JP2006062168A - Laminator and laminate manufacturing method using it - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To laminate two sheetlike materials (a) and (b) so as to obtain a uniform thickness dimension in a laminator constituted so as to press two sheetlike materials (a) and (b) to laminate them by an adhesive (c), to suppress the occurrence of stress caused by bending at the time of pressurization in the sheetlike materials (a) and (b) and the adhesive (c) and to facilitate thickness control. <P>SOLUTION: The laminator is equipped with two stages 10 and 20 having smooth pressing surfaces 11 and 21 and a plurality of the jet orifices 11a and 21a provided to the pressing surfaces 11 and 21 and arranged so that the pressing surfaces 11 and 21 are possitively opposed to each other, holding means 11a, 21a and 70 for holding the sheetlike materials (a) and (b) at a predetermined position with respect to the pressing surfaces 11 and 21 of the respective stages 10 and 20, a pressurization means 30 for pressurizing two sheetlike materials (a) and (b) arranged between the stages 10 and 20 in a lamination direction, a jet means 50 for respectively jetting air from a plurality of the jet orifices 11a and 21a and a curing means 80 for curing the adhesive (c) interposed between two sheetlike materials (a) and (b) when two sheetlike materials (a) and (b) are pressurized by the pressurization means 30. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、2枚の板状体を加圧して接着剤により貼り合わせるようにした貼合せ装置に関し、特に、貼合せ時に板状体に加わる加圧力を均一化する対策に関する。   The present invention relates to a laminating apparatus in which two plate-like bodies are pressed and bonded together with an adhesive, and more particularly, to a countermeasure for equalizing the pressure applied to the plate-like bodies at the time of laminating.

例えば、液晶表示パネルの製造過程では、画素電極基板と対向電極基板とを該両基板間に接着剤を介在させて貼り合わせる工程が行われる。   For example, in the process of manufacturing a liquid crystal display panel, a process of bonding a pixel electrode substrate and a counter electrode substrate together with an adhesive interposed between the two substrates is performed.

このような貼合せ工程において用いられる従来の貼合せ装置のうち、特許文献1,特許文献2,特許文献3などに記載されているものでは、図10(側面図)に示すように、2枚の基板100,110を該2枚の基板100,110間に接着剤120が介在する状態で同図に矢印で示す方向に送りつつ1対のローラ130,140により順次加圧するようになされている。また、特許文献4に記載されているものでは、図11(側面図)に示すように、載置台200の上に載置された2枚の基板210,220を該2枚の基板210,220間に接着剤230が介在する状態で1つのローラ240を同図に矢印で示す方向に移動させ、このローラ240により順次加圧するようになされている。
特開平5−307161号公報(第3頁,図2) 特開昭58−134622号公報(第2頁,第3図) 特開昭59−16725号公報(第4頁,第2図) 特開平4−178629号公報(第2頁,第1図)
Among the conventional laminating apparatuses used in such a laminating process, those described in Patent Literature 1, Patent Literature 2, Patent Literature 3 and the like include two sheets as shown in FIG. 10 (side view). The substrates 100 and 110 are sequentially pressed by a pair of rollers 130 and 140 while being fed in the direction indicated by the arrow in the figure with the adhesive 120 interposed between the two substrates 100 and 110. . Moreover, in what is described in Patent Document 4, as shown in FIG. 11 (side view), the two substrates 210 and 220 mounted on the mounting table 200 are replaced with the two substrates 210 and 220. One roller 240 is moved in the direction indicated by the arrow in the drawing with the adhesive 230 interposed therebetween, and the rollers 240 are sequentially pressed.
JP-A-5-307161 (page 3, Fig. 2) JP 58-134622 (2nd page, Fig. 3) JP 59-16725 (page 4, FIG. 2) Japanese Patent Laid-Open No. 4-178629 (page 2, FIG. 1)

しかしながら、上記従来の貼合せ装置では、次のような欠点がある。
1)基板がローラにより線状に加圧されるために、ローラの軸方向中央部に加圧される部 位が凹む一方、軸方向両端部に加圧される部位の厚さが大きくなりやすい。
2)2枚の基板が局部的に順次加圧されるために、基板や接着剤に、加圧されて凹んだと きの撓みに起因する応力が残留しやすい。
3)加圧される直前ないし直後に接着剤を硬化させるために、厚さの管理が難しい。
However, the conventional pasting apparatus has the following drawbacks.
1) Since the substrate is pressed linearly by the roller, the portion to be pressed at the central portion in the axial direction of the roller is recessed, and the thickness of the portion to be pressed at both ends in the axial direction tends to increase. .
2) Since the two substrates are locally pressed sequentially, the stress caused by the bending when pressed and recessed tends to remain on the substrate and the adhesive.
3) Since the adhesive is cured immediately before or after being pressed, it is difficult to control the thickness.

本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、液晶表示パネルの画素電極基板および対向電極基板などのように、2枚の板状体を貼り合わせる方向に加圧するとともに該2枚の板状体の間に介在する接着剤を硬化させて貼り合わせるようにした貼合せ装置において、各板状体に対する圧力の加え方を改良することで、均一な厚さ寸法に張り合わせることができるとともに、板状体および接着剤に撓みに起因する応力の発生を抑えることができ、しかも、板厚の管理を容易化できるようにすることにある。   The present invention has been made in view of such a point, and its main purpose is to pressurize two plate-like bodies in a direction in which the two plate-like bodies are bonded together, such as a pixel electrode substrate and a counter electrode substrate of a liquid crystal display panel. In addition, in the laminating apparatus in which the adhesive interposed between the two plate-like bodies is cured and pasted together, by improving the method of applying pressure to each plate-like body, the uniform thickness dimension is obtained. In addition to being able to bond together, it is possible to suppress the occurrence of stress due to bending in the plate-like body and the adhesive, and to facilitate the management of the plate thickness.

上記の目的を達成すべく、本発明では、2枚の板状体を高圧の気体膜を介して加圧することで、板状体に加わる圧力を均一化させるようにした。   In order to achieve the above object, in the present invention, the pressure applied to the plate-like body is made uniform by pressurizing the two plate-like bodies through a high-pressure gas film.

具体的には、本発明では、2枚の板状体を貼り合わされる方向に加圧するとともに該2枚の板状体の間に介在する接着剤を硬化させて貼り合わせることにより積層体を形成するようにした貼合せ装置を前提としている。   Specifically, in the present invention, a laminate is formed by applying pressure in the direction in which two plate-like bodies are bonded together and curing and bonding the adhesive interposed between the two plate-like bodies. It is premised on a laminating apparatus designed to do this.

そして、各々、平滑な加圧面を有するとともに、該加圧面に設けられた複数の噴出口を有していて、前記加圧面同士が正対するように配置された2つのステージと、これら各ステージの加圧面に対し、該ステージに対応する板状体を所定位置に保持する保持手段と、前記2つのステージ間に配置された2枚の板状体を貼り合わせる方向に加圧する加圧手段と、各板状体が該板状体に対応するステージの加圧面に接触しないように該ステージの前記複数の噴出口からそれぞれ気体を噴出する噴出手段と、前記2枚の板状体が前記加圧手段により加圧されたとき、該2枚の板状体間に介在する接着剤を硬化させる硬化手段とを備えるようにする。   And each having a smooth pressurization surface and having a plurality of jet holes provided on the pressurization surface, the two pressurization surfaces arranged so as to face each other, and each of these stages Holding means for holding a plate-like body corresponding to the stage at a predetermined position with respect to the pressing surface; and pressurizing means for pressurizing the two plate-like bodies arranged between the two stages in a bonding direction; An ejection means for ejecting gas from each of the plurality of ejection ports of the stage so that each plate does not come into contact with the pressure surface of the stage corresponding to the plate, and the two plates are the pressurization And a curing means for curing the adhesive interposed between the two plate-like bodies when pressurized by the means.

尚、上記の構成において、保持手段を、ステージの加圧面に略平行な方向における板状体のスライド移動を規制するスライド規制機構や、ステージの加圧面からの板状体の離間移動を規制する離間規制機構を有するものとすることができる。スライド規制機構の具体例としては、板状体の周端面に接触して該板状体のスライド移動を規制するようにしたものが挙げられる。一方、離間規制機構の具体例としては、ステージの加圧面に設けられた複数の吸気口と、これら複数の吸気口を経由して気体を吸引する吸気手段とを有してなる吸引機構などが挙げられる。   In the above configuration, the holding means regulates a slide restricting mechanism for restricting the slide movement of the plate-like body in a direction substantially parallel to the pressure surface of the stage, and a movement of the plate-like body away from the pressure surface of the stage. It can have a separation regulating mechanism. A specific example of the slide restricting mechanism is one that restricts the slide movement of the plate-like member by contacting the peripheral end surface of the plate-like member. On the other hand, as a specific example of the separation regulating mechanism, there is a suction mechanism having a plurality of intake ports provided on the pressurizing surface of the stage and an intake unit that sucks gas through the plurality of intake ports. Can be mentioned.

また、加圧手段については、前記2つのステージを、該2つのステージ間に配置された2枚の板状体を貼り合わせる方向に相対移動可能に設けるとともに、それら2つのステージを前記貼合せ方向に相対移動させる移動手段を備えるようにする場合には、その移動手段により構成するようにしてもよいし、又は、前記噴出手段を、2つのステージ間に配置された2枚の板状体を気体の高圧噴出により互いに貼合せ方向に加圧可能に設けることで、この噴出手段により構成するようにしてもよい。   As for the pressurizing means, the two stages are provided so as to be relatively movable in the direction in which the two plate-like bodies arranged between the two stages are bonded together, and the two stages are mounted in the bonding direction. In the case where it is provided with a moving means for relative movement, it may be configured by the moving means, or the jetting means may be composed of two plate-like bodies arranged between two stages. You may make it comprise with this jetting means by providing so that a pressurization can be mutually carried out in the bonding direction by the high pressure jet of gas.

また、2枚の板状体のうちの少なくとも一方の板状体が、長尺状である場合には、その長尺板状体を2つのステージ間に順次導入する送り手段を備えるようにすることができるし、その場合には、2つのステージ間における長尺板状体の導入口の間隔寸法を、該2つのステージの加圧面間の間隔寸法よりも大きくすると好適である。   In addition, when at least one of the two plate-like bodies is long, a feeding means for sequentially introducing the long plate-like body between the two stages is provided. In this case, it is preferable that the distance between the inlets of the long plate-shaped body between the two stages is larger than the distance between the pressure surfaces of the two stages.

さらに、硬化手段については、前記接着剤が、UV光の照射を受けることで硬化するUV硬化型接着剤である場合には、2つのステージのうちの少なくとも一方のステージについて、UV光を透過可能に設けた上で、2枚の板状体間に介在するUV硬化型接着剤にUV光を照射する照射手段を硬化手段として備えるようにすることができるし、前記接着剤が、加熱されることで硬化する熱硬化型接着剤である場合には、2枚の板状体間に介在する熱硬化型接着剤が加熱されて硬化するように、前記噴出手段により噴出される気体を加熱する加熱手段を硬化手段として備えるようにすることができる。   Furthermore, as for the curing means, when the adhesive is a UV curable adhesive that cures when irradiated with UV light, UV light can be transmitted through at least one of the two stages. In addition, an irradiation means for irradiating UV light to the UV curable adhesive interposed between the two plate-like bodies can be provided as a curing means, and the adhesive is heated. When the thermosetting adhesive is cured by heating, the gas ejected by the ejection means is heated so that the thermosetting adhesive interposed between the two plates is heated and cured. A heating means can be provided as a curing means.

本発明によれば、2枚の板状体を気体の膜を介して加圧することで、各板状体に加わる圧力を均一化することができるので、加圧に伴う板状体の撓みが生じず、よって、そのような撓みによる板状体や接着剤の残留応力を少なくすることができ、しかも、加圧した状態で接着剤を硬化させることができるので、2枚の板状体が貼り合わされてなる積層体の厚さの管理を容易化することができる。また、気体の膜を介して加圧することにより、ステージを板状体の表面に接触させなくて済むので、そのような接触により板状体の表面に傷が付くという事態を回避することができるというメリットもある。   According to the present invention, the pressure applied to each plate-like body can be made uniform by pressurizing the two plate-like bodies through the gas film. Therefore, the residual stress of the plate-like body and the adhesive due to such bending can be reduced, and the adhesive can be cured in a pressurized state. Management of the thickness of the laminated body bonded together can be facilitated. In addition, by applying pressure through the gas film, the stage does not need to be brought into contact with the surface of the plate-like body, so that a situation in which the surface of the plate-like body is damaged by such contact can be avoided. There is also a merit.

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施形態に係る貼合せ装置の全体構成を模式的に示す側面図であり、この貼合せ装置は、液晶表示パネルの製造過程において、複数枚分の対向電極基板が未分割の状態で一方向に連なってなる第1長尺シートaと、複数枚分の画素電極基板が未分割の状態で一方向に連なってなる第2長尺シートbとを用い、第1長尺シートaにおける対向電極基板1枚分の各部分と、第2長尺シートbにおける画素電極基板1枚分の各部分とを、UV硬化型の接着剤cにより順に貼り合わせて積層体としてのパネル本体を形成するために使用される。尚、UV効果型接着剤cとしては、略200〜500nmの波長範囲内のUV光により硬化するようになされた一般的なものを用いている。   FIG. 1 is a side view schematically showing the overall configuration of a bonding apparatus according to an embodiment of the present invention. This bonding apparatus has a plurality of counter electrode substrates that are not yet formed in the manufacturing process of a liquid crystal display panel. A first long sheet a that is continuous in one direction in a divided state and a second long sheet b in which a plurality of pixel electrode substrates are continuous in one direction in an undivided state are used. Each part for one counter electrode substrate in the length sheet a and each part for one pixel electrode substrate in the second long sheet b are sequentially bonded together with a UV curable adhesive c to form a laminate. Used to form the panel body. As the UV effect type adhesive c, a general adhesive which is cured by UV light within a wavelength range of about 200 to 500 nm is used.

本貼合せ装置は、上下1対のステージ10,20を備えており、上側ステージ10の下面および下側ステージ20の上面は、それぞれ、加圧面11,21とされている。また、本貼合せ装置は、2つのステージ10,20を該両ステージ10,20間に導入された第1および第2長尺シートa,bの部分同士を貼り合わせる方向(以下、プレス方向という)に移動させる移動手段としてのプレス機構30を備えている。尚、ステージ10,20間の間隔寸法は、第1および第2長尺シートa,bの導入される導入口の部分において該導入方向後側(図1の左側)に向かって漸次大きくされている。   The bonding apparatus includes a pair of upper and lower stages 10 and 20, and the lower surface of the upper stage 10 and the upper surface of the lower stage 20 are pressure surfaces 11 and 21, respectively. Further, the present laminating apparatus is a direction in which the portions of the first and second long sheets a and b introduced between the two stages 10 and 20 are bonded to each other (hereinafter referred to as a pressing direction). ) Is provided as a moving means. The distance between the stages 10 and 20 is gradually increased toward the rear side in the introduction direction (left side in FIG. 1) at the introduction port where the first and second long sheets a and b are introduced. Yes.

第1および第2長尺シートa,bは、ロール状に巻き取られた状態で上下ステージ10,20の一側方(図1の左方)に配置さた巻取部から繰出可能に保持されている。巻取部から繰り出された各長尺シートa,bの部分は、途中で上下に重なり合ってステージ10,20間に導入されるようになっている。その際に、両長尺シートa,bが互いに重ね合わされる直前の位置では、第2長尺シートb上に、UV硬化型接着剤cが所定のパターンに配置されるようになっている。   1st and 2nd elongate sheet | seat a, b is hold | maintained so that it can draw | feed out from the winding part arrange | positioned in the one side (left side of FIG. 1) of the upper and lower stages 10 and 20 in the state wound up by roll shape. Has been. The portions of the long sheets a and b fed out from the take-up portion are introduced between the stages 10 and 20 so as to overlap each other vertically. At that time, the UV curable adhesive c is arranged in a predetermined pattern on the second long sheet b at a position immediately before the long sheets a and b are overlapped with each other.

上下ステージ10,20の他側方(図1の右方)には、ステージ10,20間から導出された各長尺シートa,bの貼り合わされた部分を上下方向において挟み込むように設けられた送り手段としての上下1対の駆動ローラ40が配置されている。これら駆動ローラ40は、図外の駆動手段により、互いに逆の方向に同期して間欠的にかつ互いに同じ速度でもって回転駆動されるようになっている。そして、各駆動ローラ40は、それぞれ、第1長尺シートaの上面および第2長尺シートbの下面に摩擦接触しており、これらにより、第1および第2長尺シートa,bをそれぞれ巻取部から繰り出して上下ステージ10,20間に導入するとともに、該上下ステージ10,20間から導出するようになっている。   The other side of the upper and lower stages 10 and 20 (the right side in FIG. 1) is provided so as to sandwich the bonded portion of the long sheets a and b led out between the stages 10 and 20 in the vertical direction. A pair of upper and lower drive rollers 40 serving as feeding means are arranged. These driving rollers 40 are driven to rotate intermittently in synchronism with opposite directions by the driving means (not shown) at the same speed. Each drive roller 40 is in frictional contact with the upper surface of the first long sheet a and the lower surface of the second long sheet b, and thereby the first and second long sheets a and b are respectively brought into contact with each other. It is drawn out from the winding unit and introduced between the upper and lower stages 10 and 20 and led out between the upper and lower stages 10 and 20.

上側ステージ10の加圧面11には、上下ステージ10,20間に導入された第1長尺シートaの部分に向かってエアを噴出するための多数(例えば、10cm四方の領域につき数十)の噴出口11aと、エアを吸い込むための多数の吸気口11bとが互いに混在するように設けられている。一方、下側ステージ20の加圧面21には、上下ステージ10,20間に導入された第2長尺シートbの部分に向かってエアを噴出するための多数の噴出口21aと、エアを吸い込むための多数の吸気口21bとが互いに混在するように設けられている。ステージ10,20の近傍には、各噴出口11a,21aから噴出されるエアを該噴出口11a,21aに圧送するためのエア供給部50が設けられている。また、ステージ10,20の近傍には、エア供給部50に加え、各吸気口11b,21bに連通していて該吸気口11b,21bからエアを吸引するためのエア吸引部80が設けられている。そして、本実施形態では、噴出口11a,21aおよびエア供給部50により、本発明における噴出手段が構成されており、また、吸気口11b.21bおよびエア吸引部80により、本発明における離間規制機構が構成されている。   The pressure surface 11 of the upper stage 10 has a large number (for example, several tens per 10 cm square area) for ejecting air toward the portion of the first long sheet a introduced between the upper and lower stages 10 and 20. The ejection port 11a and a large number of intake ports 11b for sucking air are provided so as to be mixed with each other. On the other hand, the pressurizing surface 21 of the lower stage 20 sucks in the air, and a large number of outlets 21a for ejecting air toward the portion of the second long sheet b introduced between the upper and lower stages 10, 20. Therefore, a large number of intake ports 21b are provided so as to coexist with each other. In the vicinity of the stages 10 and 20, an air supply unit 50 is provided for pressure-feeding the air ejected from the ejection ports 11a and 21a to the ejection ports 11a and 21a. In addition to the air supply unit 50, an air suction unit 80 that communicates with the intake ports 11 b and 21 b and sucks air from the intake ports 11 b and 21 b is provided in the vicinity of the stages 10 and 20. Yes. And in this embodiment, the ejection means in this invention is comprised by the ejection ports 11a and 21a and the air supply part 50, and the inlet port 11b. The separation regulating mechanism in the present invention is configured by 21b and the air suction part 80.

上側ステージ10の加圧面11には、図2の平面図に示すように、4本のスライド規制ピン60が垂設されている。これらスライド規制ピン60は、上下ステージ10,20間に導入された第1および第2長尺シートa,bの重なり合った部分のシート幅方向側端面に接触して該重なり合った部分のシート幅方向におけるスライド移動を規制するようになっている。また、下側ステージ20の加圧面21には、図2のIII−III線断面図である図3に示すように、対応するスライド規制ピン60の下端部分を収容可能な収容孔61が該下側ステージを20上下方向に貫通するように設けられており、上下ステージ10,20がプレス方向に移動するときに、対応する収容孔61にスライド規制ピン60の下端部分を収容することで該スライド規制ピン60がプレス作動の邪魔にならないようになっている。そして、本実施形態では、スライド規制ピン60および収容孔61により、本発明におけるスライド規制機構が構成されている。   As shown in the plan view of FIG. 2, four slide restricting pins 60 are suspended from the pressure surface 11 of the upper stage 10. These slide restricting pins 60 are in contact with the sheet width direction side end surfaces of the overlapped portions of the first and second long sheets a and b introduced between the upper and lower stages 10 and 20, and in the sheet width direction of the overlapped portions. The movement of the slide is regulated. Further, as shown in FIG. 3, which is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 2, the pressurizing surface 21 of the lower stage 20 has an accommodation hole 61 that can accommodate the lower end portion of the corresponding slide regulating pin 60. The side stage 20 is provided so as to penetrate in the vertical direction, and when the vertical stages 10 and 20 move in the pressing direction, the slide holding pin 61 is accommodated in the corresponding accommodation hole 61 to accommodate the slide. The restriction pin 60 does not interfere with the press operation. In the present embodiment, the slide restriction pin 60 and the accommodation hole 61 constitute a slide restriction mechanism in the present invention.

下側ステージ20は、UV硬化型接着剤cの硬化に必要な波長のUV光を透過する材料(例えば、アルカリガラス,無アルカリガラスや、透明塩化ビニル樹脂,ポリエチレン,ポリプロピレン,アクリル樹脂のような合成樹脂など)からなっており、この下側ステージ20の下方には、該下側ステージ20に向かってUV光を照射する照射手段としてのUV照射部90が設けられている。   The lower stage 20 is made of a material that transmits UV light having a wavelength necessary for curing the UV curable adhesive c (for example, alkali glass, non-alkali glass, transparent vinyl chloride resin, polyethylene, polypropylene, acrylic resin, etc. A UV irradiation unit 90 is provided below the lower stage 20 as irradiation means for irradiating UV light toward the lower stage 20.

ここで、上記のように構成された貼合せ装置の作用について説明する。   Here, the effect | action of the bonding apparatus comprised as mentioned above is demonstrated.

第1および第2長尺シートa,bは、両駆動ローラ40の作動により、互いに同じ速度でかつ互いに同じタイミングで所定寸法分ずつ保持部から順次繰り出される。また、第2長尺シートbには、該第2長尺シートbが繰り出される毎に、UV硬化型接着剤cが液晶表示パネル1枚分のパターンにプリントされる。   The first and second long sheets a and b are sequentially fed out from the holding unit by a predetermined size at the same speed and at the same timing by the operation of the drive rollers 40. Further, each time the second long sheet b is fed out, the UV curable adhesive c is printed on the second long sheet b in a pattern for one liquid crystal display panel.

次いで、第1長尺シートaのパネル1枚分の部分と、UV硬化型接着剤cのプリントされた第2長尺シートbのパネル1枚分の部分とが、ステージ10,20間に導入される。このとき、ステージ10,20間の導入口における間隔寸法が導入方向(送り方向)後側に向かって漸次大きくなっているので、各長尺シートa,bは円滑にステージ10,20間に導入される。導入された各部分は、4本のスライド規制ピン60により幅方向のスライド移動が規制される。   Next, a portion of the first long sheet a corresponding to one panel and a portion of the second long sheet b printed with the UV curable adhesive c are introduced between the stages 10 and 20. Is done. At this time, the distance between the stages 10 and 20 is gradually increased toward the rear side in the introduction direction (feeding direction), so that the long sheets a and b are smoothly introduced between the stages 10 and 20. Is done. Each introduced portion is restricted from sliding in the width direction by the four slide restricting pins 60.

そして、エア供給部50の作動により、上下ステージ10,20の各噴出孔11a,21aから、高圧エアが噴出される。これにより、上側ステージ10の加圧面11と第1長尺シートaの導入部分との間,および下側ステージ20の加圧面21と第2長尺シートbの導入部分との間には、それぞれエア膜が形成される。同時に、エア吸引部70の作動により、上下ステージ10,20の各吸気口11b,21bからエアが吸引される。これにより、第1および第2長尺シートa,bは、それぞれ、対応するステージ10,20の加圧面11,21との接触を妨げられつつ該加圧面11,21からの離間が規制されることで、各加圧面11,21から所定寸法(数mm程度)だけ浮上した位置に保持される。   And by the action | operation of the air supply part 50, high pressure air is ejected from each ejection hole 11a, 21a of the upper and lower stages 10 and 20. FIG. Thereby, between the pressurization surface 11 of the upper stage 10 and the introduction part of the 1st elongate sheet a, and between the pressurization surface 21 of the lower stage 20 and the introduction part of the 2nd elongate sheet b, respectively. An air film is formed. At the same time, air is sucked from the intake ports 11 b and 21 b of the upper and lower stages 10 and 20 by the operation of the air suction unit 70. As a result, the first and second long sheets a and b are restricted from being separated from the pressurizing surfaces 11 and 21 while being prevented from contacting the pressurizing surfaces 11 and 21 of the corresponding stages 10 and 20, respectively. As a result, the pressure surfaces 11 and 21 are held at positions floating by a predetermined dimension (about several mm).

その後、エア供給部50およびエア吸引部70の各作動が維持されたままの状態で、プレス機構30の作動により、両ステージ10,20が第1および第2長尺シートa,bの重なり合った部分を挟み込む方向に移動する。このとき、プレス機構30は、各加圧面11,21と両長尺シートa,bの重なり合った部分との間に僅かな隙間を確保する位置まで両ステージを移動する。例えば、各長尺シートa,bの厚さ寸法がそれぞれ0.05〜0.30mmであり、かつ両長尺シートa,b間のギャップを2〜5μmとする場合には、両ステージ10,20は、加圧面11,21間に略2〜5mm程度の隙間寸法を確保する位置まで移動する。これにより、両長尺シートa,bの重なり部分に貼合せ方向の加圧力(例えば、重なり部分のサイズが360×465mmである場合には、1〜2トン)が加わる。   Thereafter, in a state where the operations of the air supply unit 50 and the air suction unit 70 are maintained, both the stages 10 and 20 are overlapped with each other by the operation of the press mechanism 30. Move in the direction to sandwich the part. At this time, the press mechanism 30 moves both stages to a position where a slight gap is ensured between the pressure surfaces 11 and 21 and the overlapping portions of the long sheets a and b. For example, when the thickness dimensions of the long sheets a and b are 0.05 to 0.30 mm and the gap between the long sheets a and b is 2 to 5 μm, 20 moves to a position where a gap of about 2 to 5 mm is secured between the pressure surfaces 11 and 21. Thereby, a pressing force in the laminating direction (for example, 1 to 2 tons when the size of the overlapping portion is 360 × 465 mm) is applied to the overlapping portion of the long sheets a and b.

次いで、上記の加圧状態を維持しつつ、UV照射部80によりUV光を照射する。このUV光は、下側ステージ20および第2長尺シートbを順に通過して第1および第2長尺シートa,b間のUV硬化型接着剤cに達する。これにより、UV硬化型接着剤cが硬化し、第1および第2長尺シートa,bの重なり合った部分が貼り合わされることになる。このとき、ステージ10,20の加圧力は、エア膜を介して各長尺シートa,bの重なり部分に加わるので、従来のようにローラなどで局所的に加圧される場合(図12および図13参照)とは異なって、全体に均一に加わる。これにより、局所的に加圧されることに起因する撓みが生じず、よって、長尺シートa,bおよび接着剤cにそのような撓みによる応力が発生しない。   Next, UV light is irradiated by the UV irradiation unit 80 while maintaining the above-described pressure state. The UV light sequentially passes through the lower stage 20 and the second long sheet b and reaches the UV curable adhesive c between the first and second long sheets a and b. Thereby, the UV curable adhesive c is cured, and the overlapped portions of the first and second long sheets a and b are bonded together. At this time, the pressurizing force of the stages 10 and 20 is applied to the overlapping portion of the long sheets a and b through the air film. Unlike FIG. 13), it adds uniformly to the whole. Thereby, the bending resulting from local pressurization does not occur, and therefore, stress due to such bending does not occur in the long sheets a and b and the adhesive c.

そして、UV硬化型接着剤cが硬化した後、プレス機構30により両ステージ10,20が互いに離反する方向に移動する。同時に、エア供給部50およびエア吸引部70は、それぞれ、作動を停止する。   Then, after the UV curable adhesive c is cured, the stages 10 and 20 are moved away from each other by the press mechanism 30. At the same time, the air supply unit 50 and the air suction unit 70 stop operating.

しかる後、駆動ローラ40の作動により、第1および第2長尺シートa,bの貼り合わされた部分がステージ10,20から導出され、これに伴い、第1および第2長尺シートa,bの次の部分がステージ10,20間に導入されることとなる。   Thereafter, by the operation of the driving roller 40, the bonded portions of the first and second long sheets a and b are led out from the stages 10 and 20, and accordingly, the first and second long sheets a and b. The next part will be introduced between the stages 10 and 20.

以上の作動が繰り返されることにより、第1長尺シートaの対向電極基板1枚分の各部分と、第2長尺シートbの画素電極基板1枚分の各部分とが順次貼り合わされることになり、その後、各貼り合わされた部分がカットされて液晶表示パネルのパネル本体とされ、これに液晶材料が注入されることで液晶表示パネルが得られることとなる。   By repeating the above operation, each portion for one counter electrode substrate of the first long sheet a and each portion for one pixel electrode substrate of the second long sheet b are sequentially bonded. After that, each bonded portion is cut to form a panel body of the liquid crystal display panel, and a liquid crystal material is injected into this to obtain a liquid crystal display panel.

したがって、本実施形態によれば、上下ステージ10,20間において第1および第2長尺シートa,bの各部分をエアの膜を介して加圧することにより各部分同士を貼り合わせるようにしたことで、第1および第2長尺シートa,bの各部分に加わる圧力を均一化することができるので、各長尺シートa,bに加圧に伴う撓みが生じず、よって、そのような撓みによる長尺シートa,bや接着剤cの残留応力を少なくすることができ、しかも、加圧した状態で接着剤cを硬化させることができるので、第1長尺シートaの各対向電極基板部分と第2長尺シートbの各画素電極基板部分とが貼り合わされてなるパネル本体のギャップの管理を容易化することができる。   Therefore, according to the present embodiment, the portions of the first and second long sheets a and b are pressed between the upper and lower stages 10 and 20 through the air film so that the portions are bonded to each other. Thus, since the pressure applied to each part of the first and second long sheets a and b can be made uniform, the long sheets a and b do not bend due to pressurization. Since the residual stress of the long sheets a and b and the adhesive c due to the flexible bending can be reduced, and the adhesive c can be cured in a pressurized state, each facing of the first long sheet a It is possible to facilitate the management of the gap of the panel main body in which the electrode substrate portion and each pixel electrode substrate portion of the second long sheet b are bonded together.

また、エアの膜を介して加圧することにより、ステージ10,20を第1および第2長尺シートa,bの表面に接触させなくて済むので、そのような接触により第1および第2長尺シートa,bの表面に傷が付くという事態を回避することができるというメリットもある。   Further, by applying pressure through the air film, the stages 10 and 20 do not need to be in contact with the surfaces of the first and second long sheets a and b. There is also an advantage that it is possible to avoid a situation in which the surfaces of the length sheets a and b are scratched.

さらに、2つの長尺シートa,bを1対の駆動ローラ40により順次送りながら各部分同士を連続的に貼り合わせることができるので、高い処理能力を発揮することができる。   Furthermore, since the two long sheets a and b can be successively bonded while being sequentially fed by the pair of drive rollers 40, high processing ability can be exhibited.

尚、上記の実施形態では、2つの長尺シートa,bの各部分を順次貼り合わせるようにしているが、1枚分の画素電極基板と、1枚分の対向電極基板とを貼り合わせるようにしてもよいし、1枚分の画素電極基板と、複数枚分の対向電極基板部分が未分割状態に連なってなる長尺シートの対向電極基板1枚分の部分とを貼り合わせるようにしたり、逆に、1枚分の対向電極基板と、複数枚分の画素電極基板部分が未分割状態に連なってなる長尺シートの画素電極基板1枚分の部分とを貼り合わせるようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the respective portions of the two long sheets a and b are sequentially bonded together, but one pixel electrode substrate and one counter electrode substrate are bonded together. Alternatively, one pixel electrode substrate may be bonded to a portion of one sheet of a counter electrode substrate of a long sheet in which a plurality of counter electrode substrate portions are connected in an undivided state. On the contrary, the counter electrode substrate for one sheet and the part for one pixel electrode substrate of a long sheet in which a plurality of pixel electrode substrate portions are connected in an undivided state may be bonded together. .

また、上記の実施形態では、上下1対のステージ10,20の各加圧面11,21を、該両加圧面11,21間の間隔寸法が第1および第2長尺シートa,bの送り方向後方に向かって漸次大きくなる形状に形成するようにしているが、不要であれば、上下1対のステージ10,20間の隙間寸法を一定にするようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the pressure surfaces 11 and 21 of the pair of upper and lower stages 10 and 20 are sent to the first and second long sheets a and b with a distance dimension between the pressure surfaces 11 and 21. The shape is formed so as to gradually increase toward the rear in the direction, but if not necessary, the gap dimension between the pair of upper and lower stages 10 and 20 may be made constant.

また、上記の実施形態では、スライド規制機構のスライド規制ピン60をステージ10,20の加圧面11,21のエリアに配置するようにしているが、図4(平面図),およびその側面図である図5に示す変形例1のように、ステージ10,20の送り方向前後両側方又は送り方向前側のみに配置するようにしてもよい。   In the above embodiment, the slide restricting pin 60 of the slide restricting mechanism is arranged in the area of the pressurizing surfaces 11 and 21 of the stages 10 and 20, but in FIG. 4 (plan view) and its side view. As in Modification 1 shown in FIG. 5, the stages 10 and 20 may be arranged only on both front and rear sides in the feed direction or only on the front side in the feed direction.

また、上記の実施形態では、板状体が長尺シートである場合について説明しているが、そうでない場合には、スライド規制機構の構成として、図6(平面図),および同図のVII−VII線断面図である図7に示す変形例2のように、上下ステージ10,20のうちの一方に、板状板の幅方向(図6の上下方向)におけるスライドを規制する横スライド規制ピン60aと、板状体の長さ方向(図6の左右方向)におけるスライドを規制する縦スライド規制ピン60bとを設けるとともに、他方に、各スライド規制ピン60a,60bをそれぞれ収容可能な収容孔61a,61bを設けるようにすることができる。   In the above-described embodiment, the case where the plate-like body is a long sheet has been described. In the case where the plate-like body is not a long sheet, FIG. 6 (plan view) and FIG. As in Modification 2 shown in FIG. 7 which is a cross-sectional view taken along the line -VII, the horizontal slide restriction that restricts the slide in the width direction (vertical direction in FIG. 6) of the plate-like plate on one of the upper and lower stages 10 and 20. A pin 60a and a vertical slide restricting pin 60b for restricting sliding in the length direction of the plate-like body (left and right direction in FIG. 6) are provided, and on the other side, accommodating holes that can accommodate the slide restricting pins 60a and 60b, respectively. 61a and 61b can be provided.

また、上記の実施形態では、保持手段を、スライド規制機構と離間規制機構とで構成するようにしているが、図8(平面図)および同図のIX−IX線断面図である図9に示す変形例3のように、各ステージ10,20の加圧面の適所(図示する例では、板状体の四隅に対応する4箇所)に板状体a,bを吸着可能な複数の吸着部90を設けるようにしてもよい。具体的には、各吸着部90は、真空や粘着材により板状体を吸着するものとし、各ステージ10,20に設けられた収容部91内に退入可能に設けるとともに該収容部91から突出する方向に向かって常時付勢するようにすることができる。尚、変形例3は、2つの板状体a,bが共に長尺状のものではない場合であり、一方の板状体のみが長尺状のものでない場合には、図10(平面図)および同図のXI−XI線断面図である図11に示す変形例4のように、その一方の板状体aに対応するステージ(図示する例では、上側ステージ10)のみに吸着部90,収容部91および付勢手段を設けるようにすればよい。   Further, in the above embodiment, the holding means is constituted by the slide restricting mechanism and the separation restricting mechanism. FIG. 9 (plan view) and FIG. 9 which is a sectional view taken along the line IX-IX in FIG. A plurality of adsorbing portions capable of adsorbing the plate-like bodies a and b at appropriate positions (in the illustrated example, four locations corresponding to the four corners of the plate-like body) as in the third modification shown 90 may be provided. Specifically, each suction portion 90 is configured to suck a plate-like body by a vacuum or an adhesive material, and is provided so as to be able to retreat into a storage portion 91 provided in each stage 10, 20 and from the storage portion 91. It is possible to always urge toward the protruding direction. Modification 3 is a case where the two plate-like bodies a and b are not long, and when only one plate-like body is not long, FIG. 10 (plan view) ) And the modified example 4 shown in FIG. 11 which is a cross-sectional view taken along the line XI-XI in FIG. 11, the suction portion 90 is provided only on the stage (in the example shown, the upper stage 10) corresponding to one plate-like body a. The accommodating portion 91 and the urging means may be provided.

また、上記の実施形態では、接着剤としてUV硬化型のものを用いる場合について説明しているが、熱硬化型の接着剤を用いるようにすることもできる。但し、その場合には、UV光照射部80に代えて、例えば、噴出口11a,11bから噴出される気体を加熱する加熱機構を設け、その気体の熱で熱硬化型接着剤を加熱硬化させるようにすると好適である。   In the above-described embodiment, the case where a UV curable adhesive is used as the adhesive is described. However, a thermosetting adhesive can also be used. However, in that case, instead of the UV light irradiation unit 80, for example, a heating mechanism for heating the gas ejected from the ejection ports 11a and 11b is provided, and the thermosetting adhesive is heated and cured by the heat of the gas. It is preferable to do so.

また、上記の実施形態では、2つのステージ10,20を上下方向に配置するようにしているが、その配置は必要に応じて適宜定めることができる。   Further, in the above embodiment, the two stages 10 and 20 are arranged in the vertical direction, but the arrangement can be appropriately determined as necessary.

さらに、上記の実施形態では、液晶表示パネルを製造する場合について説明しているが、本発明は、プラズマ表示素子,有機や無機のEL表示素子,フィールドエミッション表示素子などのフラットパネルディスプレイの他、2次元画像検出器などの各種センサなどにおいて、薄板状のガラス板や、薄板状又は長尺状のプラスチック板,金属箔,金属板などの板状体の貼合せ装置に適用することができる。   Furthermore, in the above embodiment, a case where a liquid crystal display panel is manufactured has been described. However, the present invention is not limited to a flat panel display such as a plasma display element, an organic or inorganic EL display element, or a field emission display element. In various sensors such as a two-dimensional image detector, the present invention can be applied to a laminating apparatus for laminar glass plates, laminar or long plastic plates, metal foils, metal plates and the like.

本発明の実施形態に係る貼合せ装置の全体構成を模式的に示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows typically the whole structure of the bonding apparatus which concerns on embodiment of this invention. 貼合せ装置のスライド規制機構を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the slide control mechanism of a bonding apparatus. 図2のIII−III線断面図である。It is the III-III sectional view taken on the line of FIG. 変形例1におけるスライド規制機構を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the slide control mechanism in the modification 1. FIG. 図4の側面図である。FIG. 5 is a side view of FIG. 4. 変形例2におけるスライド規制機構を模式的に示す図2相当図である。FIG. 10 is a view corresponding to FIG. 2 schematically showing a slide restricting mechanism in Modification 2. 図6のVII−VII線断面図である。It is the VII-VII sectional view taken on the line of FIG. 変形例3における保持機構を模式的に示す平面図である。10 is a plan view schematically showing a holding mechanism in Modification 3. FIG. 図8のIX−IX線断面図である。It is the IX-IX sectional view taken on the line of FIG. 変形例4における保持機構を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the holding mechanism in the modification 4. 図10のXI−XI線断面図である。It is the XI-XI sectional view taken on the line of FIG. 従来の貼合せ装置(特許文献)の要部の構成を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the structure of the principal part of the conventional bonding apparatus (patent document). 従来の他の貼合せ装置の要部の構成を模式的に示す図12相当図である。It is a figure equivalent to FIG. 12 which shows typically the structure of the principal part of the other conventional bonding apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

10 上側ステージ(ステージ)
11 加圧面
11a 噴出口(噴出手段)
11b 吸気口(吸引機構)
20 下側ステージ(ステージ)
21 加圧面
21a 噴出口(噴出手段)
21b 吸気口(吸引機構)
30 プレス機構(移動手段)
40 送りローラ(送り手段)
50 エア供給部(噴出手段)
60 スライド規制ピン(スライド規制機構)
61 収容孔(スライド規制機構)
70 エア吸引部(保持手段)
80 UV照射部(照射手段)
90 吸着部(保持手段)
a 第1長尺シート(板状体)
b 第2長尺シート(板状体)
c UV硬化型接着剤(接着剤)
10 Upper stage (stage)
11 Pressurizing surface 11a Spout (ejection means)
11b Intake port (suction mechanism)
20 Lower stage (stage)
21 Pressurizing surface 21a Spout (ejection means)
21b Air inlet (suction mechanism)
30 Press mechanism (moving means)
40 Feed roller (feed means)
50 Air supply part (spouting means)
60 Slide restriction pin (slide restriction mechanism)
61 Housing hole (slide regulating mechanism)
70 Air suction part (holding means)
80 UV irradiation part (irradiation means)
90 Adsorption part (holding means)
a First long sheet (plate)
b Second long sheet (plate)
c UV curable adhesive (adhesive)

Claims (12)

2枚の板状体を貼り合わされる方向に加圧するとともに該2枚の板状体の間に介在する接着剤を硬化させて貼り合わせることにより積層体を形成するようにした貼合せ装置であって、
各々、平滑な加圧面と、該加圧面に設けられた複数の噴出口とを有し、前記加圧面同士が正対するように配置された2つのステージと、
前記各ステージの前記加圧面に対し、該ステージに対応する前記板状体を所定位置に保持する保持手段と、
前記2つのステージ間に配置された前記2枚の板状体を貼り合わせる方向に加圧する加圧手段と、
前記各板状体が該板状体に対応する前記ステージの前記加圧面に接触しないように該ステージの前記複数の噴出口からそれぞれ気体を噴出する噴出手段と、
前記2枚の板状体が前記加圧手段により加圧されたとき、該2枚の板状体間に介在する前記接着剤を硬化させる硬化手段とを備えていることを特徴とする貼合せ装置。
A laminating apparatus that pressurizes two plate-shaped bodies in the direction of bonding and cures and bonds the adhesive interposed between the two plate-shaped bodies to form a laminate. And
Two stages each having a smooth pressure surface and a plurality of jets provided in the pressure surface, and arranged so that the pressure surfaces face each other;
Holding means for holding the plate-like body corresponding to the stage at a predetermined position with respect to the pressing surface of each stage;
A pressurizing means for pressurizing the two plate-like bodies disposed between the two stages in a direction in which the two plates are bonded together;
Jetting means for jetting gas from the plurality of jet nozzles of the stage so that the plate-like bodies do not contact the pressure surface of the stage corresponding to the plate-like body;
And a curing means for curing the adhesive interposed between the two plate-like bodies when the two plate-like bodies are pressurized by the pressurizing means. apparatus.
請求項1に記載の貼合せ装置において、
前記保持手段は、
前記ステージの前記加圧面に略平行な方向における前記板状体のスライド移動を規制するスライド規制機構を有することを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 1,
The holding means is
A laminating apparatus comprising a slide restricting mechanism for restricting slide movement of the plate-like body in a direction substantially parallel to the pressure surface of the stage.
請求項2に記載の貼合せ装置において、
前記スライド規制機構は、
前記板状体の周端面に接触して該板状体のスライド移動を規制するように設けられていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 2,
The slide regulating mechanism is
A laminating apparatus, wherein the laminating apparatus is provided so as to be in contact with a peripheral end surface of the plate-like body to regulate sliding movement of the plate-like body.
請求項2に記載の貼合せ装置において、
前記2つのステージのうちの一方のステージは、該ステージの加圧面を下向きにして配置され、
前記保持手段は、前記スライド規制機構に加え、
前記一方のステージに対応する前記板状体の該一方のステージの前記加圧面からの離間を規制する離間規制機構を有することを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 2,
One of the two stages is arranged with the pressure surface of the stage facing down,
In addition to the slide restricting mechanism, the holding means includes:
A laminating apparatus comprising a separation regulating mechanism for regulating separation of the plate-like body corresponding to the one stage from the pressing surface of the one stage.
請求項4に記載の貼合せ装置において、
前記離間規制機構は、
前記一方のステージの前記加圧面に設けられた複数の吸気口と、前記複数の吸気口から気体を吸引する吸引手段とを有してなる吸引機構とされていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus of Claim 4,
The separation regulating mechanism is
A laminating apparatus comprising: a suction mechanism having a plurality of air inlets provided on the pressure surface of the one stage; and a suction unit that sucks gas from the plurality of air inlets. .
請求項1に記載の貼合せ装置において、
前記2つのステージは、該2つのステージ間に配置された前記2枚の板状体を貼り合わす方向に相対移動可能に設けられ、
前記2つのステージを前記貼合せ方向に相対移動させる移動手段を備え、
前記加圧手段は、前記移動手段により構成されていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 1,
The two stages are provided so as to be relatively movable in a direction in which the two plate-like bodies arranged between the two stages are bonded together,
A moving means for relatively moving the two stages in the bonding direction;
The said pressurizing means is comprised by the said moving means, The bonding apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載の貼合せ装置において、
前記噴出手段は、前記2つのステージ間に配置された前記2枚の板状体を気体の高圧噴出により互いに貼合せ方向に加圧可能に設けられ、
前記加圧手段は、前記噴出手段により構成されていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 1,
The ejection means is provided so that the two plate-like bodies arranged between the two stages can be pressurized in the bonding direction by high-pressure gas ejection,
The said pressurizing means is comprised by the said ejection means, The bonding apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載の貼合せ装置において、
前記2枚の板状体のうちの少なくとも一方の板状体は、長尺状であり、
前記長尺板状体を前記2つのステージ間に順次導入する送り手段を備えていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 1,
At least one of the two plate-like bodies is a long shape,
A laminating apparatus comprising feeding means for sequentially introducing the long plate-like body between the two stages.
請求項8に記載の貼合せ装置において、
前記2つのステージ間における前記長尺板状体の導入口の間隔寸法は、該2つのステージの加圧面間の間隔寸法よりも大きいことを特徴とする貼合せ装置。
The laminating apparatus according to claim 8,
The laminating apparatus according to claim 1, wherein a distance dimension between the introduction ports of the long plate-like body between the two stages is larger than a distance dimension between the pressing surfaces of the two stages.
請求項1に記載の貼合せ装置において、
前記接着剤は、UV光の照射を受けることで硬化するUV硬化型接着剤であり、
前記2つのステージのうちの少なくとも一方のステージは、UV光を透過可能に設けられ、
前記2枚の板状体間に介在する前記UV硬化型接着剤にUV光を照射する照射手段を備え、
前記硬化手段は、前記照射手段により構成されていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 1,
The adhesive is a UV curable adhesive that is cured by being irradiated with UV light,
At least one of the two stages is provided so as to transmit UV light,
An irradiation means for irradiating the UV curable adhesive interposed between the two plate-like bodies with UV light;
The laminating apparatus, wherein the curing means is constituted by the irradiation means.
請求項1に記載の貼合せ装置において、
前記接着剤は、加熱されることで硬化する熱硬化型接着剤であり、
前記2枚の板状体間に介在する前記熱硬化型接着剤が加熱されて硬化するように、前記噴出手段により噴出される気体を加熱する加熱手段を備え、
前記硬化手段は、前記加熱手段により構成されていることを特徴とする貼合せ装置。
In the bonding apparatus according to claim 1,
The adhesive is a thermosetting adhesive that cures when heated.
Heating means for heating the gas ejected by the ejection means so that the thermosetting adhesive interposed between the two plate-like bodies is heated and cured;
The laminating apparatus, wherein the curing means includes the heating means.
請求項1,2,3,4,5,6,7,8,9,10および11のうちの何れか1項に記載の貼合せ装置を用いて前記積層体を製造することを特徴とする積層体の製造方法。

It manufactures the said laminated body using the bonding apparatus of any one of Claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10 and 11. A manufacturing method of a layered product.

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