JP2006107924A - Display - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、背面基板に設けた電子放出素子から電子を放出させて前面基板に設けた蛍光体層を励起発光させることにより画像を表示する表示装置に関する。 The present invention relates to a display device that displays an image by emitting electrons from an electron-emitting device provided on a back substrate and exciting and emitting a phosphor layer provided on the front substrate.
近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、フィールドエミッションディスプレイ(FED)や、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置(SED)等が知られている。 In recent years, field emission displays (FEDs), display devices (SEDs) equipped with surface-conduction electron-emitting devices, and the like are known as display devices having a flat envelope having a flat panel structure.
FEDやSEDでは、スペーサを介して所定の間隔を置いて対向配置された前面基板および背面基板を矩形枠状の側壁を介して周縁部同士を互いに接合し、内部を真空にした真空外囲器を構成している。 In an FED or SED, a vacuum envelope in which a front substrate and a rear substrate arranged to face each other with a predetermined interval through a spacer are joined to each other through a rectangular frame side wall, and the inside is evacuated. Is configured.
前面基板の内面には3色の蛍光体層とこれを覆うメタルバック層が形成され、背面基板の内面には蛍光体層を励起発光させる電子放出源として蛍光体層の画素毎に対応した多数の電子放出素子が配置されている。 A phosphor layer of three colors and a metal back layer covering the phosphor layer are formed on the inner surface of the front substrate, and a large number corresponding to each pixel of the phosphor layer as an electron emission source for exciting and emitting the phosphor layer on the inner surface of the rear substrate. The electron-emitting devices are arranged.
蛍光体層は電子放出素子に対して数kVの高電圧が印加されており、個々の電子放出素子から放出された電子ビームは対応する蛍光体層に向けて電界により加速されて照射され、対応する蛍光体層を励起発光させてカラー画像を表示する。 The phosphor layer is applied with a high voltage of several kV to the electron-emitting device, and the electron beams emitted from the individual electron-emitting devices are irradiated and accelerated by the electric field toward the corresponding phosphor layer. The phosphor layer is excited and emitted to display a color image.
このFEDやSEDにおいては、真空外囲器の雰囲気が電子放出素子や蛍光体層の劣化を招いてしまうため、内部圧力を小さくすることが重要である。従来は、排気機能をもった部材をパネルの一部に取り付けるなどしていたが、この場合、真空外囲器の基板間のギャップがわずかな隙間であるため、コンダクタンスが小さく、排気部材から遠い場所では雰囲気を改善することが不十分であった。 In this FED and SED, it is important to reduce the internal pressure because the atmosphere of the vacuum envelope causes the electron-emitting device and the phosphor layer to deteriorate. Conventionally, a member having an exhaust function is attached to a part of the panel. In this case, since the gap between the substrates of the vacuum envelope is a slight gap, the conductance is small and far from the exhaust member. It was insufficient to improve the atmosphere at the place.
これに対し、パネル封着を真空チャンバ内で行うと同時に、蛍光体層の上に前面基板全域に渡ってバリウムゲッタを成膜する方法が提示されている(例えば、特許文献1参照。)。この方法によると、上述したように排気部材を局所的に取り付ける場合と比較して、パネル全体に亘って真空雰囲気を改善できる。 On the other hand, a method of forming a barium getter over the entire area of the front substrate on the phosphor layer at the same time as performing panel sealing in a vacuum chamber has been proposed (see, for example, Patent Document 1). According to this method, the vacuum atmosphere can be improved over the entire panel as compared with the case where the exhaust member is locally attached as described above.
しかし、この場合、蛍光体層に重なる領域を含めた前面基板全域にゲッタを成膜するため、電子放出素子から放出された電子ビームがゲッタ層を突き抜ける際に余分なエネルギー損失を生じ、結果的に輝度が劣化する要因になっていた。言い換えると、ゲッタ層の厚さは輝度劣化が問題にならない範囲に制約されていた。
この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示輝度を高めることができ、真空度を高めることができる表示装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a display device that can increase display brightness and vacuum.
上記目的を達成するため、この発明の表示装置は、前面基板と背面基板を対向させた真空外囲器を有し、上記前面基板の蛍光体発光部以外の場所にゲッタ層が設けられていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a display device of the present invention has a vacuum envelope in which a front substrate and a rear substrate are opposed to each other, and a getter layer is provided at a place other than the phosphor light emitting portion of the front substrate. It is characterized by that.
また、この発明の表示装置は、多数の蛍光体画素を内面に有する前面基板と、この前面基板に周縁部を封着せしめて真空外囲器を構成しているとともに、その内面に上記蛍光体画素に対応した多数の電子放出素子を有する背面基板と、上記蛍光体画素に重ならないよう上記前面基板の内面に設けられたゲッタ層と、を有する。 The display device of the present invention comprises a front substrate having a large number of phosphor pixels on the inner surface, and a vacuum envelope formed by sealing the peripheral edge of the front substrate, and the phosphor is disposed on the inner surface. A back substrate having a number of electron-emitting devices corresponding to the pixels, and a getter layer provided on the inner surface of the front substrate so as not to overlap the phosphor pixels.
上記発明によると、蛍光体を発光させる電子ビームがゲッタ層を通過しないので、エネルギー損失を低くでき、表示輝度を高めることができる。 According to the above invention, since the electron beam for emitting the phosphor does not pass through the getter layer, energy loss can be reduced and display luminance can be increased.
更に、この発明の表示装置は、多数の蛍光体画素を内面に有する前面基板と、この前面基板に周縁部を封着せしめて真空外囲器を構成しているとともに、その内面に上記蛍光体画素に対応して多数の電子放出素子を有する背面基板と、上記電子放出素子から放出される電子ビームの軌道から外れた位置で上記前面基板の内面に設けられたゲッタ層と、を有する。 Further, the display device according to the present invention comprises a front substrate having a large number of phosphor pixels on the inner surface, and a peripheral portion sealed to the front substrate to constitute a vacuum envelope, and the phosphor on the inner surface. A back substrate having a number of electron-emitting devices corresponding to the pixels, and a getter layer provided on the inner surface of the front substrate at a position deviated from the trajectory of the electron beam emitted from the electron-emitting device.
上記発明によると、電子放出素子から放出される電子ビームが蛍光体画素に至るまでにゲッタ層に干渉しないので、ゲッタ層通過によるエネルギー損失をなくすことができ、表示輝度を高めることができる。 According to the above invention, since the electron beam emitted from the electron-emitting device does not interfere with the getter layer before reaching the phosphor pixel, energy loss due to passage through the getter layer can be eliminated, and display luminance can be increased.
この発明の表示装置は、上記のような構成および作用を有しているので、表示輝度を高めることができ、真空度を高めることができる。 Since the display device of the present invention has the configuration and operation as described above, the display luminance can be increased and the degree of vacuum can be increased.
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。始めに、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、SEDについて説明する。
図1ないし図3に示すように、SEDは、それぞれ矩形状の1〜2[mm]の厚さを有するガラス板からなる前面基板2および背面基板4を備え、これらの基板2、4はスペーサ8を介して約1.0〜2.0[mm]の隙間をおいて対向配置されている。そして、前面基板2および背面基板4は、周囲を矩形枠状の側壁6を介して接合され、内部が真空の真空外囲器10を構成している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, an SED will be described as an example of a display device according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIGS. 1 to 3, the SED includes a
前面基板2の内面には画像を表示する蛍光体スクリーン12が形成されている。この蛍光体スクリーン12は、赤、青、緑の蛍光体層R、G、B、およびブラックマトリックス層11を並べ、蛍光体層をメタルバック14で覆う構成としている。蛍光体層R、G、Bは、ストライプ状あるいはドット状に形成され、メタルバック14はアルミニウム等の金属薄膜から形成されている。
A
背面基板4の内面には、蛍光体層R、G、Bを励起発光させるための電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子16が設けられている。これら電子放出素子16は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列され、各電子放出素子16は図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板4の内面上には、各電子放出素子16に駆動電圧を与えるための多数本の配線18がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器10の外部に引き出されている。
On the inner surface of the
上記SEDにおいて、画像を表示する場合、配線18を介して電子放出素子16の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子16の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、蛍光体スクリーン12にアノード電圧を印加する。すると、このアノード電圧によって電子ビームが加速されて蛍光体スクリーン12に照射され、所望の蛍光体層R、G、Bが励起発光されて画像が表示される。このとき、電子ビームは、蛍光体層R、G、Bに重ねて形成されたメタルバック14を通過して蛍光体層に照射される。
In the SED, when an image is displayed, a voltage is applied between the element electrodes of the electron-
ところで、上記前面基板2および背面基板4は、真空雰囲気中で脱ガス焼成後に封着されて真空外囲器10を形成するが、従来、封着に先立ち真空雰囲気中で前面基板2の内面全域にゲッタ成膜し、パネル化後の高真空を維持できるようにしていた。従来、ゲッタ層は、BaまたはTiが10[nm]から100[nm]程度の膜厚で前面基板2の全域に成膜されており、輝度劣化の観点から100[nm]以上の厚膜化は好ましくなかった。
By the way, the
つまり、ゲッタ層を前面基板2の全域に形成するとゲッタ層が蛍光体層R、G、Bに重ねて形成されるため、電子ビームがゲッタ層をも通過して蛍光体層に到達する。このため、電子ビームのエネルギー損失が大きく、十分に満足のいく表示輝度を得られなかった。言い換えると、ゲッタ層の膜厚が大きいと、その分電子ビームのエネルギー損失が大きくなり、輝度劣化の要因となるため、ゲッタ層の膜厚にも制限があった。
That is, when the getter layer is formed over the entire area of the
また、メタルバック14の形成に関しては、放電電流を抑制する観点より、特開平10−326583号公報、特開2000−251797号公報に示されたような分断形成を行うことが望ましい。この場合、従来のように、前面基板2全域にゲッタ成膜すると分断したメタルバックが電気的に導通してしまうため、ゲッタ層もメタルバック14と同様に、例えば特開2003−068237号公報に示した方法で電気的に分断形成することが望ましい。
In addition, regarding the formation of the
図4には、この発明の第1の実施の形態に係るゲッタ構造を説明するための要部部分拡大図を示してある。
上述したように、前面基板2の内面には、ブラックマトリクス層11と多数の蛍光体層R、G、B(蛍光体画素)が形成されている。蛍光体層R、G、Bは、図中矢印Y方向(図中横方向)に交互に並んで比較的狭い隙間を介して配列されており、図中矢印X方向(図中縦方向)に関しては、画素間隔は比較的大きくなっている。つまり、蛍光体層R、G、Bの行間隔は、列間隔より広くなっている。
FIG. 4 is an enlarged view of a main part for explaining the getter structure according to the first embodiment of the present invention.
As described above, the
本実施の形態では、図示しないマスクを介して、この前面基板2の蛍光体層R、G、Bの比較的広い行間部分にだけBaゲッタ20を100[nm]の厚さで成膜するようにした。言い換えると、本実施の形態では、電子放出素子16から放出された電子ビームが干渉しない位置、具体的には、蛍光体層R、G、Bに重ならない位置で、前面基板2の内面のゲッタ層を形成した。
In the present embodiment, the
本実施の形態のゲッタ構造を採用することで、従来のように蛍光体層R、G、Bに重ねてゲッタ層を成膜する場合と比較して、電子ビームのエネルギー損失を低く抑えることができ、表示輝度を約20[%]改善することができた。また、前面基板2の内面全域に亘って蛍光体層R、G、B近傍にゲッタ層20を形成しているため、真空雰囲気も表示パネル10の全域に亘って従来同等の特性を得ることができた。さらに、本実施の形態によると、電子放出素子16から放出された電子ビームがゲッタ層20を通過することがないため、ゲッタ層20の膜厚が表示輝度に悪影響を与えることがなく、ゲッタ層の膜厚を従来より厚くでき、100[nm]以上の膜厚も可能となる。
By adopting the getter structure of the present embodiment, the energy loss of the electron beam can be suppressed lower than in the case where the getter layer is formed over the phosphor layers R, G, and B as in the prior art. It was possible to improve the display brightness by about 20 [%]. In addition, since the
ここでは、ゲッタ層としてBaゲッタとした場合について説明したが、ゲッタ層としては排気能力を有する材料であれば良く、例えば、Ti、Ta、その他材料でもかまわない。また、前面基板2内面の成膜構造も上述した実施の形態に限定されるものではなく、蛍光体層R、G、Bの配列を任意に変更でき、前面基板2の内面に他の構造物が付加されていてもよい。
Here, the case where the getter layer is a Ba getter has been described, but the getter layer may be a material having an exhaust capability, and may be Ti, Ta, or other materials, for example. Further, the film formation structure on the inner surface of the
また、上述したゲッタ層20の下地(本実施の形態ではブラックマトリックス層11)を凸凹にしてゲッタ層20の表面積を大きくするようにしても良い。これにより、ゲッタ層20の単位成膜面積当たりの排気能力を高めることができ、真空外囲器10の真空度をより高めることができる。
Further, the surface area of the
図5には、この発明の第2の実施の形態に係るゲッタ構造を示してある。
本実施の形態では、蛍光体層R、G、Bに重ならない全ての領域にゲッタ層30を形成した。言い換えると、ブラックマトリックス層11と略同じパターンでゲッタ層30を成膜した。このゲッタ層30は、ブラックマトリックス層11に重ねて印刷版によりパターニングして印刷し、後に成膜したゲッタ層30を活性化して排気能力を持たせるようにした。なお、ゲッタ材は、Ti粒子で、パターン形成後、高温の還元雰囲気で焼成した後、真空焼成することでゲッタとして活性化させている。
FIG. 5 shows a getter structure according to a second embodiment of the present invention.
In the present embodiment, the
本実施の形態では、上述した第1の実施の形態と比較して、マスク蒸着装置が不要であるため、パネルの製造コストを低減することができる。 In the present embodiment, compared with the first embodiment described above, a mask vapor deposition apparatus is unnecessary, so that the manufacturing cost of the panel can be reduced.
図6には、この発明の第3の実施の形態に係るゲッタ構造を示してある。
ここでは、放電時の電流抑制のため、メタルバック(図示せず)とともにゲッタ層40も2次元方向に分断した構成とした。このゲッタ層40は、図示しない電気的に分断されたメタルバック領域を電気的に導通することのないように、電気的に分断されている。なお、このゲッタ層40の成膜プロセスも、上述した第2の実施の形態と同様の印刷による。
FIG. 6 shows a getter structure according to a third embodiment of the present invention.
Here, in order to suppress a current during discharge, the
このような分断されたパターンを形成する場合、例えば、図7に示すように、予めゲッタ層40を形成するパターンに準じて壁または囲い50を形成しておく。これにより、ゲッタ層40の蛍光体層R、G、Bなどへのはみだしを抑制できる。
When forming such a divided pattern, for example, as shown in FIG. 7, a wall or
いずれにしても、本発明では、電子放出素子16から放出される電子ビームがゲッタ層20、30、40に干渉せずに蛍光体層R、G、Bに照射され、エネルギー損失を低く抑えることができる。これにより、真空外囲器10の真空度を所望する値に高めた上で、表示輝度を高めることができる。
In any case, in the present invention, the electron beam emitted from the electron-emitting
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the above-described embodiments. For example, you may delete some components from all the components shown by embodiment mentioned above. Furthermore, you may combine the component covering different embodiment suitably.
例えば、上述した実施の形態では、蛍光体層R、G、Bに重ならない位置にゲッタ層を形成した場合について説明したが、これに限らず、少なくとも電子ビームの軌道から外れた位置にゲッタ層を形成すれば良い。 For example, in the above-described embodiment, the case where the getter layer is formed at a position that does not overlap the phosphor layers R, G, and B has been described. However, the present invention is not limited to this, and the getter layer is at least at a position deviated from the orbit of the electron beam. Should be formed.
2…前面基板、4…背面基板、6…側壁、8…スペーサ、10…真空外囲器(表示パネル)、12…蛍光体スクリーン、14…メタルバック、16…電子放出素子、18…配線、20、30、40…ゲッタ層、50…壁。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
上記前面基板の蛍光体発光部以外の場所にゲッタ層が設けられていることを特徴とする表示装置。 In a display device having a vacuum envelope in which a front substrate and a rear substrate are opposed to each other,
A display device, wherein a getter layer is provided at a place other than the phosphor light emitting portion of the front substrate.
この前面基板に周縁部を封着せしめて真空外囲器を構成しているとともに、その内面に上記蛍光体画素に対応した多数の電子放出素子を有する背面基板と、
上記蛍光体画素に重ならないよう上記前面基板の内面に設けられたゲッタ層と、
を有することを特徴とする表示装置。 A front substrate having a large number of phosphor pixels on its inner surface;
A peripheral substrate is sealed to the front substrate to form a vacuum envelope, and a rear substrate having a large number of electron-emitting devices corresponding to the phosphor pixels on the inner surface thereof;
A getter layer provided on the inner surface of the front substrate so as not to overlap the phosphor pixels;
A display device comprising:
上記ゲッタ層は、上記分断されたメタルバック間を電気的に導通しないよう分断されていることを特徴とする請求項5に記載の表示装置。 The metal back is electrically divided into a plurality of regions,
6. The display device according to claim 5, wherein the getter layer is divided so as not to be electrically connected between the divided metal backs.
この前面基板に周縁部を封着せしめて真空外囲器を構成しているとともに、その内面に上記蛍光体画素に対応して多数の電子放出素子を有する背面基板と、
上記電子放出素子から放出される電子ビームの軌道から外れた位置で上記前面基板の内面に設けられたゲッタ層と、
を有することを特徴とする表示装置。 A front substrate having a large number of phosphor pixels on its inner surface;
A peripheral part is sealed to the front substrate to form a vacuum envelope, and a rear substrate having a large number of electron-emitting devices corresponding to the phosphor pixels on the inner surface thereof;
A getter layer provided on the inner surface of the front substrate at a position deviated from the trajectory of the electron beam emitted from the electron-emitting device;
A display device comprising:
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