the Y-axis direction of the measurement region 11 by the length dY of the line sensor 4 is a region that can be imaged by one scan of the line sensor 4. Accordingly, when the sample 1 is imaged by the line sensor 4, the linear motor of the moving unit 2 is moved from the inner position 11 a that is the first imaging position to the horizontal that is the last imaging position by an instruction from the arithmetic processing unit 51. It moves sequentially to the direction position 11b.

測定領域11の設定が終わると、2次元CCDセンサ331の映像に基づいて、焦点距離を自動設定する。例えば、2次元CCDセンサ331の撮像画像のエッジ部分と背景部分とがはっきりしている、すなわち鮮鋭度の高い焦点位置をピントのあった位置として設定する(ステップS13)。具体的には、2次元CCDセンサ331でピント調整をしようとするとフォーカスレベルが最もはっきりしている位置を探すため合焦位置の前後も調べてフォーカスレベルの最大値を調べ、フォーカスレベルがもっとも高くなる位置に鏡筒34の位置を設定する。   When the setting of the measurement region 11 is completed, the focal length is automatically set based on the image of the two-dimensional CCD sensor 331. For example, the focus position where the edge portion and the background portion of the captured image of the two-dimensional CCD sensor 331 are clear, that is, the sharpness is high is set as the focused position (step S13). Specifically, when the focus adjustment is attempted with the two-dimensional CCD sensor 331, in order to find a position where the focus level is the clearest, the front and back of the in-focus position are also checked to check the maximum value of the focus level, and the focus level is the highest. The position of the lens barrel 34 is set to the position.

続いて、ラインセンサ4で測定領域11をスキャンして撮像を行い(ステップS14)、その結果を表示する(ステップS15)。   Subsequently, the measurement is performed by scanning the measurement region 11 with the line sensor 4 (step S14), and the result is displayed (step S15).

次に図7と図8を参照しつつ、ラインセンサ4を走査して、試料1を撮像する手順を説明する。
この撮像は、コンピュータの演算処理部51に内蔵してあるプログラムによって制御される。
Next, a procedure for scanning the line sensor 4 and imaging the sample 1 will be described with reference to FIGS.
This imaging is controlled by a program built in the arithmetic processing unit 51 of the computer.

演算処理部51は、Y軸方向の計測位置を指定するポインタjをj=0と設定し(ステップS21)、ラインセンサ4の位置(初期位置)の座標を、X=0、Y=0(dY × j)とする。そしてこのXY座標(0、0)の位置にラインセンサ4の撮像範囲が位置するように、エンコーダ24の出力を監視しつつ移動部2によって試料1を移動させる(ステップS22)。このXY座標(0、0)位置は、図6に示す測定領域11の左下隅11aであり、この点が撮像を開始する始点となる。   The arithmetic processing unit 51 sets the pointer j for designating the measurement position in the Y-axis direction as j = 0 (step S21), and the coordinates of the position (initial position) of the line sensor 4 are X = 0, Y = 0 ( dY × j). Then, the moving unit 2 moves the sample 1 while monitoring the output of the encoder 24 so that the imaging range of the line sensor 4 is located at the position of the XY coordinates (0, 0) (step S22). This XY coordinate (0, 0) position is the lower left corner 11a of the measurement region 11 shown in FIG. 6, and this point is the starting point for starting imaging.

続いて、演算処理部51は、オートフォーカス処理(焦点位置の自動調整)を開始させる(ステップS23)。オートフォーカス処理については、図8を参照して後述する。   Subsequently, the arithmetic processing unit 51 starts an autofocus process (automatic adjustment of the focal position) (step S23). The autofocus process will be described later with reference to FIG.

続いて、位置(x,y)=(0、0)におけるラインセンサ4で撮像した画像(ライン画像)を記録し(ステップS24)、X方向に一定の速度Vxで、移動部2の移動を開始させる(ステップS25)。以後、移動部2は指示があるまで、一定速度VxでステージをX軸方向に移動する。ステージの移動量はエンコーダにより計測されて演算処理部51に通知される。   Subsequently, an image (line image) captured by the line sensor 4 at the position (x, y) = (0, 0) is recorded (step S24), and the movement of the moving unit 2 is performed at a constant speed Vx in the X direction. Start (step S25). Thereafter, the moving unit 2 moves the stage in the X-axis direction at a constant speed Vx until instructed. The moving amount of the stage is measured by the encoder and notified to the arithmetic processing unit 51.

演算処理部51は、エンコーダから通知されるステージの移動量(距離)を監視し(ステップS26)、ステージが、X方向にラインセンサ4の1計測幅dX分だけ移動したと判断すると(ステップS26;Yes)、その位置でのラインセンサ4からの画像を記録する(ステップS27)。即ち、2番目、3番目...の計測位置(dX、0)、(2・dX、0)におけるラインセンサ4からのライン画像を記録する。   The arithmetic processing unit 51 monitors the amount of movement (distance) of the stage notified from the encoder (step S26), and determines that the stage has moved by one measurement width dX of the line sensor 4 in the X direction (step S26). ; Yes), the image from the line sensor 4 at that position is recorded (step S27). That is, second, third. . . The line images from the line sensor 4 at the measurement positions (dX, 0) and (2 · dX, 0) are recorded.

演算処理部51は、エンコーダ24から通知される移動量の総量がLに達したか否か、即ち、ラインセンサ4が図7に示す測定領域11の右下隅に到達したか否かを判別し(ステップS28)、到達していなければ(ステップS28;No)、X方向の幅dYで長さLの1列の範囲について、ステップS26とS27を繰り返して、順次ライン画像を記録する。   The arithmetic processing unit 51 determines whether or not the total amount of movement notified from the encoder 24 has reached L, that is, whether or not the line sensor 4 has reached the lower right corner of the measurement region 11 shown in FIG. (Step S28) If not reached (Step S28; No), Steps S26 and S27 are repeated for a range of one column having a width dY in the X direction and a length L, and line images are sequentially recorded.

ラインセンサ4が長さLだけ走査して測定領域11の右下隅に到達したと判別すると(ステップS28;Yes)、即ち、Y座標=0の1列について撮像データの取り込みが完了すると、演算処理部51は、オートフォーカス処理の終了を指示すると共に移動部2に移動の停止を指示する(ステップS29)。   If it is determined that the line sensor 4 has scanned by the length L and has reached the lower right corner of the measurement region 11 (step S28; Yes), that is, when the capture of the imaging data for one column with the Y coordinate = 0 is completed, the arithmetic processing is performed. The unit 51 instructs the end of the autofocus process and instructs the moving unit 2 to stop moving (step S29).

続いて、ポインタjに1を加算し(ステップS30)、jが最大値(走査列数)のnより大きいか否かを判別する(ステップS31)。   Subsequently, 1 is added to the pointer j (step S30), and it is determined whether j is larger than the maximum value (number of scanning columns) n (step S31).

jがn以下であれば(ステップS31;No)、次の1列の画像を取り込むため、XY座標X=0、Y=j・dY(0、dY×j)位置に、移動部2によって測定位置を移動させる。この位置は、図6に示す測定領域11の左下隅11aと、同一のX座標で、ラインセンサ4の長さdY分だけY方向に移動した位置である。そして、Y座標=dYの位置において、測定領域11の左端から右端まで走査して、順次ライン画像を取り込む。このようにして、試料1の画像を左から右へ走査しながら記録し、j>nに達すると(ステップS31;Yes)、測定領域11の全領域を撮像したと判断して、撮像処理を終了し、メインルーチンにリターンし、ライン画像を統合して表示部52へ表示させる(図5;ステップS15)。   If j is less than or equal to n (step S31; No), measurement is performed by the moving unit 2 at the XY coordinate X = 0, Y = j · dY (0, dY × j) position in order to capture the next row of images. Move position. This position is a position moved in the Y direction by the length dY of the line sensor 4 at the same X coordinate as the lower left corner 11a of the measurement region 11 shown in FIG. Then, at the position of Y coordinate = dY, scanning is performed from the left end to the right end of the measurement region 11 to sequentially capture line images. In this way, the image of the sample 1 is recorded while scanning from left to right, and when j> n is reached (step S31; Yes), it is determined that the entire region of the measurement region 11 has been imaged, and the imaging process is performed. Then, the process returns to the main routine, and the line images are integrated and displayed on the display unit 52 (FIG. 5; step S15).

上述のようにして試料1をラインセンサ4で走査及び撮影している間、制御部5は、図9に模式的に示すように、試料1の表面の凹凸に追従してその位置をZ軸方向で移動し、焦点位置が試料1の表面に位置するように制御する。   While the sample 1 is being scanned and photographed by the line sensor 4 as described above, the control unit 5 follows the unevenness of the surface of the sample 1 as shown in FIG. Control is performed so that the focal position is located on the surface of the sample 1.

この焦点位置を制御する動作を説明する。
まず、図7のステップS23で、オートフォーカスの開始の指示があると、図8の処理を開始する。
まず、モータ361を制御して、ステップS12で求めておいたおおよその焦点位置にラインセンサ4の位置を移動する(ステップS41)。
An operation for controlling the focal position will be described.
First, in step S23 of FIG. 7, when there is an instruction to start autofocus, the process of FIG. 8 is started.
First, the motor 361 is controlled to move the position of the line sensor 4 to the approximate focal position obtained in step S12 (step S41).

次に、ラインセンサ4の位置調整方向を上方向(+Z方向)に設定する(ステップS42)。   Next, the position adjustment direction of the line sensor 4 is set to the upward direction (+ Z direction) (step S42).

次に、所定ライン数(任意の自然数m)の画像が取得できたか否かを判別し(ステップS43)、mライン分の画像が得られるまで、即ち、m・dX分の画像が得られるまで待機する。   Next, it is determined whether or not an image of a predetermined number of lines (arbitrary natural number m) has been acquired (step S43), and images of m lines are obtained, that is, images of m · dX are obtained. stand by.

所定ライン数分のライン画像が取得できると、合焦点(焦点が合致しているか否かを示す指数)を計算する(ステップS44)。即ち、直近mライン分のライン画像(サイズm・dX×dYの画像)から、例えば、輝度信号の鮮鋭度など画像のエッジがはっきりしている等の焦点が合っている程度を示す指標を求める。   When line images for a predetermined number of lines can be acquired, a focal point (an index indicating whether or not the focal points are in agreement) is calculated (step S44). That is, an index indicating the degree of focus, such as the sharpness of the luminance signal, such as the sharpness of the image, is obtained from the line image for the most recent m lines (image of size m · dX × dY). .

続いて、ステップS44で求めた合焦点をレジスタRAに記録する(ステップS45)。   Subsequently, the focal point obtained in step S44 is recorded in the register RA (step S45).

続いて、モータ361を駆動して、所定量dZだけラインセンサ4をDirの方向(上方向)に移動する(ステップS46)。   Subsequently, the motor 361 is driven to move the line sensor 4 in the direction of Dir (upward) by a predetermined amount dZ (step S46).

続いて、直前のm画像ライン分の画像を取得し(ステップS47)、合焦点を計算する(ステップS48)。   Subsequently, images for the previous m image lines are acquired (step S47), and the focal point is calculated (step S48).

続いて、今回のライン画像の中に、試料1の画像中に予定されてる色の成分が含まれているか否かを判別する(ステップS49)。例えば、試料1が細胞などの場合、観察のために染料で染めることが通常行われている。そこで、取得した画像内にこの染料の色に相当する色の成分が存在すれば、試料1を観察していることになるが、その色成分がなければ、試料の画像がふくまれていないことになる。   Subsequently, it is determined whether or not the line image of this time includes a color component scheduled in the image of the sample 1 (step S49). For example, when the sample 1 is a cell or the like, dyeing with a dye for observation is usually performed. Therefore, if there is a color component corresponding to the color of the dye in the acquired image, the sample 1 is observed. If there is no color component, the sample image is not included. become.

指定色の情報がなければ、今回のライン画像は試料1以外の画像であるので、その画像を処理せずにステップS47に戻って、同様の処理を繰り返す。
一方、指定色の情報があれば、レジスタRAに格納されている直前の合焦点と今回計算した合焦点とを比較する(ステップS50)。
If there is no information on the designated color, the current line image is an image other than the sample 1, so the process returns to step S47 without processing the image and the same processing is repeated.
On the other hand, if there is information on the designated color, the previous focal point stored in the register RA is compared with the focal point calculated this time (step S50).

レジスタRAに格納されている直前の合焦点の方が今回求めた合焦点よりも優れていれば(フォーカスレベルが高ければ)、即ち、今回の合焦点の度合いが直前よりも悪く(低く)なっていれば、Dirの方向(ラインセンサ4の移動方向)を現在の値と逆方向に指定する(ステップS51)。その後、ステップS45にリターンし、ステップS48で計算した合焦点でレジスタRAを更新し、ラインセンサのZ方向の位置をdZだけ更新したDirの方向に修正する。   If the previous focal point stored in the register RA is better than the focal point obtained this time (if the focus level is high), that is, the degree of the current focal point is worse (lower) than the previous focal point. If so, the direction of Dir (the moving direction of the line sensor 4) is designated in the direction opposite to the current value (step S51). Thereafter, the process returns to step S45, the register RA is updated with the focal point calculated in step S48, and the position of the line sensor in the Z direction is corrected to the Dir direction updated by dZ.

一方、ステップS50で今回の合焦点の方が優れているか直前の合焦点と等しい(今回の画像のフォーカスレベルが直前の画像のフォーカスレベルよりも高いか等しい)と判別された場合には、Dirの方向はそのままで、ステップS45に戻って、ステップS48で計算した合焦点でレジスタRAを更新し、ラインセンサのZ方向の位置をdZだけ従前と同一のDirの方向に修正する。   On the other hand, if it is determined in step S50 that the current in-focus is better or equal to the previous in-focus (the focus level of the current image is higher than or equal to the focus level of the previous image), Dir Returning to step S45, the register RA is updated with the focal point calculated in step S48, and the position of the line sensor in the Z direction is corrected by dZ to the same Dir direction as before.

図7の撮像動作と図8のオートフォーカス動作とは、同期して実行されるものではないが、撮像動作を実行している間、オートフォーカスを続けることにより、図9に模式的に示すように、試料1の表面の凹凸に追従して焦点位置にラインセンサ4が配置され、ライン画像が取得される。   The imaging operation in FIG. 7 and the autofocus operation in FIG. 8 are not executed in synchronization, but by continuing autofocus while the imaging operation is being executed, as schematically shown in FIG. Further, the line sensor 4 is arranged at the focal position following the unevenness of the surface of the sample 1, and a line image is acquired.

また、今回撮影した画像が所定の色の情報を含むか否かを判別して、合焦点の調整を行っているので、例えば、試料以外の部分を撮影している際に、不要な追従動作を行う必要がない。   In addition, since it is determined whether or not the image captured this time includes information of a predetermined color and the focal point is adjusted, for example, an unnecessary following operation is performed when a portion other than the sample is captured. There is no need to do.

なお、上述の例では、フォーカスレベルの判定の際、鮮鋭度を用いたが、このほか、コントラスト(画像の最大輝度/最小輝度)や輝度の分散を用いてもよい。また、上述の例で直前の合焦点と今回の合焦点の値が等しい場合にDirの方向をそのままとしたが、逆方向としてもよい。
また、上述の例では、ラインセンサ4による撮影を図6の図面左から右の列方向(+X方向)にスキャンしたが、ジグザグ(交互)に行うようにしてもよい。例えば、奇数番目のラインでは、左から右(+X方向)に、偶数番目のラインでは右から左(−X方向)にスキャンして画像を取得するようにしてもよい。
In the above example, the sharpness is used in determining the focus level. However, in addition to this, contrast (maximum luminance / minimum luminance of the image) or luminance dispersion may be used. In the above example, when the previous in-focus point and the current in-focus value are the same, the Dir direction is left as it is, but it may be in the opposite direction.
Further, in the above-described example, the photographing by the line sensor 4 is scanned in the column direction (+ X direction) from the left to the right in FIG. 6, but may be performed in a zigzag (alternate) manner. For example, an image may be acquired by scanning from the left to the right (+ X direction) in the odd-numbered line and from the right to the left (−X direction) in the even-numbered line.

また、上述の例では、ラインセンサ4を固定して移動部2により試料1を移動することにより、ラインセンサ4で試料1を走査したが、ラインセンサ4と試料1とを相対運動できれば、その構成自体は任意であり、試料1を固定して、対物レンズ31を移動する構成としてもよい。
なお、上述の例では、Z軸駆動部36をラックアンドピニオン方式で構成したが、これに限らず、ボールねじ等他の駆動機構を用いてもよい。
In the above example, the line sensor 4 is fixed and the sample 1 is moved by the moving unit 2 to scan the sample 1 with the line sensor 4. However, if the line sensor 4 and the sample 1 can be relatively moved, The configuration itself is arbitrary, and the sample 1 may be fixed and the objective lens 31 may be moved.
In the above-described example, the Z-axis drive unit 36 is configured by the rack and pinion method. However, the present invention is not limited thereto, and other drive mechanisms such as a ball screw may be used.

また、上述の例では、ラインセンサ4のZ軸方向の調整量dZを固定値としたが、可変量としてもよい。例えば、レジスタRAに格納されている前回の合焦点を示す指標It-1と今回の合焦点を示す指標Itとの差分ΔIを求め、この差分に応じてdZを調整するようにしてもよい。例えば、Z軸方向を正として、dZ=k・ΔI+k∫ΔI+kdΔI/dt (k,k,kは定数) から、焦点位置のZ軸上の調整方向と調整量とを求めてもよい。上式の右辺の1項又は2項のみを用いてdZを決定してもよい。 In the above example, the adjustment amount dZ of the line sensor 4 in the Z-axis direction is a fixed value, but may be a variable amount. For example, the difference ΔI between the index It-1 indicating the previous focal point stored in the register RA and the index It indicating the current focal point may be obtained, and dZ may be adjusted according to this difference. For example, assuming that the Z-axis direction is positive and dZ = k 1 · ΔI + k 2 ∫ΔI + k 3 dΔI / dt (k 1 , k 2 , k 3 are constants), the adjustment direction and adjustment amount of the focal position on the Z-axis You may ask for it. DZ may be determined using only one or two terms on the right side of the above equation.

なお、ラインセンサ4の構成は任意であり、CCDを1個づつ約4000個配列する場合に限らない。より短く或いは長く配列してもよい。さらに、ラインセンサではなく、2次元CCDを使用することも可能である。2次元CCDを使用する場合には、例えば、2次元CCDで試料1をX軸方向に走査し、2次元CCDがX軸方向にその幅(dX)分移動する度に、撮像を行って、今回の撮像画像のコントラストと前回の撮像画像のコントラストとを比較する。   The configuration of the line sensor 4 is arbitrary, and is not limited to the case where about 4000 CCDs are arranged one by one. It may be arranged shorter or longer. Furthermore, it is possible to use a two-dimensional CCD instead of a line sensor. When using a two-dimensional CCD, for example, the sample 1 is scanned in the X-axis direction with the two-dimensional CCD, and every time the two-dimensional CCD moves in the X-axis direction by the width (dX), imaging is performed. The contrast of the current captured image is compared with the contrast of the previous captured image.

また、ラインセンサ4の各々の画素のサイズは、小さい方が解像度の良い画像を撮像できるが、大きいサイズの画素を使用する場合には、撮像の拡大率を大きくすれば、解像度の良い画像を撮像することができる。   In addition, when the size of each pixel of the line sensor 4 is smaller, it is possible to capture an image with better resolution. However, when a larger size pixel is used, an image with better resolution can be obtained by increasing the magnification rate of imaging. An image can be taken.

なお、撮像装置として、CCDセンサを使用する例を示したが、CMOSセンサ等でもよい。   In addition, although the example which uses a CCD sensor as an imaging device was shown, a CMOS sensor etc. may be sufficient.

一般のコンピュータに、図5,図7,図8等を参照して説明した顕微鏡の制御動作を行わせるためのコンピュータプログラム及びデータをCD−ROM等の記録媒体に格納して配布したり、搬送波に重畳して通信回線を介して送信及び配布したりしてもよい。これらのプログラムは任意のコンピュータにダウンロード・インストールされる。この場合、該コンピュータは、上述の制御部5と同様の機能を備えるものとなる。   A computer program and data for causing a general computer to perform the control operation of the microscope described with reference to FIGS. 5, 7, 8, etc. are stored in a recording medium such as a CD-ROM and distributed. Or may be transmitted and distributed via a communication line. These programs are downloaded and installed on any computer. In this case, the computer has the same function as the control unit 5 described above.

本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置の側面図である。It is a side view of the microscope apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図1に示す顕微鏡装置の正面図である。It is a front view of the microscope apparatus shown in FIG. 顕微鏡の視野とラインセンサの撮像領域と2次元CCDの撮像領域との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the visual field of a microscope, the imaging area of a line sensor, and the imaging area of a two-dimensional CCD. Z軸駆動部の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a Z-axis drive part. 顕微鏡装置の動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating operation | movement of a microscope apparatus. 試料上に設定される撮像領域(観察領域)と、ラインセンサによる撮像順序とを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the imaging area (observation area | region) set on a sample, and the imaging order by a line sensor. 顕微鏡による測定・観察時の処理のフローチャートである。It is a flowchart of the process at the time of measurement and observation by a microscope. ラインセンサが試料を走査している間、ラインセンサの焦点位置を試料に位置合わせするためのオートフォーカス処理のフローチャートである。5 is a flowchart of autofocus processing for aligning the focal position of the line sensor with the sample while the line sensor scans the sample. 走査時の、ラインセンサの動きを模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the motion of a line sensor at the time of scanning.

符号の説明Explanation of symbols

1 試料
2 移動部
3 顕微鏡
4 ラインセンサ
5 制御部
7 架台
11 測定領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sample 2 Moving part 3 Microscope 4 Line sensor 5 Control part 7 Mount 11 Measurement area

Claims (9)

試料の像を拡大する顕微鏡と、
前記試料に対して所定方向に走査して前記像の分割撮影を繰り返す画像センサ装置と、
前記画像センサ装置で撮影した分割画像群を結合して前記試料の拡大画像を作成する画像処理手段と、
前記画像センサ装置の出力画像データに基づいて、前記画像センサ装置の走査中に前記画像センサ装置の焦点位置を調整する焦点位置調整手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。
A microscope that magnifies the image of the sample,
An image sensor device that scans the sample in a predetermined direction and repeats division imaging of the image;
Image processing means for creating an enlarged image of the sample by combining divided image groups photographed by the image sensor device;
A focal position adjusting means for adjusting a focal position of the image sensor device during scanning of the image sensor device based on output image data of the image sensor device;
A microscope apparatus comprising:
請求項1において、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時に当該画像のフォーカスレベルとその直前の分割画像のフォーカスレベルとの関係に基づいて、前記焦点位置を調整する、
ことを特徴とする顕微鏡装置。
In Claim 1, the said focus position adjustment means adjusts the said focus position based on the relationship between the focus level of the said image and the focus level of the immediately preceding divided image at the time of imaging | photography of the said divided image.
A microscope apparatus characterized by that.
請求項2において、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時に当該画像のフォーカスレベルとその直前の分割画像のフォーカスレベルとの差分に基づいて、前記焦点位置の調整方向と調整量とを決定する、
ことを特徴とする顕微鏡装置。
3. The focus position adjusting unit according to claim 2, wherein the focus position adjustment unit calculates the focus direction adjustment direction and the adjustment amount based on a difference between a focus level of the image and the focus level of the immediately preceding divided image when the divided image is captured. decide,
A microscope apparatus characterized by that.
請求項3において、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時に当該画像のフォーカスレベルがその直前の分割画像のフォーカスレベルよりも高い場合には、前記調整方向をそのまま維持し、当該画像のフォーカスレベルがその直前の分割画像のフォーカスレベルよりも低い場合には、前記調整方向を反転する、
ことを特徴とする顕微鏡装置。
4. The focus position adjusting means according to claim 3, wherein when the divided image is captured, if the focus level of the image is higher than the focus level of the immediately preceding divided image, the adjustment direction is maintained as it is. When the focus level is lower than the focus level of the immediately preceding divided image, the adjustment direction is reversed.
A microscope apparatus characterized by that.
請求項2乃至4のいずれか1項において、前記焦点位置調整手段は、前記分割画像の撮影時にその直前のm(mは自然数)個の分割画像に基づいて、焦点位置を調整することを特徴とする顕微鏡装置。   5. The focus position adjusting unit according to claim 2, wherein the focus position adjusting unit adjusts the focus position based on m (m is a natural number) divided images immediately before shooting the divided images. Microscope device. 請求項1乃至5のいずれか1項において、前記画像センサ装置は、ラインセンサと、前記ラインセンサを前記試料に対して相対的に移動することにより、前記ラインセンサの長辺に対して直角方向に走査する、
ことを特徴とする顕微鏡装置。
6. The image sensor device according to claim 1, wherein the image sensor device moves in a direction perpendicular to the long side of the line sensor by moving the line sensor and the line sensor relative to the sample. To scan,
A microscope apparatus characterized by that.
請求項1乃至6のいずれか1項において、前記焦点位置調整手段は、所定の色成分を含む画像データに基づいて、焦点位置を調整する、ことを特徴とする顕微鏡装置。   The microscope apparatus according to claim 1, wherein the focal position adjusting unit adjusts the focal position based on image data including a predetermined color component. 試料の像を顕微鏡で拡大し、
前記試料に対して画像センサを所定方向に走査しつつ当該画像センサによって前記試料の像の分割撮影を繰り返すとともに、前記画像センサの出力画像データに基づいて、前記画像センサの走査中に前記画像センサの焦点位置を調整し、
前記画像センサで撮影した分割画像群を結合して前記試料の拡大画像を作成する、
ことを特徴とする拡大画像生成方法。
Magnify the sample image with a microscope,
While the image sensor is scanned with respect to the sample in a predetermined direction, the image sensor repeatedly divides and captures an image of the sample, and the image sensor is scanned during the scanning of the image sensor based on output image data of the image sensor. Adjust the focal position of
Creating a magnified image of the sample by combining divided image groups taken by the image sensor;
An enlarged image generation method characterized by that.
試料に対して画像センサを所定方向に走査しつつ顕微鏡で拡大された前記試料の像の分割撮影を繰り返すとともに、前記画像センサの出力画像データに基づいて、前記画像センサの走査中に前記画像センサの焦点位置を調整させるように撮像装置を制御し、
前記撮像装置から得られた分割画像群を結合して前記試料の拡大画像を作成する
ことを特徴とするコンピュータプログラム。
While repeatedly scanning the image sensor in a predetermined direction with respect to the sample, the divided image of the sample image magnified by the microscope is repeatedly taken, and the image sensor is scanned during the scanning of the image sensor based on the output image data of the image sensor. Control the imaging device to adjust the focal position of
A computer program for creating an enlarged image of the sample by combining divided image groups obtained from the imaging device.
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