JP2006093816A - Solid-state imaging apparatus - Google Patents

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JP2006093816A JP2004273387A JP2004273387A JP2006093816A JP 2006093816 A JP2006093816 A JP 2006093816A JP 2004273387 A JP2004273387 A JP 2004273387A JP 2004273387 A JP2004273387 A JP 2004273387A JP 2006093816 A JP2006093816 A JP 2006093816A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology of enhancing a deteriorated reduction effect of an overall read time due to a horizontal blanking time in speeding up a reading speed of a row scanning type CMOS sensor by means of multi-channel parallel reading. <P>SOLUTION: Although the reading speed of the row scanning type CMOS sensor can easily be increased by the multi-channel parallel reading, since the so-called horizontal blanking time for storing image data at (n+1)th row to a row memory cannot be reduced, the overall read time cannot h be much reduced regardless of increased number of channels. In order to solve such the problem in this embodiment, the operation of storing the image data at the (n+1)th row having been executed for the horizontal blanking time to the row memory, is executed during column scanning reading of image data at the n-th row from the row memory to substantially eliminate the blanking time thereby realizing effective high speed reading. Further, intrusion of noise to the column scanning reading can be reduced by carrying out the both at the same time. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、デジタルスチルカメラのような固体撮像装置に関するものである。   The present invention relates to a solid-state imaging device such as a digital still camera.

近年、固体撮像装置は高画素化と高速化が強く求められるようになってきている。デジタルスチルカメラにおいては数メガピクセルから十数メガピクセルもの高画素数が見受けられる。また速度も秒間十コマ程度の製品化も求められてきている。   In recent years, there has been a strong demand for solid-state imaging devices to have higher pixels and higher speed. In a digital still camera, a high pixel count of several megapixels to several tens of megapixels can be seen. There is also a demand for products with a speed of about 10 frames per second.

一方ビデオカメラにおいてもCCDを使って、画面を左右二分割して読み出す2ch並列読み出しにより、二百万画素を秒30コマで読み出せる製品も出始めて来ている。   On the other hand, products that can read out 2 million pixels at 30 frames per second by 2ch parallel reading using a CCD to read a screen divided into right and left parts using a CCD are beginning to come out.

このようなニーズの中で固体撮像素子は短時間に大量の画素出力を出すために、多チャンネル並列出力が容易なCMOSセンサが注目されてきている。   In such a need, a solid-state imaging device has been attracting attention as a CMOS sensor that can easily perform a multi-channel parallel output in order to output a large amount of pixels in a short time.

CMOSセンサは画素の出力を選択スイッチを介して読み出し用の出力線に読み出すわけだが、その配線は画素の周囲に方眼状に配置されるために配線抵抗と配線容量が大きく画素ごとに読み出したのでは読み出し出力線の配線容量をチャージするのに時間がかかり、結果として高速に読めなくなってしまいかねない。   The CMOS sensor reads the pixel output to the readout output line via the selection switch, but the wiring is arranged in a grid around the pixel, so the wiring resistance and the wiring capacitance are large and read out for each pixel. Then, it takes time to charge the wiring capacity of the read output line, and as a result, it may become impossible to read at high speed.

従って、回路の大きさと高速性のバランスをとって行走査型の読み出し方式をとることが一般的である。   Therefore, it is general to adopt a row scanning type reading method in which the balance between the circuit size and the high speed is taken.

行走査型読み出しとは2次元に配置された撮像素子の上下などの辺側に行走査用のメモリを設け、水平ブランキング期間中に第n行の画像データをまとめて前記メモリに転送し、その後、そのメモリから順次列走査し各画素のデータを出力するものである。   In the row scanning type readout, a memory for row scanning is provided on the upper and lower sides of the two-dimensionally arranged image sensor, and the image data of the nth row is transferred to the memory collectively during the horizontal blanking period, Thereafter, the column is sequentially scanned from the memory and data of each pixel is output.

図2は従来の行走査タイプのCMOSセンサの高速化の方法を示した図である。   FIG. 2 is a diagram showing a method for speeding up a conventional row scanning type CMOS sensor.

ThblnkはCT転送時間を表し、Treadは水平の画素読み出し時間を表す。   Thblnk represents the CT transfer time, and Tread represents the horizontal pixel readout time.

CT転送時間とは2次元配列の撮像センサ画素を一行分まとめてこのタイミングで行メモリ容量群CTに転送する時間のことで一般には水平ブランキングのタイミングに行う。   The CT transfer time is a time for collecting two rows of image sensor pixels in a two-dimensional array and transferring them to the row memory capacity group CT at this timing, and is generally performed at the timing of horizontal blanking.

Treadは行メモリ群CTから列方向に走査して順次選択的に出力端子から画素信号を読み出しするタイミングであり、高速化のために多チャンネル出力にすればTreadはチャンネル数の分だけは分数的に時間が短縮される。   Tread is a timing at which pixel signals are sequentially read out from the output terminal by scanning in the column direction from the row memory group CT. If multi-channel output is used for speeding up, Tread is fractional for the number of channels. Time is reduced.

例えば、2チャンネルならばTreadは1チャンネル時に比べて半減でき、4チャンネルなら1/4に短縮される。   For example, with 2 channels, Tread can be halved compared with 1 channel, and with 4 channels, it can be shortened to 1/4.

このように、1水平走査時間はThblnk+Treadであらわされ、これが垂直行数分だけ繰り返されて、1枚分の画像が読み出される。これ以外にTvblnkの蓄積時間(≒露光時間)が一コマのシーケンスには含まれる。   Thus, one horizontal scanning time is expressed as Thblnk + Tread, and this is repeated by the number of vertical rows, and one image is read out. In addition to this, the Tvblnk accumulation time (≈exposure time) is included in the sequence of one frame.

連写コマ速をあげようとした時に多チャンネル化でTreadは短縮できるがThblnkやTvblnkは短縮できない。   When trying to increase the continuous frame speed, Tread can be shortened by increasing the number of channels, but Thblnk and Tvblnk cannot be shortened.

蓄積時間Tvblnkはセンサ感度や被写体輝度にもからみ、必要不可欠な要素なのであきらめもつくが、Thblnkだけは回路の工夫などで多少は短縮できる。しかし、一行分のCT転送には、縦方向の配線をドライブしてCTのキャパシタに信号電荷をチャージする為、それなりに時間はかかり、また、この際にCMOSセンサ特有の画素FPN(読み出しトランジスタのVTHばらつきが支配的ではあるが)を除去したりするシーケンスがはいる為に、大幅には短縮できない。   The accumulation time Tvblnk is an indispensable element in consideration of sensor sensitivity and subject brightness, but it also gives up. However, only Thblnk can be shortened somewhat by devising the circuit. However, the CT transfer for one row takes a certain amount of time because the vertical wiring is driven and the CT capacitor is charged with the signal charge. At this time, a pixel FPN (a read transistor of the readout transistor) peculiar to the CMOS sensor is required. Since there is a sequence for removing (though VTH variation is dominant), it cannot be shortened significantly.

図3は読み出しチャンネル数を増やしていった時の秒間コマ数を表したグラフである。画素数1000万画素で縦横比が2:3、蓄積時間を20ms、読み出し周波数を16MHZ、行メモリCtへの行転送時間すなわち水平ブランキング時間を15usでおこなうと8ch並列読みで秒間7コマに対して、16chでも秒間10コマ程度までしか高速化できない。このとき、水平のブランキング時間と読み出し時間はなんとほぼ同じ時間となり、いかに多チャンネル化を使っても読み出しの効率が悪くなっているかがわかる。   FIG. 3 is a graph showing the number of frames per second when the number of read channels is increased. If the number of pixels is 10 million pixels, the aspect ratio is 2: 3, the accumulation time is 20 ms, the readout frequency is 16 MHZ, the row transfer time to the row memory Ct, that is, the horizontal blanking time is 15 us, 8 ch parallel reading is 7 frames per second. Thus, even with 16 channels, the speed can be increased only to about 10 frames per second. At this time, the horizontal blanking time and the reading time are almost the same, and it can be seen how the reading efficiency is deteriorated even if the number of channels is increased.

もう少し詳細に数字をあげると、1000万画素で3:2では水平画素数約4000画素、垂直画素数約2600画素、16チャンネルで16MHZで読み出し、全画面のThread≒40ms、全画面のThblnk≒40ms、Tvblnk≒20msとなり1コマ100msとなる。   In more detail, 10 million pixels and 3: 2 horizontal pixels are about 4000 pixels, vertical pixels are about 2600 pixels, 16 channels are read out at 16 MHZ, Full screen Thread ≈ 40 ms, Full screen Thblnk ≈ 40 ms , Tvblnk≈20 ms, and one frame is 100 ms.

このようにコマ速をあげるには高速になればなるほどThblnkの比重が増大してくる為、何らかの対策が望まれる。   In order to increase the frame speed in this way, the specific gravity of Thblnk increases as the speed increases, and some countermeasure is desired.

次に具体的に図4で従来回路の動作を説明する。   Next, the operation of the conventional circuit will be specifically described with reference to FIG.

図4は、従来のCMOS型固体撮像装置の等価回路図である。図6は、図4の水平転送スイッチN511〜N513、リセットスイッチN514、水平走査回路ブロック5、差動増幅回路51の模式的な実装平面図である。なお、図6には、第一の配線層及び第二の配線層の二つの配線層で上記各部を接続している様子を示している。   FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of a conventional CMOS solid-state imaging device. 6 is a schematic mounting plan view of the horizontal transfer switches N511 to N513, the reset switch N514, the horizontal scanning circuit block 5, and the differential amplifier circuit 51 of FIG. FIG. 6 shows a state in which the above-described parts are connected by two wiring layers of the first wiring layer and the second wiring layer.

図4には、以下説明する画素部1と、垂直走査回路ブロック2と、水平走査回路ブロック5と、入力MOSトランジスタN51と、負荷MOSトランジスタN52〜N54と、クランプ容量C01〜C03と、クランプスイッチN55〜N57と、転送スイッチN58〜N510と、信号保持容量CT1〜CT3と、水平転送スイッチN511〜513と、リセットスイッチN514と、差動増幅回路51とを備えている。   In FIG. 4, a pixel unit 1, a vertical scanning circuit block 2, a horizontal scanning circuit block 5, an input MOS transistor N51, load MOS transistors N52 to N54, clamp capacitors C01 to C03, and a clamp switch described below are shown. N55 to N57, transfer switches N58 to N510, signal holding capacitors CT1 to CT3, horizontal transfer switches N511 to 513, a reset switch N514, and a differential amplifier circuit 51 are provided.

画素部1に備えられているフォトダイオードD11〜D33は、光信号電荷を発生する。ここではアノード側が接地されている。フォトダイオードD11〜D33のカソード側は、転送MOSトランジスタM111〜M133を介して増幅MOSトランジスタM311〜M333のゲートに接続されている。   Photodiodes D11 to D33 provided in the pixel unit 1 generate optical signal charges. Here, the anode side is grounded. The cathode sides of the photodiodes D11 to D33 are connected to the gates of the amplification MOS transistors M311 to M333 via the transfer MOS transistors M111 to M133.

また、増幅MOSトランジスタM311〜M333のゲートには、これをリセットするためのリセットMOSトランジスタM211〜M233のソースが接続され、リセットMOSトランジスタM211〜M233のドレインは、リセット電源に接続されている。   The sources of reset MOS transistors M211 to M233 for resetting the amplification MOS transistors M311 to M333 are connected to the gates, and the drains of the reset MOS transistors M211 to M233 are connected to a reset power source.

さらに、増幅MOSトランジスタM311〜M333のドレインは電源に接続され、ソースは選択MOSトランジスタM411〜M433のドレインに接続されている。転送MOSトランジスタM111のゲートは、横方向に延長して配置される第1の行選択線(垂直走査線)PTX1に接続される。   Furthermore, the drains of the amplification MOS transistors M311 to M333 are connected to the power source, and the sources are connected to the drains of the selection MOS transistors M411 to M433. The gate of the transfer MOS transistor M111 is connected to a first row selection line (vertical scanning line) PTX1 arranged extending in the horizontal direction.

同じ行に配置された他の画素セルの同様な転送MOSトランジスタM121,M131のゲートも第1の行選択線PTX1に共通に接続される。リセットMOSトランジスタM211のゲートは、横方向に延長して配置される第2の行選択線(垂直走査線)PRES1に接続される。   The gates of similar transfer MOS transistors M121 and M131 of other pixel cells arranged in the same row are also commonly connected to the first row selection line PTX1. The gate of the reset MOS transistor M211 is connected to a second row selection line (vertical scanning line) PRES1 that extends in the horizontal direction.

同じ行に配置された他の画素セルの同様なリセットMOSトランジスタM221,M231のゲートも第2の行選択線PRES1に共通に接続される。選択MOSトランジスタM411のゲートは、横方向に延長して配置される第3の行選択線(垂直走査線)PSEL1に接続される。   The gates of similar reset MOS transistors M221 and M231 of other pixel cells arranged in the same row are also commonly connected to the second row selection line PRES1. The gate of the selection MOS transistor M411 is connected to a third row selection line (vertical scanning line) PSEL1 arranged extending in the horizontal direction.

同じ行に配置された他の画素セルの同様な選択MOSトランジスタM421,M431のゲートも第3の行選択線PSEL1に共通に接続される。これら第1〜第3の行選択線は、垂直走査回路ブロック2に接続され、後述する動作タイミングに基づいて信号電圧が供給される。   Gates of similar selection MOS transistors M421 and M431 of other pixel cells arranged in the same row are also commonly connected to the third row selection line PSEL1. These first to third row selection lines are connected to the vertical scanning circuit block 2 and supplied with a signal voltage based on an operation timing described later.

図4に示されている残りの行においても同様な構成の画素セルと、行選択線が設けられる。これらの行選択線には、垂直走査回路ブロック2により形成されたPTX2〜PTX3、PRES2〜PRES3、PSEL2〜PSEL3が供給される。選択MOSトランジスタM411のソースは、縦方向に延長して配置される垂直信号線V1に接続される。   In the remaining rows shown in FIG. 4, pixel cells having the same configuration and row selection lines are provided. PTX2 to PTX3, PRES2 to PRES3, and PSEL2 to PSEL3 formed by the vertical scanning circuit block 2 are supplied to these row selection lines. The source of the selection MOS transistor M411 is connected to the vertical signal line V1 arranged extending in the vertical direction.

同じ列に配置される画素セルの同様な選択MOSトランジスタM412,M413のソースも垂直信号線V1に接続される。垂直信号線V1は負荷手段である負荷MOSトランジスタN52に接続される。   Sources of similar selection MOS transistors M412 and M413 of pixel cells arranged in the same column are also connected to the vertical signal line V1. The vertical signal line V1 is connected to a load MOS transistor N52 which is a load means.

図4に示されている残りの垂直信号線V2〜V3においても同様に選択MOSトランジスタ、負荷MOSトランジスタが接続される。   In the remaining vertical signal lines V2 to V3 shown in FIG. 4, selection MOS transistors and load MOS transistors are similarly connected.

さらに、負荷MOSトランジスタN52〜N54のソースは共通のGNDライン4に、ゲートは入力MOSトランジスタN51のゲート及びドレインに共通に接続されるとともに電圧入力端子Vbiasに接続される。   Further, the sources of the load MOS transistors N52 to N54 are connected to the common GND line 4, and the gates are connected in common to the gate and drain of the input MOS transistor N51 and to the voltage input terminal Vbias.

垂直信号線V1は、クランプ容量C01と転送スイッチN58を介して信号を一時保持するための容量CT1に接続され、水平転送スイッチN511を介して差動増幅回路51の反転入力端子(水平出力線)に接続される。   The vertical signal line V1 is connected to a capacitor CT1 for temporarily holding a signal via a clamp capacitor C01 and a transfer switch N58, and an inverting input terminal (horizontal output line) of the differential amplifier circuit 51 via a horizontal transfer switch N511. Connected to.

差動増幅回路51の正転入力端子は水平出力線のリセット電圧Vresに、反転入力端子はリセットスイッチN514を介して水平出力線のリセット電圧Vresにそれぞれ接続される。信号保持容量CT1の逆側の端子は接地されている。   The non-inverting input terminal of the differential amplifier circuit 51 is connected to the reset voltage Vres of the horizontal output line, and the inverting input terminal is connected to the reset voltage Vres of the horizontal output line via the reset switch N514. The terminal on the opposite side of the signal holding capacitor CT1 is grounded.

クランプ容量C01と転送スイッチN58との接続点はクランプスイッチN55を介してクランプ電源に接続される。水平転送スイッチN511のゲートは信号線H1に接続され、水平走査回路ブロック5に接続される。   A connection point between the clamp capacitor C01 and the transfer switch N58 is connected to a clamp power source via the clamp switch N55. The gate of the horizontal transfer switch N511 is connected to the signal line H1 and connected to the horizontal scanning circuit block 5.

図4に示されている残りの列V2〜V3においても同様な構成の読み出し回路が設けられる。また、各列に接続されたクランプスイッチN55〜N57のゲート及び転送スイッチN58〜N510のゲートは、クランプ信号入力端子PC0R及び転送信号入力端子PTにそれぞれ共通に接続され、後述する動作タイミングに基づいてそれぞれ信号電圧が供給される。   In the remaining columns V2 to V3 shown in FIG. 4, readout circuits having the same configuration are provided. Further, the gates of the clamp switches N55 to N57 and the gates of the transfer switches N58 to N510 connected to each column are connected in common to the clamp signal input terminal PC0R and the transfer signal input terminal PT, respectively, and based on the operation timing described later. Each is supplied with a signal voltage.

図5は、図4に示すCMOS型固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。フォトダイオードD11〜D33からの光信号電荷の読み出しに先立って、リセットMOSトランジスタM211〜M231のゲートPRES1がハイレベルとなる。   FIG. 5 is a timing chart showing the operation of the CMOS type solid-state imaging device shown in FIG. Prior to reading of the optical signal charges from the photodiodes D11 to D33, the gates PRES1 of the reset MOS transistors M211 to M231 are set to the high level.

これによって、増幅MOSトランジスタM311〜M331のゲートがリセット電源にリセットされる。リセットMOSトランジスタM211〜M231のゲートPRES1がローレベルに復帰すると同時にクランプスイッチN55〜N57のゲートPC0Rがハイレベルになった後に、選択MOSトランジスタM411〜M431のゲートPSEL1がハイレベルとなる。   As a result, the gates of the amplification MOS transistors M311 to M331 are reset to the reset power source. After the gates PRES1 of the reset MOS transistors M211 to M231 return to the low level and the gates PC0R of the clamp switches N55 to N57 become high level, the gates PSEL1 of the selection MOS transistors M411 to M431 become high level.

これによって、リセットノイズが重畳されたリセット信号(ノイズ信号)が垂直信号線V1〜V3に読み出されクランプ容量C01〜C03にクランプされる。同時に転送スイッチN58〜N510のゲートPTがハイレベルとなり、信号保持容量CT1〜CT3がクランプ電圧にリセットされる。   As a result, the reset signal (noise signal) on which the reset noise is superimposed is read to the vertical signal lines V1 to V3 and clamped to the clamp capacitors C01 to C03. At the same time, the gates PT of the transfer switches N58 to N510 become high level, and the signal holding capacitors CT1 to CT3 are reset to the clamp voltage.

つぎに、クランプスイッチN55〜N57のゲートPC0Rがローレベルに復帰する。つぎに、転送MOSトランジスタM111〜M131のゲートPTX1がハイレベルとなり、フォトダイオードD11〜D31の光信号電荷が、増幅MOSトランジスタM311〜M331のゲートに転送されると同時に光信号が垂直信号線V1〜V3に読み出される。   Next, the gate PC0R of the clamp switches N55 to N57 returns to the low level. Next, the gates PTX1 of the transfer MOS transistors M111 to M131 are set to the high level, and the optical signal charges of the photodiodes D11 to D31 are transferred to the gates of the amplification MOS transistors M311 to M331. Read to V3.

つぎに、転送MOSトランジスタM111〜M131のゲートPTX1がローレベルに復帰した後、転送スイッチN58〜N510のゲートPTがローレベルとなる。これによって、リセット信号からの変化分(光信号)が信号保持容量CT1〜CT3に読み出される。   Next, after the gate PTX1 of the transfer MOS transistors M111 to M131 returns to the low level, the gate PT of the transfer switches N58 to N510 goes to the low level. As a result, the change (optical signal) from the reset signal is read out to the signal holding capacitors CT1 to CT3.

ここまでの動作で、第1行目に接続された画素セルの光信号が、それぞれの列に接続された信号保持容量CT1〜CT3に保持される。   With the operations so far, the optical signals of the pixel cells connected to the first row are held in the signal holding capacitors CT1 to CT3 connected to the respective columns.

つぎに、リセットMOSトランジスタM211〜M231のゲートPRES1及び転送MOSトランジスタM111〜M131のゲートPTX1がハイレベルとなり、フォトダイオードD11〜D31の光信号電荷がリセットされる。   Next, the gates PRES1 of the reset MOS transistors M211 to M231 and the gates PTX1 of the transfer MOS transistors M111 to M131 become high level, and the optical signal charges of the photodiodes D11 to D31 are reset.

この後、水平走査回路ブロック5から供給され信号線H1〜H3を伝送する信号によって、各列の水平転送スイッチN511〜N513のゲートが順次ハイレベルとなり、信号保持容量CT1〜CT3に保持されていた電圧が、順次水平出力線に読み出され、出力端子OUTに順次出力される。   Thereafter, the gates of the horizontal transfer switches N511 to N513 in each column are sequentially set to a high level by signals supplied from the horizontal scanning circuit block 5 and transmitted through the signal lines H1 to H3, and are held in the signal holding capacitors CT1 to CT3. The voltage is sequentially read out to the horizontal output line and sequentially output to the output terminal OUT.

各列の信号読み出しの合間でリセットスイッチN514によって水平出力線がリセット電圧Vresにリセットされる。以上で、第1行目に接続された画素セルの読み出しが完了する。以下同様に、垂直走査回路ブロックからの信号によって第2行目以降に接続された画素セルの信号が順次読み出され、全画素セルの読み出しが完了する。   The horizontal output line is reset to the reset voltage Vres by the reset switch N514 between the signal readings of each column. Thus, reading of the pixel cells connected to the first row is completed. Similarly, the signals of the pixel cells connected in the second and subsequent rows are sequentially read by signals from the vertical scanning circuit block, and the reading of all the pixel cells is completed.

以上のように、従来の図4の回路では図5の「1行目前半や2行目前半の各(1)〜(9)」に示すタイミングで図2のThblnkのような時間がかかっていた為、高速化には限界があった。
特開平10−155100号公報
As described above, the conventional circuit of FIG. 4 takes a time like Thblnk of FIG. 2 at the timing shown in “first half of first row and first half of second row (1) to (9)” of FIG. Therefore, there was a limit to speeding up.
JP-A-10-155100

そこで図7に示すように、ThblnkをTreadの裏(バックグラウンド)で行うことで、実質Tread時間をゼロにすることができれば上記例のような1000万画素でも8チャンネルで秒間10コマが達成されるようになる。   Therefore, as shown in FIG. 7, if Thblnk is performed behind the Tread (background) so that the actual Tread time can be made zero, 10 frames per second can be achieved in 8 channels even with 10 million pixels as in the above example. Become so.

例えば、バックグラウンドでThblnkが実行できれば、8chでも全画面のTread≒80ms、Tvblnk≒20msとなり、1コマ100msとなる。   For example, if Thblnk can be executed in the background, even with 8 channels, Tread of the entire screen is approximately 80 ms and Tvblnk is approximately 20 ms, so that one frame is 100 ms.

このためには基本的に図8に示すように、CTを複数行分設け、一方のCT行を順次読み出している最中にもう片方のCT行に画素部からの信号を行一括転送することで水平ブランキング時間を短縮する。詳細は図1に基づいて後述するが、図8に基づき概略を説明する。   For this purpose, basically, as shown in FIG. 8, CT is provided for a plurality of rows, and signals from the pixel portion are transferred to the other CT row in a row while one CT row is being read sequentially. To reduce the horizontal blanking time. Details will be described later with reference to FIG. 1, but the outline will be described with reference to FIG.

二次元配列された画素部に対してメモリ部CTを奇数行用と偶数行用の2セット設け、画面上部から順次垂直選択SR(シフトレジスタ)を縦方向に走査しながら、CT部に転送すべき行を選択していく。例えば、奇数n行目のデータが既にCT部(奇数行用)にあり、水平選択SR(シフトレジスタ)で横方向に走査しながら、順次画素出力が読み出されていくとすると、その裏(バックグラウンド)で偶数n+1行目の信号が偶数行用のCT部に一括転送される。こうすることでCT部は奇数行用と偶数行用の2セット必要になるが、画素部のチップサイズに比べれば、CT部のサイズは小さいので、余計にもっても、さほどチップサイズが大きくなるわけではなく、むしろ、高速化のメリットの方が大きい。   Two sets of memory units CT for odd-numbered rows and even-numbered rows are provided for the two-dimensionally arranged pixel units, and the vertical selection SR (shift register) is sequentially scanned from the top of the screen in the vertical direction and transferred to the CT unit. Select the power line. For example, if the odd-numbered n-th row data is already in the CT section (for odd-numbered rows) and the pixel output is sequentially read out while scanning in the horizontal direction with the horizontal selection SR (shift register), In the background), the signals of the even number n + 1 rows are collectively transferred to the even-number CT section. By doing this, two sets of CT sections are required for odd rows and even rows, but since the size of the CT portion is small compared to the chip size of the pixel portion, the chip size becomes much larger even if it is extra. Rather, the benefits of speeding up are greater.

しかしながら、図8の時間短縮のためには図4のタイプの出力形式では同相ノイズに弱くTreadとThblnkを同時並行的に行うと、ThblnkにともなうCT群チャージが一行分まとめて同時に行うので、その電流性ノイズがセンサーチップ基板の電源やグランドを短時間に激しくゆすり、同相ノイズがTreadの画素読み出し信号に飛び込んでしまう。これに対する対策を行うことが、不可欠となる。これは図6でも示したが、出力アンプのマイナス入力はそのアルミ配線周辺の電源やグランド等の電圧的変動の影響を直接、容量結合によって受けてしまうが、プラス入力の基準電圧Vresには配線長の違いによって同様にはノイズが乗ることは無い。したがって、n+1行のCTへの一括電荷転送によって発生する電流性のノイズによってゆすられる電源やグランドなどのノイズの飛び込みが出力アンプのマイナス、プラス入力で異なり、結果として、出力アンプが正しい画素信号出力を出すことができなくなってしまう。   However, in order to shorten the time of FIG. 8, the output type of the type of FIG. Current noise violently shakes the power supply and ground of the sensor chip substrate in a short time, and the common-mode noise jumps into the Tread pixel readout signal. It is essential to take measures against this. As shown in FIG. 6, the negative input of the output amplifier is directly affected by the voltage fluctuation of the power supply and ground around the aluminum wiring, but is connected to the reference voltage Vres of the positive input. Similarly, noise is not applied due to the difference in length. Therefore, noise jumps in the power supply and ground caused by current noise generated by collective charge transfer to the (n + 1) th row CT differs between the negative and positive inputs of the output amplifier. As a result, the output amplifier outputs the correct pixel signal. It becomes impossible to put out.

もう少し詳しく図4の出力アンプ51の入力部のタイプで説明すると、従来の技術では、水平転送スイッチN511〜N513のソースが共通に接続された水平出力線が、水平転送スイッチN511〜N513のゲート・ソース間容量を介してゲート端子を駆動する信号線H1〜H3に容量結合されている。   4 will be described in more detail with reference to the type of the input section of the output amplifier 51 in FIG. 4. In the conventional technique, the horizontal output lines to which the sources of the horizontal transfer switches N511 to N513 are commonly connected are connected to the gates of the horizontal transfer switches N511 to N513. The signal lines H1 to H3 that drive the gate terminals are capacitively coupled via the inter-source capacitance.

また、水平出力線は、水平走査回路ブロック5からの信号線H1〜H3の配線と重なっており容量結合している。信号線H1〜H3を通る信号は水平走査回路ブロック5の電源及びGNDから供給されており、結果的に水平走査回路ブロック5の電源及びGNDに容量結合している。   The horizontal output line overlaps with the wiring of the signal lines H1 to H3 from the horizontal scanning circuit block 5 and is capacitively coupled. Signals passing through the signal lines H1 to H3 are supplied from the power supply and GND of the horizontal scanning circuit block 5, and as a result, are capacitively coupled to the power supply and GND of the horizontal scanning circuit block 5.

さらに、水平出力線の配線は半導体基板上に設けられており、半導体基板とも容量結合している。図5を用いて説明した駆動方法のように、水平出力線に信号が読み出されるタイミングでは入力端子はハイインピーダンス(フローティング)の状態であり、容量結合による外乱ノイズの影響を受けやすい。   Further, the wiring of the horizontal output line is provided on the semiconductor substrate and is capacitively coupled to the semiconductor substrate. Like the driving method described with reference to FIG. 5, the input terminal is in a high impedance (floating) state at the timing when a signal is read out to the horizontal output line, and is easily affected by disturbance noise due to capacitive coupling.

水平走査回路ブロック5の電源及びGNDは一般的に、デジタル回路の貫通電流等の影響により、スパイク状のノイズが重畳していることが多く、このノイズが水平出力線に影響を与える。結果的に差動増幅回路51の出力波形(センサ出力波形)に影響を与え、本来の被写体の像が得られないという問題があった。そして、この外乱ノイズに弱いという回路特徴はThblnkとThreadを同時並行して行うことによってさらにノイズの悪さを露呈してしまう。   In general, the power supply and GND of the horizontal scanning circuit block 5 are often superposed with spike-like noise due to the influence of the through current of the digital circuit, and this noise affects the horizontal output line. As a result, there is a problem that the output waveform (sensor output waveform) of the differential amplifier circuit 51 is affected, and the original subject image cannot be obtained. The circuit feature of being weak against disturbance noise exposes the worsening of noise by performing Thblnk and Thread in parallel.

そこで、本発明は、差動増幅回路の出力にノイズ等の影響を与えない固体撮像装置を提供することで高速性と低ノイズ性の両立をはかることを課題としている。   Therefore, an object of the present invention is to achieve both high speed and low noise by providing a solid-state imaging device that does not affect the output of a differential amplifier circuit such as noise.

上記課題を解決するために、行走査型の固体撮像素子を用いた撮像装置において、行メモリ群を少なくとも2セット備え、n行目の画像データがストアされた第1の行メモリ群から、順次、列走査しながら各画素の画像データが出力されている最中に、同時並行してn+1行目の画像データを第2の行メモリ群にストアすることで、総合の読み出し時間を短縮するとともに、被写体からの光を複数の光電変換素子で信号電荷に変換し、前記各光電変換素子で変換された信号電荷を、リファレンス信号が供給される差動増幅回路で増幅することによって、前記被写体の画像信号を生成する固体撮像装置において、前記各光電変換素子からの信号を前記差動増幅回路へ順次出力する第1の出力線と所望の信号線との結合容量と、前記差動増幅回路へと前記リファレンス信号を供給する第2の出力線と前記所望の信号線との結合容量とを合わせている。   In order to solve the above-described problem, in an imaging device using a row scanning solid-state imaging device, at least two row memory groups are provided, and the first row memory group in which the image data of the nth row is stored is sequentially While the image data of each pixel is being output while scanning the columns, the image data of the (n + 1) th row is stored in the second row memory group in parallel, thereby reducing the total readout time. The light from the subject is converted into a signal charge by a plurality of photoelectric conversion elements, and the signal charge converted by each photoelectric conversion element is amplified by a differential amplifier circuit to which a reference signal is supplied. In a solid-state imaging device that generates an image signal, a coupling capacitor between a first output line that sequentially outputs a signal from each of the photoelectric conversion elements to the differential amplifier circuit and a desired signal line, and the differential amplifier circuit And combining the coupling capacitance between the desired signal line and the second output line for supplying the reference signal.

すなわち、本発明は、差動増幅回路への入力信号にダミーのアンテナ線をはわせ、両入力とも同じようにノイズ等を重畳させることで、差動増幅回路でノイズ等を差分して、差動増幅回路の出力信号からノイズ等を除去するようにしている。   That is, according to the present invention, a dummy antenna line is put on the input signal to the differential amplifier circuit, and noise or the like is superimposed on both inputs in the same manner, so that the difference or the like is differentiated by the differential amplifier circuit. Noise and the like are removed from the output signal of the dynamic amplification circuit.

本発明によると、各光電変換素子で変換された信号電荷を増幅する差動増幅回路への入力信号に、ダミーの同相ノイズ検知用のアンテナ線をはわせ、信号線と同じようにノイズ等を重畳させているので、差動増幅回路でノイズ等が差分され、出力信号からノイズ等を除去するようにしている。その為、画素部から行メモリ群CTへの転送(従来の水平ブランキングの相当)と行メモリ群から水平走査による読み出しを同時並行して行うことによって生じるCT転送のノイズの飛び込みを低減しながら高速化と低ノイズ化を両立させることができた。   According to the present invention, the dummy common-mode noise detection antenna line is placed on the input signal to the differential amplifier circuit that amplifies the signal charge converted by each photoelectric conversion element, and noise or the like is applied in the same manner as the signal line. Since they are superposed, noise or the like is differentiated by the differential amplifier circuit, and noise or the like is removed from the output signal. For this reason, while reducing the transfer of noise from CT transfer caused by simultaneously transferring data from the pixel portion to the row memory group CT (corresponding to conventional horizontal blanking) and reading from the row memory group by horizontal scanning in parallel. It was possible to achieve both high speed and low noise.

CMOSイメージセンサーの持つ多チャンネル化による高速化の障害になっていた大きな壁をこれによりブレークできるようになった。   This has made it possible to break a large wall that has been a hindrance to speeding up by the multi-channel CMOS image sensor.

以下本発明を実施するための最良の形態を、実施例により詳しく説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to examples.

図1は、本発明の第1実施形態の固体撮像装置の等価回路図である。図1の画素部1、入力MOSトランジスタN51、負荷MOSトランジスタN52〜N54、クランプ容量C01〜C03、クランプスイッチN55〜N57、転送スイッチN58〜N510、信号保持容量CT1〜CT3は、図4と同様の構成である。なお、図1において、図4に示した部分と同様の部分には同一符号を付している。   FIG. 1 is an equivalent circuit diagram of the solid-state imaging device according to the first embodiment of the present invention. The pixel unit 1, input MOS transistor N51, load MOS transistors N52 to N54, clamp capacitors C01 to C03, clamp switches N55 to N57, transfer switches N58 to N510, and signal holding capacitors CT1 to CT3 in FIG. 1 are the same as those in FIG. It is a configuration. In FIG. 1, parts that are the same as the parts shown in FIG.

信号を一時保持するための容量CT1〜CT3は、水平転送スイッチN511〜N513を介して差動増幅回路51の反転入力端子(水平出力線)に接続され、水平出力線はリセットスイッチN514を介してリセット電圧Vresに接続される。   Capacitors CT1 to CT3 for temporarily holding signals are connected to the inverting input terminal (horizontal output line) of the differential amplifier circuit 51 via horizontal transfer switches N511 to N513, and the horizontal output line is connected via a reset switch N514. Connected to the reset voltage Vres.

水平転送スイッチN511〜N513のゲートは信号線H1〜H3に接続され、水平走査回路ブロック5に接続される。   The gates of the horizontal transfer switches N511 to N513 are connected to the signal lines H1 to H3 and connected to the horizontal scanning circuit block 5.

差動増幅回路51の正転入力端子には、ドレインがリセット電圧Vresに接続されたスイッチN11〜N13が接続され、スイッチN11〜N13のゲートは水平転送スイッチN511〜N513と同様、信号線H1〜H3に接続される。   Switches N11 to N13 whose drains are connected to the reset voltage Vres are connected to the non-inverting input terminal of the differential amplifier circuit 51, and the gates of the switches N11 to N13 are the signal lines H1 to H5, like the horizontal transfer switches N511 to N513. Connected to H3.

さらに、正転入力端子はリセットスイッチN514を介してリセット電圧Vresに接続される。   Further, the normal input terminal is connected to the reset voltage Vres via the reset switch N514.

特に限定はしないが、水平転送スイッチN511〜N513とスイッチN11〜N13、リセットスイッチN514とN14は同一形状のスイッチである方が望ましい。   Although not particularly limited, it is desirable that the horizontal transfer switches N511 to N513 and the switches N11 to N13 and the reset switches N514 and N14 are switches having the same shape.

また、図1では簡単のため3行3列の2次元画素アレイとしているが、このサイズに限定したものではなく、さらに、1次元のリニアセンサについても同様の構成が採れることはいうまでもない。   Further, in FIG. 1, for the sake of simplicity, a two-dimensional pixel array of 3 rows and 3 columns is used. However, it is not limited to this size, and it is needless to say that a similar configuration can be adopted for a one-dimensional linear sensor. .

つぎに、本実施形態の固体撮像装置の動作について説明する。信号保持容量CT1〜CT3に保持するまでの動作は、図5に基づく説明と同様である。   Next, the operation of the solid-state imaging device of this embodiment will be described. The operation until the signal holding capacitors CT1 to CT3 hold them is the same as the description based on FIG.

信号保持容量CT1〜CT3に保持された信号は、水平走査回路ブロック5から供給され信号線H1〜H3を伝送する信号によって、各列の水平転送スイッチN511〜N513のゲートが順次ハイレベルとなり、水平出力線に読み出される。   The signals held in the signal holding capacitors CT1 to CT3 are supplied from the horizontal scanning circuit block 5 and transmitted through the signal lines H1 to H3, so that the gates of the horizontal transfer switches N511 to N513 in each column are sequentially set to the high level. Read out to output line.

また、水平走査回路ブロック5から供給され信号線H1〜H3を伝送する信号によって、スイッチN11〜N13のゲートも順次ハイレベルとなり、差動増幅回路51の正転入力端子には、水平出力線に信号が読み出されるタイミングに同期してリセット電圧Vresが読み出される。   Further, the gates of the switches N11 to N13 are sequentially turned to a high level by the signals supplied from the horizontal scanning circuit block 5 and transmitted through the signal lines H1 to H3, and the non-inverting input terminal of the differential amplifier circuit 51 is connected to the horizontal output line. The reset voltage Vres is read in synchronization with the timing at which the signal is read.

各列の信号読み出しの合間でリセットスイッチN514,N14によって水平出力線及び差動増幅回路51の正転入力端子が水平出力線のリセット電圧Vresにリセットされる。出力端子OUTには、正転入力信号と反転入力信号との差信号が所望のゲインで増幅されて出力される。   The reset switches N514 and N14 reset the horizontal output line and the normal input terminal of the differential amplifier circuit 51 to the reset voltage Vres of the horizontal output line between signal readings of each column. A difference signal between the normal input signal and the inverted input signal is amplified to a desired gain and output to the output terminal OUT.

このような動作において、水平出力線には例えば、水平走査回路ブロック5から供給され信号線H1〜H3を伝送する信号や水平出力線のリセット信号PCHRESのクロックリークが発生する。また、水平出力線は水平転送スイッチN511〜N513のゲート・ソース間容量によって信号線H1〜H3と容量結合している。   In such an operation, for example, a signal leaked from the horizontal scanning circuit block 5 and transmitted through the signal lines H1 to H3 or a horizontal output line reset signal PCHRES occurs in the horizontal output line. The horizontal output line is capacitively coupled to the signal lines H1 to H3 by the gate-source capacitances of the horizontal transfer switches N511 to N513.

水平走査回路ブロック5から供給され信号線H1〜H3を伝送する信号は順次ハイレベルとなるため、ほとんどの期間、水平走査回路ブロック5のGNDから供給されるローレベルを出力している。   Since the signals supplied from the horizontal scanning circuit block 5 and transmitted through the signal lines H1 to H3 are sequentially at a high level, the low level supplied from the GND of the horizontal scanning circuit block 5 is output for most of the period.

ところで、本実施形態では差動増幅回路51の正転入力端子にも水平出力線と同様、リセットスイッチN14と、水平転送スイッチと同一の信号がゲートに入力されたスイッチN11〜N13が接続されているため、正転入力端子も反転入力端子と同様にクロックリークやスパイク状のノイズの影響を受ける。   By the way, in the present embodiment, the reset switch N14 and switches N11 to N13 in which the same signal as that of the horizontal transfer switch is input to the gate are connected to the normal input terminal of the differential amplifier circuit 51 as well as the horizontal output line. Therefore, the normal input terminal is also affected by clock leaks and spike-like noise in the same manner as the inverting input terminal.

これらのノイズ成分は反転入力端子と正転入力端子間で同相の成分であり、差動増幅回路51で除去されるので、出力端子OUTに影響を与えることはない。   These noise components are in-phase components between the inverting input terminal and the non-inverting input terminal, and are removed by the differential amplifier circuit 51, and therefore do not affect the output terminal OUT.

回路ブロック52はCTや水平読みだし走査部や読み出し差動アンプを含むブロックを指す。このあたりの内部の構成はアンプの入力形式をのぞけば図4の従来回路とほぼ同様である。図1ではこれに加え、高速性をあげるために、この52のブロックをもう1セット設けている。これが回路ブロック62である。回路ブロック62の構成要件は回路ブロック52と全く同じであり、入力信号だけが異なっている。両者比較すると、PTに対してPT2、OUTに対してOUT2となっており、52の回路ブロックが奇数行用の回路ブロックだとすると、62の回路ブロックは偶数行用の回路ブロックと言うことになる。   The circuit block 52 indicates a block including a CT, a horizontal readout scanning unit, and a readout differential amplifier. The internal configuration around this is almost the same as the conventional circuit of FIG. 4 except for the input format of the amplifier. In addition to this, in FIG. 1, another set of these 52 blocks is provided in order to increase the speed. This is the circuit block 62. The configuration requirements of the circuit block 62 are exactly the same as those of the circuit block 52, and only the input signal is different. When both are compared, PT2 is PT with respect to PT, and OUT2 with respect to OUT. If 52 circuit blocks are circuit blocks for odd rows, 62 circuit blocks are circuit blocks for even rows.

次に、図9を説明する。
これも基本的には図5で説明したタイミングとほぼ同じであるが、水平走査部による読み出しと垂直走査部によるCT群への転送とが同時並行して行われている。図5では1行目を前半部と後半部に分け、前半部でPRES1,PSEL1,PTX1,PC0R,PTなどの信号が激しく変化して画素部から垂直出力線群を通ってCT群に信号電荷転送が行われるタイミングと後半部ではH1、H2、H3、PCHRESなどが激しく変化し、水平走査部の動作による読み出しが行われている。そしてその両者が各行交互に行われている。
Next, FIG. 9 will be described.
This is also basically the same as the timing described with reference to FIG. 5, but reading by the horizontal scanning unit and transfer to the CT group by the vertical scanning unit are performed simultaneously in parallel. In FIG. 5, the first row is divided into the first half and the second half, and signals such as PRES1, PSEL1, PTX1, PC0R, and PT change drastically in the first half, and signal charges are passed from the pixel portion to the CT group through the vertical output line group. H1, H2, H3, PCHRES, and the like change drastically in the transfer timing and the latter half, and reading is performed by the operation of the horizontal scanning unit. Both of them are performed alternately in each row.

それに対して、図9ではその両者が同時並行で行われており、例えば図9の2行目(1)〜(9)のタイミングをみるとPRES2,PSEL2,PTX2,PC0R,PT2が激しく動いている最中にH1,H2,H3,PCHRESも同時に激しく動いている。これは2行目の画素信号が62の回路ブロックに含まれる偶数行用のCT群に転送している最中にも同時並行して、1行目の画素データが回路ブロック52に含まれる奇数行用のCT群から水平走査されながらOUT端子から読み出されているわけである。   On the other hand, in FIG. 9, both of them are performed in parallel. For example, when the timings (1) to (9) in the second row in FIG. 9 are seen, PRES2, PSEL2, PTX2, PC0R, and PT2 move violently. H1, H2, H3, and PCHRES are moving violently at the same time. This is because the pixel data of the first row is included in the circuit block 52 in parallel while the pixel signals of the second row are being transferred to the CT group for even rows included in the 62 circuit blocks. That is, it is read out from the OUT terminal while being horizontally scanned from the row CT group.

逆に図9の3行目(1)〜(9)のタイミングになるとPRES3,PSEL3,PTX3,PC0R,PTが激しく動いている最中にH61,H62,H63,PCHRESも同時に激しく動いている。これは3行目の画素信号が52の回路ブロックに含まれる奇数行用のCT群に転送している最中にも同時並行して、2行目の画素データが回路ブロック62に含まれる偶数行用のCT群から水平走査されながらOUT2端子から読み出されているわけである。   Conversely, at the timing of the third row (1) to (9) in FIG. 9, H61, H62, H63, and PCHRES are simultaneously moving violently while PRES3, PSEL3, PTX3, PC0R, and PT are moving violently. This is because the pixel data of the second row is included in the circuit block 62 in parallel while the pixel signal of the third row is transferred to the CT group for odd rows included in the circuit block of 52. That is, it is read from the OUT2 terminal while being horizontally scanned from the CT group for rows.

これらを次々と繰り返すことで図5に対して図9ではステートが半減して同時並列動作により高速化していることがわかる。
この例では奇数行と偶数行の2セットのブロックを持っているが水平走査部の読み出しが多チャンネル化によってさらに高速化した場合には2セット以上持つことも考え得る。
By repeating these operations one after another, it can be seen that the state is halved in FIG. 9 as compared to FIG.
In this example, there are two sets of blocks of odd rows and even rows, but if the reading of the horizontal scanning unit is further speeded up by multi-channeling, it is possible to have two sets or more.

本発明の実施形態の固体撮像装置の等価回路図である。1 is an equivalent circuit diagram of a solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention. 従来のCMOS型固体撮像装置の概略タイミング図である。It is a schematic timing diagram of the conventional CMOS type solid-state imaging device. 従来のCMOS型固体撮像装置の多チャンネル化にとるコマ速を表したグラフである。(実線 従来のコマ速、破線 本発明提案のコマ速)It is the graph showing the frame speed taken for multi-channeling of the conventional CMOS type solid-state imaging device. (Solid line Conventional frame speed, broken line Frame speed proposed by the present invention) 従来のCMOS型固体撮像装置の等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of a conventional CMOS solid-state imaging device. 図4に示すCMOS型固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。5 is a timing chart showing an operation of the CMOS type solid-state imaging device shown in FIG. 図4の水平転送スイッチN511〜N513、リセットスイッチN514、水平走査回路ブロック5、差動増幅回路51の模式的な実装平面図である。5 is a schematic plan view of the horizontal transfer switches N511 to N513, the reset switch N514, the horizontal scanning circuit block 5, and the differential amplifier circuit 51 of FIG. 本発明の狙いとする概略タイミング図である。FIG. 3 is a schematic timing diagram aimed at by the present invention. 本発明の狙いとする概略回路ブロック図である。1 is a schematic circuit block diagram aimed at by the present invention. FIG. 本発明のCMOS型固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。3 is a timing chart showing the operation of the CMOS solid-state imaging device of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 画素部
2 垂直走査回路ブロック
4 GNDライン
5 水平走査回路ブロック
51 差動増幅回路
C01〜C03 クランプ容量
CT1〜CT3 信号保持容量
N51 入力MOSトランジスタ
N52〜N54 負荷MOSトランジスタ
N55〜N57 クランプスイッチ
N58〜N510 転送スイッチ
N511〜513 水平転送スイッチ
N514 リセットスイッチ
52 奇数行用回路ブロック
62 偶数行用回路ブロック
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pixel part 2 Vertical scanning circuit block 4 GND line 5 Horizontal scanning circuit block 51 Differential amplifier circuit C01-C03 Clamp capacity | capacitance CT1-CT3 Signal holding capacity | capacitance N51 Input MOS transistor N52-N54 Load MOS transistor N55-N57 Clamp switch N58-N510 Transfer switch N511-513 Horizontal transfer switch N514 Reset switch 52 Circuit block for odd rows 62 Circuit block for even rows

Claims (2)

行走査型の固体撮像素子を用いた撮像装置において、行メモリ群を少なくとも2セット備え、n行目の画像データがストアされた第1の行メモリ群から、順次、列走査しながら各画素の画像データが出力されている最中に、同時並行してn+1行目の画像データを第2の行メモリ群にストアすることで、総合の読み出し時間を短縮することを特徴とする固体撮像装置。   In an imaging device using a row scanning type solid-state imaging device, each pixel is sequentially scanned from the first row memory group having at least two row memory groups and storing image data of the nth row. A solid-state imaging device characterized by shortening the total readout time by simultaneously storing the image data of the (n + 1) th row in the second row memory group in parallel with the output of the image data. 前記、第1の行メモリ群からの列走査読み出し回路は、同時並行して行われる第2の行メモリ群へのストア動作に伴う電気的ノイズを防ぐために、第1の行メモリ群に隣接して併設される読み出しのための第1の出力線に隣接してその周辺のノイズを拾うためのノイズ検知アンテナの役目を持つ第2のダミー出力線を設け、第1と第2の出力線の差動信号をとることで、同相ノイズを軽減することを特徴とする固体撮像装置。   The column scanning readout circuit from the first row memory group is adjacent to the first row memory group in order to prevent electrical noise associated with the store operation to the second row memory group performed in parallel. A second dummy output line having a role of a noise detection antenna for picking up surrounding noise is provided adjacent to the first output line for reading provided adjacent to the first output line, and the first and second output lines are provided. A solid-state imaging device that reduces common-mode noise by taking a differential signal.
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