JP2006127982A - Photomultiplier tube and radiation detection device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photomultiplier tube in which noise mixing into an electric signal taken out from an anode pin is sufficiently prevented, and to provide a radioactive ray detecting device equipped with it. <P>SOLUTION: A stem 35 surrounded by a conductive side tube 7 is made to be as an insulating base material 36, the inside brim part in the vicinity of the anode pin 13 of the base material 36 is made to have a chamfered shape 36d, while a creepage distance Y1 along the base material 36 (insulating body) between the insulating side tube 7 and the triple junction X1 which is a point where the conductive anode pin 13, the insulating base material 36 joined with the anode pin 13, and vacuum intersect with each other is made to be sufficiently long compared with the case in which there is no chamfered shape 15c. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光電効果を用いる光電子増倍管及びこれを用いた放射線検出装置に関する。   The present invention relates to a photomultiplier tube using a photoelectric effect and a radiation detection apparatus using the same.

光電子増倍管として、筒状を成す側管の一側の端部に受光面板を、他側の端部にステムを各々備えて真空密封容器を構成し、受光面板の内側の面に光電面を設けると共に、この光電面に対向して複数段のダイノードを有する電子増倍部及び陽極を積層して配設し、これらの各段のダイノード及び陽極に各々接続した複数のステムピンを密封容器内から外部に導出するようにしてステムに挿着する構成を具備し、受光面板を通して入射した入射光を光電面で電子に変換し、この光電面から放出された電子を、各ステムピンを介して所定の電圧が印加された各ダイノードを有する電子増倍部で順次増倍し、この増倍されて陽極に達した電子を電気信号としてステムピンの一つであるアノードピンを介して取り出す所謂ヘッドオン型の光電子増倍管が知られている。   As a photomultiplier tube, a light-receiving face plate is provided at one end of a cylindrical side tube and a stem is provided at the other end to form a vacuum-sealed container. A photocathode is provided on the inner face of the light-receiving face plate. The electron multiplier having a plurality of stages of dynodes and an anode are stacked opposite to the photocathode, and a plurality of stem pins respectively connected to the dynodes and anodes of each stage are disposed in a sealed container. The incident light incident through the light-receiving face plate is converted into electrons on the photocathode, and the electrons emitted from the photocathode are passed through each stem pin. The so-called head-on type, in which the electrons are sequentially multiplied by an electron multiplier having each dynode to which a voltage of 1 is applied, and the multiplied electrons reaching the anode are taken out through an anode pin which is one of the stem pins as an electrical signal. Photomultiplier tube It is known.

このような光電子増倍管にあっては、部品点数の低減を図るべく、金属製のステムをテーパー状ハーメチックガラスで構成すると共に、側管をガラスで構成した時のノイズの発生を防止すべく、側管を金属製とした光電子増倍管が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平5−290793号公報(図7)
In such a photomultiplier tube, in order to reduce the number of parts, the metal stem is made of tapered hermetic glass, and noise is prevented when the side tube is made of glass. A photomultiplier tube in which the side tube is made of metal is disclosed (for example, see Patent Document 1).
JP-A-5-290793 (FIG. 7)

しかしながら、このような光電子増倍管では、アノードピンから取り出される電気信号に対するノイズ混入の一層の低減が望まれている。   However, in such a photomultiplier tube, it is desired to further reduce noise contamination with respect to the electric signal taken out from the anode pin.

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、アノードピンから取り出される電気信号に対するノイズ混入が十分に防止される光電子増倍管及びこれを備えた放射線検出装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a photomultiplier tube and a radiation detection apparatus including the photomultiplier tube that can sufficiently prevent noise from being mixed into an electric signal taken out from an anode pin. The purpose is to do.

本発明による光電子増倍管は、真空状態とされた密封容器内に設けられ、当該密封容器の一側の端部を構成する受光面板を通して入射した入射光を電子に変換する光電面と、密封容器内に設けられ、光電面から放出された電子を増倍する電子増倍部及び当該電子増倍部により増倍された電子を出力信号として取り出すための陽極と、密封容器の他側の端部を構成するステムと、ステムに挿着されて密封容器内から外部に導出すると共に陽極及び電子増倍部に電気的に接続された複数のステムピンと、を具備した光電子増倍管において、密封容器を構成すると共にステムをその側方から包囲する導電性を有する側管を備え、ステムは、陽極に電気的に接続されたアノードピンを含むステムピンを貫通させて接合する絶縁性のベース材を有し、ベース材におけるアノードピン近傍の内側の縁部が、面取り形状とされていることを特徴としている。   A photomultiplier tube according to the present invention is provided in a sealed container in a vacuum state, and a photocathode that converts incident light that has entered through a light-receiving face plate constituting one end of the sealed container into electrons, An electron multiplier provided inside the container for multiplying electrons emitted from the photocathode, an anode for taking out the electrons multiplied by the electron multiplier as an output signal, and an end on the other side of the sealed container In a photomultiplier tube comprising: a stem that constitutes a portion; and a plurality of stem pins that are inserted into the stem and led out from the inside of the sealed container and electrically connected to the anode and the electron multiplier An insulating base material is provided that includes a conductive side tube that forms a container and surrounds the stem from its side, and the stem includes an anode pin that is electrically connected to the anode and is joined by penetrating the stem pin. Have Inner end of the anode pin vicinity of scan material, is characterized in that there is a chamfered shape.

このような光電子増倍管によれば、導電性の側管に包囲されるステムが絶縁性のベース材とされて、当該ベース材のアノードピン近傍の内側の縁部が、面取り形状とされているため、導電性のアノードピン、アノードピンを接合した絶縁性のベース材、真空が交わるポイントであるトリプルジャンクションと導電性の側管との間のベース材(絶縁体)に沿う沿面距離が、面取り形状が無い場合に比して十分長くされる。その結果、アノードピンから取り出される電気信号に対するノイズ混入が十分に防止されるようになる。   According to such a photomultiplier tube, the stem surrounded by the conductive side tube is an insulating base material, and the inner edge of the base material near the anode pin is chamfered. Therefore, the creeping distance along the base material (insulator) between the conductive anode pin, the insulating base material joined to the anode pin, the triple junction where the vacuum intersects and the conductive side tube, The length is made sufficiently longer than when there is no chamfered shape. As a result, it is possible to sufficiently prevent noise from being mixed into the electrical signal extracted from the anode pin.

ここで、上記作用を同様に奏しつつステムを二層構造とする場合には、具体的には、ステムは、ベース材と、ベース材の内側の面又は外側の面の何れか一方の面に接合されると共に、ベース材に接合されたステムピンを通す押え材と、を備える二層構造とされ、押え材がベース材の内側の面に接合される場合には、当該押え材が絶縁性を有すると共に、面取り形状が、当該押え材におけるアノードピン近傍の内側の縁部に設けられる構成が挙げられる。   Here, in the case where the stem has a two-layer structure while exhibiting the same action as described above, specifically, the stem is attached to the base material and either the inner surface or the outer surface of the base material. And a presser material through which a stem pin that is bonded to the base material is passed, and when the presser material is bonded to the inner surface of the base material, the presser material has an insulating property. In addition, there is a configuration in which the chamfered shape is provided at the inner edge portion in the vicinity of the anode pin in the presser material.

また、上記作用を同様に奏しつつステムを三層以上の構造とする場合には、具体的には、ステムは、ベース材と、ベース材の内側の面及び外側の面の両面に各々接合されると共に、ベース材に接合されたステムピンを通す押え材と、を少なくとも備える三層以上の構造とされ、ベース材より内側の部材でアノードピンを通す部材は、絶縁性を有すると共に、面取り形状が、当該ベース材より内側の部材でアノードピンを通す部材のアノードピン近傍の内側の縁部に設けられる構成が挙げられる。   In addition, when the stem has a structure of three or more layers while exhibiting the above-described action in a similar manner, specifically, the stem is bonded to both the base material and both the inner surface and the outer surface of the base material. In addition, a member having at least three layers including a presser material through which the stem pin joined to the base material is passed, and the member through which the anode pin is passed by the member inside the base material has an insulating property and has a chamfered shape. The structure provided in the edge part inside the anode pin vicinity of the member which lets an anode pin pass by the member inside the said base material is mentioned.

ここで、上記光電子増倍管の受光面板の外側に、放射線を光に変換して放出するシンチレータを設置すれば、上記作用を奏する好適な放射線検出装置が得られる。   Here, if a scintillator that converts the radiation into light and emits it is disposed outside the light receiving face plate of the photomultiplier tube, a suitable radiation detection device that exhibits the above-described action can be obtained.

このような光電子増倍管及び放射線検出装置によれば、アノードピンから取り出される電気信号に対するノイズ混入を十分に防止することが可能となる。   According to such a photomultiplier tube and a radiation detection apparatus, it is possible to sufficiently prevent noise from being mixed into an electrical signal extracted from the anode pin.

以下、図面を参照しながら本発明に係る光電子増倍管及び放射線検出装置の好適な実施形態について説明する。なお、以下の説明における「上」、「下」等の語は図面に示す状態に基づく便宜的なものである。また、各図において同一又は相当の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a photomultiplier tube and a radiation detection apparatus according to the invention will be described with reference to the drawings. In the following description, terms such as “upper” and “lower” are for convenience based on the state shown in the drawings. Moreover, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same or an equivalent part, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

[第1実施形態]
図1及び図2は、本発明に係る光電子増倍管の一実施形態を示す平面図及び底面図であり、図3は図1におけるIII-III線に沿う断面図である。図1〜図3において、光電子増倍管1は、外部から入射した光によって電子を放出し、その電子を増倍させて信号として出力させるための装置として構成されている。
[First Embodiment]
1 and 2 are a plan view and a bottom view showing an embodiment of a photomultiplier tube according to the present invention, and FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 1 to 3, the photomultiplier tube 1 is configured as a device for emitting electrons by light incident from the outside, multiplying the electrons, and outputting them as a signal.

図1〜図3に示すように、光電子増倍管1は略円筒形状をなす金属製の側管2を有している。図3に示すように、この側管2の上側(一側)の開口端にはガラス製の受光面板3が気密に固定され、受光面板3の内側表面には受光面板3を通して入射した光を電子に変換するための光電面4が形成されている。また、側管2の下側(他側)の開口端には、図2及び図3に示すように、円板状のステム5が配置されている。このステム5には略円状の位置に周方向に互いに離間して配置された複数(15本)の導電性のステムピン6が気密に挿着されていると共に、このステム5を側方から包囲するように金属製のリング状側管7が気密に固定されている。そして、図3に示すように、上側の側管2の下端部に形成されたフランジ部2aと下側のリング状側管7の上端部に形成された同径のフランジ部7aとが溶接され、側管2とリング状側管7とが気密に固定されることで、内部が真空状態に保たれた密封容器8が形成されている。   As shown in FIGS. 1 to 3, the photomultiplier tube 1 has a metal side tube 2 having a substantially cylindrical shape. As shown in FIG. 3, a glass light receiving face plate 3 is airtightly fixed to the upper (one side) opening end of the side tube 2, and light incident through the light receiving face plate 3 is incident on the inner surface of the light receiving face plate 3. A photocathode 4 for conversion to electrons is formed. Further, as shown in FIGS. 2 and 3, a disc-shaped stem 5 is disposed at the opening end on the lower side (other side) of the side tube 2. A plurality (15) of conductive stem pins 6 that are spaced apart from each other in the circumferential direction are inserted into the stem 5 in an airtight manner, and the stem 5 is surrounded from the side. Thus, the metal ring-shaped side tube 7 is fixed in an airtight manner. Then, as shown in FIG. 3, the flange portion 2a formed at the lower end portion of the upper side tube 2 and the flange portion 7a having the same diameter formed at the upper end portion of the lower ring-shaped side tube 7 are welded. The side tube 2 and the ring-shaped side tube 7 are fixed in an airtight manner to form a sealed container 8 whose inside is kept in a vacuum state.

このように形成された密封容器8内には、光電面4から放出された電子を増倍するための電子増倍部9が収容されている。この電子増倍部9は、電子増倍孔を多数有する薄板状のダイノード10が複数段(本実施形態では10段)に積層されてブロック状に形成され、ステム5の上面に設置されている。各ダイノード10の所定の縁部には、図1及び図3に示すように、外側に突出するダイノード接続片10cがそれぞれ形成され、各ダイノード接続片10cの下面側にはステム5に挿着された所定のステムピン6の先端部分が溶接固定されている。これにより、各ダイノード10と各ステムピン6との電気的な接続がなされている。   In the sealed container 8 formed in this way, an electron multiplier 9 for multiplying electrons emitted from the photocathode 4 is accommodated. The electron multiplier section 9 is formed in a block shape by laminating a thin plate-like dynode 10 having a large number of electron multiplier holes in a plurality of stages (in this embodiment, 10 stages), and is installed on the upper surface of the stem 5. . As shown in FIGS. 1 and 3, dynode connection pieces 10c projecting outward are formed at predetermined edges of each dynode 10, and are inserted into the stem 5 on the lower surface side of each dynode connection piece 10c. The tip portion of the predetermined stem pin 6 is fixed by welding. Thereby, each dynode 10 and each stem pin 6 are electrically connected.

さらに、図3に示すように、密封容器8内において、電子増倍部9と光電面4との間には、光電面4から放出された電子を電子増倍部9に収束させて導くための平板状の収束電極11が設置され、最終段のダイノード10bの一段上の段には、電子増倍部9により増倍され最終段のダイノード10bより放出された電子を出力信号として取り出すための平板状アノード(陽極)12が積層されている。図1に示すように、収束電極11の四隅には外側に突出する突出片11aがそれぞれ形成され、この各突出片11aに所定のステムピン6が溶接固定されることでステムピン6と収束電極11との電気的な接続がなされている。また、アノード12の所定の縁部にも外側に突出するアノード接続片12aが形成され、このアノード接続片12aにステムピン6の一つであるアノードピン13が溶接固定されることでアノードピン13とアノード12との電気的な接続がなされている。そして、図示しない電源回路に接続したステムピン6によって電子増倍部9及びアノード12に所定の電圧が印加されると、光電面4と収束電極11とは同電位に設定され、各ダイノード10は積層順に上段から下段に行くに従って高電位となるように設定される。また、アノード12は最終段のダイノード10bよりも高電位に設定される。本実施形態においては、ステム5の上面に対して、最終段のダイノード10bを直接載置し、固定する構成としているが、例えばステム5の上面に設置した支持部材によって最終段のダイノード10bを支持し、最終段のダイノード10bとステム5の上面との間に空間が介在している構成としても良い。   Further, as shown in FIG. 3, in the sealed container 8, electrons emitted from the photocathode 4 are converged and guided to the electron multiplier 9 between the electron multiplier 9 and the photocathode 4. The flat focusing electrode 11 is installed, and the electron that is multiplied by the electron multiplier 9 and emitted from the final stage dynode 10b is taken out as an output signal in a stage above the final stage dynode 10b. A plate-like anode (anode) 12 is laminated. As shown in FIG. 1, projecting pieces 11a projecting outward are formed at the four corners of the focusing electrode 11, and a predetermined stem pin 6 is welded and fixed to each projecting piece 11a. The electrical connection is made. An anode connecting piece 12a protruding outward is also formed at a predetermined edge of the anode 12, and an anode pin 13 which is one of the stem pins 6 is welded and fixed to the anode connecting piece 12a. Electrical connection with the anode 12 is made. When a predetermined voltage is applied to the electron multiplier 9 and the anode 12 by the stem pin 6 connected to a power supply circuit (not shown), the photocathode 4 and the focusing electrode 11 are set to the same potential, and each dynode 10 is laminated. The potential is set to become higher as the level goes from the upper level to the lower level. The anode 12 is set to a higher potential than the final dynode 10b. In the present embodiment, the final stage dynode 10b is directly mounted on and fixed to the upper surface of the stem 5. For example, the final stage dynode 10b is supported by a support member installed on the upper surface of the stem 5. However, a configuration may be adopted in which a space is interposed between the dynode 10b at the final stage and the upper surface of the stem 5.

以上のように構成された光電子増倍管1では、受光面板3側から光電面4に光(hν)が入射すると、この光電面4において光が光電変換されて密封容器8内に電子(e)が放出される。放出された電子は、収束電極11によって電子増倍部9の一段目のダイノード10aに収束される。そして、電子は電子増倍部9内で順次増倍されていき、最終段のダイノード10bから2次電子群が放出される。この2次電子群はアノード12に導かれ、このアノード12と接続されたアノードピン13を介して外部に出力される。 In the photomultiplier tube 1 configured as described above, when light (hν) is incident on the photocathode 4 from the light receiving face plate 3 side, light is photoelectrically converted on the photocathode 4 and electrons (e - ) Is released. The emitted electrons are converged to the first stage dynode 10 a by the focusing electrode 11. Then, the electrons are sequentially multiplied in the electron multiplying unit 9, and secondary electron groups are emitted from the last dynode 10b. The secondary electron group is guided to the anode 12 and output to the outside through the anode pin 13 connected to the anode 12.

続いて、上述したステム5の構成について更に詳細に説明する。ここで、ステム5において、光電子増倍管1の密封容器8形成時に真空となる側を内側(上側)とする。   Next, the configuration of the stem 5 described above will be described in more detail. Here, in the stem 5, a side that becomes a vacuum when the sealed container 8 of the photomultiplier tube 1 is formed is defined as an inner side (upper side).

図3に示すように、ステム5は、ベース材14と、ベース材14の上側(内側)に接合された上側押え材15と、ベース材14の下側(外側)に接合された下側押え材16とによる3層構造とされ、その側面には上述したリング状側管7が固定されている。本実施形態においては、ステム5を構成するベース材14の側面とリング状側管7の内壁面とを接合することにより、リング状側管7に対してステム5を固定している。ここで、下側押え材16の下側(外側)の面は、リング状側管7の下端よりも下側に突出しているが、リング状側管7に対するステム5の固定位置は上記形態に限られるものではない。   As shown in FIG. 3, the stem 5 includes a base material 14, an upper presser material 15 joined to the upper side (inner side) of the base material 14, and a lower presser joined to the lower side (outer side) of the base material 14. The ring-shaped side tube 7 is fixed to the side surface of the three-layer structure of the material 16. In the present embodiment, the stem 5 is fixed to the ring-shaped side tube 7 by joining the side surface of the base material 14 constituting the stem 5 and the inner wall surface of the ring-shaped side tube 7. Here, the lower (outer) surface of the lower pressing member 16 protrudes below the lower end of the ring-shaped side tube 7, but the fixing position of the stem 5 with respect to the ring-shaped side tube 7 is in the above form. It is not limited.

ベース材14は、例えばコバールを主成分とし、融点が約780度とされた絶縁性ガラスから構成された円板状の部材であり、下面側からの光が密封容器8内に透過しない程度の黒色とされている。また、図4に示すように、ベース材14にはステムピン6の外径とほぼ同径の開口14aがベース材14の外周部に沿うように複数(15個)形成されている。   The base material 14 is a disk-shaped member made of insulating glass whose main component is, for example, Kovar and has a melting point of about 780 degrees, and does not transmit light from the lower surface side into the sealed container 8. It is black. As shown in FIG. 4, a plurality (15) of openings 14 a having substantially the same diameter as the outer diameter of the stem pin 6 are formed in the base material 14 along the outer periphery of the base material 14.

上側押え材15は、コバールに例えばアルミナ系粉末を添加することにより、例えば融点が約1100度とベース材14より高融点とされた絶縁性ガラスから構成された円板状の部材であり、密封容器8内の発光を効果的に吸収すべく黒色とされている。また、図5に示すように、上側押え材15にはベース材14と同様に配置された複数(15個)の開口15aが形成されている。各開口15aはベース材14に形成された開口14aよりも大径とされ、さらに、開口15aのうちの少なくとも二箇所以上の所定箇所はベース材14に対する位置決め用治具(後述)18の進入を可能とすべく、他の開口15aよりも更に大径の大径開口15bとされている。上側押え材15においては、大径開口15bはアノードピン13が挿通する開口15aを除く3箇所に90度の位相角をもって配置されている。また、上側押え材15は、アノードピン13が挿通する開口15a近傍の縁部が面取り形状15cとされている。   The upper presser material 15 is a disk-shaped member made of insulating glass having a melting point of about 1100 degrees and a higher melting point than the base material 14 by adding, for example, alumina powder to Kovar. It is black to effectively absorb the light emission in the container 8. As shown in FIG. 5, a plurality (15) of openings 15 a arranged in the same manner as the base material 14 are formed in the upper presser material 15. Each opening 15a has a larger diameter than the opening 14a formed in the base member 14, and at least two or more predetermined portions of the opening 15a allow a positioning jig (described later) 18 to enter the base member 14. In order to make it possible, the large-diameter opening 15b has a larger diameter than the other openings 15a. In the upper presser member 15, the large-diameter openings 15 b are arranged with a phase angle of 90 degrees at three positions excluding the opening 15 a through which the anode pin 13 is inserted. Further, the upper pressing member 15 has a chamfered shape 15c at the edge near the opening 15a through which the anode pin 13 is inserted.

下側押え材16は、上側押え材15と同様に、コバールに例えばアルミナ系粉末を添加することにより、融点が約1100度とベース材14より高融点とされた絶縁性ガラスから構成された円板状の部材であり、添加するアルミナ系粉末の組成の違いにより白色を呈すると共に、ベース材14及び上側押え材15よりも高い物理的強度を有している。また、図6に示すように、下側押え材16にも上側押え材15と同様の開口16aが形成され、この開口16aのうちの少なくとも二箇所以上の所定箇所は位置決め用治具18の進入を可能とすべく大径開口16bとされている。下側押え材16においては、大径開口16bはアノードピン13が挿通する開口16aを含む4箇所に90度の位相角をもって配置され、アノードピン13が挿通する大径開口16b以外の三箇所の大径開口16bは上側押え材15の大径開口15bと同軸に配置されている。さらに、下側押え材16の中央部分には円形状のベース材浸出開口16cが形成されている。   Similarly to the upper presser material 15, the lower presser material 16 is a circle made of insulating glass having a melting point of about 1100 degrees and a higher melting point than the base material 14 by adding, for example, alumina powder to Kovar. It is a plate-like member, has a white color due to the difference in the composition of the alumina-based powder to be added, and has higher physical strength than the base material 14 and the upper presser material 15. As shown in FIG. 6, the lower pressing member 16 is also formed with openings 16 a similar to the upper pressing member 15, and at least two predetermined positions of the opening 16 a enter the positioning jig 18. The large-diameter opening 16b is set to enable the above. In the lower presser member 16, the large-diameter opening 16 b is disposed at four positions including the opening 16 a through which the anode pin 13 is inserted with a phase angle of 90 degrees, and three places other than the large-diameter opening 16 b through which the anode pin 13 is inserted. The large diameter opening 16 b is disposed coaxially with the large diameter opening 15 b of the upper presser member 15. Furthermore, a circular base material leaching opening 16 c is formed in the central portion of the lower presser material 16.

そして、図3に示すように、これらのベース材14、上側押え材15、及び下側押え材16は、各開口14a,15a,16a及び各大径開口15b,16bの軸心位置を合わせた状態で重ね合わされ、各開口14a,15a,16a,15b,16bにそれぞれステムピン6を挿通させた状態で、ベース材14の溶融によって融着接合されている。より具体的には、ベース材14の両面に上側押え材15及び下側押え材16が密着して接合されていると共に、各ステムピン6が上側押え材15及び下側押え材16の各開口15a,16a,15b,16bを挿通してステム5の上側(内側)の面及び下側(外側)の面の両面における各ステムピン6の貫通部の全周囲にベース材14を底面とする凹部5aが形成され、各ステムピン6はこの凹部5aの底面においてベース材14に密着して接合されている。   As shown in FIG. 3, the base material 14, the upper presser material 15, and the lower presser material 16 are aligned with the axial positions of the openings 14a, 15a, 16a and the large diameter openings 15b, 16b. The base material 14 is melt-bonded and joined with the stem pins 6 inserted through the openings 14a, 15a, 16a, 15b, and 16b. More specifically, the upper presser material 15 and the lower presser material 16 are tightly bonded to both surfaces of the base material 14, and each stem pin 6 is connected to each opening 15 a of the upper presser material 15 and the lower presser material 16. , 16a, 15b, 16b, and a recess 5a having a base material 14 as a bottom surface around the entire perimeter of each stem pin 6 on both the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 5. Each stem pin 6 is formed in close contact with the base material 14 at the bottom surface of the recess 5a.

続いて、上述のように構成されたステム5の製造例について図7及び図8を参照しながら説明する。   Next, an example of manufacturing the stem 5 configured as described above will be described with reference to FIGS.

ステム5の製造にあたっては、図7(a)及び図7(b)に示すように、ベース材14、上側押え材15、下側押え材16、及び各ステムピン6を位置決めした状態で挟み込んで保持する一対の位置決め用治具18を用いる。   In manufacturing the stem 5, as shown in FIGS. 7A and 7B, the base material 14, the upper presser material 15, the lower presser material 16, and the stem pins 6 are sandwiched and held in a positioned state. A pair of positioning jigs 18 are used.

この位置決め用治具18は、例えば1100度以上の融点を有する耐熱性の高いカーボンからなるブロック状の部材であり、その一面側にはステムピン6を挿入させて支持する挿入孔18aが各ステムピン6の配置に対応させて形成されている。また、各挿入孔18aのうち、上側押え材15の大径開口15b及び下側押え材16の大径開口16bに対応する挿入孔18aの開口縁部には、大径開口15b,16b内に進入してベース材14に対して上側押え材15及び下側押え材16を位置決めし、ベース材14を通る各ステムピン6と各開口15a,16aとの同軸度を確保するための略円筒状の突起部18bが形成されている。   The positioning jig 18 is a block-shaped member made of high heat-resistant carbon having a melting point of, for example, 1100 degrees or more, and an insertion hole 18a for inserting and supporting the stem pin 6 is provided on one surface side of each stem pin 6. It is formed corresponding to the arrangement of. Further, in each insertion hole 18a, the opening edge portion of the insertion hole 18a corresponding to the large diameter opening 15b of the upper presser member 15 and the large diameter opening 16b of the lower presser member 16 is in the large diameter openings 15b and 16b. The upper presser material 15 and the lower presser material 16 are positioned with respect to the base material 14 so that the stem pins 6 passing through the base material 14 and the respective openings 15a and 16a are coaxial with each other. A protrusion 18b is formed.

この位置決め用治具18を用いてステム5のセットを行う場合、まず、突起部18bを上面に向けた状態で位置決め用治具18の一方(図示下側)を作業面(図示しない)に載置し、位置決め用治具18の挿入孔18aにそれぞれステムピン6を差し込んで固定する。次に、位置決め用治具18に固定された各ステムピン6を開口16aに通しつつ、位置決め用治具18の突起部18bに大径開口16bを進入させて、位置決め用治具18の上に下側押え材16を載置する。さらに、下側押え材16の各開口16a及び大径開口16bに対して各開口14a,15a及び各大径開口15bの軸心位置を大まかに合わせながら、各開口14a,15a及び大径開口15bにステムピン6を通して下側押え材16の上にベース材14及び上側押え材15をこの順に重ね合わせた後、ベース材14にリング状側管7を嵌め込む。最後に、上側押え材15から突出している各ステムピン6を挿入孔18aに差し込みながら、上側押え材15の大径開口15bに突起部18bを進入させて、上側押え材15の上にもう一方(図示上側)の位置決め用治具18を載置する。これによりステム5のセットが完了する。なお、セットするリング状側管7と各ステムピン6とには、ベース材14との溶着性を高めるべく予め表面酸化処理を施しておく。   When the stem 5 is set using the positioning jig 18, first, one of the positioning jigs 18 (the lower side in the drawing) is placed on the work surface (not shown) with the protrusion 18 b facing the upper surface. The stem pins 6 are inserted into the insertion holes 18a of the positioning jig 18 and fixed. Next, while passing each stem pin 6 fixed to the positioning jig 18 through the opening 16 a, the large-diameter opening 16 b is inserted into the protrusion 18 b of the positioning jig 18, and the lower part is placed on the positioning jig 18. The side presser material 16 is placed. Further, the openings 14a and 15a and the large diameter opening 15b are roughly aligned with the axial positions of the openings 14a and 15a and the large diameter opening 15b with respect to the openings 16a and the large diameter opening 16b of the lower presser member 16, respectively. After the base material 14 and the upper presser material 15 are superposed in this order on the lower presser material 16 through the stem pins 6, the ring-shaped side tube 7 is fitted into the base material 14. Finally, while inserting each stem pin 6 protruding from the upper presser material 15 into the insertion hole 18a, the protrusion 18b is inserted into the large-diameter opening 15b of the upper presser member 15 and the other ( The positioning jig 18 on the upper side in the figure is placed. Thereby, the setting of the stem 5 is completed. The ring-shaped side tube 7 and each stem pin 6 to be set are subjected to surface oxidation treatment in advance in order to improve the weldability with the base material 14.

続いて、セットしたステム5を位置決め用治具18ごと電気炉(図示しない)に投入し、約850度〜900度の温度(ベース材14の融点より高く、上側押え材15及び下側押え材16の融点よりも低い温度)で位置決め用治具18でステム5を挟むように加圧しながら焼結させる。この焼結処理により、図8(a)及び図8(b)に示すように、融点が約780度であるベース材14のみが溶融し、ベース材14と各押え材15,16、ベース材14と各ステムピン6、及びベース材14とリング状側管7とが融着される。このとき、ベース材14は各部品との密着性を高めるため、ボリュームが多めに調整されているが、図8(b)に示すように、位置決め用治具18の突起部18bの端面によって大径開口15b〜16b内でのベース材14の高さ方向の位置決めがなされ、溶融したベース材14の余分なボリュームは下側押え材16のベース材浸出開口16c内に逃がされる。焼結処理が終了した後ステム5を電気炉から取り出し、上下の位置決め用治具18を取り外すとステム5の製造が完了する。   Subsequently, the set stem 5 together with the positioning jig 18 is put into an electric furnace (not shown), and the temperature is higher than the melting point of the base material 14 and is about 850 ° to 900 ° C. The temperature is lower than the melting point of 16), and sintering is performed while pressing the stem 5 with the positioning jig 18. By this sintering process, as shown in FIGS. 8A and 8B, only the base material 14 having a melting point of about 780 degrees is melted, and the base material 14, each presser material 15, 16, and the base material are melted. 14 and each stem pin 6, and the base material 14 and the ring-shaped side tube 7 are fused. At this time, the base material 14 is adjusted to have a large volume in order to improve the adhesion to each component. However, as shown in FIG. 8B, the base material 14 is greatly increased by the end face of the protrusion 18b of the positioning jig 18. The base material 14 is positioned in the height direction in the radial openings 15 b to 16 b, and the excess volume of the molten base material 14 is released into the base material leaching opening 16 c of the lower presser material 16. After the sintering process is completed, the stem 5 is taken out from the electric furnace, and the upper and lower positioning jigs 18 are removed, whereby the manufacture of the stem 5 is completed.

このようなステム5の製造方法によれば、位置決め用治具18の突起部18bを上側押え材15の大径開口15b及び下側押え材16の大径開口16bに進入させることで、ベース材14に対して上側押え材15及び下側押え材16を容易に位置決めできるため、製造工程が簡素化されて製造コストの低減が図られる。また、位置決め用治具18により、各ステムピン6と各開口15a,16aとの同軸度も確保される。そして、このように得られたステム組のステム5の内側(上側)の面に対して積層されたダイノード10、収束電極11、及びアノード12を、ダイノード接続片10a、アノード接続片12a、収束電極11に具備された突出片11aの各々とこれらに対応するステムピン6とを溶接することで固定し、さらに、受光面板3が固定された側管2を真空状態でリング状側管7に対して溶接固定して組み立てることで、図1〜図3に示す所謂ヘッドオン型の光電子増倍管1が得られる。   According to such a manufacturing method of the stem 5, the protrusion 18 b of the positioning jig 18 is caused to enter the large diameter opening 15 b of the upper presser material 15 and the large diameter opening 16 b of the lower presser material 16, thereby Since the upper presser material 15 and the lower presser material 16 can be easily positioned with respect to 14, the manufacturing process is simplified and the manufacturing cost is reduced. The positioning jig 18 also ensures the coaxiality between each stem pin 6 and each opening 15a, 16a. Then, the dynode 10, the convergence electrode 11, and the anode 12 stacked on the inner (upper) surface of the stem 5 of the stem set obtained in this way are connected to the dynode connection piece 10 a, the anode connection piece 12 a, and the convergence electrode. 11 is fixed by welding each of the protruding pieces 11a provided to 11 and the stem pins 6 corresponding thereto, and the side tube 2 to which the light receiving face plate 3 is fixed is attached to the ring-shaped side tube 7 in a vacuum state. By assembling with fixing by welding, a so-called head-on type photomultiplier tube 1 shown in FIGS. 1 to 3 is obtained.

このような光電子増倍管1の構成によれば、ステム5においてベース材14よりも上側(内側)の部材である上側押え材15が絶縁性を有していると共に、アノードピン13近傍の縁部が面取り形状15c(図5参照)とされている。係る構成の作用について図9及び図10を用いて詳細に説明する。   According to such a configuration of the photomultiplier tube 1, the upper pressing member 15, which is an upper (inner side) member of the stem 5 in the stem 5, has an insulating property, and the edge near the anode pin 13. The portion has a chamfered shape 15c (see FIG. 5). The effect | action of the structure which concerns is demonstrated in detail using FIG.9 and FIG.10.

図9は本実施形態におけるアノードピン13近傍を示す要部拡大断面図であり、図10は比較例におけるアノードピン13近傍を示す要部拡大断面図である。比較例では、ステム5におけるアノードピン13を含むステムピン6の貫通部に凹部5aが形成されておらず、また、アノードピン13近傍に面取り形状15cが形成されていない上側押え材17が用いられている。説明の都合上各部材は破線で示している。   FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of the main part showing the vicinity of the anode pin 13 in the present embodiment, and FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of the main part showing the vicinity of the anode pin 13 in the comparative example. In the comparative example, the recess 5a is not formed in the penetrating portion of the stem 5 including the anode pin 13 in the stem 5, and the upper pressing member 17 in which the chamfered shape 15c is not formed in the vicinity of the anode pin 13 is used. Yes. For convenience of explanation, each member is indicated by a broken line.

図9に示すように、本実施形態では、アノードピン13近傍に関し、導電性のアノードピン13、アノードピン13を含むステムピン6を接合した絶縁性のベース材14、真空が交わるポイントであるトリプルジャンクションX1からリング状側管7までの絶縁体に沿う沿面距離Y1が、図10に示す比較例のようにアノードピン13近傍に面取り形状15cが形成されていない上側押え材17を用いた場合と比べて、上側押え材15の面取り形状15cに沿う距離分だけ長尺化される。このように沿面距離Y1が長尺化されることで、アノードピン13近傍での沿面放電を原因とする絶縁破壊や漏電電流が十分に防止され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止が図られる。   As shown in FIG. 9, in this embodiment, in the vicinity of the anode pin 13, the conductive anode pin 13, the insulating base material 14 joined with the stem pin 6 including the anode pin 13, and the triple junction that is a point where the vacuum intersects. The creepage distance Y1 along the insulator from X1 to the ring-shaped side tube 7 is compared with the case of using the upper pressing member 17 in which the chamfered shape 15c is not formed near the anode pin 13 as in the comparative example shown in FIG. Thus, the upper presser member 15 is elongated by a distance along the chamfered shape 15c. In this way, the creepage distance Y1 is lengthened, so that dielectric breakdown and leakage current caused by creeping discharge in the vicinity of the anode pin 13 are sufficiently prevented, and noise is mixed into the electrical signal extracted from the anode pin 13. Prevention is achieved.

また、本実施形態では、ステム5の上側(内側)の面におけるアノードピン13を含むステムピン6の貫通部の全周囲がベース材14を底面とする凹部5aとされているため、アノードピン13近傍に関する沿面距離Y1は、図10に示す比較例におけるトリプルジャンクションX2から側管2までの絶縁体に沿う沿面距離Y2と比べて凹部5aの高さ分だけさらに長尺化されている。したがって、アノードピン13近傍での沿面放電の発生が一層抑制され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止がより効果的に図られる。また、アノードピン13を除く他のステムピン6に関しても同様に凹部5aの高さ分だけ沿面距離が長尺化されるため、沿面放電の発生が抑制され、光電子増倍管1の電圧耐性が高められる。なお、この凹部5aの形成によりステムピン6,6間での絶縁体に沿う沿面距離も同時に長尺化されるため、光電子増倍管1の電圧耐性は一層高いものとなる。   Further, in the present embodiment, the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 including the anode pin 13 on the upper (inner) surface of the stem 5 is the recess 5a having the base material 14 as the bottom surface. The creepage distance Y1 is further increased by the height of the recess 5a compared to the creepage distance Y2 along the insulator from the triple junction X2 to the side tube 2 in the comparative example shown in FIG. Therefore, the occurrence of creeping discharge in the vicinity of the anode pin 13 is further suppressed, and the mixing of noise with respect to the electric signal taken out from the anode pin 13 is more effectively achieved. Similarly, with respect to the other stem pins 6 except the anode pin 13, the creeping distance is increased by the height of the recess 5a, so that the occurrence of creeping discharge is suppressed and the voltage tolerance of the photomultiplier tube 1 is increased. It is done. Since the creeping distance along the insulator between the stem pins 6 and 6 is increased at the same time by the formation of the recess 5a, the voltage resistance of the photomultiplier tube 1 is further increased.

さらに、本実施形態では、上述した凹部5aが形成されることにより、トリプルジャンクションX1は凹部5aの底面とアノードピン13を含むステムピン6との接合縁部に位置し、この凹部5a内に隠蔽されるが如き状態とされている。このようにトリプルジャンクションX1を凹部5a内に隠蔽することで、図10に示す比較例におけるトリプルジャンクションX2のように上側押え材17の上面に剥き出し状態とされている場合と比べて沿面放電の発生が一層抑制され、光電子増倍管1の電圧耐性がより高められている。   Furthermore, in the present embodiment, the above-described recess 5a is formed, so that the triple junction X1 is located at the joint edge between the bottom surface of the recess 5a and the stem pin 6 including the anode pin 13, and is hidden in the recess 5a. It is in such a state. By concealing the triple junction X1 in the recess 5a in this way, the occurrence of creeping discharge is generated as compared with the case where the upper surface of the upper presser member 17 is exposed as in the triple junction X2 in the comparative example shown in FIG. Is further suppressed, and the voltage tolerance of the photomultiplier tube 1 is further enhanced.

なお、位置決め用治具18により各ステムピン6と上側押え材15の各開口15a及び下側押え材16の各開口16aとの同軸度が確保されるため、ステムピン6が開口15a,16aの内壁面に近接することが防止できるため、トリプルジャンクションX1を凹部5a内に確実に隠蔽することができ、光電子増倍管1の電圧耐性が一層確保される。   In addition, since the coaxiality of each stem pin 6 and each opening 15a of the upper pressing member 15 and each opening 16a of the lower pressing member 16 is ensured by the positioning jig 18, the stem pin 6 has inner walls of the openings 15a and 16a. Therefore, the triple junction X1 can be reliably concealed in the recess 5a, and the voltage resistance of the photomultiplier tube 1 is further ensured.

また、光電子増倍管1では、ステム5が、ベース材14と、ベース材14の上側(内側)に接合された上側押え材15と、ベース材14の下側(外側)に接合された下側押え材16とによる3層構造とされているため、ステム5両面の位置精度、平坦度、水平度が高められる。その結果、光電子増倍管1では、ステム5の上面(内側の面)に対して設置される電子増倍部9と光電面4との間の位置精度や電子増倍部9の着座性が高められるため、光電変換効率といった特性が良好に得られると共に、光電子増倍管1全長の寸法精度、光電子増倍管1を表面実装する際の取付性が高められる。   In the photomultiplier tube 1, the stem 5 is joined to the base material 14, the upper presser material 15 joined to the upper side (inner side) of the base material 14, and the lower side joined to the lower side (outer side) of the base material 14. Since the three-layer structure is formed by the side pressing member 16, the positional accuracy, flatness, and levelness of both surfaces of the stem 5 are increased. As a result, in the photomultiplier tube 1, the positional accuracy between the electron multiplier 9 and the photocathode 4 installed on the upper surface (inner surface) of the stem 5 and the seating property of the electron multiplier 9 are improved. Therefore, characteristics such as photoelectric conversion efficiency can be satisfactorily obtained, and the dimensional accuracy of the entire length of the photomultiplier tube 1 and the mountability when the photomultiplier tube 1 is surface-mounted are improved.

また、下側押え材16にはベース材浸出開口16c(図6参照)が形成されているため、溶融したベース材14の余分なボリュームをベース材浸出開口16c内に良好に逃がすことができる。このため、ベース材14の溶融の際に、上側押え材15の開口15a及び下側押え材16の開口16aを通じてベース材14がステム5の表面にはみ出すことは殆ど無く、ステム5両面の位置精度、平坦度、水平度が確保されている。   In addition, since the base material leaching opening 16c (see FIG. 6) is formed in the lower presser material 16, an excessive volume of the molten base material 14 can be released into the base material leaching opening 16c satisfactorily. For this reason, when the base material 14 is melted, the base material 14 hardly protrudes from the surface of the stem 5 through the opening 15a of the upper pressing material 15 and the opening 16a of the lower pressing material 16, and the positional accuracy of both surfaces of the stem 5 is increased. Flatness and levelness are ensured.

さらに、光電子増倍管1では、上述したようにステム5の両面におけるステムピン6の貫通部の全周囲がベース材14を底面とする凹部5aとされている。これにより、ステムピン6に対するベース材14の接合縁部は、ステム5に形成された凹部5aの底面となり、ベース材14はステムピン6を緩やかな角度(ほぼ直角)で接合すると共に、ステムピン6に曲げが作用しても凹部5aの開放側の周縁部にステムピン6が当接してそれ以上のステムピン6の曲げが阻止されるため、ベース材14とステムピン6との接合部分の両側でクラックが発生することが防止され、密封容器8の気密性及び良好な外観が確保される。   Furthermore, in the photomultiplier tube 1, as described above, the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 on both surfaces of the stem 5 is a recess 5 a having the base material 14 as a bottom surface. As a result, the joining edge of the base material 14 to the stem pin 6 becomes the bottom surface of the recess 5a formed in the stem 5, and the base material 14 joins the stem pin 6 at a gentle angle (almost right angle) and bends to the stem pin 6. The stem pin 6 comes into contact with the peripheral edge portion on the open side of the recess 5a even if the sag acts, and further bending of the stem pin 6 is prevented, so that cracks are generated on both sides of the joint portion between the base material 14 and the stem pin 6. This prevents the airtightness and good appearance of the sealed container 8.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上側押え材15に形成する面取り形状は、アノードピン13近傍を含め、上側押え材15の縁部の全周にわたって形成されていても良い。また、上側押え材15を、その上面側の縁部の全周にわたって面取り形状を有する段付円板形状としても良く、種々の変形を適用することができる。すなわち、図5に示した面取り形状15cのように上側押え材15の端面(上下面)に対して直角面となる面取り形状を形成する場合には、図11に示すように、平面視略V字状の面取り形状15dとしても良く、図12に示すように、直線状の面取り形状に加えてアノードピン13近傍をさらに半円形状に上下方向に刳り貫いた面取り形状15eとしても良い。また、図13に示すように、アノードピン13近傍のみを半円形状に上下方向に刳り貫いた面取り形状15fとしても良い。さらには、図14に示すように、直線状の面取り形状に加えてアノードピン13近傍をさらに矩形状に上下方向に刳り貫いた面取り形状15gとしても良く、図15に示すように、アノードピン13近傍のみを矩形状に上下方向に刳り貫いた面取り形状15hとしても良い。また、図16に示すように、V字状の面取り形状に加えてアノードピン13近傍を直線状とした面取り形状15iとしても良い。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the chamfered shape formed on the upper pressing member 15 may be formed over the entire circumference of the edge of the upper pressing member 15 including the vicinity of the anode pin 13. Further, the upper pressing member 15 may be a stepped disk shape having a chamfered shape over the entire circumference of the edge portion on the upper surface side, and various modifications can be applied. That is, when forming a chamfered shape that is a right angle to the end surface (upper and lower surfaces) of the upper presser member 15 like the chamfered shape 15c shown in FIG. 5, as shown in FIG. A chamfered shape 15d may be used, and as shown in FIG. 12, in addition to a linear chamfered shape, the vicinity of the anode pin 13 may be further chamfered in a semicircular shape up and down. Further, as shown in FIG. 13, only the vicinity of the anode pin 13 may be a chamfered shape 15 f that penetrates in a semicircular shape in the vertical direction. Further, as shown in FIG. 14, in addition to the linear chamfered shape, the vicinity of the anode pin 13 may be further chamfered in a rectangular shape 15g, and as shown in FIG. It is good also as the chamfering shape 15h which penetrated only the vicinity in the rectangular shape up and down. Further, as shown in FIG. 16, in addition to the V-shaped chamfered shape, a chamfered shape 15i in which the vicinity of the anode pin 13 is linear may be used.

また、面取り形状は必ずしも上側押え材15の端面に対して直角面とする必要はなく、図17に示すように、上側押え材15の端面に対して傾斜面とする面取り形状15jとしても良く、図18に示すように、上部のみを傾斜面とする面取り形状15kとしても良く、図19に示すように、下側が大きい階段状の面取り形状15lとしても良い。また、図20に示すように、下部のみを傾斜面とする面取り形状15mとしても良く、図21に示すように、中間部分のみを傾斜面とする面取り形状15nとしても良い。さらに、この面取り形状15m,15nの変形例として、図22及び図23に示すように、上側押え材15の下面側がリング状側管7に接触するように構成した面取り形状15o及び面取り形状15pとしても良い。図11〜図23に示したいずれの変形例によっても、アノードピン13近傍の沿面距離を長尺化することができ、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止が図られる。   Further, the chamfered shape does not necessarily have to be a right-angled surface with respect to the end surface of the upper presser material 15, and as shown in FIG. 17, it may be a chamfered shape 15j that is inclined with respect to the end surface of the upper presser material 15, As shown in FIG. 18, it is good also as the chamfering shape 15k which makes only an upper part an inclined surface, and as shown in FIG. 19, it is good also as a stepped chamfering shape 15l with a large lower side. Moreover, as shown in FIG. 20, it is good also as the chamfering shape 15m which makes only a lower part an inclined surface, and it is good also as a chamfering shape 15n which makes only an intermediate part an inclined surface as shown in FIG. Further, as modified examples of the chamfered shapes 15m and 15n, as shown in FIGS. 22 and 23, as a chamfered shape 15o and a chamfered shape 15p configured such that the lower surface side of the upper presser member 15 contacts the ring-shaped side tube 7. Also good. According to any of the modifications shown in FIGS. 11 to 23, the creeping distance in the vicinity of the anode pin 13 can be increased, and noise can be prevented from being mixed into the electric signal taken out from the anode pin 13.

また、例えば上側押え材15の上面に更に別の層を設けてステム5全体を4層以上とし、この別の層の上面に電子増倍部9を設置するようにしても良く、この別の層にベース材14に接合されたステムピン6を挿通させる開口を備える場合には、この別の層を絶縁体とすると共に、少なくともこの別の層のアノードピン13近傍に上述したような面取り形状を形成する。また、このように別の層にステムピン6を挿通させる開口を備える場合には、その開口のうちの少なくとも二箇所が、ベース材14に対する位置決め用治具18の進入を可能とすべく他の開口より大径とされる構成を採用するのが好ましい。   Further, for example, another layer may be provided on the upper surface of the upper presser material 15 so that the entire stem 5 has four or more layers, and the electron multiplying portion 9 may be installed on the upper surface of this other layer. When the layer is provided with an opening through which the stem pin 6 joined to the base material 14 is inserted, this another layer is used as an insulator, and at least the chamfered shape as described above is formed in the vicinity of the anode pin 13 of this other layer. Form. Further, in the case where the opening for inserting the stem pin 6 is provided in another layer as described above, at least two of the openings are other openings so that the positioning jig 18 can enter the base material 14. It is preferable to adopt a configuration having a larger diameter.

また、上記実施形態では、下側押え材16にのみベース材浸出開口16cを設けているが、このようなベース材浸出開口は押え材の少なくとも一方に設けていれば良く、例えば上側押え材15にのみ設けていても良いし、上側押え材15及び下側押え材16の双方に設けていても良い。   Moreover, in the said embodiment, although the base material leaching opening 16c is provided only in the lower side pressing material 16, such a base material leaching opening should just be provided in at least one of the pressing materials, for example, the upper pressing material 15 It may be provided only on the upper presser material 15 or the lower presser material 16.

さらに、本実施形態の変形例として、図24に示すように、ステム5の中央部分に金属製の排気管19を設けた光電子増倍管20を採用しても良い。この排気管19は、光電子増倍管20の組み立て終了後に密封容器8の内部を真空ポンプ(図示しない)等によって排気して真空状態にするために利用することができる。さらに別の変形例として、図25に示すように、その下端にフランジ部を設けたリング状側管7に、側管2よりも長尺の側管27を嵌め合わせて互いのフランジ部を溶接固定した構成を有する光電子増倍管26を採用しても良い。   Furthermore, as a modification of the present embodiment, as shown in FIG. 24, a photomultiplier tube 20 in which a metal exhaust pipe 19 is provided in the central portion of the stem 5 may be employed. The exhaust pipe 19 can be used to evacuate the inside of the sealed container 8 with a vacuum pump (not shown) or the like after the assembly of the photomultiplier tube 20 is completed. As yet another modification, as shown in FIG. 25, a side tube 27 that is longer than the side tube 2 is fitted into a ring-shaped side tube 7 having a flange portion at its lower end, and the flange portions are welded together. You may employ | adopt the photomultiplier tube 26 which has the fixed structure.

次に、図1〜図3に示した光電子増倍管1を備えた放射線検出装置の例について説明する。図26及び図27に示す例に係る放射線検出装置21では、光電子増倍管1の受光面板3の外側に放射線を光に変換して放出するシンチレータ22が設置され、光電子増倍管1が、処理回路23を下面側に備えた回路基板24上に実装されて構成されている。また、図28及び図29に示す他の例に係る放射線検出装置25では、回路基板24上に処理回路23が設置され、この処理回路23をステムピン6で取り囲むようにして光電子増倍管1が回路基板24上に実装されている。以上のような構成より、上述した作用効果を奏し、特に表面実装する際に好適な放射線検出装置21,25を得ることができる。   Next, an example of a radiation detection apparatus provided with the photomultiplier tube 1 shown in FIGS. 1 to 3 will be described. In the radiation detection apparatus 21 according to the example shown in FIGS. 26 and 27, a scintillator 22 that converts radiation into light and emits it is installed outside the light receiving face plate 3 of the photomultiplier tube 1, and the photomultiplier tube 1 is The processing circuit 23 is mounted on a circuit board 24 provided on the lower surface side. Further, in the radiation detection apparatus 25 according to another example shown in FIG. 28 and FIG. 29, the processing circuit 23 is installed on the circuit board 24, and the photomultiplier tube 1 is formed so as to surround the processing circuit 23 with the stem pins 6. It is mounted on the circuit board 24. With the configuration as described above, the above-described operational effects can be obtained, and radiation detection devices 21 and 25 that are particularly suitable for surface mounting can be obtained.

[第2実施形態]
第2実施形態に係る光電子増倍管28は、図30に示すように、ステム29が、ベース材14と同質の円板状のベース材30と、ベース材30の上側(内側)に接合された上側押え材15とによる2層構造とされている点で、ステム5がベース材14、上側押え材15及び下側押え材16による3層構造とされている第1実施形態に係る光電子増倍管1と異なる。
[Second Embodiment]
As shown in FIG. 30, in the photomultiplier tube 28 according to the second embodiment, a stem 29 is joined to a disk-like base material 30 having the same quality as the base material 14 and the upper side (inside) of the base material 30. The photomultiplier according to the first embodiment in which the stem 5 has a three-layer structure of the base material 14, the upper presser material 15 and the lower presser material 16 in that the upper presser material 15 has a two-layer structure. Different from the double tube 1.

すなわち、光電子増倍管28のステム29には下側押え材16が設けられておらず、ベース材30には、図31に示すように、上半分がステムピン6の外径とほぼ同径で、かつ、図32に示すように、下半分がステムピン6の外径よりも大径とされた開口30aがベース材30の外周部に沿うように複数(15個)形成されている。また、ベース材30の開口30aのうち、アノードピン13が通る開口30aを含む所定の4箇所は、位置決め用治具18の進入を可能とすべく下半分の外径が他の開口30aの下半分の外径よりも大径とされた大径開口30bとされている。さらに、ベース材30の下部中央部分には、ベース材30が溶融により浸出するベース材浸出部としての円形状のベース材浸出凹部30c(図33参照)が形成されている。   That is, the lower pressing member 16 is not provided on the stem 29 of the photomultiplier tube 28, and the upper half of the base member 30 is substantially the same as the outer diameter of the stem pin 6 as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 32, a plurality (15) of openings 30 a having a lower half larger than the outer diameter of the stem pin 6 are formed along the outer peripheral portion of the base material 30. In addition, among the openings 30a of the base member 30, the predetermined four places including the openings 30a through which the anode pins 13 pass have lower half outer diameters below the other openings 30a so that the positioning jig 18 can enter. The large-diameter opening 30b has a larger diameter than the half outer diameter. Furthermore, a circular base material leaching recess 30c (see FIG. 33) is formed in the lower central portion of the base material 30 as a base material leaching portion from which the base material 30 is leached by melting.

そして、図30に示すように、これらのベース材30及び上側押え材15は、各開口30a,15a及び各大径開口30b,15bの軸心位置を合わせた状態で重ね合わされ、各開口30a,15a及び大径開口30b,15bにそれぞれステムピン6を挿通させた状態で、ベース材30の溶融によって融着接合されている。より具体的には、ベース材30の上面に上側押え材15が密着して接合されていると共に、各ステムピン6がベース材30の各開口30aの下半分及び上側押え材15の各開口15aを挿通してステム29の上側(内側)の面及び下側(外側)の面の両面における各ステムピン6の貫通部の全周囲にベース材30を底面とする凹部29aが形成され、各ステムピン6はこの凹部29aの底面においてベース材30に密着して接合されている。   Then, as shown in FIG. 30, the base member 30 and the upper presser member 15 are overlapped in a state where the axial centers of the openings 30a and 15a and the large-diameter openings 30b and 15b are aligned with each other. The base material 30 is fusion-bonded by melting the stem pin 6 with the stem pin 6 inserted through the 15a and the large-diameter openings 30b and 15b. More specifically, the upper presser material 15 is closely bonded to the upper surface of the base material 30, and each stem pin 6 opens the lower half of each opening 30 a of the base material 30 and each opening 15 a of the upper presser material 15. A concave portion 29a having a base material 30 as a bottom surface is formed around the entire through portion of each stem pin 6 on both the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 29. The bottom surface of the recess 29a is in close contact with and bonded to the base material 30.

このようなステム29の製造においても、第1実施形態に係るステム5と同様の方法を用いることができる。具体的には、まず、図33に示すように、突起部18bを上面に向けた状態で位置決め用治具18の一方(図示下側)を作業面(図示しない)に載置し、位置決め用治具18の挿入孔18aにそれぞれステムピン6を差し込んで固定し、次に、位置決め用治具18に固定された各ステムピン6を開口30aに通しつつ、位置決め用治具18の突起部18bに大径開口30bを進入させて、位置決め用治具18の上にベース材30を載置し、さらに、ベース材30の各開口30a及び大径開口30bに対して各開口15a及び各大径開口15bの軸心位置を大まかに合わせながら、各開口15a及び各大径開口15bにステムピン6を通してベース材30の上に上側押え材15を重ね合わせた後、ベース材30にリング状側管7を嵌め込み、最後に、上側押え材15から突出している各ステムピン6を挿入孔18aに差し込みながら、上側押え材15の大径開口15bに突起部18bを進入させて、上側押え材15の上にもう一方(図示上側)の位置決め用治具18を載置する。これによりステム29のセットが完了する。なお、第1実施形態の場合と同様に、セットするリング状側管7と各ステムピン6とには、ベース材30との溶着性を高めるべく予め表面酸化処理を施しておく。   In manufacturing the stem 29 as described above, the same method as that of the stem 5 according to the first embodiment can be used. Specifically, as shown in FIG. 33, first, one of the positioning jigs 18 (the lower side in the figure) is placed on a work surface (not shown) with the protrusion 18b facing the upper surface, The stem pins 6 are inserted and fixed in the insertion holes 18a of the jig 18, respectively. Next, each stem pin 6 fixed to the positioning jig 18 is passed through the opening 30a, and the projection 18b of the positioning jig 18 is large. The base material 30 is placed on the positioning jig 18 by entering the diameter opening 30b, and each opening 15a and each large-diameter opening 15b with respect to each opening 30a and each large-diameter opening 30b of the base material 30. The upper presser member 15 is superimposed on the base member 30 through the stem pin 6 in each opening 15a and each large-diameter opening 15b while roughly aligning the axial center position of the ring, and then the ring-shaped side tube 7 is fitted into the base member 30. The most Further, while inserting each stem pin 6 protruding from the upper presser material 15 into the insertion hole 18a, the protrusion 18b is inserted into the large-diameter opening 15b of the upper presser member 15 and the other (illustrated) on the upper presser member 15 is shown. The upper) positioning jig 18 is placed. Thereby, the setting of the stem 29 is completed. As in the case of the first embodiment, the ring-shaped side tube 7 and each stem pin 6 to be set are subjected to surface oxidation treatment in advance in order to improve the weldability with the base material 30.

次に、セットしたステム29を電気炉に投入し、前述と同様の条件下で焼結処理を行う。この焼結処理により、図34(a)及び図34(b)に示すように、ベース材30と上側押え材15、ベース材30と各ステムピン6、及びベース材30とリング状側管7とがベース材30の溶融によって融着される。このとき、図34(b)に示すように、位置決め用治具18の突起部18bの端面によって大径開口30b,15b内でのベース材30の高さ方向の位置決めがなされ、溶融したベース材14の余分なボリュームはベース材浸出凹部30c内に逃がされる。焼結処理が終了した後ステム29を電気炉から取り出し、上下の位置決め用治具18を取り外すとステム29の製造が完了する。   Next, the set stem 29 is put into an electric furnace, and a sintering process is performed under the same conditions as described above. By this sintering process, as shown in FIGS. 34 (a) and 34 (b), the base material 30 and the upper presser material 15, the base material 30 and each stem pin 6, and the base material 30 and the ring-shaped side tube 7 Are fused by melting of the base material 30. At this time, as shown in FIG. 34 (b), the base material 30 is positioned in the height direction in the large-diameter openings 30b and 15b by the end surfaces of the protrusions 18b of the positioning jig 18, and the base material is melted. The 14 extra volumes are released into the base material leaching recess 30c. After the sintering process is completed, the stem 29 is taken out from the electric furnace, and the upper and lower positioning jigs 18 are removed, whereby the manufacture of the stem 29 is completed.

このようなステム29の製造方法によれば、第1実施形態と同様に、位置決め用治具18によりベース材30に対して上側押え材15を容易に位置決めできるため、製造工程が簡素化されて製造コストの低減が図られる。また、位置決め用治具18により、各ステムピン6と各開口15aとの同軸度も確保される。そして、このように得られたステム組のステム29の内側(上側)の面に対して積層されたダイノード10、収束電極11、及びアノード12を、ダイノード接続片10a、アノード接続片12a、収束電極11に具備された突出片11aの各々とこれらに対応するステムピン6とを溶接することで固定し、さらに、受光面板3が固定された側管2を真空状態でリング状側管7に対して溶接固定して組み立てることで、図30に示すヘッドオン型の光電子増倍管28が得られる。   According to such a manufacturing method of the stem 29, the upper pressing member 15 can be easily positioned with respect to the base material 30 by the positioning jig 18, as in the first embodiment, and thus the manufacturing process is simplified. Manufacturing cost can be reduced. Moreover, the coaxiality of each stem pin 6 and each opening 15a is ensured by the positioning jig 18. Then, the dynode 10, the convergence electrode 11, and the anode 12 stacked on the inner (upper) surface of the stem 29 of the stem set thus obtained are connected to the dynode connection piece 10 a, the anode connection piece 12 a, and the convergence electrode. 11 is fixed by welding each of the protruding pieces 11a provided to 11 and the stem pins 6 corresponding thereto, and the side tube 2 to which the light receiving face plate 3 is fixed is attached to the ring-shaped side tube 7 in a vacuum state. A head-on type photomultiplier tube 28 shown in FIG. 30 is obtained by assembling with fixing by welding.

このように構成された光電子増倍管28においても、第1実施形態に係る光電子増倍管1と同様に、ステム29においてベース材30よりも上側(内側)の部材である上側押え材15が絶縁性を有していると共に、アノードピン13近傍の縁部が面取り形状15c(図5参照)とされているため、アノードピン13近傍での沿面距離が長尺化されて沿面放電を原因とする絶縁破壊や漏電電流が十分に防止され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止が図られる。なお、面取り形状15cに関し、本実施形態においても、上側押え材15の縁部の全周にわたって形成しても良く、また、段付円板形状としても良く、図11〜図23に示した種々の変形を適用できる。   Also in the photomultiplier tube 28 configured in this manner, the upper presser material 15 that is a member on the upper side (inside) of the base material 30 in the stem 29 is provided in the same manner as the photomultiplier tube 1 according to the first embodiment. In addition to having insulating properties, the edge near the anode pin 13 has a chamfered shape 15c (see FIG. 5), so that the creepage distance near the anode pin 13 is lengthened and causes creeping discharge. Insulation breakdown and leakage current are sufficiently prevented, and noise can be prevented from being mixed into the electric signal taken out from the anode pin 13. In addition, regarding the chamfered shape 15c, also in this embodiment, the chamfered shape 15c may be formed over the entire circumference of the edge portion of the upper presser material 15, or may be a stepped disk shape. Can be applied.

また、ステム29の上側(内側)の面におけるアノードピン13を含むステムピン6の貫通部の全周囲がベース材30を底面とする凹部29aとされているため、アノードピン13近傍に関する沿面距離がさらに長尺化され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止がより効果的に図られる。また、アノードピン13を除く他のステムピン6に関しても同様に沿面距離が長尺化されるため、光電子増倍管28の電圧耐性が高められる。なお、凹部29aの形成によりステムピン6,6間での絶縁体に沿う沿面距離も同時に長尺化され、さらには、トリプルジャンクションが凹部29a内に隠蔽されるため、光電子増倍管28の電圧耐性がより高められている。   Further, since the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 including the anode pin 13 on the upper (inner) surface of the stem 29 is a recess 29a having the base material 30 as the bottom surface, the creeping distance related to the vicinity of the anode pin 13 is further increased. It is possible to more effectively prevent noise from being mixed into the electrical signal which is elongated and is taken out from the anode pin 13. Further, the creepage distance is similarly increased with respect to the other stem pins 6 except the anode pin 13, so that the voltage tolerance of the photomultiplier tube 28 is enhanced. Incidentally, the formation of the recess 29a simultaneously increases the creeping distance along the insulator between the stem pins 6 and 6, and further, the triple junction is concealed in the recess 29a, so that the voltage resistance of the photomultiplier tube 28 is increased. Is more enhanced.

なお、第1実施形態と同様に、位置決め用治具18により各ステムピン6と上側押え材15の各開口15aとの同軸度が確保されるため、トリプルジャンクションを凹部29a内に確実に隠蔽でき、光電子増倍管28の電圧耐性が一層確保される。   As in the first embodiment, since the coaxiality between each stem pin 6 and each opening 15a of the upper pressing member 15 is ensured by the positioning jig 18, the triple junction can be reliably hidden in the recess 29a. The voltage tolerance of the photomultiplier tube 28 is further ensured.

また、光電子増倍管28では、ステム29が、ベース材29と、ベース材29の上側(内側)に接合された上側押え材15とによる2層構造とされているため、ステム29上面の位置精度、平坦度、水平度が高められる。その結果、光電子増倍管28では、ステム29の上面(内側の面)に対して設置される電子増倍部9と光電面4との間の位置精度や電子増倍部9の着座性が高められるため、光電変換効率といった特性が良好に得られる。   In the photomultiplier tube 28, the stem 29 has a two-layer structure including the base material 29 and the upper presser material 15 joined to the upper side (inner side) of the base material 29, so that the position of the upper surface of the stem 29 is Increases accuracy, flatness and levelness. As a result, in the photomultiplier tube 28, the positional accuracy between the electron multiplier 9 and the photocathode 4 installed on the upper surface (inner surface) of the stem 29 and the seating property of the electron multiplier 9 are improved. Therefore, characteristics such as photoelectric conversion efficiency can be obtained satisfactorily.

さらに、ベース材30にはベース材浸出凹部30c(図33参照)が形成されているため、溶融したベース材30の余分なボリュームをベース材浸出凹部30c内に良好に逃がすことができる。このため、ベース材30の溶融の際に、上側押え材15の開口15a及びベース材30の開口30aの下半分を通じてベース材30がステム29の表面にはみ出すことは殆ど無く、ステム29両面の位置精度、平坦度、水平度が確保されている。   Furthermore, since the base material leaching recess 30c (see FIG. 33) is formed in the base material 30, an excessive volume of the molten base material 30 can be released into the base material leaching recess 30c satisfactorily. For this reason, when the base material 30 is melted, the base material 30 hardly protrudes from the surface of the stem 29 through the opening 15 a of the upper presser material 15 and the lower half of the opening 30 a of the base material 30. Accuracy, flatness and levelness are ensured.

また、光電子増倍管28においても、上述したようにステム29の上側(内側)の面及び下側(外側)の面におけるステムピン6の貫通部の全周囲がベース材30を底面とする凹部29aとされているため、ベース材30とステムピン6との接合部分の両側でクラックが発生することが防止され、密封容器8の気密性及び良好な外観が確保される。   Also in the photomultiplier tube 28, as described above, the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 on the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 29 is a recess 29a having the base material 30 as the bottom surface. Therefore, the occurrence of cracks on both sides of the joint portion between the base material 30 and the stem pin 6 is prevented, and the hermeticity and good appearance of the sealed container 8 are ensured.

なお、本実施形態の変形例として、図24に示した光電子増倍管20と同様に、ステム29の中央部分に金属製の排気管19を設けた構造を採用しても良い。また、図25に示した光電子増倍管26と同様に、その下端にフランジ部を設けたリング状側管7をステム29に固定し、このリング状側管7に側管2よりも長尺の側管27を嵌め合わせて互いのフランジ部を溶接固定した構成を採用しても良い。   As a modification of the present embodiment, a structure in which a metal exhaust pipe 19 is provided in the central portion of the stem 29 may be employed as in the photomultiplier tube 20 shown in FIG. Similarly to the photomultiplier tube 26 shown in FIG. 25, a ring-shaped side tube 7 having a flange portion at its lower end is fixed to the stem 29, and the ring-shaped side tube 7 is longer than the side tube 2. A configuration in which the side pipes 27 are fitted together and the respective flange portions are fixed by welding may be employed.

また、本実施形態では、ベース材30の下部にベース材浸出部としてのベース材浸出凹部30cを設けているが、このようなベース材浸出部はベース材30又は上側押え材15の少なくとも一方に設けていれば良く、例えば上側押え材15にのみ第1実施形態で説明したのと同様なベース材浸出開口を設けていても良いし、上側押え材15にベース材浸出開口を設け、かつベース材30にベース材浸出凹部30cを設けていても良い。   In this embodiment, a base material leaching recess 30c as a base material leaching portion is provided in the lower portion of the base material 30. Such a base material leaching portion is provided on at least one of the base material 30 and the upper presser material 15. For example, only the upper presser material 15 may be provided with a base material leaching opening similar to that described in the first embodiment, or the upper presser material 15 may be provided with a base material leaching opening. The material 30 may be provided with a base material leaching recess 30c.

また、図30に示した光電子増倍管28を備えた放射線検出装置を構成する場合、図26〜図27及び図28〜図29に示した放射線検出装置21,25と同様の構成とすることで、上述した作用効果を奏し、特に表面実装する際に好適な放射線検出装置を得ることができる。   Further, when configuring the radiation detection apparatus provided with the photomultiplier tube 28 shown in FIG. 30, the configuration is the same as that of the radiation detection apparatuses 21 and 25 shown in FIG. 26 to FIG. 27 and FIG. Thus, the above-described effects can be obtained, and a radiation detection device suitable for surface mounting can be obtained.

本実施形態のさらに別の変形例として、押え材をベース材の下面(外側の面)に接合して2層構造のステムを構成しても良い。この別の変形例に係る光電子増倍管31では、図35に示すように、ステム32が、ベース材14と同質の円板状のベース材33と、ベース材33の下側(外側)に接合された下側押え材16とによる2層構造とされている。   As yet another modification of the present embodiment, a two-layered stem may be configured by joining a presser material to the lower surface (outer surface) of the base material. In the photomultiplier tube 31 according to this another modified example, as shown in FIG. 35, the stem 32 is disposed on the lower side (outside) of the disk-like base material 33 having the same quality as the base material 14 and the base material 33. A two-layer structure is formed by the joined lower pressing member 16.

すなわち、光電子増倍管31のステム32には上側押え材15が設けられておらず、ベース材33には、図37に示すように、下半分がステムピン6の外径とほぼ同径で、かつ、図36に示すように、上半分がステムピン6の外径よりも大径とされた開口33aがベース材33の外周部に沿うように複数(15個)形成されている。また、ベース材33の開口33aのうち、アノードピン13が通る開口33aを除く所定の3箇所は、位置決め用治具18の進入を可能とすべく上半分の外径が他の開口33aの上半分の外径よりも大径とされた大径開口33bとされている。さらに、ベース材33は、アノードピン13が通る開口33a近傍の上面側の縁部が面取り形状33cとされている。   That is, the upper pressing member 15 is not provided on the stem 32 of the photomultiplier tube 31, and the lower half of the base member 33 is substantially the same as the outer diameter of the stem pin 6, as shown in FIG. As shown in FIG. 36, a plurality (15) of openings 33 a whose upper half is larger than the outer diameter of the stem pin 6 are formed along the outer periphery of the base member 33. Further, among the openings 33a of the base member 33, the upper half outer diameter of the predetermined three places excluding the opening 33a through which the anode pin 13 passes has an upper half outer diameter above the other openings 33a to allow the positioning jig 18 to enter. The large-diameter opening 33b is larger than the half outer diameter. Further, the base material 33 has a chamfered shape 33c on the upper surface side in the vicinity of the opening 33a through which the anode pin 13 passes.

そして、図35に示すように、これらのベース材33、及び下側押え材16は、各開口33a,16a及び各大径開口33b,16bの軸心位置を合わせた状態で重ね合わされ、各開口33a,16a及び各大径開口33b,16bにそれぞれステムピン6を挿通させた状態で、ベース材33の溶融によって融着接合されている。より具体的には、ベース材33の下面に下側押え材16が密着して接合されていると共に、各ステムピン6がベース材33の各開口33aの上半分及び下側押え材16の各開口16aを挿通してステム32の上側(内側)の面及び下側(外側)の面の両面における各ステムピン6の貫通部の全周囲にベース材33を底面とする凹部32aが形成され、各ステムピン6はこの凹部32aの底面においてベース材33に密着して接合されている。   Then, as shown in FIG. 35, the base material 33 and the lower presser material 16 are overlapped with the positions of the axial centers of the openings 33a and 16a and the large-diameter openings 33b and 16b being aligned. The base material 33 is fusion-bonded by melting the stem pin 6 with the stem pins 6 inserted through the large-diameter openings 33b and 16b. More specifically, the lower pressing member 16 is in close contact with and joined to the lower surface of the base member 33, and each stem pin 6 is connected to the upper half of each opening 33 a of the base member 33 and each opening of the lower pressing member 16. A recess 32a having a base material 33 as a bottom surface is formed around the entire perimeter of each stem pin 6 on both the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 32. 6 is closely bonded to the base member 33 at the bottom surface of the recess 32a.

このようなステム32の製造においても、第1実施形態に係るステム5と同様の方法を用いることができる。具体的には、まず、図38に示すように、突起部18bを上面に向けた状態で位置決め用治具18の一方(図示下側)を作業面(図示しない)に載置し、位置決め用治具18の挿入孔18aにそれぞれステムピン6を差し込んで固定し、次に、位置決め用治具18に固定された各ステムピン6を開口16aに通しつつ、位置決め用治具18の突起部18bに大径開口16bを進入させて、位置決め用治具18の上に下側押え材16を載置し、さらに、下側押え材16の各開口16a及び大径開口16bに対して各開口33a及び各大径開口33bの軸心位置を大まかに合わせながら、各開口33a及び各大径開口33bにステムピン6を通して下側押え材16の上にベース材33を重ね合わせた後、ベース材33にリング状側管7を嵌め込み、最後に、ベース材33から突出している各ステムピン6を挿入孔18aに差し込みながら、ベース材33の大径開口33bに突起部18bを進入させて、ベース材33の上にもう一方(図示上側)の位置決め用治具18を載置する。これによりステム32のセットが完了する。なお、第1実施形態の場合と同様に、セットするリング状側管7と各ステムピン6とには、ベース材33との溶着性を高めるべく予め表面酸化処理を施しておく。   Also in the manufacture of such a stem 32, the same method as the stem 5 according to the first embodiment can be used. Specifically, first, as shown in FIG. 38, one of the positioning jigs 18 (the lower side in the figure) is placed on the work surface (not shown) with the projection 18b facing the upper surface, and the positioning jig 18 is positioned. The stem pins 6 are inserted and fixed in the insertion holes 18a of the jig 18, respectively. Next, each stem pin 6 fixed to the positioning jig 18 is passed through the opening 16a, and the projection 18b of the positioning jig 18 is large. The lower pressing member 16 is placed on the positioning jig 18 by entering the diameter opening 16b, and each opening 33a and each large opening 16b of the lower pressing member 16 is further placed. The base material 33 is overlaid on the lower presser material 16 through the stem pin 6 through each of the openings 33a and each large diameter opening 33b while roughly aligning the axial center position of the large diameter opening 33b. Fit side tube 7 Finally, while inserting each stem pin 6 protruding from the base material 33 into the insertion hole 18a, the protruding portion 18b is inserted into the large-diameter opening 33b of the base material 33 and the other (upper side in the figure) is placed on the base material 33. The positioning jig 18 is placed. Thereby, the setting of the stem 32 is completed. As in the case of the first embodiment, the ring-shaped side tube 7 and each stem pin 6 to be set are subjected to surface oxidation treatment in advance in order to improve the weldability with the base material 33.

次に、セットしたステム29を電気炉に投入し、前述と同様の条件下で焼結処理を行う。この焼結処理により、図39(a)及び図39(b)に示すように、ベース材33と下側押え材16、ベース材33と各ステムピン6、及びベース材33とリング状側管7とがベース材33の溶融によって融着される。このとき、図39(b)に示すように、位置決め用治具18の突起部18bの端面によって大径開口33b,16b内でのベース材33の高さ方向の位置決めがなされ、溶融したベース材33の余分なボリュームはベース材浸出開口16c内に逃がされる。焼結処理が終了した後ステム32を電気炉から取り出し、上下の位置決め用治具18を取り外すとステム32の製造が完了する。   Next, the set stem 29 is put into an electric furnace, and a sintering process is performed under the same conditions as described above. By this sintering process, as shown in FIGS. 39A and 39B, the base material 33 and the lower presser material 16, the base material 33 and each stem pin 6, and the base material 33 and the ring-shaped side tube 7 are used. Are fused by melting the base material 33. At this time, as shown in FIG. 39 (b), the base material 33 is positioned in the height direction in the large-diameter openings 33b and 16b by the end face of the projection 18b of the positioning jig 18, and the molten base material is obtained. 33 excess volumes are released into the base material leaching opening 16c. After the sintering process is completed, the stem 32 is taken out from the electric furnace, and the upper and lower positioning jigs 18 are removed, whereby the manufacture of the stem 32 is completed.

このようなステム32の製造方法によれば、第1実施形態と同様に、位置決め用治具18によりベース材33に対して下側押え材16を容易に位置決めできるため、製造工程が簡素化されて製造コストの低減が図られる。また、位置決め用治具18により、各ステムピン6と各開口16aとの同軸度も確保される。そして、このように得られたステム組のステム32の内側(上側)の面に対して積層されたダイノード10、収束電極11、及びアノード12を、ダイノード接続片10a、アノード接続片12a、収束電極11に具備された突出片11aの各々とこれらに対応するステムピン6とを溶接することで固定し、さらに、受光面板3が固定された側管2を真空状態でリング状側管7に対して溶接固定して組み立てることで、図35に示すヘッドオン型の光電子増倍管31が得られる。   According to such a method of manufacturing the stem 32, the lower pressing member 16 can be easily positioned with respect to the base material 33 by the positioning jig 18, as in the first embodiment, and thus the manufacturing process is simplified. Thus, the manufacturing cost can be reduced. Moreover, the coaxiality of each stem pin 6 and each opening 16a is also ensured by the positioning jig 18. Then, the dynode 10, the convergence electrode 11, and the anode 12 stacked on the inner (upper) surface of the stem 32 of the stem set thus obtained are connected to the dynode connection piece 10 a, the anode connection piece 12 a, and the convergence electrode. 11 is fixed by welding each of the protruding pieces 11a provided to 11 and the stem pins 6 corresponding thereto, and the side tube 2 to which the light receiving face plate 3 is fixed is attached to the ring-shaped side tube 7 in a vacuum state. A head-on type photomultiplier 31 shown in FIG. 35 is obtained by welding and assembling.

このように構成された光電子増倍管31においても、ステム32においてベース材33自体が絶縁性を有していると共に、アノードピン13近傍の上面側の縁部が第1実施形態に係る光電子増倍管1と同様の面取り形状33c(図36参照)とされているため、アノードピン13近傍での沿面距離が長尺化されて沿面放電を原因とする絶縁破壊や漏電電流が十分に防止され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止が図られる。なお、面取り形状33cに関し、ベース材33の上面側の縁部の全周にわたって形成しても良く、また、図11〜図23に示した種々の変形を適用することもできる。   Also in the photomultiplier tube 31 configured as described above, the base material 33 itself has an insulating property in the stem 32, and the edge on the upper surface side in the vicinity of the anode pin 13 has the photomultiplier according to the first embodiment. Since the chamfered shape 33c (see FIG. 36) is the same as that of the double tube 1, the creepage distance in the vicinity of the anode pin 13 is lengthened to sufficiently prevent dielectric breakdown and leakage current caused by creeping discharge. Thus, it is possible to prevent noise from being mixed into the electric signal taken out from the anode pin 13. In addition, regarding the chamfered shape 33c, it may be formed over the entire circumference of the edge portion on the upper surface side of the base material 33, and various modifications shown in FIGS. 11 to 23 can be applied.

また、ステム32の上側(内側)の面におけるアノードピン13を含むステムピン6の貫通部の全周囲がベース材33を底面とする凹部32aとされているため、アノードピン13近傍に関する沿面距離がさらに長尺化され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止がより効果的に図られる。なお、凹部32aの形成によりステムピン6,6間での絶縁体に沿う沿面距離も同時に長尺化され、さらには、トリプルジャンクションが凹部32a内に隠蔽されるため、光電子増倍管28の電圧耐性がより高められている。   Further, since the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 including the anode pin 13 on the upper (inner) surface of the stem 32 is a recess 32a having the base material 33 as the bottom surface, the creeping distance in the vicinity of the anode pin 13 is further increased. It is possible to more effectively prevent noise from being mixed into the electrical signal which is elongated and is taken out from the anode pin 13. The formation of the concave portion 32a simultaneously increases the creeping distance along the insulator between the stem pins 6 and 6, and the triple junction is concealed in the concave portion 32a, so that the voltage resistance of the photomultiplier tube 28 is increased. Is more enhanced.

なお、第1実施形態と同様に、位置決め用治具18により各ステムピン6と下側押え材16の各開口16aとの同軸度が確保されるため、トリプルジャンクションを凹部32aに確実に隠蔽でき、光電子増倍管31の電圧耐性が一層確保される。   As in the first embodiment, since the coaxiality between each stem pin 6 and each opening 16a of the lower pressing member 16 is secured by the positioning jig 18, the triple junction can be reliably hidden in the recess 32a. The voltage tolerance of the photomultiplier tube 31 is further ensured.

また、光電子増倍管31では、ステム32が、ベース材33と、ベース材33の下側(外側)に接合された下側押え材16とによる2層構造とされているため、ステム32下面の位置精度、平坦度、水平度が高められる。その結果、光電子増倍管31では、光電子増倍管31全長の寸法精度、光電子増倍管31を表面実装する際の取付性を高めることができる。   Further, in the photomultiplier tube 31, the stem 32 has a two-layer structure including the base material 33 and the lower pressing member 16 joined to the lower side (outside) of the base material 33, so that the lower surface of the stem 32. The positional accuracy, flatness, and levelness of the are increased. As a result, the photomultiplier tube 31 can improve the dimensional accuracy of the entire length of the photomultiplier tube 31 and the mountability when the photomultiplier tube 31 is surface-mounted.

さらに、下側押え材16にはベース材浸出開口16c(図6参照)が形成されているため、第1実施形態の場合と同様に、ベース材33の溶融の際に、下側押え材16の開口16a及びベース材33の開口33aの上半分を通じてベース材33がステム32の表面にはみ出すことは殆ど無く、ステム32両面の位置精度、平坦度、水平度が確保されている。   Further, since the base material leaching opening 16c (see FIG. 6) is formed in the lower presser material 16, the lower presser material 16 is melted when the base material 33 is melted, as in the first embodiment. The base material 33 hardly protrudes from the surface of the stem 32 through the upper half of the opening 16a and the opening 33a of the base material 33, and the positional accuracy, flatness and levelness of both surfaces of the stem 32 are ensured.

また、光電子増倍管31においても、上述したようにステム32の上側(内側)の面及び下側(外側)の面におけるステムピン6の貫通部の全周囲がベース材33を底面とする凹部32aとされているため、ベース材33とステムピン6との接合部分の両側でクラックが発生することが防止され、密封容器8の気密性及び良好な外観が確保される。   Also in the photomultiplier tube 31, as described above, the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 on the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 32 has the base material 33 as the bottom surface 32a. Therefore, the occurrence of cracks on both sides of the joint portion between the base member 33 and the stem pin 6 is prevented, and the hermeticity and good appearance of the sealed container 8 are ensured.

なお、光電子増倍管31についても、図24に示した光電子増倍管20と同様に、ステム32の中央部分に金属製の排気管19を設けた構造を採用しても良い。また、図25に示した光電子増倍管26と同様に、その下端にフランジ部を設けたリング状側管7をステム32に固定し、このリング状側管7に側管2よりも長尺の側管27を嵌め合わせて互いのフランジ部を溶接固定した構成を採用しても良い。   The photomultiplier tube 31 may also have a structure in which a metal exhaust pipe 19 is provided at the center portion of the stem 32 as in the photomultiplier tube 20 shown in FIG. Similarly to the photomultiplier tube 26 shown in FIG. 25, a ring-shaped side tube 7 having a flange portion at the lower end thereof is fixed to the stem 32, and the ring-shaped side tube 7 is longer than the side tube 2. A configuration in which the side pipes 27 are fitted together and the respective flange portions are fixed by welding may be employed.

また、この実施形態では、下側押え材16にのみベース材浸出部としてのベース材浸出開口16cを設けているが、このようなベース材浸出部はベース材33及び下側押え材16の少なくとも一方に設けていれば良く、例えばベース材33にのみ前述したのと同様のベース材浸出凹部を設けていても良いし、下側押え材16にベース材浸出開口16cを設け、かつベース材33にベース材浸出凹部を設けていても良い。   In this embodiment, only the lower presser material 16 is provided with a base material leaching opening 16c as a base material leaching portion. However, such a base material leaching portion is at least of the base material 33 and the lower presser material 16. For example, only the base material 33 may be provided with a base material leaching recess similar to that described above, or the lower pressing material 16 may be provided with a base material leaching opening 16c, and the base material 33 may be provided. A base material leaching recess may be provided.

また、この光電子増倍管31を備えた放射線検出装置を構成する場合、図26〜図27及び図28〜図29に示した放射線検出装置21,25と同様の構成とすることで、上述した作用効果を奏し、特に表面実装する際に好適な放射線検出装置を得ることができる。   Moreover, when configuring the radiation detection apparatus provided with the photomultiplier tube 31, the configuration is the same as that of the radiation detection apparatuses 21 and 25 shown in FIGS. 26 to 27 and FIGS. A radiation detection device that exhibits the effects and is suitable particularly for surface mounting can be obtained.

[第3実施形態]
第3実施形態に係る光電子増倍管34は、図40に示すように、ステム35が、ベース材14と同質の円板状のベース材36による単層構造とされている点で、ステム5がベース材14、上側押え材15及び下側押え材16による3層構造とされている第1実施形態に係る光電子増倍管1と異なる。
[Third Embodiment]
As shown in FIG. 40, the photomultiplier tube 34 according to the third embodiment has a stem 5 in which the stem 35 has a single-layer structure made of a disk-like base material 36 that is the same quality as the base material 14. Is different from the photomultiplier tube 1 according to the first embodiment in which the base material 14, the upper pressing material 15, and the lower pressing material 16 have a three-layer structure.

すなわち、光電子増倍管34のステム35には上側押え材15及び下側押え材16が設けられておらず、ベース材36には、図40〜図42に示すように、中間部分がステムピン6の外径とほぼ同径で、かつ上部及び下部がステムピン6の外径よりも大径とされた開口36aがベース材36の外周部に沿うように複数(15個)形成されている。また、この開口36aのうちアノードピン13が通る開口36aを除く所定の3箇所の上部及び下部と、アノードピン13が通る開口36aの下部とは、位置決め用治具と同様の構成の押え治具18の進入を可能とすべく上部及び下部の外径が他の開口36aの上部及び下部の外径よりも大径とされた大径開口36bとされている。さらに、ベース材36の下部中央部分には、ベース材36が溶融により浸出するベース材浸出部としての円形状のベース材浸出凹部36c(図43参照)が形成されていると共に、アノードピン13が通る開口36a近傍の上面側の縁部が面取り形状36dとされている。   That is, the upper presser 15 and the lower presser 16 are not provided on the stem 35 of the photomultiplier tube 34, and the intermediate portion of the base member 36 has a stem pin 6 as shown in FIGS. 40 to 42. A plurality (15) of openings 36 a having substantially the same diameter as the outer diameter of the base material 36 and having an upper portion and a lower portion larger than the outer diameter of the stem pin 6 are formed along the outer peripheral portion of the base member 36. In addition, the upper and lower portions of three predetermined portions of the opening 36a excluding the opening 36a through which the anode pin 13 passes and the lower part of the opening 36a through which the anode pin 13 passes are a holding jig having the same configuration as the positioning jig. The outer diameter of the upper part and the lower part is set to be larger than the outer diameters of the upper part and the lower part of the other opening 36a so that 18 can enter. Further, a circular base material leaching recess 36c (see FIG. 43) is formed in the lower central portion of the base material 36 as a base material leaching portion from which the base material 36 is leached by melting. An edge on the upper surface side in the vicinity of the opening 36a that passes through is a chamfered shape 36d.

そして、図40に示すように、このベース材36は、各開口36aにそれぞれステムピン6を通した状態で、ベース材36の溶融によってステムピン6と融着接合されている。より具体的には、各ステムピン6がベース材36の各開口36aの上部及び下部を挿通してステム35の上側(内側)の面及び下側(外側)の面の両面における各ステムピン6の貫通部の全周囲にベース材36を底面とする凹部35aが形成され、各ステムピン6はこの凹部35aの底面においてベース材36に密着して接合されている。   As shown in FIG. 40, the base material 36 is fusion bonded to the stem pin 6 by melting the base material 36 in a state where the stem pin 6 is passed through each opening 36a. More specifically, each stem pin 6 passes through the upper part and the lower part of each opening 36a of the base material 36 and penetrates each stem pin 6 on both the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 35. A concave portion 35a having the base material 36 as a bottom surface is formed around the entire periphery of each portion, and each stem pin 6 is in close contact with the base material 36 at the bottom surface of the concave portion 35a.

このようなステム35を製造する場合、第1実施形態に係るステム5と同様の方法を用いることができる。具体的には、まず、図43に示すように、突起部18bを上面に向けた状態で上記位置決め用治具と同様の構成の押え治具18の一方(図示下側)を作業面(図示しない)に載置し、押え治具18の挿入孔18aにそれぞれステムピン6を差し込んで固定し、次に、押え治具18に固定された各ステムピン6を開口36aに通しつつ、押え治具18の突起部18bにベース材36の下面側の大径開口36bを進入させて、押え治具18の上にベース材36を載置した後、ベース材36にリング状側管7を嵌め込み、最後に、ベース材36から突出している各ステムピン6を挿入孔18aに差し込みながら、ベース材36の上面側の大径開口36bに突起部18bを進入させて、ベース材36の上にもう一方(図示上側)の押え治具18を載置する。これによりステム35のセットが完了する。なお、第1実施形態の場合と同様に、セットするリング状側管7と各ステムピン6とには、ベース材36との溶着性を高めるべく予め表面酸化処理を施しておく。   When manufacturing such a stem 35, the same method as the stem 5 according to the first embodiment can be used. Specifically, first, as shown in FIG. 43, one side (the lower side in the drawing) of the holding jig 18 having the same configuration as the positioning jig is placed on the work surface (the illustration in the figure) with the projection 18b facing the upper surface. The stem pins 6 are inserted into the insertion holes 18a of the presser jig 18 and fixed, and then the stem pins 6 fixed to the presser jig 18 are passed through the openings 36a while the presser jig 18 is inserted. After the large diameter opening 36b on the lower surface side of the base material 36 is inserted into the protrusion 18b of the base material 36 and the base material 36 is placed on the holding jig 18, the ring-shaped side tube 7 is fitted into the base material 36. Further, while inserting each stem pin 6 protruding from the base material 36 into the insertion hole 18a, the protrusion 18b is inserted into the large-diameter opening 36b on the upper surface side of the base material 36, and the other (illustrated) is placed on the base material 36. Place the upper holding jig 18 That. Thereby, the setting of the stem 35 is completed. As in the case of the first embodiment, the ring-shaped side tube 7 and each stem pin 6 to be set are subjected to surface oxidation treatment in advance in order to improve the weldability with the base material 36.

次に、セットしたステム35を電気炉に投入し、前述と同様の条件下で焼結処理を行う。この焼結処理により、図44(a)及び図44(b)に示すように、ベース材36と各ステムピン6、及びベース材36とリング状側管7とがベース材36の溶融によって融着される。このとき、図44(b)に示すように、押え治具18の突起部18bの端面によって大径開口36b内でのベース材36の高さ方向の位置決めがなされ、溶融したベース材36の余分なボリュームはベース材浸出凹部36c内に逃がされる。焼結処理が終了した後ステム35を電気炉から取り出し、上下の押え治具18を取り外すとステム35の製造が完了する。   Next, the set stem 35 is put into an electric furnace, and a sintering process is performed under the same conditions as described above. 44 (a) and 44 (b), the base material 36 and each stem pin 6, and the base material 36 and the ring-shaped side tube 7 are fused by melting the base material 36. Is done. At this time, as shown in FIG. 44 (b), the end surface of the protrusion 18b of the holding jig 18 positions the base material 36 in the height direction in the large-diameter opening 36b. A large volume is released into the base material leaching recess 36c. After the sintering process is completed, the stem 35 is taken out from the electric furnace, and the upper and lower pressing jigs 18 are removed, whereby the manufacture of the stem 35 is completed.

このようなステム35の製造方法によれば、前述したように、製造工程が簡素化されて製造コストの低減が図られる。そして、このように得られたステム組のステム35の内側(上側)の面に対して積層されたダイノード10、収束電極11、及びアノード12を、ダイノード接続片10a、アノード接続片12a、収束電極11に具備された突出片11aの各々とこれらに対応するステムピン6とを溶接することで固定し、さらに、受光面板3が固定された側管2を真空状態でリング状側管7に対して電子増倍部9、収束電極11、及びアノード12を溶接固定し、さらに、受光面板3が固定された側管7を真空状態で溶接固定して組み立てることで、図40に示すヘッドオン型の光電子増倍管34が得られる。   According to such a method for manufacturing the stem 35, as described above, the manufacturing process is simplified and the manufacturing cost is reduced. Then, the dynode 10, the convergence electrode 11, and the anode 12 stacked on the inner (upper) surface of the stem 35 of the stem set thus obtained are connected to the dynode connection piece 10 a, the anode connection piece 12 a, and the convergence electrode. 11 is fixed by welding each of the protruding pieces 11a provided to 11 and the stem pins 6 corresponding thereto, and the side tube 2 to which the light receiving face plate 3 is fixed is attached to the ring-shaped side tube 7 in a vacuum state. The electron multiplier 9, the focusing electrode 11, and the anode 12 are welded and fixed, and the side tube 7 to which the light receiving face plate 3 is fixed is welded and fixed in a vacuum state to assemble the head-on type shown in FIG. A photomultiplier tube 34 is obtained.

このように構成された光電子増倍管34においても、ステム35においてベース材36自体が絶縁性を有していると共に、アノードピン13近傍の上面側の縁部が第1実施形態に係る光電子増倍管1と同様の面取り形状36d(図41参照)とされているため、アノードピン13近傍での沿面距離が長尺化されて沿面放電を原因とする絶縁破壊や漏電電流が十分に防止され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止が図られる。なお、面取り形状36dに関し、ベース材36の上面側の縁部の全周にわたって形成しても良く、また、図11〜図23に示した種々の変形を適用することができる。   Also in the photomultiplier tube 34 configured in this way, the base material 36 itself has an insulating property in the stem 35, and the edge on the upper surface side in the vicinity of the anode pin 13 has the photomultiplier according to the first embodiment. Since the chamfered shape 36d (see FIG. 41) is the same as that of the double tube 1, the creepage distance in the vicinity of the anode pin 13 is lengthened to sufficiently prevent dielectric breakdown and leakage current caused by creeping discharge. Thus, it is possible to prevent noise from being mixed into the electric signal taken out from the anode pin 13. The chamfered shape 36d may be formed over the entire circumference of the edge on the upper surface side of the base material 36, and various modifications shown in FIGS. 11 to 23 can be applied.

また、ステム35の上側(内側)の面におけるアノードピン13を含むステムピン6の貫通部の全周囲がベース材36を底面とする凹部35aとされているため、アノードピン13近傍に関する沿面距離がさらに長尺化され、アノードピン13から取り出される電気信号に対するノイズの混入防止がより効果的に図られる。なお、凹部35aの形成によりステムピン6,6間での絶縁体に沿う沿面距離も同時に長尺化され、さらには、トリプルジャンクションが凹部35a内に隠蔽されるため、光電子増倍管28の電圧耐性がより高められている。   Further, since the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 including the anode pin 13 on the upper (inner) surface of the stem 35 is a recess 35a having the base material 36 as a bottom surface, the creeping distance in the vicinity of the anode pin 13 is further increased. It is possible to more effectively prevent noise from being mixed into the electrical signal which is elongated and is taken out from the anode pin 13. The formation of the concave portion 35a simultaneously increases the creeping distance along the insulator between the stem pins 6 and 6, and further, the triple junction is concealed in the concave portion 35a, so that the voltage resistance of the photomultiplier tube 28 is increased. Is more enhanced.

さらに、ベース材36にはベース材浸出凹部36c(図43参照)が形成されているため、溶融したベース材36の余分なボリュームをベース材浸出凹部36c内に良好に逃がすことができる。このため、ベース材36の溶融の際に、開口36aの上部及び下部を通してベース材36がステム35の表面にはみ出すことは殆ど無く、ステム35両面の位置精度、平坦度、水平度が確保されている。   Furthermore, since the base material leaching recess 36c (see FIG. 43) is formed in the base material 36, an excess volume of the molten base material 36 can be released into the base material leaching recess 36c satisfactorily. For this reason, when the base material 36 is melted, the base material 36 hardly protrudes from the surface of the stem 35 through the upper and lower portions of the opening 36a, and the positional accuracy, flatness, and levelness of both surfaces of the stem 35 are ensured. Yes.

また、光電子増倍管34においても、上述したようにステム35の上側(内側)の面及び下側(外側)の面におけるステムピン6の貫通部の全周囲がベース材36を底面とする凹部35aとされているため、ベース材36とステムピン6との接合部分の両側でクラックが発生することが防止され、密封容器8の気密性及び良好な外観が確保される。   Also in the photomultiplier tube 34, as described above, the entire periphery of the penetrating portion of the stem pin 6 on the upper (inner) surface and the lower (outer) surface of the stem 35 is a recess 35a having the base material 36 as a bottom surface. Therefore, the occurrence of cracks on both sides of the joint portion between the base material 36 and the stem pin 6 is prevented, and the hermeticity and good appearance of the sealed container 8 are ensured.

なお、光電子増倍管34についても、図24に示した光電子増倍管20と同様に、ステム35の中央部分に金属製の排気管19を設けた構造を採用しても良い。また、図25に示した光電子増倍管26と同様に、その下端にフランジ部を設けたリング状側管7をステム35に固定し、このリング状側管7に側管2よりも長尺の側管27を嵌め合わせて互いのフランジ部を溶接固定した構成を採用しても良い。   The photomultiplier tube 34 may also have a structure in which a metal exhaust pipe 19 is provided at the center portion of the stem 35 as in the photomultiplier tube 20 shown in FIG. Similarly to the photomultiplier tube 26 shown in FIG. 25, a ring-shaped side tube 7 having a flange portion at its lower end is fixed to the stem 35, and the ring-shaped side tube 7 is longer than the side tube 2. A configuration in which the side pipes 27 are fitted together and the respective flange portions are fixed by welding may be employed.

また、本実施形態では、ベース材36の下部にベース材浸出部としてのベース材浸出凹部36cを設けているが、このようなベース材浸出部はベース材36の上部に設けていても良い。   In this embodiment, the base material leaching recess 36 c as a base material leaching portion is provided in the lower portion of the base material 36, but such a base material leaching portion may be provided in the upper portion of the base material 36.

また、この光電子増倍管34を備えた放射線検出装置を構成する場合、図26〜図27及び図28〜図29に示した放射線検出装置21,25と同様の構成とすることで、上述した作用効果を奏し、特に表面実装する際に好適な放射線検出装置を得ることができる。   Further, in the case of configuring a radiation detection apparatus provided with this photomultiplier tube 34, the above-described configuration is the same as that of the radiation detection apparatuses 21 and 25 shown in FIGS. 26 to 27 and FIGS. A radiation detection device that exhibits the effects and is suitable particularly for surface mounting can be obtained.

本発明の第1実施形態に係る光電子増倍管を示す平面図である。It is a top view which shows the photomultiplier tube which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図1に示した光電子増倍管の底面図である。It is a bottom view of the photomultiplier shown in FIG. 図1に示した光電子増倍管のIII-III線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the photomultiplier tube shown in FIG. 1 taken along the line III-III. 第1実施形態に係るステムを構成するベース部材の平面図である。It is a top view of the base member which constitutes the stem concerning a 1st embodiment. 第1実施形態に係るステムを構成する上側押え材の平面図である。It is a top view of the upper pressing material which constitutes the stem concerning a 1st embodiment. 第1実施形態に係るステムを構成する下側押え材の平面図である。It is a top view of the lower side presser material which comprises the stem which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結前のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on 1st Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem before sintering, (b) is the principal part enlarged view. 第1実施形態に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結後のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on 1st Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem after sintering, (b) is the principal part enlarged view. 図3に示した光電子増倍管におけるトリプルジャンクション及び沿面距離を示したアノードピン近傍の要部拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a main part in the vicinity of an anode pin showing triple junction and creepage distance in the photomultiplier shown in FIG. 3. 比較例におけるトリプルジャンクション及び沿面距離を示したアノードピン近傍の要部拡大図である。It is the principal part enlarged view of the anode pin vicinity which showed the triple junction and creepage distance in a comparative example. 面取り形状の変形例を示した図である。It is the figure which showed the modification of the chamfering shape. 面取り形状の別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 面取り形状のさらに別の変形例を示した図である。It is the figure which showed another modification of the chamfering shape. 変形例に係る光電子増倍管を示した側断面図である。It is the sectional side view which showed the photomultiplier tube which concerns on a modification. 別の変形例に係る光電子増倍管を示した側断面図である。It is the sectional side view which showed the photomultiplier tube which concerns on another modification. 放射線検出装置の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of a radiation detection apparatus. 図26に示した放射線検出装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the radiation detection apparatus shown in FIG. 放射線検出装置の他の例を示す側面図である。It is a side view which shows the other example of a radiation detection apparatus. 図28に示した放射線検出装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the radiation detection apparatus shown in FIG. 本発明の第2実施形態に係る光電子増倍管の側断面図である。It is a sectional side view of the photomultiplier tube concerning 2nd Embodiment of this invention. 第2実施形態に係るステムを構成するベース部材の平面図である。It is a top view of the base member which constitutes the stem concerning a 2nd embodiment. 第2実施形態に係るステムを構成するベース部材の底面図である。It is a bottom view of the base member which constitutes the stem concerning a 2nd embodiment. 第2実施形態に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結前のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on 2nd Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem before sintering, (b) is the principal part enlarged view. 第2実施形態に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結後のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on 2nd Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem after sintering, (b) is the principal part enlarged view. 第2実施形態の変形例に係る光電子増倍管の側断面図である。It is a sectional side view of the photomultiplier tube which concerns on the modification of 2nd Embodiment. 第2実施形態の変形例に係るステムを構成するベース部材の平面図である。It is a top view of the base member which constitutes the stem concerning the modification of a 2nd embodiment. 第2実施形態の変形例に係るステムを構成するベース部材の底面図である。It is a bottom view of the base member which constitutes the stem concerning the modification of a 2nd embodiment. 第2実施形態の変形例に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結前のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on the modification of 2nd Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem before sintering, (b) is the principal part enlarged view. 第2実施形態の変形例に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結後のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the example of manufacture of the stem which concerns on the modification of 2nd Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem after sintering, (b) is the principal part enlarged view. 第3実施形態に係る光電子増倍管の側断面図である。It is a sectional side view of the photomultiplier tube concerning a 3rd embodiment. 第3実施形態に係るステムを構成するベース部材の平面図である。It is a top view of the base member which constitutes the stem concerning a 3rd embodiment. 第3実施形態に係るステムを構成するベース部材の底面図である。It is a bottom view of the base member which constitutes the stem concerning a 3rd embodiment. 第3実施形態に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結前のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on 3rd Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem before sintering, (b) is the principal part enlarged view. 第3実施形態に係るステムの製造例を示した図であり、(a)は焼結後のステムの状態を示す側断面図、(b)はその要部拡大図である。It is the figure which showed the manufacture example of the stem which concerns on 3rd Embodiment, (a) is a sectional side view which shows the state of the stem after sintering, (b) is the principal part enlarged view.

符号の説明Explanation of symbols

1,20,26,28,31,34…光電子増倍管、2,27…側管、3…受光面板、4…光電面、5,29,32,35…ステム、6…ステムピン、7…リング状側管(側管)、8…密封容器、9…電子増倍部、12…アノード(陽極)、13…アノードピン(ステムピン)、14,30,33,36…ベース材、15…上側押え材(押え材)、15c〜15p,33c,36d…面取り形状、16…下側押え材(押え材)、18…位置決め用治具,押え治具、21,25…放射線検出装置、22…シンチレータ。   1, 20, 26, 28, 31, 34 ... Photomultiplier tubes, 2, 27 ... Side tubes, 3 ... Light receiving face plate, 4 ... Photocathode, 5, 29, 32, 35 ... Stem, 6 ... Stem pin, 7 ... Ring-shaped side tube (side tube), 8 ... sealed container, 9 ... electron multiplier, 12 ... anode (anode), 13 ... anode pin (stem pin), 14, 30, 33, 36 ... base material, 15 ... upper side Presser material (presser material), 15c to 15p, 33c, 36d ... chamfered shape, 16 ... lower presser material (presser material), 18 ... positioning jig, presser jig, 21, 25 ... radiation detection device, 22 ... Scintillator.

Claims (4)

真空状態とされた密封容器内に設けられ、当該密封容器の一側の端部を構成する受光面板を通して入射した入射光を電子に変換する光電面と、前記密封容器内に設けられ、前記光電面から放出された電子を増倍する電子増倍部及び当該電子増倍部により増倍された電子を出力信号として取り出すための陽極と、前記密封容器の他側の端部を構成するステムと、前記ステムに挿着されて前記密封容器内から外部に導出すると共に前記陽極及び前記電子増倍部に電気的に接続された複数のステムピンと、を具備した光電子増倍管において、
前記密封容器を構成すると共に前記ステムをその側方から包囲する導電性を有する側管を備え、
前記ステムは、前記陽極に電気的に接続されたアノードピンを含むステムピンを貫通させて接合する絶縁性のベース材を有し、
前記ベース材における前記アノードピン近傍の内側の縁部が、面取り形状とされていることを特徴とする光電子増倍管。
A photoelectric surface provided in a sealed container in a vacuum state and converting incident light incident through a light receiving surface plate constituting one end of the sealed container into electrons, and provided in the sealed container. An electron multiplier for multiplying electrons emitted from the surface, an anode for taking out the electrons multiplied by the electron multiplier as an output signal, and a stem constituting the other end of the sealed container A plurality of stem pins inserted into the stem and led out from the sealed container and electrically connected to the anode and the electron multiplier, and a photomultiplier tube comprising:
Comprising a side tube having conductivity to constitute the sealed container and surround the stem from its side;
The stem has an insulating base material that penetrates and joins a stem pin including an anode pin electrically connected to the anode,
The photomultiplier according to claim 1, wherein an inner edge of the base material in the vicinity of the anode pin is chamfered.
前記ステムは、前記ベース材と、
前記ベース材の内側の面又は外側の面の何れか一方の面に接合されると共に、前記ベース材に接合された前記ステムピンを通す押え材と、を備える二層構造とされ、
前記押え材が前記ベース材の内側の面に接合される場合には、当該押え材が絶縁性を有すると共に、前記面取り形状が、当該押え材における前記アノードピン近傍の内側の縁部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。
The stem includes the base material;
A presser material that is bonded to either the inner surface or the outer surface of the base material and passes the stem pin bonded to the base material, and has a two-layer structure.
When the presser material is joined to the inner surface of the base material, the presser material has insulating properties, and the chamfered shape is provided on the inner edge of the presser material near the anode pin. The photomultiplier tube according to claim 1, wherein the photomultiplier tube is provided.
前記ステムは、前記ベース材と、
前記ベース材の内側の面及び外側の面の両面に各々接合されると共に、前記ベース材に接合された前記ステムピンを通す押え材と、を少なくとも備える三層以上の構造とされ、
前記ベース材より内側の部材で前記アノードピンを通す部材は、絶縁性を有すると共に、前記面取り形状が、当該ベース材より内側の部材で前記アノードピンを通す部材の前記アノードピン近傍の内側の縁部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。
The stem includes the base material;
The base material is bonded to both the inner surface and the outer surface, respectively, and has a structure of three or more layers including at least a presser material that passes the stem pin bonded to the base material.
The member through which the anode pin passes through the member inside the base material has an insulating property, and the chamfered shape is an inner edge in the vicinity of the anode pin of the member through which the anode pin passes through the member inside the base material. The photomultiplier tube according to claim 1, wherein the photomultiplier tube is provided in a portion.
請求項1〜3の何れか一項に記載の光電子増倍管の前記受光面板の外側に、放射線を光に変換して放出するシンチレータを設置して成る放射線検出装置。








A radiation detection apparatus comprising a scintillator that converts radiation into light and emits it outside the light-receiving face plate of the photomultiplier tube according to claim 1.








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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022077027A (en) * 2020-11-10 2022-05-20 ベイカー ヒューズ オイルフィールド オペレーションズ エルエルシー Discharge reduction in sealed component

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107706071B (en) * 2017-08-25 2019-03-05 北方夜视技术股份有限公司 For adjusting the method, apparatus and production method of photomultiplier tube vacuum degree

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6276241A (en) * 1985-09-30 1987-04-08 Toshiba Corp Magnetron stem
JPS6298537A (en) * 1985-10-25 1987-05-08 Toshiba Corp Magnetron for microwave oven
JPH06314550A (en) * 1993-04-30 1994-11-08 Hamamatsu Photonics Kk Electron multiplier tube
JPH10106482A (en) * 1996-09-26 1998-04-24 Hamamatsu Photonics Kk Photomultiplier tube
JPH10241622A (en) * 1997-02-21 1998-09-11 Hamamatsu Photonics Kk Electronic tube
JP2000019255A (en) * 1998-06-29 2000-01-21 Hamamatsu Photonics Kk Radiation detector
JP2002203508A (en) * 2000-12-27 2002-07-19 Kyocera Corp Package for photomultiplier

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3215486B2 (en) * 1992-04-09 2001-10-09 浜松ホトニクス株式会社 Photomultiplier tube
JP2690658B2 (en) * 1992-05-22 1997-12-10 浜松ホトニクス株式会社 Electron tube
JP3434574B2 (en) * 1994-06-06 2003-08-11 浜松ホトニクス株式会社 Electron multiplier

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6276241A (en) * 1985-09-30 1987-04-08 Toshiba Corp Magnetron stem
JPS6298537A (en) * 1985-10-25 1987-05-08 Toshiba Corp Magnetron for microwave oven
JPH06314550A (en) * 1993-04-30 1994-11-08 Hamamatsu Photonics Kk Electron multiplier tube
JPH10106482A (en) * 1996-09-26 1998-04-24 Hamamatsu Photonics Kk Photomultiplier tube
JPH10241622A (en) * 1997-02-21 1998-09-11 Hamamatsu Photonics Kk Electronic tube
JP2000019255A (en) * 1998-06-29 2000-01-21 Hamamatsu Photonics Kk Radiation detector
JP2002203508A (en) * 2000-12-27 2002-07-19 Kyocera Corp Package for photomultiplier

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022077027A (en) * 2020-11-10 2022-05-20 ベイカー ヒューズ オイルフィールド オペレーションズ エルエルシー Discharge reduction in sealed component
JP7391070B2 (en) 2020-11-10 2023-12-04 ベイカー ヒューズ オイルフィールド オペレーションズ エルエルシー Reduced discharge of sealed components

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