JP2006079695A - Nonvolatile semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

【課題】 後発的な不良による書き込み或いは消去の長時間化を防止することを可能とした不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 不揮発性半導体記憶装置は、電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイのデータ読み出しを行うセンスアンプ回路と、書き込みまたは消去時に前記センスアンプ回路が保持するベリファイ読み出しデータに基づいて書き込みまたは消去完了を検出するためのパス/フェイル検出回路とを備え、前記パス/フェイル検出回路は、コマンド入力に従って不良カラム切り離しデータが書き込み可能に構成されたデータラッチを有する。
【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nonvolatile semiconductor memory device capable of preventing prolonged writing or erasing due to a later failure.
A nonvolatile semiconductor memory device includes a memory cell array having electrically rewritable nonvolatile memory cells, a sense amplifier circuit for reading data from the memory cell array, and the sense amplifier circuit holding at the time of writing or erasing. A pass / fail detection circuit for detecting completion of writing or erasing based on verify read data, and the pass / fail detection circuit has a data latch configured to be able to write defective column separation data in accordance with a command input. .
[Selection] Figure 1

Description

この発明は、電気的書き換え可能な不揮発性半導体記憶装置(EEPROM)に関する。   The present invention relates to an electrically rewritable nonvolatile semiconductor memory device (EEPROM).

EEPROMフラッシュメモリの書き込みシーケンスでは、通常、書き込みデータのしきい値分布を一定範囲に収めるために、書き込み電圧印加とその後の書き込みベリファイとが繰り返される。ベリファイ読み出し後、全ての書き込みデータが書き込み完了しているか否かをチェックするベリファイ判定(パス/フェイル判定)が行われる。全てのビットの書き込み完了が判定されると、書き込みシーケンスは終了し、書き込み不十分なビットがあると、再度書き込み電圧が印加される。   In the write sequence of the EEPROM flash memory, normally, the write voltage application and the subsequent write verify are repeated in order to keep the threshold distribution of the write data within a certain range. After the verify read, a verify determination (pass / fail determination) is performed to check whether all the write data has been written. When it is determined that writing of all bits is completed, the writing sequence is completed. When there is an insufficiently written bit, the writing voltage is applied again.

書き込み電圧印加回数の最大値(書き込みサイクル数、或いはループ数)Nmaxは、予め設定されている。書き込み回数がNmaxに達しても全ビットの書き込みが完了しない場合には、書き込みシーケンスは終了する。   The maximum value (the number of write cycles or the number of loops) Nmax of the write voltage application frequency is set in advance. If writing of all bits is not completed even when the number of times of writing reaches Nmax, the writing sequence ends.

フラッシュメモリシステムがチップ外部又は内部にECC機能を持つ場合には、そのECC機能との関係で一定のフェイル数(フェイルビット数或いはフェイルカラム数)の存在が許容される。従って、書き込みが“フェイル”で終了する場合に、フェイル数を検出して、これが許容フェイル数の範囲である場合には“擬似的パス”とすることが望まれる。   When the flash memory system has an ECC function outside or inside the chip, the presence of a certain number of fail (number of fail bits or number of fail columns) is allowed in relation to the ECC function. Therefore, it is desirable to detect the number of failures when writing ends with “fail” and to make a “pseudo pass” when this is within the allowable number of failures.

この様な観点から、高速のベリファイ判定を可能にすると共に、許容フェイル数との関係でパス/フェイルの検出を可能としたフラッシュメモリが、既に提案されている(特許文献1参照)。   From this point of view, a flash memory has already been proposed that enables high-speed verification determination and enables pass / fail detection in relation to the number of allowable failures (see Patent Document 1).

また、大容量フラッシュメモリでは、不良救済のためのリダンダンシーシステムが採用されている。即ち出荷前のテストにおいて、許容範囲の不良が検出された場合に、その不良個所(例えば不良カラム)を置き換えるように冗長セルアレイが用意される。更にメモリチップ内には、不良アドレス記憶回路と、外部から供給されるアドレスとその不良アドレス記憶回路が保持する不良アドレスとの一致検出を行うアドレス一致検出回路が設けられ、これらにより、不良アドレス置換制御が行われるようにしている。   In addition, in a large capacity flash memory, a redundancy system for defect repair is employed. That is, a redundant cell array is prepared so as to replace a defective portion (for example, a defective column) when an allowable range of defects is detected in a test before shipment. Further, the memory chip is provided with a defective address storage circuit, and an address coincidence detection circuit for detecting coincidence between an externally supplied address and the defective address held by the defective address storage circuit. Control is performed.

不良アドレス記憶回路には通常、フューズ回路やROM回路が用いられる。これらのフューズ回路やROM回路を設けることなく、メモリセルアレイ内に他の各種初期設定データと共に不良アドレスデータを記憶する方式も提案されている(例えば、特許文献2参照)。この場合、不良アドレスデータは、電源投入時に自動的に読み出されて、初期設定レジスタ(不良アドレスレジスタ)に転送される。そしてこの不良アドレスレジスタが保持する不良アドレスデータに基づいて、以後不良アドレス置換制御が行われる。   As the defective address storage circuit, a fuse circuit or a ROM circuit is usually used. There has also been proposed a method of storing defective address data together with various other initial setting data in the memory cell array without providing these fuse circuits and ROM circuits (see, for example, Patent Document 2). In this case, the defective address data is automatically read when the power is turned on and transferred to the initial setting register (defective address register). Based on the defective address data held in the defective address register, defective address replacement control is performed thereafter.

この様にリダンダンシーシステムを採用した場合、ベリファイ判定においては、不良個所を判定対象から外すことが必要である。そうしないと、書き込みシーケンスは、常に最大書き込み回数Nmaxまで書き込みが繰り返されて、フェイルとなるからである。消去の場合も同様である。このため、ベリファイ判定回路には、不良カラムを切り離すためのデータを保持するデータラッチを備えることが行われる(特許文献1参照)。
特開2003−140899号公報 特開2001−176290号公報
When the redundancy system is employed in this way, it is necessary to exclude the defective portion from the determination target in the verification determination. Otherwise, the writing sequence will always fail until the maximum number of writings Nmax is repeated. The same applies to erasure. For this reason, the verify determination circuit is provided with a data latch that holds data for separating a defective column (see Patent Document 1).
JP 2003-140899 A JP 2001-176290 A

従来のフラッシュメモリでは、出荷後に発生する不良に対しては対処できていない。前述のように、ECC機能との関係で、一定のフェイルは許容されるから、出荷後に発生する不良もその範囲であれば許される。     Conventional flash memories cannot deal with defects that occur after shipment. As described above, a certain fail is allowed in relation to the ECC function, and therefore a defect that occurs after shipment is allowed within the range.

しかし、後発的な不良をそのまま放置すると、書き込み時間や消去時間が長くなる。前述のように、不良アドレスを含む書き込みシーケンスは、常に最大書き込み回数Nmaxまで書き込みが繰り返されて、フェイルとなるからである。消去の場合も同様である。     However, if a late failure is left as it is, writing time and erasing time become long. This is because, as described above, the write sequence including the defective address is always written to the maximum number of times of writing Nmax and fails. The same applies to erasure.

この発明は、後発的な不良による書き込み或いは消去の長時間化を防止することを可能とした不揮発性半導体記憶装置を提供することを目的とする。     An object of the present invention is to provide a nonvolatile semiconductor memory device that can prevent a prolonged writing or erasing due to a later failure.

この発明の一態様による不揮発性半導体記憶装置は、
電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのデータ読み出しを行うセンスアンプ回路と、
書き込みまたは消去時に前記センスアンプ回路が保持するベリファイ読み出しデータに基づいて書き込みまたは消去完了を検出するためのパス/フェイル検出回路とを備え、
前記パス/フェイル検出回路は、コマンド入力に従って不良カラム切り離しデータが書き込み可能に構成されたデータラッチを有することを特徴とする。
A nonvolatile semiconductor memory device according to one aspect of the present invention is provided.
A memory cell array having electrically rewritable nonvolatile memory cells;
A sense amplifier circuit for reading data from the memory cell array;
A pass / fail detection circuit for detecting write or erase completion based on verify read data held by the sense amplifier circuit at the time of writing or erasing;
The pass / fail detection circuit includes a data latch configured to write defective column separation data in accordance with a command input.

この発明によれば、後発的な不良による書き込み或いは消去の長時間化を防止することを可能とした不揮発性半導体記憶装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a nonvolatile semiconductor memory device that can prevent a prolonged writing or erasing due to a later failure.

以下、図面を参照して、この発明の実施の形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、この発明の実施の形態によるフラッシュメモリの機能ブロック構成を示し、図2はそのメモリセルアレイ1の構成を示している。   FIG. 1 shows a functional block configuration of a flash memory according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a configuration of the memory cell array 1.

メモリセルアレイ1は、NANDセルユニットNUをマトリクス配列して構成されている。各NANDセルユニットNUは、複数個(図2の例では16個)直列接続された電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルM0−M15と、その両端をそれぞれソース線CELSRCとビット線BLに接続するための選択ゲートトランジスタS1及びS2を有する。   The memory cell array 1 is configured by arranging NAND cell units NU in a matrix. Each NAND cell unit NU connects a plurality (16 in the example of FIG. 2) of electrically rewritable nonvolatile memory cells M0 to M15 and both ends thereof connected to the source line CELSRC and the bit line BL, respectively. Select gate transistors S1 and S2.

NANDセルユニット内のメモリセルの制御ゲートは異なるワード線WL0−WL15に接続される。選択ゲートトランジスタS1,S2のゲートはそれぞれ選択ゲート線SGS,SGDに接続される。   The control gates of the memory cells in the NAND cell unit are connected to different word lines WL0 to WL15. The gates of the selection gate transistors S1 and S2 are connected to selection gate lines SGS and SGD, respectively.

1ワード線を共有するNANDセルユニットの集合は、データ消去の単位となるブロックを構成する。図2に示すように、ビット線方向に複数のブロックBLK0,BLK1,…が配置される。   A set of NAND cell units sharing one word line constitutes a block serving as a data erasing unit. As shown in FIG. 2, a plurality of blocks BLK0, BLK1,... Are arranged in the bit line direction.

ロウデコーダ3は、ロウアドレスに従ってワード線及び選択ゲート線を選択駆動するもので、ワード線ドライバ及び選択ゲート線ドライバを含む。センスアンプ回路2は、ビット線に接続されてページ単位のデータ読み出しを行うと共に、1ページの書き込みデータを保持するデータラッチを兼ねる。このようなセンスアンプ回路2を用いて、読み出し及び書き込みはページ単位で行われる。センスアンプ回路2は、データ線との間でデータ授受を中継するためのデータキャッシュを含む。   The row decoder 3 selectively drives a word line and a selection gate line according to a row address, and includes a word line driver and a selection gate line driver. The sense amplifier circuit 2 is connected to a bit line to read data in units of pages, and also serves as a data latch that holds write data for one page. Using such a sense amplifier circuit 2, reading and writing are performed in units of pages. Sense amplifier circuit 2 includes a data cache for relaying data exchange with data lines.

メモリセルアレイ1は、通常のデータ読み出し/書き込みに用いられるノーマルセルアレイの他、図示しないが不良カラム置換のために用いられる冗長カラムセルアレイを有する。センスアンプ回路2にもこれらに対応して、ノーマルセンスアンプ回路と冗長センスアンプ回路とが用意される。   The memory cell array 1 has a redundant column cell array (not shown) used for defective column replacement, in addition to a normal cell array used for normal data reading / writing. Corresponding to these, the sense amplifier circuit 2 is also provided with a normal sense amplifier circuit and a redundant sense amplifier circuit.

図2では、各ビット線BLにセンスアンプ回路2の一つのセンスアンプP/Bが配置される例を示している。しかしメモリセルアレイ1が微細化されると、センスアンプをビット線ピッチに配置することが困難になる。このため、大容量フラッシュメモリでは、図3に示すように、隣接する二つのビット線BLe,BLoが一つのセンスアンプP/Bを共有する方式を用いる。隣接する二つのビット線BLe,BLoは、ビット線選択ゲートQe,Qoにより選択的にセンスアンプP/Bに接続される。   FIG. 2 shows an example in which one sense amplifier P / B of the sense amplifier circuit 2 is arranged on each bit line BL. However, when the memory cell array 1 is miniaturized, it becomes difficult to arrange the sense amplifiers at the bit line pitch. Therefore, in the large-capacity flash memory, as shown in FIG. 3, a method in which two adjacent bit lines BLe and BLo share one sense amplifier P / B is used. Two adjacent bit lines BLe and BLo are selectively connected to a sense amplifier P / B by bit line selection gates Qe and Qo.

図2の例では、1ワード線に沿って配列されたメモリセルの集合が1ページを構成する。隣接する2ビット線がセンスアンプを共有する方式では、1ワード線に沿ったメモリセルの集合は、2ページを構成する。   In the example of FIG. 2, a set of memory cells arranged along one word line constitutes one page. In a system in which adjacent two bit lines share a sense amplifier, a set of memory cells along one word line constitutes two pages.

センスアンプ回路2と外部入出力端子I/Oとの間のデータ授受は、I/Oバッファ6を介し、データバス14を介して行われる。センスアンプ回路2には、カラム選択信号CSLiにより制御されるカラムゲート回路が付属し、カラムデコーダ4はこのカラムゲート制御を行う。例えば入出力端子I/Oが図2に示すように8個(I/O0−I/O7)として、上述のカラム制御によってセンスアンプ回路2と外部入出力端子I/Oとの間は、1バイト単位(カラム単位)でシリアルデータ転送が行われる。   Data exchange between the sense amplifier circuit 2 and the external input / output terminal I / O is performed via the I / O buffer 6 and the data bus 14. A column gate circuit controlled by a column selection signal CSLi is attached to the sense amplifier circuit 2, and the column decoder 4 performs this column gate control. For example, as shown in FIG. 2, the number of input / output terminals I / O is eight (I / O0-I / O7), and between the sense amplifier circuit 2 and the external input / output terminal I / O is 1 by the above-described column control. Serial data transfer is performed in byte units (column units).

入出力端子I/Oを介して供給されるアドレス“Add”は、アドレスレジスタ5を介してロウデコーダ2及びカラムデコーダ4に転送される。入出力端子I/Oを介して供給されるコマンド“Com”は、状態制御回路(以下、コントローラという)10でデコードされる。コントローラ10は、各種外部制御信号(書き込みイネーブル信号WEn、読み出しイネーブル信号REn、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE等)とコマンドComに基づいて、データ書き込み及び消去のシーケンス制御及び読み出しの動作制御を行う。   The address “Add” supplied via the input / output terminal I / O is transferred to the row decoder 2 and the column decoder 4 via the address register 5. A command “Com” supplied via the input / output terminal I / O is decoded by a state control circuit (hereinafter referred to as a controller) 10. The controller 10 performs data write and erase sequence control and read operations based on various external control signals (write enable signal WEn, read enable signal REn, command latch enable signal CLE, address latch enable signal ALE, etc.) and a command Com. Take control.

内部電圧発生回路9は、コントローラ10により制御されて、書き込み、消去及び読み出しの動作に必要な各種内部電圧を発生するもので、電源電圧より高い内部電圧を発生するためには昇圧回路が用いられる。ステータスレジスタ12は、チップが読み出し又は書き込みのレディ状態にあるか、ビジー状態にあるかを示すステータス信号R/Bをチップ外部に出力するためのものである。   The internal voltage generation circuit 9 is controlled by the controller 10 to generate various internal voltages necessary for write, erase and read operations. A booster circuit is used to generate an internal voltage higher than the power supply voltage. . The status register 12 is used to output a status signal R / B indicating whether the chip is in a read or write ready state or a busy state to the outside of the chip.

パラメータレジスタ8は、内部電圧発生回路9が出力する各種内部電圧を調整するための電圧調整データをはじめとする各種初期設定データや不良アドレスデータを保持する。これらのデータは、メモリセルアレイ1の初期設定データ領域に予め書かれている。電源を投入すると、パワーオンリセット回路11が出力するパワーオン検出信号を受けて、コントローラ10はメモリセルアレイ1の初期設定データを読み出し、これをパラメータレジスタ8に転送してセットする動作を自動的に行うようになっている。   The parameter register 8 holds various initial setting data and defective address data including voltage adjustment data for adjusting various internal voltages output from the internal voltage generation circuit 9. These data are written in advance in the initial setting data area of the memory cell array 1. When the power is turned on, the controller 10 receives the power-on detection signal output from the power-on reset circuit 11, and the controller 10 automatically reads the initial setting data of the memory cell array 1, transfers it to the parameter register 8, and sets it automatically. To do.

アドレス一致検出回路7は、外部アドレスとパラメータレジスタ8が保持する不良アドレスとの一致検出を行って、アドレス置換制御信号を出力する。これにより、不良カラムに代わって冗長カラムを選択するという制御が行われる。   The address match detection circuit 7 detects the match between the external address and the defective address held in the parameter register 8 and outputs an address replacement control signal. As a result, control for selecting a redundant column in place of a defective column is performed.

図4は、センスアンプ回路2の一つのセンスアンプP/Bの構成を示している。センスノードNsenとビット線BLの間に配置されたNMOSトランジスタMN1は、ビット線BLのプリチャージ電圧をクランプする働きと、ビット線電圧を増幅するプリセンスアンプとしての働きをする。センスノードNsenには、プリチャージ用NMOSトランジスタQ2が接続され、また必要に応じて電荷保持用のキャパシタC1が接続される。   FIG. 4 shows the configuration of one sense amplifier P / B of the sense amplifier circuit 2. The NMOS transistor MN1 arranged between the sense node Nsen and the bit line BL functions to clamp the precharge voltage of the bit line BL and as a pre-sense amplifier that amplifies the bit line voltage. A precharge NMOS transistor Q2 is connected to the sense node Nsen, and a charge holding capacitor C1 is connected as necessary.

センスノードNsenは、転送用NMOSトランジスタQ3を介してデータラッチ21の一方のデータノードN1に接続されている。データノードN1とセンスノードNsenの間には、読み出しデータを一時記憶するためのデータ記憶回路24が設けられている。ドレインが電圧端子VREGに接続されたNMOSトランジスタQ4のゲートがデータ記憶ノードNRである。この記憶ノードNRとデータラッチ21のデータノードN1の間に、データ転送用NMOSトランジスタQ6が配置されている。また記憶ノードNRが保持するデータに応じて、センスノードNsenに電圧VREGを転送するために、NMOSトランジスタQ4とセンスノードNsenの間にNMOSトランジスタQ5が配置されている。   The sense node Nsen is connected to one data node N1 of the data latch 21 via the transfer NMOS transistor Q3. A data storage circuit 24 for temporarily storing read data is provided between the data node N1 and the sense node Nsen. The gate of the NMOS transistor Q4 whose drain is connected to the voltage terminal VREG is the data storage node NR. A data transfer NMOS transistor Q6 is arranged between the storage node NR and the data node N1 of the data latch 21. An NMOS transistor Q5 is arranged between the NMOS transistor Q4 and the sense node Nsen in order to transfer the voltage VREG to the sense node Nsen according to the data held in the storage node NR.

データ記憶回路24は、前サイクルの書き込みデータを保持して、ベリファイ読み出し動作において、“0”書き込み不十分のセルについてのみ、“0”データをデータラッチ21に書き戻すための書き戻し回路として用いられる。言い換えれば、1ページの全ビットの書き込みが完了したときに、データラッチ21がオール“1”データ状態になるように、制御される。   The data storage circuit 24 holds the write data of the previous cycle, and uses it as a write-back circuit for writing back “0” data to the data latch 21 only for cells where “0” is insufficiently written in the verify read operation. It is done. In other words, the control is performed so that the data latch 21 is in an all “1” data state when writing of all bits of one page is completed.

データノードN1には、転送用NMOSトランジスタQ7を介してデータキャッシュを構成する、もう一つのデータラッチ22が接続されている。データラッチ21と22の間では、1ページの読み出し/書き込みデータが同時に転送される。データラッチ22のデータノードN11,N12は、カラム選択信号CSLiにより制御されるカラム選択ゲートQ11,Q12を介して相補データ線DL,DLnに接続されている。   Another data latch 22 constituting a data cache is connected to the data node N1 via a transfer NMOS transistor Q7. One page of read / write data is transferred simultaneously between the data latches 21 and 22. Data nodes N11 and N12 of the data latch 22 are connected to complementary data lines DL and DLn via column selection gates Q11 and Q12 controlled by a column selection signal CSLi.

データラッチ21のデータノードN1には、ベリファイ判定時に活性化されるデータ検出回路23が接続されている。データ検出回路23は、ゲートがデータノードN1に接続されたPMOSトランジスタQP1と、そのドレインと接地端子の間に配置されたスイッチ用NMOSトランジスタQ13を有する。PMOSトランジスタQP1のソースは、図5に示すように、各カラム内の8個のセンスアンプP/Bに共通の第1の検知線COMiに接続されている。各検知線ノードCOMiには、これを“H”レベルにプリチャージするためのPMOSトランジスタQP30が接続されている。   A data detection circuit 23 activated at the time of verify determination is connected to the data node N1 of the data latch 21. The data detection circuit 23 includes a PMOS transistor QP1 having a gate connected to the data node N1, and a switching NMOS transistor Q13 disposed between the drain and the ground terminal. As shown in FIG. 5, the source of the PMOS transistor QP1 is connected to the first detection line COMi common to the eight sense amplifiers P / B in each column. Each detection line node COMi is connected to a PMOS transistor QP30 for precharging it to “H” level.

ベリファイ判定時、NMOSトランジスタQ13のゲートにチェック信号VERCHKを入力することにより、データ判定が行われる。データラッチ21は、ベリファイ読み出しによって、全ビットの書き込みが完了するとオール“1”データ状態(データノードN1=“H”)になり、1ビットでも“0”書き込みが完了していないと、対応するデータノードN1は、“L”となる。   At the time of verify determination, data determination is performed by inputting the check signal VERCHK to the gate of the NMOS transistor Q13. The data latch 21 is in an all “1” data state (data node N1 = “H”) when writing of all bits is completed by verify reading, and corresponds to the case where writing of “0” is not completed even with one bit. The data node N1 becomes “L”.

書き込みベリファイ後、予め検知線COMiを“H”レベルにプリチャージして、チェック信号VERCHKを入力すると、カラム内の全ビットが書き込み完了していれば、PMOSトランジスタQP1はオフを保ち、検知線COMiは放電されない。1ビットでも書き込み完了していないとPMOSトランジスタQP1がオンして、検知線COMiが放電されて“L”レベルになる。この検知線COMiの電圧変化をモニターすることにより、ベリファイ判定(パス/フェイル検出)が可能となる。   After the write verify, the detection line COMi is precharged to the “H” level in advance and the check signal VERCHK is input. If all the bits in the column have been written, the PMOS transistor QP1 is kept off and the detection line COMi. Is not discharged. If even one bit has not been written, the PMOS transistor QP1 is turned on, and the detection line COMi is discharged to the “L” level. By monitoring the voltage change of the detection line COMi, verification determination (pass / fail detection) can be performed.

図1に示すパス/フェイル検出回路13は、センスアンプ回路2の各カラムの検知線COMiに接続されて、各書き込みサイクルのベリファイ読み出し結果について、上述したパス/フェイル判定を行う機能と、フェイル数(フェイルビット数或いはフェイルカラム数)の検出を行う機能を有する。   The pass / fail detection circuit 13 shown in FIG. 1 is connected to the detection line COMi of each column of the sense amplifier circuit 2, and has the function of performing the above-described pass / fail judgment on the verify read result of each write cycle, and the number of failures. It has a function of detecting (the number of fail bits or the number of fail columns).

このパス/フェイル検出回路13の構成を具体的に、図6及び図7に示す。   The configuration of the pass / fail detection circuit 13 is specifically shown in FIGS.

図6に示すように、パス/フェイル検出回路13は、各カラムの第1の検知線COMiにそれぞれ接続された、書き込み完了検出回路31を有する。これは、検知線COMiのレベル遷移を検出するレベル遷移検出回路であり、パス/フェイル判定のためのプリセンス回路である。   As shown in FIG. 6, the pass / fail detection circuit 13 includes a write completion detection circuit 31 connected to the first detection line COMi of each column. This is a level transition detection circuit that detects a level transition of the detection line COMi, and is a pre-sense circuit for pass / fail judgment.

書き込み完了検出回路31は、その出力が共通の第2の検知線LSENに接続されている。後に説明するように、各書き込み完了検出回路13は、カラム内にフェイルビットがあったときに第1の検知線COMiのレベル低下を検出して所定の電流が流れるように構成される。第2の検知線LSENは、各完了検出回路31に流れる電流の総和、即ちフェイル数(ビット数或いはカラム数)に応じた電流が流れるようになっている。   The output of the write completion detection circuit 31 is connected to the common second detection line LSEN. As will be described later, each write completion detection circuit 13 is configured to detect a decrease in the level of the first detection line COMi and to flow a predetermined current when there is a fail bit in the column. The second detection line LSEN is configured such that a current corresponding to the total sum of currents flowing through the completion detection circuits 31, that is, the number of failures (the number of bits or the number of columns) flows.

パス/フェイルの判定は、この第2の検知線LSENに流れるフェイル数に対応する電流に基づいてなされる。この判定を、許容されるフェイル数との比較で行うために、基準電流源回路を構成する許容フェイル数設定回路32が設けられている。   The pass / fail judgment is made based on the current corresponding to the number of failures flowing in the second detection line LSEN. In order to make this determination by comparison with the allowable number of failures, an allowable number-of-failures setting circuit 32 constituting a reference current source circuit is provided.

書き込み完了検出回路31は、図7に示すように、検知ノードCOMiがゲートに接続されたPMOSトランジスタQP41と、データラッチ35のノードN22がゲートに接続されたPMOSトランジスタQP42とが電源Vccに直列接続されている。データラッチ35は、不良カラムをベリファイ判定(パス/フェイル検出)の対象から外すための“不良カラム切り離しデータ”を保持する。即ち、不良カラムではデータノードN22が“H”となるような切り離しデータが予め書かれている。これにより、正常カラムについてのみ、PMOSトランジスタQP42がオンになる。   As shown in FIG. 7, in the write completion detection circuit 31, a PMOS transistor QP41 whose detection node COMi is connected to the gate and a PMOS transistor QP42 whose node N22 of the data latch 35 is connected to the gate are connected in series to the power supply Vcc. Has been. The data latch 35 holds “defective column separation data” for excluding the defective column from the target of verification determination (pass / fail detection). That is, separation data is written in advance so that the data node N22 becomes “H” in the defective column. As a result, the PMOS transistor QP42 is turned on only for the normal column.

PMOSトランジスタQP42のドレインは、NMOSトランジスタQ44のゲートに接続されている。NMOSトランジスタQ44のドレインは、図6に示すように全カラムの検出回路31に共通の第2の検知ノードLSENに接続され、ソースには、電流源回路36が接続されている。   The drain of the PMOS transistor QP42 is connected to the gate of the NMOS transistor Q44. As shown in FIG. 6, the drain of the NMOS transistor Q44 is connected to the second detection node LSEN common to the detection circuits 31 of all the columns, and the current source circuit 36 is connected to the source.

電流源回路36は、二つの電流源NMOSトランジスタQ45,Q46が併設されて、これらが選択的に用いられる。NMOSトランジスタQ44のゲートにはリセット用NMOSトランジスタQ43が接続されている。   The current source circuit 36 includes two current source NMOS transistors Q45 and Q46, which are selectively used. A reset NMOS transistor Q43 is connected to the gate of the NMOS transistor Q44.

電流源トランジスタQ45は、ベリファイ判定時、対応するカラムがフェイルの場合に、第1の検知線COMiの“L”レベル遷移を受けてNMOSトランジスタQ44がオンしたときに第2の検知線LSENに流れる電流Iを決定している。第2の検知線LSENは、全カラムの検出回路31の出力をワイヤド・オア接続しているから、ここには図6に示すように、フェイル数(フェイルビット数或いはフェイルカラム数)Nに応じた電流Ifail1=I×Nが流れることになる。   The current source transistor Q45 flows to the second detection line LSEN when the NMOS transistor Q44 is turned on in response to the “L” level transition of the first detection line COMi when the corresponding column is failed during the verify determination. The current I is determined. Since the second detection line LSEN is wired or connected to the outputs of the detection circuits 31 of all the columns, the number of failures (the number of fail bits or the number of fail columns) N depends on the number N as shown in FIG. Current Ifail1 = I × N flows.

電流源NMOSトランジスタQ45は、許容フェイル数がゼロの場合(即ち一つでも書き込み不十分であれば“フェイル”とする場合)の電流Iを流すものである。これと併設された電流源NMOSトランジスタQ46は、例えば2個のフェイルを許容する場合に電流0.5Iを流すように、寸法が設計されている。これらは、制御信号VREF,VREF1により選択される。   The current source NMOS transistor Q45 allows a current I to flow when the number of allowable failures is zero (that is, when even one is insufficiently written, “fail”). The size of the current source NMOS transistor Q46 provided along with the current source is designed so that a current of 0.5I flows when, for example, two failures are allowed. These are selected by control signals VREF and VREF1.

データラッチ35は、出荷前のテスト結果に従って、不良カラム切り離しデータが書き込まれる。即ちメモリセルアレイ1の初期設定データ記憶領域には、不良カラム切り離しデータが書き込まれ、これが電源投入時自動的に読み出されて、データラッチ35に書かれるようになっている。このデータラッチ35は通常は、以後修正されることはない。この実施の形態では、出荷後に発生した不良カラムをパス/フェイル検出対象から外すべく、データラッチ25のデータを書き換えることを可能としている。   The data latch 35 is written with defective column separation data according to the test result before shipment. That is, defective column separation data is written in the initial setting data storage area of the memory cell array 1 and is automatically read when the power is turned on and written in the data latch 35. This data latch 35 is normally not modified thereafter. In this embodiment, the data in the data latch 25 can be rewritten so that a defective column generated after shipment is removed from the pass / fail detection target.

そのために、データノードN21と接地端子Vssの間に、カラム選択信号CSLによりゲートが駆動されるNMOSトランジスタQ31と、活性化信号FCENによりゲートが駆動されるNMOSトランジスタQ32が直列接続されている。またデータノードN22にはリセット用NMOSトランジスタQ33が接続されている。   For this purpose, an NMOS transistor Q31 whose gate is driven by the column selection signal CSL and an NMOS transistor Q32 whose gate is driven by the activation signal FCEN are connected in series between the data node N21 and the ground terminal Vss. A reset NMOS transistor Q33 is connected to the data node N22.

後に説明するように、出荷後のテストでカラム不良を検出することができる。不良カラムが発見された場合、コマンド入力に従って、データラッチ35に切り離しデータが書き込まれる。即ちカラム選択信号CSLによりNMOSトランジスタQ31がオン、コントローラ10からの活性化信号FCENによりNMOSトランジスタQ32がオンとすることで、データラッチ35に、N21=“L”,N22=“H”なるカラム切り離しデータがラッチされる。   As will be described later, a column defect can be detected by a test after shipment. When a defective column is found, the separation data is written into the data latch 35 according to the command input. That is, the NMOS transistor Q31 is turned on by the column selection signal CSL, and the NMOS transistor Q32 is turned on by the activation signal FCEN from the controller 10, so that the data latch 35 is disconnected from the column with N21 = "L" and N22 = "H". Data is latched.

全カラムの検出回路31に共通の検出ノードLSENに得られるフェイル数に対応した電流Ifail1を比較対照するための許容フェイル数対応の電流Ipassを生成するのが、許容フェイル数設定回路32である。これは、複数の電流源回路32a〜32dにより構成されている。   The allowable failure number setting circuit 32 generates a current Ipass corresponding to the allowable number of failures for comparing and contrasting the current Ifail1 corresponding to the number of failures obtained at the detection node LSEN common to the detection circuits 31 of all the columns. This is composed of a plurality of current source circuits 32a to 32d.

電流源回路32aは、0.5Iなる電流を流す電流源NMOSトランジスタQ20を持つ。この電流源トランジスタQ20は、信号Bpassにより制御される選択トランジスタQ22を介し、フューズ回路を介して、共通ノードIREFに接続されている。電流源回路32bは、電流Iを流す電流源NMOSトランジスタQ21を有し、これも選択NMOSトランジスタQ22を介し、フューズ回路を介してノードIREFに接続されている。電流源回路32cは、電流2Iを流す二つの電流源NMOSトランジスタQ21を有し、これも選択トランジスタQ22を介し、フューズ回路を介して同様に、ノードIREFに接続されている。   The current source circuit 32a has a current source NMOS transistor Q20 that supplies a current of 0.5I. The current source transistor Q20 is connected to the common node IREF via the fuse circuit via the selection transistor Q22 controlled by the signal Bpass. The current source circuit 32b includes a current source NMOS transistor Q21 for passing a current I, which is also connected to the node IREF via a selection NMOS transistor Q22 and a fuse circuit. The current source circuit 32c has two current source NMOS transistors Q21 for passing the current 2I, which are also connected to the node IREF via the selection transistor Q22 and the fuse circuit.

更に電流源回路32dは、電流4Iを流す4つの電流源NMOSトランジスタQ21を有し、これが選択トランジスタQ22を介し、フューズ回路を介して同様に、ノードIREFに接続されている。   Furthermore, the current source circuit 32d has four current source NMOS transistors Q21 for passing a current 4I, which are similarly connected to the node IREF via the selection transistor Q22 and the fuse circuit.

電流源回路32b〜32dの選択トランジスタQ22は、それぞれ許容フェイル数を決める選択信号B0,B1,B2により活性化される。電流源回路32aの選択トランジスタQ22は、パス/フェイル検出時常に“H”となる選択信号Bpassにより制御される。   The selection transistors Q22 of the current source circuits 32b to 32d are activated by selection signals B0, B1, and B2 that determine the allowable number of failures, respectively. The selection transistor Q22 of the current source circuit 32a is controlled by a selection signal Bpass that is always “H” when a pass / failure is detected.

パス/フェイル判定時、ノードIREFに流れる許容フェイル数Npass対応の電流Ipassは、選択信号B0〜B2により決まり、Ipass=I×Npass+0.5Iとなる。   At the time of pass / fail judgment, the current Ipass corresponding to the allowable number of passes Npass flowing through the node IREF is determined by the selection signals B0 to B2, and becomes Ipass = I × Npass + 0.5I.

前述の全カラムの書き込み完了検出回路31に共通の検知ノードLSENに流れる電流Ifail1と、許容フェイル数設定回路32のノードIREFに流れる電流Ipassとを比較するために、PMOSカレントミラー回路33が設けられている。カレントミラー回路33を構成するPMOSトランジスタQP11のゲートとドレインは検出ノードLSENに接続され、PMOSトランジスタQP12のドレインは、ノードIREFと共に電圧検出ノード35に共通接続され、この電圧検知ノード35に2段のインバータからなる出力回路37が接続されている。トランジスタQP11,QP12が同寸法であれば、トランジスタQP12のドレインには、Ifail2=Ifail1なる電流が流れる。   A PMOS current mirror circuit 33 is provided in order to compare the current Ifail1 flowing through the detection node LSEN common to the write completion detection circuit 31 of all the columns and the current Ipass flowing through the node IREF of the allowable fail number setting circuit 32. ing. The gate and drain of the PMOS transistor QP11 constituting the current mirror circuit 33 are connected to the detection node LSEN, and the drain of the PMOS transistor QP12 is connected to the voltage detection node 35 together with the node IREF. An output circuit 37 composed of an inverter is connected. If the transistors QP11 and QP12 have the same dimensions, a current Ifail2 = Ifail1 flows through the drain of the transistor QP12.

カレントミラー回路33と検知ノード35及び出力回路27の部分が、比較回路を構成している。検知ノード35は、電流Ifail2(=Ifail1)とIpassの大小に応じてレベルが決定される。従って、3ビットの選択信号B0〜B2のある組み合わせ状態でベリファイ判定を行うと、電流Ifail2がIpassを越えたとき、出力VOUTに“H”出力が得られる。これが許容フェイル数との関係で決まる“フェイル”信号となる。   The current mirror circuit 33, the detection node 35, and the output circuit 27 constitute a comparison circuit. The level of the detection node 35 is determined according to the magnitude of the current Ifail2 (= Ifail1) and Ipass. Accordingly, when verify determination is performed in a certain combination state of the 3-bit selection signals B0 to B2, when the current Ifail2 exceeds Ipass, an "H" output is obtained as the output VOUT. This is a “fail” signal determined by the relationship with the allowable number of failures.

具体的に説明する。(B2,B1,B0)=(0,0,0)のときは、Ipass=0.5Iである。全カラムがベリファイ“パス”であれば、Ifail2=0であり、出力VOUTは“L”である。一方、一つのカラムでフェイルがあれば、Ifail2=Iであり、出力VOUTは“H”になる。これにより、1つ以上のフェイルがあるか否かを判定できる。(B2,B1,B0)=(0,0,1)の場合には、Ipass=I+0.5Iである。従って、Ifail2との比較により、2個以上のフェイルがあるか否かを判定することができる。   This will be specifically described. When (B2, B1, B0) = (0, 0, 0), Ipass = 0.5I. If all the columns are verified “pass”, Ifail2 = 0, the output VOUT is “L”. On the other hand, if there is a failure in one column, Ifail2 = I, the output VOUT becomes “H”. Thereby, it can be determined whether there is one or more failures. When (B2, B1, B0) = (0, 0, 1), Ipass = I + 0.5I. Therefore, it is possible to determine whether there are two or more failures by comparing with Ifail2.

以下同様にして、図8にまとめたように、選択信号(B2,B1,B0)によって、許容フェイル数が決まり、これにより許容フェイル数を設定したパス/フェイル判定を行うことが可能になる。   Similarly, as summarized in FIG. 8, the number of allowable failures is determined by the selection signals (B2, B1, B0), and this makes it possible to perform pass / fail determination with the allowable number of failures set.

更に、選択信号(B2,B1,B0)を順次インクリメントして、どこで出力VOUT=“H”が得られるかを見れば、フェイル数を求めることができる。即ちパス/フェイル検出回路13は、フェイル数カウンタとしても機能する。   Furthermore, the number of failures can be obtained by sequentially incrementing the selection signals (B2, B1, B0) and seeing where the output VOUT = “H” is obtained. That is, the pass / fail detection circuit 13 also functions as a fail number counter.

なお、フェイルビット検出とフェイルカラム検出とは、図4に示すベリファイチェック信号VERCHKを、カラム内の8個のセンスアンプP/Bについて別々に与えるか、同時に与えるかにより選択することができる。即ち、各書き込みサイクルにおいてビット毎ベリファイを行う場合には、ベリファイチェック信号VERCHKをカラム内で一つずつのセンスアンプP/Bに順次与える動作を繰り返す。これにより、ビット単位でパス/フェイルを検出することができる。   The fail bit detection and fail column detection can be selected depending on whether the verify check signal VERCHK shown in FIG. 4 is separately applied to the eight sense amplifiers P / B in the column or simultaneously. That is, when verifying each bit in each write cycle, the operation of sequentially applying the verify check signal VERCHK to each sense amplifier P / B in the column is repeated. Thereby, a pass / failure can be detected in bit units.

一方、ベリファイチェック信号VERCHKを1カラムの8個のセンスアンプに同時に与えれば、そのカラム内に一つでもフェイルビットがある場合に、検知線COMは“L”となる。これにより、カラムフェイルが検出できる。   On the other hand, if the verify check signal VERCHK is simultaneously applied to eight sense amplifiers in one column, the detection line COM becomes “L” when there is even one fail bit in the column. Thereby, a column failure can be detected.

図9は、この実施の形態でのデータ書き込み制御フローを示している。書き込みコマンド入力により、書き込みモードが設定される。書き込みアドレスを入力し(ステップS1)、続いて1ページの書き込みデータをセンスアンプ回路2にロードすると(ステップS2)、以下、コントローラ10の制御により選択ページへの書き込みが自動的に行われる。   FIG. 9 shows a data write control flow in this embodiment. The write mode is set by inputting the write command. When a write address is input (step S1), and then one page of write data is loaded into the sense amplifier circuit 2 (step S2), writing to the selected page is automatically performed under the control of the controller 10 below.

即ち、選択ページに対応する選択ワード線に書き込み電圧を印加して、書き込みが行われる(ステップS3)。具体的には、書き込みデータ“0”,“1”に応じて、センスアンプ回路2から各選択ビット線を介してNANDセルチャネルにはVss,Vcc−Vth(Vthは選択ゲートトランジスタのしきい値電圧)が与えられる。“1”データ(書き込み禁止)が与えられたNANDセルチャネルは、Vcc−Vthまで上昇してフローティングになる。   That is, writing is performed by applying a write voltage to the selected word line corresponding to the selected page (step S3). Specifically, according to the write data “0”, “1”, Vss, Vcc−Vth (Vth is a threshold value of the selection gate transistor) from the sense amplifier circuit 2 through each selected bit line to the NAND cell channel. Voltage). The NAND cell channel to which “1” data (write inhibit) is applied rises to Vcc−Vth and becomes floating.

この状態で選択ワード線に書き込み電圧が与えられると、“0”書き込みセルでは、浮遊ゲートに電子が注入され、しきい値電圧が正の“0”データが書かれる。“1”書き込みセルではチャネルが電位上昇して、電子注入が生じない。   When a write voltage is applied to the selected word line in this state, in the “0” write cell, electrons are injected into the floating gate and “0” data having a positive threshold voltage is written. In the “1” write cell, the channel rises in potential and no electron injection occurs.

書き込み電圧印加後、書き込みサイクル数が最大値Nmaxに達しているか否かが判断され(ステップS4)、達していなければ書き込みベリファイが行われる(ステップS5)。ベリファイ読み出し結果のパス/フェイル判定は、(B2,B1,B0)=(0,0,0)なる選択信号条件、即ち一つでも書き込不十分なセルがあれば、フェイルと判定する条件下で行う。フェイルの場合は、書き込み電圧をステップアップして(ステップS6)、再度書き込み電圧印加を行う(ステップS3)。   After the write voltage is applied, it is determined whether or not the number of write cycles has reached the maximum value Nmax (step S4), and if not, write verify is performed (step S5). The pass / fail judgment of the verify read result is a selection signal condition of (B2, B1, B0) = (0, 0, 0), that is, a condition for judging as fail if there is even one insufficiently written cell. To do. In the case of a failure, the write voltage is stepped up (step S6), and the write voltage is applied again (step S3).

1ページの書き込み完了が確認されると、書き込みベリファイは“パス”となり、書き込み動作は終了する。書き込みサイクル数が最大値Nmaxに達してなお書き込みが完了していない場合は、書き込み失敗である。このとき、フェイル数検出動作が行われる(ステップS7)。検出されたフェイル数は、チップ外部のホストデバイスに出力される。   When it is confirmed that one page has been written, the write verify is “pass” and the write operation is completed. If the number of write cycles reaches the maximum value Nmax and the write is not yet completed, the write has failed. At this time, a fail number detection operation is performed (step S7). The detected number of failures is output to a host device outside the chip.

以上のデータ書き込み動作において、製品出荷後に発生した書き込み不可の不良(例えばビット線短絡、或いはビット線オープン等)がある場合には、書き込みベリファイがパスせずに、書き込みサイクル数が最大値Nmaxに達するまで書き込みが繰り返されることになる。これでは、後発的な不良が許容される範囲であっても、書き込み時間が長くなって問題である。   In the above data write operation, if there is a non-writeable defect (for example, bit line short circuit or bit line open) that has occurred after product shipment, the write verify is not passed and the number of write cycles reaches the maximum value Nmax. Writing will be repeated until it reaches. This causes a problem that the writing time becomes long even in a range where a late failure is allowed.

そこでこの実施の形態では、後発的なビット線不良を検出するともに、その検出された不良箇所をベリファイ判定の対象から外すようにする。   Therefore, in this embodiment, a subsequent bit line defect is detected, and the detected defective part is excluded from the verification determination target.

図10は、ビット線不良チェックに必要な回路構成を示している。ビット線BLe,BLoはその一端が選択トランジスタQe,Qoを介してセンスアンプP/Bに接続されている。これらのビット線BLe,BLoの他端を、選択トランジスタQa,Qbを介して通常接地の信号線BLCRLに接続する。   FIG. 10 shows a circuit configuration necessary for the bit line defect check. One end of each of the bit lines BLe and BLo is connected to the sense amplifier P / B via the selection transistors Qe and Qo. The other ends of these bit lines BLe and BLo are connected to a normal ground signal line BLCRL via selection transistors Qa and Qb.

図10には、オープン不良とショート不良がある二つのビット線BLeを示している。これらの不良チェックは、特定のコマンドを発行することにより、自動的に行われるようにする。   FIG. 10 shows two bit lines BLe having an open defect and a short defect. These defect checks are automatically performed by issuing a specific command.

図11は、ビット線オープン不良のチェック動作波形を示している。ビット線に接続されているNANDセルユニットは、全て選択ゲートトランジスタがオフの状態を保つ。図11は、偶数番ビット線BLeのチェック動作である。時刻t0で選択信号BLSeに“H”レベルを与え、同時にセンスアンプP/Bのクランプ用トランジスタQ1のゲートBLCLAMPに“H”レベル(=Vcc+Vth)を与え、プリチャージ用トランジスタQ2をオンにする。   FIG. 11 shows a check operation waveform for a bit line open failure. In all NAND cell units connected to the bit lines, the selection gate transistors are kept off. FIG. 11 shows the check operation of the even-numbered bit line BLe. At time t0, “H” level is applied to the selection signal BLSe, and simultaneously, “H” level (= Vcc + Vth) is applied to the gate BLCLAMP of the clamping transistor Q1 of the sense amplifier P / B, and the precharging transistor Q2 is turned on.

これにより、選択ビット線BLeは、Vccまで充電される。BLSe,BLCLAMPを“L”に戻した後、時刻t1で、選択信号BIASeに“H”レベルを与えると、正常なビット線BLeは放電される。オープン不良のビット線は、少なくともその不良個所よりセンスアンプ側が放電されず、破線で示すように“H”レベルを保つ。   As a result, the selected bit line BLe is charged up to Vcc. After returning BLSe and BLCLAMP to “L”, if the “H” level is applied to the selection signal BIASe at time t1, the normal bit line BLe is discharged. An open defective bit line is not discharged at least from the defective portion, and maintains an “H” level as indicated by a broken line.

一定のビット線放電動作の後、時刻t2でクランプ用トランジスタQ1のゲートBLCLAMPにセンス用電圧Vsen+Vthを与えて、ビット線BLeの“H”,“L”を検出する。これにより、オープン不良ビット線を検出できる。奇数番ビット線BLoのチェックも同様に可能である。   After a certain bit line discharge operation, the sense voltage Vsen + Vth is applied to the gate BLCLAMP of the clamping transistor Q1 at time t2 to detect “H” and “L” of the bit line BLe. Thereby, an open defective bit line can be detected. It is possible to check the odd-numbered bit line BLo as well.

図12は、ビット線ショート不良のチェック動作を、偶数番ビット線BLeを選択した場合について示している。時刻t0で選択信号BLSeに“H”レベルを与え、同時にセンスアンプP/Bのクランプ用トランジスタQ1のゲートBLCLAMPに“H”レベル(=Vcc+Vth)を与え、プリチャージ用トランジスタQ2をオンにする。これにより、ビット線BLeは正常であれば、Vccに充電され、ショート不良があれば、破線で示すように充電されない。   FIG. 12 shows the bit line short circuit check operation for the case where the even-numbered bit line BLe is selected. At time t0, “H” level is applied to the selection signal BLSe, and simultaneously, “H” level (= Vcc + Vth) is applied to the gate BLCLAMP of the clamping transistor Q1 of the sense amplifier P / B, and the precharging transistor Q2 is turned on. Thus, if the bit line BLe is normal, it is charged to Vcc, and if there is a short circuit, it is not charged as shown by the broken line.

BLSe,BCLAMPを“L”にした後、時刻t1でクランプ用トランジスタQ1のゲートBLCLAMPにセンス用電圧Vsen+Vthを与えて、ビット線BLeの“H”,“L”を検出する。これにより、ビット線ショート不良を検出できる。   After BLSe and BCLAMP are set to “L”, a sense voltage Vsen + Vth is applied to the gate BLCLAMP of the clamping transistor Q1 at time t1 to detect “H” and “L” of the bit line BLe. Thereby, a bit line short circuit defect can be detected.

以上のようにして検出される新たなカラム不良について、これをベリファイ判定対象から外すために、コマンド入力により不良カラム切り離しデータの書き込みを行う。即ち図13に示すように、所定のコマンドを入力し、続いて検出された不良カラムアドレスを入力する(ステップS21)。これにより、選択されたカラムのベリファイ判定回路31において、カラム選択信号CSLが“H”、コントローラ10からの制御信号FCENが“H”になり、データラッチ35には、N21=“L”,N22=“H”となる不良カラム切り離しデータが書かれる(ステップS22)。   In order to remove the new column defect detected as described above from the verification determination target, the defective column separation data is written by command input. That is, as shown in FIG. 13, a predetermined command is input, and subsequently the detected defective column address is input (step S21). As a result, in the verify determination circuit 31 of the selected column, the column selection signal CSL becomes “H”, the control signal FCEN from the controller 10 becomes “H”, and the data latch 35 has N21 = “L”, N22. The defective column separation data that becomes = “H” is written (step S22).

これにより、後発的な不良に起因して書き込み時間が長くなるという事態を回避することが可能になる。なお、フェイル数をカウントする場合、例えば許容フェイル数8とすると、選択信号B0〜B2の全ての組み合わせのスキャンが必要となり、それだけ時間がかかる。新たに見いだされた不良カラムを上述のようにベリファイ判定対象から外すという処置を行った場合には、その分許容フェイル数を減らすことが好ましい。これにより、フェイル数カウントの時間が短くなり、トータルのデータ書き込み時間を短縮することができる。   As a result, it is possible to avoid a situation in which the writing time becomes long due to a late failure. When counting the number of failures, for example, if the allowable number of failures is 8, it is necessary to scan all combinations of the selection signals B0 to B2, which takes much time. When a new defective column is removed from the verification determination target as described above, it is preferable to reduce the number of allowable failures accordingly. Thereby, the time for counting the number of failures is shortened, and the total data writing time can be shortened.

新たに見いだされた不良カラムについて、切り離しデータを書き込むことなく、書き込み時間を効果的に短縮する手法もある。その様な手法を用いた書き込み制御シーケンスを図14に示す。   There is also a method for effectively shortening the writing time without newly writing the separated data for the newly found defective column. FIG. 14 shows a write control sequence using such a method.

所定のコマンドを入力することで、書き込み制御が開始される。コマンドに引き続き、アドレスを入力し(ステップS11)、続いて書き込みデータをロードする(ステップS12)。ここまでは先の書き込みの場合と同じであり、以下コントローラ10により制御されて自動的に書き込み動作が行われる。   By inputting a predetermined command, write control is started. Following the command, an address is input (step S11), and then write data is loaded (step S12). The process up to this point is the same as that in the previous writing, and the writing operation is automatically performed under the control of the controller 10 below.

ここでは、書き込みステップS13のバックグラウンドにおいて、前サイクルのベリファイ読み出しデータに基づいてベリファイ判定(パス/フェイル判定)を行う。具体的に説明すれば、書き込み電圧を印加するには、書き込み禁止のビット線及び非選択ビット線を充電する時間が必要である。この書き込み電圧印加の準備期間内に、パス/フェイル判定を行う。“パス”の判定が出れば、書き込み電圧を印加することなく、書き込みを終了する。   Here, verify determination (pass / fail determination) is performed based on the verify read data of the previous cycle in the background of the write step S13. Specifically, in order to apply the write voltage, it takes time to charge the write-inhibited bit line and the non-selected bit line. Pass / fail judgment is performed within the preparation period for applying the write voltage. If the “pass” determination is made, the writing is terminated without applying the writing voltage.

但し、最初の書き込みサイクルでは、センスアンプ回路が保持しているのは、前サイクルのベリファイ読み出しデータではなく、書き込みデータそのものであり、これに基づいてパス/フェイル判定を行うことになるから、“フェイル”となる。“フェイル”の場合には、書き込み電圧印加後、ベリファイ読み出しを行う(ステップS14)。   However, in the first write cycle, the sense amplifier circuit holds the write data itself, not the verify read data of the previous cycle. Based on this, the pass / fail judgment is performed. "Fail". In the case of “fail”, verify read is performed after the write voltage is applied (step S14).

次いで、書き込みサイクル数Nが最大値Nmaxに達したか否かの判定を行い(ステップS15)、最大値に達していなければ、書き込み電圧をステップアップして(ステップS16)、再度書き込みを行う(ステップS13)。書き込みサイクル数が最大値Nmaxに達したら、フェイル数カウントを行って(ステップS17)、書き込みを終了する。   Next, it is determined whether or not the number N of write cycles has reached the maximum value Nmax (step S15). If it has not reached the maximum value, the write voltage is stepped up (step S16) and writing is performed again (step S16). Step S13). When the number of write cycles reaches the maximum value Nmax, the number of failures is counted (step S17), and the write is terminated.

書き込みステップS13でのパス/ファイル判定は、新たに見いだされた不良カラムがない場合には、1ビットの書き込み不十分で“フェイル”を出力するようにする。不良カラムが見いだされた場合には、パス/フェイル判定回路13において不良カラム数を許容フェイル数と設定した動作となる。例えば、不良カラム数が4個であれば、選択信号(B2,B1,B0)=(1,0,0)の条件でパス/ファイル判定を行うことになる。図8で説明したように、この条件では、フェイル数が5以上で初めて、VOUT=“H”(フェイル)となる。   In the pass / file determination in the writing step S13, if there is no newly found defective column, “fail” is output due to insufficient writing of 1 bit. When a defective column is found, the pass / fail judgment circuit 13 sets the number of defective columns as the allowable number of failures. For example, if the number of defective columns is 4, the path / file determination is performed under the condition of the selection signal (B2, B1, B0) = (1, 0, 0). As described with reference to FIG. 8, under this condition, VOUT = “H” (fail) only when the number of failures is 5 or more.

この不良カラム許容のパス/フェイル判定は、不良カラムを許容しないそれ(即ち一つでもフェイルがあれば、“フェイル”とする)に比べると、時間がかかる。しかし、この判定を書き込みステップのバックグラウンドで行うことによって、全体として書き込み時間を短いものとすることができる。   This pass / fail judgment for accepting a defective column takes time compared to that for not permitting a defective column (that is, if there is at least one fail). However, by making this determination in the background of the writing step, the writing time can be shortened as a whole.

なお、許容フェイル数のデータは、例えばパラメータレジスタ8に保持されていて、これによりパス/フェイル判定の制御が行われるものとする。出荷後に不良が見つかって、この許容フェイル数を変更する場合には、特定のコマンドを入力して、このパラメータレジスタ8が保持する許容フェイル数データを書き換えることになる。   Note that the data of the allowable number of failures is held in, for example, the parameter register 8 and the pass / fail judgment control is performed thereby. When a defect is found after shipment and the allowable fail number is changed, a specific command is input to rewrite the allowable fail number data held in the parameter register 8.

また、フェイル数カウントのステップS17においても、新たに見いだされたカラム不良数に応じて、許容フェイル数を通常より増やすことが好ましい。   Also in step S17 for counting the number of failures, it is preferable to increase the number of allowable failures more than usual in accordance with the number of newly found column defects.

ここまでは、データ書き込みを専ら説明したが、データ消去についてもこの発明により効果が得られる。データ消去は通常ブロック単位で行われ、消去電圧の印加と消去ベリファイとが繰り返される。消去ベリファイ読み出しは、書き込みの場合とバイアス条件は異なるが、基本的な方式は同様であり、センスアンプ回路によりビット線の充電又は放電状態を検出することにより行われる。従って、上述のパス/フェイル検出回路13により、消去ベリファイの判定が可能である。この場合、書き込み完了検出回路31は消去完了検出回路として機能する。   Up to this point, the data writing has been described exclusively. However, the present invention can also provide an effect for erasing data. Data erasure is usually performed in units of blocks, and application of an erase voltage and erase verification are repeated. The erase verify read is different in the bias conditions from the write, but the basic method is the same, and is performed by detecting the charge or discharge state of the bit line by the sense amplifier circuit. Therefore, the above-mentioned pass / fail detection circuit 13 can determine the erase verify. In this case, the write completion detection circuit 31 functions as an erase completion detection circuit.

ビット線オープンやショートの不良が発生すると、“パス”の判定が得られず、消去サイクルが設定最大値まで繰り返されることになり、消去時間が長くなる。これも書き込みの場合と同様である。従って、出荷後に発生した不良について、不良カラム切り離しデータを書き込むことによって、消去時間の短縮が図られることになる。   When a bit line open or short failure occurs, the “pass” determination cannot be obtained, and the erase cycle is repeated up to the set maximum value, resulting in a long erase time. This is the same as the case of writing. Therefore, the erasure time can be shortened by writing defective column separation data for defects that occur after shipment.

この発明の実施の形態によるフラッシュメモリの機能ブロック構成を示す図である。It is a figure which shows the functional block structure of the flash memory by embodiment of this invention. 同フラッシュメモリのメモリセルアレイの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the memory cell array of the flash memory. ビット線を共有するセンスアンプ配置例を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an arrangement example of sense amplifiers sharing a bit line. 同フラッシュメモリのセンスアンプ回路の構成を示す図である。2 is a diagram showing a configuration of a sense amplifier circuit of the flash memory. FIG. センスアンプ回路に接続されるベリファイ判定のための検知線配置例を示す図である。It is a figure which shows the example of a detection line arrangement | positioning for the verify determination connected to a sense amplifier circuit. 同フラッシュメモリのパス/フェイル検出回路の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the pass / failure detection circuit of the flash memory. 同パス/フェイル検出回路の書き込み完了検出回路の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the write completion detection circuit of the same pass / failure detection circuit. 同パス/フェイル検出回路のフェイル検出原理を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the failure detection principle of the same pass / failure detection circuit. 同フラッシュメモリの書き込みシーケンスを示す図である。It is a figure which shows the write-in sequence of the flash memory. 同フラッシュメモリのビット線不良検出法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the bit-line defect detection method of the flash memory. ビット線オープン不良を検出するための動作波形を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement waveform for detecting a bit line open defect. ビット線ショート不良を検出するための動作波形を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement waveform for detecting a bit line short defect. 不良カラム切り離しデータ書き込みのフローを示す図である。It is a figure which shows the flow of defective column isolation | separation data writing. 他の書き込みシーケンスを示す図である。It is a figure which shows another write sequence.

符号の説明Explanation of symbols

1…メモリセルアレイ、2…センスアンプ回路、3…ロウデコーダ、4…カラムデコーダ、5…アドレスレジスタ、6…入出力バッファ、7…アドレス一致検出回路、8…パラメータレジスタ、9…内部電圧発生回路、10…コントローラ、11…パワーオンリセット回路、12…ステータスレジスタ、13…パス/フェイル検出回路、31…書き込み完了検出回路、32…許容フェイル数設定回路、32a−32d…電流源回路、33…カレントミラー回路、35…電圧検出ノード、37…出力回路、35…不良カラム切り離しデータラッチ、36…電流源回路、COMi…第1の検知線、LSEN…第2の検知線。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Memory cell array, 2 ... Sense amplifier circuit, 3 ... Row decoder, 4 ... Column decoder, 5 ... Address register, 6 ... Input / output buffer, 7 ... Address coincidence detection circuit, 8 ... Parameter register, 9 ... Internal voltage generation circuit DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Controller, 11 ... Power-on reset circuit, 12 ... Status register, 13 ... Pass / fail detection circuit, 31 ... Write completion detection circuit, 32 ... Permissible fail number setting circuit, 32a-32d ... Current source circuit, 33 ... Current mirror circuit, 35 ... voltage detection node, 37 ... output circuit, 35 ... defective column separation data latch, 36 ... current source circuit, COMi ... first detection line, LSEN ... second detection line.

Claims (5)

電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのデータ読み出しを行うセンスアンプ回路と、
書き込みまたは消去時に前記センスアンプ回路が保持するベリファイ読み出しデータに基づいて書き込みまたは消去完了を検出するためのパス/フェイル検出回路とを備え、
前記パス/フェイル検出回路は、コマンド入力に従って不良カラム切り離しデータが書き込み可能に構成されたデータラッチを有する
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
A memory cell array having electrically rewritable nonvolatile memory cells;
A sense amplifier circuit for reading data from the memory cell array;
A pass / fail detection circuit for detecting write or erase completion based on verify read data held by the sense amplifier circuit at the time of writing or erasing;
The non-volatile semiconductor memory device, wherein the pass / fail detection circuit has a data latch configured to be able to write defective column separation data in accordance with a command input.
電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのデータ読み出しを行うセンスアンプ回路と、
書き込みまたは消去時に前記センスアンプ回路が保持するベリファイ読み出しデータに基づいて書き込みまたは消去完了を検出するためのパス/フェイル検出回路とを備え、
前記パス/フェイル検出回路は、
前記センスアンプ回路内のカラム毎に配置されてパス/フェイル判定時にレベル遷移する複数の第1の検知線と、
各第1の検知線のレベル遷移を応じて所定の電流を流すように構成された、書き込みまたは消去完了を検出するための複数の完了検出回路と、
これらの完了検出回路の出力に共通接続された、各完了検出回路の電流の総和の電流が流れる第2の検知線と、
許容フェイル数に応じた参照電流を設定可能な複数の電流源回路が設けられた許容フェイル数設定回路と、
前記第2の検知線に流れる電流と前記許容フェイル数設定回路で設定された参照電流を比較して、パス/フェイル信号を出力する比較回路と、
不良カラム切り離しデータを保持するために前記各完了検出回路に接続された、コマンド入力に従って書き込み可能に構成されたデータラッチとを有する
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
A memory cell array having electrically rewritable nonvolatile memory cells;
A sense amplifier circuit for reading data from the memory cell array;
A pass / fail detection circuit for detecting write or erase completion based on verify read data held by the sense amplifier circuit at the time of writing or erasing;
The pass / fail detection circuit includes:
A plurality of first detection lines that are arranged for each column in the sense amplifier circuit and that undergo a level transition at the time of pass / fail judgment;
A plurality of completion detection circuits configured to flow a predetermined current in response to level transition of each first detection line, for detecting completion of writing or erasing;
A second detection line connected in common to the outputs of the completion detection circuits, and through which a total current of the currents of the completion detection circuits flows,
An allowable fail number setting circuit provided with a plurality of current source circuits capable of setting a reference current according to the allowable fail number;
A comparison circuit that compares the current flowing through the second detection line with the reference current set by the allowable fail number setting circuit and outputs a pass / fail signal;
A non-volatile semiconductor memory device comprising: a data latch connected to each of the completion detection circuits and configured to be writable in accordance with a command input in order to hold defective column separation data.
コマンド入力に従って、前記メモリセルアレイのビット線の充放電動作を行わせて、前記センスアンプ回路によりビット線のオープン又はショートを検出する不良ビット線検出モードを有する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の不揮発性半導体記憶装置。
3. A defective bit line detection mode in which a bit line of the memory cell array is charged / discharged in accordance with a command input and the sense amplifier circuit detects an open or short of the bit line. The nonvolatile semiconductor memory device described.
電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのデータ読み出しを行うセンスアンプ回路と、
書き込みまたは消去時に前記センスアンプ回路が保持するベリファイ読み出しデータに基づいて書き込みまたは消去完了を検出するためのパス/フェイル検出回路と、
書き込みと書き込みベリファイとを繰り返す書き込みシーケンス制御を行うと共に、書き込みステップ内で前記パス/フェイル検出回路によりベリファイ判定動作を行わせるようにしたコントローラと、
を有することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
A memory cell array having electrically rewritable nonvolatile memory cells;
A sense amplifier circuit for reading data from the memory cell array;
A pass / fail detection circuit for detecting completion of writing or erasing based on verify read data held by the sense amplifier circuit at the time of writing or erasing;
A controller that performs write sequence control that repeats write and write verify, and performs a verify determination operation by the pass / fail detection circuit in a write step;
A non-volatile semiconductor memory device comprising:
コマンド入力に従って、前記メモリセルアレイのビット線の充放電動作を行わせて、前記センスアンプ回路によりビット線のオープン又はショートを検出する不良ビット線検出モードを有し、その検出結果に従って前記パス/フェイル検出回路での許容フェイル数が設定される
ことを特徴とする請求項4記載の不揮発性半導体記憶装置。
In accordance with a command input, the memory cell array has a defective bit line detection mode in which the bit line of the memory cell array is charged and discharged, and the sense amplifier circuit detects an open or short of the bit line. 5. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 4, wherein an allowable number of failures in the detection circuit is set.
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