JP2006065082A - Optical component and its manufacturing method - Google Patents

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JP2006065082A JP2004248703A JP2004248703A JP2006065082A JP 2006065082 A JP2006065082 A JP 2006065082A JP 2004248703 A JP2004248703 A JP 2004248703A JP 2004248703 A JP2004248703 A JP 2004248703A JP 2006065082 A JP2006065082 A JP 2006065082A
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Hidesato Nakatake
秀聡 中武
Ichiro Kita
一郎 北
Kazumi Ida
一美 井田
So Kazami
創 風味
Shingo Watanabe
慎吾 渡邉
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical component that is easy to manufacture and that has small optical loss and low cost, and also to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: To the connecting end face 13 of an optical fiber arraying member 5 in which a plurality of optical fibers 1a, 1b are arranged in parallel, there is exposed the connecting end face of the optical fibers 1a, 1b. The connecting end face 13 of the optical fiber arraying member 5 is designed to have a first end face 6 which has a first setting angle θ formed with the center axis C in the light passing direction of the optical fiber arraying member 5 and a second end face 7 which is arranged adjacently to the first end face 6 and which has a second setting angle γ formed with the center axis C differently from the first setting angle. To the first end face 6, the connecting end face of the optical fiber 1a is exposed while, to the second end face 7, the connecting end face of the optical fiber 1b is exposed. In the connecting end face of the optical fiber 1a exposed to the first end face 6, there is formed a wavelength selective transmissible filter 31 of a multi-layered film. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば光ファイバや光導波路等の光通路を複数有して光通信等に用いられる光部品およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an optical component that has a plurality of optical paths such as optical fibers and optical waveguides and is used for optical communication and the like, and a method for manufacturing the same.

例えば光通信用として、波長合分波モジュールが用いられている。波長合分波モジュールは、例えば2本(2心)以上の光ファイバを並設して成る多心フェルールと、単心の光ファイバを有する単心フェルールとを間隔を介して対向配置し、その間隔に、前記光ファイバと調心される屈折率分布型レンズ等のレンズと、特定の(設定された)波長光を選択的に透過させたり減衰させたりする等の、フィルタリング機能を有するフィルタとを設けて形成される(例えば特許文献1、参照。)。   For example, a wavelength multiplexing / demultiplexing module is used for optical communication. The wavelength multiplexing / demultiplexing module has, for example, a multi-core ferrule formed by arranging two (two-core) or more optical fibers side by side and a single-core ferrule having a single-core optical fiber, facing each other with an interval therebetween. A lens having a filtering function such as selectively transmitting or attenuating a specific (set) wavelength light, and a lens such as a gradient index lens aligned with the optical fiber at an interval; (See, for example, Patent Document 1).

また、上記波長合分波モジュールにおいて、上記フィルタを多心フェルールと単心フェルールとの間に配置する代わりに、多心フェルールに並設された光ファイバのうちの一部の光ファイバの途中または接続端面にのみ、設けることが提案されている。   Further, in the wavelength multiplexing / demultiplexing module, instead of disposing the filter between the multi-core ferrule and the single-core ferrule, the middle of some of the optical fibers arranged in parallel with the multi-core ferrule or It has been proposed to provide only at the connection end face.

この場合、例えば図5(a)に示すように、多心フェルール3の光ファイバ配列部材5に並設されて、接着剤15により固定された2本の光ファイバ1(1a,1b)のうち、1本の光ファイバ1aと光ファイバ配列部材5とを切削してスリット30を形成し、このスリット30内に、基板上に多層膜を成膜した波長選択透過性フィルタ31を埋め込み、接着剤15aで充填固定することがある。なお、スリット30は、例えば幅30μm程度に形成される。   In this case, for example, as shown in FIG. 5A, of the two optical fibers 1 (1a, 1b) arranged in parallel to the optical fiber array member 5 of the multi-fiber ferrule 3 and fixed by the adhesive 15 One optical fiber 1a and the optical fiber array member 5 are cut to form a slit 30, and a wavelength selective transmission filter 31 in which a multilayer film is formed on the substrate is embedded in the slit 30, and an adhesive is used. 15a may be filled and fixed. The slit 30 is formed with a width of about 30 μm, for example.

また、図5(b)に示すように、多心フェルール3の接続端面13に、一方の光ファイバ1aの接続端面側のみを覆う波長選択透過性フィルタ31を配置し、接着剤15aで固定することがある。   Moreover, as shown in FIG.5 (b), the wavelength selective transmission filter 31 which covers only the connection end surface side of one optical fiber 1a is arrange | positioned in the connection end surface 13 of the multi-core ferrule 3, and it fixes with the adhesive agent 15a. Sometimes.

さらに、図5(c)に示すように、多心フェルール3の接続端面13に設ける波長選択透過性フィルタ31を、蒸着により接続端面13に直接成膜した多層膜により形成することもできる。この場合、第1の方法として、多心フェルール3の接続端面13に露出した一方の光ファイバ1bの接続端面側のみを金属等のマスクで覆い、露出させたもう一方の光ファイバ1aの接続端面側にのみ、多層膜の波長選択透過性フィルタ31を蒸着形成する方法がある。   Furthermore, as shown in FIG. 5C, the wavelength selective transmission filter 31 provided on the connection end face 13 of the multi-core ferrule 3 can be formed of a multilayer film directly formed on the connection end face 13 by vapor deposition. In this case, as a first method, only the connection end face side of one optical fiber 1b exposed on the connection end face 13 of the multi-fiber ferrule 3 is covered with a mask such as a metal, and the connection end face of the other optical fiber 1a exposed. There is a method of depositing a multi-layer wavelength selective transmission filter 31 only on the side.

また、第2の方法として、以下の方法がある。つまり、多心フェルール3の接続端面13において、まず、波長選択透過性フィルタ31を設けない側の光ファイバ1bの接続端面側にのみに感光性樹脂組成物を成膜し、この上から波長選択性を有する多層膜(波長選択透過性フィルタ31)を蒸着により多心フェルール3の接続端面13の全面に成膜する。その後、感光性樹脂材料が溶解可能な剥離液で処理することにより、光ファイバ1bの接続端面側の多層膜を感光性樹脂材料と共に剥離する方法も知られている。   As a second method, there is the following method. That is, on the connection end face 13 of the multi-fiber ferrule 3, first, a photosensitive resin composition is formed only on the connection end face side of the optical fiber 1b on the side where the wavelength selective transmission filter 31 is not provided, and wavelength selection is performed from this film. A multilayer film (wavelength selective transmissive filter 31) having a property is formed on the entire connection end face 13 of the multi-core ferrule 3 by vapor deposition. Thereafter, a method is also known in which the multilayer film on the connection end face side of the optical fiber 1b is peeled off together with the photosensitive resin material by treating with a stripping solution in which the photosensitive resin material can be dissolved.

特開平9―304649号公報JP-A-9-304649

しかしながら、図5(a)に示したように、光ファイバ1aにスリット30を形成すると、このスリット形成部位において過剰な損失が起こってしまうといった問題があった。また、この構成においては、30μm程のスリット30に薄い波長選択透過性フィルタ31を挿入する作業は困難であり、量産には不向きである。   However, as shown in FIG. 5A, when the slit 30 is formed in the optical fiber 1a, there is a problem that excessive loss occurs at the slit forming portion. In this configuration, it is difficult to insert the thin wavelength selective transmission filter 31 into the slit 30 having a thickness of about 30 μm, which is not suitable for mass production.

さらに、この構成は、接着剤15aによって波長選択透過性フィルタ31を固定するので、光路上に接着剤15aが存在するため、接着剤15aの存在により光損失がさらに増加する問題や、例えば500mW以上といった高強度の光を光ファイバ1aに入力した場合に、接着剤15aの劣化が生じるといった問題があった。   Furthermore, since the wavelength selective transmission filter 31 is fixed by the adhesive 15a in this configuration, the adhesive 15a is present on the optical path, so that the optical loss further increases due to the presence of the adhesive 15a, for example, 500 mW or more. When such high-intensity light is input to the optical fiber 1a, there is a problem that the adhesive 15a deteriorates.

また、図5(b)に示したように、多心フェルール3の接続端面13に波長選択透過性フィルタ31を配置すれば、スリット30の形成による過剰な損失はなくなるものの、接着剤15aによって波長選択透過性フィルタ31を固定するので、図5(a)に示した構成と同様に、接着剤15aが光路上に存在することによる損失の増加や、高強度の光入力による接着剤15aの劣化の問題があった。   Further, as shown in FIG. 5B, if the wavelength selective transmission filter 31 is disposed on the connection end face 13 of the multi-fiber ferrule 3, excessive loss due to the formation of the slit 30 is eliminated, but the wavelength of the adhesive 15a is increased. Since the permselective filter 31 is fixed, as in the configuration shown in FIG. 5A, an increase in loss due to the presence of the adhesive 15a on the optical path and a deterioration of the adhesive 15a due to high-intensity light input. There was a problem.

さらに、図5(c)に示したように、一方の光ファイバ1aの接続端面側にのみ波長選択透過性フィルタ31を直接成膜する方法は、マスクを用いる第1の方法においては、マスクと多層膜蒸着側の光ファイバ端面とが近接する場合、その近接する周辺では膜厚が不均一になり、的確に多層膜(波長選択透過性フィルタ31)を形成できないので歩留まりが悪くなるといった問題があった。また、マスクを用いずに感光性樹脂組成物を用いる第2の方法においては、工数が多く、成膜に要する装置も高価であり、コストがかかる等の問題があった。   Furthermore, as shown in FIG. 5C, the method of directly forming the wavelength selective transmission filter 31 only on the connection end face side of one optical fiber 1a is the same as the mask in the first method using a mask. When the end face of the optical fiber on the multilayer film deposition side is close, the film thickness is not uniform in the vicinity of the optical fiber end face, and the multilayer film (wavelength selective transmission filter 31) cannot be formed accurately, so that the yield deteriorates. there were. In addition, the second method using the photosensitive resin composition without using a mask has problems such as many man-hours, expensive equipment required for film formation, and high cost.

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、製造が容易で、光損失が小さく、コストが安い光部品およびその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical component that is easy to manufacture, has low optical loss, and is low in cost, and a method for manufacturing the same.

上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、第1の発明の光部品は、複数の光通路を並設して成る光通路配列部材を有し、該光通路配列部材の接続端面に前記複数の光通路の接続端面が露出されている光部品であって、前記光通路配列部材の接続端面は、該光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が第1設定角度の第1端面と、該第1端面と隣り合わせに配置されて前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度の第2端面とを有し、前記第1端面と前記第2端面にはそれぞれ前記複数の光通路のうちの互いに異なる少なくとも1つの光通路の接続端面が露出しており、前記第1端面に露出した光通路の接続端面には多層膜または単層膜が形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration as means for solving the problems. In other words, the optical component of the first invention has an optical path array member formed by arranging a plurality of optical paths, and the connection end faces of the plurality of optical paths are exposed on the connection end faces of the optical path array members. The connecting end surface of the optical path array member is adjacent to the first end surface having an angle formed with the central axis in the light passing direction of the optical path array member and the first end surface. And a second end face having a second set angle different from the first set angle, the angle formed with the central axis in the light passing direction of the light path arraying member, and the first end face and the second end face A connection end face of at least one of the plurality of light paths is exposed on the end face, and a multilayer film or a single layer film is formed on the connection end face of the light path exposed on the first end face. It is a means to solve the problem with the configuration.

また、第2の発明の光部品は、上記第1の発明の構成に加え、前記第1端面と該第1端面に露出した光通路の接続端面は共に研磨形成され、第2端面と該第2端面に露出した光通路の接続端面は共に研磨形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。   In addition to the configuration of the first invention, the optical component of the second invention is such that the first end face and the connection end face of the optical path exposed at the first end face are both polished to form the second end face and the first The connection end faces of the light path exposed at the two end faces are both polished and formed as means for solving the problem.

さらに、第3の発明の光部品は、上記第1または第2の発明の構成に加え、前記光通路は光ファイバとし、該光ファイバを挿通する光ファイバ挿通孔または前記光ファイバを挿入する光ファイバ挿入溝を複数並設して成る光ファイバ配列部材を光通路配列部材とした構成をもって課題を解決する手段としている。   Furthermore, the optical component of the third invention is an optical fiber insertion hole through which the optical path is inserted or the light into which the optical fiber is inserted, in addition to the configuration of the first or second invention. An optical fiber array member formed by arranging a plurality of fiber insertion grooves in parallel is used as an optical path array member as means for solving the problem.

さらに、第4の発明の光部品は、上記第1の発明の構成に加え、前記光ファイバはテックファイバまたは屈折率分布型光ファイバを有している構成をもって課題を解決する手段としている。   Furthermore, the optical component of the fourth invention is a means for solving the problems by having a configuration in which the optical fiber includes a tech fiber or a gradient index optical fiber in addition to the configuration of the first invention.

さらに、第5の発明の光部品は、上記第1または第2の発明の構成に加え、前記光通路は光導波路とし、光通路配列部材は光導波回路部材とした構成をもって課題を解決する手段としている。   Further, an optical component according to a fifth aspect of the present invention is a means for solving the problems by having a configuration in which the optical path is an optical waveguide and the optical path arraying member is an optical waveguide circuit member in addition to the configuration of the first or second invention. It is said.

さらに、第6の発明の光部品は、上記第1乃至第5のいずれか一つの発明の構成に加え、前記第1端面は光通路配列部材の光通過方向の中心軸に直交する線との角度が8°以下になるように斜めに形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。   Furthermore, an optical component of a sixth aspect of the invention includes the configuration according to any one of the first to fifth aspects of the invention, wherein the first end surface is a line perpendicular to the central axis of the light passage direction of the light path arrangement member. A structure that is formed obliquely so that the angle is 8 ° or less serves as means for solving the problem.

さらに、第7の発明の光部品は、上記第1乃至第6のいずれか一つの発明の構成に加え、前記多層膜または単層膜は設定波長帯の光のみを透過する波長選択透過機能を有する波長選択透過膜と、設定波長帯の光を減衰させる光減衰膜と、設定波長帯の光の反射を防止する反射防止膜のいずれか一つとした構成をもって課題を解決する手段としている。   Furthermore, an optical component according to a seventh aspect of the present invention has the wavelength selective transmission function of transmitting only light in a set wavelength band in addition to the configuration of any one of the first to sixth aspects of the invention. A configuration that includes any one of a wavelength selective transmission film, a light attenuation film that attenuates light in a set wavelength band, and an antireflection film that prevents reflection of light in a set wavelength band serves as means for solving the problem.

さらに、第8の発明の光部品の製造方法は、光通路配列部材に複数の光通路を並設して該光通路の接続端面側を前記光通路配列部材の接続端面側に配置し、該光通路配列部材の接続端面と前記複数の光通路の接続端面とを共に研磨して前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度を第1設定角度として第1端面を形成した後、該第1端面に露出した光通路の接続端面に多層膜を形成し、然る後に、前記複数の光通路のうち少なくとも1つの光通路の接続端面と共に前記光通路配列部材の第1端面の一部を研磨して前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度となる第2端面を形成することにより該第2端面と前記第1端面とを隣り合わせに配置し、該第1端面と前記第2端面にそれぞれ前記複数の光通路のうちの互いに異なる少なくとも1つの光通路の接続端面を露出配置し、前記第1端面に露出配置される光通路の接続端面にのみ前記多層膜が形成された構成とすることをもって課題を解決する手段としている。   Further, the optical component manufacturing method according to the eighth aspect of the present invention includes a plurality of optical paths arranged in parallel in the optical path array member, and the connection end face side of the optical path is disposed on the connection end face side of the optical path array member. The first end face is formed by polishing the connecting end face of the optical path arranging member and the connecting end faces of the plurality of optical paths together with an angle formed with the central axis in the light passing direction of the optical path arranging member as a first set angle. Thereafter, a multilayer film is formed on the connection end face of the optical path exposed at the first end face, and then the first end face of the optical path arraying member together with the connection end face of at least one of the plurality of optical paths. The second end face is formed by polishing a part of the second end face to form a second end face having a second set angle different from the first set angle with respect to the central axis in the light passing direction of the light path array member. And the first end face are arranged next to each other, the first end face and the second end face A connection end face of at least one light path different from each other among the plurality of light paths is exposed, and the multilayer film is formed only on a connection end face of the light path exposed on the first end face. As a means to solve the problem.

本発明の光部品によれば、複数の光通路を並設して成る光通路配列部材の接続端面は、該光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が第1設定角度の第1端面と、該第1端面と隣り合わせに配置されて前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度の第2端面とを有しているので、前記第1端面にのみ多層膜または単層膜を容易に形成することができる。   According to the optical component of the present invention, the angle between the connection end surface of the light path array member formed by arranging a plurality of light paths in parallel with the central axis in the light passage direction of the light path array member is the first set angle. A first end face and a second end face arranged adjacent to the first end face and having a second set angle different from the first set angle by an angle formed by a central axis in the light passing direction of the light path arranging member. Therefore, a multilayer film or a single layer film can be easily formed only on the first end face.

そして、前記光通路配列部材の接続端面のうち、第1端面と第2端面にそれぞれ、前記複数の光通路のうちの互いに異なる少なくとも1つの光通路の接続端面を露出させ、第1端面に露出した光通路の接続端面に多層膜または単層膜を設けることにより、接続端面が第1端面に露出されている光通路への入出力光のみ、多層膜または単層膜を通過または多層膜または単層膜により反射させることができ、例えばこれらの膜によるフィルタリング機能を生かして、波長合分波モジュール等の形成を図ることができる。   Of the connection end faces of the light path array member, the connection end faces of at least one of the plurality of light paths are exposed at the first end face and the second end face, respectively, and exposed at the first end face. By providing a multilayer film or a single layer film on the connection end face of the optical path, only the input / output light to the optical path whose connection end face is exposed at the first end face passes through the multilayer film or the single layer film or the multilayer film or It can be reflected by a single layer film. For example, a wavelength multiplexing / demultiplexing module or the like can be formed by utilizing the filtering function of these films.

また、本発明の光部品において、第1端面と該第1端面に露出した光通路の接続端面は共に研磨形成され、第2端面と該第2端面に露出した光通路の接続端面は共に研磨形成されている構成によれば、第1端面と第2端面を研磨形成により容易に形成でき、また、各端面に露出する光通路の接続端面と対応する端面とを容易に、かつ、的確に面一致させることができる。したがって、例えば光部品と接続される接続相手側との損失を小さくすることができる。   In the optical component of the present invention, the first end face and the connection end face of the optical path exposed at the first end face are both polished and formed, and the second end face and the connection end face of the optical path exposed at the second end face are both polished. According to the formed structure, the first end face and the second end face can be easily formed by polishing, and the connection end face of the optical path exposed on each end face and the corresponding end face can be easily and accurately formed. Can be face-matched. Therefore, for example, the loss with the connection partner connected to the optical component can be reduced.

さらに、本発明の光部品において、光通路は光ファイバとし、該光ファイバを挿通する光ファイバ挿通孔または前記光ファイバを挿入する光ファイバ挿入溝を複数並設して成る光ファイバ配列部材を光通路配列部材とした構成によれば、光ファイバと光ファイバ配列部材とを有するフェルール等の光部品を、上記優れた効果を奏する光部品とすることができ、例えば、この発明の光部品を用いて、優れた波長合分波特性を有する波長合分波モジュール等の形成を、容易に行うことができる。   Furthermore, in the optical component of the present invention, the optical path is an optical fiber, and an optical fiber array member formed by arranging a plurality of optical fiber insertion holes through which the optical fiber is inserted or optical fiber insertion grooves into which the optical fiber is inserted is used as an optical fiber. According to the configuration of the passage array member, an optical component such as a ferrule having an optical fiber and an optical fiber array member can be used as an optical component having the above-described excellent effects. For example, the optical component of the present invention is used. Thus, it is possible to easily form a wavelength multiplexing / demultiplexing module having excellent wavelength multiplexing / demultiplexing characteristics.

さらに、本発明の光部品において、光ファイバはテックファイバまたは屈折率分布型光ファイバを有している構成によれば、光ファイバの接続端面側にテックファイバ又は屈折率分布型光ファイバを形成することにより、受光効率を向上させる事ができるので、光部品が光を受光するときに、その効率を向上できる。   Furthermore, in the optical component of the present invention, according to the configuration in which the optical fiber includes the tech fiber or the gradient index optical fiber, the tech fiber or the gradient index optical fiber is formed on the connection end face side of the optical fiber. As a result, the light receiving efficiency can be improved, so that the efficiency can be improved when the optical component receives light.

さらに、本発明の光部品において、光通路は光導波路とし、光通路配列部材は光導波回路部材とした構成によれば、光導波路と光導波回路部材とを有する光部品を、上記優れた効果を奏する光部品とすることができ、例えば、この発明の光部品を用いて、優れた波長合分波特性を有する波長合分波モジュール等の形成を、容易に行うができる。   Furthermore, in the optical component of the present invention, according to the configuration in which the optical path is an optical waveguide and the optical path array member is an optical waveguide circuit member, the optical component having the optical waveguide and the optical waveguide circuit member can be obtained with the above excellent effects. For example, a wavelength multiplexing / demultiplexing module having excellent wavelength multiplexing / demultiplexing characteristics can be easily formed using the optical component of the present invention.

さらに、本発明の光部品において、第1端面は光通路配列部材の光通過方向の中心軸に直交する線との角度が8°以下になるように斜めに形成されている構成によれば、例えば光通路を第1端面側に向けて進んで第1端面において反射した反射光が、再び光通路に戻ることを抑制でき(つまり、高い反射減衰特性を得ることができ)、反射戻り光による悪影響が少ない、より一層低損失の光部品を形成できる。   Furthermore, in the optical component of the present invention, the first end face is formed obliquely so that the angle with the line perpendicular to the central axis of the light passage direction of the light path array member is 8 ° or less. For example, it is possible to suppress the reflected light that has traveled toward the first end face and reflected at the first end face from returning to the optical path again (that is, high reflection attenuation characteristics can be obtained), and the reflected return light It is possible to form an optical component with much lower loss and less adverse effect.

さらに、本発明の光部品において、多層膜または単層膜は設定波長帯の光のみを透過する波長選択透過機能を有する波長選択透過膜と、設定波長帯の光を減衰させる光減衰膜と、設定波長帯の光の反射を防止する反射防止膜のいずれか一つとした構成によれば、多層膜または単層膜の波長選択特性(透過性、減衰性、反射性)により、適宜の光合分波機能を果たすことができる光部品を容易に、かつ、的確に構成できる。   Furthermore, in the optical component of the present invention, the multilayer film or the single layer film has a wavelength selective transmission film having a wavelength selective transmission function that transmits only light in the set wavelength band, a light attenuation film that attenuates light in the set wavelength band, According to the configuration of any one of the antireflection films for preventing the reflection of light in the set wavelength band, an appropriate optical separation can be performed depending on the wavelength selection characteristics (transmittance, attenuation, and reflectivity) of the multilayer film or the single layer film. An optical component that can perform the wave function can be easily and accurately configured.

さらに、本発明の光部品の製造方法によれば、光通路配列部材に複数の光通路を並設してその接続端面を光通路配列部材の接続端面側に配置し、該光通路配列部材の接続端面と前記複数の光通路の接続端面とを共に研磨して前記第1端面を形成した後、該第1端面に露出した光通路の接続端面に多層膜または単層膜を形成し、その後、光通路配列部材の第1端面の一部を研磨して前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度となる第2端面を形成するので、互いに異なる角度の第2端面と第1端面とを、容易に隣り合わせに配置することができる。   Furthermore, according to the method for manufacturing an optical component of the present invention, a plurality of optical paths are arranged in parallel in the optical path array member, and the connection end face is disposed on the connection end face side of the optical path array member. After polishing the connection end face and the connection end faces of the plurality of optical paths together to form the first end face, a multilayer film or a single layer film is formed on the connection end face of the optical path exposed on the first end face, and then A second end face having a second set angle different from the first set angle by polishing a part of the first end face of the light path array member and forming a central axis in the light passing direction of the light path array member. Therefore, the second end face and the first end face having different angles can be easily arranged adjacent to each other.

また、第1端面に露出した光通路の接続端面への多層膜または単層膜の形成を、例えば第1端面全体に行ったとしても、第2端面形成時に膜の不要な部分を除くことができるし、マスクを用いたとしても、近接する2本の光通路の接続端面のうち一方のみをマスクで覆って他方の接続端面に膜を形成するときのように膜厚制御が困難になることはなく、所望の膜厚と均一性を持つ多層膜または単層膜を容易に得ることができる。   Further, even when the multilayer film or the single-layer film is formed on the connection end face of the optical path exposed at the first end face, for example, the unnecessary part of the film may be removed when forming the second end face. Even if a mask is used, it is difficult to control the film thickness as when only one of the connection end faces of two adjacent optical paths is covered with a mask and a film is formed on the other connection end face. Rather, a multilayer film or a single layer film having a desired film thickness and uniformity can be easily obtained.

そして、上記第2端面の形成によって、前記第1端面と第2端面とにそれぞれ、前記複数の光通路のうちの互いに異なる少なくとも1つの光通路の接続端面を露出配置して前記第1端面に露出配置される光通路の接続端面にのみ前記多層膜または単層膜が形成されるようにすることによって、前記優れた効果を発揮できる本発明の光部品を、歩留まり良く容易に製造することができる。   Then, by forming the second end surface, the connection end surfaces of at least one of the plurality of optical paths that are different from each other are exposed and arranged on the first end surface and the second end surface, respectively. By forming the multilayer film or the single layer film only on the connection end face of the exposed optical path, it is possible to easily manufacture the optical component of the present invention capable of exhibiting the excellent effect with a high yield. it can.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略又は簡略化する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the present embodiment, the same reference numerals are assigned to the same names as those in the conventional example, and the duplicate description is omitted or simplified.

図1には、本発明に係る光部品の第1実施形態例が、その製造工程と共に模式的な説明図により示されている。本実施形態例の光部品は、図1(c)に示す断面構成を有する多心(2心)フェルール3であり、図1(e)には、その接続端面13側から見た図が示されている。   FIG. 1 is a schematic explanatory view showing a first embodiment of an optical component according to the present invention together with its manufacturing process. The optical component of this embodiment is a multi-core (two-core) ferrule 3 having the cross-sectional configuration shown in FIG. 1 (c), and FIG. 1 (e) shows a view seen from the connection end face 13 side. Has been.

図1(c)、(e)に示すように、本実施形態例の光部品は、複数(ここでは2本)の光通路としての光ファイバ1(1a,1b)を並設して成る光通路配列部材としての光ファイバ配列部材5を有している。なお、光ファイバ配列部材5は例えば金属やセラミックの成形部材により形成されているが、ガラスにより形成したガラスキャピラリーにより形成してもよい。また、本実施形態例において、光ファイバ1a,1bは、いずれもシングルモード光ファイバにより形成されている。   As shown in FIGS. 1C and 1E, the optical component of the present embodiment is an optical component in which a plurality of optical fibers 1 (1a, 1b) as optical paths (two in this case) are arranged in parallel. An optical fiber array member 5 is provided as a passage array member. The optical fiber array member 5 is formed of, for example, a metal or ceramic molded member, but may be formed of a glass capillary formed of glass. In this embodiment, the optical fibers 1a and 1b are both formed of a single mode optical fiber.

光ファイバ配列部材5には、光ファイバ1を挿通する光ファイバ挿通孔8が複数(ここでは2本)並設されており、これらの光ファイバ挿通孔8に前記2本の光ファイバ1(1a,1b)が挿通し、接着剤15により固定されている。光ファイバ1a,1bは、それぞれ、被覆11を除去した裸光ファイバの状態で光ファイバ挿通孔8に挿通されており、光ファイバ1a,1bの接続端面は、光ファイバ配列部材5の接続端面13に露出している。   The optical fiber arraying member 5 is provided with a plurality (two in this case) of optical fiber insertion holes 8 through which the optical fibers 1 are inserted, and the two optical fibers 1 (1a) are inserted in these optical fiber insertion holes 8. , 1 b) is inserted and fixed by the adhesive 15. The optical fibers 1a and 1b are respectively inserted into the optical fiber insertion holes 8 in the form of bare optical fibers from which the coating 11 has been removed. The connection end faces of the optical fibers 1a and 1b are connected to the connection end face 13 of the optical fiber array member 5. Is exposed.

光ファイバ配列部材5の接続端面13は、第1端面6と第2端面7とを隣り合わせに配置して形成されている。第1端面6は、光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸(図1(c)のC)との成す角度が第1設定角度(ここではθ)に形成されており、第2端面7は、前記光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度(ここではγ)に形成されている。   The connection end face 13 of the optical fiber array member 5 is formed by arranging the first end face 6 and the second end face 7 next to each other. The first end face 6 is formed at an angle formed with the central axis (C in FIG. 1C) in the light passing direction of the optical fiber array member 5 at a first set angle (here, θ), and the second end face 7 is formed at a second set angle (here, γ) in which the angle formed with the central axis of the optical fiber array member 5 in the light passing direction is different from the first set angle.

なお、図1(c)の図中、Aは第1端面6と平行な線、Bは第2端面7と平行な線を示しており、上記角度θは82°に形成され、上記角度γは−82°に形成されている。つまり、光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸Cに直交する線Rと第1端面6との角度は8°に形成されており、線Rと第2端面7との角度も8°に形成されている。   In FIG. 1C, A indicates a line parallel to the first end face 6, B indicates a line parallel to the second end face 7, the angle θ is formed at 82 °, and the angle γ Is formed at −82 °. That is, the angle between the line R orthogonal to the central axis C in the light passing direction of the optical fiber array member 5 and the first end face 6 is formed at 8 °, and the angle between the line R and the second end face 7 is also 8 °. Is formed.

前記第1端面6と前記第2端面7にはそれぞれ、前記複数(ここでは2本)の光ファイバ1a,1bのうちの互いに異なる少なくとも1つ(ここでは、それぞれ1本)の光ファイバ1a,1bの接続端面が露出している。つまり、第1端面6には光ファイバ1aの接続端面が露出し、第2端面7には光ファイバ1bの接続端面が露出している。   Each of the first end face 6 and the second end face 7 has at least one (here, one) optical fiber 1a, a plurality of (here, two) different optical fibers 1a, 1b. The connection end surface 1b is exposed. That is, the connection end face of the optical fiber 1 a is exposed at the first end face 6, and the connection end face of the optical fiber 1 b is exposed at the second end face 7.

また、前記第1端面6と該第1端面6に露出した光ファイバ1aの接続端面は共に研磨形成され、前記第2端面7と該第2端面7に露出した光ファイバ1bの接続端面は共に研磨形成されている。第1端面6に露出した光ファイバ1aの接続端面には多層膜の波長選択透過性フィルタ31が形成されている。   The first end face 6 and the connection end face of the optical fiber 1a exposed on the first end face 6 are both polished and formed, and the second end face 7 and the connection end face of the optical fiber 1b exposed on the second end face 7 are both Polished and formed. A multi-layer wavelength selective transmission filter 31 is formed on the connection end face of the optical fiber 1 a exposed at the first end face 6.

波長選択透過性フィルタ31は、SiO、TiO、Taが積層された多層膜であり、設定波長帯の光、ここでは波長1.53μm以下の波長の光のみを透過する波長選択透過機能を有する波長選択透過膜(ローパスフィルタ膜)により形成されている。この波長選択透過膜は、成膜により光ファイバ配列部材5の接続端面13に形成されている。 The wavelength selective transmission filter 31 is a multilayer film in which SiO 2 , TiO 2 , and Ta 2 O 3 are laminated, and wavelength selection that transmits only light in a set wavelength band, here, light having a wavelength of 1.53 μm or less. It is formed of a wavelength selective transmission film (low-pass filter film) having a transmission function. This wavelength selective transmission film is formed on the connection end face 13 of the optical fiber array member 5 by film formation.

本実施形態例は以上のように構成されており、次に、本実施形態例の光部品の製造方法について説明する。まず、図1(a)に示すように、光ファイバ配列部材5に2本の光ファイバ1a,1bを並設し、光ファイバ1a,1bの接続端面側を光ファイバ配列部材5の接続端面13側に配置する。そして、光ファイバ配列部材5の接続端面13と前記光ファイバ1a,1bの接続端面とを共に研磨して光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸Cとの成す角度を第1設定角度(ここではθ)として第1端面6を形成する。   The present embodiment is configured as described above. Next, a method for manufacturing an optical component according to the present embodiment will be described. First, as shown in FIG. 1A, two optical fibers 1a and 1b are arranged side by side on the optical fiber array member 5, and the connection end face side of the optical fibers 1a and 1b is connected to the connection end face 13 of the optical fiber array member 5. Place on the side. Then, the connection end face 13 of the optical fiber array member 5 and the connection end faces of the optical fibers 1a and 1b are both polished so that the angle formed with the central axis C in the light passing direction of the optical fiber array member 5 is a first set angle ( Here, the first end face 6 is formed as θ).

その後、図1(b)、(d)に示すように、第1端面6に露出した光ファイバ1a,1bの接続端面に、多層膜を、イオンアシスト法等の真空蒸着装置にて蒸着し成膜形成して波長選択透過性フィルタ31とする。   Thereafter, as shown in FIGS. 1B and 1D, a multilayer film is deposited on the connection end faces of the optical fibers 1a and 1b exposed on the first end face 6 by a vacuum deposition apparatus such as an ion assist method. A film is formed to form the wavelength selective transmission filter 31.

なお、図1(d)には、光ファイバ1a,1bを含む第1端面6の中央側領域に波長選択透過性フィルタ31(多層膜)を形成した例を示しているが、多層膜は、光ファイバ1aの接続端面を含む領域に形成されればよいので、第1端面6の全面に形成してもよいし、光ファイバ1aの接続端面とその周りに形成してもよい。   FIG. 1 (d) shows an example in which the wavelength selective transmission filter 31 (multilayer film) is formed in the central region of the first end face 6 including the optical fibers 1a and 1b. Since it may be formed in a region including the connection end face of the optical fiber 1a, it may be formed on the entire first end face 6, or may be formed on and around the connection end face of the optical fiber 1a.

つまり、多層膜の形成領域は、その形成が容易に、かつ、効率的に行えればよいので、例えば、図5(c)で説明した従来例のように、マスクを設ける等して、光ファイバ1bの接続端面に多層膜が形成されないように多層膜の形成領域を正確に決定制御するときのような、手間や技術は不要であり、膜形成を容易に行うことができる。   In other words, the formation region of the multilayer film only needs to be formed easily and efficiently. For example, as in the conventional example described with reference to FIG. No effort or technique is required as in the case of accurately determining and controlling the formation region of the multilayer film so that the multilayer film is not formed on the connection end face of the fiber 1b, and the film can be formed easily.

次に、図1(c)に示すように、複数の光ファイバのうち少なくとも1つ、ここでは、光ファイバ1a,1bのうち1つの光ファイバ1bの接続端面と共に、光ファイバ配列部材5の接続端面13の第1端面6の一部を研磨して光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸Cとの成す角度が前記第1設定角度(θ)とは異なる第2設定角度(ここではγ)となる第2端面7を形成することにより、該第2端面7と前記第1端面6とを隣り合わせに配置する。   Next, as shown in FIG. 1 (c), the connection of the optical fiber arraying member 5 together with the connection end face of at least one of the plurality of optical fibers, here, one of the optical fibers 1a and 1b. A second set angle (here, an angle formed by polishing a part of the first end face 6 of the end face 13 and the central axis C in the light passing direction of the optical fiber array member 5 is different from the first set angle (θ)). By forming the second end face 7 to be γ), the second end face 7 and the first end face 6 are arranged adjacent to each other.

そして、該第1端面6と前記第2端面7にそれぞれ2本の光ファイバ1a,1bのうちの互いに異なる少なくとも1つの光ファイバ1の接続端面を露出配置する。つまり、第1端面6には光ファイバ1aの接続端面を露出配置し、第2端面7には光ファイバ1bの接続端面を露出配置する。また、図1(c)、(e)に示したように、第1端面6に露出配置される光ファイバ1aの接続端面にのみ多層膜の波長選択透過性フィルタ31が形成された構成とする。   Then, the first end face 6 and the second end face 7 are each provided with an exposed connection end face of at least one optical fiber 1 out of the two optical fibers 1a and 1b. That is, the connection end face of the optical fiber 1 a is exposed at the first end face 6, and the connection end face of the optical fiber 1 b is exposed at the second end face 7. Also, as shown in FIGS. 1C and 1E, a multilayer wavelength selective transmission filter 31 is formed only on the connection end face of the optical fiber 1a that is exposed on the first end face 6. .

本実施形態例は以上のように製造されており、この製造方法を適用し、光ファイバ配列部材5の接続端面13を、光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸Cとの成す角度が第1設定角度θの第1端面6と、前記中心軸Cとの成す角度が第2設定角度γの第2端面7とを隣り合わせに配置した構成とすることにより、第1端面6と第2端面7とにそれぞれ、対応する光ファイバ1a,1bの接続端面を露出配置することができるし、第1端面6に露出配置される光ファイバ1aの接続端面にのみ、容易に、かつ、的確に、多層膜の波長選択透過性フィルタ31を形成することができる。   The present embodiment is manufactured as described above. By applying this manufacturing method, the angle formed between the connection end surface 13 of the optical fiber array member 5 and the central axis C in the light passing direction of the optical fiber array member 5 is as follows. By adopting a configuration in which the first end surface 6 having the first set angle θ and the second end surface 7 having the second set angle γ as the angle formed by the central axis C are arranged adjacent to each other, the first end surface 6 and the second end surface 6 are arranged. The connection end surfaces of the corresponding optical fibers 1a and 1b can be exposed and arranged on the end surface 7, respectively, and only easily and accurately only on the connection end surface of the optical fiber 1a exposed on the first end surface 6. The multilayer wavelength selective transmission filter 31 can be formed.

そして、第1端面6に露出した光ファイバ1bの接続端面に波長選択透過性フィルタ31を設けることにより、光ファイバ1aへの入出力光のみ、波長選択透過性フィルタ31を通過させることができ、波長選択透過性フィルタ31のフィルタリング機能を生かして、波長合分波モジュール等の形成を図ることができる。   Then, by providing the wavelength selective transmission filter 31 on the connection end face of the optical fiber 1b exposed on the first end face 6, only the input / output light to the optical fiber 1a can be passed through the wavelength selective transmission filter 31. A wavelength multiplexing / demultiplexing module or the like can be formed by utilizing the filtering function of the wavelength selective transmission filter 31.

また、本実施形態例によれば、第1端面6と該第1端面6に露出した光ファイバ1aの接続端面は共に研磨形成され、第2端面7と該第2端面7に露出した光ファイバ1bの接続端面は共に研磨形成されているので、第1端面6と第2端面7を研磨形成により容易に形成できるし、各端面6,7に露出する光ファイバ1a,1bの接続端面と対応する端面6,7とを容易に、かつ、的確に面一致させることができる。したがって、本実施形態例の光部品と接続される接続相手側との損失を小さくすることができる。   In addition, according to the present embodiment, the first end face 6 and the connection end face of the optical fiber 1a exposed on the first end face 6 are both polished and formed, and the second end face 7 and the optical fiber exposed on the second end face 7 are polished. Since both the connection end faces 1b are formed by polishing, the first end face 6 and the second end face 7 can be easily formed by polishing, and correspond to the connection end faces of the optical fibers 1a and 1b exposed at the end faces 6 and 7, respectively. It is possible to easily and accurately match the end faces 6 and 7 to be matched. Accordingly, it is possible to reduce the loss with the connection partner connected to the optical component of the present embodiment.

さらに、本実施形態例によれば、第1設定角度θは82°とし、第2設定角度γは−82°としている(言い換えれば、第1端面6と第2端面7は、いずれも、前記光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸に直交する線Rとの成す角度を8°としている)ので、例えば光ファイバ1aを第1端面6側に向けて進んで第1端面6において反射した反射光が、再び光通路に戻ることを抑制でき(つまり、高い反射減衰特性を得ることができ)、反射戻り光による悪影響が少ない、より一層低損失の光部品を形成できる。   Furthermore, according to this embodiment, the first set angle θ is 82 ° and the second set angle γ is −82 ° (in other words, the first end face 6 and the second end face 7 are both The angle formed by the line R perpendicular to the central axis in the light passing direction of the optical fiber arraying member 5 is 8 °), so that the optical fiber 1a proceeds toward the first end face 6 and is reflected at the first end face 6, for example. The reflected light can be prevented from returning to the optical path again (that is, a high reflection attenuation characteristic can be obtained), and an optical component with much lower loss can be formed with less adverse effects due to the reflected return light.

図2には、本実施形態例の光部品を適用して形成した光波長合分波モジュールの一例を、その動作例と共に示す。この光波長合分波モジュールは、本実施形態例の光部品である多心(2心)フェルール3とレンズ2aをハウジング26に挿入固定して2心コリメータ20を形成し、この2心コリメータ20と単心コリメータ21とを光結合して形成されている。   FIG. 2 shows an example of an optical wavelength multiplexing / demultiplexing module formed by applying the optical component of the present embodiment together with an operation example thereof. This optical wavelength multiplexing / demultiplexing module forms a two-core collimator 20 by inserting and fixing a multi-core (two-core) ferrule 3 and a lens 2a, which are optical components of this embodiment, into a housing 26. And a single-core collimator 21 are optically coupled.

前記多心コリメータ20のレンズ2aは、フェルール3に対向する接続端面33が、フェルール3の第1端面6と第2端面7との稜線と当接配置されており、レンズ2aの単心フェルール21に対向する接続端面34側には、スペーサ25を介して石英基板22が設けられている。石英基板22には、一方側(レンズ2a側)の面に、波長1.53μmを越える波長の光を通過させるハイパスフィルタ23が成膜等により形成され、他方側の面に、波長1.55μmの光が反射することを防止する反射防止膜24が形成されている。   The lens 2a of the multi-core collimator 20 has a connection end surface 33 facing the ferrule 3 disposed in contact with a ridge line between the first end surface 6 and the second end surface 7 of the ferrule 3, and the single-core ferrule 21 of the lens 2a. A quartz substrate 22 is provided on the side of the connection end face 34 facing the surface of the substrate via a spacer 25. The quartz substrate 22 is formed with a high-pass filter 23 on one surface (lens 2a side) that allows light having a wavelength exceeding 1.53 μm to pass therethrough, and the other surface has a wavelength of 1.55 μm. An antireflection film 24 for preventing the reflected light from being reflected is formed.

単心コリメータ21は、シングルモード光ファイバにより形成された光ファイバ1(1c)を配列固定した単心フェルール4と、レンズ2bとを、ハウジング27に挿入固定して形成されており、単心フェルール4の接続端面14と、この接続端面14に対向するレンズ2bの接続端面35は、共に斜めに研磨形成されている。 The single-core collimator 21 is formed by inserting and fixing a single-fiber ferrule 4 in which an optical fiber 1 (1c) formed by a single-mode optical fiber is arrayed and a lens 2b into a housing 27. The connection end face 14 of the lens 4 and the connection end face 35 of the lens 2b facing the connection end face 14 are both polished and formed obliquely.

この波長合分波モジュールにおいて、図2(a)に示すように、例えば、第1ポート16から波長λ1(1.26μm〜1.36μm)の光を入射すると、この光は、光ファイバ1aを伝搬してその接続端面から出射し、レンズ2aを通り、ハイパスフィルタ23で反射し、再びレンズ2aを通って、多心フェルール3の第2端面7側に進んで光ファイバ1bに入射し、第2ポート17から出射される。   In this wavelength multiplexing / demultiplexing module, as shown in FIG. 2A, for example, when light having a wavelength λ1 (1.26 μm to 1.36 μm) is incident from the first port 16, this light is transmitted through the optical fiber 1a. Propagated and emitted from the connection end face, passed through the lens 2a, reflected by the high pass filter 23, passed through the lens 2a again, proceeded to the second end face 7 side of the multi-core ferrule 3, and entered the optical fiber 1b. The light is emitted from the 2 port 17.

また、図2(b)に示すように、例えば、第2ポート17から波長λ2(1.48μm〜1.50μm)の光を入射すると、この光は、光ファイバ1bを伝搬してその接続端面から出射し、レンズ2aを通り、ハイパスフィルタ23で反射し、再びレンズ2aを通って、多心フェルール3の第1端面6側に進み、波長選択透過性フィルタ31を通過して光ファイバ1aに入射し、第1ポート16から出射される。   As shown in FIG. 2B, for example, when light having a wavelength λ2 (1.48 μm to 1.50 μm) is incident from the second port 17, the light propagates through the optical fiber 1b and the connection end face thereof. , Passes through the lens 2a, is reflected by the high pass filter 23, passes through the lens 2a again, proceeds to the first end face 6 side of the multi-core ferrule 3, passes through the wavelength selective transmission filter 31, and enters the optical fiber 1a. Incident light is emitted from the first port 16.

さらに、図2(c)に示すように、例えば、第2ポート17から波長λ3(1.55μm〜1.56μm)の光を入射すると、この光は、光ファイバ1bを伝搬してその接続端面から出射し、レンズ2aを通り、ハイパスフィルタ23、反射防止膜24を順に透過し、レンズ2bを通って単心フェルール4の光ファイバ1cに入射し、第3ポート18から出射される。   Further, as shown in FIG. 2 (c), for example, when light having a wavelength λ3 (1.55 μm to 1.56 μm) is incident from the second port 17, the light propagates through the optical fiber 1b and the connection end face thereof. , Passes through the lens 2a, sequentially passes through the high-pass filter 23 and the antireflection film 24, enters the optical fiber 1c of the single-core ferrule 4 through the lens 2b, and exits from the third port 18.

各波長λ1、λ2、λ3の経路の挿入損失は、いずれも0.8dB以下であり、第2ポート17から第3ポート18への経路でのλ2のアイソレーションは50dB以上得られた。   The insertion loss of each of the wavelengths λ1, λ2, and λ3 is 0.8 dB or less, and the isolation of λ2 in the route from the second port 17 to the third port 18 is 50 dB or more.

また、第2ポート17から第1ポート16への経路でのλ3のアイソレーションは40dB以上得ることができた。この値は、本実施形態例の光部品(多心フェルール3)を用いずに、図5に示したような従来の多心フェルール3を用いた場合のアイソレーションが25dB程度であったのに比べ、非常に良好な値であり、本実施形態例の適用により、格段にアイソレーションの向上を図ることができた。   In addition, the isolation of λ3 in the path from the second port 17 to the first port 16 was 40 dB or more. This value is about 25 dB when the conventional multi-core ferrule 3 as shown in FIG. 5 is used without using the optical component (multi-fiber ferrule 3) of this embodiment. Compared to this, it was a very good value, and by applying this embodiment example, it was possible to significantly improve the isolation.

次に、本発明に係る光部品の第2実施形態例について、図3に基づいて説明する。なお、第2実施形態例の説明において、第1実施形態例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略または簡略化する。   Next, a second embodiment of the optical component according to the present invention will be described with reference to FIG. In the description of the second embodiment, the same reference numerals are assigned to the same name portions as those in the first embodiment, and the duplicate description is omitted or simplified.

第2実施形態例は、第1実施形態例とほぼ同様に構成されており、第2実施形態例が上記第1実施形態例と異なる特徴的なことは、図3(c)に示すように、光ファイバ配列部材5が、光ファイバ1a,1bを挿入する光ファイバ挿入溝としてのV溝9を複数(ここでは2本)並設して成るガラス基板12であることと、光ファイバ1a,1bが、接続端面側に屈折率分布型光ファイバ10を有していることである。   The second embodiment is configured in substantially the same manner as the first embodiment, and the second embodiment is different from the first embodiment as shown in FIG. The optical fiber arraying member 5 is a glass substrate 12 having a plurality of (two in this case) V-grooves 9 as optical fiber insertion grooves into which the optical fibers 1a and 1b are inserted, and the optical fibers 1a and 1b. 1b has the gradient index optical fiber 10 on the connection end face side.

屈折率分布型光ファイバ10はレンズ効果を持っており、シングルモードファイバの先端に一体的に形成されている。シングルモード光ファイバの基端側が接着剤15によってガラス基板12に固定されている。ガラス基板12および光ファイバ1a,1bの接続端面側には、光ファイバ1a,1bの押さえ用のガラス板28が設けられており、ガラス板28は、ガラス基板12に一体的に固定され、その端面も、ガラス基板12と同様に形成されている。   The gradient index optical fiber 10 has a lens effect and is integrally formed at the tip of a single mode fiber. The base end side of the single mode optical fiber is fixed to the glass substrate 12 with an adhesive 15. On the connection end face side of the glass substrate 12 and the optical fibers 1a and 1b, a glass plate 28 for holding the optical fibers 1a and 1b is provided, and the glass plate 28 is integrally fixed to the glass substrate 12, The end face is also formed in the same manner as the glass substrate 12.

第2実施形態例の光部品の製造は、図3(a)に示すように、ガラス基板12の光ファイバ配列部材5に光ファイバ1(1a,1b)を固定して光ファイバ1a,1bの接続端面側を光ファイバ配列部材5の接続端面13側に配置し、ガラス板28で覆った後、上記第1実施形態例と同様に、光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸Cとの成す角度が第1設定角度θの第1端面6を研磨形成する。その後、図1(b)、(d)に示すように、第1端面6に露出した光ファイバ1a,1bの接続端面に、イオンアシスト法等の真空蒸着装置にて多層膜を蒸着し、成膜形成して波長選択透過性フィルタ31とする。   As shown in FIG. 3A, the optical component according to the second embodiment is manufactured by fixing the optical fibers 1 (1a, 1b) to the optical fiber arraying member 5 of the glass substrate 12 to obtain the optical fibers 1a, 1b. After the connection end face side is arranged on the connection end face 13 side of the optical fiber arraying member 5 and covered with the glass plate 28, the center axis C of the optical fiber arraying member 5 in the light passing direction is similar to the first embodiment. The first end surface 6 having the first set angle θ is polished and formed. Thereafter, as shown in FIGS. 1B and 1D, a multilayer film is deposited on the connection end faces of the optical fibers 1a and 1b exposed on the first end face 6 by a vacuum deposition apparatus such as an ion assist method. A film is formed to form the wavelength selective transmission filter 31.

その後、図3(c)に示すように、光ファイバ1bの接続端面と共に光ファイバ配列部材5の第1端面6の一部を研磨して光ファイバ配列部材5の光通過方向の中心軸Cとの成す角度が第2設定角度γとなる第2端面7を形成することにより、該第2端面7と前記第1端面6とを隣り合わせに配置し、第2端面2に光ファイバ1bの接続端面を露出し、第1端面6に露出配置される光ファイバ1aの接続端面にのみ多層膜の波長選択透過性フィルタ31が形成された構成とする。   Thereafter, as shown in FIG. 3C, a part of the first end surface 6 of the optical fiber arraying member 5 is polished together with the connection end surface of the optical fiber 1b, so that the optical fiber arraying member 5 has a central axis C in the light passing direction. By forming the second end face 7 having an angle formed by the second set angle γ, the second end face 7 and the first end face 6 are disposed adjacent to each other, and the connection end face of the optical fiber 1b is disposed on the second end face 2. The multi-layered wavelength selective transmission filter 31 is formed only on the connection end face of the optical fiber 1 a that is exposed on the first end face 6.

第2実施形態例も第1実施形態例と同様の効果を奏することができる。また、第2実施形態例においては、光ファイバ1a,1bの接続端面側に形成した屈折率分布型光ファイバ10がレンズ効果を有しているので、例えば波長合分波モジュールを形成する場合等において、図2に示したようなレンズ2aを設けなくてもモジュール形成を行うことができ、モジュール形成のための部品点数を少なくし、低コスト化とより一層の低損失化を図ることができる。   The second embodiment can also achieve the same effects as the first embodiment. In the second embodiment, since the gradient index optical fiber 10 formed on the connection end face side of the optical fibers 1a and 1b has a lens effect, for example, when a wavelength multiplexing / demultiplexing module is formed. The module can be formed without providing the lens 2a as shown in FIG. 2, the number of parts for forming the module can be reduced, and the cost and the loss can be further reduced. .

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、様々な形態を採り得る。例えば、上記第2実施形態例では、光ファイバ1a,1bの接続端面側に屈折率分布型光ファイバ10を設けたが、屈折率分布型光ファイバ10の代わりに、テックファイバとしてもよい。   In addition, this invention is not limited to the said Example, Various forms can be taken. For example, in the second embodiment, the refractive index distribution type optical fiber 10 is provided on the connection end face side of the optical fibers 1 a and 1 b, but a tech fiber may be used in place of the refractive index distribution type optical fiber 10.

また、上記各実施形態例では、光通路はいずれも光ファイバ1としたが、本発明の光部品において、光通路は光導波路とし、光通路配列部材は光導波回路部材としてもよい。この場合も、上記各実施形態例と同様の効果を奏することができる。   In each of the above embodiments, the optical path is the optical fiber 1, but in the optical component of the present invention, the optical path may be an optical waveguide, and the optical path array member may be an optical waveguide circuit member. Also in this case, the same effects as those of the above embodiments can be obtained.

さらに、上記各実施形態例では、光ファイバ配列部材5の第1端面6に多層膜を蒸着により成膜形成したが、多層膜はスパッタリングにより形成してもよい。   Further, in each of the above embodiments, the multilayer film is formed by vapor deposition on the first end face 6 of the optical fiber array member 5, but the multilayer film may be formed by sputtering.

さらに、上記各実施形態例では、光ファイバ配列部材5の第1端面6に多層膜を形成したが、多層膜の代わりに単層膜を形成してもよい。また、光ファイバ配列部材5の代わりに、光導波回路部材を有する光部品を形成した場合も、第1端面6に、多層膜を形成してもよいし、単層膜を形成してもよい。   Further, in each of the above embodiments, the multilayer film is formed on the first end face 6 of the optical fiber array member 5, but a single layer film may be formed instead of the multilayer film. In addition, when an optical component having an optical waveguide circuit member is formed instead of the optical fiber array member 5, a multilayer film or a single layer film may be formed on the first end face 6. .

さらに、上記各実施形態例では、2本の光ファイバ1を配列して光部品を形成したが、3本以上の光ファイバや光導波路等の光通路を並設して光部品を形成してもよい。この場合、例えば図4(a)に示すように、第1端面6に1本の光通路(ここでは光ファイバ1)を露出配置し、その他の光通路(ここでは光ファイバ1)を第2端面7に露出配置してもよいし、図4(b)に示すように、複数の光通路(ここでは光ファイバ1)を第1端面6に露出配置し、1本以上の光通路(ここでは複数の光ファイバ1)を第2端面7に露出配置してもよい。   Further, in each of the above embodiments, the optical component is formed by arranging the two optical fibers 1, but the optical component is formed by arranging optical paths such as three or more optical fibers and optical waveguides in parallel. Also good. In this case, for example, as shown in FIG. 4A, one optical path (here, optical fiber 1) is exposed on the first end face 6, and the other optical path (here, optical fiber 1) is second. As shown in FIG. 4B, a plurality of optical paths (here, the optical fiber 1) may be exposed on the first end face 6, and one or more optical paths (here) may be provided. Then, a plurality of optical fibers 1) may be disposed on the second end face 7 so as to be exposed.

また、図4(c)、(d)に示すように、光ファイバ配列部材5の接続端面13は、隣り合わせに配置された第1端面6と第2端面7に加え、他の面(第3端面や第4端面等の複数の面40)を有する構成としてもよい。このように、光ファイバ配列部材5の接続端面13が複数の面を有する場合にも、少なくとも第1端面6に多層膜または単層膜が形成されていればよく、第2端面を除く他の面にも膜が形成されていてもよい(図4(d)の符号41参照)。   As shown in FIGS. 4C and 4D, the connection end face 13 of the optical fiber arraying member 5 is in addition to the first end face 6 and the second end face 7 that are arranged adjacent to each other (the third end face). It is good also as a structure which has several surfaces 40), such as an end surface and a 4th end surface. As described above, even when the connection end face 13 of the optical fiber arraying member 5 has a plurality of faces, it is sufficient that a multilayer film or a single layer film is formed on at least the first end face 6, and other than the second end face. A film may also be formed on the surface (see reference numeral 41 in FIG. 4D).

さらに、上記各実施形態例では、多層膜により、設定波長帯の光を透過させる波長選択透過性フィルタ31を形成したが、多層膜または単層膜は、設定波長帯の光を減衰させる光減衰膜としてもよいし、設定波長帯の光の反射を防止する反射防止膜としてもよいし、他の機能を有する膜としてもよい。   Further, in each of the above embodiments, the wavelength selective transmission filter 31 that transmits light in the set wavelength band is formed by the multilayer film. However, the multilayer film or the single layer film attenuates light in the set wavelength band. A film may be used, an antireflection film for preventing reflection of light in a set wavelength band, or a film having other functions.

さらに、上記実施形態例では、第1設定角度を82°に形成し、第2設定角度を−82°に形成したが、これらの角度は特に限定されるものでなく、適宜設定されるものである。なお、第1端面6や第2端面7等、光ファイバ配列部材5等の光通路配列部材の接続端面を、該光通路配列部材の光通過方向の中心軸に直交する線との角度が8°以下になるように斜めに形成すると、端面において高い反射減衰特性を得ることができ、反射戻り光による悪影響が少ない、より一層低損失の光部品を形成できるので好ましい。   Further, in the above embodiment, the first set angle is formed at 82 ° and the second set angle is formed at −82 °. However, these angles are not particularly limited and can be set as appropriate. is there. The angle between the connection end surface of the optical path array member such as the optical fiber array member 5 such as the first end surface 6 and the second end surface 7 and a line orthogonal to the central axis of the light passage direction of the optical path array member is 8 It is preferable to form it obliquely so as to be less than or equal to 0 °, because a high reflection attenuation characteristic can be obtained at the end face, and an optical component with much lower loss can be formed with less adverse effects due to reflected return light.

本発明に係る光部品の第1実施形態例の製造方法および構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the manufacturing method and structure of 1st Embodiment of the optical component which concerns on this invention. 上記第1実施形態例の光部品を適用して形成される波長光合分波モジュールの例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the wavelength optical multiplexing / demultiplexing module formed by applying the optical component of the said 1st Embodiment. 本発明に係る光部品の第2実施形態例の製造方法および構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the manufacturing method and structure of 2nd Embodiment of the optical component which concerns on this invention. 本発明に係る光部品の他の実施形態例における接続端面側の構成を示す要部説明図である。It is principal part explanatory drawing which shows the structure by the side of the connection end surface in the other embodiment of the optical component which concerns on this invention. 従来の多心フェルールの構成例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structural example of the conventional multi-core ferrule.

符号の説明Explanation of symbols

1,1a,1b 光ファイバ
3 多心フェルール
4 単心フェルール
5 光ファイバ配列部材
6 第1端面
7 第2端面
8 光ファイバ挿通孔
9 V溝
10 屈折率分布型光ファイバ
13,14 接続端面
31 波長選択透過性フィルタ
1, 1a, 1b Optical fiber 3 Multi-fiber ferrule 4 Single-core ferrule 5 Optical fiber array member 6 First end surface 7 Second end surface 8 Optical fiber insertion hole 9 V groove 10 Refractive index distribution type optical fiber 13, 14 Connection end surface 31 Wavelength Selective permeability filter

Claims (8)

複数の光通路を並設して成る光通路配列部材を有し、該光通路配列部材の接続端面に前記複数の光通路の接続端面が露出されている光部品であって、前記光通路配列部材の接続端面は、該光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が第1設定角度の第1端面と、該第1端面と隣り合わせに配置されて前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度の第2端面とを有し、前記第1端面と前記第2端面にはそれぞれ前記複数の光通路のうちの互いに異なる少なくとも1つの光通路の接続端面が露出しており、前記第1端面に露出した光通路の接続端面には多層膜または単層膜が形成されていることを特徴とする光部品。   An optical component having an optical path array member formed by arranging a plurality of optical paths in parallel, wherein the connection end faces of the plurality of optical paths are exposed on the connection end faces of the optical path array members, The connecting end surface of the member is disposed adjacent to the first end surface having a first set angle with respect to the central axis in the light passing direction of the light path arraying member and the first end surface. A second end face having a second set angle different from the first set angle in an angle formed with a central axis in a passing direction, and the first end face and the second end face are each of the plurality of light paths. An optical component, wherein a connection end face of at least one optical path different from each other is exposed, and a multilayer film or a single layer film is formed on the connection end face of the optical path exposed on the first end face. 第1端面と該第1端面に露出した光通路の接続端面は共に研磨形成され、第2端面と該第2端面に露出した光通路の接続端面は共に研磨形成されていることを特徴とする請求項1記載の光部品。   The first end face and the connection end face of the light path exposed at the first end face are both polished and formed, and the second end face and the connection end face of the light path exposed at the second end face are both polished and formed. The optical component according to claim 1. 光通路は光ファイバとし、該光ファイバを挿通する光ファイバ挿通孔または前記光ファイバを挿入する光ファイバ挿入溝を複数並設して成る光ファイバ配列部材を光通路配列部材としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の光部品。   The optical path is an optical fiber, and an optical fiber array member formed by arranging a plurality of optical fiber insertion holes through which the optical fiber is inserted or an optical fiber insertion groove into which the optical fiber is inserted is used as an optical path array member. The optical component according to claim 1 or 2. 光ファイバはテックファイバまたは屈折率分布型光ファイバを有していることを特徴とする請求項3記載の光部品。   4. The optical component according to claim 3, wherein the optical fiber includes a tech fiber or a gradient index optical fiber. 光通路は光導波路とし、光通路配列部材は光導波回路部材としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の光部品。   3. The optical component according to claim 1, wherein the optical path is an optical waveguide, and the optical path array member is an optical waveguide circuit member. 第1端面は光通路配列部材の光通過方向の中心軸に直交する線との角度が8°以下になるように斜めに形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一つに記載の光部品。   The first end face is formed obliquely so that an angle with a line perpendicular to the central axis of the light passage arrangement member in the light passage direction is 8 ° or less. The optical component as described in one. 多層膜または単層膜は設定波長帯の光のみを透過する波長選択透過機能を有する波長選択透過膜と、設定波長帯の光を減衰させる光減衰膜と、設定波長帯の光の反射を防止する反射防止膜のいずれか一つとしたことを特徴とする請求項1乃至請求項6記載の光部品。   The multilayer film or single layer film is a wavelength selective transmission film having a wavelength selective transmission function that transmits only light in the set wavelength band, an optical attenuation film that attenuates light in the set wavelength band, and prevents reflection of light in the set wavelength band. 7. The optical component according to claim 1, wherein the optical component is any one of antireflection films. 光通路配列部材に複数の光通路を並設して該光通路の接続端面側を前記光通路配列部材の接続端面側に配置し、該光通路配列部材の接続端面と前記複数の光通路の接続端面とを共に研磨して前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度を第1設定角度として第1端面を形成した後、該第1端面に露出した光通路の接続端面に多層膜または単層膜を形成し、然る後に、前記複数の光通路のうち少なくとも1つの光通路の接続端面と共に前記光通路配列部材の接続端面の一部を研磨して前記光通路配列部材の光通過方向の中心軸との成す角度が前記第1設定角度とは異なる第2設定角度となる第2端面を形成することにより該第2端面と前記第1端面とを隣り合わせに配置し、該第1端面と前記第2端面にそれぞれ前記複数の光通路のうちの互いに異なる少なくとも1つの光通路の接続端面を露出配置し、前記第1端面に露出配置される光通路の接続端面にのみ前記多層膜または単層膜が形成された構成とすることを特徴とする光部品の製造方法。   A plurality of light paths are arranged in parallel on the light path array member, and a connection end surface side of the light path is disposed on a connection end surface side of the light path array member, and the connection end surface of the light path array member and the plurality of light paths After forming the first end surface by polishing together the connection end surface and setting the angle formed with the central axis of the light passage direction of the light path arrangement member as the first set angle, the connection end surface of the light path exposed at the first end surface Forming a multi-layer film or a single layer film, and then polishing a part of the connection end face of the light path arrangement member together with the connection end face of at least one of the plurality of light paths. The second end face and the first end face are disposed adjacent to each other by forming a second end face having a second set angle that is different from the first set angle with respect to the central axis of the light passing direction of the member. , The plurality of light paths on the first end surface and the second end surface, respectively. A connecting end face of at least one optical path different from each other is exposed, and the multilayer film or the single layer film is formed only on the connecting end face of the optical path exposed at the first end face. Manufacturing method for optical components.
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