JP2006013681A - Piezoelectric oscillator and package for piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric oscillator and package for piezoelectric oscillator Download PDF

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祐一 竹林
Takehiko Shindo
健彦 進藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a package capable of surely fixing a surface acoustic wave chip while reducing the manufacturing cost by downsizing the surface acoustic wave chip and to provide a piezoelectric oscillator for utilizing the package above. <P>SOLUTION: The piezoelectric oscillator 30 accommodates an integrated circuit element 34 and the surface acoustic wave chip 33 connected to the integrated circuit element into the package 31, the package includes a lower packaging part S3 arranged at an inner lower side to accommodate the integrated circuit element, and an upper packaging part S4 including an opening larger than that of the lower side packaging part and placing and fixing the surface acoustic wave chip to upward steps 45, 46 formed to a circumferential edge of the opening of the lower side packaging part, and the upper side packaging part is located at a position biased to one side with respect to the lower side packaging part in the width direction X. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、圧電発振器に係り、特に、そのパッケージ構造を改良した圧電発振器、および圧電発振器用パッケージに関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric oscillator, and more particularly to a piezoelectric oscillator having an improved package structure and a package for a piezoelectric oscillator.

近年、携帯電話やテレビ受像機等の電子部品や通信部品において、パッケージ内に弾性表面波チップと集積回路素子を収容した弾性表面波装置(SAW(Surface Acoustic Wave))により形成された共振子や帯域フィルタ等として用いられる圧電発振器が数多く使用されている。   In recent years, in electronic parts and communication parts such as mobile phones and television receivers, a resonator formed by a surface acoustic wave device (SAW (Surface Acoustic Wave)) in which a surface acoustic wave chip and an integrated circuit element are accommodated in a package, Many piezoelectric oscillators used as bandpass filters or the like are used.

このような圧電発振器を形成する場合、パッケージの中に圧電素子と、この圧電素子に接続される集積回路素子を収容して、表面実装できるようにした構成のものが知られている。
例えば、特許文献1に記載のものは、セラミック製のパッケージを用意し、パッケージ内部の下段の空間に集積回路素子を実装し、その上の段付きの空間に水晶片などの圧電素子を固定した構成のものである。このような構成をとることで、集積回路素子と圧電素子を上下に位置させて、パッケージに収容できるので、実装基板などに実装する上で基板上のスペースを小さくできて、高密度実装に適している。
また、この場合、パッケージの収容空間の構造を多段としてその内側の大きさを段階的に変えることで、収容する圧電素子の大きさの違いに対応させるようにしている(特許文献1参照)。
In the case of forming such a piezoelectric oscillator, there is known a configuration in which a piezoelectric element and an integrated circuit element connected to the piezoelectric element are accommodated in a package so as to be surface-mounted.
For example, the one described in Patent Document 1 prepares a ceramic package, mounts an integrated circuit element in a lower space inside the package, and fixes a piezoelectric element such as a crystal piece in the stepped space above the package. It is a thing of composition. By adopting such a configuration, the integrated circuit element and the piezoelectric element can be positioned vertically and accommodated in a package, so that the space on the board can be reduced when mounting on a mounting board, etc., and it is suitable for high-density mounting ing.
In this case, the structure of the housing space of the package is multi-staged, and the size of the inside is changed stepwise so as to cope with the difference in the size of the piezoelectric element to be housed (see Patent Document 1).

特開2002−158558JP 2002-158558 A

図7は、このようなパッケージを利用して、弾性表面波チップと集積回路素子を収容した圧電発振器の一般的な構成を示す概略平面図であり、図8は図7のA−A線概略断面図である。なお、図7は理解の便宜のため、蓋体を透過させて内部の構成を図示している。
パッケージ2には、弾性表面波チップ6と集積回路素子5とが収容されている。弾性表面波チップ6は図示のY方向に長い矩形の基板の能動面に、櫛歯型電極(IDT(Inter Digital Transducer))を形成したものである。
FIG. 7 is a schematic plan view showing a general configuration of a piezoelectric oscillator using such a package and containing a surface acoustic wave chip and an integrated circuit element, and FIG. 8 is a schematic plan view taken along line AA of FIG. It is sectional drawing. Note that FIG. 7 illustrates the internal configuration through the lid for convenience of understanding.
The package 2 contains a surface acoustic wave chip 6 and an integrated circuit element 5. The surface acoustic wave chip 6 has a comb-shaped electrode (IDT (Inter Digital Transducer)) formed on an active surface of a rectangular substrate that is long in the Y direction shown in the figure.

パッケージ2の内面に下側収容部S1が形成され、その上には上側収容部S2が形成されており、それぞれ集積回路素子5と弾性表面波チップ6を収容するようになっている。
具体的には、集積回路素子5はパッケージ2の内側底面の電極(図示せず)に電気的に接続されるとともに固定されている。下側収容部S1は、上側収容部S2よりも小さく、このため、下側収容部S1の開口周縁には、二段の上向き段部4,7a,7bが形成されている。段部4は幅が小さく、かつ内側に位置しており、必要な電極端子を設けることによって、この電極端子と集積回路素子5の端子との間で図示のようにボンディングワイヤにより電気的接続がされている。
A lower accommodating portion S1 is formed on the inner surface of the package 2, and an upper accommodating portion S2 is formed thereon, and accommodates the integrated circuit element 5 and the surface acoustic wave chip 6, respectively.
Specifically, the integrated circuit element 5 is electrically connected and fixed to an electrode (not shown) on the inner bottom surface of the package 2. The lower housing part S1 is smaller than the upper housing part S2, and therefore, two upper step parts 4, 7a, 7b are formed on the opening periphery of the lower housing part S1. The step portion 4 has a small width and is located on the inner side, and by providing necessary electrode terminals, electrical connection can be made between the electrode terminals and the terminals of the integrated circuit element 5 by bonding wires as shown in the figure. Has been.

パッケージ2において、その内側には、弾性表面波チップ6の長手方向(Y方向)の各端部に、上記段部7a,7bが形成されている。一方の段部7aには接着剤7cを塗布し、その上に弾性表面波チップ6の基端部6aを載置して、接着剤7cを硬化することにより、接合されている。
一方、弾性表面波チップ6の先端部6bは、他方の段部7bの上に載置され、安定して搭載されている。
パッケージ2は図示しない底面に電極部を有しており、導電スルーホールなどにより、弾性表面波チップ6が接合されたパッケージ内側の電極部と接続されている。
In the package 2, the stepped portions 7 a and 7 b are formed inside each of the end portions in the longitudinal direction (Y direction) of the surface acoustic wave chip 6. The adhesive 7c is applied to one step 7a, and the base end 6a of the surface acoustic wave chip 6 is placed thereon, and the adhesive 7c is cured to be bonded.
On the other hand, the front end portion 6b of the surface acoustic wave chip 6 is placed on the other stepped portion 7b and stably mounted.
The package 2 has an electrode portion on the bottom surface (not shown), and is connected to the electrode portion inside the package to which the surface acoustic wave chip 6 is bonded by a conductive through hole or the like.

以上の構造において、特に、弾性表面波チップ6は、比較的厚みのある圧電基板にIDTを形成することによりつくられるため、重量が大きく、上述のように基端部6aだけで片持ち支持する場合、接着剤7cの面積をなるべく大きく取る必要がある。
ここで、弾性表面波チップ6が小型化できるほど製造コストを低下させることができて好ましいが、図8において弾性表面波チップ6のY方向の大きさが小さくなると、弾性表面波チップ6の先端部6bは、段部7bに届かなくなる。
In the above structure, in particular, the surface acoustic wave chip 6 is produced by forming an IDT on a relatively thick piezoelectric substrate, so that it is heavy and cantilevered only by the base end portion 6a as described above. In this case, it is necessary to make the area of the adhesive 7c as large as possible.
Here, it is preferable that the surface acoustic wave chip 6 can be reduced in size so that the manufacturing cost can be reduced. However, if the size of the surface acoustic wave chip 6 in the Y direction is reduced in FIG. 8, the tip of the surface acoustic wave chip 6 is reduced. The part 6b does not reach the stepped part 7b.

すなわち、基端部6aについては、有る程度の接着強度を確保するためには、所定量の大きさで段部7aの上に載せなければならず、弾性表面波チップ6が小型化された場合、同時にパッケージ2を小さくして、段部7bまでの距離を小さくしなければならない。
ところが、集積回路素子5の大きさはある程度決まっているために、下側収容部S1はあまり小さくできないことから、図7,8の構造では、弾性表面波チップ6の先端部6bを支持することは難しい。
That is, the base end portion 6a must be placed on the stepped portion 7a with a predetermined size in order to ensure a certain degree of adhesive strength, and the surface acoustic wave chip 6 is downsized. At the same time, the package 2 must be made smaller to reduce the distance to the stepped portion 7b.
However, since the size of the integrated circuit element 5 is determined to some extent, the lower housing portion S1 cannot be made very small. Therefore, in the structure of FIGS. 7 and 8, the tip portion 6b of the surface acoustic wave chip 6 is supported. Is difficult.

本発明の目的は、上記課題を解消して、弾性表面波チップを小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップの固定を確実に行うことができるパッケージと、このようなパッケージを利用した圧電発振器を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to form a surface acoustic wave chip in a small size and reduce the manufacturing cost, and to securely fix the surface acoustic wave chip, and to provide such a package. The present invention is to provide a piezoelectric oscillator using the same.

上述の目的は、第1の発明にあっては、パッケージ内に、集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容した圧電発振器であって、前記パッケージが、内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部に、前記弾性表面波チップを載置固定するための上側収容部とを有しており、前記上側収容部が、前記下側収容部に対して、これらの幅方向に関して、一方に偏った位置に配置されている圧電発振器により、達成される。
第1の発明の構成によれば、前記パッケージの内側に設けた上側収容部は、下側収容部よりも大きな開口を有していて、しかも前記上側収容部が、前記下側収容部に対して、これらの幅方向に関して、一方に偏った位置に配置されている。このため、パッケージ内部においては、その幅方向に一側に段部が形成される。
このため、弾性表面波チップは、その側縁部を上記段部に載せることができるので、基端部と側縁部の両方で支持されるから、安定した搭載が可能である。また、基端部の接着剤の付着面積を大きくすることが可能なため、十分な接合強度を得ることができる。すなわち、弾性表面波チップは、その全長を短くして小さく形成することにより、製造コストを低くすることができる。
かくして、弾性表面波チップを小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップの固定を確実に行うことができる圧電発振器を提供することができる。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric oscillator in which an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element are accommodated in the package. A lower housing portion disposed on the lower side for housing the integrated circuit element, and an upward step formed on the periphery of the opening of the lower housing portion, having an opening larger than the opening of the lower housing portion An upper receiving portion for mounting and fixing the surface acoustic wave chip, and the upper receiving portion is biased to one side with respect to the lower receiving portion with respect to the width direction. This is achieved by a piezoelectric oscillator placed in position.
According to the configuration of the first invention, the upper accommodating portion provided inside the package has a larger opening than the lower accommodating portion, and the upper accommodating portion is located with respect to the lower accommodating portion. Thus, they are arranged at positions biased to one side in the width direction. For this reason, a step portion is formed on one side in the width direction inside the package.
For this reason, the surface acoustic wave chip can be mounted stably because the side edge portion thereof can be mounted on the stepped portion, and is thus supported by both the base end portion and the side edge portion. In addition, since the adhesion area of the adhesive at the base end can be increased, sufficient bonding strength can be obtained. That is, the surface acoustic wave chip can be manufactured at a low cost by shortening its entire length and forming it small.
Thus, it is possible to provide a piezoelectric oscillator capable of reliably fixing the surface acoustic wave chip while reducing the manufacturing cost by forming the surface acoustic wave chip small.

第2の発明は、第1の発明の構成において、前記弾性表面波チップの基端部が、パッケージの長さ方向に位置する上向き段部に対して固定されており、かつ前記弾性表面波チップの側縁付近の底部が、パッケージの幅方向の一側に配置された段部に載置されていることを特徴とする。
第2の発明の構成によれば、弾性表面波チップの基端部がパッケージの長さ方向に位置する上向き段部に対して固定されるとともに、さらに、前記弾性表面波チップの側縁付近の底部が、パッケージの幅方向の一側に配置された段部に載置されることによって、基端部の接着剤付着面積を確保でき、一層接合強度を向上させることができる。
According to a second invention, in the configuration of the first invention, a base end portion of the surface acoustic wave chip is fixed to an upward step portion positioned in a length direction of a package, and the surface acoustic wave chip is provided. The bottom portion near the side edge is placed on a step portion arranged on one side in the width direction of the package.
According to the configuration of the second aspect of the invention, the base end portion of the surface acoustic wave chip is fixed to the upward stepped portion located in the length direction of the package, and further, near the side edge of the surface acoustic wave chip. By placing the bottom portion on the step portion arranged on one side in the width direction of the package, the adhesive adhesion area of the base end portion can be secured, and the bonding strength can be further improved.

上述の目的は、第3の発明にあっては、パッケージ内に、集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容した圧電発振器であって、前記パッケージが、内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部を有する上側収容部とを有しており、前記下側収容部の内側の側壁には、平坦な上面を有する凸部が内方に突出するように形成されており、前記上側収容部の前記上向き段部に対して、前記弾性表面波チップの基端部が固定され、さらに前記凸部の前記平坦な上面に対して、前記弾性表面波チップの側縁付近の底部が載置されている圧電発振器により、達成される。
第3の発明の構成によれば、前記上向き段部に弾性表面波チップの基端部が固定され、前記凸部の前記平坦な上面に対して、前記弾性表面波チップの側縁付近の底部が載置されている。つまり、弾性表面波チップは、その側縁部を上記凸部に載せることができるので、基端部と側縁部の両方で支持されるから、安定して搭載される。さらに、基端部の接着剤付着面積を確保できるため、十分な接合強度を得ることができる。すなわち、弾性表面波チップは、その全長を短くして小さく形成することにより製造コストを低くすることができる。
かくして、弾性表面波チップを小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップの固定を確実に行うことができる圧電発振器を提供することができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric oscillator in which an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element are accommodated in the package. A lower housing portion disposed on the lower side for housing the integrated circuit element, and an upward step formed on the periphery of the opening of the lower housing portion, having an opening larger than the opening of the lower housing portion A convex portion having a flat upper surface is formed on the inner side wall of the lower accommodating portion so as to protrude inward, and the upper accommodating portion A base end portion of the surface acoustic wave chip is fixed to the upward stepped portion, and a bottom portion near a side edge of the surface acoustic wave chip is placed on the flat upper surface of the convex portion. This is achieved by a piezoelectric oscillator.
According to the configuration of the third invention, the base end portion of the surface acoustic wave chip is fixed to the upward stepped portion, and the bottom portion near the side edge of the surface acoustic wave chip with respect to the flat upper surface of the convex portion Is placed. That is, the surface acoustic wave chip can be mounted stably because the side edge portion can be placed on the convex portion and is supported by both the base end portion and the side edge portion. Furthermore, since the adhesive adhesion area of a base end part can be ensured, sufficient joint strength can be obtained. That is, the surface acoustic wave chip can be manufactured at a low cost by forming the surface acoustic wave chip shorter and smaller.
Thus, it is possible to provide a piezoelectric oscillator capable of reliably fixing the surface acoustic wave chip while reducing the manufacturing cost by forming the surface acoustic wave chip small.

また、上述の目的は、第4の発明にあっては、集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容するための圧電発振器用パッケージであって、内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部に、前記弾性表面波チップを載置固定するための上側収容部とを有しており、前記上側収容部が、前記下側収容部に対して、これらの幅方向に関して、一方に偏った位置に配置されている圧電発振器用パッケージにより、達成される。
第4の発明の構成によれば、第1の発明と同様の原理によって、弾性表面波チップを小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップの固定を確実に行うことができる圧電発振器に好適に利用できるパッケージを提供することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric oscillator package for housing an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element. A lower accommodating portion disposed on the side for accommodating the integrated circuit element, and an upward stepped portion formed on an opening periphery of the lower accommodating portion, the opening being larger than the opening of the lower accommodating portion. An upper receiving portion for mounting and fixing the surface acoustic wave chip, and the upper receiving portion is biased to one side with respect to the lower receiving portion in the width direction. This is achieved by the piezoelectric oscillator package being arranged.
According to the configuration of the fourth aspect of the present invention, the surface acoustic wave chip can be reliably fixed while reducing the manufacturing cost by forming the surface acoustic wave chip small by the same principle as the first aspect of the invention. A package that can be suitably used for an oscillator can be provided.

また、上述の目的は、第5の発明にあっては、集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容するための圧電発振器用パッケージであって、内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部を有する上側収容部とを有しており、前記下側収容部の内側の側壁には、平坦な上面を有する凸部が内方に突出するように形成されている圧電発振器用パッケージにより、達成される。
第5の発明の構成によれば、第3の発明と同様の原理によって、弾性表面波チップを小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップの固定を確実に行うことができる圧電発振器に好適に利用できるパッケージを提供することができる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a package for a piezoelectric oscillator for accommodating an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element. A lower accommodating portion for accommodating the integrated circuit element disposed on the side, and an upward stepped portion formed on an opening periphery of the lower accommodating portion, the opening being larger than the opening of the lower accommodating portion. And a piezoelectric oscillator package in which a convex portion having a flat upper surface is formed on the inner side wall of the lower housing portion so as to protrude inward. The
According to the configuration of the fifth aspect of the present invention, the surface acoustic wave chip can be reliably fixed while reducing the manufacturing cost by forming the surface acoustic wave chip small by the same principle as the third aspect of the invention. A package that can be suitably used for an oscillator can be provided.

図1は、本発明の電子部品の第1の実施形態としての圧電発振器の一例を示す概略平面図であり、図2は図1のB−B線概略断面図、図3は図1のC−C線概略断面図で、図1においては蓋体を透過して内部の構造を示している。
圧電発振器30は、パッケージ31と、パッケージ31に収容された弾性表面波チップ33と、集積回路素子(以下、「ICチップ」という)34を備えている。
FIG. 1 is a schematic plan view showing an example of a piezoelectric oscillator as a first embodiment of an electronic component of the present invention, FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along line BB in FIG. 1, and FIG. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view taken along line -C, and FIG. 1 shows the internal structure through the lid.
The piezoelectric oscillator 30 includes a package 31, a surface acoustic wave chip 33 accommodated in the package 31, and an integrated circuit element (hereinafter referred to as “IC chip”) 34.

弾性表面波チップ33は、圧電基板に、すだれ状電極であるIDT(櫛形電極)や必要な反射器を形成したものである。圧電基板は、圧電材料として、例えば、水晶,リチウムタンタレート(LiTaO3 ),リチウムナイオベート(LiNbO3 )等の単結晶基板やSi基板へZnO成膜した基板等の多層膜基板等を使用することができる。また、IDTは、圧電基板の能動面にアルミニウムなどの導体金属を蒸着もしくはスパッタリングなどで膜形成した後で、フォトリソグラフィの手法などをもちいて、必要な櫛歯型の電極および/または反射器を形成したものである。
ICチップ34は弾性表面波チップ33と接続されて発振器を形成するためのものである。なお、弾性表面波チップ33のIDTなどの電極構造は、パッケージの構造の理解をするための図示形状と重なり、理解を妨げるため図示していない。
The surface acoustic wave chip 33 is obtained by forming an interdigital electrode IDT (comb electrode) and a necessary reflector on a piezoelectric substrate. The piezoelectric substrate uses, for example, a multilayer substrate such as a single crystal substrate such as quartz, lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3 ) or a substrate obtained by forming ZnO on a Si substrate as a piezoelectric material. be able to. In addition, IDT is a method in which a conductive metal such as aluminum is formed on the active surface of a piezoelectric substrate by vapor deposition or sputtering, and then a necessary comb-shaped electrode and / or reflector is provided using a photolithography technique. Formed.
The IC chip 34 is connected to the surface acoustic wave chip 33 to form an oscillator. Note that the electrode structure such as IDT of the surface acoustic wave chip 33 overlaps with the illustrated shape for understanding the structure of the package and is not illustrated in order to prevent understanding.

パッケージ31は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して、例えば、図示のようにY方向(長さ方向)が幅方向(X方向)よりも大きい矩形の外形を備えるように形成されている。
すなわち、グリーンシートを利用した複数の基板を積層して、各積層基板の内側の材料を除去して内部空間を形成し、積層状態とした後で、焼結して形成されている。
パッケージ31は、その内側において、下側収容部S3と、上側収容部S4を有した箱状の容器である。下側収容部S3と上側収容部S4は、ともに矩形の凹所または有底の孔であり、上側収容部S4は下側収容部S3よりも大きな開口を有し、図2に示すようにY方向、すなわち長さ方向の寸法も大きい。
The package 31 is formed of, for example, an aluminum oxide ceramic green sheet as an insulating material, and has a rectangular outer shape in which the Y direction (length direction) is larger than the width direction (X direction), for example, as illustrated. It is formed as follows.
That is, it is formed by laminating a plurality of substrates using green sheets, removing the material inside each laminated substrate to form an internal space, and forming a laminated state, followed by sintering.
The package 31 is a box-shaped container having a lower housing part S3 and an upper housing part S4 on the inner side. The lower housing part S3 and the upper housing part S4 are both rectangular recesses or holes with a bottom, and the upper housing part S4 has a larger opening than the lower housing part S3, as shown in FIG. The dimension in the direction, that is, the length direction is also large.

下側収容部S3と、上側収容部S4とは上下に重なった位置に配置され、連通するように形成されている。特に、図1を参照して理解されるように、上側収容部S4は、下側収容部S3に対して、幅方向(X方向)に関して、一方に偏った位置に配置されている。図1において、上側収容部S4は、下側収容部S3に対して、下側に偏った位置に設けられている。   The lower housing portion S3 and the upper housing portion S4 are arranged at positions that are vertically overlapped and are formed to communicate with each other. In particular, as will be understood with reference to FIG. 1, the upper storage portion S4 is disposed at a position biased to one side in the width direction (X direction) with respect to the lower storage portion S3. In FIG. 1, the upper housing part S4 is provided at a position biased downward with respect to the lower housing part S3.

このため、下側収容部S3の開口周縁には段部45が形成されている。この段部45は、図1の左端側が広くなるように配置されている。この段部は45は下側収容部S3の側縁の開口縁にも拡がり、サイド段部46となっている。
また、下側収容部S3の開口内側には、上記段部45よりも低い段部41,42が形成されている。低い段部41,42は、図1および図2に示されているように、下側収容部S3の長さ方向(Y方向)の両端に設けられている。この低い段部41,42には、図1に示されているように、それぞれ必要な電極部43が形成されており、これら電極部43には、下側収容部S3の底面に実装されたICチップ34の端子が、図示のようにワイヤボンディングにより接続されている。
For this reason, the step part 45 is formed in the opening periphery of lower side accommodating part S3. The step 45 is arranged so that the left end side in FIG. This step portion 45 extends to the opening edge of the side edge of the lower housing portion S <b> 3 and serves as a side step portion 46.
Further, step portions 41 and 42 lower than the step portion 45 are formed inside the opening of the lower housing portion S3. As shown in FIGS. 1 and 2, the lower step portions 41 and 42 are provided at both ends in the length direction (Y direction) of the lower accommodating portion S <b> 3. As shown in FIG. 1, the lower step portions 41 and 42 are respectively formed with necessary electrode portions 43, and these electrode portions 43 are mounted on the bottom surface of the lower accommodating portion S3. The terminals of the IC chip 34 are connected by wire bonding as shown in the figure.

図2に示されているように、パッケージ31の段部45の左端側の領域には、シリコン系などの接着剤52が塗布され、その上に弾性表面波チップ33の基端部33aが載置されて固定されている。また、段部45の側縁には、図1に示すように電極部51,51が形成されており、弾性表面波チップ33の電極端子に対して、図示のようにワイヤボンディングされることにより、電気的に接続されている。
しかも、この弾性表面波チップ33のひとつの側縁部33cは、その底部がサイド段部46の上に載置されていて、この弾性表面波チップ33の先端部33bは支持、固定されていない。
As shown in FIG. 2, a silicon-based adhesive 52 is applied to the left end region of the stepped portion 45 of the package 31, and the base end portion 33a of the surface acoustic wave chip 33 is mounted thereon. It is placed and fixed. Further, as shown in FIG. 1, electrode portions 51, 51 are formed on the side edge of the stepped portion 45, and wire bonding is performed to the electrode terminals of the surface acoustic wave chip 33 as shown in the figure. Are electrically connected.
Moreover, the side edge portion 33c of the surface acoustic wave chip 33 has its bottom portion placed on the side step portion 46, and the tip portion 33b of the surface acoustic wave chip 33 is not supported or fixed. .

なお、電極部51,51は、パッケージ31の底面に設けた図示しない実装端子に対して、所定の導電スルーホールなどで接続され、この段部45の電極部51,51はパッケージ31内を引き回した図示しないパターンなどにより、低い段部41,42の各電極部43と接続されている。
この状態で、パッケージ31には、蓋体32がロウ材を介して固定され、内部を気密に封止するようになっている。蓋体32は例えば、平板であり、鉄とニッケルとコバルトの合金であるコバールで形成したものや、鉄とニッケルの合金である42アロイに金メッキしたものなどが適している。
The electrode portions 51 and 51 are connected to a mounting terminal (not shown) provided on the bottom surface of the package 31 by a predetermined conductive through hole or the like, and the electrode portions 51 and 51 of the step portion 45 are routed through the package 31. Further, the electrodes are connected to the electrode portions 43 of the lower step portions 41 and 42 by a pattern (not shown).
In this state, a lid 32 is fixed to the package 31 via a brazing material, and the inside is hermetically sealed. The lid 32 is, for example, a flat plate, and one formed of Kovar, which is an alloy of iron, nickel, and cobalt, or one plated with 42 alloy, which is an alloy of iron, nickel, is suitable.

本実施形態は、以上のように構成されており、弾性表面波チップ33は、その側縁部33cをサイド段部46に載せて支持することができるので、基端部33aと側縁部33cの両方で支持されるから、十分な接合強度を得ることができる。これにより、弾性表面波チップ33は、その全長(Y方向の寸法)を短くして小さく形成することができ、その分製造コストを低くすることができる。ここで、側縁部33cを固定すると更に接合強度を向上させることが可能であるが、パッケージの変形により弾性表面波チップ33に応力がかかりやすくなり、例えば弾性表面波チップ33の周波数特性の劣化が生じる可能性があることから、固定は基端部33aの一箇所で行うのが好ましい。
かくして、本実施形態によれば、弾性表面波チップを小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップの固定を確実に行うことができる圧電発振器30を提供することができる。
The present embodiment is configured as described above, and the surface acoustic wave chip 33 can support the side edge portion 33c mounted on the side step portion 46, so that the base end portion 33a and the side edge portion 33c are supported. Therefore, sufficient bonding strength can be obtained. Thereby, the surface acoustic wave chip 33 can be formed small by shortening its entire length (dimension in the Y direction), and the manufacturing cost can be reduced accordingly. Here, if the side edge portion 33c is fixed, it is possible to further improve the bonding strength. However, stress is easily applied to the surface acoustic wave chip 33 due to deformation of the package. For example, the frequency characteristics of the surface acoustic wave chip 33 are deteriorated. Therefore, the fixing is preferably performed at one position of the base end portion 33a.
Thus, according to the present embodiment, it is possible to provide the piezoelectric oscillator 30 capable of reliably fixing the surface acoustic wave chip while reducing the manufacturing cost by forming the surface acoustic wave chip small.

図4は、本発明の電子部品の第2の実施形態としての圧電発振器の一例を示す概略平面図であり、図5は図4のD−D線概略断面図、図6は図4のE−E線概略断面図で、図4においては蓋体を透過して内部の構造を示している。これらの図において、第1の実施形態を表す図に用いた符号と同一の符号を付した箇所は、共通する構成であるから、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。   FIG. 4 is a schematic plan view showing an example of a piezoelectric oscillator as a second embodiment of the electronic component of the present invention, FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 4, and FIG. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line -E, and FIG. 4 shows the internal structure through the lid. In these drawings, portions denoted by the same reference numerals as those used in the drawings representing the first embodiment have a common configuration, and thus redundant description will be omitted, and hereinafter, differences will be mainly described. .

第1の実施形態の場合と異なり、圧電発振器30−1のパッケージ31−1においては、上側収容部S4が、下側収容部S3に対して、偏った位置に配置されているわけではなく、ほぼ重なる位置に配置されている。
そして、パッケージ31−1の下側収容部S3の内側の側壁には、図4に示すように、凸部55が内方に突出するように形成されている。この凸部55は、図6に示すように、平坦な上面を有している。
Unlike the case of the first embodiment, in the package 31-1 of the piezoelectric oscillator 30-1, the upper housing portion S4 is not disposed at a biased position with respect to the lower housing portion S3. It is arranged at a position that almost overlaps.
And as shown in FIG. 4, the convex part 55 is formed in the side wall inside the lower accommodating part S3 of the package 31-1 so that it may protrude inward. As shown in FIG. 6, the convex portion 55 has a flat upper surface.

図6に示すように、この凸部55の平坦な上面に対して、弾性表面波チップ33の側縁付近の底部が支持されている。つまり、弾性表面波チップ33は、その側縁部33cを凸部55に載せて支持することができるので、基端部33aと側縁部33cの両方で支持されるから、安定して搭載されることができる。ここで、側縁部33cを固定すると更に接合強度を向上させることが可能であるが、パッケージの変形により弾性表面波チップ33に応力がかかりやすくなり、例えば弾性表面波チップ33の周波数特性の劣化が生じる可能性があることから、固定は基端部33aの一箇所で行うのが好ましい。
このようにして、第2の実施形態に係る圧電発振器30−1においても、弾性表面波チップ33は、その全長を短くして小さく形成することにより製造コストを低くすることができる。このため、弾性表面波チップ33を小型に形成して製造コストを低減しつつ弾性表面波チップ33の固定を確実に行うことができる圧電発振器30−1が提供されることになる。
As shown in FIG. 6, the bottom near the side edge of the surface acoustic wave chip 33 is supported on the flat upper surface of the convex portion 55. That is, since the surface acoustic wave chip 33 can be supported by placing the side edge portion 33c on the convex portion 55, the surface acoustic wave chip 33 is supported by both the base end portion 33a and the side edge portion 33c. Can. Here, if the side edge portion 33c is fixed, it is possible to further improve the bonding strength. However, stress is easily applied to the surface acoustic wave chip 33 due to deformation of the package. For example, the frequency characteristics of the surface acoustic wave chip 33 are deteriorated. Therefore, the fixing is preferably performed at one position of the base end portion 33a.
Thus, also in the piezoelectric oscillator 30-1 according to the second embodiment, the surface acoustic wave chip 33 can be manufactured at a low manufacturing cost by shortening its overall length and forming it small. For this reason, the piezoelectric oscillator 30-1 can be provided that can securely fix the surface acoustic wave chip 33 while reducing the manufacturing cost by forming the surface acoustic wave chip 33 in a small size.

本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態の各構成はこれらを適宜省略したり、図示しない他の構成と組み合わせることができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment. Each configuration of the embodiment may be omitted as appropriate, or may be combined with other configurations not shown.

本発明の圧電発振器の第1の実施形態を示す概略平面図。1 is a schematic plan view showing a first embodiment of a piezoelectric oscillator of the present invention. 図1のB−B線概略断面図。BB schematic sectional drawing of FIG. 図1のC−C線概略断面図。The CC sectional schematic sectional drawing of FIG. 本発明の圧電発振器の第2の実施形態を示す概略平面図。The schematic plan view which shows 2nd Embodiment of the piezoelectric oscillator of this invention. 図4のD−D線概略断面図。DD schematic sectional drawing of FIG. 図4のE−E線概略断面図。EE schematic sectional drawing of FIG. 従来の圧電発振器の概略平面図。The schematic plan view of the conventional piezoelectric oscillator. 図7のA−A線概略断面図。AA line schematic sectional drawing of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

30・・・圧電発振器、31・・・パッケージ、33・・・弾性表面波チップ、34・・・ICチップ、45・・・段部、46・・・サイド段部、55・・・凸部、S3・・・下側収容部、S4・・・上側収容部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 ... Piezoelectric oscillator, 31 ... Package, 33 ... Surface acoustic wave chip, 34 ... IC chip, 45 ... Step part, 46 ... Side step part, 55 ... Convex part , S3... Lower housing part, S4... Upper housing part.

Claims (5)

パッケージ内に、集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容した圧電発振器であって、
前記パッケージが、
内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、
前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部に、前記弾性表面波チップを載置固定するための上側収容部と
を有しており、
前記上側収容部が、前記下側収容部に対して、これらの幅方向に関して、一方に偏った位置に配置されている
ことを特徴とする圧電発振器。
A piezoelectric oscillator containing an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element in a package,
The package is
A lower receiving portion disposed on the lower side of the inside for receiving the integrated circuit element;
The upper housing portion has an opening larger than the opening of the lower housing portion, and an upper housing portion for mounting and fixing the surface acoustic wave chip on an upward step formed on the opening periphery of the lower housing portion. And
The piezoelectric oscillator, wherein the upper housing part is disposed at a position biased to one side in the width direction with respect to the lower housing part.
前記弾性表面波チップの基端部が、パッケージの長さ方向に位置する上向き段部に対して固定されており、かつ前記弾性表面波チップの側縁付近の底部が、パッケージの幅方向の一側に配置された段部に載置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。   A base end portion of the surface acoustic wave chip is fixed to an upward step portion positioned in the package length direction, and a bottom portion in the vicinity of the side edge of the surface acoustic wave chip is one in the width direction of the package. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the piezoelectric oscillator is placed on a step portion disposed on the side. パッケージ内に、集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容した圧電発振器であって、
前記パッケージが、
内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、
前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部を有する上側収容部と
を有しており、
前記下側収容部の内側の側壁には、平坦な上面を有する凸部が内方に突出するように形成されており、
前記上側収容部の前記上向き段部に対して、前記弾性表面波チップの基端部が固定され、さらに前記凸部の前記平坦な上面に対して、前記弾性表面波チップの側縁付近の底部が載置されている
ことを特徴とする圧電発振器。
A piezoelectric oscillator containing an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element in a package,
The package is
A lower receiving portion disposed on the lower side of the inside for receiving the integrated circuit element;
An upper housing portion having an opening larger than the opening of the lower housing portion and having an upward step formed on the periphery of the opening of the lower housing portion,
On the inner side wall of the lower housing part, a convex part having a flat upper surface is formed so as to protrude inward,
A base end portion of the surface acoustic wave chip is fixed to the upward stepped portion of the upper housing portion, and further, a bottom portion near a side edge of the surface acoustic wave chip with respect to the flat upper surface of the convex portion A piezoelectric oscillator characterized in that is mounted.
集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容するための圧電発振器用パッケージであって、
内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、
前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部に、前記弾性表面波チップを載置固定するための上側収容部と
を有しており、
前記上側収容部が、前記下側収容部に対して、これらの幅方向に関して、一方に偏った位置に配置されている
ことを特徴とする圧電発振器用パッケージ。
A package for a piezoelectric oscillator for accommodating an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element,
A lower receiving portion disposed on the lower side of the inside for receiving the integrated circuit element;
The upper housing portion has an opening larger than the opening of the lower housing portion, and an upper housing portion for mounting and fixing the surface acoustic wave chip on an upward step formed on the opening periphery of the lower housing portion. And
The package for a piezoelectric oscillator, wherein the upper housing part is disposed at a position biased to one side with respect to the width direction with respect to the lower housing part.
集積回路素子と、この集積回路素子と接続される弾性表面波チップとを収容するための圧電発振器用パッケージであって、
内部の下側に配置され前記集積回路素子を収容するための下側収容部と、
前記下側収容部の開口よりも大きな開口を有し、前記下側収容部の開口周縁に形成された上向き段部を有する上側収容部と
を有しており、
前記下側収容部の内側の側壁には、平坦な上面を有する凸部が内方に突出するように形成されている
ことを特徴とする圧電発振器用パッケージ。
A package for a piezoelectric oscillator for accommodating an integrated circuit element and a surface acoustic wave chip connected to the integrated circuit element,
A lower receiving portion disposed on the lower side of the inside for receiving the integrated circuit element;
An upper housing portion having an opening larger than the opening of the lower housing portion and having an upward step formed on the periphery of the opening of the lower housing portion,
A package for a piezoelectric oscillator, wherein a convex portion having a flat upper surface is formed on an inner side wall of the lower housing portion so as to protrude inward.
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