JP2006043641A - Light irradiator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、紫外線を含む光を放射する棒状ランプを内蔵し、光出射口から紫外線を含む光を照射する光照射器に関し、特に、棒状ランプの周りを回動し、開時は反射ミラーとして、閉時は遮光シャッタとして働くシャッタミラーを備えた光照射器に関する。 The present invention relates to a light irradiator that embeds a rod-shaped lamp that emits light including ultraviolet light and irradiates light including ultraviolet light from a light exit port, and in particular, rotates around the rod-shaped lamp and serves as a reflection mirror when opened. The present invention relates to a light irradiator including a shutter mirror that functions as a light-shielding shutter when closed.
紫外線を含む光を放射するランプを内蔵した光照射器から紫外線を含む光を照射し、被処理物に塗布された、保護膜、接着剤、塗料、インキ、レジスト等を硬化、乾燥、また溶融、軟化させることが、各分野で幅広く行なわれている。
紫外線を含む光を放射するランプとして、上記のような処理の時間を短くできるように、出力が大きい棒状のランプ、例えば高圧水銀ランプや各種の金属が封入されたメタルハライドランプが使用される。
UV light is irradiated from a light irradiator with a built-in lamp that emits UV light, and the protective film, adhesive, paint, ink, resist, etc. applied to the workpiece are cured, dried, or melted. Softening is widely performed in various fields.
As a lamp that emits light including ultraviolet rays, a rod-like lamp having a large output, such as a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp in which various metals are enclosed, is used so as to shorten the processing time as described above.
通常、上記のランプを内蔵する光照射器の光出射口側には、シャッタ装置が設けられている。
シャッタ装置は、棒状ランプの長手方向と同等か、それ以上の長さのシャッタ翼を有し、ランプは常時点灯しておき、光を被処理物に照射しないときには閉じ、照射する時には開けるように構成されている。
Usually, a shutter device is provided on the light exit side of the light irradiator incorporating the lamp.
The shutter device has a shutter blade having a length equal to or longer than the longitudinal direction of the rod-shaped lamp, the lamp is always lit, and is closed when the object is not irradiated with light, and is opened when irradiated. It is configured.
シャッタ装置については、従来から種々の構造が提案されてきている。その中に、シャッタ翼の内側に反射ミラーを取りつけ、ランプの周りを回動させ、シャッタ翼が閉の時は、ランプからの光を遮光し、シャッタ翼が開の時は、ランプからの光を被処理物の方向に反射する、シャッタとミラーとを兼ねるシャッタミラーがある。
シャッタミラーは、シャッタとミラーとを別々に設ける必要がなく、部品点数を少なくしてコストを下げるとともに、小型化できるという利点がある。
Various structures have been proposed for shutter devices. Inside, a reflection mirror is attached inside the shutter blade and rotated around the lamp. When the shutter blade is closed, the light from the lamp is shielded. When the shutter blade is open, the light from the lamp is blocked. There is a shutter mirror that serves as both a shutter and a mirror.
The shutter mirror does not need to provide a shutter and a mirror separately, and has an advantage that the number of parts can be reduced to reduce the cost and the size can be reduced.
上記のようなシャッタミラーを適用した光照射器の一例として、特許文献１がある。同公報には、ミラーとして、赤外線（及び可視光の一部）を透過し、紫外線（及び可視光のほかの一部）を反射するコールドミラー（ダイクロイックミラー）を使用し、コールドミラーと該コールドミラーを保持するミラー保持枠との間に通風路を設け、コールドミラーとミラー保持枠を効率よく冷却できるシャッタミラーを備えた光照射器が示されている。
There exists
図４と５に、特許文献１に記載された技術に基づいて製作された、従来の光照射器のランプ長手方向に直交する側から見た断面図を示す。図４はシャッタミラーが閉位置の状態を、図５はシャッタミラーが開位置の状態を、それぞれ示している。
Ｌは棒状ランプであり、ランプＬとしては、上記したように高圧水銀ランプや各種の金属が封入されたメタルハライドランプが使用される。Ｓはシャッタミラーであり、ランプＬの長手方向に対し直交方向両側に２枚設けられ、ランプＬの周りを回動する。
4 and 5 are cross-sectional views of a conventional light irradiator manufactured based on the technique described in
L is a rod-shaped lamp. As the lamp L, as described above, a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp in which various metals are enclosed is used. Two shutter mirrors S are provided on both sides in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the lamp L, and rotate around the lamp L.
シャッタミラーＳは、特許文献１において示されているものと同様の赤外線を透過し紫外線を反射するコールドミラー１０と、該コールドミラー１０を保持するミラー保持枠１１から構成され、コールドミラー１０とミラー保持枠１１の間には通風路１２が形成されている。
図４のようにシャッタミラーＳが閉位置のときは、光照射器から光は照射されない。なお、このとき、２枚のシャッタミラーＳの間から光が漏れるのを防ぐために、シャッタミラーＳの先端には、遮光板３０が取り付けられている。
The shutter mirror S includes a
When the shutter mirror S is in the closed position as shown in FIG. 4, no light is emitted from the light irradiator. At this time, in order to prevent light from leaking between the two shutter mirrors S, a
２枚のシャッタミラーＳは不図示の駆動機構により回動し、図５のようにシャッタミラーＳが開位置になると、ランプＬからの直射光とコールドミラー１０からの反射光が被処理物Ｗに照射される。
なお、ミラー保持枠１１の材質は、回転駆動のための軽量さ、加工のしやすさ、熱伝導性の良さなどからアルミニウムを使用している。
これらランプＬ、シャッタミラーＳ、およびシャッタミラーを駆動する駆動機構等は光照射器を形成するランプハウスＬＨの内部に保持されている。
The two shutter mirrors S are rotated by a drive mechanism (not shown), and when the shutter mirror S is in the open position as shown in FIG. 5, the direct light from the lamp L and the reflected light from the
The material of the
The lamp L, shutter mirror S, drive mechanism for driving the shutter mirror, and the like are held inside a lamp house LH that forms a light irradiator.
ランプＬ点灯時、ランプＬ及びシャッタミラーＳを冷却するために、光照射器のランプハウスＬＨ内には冷却風が引き込まれる。冷却風は、光照射器の排気口側に接続された不図示のブロアモータにより、光出射口２０からランプハウスＬＨ内に取り込まれ、ランプハウスＬＨ上部の第１の排気口２１または第２の排気口２２から排気される。
When the lamp L is lit, cooling air is drawn into the lamp house LH of the light irradiator in order to cool the lamp L and the shutter mirror S. The cooling air is taken into the lamp house LH from the
上記したように、コールドミラー１０とミラー保持枠１１との間には、ミラー１０とミラー保持枠１１を冷却する冷却風の通風路１２が形成されていおり、ミラー保持枠１１には、冷却風が通風路１２に流入するための流入孔１３と、通風路１２から流出するための流出孔１４が形成されている。
なお、流入孔１３にはこれを覆うように遮光片３１が取り付けられ、シャッターミラーＳ閉時、コールドミラー１０を透過した光が、流入孔１３から被処理物Ｗの方向に漏れるのを防いでいる。
As described above, the cooling
A
図４には、シャッタミラーＳが閉位置のときの、ランプハウスＬＨ内における冷却風の流れが矢印で示されている。冷却風は主に次の３つのルートを流れる。
(１)２枚のシャッタミラーＳの合わせ目、即ち遮光板３０の隙間からシャッタミラーＳの内側に入り、ランプＬとコールドミラー１０の表面を冷却し、第１の排気口２１または第２の排気口２２から排気されるルート。
(２)シャッタミラーＳとランプハウスＬＨの間に入り、ミラー保持枠１１の冷却風流入孔１３から通風路１２を通り、コールドミラー１０の裏面とミラー保持枠１１の表面を冷却し、流出孔１４から出て、第２の排気口２２から排気されるルート。
In FIG. 4, the flow of cooling air in the lamp house LH when the shutter mirror S is in the closed position is indicated by arrows. Cooling air mainly flows through the following three routes.
(1) Enter the inside of the shutter mirror S from the joint of the two shutter mirrors S, that is, the gap between the
(2) Enter between the shutter mirror S and the lamp house LH, pass through the cooling
(３) シャッタミラーＳとランプハウスＬＨの間に入り、ミラー保持枠１１の裏面側を流れて冷却し、第２の排気口２２から排気されるルート。
これらの３つのルートを冷却風が流れることにより、ランプＬおよびシャッタミラーＳが冷却される。
(3) A route that enters between the shutter mirror S and the lamp house LH, flows through the back side of the
As the cooling air flows through these three routes, the lamp L and the shutter mirror S are cooled.
上記のようなシャッタミラーを備えた光照射器において、シャッタミラーＳが閉位置にあるときは、先の被処理物への光照射が終り、次の被処理物を待っている待機状態であり、通常、省電力のため照射時に比べランプの電力を低くして点灯している。
省電力という点では、ランプを消灯するのが一番良いが、上記した高圧水銀ランプやメタルハライドランプは、いったん消灯すると、照射時再点灯しても発光が安定するまでに時間がかかるので待ち時間が生じ効率的ではない。低い電力であってもランプを点灯させておけば、照射時に電力を高くすることにより短い時間で発光が安定する。
In the light irradiator provided with the shutter mirror as described above, when the shutter mirror S is in the closed position, the light irradiation to the previous object to be processed is finished and the standby state is waiting for the next object to be processed. Normally, to save power, the lamp is turned on at a lower power than during irradiation.
In terms of power saving, it is best to turn off the lamp. However, once the high pressure mercury lamp or metal halide lamp described above is turned off, it takes time until the light emission stabilizes even if it is turned on again. Is not efficient. Even if the power is low, if the lamp is turned on, the light emission is stabilized in a short time by increasing the power during irradiation.
近年、例えば液晶パネルの貼り合せのためのシール剤硬化に使用される光照射器においては、被処理物であるパネルの大型化により、ランプも長さが１ｍ以上と大型化し入力電力も大きくなってきている。このため、上記した待機状態におけるランプの電力はできるだけ小さくして省電力を図りたいという要望がある。
ランプに入力する電力を低くすると、その分ランプの温度が低くなるので、それに応じてランプの冷却風量も少なくする必要がある。冷却風量が多いとランプ温度が低下して、ランプに封入されている水銀や金属が蒸発しなくなり、発光が不安定になり場合によってはランプが消灯してしまうからである。
In recent years, for example, in a light irradiator used for curing a sealing agent for laminating liquid crystal panels, the size of a lamp, which is 1 m or more, is increased due to an increase in the size of a panel that is an object to be processed. It is coming. For this reason, there is a desire to save power by reducing the lamp power in the standby state as much as possible.
If the electric power input to the lamp is lowered, the lamp temperature is lowered accordingly, and accordingly, the cooling air amount of the lamp needs to be reduced accordingly. This is because if the amount of cooling air is large, the lamp temperature decreases, the mercury or metal enclosed in the lamp does not evaporate, the light emission becomes unstable, and the lamp is extinguished in some cases.
しかし、上記したような大型のランプにおいて、シャッタミラーを閉位置にしてランプ電力を下げ、ランプの温度を適切に保つために冷却風を少なくしたところ、シャッタミラーの温度が適切な温度範囲を超えて上がってしまった。
一方、その状態でシャッタミラーの温度下げるために冷却風量を大きくすると、ランプの温度が適切な温度範囲以下となり、ランプの電力を下げることができなかった。
即ち、シャッタミラーが閉位置にある待機状態において、低い電力でランプを点灯させるために冷却風量を少なくすると、シャッタミラーの温度が高くなるので、ランプの電力を下げられないという問題が生じた。
However, in a large lamp as described above, when the shutter mirror is closed and the lamp power is lowered and the cooling air is reduced to keep the lamp temperature properly, the shutter mirror temperature exceeds the appropriate temperature range. I went up.
On the other hand, if the amount of cooling air is increased to lower the temperature of the shutter mirror in this state, the lamp temperature falls below the appropriate temperature range, and the lamp power cannot be reduced.
That is, in the standby state in which the shutter mirror is in the closed position, if the cooling air flow rate is decreased in order to light the lamp with low power, the temperature of the shutter mirror increases, so that the lamp power cannot be reduced.
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、その目的は、光照射器において、シャッタミラーが閉位置にある待機状態において、ランプ電力を下げた時、ランプの温度が適切な温度範囲になるように冷却風を少なくしても、シャッタミラーの温度が高くならない光照射器を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to make the lamp temperature within an appropriate temperature range when the lamp power is lowered in the standby state where the shutter mirror is in the closed position. Thus, there is provided a light irradiator in which the temperature of the shutter mirror does not increase even if the cooling air is reduced.
上記問題を解決するために、シャッタミラー閉位置において、ランプハウス内の冷却風の流れについて検討したところ、シャッタミラーとランプハウスの間に入る冷却風のほとんどがシャッタ保持枠の裏面側、即ち図４における（３）のルートを流れ、コールドミラーとミラー保持枠の間の通風路、即ち図４における（２）のルートを流れていないことがわかった。 In order to solve the above problem, the flow of the cooling air in the lamp house was examined at the shutter mirror closed position. As a result, most of the cooling air entering between the shutter mirror and the lamp house was on the back side of the shutter holding frame, that is, the figure. It was found that the route (3) in FIG. 4 flows and the ventilation path between the cold mirror and the mirror holding frame, that is, the route (2) in FIG. 4 does not flow.
コールドミラーとミラー保持枠の間の通風路は狭くてコンダクタンスが大きい上、冷却風の流入孔は、上記したように光漏れを防ぐ遮光板により覆われているため、冷却風が流れ込みにくい。通風路に冷却風が流れないことにより、シャッタミラーの冷却効率が悪くなり、ランプの電力を下げるために冷却風量を少なくすると、シャッタミラーの温度が上がるのだと考えられる。 The ventilation path between the cold mirror and the mirror holding frame is narrow and has a large conductance, and since the cooling air inflow hole is covered with the light shielding plate to prevent light leakage as described above, it is difficult for the cooling air to flow in. It is considered that the cooling efficiency of the shutter mirror deteriorates because the cooling air does not flow through the ventilation path, and the temperature of the shutter mirror rises if the amount of cooling air is reduced to reduce the lamp power.
上記検討に基づき、上記課題を次のようにして解決した。
上記したようにコールドミラーは赤外線を透過するので、ミラー保持枠には赤外線が照射されることとなり温度が上昇する。そこで、ミラー保持枠の冷却効率を上げるために、ミラー保持枠のコールドミラーとは反対側に放熱効果を促進させるために冷却フィンを設けた。
Based on the above study, the above problems were solved as follows.
As described above, since the cold mirror transmits infrared rays, the mirror holding frame is irradiated with infrared rays and the temperature rises. Therefore, in order to increase the cooling efficiency of the mirror holding frame, cooling fins are provided on the side of the mirror holding frame opposite to the cold mirror to promote the heat dissipation effect.
さらに、ランプハウスの内側に制風板を設け、シャッタミラーが閉位置にあるとき、上記の冷却フィンと制風板とにより遮風板を形成し、ミラー保持枠の裏面側を流れる冷却風を遮り、コールドミラーとミラー保持枠との間の通風路を冷却風が流れるようにした。 Furthermore, a wind control plate is provided inside the lamp house, and when the shutter mirror is in the closed position, a wind shield is formed by the cooling fin and the wind control plate, and the cooling air flowing on the back side of the mirror holding frame is The cooling air is made to flow through the ventilation path between the cold mirror and the mirror holding frame.
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
ミラー保持枠に設けた冷却フィンにより、ミラー保持枠を効率よく冷却することができる。
さらに、ミラー保持枠の冷却フィンと、ランプハウスの内側に設けた制風板とにより形成された遮風板により、ミラー保持枠の裏面側、即ち（３）のルートの流れが遮られ、従来（３）のルートを流れていた冷却風が、コールドミラーとミラー保持枠の間に形成された通風路（２）のルートを流れるようになる。これにより、効率よくコールドミラーおよびミラー保持枠を冷却することができる。
In the present invention, the following effects can be obtained.
The mirror holding frame can be efficiently cooled by the cooling fins provided on the mirror holding frame.
Furthermore, the flow of the route (3) on the back side of the mirror holding frame is blocked by the wind shielding plate formed by the cooling fins of the mirror holding frame and the wind control plate provided inside the lamp house. The cooling air flowing through the route of (3) flows through the route of the ventilation path (2) formed between the cold mirror and the mirror holding frame. Thereby, the cold mirror and the mirror holding frame can be efficiently cooled.
したがって、シャッタミラーが閉位置にある待機状態において、シャッタミラーの温度が高くなることなく、冷却風を少なくし、ランプ電力を下げることができる。これにより、光照射器の待機時の電力が少なくなり、省電力を図ることができる。 Therefore, in the standby state where the shutter mirror is in the closed position, the cooling air can be reduced and the lamp power can be reduced without increasing the temperature of the shutter mirror. Thereby, the power at the time of standby of the light irradiator is reduced, and power saving can be achieved.
以下に、図面に基づいて本発明の実施例の形態を具体的に説明する。
図１に本発明の第１の実施例を示す。同図は光照射器のランプ長手方向に直交する方向の断面図であり、図４に示したものと同一のものには同一の符号が付されている。
図１の光照射器において、ミラー保持枠１１のコールドミラー１０とは反対側（外側）には、複数の放熱用の冷却フィン４０が設けられ、また、ランプハウスＬＨの内側には制風板４１が設けられている。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. This figure is a cross-sectional view of the light irradiator in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lamp, and the same components as those shown in FIG.
In the light irradiator of FIG. 1, a plurality of cooling
同図に示すように、シャッタミラーＳが閉位置にあるとき、ランプハウスＬＨの内側に設けた制風板４１と、ミラー保持枠１１の外側に設けられた冷却フィン４０とで遮風板が形成される。この遮風板により、ミラー保持枠１１の裏面側を流れて第２の排気口２２から排気される冷却風の流れ、即ち（３）のルートの流れが遮断される。
As shown in the figure, when the shutter mirror S is in the closed position, the wind shielding plate is formed by the
上記遮風板により（３）のルートを遮断された冷却風は、ミラー保持枠１１の流入孔１３に遮光板３１があっても流れ込み、通風路１２を通り、コールドミラー１０の裏面とミラー保持枠１１の表面を冷却し、流出孔１４から出て、第２の排気口２２から排気されるルート、即ち（２）のルートを流れるようになる。
The cooling air whose route (3) is blocked by the wind shield plate flows even if the
したがって、コールドミラー１０とミラー保持枠１１の間に形成されている通風路１２を流れる冷却風の風量が増え、コールドミラー１０およびミラー保持枠１１が十分に冷却される。
ミラー保持枠１１の裏面側の（３）のルートにはほとんど風が流れなくなるが、（２）のルートに十分な冷却風が流れ、またミラー保持枠１１の裏面側に新たに設けた冷却フィン４０により放熱されるので、ミラー保持枠１１の温度は高くならない。
Therefore, the amount of cooling air flowing through the
Although almost no air flows through the route (3) on the back side of the
図２は、シャッタミラーＳを開け、光を被照射物Ｗに照射している状態を示す。この状態においては、冷却風は、ほとんどランプＬおよびコールドミラー１０の表面に沿った（１）のルートを流れることになるが、ランプＬには定格の大きな電力が入力され、その分冷却風量も増えるので、シャッタミラーの温度が高くなるという問題はほとんど生じない。
FIG. 2 shows a state where the shutter mirror S is opened and the irradiated object W is irradiated with light. In this state, the cooling air flows almost along the route (1) along the surfaces of the lamp L and the
表１および表２に、シャッタミラーが閉位置にあるときのランプとシャッタミラーの温度を示す。表１は背景技術で説明した従来の光照射器（図４）における温度データであり、表２は上記実施例の光照射器（図１）における温度データである。 Tables 1 and 2 show the temperatures of the lamp and the shutter mirror when the shutter mirror is in the closed position. Table 1 shows temperature data in the conventional light irradiator (FIG. 4) described in the background art, and Table 2 shows temperature data in the light irradiator (FIG. 1) of the above-described embodiment.
図１および図４に示すように、ランプ温度はランプＬの第１の排気口２１側であるＡ点、シャッタミラーの温度はミラー保持枠１１の通風路１２側であるＢ点でそれぞれ測定を行なった。
ランプは定格電力１８ｋＷのものを使用し、定格電力の約２分の１である８ｋＷの電力を入力した。
As shown in FIGS. 1 and 4, the lamp temperature is measured at point A on the
A lamp with a rated power of 18 kW was used, and power of 8 kW, which is about one half of the rated power, was input.
ランプの温度は、ランプの内部に封入されている金属が気化して正常に点灯する５５０°Ｃからランプの石英が再結晶化する８５０°Ｃまでの温度範囲に維持する必要があり、また、コールドミラーは表面の蒸着膜が変質しない４００°Ｃ以下、ミラー保持枠は、上記したようにアルミ製であるので、２００°Ｃ以下に維持する必要がある。 The temperature of the lamp needs to be maintained in a temperature range from 550 ° C. at which the metal enclosed in the lamp is vaporized and normally lit up to 850 ° C. at which the quartz of the lamp is recrystallized, The cold mirror needs to be maintained at 400 ° C. or lower and the mirror holding frame is made of aluminum as described above, so that the deposited film on the surface does not change.
従来の光照射器の場合、表１に示すように、冷却風量が８．８ｍ３／分の時、ランプ温度は４５１°Ｃ、ミラー保持枠温度は１３７°Ｃであった。ミラー保持枠の温度は上記した上限温度２００°Ｃよりも低いので問題ないが、ランプの温度は下限温度の５５０°Ｃ以下であり、これでは、ランプ内部の金属が蒸発せず、所望の発光が得られず、場合によっては消灯してしまうので、冷却風量を少なくしてランプ温度が高くなるようにしなければならない。 In the case of a conventional light irradiator, as shown in Table 1, when the cooling air volume was 8.8 m 3 / min, the lamp temperature was 451 ° C. and the mirror holding frame temperature was 137 ° C. There is no problem because the temperature of the mirror holding frame is lower than the above-mentioned upper limit temperature of 200 ° C. However, the temperature of the lamp is not more than 550 ° C., which is the lower limit temperature. However, the lamp is turned off in some cases, so the amount of cooling air must be reduced to increase the lamp temperature.
しかし、ランプ温度を高くするために、冷却風量を６．０ｍ３／分に下げると、ミラー保持枠の温度は２０１°Ｃとなり、上限温度２００°Ｃを超えてしまう。ミラー保持枠の温度が高くなっているにもかかわらず、ランプ温度は４６６°Ｃとまだ低く適切な温度範囲に入らない。
即ち、ランプ電力を２分の１にした８ｋＷでの点灯時において、ミラー保持枠の温度を適正な範囲に保つことができる条件がなく、したがって、シャッタミラーが閉位置にある待機状態において、ランプ電力を２分の１に下げることができない。
However, if the cooling air volume is lowered to 6.0 m 3 / min in order to increase the lamp temperature, the temperature of the mirror holding frame becomes 201 ° C., which exceeds the upper limit temperature of 200 ° C. Despite the high temperature of the mirror holding frame, the lamp temperature is still as low as 466 ° C. and does not fall within the appropriate temperature range.
That is, there is no condition for maintaining the temperature of the mirror holding frame within an appropriate range when the lamp power is halved at 8 kW. Therefore, in the standby state where the shutter mirror is in the closed position, The power cannot be reduced by half.
これに対し、本実施例の光照射器の場合、表２に示すように、冷却風量が８．８ｍ３／分の時、ランプ温度は６４０°Ｃ、ミラー保持枠の温度は９１°Ｃであり、ランプもミラー保持枠もともに適切な温度範囲に入っている。
また、冷却風量を６．８ｍ３／分に下げても、ランプ温度は６６０°Ｃ、ミラー保持枠の温度は１１４°Ｃであり、ランプとミラー保持枠の温度は、適切な温度に保たれている。即ち、シャッタミラーが閉位置にある待機状態において、ミラー保持枠の温度を適正な範囲に保つことができる冷却風量条件を、十分な調整範囲を持って有する。したがって、ランプ電力を２分の１に下げて点灯させることができる。
On the other hand, in the case of the light irradiator of this example, as shown in Table 2, when the cooling air volume is 8.8 m 3 / min, the lamp temperature is 640 ° C. and the mirror holding frame temperature is 91 ° C. Yes, both the lamp and the mirror holding frame are in the appropriate temperature range.
Moreover, even if the cooling air volume is lowered to 6.8 m 3 / min, the lamp temperature is 660 ° C., the temperature of the mirror holding frame is 114 ° C., and the temperature of the lamp and the mirror holding frame is kept at an appropriate temperature. ing. That is, in the standby state in which the shutter mirror is in the closed position, the cooling air flow rate condition that can keep the temperature of the mirror holding frame within an appropriate range is provided with a sufficient adjustment range. Accordingly, the lamp power can be lowered to one half and turned on.
図３に本発明の第２の実施例（シャッタミラー閉位置）を示す。図１で示した第１の実施例に対し、ミラー保持枠の冷却フィン４０と、ランプハウスＬＨの内側に設けた制風板４１の長さのバランスを変えたものである。
第１の実施例と同様に、冷却フィン４０と制風板４１により遮風板が形成され、シャッタミラーが閉位置にあるとき、冷却風は、ミラー保持枠の裏面を流れる（３）のルートの流れが遮断され、通風路１２の（２）のルートを流れる。
このように、冷却フィン４０と制風板４１の長さのバランスは、シャッタミラーＳの回動に障害のない範囲で適宜設定することができる。
FIG. 3 shows a second embodiment (shutter mirror closed position) of the present invention. Compared to the first embodiment shown in FIG. 1, the balance of the cooling
As in the first embodiment, when the air shielding plate is formed by the cooling
As described above, the balance between the lengths of the cooling
なお、シャッタミラーＳが閉位置にあるとき、冷却フィン４０と制風板４１により形成される遮風板により、図１内に点線で示したような、ランプハウスＬＨ内を反射し、シャッタミラーを迂回して光出射口２０から漏れてくる光も遮光することができ、被処理物Ｗに対して所望しない光が照射されるのを防ぐことができる。
また、本実施例では制風板４１を薄い板形状で示したが、厚いブロック形状のものでも良い。
When the shutter mirror S is in the closed position, the inside of the lamp house LH as shown by the dotted line in FIG. It is also possible to shield the light leaking from the
Further, in the present embodiment, the
１０ コールドミラー
１１ ミラー保持枠
１２ 通風路
１３ 流入孔
１４ 流出孔
２０ 光出射口
２１ 第１の排気口
２２ 第２の排気口
３０ 遮光板
３１ 遮光片
４０ 冷却フィン
４１ 制風板
Ｌ ランプ
Ｓ シャッタミラー
ＬＨ ランプハウス
DESCRIPTION OF
41 Wind control plate L Lamp S Shutter mirror LH Lamp house
Claims (1)
上記シャッタミラーは、赤外線を透過し、紫外線を反射するコールドミラーと、上記コールドミラーを保持するミラー保持枠と、上記コールドミラーと上記ミラー保持枠との間に形成された、冷却風の通風路とからなり、上記ミラー保持枠の上記ミラーとは反対側には放熱用の冷却フィンが、上記ランプハウスの内側には制風板がそれぞれ設けられ、上記シャッタミラーが閉位置にあるとき、上記冷却フィンと上記制風板とにより、上記シャッタミラーと上記ランプハウスとの間に流れる冷却風を遮る遮風板が形成されることを特徴とする光照射器。
A rod-shaped lamp is arranged so as to be rotatable about an axis parallel to the lamp, and rotates between an open position and a closed position. When in the open position, the light from the lamp is reflected and closed. Two shutter mirrors that shield light from the lamp when in position, and a lamp house in which the lamp and shutter mirror are housed and a flow path for cooling air to cool the lamp and shutter mirror is formed. In the light illuminator
The shutter mirror includes a cold mirror that transmits infrared rays and reflects ultraviolet rays, a mirror holding frame that holds the cold mirror, and a cooling air ventilation path formed between the cold mirror and the mirror holding frame. A cooling fin for heat dissipation is provided on the opposite side of the mirror holding frame from the mirror, and a wind control plate is provided on the inner side of the lamp house, and when the shutter mirror is in the closed position, A light irradiator, wherein a cooling plate and a wind control plate form a wind shielding plate that blocks cooling air flowing between the shutter mirror and the lamp house.
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