JP2006174991A

JP2006174991A - 超音波探触子

Info

Publication number: JP2006174991A
Application number: JP2004370669A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Saito; 孝悦斉藤
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-12-22
Filing date: 2004-12-22
Publication date: 2006-07-06

Abstract

【課題】音響整合層を容易に３層以上に構成できるようにして、超音波探触子の周波数の広帯域化を可能にし、高分解能を持つ診断画像を得ることができる超音波探触子を提供する。
【解決手段】超音波を送信及び受信する圧電素子１を有する超音波探触子において、複数種類の粉体材料を高分子の樹脂に充填し、複数種類の粉体材料を高分子の樹脂内で積層させて音響整合層を設け、３層以上の音響整合層５、６、７を圧電素子１の前面に構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、超音波を用いて生体情報を得るために使用される超音波探触子に関し、特に圧電素子の一方の面に音響整合層が形成された超音波探触子に関する。

超音波探触子は、生体を対象とした超音波診断装置などに用いられている。例えば超音波診断装置用の超音波探触子としては、図４に示すような構造（下記の特許文献１に記載）のものが用いられている。この超音波探触子は超音波を送信し、受信する圧電振動子１０の前面に効率よく被検体側に超音波を送受信するために２層の音響整合層１１、１２が設けられ、更にその前面には診断画像の分解能を高めるために超音波ビームを絞る役目をする音響レンズ１３が設けられ、また、圧電振動子１０のもう一方の面には圧電振動子１０を保持する役目、あるいは不要な超音波を減衰させる役目をする背面負荷材１４が設けられた構成となっている。音響整合層１１、１２としては、圧電振動子１０側には音響インピーダンスが大きい値の層１１を設け、音響レンズ１３側には音響インピーダンスが小さい層１２を設けた２層タイプが用いられている。
特開平１１−１１３９０８号公報（図１、要約書）

近年、基本周波数に対して２次あるいは３次の高調波周波数成分を利用して超音波診断装置の診断画像の分解能を高める方式が用いられているために、超音波探触子の周波数の広帯域化が極めて重要である。しかしながら、２層の音響整合層にした構成では、周波数の広帯域化に限度があり、高調波の周波数を利用した診断画像の高分解能化に限界があった。また、音響整合層を３層にして周波数特性の広帯域化を試みる構成もあるが、この方式は任意の音響インピーダンスを有するそれぞれの材料単体を３種類用いてそれぞれを接着して構成していたために製作が難しいということがあった。

そこで、本発明は、圧電素子の一方の面に形成する音響整合層を容易に３層以上に形成することができ、ひいては超音波探触子の周波数の広帯域化を可能にし、高分解能を持つ診断画像を得ることができる超音波探触子を提供することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために、本発明の超音波探触子は、超音波を送信及び受信する圧電素子を有する超音波探触子において、
複数種類の粉体材料を高分子の樹脂に充填し、前記複数種類の粉体材料を前記高分子の樹脂内で積層させて３層以上の音響整合層を前記圧電素子の一方の面に形成した構成とした。

また、本発明の超音波探触子は、前記複数種類の粉体材料が、それぞれ密度の違う材料であることを特徴とする。
また、前記複数種類の粉体材料は、前記高分子の樹脂の密度より大きい材料であることを特徴とする。
また、前記複数種類の粉体材料は、前記高分子の樹脂の密度より大きい粉体材料と小さい粉体材料を含むことを特徴とする。
また、前記複数種類の粉体材料は、平均粒径が異なる同じ材料若しくは異なる材料であることを特徴とする。
また、前記複数種類の粉体材料は、金属、酸化物、炭化物、高分子、中空体の材料のいずれか１つ以上であることを特徴とする。

この構成により、圧電素子の一方の面に形成する音響整合層を容易に３層以上に形成することができ、ひいては超音波探触子の周波数の広帯域化を可能にし、高分解能を持つ診断画像を得ることができる。

本発明によれば、複数種類の粉体材料を高分子の樹脂に充填し、複数種類の粉体材料を高分子の樹脂内で積層させて３層以上の音響整合層を形成するので、音響整合層を容易に３層以上に形成することができ、ひいては超音波探触子の周波数の広帯域化を可能にし、高分解能を持つ診断画像を得ることができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本実施の形態に係る超音波探触子の一例を示す概略断面図である。超音波探触子は、超音波診断装置を構成する際に、超音波診断装置本体とケーブルを介して電気的に接続されて使用され得るものであり、超音波を送受信し、その受信波を電気信号に変換して超音波診断装置本体に送信する機能を有している。

図１に示す超音波探触子は、ＰＺＴ系などの圧電セラミック、単結晶などが用いられ、超音波を送受信する圧電素子１と、金や銀を蒸着又はスパッタリングすることにより、あるいは銀を焼き付けるなどにより圧電素子１の前面（音響レンズ８側の面）に設けられた接地電極２と、接地電極２と同じように金や銀の蒸着、スパッタリング、あるいは銀の焼き付けなどで、圧電素子１の背面に設けられた信号用電極３と、信号用電極３から超音波信号を取り出すための信号用電気端子(図示せず)と、圧電素子１を背面から機械的に保持し、かつ必要に応じて不要な超音波信号を減衰させる機能を有する背面負荷材４と、圧電素子１の前面の接地電極２上に設けられた第１の音響整合層５と、更に第１の音響整合層５上に設けられた第２の音響整合層６と、更に第２の音響整合層６上に設けられた第３の音響整合層７と、また、音響整合層７上に設けられて被検体と直接若しくは間接的に接触し超音波ビームを絞るための音響レンズ８などを有する。

この超音波探触子は、超音波診断装置などの本体から電気信号を接地電極２と信号用電極３に印加することにより、圧電素子１が機械振動して超音波を音響整合層５、６、７及び音響レンズ８を伝播して被検体に発信し、被検体からの反射波を受信するものである。生体を被検体とする超音波診断装置用の超音波探触子は、生体に直接接触または超音波伝播媒体を介して間接的に接触して生体に超音波を送信し、生体から反射してきた反射波を再び超音波探触子で受信してその信号を本体で処理してモニタ上に診断画像を表示して診断するものに用いられるいわゆるセンサである。

ここで、圧電素子１の前面に設けられる音響整合層は、従来、２層設けた構成が一般的であったが、近年、基本周波数に対して非線型現象を利用して２次あるいは３次の高調波周波数成分を利用して超音波診断装置の診断画像の分解能を高めるために、超音波探触子の周波数を広帯域化することが極めて重要であり、このための取り組みとして、圧電セラミックと高分子材料からなる複合圧電体を用いたり、あるいは電気機械結合係数が高い単結晶などの圧電素子を用いた構成の超音波探触子があるが、いずれも製法的に難しいために信頼性の課題、あるいはコストが高くなるなどの課題が残されている。また、音響整合層を３層タイプにする取り組みもされているが、これもコストと性能の関係、つまりコストが高くなる割合と性能とのバランスが取れないという点からからあまり採用されていないのが現状である。そこで本発明の第１、第２の実施の形態は、３層以上の音響整合層を容易に形成できる構成にし、かつ周波数の広帯域化を実現できるようにした点に大きな特徴を有している。

図２には、図１に示した超音波探触子の構成において一般的に知られているＫＬＭ法で計算した結果の周波数特性を示す。なおここで計算に用いた条件としては、駆動する周波数を３．５ＭＨｚとして、圧電素子１はＰＺＴ−５Ｈ相当の圧電セラミックス、背面負荷材４として音響インピーダンス＝７ＭRayl、電極２、３として金で厚み０．２μｍを基本にして、音響整合層を従来の２層タイプと、３層及び８層タイプで、更にシリコーンゴムの音響レンズ８を設けた構成で計算したときのそれぞれの周波数−ゲイン特性Ａ、Ｂ、Ｃの結果を示している。

なお、音響整合層が２層タイプの音響インピーダンスは、圧電素子１側からそれぞれ、６ＭRayl、３ＭRaylの値を用い、また音響整合層が３層タイプの音響インピーダンスは、圧電素子１側からそれぞれ、１６ＭRayl、７ＭRayl、２．５ＭRaylの値を用い、また音響整合層が８層タイプの音響インピーダンスは、圧電素子１側からそれぞれ、１６ＭRayl、１２ＭRayl、８ＭRayl、６ＭRayl、４ＭRayl、３ＭRayl、２ＭRayl、１．６ＭRaylの値を用いている。もちろん超音波を伝播させる対象の被検体は生体（音響インピーダンス＝１．５ＭRayl）としている。

周波数特性を評価する一般的な方法としては、周波数の比帯域がある。これは最大値の感度に対して−６ｄＢレベルでの帯域幅と中心周波数（帯域幅／中心周波数）の比を表わすものであり、この値が大きいほど広帯域の周波数特性となり、更に周波数特性の形としては正規分布に近いほど、すなわちパルス応答特性の尾引き特性が良好になり分解能を高くすることができるという点が評価のポイントである。

図２から明らかなように、２層タイプの音響整合層の特性Ａは狭く、３層タイプ、８層タイプの特性Ｂ、Ｃと層が多くなるに従い、周波数特性が広帯域化されており、更に周波数特性Ｂ、Ｃの形も多層化すると正規分布の形に近くなってきていることが確認できる。図２から２層、３層、８層タイプの−６ｄＢでの比帯域を記述するとそれぞれ７５％、９３％、９６％となっており音響整合層の層数を多くしていくことにより広帯域化できることがわかる。

図１に示した３層の音響整合層５、６、７の、図２の特性Ｂの計算結果で示した音響インピーダンスは、１６ＭRayl、７ＭRayl、２．５ＭRaylであり、またその厚みはそれぞれ駆動周波数の３．７７分の１波長、４．７６分の１波長、４．２３分の１波長となっている。これら３層のそれぞれの音響インピーダンスを得る方法としては高分子の樹脂、例えば熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂に複数の粉体材料を充填させて混合脱泡して樹脂の厚み方向に対して複数の粉体材料を積層させるように構成する。

つまり、２種類以上の粉体材料はそれぞれ密度の違う材料、例えば密度が１９．１ｋｇ／ｍ^３と大きい値を有するタングステン粉体と、タングステンより小さい密度を有する１５ｋｇ／ｍ^３のタングステンカーバイト粉をエポキシ樹脂に充填して混合して泡抜き（混合脱泡）をした後、加熱して硬化させると、密度の大きいタングステン粉体は下部に積層され、密度が小さいタングステンカーバイト粉はその上部に積層される。更にその上部には前記２種類の粉体がないエポキシ樹脂層が積層される。なお２種類の粉体の密度は基本的に高分子の樹脂の密度より大きい値を有する材料が必要である。またそれぞれの厚みは粉体材料を充填する量によって調整できる。このような方法により形成された音響整合層は、３層の音響整合層５、６、７に容易に構成することができるため、コスト的にも従来の２層の音響整合層タイプとほとんど変わらず安定して形成することができる。

なお、作成した音響整合層５、６、７の音響インピーダンスは、タングステン粉体の部分は１６．１ＭRayl（音速は１．８ｋｍ／ｓ）であり、これが音響整合層５となる。また、タングステンカーバイト粉の部分は約７．１ＭRayl (音速は２．０４ｋｍ／ｓ）であり、これは音響整合層６となる。また、エポキシ樹脂層の部分は３．１ＭRayl（音速は２．６ｋｍ／ｓ）であり、これが音響整合層７となる。このように、密度の違う２種類の粉体をエポキシ樹脂に充填してそれぞれの粉体ごとに積層させることにより、容易に３層の音響整合層５、６、７を得ることができ、しかも周波数特性の広帯域化が可能である。これらの音響整合層５、６、７の厚みは、エポキシ樹脂に充填する量によって調整することができ、図２に示した特性Ｂの計算結果の厚みにすることができる。

これらの音響整合層５、６、７の形成方法としては、音響整合層５、６、７を積層形成してから、その後、圧電素子１の前面の接地電極２面上に接着剤で接着してもよく、また圧電素子１の接地電極２面上に直接流し込んで音響整合層５、６、７を形成してもよい。これらの音響整合層５、６、７の積層体を形成する場合には、粉体を充填した後の樹脂の粘度は低くすることが好ましい。

しかし、粉体材料の充填量が多くなると粘度は高くなり、音響整合層５、６、７を明確に積層して形成することができなくなる可能性がある。この場合の解決法としては、次の方法で形成すれば問題なく形成することができる。粉体材料の充填量は音響整合層の各層の厚みによって決まる。すなわち、樹脂の量に対しての比率ではなく粉体材料の絶対充填量で決まるので、粉体材料を充填した樹脂の混合物の粘度が高くなる場合には、粘度を低くするための希釈剤を混合する、あるいは樹脂の量を多くして粉体材料が下部に積層された状態で粉体材料のない上部のエポキシ樹脂の一部が音響整合層７となる量を残し、不要な樹脂を除去して形成することにより音響整合層５、６、７の積層体を形成することができる。なお充填する粉体材料は、前述した材料に限定されるものではなく、粉体であって密度が違う材料であればどんな物質でも同じ効果が得られる。

また、第１の実施の形態では、図２の特性Ｂに示した３層タイプの音響インピーダンスの一部である、図１の第３の音響整合層７の値がエポキシ樹脂の音響インピーダンスの値である３．１ＭRayl（音速は２．６ｋｍ／ｓ）であり、計算で用いた音響インピーダンス＝２．５ＭRaylの値より大きい値であったが、これを計算値に近い値にすることも可能である。すなわち、エポキシ樹脂層の部分をエポキシ樹脂の密度（１．１ｋｇ／ｍ^３）と近い値の粉体をもう１種類追加することによって実現できる。たとえば、追加する粉体としてはシリコーンゴムの粉体（密度は約０．９８ｋｇ／ｍ^３）を充填することにより、エポキシ樹脂層の部分にシリコーンゴムの粉体の層を形成することができる。これは密度が高分子の樹脂のエポキシ樹脂とほぼ近いか同等の値を有しているためにエポキシ樹脂層内でほぼ均一に分散し、このためにエポキシ樹脂層単体の層をなくすことができるからである。

したがって、エポキシ樹脂を用いて圧電素子１側から、第１の音響整合層５はタングステン粉体の層、第２の音響整合層６はタングステンカーバイト粉の層、そして第３の音響整合層７はシリコーンゴム粉体が分散したエポキシ樹脂の層で形成できる。なお、シリコーンゴム粉体を充填した層の音響インピーダンスは充填する量の比率によって変わるが、今回はエポキシ樹脂に対して重量比で１５％充填した結果、音響インピーダンスは２．５８ＭRayl（音速は２．２３ｋｍ／ｓ）であった。

なお、第１の実施の形態では、粉体材料としてタングステン、タングステンカーバイト粉、及びシリコーンゴムの２種類若しくは３種類を用いた場合について説明したが、このほかモリブデン、アルミニウムなどの金属粉、また酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化鉄、二酸化珪素、酸化チタンなどの酸化物、シリコンカーバイトなどの炭化物及び有機物の粉体などを用いて、密度の違う前記粉体の材料を２種類以上用いた場合についても３、４、５層あるいは８層と多くの音響整合層を形成することが可能であり、同等あるいはそれ以上の効果が得られる。

また、第１の実施の形態では、高分子の樹脂としてエポキシ樹脂を用いた場合について説明したが、このほか、ウレタン樹脂、シリコーンゴムなどを用いた場合についても同様の効果が得られる。さらに、第１の実施の形態では、２種類あるいは３種類の複数の粉体を樹脂に充填して３層に積層させて３層の音響整合層５、６、７を構成した場合について説明したが、このほか３種類以上の密度の違う粉体を樹脂に充填して３層以上の音響整合層を構成することも可能であり、このような構成についても同様の効果が得られる。また、第１の実施の形態では、高分子の樹脂の密度と同等若しくは密度の大きい粉体材料を充填して積層させた場合について説明したが、このほか、高分子の樹脂の密度より小さい、例えばガラスあるいはプラスチックの中空体と、密度の大きい粉体材料を充填して積層させた場合についても同様の効果が得られる。

また、第１の実施の形態では、単一型の超音波探触子の構成の場合について説明したが、このほか、圧電素子及び音響整合層が複数個に配列されたいわゆる１次元あるいは２次元アレイ型超音波探触子の構成に用いても同様の効果が得られる。また、第１の実施の形態では、音響整合層、ここでは３層を２種類以上の粉体材料を充填し積層して一度に形成する場合について説明したが、３層以上の多層の音響整合層にした場合には、２回あるいは３回に分けてまず２層あるいは３層ずつ形成してその後それぞれの層を接着して形成してもよい。

上記超音波探触子によれば、音響整合層５、６、７を樹脂に充填する粉体を２種類以上にしてそれぞれの粉体をその中に積層して３層以上の音響整合層を容易に形成することができ、しかも周波数の広帯域化を実現できるため、低コストでしかも広帯域化が可能となる。したがって、高分解能を持つ診断画像を得ることができる。

＜第２の実施の形態＞
本発明の第２の実施の形態の超音波探触子の概略断面図は図１に示す構成と同じである。図１に示す音響整合層５、６、７を形成する構成が、第１の実施の形態と違っている点が本実施の形態の特徴である。すなわち、ここでは３層の音響整合層５、６、７を形成するために、高分子の樹脂に充填する粉体材料が同じものであっても、平均粒径の大きさを変えた複数の粉体材料を用いて形成するという点である。さらに、高分子の樹脂に充填する粉体材料が違うものであっても、平均粒径の大きさを変えた２種類以上の粉体材料を用いて形成してもよい。すなわち、充填する粉体材料の平均粒径を任意に選択することにより所望の音響インピーダンスを有する音響整合層５、６、７を積層して形成することができる構成である。

第１の実施の形態では、図２に示した周波数特性Ｂ、すなわち３層の音響整合層のタイプでは、それぞれの音響整合層５、６、７の音響インピーダンスの値は先に説明したように、それぞれ１６ＭRayl、７ＭRayl、２．５ＭRaylであり、これらの値を得られるように高分子の樹脂に充填する粉体材料の平均粒径を選択することで実現することができる。

図３はエポキシ樹脂に充填したタングステンの平均粒径と音響インピーダンスとの関係を示す。例えば、図３に示すようにエポキシ樹脂に充填する粉体をタングステンとして、タングステンの粉体の平均粒径をそれぞれ１．２μｍ、５．６μｍ、１３．４μｍの３種類を充填した場合、平均粒径の大きい方から下部に層が形成されて平均粒径が小さいものが上部に形成される。そして、平均粒径１．２μｍ、５．６μｍ及び１３．４μｍのそれぞれの層の音響インピーダンスは、６．７ＭRayl、１０．８ＭRayl、１６．１ＭRaylの値を有している。

図３に示すようにタングステンの平均粒径が大きくなるにしたがって音響インピーダンスも大きくなる傾向を示しており、タングステンの平均粒径を選択して充填することにより所望する音響インピーダンスの値を得ることができることになる。このタングステンの平均粒径が大きくなると音響インピーダンスも大きくなる理由は、平均粒径が大きくなると粒子全体の表面積が少なくなりその表面の部分に介在するエポキシ樹脂が少なくなるために、タングステンの占める割合が高くなって結果として音響インピーダンス（＝音速×密度）が大きくなるためである。逆に平均粒径が小さくなるにしたがって粒子全体の表面積が多くなるため、その分エポキシ樹脂の介在する率が高くなってエポキシ樹脂の音響インピーダンスに近づき、小さくなるためである。これはタングステンの粉体だけではなく、他の粉体でも同じことが言えることから、高分子の樹脂に充填する粉体材料を違うものではなく同じ材料を用いて粒径を変えることでも音響インピーダンスは任意に変えることができる。

したがって、図２の特性Ｂを得るために、音響整合層５の音響インピーダンス＝１６ＭRaylにするには、図３からタングステンの粉体の平均粒径＝１３．４μｍを充填し、また、音響整合層６の音響インピーダンス＝７ＭRaylにするには平均粒径＝約０．６μｍのタングステンの粉体を充填して、音響整合層７はエポキシ樹脂層のそのものを用いれば形成できることになる。したがって、ここでは同じ粉体材料でも平均粒径の違う２種類を充填するだけで３層の音響整合層５、６、７を容易に形成できることになる。なお充填する粉体材料は前述した材料に限定されるものではなく、粉体であって密度と平均粒径が違う材料であればどんな物質でも同じ効果が得られる。

なお、第２の実施の形態では、粉体材料としてタングステンを用いた場合について説明したが、このほかモリブデン、アルミニウムなどの金属粉、また酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化鉄、二酸化珪素、酸化チタンなどの酸化物、シリコンカーバイトなどの炭化物及び有機物の粉体などを用いて、平均粒径の違う同じ材料、若しくは違う材料の粉体を２種類以上用いた場合についても３、４、５層あるいは６層と、多くの音響整合層を形成することが可能であり、同等あるいはそれ以上の効果が得られる。

また、第２の実施の形態では、高分子の樹脂としてエポキシ樹脂を用いた場合について説明したが、このほか、ウレタン樹脂、シリコーンゴムなどを用いた場合についても同様の効果が得られる。なお、第２の実施の形態では、２種類の平均粒径の違う同じ材料の粉体を樹脂に充填して３層に積層させて３層の音響整合層に構成した場合について説明したが、このほか３種類以上の平均粒径の違う同じ材料の粉体を樹脂に充填して３層以上の音響整合層を構成することも可能であり、このような構成についても同様の効果が得られる。

また、第２の実施の形態では、同じ材料の粉体で平均粒径の違う複数種類を高分子の樹脂に充填し積層させた場合について説明したが、このほか、違う材料の密度と平均粒径が違う粉体材料を選択して充填して積層させた場合についても同様の効果が得られる。また、第２の実施の形態では、単一型の超音波探触子の構成の場合について説明したが、このほか、圧電素子及び音響整合層が複数個に配列されたいわゆる１次元あるいは２次元アレイ型超音波探触子の構成に用いても同様の効果が得られる。また、第２の実施の形態では、音響整合層、ここでは３層を２種類以上の粉体材料を充填し積層して一度に形成する場合について説明したが、３層以上の多層の音響整合層にした場合には、２回あるいは３回に分けてまず２層あるいは３層ずつ形成してその後それぞれの層を接着して形成してもよい。

上記超音波探触子によれば、音響整合層５、６、７を樹脂に充填する粉体を２種類以上にしてそれぞれの粉体をその中に積層して３層以上の音響整合層に容易に形成でき、しかも周波数の広帯域化を実現できるため、低コストでしかも広帯域化が可能となる。したがって、高分解能を持つ診断画像を得ることができる。

本発明の超音波探触子によれば、圧電素子の一方の面に形成する音響整合層を容易に３層以上に形成することができ、ひいては超音波探触子の周波数の広帯域化を可能にし、高分解能を持つ診断画像を得ることができるので、正確な診断が可能となり、超音波診断装置などの各種医療分野の装置に有用である。

本発明の第１、第２の実施の形態に係る超音波探触子の一例を示す概略断面図本発明の第１、第２の実施の形態に係る音響整合層と周波数特性の計算結果を示す図本発明の第２の実施の形態に係る樹脂に充填する粉体の平均粒径と音響インピーダンスの関係を示す図従来の超音波診断装置用の超音波探触子の断面図

符号の説明

１圧電素子
２接地電極
３信号用電極
４背面負荷材
５第１の音響整合層
６第２の音響整合層
７第３の音響整合層
８音響レンズ

Claims

超音波を送信及び受信する圧電素子を有する超音波探触子において、
複数種類の粉体材料を高分子の樹脂に充填し、前記複数種類の粉体材料を前記高分子の樹脂内で積層させて３層以上の音響整合層を前記圧電素子の一方の面に形成したことを特徴とする超音波探触子。
前記複数種類の粉体材料は、それぞれ密度の違う材料であることを特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
前記複数種類の粉体材料は、前記高分子の樹脂の密度より大きい材料であることを特徴とする請求項２に記載の超音波探触子。
前記複数種類の粉体材料は、前記高分子の樹脂の密度より大きい粉体材料と小さい粉体材料を含むことを特徴とする請求項２に記載の超音波探触子。
前記複数種類の粉体材料は、平均粒径が異なる同じ材料若しくは異なる材料であることを特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
前記複数種類の粉体材料は、金属、酸化物、炭化物、高分子、中空体の材料のいずれか１つ以上であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１つに記載の超音波探触子。