JP2006150237A - ファンフィルタユニット及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、フレーム本体から空気が漏出する危険性がなく、シール性を向上し、また、コーキング剤の塗布等を必要とせずにファンフィルタユニットに制御ボックスを設けることができ、更に、吹出風速のばらつきを防止したファンフィルタユニット及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のファンフィルタユニットは、ジグザグ状に折り畳まれたろ材に間隔保持材を介して折山間を所定間隔に保持してなるフィルタパックを、フレーム本体の気流の流出側に収容したフィルタ部を設けるとともに、前記フレーム本体の気流の流入側にファン部を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フレーム本体の流出側の四周端部に折返片を設け、前記ろ材のジグザグ状の端部と接触する前記フレーム本体の内面に内方突出片を設け、前記折返片と内方突出片で前記フィルタパックを挟持したことを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体、製薬、食品、病院等の製造ラインのように環境のクリーン化が必要な場所に用いられるファンフィルタユニット及びその製造方法に関する。

従来、ファンフィルタユニットは、例えば、特許文献１に記載されているように、フィルタユニットとファンユニットが別々に作製され、前記フィルタユニット及びファンユニットをボルト等で一体化してファンフィルタユニットを作製することが一般的であった。

ところが、フィルタユニットとファンユニットを別々に作製し、一体化してファンフィルタユニットを作製すると、ファンフィルタユニット内に流入した空気が、前記フィルタユニットと前記ファンユニットの接合部から外部に漏れ出てしまう危険があり、接合部にコーキング剤を塗布したり、ガスケットを介して接合した場合であっても、空気の漏出に対する信頼性が充分ではなかった。
このような空気の漏出の危険性を回避するため、フレーム本体の流出側にフィルタ部を形成し、フレーム本体の流入側にファン部を形成したファンフィルタユニットが特許文献２に記載されている。

ところが、前記特許文献２に記載されているファンフィルタユニットは、フレーム本体にフィルタ部を形成する際に、フィルタの位置決めが確実にされておらず、フィルタとフレーム本体とのシール性が充分ではなく、空気の漏出に対する信頼性がなかった。この信頼性を確保するため、例えば、特許文献３には、図７に示すように、一方側に鍔面で囲まれる開口部２５を形成するとともに、それに相対向する他方側に縮径して開口するスカート部２５ａを突出形成したフレーム本体２６を用い、フィルタパック２７を前記フレーム本体２６の前記縮径した段付面に当接させて位置決めし、前記フィルタパック２７と前記フレーム本体２６とが接触する部位にシール剤２８を充填して前記フィルタパック２７を固定したファンフィルタユニットが記載されている。

実用新案登録第２５９９７５０号公報 実公平７−３３８５７号公報 特許第３１３０１０２号公報

しかしながら、前記特許文献３に記載のファンフィルタユニットは、前記フレーム本体２６の前記縮径した段付面に前記フィルタパック２７を当接させて位置決めがされているため、シール剤２８の充填作業時にフィルタパック２７が段付面の反対方向に位置ずれした場合、前記フィルタパック２７と前記フレーム本体２６とのシール性が低下し、やはり空気の漏出に対する信頼性が充分ではないという問題があった。また、フィルタパック２７とフレーム本体２６のシール性を確保するために、前記フィルタパック２７とフレーム本体２６とが接触する部位のみならず、フレーム本体２６の内面の略全面にシール剤２８を充填した場合は、シール剤２８が多量に必要になるという問題があった。また、前記ファンフィルタユニットにあっては、ファン２９を設けたファンプレートの流入側の全面にプレフィルタ３１が積載されるようにプレフィルタ取付枠３０を設け、ファンプレートとプレフィルタ取付枠３０とを積重してフレーム本体２６に固定しているため、ファン２９の制御機構を収納した制御ボックスを設置するスペースがなく、やむなく制御ボックスをフレーム本体２６の側面等に取り付けなければならなかった。この場合、取り付け位置によっては、フレーム本体内から空気が漏出しないように制御ボックスを取り付けた後にコーキング剤等を塗布しなければならず、製造工程が増えるという問題があった。また、フレーム本体に制御ボックスを取り付けられない場合は、オプションとして別な場所に制御ボックスを取り付けなければならないという問題があった。また、ファンフィルタユニットに設けたファンの種類によっては、ファンからフレーム本体内に吹き出された空気がフレーム本体にぶつかって乱流となり、フィルタから吹き出される空気の吹出風速がばらつくという問題があった。
そこで、本発明は、フレーム本体から空気が漏出する危険性がなく、シール性を向上し、また、コーキング剤の塗布等を必要とせずにファンフィルタユニットに制御ボックスを設けることができ、更に、吹出風速のばらつきを防止したファンフィルタユニット及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明のファンフィルタユニットは、前記目的を達成するべく、請求項１記載の通り、ジグザグ状に折り畳まれたろ材に間隔保持材を介して折山間を所定間隔に保持してなるフィルタパックを、フレーム本体の気流の流出側に収容したフィルタ部を設けるとともに、前記フレーム本体の気流の流入側にファン部を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フレーム本体の流出側の四周端部に折返片を設け、前記ろ材のジグザグ状の端部と接触する前記フレーム本体の内面に内方突出片を設け、前記折返片と内方突出片で前記フィルタパックを挟持したことを特徴とする。
また、請求項２記載のファンフィルタユニットは、請求項１記載のファンフィルタユニットにおいて、前記フレーム本体の折返片と前記フィルタパックとの間に、前記フィルタパックの下流側の全面を覆う多孔板を設けたことを特徴とする。
また、請求項３記載のファンフィルタユニットは、請求項１又は２記載のファンフィルタユニットにおいて、前記ファン部が、ファンを設けたファン取付板を前記フレーム本体の流入側に固定したものであって、前記ファン取付板に制御部を収容した制御ボックスを設けたことを特徴とする。
また、請求項４記載のファンフィルタユニットは、請求項１乃至３のいずれかに記載のファンフィルタユニットにおいて、前記ファンが軸流ファンであることを特徴とする。
本発明のファンフィルタユニットの製造方法は、前記目的を達成するべく、請求項５記載の通り、ジグザグ状に折り畳まれたろ材に間隔保持材を介して折山間を所定間隔に保持してなるフィルタパックを、該フィルタパックを所定位置に支持する支持台上に載置し、フレーム本体を構成する四枚のフレーム板で前記フィルタパック及び支持台の周りを囲むとともに、前記フレーム板の端部に設けた折返片と、前記ろ材のジグザグ状の端部と接触する二枚のフレーム板の内面に設けた内方突出片とで前記フィルタパックを挟持し、四枚のフレーム板とフィルタパックを仮組みして、フレーム本体を形成し、前記支持台を取り外した後、一方の前記内方突出片を設けたフレーム板を下面にして前記フレーム本体を起立させ、前記下面としたフレーム板と他のフレーム板の仮組みを外して、前記下面としたフレーム板の折返片と内方突出片との間にシール剤を充填し、前記フィルタパックを前記下面にしたフレーム板に固定した後、他方の前記内方突出片を設けたフレーム板を下面にして前記フレーム本体を起立させ、前記下面としたフレーム板と他のフレーム板との仮組みを外して、前記下面としたフレーム板の折返片と内方突出片との間にシール剤を充填し、前記フィルタパックを前記下面にフレーム板に固定した後、前記フレーム本体を本組みすることを特徴とする。
また、請求項６記載のファンフィルタユニットの製造方法は、請求項５記載のファンフィルタユニットの製造方法において、前記フィルタパック上に前記フィルタパックの上面を覆う多孔板を載置し、前記フィルタパックとともに、前記多孔板を前記フレーム本体の折返片と内方突出片とで挟持して固定することを特徴とする。

本発明の請求項１記載のファンフィルタユニットによれば、フレーム本体の流出側の端部に設けた折返片と、フレーム本体の内面に設けた内方突出片でフィルタパックを挟持するため、フィルタパックの正確な位置決めすることができる。また、前記フィルタパックを構成するろ材のジグザグ状の端部をフレーム本体に固定するためにフレーム本体の内面に充填されるシール剤が、前記折返片と内方突出片によって堰き止められるため、適量のシール剤を用いて前記フィルタパックをフレーム本体に固定することができ、製品重量を低減することができる。
本発明の請求項２記載のファンフィルタユニットによれば、前記フレーム本体に設けた前記折返片と前記内方突出片によって、前記フィルタパックとともに多孔板も挟持してシール剤で固定することができ、前記フィルタパックのみならず多孔板の位置ずれも防止することができる。
本発明の請求項３記載のファンフィルタユニットによれば、制御ボックスをファン取付板に設けることができるため、ファン部の形成とともに制御ボックスを取り付けることができる。また、フレーム本体の側面等に制御ボックスを取り付けた場合のように、空気の漏出を防止するために、コーキング剤等を塗布する必要がなく、製造工程を少なくすることができる。
本発明の請求項４記載のファンフィルタユニットによれば、ファンとして軸流ファンを設けたため、流入側からファンフィルタユニット内に吸い込まれた空気が、軸流ファンの軸方向に沿って流れ、下流側のフィルタ部から吹き出されるため、吹出風速のばらつきを防止することができる。例えば、軸流ファンの代わり、シロッコファンを設けた場合は、シロッコファンから吹き出された空気が周囲の側壁に一方向からぶつかって乱流化した後、下流側のフィルタ部から吹き出されるため、吹出風速がばらつき易い。
本発明の請求項５記載のファンフィルタユニットの製造方法によれば、支持台上にフィルタパックを載置し、フレーム板に設けた内方突出片と折返片とでフィルタパックを挟持してフレーム本体を仮組みするため、仮組み時にフィルタパックを破損することなく、フレーム本体に対してフィルタパックの位置決めが確実になされ、位置ずれによりシール不良を生じることなく、ファンフィルタユニットを製造することができる。また、本発明のファンフィルタユニットの製造方法によれば、空気の漏出を防止するために、接合部にコーキング剤やガスケット等を設ける必要がないため、製造工程を少なくしてファンフィルタユニットを製造することができる。
また、本発明の請求項６記載のファンフィルタユニットの製造方法によれば、支持台上に載置したフィルタパック上にフィルタパックの上面を覆う多孔板を載置し、フレーム板の内方突出片と折返片とでフィルタパックとともに多孔板を挟持してフレーム本体を仮組みするため、前記フィルタパックの自重により前記多孔板が変形・破損することなく、ファンフィルタユニットを製造することができる。

本発明のファンフィルタユニットは、フレーム本体の気流の流出側にフィルタ部、前記フレーム本体の気流の流入側にファン部を設け、前記フレーム本体の流出側の四周端部に設けた折返片と、フィルタパックを構成するろ材のジグザグ状の端部と接触するフレーム本体の内面に設けた内方突出片とで、前記フィルタパックを挟持して、前記折返片と内方突出片との間にシール剤を充填し、前記ろ材のジグザグ状の端部をフレーム本体に固定したものである。
前記フィルタパックは、ガラス繊維製の不織布、合成繊維製の不織布、ＰＴＦＥ製膜等のろ材をジグザグ状に折り畳み、間隔保持材で前記ろ材の折山間を所定間隔に保持したものである。前記間隔保持材としては、アルミニウム、ステンレス等の金属若しくはポリエステル等の樹脂からなるセパレータ又はホットメルト樹脂等からなるリボン材等を使用することができる。
微粉塵を効率よく除去する目的で用いる場合は、前記ろ材として、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、超ＵＬＰＡフィルタ等の粉塵除去フィルタ用ろ材を使用するとよい。また、ガス状物の除去する目的で用いる場合は、前記ろ材として、活性炭を担持させたろ材、活性炭素繊維からなるろ材、イオン交換樹脂若しくはイオン交換繊維からなるろ材等のガス除去フィルタ用ろ材を使用するとよい。

前記フレーム本体は、前記フィルタパックの周りを囲む四枚のフレーム板から構成され、前記フレーム板としては、アルミニウム、ステンレス等の金属製若しくはＰＥＴ、ＡＢＳ、ＰＰ等の樹脂製のフレーム板を使用をすることができる。アルミニウムの中空押出板をフレーム板として用いた場合は、耐久性及び耐強度性があり、軽量で、かつ、ボルト挿入溝、折返片、内方突出片等を自在に形成できるため好ましい。尚、前記中空押出板を用いた場合は、中空内に塵埃等が堆積しないように目止め材としてコーナーカバーを設けることが好ましい。コーナーカバーとしては、取扱易い金属被覆樹脂製のテープを用いることが好ましい。

前記シール剤は、フィルタを固定する際に一般に用いられているポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂若しくはシリコーン樹脂からなるシール剤を用いることができる。フィルタパックを構成するジグザグ状のろ材の端部をフレーム本体の内面に気密に固定させるため、流動性がよく、広い面積に塗布可能となるウレタン樹脂からなるシール剤を用いることが好ましい。尚、直線状のろ材端部は、接着剤を用いてフレーム本体に固定されるが、前記接着剤としては、クロロプレン樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂等を用いることができる。

前記フィルタパックと前記フレーム本体の折返片との間に前記フィルタパックの下流側の全面を覆う多孔板を設けた場合は、前記多孔板がフィルタパックを保護してフィルタパックの変形が防止し、ろ材を構成する繊維の飛散を防止する。また、前記多孔板によって、フィルタパックから流出する気流が整流化される。
前記多孔板としては、金属製のラス網、金属製又は樹脂製のパンチング板等を使用することができる。厚さ０．５ｍｍ以上、開口率３０〜８０％のラス網は、加工し易いため、前記ラス網を用いることが好ましい。

本発明のファンフィルタユニットに設けるファン部は、ファンとファン用プレフィルタとを一体的に組み付けられるファン取付板をフレーム本体に固定したものである。前記ファン取付板には、制御部を収容した制御ボックスを設けている。
前記ファンは、シロッコファン、斜流ファン、軸流ファン等を使用することできる。特に、ファンフィルタユニット内に流入させた気流の乱流を防止するため、空気を軸流方向に吸い込み、吹き出す、軸流ファンを用いることが好ましい。
また、前記ファン取付板には、ファンに接続端子を接続するための端子台を有する端子台取付ベースが設けられるが、前記ファン取付板の対称な位置に２つの軸流ファンを設ける場合は、実用新案登録第２５９９７５０号公報に記載されているように、前記端子台取付ベースと同じ形状、大きさのバランスプレートを、前記制御端子台取付ベースと対象な位置に設けることが好ましい。このように、バランスプレートが設けられていると、一方のファンから吹き出された気流が端子台取付ベースにぶつかり、これと対称な位置で他方のファンから吹き出された気流がバランスプレートにぶつかるため、対称位置で気流が同様に流れ、結果としてフィルタから吹き出される風速分布が均一となる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は、フレーム本体１を構成する四枚のフレーム板２，３，４，５と、支持台である治具６上に載置したフィルタパック７と、前記フィルタパック７の気流の流出側の全面を覆う多孔板であるラス網８を示す斜視図である。また、図２は、仮組み後のろ材のジグザグ状の端部と接触するフレーム板２、フィルタパック７、ろ材６及びラス網８を示す要部の断面図、図３は、仮組み後のろ材の直線状の端部と接触するフレーム板４、フィルタパック７、ろ材６及びラス網８を示す要部の断面図である。図１乃至図３に示すように、フィルタパック７は、ジグザグ状に折り畳まれたガラス繊維不織布製ろ材９と、前記ろ材９の折山間を所定間隔に保持する間隔保持材であるホットメルト樹脂製リボン材１０とで構成されている。前記フィルタパック７は、縦５７０ｍｍ×横５７０ｍｍ×高さ５８ｍｍのものを用いている。前記フィルタパック７を所定位置に設置する治具６は、前記フィルタパック７と略同一形状、略同一大きさの木製のものを用いている。また、前記ラス網８は、ステンレス製のものを用いている。

図２に示すように、前記フィルタパック７を構成するジグザグ状のろ材９の端部と接触するフレーム板２の流出側の端部には、フレーム本体１を構成した場合に開口面の内方に向けて突出する折返片２ａが形成され、フレーム板２の内面には、フィルタパック７を挟持する位置に内方突出片２ｂが形成されている。前記フレーム板２に対向する位置に設けられる他の一枚のフレーム板３にも、流出側の端部に折返片３ａが形成され、フレーム板３の内面に内方突出片３ｂが形成されている。また、図３に示すように、フィルタパック７を構成するろ材９の直線状の端部と接触する一枚のフレーム板４には、フレーム板４の流出側となる端部に、折返片の先端部に流入側方向に突出する突起部を設けた断面Ｌ字状の折返片４ａが形成されている。前記フレーム板４に対向する位置に設けられるフレーム板５にも、フレーム板５の流出側となる端部に、折返片の先端部に流入側方向に突出する突起部を設けた断面Ｌ字状の折返片５ａが形成されている。前記フレーム板２，３，４，５は、アルミニウム中空押出製のものを用いている。

フレーム本体１とフィルタパック７とを組み付ける際には、治具６上にフィルタパック７を載置し、更にフィルタパック７の上にフィルタパック７の上面を覆うラス網８を載置する。そして、積重された治具６、フィルタパック７及びラス網８の周りを四枚のフレーム板２，３，４，５で囲み、フィルタパック７を構成するろ材９のジグザグ状の端部と接触させる一対のフレーム板２，３の内方突出片２ｂ，３ｂを、治具６とフィルタパック７の間に挿入し、折返片２ａと内方突出片２ｂ及び折返片３ａと内包突出片３ｂでフィルタパック７及びラス網８を挟持した状態で四枚のフレーム板２，３，４，５をビニール製テープで仮止めし、フレーム本体１を仮組みする。

次に、図４に示すように、仮組みしたフレーム本体１を反転させて治具６を取り外す。
その後、フィルタパック７をフレーム板２，３に仮組みしたまま、フィルタパック７を構成するろ材９の直線状の端部と接触する一対のフレーム板４，５をクロロプレンゴム製の接着剤でフィルタパック７と接着させ、四枚のフレーム板２，３，４，５を再び仮組みする。フレーム板４，５の折返片４ａ，５ａは、ろ材９の端部とフレーム板４，５とを接着した部分に直接気流が当たらないように風よけの役割を果たし、通過する気流の風圧によって、ろ材９の端部とフレーム板４，５との接着部分が剥がれないように防止している。また、フレーム板４，５の折返片４ａ，５ａは、気流の流入側に突出した突起部でラス網８をフィルタパック７方向に押し付けて、フィルタパック７とフレーム本体１の四周に設けられた折返片との間でラス網８が動かないようにしている。

次に、図５に示すように、内方突出片２ａ，３ａを設けた一対のフレーム板２，３のうち、一方のフレーム板２を下面にしてフレーム本体１を起立させ、前記フレーム板２と仮組みされたフレーム板４，５を仮止めしていたビニール製テープを外し、フレーム板２と対向するフレーム板３とフレーム板４，５とを仮組みしたまま、フレーム板３，４，５をフィルタパック７とともに斜め後方に傾け、下面としたフレーム板２とフィルタパック７の間に隙間を形成する。この隙間から、折返片２ａと内方突出片２ｂの間にウレタン樹脂製のシール剤を充填し、フィルタパック７を元の位置に戻してフレーム板２の内面に当接させ、フレーム板２の折返片２ａと内方突出片２ｂの間でフィルタパック７を挟持した状態でフィルタパック７をフレーム板２に固定する。
次に、内方突出片３ａを設けたフレーム板３を下面にしてフレーム本体１を起立させ、前記フレーム板３と仮組みされたフレーム板４，５を仮止めしていたビニール製テープを外し、フレーム板３に対向するフレーム板２とフレーム板４，５をフィルタパック７とともに斜め後方に傾け、下面としたフレーム板３とフィルタパック７との間に隙間を形成する。この隙間から、折返片３ａと内方突出片３ｂの間にウレタン樹脂製のシール剤を充填し、フィルタパック７を元の位置に戻して下フレーム板３の内面に当接させ、フレーム板３の折返片３ａと内方突出片３ｂとの間でフィルタパック７を挟持した状態でフィルタパック７をフレーム板３に固定する。尚、下面にしたフレーム板以外のフレーム板とフィルタパック７を、斜め後方に傾けて、下面としたフレーム板にシール剤を充填したが、前記下面としたフレーム板以外のフレーム板とフィルタパック７を、上方に持ち上げて、シール剤を充填してもよい。また、フレーム板２，３のそれぞれには、気流の流入側から流出側に亘る両側辺に、図示を省略した一対のストッパーを設け、充填されたシール剤を外部に漏れ出さないようにしている。
フレーム板２，３の内方突出片２ｂ，３ｂは、折返片２ａ，３ａとともに、フィルタパック７を挟持して位置決めする他に、充填したシール剤を堰き止める役割を果たす。

次に、図４に示すように、四枚のフレーム板２，３，４，５をステンレス製のボルトで固定し、フレーム本体１を本組みする。本組みしたフレーム本体１に、ステンレス製のファン取付板１１をステンレス製のボルトで固定する。ファン取付板１１の下面には、ファン取付板１１を同形状に区画する整流プレート１８が設けられている。この整流プレート１８を挟んで対称となる位置に、一対のファン用取付開口部１２，１３が形成されている。このファン用取付開口部１２，１３のそれぞれには、前記開口部を挟んで対称となる位置に２つのボルト孔が形成されている。軸流ファン１４には、ファンを収容する枠体に４つのボルト孔が形成されている。また、軸流ファン１４の上流側に設けられるガラス繊維フェルト製のプレフィルタ１６にも、ボルト孔が形成された４つの取付片が備えられている。一方のファン用取付開口部１２に、ファン取付板１１の下面から軸流ファン１４を取り付け、ファン取付板１１の上面からプレフィルタ１６をファン用取付開口部１２に取り付け、この軸流ファン１４及びプレフィルタ１６の両方を共通のステンレス製のボルトでファン取付板１１に固定する。また、他方の、ファン用取付開口部１３にファン取付板１１の下面から軸流ファン１５を取り付け、ファン取付板１１の上面からプレフィルタ１７をファン用取付開口部１３に取り付け、軸流ファン１５及びプレフィルタ１７の両方を共通のステンレス製のボルトでファン取付板１１に固定する。また、ファン取付板１１の下面には、整流プレート１８を挟んで対称となる位置に軸流ファン１４，１５に接続端子を接続するための端子台を有するステンレス製の端子台取付ベース１９とステンレス製のバランスプレート２０が設けられている。
また、ファン取付板１１の上面には、ファンフィルタユニットを制御する制御部を収容した制御ボックス２１を設けている。このように、制御ボックス２１をファン取付板１１に設けた場合は、フレーム本体１の側面等に制御ボックス２１を設ける必要がなく、フレーム本体１内に流入した空気がフレーム本体１の側面から外部に漏出する危険性がない。
前記各部材を取り付けたファン取付板１１をフレーム本体１にボルトによって取り付け、ファンフィルタユニット２２が形成される。尚、アルミニウムの中空押出製のフレーム板２，３の中空部が露出しているフレーム本体１のコーナー部には、アルミニウム蒸着樹脂製のコーナーカバー２３を貼って目止めする。また、前記コーナーカバーの代わりに、フレーム板２，３の中空部に目止め材を詰めてもよい。

組付け前のフレーム本体、治具、フィルタパック及びラス網の分解斜視図 仮組み後のジグザグ状のろ材の端部と接触するフレーム板、治具、フィルタパック及びラス網の要部を示す断面図 仮組み後の直線状のろ材の端部と接触するフレーム板、治具、フィルタパック及びラス網の要部を示す断面図 仮組み後のフレーム本体、フィルタパック、取り外した治具及びファン取付板を示す分解斜視図 シール剤の充填時の状態を示す斜視図 本発明のファンフィルタユニットを示す斜視図 従来のファンフィルタユニットを示す断面図

符号の説明

１ フレーム本体
２，３，４，５ フレーム板
２ａ，３ａ，４ａ，５ａ 折返片
２ｂ，３ｂ 内方突出片
６ 治具
７ フィルタパック
８ ラス網
９ ろ材
１０ リボン材
１１ ファン取付板
１２，１３ ファン用取付開口部
１４，１５ 軸流ファン
１６，１７ プレフィルタ
１８ 整流プレート
１９ 端子台取付ベース
２０ バランスプレート
２１ 制御ボックス
２２ ファンフィルタユニット
２３ コーナーカバー
２５ 開口部
２５ａ スカート部
２６ フレーム本体
２７ フィルタパック
２８ シール剤
２９ ファン
３０ ファンプレート
３１ プレフィルタ

Claims (6)

1. ジグザグ状に折り畳まれたろ材に間隔保持材を介して折山間を所定間隔に保持してなるフィルタパックを、フレーム本体の気流の流出側に収容したフィルタ部を設けるとともに、前記フレーム本体の気流の流入側にファン部を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フレーム本体の流出側の四周端部に折返片を設け、前記ろ材のジグザグ状の端部と接触する前記フレーム本体の内面に内方突出片を設け、前記折返片と内方突出片で前記フィルタパックを挟持したことを特徴とするファンフィルタユニット。
2. 前記フレーム本体の折返片と前記フィルタパックとの間に、前記フィルタパックの下流側の全面を覆う多孔板を設けたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
3. 前記ファン部が、ファンを設けたファン取付板を前記フレーム本体の流入側に固定したものであって、前記ファン取付板に制御部を収容した制御ボックスを設けたことを特徴とする請求項１又は２記載のファンフィルタユニット。
4. 前記ファンが軸流ファンであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のファンフィルタユニット。
5. ジグザグ状に折り畳まれたろ材に間隔保持材を介して折山間を所定間隔に保持してなるフィルタパックを、該フィルタパックを所定位置に支持する支持台上に載置し、フレーム本体を構成する四枚のフレーム板で前記フィルタパック及び支持台の周りを囲むとともに、前記フレーム板の端部に設けた折返片と、前記ろ材のジグザグ状の端部と接触する二枚のフレーム板の内面に設けた内方突出片とで前記フィルタパックを挟持し、四枚のフレーム板とフィルタパックを仮組みして、フレーム本体を形成し、前記支持台を取り外した後、一方の前記内方突出片を設けたフレーム板を下面にして前記フレーム本体を起立させ、前記下面としたフレーム板と他のフレーム板の仮組みを外して、前記下面としたフレーム板の折返片と内方突出片との間にシール剤を充填し、前記フィルタパックを前記下面にしたフレーム板に固定した後、他方の前記内方突出片を設けたフレーム板を下面にして前記フレーム本体を起立させ、前記下面としたフレーム板と他のフレーム板との仮組みを外して、前記下面としたフレーム板の折返片と内方突出片との間にシール剤を充填し、前記フィルタパックを前記下面にフレーム板に固定した後、前記フレーム本体を本組みすることを特徴とするファンフィルタユニットの製造方法。
6. 前記フィルタパック上に前記フィルタパックの上面を覆う多孔板を載置し、前記フィルタパックとともに、前記多孔板を前記フレーム本体の折返片と内方突出片とで挟持して固定することを特徴とする請求項５記載のファンフィルタユニットの製造方法。

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