JP2006172898A - Laser plasma x-ray generating device - Google Patents
Laser plasma x-ray generating device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006172898A JP2006172898A JP2004363589A JP2004363589A JP2006172898A JP 2006172898 A JP2006172898 A JP 2006172898A JP 2004363589 A JP2004363589 A JP 2004363589A JP 2004363589 A JP2004363589 A JP 2004363589A JP 2006172898 A JP2006172898 A JP 2006172898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- plasma
- generated
- substance
- atomic number
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Description
本発明は、レーザー光をターゲットに照射してプラズマを生成し、そのブラズマからX線を発生させるレーザープラズマX線発生装置に関する。 The present invention relates to a laser plasma X-ray generator that generates plasma by irradiating a target with laser light and generates X-rays from the plasma.
強力なパルスレーザー光を物質に集光照射することにより物質を電離イオン化して高温ブラズマを生成し、プラズマ中での制動輻射(制動放射)あるいは電離プラズマの再結合過程においてX線を発生させるレーザープラズマX線発生装置は、極短パルスの高輝度点X線源として産業応用が可能であり、特許文献1から12において開示されている。また本願出願人においても関連特許として特願2002−288426号,特願2003−178081号を出願している。
A laser that generates high-temperature plasma by ionizing and ionizing a substance by focusing and irradiating the substance with intense pulsed laser light, and generates X-rays in the process of bremsstrahlung (braking radiation) in plasma or recombination of ionized plasma The plasma X-ray generator can be applied to industrial applications as a high-intensity point X-ray source with an extremely short pulse, and is disclosed in
これらの開示された従来例においてはX線の発生原理としてプラズマ中での制動輻射あるいは電離プラズマの再結合過程を用いており、制動輻射においては発生するX線のスペクトルは幅広い波長域に連続する連続スペクトルとなり、電離プラズマの再結合過程では特定波長の線スペクトルあるいは複数の線スペクトルの集合体となるが、主たる波長領域はプラズマの温度が支配的要因となって決まるため、通常は数keV以下の軟X線領域であり、それ以上の高い光子エネルギーを持った硬X線の発生は、困難であった。 In these disclosed conventional examples, the bremsstrahlung in plasma or the recombination process of ionized plasma is used as the principle of X-ray generation, and the spectrum of X-rays generated in bremsstrahlung continues in a wide wavelength range. In the recombination process of ionized plasma, it becomes a continuous spectrum, and it becomes a line spectrum of a specific wavelength or an assembly of multiple line spectra. However, the main wavelength region is determined by the temperature of the plasma as a dominant factor, and is usually below several keV. It is difficult to generate hard X-rays having a high photon energy in the soft X-ray region.
一方でレントゲン撮影や非破壊検査など古くから用いられているX線を利用した撮像装置においては、数keV以上の光子エネルギーを持った硬X線が使われており、これらの装置においては、真空中で高電圧を印加した電極によって加速された高速の電子線を固体表面に衝突させ、高速電子が原子内の内核電子を弾き飛ばし、生じた空孔へ同じ原子内の他の電子が遷移しそのときのエネルギー差を持った光子が放出されることによって特性X線を発生するX線管が用いられてきた。このX線管は簡単な構造で十分な量のX線を供給できたため広く用いられてきたが、レーザープラズマX線源と比較すると輝度が低く、パルス時間幅も長いため、光源サイズ(X線を発生させる場所のサイズ)が制限され、高空間分解や高時間分解能を必要とする精密計測には限界があった。 On the other hand, hard X-rays having photon energy of several keV or more are used in imaging apparatuses using X-rays that have been used for a long time, such as X-ray imaging and nondestructive inspection. A high-speed electron beam accelerated by an electrode to which a high voltage is applied collides with the solid surface, and the high-speed electrons repel the inner core electrons in the atoms, and other electrons in the same atom transition to the generated vacancies. An X-ray tube that generates characteristic X-rays by emitting photons having an energy difference at that time has been used. This X-ray tube has been widely used because it can supply a sufficient amount of X-rays with a simple structure. However, since it has lower luminance and longer pulse time width than a laser plasma X-ray source, the light source size (X-rays) The precision measurement that requires high spatial resolution and high time resolution is limited.
またレーザー光を単位平方センチメートルあたり10の15乗から20乗にも及ぶ超高強度に集光することにより、非常に強い電界を生じさせ、この電界によって電子を加速して硬X線を発生させる方法も可能であるが、このような超高強度レーザーを得るためには1パルスあたりキロジュールにも及ぶ核融合研究に使われるような超大型レーザーあるいは、チャープドパルス増幅(CPA)と呼ばれる特殊なレーザー増幅装置を用いてフェムト秒の極短パルスレーザー光を発生させる装置が必要であり、大型かつ複雑なものとなる。 Also, a method of generating a hard X-ray by accelerating electrons by this electric field by condensing laser light with an ultra-high intensity ranging from 10 15 to 20 20 per square centimeter. However, in order to obtain such a high-intensity laser, a very large laser used for nuclear fusion research that reaches as many as kilojoules per pulse, or a special type called chirped pulse amplification (CPA). An apparatus that generates femtosecond ultrashort pulse laser light using a laser amplifying apparatus is required, which is large and complicated.
さらに下記特許文献13から15にはレーザー光を電子ビームと衝突させることによりX線を発生させる方法が記載されている。これらはいずれもレーザープラズマを用いておらず、本願発明とは原理的に異なる方式である。単色のパルスX線を波長を連続可変で取り出すことができるなどの特徴を有するが、レーザー装置以外に電子線加速器を必要とする等の欠点があった。
本発明の目的は、従来X線管で発生させることにより利用されてきた特性X線をレーザープラズマX線発生装置で発生させることにより、X線管の欠点であった低輝度長パルスという問題点をレーザープラズマX線発生装置において克服し、短パルス高輝度点光源の特性X線を提供することにある。 An object of the present invention is to generate a characteristic X-ray that has been used in an X-ray tube in the past by generating it in a laser plasma X-ray generator, thereby causing a problem of a low-intensity long pulse that has been a drawback of the X-ray tube. In a laser plasma X-ray generator to provide characteristic X-rays of a short-pulse high-intensity point light source.
本発明においては、特性X線発生に必要な高速電子をレーザープラズマ中で発生させる機構として共鳴吸収現象を利用する。共鳴吸収は密度勾配があるプラズマ中にレーザー光が特定の角度で入射する際に発生する現象であり、不均一な密度のプラズマ中をレーザー光が伝播する際に発生する電子プラズマ波の振動数とレーザー光の電界が共鳴し、プラズマ中に著しく大きな電界を生じさせる。この電界によってプラズマ中の電子が加速されると、通常の熱平衡状態にあるプラズマ中の電子とは異なり、著しく大きな速度を持った高速電子(数100keV程度)となる。 In the present invention, a resonance absorption phenomenon is used as a mechanism for generating fast electrons necessary for generating characteristic X-rays in a laser plasma. Resonance absorption is a phenomenon that occurs when laser light enters a plasma with a density gradient at a specific angle, and the frequency of the electron plasma wave that is generated when the laser light propagates through a plasma with a non-uniform density. And the electric field of the laser beam resonate to generate a remarkably large electric field in the plasma. When electrons in the plasma are accelerated by this electric field, they become high-speed electrons (about several hundred keV) having a remarkably large velocity, unlike the electrons in plasma in a normal thermal equilibrium state.
この現象は逆制動輻射が少なく、レーザー光が到達する臨界密度付近まで減衰することなく多くのエネルギーを共鳴吸収領域に与えることができる炭酸ガスレーザーなど波長の長い遠赤外線をレーザーとして用いた場合に特に顕著である。 This phenomenon occurs when far-infrared rays with a long wavelength, such as a carbon dioxide laser that can give a large amount of energy to the resonance absorption region without being attenuated to near the critical density that the laser beam reaches, are used as a laser. This is particularly noticeable.
しかるに炭酸ガスレーザーを用いて特性X線を発生させる装置はこれまでになかった。その理由はX線管のように特性X線を発生させるためには、高速電子が電離イオン化していない低温の物質と衝突させる必要があるにも関わらず、長波長の遠赤外レーザーを共鳴吸収に適合する密度勾配ができるまで照射するとターゲットの温度が上昇し、電離イオン化してX線管と同じ波長のX線が発生できなくなるためである。 However, there has never been an apparatus for generating characteristic X-rays using a carbon dioxide laser. The reason is that, in order to generate characteristic X-rays like an X-ray tube, a long-wave far-infrared laser is resonated even though it is necessary for high-speed electrons to collide with a low-temperature material that is not ionized. This is because if the irradiation is performed until a density gradient suitable for absorption is generated, the temperature of the target rises, and ionization and ionization cannot generate X-rays having the same wavelength as the X-ray tube.
そこで本発明においてはポリエチレン、ポリスチレンなどの低原子番号物質(元素の周期表において、F(フッ素)以下の原始番号の物質、主にH(水素)、C(炭素)、N(窒素)、O(酸素)等からなり、高原子番号物質を含まない物質)にレーザー光を照射して効率よく高速電子を発生させ、その高速電子を近傍におかれた高原子番号物質(元素の周期表において、Ti(チタン)以上の原子番号の物質、主にTi(チタン)、Cu(銅)、Au(金)、W(タングステン)、Pb(鉛)等からなる純金属)と衝突させることにより、特定の波長の硬X線(原子番号が増加するにつれて、波長の短い硬X線を発止する)を発生させることを特徴としている。
具体的には、以下の手段を採用する。
(1)レーザープラズマX線発生装置において、
ターゲット物質にパルスレーザー光を集光照射して生じたプラズマを利用してX線を発生させるレーザープラズマX線発生装置において、パルスレーザーとして遠赤外レーザーを設け、前記遠赤外レーザーに対して所定の位置に物質を設け、前記赤外線レーザーが発生するレーザー光と前記物質との相互作用における共鳴吸収現象により高速電子を発生させ、この発生した高速電子が原子内の内核電子を弾き飛ばし、生じた空孔へ同じ原子内の他の電子を遷移させそのときのエネルギー差を持った光子を放出させて特性X線を発生させることを特徴とする。
(2)上記(1)記載のレーザープラズマX線発生装置において、前記物質を低原子番号物質および高原子番号物質とし、前記低原子番号物質にレーザー光を集光照射して高速電子を発生させ、この発生した高速電子を前記高原子番号物質に衝突させて特定波長のX線を発生させることを特徴とする。
(3)上記(1)又は(2)記載のレーザープラズマX線発生装置において、遠赤外レーザー光を発生させる手段として炭酸ガスレーザー装置を用いることを特徴とする。
Therefore, in the present invention, low atomic number substances such as polyethylene and polystyrene (substances with a primitive number below F (fluorine) in the periodic table of elements, mainly H (hydrogen), C (carbon), N (nitrogen), O High oxygen number materials (in the periodic table of elements) that efficiently generate high-speed electrons by irradiating laser light onto (oxygen) and other materials that do not contain high atomic number materials) , By collision with a substance having an atomic number of Ti (titanium) or higher, mainly Ti (titanium), Cu (copper), Au (gold), W (tungsten), Pb (lead), etc. It is characterized by generating hard X-rays having a specific wavelength (stopping hard X-rays having a short wavelength as the atomic number increases).
Specifically, the following means are adopted.
(1) In a laser plasma X-ray generator,
In a laser plasma X-ray generator that generates X-rays using plasma generated by condensing and irradiating a target material with pulsed laser light, a far-infrared laser is provided as a pulsed laser, A substance is provided at a predetermined position, and fast electrons are generated by a resonance absorption phenomenon in the interaction between the laser beam generated by the infrared laser and the substance, and the generated fast electrons blow off the inner core electrons in the atom, and are generated. It is characterized in that another electron in the same atom is transferred to the vacancy and a photon having an energy difference at that time is emitted to generate characteristic X-rays.
(2) In the laser plasma X-ray generator described in (1) above, the substance is a low atomic number substance and a high atomic number substance, and laser light is focused on the low atomic number substance to generate fast electrons. The generated high-speed electrons collide with the high atomic number substance to generate X-rays having a specific wavelength.
(3) In the laser plasma X-ray generator described in (1) or (2) above, a carbon dioxide laser device is used as means for generating far-infrared laser light.
本発明によれば、大型かつ複雑な超高強度レーザーを用いずとも、すでに広く産業用として普及している炭酸ガスレーザーを用いて、これまで汎用的に用いられてきたX線管と同じ波長のX線を、レーザープラズマX線源の特徴である短パルス高輝度点光源として実現できるという利点がある。 According to the present invention, the same wavelength as that of an X-ray tube that has been widely used so far, using a carbon dioxide laser that has already been widely used for industrial purposes, without using a large and complicated ultra-high intensity laser. This X-ray can be realized as a short-pulse high-intensity point light source that is a feature of a laser plasma X-ray source.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明装置の1実施例の概略構成図である。1は炭酸ガスレーザーなどの遠赤外パルスレーザー装置であって、波長10μm程度の遠赤外バルスレーザー光Aを発生する。このレーザー光Aはレンズ2によってポリエチレンなどの低原子番号物質でできたターゲット3上に集光照射される。レンズ2にはレーザー波長に適した塩化ナトリウム等の材質を用いるが、あるいはレンズの代わりに金メッキ凹面鏡など異なった光学的手段を用いてターゲット3上にレーザー光Aを集光する構成とすることも可能である。ターゲット3はレーザー光の集光点に置かれるが、レーザー光に対して垂直ではなく、レーザー光が斜めに入射するように配置する。これはレーザー光によって発生するプラズマの密度勾配が一般にターゲット面に対して垂直となるのに対して、レーザー光がこの密度勾配に対して斜めに入射した場合にのみ共鳴吸収現象が発生するという理由による。ターゲットの設置角度には密度勾配の傾きとレーザー波長からくる最適値が存在するが、密度勾配はレーザー高強度、パルス幅、ターゲット材料等によって変化するので、実験的にあるいはプラズマについての数値シミュレーション等の手段によりもっとも効率的に高速電子を発生する角度を設定する。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of one embodiment of the apparatus of the present invention.
共鳴吸収によって発生した高速電子Bはターゲット3のごく近傍に配置された銅などの高原子番号物質からなる第2のターゲット4に衝突し、ターゲット4を構成する原子の内核電子を弾き飛ばす。これによって生じた空孔へ同じ原子内の他の電子が遷移しそのときのエネルギー差を持った光子が放出されることによって特性X線Cを発生する。高速電子はある程度の指向性を有するが、長距離を伝播すると発散して得られるX線の輝度が低下するため、ターゲット3とターゲット4は近接して配置することが望ましい。 The fast electrons B generated by the resonance absorption collide with the second target 4 made of a high atomic number material such as copper, which is disposed in the very vicinity of the target 3, and blow off the inner core electrons of the atoms constituting the target 4. As a result, other electrons in the same atom transition to the vacancies generated, and photons having an energy difference at that time are emitted, thereby generating characteristic X-rays C. High-speed electrons have a certain degree of directivity. However, since the luminance of X-rays obtained by divergence decreases when propagating over a long distance, it is desirable that the target 3 and the target 4 be arranged close to each other.
図1には明示していないが、大気の影響を避けるために必要に応じてターゲットを真空中あるいは低気圧ガス雰囲気中に配置することは、特許文献1から12など従来のレーザープラズマX線発生装置で行なわれているのと同様である。またパルスレーザーをターゲットに繰り返し連続照射するとターゲット3がプラズマ化によって滅損し、ターゲット4上にはターゲット3からの飛散物が堆積するためX線の発生量が次第に低下する。これを避けるためにはターゲットを定期的に交換する必要があるが、そのためにはターゲットを紙面に垂直な方向に長細い構造とし時間とともに移動する、あるいは円盤状、円筒状として回転させる、テープ状またはワイヤー状として巻き取られたものを送りながら供給するなど、従来のレーザープラズマX線発生装置のターゲットと同様の構成とすることができる。
Although not explicitly shown in FIG. 1, it is possible to generate a conventional laser plasma X-ray such as in
図2は本発明の第2の実施例である。実施例1と異なるのは、低原子番号物質からなるターゲット3と高原子番号物質からなるターゲット4を近接して独立に配置するのではなく、高原子番号物質7上にごく薄い低原子番号物質6を付着させた積層構造を持つターゲット5を用いた点である。共鳴吸収による高速電子はターゲットの表面方向だけでなく裏面方向に向かっても発生するが、低原子番号物質6の層の厚さをごく薄くすることにより、発生した高速電子はこの層6を貫通し、高原子番号物質7に到達することができる。高速電子が高原子番号物質と衝突すれば、実施例1と同様の原理により、特性X線Cが発生する。発生したX線は層6を透過しなければならないが、もとより層6の厚さは薄い上に低原子番号物質であるためにX線吸収係数が低く、容易に透過することができる。層6はパルスレーザー光照射によりプラズマ化して消失してしまうため、パルスごとに新しいターゲットを用意する必要があるが、実施例1と異なり、積層構造にさえすればターゲットそのものは1つで済むため、板状、円盤状、円筒状、テープ状、ワイヤー状等の形状に加工して連続供給を行なうことはむしろ容易である。
FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. The difference from Example 1 is that the target 3 made of a low atomic number substance and the target 4 made of a high atomic number substance are not arranged close to each other independently, but rather a very thin low atomic number substance on the high
上記実施例においては、レーザー装置1は炭酸ガスレーザー等としているが、共鳴吸収を起こしやすい長波長のパルスレーザーであればこれに限ることなく、特許文献14記載のパルスレーザー発生装置等、他のレーザー装置であっても良い。
In the above embodiment, the
またターゲットは固体を用いているが、これについても共鳴吸収に必要な密度勾配を発生させることができて、低原子番号物質と高原子番号物質を隣接して配置できるものであればこれに限定されるものではなく、液体、ガスジェット、クラスターなど、レーザープラズマX線発生装置として開示されている他のターゲット供給方式を適用することも可能である。 Also, the target is a solid, but this is limited to this as long as it can generate a density gradient necessary for resonance absorption and can arrange a low atomic number substance and a high atomic number substance adjacent to each other. However, other target supply methods disclosed as laser plasma X-ray generators such as liquids, gas jets, and clusters can also be applied.
これまで広く用いられてきたX線管による特性X線と同じ波長でありながらレーザープラズマX線発生装置の短パルス高輝度点光源の特徴を併せ持つものであり、かつレーザーとしては産業用に広く用いられている炭酸ガスレーザーをパルス動作させて使用できるものであるため、これでX線管では不可能であった高い時間空間分解計測が可能となる。 Although it has the same wavelength as the characteristic X-ray with the X-ray tube that has been widely used so far, it also has the characteristics of a short pulse high-intensity point light source of a laser plasma X-ray generator, and is widely used as an industrial laser Since the carbon dioxide laser that is used can be used in a pulsed manner, this enables high time-space-resolved measurement that was impossible with an X-ray tube.
1 バルスレーザー装置
2 集光レンズ
3 低原子番号物質からなるターゲット
4 高原子番号物質からなるターゲット
5 高原子番号物質状に低原子番号物質を積層したターゲット
6 低原子番号物質層
7 高原子番号物質層
A レーザー光
B 高速電子
C 特性X線
DESCRIPTION OF
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004363589A JP2006172898A (en) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | Laser plasma x-ray generating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004363589A JP2006172898A (en) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | Laser plasma x-ray generating device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006172898A true JP2006172898A (en) | 2006-06-29 |
Family
ID=36673412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004363589A Pending JP2006172898A (en) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | Laser plasma x-ray generating device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006172898A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008071547A (en) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | High-energy particle generating device, non-destructive test device of tube-shaped member, and high-energy particle generating method |
US9366967B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-06-14 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source |
US9516732B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-12-06 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02239556A (en) * | 1989-03-13 | 1990-09-21 | Toshiba Corp | X-ray generating device |
JPH03274500A (en) * | 1990-03-26 | 1991-12-05 | Jeol Ltd | X-ray source |
JPH10260146A (en) * | 1997-03-21 | 1998-09-29 | Agency Of Ind Science & Technol | Photoelectronic spectroscope |
JPH11281596A (en) * | 1999-02-01 | 1999-10-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Method and apparatus for analyzing element |
JP2001155897A (en) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Japan Atom Energy Res Inst | Short pulse hard x-ray generating apparatus |
JP2002014061A (en) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | Apparatus and method for evaluating defect |
JP2002273581A (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Japan Atom Energy Res Inst | Method for working substance by short pulse wavelength variable raman laser |
JP2002323598A (en) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Japan Science & Technology Corp | X-ray condensing method and device by laser induced plasma |
-
2004
- 2004-12-15 JP JP2004363589A patent/JP2006172898A/en active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02239556A (en) * | 1989-03-13 | 1990-09-21 | Toshiba Corp | X-ray generating device |
JPH03274500A (en) * | 1990-03-26 | 1991-12-05 | Jeol Ltd | X-ray source |
JPH10260146A (en) * | 1997-03-21 | 1998-09-29 | Agency Of Ind Science & Technol | Photoelectronic spectroscope |
JPH11281596A (en) * | 1999-02-01 | 1999-10-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Method and apparatus for analyzing element |
JP2001155897A (en) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Japan Atom Energy Res Inst | Short pulse hard x-ray generating apparatus |
JP2002014061A (en) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | Apparatus and method for evaluating defect |
JP2002273581A (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Japan Atom Energy Res Inst | Method for working substance by short pulse wavelength variable raman laser |
JP2002323598A (en) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Japan Science & Technology Corp | X-ray condensing method and device by laser induced plasma |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008071547A (en) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | High-energy particle generating device, non-destructive test device of tube-shaped member, and high-energy particle generating method |
US9366967B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-06-14 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source |
US9516732B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-12-06 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5591824B2 (en) | System and method for generating fast ions | |
US6333966B1 (en) | Laser accelerator femtosecond X-ray source | |
US6188076B1 (en) | Discharge lamp sources apparatus and methods | |
US6339634B1 (en) | Soft x-ray light source device | |
US8009350B2 (en) | Laptop-size high-order harmonic generation apparatus using near field enhancement | |
JPH0461480B2 (en) | ||
US20060233309A1 (en) | Laser x-ray source apparatus and target used therefore | |
JP5676204B2 (en) | Plasma shutter forming apparatus and forming method | |
Sedov et al. | Features of the generation of fast particles from microstructured targets irradiated by high intensity, picosecond laser pulses | |
US5175757A (en) | Apparatus and method to enhance X-ray production in laser produced plasmas | |
US20090016493A1 (en) | Renewable laser target | |
JP2006172898A (en) | Laser plasma x-ray generating device | |
JP2006344731A (en) | Method and device for laser beam circulation | |
Gavrilov et al. | Efficient hard X-ray source using femtosecond plasma at solid targets with a modified surface | |
Higashiguchi et al. | Enhancement of conversion efficiency of extreme ultraviolet radiation from a liquid aqueous solution microjet target by use of dual laser pulses | |
JP2002139758A (en) | Device for shortening light wavelength | |
JPH08236292A (en) | Laser plasma x-ray generation device | |
JP2004301821A (en) | Generator for x-ray and high energy particle, and generation method therefor | |
Key et al. | Progress in fast ignitor research with the NOVA Petawatt Laser Facility | |
EP3821270B1 (en) | Burst-mode chirped pulse amplification method | |
Eftekhari-Zadeh et al. | Nanosecond Living Hot and Dense Plasma and High Energy Particles from Relativistic Laser-Nanowire Interaction | |
Wang et al. | Water-window x-ray emission from laser-produced Au plasma under optimal target thickness and focus conditions | |
DeCiccio et al. | Generation of gamma-rays with low-energy picosecond laser pulses | |
Basov et al. | Mechanisms of neutron generation in a laser plasma | |
Mezi et al. | The ENEA discharge produced plasma EUV source: Description and applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100402 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100430 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100608 |