JP2006107929A - Ion mobility analyzing device and ion mobility analyzing method - Google Patents

Ion mobility analyzing device and ion mobility analyzing method Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ion mobility analyzing device separating and detecting ion with high resolution and low cost. <P>SOLUTION: The ion mobility analyzing device is composed of an ion source 1 generating first ion, a first drift part (L1) separating the first ion depending on the flying drift time of the first ion, an ion dissociation part (Lg) generating second ion by dissociating separated first ion, and a second drift part (L2) separating the second ion depending on the flying drift time of the second ion. The first drift part, the ion dissociation part, and the second drift part are stored in a chamber in which the pressure is 10 m/Torr or higher. Ion can be separated and detected with high resolution and low cost. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、イオン源でイオン化されたイオンを分析するイオンモビリティー分析装置及びイオンモビリティー分析方法に関する。   The present invention relates to an ion mobility analyzer and an ion mobility analysis method for analyzing ions ionized by an ion source.

イオンモビリティーはガス検知器等に広く用いられている。イオンモビリティー法によるイオン検出の他に、質量分析法がある。イオンモビリティー法ではイオン移動度により分離が行われ、質量分析法ではイオンの質量電荷比により分離が行われ、２つの方法は基本的に異なる。イオンモビリティー法では、１０ｍＴｏｒｒ以上の圧力下で行われ、イオン分離時におけるイオンとガスとの衝突が大きく、イオンとガスとの効果を積極的に利用している。質量分析法では、１ｍＴｏｒｒ以下の圧力下で行われ、イオン分離時におけるイオンとガスとの衝突回数が少ない。   Ion mobility is widely used for gas detectors and the like. In addition to ion detection by ion mobility method, there is mass spectrometry. In the ion mobility method, separation is performed based on ion mobility, and in the mass spectrometry method, separation is performed based on the mass-to-charge ratio of ions, and the two methods are basically different. The ion mobility method is performed under a pressure of 10 mTorr or more, and collision between ions and gas during ion separation is large, and the effect of ions and gas is actively used. Mass spectrometry is performed under a pressure of 1 mTorr or less, and the number of collisions between ions and gas during ion separation is small.

イオンモビリティー法について特許文献１に詳細に記載されている。特許文献１の記載によれば、電場が一様と仮定すると、イオンの移動度をＫ、電圧をＶ、移動距離をＬとする時、検出器までの到達時間Ｔは（数１）で表される。   The ion mobility method is described in detail in Patent Document 1. According to the description of Patent Document 1, assuming that the electric field is uniform, when the ion mobility is K, the voltage is V, and the movement distance is L, the arrival time T to the detector is expressed by (Equation 1). Is done.

Ｔ＝Ｌ２／（ＫＶ） …（数１）
イオン種によりイオンの移動度Ｋの値は異なるため、検出器までの到達時間によりイオン種を分離することが可能である。このようなイオン移動度の違いを利用したイオンモビリティーは、空港等の爆発物探知装置等に広く利用されている。 T = L 2 / (KV) (Equation 1)
Since the value of the ion mobility K differs depending on the ion species, the ion species can be separated according to the arrival time to the detector. Ion mobility using such a difference in ion mobility is widely used for explosives detection devices in airports and the like.

イオンモビリティーを用いてイオンを分離した後、イオン解離を行い、解離後のイオンを真空中の質量分析部で検出する方法が、特許文献１に記載されている。特許文献１の記載によれば、一度イオンモビリティーで分離を行った後、順次反応室へ分離されたイオンを導入する。反応室へ導入されたイオンは衝突解離等を経て、順次飛行時間型質量分析計等の質量分析部に導入され、質量分離検出が行われる。２次元的なデータ（１次元目：解離前のイオンのイオンモビリティーによる分析データ、２次元目：解離後のイオンの質量分析データ）が取得できるため、分解能が格段に向上する。イオンモビリティーのイオン排出時間が（数〜数１０）ｍｓ（ピーク幅：数１００μｓ〜数ｍｓ）であるのに対し、ＴＯＦにより質量スペクトルを取得するに要する時間は１００μｓ以下であるため、質量スペクトルはイオンモビリティーの分離時間との対応をつけることが可能となる。   Patent Document 1 discloses a method of performing ion dissociation after ion separation using ion mobility and detecting the dissociated ions with a mass spectrometer in a vacuum. According to the description of Patent Document 1, ions are separated by ion mobility, and then the separated ions are sequentially introduced into the reaction chamber. The ions introduced into the reaction chamber are sequentially introduced into a mass analyzer such as a time-of-flight mass spectrometer through collision dissociation and the like, and mass separation detection is performed. Since two-dimensional data (first dimension: analysis data by ion mobility of ions before dissociation, second dimension: mass analysis data of ions after dissociation) can be acquired, the resolution is remarkably improved. Since the ion ejection time of ion mobility is (several to several tens) ms (peak width: several hundreds μs to several ms), the time required to acquire a mass spectrum by TOF is 100 μs or less. It becomes possible to make correspondence with the separation time of ion mobility.

飛行時間型質量分析で分離した後、特定イオンのみを電圧スイッチングにより分離した後、衝突解離室へ導入して衝突解離を行ない、生成した解離後のイオンを再度飛行時間型質量分析を行う方法が、特許文献２に記載されている。特許文献２の記載によれば解離前の１段目の質量分析データと、解離後の２段目の質量分析データから極めて高い選択性と豊富なデータが取得可能である。   After separation by time-of-flight mass spectrometry, only specific ions are separated by voltage switching, then introduced into the collision dissociation chamber to perform collision dissociation, and the generated dissociated ions are again subjected to time-of-flight mass spectrometry. Patent Document 2. According to the description in Patent Document 2, extremely high selectivity and abundant data can be acquired from the first-stage mass spectrometry data before dissociation and the second-stage mass spectrometry data after dissociation.

特表２００４−５０４６９６号公報JP-T-2004-504696

米国特許６３４８６８８号明細書US Pat. No. 6,348,688 Anal. Chem. 1994, 66, 4195-4201Anal. Chem. 1994, 66, 4195-4201

非特許文献１に記載の技術には、分解能が低いという課題がある。典型的な分解能（Ｔ／ΔＴ）は約（２０〜５０）であり、夾雑物を多く含んだようなサンプルでは、ベースラインの増加を招き、誤測定等の原因となる。一方、特許文献１、特許文献２に記載に技術では、コストが増大するという共通の課題がある。質量分析計は、低圧力（１０−３Ｔｏｒｒ以下）が必要であり、このため複数の差動排気を要し、各々の差動排気に真空ポンプを設置する必要がある。また、特に、特許文献１、特許文献２に記載の技術に使用されている飛行時間型質量分析計では、更に低い圧力（１０−５Ｔｏｒｒ以下）や数ＧＨｚの時間分解能を有するデータ集積部等が必要であり、通常のイオンモビリティー装置価格が約（２００〜１０００）万円であるのに対し、特許文献１、特許文献２に記載の方法では（２０００〜１００００）万円と約１桁高価格である。
本発明の目的は、低コストで分解能の高いイオン分離検出を可能とするイオンモビリティー分析装置を提供することにある。 The technique described in Non-Patent Document 1 has a problem of low resolution. A typical resolution (T / ΔT) is about (20 to 50), and a sample containing a lot of impurities causes an increase in the baseline and causes erroneous measurement and the like. On the other hand, the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 have a common problem that costs increase. The mass spectrometer requires a low pressure (10 −3 Torr or less). For this reason, a plurality of differential exhausts are required, and a vacuum pump needs to be installed in each differential exhaust. In particular, in the time-of-flight mass spectrometer used in the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2, a data accumulator having a lower pressure (10 −5 Torr or less) and a time resolution of several GHz, etc. The method described in Patent Document 1 and Patent Document 2 is (2000 to 10,000) million yen, which is about an order of magnitude higher than the usual ion mobility device price is about (200 to 1,000) million yen. Price.
An object of the present invention is to provide an ion mobility analyzer that enables ion separation detection with high resolution at low cost.

本発明のイオンモビリティー分析装置は、第１のイオンを生成するイオン源と、第１のイオンを飛行ドリフト時間（即ち、第１のイオンのイオン移動度）により分離する第１のドリフト部と、第１のドリフト部で分離された第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離部と、第２のイオンを飛行ドリフト時間（即ち、第２のイオンのイオン移動度）により分離する第２のドリフト部と、第２のドリフト部で分離され第２のイオンを検出する検出器とを有している。更に、第１のドリフト部とイオン解離部と第２のドリフト部とは、実質的に同じチャンバー内、又は、異なるチャンバー内に配置される。このチャンバーの圧力は、大気圧から１０ｍＴｏｒｒ以上の低真空下に配置される。   The ion mobility analyzer of the present invention includes an ion source that generates first ions, a first drift unit that separates the first ions according to flight drift time (that is, ion mobility of the first ions), An ion dissociation part that performs dissociation of the first ions separated by the first drift part to generate second ions, and the second ions by the flight drift time (that is, ion mobility of the second ions). It has the 2nd drift part to isolate | separate, and the detector which isolate | separates by the 2nd drift part and detects 2nd ion. Furthermore, the first drift portion, the ion dissociation portion, and the second drift portion are disposed in substantially the same chamber or in different chambers. The pressure in the chamber is set in a low vacuum of 10 mTorr or more from atmospheric pressure.

本発明のイオンモビリティー分析装置は、第１のイオンを生成するイオン源と、第１のイオンを飛行ドリフト時間により第１の方向で分離し、分離された第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離部と、第２のイオンを飛行ドリフト時間により第１の方向と直交する第２の方向で分離するイオンドリフト部とを有している。更に、第１のドリフト部とイオン解離部と第２のドリフト部とは、実質的に同じチャンバー内、又は、異なるチャンバー内に配置される。このチャンバーの圧力は、大気圧から１０ｍＴｏｒｒ以上の低真空下に配置される。   The ion mobility analyzer of the present invention separates an ion source that generates first ions from the first ions in a first direction based on a flight drift time, and dissociates the separated first ions. The ion dissociation part which produces | generates this ion, and the ion drift part which isolate | separates a 2nd ion by the 2nd direction orthogonal to a 1st direction by flight drift time. Furthermore, the first drift portion, the ion dissociation portion, and the second drift portion are disposed in substantially the same chamber or in different chambers. The pressure in the chamber is set in a low vacuum of 10 mTorr or more from atmospheric pressure.

本発明のイオンモビリティー分析方法は、イオン源で第１のイオンを生成する工程と、第１のイオンを飛行ドリフト時間により第１のドリフト部で分離する第１の分離工程と、第１の分離工程で分離された第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離工程と、第２のイオンを飛行ドリフト時間により第２のドリフト部で分離する第２の分離工程と、第２の分離工程で分離される第２のイオンを検出器で検出する工程とを有している。更に、第１の分離工程とイオン解離工程と第２の分離工程とは、大気圧から１０ｍＴｏｒｒ以上の低気圧に維持される、実質的に同じチャンバー内、又は、異なるチャンバー内で実行される。   The ion mobility analysis method of the present invention includes a step of generating a first ion by an ion source, a first separation step of separating the first ion by a first drift portion by a flight drift time, and a first separation. An ion dissociation step of dissociating the first ions separated in the step to generate second ions, a second separation step of separating the second ions at the second drift portion by the flight drift time, And detecting a second ion separated in the two separation steps by a detector. Furthermore, the first separation step, the ion dissociation step, and the second separation step are performed in substantially the same chamber or in different chambers that are maintained from atmospheric pressure to a low pressure of 10 mTorr or more.

本発明のイオンモビリティー分析方法は、イオン源で第１のイオンを生成する工程と、第１のイオンを飛行ドリフト時間により第１の方向で分離し、分離された第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離工程と、第２のイオンを飛行ドリフト時間により第１の方向と直交する第２の方向で分離するイオンドリフト工程とを有している。更に、イオン解離工程とイオンドリフト工程とは、大気圧から１０ｍＴｏｒｒ以上の低気圧に維持される、実質的に同じチャンバー内、又は、異なるチャンバー内で実行される。
以上の構成により、低コストかつ高分解能を両立することが可能な、イオンモビリティー分析装置及び方法を実現できる。 In the ion mobility analysis method of the present invention, a first ion is generated by an ion source, the first ion is separated in a first direction by a flight drift time, and the separated first ion is dissociated. An ion dissociation step of generating second ions, and an ion drift step of separating the second ions in a second direction orthogonal to the first direction by a flight drift time. Further, the ion dissociation step and the ion drift step are performed in substantially the same chamber or in different chambers maintained from atmospheric pressure to a low pressure of 10 mTorr or more.
With the above configuration, an ion mobility analyzer and method that can achieve both low cost and high resolution can be realized.

本発明のイオンモビリティー分析装置及び方法によれば、従来技術に比べ、低コストで高い分離能のイオン検出が可能である。   According to the ion mobility analyzer and method of the present invention, it is possible to detect ions with high resolution at a lower cost than in the prior art.

本発明のイオンモビリティー分析装置では、（１）チャンバーが大気圧下にあること、（２−１）イオン解離部の温度が２５０°Ｃ以上に維持されることにより、第１のイオンが解離されること、（２−２）イオン解離部を光を照射する手段を有し、光の照射により第１のイオンが解離されること、（２−３）イオン解離部を電子線を照射する手段を有し、電子線の照射により第１のイオンが解離されること、（３）イオン解離部は、第１のイオンを１ｍｓ以上をトラップすること、（４−１）第１のドリフト部におけるイオンの加速方向と第２のドリフト部におけるイオンの加速方向とが、同じ方向であること、（４−２）第１のドリフト部におけるイオンの加速方向と第２のドリフト部におけるイオンの加速方向とが、直交すること、また、第２のドリフト部を通過した第２のイオンを検出するアレイ状に配列される複数の検出器を有すること、等に特徴がある。   In the ion mobility analyzer of the present invention, (1) the chamber is under atmospheric pressure, and (2-1) the temperature of the ion dissociation part is maintained at 250 ° C. or higher, whereby the first ions are dissociated. (2-2) means for irradiating the ion dissociation part with light, the first ions are dissociated by light irradiation, (2-3) means for irradiating the ion dissociation part with an electron beam And (3) the ion dissociation part traps the first ion for 1 ms or more, and (4-1) in the first drift part. The acceleration direction of ions and the acceleration direction of ions in the second drift portion are the same direction. (4-2) The acceleration direction of ions in the first drift portion and the acceleration direction of ions in the second drift portion. Are orthogonal to each other. , Having a plurality of detectors arranged in an array for detecting the second ions having passed through the second drift unit, is characterized in equal.

本発明のイオンモビリティー分析方法では、（１）第１の分離工程と解離工程と第２の分離工程とが、大気圧下にあるチャンバーが大気圧下にある同じチャンバー内で実行されること、（２−１）イオン解離工程は、第１のイオンの解離をイオン解離部で２５０°Ｃ以上での熱解離により行ない第２のイオンを生成すること、（２−２）イオン解離工程は、光を照射する工程を有し、イオン解離部で光の照射により第１のイオンの解離を行なうこと、（２−３）イオン解離工程は、電子線を照射する工程を有し、イオン解離部で電子線の照射により第１のイオンの解離を行なうこと、（３）イオン解離工程は、第１のイオンを１ｍｓ以上をトラップする工程を有すること、（４−１）第１のドリフト部における第１の分離工程におけるイオンの加速方向と第２の分離工程におけるイオンの加速方向とが、同じ方向であること、（４−２）第１のドリフト部における第１の分離工程におけるイオンの加速方向と第２の分離工程におけるイオンの加速方向とが、直交すること、また、第２のイオンをアレイ状に配列される複数の検出器により検出する工程を有すること、等に特徴がある。
以下、本発明の実施例を図を参照して詳細に説明する。 In the ion mobility analysis method of the present invention, (1) the first separation step, the dissociation step, and the second separation step are performed in the same chamber where the chamber under atmospheric pressure is under atmospheric pressure, (2-1) The ion dissociation step performs dissociation of the first ions by thermal dissociation at 250 ° C. or higher at the ion dissociation portion to generate second ions, (2-2) the ion dissociation step A step of irradiating light, and performing dissociation of the first ion by irradiation of light at the ion dissociation part; (2-3) the ion dissociation step includes a step of irradiating an electron beam; (3) The ion dissociation step includes a step of trapping the first ions for 1 ms or more, and (4-1) in the first drift portion. Ions in the first separation step The acceleration direction and the ion acceleration direction in the second separation step are the same direction. (4-2) The ion acceleration direction in the first separation step in the first drift portion and the second separation step. It is characterized in that the acceleration direction of ions is orthogonal to each other and that the second ions are detected by a plurality of detectors arranged in an array.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

（実施例１）
図１は、本発明の実施例１の大気圧イオンモビリティー分析装置の構成例を示す図である。
図２は、実施例１の装置における各シーケンスでの各電極への印加電圧を説明する図である。
図３は、実施例１の装置における熱解離効率（計算値）を説明する図である。
図４は、実施例１の装置による効果を説明する概念図である。 Example 1
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of an atmospheric pressure ion mobility analyzer according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating applied voltages to each electrode in each sequence in the apparatus according to the first embodiment.
FIG. 3 is a diagram illustrating thermal dissociation efficiency (calculated value) in the apparatus of Example 1.
FIG. 4 is a conceptual diagram for explaining the effect of the apparatus according to the first embodiment.

実施例１のイオンモビリティー分析装置による測定は、イオン源１で生成される第１のイオンを第１ドリフト領域（部）に導入するイオン導入シーケンス、第１のイオンを飛行ドリフト時間により第１のドリフト部で分離する第１ドリフトシーケンスと、第１のドリフト部で分離された第１のイオンの解離を行ないイオン解離部で第２のイオンを生成するイオン解離シーケンス（以下、単に解離シーケンスという）と、第２のイオンを飛行ドリフト時間により第２のドリフト領域（部）で分離する第２ドリフトシーケンスを含む。   In the measurement by the ion mobility analyzer of Example 1, the ion introduction sequence for introducing the first ions generated by the ion source 1 into the first drift region (part), and the first ions by the flight drift time. A first drift sequence separated by the drift part and an ion dissociation sequence for dissociating the first ions separated by the first drift part and generating second ions by the ion dissociation part (hereinafter simply referred to as dissociation sequence) And a second drift sequence that separates the second ions in the second drift region (part) according to the flight drift time.

イオンを第１ドリフト領域に導入するシーケンスでは、ゲート電極４の電圧をスイッチングすることにより、大気圧イオン源１で生成したイオンをゲート電極４、第１加速電極５、入口側メッシュ電極６に囲まれる第一ドリフト領域へと導入する。イオン導入時間（Ｔg）は、約（１００〜５００）μｓに設定される。Ｔgは長いほどイオン導入量が増やせ感度が増すが、初期の時間幅が増加して分解能が低下する問題がある。第１加速電極５の各電極間は抵抗分割が行われており、第１ドリフト領域内部ではほぼ一様な加速電界が形成されている。これにより、第１ドリフト領域ではイオンは加速方向１０１に加速される。一方、第１ドリフト領域のガス流れ方向１０３（第１ドリフト領域のイオン加速方向１０１の対向方向）、及び、第２ドリフト領域（部）のガス流れ方向１０４（第２ドリフト領域のイオン加速方向１０２の対向方向）には、汚れや水クラスター生成の抑制等の目的で乾燥窒素等のガスが、図１に図示しないガス導入口から流される。   In the sequence for introducing ions into the first drift region, the voltage generated at the atmospheric pressure ion source 1 is surrounded by the gate electrode 4, the first acceleration electrode 5, and the inlet mesh electrode 6 by switching the voltage of the gate electrode 4. Into the first drift region. The ion introduction time (Tg) is set to about (100 to 500) μs. The longer the Tg, the greater the amount of ion introduction and the higher the sensitivity, but there is a problem that the initial time width increases and the resolution decreases. Resistance division is performed between the electrodes of the first acceleration electrode 5, and an almost uniform acceleration electric field is formed inside the first drift region. Thereby, ions are accelerated in the acceleration direction 101 in the first drift region. On the other hand, the gas flow direction 103 in the first drift region (the direction opposite to the ion acceleration direction 101 in the first drift region) and the gas flow direction 104 in the second drift region (part) (the ion acceleration direction 102 in the second drift region). 1), a gas such as dry nitrogen flows from a gas inlet (not shown in FIG. 1) for the purpose of suppressing dirt and water cluster formation.

第１ドリフト領域の長さＬ1（ゲート電極４と入口側メッシュ電極６との距離）は約（４〜２０）ｃｍであり、この間に電圧Ｖ1（約（１〜５）ｋＶ）が印加される。この時、イオンの移動速度ｖは（数２）で表される。   The length L1 of the first drift region (distance between the gate electrode 4 and the entrance-side mesh electrode 6) is about (4 to 20) cm, and the voltage V1 (about (1 to 5) kV) is applied between them. . At this time, the moving speed v of ions is expressed by (Equation 2).

ｖ＝Ｋ（Ｖ1／Ｌ1） …（数２）
Ｋはイオン種に固有のイオン移動度であり、約（１〜５）ｃｍ２／Ｖｓである。Ｖ1＝２５００Ｖ、Ｌ1＝１０ｃｍ、Ｋ＝２ｃｍ２／Ｖｓの時、ｖ＝５００ｃｍ／ｓとなり、飛行時間Ｔ1＝２５ｍｓとなる。先にも述べたが、分解能の低下を防ぐためにイオン導入時間（Ｔg）は第１ドリフト時間（Ｔ1）に対して十分短く設定する。拡散の影響などゲート時間の影響以外で、イオンモビリティーでの分解能は５０以下に限定されるので、イオン導入時間（Ｔg）は第１ドリフト時間Ｔ1（＝２５ｍｓ）の１／５０以下（即ち、５００μｓ以下）に設定する。なお、（数１）から分かるようにＴ1は移動度の異なるイオンに対しては異なる値を有する。 v = K (V1 / L1) (Expression 2)
K is an ion mobility specific to the ion species, and is about (1-5) cm 2 / Vs. When V1 = 2500V, L1 = 10 cm, and K = 2 cm 2 / Vs, v = 500 cm / s, and the flight time T1 = 25 ms. As described above, the ion introduction time (Tg) is set to be sufficiently shorter than the first drift time (T1) in order to prevent a decrease in resolution. Except for the influence of gate time such as the influence of diffusion, the resolution in ion mobility is limited to 50 or less, so the ion introduction time (Tg) is 1/50 or less of the first drift time T1 (= 25 ms) (ie 500 μs). Set to: As can be seen from (Equation 1), T1 has different values for ions having different mobilities.

次に、図２に示すように、各電極に電圧を変化させることにより、トラップ電極７、入口側メッシュ電極６、出口側メッシュ電極８により囲まれたイオン選択トラップ部（イオン解離部、長さＬg）に存在するイオンのみを選択的にイオン解離を行う。移動度の大きなイオン（即ち、高速なイオン）はトラップ部を通過して出口側メッシュ電極８に到達して電荷を失っている。一方、移動度の小さなイオン（即ち、低速なイオン）は、イオン解離時間に入った後に入口側メッシュ電極６のポテンシャルを越えられず周辺の電極に到達して電荷が失われる。   Next, as shown in FIG. 2, by changing the voltage to each electrode, the ion selective trap part (ion dissociation part, length) surrounded by the trap electrode 7, the inlet mesh electrode 6, and the outlet mesh electrode 8 is used. Only ions existing in Lg) are selectively dissociated. Ions having high mobility (that is, high-speed ions) pass through the trap portion and reach the outlet mesh electrode 8 and have lost their charge. On the other hand, ions having a low mobility (that is, low-speed ions) reach the surrounding electrodes without exceeding the potential of the entrance-side mesh electrode 6 after the ion dissociation time has elapsed, and charge is lost.

なお、図１、図２において、２１はゲート電極用電源、２２は第１加速電極用電源入口、２３は第１加速電極用電源出口、２４は入口側メッシュ電極用電源、２５はトラップ電極用電源、２６は出口側メッシュ電極用電源、２７は第２加速電極用電源入口、２８は第２加速電極用電源出口である。   In FIGS. 1 and 2, 21 is a gate electrode power source, 22 is a first acceleration electrode power source inlet, 23 is a first acceleration electrode power source outlet, 24 is an inlet side mesh electrode power source, and 25 is a trap electrode. The power source, 26 is an outlet side mesh electrode power source, 27 is a second acceleration electrode power source inlet, and 28 is a second acceleration electrode power source outlet.

図２に示す電圧印加によりイオン解離時には、特定の移動度の範囲を有するイオンのみをイオン解離部（トラップ部）内に選択的にトラップすることが可能である。イオン解離時間Ｔdは約（１〜２０）ｍｓであり、この間にイオン解離部に選択的にトラップされたイオンを解離する。   At the time of ion dissociation by applying a voltage shown in FIG. 2, only ions having a specific mobility range can be selectively trapped in the ion dissociation part (trap part). The ion dissociation time Td is about (1-20) ms, and during this time, ions selectively trapped in the ion dissociation part are dissociated.

解離方法としては、熱解離、衝突による衝突解離、、反応性のガスを用いたイオン分子解離等が考えられる。安全性等を考えると反応性ガスを使用するのは不向きであり、また、電子捕獲解離、光解離は高コストになる。また、衝突解離が効率的に進行するのは、圧力が１０Ｔｏｒｒ以下の減圧下に限定される。これは大気圧下では衝突頻度が高いため、十分なイオン運動エネルギーを与えられないことが原因である。   As a dissociation method, thermal dissociation, collisional dissociation by collision, ion molecule dissociation using a reactive gas, and the like can be considered. Considering safety and the like, it is unsuitable to use a reactive gas, and electron capture dissociation and photodissociation are expensive. Further, the collision dissociation efficiently proceeds only under a reduced pressure of 10 Torr or less. This is because the collision frequency is high under atmospheric pressure, so that sufficient ion kinetic energy cannot be given.

以上の理由から、大気圧下での解離に最適なのは熱解離である。熱解離は、大気圧から高真空下においても可能な解離手法である。イオン解離部だけ効率的なガス加熱を行うために、ランプ加熱が特に有効である。熱解離の場合の反応寿命τは、（数３）で表される。   For these reasons, thermal dissociation is the most suitable for dissociation under atmospheric pressure. Thermal dissociation is a dissociation technique that is possible even from atmospheric pressure to high vacuum. Lamp heating is particularly effective in order to perform efficient gas heating only in the ion dissociation part. The reaction lifetime τ in the case of thermal dissociation is expressed by (Equation 3).

τ＝（１／Ａ）Exp(Ｅa／ＲＴ) …（数３）
Ａは前指数因子と呼ばれ、熱解離では振動速度にほぼ対応する約１０１１ｓ−１である。イオンの典型的な解離エネルギーＥaは、約（１００〜２００）ｋＪ／ｍｏｌ（約（１〜２）ｅＶ）である。
図３は、本発明の効果を説明する図であり、Ｅa＝１００ｋＪ，Ａ＝１０１１ｓ−１とした時の熱解離効率の計算値を示す。横軸は解離時間（ｍｓ）、縦軸は熱解離効率（％）を示す。 τ = (1 / A) Exp (Ea / RT) (Equation 3)
A is called a pre-exponential factor, and is about 10 11 s −1 which roughly corresponds to the vibration velocity in thermal dissociation. The typical dissociation energy Ea of ions is about (100-200) kJ / mol (about (1-2) eV).
FIG. 3 is a diagram for explaining the effect of the present invention, and shows calculated values of thermal dissociation efficiency when Ea = 100 kJ and A = 10 11 s −1 . The horizontal axis represents the dissociation time (ms), and the vertical axis represents the thermal dissociation efficiency (%).

図３に示すように、効率的なガス加熱により、例えば、解離時間２０ｍｓにおいて、２００°Ｃでは４．４％、２５０°Ｃでは３７％、３００°Ｃでは９６％の熱解離効率であり、解離時間３０ｍｓにおいて、２００°Ｃでは約１０％、２５０°Ｃでは約５０％、３００°Ｃでは殆ど１００％の熱解離効率であり、３００°Ｃでは解離時間３０ｍｓで殆ど１００％のイオンが解離する。何れの解離手法においても、イオン解離部にイオンを選択的に数ｍｓ以上トラップすることが必須である。トラップの際には、イオンの拡散及びガス流れの影響の２点が問題となる。１０ｍｓのトラップ時間で考えると典型的な拡散ひろがりは、０．５ｍｍであり、トラップの後の第２のイオンモビリティーによる分離にもさほど大きな影響は与えない。一方、ガスの流れは、典型的には約（１〜５）ｍｍ／１０ｍｓであり、影響が大きい場合がある。特に、解離が長時間に渡る場合は、ガス流れと逆方向に直流電界を印加することにより、イオンがガス流れに影響されず停止させることが有効である。解離を行った後、トラップ部内部に直流電界を印加して、出口側メッシュ電極８、第２加速電極９よりなる第２ドリフト領域へと解離されたイオンを導入する。   As shown in FIG. 3, due to efficient gas heating, for example, at a dissociation time of 20 ms, the thermal dissociation efficiency is 4.4% at 200 ° C, 37% at 250 ° C, and 96% at 300 ° C. At a dissociation time of 30 ms, the thermal dissociation efficiency is approximately 10% at 200 ° C, approximately 50% at 250 ° C, and almost 100% at 300 ° C, and almost 100% of ions are dissociated at a dissociation time of 30 ms at 300 ° C. To do. In any dissociation method, it is essential to selectively trap ions in the ion dissociation part for several ms or more. When trapping, there are two problems: ion diffusion and gas flow effects. Considering a trapping time of 10 ms, the typical diffusion spread is 0.5 mm, and the separation by the second ion mobility after the trap does not have a great influence. On the other hand, the gas flow is typically about (1-5) mm / 10 ms, and the influence may be large. In particular, when dissociation takes a long time, it is effective to stop the ions without being affected by the gas flow by applying a DC electric field in the opposite direction to the gas flow. After the dissociation is performed, a DC electric field is applied to the inside of the trap portion, and the dissociated ions are introduced into the second drift region including the outlet side mesh electrode 8 and the second acceleration electrode 9.

第２ドリフト領域の長さＬ2は第１ドリフト領域の長さＬ1と同程度に、第２ドリフト電圧Ｖ２は第１ドリフト電圧Ｖ1と同程度に、それぞれ設定される。第２ドリフト領域を通過したイオンは順次、検出器１０に到達する。検出器の出力信号は増幅器１１で増幅された後、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）等からなるコントローラー３０にデータ（Ｔ1、Ｔ2、信号強度）が蓄積される。   The length L2 of the second drift region is set to the same level as the length L1 of the first drift region, and the second drift voltage V2 is set to the same level as the first drift voltage V1. The ions that have passed through the second drift region sequentially reach the detector 10. After the output signal of the detector is amplified by the amplifier 11, data (T1, T2, signal intensity) is accumulated in a controller 30 such as a PC (personal computer).

イオン導入シーケンス（Ｔg）、第１ドリフトシーケンス（Ｔ1）、解離シーケンス（Ｔd）、第２ドリフトシーケンス（Ｔ2）に要する時間は、典型的には合計約５０ｍｓとなる。これらのシーケンスを、Ｔ1を変化させた約（１０〜５０）通りの異なる時間パターンのシーケンスを繰り返す。仮に異なるＴ1で２０通りの異なる時間パターンのシーケンスで測定を行なった場合、１秒の測定時間となる。実施例１の装置構成では、全てのイオンに対して解離前のイオン移動度及び解離後の移動度が、約１秒間で取得できる。解離前（Ｔ1）及び解離後（Ｔ2）のイオンモビリティースペクトルデータから、従来のイオンモビリティーでは不可能であった分離能（３０×３０＝９００）が達成可能である。   The time required for the ion introduction sequence (Tg), the first drift sequence (T1), the dissociation sequence (Td), and the second drift sequence (T2) is typically about 50 ms in total. These sequences are repeated with about (10 to 50) different time pattern sequences in which T1 is changed. If measurement is performed with a sequence of 20 different time patterns at different T1, the measurement time is 1 second. In the apparatus configuration of Example 1, the ion mobility before dissociation and the mobility after dissociation can be obtained for all ions in about 1 second. From the ion mobility spectrum data before dissociation (T1) and after dissociation (T2), a resolution (30 × 30 = 900) that was impossible with conventional ion mobility can be achieved.

図４（Ａ）、図４（Ｂ）はそれぞれ、従来方式、本発明の実施例におけるイオンの分離状態を示している。
図４（Ａ）に示すように従来技術では、実際のサンプルではＴ1がほぼ同じ値となり、イオン種Ａ由来の信号２０１、イオン種Ｂ由来の信号２０２、イオン種Ｃ由来の信号２０３が重複していまい検出が難しい場合がある。本発明の実施例１では、イオン解離後、再分離を行うことにより、図４（Ｂ）に示すような二次元マッピングが可能になる。解離前のイオン種Ａ、イオン種Ｂ、イオン種Ｃは解離後それぞれ、イオン種Ａ、Ｂ、Ｃ由来のそれぞれ移動度の異なる特定のフラグメントイオンを生じ、解離後のイオン種Ａ由来の信号２０４、解離後のイオン種Ａ由来の信号２０５、解離後のイオン種Ａ由来の信号２０６を生成するため、これらの解離後のイオンの分離が可能となり、分離能力が向上する。 4 (A) and 4 (B) show the ion separation state in the conventional method and the embodiment of the present invention, respectively.
As shown in FIG. 4A, in the prior art, T1 is almost the same value in the actual sample, and the signal 201 derived from the ion species A, the signal 202 derived from the ion species B, and the signal 203 derived from the ion species C overlap. Sometimes it is difficult to detect spuriousness. In Example 1 of the present invention, two-dimensional mapping as shown in FIG. 4B is possible by performing re-separation after ion dissociation. The ionic species A, ionic species B, and ionic species C before dissociation generate specific fragment ions having different mobilities derived from the ionic species A, B, and C, respectively, after dissociation, and the signal 204 derived from the ionic species A after dissociation. Since the signal 205 derived from the ion species A after dissociation and the signal 206 derived from the ion species A after dissociation are generated, the ions after dissociation can be separated, and the separation ability is improved.

なお、実施例１において、第１のドリフト部、イオン解離部、第２のドリフト部は、３つが同じチャンバー内に配置されるか、何れか２つが同じチャンバー内に配置されるか、３つが異なるチャンバー内に配置されるかの何れかの構成で良く、各チャンバーの圧力は１０ｍＴｏｒｒから大気圧の範囲にあれば良く、各チャンバーの圧力は同じでも異なっていても良い。更に、イオン解離を十分に進行させるためには、イオン解離部での第１のイオンの滞在時間を、第１のドリフト部での第１のドリフト部での滞在時間よりも長くするのが好ましい。   In Example 1, three of the first drift unit, the ion dissociation unit, and the second drift unit are disposed in the same chamber, or any two are disposed in the same chamber. Any configuration may be adopted in which the chambers are arranged in different chambers. The pressure in each chamber may be in the range of 10 mTorr to atmospheric pressure, and the pressure in each chamber may be the same or different. Furthermore, in order to sufficiently advance the ion dissociation, it is preferable that the residence time of the first ions in the ion dissociation part is longer than the residence time in the first drift part in the first drift part. .

（実施例２）
図５は、本発明の実施例２の大気圧イオンモビリティー分析装置の構成例を示す図である。
図６は、実施例２の装置における加速電極の構成と、各シーケンスでの各電極への印加電圧を説明する図であり、図６（Ａ）、図６（Ｂ）は、アレイ型加速電極３０５の加速電極３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄの構成、配置を示す図であり、図６（Ｃ）は、実施例２の装置での各シーケンス（イオン導入シーケンス、第１ドリフトシーケンス、イオン解離シーケンス、第２ドリフトシーケンス）における各電極への印加電圧を示す図である。 (Example 2)
FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration example of the atmospheric pressure ion mobility analyzer according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram for explaining the configuration of the acceleration electrode in the apparatus of Example 2 and the voltage applied to each electrode in each sequence. FIGS. 6 (A) and 6 (B) are array type acceleration electrodes. FIG. 6C is a diagram showing the configuration and arrangement of the 305 acceleration electrodes 305a, 305b, 305c, and 305d. FIG. It is a figure which shows the applied voltage to each electrode in a 2nd drift sequence).

実施例２では、実施例１のスループット及び感度を改善する構成について説明する。実施例１では、図２に示すＴ1、Ｔ2の１組の設定値のシーケンスに対する信号強度データを１セット取得するのに約１秒を必要としていたが、図５に示す構成例では、これを大幅に短縮化可能である。   In the second embodiment, a configuration for improving the throughput and sensitivity of the first embodiment will be described. In the first embodiment, about one second is required to acquire one set of signal strength data for the set of T1 and T2 set values shown in FIG. 2, but in the configuration example shown in FIG. It can be greatly shortened.

イオン源１で生成したイオンを、ゲート電極４の電圧をスイッチングすることにより、大気圧イオン源１で生成したイオンを、ゲート電極４、及び、第１加速電極５’即ちアレイ型加速電極３０５（加速電極３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄの複数組から構成され、第１ドリフト領域（長さＬ1）におけるイオンの加速方向１０１に配列される）により囲まれる第１ドリフト領域（部）へと導入して第１ドリフトシーケンスを行う。イオンは、アレイ型加速電極３０５の内部をイオン加速方向１０１に加速され、イオンの移動度により分布を生じる。実施例１と同様に、図６（Ａ）に示すように、第１加速電極５’の各加速電極３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄの間は抵抗分割が行われており、第１ドリフト領域内部ではほぼ一様な加速電界が形成されている。これにより、第１ドリフト領域ではイオンは加速方向１０１に加速される。   By switching the voltage of the gate electrode 4 from the ion generated in the ion source 1, the ion generated in the atmospheric pressure ion source 1 is converted into the gate electrode 4 and the first acceleration electrode 5 ′, that is, the array type acceleration electrode 305 ( It is composed of a plurality of sets of acceleration electrodes 305a, 305b, 305c, 305d, and is introduced into a first drift region (part) surrounded by ions in the first drift region (length L1) arranged in the acceleration direction 101). The first drift sequence is performed. The ions are accelerated in the ion acceleration direction 101 inside the array type acceleration electrode 305, and are distributed according to the mobility of the ions. As in the first embodiment, as shown in FIG. 6A, resistance division is performed between the accelerating electrodes 305a, 305b, 305c, and 305d of the first accelerating electrode 5 ′. Then, an almost uniform acceleration electric field is formed. Thereby, ions are accelerated in the acceleration direction 101 in the first drift region.

約（２〜１０）ｍｓの間、イオンのドリフトを続けた後、直流電圧を図５に示すアレイ型加速電極３０５の内部の電場をゼロ（アレイ型加速電極３０５の内部にガス流がある場合は、ガス流と反対側に電場を印加）にする。これにより、アレイ型加速電極３０５の内部にトラップできる。この内部の部分の温度は、熱解離を効率的に進行させるために２００°Ｃ以上に維持する。   After continuing ion drift for about (2 to 10) ms, the DC voltage is zero in the electric field inside the array type acceleration electrode 305 shown in FIG. 5 (when there is a gas flow inside the array type acceleration electrode 305). Apply an electric field on the opposite side of the gas flow). Thereby, it can be trapped inside the array type acceleration electrode 305. The temperature of the inner part is maintained at 200 ° C. or higher in order to allow thermal dissociation to proceed efficiently.

実施例１では、第１及び第２のドリフト領域とイオン選択トラップ部（イオン解離部）とが別であったが、実施例２の構成では、第１ドリフト領域の大部分が、イオンを選択的にトラップして解離を行なうイオン選択トラップ部（イオン解離部）として使用される。このため、第１ドリフトシーケンスで解離が進行してしまう問題がある。これを防ぐためには、第１ドリフトシーケンスの時間に対してイオンの解離を行なうイオン解離シーケンスの時間を長くすることが必要になる。第１ドリフトシーケンスの時間Ｔ1を約５ｍｓと短めに設定し、イオン解離シーケンスの時間を２０ｍｓ以上と長く設定することにより、第１ドリフトシーケンスの時間内に解離するイオン比率が低く抑えることができる。   In the first embodiment, the first and second drift regions and the ion selective trap portion (ion dissociation portion) are different from each other. However, in the configuration of the second embodiment, most of the first drift region selects ions. It is used as an ion selective trap part (ion dissociation part) that performs trapping and dissociation in an automatic manner. For this reason, there is a problem that dissociation proceeds in the first drift sequence. In order to prevent this, it is necessary to lengthen the time of the ion dissociation sequence for performing ion dissociation with respect to the time of the first drift sequence. By setting the time T1 of the first drift sequence as short as about 5 ms and setting the time of the ion dissociation sequence as long as 20 ms or more, the ratio of ions dissociated within the time of the first drift sequence can be kept low.

イオン解離方法として、熱解離の他に、衝突による衝突解離、電子線等による電子捕獲解離、光による光解離、反応性のガスを用いたイオン分子解離等が考えられるが、これらのイオン解離方法には、実施例１で述べたのと同様な問題がある。何れかのイオン解離方法によりイオン解離を行った後、実施例２のイオン解離部（アレイ型加速電極３０５）の内部に直流電界を印加して、アレイ型加速電極３０５の内部のイオン加速方向１０１と直交する、第２ドリフト領域のイオン加速方向１０２’にイオンを加速する。   As ion dissociation methods, in addition to thermal dissociation, collision dissociation by collision, electron capture dissociation by electron beam, photodissociation by light, ion molecule dissociation using reactive gas, etc. can be considered. Have the same problems as described in the first embodiment. After performing ion dissociation by any of the ion dissociation methods, a DC electric field is applied to the inside of the ion dissociation part (array type acceleration electrode 305) of Example 2, and the ion acceleration direction 101 inside the array type acceleration electrode 305 is applied. Ions are accelerated in the ion acceleration direction 102 ′ of the second drift region, which is orthogonal to

この時、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）に示すように、加速電極３０５ａ、３０５ｃの間にＤＣ電圧を印加する。イオン透過のため加速電極３０５ｃは、図６（Ｂ）に示すようにメッシュ電極を用いると良い。図６（Ｃ）は、図６（Ａ）に示す、加速電極３０５ｂ、３０５ｄの加速電極用電源入口電圧Ｖ1in、は加速電極３０５ｂ、３０５ｄの加速電極用電源出口電圧Ｖ1ou、加速電極３０５ａ加速電極用電源入口電圧Ｖ2in、加速電極３０５ａの加速電極用電源出口電圧Ｖ2out、加速電極３０５ｃ加速電極用電源入口電圧Ｖ3in、加速電極３０５ｃの加速電極用電源出口電圧Ｖ3outの、各シーケンスにおける印加状態を示している。   At this time, as shown in FIGS. 6A, 6B, and 6C, a DC voltage is applied between the acceleration electrodes 305a and 305c. A mesh electrode may be used as the acceleration electrode 305c for ion permeation as shown in FIG. FIG. 6C shows the acceleration electrode power supply inlet voltage V1in of the acceleration electrodes 305b and 305d shown in FIG. 6A, the acceleration electrode power supply outlet voltage V1ou of the acceleration electrodes 305b and 305d, and the acceleration electrode 305a for the acceleration electrode. The power supply inlet voltage V2in, the acceleration electrode power outlet voltage V2out of the accelerating electrode 305a, the acceleration electrode 305c, the acceleration electrode power inlet voltage V3in, and the acceleration electrode power outlet voltage V3out of the acceleration electrode 305c are applied in each sequence. .

イオンは第２加速電極９’により加速され、第２ドリフト領域（長さＬ2）を構成する加速電極９２、９６の複数対の各対の間を通過したイオンはそれぞれ、順次アレイ型検出器３１０の素子に到達する。各アレイ型検出器３１０で検出される信号はそれぞれ増幅器３１１で増幅された後、ＰＣ等からなるコントローラー３０にデータ（チャンネル番号（図５に示す、加速電極９２、９６とアレイ型検出器３１０の素子と増幅器３１１の組に付される番号をいう）、Ｔ2、信号強度）が蓄積される。   The ions are accelerated by the second accelerating electrode 9 ', and the ions that have passed between each of the plurality of pairs of accelerating electrodes 92 and 96 constituting the second drift region (length L2) are sequentially arrayed detector 310. Reaches the element. The signal detected by each array type detector 310 is amplified by an amplifier 311 and then sent to the controller 30 consisting of a PC or the like (data of the channel number (acceleration electrodes 92 and 96 shown in FIG. This is the number assigned to the set of the element and the amplifier 311), T2, and signal intensity).

イオン導入シーケンス（Ｔg）、第１ドリフトシーケンス（Ｔ1）、解離シーケンス（Ｔd）、第２ドリフトシーケンス（Ｔ2）から構成される１測定に要する時間は、典型的には合計約５０ｍｓとなる。チャンネル番号は、イオン解離前のイオンの移動度、イオンの第２ドリフト時間はイオン解離後のイオンの移動度の情報を与える。   The time required for one measurement composed of the ion introduction sequence (Tg), the first drift sequence (T1), the dissociation sequence (Td), and the second drift sequence (T2) is typically about 50 ms in total. The channel number gives information on ion mobility before ion dissociation, and the second ion drift time gives information on ion mobility after ion dissociation.

実施例１では、イオン導入シーケンス（Ｔg）、第１ドリフトシーケンス（Ｔ1）、解離シーケンス（Ｔd）、第２ドリフトシーケンス（Ｔ2）から構成される１測定に、約１秒を要したのに対し、実施例２では、約５０ｍｓで得ることが可能であり、大幅な高速化が達成できる。イオンの第１ドリフト時間の短縮により第１ドリフトシーケンスでの分解能、及び、イオン解離シーケンスの時間の長時間化により第２ドリフトシーケンスでの分解能は、実施例１に比べやや低下する。しかし、従来技術のイオンモビリティー法では不可能であった分離能（１０×２０＝２００）を達成できる。   In Example 1, about 1 second was required for one measurement composed of the ion introduction sequence (Tg), the first drift sequence (T1), the dissociation sequence (Td), and the second drift sequence (T2). In Example 2, it can be obtained in about 50 ms, and a significant increase in speed can be achieved. The resolution in the first drift sequence due to the shortening of the first drift time of ions and the resolution in the second drift sequence due to the lengthening of the time of the ion dissociation sequence are slightly lowered as compared with the first embodiment. However, it is possible to achieve a resolution (10 × 20 = 200) that was impossible with the conventional ion mobility method.

なお、実施例２において、イオン解離部、イオンドリフト部は、２つが同じチャンバー内に配置されるか、２つが異なるチャンバー内に配置されるかの何れかの構成で良く、各チャンバーの圧力は１０ｍＴｏｒｒから大気圧の範囲にあれば良く、各チャンバーの圧力は同じでも異なっていても良い。更に、イオン解離を十分に進行させるためには、イオン解離部での第１のイオンの滞在時間を長くするのが好ましい。   In Example 2, the ion dissociation part and the ion drift part may be configured such that either two are disposed in the same chamber or two are disposed in different chambers, and the pressure in each chamber is The pressure may be in the range of 10 mTorr to atmospheric pressure, and the pressure in each chamber may be the same or different. Furthermore, in order to sufficiently advance the ion dissociation, it is preferable to increase the residence time of the first ions at the ion dissociation part.

なお、図示しないが、ガスクロマトグラフや各種昇温型のガス分離装置を、本発明の装置のイオン源の前段部に使用できる。このような場合、イオン解離前、イオン解離後のイオン移動度の情報に加え、これら分離装置からのガス導入時間軸も加わり、更に分離能力が向上することは言うまでも無い。   Although not shown, a gas chromatograph or various temperature rising type gas separation devices can be used in the front stage of the ion source of the device of the present invention. In such a case, it goes without saying that the gas introduction time axis from these separation devices is added to the information on the ion mobility before and after the ion dissociation, and the separation ability is further improved.

本発明のイオンモビリティー分析装置及び方法によれば、低コストかつ高分解能を両立することが可能な、イオンモビリティー分析装置及び方法を提供できる。   According to the ion mobility analyzing apparatus and method of the present invention, it is possible to provide an ion mobility analyzing apparatus and method that can achieve both low cost and high resolution.

本発明の実施例１のイオンモビリティー分析装置の構成例を示す図。The figure which shows the structural example of the ion mobility analyzer of Example 1 of this invention. 実施例１の装置における各シーケンスでの各電極への印加電圧を説明する図。The figure explaining the applied voltage to each electrode in each sequence in the apparatus of Example 1. FIG. 実施例１の装置における熱解離効率（計算値）を説明する図。The figure explaining the thermal dissociation efficiency (calculated value) in the apparatus of Example 1. FIG. 実施例１の装置による効果を説明する概念図。FIG. 3 is a conceptual diagram for explaining the effect of the apparatus of the first embodiment. 本発明の実施例２のイオンモビリティー分析装置の構成例を示す図。The figure which shows the structural example of the ion mobility analyzer of Example 2 of this invention. 実施例２の装置における加速電極の構成と、各シーケンスでの各電極への印加電圧を説明する図。The figure explaining the structure of the acceleration electrode in the apparatus of Example 2, and the applied voltage to each electrode in each sequence.

符号の説明Explanation of symbols

１…イオン源、４…ゲート電極、５、５’…第１加速電極、６…入口側メッシュ電極、７…トラップ電極、８…出口側メッシュ電極、９、９’…第２加速電極、１０…検出器、１１…増幅器、２１…ゲート電極用電源、２２…第１加速電極用電源入口、２３…第１加速電極用電源出口、２４…入口側メッシュ電極用電源、２５…トラップ電極用電源、２６…出口側メッシュ電極用電源、２７…第２加速電極用電源入口、２８…第２加速電極用電源出口、３０…コントローラー、９２、９６…加速電極、１０１…第１ドリフト領域のイオン加速方向、１０２、１０２’…第２ドリフト領域のイオン加速方向、１０３…第１ドリフト領域のガス流れ方向、１０４…第２ドリフト領域のガス流れ方向、２０１…イオン種Ａ由来の信号、２０２…イオン種Ｂ由来の信号、２０３…イオン種Ｃ由来の信号、２０４…解離後のイオン種Ａ由来の信号、２０５…解離後のイオン種Ｂ由来の信号、２０６…解離後のイオン種Ｃ由来の信号、３０５…アレイ型加速電極、３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄ…加速電極、３１０…アレイ型検出器、３１１…増幅器。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ion source, 4 ... Gate electrode 5, 5 '... 1st acceleration electrode, 6 ... Inlet side mesh electrode, 7 ... Trap electrode, 8 ... Outlet side mesh electrode, 9, 9' ... 2nd acceleration electrode, 10 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Detector ... 11 ... Amplifier, 21 ... Gate electrode power supply, 22 ... First acceleration electrode power supply inlet, 23 ... First acceleration electrode power supply outlet, 24 ... Inlet side mesh electrode power supply, 25 ... Trap electrode power supply , 26 ... power supply for outlet side mesh electrode, 27 ... power supply inlet for second acceleration electrode, 28 ... power supply outlet for second acceleration electrode, 30 ... controller, 92, 96 ... acceleration electrode, 101 ... ion acceleration in the first drift region Direction, 102, 102 '... ion acceleration direction of the second drift region, 103 ... gas flow direction of the first drift region, 104 ... gas flow direction of the second drift region, 201 ... signal derived from the ion species A, 202 ... ion Signal from species B, 203 ... Signal from ion species C, 204 ... Signal from ion species A after dissociation, 205 ... Signal from ion species B after dissociation, 206 ... Signal from ion species C after dissociation 305 ... Array type acceleration electrode, 305a, 305b, 305c, 305d ... Acceleration electrode, 310 ... Array type detector, 311 ... Amplifier.

Claims (20)

第１のイオンを生成するイオン源と、前記第１のイオンを飛行ドリフト時間により分離する第１のドリフト部と、前記第１のドリフト部で分離された前記第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離部と、前記第２のイオンを飛行ドリフト時間により分離する第２のドリフト部とを有することを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   An ion source that generates first ions, a first drift portion that separates the first ions according to a flight drift time, and the first ions separated by the first drift portion are dissociated. An ion mobility analyzer comprising: an ion dissociation unit that generates two ions; and a second drift unit that separates the second ions based on a flight drift time. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記チャンバーの圧力が、１０ｍＴｏｒｒから大気圧下の範囲にあることを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   2. The ion mobility analyzer according to claim 1, wherein the pressure of the chamber is in a range from 10 mTorr to atmospheric pressure. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記イオン解離部の温度が２５０°Ｃ以上に維持されることを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   The ion mobility analyzer according to claim 1, wherein the temperature of the ion dissociation part is maintained at 250 ° C. or higher. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記イオン解離部は、解離されたイオンを１ｍｓ以上をトラップすることを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   The ion mobility analyzer according to claim 1, wherein the ion dissociation unit traps the dissociated ions for 1 ms or more. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記イオン解離部を光を照射する手段を有し、前記光の照射により前記第１のイオンが解離されることを特徴とする請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置。   2. The ion mobility analyzer according to claim 1, further comprising means for irradiating the ion dissociation part with light, wherein the first ions are dissociated by the light irradiation. Ion mobility analyzer. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記イオン解離部を電子線を照射する手段を有し、前記電子線の照射により前記第１のイオンが解離されることを特徴とする請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置。   2. The ion mobility analyzer according to claim 1, further comprising means for irradiating the ion dissociation part with an electron beam, wherein the first ion is dissociated by the electron beam irradiation. The ion mobility analyzer described in 1. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記第１のドリフト部におけるイオンの加速方向と前記第２のドリフト部におけるイオンの加速方向とが、同じ方向であることを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   2. The ion mobility analyzer according to claim 1, wherein the acceleration direction of ions in the first drift portion and the acceleration direction of ions in the second drift portion are the same direction. apparatus. 請求項１に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記第１のドリフト部におけるイオンの加速方向と前記第２のドリフト部におけるイオンの加速方向とが、直交することを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   The ion mobility analyzer according to claim 1, wherein an acceleration direction of ions in the first drift portion and an acceleration direction of ions in the second drift portion are orthogonal to each other. 請求項８に記載のイオンモビリティー分析装置において、前記第２のドリフト部を通過した前記第２のイオンを検出するアレイ状に配列される複数の検出器を有することを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   9. The ion mobility analyzer according to claim 8, further comprising a plurality of detectors arranged in an array for detecting the second ions that have passed through the second drift part. . 第１のイオンを生成するイオン源と、前記第１のイオンを飛行ドリフト時間により分離し、分離された前記第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離部と、前記第２のイオンを飛行ドリフト時間により分離するイオンドリフト部とを有し、前記イオン解離部におけるイオンの加速方向と前記イオンドリフト部におけるイオンの加速方向とが直交し、且つ、前記イオン解離部と前記イオンドリフト部の圧力が１０ｍＴｏｒｒから大気圧の範囲にあることを特徴とするイオンモビリティー分析装置。   An ion source that generates first ions, an ion dissociation unit that separates the first ions by a flight drift time, dissociates the separated first ions, and generates second ions; An ion drift part that separates the two ions according to a flight drift time, an ion acceleration direction in the ion dissociation part and an ion acceleration direction in the ion drift part are orthogonal, and the ion dissociation part and the ion dissociation part An ion mobility analyzer, wherein the pressure of the ion drift portion is in the range of 10 mTorr to atmospheric pressure. 第１のイオンを生成する工程と、前記第１のイオンを飛行ドリフト時間により分離する第１の分離工程と、前記第１の分離工程で分離された前記第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離工程と、前記第２のイオンを飛行ドリフト時間により分離する第２の分離工程とを有し、前記第１の分離工程と前記イオン解離工程と前記第２の分離工程とが、１０ｍＴｏｒｒ以上に維持される同じチャンバー内で実行されることを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   A step of generating a first ion; a first separation step of separating the first ion by a flight drift time; and a second dissociation of the first ion separated in the first separation step. An ion dissociation step for generating a second ion and a second separation step for separating the second ion based on a flight drift time, the first separation step, the ion dissociation step, and the second separation step. Are carried out in the same chamber maintained at 10 mTorr or more. 請求項１１記載のイオンモビリティー分析方法において、前記第１の分離工程と前記解離工程と前記第２の分離工程とが、大気圧下にある前記チャンバーが大気圧下にある同じチャンバー内で実行されることを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   12. The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein the first separation step, the dissociation step, and the second separation step are performed in the same chamber where the chamber under atmospheric pressure is under atmospheric pressure. An ion mobility analysis method characterized by that. 請求項１１に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記イオン解離工程は、前記第１のイオンの解離を２５０°Ｃ以上での熱解離により行ない前記第２のイオンを生成することを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   12. The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein the ion dissociation step generates the second ion by performing dissociation of the first ion by thermal dissociation at 250 ° C. or higher. Mobility analysis method. 請求項１１に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記イオン解離工程は、解離されたイオンを１ｍｓ以上をトラップする工程を有することを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   12. The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein the ion dissociation step includes a step of trapping the dissociated ions for 1 ms or more. 請求項１１に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記イオン解離工程は、を光を照射する工程を有し、前記光の照射により前記第１のイオンの解離を行なうことを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   12. The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein the ion dissociation step includes a step of irradiating light, and the dissociation of the first ion is performed by the light irradiation. Method. 請求項１１に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記イオン解離工程は、電子線を照射する工程を有し、前記電子線の照射により前記第１のイオンの解離を行なうことを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   12. The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein the ion dissociation step includes a step of irradiating an electron beam, and the first ion is dissociated by the electron beam irradiation. Analysis method. 請求項１１に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記第１の分離工程におけるイオンの加速方向と前記第２の分離工程におけるイオンの加速方向とが、同じ方向であることを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   12. The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein the acceleration direction of ions in the first separation step and the acceleration direction of ions in the second separation step are the same direction. Method. 請求項１１に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記第１の分離工程におけるイオンの加速方向と前記第２の分離工程におけるイオンの加速方向とが、直交することを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   The ion mobility analysis method according to claim 11, wherein an ion acceleration direction in the first separation step and an ion acceleration direction in the second separation step are orthogonal to each other. 請求項１８に記載のイオンモビリティー分析方法において、前記第２のイオンをアレイ状に配列される複数の検出器により検出する工程を有することを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   The ion mobility analysis method according to claim 18, further comprising a step of detecting the second ions by a plurality of detectors arranged in an array. 第１のイオンを生成する工程と、前記第１のイオンを飛行ドリフト時間により第１の方向で分離し、分離された前記第１のイオンの解離を行ない第２のイオンを生成するイオン解離工程と、前記第２のイオンを飛行ドリフト時間により前記第１の方向と直交する第２の方向で分離するイオンドリフト工程とを有し、前記イオン解離工程と前記イオンドリフト工程とが、１０ｍＴｏｒｒ以上に維持される同じチャンバー内で実行されることを特徴とするイオンモビリティー分析方法。   A step of generating a first ion, and an ion dissociation step of separating the first ion in a first direction according to a flight drift time and performing dissociation of the separated first ion to generate a second ion. And an ion drift step of separating the second ions in a second direction orthogonal to the first direction by a flight drift time, wherein the ion dissociation step and the ion drift step are 10 mTorr or more. An ion mobility analysis method, which is performed in the same chamber that is maintained.
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