JP2005353231A - 磁気記録媒体の評価用電極、および磁気記録媒体の評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気記録媒体3の保護膜34の測定において、保護膜表面にインジウム・ガリウム電極2、21を設け、電気抵抗測定端子1、11を保護膜の破壊圧力未満の圧力で電極に接触させて保護膜の電気抵抗を測定する。テクスチャー加工を施したサンプルをそのまま用いて測定を行う。大掛かりな装置を用いることなく電極を形成でき、かつ電極形成に伴う保護膜の変質を防止できる。
【選択図】 図1
Description
磁気記録媒体には磁性層を磁気ヘッドとの接触、摺動による損傷、および腐食から保護するために磁性層上にDLC膜から成る保護膜が形成されている。
DLC膜の形成手法としては、スパッタリング法、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法等が用いられているが、形成手段、形成条件等により、得られるDLC膜の性質は大きく異なる。DLC膜の性質はDLC膜の膜厚、構造(例えば、sp3結合炭素の比率)、組成(例えば、含有水素の量、含有窒素の量)等によって変化し、この変化はDLC膜の電気抵抗に反映されているため、保護膜の評価項目の1つとして電気抵抗を測定することは重要である。
また、前記の電極に測定端子を接触させることにより、磁気記録媒体の保護膜の電気的性質を測定することを特徴とする。
前記電極への測定端子の接触圧力は、前記保護膜の破壊圧力未満であることが好ましい。
図1は、本発明の電極の構成例を説明するための図で、インジウムとガリウムを有する電極2、21は、磁気記録媒体3の保護膜34の表面に形成されている。測定端子1、11を電極2、21にそれぞれ圧接し、電源(図示せず)と測定端子1、11を接続することにより、保護膜34の電気的性質を測定する。
磁気記録媒体3の構成は、実用に供せられる任意の構成に対して適用することが可能である。図1は構成の一例を示すもので、非磁性の基板31上に、下地層32、磁性層33、保護膜34が順次形成されている。
電極2、21は、インジウムとガリウムを含有して構成される。その組成は、室温で液状となるよう調整することが好ましい。具体的には、インジウム20重量%以上、30重量%以下とし、残部をガリウムとすることにより、室温で液状を呈する。室温で液状とすることにより、塗布により電極を形成することが可能となり、例えば、麺棒等を用いて所望の電極の形状を容易に形成できる。この結果、電極を形成するために、例えば蒸着装置等の大掛かりな装置が不要となり、かつ短時間で形成可能である。また、カーボン系の保護膜は活性が高く、高温環境にさられる場合には膜質の変質が生じるが、室温で電極を形成することにより変質を防止可能である。液状であることから、テクスチャー加工が施された、表面に凹凸がある試料にも容易に電極を形成することが可能である。このことは、製造工程における抜き取り検査の用途にも容易に適用可能であることを意味する。
測定端子1(または11)に電圧を印加することにより、保護膜34を経由して電流が流れ、他の測定端子11(または1)に到達する。
図1の構成の場合は、保護膜34は低抵抗の磁性層33の上に形成されていることから、電流は一方のインジウム・ガリウム電極から保護膜を膜厚方向に流れて磁性層に到達し、磁性層(強磁性金属から構成されるため、電気抵抗はほぼゼロとみなせる)を流れたのち、再び保護膜を膜厚方向に流れてもう一方のインジウム・ガリウム電極に到達する。すなわち、保護膜の膜厚の2倍に相当する電気抵抗を測定することとなる。なお、保護膜をガラス等の高抵抗基材上に形成すれば保護膜の面内方向の電気抵抗を測定することも可能である。
DLC保護膜上にインジウム・ガリウム電極2、21を塗布した。組成はインジウム25重量%、ガリウム75重量%である。室温で液体であり、麺棒を用いて直径2mmの円状に塗布した。
このインジウム・ガリウム電極に触針式電気抵抗測定器の測定端子1、11を接触圧力がDLC保護膜の破壊圧力未満である50g/mm2で接触させ、DLC保護膜の電気抵抗を測定した。膜厚5nmのDLC保護膜において電気抵抗値は10.0Ωであり、繰り返し測定した場合の再現性は±0.5Ωであった。
(比較例1)
インジウム・ガリウム電極を設けないこと以外は実施例1と同様にして測定を行った。即ち、触針式電気抵抗測定器の測定端子を直接DLC保護膜に接触させ、DLC保護膜の電気抵抗を測定した。繰り返し測定した場合の電気抵抗値の再現性は±2.0Ωであり、実施例1と比較して大きなばらつきであった。これは、測定端子端部と磁気記録媒体表面の接触状態がばらついているためであると考えられる。
(比較例2)
電極を銀ペーストにて形成したこと以外は、実施例1と同様にして測定を行った。電極形成は、スクリーン印刷、焼付け工程の順で行った。焼付け工程の温度は、500℃と600℃の2種類とした。測定された電気抵抗値は、2種の焼付け温度でそれぞれ異なる値となり、電気抵抗値を決定することはできなかった。
DLC保護膜は高温環境下にて膜質の変化が生じるため、高温の焼付け工程においてDLC保護膜の膜質の変化が生じたためと考えられる。
2、21 インジウム・ガリウム電極
3 磁気記録媒体
31 基板
32 下地層
33 磁性層
34 保護膜
Claims (3)
- 磁気記録媒体の保護膜の評価に用いる電極であって、
該保護膜表面に形成した、インジウムとガリウムを有することを特徴とする電極。 - 磁気記録媒体の保護膜の評価方法であって、
該保護膜表面にインジウムとガリウムを有する電極を設け、該電極に測定端子を接触させて、該保護膜の電気的性質を測定することを特徴とする評価方法。 - 前記電極への測定端子の接触圧力が、前記保護膜の破壊圧力未満であることを特徴とする請求項2に記載の評価方法。
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JP2004175485A JP2005353231A (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 磁気記録媒体の評価用電極、および磁気記録媒体の評価方法 |
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JP (1) | JP2005353231A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011023062A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 熱アシスト磁気記録媒体とその温度上昇特性の測定方法および加熱方法 |
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2004
- 2004-06-14 JP JP2004175485A patent/JP2005353231A/ja not_active Withdrawn
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