JP2006003622A - Manufacturing method of optical device - Google Patents

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Hideki Kitano
秀樹 北野
Masami Aoki
正己 青木
Takahiro Matsuse
貴裕 松瀬
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an optical device by which the optical device with high shape precision can be continuously manufactured at a low cost by a simple process. <P>SOLUTION: In the manufacturing method of the optical device containing a lower cladding layer 1 and a core layer 2, when the core layer 2 is formed on the lower cladding layer 1 by using a photosetting material, the core layer 2 in a gravure printing plate 11 is irradiated with light while printing the core layer 2 on the lower cladding layer 1 by the gravure printing plate 11. Light irradiation to the core layer 2 can be suitably carried out via the lower cladding layer 1. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は光デバイスの製造方法に関し、詳しくは、光導波路等の各種光デバイスを、簡易な工程により連続的に生産することができる光デバイスの製造方法に関する。   The present invention relates to an optical device manufacturing method, and more particularly, to an optical device manufacturing method capable of continuously producing various optical devices such as optical waveguides by a simple process.

近年の光通信技術の発展に伴い、光スイッチや光合分波器などの光通信用部品を構成する基本素子として、高性能の光デバイスの開発が望まれている。このうち、導波路型の光デバイス、いわゆる光導波路は、一般に、基板上に、直接または下部クラッド層を介して、コア層および上部クラッド層を順次形成してなる構造を基本構造とする。そのコア層の材料としては、従来より、光伝播損失が小さいなどの利点から、光ファイバと同様に主として石英ガラス等の無機材料が用いられているが、最近では、加工性やコスト性に優れる合成樹脂などの有機材料を用いたポリマー光導波路(フィルム導波路)について、検討が進められてきている。   With the recent development of optical communication technology, development of a high-performance optical device is desired as a basic element constituting optical communication components such as an optical switch and an optical multiplexer / demultiplexer. Among these, a waveguide-type optical device, so-called optical waveguide, generally has a basic structure in which a core layer and an upper cladding layer are sequentially formed on a substrate directly or via a lower cladding layer. As a material for the core layer, inorganic materials such as quartz glass are mainly used as in the case of optical fibers because of its advantages such as low light propagation loss. Recently, however, it is excellent in workability and cost. Studies have been conducted on polymer optical waveguides (film waveguides) using organic materials such as synthetic resins.

このような光導波路の製造方法としては、フォトリソグラフィーや反応性イオンエッチング(RIE)等を用いてコア層をパターン形成する方法が一般的である(例えば、特許文献1、2等に記載)。即ち、図3に示すように、まず、(a)基板101上にコア層102を塗布形成した後、(b)その上にマスク層103を形成し、(c)フォトリソグラフィーにより所望のコア層形状にパターニングする。さらに、(d)このマスク層103を用いてコア層102をRIE等により加工し、最後に(e)マスク層103を除去することで、所望の形状のコア層102を得ることができる。   As a method for manufacturing such an optical waveguide, a method of patterning a core layer using photolithography, reactive ion etching (RIE), or the like is common (for example, described in Patent Documents 1 and 2). That is, as shown in FIG. 3, first, (a) a core layer 102 is applied and formed on a substrate 101, (b) a mask layer 103 is formed thereon, and (c) a desired core layer is formed by photolithography. Pattern into shape. Further, (d) the core layer 102 is processed by RIE using this mask layer 103, and (e) the mask layer 103 is finally removed, whereby the core layer 102 having a desired shape can be obtained.

しかし、フォトリソグラフィーを用いた従来の方法は、スピンコート法などを用いた塗工工程や現像工程等を要することから、連続的な生産が行えないという難点があった。また、フォトリソグラフィーによるパターン形成においてはレジスト材料を使用したエッチング工程を経るため、コア層側面の形状精度が悪化する傾向があり、設計通りの形状を得ることは難しく、伝送損失の低減を図る観点からも望ましいものではなかった(図4(a)設計形状(断面)に対応する(b)、(c)フォトリソグラフィーによる形状(断面))。   However, the conventional method using photolithography requires a coating process using a spin coating method, a developing process, and the like, and thus has a difficulty in that continuous production cannot be performed. In addition, the pattern formation by photolithography involves an etching process using a resist material, so the shape accuracy of the side surface of the core layer tends to deteriorate, and it is difficult to obtain the shape as designed, and the viewpoint of reducing transmission loss (B) corresponding to the design shape (cross section), (c) shape (cross section) by photolithography).

これに対し、フォトリソグラフィを用いない製造技術として、例えば、特許文献3には、生産性の高い製造方法で簡便に光導波路を得ることを目的として、所定粘度の有機材料をインクジェット方式で所望量噴出することによりコア層を形成する光導波路の製造方法が記載されている。また、特許文献4には、高寸法精度の光回路部品を安価に大量生産で提供することを目的として、所定の特性を有するインクを用い、光回路部品のパターンを、各種印刷法により基板上に直接描画して後硬化させて光回路部品を形成する光回路部品の製造方法が記載されている。さらに、特許文献5には、コアとクラッドを基板表面に形成するにあたり、凹板表面の凹部に充填された紫外線硬化型光導波路材をブランケットの表面に転移させるとともに、高分子光導波路材に紫外線を照射し、この高分子光導波路材をブランケットから基板表面に転移させて光配線を形成する高分子光導波路の製造方法が記載されている。
特開平6−347658号公報(段落[0010]〜[0012]等) 特開平8−304650号公報(段落[0009]等) 特開2003−329867号公報(特許請求の範囲等) 特開2003−202444号公報(特許請求の範囲等) 特開2003−195078号公報(特許請求の範囲等)
On the other hand, as a manufacturing technique that does not use photolithography, for example, Patent Document 3 discloses that an organic material having a predetermined viscosity is obtained in a desired amount by an inkjet method in order to easily obtain an optical waveguide by a highly productive manufacturing method. An optical waveguide manufacturing method for forming a core layer by jetting is described. Further, in Patent Document 4, for the purpose of providing high-dimensional precision optical circuit components at low cost in mass production, ink having predetermined characteristics is used, and patterns of optical circuit components are printed on a substrate by various printing methods. Describes an optical circuit component manufacturing method in which an optical circuit component is formed by direct drawing and post-curing. Further, in Patent Document 5, in forming the core and the clad on the substrate surface, the ultraviolet curable optical waveguide material filled in the concave portion on the concave plate surface is transferred to the surface of the blanket and the polymer optical waveguide material is irradiated with ultraviolet rays. Is described, and a method for producing a polymer optical waveguide is described in which an optical wiring is formed by transferring the polymer optical waveguide material from a blanket to a substrate surface.
JP-A-6-347658 (paragraphs [0010] to [0012] etc.) JP-A-8-304650 (paragraph [0009] etc.) JP2003-329867A (Claims etc.) JP 2003-202444 A (Claims etc.) JP 2003-195078 A (Claims etc.)

近年、FTTH(Fiber To The Home)などの普及に伴うインターネットの急速なブロードバンド化の流れにより、民生用の安価な光回路部品へのニーズが高まってきている。そのためには、上述の製造工程やコスト等の問題を解消した、新たな光デバイスの製造技術を確立することが急務である。   In recent years, the need for inexpensive optical circuit components for consumer use has increased due to the rapid trend toward broadbandization of the Internet accompanying the spread of FTTH (Fiber To The Home) and the like. For this purpose, it is an urgent task to establish a new optical device manufacturing technology that solves the above-mentioned problems such as manufacturing processes and costs.

そこで本発明の目的は、上記従来技術の問題を解消して、低コストで形状精度の高い光デバイスを、簡易な工程により連続的に生産することができる光デバイスの製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical device manufacturing method capable of solving the above-described problems of the prior art and continuously producing low-cost and high-precision optical devices by a simple process. is there.

本発明者は鋭意検討した結果、コア層の材料として光硬化材料を用いるとともに、その形成手法としてグラビア印刷法を適用することにより、上記課題を解決できることを見出して、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by using a photocuring material as a material of the core layer and applying a gravure printing method as a forming method thereof, and have completed the present invention. It was.

即ち、本発明の光デバイスの製造方法は、下部クラッド層とコア層とを含む光デバイスの製造方法において、
前記下部クラッド層上に、光硬化材料を用いて前記コア層を形成するにあたり、該コア層を、該下部クラッド層上にグラビア印刷版により印刷しながら、該グラビア印刷版内のコア層に対し光を照射することを特徴とするものである。
That is, the optical device manufacturing method of the present invention is an optical device manufacturing method including a lower cladding layer and a core layer.
In forming the core layer on the lower clad layer using a photo-curing material, the core layer is printed on the lower clad layer with a gravure printing plate, while the core layer in the gravure printing plate is formed. It is characterized by irradiating light.

本発明においては、前記コア層に対する光照射を、前記下部クラッド層を介して行うことで、コア層の印刷と光照射とを同時進行で行うことが可能となる。また、前記コア層印刷用塗料としては、溶媒を実質的に含まない粘度10〜20000mPa・sの塗料を用いることが好ましく、積算光量1000mJ/cm2の光を照射した際の硬化収縮率が1〜10%である塗料を用いることも好ましい。さらに、本発明において上部クラッド層を形成するにあたっては、前記下部クラッド層上に形成された前記コア層上に、粘度102Pa・s以上107Pa・s以下の上部クラッド層を貼り合わせる手法を用いることができる。 In the present invention, by performing light irradiation on the core layer through the lower cladding layer, printing of the core layer and light irradiation can be performed simultaneously. Further, as the core layer printing coating material, it is preferable to use a coating material having a viscosity of 10 to 20000 mPa · s which does not substantially contain a solvent, and has a curing shrinkage ratio of 1 when irradiated with light having an integrated light quantity of 1000 mJ / cm 2. It is also preferable to use a paint that is 10%. Furthermore, in forming the upper clad layer in the present invention, a method of bonding an upper clad layer having a viscosity of 10 2 Pa · s to 10 7 Pa · s on the core layer formed on the lower clad layer. Can be used.

本発明によれば、上記構成としたことにより、RIE法やフォトリソグラフィを用いた従来方法では不可能だった光デバイスの連続的な生産が可能となる。また、本発明の製造方法は簡易な工程により行うことができるため、高価な装置を用いることなく、高い形状精度を有する安価な光デバイスを製造することができる。   According to the present invention, the configuration described above enables continuous production of optical devices that were impossible with the conventional method using RIE or photolithography. In addition, since the manufacturing method of the present invention can be performed by a simple process, an inexpensive optical device having high shape accuracy can be manufactured without using an expensive apparatus.

以下、本発明の好適な実施の形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。 本発明は、下部クラッド層とコア層とを含む光デバイスの製造方法であって、下部クラッド層上にコア層を形成する工程の改良に係る技術である。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is a method of manufacturing an optical device including a lower cladding layer and a core layer, and is a technique related to an improvement of a process of forming a core layer on the lower cladding layer.

図1に、本発明の一好適実施形態に係るコア層の形成工程の概略説明図を示す。図示するように、本発明においては、下部クラッド層1上に、光硬化材料を用いてコア層2を形成するにあたり、コア層2を下部クラッド層1上にグラビア印刷版11により印刷しながら、グラビア印刷版11内のコア層2に対し光照射を行う。即ち、印刷と並行して光照射を行うことにより、グラビア印刷版11の凹部14内でコア層2を硬化させることができ、印刷後におけるコア層2の形状歪みの発生を防止して、従来のフォトリソグラフィーを用いた方法に比して、形状精度の極めて良好なコア層2を得ることが可能となる。印刷版から離れた直後に光照射を行ってコア層2を硬化させることも考えられるが、コア層印刷用塗料30は液体状であるため、この場合、エッジ部分が丸まってしまうなどの変形が生じ、形状歪みの発生を完全に防止することはできないものと考えられる。   In FIG. 1, the schematic explanatory drawing of the formation process of the core layer which concerns on one suitable embodiment of this invention is shown. As shown in the drawing, in the present invention, when forming the core layer 2 on the lower clad layer 1 using a photocurable material, while printing the core layer 2 on the lower clad layer 1 with the gravure printing plate 11, The core layer 2 in the gravure printing plate 11 is irradiated with light. That is, by performing light irradiation in parallel with printing, the core layer 2 can be cured in the concave portion 14 of the gravure printing plate 11, preventing the occurrence of shape distortion of the core layer 2 after printing, Compared with the method using photolithography, the core layer 2 having extremely good shape accuracy can be obtained. Although it may be possible to cure the core layer 2 by irradiating light immediately after leaving the printing plate, the core layer printing paint 30 is in a liquid state, and in this case, deformation such as curling of the edge portion is caused. It is considered that the generation of shape distortion cannot be completely prevented.

本発明に係るグラビア印刷法とは、凹版印刷法の一種であり、印刷版をインクに浸して表面の凹部にインクを充填し、凹部以外に付着したインクをドクターブレードにより掻き落として、凹部内のインクを被印刷物に転写するものである。一般的なグラビア印刷では、ロールと印刷版との間に被印刷物を通して、被印刷物をロールにより印刷版に押し付けながら印刷を行うが、本発明においては、印刷と並行して光照射を行うために、図示するような構成の印刷装置を用いる。図示するように、基材10A上に形成された下部クラッド層1を、2本のロール12を介してグラビア印刷版11に押し付けながら下部クラッド層1上にコア層2の印刷を行う構成とすることで、コア層2の印刷と並行して、光源20からの光照射を行うことが可能となる。   The gravure printing method according to the present invention is a kind of intaglio printing method, in which a printing plate is immersed in ink to fill the concave portion of the surface with ink, and the ink adhered to other than the concave portion is scraped off by a doctor blade, The ink is transferred onto the substrate. In general gravure printing, printing is performed while a printing material is passed between a roll and a printing plate while pressing the printing material against the printing plate by a roll. In the present invention, light irradiation is performed in parallel with printing. A printing apparatus having a configuration as shown in FIG. As shown in the figure, the lower clad layer 1 formed on the base material 10A is configured to print the core layer 2 on the lower clad layer 1 while being pressed against the gravure printing plate 11 via two rolls 12. Thus, light irradiation from the light source 20 can be performed in parallel with the printing of the core layer 2.

この場合、コア層2に対する光照射は、下部クラッド層1と、図示する例では基材10Aと、を介して行われる。従って、基材10Aおよび下部クラッド層1は、コア層2を硬化させるために用いられる光に対し、高い透過性を有することが必要となる。   In this case, the light irradiation to the core layer 2 is performed through the lower cladding layer 1 and the base material 10A in the illustrated example. Therefore, the base material 10 </ b> A and the lower clad layer 1 are required to have high transparency with respect to the light used for curing the core layer 2.

本発明においては、印刷版内でのコア層2の硬化を容易かつ確実に行う観点から、コア層印刷用塗料30が、溶媒を実質的に含まないことが好ましい。また、塗料の粘度は10〜20000mPa・s程度が好適であり、粘度が高すぎるとグラビア印刷版11の溝内にコア層印刷用塗料30が浸透しにくくなり、ドクターブレード13による掻き取り性が悪くなる一方、粘度が低すぎると最適量の印刷ができず、いずれの場合においても印刷時にカスレやスジが発生して、印刷品質、即ち線幅精度等の悪化が生じ、得られる光導波路において散乱損失の増大や回路の断線等の問題を生ずることになる。従って、上記範囲の粘度、好適には50〜2000mPa・s程度の粘度とすることで、コア層2を形状精度良く印刷することが可能となる。   In the present invention, from the viewpoint of easily and reliably curing the core layer 2 in the printing plate, it is preferable that the core layer printing coating material 30 does not substantially contain a solvent. The viscosity of the coating is preferably about 10 to 20000 mPa · s. If the viscosity is too high, the coating 30 for core layer printing does not easily penetrate into the groove of the gravure printing plate 11, and the scraping property by the doctor blade 13 is reduced. On the other hand, if the viscosity is too low, the optimum amount of printing cannot be performed, and in any case, blurring and streaks occur during printing, resulting in deterioration of print quality, that is, line width accuracy, etc. This causes problems such as an increase in scattering loss and circuit disconnection. Accordingly, the core layer 2 can be printed with good shape accuracy by setting the viscosity within the above range, preferably about 50 to 2000 mPa · s.

さらに、コア層印刷用塗料30としては、積算光量1000mJ/cm2の光を照射した際の硬化収縮率が1〜10%である塗料を用いることが好ましい。かかる硬化収縮率が1%未満であると印刷版からの剥がれが悪く、一方、高すぎると形状転写性に劣ることになる。より好ましくは、上記硬化収縮率が2〜7%である。硬化収縮率は、モノマー単位では分子量/官能基数が小さいほど低くなり、混合物の場合には、それぞれの収縮率の体積分率(または重量分率)で加算した値に近い値となる。実際の測定は、JIS規格の比重法に基づき、硬化前後の比重を測定し、体積を算出して、硬化収縮率を求めることにより行うことができる。 Furthermore, as the core layer printing coating material 30, it is preferable to use a coating material having a curing shrinkage rate of 1 to 10% when irradiated with light having an integrated light quantity of 1000 mJ / cm 2 . When the curing shrinkage is less than 1%, peeling from the printing plate is poor, whereas when it is too high, shape transferability is poor. More preferably, the curing shrinkage rate is 2 to 7%. The cure shrinkage ratio decreases as the molecular weight / functional group number decreases in monomer units. In the case of a mixture, the cure shrinkage ratio is close to the value obtained by adding the volume fractions (or weight fractions) of the respective shrinkage ratios. Actual measurement can be performed by measuring the specific gravity before and after curing, calculating the volume, and determining the curing shrinkage based on the specific gravity method of JIS standard.

上記塗料の粘度と硬化収縮率との関係で言えば、一般に、未硬化時の粘度と硬化収縮率と重合密度(硬さ)との間には相関があり、粘度を下げようとする場合には分子量が小さいモノマーを使用することが多く、硬化収縮率が高くなる傾向があり、一方、硬さを上げようとする場合には官能基数が多いモノマーを使用することが多く、この場合にも、硬化収縮率が高くなる傾向がある。従って、本発明では、これらのバランスの下に各パラメータを決定する必要がある。   Speaking of the relationship between the viscosity of the paint and the curing shrinkage rate, generally, there is a correlation between the uncured viscosity, the curing shrinkage rate, and the polymerization density (hardness). Often uses a monomer having a low molecular weight, and tends to increase the cure shrinkage rate.On the other hand, when trying to increase the hardness, a monomer having a large number of functional groups is often used. , The curing shrinkage tends to be high. Therefore, in the present invention, it is necessary to determine each parameter under these balances.

上記のようにして下部クラッド層1上にコア層2を形成した後、コア層2上に上部クラッド層3を形成することで、光デバイスを得ることができる。図2に、本発明に係る上部クラッド層の形成工程の一好適例の概略説明図を示す。図示するように、本発明においては、下部クラッド層1上に形成されたコア層2上に、さらに、上部クラッド層3を貼り合わせる手法を好適に用いることができる。図示する例では、上記下部クラッド層1およびコア層2が形成された基材10Aと、上部クラッド層3が形成された基材10Bとを、それぞれロール12を介して走行させ、最終的にロール12間で互いに押圧することにより、両者の貼り合わせを行っている。従って、上部クラッド層3は基材10B上にあらかじめ形成しておくことが必要であるが、上部クラッド層3を完全に硬化させてしまうと、下部クラッド層1およびコア層2と貼り合わせることができない。従って、貼り合わせを確実に行うために、上部クラッド層3の表面近傍の、少なくともコア層2の厚み程度の部分3bについては、貼り合わせ時における粘度を102Pa・s以上107Pa・s以下程度とすることが好ましい。 An optical device can be obtained by forming the core layer 2 on the lower clad layer 1 as described above and then forming the upper clad layer 3 on the core layer 2. FIG. 2 is a schematic explanatory diagram of a preferred example of the process of forming the upper cladding layer according to the present invention. As shown in the drawing, in the present invention, a method of further bonding an upper clad layer 3 on a core layer 2 formed on a lower clad layer 1 can be suitably used. In the illustrated example, the base material 10A on which the lower clad layer 1 and the core layer 2 are formed and the base material 10B on which the upper clad layer 3 is formed are respectively run through rolls 12, and finally the roll. The two are bonded together by pressing each other. Therefore, the upper clad layer 3 needs to be formed in advance on the base material 10B, but if the upper clad layer 3 is completely cured, it can be bonded to the lower clad layer 1 and the core layer 2. Can not. Therefore, in order to reliably perform the bonding, the viscosity at the time of bonding of 10 2 Pa · s or more and 10 7 Pa · s at least in the portion 3b near the surface of the upper clad layer 3 is about the thickness of the core layer 2. It is preferable to be about the following.

本発明の製造方法は、図1および図2に示すような手法を用いることで、ロールトゥロール方式により連続的に行うことが可能である。また、上記手法により、繰り返し印刷においても優れた形状精度を有するコア層を安定的に得ることができるため、結果として、高品質の光デバイスを低コストで量産することが可能となる。特に本発明では、30〜200μmの深さにて、コア層を微細にかつ優れた印刷品質で形成することができるので、本発明は例えば、マルチモード用光導波路等の製造に好適に適用可能である。   The manufacturing method of the present invention can be continuously performed by a roll-to-roll method by using a method as shown in FIGS. In addition, the above method can stably obtain a core layer having excellent shape accuracy even in repeated printing, and as a result, high-quality optical devices can be mass-produced at low cost. In particular, in the present invention, since the core layer can be formed finely and with excellent print quality at a depth of 30 to 200 μm, the present invention can be suitably applied to, for example, the manufacture of multimode optical waveguides and the like. It is.

本発明の製造方法においては、上述したコア層の形成工程および貼り合わせ工程以外の具体的な手順や用いる材料等については、常法に従い適宜選択して行えばよく、特に制限されるものではないが、例えば、以下のように行うことができる。   In the production method of the present invention, specific procedures other than the core layer forming step and the bonding step described above, materials used, and the like may be appropriately selected according to a conventional method, and are not particularly limited. However, it can be performed as follows, for example.

基材10A上への下部クラッド層1の塗工は、コンマ塗工法やマイクログラビア法など、慣用の塗工方法を適宜用いて行うことができ、特に制限されるものではない。また、基材10B上への上部クラッド層3の塗工についても同様に行うことができ、その後、熱または光による硬化を行うことで、基材上に、各クラッド層を形成することができる。さらに、コア層2の形成と、下部クラッド層1およびコア層2と上部クラッド層3との貼り合わせとを行った後、熱または光により未硬化の上部クラッド層3を硬化させることで、下部クラッド層1、コア層2および上部クラッド層3を順次備える光デバイスを製造することができる。   The application of the lower clad layer 1 on the base material 10A can be performed by appropriately using a conventional coating method such as a comma coating method or a micro gravure method, and is not particularly limited. Further, the application of the upper clad layer 3 onto the base material 10B can be performed in the same manner, and then each clad layer can be formed on the base material by curing with heat or light. . Further, after the core layer 2 is formed and the lower clad layer 1 and the core layer 2 and the upper clad layer 3 are bonded together, the uncured upper clad layer 3 is cured by heat or light, so that An optical device including the cladding layer 1, the core layer 2, and the upper cladding layer 3 in this order can be manufactured.

下部クラッド層1および上部クラッド層3の材料としては、特に制限されるものではなく、従来慣用の材料から適宜選択して用いることができ、プラスチックやエラストマーなどのように可撓性を有し、所望の形状に成形可能であって、コア層2よりも屈折率の低い材料を用いることができる。また、伝送損失の低減を図る観点からは、下部クラッド層1および上部クラッド層3は同一の材料で形成することが好ましい。   The material of the lower clad layer 1 and the upper clad layer 3 is not particularly limited and can be appropriately selected from conventionally used materials and has flexibility such as plastic and elastomer. A material that can be molded into a desired shape and has a lower refractive index than the core layer 2 can be used. From the viewpoint of reducing transmission loss, the lower cladding layer 1 and the upper cladding layer 3 are preferably formed of the same material.

具体的には例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン(ABS)樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリエチレン−ポリビニルアルコール共重合体、フッ素樹脂、シリコン樹脂、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ポリブタジエンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体、ブチルゴム、ハロゲン化ブチルゴム、クロロプレンゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレン−ジエン三元共重合体(EPDM)、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、フッ素ゴム、シリコーンゴムなどが挙げられる。   Specifically, for example, polyethylene, polypropylene, polyamide, polystyrene, acrylonitrile-butadiene-styrene (ABS) resin, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, polyethylene-vinyl acetate copolymer, Polyvinyl alcohol, polyethylene-polyvinyl alcohol copolymer, fluororesin, silicone resin, natural rubber, polyisoprene rubber, polybutadiene rubber, styrene-butadiene copolymer, butyl rubber, halogenated butyl rubber, chloroprene rubber, acrylic rubber, ethylene-propylene- Examples thereof include diene terpolymer (EPDM), acrylonitrile-butadiene copolymer, fluororubber, and silicone rubber.

この中でも、屈折率が低いシリコーン系ポリマーやフッ素系ポリマーが特に好ましく、具体的にはポリジメチルシロキサンポリマー、ポリメチルフェニルシロキサンポリマー、フルオロシリコーンポリマー等のシリコーン系ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体(FEP)、四フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合体(PFE)、ポリクロルトリフルオロエチレン(PCTFE)、四フッ化エチレン−エチレン共重合体(ETFE)、ポリビニリデンフルオライド、ポリビニルフルオライド、フッ化ビニリデン−三フッ化塩化エチレン共重合体、フッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン−四フッ化エチレン三元共重合体、四フッ化エチレンプロピレンゴム、フッ素系熱可塑性エラストマーなどが挙げられる。これらの材料は単独または2種以上を適宜混合して用いることができる。   Among these, silicone polymers and fluorine polymers having a low refractive index are particularly preferable. Specifically, silicone polymers such as polydimethylsiloxane polymer, polymethylphenylsiloxane polymer, fluorosilicone polymer, polytetrafluoroethylene (PTFE), Tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer (PFE), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, vinylidene fluoride-trifluoroethylene chloride copolymer, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene-tetrafluoride ethylene Terpolymer, tetrafluoroethylene-propylene rubbers, and fluorine-based thermoplastic elastomers. These materials can be used alone or in admixture of two or more.

また、コア層2の材料としては、具体的には例えば、透明性に優れたポリメチルメタクリレート(PMMA)などが知られており、近年では、アクリル系、エポキシ系、ポリシラン系、あるいはポリイミド系樹脂材料などをベースとして、重水素化やフッ素化が行われている。それにより得られた樹脂材料は、1.3μm以上1.55μm以下の波長域の光に対して低吸収化が図られているため、これらの材料を用いて、低損失な光デバイスを形成することができる。特に、本発明に係るコア層2は、前述したように、溶媒を実質的に含まない光硬化材料により形成される。光硬化材料は、光(紫外線(UV))の照射により反応硬化するワニス状の樹脂であり、例えば、光重合型のオリゴマー(UVプレポリマー)、光重合性型モノマー(UVモノマー)および光重合開始剤から構成されるものが挙げられる。   Further, as a material for the core layer 2, specifically, for example, polymethyl methacrylate (PMMA) having excellent transparency is known, and in recent years, acrylic, epoxy, polysilane, or polyimide resins are known. Deuteration and fluorination are performed based on materials. The resin material obtained thereby has low absorption with respect to light in the wavelength region of 1.3 μm or more and 1.55 μm or less. Therefore, a low-loss optical device is formed using these materials. be able to. In particular, the core layer 2 according to the present invention is formed of a photo-curing material that does not substantially contain a solvent, as described above. A photo-curing material is a varnish-like resin that is reactively cured by irradiation with light (ultraviolet rays (UV)). The thing comprised from an initiator is mentioned.

UVプレポリマーとしては、例えば、エポキシアクリレート、脂肪族環状エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、臭化エポキシ樹脂、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリオールアクリレート、アルキドアクリレート等が使用可能である。UVモノマーとしては、例えば、単官能アクリレート、2官能アクリレート、3官能アクリレート、4官能アクリレート等のアクリルモノマーが使用可能である。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、パーオキサイド系、チオキサントン系、p−メトキシベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロホスフェートといった芳香族ジアゾニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート等の芳香族スルホニウム塩などが挙げられる。   As the UV prepolymer, for example, epoxy acrylate, aliphatic cyclic epoxy resin, bisphenol type epoxy resin, brominated epoxy resin, urethane acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, polyol acrylate, alkyd acrylate and the like can be used. As the UV monomer, for example, an acrylic monomer such as a monofunctional acrylate, a bifunctional acrylate, a trifunctional acrylate, and a tetrafunctional acrylate can be used. Examples of the photopolymerization initiator include benzoin-based, acetophenone-based, peroxide-based, thioxanthone-based, aromatic diazonium salts such as p-methoxybenzenediazonium hexafluorophosphate, and aromatic sulfonium salts such as triphenylsulfonium hexafluorophosphate. Can be mentioned.

また、各種の官能基を有するモノマーを用いることもでき、アクリル酸エステル類、エポキシ基を有するビニルエーテル、アリルエーテル等、β−ケトエステル基を含有するビニルエーテルまたはアリルエーテルとしてアセト酢酸アリルなどが挙げられ、さらに、トリメトキシビニルエーテルなどの加水分解性基を有する珪素を含んだビニルエーテルも挙げることができる。   In addition, monomers having various functional groups can also be used, such as acrylic esters, vinyl ethers having epoxy groups, allyl ethers, vinyl ethers or β-ketoester group-containing vinyl ethers or allyl ethers such as allyl acetoacetate, Furthermore, the vinyl ether containing silicon which has hydrolyzable groups, such as a trimethoxy vinyl ether, can also be mentioned.

アクリル酸エステル類としては、具体的には、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸−tert−ブチル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸エチルへキシル、アクリル酸−n−オクチル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸ノニル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸イソボルニル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸−tert−ブチル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸エチルへキシル、メタクリル酸−n−オクチル、メタクリル酸イソオクチル、メタクリル酸ノニル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸イソボルニルなどが挙げられる。   Specific examples of the acrylate esters include methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, cyclohexyl acrylate, ethyl hexyl acrylate, and acrylic acid-n-. Octyl, isooctyl acrylate, nonyl acrylate, tridecyl acrylate, lauryl acrylate, benzyl acrylate, isobornyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl methacrylate, methacryl Cyclohexyl acid, ethyl hexyl methacrylate, -n-octyl methacrylate, isooctyl methacrylate, nonyl methacrylate, tridecyl methacrylate, lauryl methacrylate, benzyl methacrylate Such as isobornyl methacrylate, and the like.

エポキシ環を含む化合物の例としては、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル−8,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド、アリルシクロヘキセンジオキシド、8,4−エポキシ−4−メチルシクロヘキシル−2−プロピレンオキシド、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル−5,5−スピロ−3,4−エポキシ)シクロヘキサン−m−ジオキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)アジペート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)エーテル、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)エーテル、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)ジエチルシロキサン等の脂肪族環状エポキシ化合物、ポリブタジエンジグリシジルエーテル、ポリ−1,4−(2,3−エポキシブタン)−CO−1,2−(8,4−エポキシ)−CO−1,4−ブタジエンジオール、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、o−フタル酸グリシジルエステル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、2−エチルへキシルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、フェノールペンタ(オキシエチレン)グリシジルエーテル、p−tert−ブチルフェニルグリシジルエーテル、ジブロモフェニルグリシジルエーテル、ラウリルアルコールペンタデカ(オキシエチレン)グリシジルエーテル、ソルビタンポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ポリテトラメチレングリコールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ヒドロキノンジグリシジルエーテル、ビスフェノールSジグリシジルエーテル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、グリシジルフタルイミド、ジブロモフェニルグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、セチルグリシジルエーテル、ステアリルグリシジルエーテル、p−オクチルフェニルグリシジルエーテル、p−フェニルフェニルグリシジルエーテル、グリシジルベンゾエート、グリシジルアセテート、グリシジルブチレート、スピログリコールジグリシジルエーテル、還元マルトースポリグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールGジグリシジルエーテル、テトラメチルビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールヘキサフルオロアセトンジグリシジルエーテル、ビスフェノールCジグリシジルエーテル、1,3−ビス(1−(2,3−エポキシプロポキシ)−1−トリフルオロメチル−2,2,2−トリフルオロエチル)ベンゼン、1,4−ビス(1−(2,3−エポキシプロパキシ)−1−トリフルオロメチル−2,2,2−トリフルオロエチル)ベンゼン、4,4’−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)オクタフルオロビフェニル、テトラグリシジル−m−キシリレンジアミン、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジル−パラアミノフェノール、トリグリシジル−メタアミノフェノール、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトリブロムアニリン、テトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン、テトラフルオロプロピルグリシジルエーテル、オクタフルオロペンチルグリシジルエーテル、ドデカフルオロオクチルジグリシジルエーテル、スチレンオキシド、リモネンジエポキシド、リモネンモノオキシド、α−ピネンエポキシド、β−ピネンエポキシド等のエポキシ化合物が挙げられる。   Examples of compounds containing an epoxy ring include 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxycyclohexylethyl-8,4-epoxycyclohexanecarboxylate, vinylcyclohexene dioxide, allyl Cyclohexene dioxide, 8,4-epoxy-4-methylcyclohexyl-2-propylene oxide, 2- (3,4-epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy) cyclohexane-m-dioxane, bis ( 3,4-epoxycyclohexyl) adipate, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, bis (3,4-epoxycyclohexyl) ether, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) ether, bis (3,4- Poxycyclohexyl) aliphatic cyclic epoxy compounds such as diethylsiloxane, polybutadiene diglycidyl ether, poly-1,4- (2,3-epoxybutane) -CO-1,2- (8,4-epoxy) -CO-1 , 4-butadienediol, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, dibromoneopentyl glycol diglycidyl ether, o-phthalic acid glycidyl ester, Trimethylolpropane polyglycidyl ether, diglycerol polyglycidyl ether, polyglycerol polyglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, allyl glycidyl ether 2-ethylhexyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, phenol penta (oxyethylene) glycidyl ether, p-tert-butylphenyl glycidyl ether, dibromophenyl glycidyl ether, lauryl alcohol pentadeca (oxyethylene) glycidyl ether, sorbitan polyglycidyl Ether, pentaerythritol polyglycidyl ether, triglycidyl tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, resorcin diglycidyl ether, polytetramethylene glycol diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, hydroquinone diglycidyl ether, bisphenol S diglycidyl ether, Diglycidyl terephthalate, glycidyl phthalimide, dibromoph Phenyl glycidyl ether, dibromoneopentyl glycol diglycidyl ether, cetyl glycidyl ether, stearyl glycidyl ether, p-octylphenyl glycidyl ether, p-phenylphenyl glycidyl ether, glycidyl benzoate, glycidyl acetate, glycidyl butyrate, spiroglycol diglycidyl ether, Reduced maltose polyglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol G diglycidyl ether, tetramethylbisphenol A diglycidyl ether, bisphenol hexafluoroacetone diglycidyl ether, bisphenol C Diglycidyl ether 1,3 Bis (1- (2,3-epoxypropoxy) -1-trifluoromethyl-2,2,2-trifluoroethyl) benzene, 1,4-bis (1- (2,3-epoxypropoxy) -1 -Trifluoromethyl-2,2,2-trifluoroethyl) benzene, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) octafluorobiphenyl, tetraglycidyl-m-xylylenediamine, tetraglycidyldiaminodiphenylmethane, tri Glycidyl-paraaminophenol, triglycidyl-metaaminophenol, diglycidylaniline, diglycidyltribromoaniline, tetraglycidylbisaminomethylcyclohexane, tetrafluoropropylglycidyl ether, octafluoropentylglycidyl ether, dodecafluorooctyldi Glycidyl ether, styrene oxide, limonene diepoxide, limonene monoxide, alpha-pinene epoxide, epoxy compounds such as β- pinene epoxide and the like.

基材10は、前述したように、使用する光(紫外線)に対して透明性の高いものを使用することができ、おおよそ30%以上の透過率があれば使用可能である。具体的には、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムやアクリル樹脂フィルム、ポリカーボネート(PC)フィルム、トリアセチルセルロース(TAC)フィルム、ポリイミド(PI)フィルムなどを使用することができる。   As described above, the base material 10 can be a material having high transparency with respect to the light (ultraviolet light) to be used, and can be used if it has a transmittance of approximately 30% or more. Specifically, a polyethylene terephthalate (PET) film, an acrylic resin film, a polycarbonate (PC) film, a triacetyl cellulose (TAC) film, a polyimide (PI) film, or the like can be used.

なお、上記各層の塗工溶液の調製に用いる溶剤としては、特に制限されるものではなく、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)、酢酸エチル、酢酸セロソルブ、ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)、ベンゼン、シクロヘキサノン等の慣用の有機溶剤から適宜選択して用いることができる。   In addition, as a solvent used for preparation of the coating solution of each said layer, it does not restrict | limit in particular, For example, acetone, methyl ethyl ketone (MEK), ethyl acetate, cellosolve, dioxane, tetrahydrofuran (THF), benzene, cyclohexanone, etc. The conventional organic solvent can be appropriately selected and used.

以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例
(下部クラッド層1および上部クラッド層3の配合)
バインダー樹脂:
アクリル樹脂(綜研化学(株)製、商品名フォレットM−80) 100重量部
UVプレポリマー:
ノボラック樹脂(日本化薬(株)製、商品名EAM−2160) 100重量部
UVモノマー:
フルオロアルキルアクリレート(大阪有機化学工業(株)製、商品名ビスコート4F)
30重量部
エチルカルビトールテトラアクリレート 20重量部
ペンタエリスリトールテトラアクリレート 15重量部
光重合開始剤:
アシルフォスフィンオキサイド 1重量部
1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン 0.8重量部
Hereinafter, the present invention will be described specifically by way of examples.
Example (Composition of lower clad layer 1 and upper clad layer 3)
Binder resin:
Acrylic resin (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., trade name Foret M-80) 100 parts by weight UV prepolymer:
Novolac resin (trade name EAM-2160, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 100 parts by weight UV monomer:
Fluoroalkyl acrylate (Osaka Organic Chemical Co., Ltd., trade name Biscote 4F)
30 parts by weight ethyl carbitol tetraacrylate 20 parts by weight pentaerythritol tetraacrylate 15 parts by weight Photopolymerization initiator:
Acylphosphine oxide 1 part by weight 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone 0.8 part by weight

上記配合材料をよく混合して適宜溶媒を加え、下部クラッド層印刷用塗料を調製した。この塗料を、基材10Aとしての厚さ188μmのPETフィルム(三菱ポリエステル(株)製、商品名O310)上にコンマ塗工法により塗工し、100℃で2分間乾燥後、照射強度500mW/cm2にてUV照射を行って、屈折率1.502の下部クラッド層1を形成した。 The above blending materials were mixed well and a solvent was added as appropriate to prepare a coating for printing the lower clad layer. This paint was applied on a 188 μm-thick PET film (product name: O310, manufactured by Mitsubishi Polyester Co., Ltd.) as a base material 10A by a comma coating method, dried at 100 ° C. for 2 minutes, and an irradiation intensity of 500 mW / cm. UV irradiation was performed at 2 to form a lower cladding layer 1 having a refractive index of 1.502.

(コア層2の配合)
UVプレポリマー:
ビスフェノールA型アクリレート(日本化薬(株)製:EX−2320)
100重量部
UVモノマー:
アクリロイルモルホリン 20重量部
1−アダマンチルメタクリレート 30重量部
エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(日本化薬(株)製、商品名SR−602)
20重量部
光重合開始剤:
アシルフォスフィンオキサイド 1重量部
1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン 0.8重量部
(Composition of core layer 2)
UV prepolymer:
Bisphenol A acrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd .: EX-2320)
100 parts by weight UV monomer:
Acryloylmorpholine 20 parts by weight 1-adamantyl methacrylate 30 parts by weight Ethoxylated bisphenol A diacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name SR-602)
20 parts by weight photopolymerization initiator:
Acylphosphine oxide 1 part by weight 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone 0.8 part by weight

上記配合材料をよく混合して、粘度500mPa・s、硬化収縮率6%(積算光量1000mJ/cm2の光を照射した場合)のコア層印刷用塗料を調製した。図1に示す印刷装置において、この塗料を用いて基材10A上に形成された下部クラッド層1上にグラビア印刷を行いながら、照射強度500mW/cm2にてUV照射を行って、屈折率1.529のコア層2を形成した。印刷のラインスピードは10m/minであり、グラビア印刷版11のロール径は200mm、凹部14は深さ60μm、幅60μmであった。 The above blended materials were thoroughly mixed to prepare a core layer printing paint having a viscosity of 500 mPa · s and a curing shrinkage of 6% (when irradiated with light having an integrated light quantity of 1000 mJ / cm 2 ). In the printing apparatus shown in FIG. 1, UV irradiation is performed at an irradiation intensity of 500 mW / cm 2 while performing gravure printing on the lower cladding layer 1 formed on the base material 10A using this paint, and the refractive index is 1. 529 core layer 2 was formed. The printing line speed was 10 m / min, the roll diameter of the gravure printing plate 11 was 200 mm, the recess 14 was 60 μm deep and 60 μm wide.

さらに、上記下部クラッド層の場合と同様にして、基材10Bとしての厚さ188μmのPETフィルム(三菱ポリエステル(株)製、商品名O310)上に上部クラッド層印刷用塗料を塗工、乾燥して、上部クラッド層3を形成した。乾燥後の上部クラッド層3の粘度を粘弾性測定装置(HAAKE製 測定条件:f=1Hz、γ=1%)にて測定したところ、1000Pa・sであった。次いで、図2に示すようにして、上記基材10A上に形成された下部クラッド層1およびコア層2との貼り合わせを行った。貼り合わせ後、照射強度500mW/cm2にてUV照射を行って、屈折率1.502の上部クラッド層3を形成し、光導波路を得た。
コア層2の印刷パターンの線幅および高さを電子顕微鏡で観察したところ、印刷精度は4μmであった。
Further, in the same manner as in the case of the lower clad layer, an upper clad layer printing paint is applied on a 188 μm-thick PET film (product name O310, manufactured by Mitsubishi Polyester Co., Ltd.) as the base material 10B and dried. Thus, the upper clad layer 3 was formed. When the viscosity of the dried upper clad layer 3 was measured with a viscoelasticity measuring apparatus (manufactured by HAAKE, measurement conditions: f = 1 Hz, γ = 1%), it was 1000 Pa · s. Next, as shown in FIG. 2, the lower clad layer 1 and the core layer 2 formed on the base material 10A were bonded. After bonding, UV irradiation was performed at an irradiation intensity of 500 mW / cm 2 to form the upper clad layer 3 having a refractive index of 1.502 to obtain an optical waveguide.
When the line width and height of the printed pattern of the core layer 2 were observed with an electron microscope, the printing accuracy was 4 μm.

本発明の一好適実施形態に係るコア層の形成工程の概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the formation process of the core layer which concerns on one suitable embodiment of this invention. 本発明に係る上部クラッド層の形成工程の一好適例の概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing of a suitable example of the formation process of the upper clad layer which concerns on this invention. (a)〜(e)は、従来の光導波路の製造方法の一例を示す製造工程図である。(A)-(e) is a manufacturing-process figure which shows an example of the manufacturing method of the conventional optical waveguide. (a)は設計形状(断面)を、(b)、(c)はフォトリソグラフィーによる形状(断面)を、それぞれ示す断面図である。(A) is sectional drawing which shows a design shape (cross section), (b), (c) is the shape (cross section) by photolithography, respectively.

符号の説明Explanation of symbols

1 下部クラッド層
2 コア層
3 上部クラッド層
10A、10B 基材
11 グラビア印刷版
12 ロール
13 ドクターブレード
14 凹部
20 光源
30 コア層印刷用塗料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lower clad layer 2 Core layer 3 Upper clad layer 10A, 10B Base material 11 Gravure printing plate 12 Roll 13 Doctor blade 14 Recess 20 Light source 30 Core layer printing paint

Claims (5)

下部クラッド層とコア層とを含む光デバイスの製造方法において、
前記下部クラッド層上に、光硬化材料を用いて前記コア層を形成するにあたり、該コア層を、該下部クラッド層上にグラビア印刷版により印刷しながら、該グラビア印刷版内のコア層に対し光を照射することを特徴とする光デバイスの製造方法。
In a method for manufacturing an optical device including a lower cladding layer and a core layer,
In forming the core layer on the lower clad layer using a photo-curing material, the core layer is printed on the lower clad layer with a gravure printing plate, while the core layer in the gravure printing plate is formed. A method for producing an optical device, characterized by irradiating light.
前記コア層に対する光照射を、前記下部クラッド層を介して行う請求項1記載の光デバイスの製造方法。   The method of manufacturing an optical device according to claim 1, wherein the light irradiation to the core layer is performed through the lower cladding layer. 前記コア層印刷用塗料として、溶媒を実質的に含まない粘度10〜20000mPa・sの塗料を用いる請求項1または2記載の光デバイスの製造方法。   The method for producing an optical device according to claim 1, wherein a paint having a viscosity of 10 to 20000 mPa · s substantially free of a solvent is used as the core layer printing paint. 前記コア層印刷用塗料として、積算光量1000mJ/cm2の光を照射した際の硬化収縮率が1〜10%である塗料を用いる請求項1〜3のうちいずれか一項記載の光デバイスの製造方法。 The optical device according to any one of claims 1 to 3, wherein a coating material having a curing shrinkage rate of 1 to 10% when irradiated with light having an integrated light quantity of 1000 mJ / cm 2 is used as the core layer printing coating material. Production method. 前記下部クラッド層上に形成された前記コア層上に、さらに、粘度102Pa・s以上107Pa・s以下の上部クラッド層を貼り合わせる請求項1〜4のうちいずれか一項記載の光デバイスの製造方法。 The upper clad layer having a viscosity of 10 2 Pa · s to 10 7 Pa · s is further bonded onto the core layer formed on the lower clad layer. Manufacturing method of optical device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008024803A (en) * 2006-07-20 2008-02-07 Taiyo Ink Mfg Ltd Active energy ray-curable resin composition, its cured material and method for producing cured resin molded product
WO2008032724A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Toray Industries, Inc. Optical waveguide film
WO2009139375A1 (en) * 2008-05-13 2009-11-19 日立化成工業株式会社 Method for manufacturing optical waveguide, and optical waveguide

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008024803A (en) * 2006-07-20 2008-02-07 Taiyo Ink Mfg Ltd Active energy ray-curable resin composition, its cured material and method for producing cured resin molded product
WO2008032724A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Toray Industries, Inc. Optical waveguide film
CN101529294B (en) * 2006-09-14 2012-06-27 东丽株式会社 Optical waveguide film
US8343619B2 (en) 2006-09-14 2013-01-01 Toray Industries, Inc. Optical waveguide film
WO2009139375A1 (en) * 2008-05-13 2009-11-19 日立化成工業株式会社 Method for manufacturing optical waveguide, and optical waveguide

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