JP2006078713A - Work identification information reading device and method - Google Patents

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Toshinori Sugiyama
敏教 杉山
Hironori Katayanagi
浩則 片柳
Shoji Tsuyuki
章司 露木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work identification information reading device and method with which the individual identification information of a work, such as an MR head, can be efficiently read through an image via a camera. <P>SOLUTION: The reading device includes: an objective lens disposed opposite to a face on which individual work identification information is carved; an image forming lens for forming a video of a slider onto the image forming face of a camera by receiving light from the objective lens; and a glass plate having a prescribed thickness, which is inserted/pulled in/from an optical path between the camera and the image forming lens. By the inserting/pulling of the glass plate, the imaged position in the direction of the focus depth of the objective lens is moved so that the image of the work is positioned within a focal range that allows imaging by the camera. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、ワークの識別情報読取装置および読取方法に関し、詳しくは、MRヘッドのヘッドスライダに刻まれた製造番号等の個別識別情報をカメラを介して効率よく画像にて読取ることが可能な磁気ヘッドの識別情報読取装置および読取方法に関する。   The present invention relates to a workpiece identification information reading apparatus and reading method, and more specifically, a magnetic that can efficiently read individual identification information such as a serial number engraved on a head slider of an MR head via an image. The present invention relates to a head identification information reading device and a reading method.

ハードディスク装置の磁気ヘッドは、近年、その読出側にMRヘッド、GMRヘッド,TMRヘッドなどを組込んだ複合磁気ヘッドが用いられている。その記録密度は、十数ギガ/インチと向上の一途を辿っていて、そのトラック数も10,000/インチ以上にもなる。しかも、トラック数は増加し、その幅は狭くなる一方である。そのため、MRヘッドのヘッドスライダも小さくなり、その幅は、1mm以下になってきている(特許文献1)。
磁気ヘッドを検査する検査装置では、磁気ヘッド対応に検査データを管理しなければならないため、検査対象となる磁気ヘッドについて個別の識別番号が必要になる。
従来、スライダの幅方向の側面に刻まれた製造番号は、エッジング等により形成され、比較的大きなポイントの文字(数字,記号)が用いられているので、オートフォーカス処理を行うことなく、焦点深度が大きな光学系を介してカメラで読取り、画像処理で読取画像から製造番号を得て、製造番号をデータ化している。
なお、この種の検査で使用されるオートフォーカス装置の一例として特許文献2が知られている。
特開2000−90617号公報 特開2003−66341号公報
In recent years, a composite magnetic head in which an MR head, a GMR head, a TMR head or the like is incorporated on the reading side is used as a magnetic head of a hard disk device. The recording density is steadily increasing to more than a dozen giga / inch, and the number of tracks becomes 10,000 / inch or more. Moreover, the number of tracks is increasing and the width is becoming narrower. For this reason, the head slider of the MR head has also become smaller, and its width has become 1 mm or less (Patent Document 1).
In an inspection apparatus for inspecting a magnetic head, inspection data must be managed in correspondence with the magnetic head, and therefore an individual identification number is required for the magnetic head to be inspected.
Conventionally, the serial number engraved on the side surface of the slider in the width direction is formed by edging or the like, and relatively large point characters (numbers and symbols) are used. Is read by a camera through a large optical system, and a manufacturing number is obtained from the read image by image processing, and the manufacturing number is converted into data.
Patent Document 2 is known as an example of an autofocus device used in this type of inspection.
JP 2000-90617 A JP 2003-66341 A

GMRヘッドでは、製造番号を記載するスライダの側面には信号線接続のためのパッドが設けられているので、製造番号の領域の幅が数百μm程度となり、たとえ光学系の倍率を高くしたとしても、読取装置に対する磁気ヘッドの取付けばらつきやサイズばらつきにより、フォーカス範囲を超え、従来の固定フォーカスの光学系で画像を読取ることが難しくなってきている。
オートフォーカス装置を設けてスライダの側面に刻まれた製造番号を読取ることは可能であるが、フォーカス処理が完了するまでの時間が必要であり、即座に識別番号解析(製造番号解析)に入る訳にはいかないため、読取効率が低下する問題がある。その上、オートフォーカス装置を導入すると、検査装置の価格が高くなり、装置が大型化する欠点がある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、MRヘッド等のワークの個別識別情報をカメラを介して効率よく画像にて読取ることが可能なワークの識別情報読取装置および読取方法を提供することにある。
In the GMR head, since the pad for connecting the signal line is provided on the side surface of the slider on which the production number is written, the width of the production number region is about several hundred μm, even if the magnification of the optical system is increased. However, due to mounting variation and size variation of the magnetic head with respect to the reading device, it has become difficult to read an image with a conventional fixed focus optical system that exceeds the focus range.
Although it is possible to read the serial number carved on the side of the slider with an autofocus device, it takes time to complete the focusing process, and it immediately enters identification number analysis (serial number analysis). Therefore, there is a problem that the reading efficiency is lowered. In addition, when an autofocus device is introduced, there is a drawback that the price of the inspection device increases and the size of the device increases.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and identification information of a work that can efficiently read individual identification information of a work such as an MR head with an image via a camera. To provide a reading device and a reading method.

このような目的を達成するためのこの発明のワークの識別情報読取装置および読取方法の特徴は、ヘッドスライダ等のワークに刻まれた個別識別情報をカメラを介して画像にて読取るワークの識別情報読取装置において、
ワークの個別識別情報が刻まれた面に対峙する対物レンズと、この対物レンズからの光を受けてカメラの結像面にスライダの映像を結像させる結像レンズと、カメラと結像レンズとの間の光路に挿抜される所定の厚さのガラス板とを備えていて、カメラが撮像できる焦点範囲にワークの映像が入るようにガラス板の挿抜により対物レンズの焦点深度の方向に撮像する映像の位置を移動させるものである。
In order to achieve such an object, the feature of the workpiece identification information reading apparatus and reading method of the present invention is that the identification information of the workpiece for reading the individual identification information engraved on the workpiece such as the head slider as an image through the camera. In the reading device,
An objective lens facing the surface on which the individual identification information of the workpiece is engraved, an imaging lens that receives light from the objective lens and forms an image of the slider on the imaging surface of the camera, a camera and an imaging lens, And a glass plate of a predetermined thickness inserted into and removed from the optical path between the two, and imaged in the direction of the depth of focus of the objective lens by inserting and removing the glass plate so that the image of the work enters the focal range that can be imaged by the camera The position of the image is moved.

このように、この発明にあっては、カメラ(撮像部)と結像レンズとの間の光路にガラス板を挿入しあるいは挿入したガラス板を抜去することにより、カメラの撮像可能な焦点範囲に入るように対物レンズの焦点深度の方向にワークの映像の位置を前後に移動させることで、カメラの焦点距離を変更することなく、カメラのフォーカス範囲を等価的に対物レンズの焦点深度の方向に選択的に拡大する。これにより、読取装置に対するワーク(磁気ヘッド)の取付けばらつきやサイズばらつきがあってその位置が微少にずれていてもガラス板の挿抜で画像読取ができるようになる。
その結果、オートフォーカス装置を導入しなくてもヘッドスライダ等のワークに刻まれた微小な製造番号等の個別識別情報をカメラを介して画像にて読取ることができる。特に、MRヘッド(GMRヘッド,TMRヘッドを含む。)等の磁気ヘッドの個別識別情報をカメラを介して効率よく画像にて読取ることが可能になる。
As described above, according to the present invention, the glass plate is inserted into the optical path between the camera (imaging unit) and the imaging lens, or the inserted glass plate is removed, so that the camera can take a focus range. By moving the position of the workpiece image back and forth in the direction of the focal depth of the objective lens so that it enters the camera, the focus range of the camera is equivalent to the direction of the focal depth of the objective lens without changing the focal length of the camera. Selectively enlarge. As a result, even if there is a variation in the attachment or size of the work (magnetic head) with respect to the reading device and the position is slightly displaced, the image can be read by inserting and removing the glass plate.
As a result, individual identification information such as a minute serial number engraved on a work such as a head slider can be read as an image via a camera without introducing an autofocus device. In particular, individual identification information of a magnetic head such as an MR head (including a GMR head and a TMR head) can be efficiently read as an image via a camera.

図1は、この発明のワークの識別情報読取装置を適用した一実施例の磁気ヘッドのヘッド製造番号読取ステージの説明図、図2は、ヘッドスライダの説明図、そして図3は、ガラス板の挿抜状態と撮像系のフォーカス範囲の移動位置との関係の説明図である。
図1において、10は、ヘッド製造番号読取ステージであって、11は、読取対象となる磁気ヘッド(ワーク)である。
1は、ヘッド製造番号読取ステージ10のベースであって、撮像光学系2は、全体が円筒形のものであって、磁気ヘッド11に対峙する前部に対物レンズ管3、そして照明プリズム管4と続き、後部にカメラ取付けブロックを持つ結像管5が装着されている。
撮像光学系2は、照明プリズム管4に設けられたブラケット2aを介してベース1上に固定されている。対物レンズ管3には10倍〜20倍程度の倍率の対物レンズ3aと絞り機構3bとが内蔵され、照明プリズム管4には、照明光を対物レンズ方向へ反射して磁気ヘッド11のスライダ12a(図2(b)参照)からの反射光(映像)を結像管5へと透過させる照明プリズム(あるいはハーフミラー)4aが装着されている。
結像管5は、内部に結像レンズ5aを有し、2枚のガラス板71,72(図3(a)参照)が装填される装填窓5b,5cがその後ろに設けられ、照明プリズム管4の嵌合筒4bにおいて嵌合固定され、照明プリズム管4を介してベース2に固定されている。
CCDカメラ6は、結像管5の後部に結合し、固定されている。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a head serial number reading stage of a magnetic head according to an embodiment to which a workpiece identification information reader of the present invention is applied, FIG. 2 is an explanatory diagram of a head slider, and FIG. It is explanatory drawing of the relationship between the insertion / extraction state and the movement position of the focus range of an imaging system.
In FIG. 1, 10 is a head manufacturing number reading stage, and 11 is a magnetic head (work) to be read.
Reference numeral 1 denotes a base of a head manufacturing number reading stage 10, and the imaging optical system 2 is entirely cylindrical, and has an objective lens tube 3 and an illumination prism tube 4 in front of the magnetic head 11. The imaging tube 5 having a camera mounting block at the rear is attached.
The imaging optical system 2 is fixed on the base 1 via a bracket 2 a provided on the illumination prism tube 4. The objective lens tube 3 includes an objective lens 3a having a magnification of about 10 to 20 times and a diaphragm mechanism 3b. The illumination prism tube 4 reflects illumination light in the direction of the objective lens to slide the slider 12a of the magnetic head 11. An illumination prism (or half mirror) 4a that transmits reflected light (image) from (see FIG. 2B) to the imaging tube 5 is mounted.
The imaging tube 5 has an imaging lens 5a inside, and loading windows 5b and 5c in which two glass plates 71 and 72 (see FIG. 3A) are loaded are provided behind the illumination tube 5 and an illumination prism. The tube 4 is fitted and fixed in the fitting cylinder 4 b and is fixed to the base 2 via the illumination prism tube 4.
The CCD camera 6 is coupled and fixed to the rear part of the imaging tube 5.

7は、焦点範囲切換機構であり、ガラス板71,72と、これらガラス板を撮像光学系2の光路に対して進退させる進退駆動シリンダ71a,72a、そして駆動回路73とからなる。進退駆動シリンダ71a,72aは、それぞれガラス板71,72を装填窓5b,5cを介して撮像光学系2の結像レンズ5aの後ろの光路において進退させて光路上に装填または光路上から待避させる。これらは、撮像光学系2に隣接して設けられ、駆動回路73の駆動に応じてガラス板71,72をそれぞれ進退駆動する。なお、駆動回路73は、画像処理・制御装置74により制御される。
画像処理・制御装置74は、MPU75、メモリ76、画像メモリ77、インタフェース78等から構成され、相互にこれらがバス接続され、所定の固定閾値で二値化回路79を介してCCDカメラ6から1フレーム分の画像を二値化された状態で採取して画像メモリ77に記憶する。
8は、照明プリズム管4に結合される照明光源である。
9は、読取対象となる磁気ヘッド(ワーク)11をねじにて着脱可能に取付固定する磁気ヘッド固定台であって、その足の部分9aがベース1に固定されている。磁気ヘッド固定台9は、スライダ側面12a(図2(b)参照)を対物レンズ3aに対峙させて対物レンズ管3から所定の距離、例えば、45mm程度離れた位置に配置されている。
Reference numeral 7 denotes a focal range switching mechanism, which includes glass plates 71 and 72, advance / retreat drive cylinders 71 a and 72 a that advance and retract these glass plates with respect to the optical path of the imaging optical system 2, and a drive circuit 73. The advancing / retreating cylinders 71a and 72a advance or retract the glass plates 71 and 72 in the optical path behind the imaging lens 5a of the imaging optical system 2 through the loading windows 5b and 5c, respectively, and load or retract from the optical path. . These are provided adjacent to the imaging optical system 2 and drive the glass plates 71 and 72 forward and backward according to the drive of the drive circuit 73, respectively. The drive circuit 73 is controlled by the image processing / control device 74.
The image processing / control device 74 includes an MPU 75, a memory 76, an image memory 77, an interface 78, etc., which are connected to each other by a bus, and are connected to the CCD camera 6 through the binarization circuit 79 with a predetermined fixed threshold. The image for the frame is collected in a binarized state and stored in the image memory 77.
An illumination light source 8 is coupled to the illumination prism tube 4.
Reference numeral 9 denotes a magnetic head fixing base that detachably attaches and fixes a magnetic head (work) 11 to be read with a screw, and a foot portion 9 a thereof is fixed to the base 1. The magnetic head fixing base 9 is disposed at a predetermined distance, for example, about 45 mm away from the objective lens tube 3 with the slider side surface 12a (see FIG. 2B) facing the objective lens 3a.

図2は、ヘッドスライダの説明図であって、図2(a)は、検査対象となる磁気ヘッド11の説明図である。製造番号が読取られる磁気ヘッド11は、スライダ12がジンバルスプリング13に取り付けられ、パッド12b(図2(a)参照)に配線が施され、ヘッドアッセンブリとなっている。
14は、パッド12bに接続されたフレキシブルリード配線である。
図2(b)は、そのスライダ12の説明図であり、スライダ12には、磁気ヘッド本体(ヘッド素子部)11aが形成され、エアベアリング面12cが設けられている。そして、スライダ側面12aには、磁気ヘッド本体(ヘッド素子部)11aと外部との電気的な接続を取るための4個のパッド12bが設けられている。
図2(c)は、スライダ側面12aの部分説明図であり、4個のパッド12bの端部に製造番号刻印領域12dが2段に設けられている。この領域に製造番号が英数あるいは記号でエッジングにより刻印されている。1段の領域の幅は、100μm程度であり、その高さが25μm程度であって、1段の領域に5乃至6文字がエッジングにより形成され、2段で文字数が10乃至12文字とされる。
FIG. 2 is an explanatory diagram of the head slider, and FIG. 2A is an explanatory diagram of the magnetic head 11 to be inspected. The magnetic head 11 from which the production number is read has a slider 12 attached to a gimbal spring 13 and a wiring provided to a pad 12b (see FIG. 2A) to form a head assembly.
Reference numeral 14 denotes a flexible lead wiring connected to the pad 12b.
FIG. 2B is an explanatory diagram of the slider 12. The slider 12 has a magnetic head main body (head element portion) 11a and an air bearing surface 12c. The slider side surface 12a is provided with four pads 12b for establishing electrical connection between the magnetic head body (head element portion) 11a and the outside.
FIG. 2 (c) is a partial explanatory view of the slider side surface 12a. Manufacturing number marking regions 12d are provided in two stages at the ends of the four pads 12b. In this area, the serial number is stamped by edging with alphanumeric characters or symbols. The width of one step area is about 100 μm, the height is about 25 μm, 5 to 6 characters are formed by edging in one step area, and the number of characters is 10 to 12 characters in two steps. .

図3は、ガラス板の挿抜状態とカメラのフォーカス範囲の移動位置との関係の説明図である。
ガラス板71,72は、厚さが異なる矩形のガラス板であり、図3(a)に示すように、ガラス板71の厚さが10mm、ガラス板72の厚さが20mmである。これらそれぞれは、図1の装填窓5b,5cを介して撮像光学系2の結像管5の部分に装填される。
ガラス板71,72が装填される光路は、結像レンズ5aの後ろ側でCCDカメラ6との間である。結像レンズ5aの後ろ側の位置では、結像レンズ5aにより光線がCCDカメラ6の結像面に向かって斜めになり、結像面に集束される。そこで、ここに、空気の屈折率1に対して屈折率1.5のガラス板が入ると光線の傾斜角が大きくなり、対物レンズ3aからCCDカメラ6に入る映像の位置が前に移動する。それによりCCDカメラ6の焦点範囲(フォーカス範囲)に入る映像の位置が前にずれる。そのずれ量は、ガラス板71,72の厚さに応じて決定される。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the relationship between the insertion / extraction state of the glass plate and the movement position of the focus range of the camera.
The glass plates 71 and 72 are rectangular glass plates having different thicknesses. As shown in FIG. 3A, the glass plate 71 has a thickness of 10 mm and the glass plate 72 has a thickness of 20 mm. Each of these is loaded into the imaging tube 5 portion of the imaging optical system 2 via the loading windows 5b and 5c of FIG.
The optical path on which the glass plates 71 and 72 are loaded is between the CCD camera 6 and the rear side of the imaging lens 5a. At a position behind the imaging lens 5a, the imaging lens 5a causes the light beam to become oblique toward the imaging surface of the CCD camera 6 and is focused on the imaging surface. Therefore, when a glass plate having a refractive index of 1.5 with respect to the refractive index of air 1 enters here, the inclination angle of the light beam increases, and the position of the image entering the CCD camera 6 from the objective lens 3a moves forward. As a result, the position of the image that falls within the focus range (focus range) of the CCD camera 6 is shifted forward. The amount of deviation is determined according to the thickness of the glass plates 71 and 72.

そこで、図3(b)に示すSの位置を磁気ヘッド固定台9に取付けられた磁気ヘッド11の基準位置(スライダ側面12aの位置)とする。ここでは、光路にガラス板が装填されていない状態のときにCCDカメラ6の結像面に対する映像のフォーカス範囲を基準位置Sより奥の位置に設定しておく。すなわち、CCDカメラ6は、撮像光学系2の対物レンズ3a,結像レンズ5a等のレンズ系との関係で光路にガラス板がないときには対物レンズ3aの焦点深度の方向においてそのフォーカス範囲がAの位置に対応するように設定されている。
ここで、図3(a)に示すように、厚さが10mmのガラス板71が撮像光学系2の光路に装填されているときには、結像面に収束する斜めの光がガラス板71を通過し屈折するために、CCDカメラ6のフォーカス範囲に入る映像の位置が手前にシフトして、対物レンズ3aの焦点深度の方向において対物レンズ3aからの磁気ヘッド11(そのスライダ側面12a)の映像の位置を移動させることでCCDカメラ6のフォーカス範囲を等価的に前記の基準位置Sを含むフォーカス範囲Bの位置に移動させる。
このずれ量は、撮像光学系2の対物レンズ3a,結像レンズ5a等の関係で決定され、ここでは33μm程度となる。同様に、ガラス板71が撮像光学系2の光路から抜かれて、厚さ20mmのガラス板72が撮像光学系2の光路に装填されると、さらに厚さの厚いガラス板72を光が通過するためにCCDカメラ6のフォーカス範囲に入る対物レンズ3aからの磁気ヘッド11(そのスライダ側面12a)の映像の位置がさらに移動する。このことでCCDカメラ6のフォーカス範囲を等価的にフォーカス範囲Cの位置に移動させる。このときのずれ量は、66μm程度である。
Therefore, the position S shown in FIG. 3B is set as a reference position (position of the slider side surface 12a) of the magnetic head 11 attached to the magnetic head fixing base 9. Here, the focus range of the image with respect to the imaging surface of the CCD camera 6 is set at a position behind the reference position S when the glass plate is not loaded in the optical path. That is, the CCD camera 6 has a focus range of A in the direction of the focal depth of the objective lens 3a when there is no glass plate in the optical path because of the relationship with the objective lens 3a and the imaging lens 5a of the imaging optical system 2. It is set to correspond to the position.
Here, as shown in FIG. 3A, when a glass plate 71 having a thickness of 10 mm is loaded in the optical path of the imaging optical system 2, oblique light that converges on the imaging plane passes through the glass plate 71. In order to be refracted, the position of the image entering the focus range of the CCD camera 6 is shifted forward, and the image of the image of the magnetic head 11 (its slider side surface 12a) from the objective lens 3a in the direction of the focal depth of the objective lens 3a. By moving the position, the focus range of the CCD camera 6 is equivalently moved to the position of the focus range B including the reference position S.
The amount of deviation is determined by the relationship between the objective lens 3a and the imaging lens 5a of the imaging optical system 2, and is about 33 μm here. Similarly, when the glass plate 71 is removed from the optical path of the imaging optical system 2 and the glass plate 72 having a thickness of 20 mm is loaded into the optical path of the imaging optical system 2, the light passes through the thicker glass plate 72. Therefore, the position of the image of the magnetic head 11 (its slider side surface 12a) from the objective lens 3a that falls within the focus range of the CCD camera 6 further moves. Thus, the focus range of the CCD camera 6 is equivalently moved to the position of the focus range C. The amount of deviation at this time is about 66 μm.

その結果、CCDカメラ6が撮像可能なワークの撮像範囲は、全体でDの範囲となり、CCDカメラ6が選択可能なフォーカス範囲はフォーカス範囲AからフォーカスDまでに拡大される。なお、対物レンズ3a自体の焦点深度は、このDの範囲に相当するか、これ以上に大きいものである。
磁気ヘッド固定台9のベース1における磁気ヘッド11(そのスライダ側面12a)の取付け位置は、ガラス板71が光路に挿入された状態のフォーカス範囲Bの基準位置Sに対応している。また、磁気ヘッド11の取付けばらつきやサイズばらつきは、現在のところ前後20μm程度である。そこで、基準位置Sの位置から撮像対象となる磁気ヘッド(ワーク)11(そのスライダ側面12a)が前後にずれていたとしても、A〜Cのいずれかのフォーカス範囲でスライダ側面12aの撮像が可能である。
As a result, the imaging range of the work that can be captured by the CCD camera 6 is the entire D range, and the focus range that can be selected by the CCD camera 6 is expanded from the focus range A to the focus D. The depth of focus of the objective lens 3a itself corresponds to the range of D or is larger than this.
The mounting position of the magnetic head 11 (its slider side surface 12a) on the base 1 of the magnetic head fixing base 9 corresponds to the reference position S of the focus range B with the glass plate 71 inserted in the optical path. Further, the mounting variation and size variation of the magnetic head 11 are currently about 20 μm before and after. Therefore, even if the magnetic head (workpiece) 11 (the slider side surface 12a) to be imaged is shifted back and forth from the position of the reference position S, the slider side surface 12a can be imaged in any of the focus ranges A to C. It is.

そこで、画像処理・制御装置74は、インタフェース78を介して焦点範囲切換機構7を制御して3枚の画像を採取する。まず、ガラス板71,72が撮像光学系2の光路に装填されていないフォーカス範囲Aの状態でスライダ側面12aについて1枚目の映像を採取して、続いてガラス板71を撮像光学系2の光路に装填してフォーカス範囲Bの状態でスライダ側面12aについて2枚目の映像を採取する。さらに、ガラス板71を撮像光学系2の光路から待避させてガラス板72を撮像光学系2の光路に装填してフォーカス範囲Cの状態でスライダ側面12aについて3枚目の映像を採取する。
そして、採取した3枚の画像から製造番号を解析して所定の桁数として読取れた製造番号を磁気ヘッド11の製造番号としてメモリ76に記憶する(図3(a)参照)。製造番号が読取られた磁気ヘッド11は、パレットの所定の位置に収納されて管理され、磁気ヘッド検査装置等に送られる。
Therefore, the image processing / control device 74 controls the focal range switching mechanism 7 via the interface 78 to collect three images. First, the first image of the slider side surface 12a is sampled in the state of the focus range A in which the glass plates 71 and 72 are not loaded in the optical path of the imaging optical system 2, and then the glass plate 71 is removed from the imaging optical system 2. A second image is taken with respect to the slider side surface 12a in the state of the focus range B after loading in the optical path. Further, the glass plate 71 is retracted from the optical path of the imaging optical system 2 and the glass plate 72 is loaded into the optical path of the imaging optical system 2, and a third image is taken for the slider side surface 12 a in the focus range C.
Then, the manufacturing number is analyzed from the three collected images, and the manufacturing number read as a predetermined number of digits is stored in the memory 76 as the manufacturing number of the magnetic head 11 (see FIG. 3A). The magnetic head 11 from which the serial number has been read is stored and managed at a predetermined position on the pallet, and is sent to a magnetic head inspection device or the like.

画像処理・制御装置74のメモリ76には、画像採取プログラム76aと製造番号解析プログラム76b等とが記憶されている。
画像採取プログラム76aは、MPU75により実行され、MPU75は、進退駆動シリンダ71a,72aを後退駆動して、ガラス板71,72を撮像光学系2の光路から待避させてフォーカス範囲Aの状態でCCDカメラ6を駆動してスライダ側面12aについて1枚目の映像を採取して画像メモリ77の最初の領域に記憶する。次に、進退駆動シリンダ7aを前進駆動してガラス板71を撮像光学系2の光路に装填してフォーカス範囲Bの状態でスライダ側面12aについて2枚目の映像を採取して画像メモリ77の次の領域に記憶する。さらに、進退駆動シリンダ71aを後退駆動してガラス板71を撮像光学系2の光路から待避させ、同時に進退駆動シリンダ72aを前進駆動してガラス板72を撮像光学系2の光路に装填してフォーカス範囲Cの状態でスライダ側面12aについて3枚目の映像を採取して画像メモリ77のその次の領域に記憶する。
The memory 76 of the image processing / control device 74 stores an image collection program 76a, a serial number analysis program 76b, and the like.
The image acquisition program 76a is executed by the MPU 75, and the MPU 75 drives the backward and forward drive cylinders 71a and 72a backward to retract the glass plates 71 and 72 from the optical path of the imaging optical system 2 and in the focus range A state, the CCD camera. 6 is driven to collect the first image of the slider side surface 12 a and store it in the first area of the image memory 77. Next, the forward / backward drive cylinder 7 a is driven forward to load the glass plate 71 into the optical path of the image pickup optical system 2, and a second image is taken for the slider side surface 12 a in the focus range B, and the image memory 77 is next. Store in the area. Further, the forward / backward drive cylinder 71a is driven backward to retract the glass plate 71 from the optical path of the imaging optical system 2, and at the same time, the forward / backward drive cylinder 72a is driven forward to load the glass plate 72 into the optical path of the imaging optical system 2 for focusing. In the state of the range C, the third image of the slider side surface 12 a is sampled and stored in the next area of the image memory 77.

画像採取プログラム76aの実行によりMPU74は、さらに画像メモリ77に3枚の画像が記憶された時点で製造番号解析プログラム76bをコールしてMPU75に実行させる。製造番号解析プログラム76bは、MPU75により実行され、MPU75は、英数字のパターンマッチング処理により数字のいくつか、英字のどれかを解析して画像メモリ77の各領域の画像データから各製造番号刻印領域12dの5桁の文字を得て、これら領域に5桁の文字があったときにそれを読取データとし、製造番号データを生成して所定の記憶領域に解析結果として記憶する。
この解析処理の具体例としては、例えば、フォーカス範囲A,B,Cの3枚の二値化画像のうち中間フォーカスとなるフォーカス範囲Bの画像でまず英数字のパターンマッチング処理によりいくつかの数字か、英字のどれかを解析して、各データ(解析文字)それぞれにについてマッチング率が所定のマッチング閾値以上であるときに、製造番号データを生成する。そして、フォーカス範囲Bの各文字の画像における5個の文字のいずれかのマッチング率が前記閾値以下のときには、フォーカス範囲Aおよびフォーカス範囲Cのいずれか一方について英数字のパターンマッチング処理を行い、同様に各文字についてのマッチング率が所定のマッチング閾値以上であるときに、製造番号データを生成する。
フォーカス範囲Aおよびフォーカス範囲Cのいずれか一方において各文字の画像のマッチング率が前記閾値以下のときには、フォーカス範囲Aおよびフォーカス範囲Cのいずれか他方の各文字の画像の英数字のパターンマッチング処理を行い、前記と同様に各文字についてマッチング率が所定のマッチング閾値以上であるときに、製造番号データを生成する。
フォーカス範囲Aおよびフォーカス範囲Cのいずれか他方の各文字の画像のマッチング率が前記閾値以下のときには、フォーカス範囲A〜Cのうち各文字についていちばん高いマッチング率を示すものを解析結果として選択して記憶する。この場合には、各フォーカス範囲における画像についてマッチング率が閾値以下であったことを示すフラグを立てる。
When the image acquisition program 76a is executed, the MPU 74 further calls the serial number analysis program 76b when the three images are stored in the image memory 77, and causes the MPU 75 to execute them. The manufacturing number analysis program 76b is executed by the MPU 75. The MPU 75 analyzes some of the numbers or any of the alphabetic characters by the pattern matching process of alphanumeric characters, and stores each manufacturing number marking area from the image data of each area of the image memory 77. A 12-digit five-digit character is obtained, and when there are five-digit characters in these areas, they are used as read data, and production number data is generated and stored as an analysis result in a predetermined storage area.
As a specific example of this analysis processing, for example, among the three binarized images of the focus ranges A, B, and C, an image in the focus range B that is an intermediate focus is first subjected to some numbers by alphanumeric pattern matching processing. Or any of the alphabetic characters, and when the matching rate is greater than or equal to a predetermined matching threshold value for each data (analyzed character), serial number data is generated. When the matching rate of any of the five characters in the image of each character in the focus range B is equal to or less than the threshold value, an alphanumeric pattern matching process is performed for either the focus range A or the focus range C. When the matching rate for each character is equal to or greater than a predetermined matching threshold value, the serial number data is generated.
When the matching rate of the image of each character in one of the focus range A and the focus range C is equal to or less than the threshold value, an alphanumeric pattern matching process is performed on the image of each character in the other of the focus range A and the focus range C. As described above, when the matching rate for each character is equal to or higher than a predetermined matching threshold value, serial number data is generated.
When the matching rate of the image of each other character in the focus range A and the focus range C is equal to or less than the threshold value, the focus range A to C that shows the highest matching rate for each character is selected as the analysis result. Remember. In this case, a flag indicating that the matching rate is less than or equal to the threshold for the image in each focus range is set.

他の実施例として、図示はしないが、二値化回路79に換えて、ここにA/D変換の画像処理ボードを設け、8ビット256階調のデータをこの画像ボードで生成して、メモリ76にそのまま転送する。例えば、640×480のVGAの画像では、そのまま、3枚程度の画像は、メモリ76に記憶することができる。そこで、画像メモリ77は削除する。
メモリ76の採取した画像データに対して固定閾値の二値化処理をするプログラムをメモリ76に設けておき、これにより二値化処理をした画像データを得て製造番号解析プログラム76bにより英数字のパターンマッチング処理等により製造番号データの解析をするものである。
As another embodiment, although not shown, an A / D conversion image processing board is provided in place of the binarization circuit 79, and 8-bit 256-gradation data is generated by this image board, and the memory The data is transferred to 76 as it is. For example, in the case of a 640 × 480 VGA image, about three images can be stored in the memory 76 as they are. Therefore, the image memory 77 is deleted.
A program for performing binarization processing of a fixed threshold value on the image data collected in the memory 76 is provided in the memory 76, whereby image data subjected to binarization processing is obtained, and an alphanumeric character is obtained by the manufacturing number analysis program 76b. The production number data is analyzed by pattern matching processing or the like.

以上説明してきたが、実施例では、ガラス板を挿入しない状態と、厚さの異なる1枚のガラスをそれぞれ挿入した状態で、それぞれ3枚の画像を採取しているが、これは、例えば、モニタ等によりそれぞれの状態を確認して、フォーカス範囲A,B,Cのいずれか、1つのフォーカス範囲を選択して1枚の画像を採取してもよい。
さらに、実施例では、ガラス板71,72を1枚ずつ挿入しているが、これらガラス板2枚を同時に挿入してもよいことはもちろんである。
また、実施例におけるガラス板の厚さは一例であって、この発明は、実施例の厚さに限定されるものではない。
さらに、実施例では、光路にガラス板がないときに撮像光学系2の対物レンズ3a,結像レンズ5a等のレンズ系との関係で決定されるCCDカメラ6のフォーカス範囲に対してガラス板を挿入してワークの映像の位置を対物レンズの焦点深度の方向において手前側に移動しているが、撮像光学系2のレンズ系の段数や構成の仕方によっては、ガラス板の挿入によりカメラが撮像できる映像についてのフォーカス範囲を焦点深度の方向において後方(奥側)に移動するようにすることも可能である。このような場合には、ガラス板を挿入していないときのCCDカメラ6のフォーカス範囲は、焦点深度の方向において逆に基準位置Sより手前側に設定される。
As described above, in the embodiment, three images are collected in a state in which a glass plate is not inserted and one glass having a different thickness is inserted. Each state may be confirmed by a monitor or the like, and one of the focus ranges A, B, and C may be selected to collect one image.
Further, in the embodiment, the glass plates 71 and 72 are inserted one by one, but it goes without saying that these two glass plates may be inserted simultaneously.
Moreover, the thickness of the glass plate in an Example is an example, Comprising: This invention is not limited to the thickness of an Example.
Furthermore, in the embodiment, when there is no glass plate in the optical path, the glass plate is used with respect to the focus range of the CCD camera 6 determined by the relationship with the lens system such as the objective lens 3a and the imaging lens 5a of the imaging optical system 2. The position of the image of the workpiece is moved to the near side in the direction of the depth of focus of the objective lens. Depending on the number of stages of the lens system of the imaging optical system 2 and the way of configuration, the camera captures the image by inserting the glass plate. It is also possible to move the focus range for a possible image backward (backward) in the direction of the depth of focus. In such a case, the focus range of the CCD camera 6 when the glass plate is not inserted is set to the near side of the reference position S in the direction of the depth of focus.

図1は、この発明のワークの識別情報読取装置を適用した一実施例の磁気ヘッドのヘッド製造番号読取ステージの説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a head serial number reading stage of a magnetic head according to an embodiment to which a workpiece identification information reading apparatus of the present invention is applied. 図2は、ヘッドスライダの説明図であって、図2(a)は、検査対象となる磁気ヘッドの説明図、図2(b)は、スライダの説明図、そして図2(c)は、スライダ側面の部分説明図である。2A and 2B are explanatory diagrams of the head slider. FIG. 2A is an explanatory diagram of a magnetic head to be inspected, FIG. 2B is an explanatory diagram of the slider, and FIG. It is a partial explanatory view of a slider side. 図3は、ガラス板の挿抜状態と撮像系のフォーカス範囲の移動位置との関係の説明図であって、図3(a)は、ガラス板の挿抜状態の説明図、図3(b)は、撮像系のフォーカス範囲の移動位置の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of the relationship between the insertion / extraction state of the glass plate and the moving position of the focus range of the imaging system. FIG. 3 (a) is an explanatory diagram of the insertion / extraction state of the glass plate, and FIG. It is explanatory drawing of the movement position of the focus range of an imaging system.

符号の説明Explanation of symbols

1…ベース、2…撮像光学系、3…対物レンズ管、
3a…対物レンズ、3b…絞り機構、4…照明プリズム管、
6…CCDカメラ、7…焦点範囲切換機構、
8…照明光源、9…磁気ヘッド固定台、
10…ヘッド製造番号読取ステージ、11…磁気ヘッド、
11a…磁気ヘッド本体(ヘッド素子部)、
12…スライダ、12a…スライダ側面、
12b…エアベアリング面、12b…パッド、
13…ジンバルスプリング、14…フレキシブルリード配線、
71,72…ガラス板、
73…駆動回路、74…画像処理・制御装置、
75…MPU、76…メモリ、
76a…画像採取プログラム、
76b…製造番号解析プログラム、
77…画像メモリ、78…インタフェース、
77…二値化回路。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base, 2 ... Imaging optical system, 3 ... Objective lens tube,
3a ... objective lens, 3b ... stop mechanism, 4 ... illumination prism tube,
6 ... CCD camera, 7 ... Focus range switching mechanism,
8 ... Illumination light source, 9 ... Magnetic head fixing base,
10: Head production number reading stage, 11: Magnetic head,
11a: magnetic head body (head element portion),
12 ... Slider, 12a ... Slider side surface,
12b ... Air bearing surface, 12b ... Pad,
13 ... Gimbal spring, 14 ... Flexible lead wiring,
71, 72 ... glass plate,
73 ... Drive circuit, 74 ... Image processing / control device,
75 ... MPU, 76 ... memory,
76a ... Image collection program,
76b ... Production number analysis program,
77 ... Image memory, 78 ... Interface,
77: A binarization circuit.

Claims (7)

ワークに刻まれた製造番号等の個別識別情報をカメラを介して画像にて読取るワークの識別情報読取装置において、
前記ワークの前記個別識別情報が刻まれた面に対峙する対物レンズと、
この対物レンズからの光を受けて前記カメラの結像面に前記ワークの映像を結像させる結像レンズと、
前記カメラと前記結像レンズとの間の光路に挿抜される所定の厚さのガラス板とを備え、
前記カメラが撮像できる焦点範囲に前記ワークの映像が入るように前記ガラス板の挿抜により前記対物レンズの焦点深度の方向に撮像する映像の位置を移動させるワークの識別情報読取装置。
In a workpiece identification information reading device that reads individual identification information such as a manufacturing number engraved on a workpiece with an image through a camera,
An objective lens facing the surface on which the individual identification information of the workpiece is engraved;
An imaging lens that receives light from the objective lens and forms an image of the workpiece on the imaging surface of the camera;
A glass plate having a predetermined thickness inserted into and extracted from an optical path between the camera and the imaging lens;
A workpiece identification information reading device that moves a position of an image to be imaged in a direction of a focal depth of the objective lens by inserting and removing the glass plate so that an image of the workpiece is within a focus range that can be imaged by the camera.
前記ワークはヘッドスライダであり、前記個別識別情報は磁気ヘッドの製造番号である請求項1記載のワークの識別情報読取装置。   2. The workpiece identification information reader according to claim 1, wherein the workpiece is a head slider, and the individual identification information is a manufacturing number of a magnetic head. さらに前記ガラス板を前記光路に対して挿抜するための進退機構を有し、前記ガラス板を前記光路に挿入した状態と抜去した状態のそれぞれにおいて前記ヘッドスライダの映像を採取する請求項2記載のワークの識別情報読取装置。   3. The head slider according to claim 2, further comprising an advancing / retreating mechanism for inserting / removing the glass plate with respect to the optical path, wherein the image of the head slider is sampled in each of a state in which the glass plate is inserted into and removed from the optical path. Device identification information reader. 前記ガラス板は、厚さの相違する複数枚からなり、前記進退機構は、複数のそれぞれの前記ガラス板を前記光路に対して挿抜し、挿入した状態と抜去した状態との少なくとも3枚以上の前記ヘッドスライダの画像を採取し、前記3枚以上の画像を解析して最適なものを前記製造番号の読取情報とする請求項3記載のワークの識別情報読取装置。   The glass plate is composed of a plurality of sheets having different thicknesses, and the advance / retreat mechanism inserts / removes each of the plurality of glass plates into / from the optical path, and includes at least three of the inserted state and the removed state. 4. The workpiece identification information reading device according to claim 3, wherein an image of the head slider is collected, the three or more images are analyzed, and an optimum one is used as reading information of the manufacturing number. さらに、画像処理装置を有し、前記画像処理装置は、前記進退機構を制御して前記3枚以上の画像を連続的に採取し、前記3枚以上の画像の前記個別識別情報を順次解析して所定の桁数の前記製造番号を得たときに前記最適なものとする請求項4記載のワークの識別情報読取装置。   And an image processing device that controls the advance / retreat mechanism to continuously collect the three or more images and sequentially analyzes the individual identification information of the three or more images. 5. The workpiece identification information reading device according to claim 4, wherein the workpiece identification number is optimum when the manufacturing number having a predetermined number of digits is obtained. ワークに刻まれた製造番号等の個別識別情報をカメラを介して画像にて読取るワークの識別情報読取装置において、
前記ワークに対峙する対物レンズからの光を結像レンズで受けて前記カメラの結像面に前記ワークの映像を結像させ、前記カメラと前記結像レンズとの間の光路に所定の厚さのガラス板を挿抜して、前記個別識別情報を前記カメラを介して画像にて読取りをするワークの識別情報読取方法。
In a workpiece identification information reading device that reads individual identification information such as a manufacturing number engraved on a workpiece with an image through a camera,
The imaging lens receives light from the objective lens facing the workpiece and forms an image of the workpiece on the imaging plane of the camera, and a predetermined thickness is formed in the optical path between the camera and the imaging lens. A workpiece identification information reading method for inserting and removing a glass plate and reading the individual identification information as an image through the camera.
前記ワークはヘッドスライダであり、前記個別識別情報は磁気ヘッドの製造番号である請求項6記載のワークの識別情報読取方法。   7. The work identification information reading method according to claim 6, wherein the work is a head slider, and the individual identification information is a manufacturing number of a magnetic head.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7532006B2 (en) * 2007-04-06 2009-05-12 Guzik Technical Enterprises Stand-alone quasi-static tester
WO2013043488A1 (en) * 2011-09-22 2013-03-28 Eastman Kodak Company Digital imaging system with refocusable imaging mode
US8593564B2 (en) 2011-09-22 2013-11-26 Apple Inc. Digital camera including refocusable imaging mode adaptor
JP2016533523A (en) * 2013-06-18 2016-10-27 デルタ アイディー インコーポレイテッドDelta Id Inc. Optimized imaging device for iris imaging

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54161930A (en) * 1978-06-12 1979-12-22 Olympus Optical Co Ltd Automatic focusing adjusting device
JPS574133A (en) * 1980-06-10 1982-01-09 Fujitsu Ltd Device for pattern image pickup
JPS5717908A (en) * 1980-07-05 1982-01-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Automatic focal point adjusting mechanism
JPS5962835A (en) * 1983-07-15 1984-04-10 Gokou Eizou Kagaku Kenkyusho:Kk Focusing device in fixed focus camera
JPS59139023A (en) * 1983-01-31 1984-08-09 Fuji Photo Film Co Ltd Autofocusing camera
JPS61284737A (en) * 1985-06-11 1986-12-15 Gokou Eizou Kagaku Kenkyusho:Kk Camera with fixed photographic lens capable of zone focus adjustment
JPH03231234A (en) * 1990-02-07 1991-10-15 Fuji Photo Optical Co Ltd Method for controlling camera
JPH0410777A (en) * 1990-04-27 1992-01-14 Hitachi Ltd Control device for depth of filed of image pickup device
JPH04315906A (en) * 1991-04-16 1992-11-06 Fujitsu Ltd Apperance examining device
JPH08304043A (en) * 1995-03-03 1996-11-22 Takaoka Electric Mfg Co Ltd Three-dimensional image pickup apparatus
JPH09126739A (en) * 1995-11-02 1997-05-16 Takaoka Electric Mfg Co Ltd Solid form measuring unit
JPH11351836A (en) * 1998-06-08 1999-12-24 Hitachi Ltd Solid shape detecting device and method thereof
JP2000270160A (en) * 1999-03-18 2000-09-29 Nec Corp Picture input device
JP2003022508A (en) * 2001-07-10 2003-01-24 Alps Electric Co Ltd Management system for magnetic-head data, magnetic- head mounted product, managing method for magnetic- head data, and computer program
JP2003279842A (en) * 2002-03-22 2003-10-02 Fuji Photo Optical Co Ltd Focus state detector for photographing lens

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54161930A (en) * 1978-06-12 1979-12-22 Olympus Optical Co Ltd Automatic focusing adjusting device
JPS574133A (en) * 1980-06-10 1982-01-09 Fujitsu Ltd Device for pattern image pickup
JPS5717908A (en) * 1980-07-05 1982-01-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Automatic focal point adjusting mechanism
JPS59139023A (en) * 1983-01-31 1984-08-09 Fuji Photo Film Co Ltd Autofocusing camera
JPS5962835A (en) * 1983-07-15 1984-04-10 Gokou Eizou Kagaku Kenkyusho:Kk Focusing device in fixed focus camera
JPS61284737A (en) * 1985-06-11 1986-12-15 Gokou Eizou Kagaku Kenkyusho:Kk Camera with fixed photographic lens capable of zone focus adjustment
JPH03231234A (en) * 1990-02-07 1991-10-15 Fuji Photo Optical Co Ltd Method for controlling camera
JPH0410777A (en) * 1990-04-27 1992-01-14 Hitachi Ltd Control device for depth of filed of image pickup device
JPH04315906A (en) * 1991-04-16 1992-11-06 Fujitsu Ltd Apperance examining device
JPH08304043A (en) * 1995-03-03 1996-11-22 Takaoka Electric Mfg Co Ltd Three-dimensional image pickup apparatus
JPH09126739A (en) * 1995-11-02 1997-05-16 Takaoka Electric Mfg Co Ltd Solid form measuring unit
JPH11351836A (en) * 1998-06-08 1999-12-24 Hitachi Ltd Solid shape detecting device and method thereof
JP2000270160A (en) * 1999-03-18 2000-09-29 Nec Corp Picture input device
JP2003022508A (en) * 2001-07-10 2003-01-24 Alps Electric Co Ltd Management system for magnetic-head data, magnetic- head mounted product, managing method for magnetic- head data, and computer program
JP2003279842A (en) * 2002-03-22 2003-10-02 Fuji Photo Optical Co Ltd Focus state detector for photographing lens

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7532006B2 (en) * 2007-04-06 2009-05-12 Guzik Technical Enterprises Stand-alone quasi-static tester
WO2013043488A1 (en) * 2011-09-22 2013-03-28 Eastman Kodak Company Digital imaging system with refocusable imaging mode
US8593564B2 (en) 2011-09-22 2013-11-26 Apple Inc. Digital camera including refocusable imaging mode adaptor
JP2016533523A (en) * 2013-06-18 2016-10-27 デルタ アイディー インコーポレイテッドDelta Id Inc. Optimized imaging device for iris imaging

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