JP2006099107A

JP2006099107A - 寿命終末現象を持つディスプレイ・デバイスに関するシステム及び方法

Info

Publication number: JP2006099107A
Application number: JP2005266997A
Authority: JP
Inventors: Lauren Palmateer; ローレン・パルマティア
Original assignee: IDC LLC
Current assignee: IDC LLC
Priority date: 2004-09-27
Filing date: 2005-09-14
Publication date: 2006-04-13
Also published as: RU2005129846A; US7916103B2; KR101174759B1; KR20120047882A; US20110210910A1; CA2520950A1; EP1640332A2; BRPI0503848A; EP1640332A3; TW200624370A; KR20060092932A; AU2005211623A1; SG121163A1; US20060077524A1

Abstract

【課題】ＭＥＭＳディスプレイ・デバイス上で寿命終末画像を電子ディスプレイ上に表示するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】寿命終末画像１０４は十分な水蒸気の存在で、且つディスプレイの連続作動なしでもＭＥＭＳディスプレイ・デバイス上に表示される。その画像はユーザー入力に応えて、ディスプレイパッケージ中の所定レベルの水蒸気の検知に応えて、前以て記憶されたデバイスの寿命に従って、もしくはディスプレイ・デバイス及びパッケージの寿命の自然切れに従って表示される。
【選択図】図８

Description

本発明の分野は微小電気機械システム（microelectromechanical systems：ＭＥＭＳ）に関係し、特にＭＥＭＳディスプレイ・デバイス上で寿命終末（end-of-life）メッセージを表示する方法及びデバイスに関係する。

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）は微小機械素子、アクチュエータ、及び電子回路（electronics）を含む。微小機械要素は電気または電気機械デバイスを形成するために蒸着（堆積）、エッチング、及びまたは基板及び／または蒸着材料層の一部をエッチング除去したり、或いは層を追加する他の微細加工処理を用いて造られる。ＭＥＭＳデバイスの一つの形式は干渉変調器（interferometric modulator）と呼ばれる。干渉変調器は一対の導電性板からなり、その一つまたは双方は全体或いは一部が透明及び／または反射性であり、適当な電気信号を加えると相対的運動が可能である。一つの板は基板に蒸着された固定層からなり、他の板は固定層から空隙によって分離された金属膜からなる。そのようなデバイスは広い応用範囲を持っており、それらの特徴が現在の製品を改良、及びまだ開発されていない新製品を造るのに利用されるようにこれらの形式のデバイス特性を利用、及び／または変更することが当技術分野において有益であろう。

ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスは従来の有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）ディスプレイと比べて組立（assembly）及び動作時の両方において水分及び酸素に対して敏感でない。ＯＬＥＤと異なり、ＭＥＭＳディスプレイは自然環境条件の下でパッケージすることができ、ディスプレイ・パッケージ内の相対湿度が１０％程度のときでも機能する。湿度感受性に関する制限緩和によりＭＥＭＳディスプレイはＯＬＥＤにおける全デバイス不良とは対照的に過度の水分の影響を受けたとき寿命終末画像を生成するように操作することを可能にする。

本発明の一実施例は微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ上で画像を表示する方法である。この実施例はＭＥＭＳディスプレイを水蒸気と接触させ、ユーザー入力に対して表示を作動する方法を含む。その方法はまた作動に応えてディスプレイ上で所定の画像を表示することを含み、そこではその画像は連続作動なしでも表示される。

本発明の別の実施例はパッケージ内でカプセル化されたＭＥＭＳディスプレイを持つ微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ・デバイスである。この実施例では、水蒸気センサがパッケージ内にあり、ＭＥＭＳディスプレイと接続されている。水蒸気センサは所定レベル以上のパッケージ中の水蒸気を感知するように構成される。

さらに本発明の別の実施例はディスプレイ・デバイスを作成する方法である。この方法は基板上に微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ・デバイスを提供すること、且つまた水蒸気センサを提供すること含む。その実施例はまたディスプレイ・デバイスを形成するために背面板にＭＥＭＳデバイスを封止（sealing）する方法を提供し、そこでは水蒸気センサがパッケージ中の水蒸気レベルを検出するように構成される。

本発明の他の一実施例は基板上に微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスを提供し、且つまた水蒸気センサを提供することによって作成されたＭＥＭＳディスプレイ・デバイスである。この実施例では、ＭＥＭＳディスプレイはディスプレイ・デバイスを形成するためにＭＥＭＳデバイスを背面板に封止することによって作成され、ここでは水蒸気センサがパッケージ中の水蒸気レベルを検出するように構成される。

さらに本発明の別の実施例はそこを通して光を透過する透過手段を含むディスプレイ・デバイスである。この実施例はまた透過手段を通して透過された光を変調手段、及びパッケージ手段を形成するため変調手段を被覆する被覆手段を提供する。更に、この実施例はパッケージ手段中の水蒸気の存在を検出するように構成された感知手段を有する。

本発明の別の実施例は複数のディスプレイ素子を含む微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ上で画像を表示する方法である。その方法はＭＥＭＳディスプレイを提供し、且つＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れると所定の画像が表示されるようにＭＥＭＳディスプレイを構成することを含む。その方法はまたＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れたとき所定の画像を表示する。

追加実施例はＭＥＭＳデバイスを提供し、且つＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れると所定の画像が表示されるようにＭＥＭＳディスプレイを構成して、所定の画像を表示するように構成されたＭＥＭＳデバイスを作成する方法である。
追加の一実施例はＭＥＭＳデバイスを提供し、且つＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れると所定の画像が表示されるようにＭＥＭＳディスプレイを構成して作成されたＭＥＭＳデバイスである。

追加実施例は所定の画像を表示するように構成されたＭＥＭＳデバイスを含む。この実施例は画像を表示するＭＥＭＳディスプレイ手段、及びＭＥＭＳディスプレイ手段の所定の寿命が切れると所定の画像を表示する構成手段を提供する。
さらに本発明の他の一実施例は所定の画像を表示するように構成されたＭＥＭＳデバイスを含む。この実施例はＭＥＭＳディスプレイを含み、ここではそのディスプレイはＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れたとき所定の画像を表示するように構成される。

寿命終末画像を表示するように構成されたＭＥＭＳディスプレイ・デバイス、及びＭＥＭＳディスプレイ・デバイスにおいて寿命終末画像を表示する方法の複数の実施例が下で説明される。いくつかの方法はディスプレイが故意に水蒸気に曝されたとき所定の寿命終末画像が表示されるようにディスプレイのユーザー作動を含む。一実施例では、スイッチまたはボタンの組合せの作動に続く水蒸気への曝露はユーザーからさらに入力がない場合に表示された状態を維持する所定の画像を作動する。ある実施例では、ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスはディスプレイ・デバイス・パッケージ中の水蒸気レベルを検出し、且つ所定の画像が表示されるようにディスプレイを作動するように構成される。ＭＥＭＳディスプレイ・デバイス及び寿命終末画像を表示する方法の追加実施例は図８〜１１を参照して下でさらに詳細に論じられる。

次の詳細な説明は本発明の或る特定の実施例を示すものである。しかしながら、本発明は多数の異なる方法で実施することができる。この説明では、図を参照するが、ここでは同様な部分は同様な数字によって指定されている。次の説明から明らかなように、本発明は画像が動いているか（例えば、ビデオ）、或いは止っているか（例えば、静止画像）に拘らず、及び文字或いは絵であるかに拘わらず、画像を表示するように構成されるあらゆるデバイスにおいて実施される。特に、本発明は携帯電話、個人用データ装置（ＰＤＡ）、携帯用或いは可搬コンピュータ、ＧＰＳ受信機／ナビゲータ、カメラ、ＭＰ３プレイヤ、ビデオカメラ、ゲーム器、腕時計、普通の時計、計算器、テレビ受像機、平面ディスプレイ、コンピュータ・モニタ、自動車用ディスプレイ（例えば、走行距離計ディスプレイ等）、操縦席制御及び／またはディスプレイ、カメラ・ディスプレイ（例えば、乗物における後方景色の表示）、電子写真、電子広告掲示板または標識、プロジェクタ（投映器）、建築物、パッケージ、及び美術品（例えば、宝石類の画像表示）といった様々な電子デバイスにおいて、しかしそれに限らず実施され、或いは関連することが考えられる。ここに記載されたものと同様な構造のＭＥＭＳデバイスはまた電子切替デバイスのように非ディスプレイ応用にも使用することができる。

干渉変調ディスプレイ素子を含む一つの干渉変調ディスプレイの実施例は図１に例示される。これらのデバイスでは、そのピクセルは明と暗のいずれかの状態にある。明（「オン」または「開」）状態では、ディスプレイ素子はユーザーに入射可視光線の大部分を反射する。暗（「オフ」または「閉」）状態では、ディスプレイ素子はユーザーに入射可視光線を殆ど反射しない。実施例によっては、「オン」及び「オフ」状態は反転される。ＭＥＭＳピクセルは選択された色を主として反射するように構成され、白黒に加えてカラー表示が可能である。

図１は画像ディスプレイの一連のピクセルにおける二つの隣接ピクセルを図示する等角図で、ここでは各ピクセルはＭＥＭＳ干渉変調器を含む。いくつかの実施例では、干渉変調ディスプレイはこれらの干渉変調器の行／列アレイからなる。各干渉変調器は少なくとも一つの寸法可変な共鳴光学キャビティを形成するように相互から可変且つ制御可能な距離に配置された一対の反射層を含む。一実施例では、反射層の一つは二つの位置の間を動く。解放状態（released state）とここで呼ばれる第一の位置では、可動層は固定の部分的反射層から比較的大きい距離に配置される。第二の位置では、可動層は部分的反射層にもっと密接して配置される。二つの層から反射する入射光は可動反射層の位置によって協調的もしくは非協調的に干渉し、各ピクセルについて全体的な反射もしくは非反射状態を生成する。

図１のピクセル・アレイの図示部分は二つの隣接する干渉変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左の干渉変調器１２ａでは、可動及び高反射層１４ａは固定の部分的反射層１６ａから所定の位置に解放位置で例示されている。右の干渉変調器１２ｂでは、可動高反射層１４ｂは固定の部分的反射層１６ｂに近接する作動位置に例示されている。

固定層１６ａ、１６ｂは電気伝導性があり、部分的に透明性、且つ部分的反射性があり、例えば、透明基板２０上にクロム（chromium）及びインジウム・スズ酸化物（indium-tin-oxide）のそれぞれを一以上の層に蒸着することによって製作される。その層は平行な細条に型造られ、さらに下で述べられるようにディスプレイ・デバイスにおける行電極を形成する。可動層１４ａ、１４ｂは柱（posts）の上端及び柱１８の間に堆積された介在犠牲材料に蒸着された蒸着金属層の一連の平行な細条（行電極１６ａ、１６ｂに直交する）として形成される。犠牲材料がエッチングで除かれるとき、変形可能金属層は所定の空気間隙１９だけ固定の金属層から離れる。アルミニウムのような高電気伝導性且つ反射性材料が変形層に使用され、これらの細条はディスプレイ・デバイスにおける列電極を形成する。

電圧が印加されないと、キャビティ１９は層１４ａ、１６ａの間に留まり、変形層は図１にピクセル１２ａで例示されたように機械的に緩和された状態にある。しかしながら、電位差が選択された行及び列に加えられると、対応するピクセルにおいて行及び列電極の交差部に形成されたキャパシタ（コンデンサ）は荷電され、静電気力が電極を共に引寄せる。その電圧が十分に高ければ、可動層は変形し、図１に右のピクセル１２ｂで例示されたように固定層（この図に例示されない誘電性材料が短絡を防止し、且つ分離距離を調整するために固定層に蒸着される）に対して力が加えられる。その振舞は印加電位差の極性に関わりなく同じである。このように、反射と非反射ピクセル状態を制御する行／列の作動は従来のＬＣＤ（液晶表示デバイス）及び他のディスプレイ技術において使用されているものと多くの点で類似している。

図２から図５Ｂはディスプレイ応用に一連の干渉変調器のアレイを使用する一つの典型的処理及びシステムを例示する。図２は本発明の形態を組込んだ電子デバイスの一実施例を例示するシステム・ブロック図である。典型的な実施例では、電子デバイスはＡＲＭ、Ｐｅｎｔｉｕｍ（登録商標）、ＰｅｎｔｉｕｍＩＩ（登録商標）、ＰｅｎｔｉｕｍＩＩＩ（登録商標）、ＰｅｎｔｉｕｍＩＶ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ（登録商標）Ｒｒｏ、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、ＰｏｗｅｒＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）といった一般用途の１または多チップのマイクロプロセッサ、またはディジタル信号プロセッサのような特別用途マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、或いはプログラム可能ゲートアレイである。当技術分野では一般的であるが、プロセッサ２１は一以上のソフトウェア・モジュールを実行するように構成される。オペレーティング・システムを実行する他に、プロセッサは一以上のソフトウェア・アプリケーションを実行するように構成され、ウェブ・ブラウザ、電話アプリケーション、電子メール・プログラム、またはその他のソフトウェア・アプリケーションを含む。

一実施例では、プロセッサ２１はまたアレイ制御器２２と連携するように構成される。一実施例では、アレイ制御器２２は信号をピクセル・アレイ３０に提供する行駆動回路２４及び列駆動回路２６を含む。図１に例示されたアレイの断面図は図２において線１−１によって示される。ＭＥＭＳ干渉変調器について、行／列の作動プロトコルは図３に例示されたこれらのデバイスのヒステリシス特性を利用する。例えば、解放状態から作動状態まで可動層を変形させるためには１０ボルトの電位差を必要とする。しかしながら、電圧がその値から減少するとき、電圧が１０ボルト未満に低下するけれども可動層はその状態を保持する。図３の典型的な実施例では、電圧が２ボルト以下になるまで可動層は完全に解放しない。このように図３に例示された例では約３〜７ボルトの電圧の範囲があり、そこではデバイスが解放または作動状態のいずれかで安定している印加電圧の窓が存在する。これは「ヒステリシス窓」または「安定性窓（stability window）」とここでは呼ばれる。図３のヒステリシス特性を持つディスプレイ・アレイについて、行ストローブの間、作動されるストローブ行のピクセルは約１０ボルトの電位差に置かれ、解放されるピクセルは０ボルトに近い電圧差に置かれるように、行／列の作動プロトコルは設計される。ストローブの後で、行ストローブがそれらをどのような状態に置こうともそこに留まるようにピクセルは約５ボルトの定常状態の電圧差に置かれる。書込みの後で、各ピクセルはこの例では３〜７ボルトの「安定性窓」内の電位差を見出す。この特徴は作動もしくは解放の前段階の状態のいずれにおいても同じ印加電圧条件の下で図１に例示されたピクセル設計を確実にする。干渉変調器の各ピクセルは、作動もしくは解放のいずれにおいても、本質的に固定及び可動反射層によって形成されたキャパシタであるので、この安定状態は殆ど電力消費をしないでヒステリシス窓内の電圧に保持される。印加電位が固定されていれば、本質的に電流はピクセルに流れ込まない。

一般的な応用では、ディスプレイ・フレームは第一行の作動ピクセルの所望の組に従って列電極の組を確定することによって造られる。そして、行パルスが行１の電極に印加され、確定された列ラインに対応するピクセルを作動させる。そして、確定された列電極の組は第二行における作動ピクセルの所望の組に対応するように変えられる。そして、パルスは行２の電極に印加され、確定された列電極に従って行２における適切なピクセルを作動させる。行１のピクセルは行２のパルスに影響されることなく、それらが行１のパルスの間に設定された状態に留まる。これはフレームを生成するために行の全系列について順次に繰返される。一般に、秒当たりある所望の数のフレームにおいてこの処理を連続して繰返すことによりフレームは新しいディスプレイ・データによって新たになり、および／または更新される。ディスプレイ・フレームを生成するためにピクセル・アレイの行及び列電極を駆動するための多種多様なプロトコルはまた周知であり、且つ本発明と共に使用される。

図４、５Ａ及び５Ｂは図２の３×３アレイに関するディスプレイ・フレームを造る一つの可能な作動プロトコルを例示する。図４は図３のヒステリシス曲線を示すピクセルについて使用される列及び行電圧レベルの可能な組を例示する。図４の実施例において、ピクセルを作動させることは適切な列を−Ｖ_ｂｉａｓに、且つ適切な行を＋ΔＶに設定することであり、それは−５ボルト及び＋５ボルトにそれぞれ対応する。ピクセルを解放することは適切な列を＋Ｖ_ｂｉａｓに、且つ適切な行を＋ΔＶに設定し、ピクセルに亘って０ボルトの電位差を造ることによって達成される。行電圧が０ボルトに保持されているそれらの行では、列が＋Ｖ_ｂｉａｓまたは−Ｖ_ｂｉａｓにあるかどうかに関係なく、それらのピクセルはそれらが元々あったどんな状態においても安定している。

図５Ｂは図２の３×３アレイに与えられる一連の行及び列信号を示すタイミング図で、図５Ａに例示されたディスプレイ配置に帰着しており、そこでは作動ピクセルは非反射である。図５Ａに例示されたフレームを書込む前に、ピクセルはある状態にあり、この例では全ての行は０ボルトにあり、全ての列は＋５ボルトにある。これらの印加電圧に関して、全てのピクセルはそれらの現在の作動もしくは解放状態において安定している。

図５Ａのフレームでは、ピクセル（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）は作動している。これを達成するために、行１の「ライン時間」の間、列１及び２は−５ボルトに設定され、列３は＋５ボルトに設定される。全てのピクセルは３〜７ボルトの安定性窓に留まるため、これはピクセルの状態を全く変えない。そして、行１は０から５ボルトまで上がり、０ボルトに下がるパルスによってストローブされる。これは（１，１）及び（１，２）ピクセルを作動させ、（１，３）ピクセルを解放する。アレイ中の他のピクセルは影響を受けない。行２を所望として設定するために、列２は−５ボルトに設定され、列１及び３は＋５ボルトに設定される。そして、行２に印加される同じストローブはピクセル（２，２）を作動させ、ピクセル（２，１）及び（２，３）を解放するであろう。この場合も、アレイの他のピクセルは影響を受けない。行３は列２及び３を−５ボルトに、且つ列１を＋５ボルトに設定することにより同様に設定される。図５Ａで示されたように、行３のストローブは行３のピクセルを設定する。フレームを書込んだ後、行電位はゼロであり、列電位は＋５か−５ボルトのいずれかに留まり、そしてディスプレイは図５Ａの配置において安定している。同じ手順は数ダース或いは数百もの行及び列のアレイについて使用されることが理解されるであろう。行及び列の作動を行うために使用される電圧のタイミング、系列、及びレベルは上で概説された一般原則の中で広く変化することもまた理解されるであろう、そして上の例は典型的であるに過ぎず、あらゆる作動電圧方法が本発明とともに使用される。

上で示された原理に従って動作する干渉変調器の構造の細部は千差万別である。例えば、図６Ａ〜６Ｃは可動鏡（moving mirror）構造の三つの異なる実施例を例示する。図６Ａは図１の実施例の断面図で、そこでは金属材料の細片１４が直角に延びる支持体１８に蒸着されている。図６Ｂでは、可動反射材１４が繋ぎ体３２上に隅部だけで支持体に取付けられている。図６Ｃでは、可動反射材１４は変形層３４から吊るされている。反射材１４に使用される構造設計及び材料は光学特性に関して最適化され、且つ変形層３４に使用される構造設計及び材料は所望の機械特性に関して最適化されるので、この実施例は利点がある。様々な型式の干渉デバイスの製造は、例えば、米国特許出願第２００４／００５１９２９号を含め、様々な公表文書に記述されている。多種多様な周知の技術が一連の材料蒸着、型作成、及びエッチング段階を含めて上述の構造物を製造するために使用される。

干渉変調アレイのようなＭＥＭＳデバイスの移動部分は好ましくは移動する保護空間を有する。ＭＥＭＳデバイスのパッケージ技術は下でさらに詳細に説明される。ＭＥＭＳデバイス、例えば干渉変調アレイの基本パッケージ構造の概略図は図７に例示される。図７に示されたように、基本パッケージ構造７０は基板７２及び背面被覆または「キャップ」７４を含み、そこに干渉変調器アレイ７６が基板７２上に構成されている。このキャップ７４はまた「背面板（backplate）」と呼ばれる。

基板７２及び背面（backplane）７４は、干渉変調器アレイ７６が基板７２、背面７４、及び封止材７８によって封入されるように、封止材（seal）７８によって接合される。これは背面７４と基板７２との間にキャビティ７９を形成する。封止材７８は従来のエポキシ樹脂主体の接着剤のような非密閉封止材である。他の実施例では、封止材７８は、約０．２〜４．７ｇｍｍ／ｍ^２ｋＰａ日の範囲の水蒸気の浸透性を持つ他の型の封止材の中、ポリイソブチレン（時には、ブチルゴム、及び時には、ＰＩＢと呼ばれる）、Ｏ‐リング、ポリウレタン、薄膜金属溶接、ガラス上の液体回転、半田、ポリマー、或いはプラスチックである。さらに他の実施例では、封止材７８は密閉封止材である。

いくつかの実施例では、パッケージ構造７０はキャビティ７９中の水分を低減させるように構成される乾燥剤８０を含む。乾燥剤は密封パッケージにとって必要ではないかもしれないが、パッケージ中に常在する水分を抑制するために望ましいことを当業者は認識するであろう。一実施例では、乾燥剤８０は干渉変調器アレイ７６と背面７４との間に配置される。乾燥剤は密閉または非密閉の封止を有するパッケージに使用される。密封パッケージでは、乾燥剤は一般的にパッケージの内部に常在する水分を抑制するために使用される。非密封パッケージでは、乾燥剤は周囲からパッケージに入込む水分を制御するために使用される。一般に、干渉変調器アレイの光学特性を妨げないで水分を吸収できる材料はいずれも乾燥剤として使用される。適当な乾燥剤材料は沸石、分子篩（molecular sieves）、表面吸着剤、バルク吸着剤、及び化学反応物質があるが、それに限定されるものではない。

乾燥剤８０はいろいろな形態、形状、及びサイズがある。固体形態の他に、乾燥剤８０は代りに粉状形態でもよい。これらの粉体は直接パッケージに入れるか、もしくは用途によって接着剤と混ぜ合わしてもよい。代替実施例では、乾燥剤８０はパッケージ中に適用される前に、円筒またはシートのようないろいろな形に形成してもよい。

乾燥剤８０がいろいろな方法で適用できることを当業者は理解するであろう。一実施例では、乾燥剤８０は干渉変調器アレイ７６の一部として堆着される。別の実施例では、乾燥剤８０はスプレーまたは浸漬被膜（dip coat）としてパッケージ７０中に適用される。

基板７２はその上に形成された薄膜、即ちＭＥＭＳデバイスを持つことが可能な半透明または透明な材質である。そのような透明な材質はガラス、プラスチック、及び透明な高分子であるが、それに限定されるものではない。干渉変調器アレイ７６は皮膜変調器または分離形式の変調器を含む。背面７４は、ガラス、金属、箔（foil）、プラスチック、セラミックス、または半導体材料（例えば、シリコン）といった、適当な材料でもよいことを当業者は理解するであろう。

パッケージ処理は周囲圧力を含めて真空から周囲圧力までの間の圧力、または周囲圧力より大きい圧力において達成される。パッケージ処理はまた封止処理の間で様々な及び高く或いは低く規制された圧力の環境において達成される。完全に乾燥した環境で干渉変調器７６をパッケージすることは有利であるが、それは必要ではない。同様に、パッケージ環境は周囲条件が不活性ガスであってもよい。デバイスはそのデバイスの動作に影響を及ぼさずに自然環境を通して輸送されるから、自然環境におけるパッケージは低コスト処理及び設備選択における汎用性に関して多くの可能性を許容する。

一般に、パッケージ構造への水蒸気の浸透を最小にすること、従ってパッケージ構造７０中の環境を規制すること及び環境が一定にとどまることを保証するためにそれを密封することが望ましい。密閉封止処理の例は米国特許第６，５８９，６２５号に開示され、その全体はここに引例として組込まれている。パッケージ中の湿度が水分による表面張力が干渉変調器１０における可動素子（示されてない）の復元力より高いレベルを越えるとき、可動素子は表面に永久に貼付けられた状態になる。湿度レベルがあまりにも低ければ、その素子が皮膜表面と接触するとき、その水分は可動素子と同じ極性に荷電される。

上記のように、乾燥剤はパッケージ構造７０中に常在する水分を抑制するために使用される。しかしながら、水分が大気からパッケージ構造７０の内部に移動するのを防止する密閉封止７８の実施によって乾燥剤の必要性は減少或いは除かれる。
乾燥剤８０をパッケージ構造７０中に置く領域が少なくなるために、ディスプレイ・デバイス寸法の継続的減少はパッケージ構造７０中の環境を管理する利用可能な方法を制限する。乾燥剤の必要性がないとパッケージ構造７０を薄くすることができ、それはいくつかの実施例において望ましい。一般的に、乾燥剤を含むパッケージでは、パッケージされたデバイスの寿命予測は乾燥剤の寿命によって決まる。乾燥剤が完全に消耗すると、十分な水分がその後パッケージ構造に入り、干渉変調器アレイを損傷するので干渉変調器が故障する。

本発明の実施例は無線電話、携帯情報機器、ディジタル音楽プレーヤー、キッド電話、及び携帯用テレビゲーム・プレーヤーといったデバイスで使用する電子ディスプレイに関係する。図８は一実施例によるディスプレイ１０２を持つ無線電話１００を例示する。ディスプレイ１０２は電話番号、メッセージ、時間、日付、テレビゲーム・キャラクタ等といったテキスト及びグラフィックスを含む画像を表示するように構成される。

ディスプレイ１０２は発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）、または干渉変調器（ＩＭＯＤ）直視電子ディスプレイを含むあらゆる形式のディスプレイである。下でさらに詳細に説明されるように、ディスプレイ１０２は寿命終末画像を表示するために、十分な量の水蒸気がディスプレイのパッケージ構造に存在するときに発生する寿命終末現象を利用するように構成される。寿命終末画像は、例えば、そのデバイスがもはや動作可能ではないことを意味するユーモアのあるメッセージ、グラフィック画像、パズル等を含めることができる。消費者の関心を付加するために、寿命終末現象は好ましくは各デバイスについて異なり、一以上の所定の条件によって引き起こされるまで明らかにされない。

一般に、ディスプレイ・デバイスのパッケージ構造への水蒸気の浸透を最小にすることが望ましい。ＭＥＭＳデバイスでは、水分による表面張力が可動素子（または図１に例示された可動層１４ａ、１４ｂのような層）の復元力より高くなるレベルをパッケージ中の湿度または水蒸気が越えるとき、可動層はＭＥＭＳ素子の反対固定表面（図１の固定層１６ａ、１６ｂ）に永久に付着された状態になる。ＭＥＭＳデバイス・パッケージ中の過度の水蒸気の存在は、電圧の継続的な印加がなくても図１において可動層１４ｂ及び固定層１６ｂによって例示されたように、作動された皮膜が薄膜層に付着したままになる。従って、ＭＥＭＳ干渉変調器を含むディスプレイ・ピクセルは十分な水蒸気の存在で電圧の印加がなくても作動状態になったままであろう。ある実施例では、ディスプレイ・デバイスは実質的に永久寿命終末画像をディスプレイ上に表示するためにＭＥＭＳ素子のこの形態を利用する。

ある実施例では、ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイパッケージ中の所定量を超える水蒸気の存在によって引起こされる寿命終末現象のために構成されたＭＥＭＳ干渉変調器ディスプレイを含む。一実施例では、ディスプレイ・デバイスのユーザーは寿命終末現象をディスプレイの寿命の間にいつでも作動させる。この実施例は、例えば、ノベリティとして使用され、ここではそのデバイスは水と故意に接触させられ、そしてユーザーはユーモアのある寿命終末メッセージを永久に表示する作動ボタンを押す。

別の実施例では、ディスプレイ・デバイスはディスプレイ・パッケージ中の所定レベルの水蒸気を検出するように構成され、そのような検知に応えて寿命終末画像を表示する。さらに別の実施例では、ディスプレイ・デバイスの所定の寿命を表すデータがメモリに記憶され、そのデバイスは記憶された寿命の終了の決定に応えて寿命終末画像を表示するように構成される。ディスプレイ・デバイスの追加実施例では、ディスプレイの前以て選択された素子はディスプレイの非選択素子より小さいキャビティ高さを含み、ここでは十分な水蒸気がディスプレイ・デバイス・パッケージ中に存在するとき、寿命終末画像が前以て選択された素子によってディスプレイ上に表示される。ディスプレイ・デバイスのさらに別の実施例では、ディスプレイ・デバイスのパッケージ構造はパッケージ構造の背面に堆積された乾燥剤を含み、ここでは所定の領域に少量の乾燥剤が堆積されているか、或いは全くない。十分な水蒸気がデバイス・パッケージ構造中に存在するとき、寿命終末画像がパッケージの少量乾燥剤領域に近い表示素子に従ってディスプレイ上に表示される。これらの実施例の各々は下でさらに詳細に論じられる。

ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスの一実施例では、寿命終末現象はユーザーによって作動される。ユーザーは水蒸気をディスプレイ・デバイスパッケージ構造に導入するために、例えば、それを沸騰水の容器の側のような高い湿度環境に置くことによってディスプレイを水蒸気と接触させてもよい。乾燥剤８０（図８）の水吸収能力を超えたときデバイスはその寿命に達し、そのときパッケージ中の相対湿度は外部環境との平衡に向かって増加する。水蒸気は半密閉パッケージの場合にはパッケージ構造７０の封止部７８から入ることができ、或いはパッケージ構造７０は図８に示されるプラグ１０８を持つ穴を含み、ここではユーザーがディスプレイ・デバイスを水蒸気と故意に接触させるためにプラグ１０８を除去する。一例では、ユーザーはディスプレイを水蒸気と接触させるためにパッケージ構造に息を吹込んでもよい。

水蒸気とディスプレイ・デバイスの接触の後で、ユーザーは、例えば、「寿命終末」スイッチによってディスプレイを作動することができ、そこではディスプレイ・デバイスはそのようなユーザー作動に応えてディスプレイ上に所定の画像１０４を表示するように構成される。特に、ディスプレイ・デバイスはスイッチ１０６のユーザー作動に応えてディスプレイに所定の電圧を印加するように構成される。電圧を印加すると、選択されたＭＥＭＳ素子の可動層は寿命終末画像を表示するためにそのそれぞれの固定層と接触して移動する。ディスプレイ中の過剰な水分は可動層が永久に固定層に付着したままになる原因となり、その結果画像はディスプレイを連続作動しなくてもディスプレイ上に残る。一実施例では、ユーザーはキー、ボタン、またはスイッチ１１０の所定の組合せを押すことによって寿命終末画像の表示に関するディスプレイを作動する。この実施例を通して、ユーザーは、例えば、ノベリティ・ディスプレイを永久に作動させることができる。

いくつかの実施例では、ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスはパッケージ構造中に水蒸気容器があり、ここではその容器はパッケージ構造において及びＭＥＭＳディスプレイと接触して水蒸気を放つようにユーザーによって作動される。一実施例では、ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスは水または水蒸気を保持する乾燥剤を含み、ここでは乾燥剤に熱を加えることによって乾燥剤から水または水蒸気を解放する。熱は、例えば、加熱或いは高温先端付き針によって乾燥剤に加えることができる。

所定の寿命終末画像１０４は、例えば、ディスプレイ・デバイス製造者、卸販売者、または小売販売者によって予め記憶され、および／またはデバイスはユーザーによって寿命終末画像の選択またはプログラミングのために構成される。一実施例では、寿命終末画像は少なくとも一つのテキスト及びグラフィックスを含む選択された画像を含むようにユーザーによってカスタム化される。例えば、寿命終末画像は「GOOD-BYE LAUREN」といったユーザーの名前に対応するテキストを含む。寿命終末画像がユーザーによって選択可能である実施例では、そのデバイスはユーザー選択画像がなくて、或いはユーザー選択画像の他に表示される初期設定（default）寿命終末メッセージを含む。

別の実施例では、ディスプレイ・デバイスは、図９Ａ〜Ｂに例示されたように、ディスプレイ・パッケージ構造中に水蒸気センサを含む。図９Ａは水蒸気センサ９０４を持つディスプレイ・デバイスの一実施例のブロック図であり、ここでは水蒸気センサ９０４はセンサ回路９０６に接続され、それはプロセッサ９０８に接続される。水蒸気センサ９０４は当技術分野において既知のあらゆるセンサである。典型的な水蒸気センサは図９Ｂに関してさらに詳細に論じられる。プロセッサ９０８はＡＲＭＰｅｎｔｉｕｍ（登録商標）、ＰｅｎｔｉｕｍＩＩ（登録商標）、ＰｅｎｔｉｕｍＩＩＩ（登録商標）、ＰｅｎｔｉｕｍＩＶ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ（登録商標）Ｐｒｏ、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、ＰｏｗｅｒＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）といった一般用途の単一もしくは多チップのマイクロプロセッサ、またはディジタル信号プロセッサ、マイクロコントローラ、或いはプログラム可能ゲートアレイといった特定用途マイクロプロセッサである。当技術分野において従来型と同じように、プロセッサ９０８は一以上のソフトウェア・モジュールを実行するように構成される。オペレーティング・システムを実行する他に、そのプロセッサはＷｅｂブラウザ、電話アプリケーション、または他のあらゆるソフトウェア・アプリケーションを含めて一以上のソフトウェア・アプリケーションを実行するように構成される。

水蒸気センサ９０４はセンサ回路との組合せで、所定レベルを超えるディスプレイ・デバイス・パッケージ構造中の水蒸気の存在を検出するように構成される。センサ回路９０６は所定レベル以上の水蒸気センサ９０４における水蒸気の検知に応えて、検知信号をプロセッサ９０８に伝送するように構成される。ある実施例では、水蒸気センサ９０４は所定レベルの水蒸気の存在の他に水蒸気の特定の量を検出するように構成され、その結果水蒸気センサ９０４及びセンサ回路９０６は、ディスプレイ・デバイスパッケージ構造中の水蒸気が複数の所定レベル以上にあるかどうかを決定するように構成される。従って、センサ回路９０６は、ディスプレイ・デバイスパッケージ構造において検知された水蒸気のレベルに対応する適切な検知信号をプロセッサ９０８に伝送するように構成される。

一実施例では、プロセッサ９０８はまたアレイ制御器９１０と通信するように構成される。一実施例では、アレイ制御器９１０はＭＥＭＳディスプレイのピクセル・アレイ９１６に信号を提供する行駆動回路９１２及び列駆動回路９１４を含む。センサ回路９０６からの検知信号に応えて、プロセッサは適切な信号をアレイ制御器９１０に伝送することによって、寿命終末画像を表示するためピクセル・アレイ９１６を作動するように構成される。アレイ９１６の作動ピクセルは、水蒸気センサ９０４によって検出された十分な水蒸気の存在で、アレイ制御器９１０によって連続作動なしでも作動状態を維持するであろう。

一実施例では、プロセッサ９０８はさらにセンサ回路９０６からの検知信号に応えて、ユーザーによって入力された情報をフラッシュ・メモリーまたはプログラム可能読取専用メモリ（ＰＲＯＭ）といったメモリに記憶するように構成される。例えば、ディスプレイ・デバイスが電話である場合は、プロセッサはフラッシュ・メモリーまたはＥＥＰＲＯＭ中に、ユーザーによって以前に入力された電話番号を記憶するように構成される。さらに、寿命終末画像はユーザーの情報が記憶されたことを示すメッセージを含む。

水蒸気センサ９０４が複数の所定レベルに従って水蒸気のいろいろなレベルまたは量を検出するように構成される実施例では、デバイスは超過している水蒸気の所定レベルによって異なる画像を表示するように構成される。例えば、ディスプレイ・デバイスは水蒸気の第一の所定レベルを超えると「あなたのディスプレイの寿命は３日で終わります：新しい電話を買う時です（LIFE OF YOUR DISPLAY WILL END IN 3 DAYS：TIME TO BUY A NEW PHONE）」といった第一の画像を、水蒸気の第二の所定レベルを超えると「あなたのディスプレイの寿命は１日で終わります（THE LIFE OF YOUR DISPLAY WILL END IN 1 DAY）」といった第二の画像を、そして水蒸気の第二の所定レベルを超えると寿命終末画像を表示するように構成される。第三、即ち寿命終末画像は過度の水蒸気の存在及び作動ＭＥＭＳ素子の可動層のその対応固定層への付着に対応してディスプレイの連続作動なくしでもディスプレイ上に可視状態を維持するであろう。いくつかの実施例では、プロセッサ９０８は、「あなたのディスプレイは３日で駄目になります：記憶番号は？（Your Display is going to die in 3 days: store numbers ?）」といった、センサ回路９０６からの検知信号の受信に応えて情報を即座に記憶するためユーザーの表示を促進するように構成される。

ある実施例では、ディスプレイ・デバイスはディスプレイ・デバイスパッケージ構造中の所定レベルの水蒸気の検知に応えてメッセージまたは画像を送信するように構成される。一実施例では、ディスプレイ・デバイスは所定レベルの水蒸気の検知に応えて新しいデバイスの価格に関する製造者からの広告メッセージを表示するように構成される。例えば、所定レベルの水蒸気の検知に応えて、デバイスは知らせに応えて売物のデバイスに関する広告を送るデバイス製造者またはサービス提供者に知らせるように構成される。ディスプレイ・デバイスはさらに製造者またはサービス提供者から受取られた広告をユーザーに表示するように構成される。

図９Ｂは典型的な水蒸気センサ９０４を持つディスプレイ・デバイスパッケージ構造の部分断面図である。図９Ｂに例示された水蒸気センサ９０４は導電性部材９５０、９５２の間に空気間隙９５４を持つ二つの導電性部材９５０、９５２を含む。水蒸気が存在しないときは、導電性部材９５０、９５２間の抵抗は実質的に無限である。しかしながら、ディスプレイ・パッケージ構造中の水蒸気のレベルが増加すると、それによって導電性部材９５０、９５２の間の水蒸気の量が増加し、導電性部材９５０、９５２の間の抵抗は存在する水蒸気の量に対応して減少する。センサ回路９０６は囲まれたパッケージ構造の外、もしくはパッケージ構造中にあってもよい。当業者には理解されるように、ここに述べられた水蒸気センサは本来典型的なものであり、他のセンサも発明の範囲内にある。

寿命終末現象を持つＭＥＭＳディスプレイ・デバイスの別の実施例では、ディスプレイの動作寿命はデバイス及びパッケージの特性に従って予め決定される。ディスプレイの動作寿命はＭＥＭＳ素子の可動層が連続作動なしでも、その対応固定層からなお分離可能であろう最大水蒸気の存在に基づいて決定される。一実施例では、ディスプレイの動作寿命はディスプレイ・パッケージ構造に含まれる乾燥剤の吸収能力、及びパッケージ構造への水蒸気の予想浸透率に少なくとも一部基づいて決定される。一実施例では、ディスプレイの動作寿命を表すデータは、図２のプロセッサ２１のようなプロセッサに接続されたメモリに記憶され、ここではプロセッサは所定の寿命が切れたときを決定するように構成される。ディスプレイの寿命切れの決定に応えて、プロセッサは所定の画像がユーザーに表示されるようにディスプレイの作動を調整するように構成される。一実施例では、プロセッサはさらにＭＥＭＳディスプレイの現在の寿命が所定寿命の所定範囲内にある時を決定し、且つＭＥＭＳディスプレイの現在の寿命が所定寿命の所定範囲内にある決定に応えて、警告画像を表示するためディスプレイの作動を調整するように構成される。

寿命終末現象を持つＭＥＭＳディスプレイ・デバイスのさらに別の実施例では、ＭＥＭＳディスプレイの個々のＭＥＭＳ素子は様々なキャビティ高さを有する。図１０のＭＥＭＳアレイの図示部分は五個の隣接ＭＥＭＳ素子１００２ａ〜ｅを含む。ＭＥＭＳ素子１００２ａ〜ｅは機械的もしくは可動の層１００４及び導電性固定層１００６を具備し、ここでは可動層１００４は柱（posts）１００８ａ〜ｆの頂上に配置され、導電性固定層１００６は基板１００９上に形成される。可動層１００４及び固定層１００６は各それぞれのＭＥＭＳ素子に関してキャビティ１０１０ａ〜ｅを形成する。図１０に例示されたように、柱１００８ａ〜ｆは様々な高さを有し、それによって各ＭＥＭＳ素子１００２ａ〜ｅのそれぞれのキャビティ１０１０ａ〜ｅは異なる高さを有する。低減キャビティ高さを持つＭＥＭＳ素子１００２ｂ〜ｄについて、機械的もしくは可動層１００４は大きなキャビティ高さを持つＭＥＭＳ素子１００２ａ、ｅより少ない水蒸気の存在でも固定層１００６に付着した状態になるであろう。このように、画像は十分な水蒸気の存在で低減キャビティ高さを持つＭＥＭＳ素子に従ってＭＥＭＳディスプレイ上で表示されるであろう。

寿命終末現象を持つＭＥＭＳディスプレイ・デバイスの追加実施例では、ディスプレイ・デバイスパッケージ構造はその表面に亘って多様な吸収度を持つ乾燥剤を含む。図１１は多様な乾燥剤８０を持つディスプレイ・デバイス・パッケージ構造の一つの典型的な実施の断面図である。図７に例示され、それを参照して説明された類似の素子は対応する参照数字でラベル付されている。図１１に例示されたように、乾燥剤８０はパッケージ構造の背面７４に施され、ここでは乾燥剤８０は他の非選択領域より実質的に少ない乾燥剤８０を有する前以て選択された領域を含む。前以て選択された領域１１０２に隣接して位置するディスプレイ・デバイスのＭＥＭＳ素子は永久に作動状態に留まり、ここでは可動層は低減した乾燥剤８０によるパッケージ構造中の十分な水蒸気の存在で固定層に付着し、一方、乾燥剤８０はこれらの領域に水蒸気を保持していたので乾燥剤の非選択領域に隣接するＭＥＭＳ素子は動作状態に留まる。従って、所定の画像は前以て選択された領域１１０２中のＭＥＭＳ素子に従ってＭＥＭＳディスプレイ・デバイス上に表示されるであろう。当業者には理解されるように、乾燥剤の前以て選択された領域は乾燥剤を含まないか、或いは非選択領域の乾燥剤と比較して吸収能力の低減した乾燥剤を含む。

寿命終末現象について構成されたＭＥＭＳディスプレイ・デバイスの別の実施例では、ユーザーはディスプレイ・パッケージの表面に極端な冷気または熱といった温度差を与えることができ、それによって温度差が与えられた領域に隣接するディスプレイ・デバイスパッケージ構造中に水蒸気分子の移動を引き起こす。温度差はディスプレイの表面に、例えば、冷もしくは熱先端部を付けた針（stylus）によって与えられ、ここでは画像はその針が当てられた領域に従って表示される。金属フィラメントが画像を表示するために磁気針の適用によってスクリーンの表面に引き付けられるように、磁気針が金属フィラメントを含むスクリーンの表面に当てられるノベリティ・デバイスのそれと類似する効果が発生する。このように、熱先端部を付けた針が使用されるとき、接触されるＭＥＭＳ素子は反射もしくは白の状態に解放され、冷‐先端部を付けた針が使用されるとき、接触されるＭＥＭＳ素子は作動もしくは黒の状態になる。

寿命終末現象を作動する方法の一実施例は、例えば冷たいもしくは冷‐先端部を付けた針を使用して、ディスプレイの表面の選択領域に極端な冷気または低減温度を加えることを含む。図１２Ａは複数のＭＥＭＳ素子１２０２を具備するＭＥＭＳディスプレイ１２００の典型的な例示であり、ここでは低減温度が選択領域に加えられた。低減温度の適用は低減温度が加えられる選択領域１２０４においてＭＥＭＳディスプレイ・デバイス・パッケージに存在する水蒸気分子の凝縮を生起する。ある実施例では、画像が図１２Ａに例示された選択領域１２０４に表示されるように、ＭＥＭＳディスプレイ・デバイス・パッケージに存在する水蒸気の量はさらに選択領域中の作動位置でＭＥＭＳ素子を作動、或いは維持するのに十分である。

その方法はさらに複数のＭＥＭＳ素子の可動層を作動するためにディスプレイを作動すること、及びその後複数のＭＥＭＳ素子の可動層を解放状態に移行するためにディスプレイを逆作動することを含む。選択領域１２０４における水蒸気分子の凝縮によって、例えば図１２Ａに例示されたように、それによって選択領域１２０４中のＭＥＭＳ素子は連続作動がなくても作動位置に留まり、それによって選択領域のＭＥＭＳディスプレイ上に画像を表示するであろう。いくつかの実施例では、ディスプレイはさらに画像の表示を消去するために作動される。

寿命終末現象を作動する方法の別の実施例は例えば熱い、もしくは熱‐先端部を付けた針を使用してディスプレイの表面の選択領域に熱または増加温度を加えることを含む。増加温度のディスプレイへの適用は増加温度が加えられる選択領域のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス・パッケージに存在する水蒸気分子の蒸発を生起する。図１２Ｂは複数のＭＥＭＳ素子１２２２を含むＭＥＭＳディスプレイ１２２０の典型的な例示であり、ここでは増加温度がその動作寿命の終りに達したディスプレイの選択領域１２２４に加えられてきた。一実施例では、ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスはＭＥＭＳディスプレイ・デバイス・パッケージ中の十分な水蒸気の存在によってその動作寿命の終りに既に達し、ここではディスプレイの複数のＭＥＭＳ素子は連続作動なしでも作動または動作を維持する。ある実施例では、実質的に全てのＭＥＭＳ素子は、図１２Ｂに例示したように、連続作動なしでも作動状態にある。ユーザーが増加温度差をディスプレイ１２２０の選択領域１２２４に加えると、作動状態の可動皮膜を保持する水蒸気が増加温度印加に応えて蒸発するので、選択領域１２２４のＭＥＭＳ素子は解放状態に移行する。図１２Ｂに例示されたように、選択領域１２２４の選択領域のＭＥＭＳ素子は解放状態にあり、一方不選択領域のＭＥＭＳ素子は作動状態に留まり、それによって選択領域１２２４に従って画像を表示する。

ある実施例では、その方法はＭＥＭＳディスプレイ・デバイス・パッケージ中の所定レベルの水蒸気を検出すること、及びディスプレイが動作可能な寿命の終りに近いことをユーザーに通告することを含む。そして、ユーザーは上で論じられたようにディスプレイの選択領域で画像を表示するために低減温度を印加する。代りに、ディスプレイが動作可能な寿命の終りに近いことの通告に応えて、複数のＭＥＭＳ素子が連続作動なしでも作動位置に留まるように、十分な水蒸気がディスプレイ・パッケージ中に存在するときユーザーは表示を作動する。そして、選択領域におけるＭＥＭＳ素子が解放状態に「解放」されるようにユーザーはディスプレイの選択領域に増加温度を印加し、それによって選択領域に従ってディスプレイ上に画像を表示する。追加実施例では、ユーザーは本発明の他の実施例に関して上で論じられたように水蒸気とＭＥＭＳディスプレイを故意に接触させる。さらに、その方法は画像を消去するためにディスプレイの作動を含む。

上で論じられたように、ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスは水蒸気に対する顕著な耐性を持ち、ここではディスプレイはＯＬＥＤのような他のディスプレイ・デバイスと比べて顕著なレベルの水蒸気の存在においても動作し続けるであろう。ＯＬＥＤディスプレイは組立の間及び最終のパッケージ・ディスプレイ内部に存在する水及び酸素の量に対する顕著な環境上の制約を有することが一般に知られている。一方、ＭＥＭＳディスプレイの実施例は組立または動作の間の不活性、真空または乾燥環境を指定しない。このように、ＭＥＭＳディスプレイは非動作状態に達する前の顕著なレベルの水蒸気に対する曝露に耐性があり、一方、ＯＬＥＤディスプレイ・デバイスは水蒸気の存在に関して実質的にゼロ耐性を有しており、ＯＬＥＤディスプレイ全体は小レベルの水蒸気に一旦曝されると使用できなくなるであろう。水蒸気の存在に耐性があり、且つ動作可能な状態を維持するＭＥＭＳディスプレイ素子の能力は寿命終末現象を持つディスプレイ・デバイスの上述の実施例の実施を可能にする。

図１３Ａ及び１３Ｂはディスプレイ・デバイス２０４０の実施例を例示するシステム・ブロック図である。ディスプレイ・デバイス２０４０は、例えば、セルラーもしくは携帯電話であってもよい。しかしながら、ディスプレイ・デバイス２０４０の同じ構成部品またはそのわずかな変形は、またテレビ及びポータブル・メディア・プレーヤといった様々な型式のディスプレイ・デバイスの例示である。

ディスプレイ・デバイス２０４０は筐体（housing）２０４１、ディスプレイ２０３０、アンテナ２０４３、スピーカー２０４５、入力デバイス２０４８、及びマイクロホン２０４６を含む。筐体２０４１は注入成形及び真空成形を含め、当業者に周知の様々な製造工程から一般に形成される。さらに、筐体２０４１はプラスチック、金属、ガラス、ゴム、及びセラミックス、またはその組合せを含む材料から作られるが、それに限るものではない。一つの実施例では、筐体２０４１は異なる色、または異なるロゴ、絵、または記号を含む他の移動可能な部分と置換えできる移動可能な部分（示されない）を含む。

ここに示されたように、典型的なディスプレイ・デバイス２０４０のディスプレイ２０３０は双安定ディスプレイを含めて、様々なディスプレイのいずれでもよい。他の実施例では、当業者に周知のように、ディスプレイ２０３０はプラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ型ＬＣＤ、または上述のＴＦＴ型ＬＣＤといった平面パネル・ディスプレイ、ＣＲＴまたは他の電子管デバイスのような非平面パネル・ディスプレイを含む。しかしながら、本実施例を述べるために、ここに述べられたように、ディスプレイ２０３０は干渉変調ディスプレイを含む。

典型的なディスプレイ・デバイス２０４０の一つの実施例の構成部品は図１３Ｂに概略的に例示される。例示の典型的なディスプレイ・デバイス２０４０は筐体２０４１を含み、その中に少なくとも部分的にパッケージされた追加の部品を含むことができる。例えば、一つの実施例では、典型的なディスプレイ・デバイス２０４０はトランシーバ２０４７に接続されたアンテナ２０４３を含む網インタフェース２０２７を含む。トランシーバ２０４７はプロセッサ２０２１に接続され、それは調整ハードウェア２０５２に接続されている。調整ハードウェア２０５２は信号を調整する（例えば、信号をフィルタする）ように構成される。調整ハードウェア２０５２はスピーカー２０４５及びマイクロホン２０４６に接続されている。プロセッサ２０２１はまた入力デバイス２０４８及び駆動制御器２０２９に接続されている。駆動制御器２０２９はフレーム・バッファ２０２８及びアレイ駆動回路２０２２に接続され、それはディスプレイ・アレイ２０３０と順に接続される。電源２０５０は特定の典型的ディスプレイ・デバイス２０４０の設計によって必要とされる全ての構成部品に電力を供給する。

網インタフェース２０２７は、典型的なディスプレイ・デバイス２０４０が網上で一以上のデバイスと通信することができるように、アンテナ２０４３及びトランシーバ２０４７を含む。一つの実施例では、網インタフェース２０２７はまたプロセッサ２０２１の要求を軽減するためにいくつかの処理能力を有する。アンテナ２０４３は信号を送信及び受信する当業者に既知のいずれかのアンテナである。一つの実施例では、アンテナはＩＥＥＥ８０２．１１（ａ）、（ｂ）、または（ｇ）を含む、ＩＥＥＥ８０２．１１規格に従ってＲＦ信号を送信し、且つ受信する。別の実施例では、アンテナはＢＬＵＥＴＯＯＴＨ規格に従ってＲＦ信号を送信し、且つ受信する。セルラー電話の場合には、アンテナは無線携帯電話網内で通信するために使用されるＣＤＭＡ、ＧＳＭ、ＡＭＰＳ或いは他の既知の信号を受信するように設計されている。信号がプロセッサ２０２１によって受取られ、さらに処理されるように、トランシーバ２０２７はアンテナ２０４３から受信された信号を前処理する。信号が典型的なディスプレイ・デバイス２０４０からアンテナ２０４３を経由して送信されるように、トランシーバ２０４７はまたプロセッサ２０２１から受取った信号を処理する。

代替実施例では、トランシーバ２０４７は受信機と置換えることができる。さらに別の代替実施例では、網インタフェース２０２７は画像ソース（image source）と置換えることができ、それはプロセッサ２０２１に送られる画像データを記憶し、且つ生成することができる。例えば、画像ソースは画像データを含むディジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ）、またはハード・ディスク・ドライブ、もしくは画像データを生成するソフトウェア・モジュールである。

プロセッサ２０２１は一般に典型的なディスプレイ・デバイス２０４０の全体の動作を制御する。プロセッサ２０２１は網インタフェース２０２７または画像ソースからの圧縮画像データといったデータを受取り、生画像データに、もしくは生画像データに容易に処理されるフォーマットにデータを処理する。そして、プロセッサ２０２１は処理されたデータを駆動制御器２０２９もしくは記憶のためのフレーム・バッファ２０２８に送る。生データは一般的に画像内の各場所の画像特性を特定する情報を云う。例えば、そのような画像特性は色、飽和度、及びグレイ・スケール・レベルを含む。

一実施例では、プロセッサ２０２１は典型的なディスプレイ・デバイス２０４０の動作を制御するマイクロコントローラ、ＣＰＵ、または論理ユニットを含む。調整ハードウェア２０５２は一般的に信号をスピーカー２０４５に伝送し、且つマイクロホン２０４６から信号を受取る増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア２０５２は典型的なディスプレイ・デバイス２０４０内の個別構成部品であり、プロセッサ２０２１または他の構成部品の中に組込まれる。

駆動制御器２０２９はプロセッサ２０２１によって生成された生画像データをプロセッサ２０２１から、或いはフレーム・バッファ２０２８から直接受取り、アレイ駆動回路２０２２へ高速伝送のために生画像データを適切に再フォーマットする。特に、駆動制御器２０２９はディスプレイ・アレイ２０３０全体を走査するのに適した時間順序を持つように、ラスター類似フォーマットを持つデータ・フローに再フォーマットする。そして、駆動制御器２０２９はフォーマットされた情報をアレイ駆動回路２０２２に送る。駆動制御器２０２９は、ＬＣＤ制御器のように、単体の集積回路（ＩＣ）としてのシステム・プロセッサ２０２１と大抵は関連しているが、そのような制御器は多くの方法で実施される。それらはハードウェアとしてプロセッサ２０２１に埋込まれるか、ソフトウェアとしてプロセッサ２０２１に埋込まれるか、もしくはアレイ駆動回路２０２２を持つハードウェアに完全に統合（集積）される。

一般的に、アレイ駆動回路２０２２は駆動制御器２０２９からフォーマット情報を受取り、ディスプレイｘ‐ｙ行列のピクセルから来るビデオ・データを数百、時には数千のリード線に毎秒多数回印加される並列集合の波形に再フォーマットする。
一実施例では、駆動制御器２０２９、アレイ駆動回路２０２２、及びディスプレイ・アレイ２０３０はここに述べられたディスプレイのいずれの型式にも適している。例えば、一実施例では、駆動制御器２０２９は従来のディスプレイ制御器または双安定ディスプレイ制御器（例えば干渉変調器制御器）である。別の実施例では、アレイ駆動回路２０２２は従来の駆動回路または双安定ディスプレイ駆動回路（例えば干渉変調器駆動回路）である。一実施例では、駆動制御器２０２９はアレイ駆動回路２０２２と集積化される。そのような実施例は携帯電話、腕時計、及び他の小面積ディスプレイといった高集積化システムでは一般的である。さらに別の実施例では、ディスプレイ・アレイ２０３０は典型的なディスプレイ・アレイまたは双安定ディスプレイ・アレイ（例えば、干渉変調器のアレイを含むディスプレイ）である。

入力デバイス２０４８はユーザーが典型的なディスプレイ・デバイス２０４０の動作を制御することを可能にする。一実施例では、入力デバイス２０４８はＱＷＥＲＴＹキーボードまたは電話器キーパッドといったキーパッド、ボタン、スイッチ、タッチ・スクリーン、感圧または感熱膜を含む。一実施例では、マイクロホン２０４６は典型的なディスプレイ・デバイス２０４０の入力デバイスである。マイクロホン２０４６がデータをデバイスに入力するために使用されるとき、音声命令がユーザーによって典型的なディスプレイ・デバイス２０４０の動作を制御するために提供される。

電源２０５０は当業者に周知の様々なエネルギー蓄積デバイスを含む。例えば、一実施例では、電源２０５０はニッケル・カドミウム電池またはリチウム・イオン電池のような充電式電池である。別の実施例では、電源２０５０は再生可能エネルギー源、キャパシタ、またはプラスチック太陽電池、及び太陽電池塗料を含む太陽電池である。別の実施例では、電源２０５０は壁出口から電力を得るように構成される。

いくつかの実施では、制御プログラム機能は、上述のように、電子ディスプレイ・システムにおけるいくつの場所に位置する駆動制御器中に在駐する。いくつかの場合には、制御プログラム機能はアレイ駆動回路２０２２中に在駐する。当業者は上述の最適化がいくつかのハードウェア及び／またはソフトウェア構成要素及び様々な構成において実施されることを認識するであろう。

前述の詳細な説明は発明のある実施例を詳述する。しかしながら、前述がテキストにたとえいかに現れても、発明が多くの方法で実行されることができることは明らかである。また、上で述べられたように、発明のある特徴または態様を記述しているとき、特定の技術の使用は、その技術が関連する発明の特徴または態様の任意の特定の特性を含むように制限されるべく、その技術がここに再定義されていると暗示するように取られるべきではないことに注意すべきである。それ故、発明の範囲は付随の請求項とその任意の均等物にしたがって構成されるべきである。

第一の干渉変調器の可動反射層は解放された位置にあり、第二の干渉変調器の可動反射層は作動する位置にある干渉変調ディスプレイの実施例の一部を図示する等角図である。３×３干渉変調ディスプレイを組込んだ電子デバイスの一実施例を例示するシステム・ブロック図である。図１の干渉変調器の典型的な一実施例に関する可動鏡位置対印加電圧の図である。干渉変調ディスプレイを駆動するために使用される一組の行及び列電圧の実例である。図２の３×３干渉変調ディスプレイにおけるディスプレイ・データの一つの典型的なフレームを例示する。図５Ａのフレームを書込むために使用される行及び列信号の一つの典型的なタイミング図を例示する。図１のデバイスの断面図である。干渉変調器の代替実施例の断面図である。干渉変調器の別の代替実施例の断面図である。ＭＥＭＳデバイスのパッケージ構造の一実施例の断面図である。寿命終末画像を表示する電子ディスプレイを持つ無線電話受話器の一実施例の正面図の実例である。水蒸気センサ及びセンサ回路を持つＭＥＭＳディスプレイ・デバイスのブロック図である。所定レベル以上の水蒸気の存在を感知するように構成された水蒸気センサを含むＭＥＭＳディスプレイ・デバイスパッケージ構造の一実施例の部分断面図である。前以て選択されたＭＥＭＳ素子のキャビティ長が非選択のＭＥＭＳ要素のキャビティ長より小さいＭＥＭＳディスプレイの一実施例の一部を示す等角図である。乾燥剤を減じた領域を含むＭＥＭＳディスプレイパッケージ構造の一実施例の断面図である。寿命終末画像が表示されるように低減温度を加えたディスプレイの一実施例の実例である。寿命終末画像が表示されるように増加温度を加えたディスプレイの一実施例の実例である。複数の干渉変調器を含む画像表示デバイスの実施例を例示するシステム・ブロック図である。複数の干渉変調器を含む画像表示デバイスの実施例を例示するシステム・ブロック図である。

Claims

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ上で画像を表示する方法であって、
ＭＥＭＳディスプレイを水蒸気と接触させること、
ユーザー入力に応えて表示を作動すること、及び
作動に応えてディスプレイ上で所定の画像を表示することを含み、画像は連続作動なしでも表示される方法。
所定の画像はユーザー選択画像及び前以て記憶された画像の少なくとも一つを含む、請求項１記載の方法。
所定の画像を表示することはテキスト及び一以上のグラフィックスの少なくとも一つを表示することを含む、請求項１記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイを水蒸気と接触させることは、周囲条件に対してＭＥＭＳディスプレイのパッケージ構造に開口（opening）を造ることを含む、請求項１記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイにおいて所定レベル以上の水蒸気を検出することをさらに含む、請求項１記載の方法。
所定レベル以上の水蒸気を検出することは複数の所定レベル以上の水蒸気を検出すること含み、所定の画像を表示することは複数の各所定レベル以上の水蒸気の検知に応えて異なる所定の画像を表示することを含む、請求項５記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイは干渉変調器ディスプレイである、請求項１記載の方法。
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ・デバイスであって、
パッケージ中にカプセル化されたＭＥＭＳディスプレイと、及び
パッケージ中にあり、且つＭＥＭＳディスプレイに接続された水蒸気センサとを含み、水蒸気センサは所定レベル以上のパッケージ中の水蒸気を感知し、且つそれに応えて所定の画像の表示を生成するように構成されるディスプレイ・デバイス。
所定の画像はテキスト及び一以上のグラフィックスの少なくとも一つを含む、請求項８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
水蒸気センサは複数の所定レベル以上のパッケージ中の水蒸気を感知し、且つ各所定レベル以上のパッケージ中の水蒸気の存在の検知に応えて異なる所定の画像の表示を生成するように構成される、請求項８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
第一の所定レベルの水蒸気の感知に応えて表示された少なくとも第一の所定の画像は、ディスプレイ・デバイスの残りの寿命を示す、請求項１０記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
所定の画像はユーザー選択画像及び前以て記憶された画像の少なくとも一つを含む、請求項８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
ＭＥＭＳディスプレイ・デバイスは所定レベル以上の水蒸気の感知に応えてユーザーによって入力された情報をフラッシュ・メモリーに記憶するように構成される、請求項８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
ＭＥＭＳディスプレイは干渉変調器ディスプレイである、請求項８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
前記ＭＥＭＳディスプレイと電気通信し、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、及び
前記プロセッサと電気通信するメモリ・デバイスとさらに含む、請求項８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
少なくとも一つの信号を前記ＭＥＭＳディスプレイに送信するように構成された駆動回路をさらに含む、請求項１５記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
前記画像データの少なくとも一部を前記駆動回路に送信するように構成された制御器をさらに含む、請求項１６記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
前記画像データを前記プロセッサに送信するように構成された画像源モジュールをさらに含む、請求項１５記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
前記画像源モジュールは受信機、送受信機、及び送信機の少なくとも一つを含む、請求項１８記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
入力データを受取り、且つ前記入力データを前記プロセッサに通信するように構成された入力デバイスをさらに含む、請求項１５記載のＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスを基板上に提供すること、
水蒸気センサを提供すること、及び
ディスプレイ・デバイスを形成するために背面板に前記ＭＥＭＳデバイスを封止することを含み、前記水蒸気センサは前記パッケージ中の水蒸気のレベルを検知するように構成される、ディスプレイ・デバイスを作る方法。
前記ＭＥＭＳデバイスは干渉変調器である、請求項２１記載の方法。
前記基板は透明基板である、請求項２１記載の方法。
前記ＭＥＭＳデバイスは、前記水蒸気検出器によって検出される水蒸気に応えて、ユーザー選択画像及び前以て記憶された画像の少なくとも一つを含む所定の画像を表示するように構成される、請求項２１記載の方法。
所定の画像はテキスト及び一以上のグラフィックスの少なくとも一つを含む、請求項２４記載の方法。
水蒸気センサは複数の所定レベル以上のパッケージ中の水蒸気を感知し、且つ各所定レベル以上のディスプレイ・デバイス中の水蒸気の存在の感知に応えて異なる所定の画像の表示を生成するように構成される、請求項２１記載の方法。
請求項２１の方法によって作られたＭＥＭＳディスプレイ・デバイス。
光を透過する透過手段と、
前記透過手段を通して透過された光を変調する変調手段と、
パッケージの手段を形成するため前記変調手段を被覆する被覆手段と、及び
前記パッケージ手段において水蒸気の存在を検出するように構成された感知手段と
を含むディスプレイ・デバイス。
前記透過手段は透明基板を含む、請求項２８記載のディスプレイ・デバイス。
前記変調手段は干渉変調器を含む、請求項２８記載のディスプレイ・デバイス。
前記被覆手段は背面板を含む、請求項２８記載のディスプレイ・デバイス。
前記感知手段は水蒸気センサを含む、請求項２８記載のディスプレイ・デバイス。
前記パッケージ手段は封止パッケージを含む、請求項２８記載のディスプレイ・デバイス。
前記ディスプレイ・デバイスは、前記感知手段によって検知された水蒸気に応えて、ユーザー選択画像及び前以て記憶された画像の少なくとも一つを含む所定の画像を表示するように構成される、請求項２８記載のディスプレイ・デバイス。
複数のディスプレイ素子を含む微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイ上に画像を表示する方法であって、
ＭＥＭＳディスプレイを提供すること、
一旦、ＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れたとき、所定の画像が表示されるように前記ＭＥＭＳディスプレイを構成すること、及び
ＭＥＭＳディスプレイの前記寿命が切れたとき、所定の画像を表示することを含む方法。
所定の画像はテキスト及び一以上のグラフィックスの少なくとも一つを含む、請求項３５記載の方法。
所定の画像はユーザー選択画像及び前以て記憶された画像の少なくとも一つを含む、請求項３５記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイはＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命を表すデータを記憶装置に記憶するように構成される、請求項３５記載の方法。
前記データはメモリに記憶される、請求項３８記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイの現在の寿命が所定の寿命の所定範囲内にあるときを決定すること、及びＭＥＭＳディスプレイの現在の寿命が所定範囲内にあることの決定に応えて警告画像を表示することをさらに含む、請求項３５記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイは干渉変調器ディスプレイである、請求項３５記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイを構成することは非駆動状態においてキャビティによって分離された機械的層及び実質的に固定された導電層を各々含む複数のディスプレイ素子を提供することを含み、前記所定の画像が前以て選択されたディスプレイ素子に従って表示されるように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子の機械的層が十分な水蒸気の存在で複数の前以て選択されたディスプレイ素子の実質的に固定された導電層との接触を維持するように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子のキャビティ高さは非選択ディスプレイ素子のキャビティ高さより小さい、請求項３５記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイを構成することはＭＥＭＳデバイスに隣接する背面板上に堆積された乾燥剤を提供することを含み、乾燥剤の所定領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子が乾燥剤の非選択領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子より少ない水蒸気の存在で作動状態に留まるように、乾燥剤は非選択領域より実質的に少ない乾燥剤を持つ一以上の前以て選択された領域を含む、請求項３５記載の方法。
所定の画像を表示するように構成されたＭＥＭＳデバイスを作る方法であって、
ＭＥＭＳデバイスを提供すること、及び
一旦、ＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れると、所定の画像が表示されるように前記ＭＥＭＳディスプレイを構成することを含む方法。
所定の画像はテキスト及び一以上のグラフィックスの少なくとも一つを含む、請求項４４記載の方法。
所定の画像はユーザー選択画像及び前以て記憶された画像の少なくとも一つを含む、請求項４４記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイはＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命を表すデータを記憶装置に記憶するように構成される、請求項４４記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイは前記所定の寿命が切れたときを決定し、その後で所定の画像を表示するように構成される、請求項４７記載の方法。
前記データはメモリに記憶される、請求項４７記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイの現在の寿命が所定の寿命の所定範囲にあることを決定すること、且つＭＥＭＳディスプレイの現在の寿命が所定範囲にあることの決定に応えて警告画像を表示することをさらに含む、請求項４４記載の方法。
ＭＥＭＳディスプレイは干渉変調器ディスプレイである、請求項４４記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイを構成することは非駆動状態においてキャビティによって分離された機械的層及び実質的に固定された導電層を各々含む複数のディスプレイ素子を提供することを含み、前記所定の画像が前以て選択されたディスプレイ素子に従って表示されるように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子の機械的層が十分な水蒸気の存在で複数の前以て選択されたディスプレイ素子の実質的に固定された導電層との接触を維持するように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子のキャビティ高さは非選択ディスプレイ素子のキャビティ高さより小さい、請求項４４記載の方法。
前記ＭＥＭＳディスプレイを構成することはＭＥＭＳデバイスに隣接する背面板上に堆積された乾燥剤を提供することを含み、乾燥剤の所定領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子が乾燥剤の非選択領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子より少ない水蒸気の存在で作動状態に留まるように、乾燥剤は非選択領域より実質的に少ない乾燥剤を持つ一以上の前以て選択された領域を含む、請求項４４記載の方法。
請求項４４の方法によって作られたMEMSデバイス。
所定の画像を表示するように構成されたＭＥＭＳデバイスであって、
画像を表示するＭＥＭＳディスプレイ手段、及び
一旦、ＭＥＭＳディスプレイ手段の所定の寿命が切れると、所定の画像を表示する構成手段を含むＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳディスプレイ手段は干渉変調器アレイを含む、請求項５５記載のＭＥＭＳデバイス。
前記構成手段は前記ＭＥＭＳディスプレイ手段中の水蒸気の存在を検出する検出回路を含む、請求項５５記載のＭＥＭＳデバイス。
前記構成手段はＭＥＭＳディスプレイ手段の所定の寿命が満了したかどうかを決定し、その後で前記所定の画像を表示する回路を含む、請求項５５記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳデバイスは非駆動状態においてキャビティによって分離された機械的層及び実質的に固定された導電層を各々含む複数のディスプレイ素子を含み、前記所定の画像が前以て選択されたディスプレイ素子に従って表示されるように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子の機械的層が十分な水蒸気の存在で複数の前以て選択されたディスプレイ素子の実質的に固定された導電層との接触を維持するように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子のキャビティ高さは非選択ディスプレイ素子のキャビティ高さより小さい、請求項５５記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳデバイスはＭＥＭＳデバイスに隣接する背面板上に堆積された乾燥剤を含み、乾燥剤の所定領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子が乾燥剤の非選択領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子より少ない水蒸気の存在で作動状態に留まるように、乾燥剤は非選択領域より実質的に少ない乾燥剤を持つ一以上の前以て選択された領域を含む、請求項５５記載のＭＥＭＳデバイス。
ＭＥＭＳディスプレイを含み、前記ディスプレイはＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れたとき所定の画像を表示するように構成されたＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳディスプレイは干渉変調器アレイを含む、請求項６１記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ディスプレイは前記ＭＥＭＳディスプレイ中の水蒸気の存在を検出する検出回路を含む、請求項６１記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ディスプレイはＭＥＭＳディスプレイの所定の寿命が切れたかどうかを決定し、その後で前記所定の画像を表示する回路を含む、請求項６１記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳデバイスは非駆動状態においてキャビティによって分離された機械的層及び実質的に固定された導電層を各々含む複数のディスプレイ素子を含み、前記所定の画像が前以て選択されたディスプレイ素子に従って表示されるように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子の機械的層が十分な水蒸気の存在で複数の前以て選択されたディスプレイ素子の実質的に固定された導電層との接触を維持するように、複数の前以て選択されたディスプレイ素子のキャビティ高さは非選択ディスプレイ素子のキャビティ高さより小さい、請求項６１記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳデバイスはＭＥＭＳデバイスに隣接する背面板上に堆積された乾燥剤を含み、乾燥剤の所定領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子が乾燥剤の非選択領域に隣接する複数のＭＥＭＳ素子より少ない水蒸気の存在で作動状態に留まるように、乾燥剤は非選択領域より実質的に少ない乾燥剤を持つ一以上の前以て選択された領域を含む、請求項６１記載のＭＥＭＳデバイス。
前記ＭＥＭＳディスプレイと電気的に通信し、画像データを処理するように構成されたプロセッサ、及び
前記プロセッサと電気的に通信するメモリ・デバイスをさらに含む、請求項６１記載のＭＥＭＳデバイス。
少なくとも一つの信号を前記ＭＥＭＳディスプレイに送信するように構成された駆動回路をさらに含む、請求項６７記載のＭＥＭＳデバイス。
前記画像データの少なくとも一部を前記駆動回路に送信するように構成された制御器をさらに含む、請求項６８記載のＭＥＭＳデバイス。
前記画像データを前記プロセッサに送信するように構成された画像源モジュールをさらに含む、請求項６７記載のＭＥＭＳデバイス。
前記画像源モジュールは受信機、送受信機、及び送信機の少なくとも一つを含む、請求項７０記載のＭＥＭＳデバイス。
入力データを受取り、且つ前記入力データを前記プロセッサに通信するように構成された入力デバイスをさらに含む、請求項６７記載のＭＥＭＳデバイス。