JP2006122774A - Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas - Google Patents

Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas Download PDF

Info

Publication number
JP2006122774A
JP2006122774A JP2004312053A JP2004312053A JP2006122774A JP 2006122774 A JP2006122774 A JP 2006122774A JP 2004312053 A JP2004312053 A JP 2004312053A JP 2004312053 A JP2004312053 A JP 2004312053A JP 2006122774 A JP2006122774 A JP 2006122774A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust gas
adsorption
supplied
chlorinated solvent
flow rate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004312053A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takaya Komine
孝也 小峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Aircraft Industry Co Ltd
Original Assignee
Showa Aircraft Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Aircraft Industry Co Ltd filed Critical Showa Aircraft Industry Co Ltd
Priority to JP2004312053A priority Critical patent/JP2006122774A/en
Publication of JP2006122774A publication Critical patent/JP2006122774A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detoxification apparatus of a chlorine type solvent in an exhaust gas capable of treatment the exhaust gas firstly over a range from a large flow rate to a small flow rate by one apparatus, capable of certainly removing a chlorine type solvent secondly, capable of detoxifying a harmful produced substance thirdly, capable of confirming the breakthrough progress state of the adsorbent (activated carbon) in an adsorbing/desorbing tank fourthly and capable of reducing the running cost fifthly. <P>SOLUTION: The detoxification apparatus 1 is constituted so that a large flow rate of the exhaust gas A containing the chlorine type solvent is supplied to the adsorbing/desorbing tank 3 to adsorb the chlorine type solvent by the adsorbent 9 and the chlorine type solvent adsorbed by the adsorbent 9 is desorbed by the hot air C from a hot air supply part 4. A plasma reactor 5 is constituted so that a small flow rate of the exhaust gas containing the chlorine type solvent is supplied or a small flow rate of the secondary exhaust gas containing the chlorine type solvent desorbed from the adsorbing/desorbing tank 3 is supplied to decompose the chlorine type solvent by plasma discharge and an oxidation catalyst part 6 or a collection and neutralization tank 7 is also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置に関する。すなわち、排気ガス中に含有された塩素系溶剤を無害化する処理装置に関するものである。   The present invention relates to an apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas. That is, the present invention relates to a processing apparatus for detoxifying a chlorinated solvent contained in exhaust gas.

《技術的背景》
塩素系溶剤を含有した排気ガスは、各種の工業的,化学的処理工程から排出され、そのまま大気中に放出すると、人体や環境に有害であり、浮遊粒子状物質PMや光化学スモッグの原因物質ともなる。
そこで、この塩素系溶剤を含有した排気ガスの排出口には、環境対策用に蓄熱燃焼装置その他の無害化処理装置が、取付けられている。
《Technical background》
Exhaust gas containing chlorinated solvents is exhausted from various industrial and chemical treatment processes, and if released into the atmosphere as it is, it is harmful to the human body and the environment, and it is also a cause of suspended particulate matter PM and photochemical smog. Become.
Therefore, a heat storage combustion device and other detoxification treatment devices are attached to the exhaust gas exhaust port containing the chlorinated solvent for environmental measures.

《従来技術》
この種の無害化処理装置の代表例である蓄熱燃焼装置は、例えば、次の方式よりなっていた。
すなわち蓄熱燃焼装置では、塩素系溶剤を含有した排気ガスを、ハニカム構造でセラミック製の蓄熱体に供給して通過させる。そしてまず、種火で引火させて、その燃焼熱を蓄熱体に蓄熱しておき、事後に供給される排気ガスを、この蓄熱体の各セル壁との接触に基づき発火させる、方式よりなる。
もって、このような循環方式により、排気ガス中に含有されていた塩素系溶剤を燃焼,除去し、もって排気ガスを大気へと放出していた。
<Conventional technology>
A heat storage combustion apparatus, which is a representative example of this kind of detoxification processing apparatus, has been made of the following method, for example.
That is, in the heat storage combustion apparatus, exhaust gas containing a chlorinated solvent is supplied to and passed through a ceramic heat storage body with a honeycomb structure. First, it is ignited with a seed fire, the combustion heat is stored in the heat storage body, and the exhaust gas supplied afterwards is ignited based on contact with each cell wall of the heat storage body.
Therefore, by such a circulation system, the chlorinated solvent contained in the exhaust gas is burned and removed, and the exhaust gas is released to the atmosphere.

ところで、このような従来例については、次の問題が指摘されていた。
《第1の問題点について》
第1に、この種の無害化処理装置の代表例である蓄熱燃焼装置については、排気ガスの流量に見合った装置が必要となる、という問題が指摘されていた。
すなわち蓄熱燃焼装置では、前述したように、排気ガスを蓄熱体との接触に基づいて発火,燃焼させる方式よりなるので、排気ガスと蓄熱体との接触時間が重要となる。そこで、排気ガスの流量に見合ったサイズの蓄熱体が要請されており、100m/hr程度の小流量の排気ガスの場合は、小サイズの蓄熱体を備えた小型装置が、専用的に使用されている。又、1,000m/hr程度の大流量の排気ガスの場合は、大サイズの蓄熱体を備えた大型装置が、専用的に使用されている。
このように、排気ガスの流量により、大型,小型の蓄熱燃焼装置を使い分けることを要し、設備コスト面や作業効率面に問題が指摘されていた。
By the way, the following problems have been pointed out with respect to such a conventional example.
<About the first problem>
First, a problem has been pointed out that a heat storage combustion apparatus, which is a representative example of this type of detoxification processing apparatus, requires an apparatus suitable for the flow rate of exhaust gas.
That is, in the heat storage combustion apparatus, as described above, since the exhaust gas is ignited and burned based on the contact with the heat storage body, the contact time between the exhaust gas and the heat storage body is important. Therefore, there is a demand for a heat storage body having a size suitable for the flow rate of exhaust gas. In the case of exhaust gas with a small flow rate of about 100 m 3 / hr, a small device equipped with a small size heat storage body is used exclusively. Has been. Further, in the case of exhaust gas having a large flow rate of about 1,000 m 3 / hr, a large apparatus having a large-sized heat accumulator is used exclusively.
As described above, it is necessary to use a large-sized and small-sized heat storage combustion device depending on the flow rate of the exhaust gas, and problems have been pointed out in terms of equipment cost and work efficiency.

《第2の問題点について》
第2に、蓄熱燃焼装置その他のこの種の無害化処理装置については、排気ガス中の塩素系溶剤の除去,クリーン化が不十分,不確実である、という問題が指摘されていた。
例えば蓄熱燃焼装置では、排気ガスと蓄熱体との接触時間がマッチせず、処理時間が不足することが多々あり、又、排気ガス中の塩素系溶剤が高密度であることが、処理上必須的に要求される等により、処理不足が発生し易く、未燃焼の塩素系溶剤を含有した排気ガスが、大気に放出されてしまうことが、多々あった。
About the second problem
Secondly, it has been pointed out that the heat storage combustion device and other detoxification treatment devices of this kind are uncertain and unreliable in removing and cleaning the chlorinated solvent in the exhaust gas.
For example, in a heat storage combustion device, the contact time between the exhaust gas and the heat storage body does not match, the processing time is often insufficient, and the high density of the chlorinated solvent in the exhaust gas is essential for processing. In many cases, exhaustion gas containing unburned chlorinated solvent is easily released to the atmosphere due to demands and the like.

《本発明について》
本発明の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべくなされたものである。
そして、熱風供給部付の吸脱着槽とプラズマリアクターとを、直列,並列の2段構えで組み合わせて採用すると共に、酸化触媒部や捕集中和槽も備えていること、を特徴とする。更に、吸脱着槽の各高さレベルに温度検出手段を設けたり、夜間電力帯において熱風供給部やプラズマリアクターを駆動させること、を特徴とする。
もって本発明は、第1に、大流量の排気ガスから小流量の排気ガスまで、1台で対応,処理でき、第2に、塩素系溶剤を確実に除去でき、排気ガスが十分にクリーン化され、第3に、途中の有害生成物質も無害化され、第4に、吸脱着槽の吸着材(活性炭)の破過進行状況を把握でき、第5に、夜間電力利用により、ランニングコストも低減可能な、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置を提案すること、を目的とする。
<< About the present invention >>
In view of such circumstances, the apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to the present invention has been made in order to solve the problems of the conventional example.
In addition, an adsorption / desorption tank with a hot air supply unit and a plasma reactor are used in combination in a two-stage configuration in series and in parallel, and an oxidation catalyst unit and a trapping summing tank are also provided. Further, the present invention is characterized in that a temperature detecting means is provided at each height level of the adsorption / desorption tank, and a hot air supply unit and a plasma reactor are driven in the nighttime power band.
Therefore, according to the present invention, first, from a large flow rate of exhaust gas to a small flow rate of exhaust gas, one unit can handle and process, and secondly, the chlorinated solvent can be removed reliably, and the exhaust gas is sufficiently cleaned Third, harmful product substances in the middle are made harmless, and fourth, the progress of breakthrough of the adsorbent (activated carbon) in the adsorption / desorption tank can be grasped. The object is to propose a detoxifying device for chlorine solvent in exhaust gas that can be reduced.

《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項1については次のとおり。
請求項1の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、排気ガス中に含有された塩素系溶剤の無害化処理装置であって、供給口,吸脱着槽,熱風供給部,プラズマリアクター等を、備えている。
そして該吸脱着槽は、吸着材が充填されており、該供給口から塩素系溶剤を含有した大流量の排気ガスが供給されて、塩素系溶剤を該吸着材に吸着し、もって無害化された排気ガスを、その排出口から大気へと放出可能である。
該熱風供給部は、熱風を該吸脱着槽に供給可能で、その熱風が、該吸脱着槽の吸着材に吸着された塩素系溶剤を、脱着可能となっている。
該プラズマリアクターは、該供給口から塩素系溶剤を含有した小流量の排気ガスが供給されるか、又は、該吸脱着槽の吸着材から脱着された塩素系溶剤を含有した熱風ガス、つまり小流量の2次的な排気ガスが供給される。そして、それらの排気ガスの塩素系溶剤をプラズマ放電により分解し、もって無害化された排気ガスを大気へと放出可能であること、を特徴とする。
<About each claim>
The technical means of the present invention for solving such a problem is as follows. First, claim 1 is as follows.
An apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 1 is a detoxifying apparatus for chlorinated solvent contained in exhaust gas, comprising a supply port, an adsorption / desorption tank, a hot air supply unit, a plasma reactor. Etc.
The adsorption / desorption tank is filled with an adsorbent, and a large amount of exhaust gas containing a chlorinated solvent is supplied from the supply port to adsorb the chlorinated solvent to the adsorbent, thereby rendering it harmless. Exhaust gas can be discharged from the exhaust port to the atmosphere.
The hot air supply unit can supply hot air to the adsorption / desorption tank, and the hot air can desorb the chlorinated solvent adsorbed by the adsorbent in the adsorption / desorption tank.
The plasma reactor is supplied with a small flow rate of exhaust gas containing a chlorinated solvent from the supply port, or hot air gas containing a chlorinated solvent desorbed from the adsorbent in the adsorption / desorption tank, that is, a small amount of gas. A secondary exhaust gas having a flow rate is supplied. And it is characterized by decomposing | disassembling the chlorine-type solvent of those exhaust gas by plasma discharge, and releasing the detoxified exhaust gas to air | atmosphere.

請求項2については次のとおり。請求項2の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、請求項1において、更に、酸化触媒部,捕集中和槽を備えている。
そして該酸化触媒部は、該プラズマリアクターを通過した排気ガスが供給され、酸化触媒により、残存していた塩素系溶剤を分解可能である。
該捕集中和槽は、該酸化触媒部から排気ガスが供給され、捕集中和溶液により、分解に伴う有害生成物質を中和や捕集し、もって無害化された排気ガスを、その排出口から大気へと放出可能であること、を特徴とする。
請求項3については次のとおり。請求項3の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、請求項1又は2において、該吸脱着槽は、下端部に設けられた排気ガスの入口と、上端部に設けられた排気ガスの該排出口と、該吸着材として内部に充填された活性炭と、温度検出手段と、を備えている。
そして該温度検出手段は、該活性炭の充填高さレベルに応じて複数設けられており、該活性炭について、塩素系溶剤の吸着そして破過が下から上へと徐々に進行して行くのに伴い、下から上へと徐々に進行して行く発熱そして発熱解除の温度変化を検出する。もって、検出された温度変化に基づき、該活性炭の破過進行状況を常時確認可能となっていること、を特徴とする。
Claim 2 is as follows. The device for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 2 further comprises an oxidation catalyst unit and a trapping sum tank in claim 1.
Then, the exhaust gas that has passed through the plasma reactor is supplied to the oxidation catalyst portion, and the remaining chlorinated solvent can be decomposed by the oxidation catalyst.
The trapping and summing tank is supplied with exhaust gas from the oxidation catalyst section, neutralizes and collects harmful product substances accompanying decomposition by the trapping and summing solution, and discharges the harmless exhaust gas to its outlet. It can be released from the atmosphere to the atmosphere.
Claim 3 is as follows. An apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 3 is characterized in that, in claim 1 or 2, the adsorption / desorption tank comprises an exhaust gas inlet provided at a lower end and an exhaust provided at an upper end. The gas discharge port, the activated carbon filled inside as the adsorbent, and temperature detection means are provided.
The temperature detecting means is provided in a plurality according to the filling height level of the activated carbon. As the activated carbon gradually adsorbs and breaks through the chlorinated solvent, the temperature detecting means gradually advances from the bottom to the top. It detects the temperature change of heat generation and heat release that gradually progress from bottom to top. Therefore, the progress of breakthrough of the activated carbon can be constantly confirmed based on the detected temperature change.

請求項4については次のとおり。請求項4の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、請求項1において、小流量の排気ガスであっても、日中においては請求項1の記載にかかわらず、該供給口から、該プラズマリアクターではなく該吸脱着槽に供給される。
これと共に、夜間電力帯において、該熱風供給部から該吸脱着槽に熱風が供給されると共に、該吸脱着槽から供給された2次的な排気ガスについて、該プラズマリアクターにてプラズマ放電による塩素系溶剤の分解が行われ、もって無害化された排気ガスを大気へと放出可能となっていること、を特徴とする、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置。
請求項5については次のとおり。請求項5の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、請求項1において、該熱風供給部は、塩素系溶剤の沸点の1.88倍程度以上の温度の熱風を、小流量にて該吸脱着槽に供給可能となっていること、を特徴とする。
Claim 4 is as follows. The detoxification treatment apparatus for chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 4 is the same as that of claim 1, even if the exhaust gas has a small flow rate. , Not to the plasma reactor, but to the adsorption / desorption tank.
At the same time, hot air is supplied from the hot air supply unit to the adsorption / desorption tank in the nighttime power band, and the secondary exhaust gas supplied from the adsorption / desorption tank is chlorinated by plasma discharge in the plasma reactor. An apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas, characterized in that the exhaust gas detoxified by decomposing the system solvent can be released to the atmosphere.
Claim 5 is as follows. An apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 5 is characterized in that, in claim 1, the hot blast supply unit supplies hot air having a temperature of about 1.88 times the boiling point of the chlorinated solvent at a low flow rate. It can be supplied to the adsorption / desorption tank.

《作用について》
本発明の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、このようになっているので、次のようになる。
(1)供給された排気ガスは、大流量の場合は、吸脱着槽に供給され、小流量の場合は、プラズマリアクターに供給される。
(2)吸脱着槽に供給された排気ガスは、塩素系溶剤が吸脱着槽に吸着,除去されて、大気放出される。吸着が完了すると、熱風供給部から塩素系溶剤の沸点の1.88倍程度以上の温度の熱風が、小流量にて吸脱着槽に供給され、吸着されていた塩素系溶剤が脱着されて、塩素系溶剤を含有した2次的な排気ガスが、プラズマリアクターに供給される。 (3)プラズマリアクターには、小流量の排気ガス、又は2次的な排気ガスが供給され、もって塩素系溶剤が、プラズマ放電により分解,除去される。
(4)それから排気ガスは、酸化触媒部に供給され、残存していた塩素系溶剤が分解,除去される。
(5)最後に排気ガスは、捕集中和槽に供給され、分解に伴う有害生成物質が中和や捕集されて、大気放出される。
<About action>
The detoxification apparatus for chlorine solvent in exhaust gas according to the present invention is as described above, and is as follows.
(1) The supplied exhaust gas is supplied to the adsorption / desorption tank when the flow rate is large, and is supplied to the plasma reactor when the flow rate is small.
(2) The exhaust gas supplied to the adsorption / desorption tank is released to the atmosphere after the chlorinated solvent is adsorbed and removed by the adsorption / desorption tank. When the adsorption is completed, hot air having a temperature of about 1.88 times the boiling point of the chlorinated solvent is supplied from the hot blast supply unit to the adsorption / desorption tank at a small flow rate, and the adsorbed chlorinated solvent is desorbed, Secondary exhaust gas containing a chlorinated solvent is supplied to the plasma reactor. (3) A small amount of exhaust gas or secondary exhaust gas is supplied to the plasma reactor, so that the chlorinated solvent is decomposed and removed by plasma discharge.
(4) Then, the exhaust gas is supplied to the oxidation catalyst unit, and the remaining chlorinated solvent is decomposed and removed.
(5) Finally, the exhaust gas is supplied to the trapping and summing tank, and harmful product substances accompanying the decomposition are neutralized and collected and released into the atmosphere.

(6)無害化処理装置は、このようようになっている。そして上述したように、まず、大流量の排気ガスは、吸脱着槽の吸脱着を利用して小流量に流量調整してから、プラズマリアクターに供給され、小流量の排気ガスは、直接プラズマリアクターに供給される。吸脱着槽は、大流量の排気ガスを処理可能であり、プラズマリアクターは、小流量の排気ガスの処理に適しており、それぞれにマッチした処理が実施される。
そこで、この無害化処理装置は1台で、塩素系溶剤を含有した大流量の排気ガスも小流量の排気ガスも、処理可能である。
(7)この無害化処理装置では、大流量の排気ガスは、塩素系溶剤が吸脱着槽にて確実に吸着,除去されて、大気放出される。小流量の排気ガスや、吸脱着槽を経由した2次的な排気ガスは、塩素系溶剤がプラズマリアクターと酸化触媒部にて確実に分解,除去されて、大気放出される。このように、この無害化処理装置は、塩素系溶剤を確実に除去可能である。
(8)更に、この無害化処理装置では、塩素系溶剤の分解に伴う有害生成物質も、捕集中和槽にて中和や捕集されてから、大気放出される。このように、有害生成物質も除去される。
(6) The detoxification processing apparatus is as described above. As described above, first, a large flow rate of exhaust gas is adjusted to a small flow rate using the adsorption / desorption of the adsorption / desorption tank, and then supplied to the plasma reactor. To be supplied. The adsorption / desorption tank can treat a large flow rate of exhaust gas, and the plasma reactor is suitable for the treatment of a small flow rate of exhaust gas, and a process that matches each is performed.
Therefore, the single detoxification treatment apparatus can treat both a large flow rate exhaust gas containing a chlorinated solvent and a small flow rate exhaust gas.
(7) In this detoxification treatment apparatus, a large amount of exhaust gas is released into the atmosphere after the chlorinated solvent is reliably adsorbed and removed in the adsorption / desorption tank. A small amount of exhaust gas and secondary exhaust gas that passes through the adsorption / desorption tank are released into the atmosphere after the chlorinated solvent is reliably decomposed and removed by the plasma reactor and the oxidation catalyst section. Thus, this detoxification processing apparatus can reliably remove the chlorinated solvent.
(8) Further, in this detoxification treatment apparatus, harmful product substances accompanying the decomposition of the chlorinated solvent are neutralized and collected in the collection concentration tank, and then released into the atmosphere. In this way, harmful product substances are also removed.

(9)ところで、この無害化処理装置の吸脱着槽では、吸着材である活性炭について、塩素系溶剤の吸着と破過、これに伴う発熱と発熱解除が、下から上へと進行して行く。そこで、各高さレベルに温度検出手段を設けて、温度変化をモニターすることにより、破過進行状況をタイムリーに把握でき全体的破過を予測できるので、例えば、塩素系溶剤の吸着不能事故も防止される。
(10)なお、この無害化処理装置は、前述に拘わらず次の処理も可能である。すなわち、小流量の排気ガスであっても、日中は吸脱着槽に供給して塩素系溶剤を吸着しておき、夜間に熱風供給部やプラズマリアクターを駆動して、脱着された塩素系溶剤を分解,除去する。この場合は、熱風供給部やプラズマリアクターが、夜間電力帯特に深夜電力帯に駆動されるので、電気代が軽減される。
勿論、大流量の排気ガスの場合も、このように、日中に吸脱着槽に供給して、夜間に熱風供給部やプラズマリアクターを駆動することにより、電気代を軽減可能である。
(9) By the way, in the adsorption / desorption tank of the detoxification treatment apparatus, adsorption and breakthrough of the chlorinated solvent, and heat generation and heat release accompanying this progress from the bottom to the top for the activated carbon that is the adsorbent. . Therefore, by providing temperature detection means at each height level and monitoring temperature changes, the progress of breakthrough can be grasped in a timely manner and overall breakthrough can be predicted. Is also prevented.
(10) It should be noted that this detoxification processing apparatus can also perform the following processing regardless of the above. That is, even if the exhaust gas has a small flow rate, it is supplied to the adsorption / desorption tank during the day to adsorb the chlorinated solvent, and the dehumidified chlorinated solvent is driven at night by driving the hot air supply unit and the plasma reactor. Disassemble and remove. In this case, since the hot air supply unit and the plasma reactor are driven in the night power band, particularly in the late night power band, the electricity bill is reduced.
Of course, even in the case of exhaust gas with a large flow rate, the electricity cost can be reduced by supplying the gas to the adsorption / desorption tank during the day and driving the hot air supply unit and the plasma reactor at night.

《本発明の特徴》
本発明に係る排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置は、このように、熱風供給部付の吸脱着槽とプラズマリアクターとを、直列,並列の2段構えで組み合わせて採用すると共に、酸化触媒部や捕集中和槽も備えていること、を特徴とする。更に、吸脱着槽の各高さレベルに温度検出手段を設けたり、夜間電力帯において熱風供給部やプラズマリアクターを駆動させること、を特徴とする。
そこで本発明は、次の効果を発揮する。
<Features of the present invention>
In this way, the detoxification treatment apparatus for chlorinated solvent in exhaust gas according to the present invention employs a combination of an adsorption / desorption tank with a hot air supply unit and a plasma reactor in a two-stage configuration in series and parallel, It also has an oxidation catalyst part and a trapping concentration sump tank. Further, the present invention is characterized in that a temperature detecting means is provided at each height level of the adsorption / desorption tank, and a hot air supply unit and a plasma reactor are driven in the nighttime power band.
Therefore, the present invention exhibits the following effects.

《第1の効果》
まず第1に、大流量の排気ガスから小流量の排気ガスまで、1台で対応,処理可能である。
すなわち、本発明の無害化処理装置では、大流量の排気ガスは、吸脱着槽により小流量化してプラズマリアクターに供給し、小流量の排気ガスは、直接プラズマリアクターに供給する。そこで1台で、塩素系溶剤を含有した大流量の排気ガスも小流量の排気ガスも、処理可能である。つまり、塩素系溶剤を含有した各種風量の排気ガスに、1台で対応可能である。
前述したこの種従来例のように、大流量の排気ガス専用の大型装置と、小流量の排気ガス専用の小型装置とを、常置して使い分ける必要はない。もって、設備コスト面や作業効率面に優れている。
<< First effect >>
First, a single unit can handle and process a large flow rate of exhaust gas to a small flow rate of exhaust gas.
That is, in the detoxification processing apparatus of the present invention, a large flow rate of exhaust gas is reduced in flow by the adsorption / desorption tank and supplied to the plasma reactor, and a small flow rate of exhaust gas is directly supplied to the plasma reactor. Therefore, a single unit can treat both a large flow rate exhaust gas containing a chlorinated solvent and a small flow rate exhaust gas. That is, one unit can cope with exhaust gases of various air volumes containing a chlorinated solvent.
As in the above-described conventional example, there is no need to always use a large device dedicated to a large flow rate exhaust gas and a small device dedicated to a small flow rate exhaust gas. Therefore, it is excellent in equipment cost and work efficiency.

《第2の効果》
そして第2に、塩素系溶剤を確実に除去でき、排気ガスが十分にクリーン化されて大気放出される。
すなわち、本発明の無害化処理装置では、大流量の排気ガス中に含有されていた塩素系溶剤は、吸脱着槽の吸着材にて吸着,除去され、もってクリーン化された排気ガスが大気放出される。又、小流量の排気ガス中に含有されていた塩素系溶剤や、吸脱着槽から脱着された塩素系溶剤は、プラズマリアクターにて分解,除去され、更に念のため酸化触媒部で分解,除去され、もってクリーン化された排気ガスが大気放出される。
前述したこの種従来例のように、塩素系溶剤を含有した排気ガスが大気放出されてしまうことは、確実に防止される。勿論、揮発性有機化合物VOCの排出規制も、十分満足することができる。
<< Second effect >>
Second, the chlorinated solvent can be removed reliably, and the exhaust gas is sufficiently cleaned and released into the atmosphere.
That is, in the detoxification treatment apparatus of the present invention, the chlorinated solvent contained in the exhaust gas at a large flow rate is adsorbed and removed by the adsorbent in the adsorption / desorption tank, and the exhaust gas thus cleaned is released into the atmosphere. Is done. Chlorine solvents contained in the exhaust gas with a small flow rate and chlorine solvents desorbed from the adsorption / desorption tank are decomposed and removed by the plasma reactor, and further decomposed and removed by the oxidation catalyst section just in case. Thus, the exhaust gas that has been cleaned is released into the atmosphere.
The exhaust gas containing a chlorinated solvent is reliably prevented from being released into the atmosphere as in the above-described conventional example. Of course, the emission regulation of the volatile organic compound VOC can be sufficiently satisfied.

《第3の効果》
第3に、途中の有害生成物質も無害化される。すなわち、本発明の無害化処理装置は捕集中和槽を備えており、塩素系溶剤の分解に伴う有害生成物質を中和や捕集する。もって、この面からも無害化され十分にクリーン化された排気ガスが、大気放出される。
《Third effect》
Thirdly, harmful product substances in the middle are also rendered harmless. That is, the detoxification treatment apparatus of the present invention includes a trapping sum tank, and neutralizes and collects harmful product substances accompanying the decomposition of chlorinated solvents. Therefore, the exhaust gas which has been made harmless and sufficiently cleaned from this aspect is released into the atmosphere.

《第4の効果》
第4に、吸脱着槽の活性炭の破過進行状況を常時把握可能である。すなわち、本発明の無害化処理装置では、吸脱着槽の各高さレベルに温度検出手段を備えており、塩素系溶剤の吸着時における吸着材である活性炭の破過進行状況を常時確認できる。
もって、活性炭の全体的破過を事前に予測可能であり、吸脱着槽を常時正常に機能させることができると共に、活性炭を無駄なく効率的に使用可能である。
<< 4th effect >>
Fourth, it is possible to constantly grasp the progress of breakthrough of activated carbon in the adsorption / desorption tank. That is, in the detoxification processing apparatus of the present invention, temperature detection means is provided at each level of the adsorption / desorption tank, and the progress of breakthrough of activated carbon, which is an adsorbent during adsorption of a chlorinated solvent, can always be confirmed.
Therefore, it is possible to predict the overall breakthrough of the activated carbon in advance, the adsorption / desorption tank can function normally at all times, and the activated carbon can be used efficiently without waste.

《第5の効果》
第5に、夜間電力利用により、ランニングコストも低減可能である。すなわち、本発明の無害化処理装置では、小流量の排気ガスを、日中は、吸脱着槽に供給して塩素系溶剤を吸着,除去させておいて、夜間に、熱風供給部やプラズマリアクターにて、脱着された塩素系溶剤を分解,除去させる方式も、実施可能である。勿論、大流量の排気ガスの場合も、同様に日中に吸着して夜間に分解する方式を、容易に実施可能である。
そして、これらの場合は、夜間電力特に深夜電力を利用するので、電気代が軽減される等、ランニングコスト面に優れるようになる。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
《Fifth effect》
Fifth, running costs can be reduced by using nighttime power. That is, in the detoxification treatment apparatus of the present invention, a small amount of exhaust gas is supplied to an adsorption / desorption tank during the day to adsorb and remove the chlorinated solvent, and at night, a hot air supply unit or a plasma reactor is used. A method of decomposing and removing the desorbed chlorine-based solvent can also be implemented. Of course, in the case of exhaust gas having a large flow rate, a method of adsorbing during the day and decomposing at night can be easily implemented.
In these cases, since nighttime power, particularly late-night power, is used, the cost of electricity is reduced and the running cost is improved.
As described above, the effects exerted by the present invention are remarkably large, such as all the problems existing in this type of conventional example are solved.

《図面について》
以下、本発明の排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置を、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。
そして図1は、全体構成の正面説明図である。図2は、プラズマリアクターを示し、(1)図は側面図、(2)図は斜視図である。
《About drawing》
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to the present invention will be described in detail based on the best mode for carrying out the invention shown in the drawings.
FIG. 1 is an explanatory front view of the entire configuration. FIG. 2 shows a plasma reactor, where (1) is a side view and (2) is a perspective view.

《無害化処理装置1の概要について》
この無害化処理装置1は、排気ガスA中に含有された塩素系溶剤を無害化処理する。そして図1に示したように、供給口2,吸脱着槽3,熱風供給部4,プラズマリアクター5,酸化触媒部6,捕集中和槽7,ブロア8等を、備えている。
そして、これらの各構成は、図1中に示されたような相互位置関係、上下関係のもとに配設されている。又、排気ガスA中に気化,ガス化して含有されている塩素系溶剤(気化,ガス化した塩素系溶剤を、以下単に塩素系溶剤と言う)としては、トリクロロエチレンCHCl(通称TCE)やジクロロメタンCHClが代表的であるが、その他の塩素系溶剤も考えられる。以下、これらについて順次説明する。
<< About the outline of the detoxification processing apparatus 1 >>
The detoxification treatment apparatus 1 detoxifies the chlorinated solvent contained in the exhaust gas A. And as shown in FIG. 1, the supply port 2, the adsorption / desorption tank 3, the hot-air supply part 4, the plasma reactor 5, the oxidation catalyst part 6, the collection concentration sum tank 7, the blower 8, etc. are provided.
These components are arranged based on the mutual positional relationship and the vertical relationship as shown in FIG. Further, as a chlorinated solvent that is vaporized and gasified in the exhaust gas A (the vaporized and gasified chlorinated solvent is hereinafter simply referred to as a chlorinated solvent), trichlorethylene C 2 HCl 3 (commonly called TCE) And dichloromethane CH 2 Cl 2 are typical, but other chlorinated solvents are also conceivable. Hereinafter, these will be sequentially described.

《吸脱着槽3について》
まず、吸脱着槽3について述べる。無害化処理装置1の吸脱着槽3は、吸着材9が充填されており、無害化処理装置1の供給口2から、塩素系溶剤を含有した大流量の排気ガスAが供給され、もって、含有されていた塩素系溶剤を吸着材9に吸着して、無害化された排気ガスAを、その排出口10から大気Bへと放出可能である。大流量の排気ガスAとは、例えば、100m/hrを超える流量のことを言う。
そして吸脱着槽3は、下端部側部に設けられた排気ガスAの入口11と、上端部上に設けられた排気ガスAの排出口10と、吸着材9として内部に充填された炭素物質よりなる活性炭12と、活性炭12を保持する金網14と、温度検出手段13と、を備えている。
<< About the adsorption / desorption tank 3 >>
First, the adsorption / desorption tank 3 will be described. The adsorption / desorption tank 3 of the detoxification treatment apparatus 1 is filled with an adsorbent 9, and a large flow of exhaust gas A containing a chlorinated solvent is supplied from the supply port 2 of the detoxification treatment apparatus 1, The contained chlorinated solvent is adsorbed by the adsorbent 9, and the detoxified exhaust gas A can be discharged from the outlet 10 to the atmosphere B. Exhaust gas A having a large flow rate refers to a flow rate exceeding 100 m 3 / hr, for example.
The adsorption / desorption tank 3 includes an exhaust gas A inlet 11 provided on the side of the lower end, an exhaust 10 of exhaust gas A provided on the upper end, and a carbon material filled inside as an adsorbent 9. Activated carbon 12, a wire mesh 14 that holds the activated carbon 12, and temperature detection means 13.

温度検出手段13は、活性炭12の充填高さレベルに応じて、複数設けられている。そして、充填された活性炭12について、塩素系溶剤の吸着そして破過が下から上へと段階的に徐々に進行して行くのに伴い、下から上へと段階的に徐々に進行して行く発熱そして発熱解除の温度変化を検出する。もって、検出された温度変化に基づき、活性炭12の破過進行状況を常時確認可能となっている。
図示例では、温度検出手段13として熱電体が使用されており、吸脱着槽3について、上部,中央部,下部にそれぞれ設けられ、もって計3本設けられている。
そして塩素系溶剤は、活性炭12に吸着される時に発熱し、活性炭12も共に発熱する。そして活性炭12は、塩素系溶剤の吸着により吸着容量が飽和して、吸着困難となって破過すると、吸着が止まると共に、吸着された塩素系溶剤そして活性炭12の発熱も止まる。
各高さレベルの温度検出手段13は、それぞれの高さレベルの活性炭12について、このような温度変化を検出して表示部に表示する。つまり、吸着前は低く、吸着時に高く、破過により再び低くなる温度変化が、活性炭12の下部,中央部,上部の各高さレベルについて順に発生し、温度検出手段13が順次これを検出,表示する。作業者は、この表示を見ることにより、活性炭12の破過進行状況を常時確認可能となる。
吸脱着槽3は、このようになっている。
A plurality of temperature detection means 13 are provided according to the filling height level of the activated carbon 12. Then, with respect to the filled activated carbon 12, the adsorption and breakthrough of the chlorinated solvent gradually proceeds stepwise from bottom to top, and gradually proceeds stepwise from bottom to top. Detect temperature change of heat generation and heat release. Therefore, the progress of breakthrough of the activated carbon 12 can always be confirmed based on the detected temperature change.
In the illustrated example, a thermoelectric material is used as the temperature detecting means 13, and the adsorption / desorption tank 3 is provided at each of an upper part, a central part, and a lower part, and thus a total of three are provided.
The chlorinated solvent generates heat when adsorbed on the activated carbon 12, and the activated carbon 12 also generates heat. Then, when the adsorption capacity of the activated carbon 12 is saturated due to adsorption of the chlorinated solvent and it becomes difficult to adsorb and breaks through, the adsorption is stopped and the adsorption of the adsorbed chlorinated solvent and the activated carbon 12 is also stopped.
The temperature detection means 13 at each height level detects such a temperature change for the activated carbon 12 at each height level and displays it on the display unit. That is, a temperature change that is low before adsorption, high at the time of adsorption, and low again due to breakthrough occurs sequentially for each of the lower, central, and upper height levels of the activated carbon 12, and the temperature detection means 13 sequentially detects this. indicate. The operator can always confirm the breakthrough progress of the activated carbon 12 by viewing this display.
The adsorption / desorption tank 3 is as described above.

《熱風供給部4について》
次に、熱風供給部4について述べる。無害化処理装置1の熱風供給部4は、熱風Cを吸脱着槽3に供給可能であり、この熱風Cが、吸脱着槽3の吸着材9に吸着された塩素系溶剤を、脱着可能となっている。
すなわち、吸脱着槽3には熱風供給部4が付設されており、熱風供給部4は、ヒーターや送風機を備え、吸気した大気Bを、流量100m/hr程度の小流量で熱風C化して、吸脱着槽3へと供給可能である。
供給される熱風Cの温度は、吸着された塩素系溶剤の脱着用に使用されることに鑑み、塩素系溶剤の沸点の1.88倍程度以上に設定される。例えば、トリクロロエチレンの沸点は87℃であり、熱風Cは、164℃以上に設定される。因に、塩素系溶剤は一般的に100℃未満の低沸点よりなる。
熱風供給部4は、このようになっている。
<< About hot air supply part 4 >>
Next, the hot air supply unit 4 will be described. The hot air supply unit 4 of the detoxification treatment apparatus 1 can supply the hot air C to the adsorption / desorption tank 3, and the hot air C can desorb the chlorinated solvent adsorbed by the adsorbent 9 in the adsorption / desorption tank 3. It has become.
That is, a hot air supply unit 4 is attached to the adsorption / desorption tank 3, and the hot air supply unit 4 includes a heater and a blower, and converts the intake air B into hot air C at a low flow rate of about 100 m 3 / hr. It can be supplied to the adsorption / desorption tank 3.
The temperature of the supplied hot air C is set to about 1.88 times the boiling point of the chlorinated solvent in view of being used for desorption of the adsorbed chlorinated solvent. For example, the boiling point of trichlorethylene is 87 ° C., and the hot air C is set to 164 ° C. or higher. The chlorinated solvent generally has a low boiling point of less than 100 ° C.
The hot air supply unit 4 is as described above.

《プラズマリアクター5について》
次に、プラズマリアクター5について述べる。無害化処理装置1のプラズマリアクター5は、無害化処理装置1の供給口2から塩素系溶剤を含有した小流量の排気ガスAが供給されるか、又は、上述した吸脱着槽3の吸着材9から脱着された塩素系溶剤を含有した熱風Cガス、つまり小流量の2次的な排気ガスAが供給される。
そして、それらの排気ガスAの塩素系溶剤をプラズマ放電により分解し、もって無害化された排気ガスAを大気Bへと放出可能である。
<About the plasma reactor 5>
Next, the plasma reactor 5 will be described. The plasma reactor 5 of the detoxification treatment apparatus 1 is supplied with a small flow rate of exhaust gas A containing a chlorinated solvent from the supply port 2 of the detoxification treatment apparatus 1 or the adsorbent of the adsorption / desorption tank 3 described above. 9 is supplied with hot air C gas containing the chlorine-based solvent desorbed from 9, that is, secondary exhaust gas A having a small flow rate.
Then, the chlorinated solvent of the exhaust gas A can be decomposed by plasma discharge, and the detoxified exhaust gas A can be released to the atmosphere B.

このようなプラズマリアクター5について、更に詳述する。まずプラズマリアクター5には、例えば流量100m/hr以下の小流量の排気ガスAが、供給口2から直接供給される。又、例えば流量100m/hr超の大流量の排気ガスAが、吸脱着槽3を経由し熱風供給部4からの熱風Cに基づき、流量100m/hrの小流量に調整されて、供給される。
プラズマリアクター5は、例えば図2に示したように、断面円形の一次側の中心電極15の外側に、間隔Dを存しつつ、同心円状にガラス管等の誘電体16を介し、2次側の外側電極17が配された構造よりなり、図示例では外径300mm、長さ200mmである。図示例では、このようなプラズマリアクター5が、4連2列で計8個配設されている。
そして、一次側電源の50Hの交流100Vを、例えば15kVのトランスにて6kV,3mAの高電圧に変換して、通電される。
Such a plasma reactor 5 will be further described in detail. First, the exhaust gas A having a small flow rate of, for example, a flow rate of 100 m 3 / hr or less is directly supplied to the plasma reactor 5 from the supply port 2. Further, for example, high flow exhaust gas A in the flow rate 100 m 3 / hr greater, based on the hot air C from the hot air supply unit 4 via the desorption vessel 3, is adjusted to a small flow rate of the flow rate 100 m 3 / hr, feed Is done.
For example, as shown in FIG. 2, the plasma reactor 5 is formed on the secondary side through a dielectric 16 such as a glass tube concentrically outside the central electrode 15 on the primary side with a circular cross section, with a distance D. The outer electrode 17 is arranged, and in the illustrated example, it has an outer diameter of 300 mm and a length of 200 mm. In the illustrated example, a total of eight such plasma reactors 5 are arranged in four rows and two rows.
Then, an AC 100V of 50H Z of the primary power supply, for example 6kV at 15kV transformer converts the high voltage of 3mA, is energized.

プラズマリアクター5は通電されて、中心電極15と外側電極17間に電圧が印加されることにより、プラズマ放電する。もって、中心電極15と外側電極17間の間隔Dに発生したプラズマ領域中を、排気ガスAが滞留,通過することにより、含有された塩素系溶剤が分解される。
すなわちプラズマ放電により、加速された高速電子が塩素系溶剤に衝突して、その化学結合を切断され易くする。これと共にプラズマ放電により、生成されたオゾンOや、オゾンOが自然分解した酸素Oラジカル等の活性酸素種が、塩素系溶剤と反応して、炭酸ガスCOや塩化水素HCl等に分解する。
例えば、塩素系溶剤がトリクロロエチレンCHClの場合は、次の化1の化学式により分解される。
When the plasma reactor 5 is energized and a voltage is applied between the center electrode 15 and the outer electrode 17, plasma discharge occurs. Accordingly, the exhaust gas A stays and passes through the plasma region generated at the interval D between the center electrode 15 and the outer electrode 17, so that the contained chlorinated solvent is decomposed.
That is, the accelerated fast electrons collide with the chlorinated solvent by the plasma discharge, and the chemical bond is easily broken. At the same time, by the plasma discharge, the generated oxygen O 3 and the active oxygen species such as the oxygen O radical that the ozone O 3 naturally decomposed react with the chlorine-based solvent and decompose into carbon dioxide CO 2 and hydrogen chloride HCl. To do.
For example, when the chlorinated solvent is trichlorethylene C 2 HCl 3 , it is decomposed by the following chemical formula 1.

Figure 2006122774
Figure 2006122774

なお、図示例のプラズマリアクター5全体では、例えば、小流量100m/hrの排気ガスAを供給した場合、排気ガスAは、流速0.2m/秒で滞留時間4秒となった。トリクロロンエチレンCHClの分解に要する時間は、通常3秒程度とされている。
プラズマリアクター5は、このようになっている。
In the illustrated plasma reactor 5 as a whole, for example, when exhaust gas A having a small flow rate of 100 m 3 / hr is supplied, the exhaust gas A has a residence time of 4 seconds at a flow rate of 0.2 m / second. The time required for the decomposition of trichloroethylene ethylene C 2 HCl 3 is usually about 3 seconds.
The plasma reactor 5 is as described above.

《酸化触媒部6について》
次に、酸化触媒部6について述べる。無害化処理装置1の酸化触媒部6は、プラズマリアクター5を通過した排気ガスAが供給され、酸化触媒18により、残存していた塩素系溶剤を分解可能となっている。
すなわち酸化触媒部6は、ハニカム構造の金属製の担体に、白金,その他の酸化触媒18が担持された構造よりなる。そして、通過する排気ガスA中に残存していた塩素系溶剤を、触媒作用により酸化させ、もって水HOや炭酸ガスCO等に分解する。
酸化触媒部6は、このようになっている。
<< Oxidation Catalyst 6 >>
Next, the oxidation catalyst unit 6 will be described. The oxidation catalyst unit 6 of the detoxification treatment apparatus 1 is supplied with the exhaust gas A that has passed through the plasma reactor 5, and the oxidation catalyst 18 can decompose the remaining chlorinated solvent.
That is, the oxidation catalyst portion 6 has a structure in which platinum and other oxidation catalysts 18 are supported on a metal carrier having a honeycomb structure. Then, the chlorinated solvent remaining in the passing exhaust gas A is oxidized by the catalytic action and decomposed into water H 2 O, carbon dioxide gas CO 2 and the like.
The oxidation catalyst unit 6 is as described above.

《捕集中和槽7について》
次に、捕集中和槽7について述べる。無害化処理装置1の捕集中和槽7は、酸化触媒部6から排気ガスAが供給され、捕集中和溶液19により、分解に伴う有害生成物質を中和や捕集し、もって無害化された排気ガスAを、その排出口20から大気Bへと放出可能である。
捕集中和槽7には、例えば水酸化ナトリウムNaOHの水溶液が、捕集中和溶液19として満たされている。そして捕集中和溶液19は、まず第1に、前工程のプラズマリアクター5において塩素系溶剤を分解した結果、生成された有害生成物質を中和する。
すなわち、捕集中和槽7に供給された排気ガスA中に含まれていた有害生成物質、例えば塩化水素HCl(前記化1の化学式を参照)を、捕集中和溶液19である水酸化ナトリウムNaOHの水溶液にて、次の化2の化学式により中和する。つまり捕集中和槽7中では、捕集中和溶液19により塩酸HClが塩化ナトリウムNaClと水HOに分解される。
<< About the catching sum tank 7 >>
Next, the trap concentration Japanese tank 7 will be described. The trapping sum tank 7 of the detoxification treatment apparatus 1 is supplied with the exhaust gas A from the oxidation catalyst unit 6 and neutralizes and collects harmful product substances accompanying the decomposition by the trapping sum solution 19 to be rendered harmless. The exhaust gas A can be discharged from the discharge port 20 to the atmosphere B.
The trapping sum tank 7 is filled with, for example, an aqueous solution of sodium hydroxide NaOH as a trapping sum solution 19. The trapped concentration solution 19 first neutralizes the harmful product produced as a result of decomposing the chlorinated solvent in the plasma reactor 5 in the previous step.
That is, harmful product substances, for example, hydrogen chloride HCl (refer to the chemical formula of Chemical Formula 1) contained in the exhaust gas A supplied to the trapping and summing tank 7, sodium hydroxide NaOH that is the trapping and summing solution 19. Is neutralized with the following chemical formula (2). That is, in the trapping and summing tank 7, hydrochloric acid HCl is decomposed into sodium chloride NaCl and water H 2 O by the trapping and summing solution 19.

Figure 2006122774
Figure 2006122774

これと共に捕集中和溶液19は、第2に、前工程のプラズマリアクター5において塩素系溶剤の分解のために生成された活性酸素種のうち、消費しきれず残存した有害生成物質であるオゾンOを、捕集する。すなわち、供給された排気ガスA中に残存していたオゾンOを、捕集中和溶液19の水HOにて捕集する。
これについて更に詳述すると、まず、濃度1%のガス状のオゾンOの半減期は、16時間程度であり、又、オゾンOの水HOに対する溶解度は、0.017kg/100kgである。そして、水に溶けた3ppmのオゾンOの半減期は30分程度と、大幅に短縮される。これに加え、オゾンOと水酸化ナトリウムNaOHとの反応や、捕集中和槽7に供給された排気ガスA中に前述により含有された塩化水素HClと、水酸化ナトリウムNaOHとの中和熱により、捕集中和溶液19の温度が上昇し、もって、オゾンOの半減期は更に短縮される。
このようにして、有害生成物質であるオゾンOは、捕集中和槽7の捕集中和溶液19により、捕集され酸素Oに分解されて消滅する。このようにして、無害化された排気ガスAが、大気Bに向け放出されることになる。
捕集中和槽7は、このようになっている。
At the same time, the trapped concentration solution 19 is secondly ozone O 3, which is a harmful product that cannot be consumed and remains among the active oxygen species generated for the decomposition of the chlorinated solvent in the plasma reactor 5 in the previous step. To collect. That is, the ozone O 3 remaining in the supplied exhaust gas A is collected by the water H 2 O of the collection and concentration solution 19.
More specifically, first, the half-life of gaseous ozone O 3 having a concentration of 1% is about 16 hours, and the solubility of ozone O 3 in water H 2 O is 0.017 kg / 100 kg. is there. And the half-life of 3 ppm ozone O 3 dissolved in water is greatly reduced to about 30 minutes. In addition, the reaction between ozone O 3 and sodium hydroxide NaOH, and the heat of neutralization of hydrogen chloride HCl and sodium hydroxide NaOH contained in the exhaust gas A supplied to the trapping and summing tank 7 as described above. As a result, the temperature of the trapped and concentrated solution 19 rises, and the half-life of ozone O 3 is further shortened.
In this manner, ozone O 3, which is a harmful product, is collected and decomposed into oxygen O 2 by the trapping concentration solution 19 in the trapping concentration tank 7 and disappears. In this way, the harmless exhaust gas A is released toward the atmosphere B.
The catching sum tank 7 is like this.

《その他》
なお第1に、図中、21は流量計であり、供給口2近くの下流に付設されており、無害化処理装置1に供給された排気ガスAについて、その流量を測定する。
第2に、前述した例では、大流量とは100m/hr超、小流量とは100m/hr以下としたが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、大流量は90m/hr超〜150m/hrの間で設定し、小流量を90m/hr〜150m/hr以下の間に設定するようにしてもよい。
第3に、ブロア8は供給口2に付設されており、供給された排気ガスAの圧力が不足している場合に、駆動される。
第4に、介装,接続される配管22については、次のとおり。まず、供給口2からの配管22は、途中で吸脱着槽3とプラズマリアクター5とに向け、途中で分岐されると共に、それぞれにバルブV1,V2が付設されている。
又、プラズマリアクター5への配管22の途中に、吸脱着槽3からプラズマリアクター5への配管22が接続されており、接続直前位置にそれぞれバルブV3,V4が付設されている。更に、プラズマリアクター5,酸化触媒部6,捕集中和槽7間を直列に接続すべく、配管22が介装されている。
又、熱風供給部4と吸脱着槽3、吸脱着槽3とその排出口10、捕集中和槽7とその排出口20間にも、それぞれ配管22が介装されており、前者2つには、バルブV5,V6がそれぞれ付設されている。
無害化処理装置1は、このようになっている。
<Others>
First, in the figure, reference numeral 21 denotes a flow meter, which is attached downstream near the supply port 2 and measures the flow rate of the exhaust gas A supplied to the detoxification treatment apparatus 1.
Secondly, in the example described above, the large flow rate is more than 100 m 3 / hr and the small flow rate is 100 m 3 / hr or less, but the present invention is not limited to this. For example, the large flow rate is set between 90m 3 / hr ultra ~150m 3 / hr, it may be set to a small flow rate during the following 90m 3 / hr~150m 3 / hr.
Thirdly, the blower 8 is attached to the supply port 2 and is driven when the pressure of the supplied exhaust gas A is insufficient.
Fourthly, the intervening and connected piping 22 is as follows. First, the piping 22 from the supply port 2 is branched halfway toward the adsorption / desorption tank 3 and the plasma reactor 5 along the way, and valves V1 and V2 are respectively attached thereto.
In addition, a pipe 22 from the adsorption / desorption tank 3 to the plasma reactor 5 is connected in the middle of the pipe 22 to the plasma reactor 5, and valves V3 and V4 are respectively attached immediately before the connection. Further, a pipe 22 is interposed to connect the plasma reactor 5, the oxidation catalyst unit 6, and the trapping and summing tank 7 in series.
Also, pipes 22 are interposed between the hot air supply unit 4 and the adsorption / desorption tank 3, the adsorption / desorption tank 3 and its discharge port 10, and the trapping and summing tank 7 and its discharge port 20, respectively. Are provided with valves V5 and V6, respectively.
The detoxification processing apparatus 1 is as described above.

《作用等》
本発明の排気ガスA中の塩素系溶剤の無害化処理装置1は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
(1)各種の工業的,化学的処理工程から排出され、もって気化,ガス化した塩素系溶剤を含有した排気ガスAは、この無害化処理装置1に供給される。
そして、無害化処理装置1に供給された排気ガスAは、例えば流量100m/hrを超える大流量の場合は、供給口2から、まず吸脱着槽3に供給される。これに対し、例えば流量100m/hr以下の小流量の場合は、供給口2から、まずプラズマリアクター5に供給される。
《Action etc.》
The chlorine-based solvent detoxification treatment apparatus 1 in the exhaust gas A of the present invention is configured as described above. Therefore, it becomes as follows.
(1) Exhaust gas A containing a chlorinated solvent that is discharged from various industrial and chemical treatment steps and vaporized and gasified is supplied to the detoxification treatment apparatus 1.
The exhaust gas A supplied to the detoxification treatment apparatus 1 is first supplied from the supply port 2 to the adsorption / desorption tank 3 when the flow rate exceeds, for example, 100 m 3 / hr. On the other hand, for example, in the case of a small flow rate of 100 m 3 / hr or less, the plasma is first supplied from the supply port 2 to the plasma reactor 5.

(2)そして大流量の場合は、バルブVが、V1閉,バルブV2開,バルブV3閉,バルブV4閉,バルブV5閉,バルブV6開に切換えられる。
もって、吸脱着槽3の下部に供給された大流量の排気ガスAは、吸脱着槽3内を上昇しつつ、含有されていた塩素系溶剤が、吸脱着槽3に充填された吸着材9である活性炭12に、吸着,除去され、もって無害化された排気ガスAとなって、上端部の排出口10から大気Bへと放出される。
そして、吸脱着槽3における吸着が完了すると、バルブVが、V1閉,V2閉,V3閉,V4開,V5開,V6閉に切換えられる。
もって熱風供給部4から、塩素系溶剤の沸点の1.88倍程度以上の温度の熱風Cが、小流量にて吸脱着槽3の下部に供給される。そこで吸脱着槽3では、吸着材9の活性炭12に吸着されていた塩素系溶剤が、この熱風Cにて離脱,脱着され、もって、脱着され濃縮された塩素系溶剤を含有した熱風Cガス、つまり小流量の2次的な排気ガスAが、上位に配設されたプラズマリアクター5へと供給される。
(2) When the flow rate is large, the valve V is switched to V1 closed, valve V2 opened, valve V3 closed, valve V4 closed, valve V5 closed, and valve V6 opened.
Accordingly, the exhaust gas A having a large flow rate supplied to the lower part of the adsorption / desorption tank 3 rises in the adsorption / desorption tank 3, and the adsorbent 9 in which the contained chlorine-based solvent is filled in the adsorption / desorption tank 3. The exhaust gas A adsorbed and removed by the activated carbon 12 is rendered harmless, and is discharged from the discharge port 10 at the upper end portion to the atmosphere B.
When the adsorption in the adsorption / desorption tank 3 is completed, the valve V is switched to V1, V2, V3, V4, V5, and V6.
Accordingly, hot air C having a temperature of about 1.88 times the boiling point of the chlorinated solvent is supplied from the hot air supply unit 4 to the lower portion of the adsorption / desorption tank 3 at a small flow rate. Therefore, in the adsorption / desorption tank 3, the chlorinated solvent adsorbed on the activated carbon 12 of the adsorbent 9 is desorbed and desorbed by the hot air C, and thus, hot air C gas containing the desorbed and concentrated chlorine solvent, That is, the secondary exhaust gas A having a small flow rate is supplied to the plasma reactor 5 disposed at the upper level.

なお、具体例については次のとおり。すなわち、塩素系溶剤としてガス状のトリクロロエチレンCHClを50ppm含有した大流量1,000m/hrの排気ガスAを、8時間(9.00〜17.00)にわたり吸脱着槽3に供給した場合、供給されたトリクロロエチレンCHClの量については、まず次のとおり。すなわち、1,000m/hr×8hr×50ppm=0.4mとなる。
そして次に、吸脱着槽3から脱着され濃縮されたガス状のトリクロロエチレンCHClを500ppm含有した小流量100m/hrの2次的な排気ガスAを、8時間(23.00〜7.00)にわたりプラズマリアクター5に供給した場合、供給されるトリクロロエチレンCHClの量は、次のとおりとなり、前記と同量供給されることになる。すなわち、100m/hr×8hr×500ppm=0.4mとなる。
Specific examples are as follows. That is, a large flow rate of 1,000 m 3 / hr of exhaust gas A containing 50 ppm of gaseous trichlorethylene C 2 HCl 3 as a chlorinated solvent is supplied to the adsorption / desorption tank 3 for 8 hours (9.00 to 17.00). In this case, the amount of trichlorethylene C 2 HCl 3 supplied is as follows. In other words, the 1,000m 3 /hr×8hr×50ppm=0.4m 3.
And then, a secondary exhaust gas A small flow rate 100 m 3 / hr of gaseous trichlorethylene C 2 HCl 3 to be desorbed from the desorption tank 3 enriched contained 500 ppm, 8 hours (23.00 to 7 .00), the amount of trichlorethylene C 2 HCl 3 supplied is as follows, and the same amount as above is supplied. In other words, the 100m 3 /hr×8hr×500ppm=0.4m 3.

(3)プラズマリアクター5には、前述した供給口2から直接供給された小流量の排気ガスA、又は上述した吸脱着槽3を経由した小流量の2次的な排気ガスAが、それぞれ供給される。前者の場合、バルブVは、V1開,V2閉,V3開,V4閉,V5閉,V6閉に切換えられる。
そして、プラズマリアクター5を通過する排気ガスAは、含有された塩素系溶剤が、電圧印可により発生したプラズマにより、その化学結合が切断され易くなると共に、生成されたオゾンOや酸素Oラジカル等の活性酸素種と反応して分解される。
このように、プラズマリアクター5に供給された排気ガスAは、含有されていた塩素系溶剤が、プラズマ放電により分解,除去され、もって無害化された排気ガスAとなる。
(3) The plasma reactor 5 is supplied with the small flow rate exhaust gas A directly supplied from the supply port 2 described above or the low flow rate secondary exhaust gas A via the adsorption / desorption tank 3 described above. Is done. In the former case, the valve V is switched to V1 open, V2 close, V3 open, V4 close, V5 close, and V6 close.
The exhaust gas A passing through the plasma reactor 5 is easily broken by the plasma generated by the voltage application of the contained chlorinated solvent, and the generated ozone O 3 , oxygen O radicals, etc. It is decomposed by reacting with active oxygen species.
In this way, the exhaust gas A supplied to the plasma reactor 5 becomes exhaust gas A in which the contained chlorine-based solvent is decomposed and removed by plasma discharge, and thus rendered harmless.

(4)プラズマリアクター5を通過した排気ガスAは、次に、酸化触媒部6に供給される。そして排気ガスAは、プラズマリアクター5にて分解,除去されずに残存していた塩素系溶剤が、酸化触媒部6の白金等の酸化触媒18により酸化されて、分解,除去され、もって確実に無害化された排気ガスAとなる。   (4) The exhaust gas A that has passed through the plasma reactor 5 is then supplied to the oxidation catalyst unit 6. The exhaust gas A is reliably decomposed and removed by oxidizing the chlorinated solvent remaining without being decomposed and removed in the plasma reactor 5 by the oxidation catalyst 18 such as platinum in the oxidation catalyst section 6. It becomes the harmless exhaust gas A.

(5)酸化触媒部6を通過した排気ガスAは、最後に、捕集中和槽7に供給される。そして排気ガスAは、捕集中和槽7の捕集中和溶液19により、分解に伴う有害生成物質が中和や捕集される。
すなわち、まず第1に、プラズマリアクター5での塩素系溶剤の分解により生成された塩化水素HCl等の有害生成物質が、水酸化ナトリウムNaOHの水溶液等の捕集中和溶液19により、中和される。これと共に第2に、プラズマリアクター5において生成され残存していたオゾンO等の活性酸素種・有害生成物質が、捕集中和溶液19により捕集される。もって排気ガスAは、この面からも、無害化された排気ガスAとなって、排出口20から大気Bへと放出される。
(5) The exhaust gas A that has passed through the oxidation catalyst unit 6 is finally supplied to the trapping and summing tank 7. The exhaust gas A is neutralized or collected by the trapped concentration solution 19 in the trapping concentration sump tank 7 with harmful product substances accompanying decomposition.
That is, first of all, harmful products such as hydrogen chloride HCl produced by the decomposition of the chlorinated solvent in the plasma reactor 5 are neutralized by the trapping and summing solution 19 such as an aqueous solution of sodium hydroxide NaOH. . At the same time, secondly, active oxygen species and harmful substances such as ozone O 3 generated and remaining in the plasma reactor 5 are collected by the trapping and summing solution 19. Therefore, the exhaust gas A is also made harmless exhaust gas A from this surface and is discharged from the exhaust port 20 to the atmosphere B.

本発明の排気ガスA中の塩素系溶剤の無害化処理装置1は、このようようになっている。そこで、次のようになる。
(6)まず上述したように、塩素系溶剤を含有した例えば1,000m/hrの大流量の排気ガスAは、吸脱着槽3を経由させ吸着材9による塩素系溶剤の吸脱着を利用して、例えば100m/hrの小流量に流量調整してから、プラズマリアクター5に供給される。これに対し、小流量の排気ガスAは直接、プラズマリアクター5に供給される。
吸脱着槽3は、吸着材9に吸着させる方式なので、長時間にわたり供給された大流量の排気ガスAを、処理可能である。これに対しプラズマリアクター5は、プラズマ放電にて分解させる方式なので、秒単位で通過する小流量の排気ガスAの処理に適している。そして、それぞれの処理態様にマッチした処理が、実施される。
このようにして、この無害化処理装置1は1台で、塩素系溶剤を含有した大流量の排気ガスAも小流量の排気ガスAも、共に処理可能である。
The chlorine-based solvent detoxification treatment apparatus 1 in the exhaust gas A of the present invention is as described above. Then, it becomes as follows.
(6) First, as described above, the exhaust gas A containing a chlorinated solvent and having a large flow rate of, for example, 1,000 m 3 / hr uses the adsorption / desorption of the chlorinated solvent by the adsorbent 9 through the adsorption / desorption tank 3. For example, the flow rate is adjusted to a small flow rate of 100 m 3 / hr, and then supplied to the plasma reactor 5. On the other hand, the exhaust gas A having a small flow rate is directly supplied to the plasma reactor 5.
Since the adsorption / desorption tank 3 is a system in which the adsorption / desorption tank 3 is adsorbed by the adsorbent 9, it is possible to treat the exhaust gas A having a large flow rate supplied over a long period of time. On the other hand, since the plasma reactor 5 is decomposed by plasma discharge, it is suitable for processing the exhaust gas A having a small flow rate that passes in units of seconds. And the process which matched each process aspect is implemented.
In this way, the harmless treatment apparatus 1 is a single unit, and can treat both a large flow rate exhaust gas A containing a chlorinated solvent and a small flow rate exhaust gas A.

(7)そして、本発明の無害化処理装置1では、大流量の排気ガスAは、含有されていた塩素系溶剤が吸脱着槽3にて確実に吸着,除去され、もって十分にクリーン化された排気ガスAとなって、大気Bへと放出される。
又、小流量の排気ガスAや、吸脱着槽3を経由した小流量の2次的な排気ガスAは、含有された塩素系溶剤が、プラズマリアクター5にて分解,除去され、更に残存していた塩素系溶剤が、酸化触媒部6にて分解,除去され、もって十分にクリーン化された排気ガスAとなって、大気Bへと放出される。
このようにして、排気ガスAに含有されていた塩素系溶剤が、確実に除去され、クリーン化された排気ガスAが大気Bへと放出される。
(7) And in the detoxification treatment apparatus 1 of the present invention, the exhaust gas A having a large flow rate is adsorbed and removed in the adsorption / desorption tank 3 with certainty, so that the contained chlorine-based solvent is sufficiently cleaned. Exhaust gas A is released into the atmosphere B.
In addition, the small amount of the exhaust gas A and the small amount of the secondary exhaust gas A that has passed through the adsorption / desorption tank 3 are decomposed and removed by the plasma reactor 5 after the contained chlorine-based solvent is further left. The chlorinated solvent which has been decomposed and removed by the oxidation catalyst section 6 becomes exhaust gas A that is sufficiently cleaned, and is released into the atmosphere B.
In this way, the chlorinated solvent contained in the exhaust gas A is reliably removed, and the cleaned exhaust gas A is released into the atmosphere B.

(8)更に、本発明の無害化処理装置1では、プラズマリアクター5の後に、捕集中和槽7が設けられている。
そして、プラズマリアクター5における塩素系溶剤の分解に伴い生成された有害生成物質が、捕集中和槽7にて中和や捕集されるので、この面からも、十分にクリーン化された排気ガスAが、大気Bへと放出される。
(8) Furthermore, in the detoxification processing apparatus 1 of the present invention, a trapping sum tank 7 is provided after the plasma reactor 5.
And since the harmful product produced | generated with decomposition | disassembly of the chlorinated solvent in the plasma reactor 5 is neutralized or collected in the collection concentration sump tank 7, the exhaust gas fully cleaned also from this surface A is released into the atmosphere B.

(9)ところで、本発明の無害化処理装置1の吸脱着槽3では、排気ガスA中に含有されていた塩素系溶剤は、まず下部の吸着材9である活性炭12に吸着され、下部の活性炭12が破過するとその上の活性炭12に吸着され、事後も順次、吸着そして破過が下から上へと進行して行く。
このような吸着と破過、そしてこれに伴う発熱と発熱解除が、(つまり吸着による発熱と破過による発熱解除とが、)下から上へと順次進行して行くので、この吸脱着槽3では、各高さレベル毎に温度検出手段13を設けて、その温度変化を検出,モニターするようにしたことにより、活性炭12の破過進行状況をタイムリーに把握可能となっている。
そこで例えば、吸脱着槽3の活性炭12の全体的破過を事前に予測でき、全体的破過の看過による塩素系溶剤の吸着不能事故を、防止可能となる。
又、途中の部分的高さレベルの破過に止まっていることが確認された場合は、次の使用時において、活性炭12を全体的破過に至るまで、無駄なく使い切ることが可能となる。更に、全体的破過の場合は、熱風Cの供給によって塩素系溶剤を脱着させることにより、活性炭12を再生して再使用するか、又は活性炭12を交換したりすることになる。
(9) By the way, in the adsorption / desorption tank 3 of the detoxification treatment apparatus 1 of the present invention, the chlorine-based solvent contained in the exhaust gas A is first adsorbed by the activated carbon 12 which is the lower adsorbent 9, When the activated carbon 12 breaks through, it is adsorbed by the activated carbon 12 thereabove, and after that, the adsorption and breakthrough proceed from the bottom to the top.
Such adsorption and breakthrough, and the accompanying heat generation and heat release (that is, heat generation due to adsorption and heat release due to breakthrough) proceed sequentially from bottom to top. Then, by providing the temperature detection means 13 for each height level and detecting and monitoring the temperature change, it is possible to grasp the breakthrough progress of the activated carbon 12 in a timely manner.
Therefore, for example, the overall breakthrough of the activated carbon 12 in the adsorption / desorption tank 3 can be predicted in advance, and it is possible to prevent an accident in which the chlorinated solvent cannot be adsorbed due to oversight of the overall breakthrough.
In addition, when it is confirmed that the partial breakthrough of the partial height level is stopped, the activated carbon 12 can be used up without waste until the entire breakthrough occurs in the next use. Furthermore, in the case of the overall breakthrough, the activated carbon 12 is regenerated and reused or the activated carbon 12 is replaced by desorbing the chlorinated solvent by supplying hot air C.

(10)なお、本発明の無害化処理装置1は、以上説明した処理方式,運転方式によらず、次のような処理方式,運転方式も可能である。
すなわち、小流量の排気ガスAであっても、日中においては、供給口2からプラズマリアクター5ではなく吸脱着槽3に供給して、塩素系溶剤を吸着,除去させ、もって排気ガスAをクリーン化して大気Bへと放出する。
そして、事後の夜間電力帯特に深夜電力帯において、熱風供給部4を駆動して吸脱着槽3に熱風Cを供給して、塩素系溶剤を脱着させると共に、吸脱着槽3から供給された2次的な排気ガスA中の脱着された塩素系溶剤を、プラズマリアクター5を駆動してプラズマ放電により分解,除去させ、もって排気ガスAをクリーン化して大気Bへと放出する。
このような処理方式,運転方式を実施した場合は、熱風供給部4やプラズマリアクター5が、夜間電力帯特に深夜電力帯に駆動されるので、その分、電気代を軽減可能である。
勿論、大流量の排気ガスAの場合も、このように、日中に大流量の排気ガスAを吸脱着槽3に供給して、吸着を実施しておき、電気料金の安い夜間電力帯特に深夜電力帯に、熱風供給部4やプラズマリアクター5を駆動して、脱着,分解を実施する処理方式,運転方式により、電気代を軽減可能である。
(10) The detoxification processing apparatus 1 according to the present invention can employ the following processing method and operation method regardless of the processing method and operation method described above.
That is, even if the exhaust gas A has a small flow rate, during the day, the exhaust gas A is supplied from the supply port 2 to the adsorption / desorption tank 3 instead of the plasma reactor 5 to adsorb and remove the chlorinated solvent. Clean and release to atmosphere B.
Then, in the subsequent night power band, particularly in the late-night power band, the hot air supply unit 4 is driven to supply the hot air C to the adsorption / desorption tank 3 to desorb the chlorinated solvent and 2 supplied from the adsorption / desorption tank 3. The desorbed chlorine-based solvent in the next exhaust gas A is decomposed and removed by plasma discharge by driving the plasma reactor 5, thereby cleaning the exhaust gas A and releasing it into the atmosphere B.
When such a processing method and an operation method are implemented, the hot air supply unit 4 and the plasma reactor 5 are driven in the night power band, particularly in the late night power band, so that the electricity bill can be reduced accordingly.
Of course, even in the case of a large flow rate of exhaust gas A, in this way, a large flow rate of exhaust gas A is supplied to the adsorption / desorption tank 3 during the daytime, and adsorption is performed. Electricity costs can be reduced by a processing method and an operation method in which the hot air supply unit 4 and the plasma reactor 5 are driven in the midnight power band to perform desorption and decomposition.

本発明に係る排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置について、発明を実施するための最良の形態の説明に供し、全体構成の正面説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory front view of the overall configuration of an apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to the present invention for explaining the best mode for carrying out the invention. プラズマリアクターを示し、(1)図は、側面図であり、(2)図は、斜視図である。A plasma reactor is shown, (1) A figure is a side view, (2) A figure is a perspective view.

符号の説明Explanation of symbols

1 無害化処理装置
2 供給口
3 吸脱着槽
4 熱風供給部
5 プラズマリアクター
6 酸化触媒部
7 捕集中和槽
8 ブロア
9 吸着材
10 排出口
11 入口
12 活性炭
13 温度検出手段
14 金網
15 中心電極
16 誘電体
17 外側電極
18 酸化触媒
19 捕集中和溶液
20 排出口
21 流量計
22 配管
A 排気ガス
B 大気
C 熱風
D 間隔
V バルブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Detoxification processing apparatus 2 Supply port 3 Adsorption / desorption tank 4 Hot-air supply part 5 Plasma reactor 6 Oxidation catalyst part 7 Collection concentration sum tank 8 Blower 9 Adsorbent 10 Outlet 11 Inlet 12 Activated carbon 13 Temperature detection means 14 Wire net 15 Central electrode 16 Dielectric 17 Outer electrode 18 Oxidation catalyst 19 Concentrated and concentrated solution 20 Outlet 21 Flow meter 22 Piping A Exhaust gas B Air C Hot air D Interval V Valve

Claims (5)

排気ガス中に含有された塩素系溶剤の無害化処理装置であって、供給口,吸脱着槽,熱風供給部,プラズマリアクター等を備えており、
該吸脱着槽は、吸着材が充填されており、該供給口から塩素系溶剤を含有した大流量の排気ガスが供給されて、塩素系溶剤を該吸着材に吸着し、もって無害化された排気ガスを、その排出口から大気へと放出可能であり、
該熱風供給部は、熱風を該吸脱着槽に供給可能で、その熱風が、該吸脱着槽の吸着材に吸着された塩素系溶剤を脱着可能となっており、
該プラズマリアクターは、該供給口から塩素系溶剤を含有した小流量の排気ガスが供給されるか、又は、該吸脱着槽の吸着材から脱着された塩素系溶剤を含有した熱風ガス、つまり小流量の2次的な排気ガスが供給され、それらの排気ガスの塩素系溶剤をプラズマ放電により分解し、もって無害化された排気ガスを大気へと放出可能であること、を特徴とする、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置。
A detoxifying device for chlorine solvent contained in exhaust gas, equipped with a supply port, an adsorption / desorption tank, a hot air supply unit, a plasma reactor, etc.
The adsorption / desorption tank is filled with an adsorbent, and a large amount of exhaust gas containing a chlorinated solvent is supplied from the supply port to adsorb the chlorinated solvent to the adsorbent, thereby rendering it harmless. Exhaust gas can be discharged from its outlet to the atmosphere,
The hot air supply unit can supply hot air to the adsorption / desorption tank, and the hot air can desorb the chlorinated solvent adsorbed on the adsorbent in the adsorption / desorption tank,
The plasma reactor is supplied with a small flow rate of exhaust gas containing a chlorinated solvent from the supply port, or hot air gas containing a chlorinated solvent desorbed from the adsorbent in the adsorption / desorption tank, that is, a small amount of gas. A secondary exhaust gas having a flow rate is supplied, a chlorine-based solvent of the exhaust gas is decomposed by plasma discharge, and the detoxified exhaust gas can be discharged to the atmosphere. Detoxification equipment for chlorinated solvents in gas.
請求項1に記載した排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置において、更に、酸化触媒部,捕集中和槽を備えており、
該酸化触媒部は、該プラズマリアクターを通過した排気ガスが供給され、酸化触媒により、残存していた塩素系溶剤を分解可能であり、
該捕集中和槽は、該酸化触媒部から排気ガスが供給され、捕集中和溶液により、分解に伴う有害生成物質を中和や捕集し、もって無害化された排気ガスを、その排出口から大気へと放出可能であること、を特徴とする、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置。
In the detoxification processing apparatus for chlorinated solvents in exhaust gas according to claim 1, further comprising an oxidation catalyst part, a trapping sum tank,
The oxidation catalyst part is supplied with exhaust gas that has passed through the plasma reactor, and can decompose the remaining chlorinated solvent with the oxidation catalyst.
The trapping and summing tank is supplied with exhaust gas from the oxidation catalyst section, neutralizes and collects harmful product substances accompanying decomposition by the trapping and summing solution, and discharges the harmless exhaust gas to its outlet. A detoxifying device for chlorinated solvents in exhaust gas, characterized in that it can be released from the atmosphere into the atmosphere.
請求項1又は2に記載した排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置において、該吸脱着槽は、下端部に設けられた排気ガスの入口と、上端部に設けられた排気ガスの該排出口と、該吸着材として内部に充填された活性炭と、温度検出手段と、を備えており、
該温度検出手段は、該活性炭の充填高さレベルに応じて複数設けられており、該活性炭について、塩素系溶剤の吸着そして破過が下から上へと徐々に進行して行くのに伴い、下から上へと徐々に進行して行く発熱そして発熱解除の温度変化を検出し、もって検出された温度変化に基づき、該活性炭の破過進行状況を常時確認可能となっていること、を特徴とする、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置。
3. The apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 1 or 2, wherein the adsorption / desorption tank comprises an exhaust gas inlet provided at a lower end and an exhaust gas provided at an upper end. A discharge port, activated carbon filled inside as the adsorbent, and temperature detection means,
A plurality of the temperature detection means are provided according to the filling height level of the activated carbon, and as the activated carbon gradually adsorbs and breaks through the chlorinated solvent, Detecting the temperature change of heat generation and release of heat generation that gradually proceeds from bottom to top, and based on the detected temperature change, it is possible to always check the progress of breakthrough of the activated carbon A detoxifying device for chlorinated solvents in exhaust gas.
請求項1に記載した排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置において、小流量の排気ガスであっても、日中においては請求項1の記載にかかわらず、該供給口から、該プラズマリアクターではなく該吸脱着槽に供給されると共に、
夜間電力帯において、該熱風供給部から該吸脱着槽に熱風が供給されると共に、該吸脱着槽から供給された2次的な排気ガスについて、該プラズマリアクターにてプラズマ放電による塩素系溶剤の分解が行われ、もって無害化された排気ガスを大気へと放出可能となっていること、を特徴とする、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置。
In the detoxification processing apparatus for chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 1, even if the exhaust gas has a small flow rate, the plasma is supplied from the supply port during the day regardless of the description in claim 1. Supplied to the adsorption / desorption tank, not the reactor,
In the nighttime power band, hot air is supplied from the hot air supply unit to the adsorption / desorption tank, and the secondary exhaust gas supplied from the adsorption / desorption tank is used to remove chlorine-based solvent by plasma discharge in the plasma reactor. An apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas, wherein the exhaust gas that has been decomposed and rendered harmless can be released to the atmosphere.
請求項1に記載した排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置において、該熱風供給部は、塩素系溶剤の沸点の1.88倍程度以上の温度の熱風を、小流量にて該吸脱着槽に供給可能となっていること、を特徴とする、排気ガス中の塩素系溶剤の無害化処理装置。   2. The apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas according to claim 1, wherein the hot air supply unit absorbs hot air having a temperature of about 1.88 times the boiling point of the chlorinated solvent at a small flow rate. An apparatus for detoxifying a chlorinated solvent in exhaust gas, characterized in that it can be supplied to a desorption tank.
JP2004312053A 2004-10-27 2004-10-27 Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas Pending JP2006122774A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004312053A JP2006122774A (en) 2004-10-27 2004-10-27 Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004312053A JP2006122774A (en) 2004-10-27 2004-10-27 Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006122774A true JP2006122774A (en) 2006-05-18

Family

ID=36718011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004312053A Pending JP2006122774A (en) 2004-10-27 2004-10-27 Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006122774A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016007551A (en) * 2014-06-20 2016-01-18 有限会社美鈴商会 Plasma treatment apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016007551A (en) * 2014-06-20 2016-01-18 有限会社美鈴商会 Plasma treatment apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108355474B (en) Photo-oxygen catalytic waste gas treatment system
US20040101460A1 (en) Apparatus and method for point-of-use treatment of effluent gas streams
JP5540337B2 (en) Exhaust gas treatment method and treatment apparatus
US7364603B2 (en) Method and apparatus for the abatement of toxic gas components from a semiconductor manufacturing process effluent stream
WO2008072392A1 (en) Method of treating discharge gas and apparatus therefor
CN206823397U (en) A kind of VOC off-gas cleaning equipments
JP2008073642A (en) Multi-purpose gas treatment device and its operation method
JP2006122774A (en) Detoxification apparatus of chlorine type solvent in exhaust gas
JP5318333B2 (en) Method and apparatus for treating fluorine compound-containing gas
JP5119804B2 (en) Processing apparatus and processing method for compound gas containing PFC and CO
JP6844247B2 (en) Detoxification device and detoxification method
KR101284826B1 (en) Deodorizing device for sewer facilities and deodorizing method
KR20010037128A (en) Air pollution control device
JP2004000916A (en) Decomposition device for material to be decomposed and decomposition method therefor
JP2016190206A (en) Removal method of arsine in exhaust gas
KR102472334B1 (en) Dust collector for the simultaneous treatment of dust and volatile organic compounds from exhaust gas
JP3360353B2 (en) Method for treating volatile organic halogen compounds
CN209662992U (en) Plasma purifier
JP2000157830A (en) Exhaust gas treatment method and apparatus
JP3586732B2 (en) Water treatment method and apparatus
JP2000093745A (en) Waste gas treatment method and treatment apparatus
JP2004105903A (en) Treatment method for hydrazine-containing wastewater
JP2005103520A (en) Pollutant decomposing method and apparatus used therein
JPH0623220A (en) Dry type harm-removing device
JP5860938B2 (en) Detoxification tower collection system and detoxification tower collection method