JP2006006089A - Motor drive - Google Patents
Motor drive Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006006089A JP2006006089A JP2004183013A JP2004183013A JP2006006089A JP 2006006089 A JP2006006089 A JP 2006006089A JP 2004183013 A JP2004183013 A JP 2004183013A JP 2004183013 A JP2004183013 A JP 2004183013A JP 2006006089 A JP2006006089 A JP 2006006089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amplifier unit
- motor
- motor drive
- unit
- power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Control Of Ac Motors In General (AREA)
Abstract
Description
本発明は複数のモータを駆動して大電力を消費するモータ駆動装置に関し、特に１台の電源部アンプユニットと複数台の制御部アンプユニットとから構成され、１台の制御部アンプユニットが１台のモータを駆動する形式のモータ駆動装置に関する。 The present invention relates to a motor drive device that drives a plurality of motors and consumes a large amount of electric power, and in particular, includes one power supply unit amplifier unit and a plurality of control unit amplifier units, and one control unit amplifier unit is one. The present invention relates to a motor driving device of a type that drives a motor of a table.
従来のモータ駆動装置において、モータを駆動するアンプユニットは、１つの筺体内に、電源部とモータ駆動回路と制御部とを備え、１つのアンプユニットから出力される電力によって、１つのモータが駆動される構成を有していた。
しかし、近年、例えば半導体露光装置のステージ（レクチル用ステージ、及びウェハ用ステージ）等のように、モータ駆動装置が駆動するモータの数が増え、その結果アンプユニットの数が多くなる傾向にある。加えて、各モータの出力増加に伴って必要とする電力が多量になり、モータ駆動装置においてアンプユニットが大きな容積を占めるに至った。特に、各アンプユニットにおいて、電源部は重量が重く、大きな容積を占めている。
In a conventional motor drive device, an amplifier unit for driving a motor includes a power source, a motor drive circuit, and a controller in one housing, and one motor is driven by electric power output from one amplifier unit. Had the configuration to be.
However, in recent years, for example, the number of motors driven by a motor driving device such as a stage of a semiconductor exposure apparatus (a stage for a reticle and a stage for a wafer) has increased, and as a result, the number of amplifier units tends to increase. In addition, as the output of each motor increases, the power required increases, and the amplifier unit occupies a large volume in the motor drive device. In particular, in each amplifier unit, the power supply unit is heavy and occupies a large volume.
ところで、各アンプユニットにおいて必要とする電力は、モータの種類によって異なる。また、各アンプユニットの電源部は一般品ではなく、通常、各々のモータ駆動装置に適した電力を出力するカスタム品である。したがって、モータ駆動装置が駆動する複数のモータのうち、アンプユニットが出力可能な全電力を必要としないモータを駆動する場合でも、コストダウンのために同一使用の電源部を各アンプユニットに搭載することが多い。 By the way, the electric power required in each amplifier unit differs depending on the type of motor. Further, the power supply unit of each amplifier unit is not a general product, but is usually a custom product that outputs electric power suitable for each motor drive device. Therefore, even when driving a motor that does not require the total power that can be output by the amplifier unit among a plurality of motors driven by the motor drive device, the same power supply unit is mounted on each amplifier unit for cost reduction. There are many cases.
以上の原因によって、従来のモータ駆動装置は、余分な電力容量を有すると共に、必要な電力容量とモータ駆動装置の全容積の関係から、全容積中に無駄な容積が存在することを許容していた。
そこで、モータ駆動装置において大きな容積を占めている複数のアンプユニットの電源部を、１台の電源部アンプユニットとして構成することが提案された。
Due to the above reasons, the conventional motor drive device has an extra power capacity, and allows a useless volume to exist in the total volume due to the relationship between the required power capacity and the total volume of the motor drive device. It was.
Therefore, it has been proposed to configure the power supply units of a plurality of amplifier units that occupy a large volume in the motor drive device as one power supply unit amplifier unit.
この提案によれば、１台の電源部アンプユニットは、モータ駆動回路とモータ制御回路とから構成される複数の制御部アンプユニットに電力を供給する。各制御部アンプユニットは、各々１つのモータに電力を供給する。これにより、前記した電力の有効利用及び電源部に存在する無駄な容積の問題を解決することができる。
しかし、前記した１台の電源部アンプユニットから複数の制御部アンプユニットに電力を供給するモータ制御装置には、次のような問題点がある。
前記技術は、電源部アンプユニットが１台であるため、複数の制御部アンプユニットを同時に駆動して、全てのモータを駆動したり、全てのモータを同時に停止させる場合は非常に有効である。しかし、複数の制御部アンプユニットのうち、少なくとも１台の制御部アンプユニットが故障したり、少なくとも１台のモータが故障した場合でも、電源部アンプユニットは当該制御部アンプユニットに対する電力供給を続行する。このため、事故発生の際には、オペレータ等が電源部アンプユニットの動作を停止し、全ての制御部アンプユニットに対する電力供給を停止しなければならないという問題点がある。
However, the motor control apparatus that supplies electric power from one power supply unit amplifier unit to a plurality of control unit amplifier units has the following problems.
Since the power supply unit amplifier unit is a single unit, the technique is very effective when a plurality of control unit amplifier units are driven simultaneously to drive all motors or to stop all motors simultaneously. However, even if at least one of the control unit amplifier units fails or at least one motor fails, the power unit amplifier unit continues to supply power to the control unit amplifier unit. To do. For this reason, when an accident occurs, there is a problem that an operator or the like must stop the operation of the power supply unit amplifier unit and stop the power supply to all the control unit amplifier units.
また、１台の制御部アンプユニットが故障したり、１台のモータが故障した場合でも、他の制御部アンプユニットが正常に動作している間は、電力部アンプユニットを停止することなく、故障していない制御部アンプユニットの動作を続行すると、最悪の場合、故障した側の制御部アンプユニットのモータ駆動装置が破損してしまうという危険性がある。
また、少なくとも１台の制御部アンプユニットを保守点検したいとき、電源部アンプユニットの動作を停止させ、全てのモータを停止させる必要があった。そうしないと、保守点検時に、作業員が感電等の事故にあう危険がある。
In addition, even if one control unit amplifier unit fails or one motor fails, while the other control unit amplifier unit is operating normally, without stopping the power unit amplifier unit, If the operation of the control unit amplifier unit that has not failed is continued, in the worst case, there is a risk that the motor drive device of the control unit amplifier unit on the failed side will be damaged.
Further, when it is desired to perform maintenance and inspection of at least one control unit amplifier unit, it is necessary to stop the operation of the power unit amplifier unit and stop all the motors. Otherwise, there is a risk that an operator may get an accident such as an electric shock during maintenance inspection.
本発明は前記した従来技術の問題点に鑑み為されたもので、１台の電源部アンプユニットから複数の制御部アンプユニットに電力を供給するモータ駆動装置において、少なくとも１台の制御部アンプユニット又は少なくとも１台のモータに何らかの異常が発生した場合、当該制御部アンプユニットと電源部アンプユニットとを個別に切り離すことを可能にするモータ駆動装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and in a motor driving apparatus that supplies power to a plurality of control unit amplifier units from one power supply unit amplifier unit, at least one control unit amplifier unit is provided. Alternatively, an object of the present invention is to provide a motor drive device that makes it possible to individually separate the control unit amplifier unit and the power supply unit amplifier unit when any abnormality occurs in at least one motor.
請求項１記載のモータ駆動装置は、１台の電源アンプユニットと、モータ駆動回路とモータ制御回路とから構成される制御部アンプユニットであって、１台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける複数の制御部アンプユニットとから構成され、各制御部アンプユニット内のモータ駆動回路に接続されている１台のモータを駆動するモータ駆動装置において、各制御部アンプユニットのモータ駆動回路の前段に、モータ制御回路によって制御され、１台の電源アンプユニットから出力される電力をモータ駆動回路に導通／遮断するための導通／遮断手段を設けたことを特徴とする。 The motor drive device according to claim 1 is a control unit amplifier unit including one power amplifier unit, a motor drive circuit, and a motor control circuit, and outputs electric power output from one power amplifier unit. In a motor drive device that drives a single motor connected to a motor drive circuit in each control unit amplifier unit, the motor drive circuit of each control unit amplifier unit In the preceding stage, a conduction / shut-off unit is provided which is controlled by the motor control circuit and conducts / shuts off the electric power output from one power amplifier unit to the motor drive circuit.
請求項２記載のモータ駆動装置は、請求項１記載のモータ駆動装置において、導通／遮断手段はＤＣ用電磁接触器であることを特徴とする。
請求項３記載のモータ駆動装置は、請求項２記載のモータ駆動装置において、モータ制御回路は、１台の電源アンプユニットから出力される電力から、ＤＣ用電磁接触器を動作させる電力を得ることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the motor driving device according to the first aspect, the conduction / interruption means is a DC electromagnetic contactor.
According to a third aspect of the present invention, in the motor driving device according to the second aspect, the motor control circuit obtains electric power for operating the DC electromagnetic contactor from electric power output from one power amplifier unit. It is characterized by.
本発明によれば、各制御部アンプユニットに導通／遮断手段を設け、制御部アンプユニット単位で電力を導通／遮断するように構成した。したがって、１台の電源アンプユニットと複数の制御部アンプユニットから構成されるモータ駆動回路において、制御部アンプユニットを前記電源ユニットから個別に切り離すことが可能になるという効果を有する。 According to the present invention, the control unit amplifier unit is provided with the conduction / shut-off means so that the power is conducted / shut off in units of the control unit amplifier unit. Therefore, in the motor drive circuit composed of one power amplifier unit and a plurality of control unit amplifier units, the control unit amplifier unit can be individually separated from the power unit.
以下、本発明に係るモータ駆動装置の一実施形態について説明する。なお、この実施形態は、請求項１、２、３に記載の発明に対応する。
図１は、本発明の一実施形態を示すブロック図である。図１において、１０は電源部アンプユニット、２０−Ａ，２０−Ｂは制御部アンプユニットである。図１においては、２台の制御部アンプユニット２０−Ａ，２０−Ｂを設けているが、その台数は任意でよい。
Hereinafter, an embodiment of a motor drive device according to the present invention will be described. This embodiment corresponds to the inventions described in claims 1, 2, and 3.
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 10 is a power supply unit amplifier unit, and 20-A and 20-B are control unit amplifier units. In FIG. 1, two control unit amplifier units 20-A and 20-B are provided, but the number thereof may be arbitrary.
電源部アンプユニット１０は、サーキットプロテクタ１１と電源１２から構成されている。電源１２は、入力される三相交流２００Ｖを直流電圧＋ＨＶ〜−ＨＶに変換して出力する。電源１２は、入力側と出力側が絶縁されていない非絶縁型の安価な電源でもよいし、入力側と出力側が絶縁されている絶縁型の電源でもよい。また、サーキットプロテクタ１１がオフの状態では、電源１２から電流は出力されないが、電圧＋ＨＶ〜−ＨＶは発生するように構成されている。
The power supply unit amplifier unit 10 includes a circuit protector 11 and a
電源部アンプユニット１０から電圧＋ＨＶ〜−ＨＶが制御部アンプユニット２０−Ａ，２０−Ｂに供給され、各制御部アンプユニット２０−Ａ，２０−ＢにおいてＤＣ用電磁接触器２１ａ，２１ｂに入力される。なお、請求項１に記載する導通／遮断手段は、ＤＣ用電磁接触器２１ａ，２１ｂが相当する。
制御部アンプユニット２０−Ａ，２０−Ｂは、電磁接触器２１ａ，２１ｂと、モータ駆動回路２２ａ，２２ｂと、モータ制御回路２３ａ，２３ｂとから、構成されている。
Voltages + HV to -HV are supplied from the power supply unit amplifier unit 10 to the control unit amplifier units 20-A and 20-B, and input to the DC electromagnetic contactors 21a and 21b in the control unit amplifier units 20-A and 20-B. Is done. The conduction / interruption means described in claim 1 corresponds to the DC electromagnetic contactors 21a and 21b.
The control unit amplifier units 20-A and 20-B are composed of electromagnetic contactors 21a and 21b,
制御部アンプユニット２０−Ａ，２０−Ｂには、図示しない上位装置（半導体露光装置の場合には、動作全体を司るステージコントローラ）から制御信号がモータ制御回路２３ａ，２３ｂに入力されている。制御信号は、イネーブル信号／ディスエーブル信号等の他に、モータの推力指令信号、及びこれらの信号の取り込みタイミングを示す信号等を含んでいる。
In the control unit amplifier units 20-A and 20-B, control signals are input to
今、制御信号として前記イネーブル信号が、制御部アンプユニット２０−Ａのモータ制御回路２３ａに入力されたとする。モータ制御回路２３ａは、このイネーブル信号をトリガとして、電磁接触器２１ａのコイルに電流を供給する。これにより、電磁接触器２１ａはクローズする。したがって、電圧＋ＨＶ〜−ＨＶがモータ駆動回路２２ａに入力され、モータ駆動回路２２ａを構成している、例えばパワーＯＰアンプやＩＧＢＴやＭＯＳ−ＦＥＴの働きにより、モータコイル３０ａに電流が供給され、モータコイル３０ａが駆動される。
Assume that the enable signal is input to the
モータ駆動回路２２ａにおいて、過電流や過負荷、過熱、パワーＯＰアンプ等の何らかの異常が発生した場合、モータ駆動回路２２ａからモータ制御回路２３ａに信号が送られ、モータ制御回路２３ａはモータ駆動動作を直ちに停止する。これと同時に、モータ制御回路２３ａは、電磁接触器２１ａのコイルへの電流出力を停止する。したがって、電磁接触器２１ａはオープンし、制御部アンプユニット２０−Ａへの電力供給が停止する。以上の動作により、制御部アンプユニット２０−Ａの安全を確保することができる。
When an abnormality such as overcurrent, overload, overheating, or power OP amplifier occurs in the
以上の説明においては、制御部アンプユニット２０−Ａを例にして説明したが、制御部アンプユニット２０−Ｂにおいても全く同様の動作が行われることは言うまでもない。すなわち、制御部アンプユニット２０−Ａ，２０−Ｂは、各々独立して電源を投入したり、遮断したりすることができる。
また、以上の説明においては、三相交流２００Ｖが電源アンプユニット１０に入力されているものとして説明したが、単相の電圧や他の電圧でもよい。
In the above description, the control unit amplifier unit 20-A has been described as an example, but it goes without saying that the same operation is performed also in the control unit amplifier unit 20-B. That is, the control unit amplifier units 20-A and 20-B can be turned on and off independently of each other.
In the above description, the three-
また、以上の説明においては、サーキットプロテクタ１１が電源アンプユニット１０に設けられているものとして説明したが、サーキットブレーカを設けてもよい。
また、以上の説明においては、三相モータを例にして説明したが、他の形式のモータでもよい。
また、本実施形態においては図示していないが、モータ駆動回路２２ａ，２２ｂとモータ制御回路２３ａ，２３ｂを駆動する電源として、電源アンプユニット１０から出力されているＤＣ電源（電圧＋ＨＶ〜−ＨＶ）を電磁接触器２１ａ，２１ｂの前段部分から取り出し、ＤＣ−ＤＣコンバータを用いて作成してもよい。これは、請求項２に記載の発明に相当する。さらに、電源アンプユニット１０において、ＡＣ−ＤＣ変換し、前記電圧＋ＨＶ〜−ＨＶとは別系統のものとして供給してもよい。
In the above description, the circuit protector 11 is described as being provided in the power amplifier unit 10, but a circuit breaker may be provided.
In the above description, a three-phase motor has been described as an example, but other types of motors may be used.
Although not shown in the present embodiment, a DC power source (voltage + HV to −HV) output from the power amplifier unit 10 is used as a power source for driving the
また、モータ駆動回路２２ａ，２２ｂは、いわゆるリニア方式の駆動回路でもよいし、ＰＷＭ方式の駆動回路でもよいし、他の方式の駆動回路でもよい。
また、本実施形態においては、電源１２として如何なる構成のものでも適用することが可能である。例えば、電源１２として絶縁型の電源を用いてもよく、非絶縁型の電源を用いてもよい。
The
Further, in the present embodiment, any configuration as the
本発明は、半導体露光装置のステージ（レクチル用ステージ及びウェハ用ステージ）等のように、モータ駆動装置が駆動するモータの数が増え、各モータの出力増加に伴って必要とする電力が多量になるモータ駆動装置の分野において、産業上大いに利用することができる。 In the present invention, the number of motors driven by the motor drive device, such as stages (reticle stage and wafer stage) of a semiconductor exposure apparatus, increases, and a large amount of power is required as the output of each motor increases. In the field of the motor drive device, it can be used industrially.
１０ 電源部アンプユニット、
１１ サーキットプロテクタ
１２ 電源
２０−Ａ，２０−Ｂ 制御部アンプユニット
２１ａ，２１ｂ 電磁接触器
２２ａ，２２ｂ モータ駆動回路
２３ａ，２３ｂ モータ制御回路
３０ａ，３０ｂ モータコイル
10 Power unit amplifier unit,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11
Claims (3)
前記各制御部アンプユニットのモータ駆動回路の前段に、前記モータ制御回路によって制御され、前記１台の電源アンプユニットから出力される電力をモータ駆動回路に導通／遮断するための導通／遮断手段を設けたことを特徴とするモータ駆動装置。 A control unit amplifier unit comprising one power amplifier unit, a motor drive circuit and a motor control circuit, and a plurality of control unit amplifier units each receiving electric power output from the one power amplifier unit; In a motor drive device that drives one motor connected to the motor drive circuit in each control unit amplifier unit,
Conduction / interruption means for conducting / interrupting the electric power output from the one power amplifier unit, which is controlled by the motor control circuit, to / from the motor drive circuit is provided in front of the motor drive circuit of each control unit amplifier unit. A motor driving device provided.
前記導通／遮断手段はＤＣ用電磁接触器であることを特徴とするモータ駆動装置。 The motor drive device according to claim 1,
The motor drive device according to claim 1, wherein the conduction / interruption means is a DC electromagnetic contactor.
前記モータ制御回路は、前記１台の電源アンプユニットから出力される電力から、前記ＤＣ用電磁接触器を動作させる電力を得ることを特徴とするモータ駆動装置。 The motor drive device according to claim 2,
The motor control device, wherein the motor control circuit obtains electric power for operating the DC electromagnetic contactor from electric power output from the one power amplifier unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004183013A JP2006006089A (en) | 2004-06-21 | 2004-06-21 | Motor drive |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004183013A JP2006006089A (en) | 2004-06-21 | 2004-06-21 | Motor drive |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006006089A true JP2006006089A (en) | 2006-01-05 |
Family
ID=35774008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004183013A Withdrawn JP2006006089A (en) | 2004-06-21 | 2004-06-21 | Motor drive |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006006089A (en) |
-
2004
- 2004-06-21 JP JP2004183013A patent/JP2006006089A/en not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2005091488A8 (en) | Motor controller | |
| KR101690000B1 (en) | Electric motor with brake | |
| JP2015159684A (en) | rotary electric machine control device | |
| JP2007129787A (en) | Motor drive | |
| CN111034009B (en) | Motor drive control device and motor drive control method | |
| JP2012196143A (en) | Motor control device | |
| JP2011120366A (en) | Overvoltage protection device | |
| JP5049251B2 (en) | Motor control device | |
| JP2009033943A (en) | Direct high voltage inverter apparatus | |
| JP2008167532A (en) | Semiconductor power conversion device | |
| JP2005117777A (en) | Power conversion apparatus for elevator | |
| JP2006006089A (en) | Motor drive | |
| JP2005204430A (en) | Power converter | |
| JP2019149917A (en) | Motor drive control device and motor drive control method | |
| JP2008306780A (en) | Railway vehicle drive controller | |
| JP2007306642A (en) | Permanent magnet motor drive apparatus | |
| JP2007236082A (en) | Power conversion controlling device | |
| JP2012070047A (en) | Load driving device | |
| US20170141715A1 (en) | Motor drive apparatus having function for determining abnormality of main power supply voltage | |
| EP2355290B1 (en) | Protection circuit for a drive circuit of a permanent magnet motor and corresponding system | |
| JP2017229141A (en) | Speed control board and manufacturing method for speed control system | |
| JP5310882B2 (en) | Inverter device, air conditioner, and control method for inverter device | |
| JP6346583B2 (en) | Motor drive control device and fan motor system provided with the same | |
| JP6191770B2 (en) | Control device | |
| EP2595310A1 (en) | High voltage DC electric power generating system with permanent magnet generator protection |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070904 |