JP2005351453A - Control valve - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流量制御弁に関し、より特定すると、半導体製造用プロセスガスの流量を制御するための制御弁に関する。 The present invention relates to a flow control valve, and more particularly to a control valve for controlling the flow rate of a process gas for semiconductor manufacturing.
半導体製造のためのプロセスガス供給ラインでは、用途によっては、配管内を高純度に保ちガスの吸着を防止して、脱ガスの発生を低下させるために、接ガス部材をゴムや樹脂ではなく、金属あるいは化学的、機械的に安定な材料例えば、Ａｌ2Ｏ3等によって形成することが好ましい。しかしながら制御弁において、オリフィスおよび弁頭をこの様な材質とすると、表面の密着性を確保するのが難しくてリークが発生し易く且つ十分な閉特性を得ることが困難である。このため、強い力で弁を閉じるようにする必要があり、この結果、より強力なアクチュエータが必要となる。アクチュエータを強力にするために、一般的にはピエゾアクチュエータが使用されている（特許文献１参照）が、ピエゾアクチュエータはソレノイドアクチュエータに比べて高価であり、結果的に、弁頭に金属等を使用したものは、弁頭にゴムを使用したものに比べ高価にものとなる。
本発明は、弁頭と弁座に金属等を使用しながら、安価なソレノイドアクチュエータを用いて十分な閉特性と制御性が得られる制御弁を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a control valve that can obtain sufficient closing characteristics and controllability using an inexpensive solenoid actuator while using metal or the like for a valve head and a valve seat.
上記目的を達成するために、本発明においては、弁頭と弁座の接触部を金属等によって形成し且つ同接触部を平坦に仕上げ、更に、それぞれの面が完全に平行になるように、弁頭が弁座に対向する面の角度を微妙に調整出来る機能を備えている。また、弁頭の軸線方向高さを調整する機構も同時に備えている。 In order to achieve the above object, in the present invention, the contact portion between the valve head and the valve seat is formed of metal or the like and the contact portion is finished flat, and further, the respective surfaces are completely parallel. The valve head has a function to finely adjust the angle of the surface facing the valve seat. A mechanism for adjusting the axial height of the valve head is also provided.
更に、本発明では、弁座面の一部に流体が弁頭を押し上げる方向に流れる流体通路を設けた構造を有する。 Furthermore, the present invention has a structure in which a fluid passage is provided in a part of the valve seat surface so that fluid flows in a direction of pushing up the valve head.
本発明は、上記のような構成としたことにより、脱ガスの発生がない金属あるいは化学的、機械的に安定な材料、例えばＡｌ2Ｏ3等の弁頭及び弁座を使用していても比較的安価なソレノイドコイルを使用することが可能となり、全体として安価な制御弁が実現可能となる。また従来は、弁座の内径が大きくなると、金属等の弁頭、弁座を使用した場合、弁頭と弁座面の平行度を確保して、良好な閉特性を得ることが困難であるため、大きい流量が得難いという問題があった。本発明の構成によれば、良好な閉特性が得られるので、弁座の内径を大きくすることもでき、閉特性が良好な大流量のバルブを実現することができる。 Since the present invention is configured as described above, a metal or a chemically and mechanically stable material that does not cause degassing, for example, a valve head and a valve seat such as Al 2 O 3 may be used. A relatively inexpensive solenoid coil can be used, and an inexpensive control valve as a whole can be realized. Conventionally, when the inner diameter of the valve seat is increased, it is difficult to obtain a good closing characteristic by securing the parallelism between the valve head and the valve seat surface when using a valve head or valve seat made of metal or the like. Therefore, there is a problem that it is difficult to obtain a large flow rate. According to the configuration of the present invention, since a good closing characteristic can be obtained, the inner diameter of the valve seat can be increased, and a large flow rate valve with a good closing characteristic can be realized.
更に、一般に、流体流量が増加すると、流体の流れによって弁頭が受ける力が大きくなり、力の弱い小型のソレノイドでは制御が困難であり流せる流量に限界があった。しかしながら、上記のような弁座への流入経路としたことにより、開動作時に、弁座の一部から弁頭を押し上げるように流体が流入するため、弁頭が、一方的に弁座方向に力を受けることが防止でき、小型のソレノイドでも大流量の制御弁が実現できる。 Furthermore, generally, when the fluid flow rate increases, the force that the valve head receives due to the flow of fluid increases, and it is difficult to control with a small solenoid with a weak force, and there is a limit to the flow rate that can be flowed. However, since the inflow path to the valve seat as described above is used, fluid flows in so as to push up the valve head from a part of the valve seat during the opening operation. A large flow rate control valve can be realized even with a small solenoid.
例えば、毎分１０リットルの窒素ガスを流すバルブにおいて、内径２ｍｍの弁座を使用したとき、バルブが閉じているときのリーク（漏洩）量を毎分０．０１リットル以下に抑えるためには、弁頭面と弁座面との角度のずれは０．０１度以内でなければならない。この様な機械精度を求めることは極めて難しい。しかしながら、本発明の構成のように、弁頭面が平坦に仕上げられた弁座面と完全に平行になるように調整できる機能を具備することにより、初めて閉特性の良いソレノイドバルブが実現できる。 For example, in a valve that flows nitrogen gas of 10 liters per minute, when using a valve seat with an inner diameter of 2 mm, in order to suppress the amount of leakage (leakage) when the valve is closed to 0.01 liters or less per minute, The angle deviation between the valve head surface and the valve seat surface must be within 0.01 degrees. It is extremely difficult to obtain such machine accuracy. However, a solenoid valve with good closing characteristics can be realized for the first time by providing a function capable of adjusting the valve head surface to be completely parallel to the flat valve seat surface as in the configuration of the present invention.
以下、具体的な実施形態によって本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明による制御弁の最も好ましい実施形態の正面断面図であり、図２乃至５は、図１の制御弁を構成する主要部分の構成を示している。
Hereinafter, the present invention will be described in detail by specific embodiments.
FIG. 1 is a front sectional view of the most preferred embodiment of the control valve according to the present invention, and FIGS. 2 to 5 show the configuration of the main parts constituting the control valve of FIG.
弁１における弁部は、ベース２内の流体流路内に取り付けられた、一部が平坦に仕上げた金属からなる弁頭３と、同じく一部を平坦に仕上げ且つ中心に流体通路が形成された金属からなる弁座４とによって形成されている。このように、弁頭及び弁座を金属によって形成することにより、脱ガスの発生が防止でき、半導体製造のためのプロセスガス供給ライン等において有利である。弁頭および弁座の材質は、金属以外、機械的、化学的に安定なＡｌ2Ｏ3を用いても良い。 The valve portion of the valve 1 includes a valve head 3 made of a metal that is partially flattened and attached to a fluid flow path in the base 2, and a fluid passage that is also partially flattened and formed in the center. And a valve seat 4 made of metal. Thus, by forming the valve head and the valve seat from metal, it is possible to prevent the outgassing, which is advantageous in a process gas supply line for semiconductor manufacturing. The material of the valve head and the valve seat may be Al 2 O 3 which is mechanically and chemically stable, other than metal.
図１において、ベース２は、両端が円筒形状であり且つ中間に弁部を収容する弁収容凹部が設けられた構造を有している。図１において、ベース２の左端部には流体入口６が設けられ、流体流入路７が流体入口６から弁収容凹部へとつながっている。一方、ベース２の右端部には流体出口８が設けられ、流体流出路９が弁収容凹部から流体出口８へとつながっている。 In FIG. 1, the base 2 has a structure in which both ends are cylindrical and a valve housing recess for housing the valve portion is provided in the middle. In FIG. 1, a fluid inlet 6 is provided at the left end of the base 2, and a fluid inflow passage 7 is connected from the fluid inlet 6 to the valve housing recess. On the other hand, a fluid outlet 8 is provided at the right end of the base 2, and a fluid outlet path 9 is connected from the valve housing recess to the fluid outlet 8.
弁座４は、図３から明確にわかるように、複数の段部が形成された円筒状の弁座本体４ａの中心穴に円筒部材４ｂが圧入されて一体化された構造を有している。弁座４は、図１に示されているように、密封のためのＯ−リング５、５’を介してベース２に螺結されている。弁座本体４ａの中心には、比較的大径部から中間径部を経て小径部に至る三段階になされた軸線方向貫通穴４ｅが穿設されている。この中心貫通穴４ｅの中間径部に、中空の円筒部材４ｂが小径部端縁に当接するまで圧入されている。円筒部材４ｂの内径は、弁座本体４ａの軸線方向貫通穴の小径部の直径と等しくなされて、ストレートな貫通穴を形成している。円筒部材４ｂの上端は、平らな鏡面となるように加工されており、この部分が弁座部を形成する。一方、円筒部材４ｂの外周壁と弁座本体４ａの軸線方向貫通穴の大径部との間には環状の溝４ｄが形成される。更に、弁座本体４ａには、互いに直角な４つの径方向から径方向貫通穴４ｃ（図３においては三方向の穴のみが確認できる）が穿設されている。弁座本体４ａの下端外周にはねじが切られており、このねじ部によって、上記したように、弁座４がベース２にねじ込まれて取り付けられる。流体は、径方向穴４ｃから流入し、環状溝４ｄを通って上方に流れ、弁座部を経て軸線方向貫通穴４ｅを通って下方へ流出する。 As can be clearly seen from FIG. 3, the valve seat 4 has a structure in which a cylindrical member 4b is press-fitted into and integrated with a central hole of a cylindrical valve seat body 4a formed with a plurality of steps. . As shown in FIG. 1, the valve seat 4 is screwed to the base 2 via O-rings 5 and 5 ′ for sealing. In the center of the valve seat body 4a, an axial through hole 4e is formed in three stages from a relatively large diameter portion to an intermediate diameter portion to a small diameter portion. The hollow cylindrical member 4b is press-fitted into the intermediate diameter portion of the central through hole 4e until it comes into contact with the edge of the small diameter portion. The inner diameter of the cylindrical member 4b is made equal to the diameter of the small diameter portion of the through hole in the axial direction of the valve seat body 4a to form a straight through hole. The upper end of the cylindrical member 4b is processed to be a flat mirror surface, and this portion forms a valve seat portion. On the other hand, an annular groove 4d is formed between the outer peripheral wall of the cylindrical member 4b and the large diameter portion of the axial through hole of the valve seat body 4a. Further, the valve seat body 4a is formed with radial through holes 4c (only three direction holes can be confirmed in FIG. 3) from four radial directions perpendicular to each other. A screw is cut on the outer periphery of the lower end of the valve seat body 4a, and the valve seat 4 is screwed into and attached to the base 2 by this threaded portion as described above. The fluid flows in from the radial hole 4c, flows upward through the annular groove 4d, and flows downward through the valve seat portion through the axial through hole 4e.
弁頭３は、図１及び４から分かるように、ディスクスプリング１０を挟んでプランジャ１１の一端にねじ止めされている。プランジャ１１は、プランジャガイド１２の中空内部に、僅かな隙間を保って軸線方向に移動可能に挿入される。プランジャ１１及び弁頭３は、ディスクスプリング１０をばね押さえ１３によってプランジャガイド１２の下端に固定することによってプランジャガイド１２に取り付けられている。プランジャガイド１２の中空上端部にはヨーク本体１４が圧入されて一体化されている。ヨーク本体１４の上端には、後に説明するように、ヨークの軸線方向位置を調整するためにねじが切られている。プランジャ１１及びヨーク本体１４は、後に説明するソレノイドの磁力を導くために磁性体によって作られている。一方、プランジャガイド１２は、磁界がヨーク本体１４からプランジャ１１へと軸線方向に延びるのを妨害しないように非磁性体材料によって作られている。このようにして、弁頭３、プランジャ１１、プランジャガイド１２及びヨーク１４は一体化された組立体となっており、当該組立体内において、プランジャ１１及び弁頭３は、ディスクスプリング１０の付勢力を受けながらプランジャガイド１２の内部を軸線方向に移動できる。更に、弁頭３、プランジャ１１、プランジャガイド１２及びヨーク１４からなる組立体は、ベース２の弁収容凹部内に、弁頭３が弁座４に対向するように嵌め込まれ、Ｏ−リング１５を挟んでソレノイドケース１６によって液密状態に密封される。 As can be seen from FIGS. 1 and 4, the valve head 3 is screwed to one end of the plunger 11 with a disc spring 10 interposed therebetween. The plunger 11 is inserted into the hollow inside of the plunger guide 12 so as to be movable in the axial direction while maintaining a slight gap. The plunger 11 and the valve head 3 are attached to the plunger guide 12 by fixing the disc spring 10 to the lower end of the plunger guide 12 with a spring retainer 13. A yoke main body 14 is press-fitted into the hollow upper end portion of the plunger guide 12 and integrated. As will be described later, the upper end of the yoke body 14 is threaded to adjust the axial position of the yoke. The plunger 11 and the yoke main body 14 are made of a magnetic material for guiding a magnetic force of a solenoid described later. On the other hand, the plunger guide 12 is made of a non-magnetic material so as not to prevent the magnetic field from extending in the axial direction from the yoke body 14 to the plunger 11. Thus, the valve head 3, the plunger 11, the plunger guide 12, and the yoke 14 form an integrated assembly. In the assembly, the plunger 11 and the valve head 3 receive the biasing force of the disc spring 10. The plunger guide 12 can be moved in the axial direction while receiving. Further, the assembly comprising the valve head 3, the plunger 11, the plunger guide 12 and the yoke 14 is fitted into the valve housing recess of the base 2 so that the valve head 3 faces the valve seat 4, and the O-ring 15 is attached. The solenoid case 16 is sandwiched and sealed in a liquid-tight state.
図１に示されているように、ソレノイドケース１６は、中心が長手方向に貫通した空洞となっており、同空洞の周囲に同空洞を包囲する形態でソレノイドコイル１７が設けられている。ソレノイドケース１６の中心空洞内に、上記したヨーク本体、プランジャガイド、プランジャ、弁頭等からなる組立体が挿通される。ソレノイドケースの上端部の構成が図５に示されている。ソレノイドケース１６の上端には、ソレノイドキャップ１８が取り付けられる。ソレノイドキャップ１８は、ソレノイドキャップ固定ねじ１９によってソレノイドケース１６に対して固定される。ソレノイドキャップ１８の内周にはオフセットリング２０が嵌入される。オフセットリング２０は、図５に示すように径方向三方向からソレノイドキャップにねじ込まれる軸傾斜調整ねじ２１によって固定される。軸傾斜調整ねじ２１は、後に詳細に説明するような方法でヨーク本体、プランジャガイド、プランジャ、弁頭等からなる組立体の軸線の傾きを調整するために使用される。オフセットリング２０の内周にはねじが切られており、このねじ内へ弁頭高さ調整ナット２２が螺入される。弁頭高さ調整ナット２２は、外周にねじが切られていると同時に内周にもねじが切られている。弁頭高さ調整ナット２２の外周ねじ部と内周ねじ部とはピッチが異なり、外周が粗く内周が細かいピッチとなっている。弁頭高さ調整ナット２２の内周ねじには、ヨーク本体１４の頂部が螺入される。従って、弁頭高さ調整ナット２２を回すと、同弁頭高さ調整ナットの外ねじと内ねじとのピッチの差だけヨーク本体、プランジャガイド、プランジャ、弁頭等からなる組立体が細かく軸線方向に上下動し、この組立体の高さが調整される。このようにして上記組立体の高さが調整された後、ヨーク固定ナット２３が弁頭高さ調整ナット２２に対してソレノイドキャップ１８の上端面に当接するまでねじ込まれてヨーク本体、プランジャガイド、プランジャ、弁頭等からなる組立体全体が固定される。 As shown in FIG. 1, the solenoid case 16 is a cavity whose center penetrates in the longitudinal direction, and a solenoid coil 17 is provided around the cavity so as to surround the cavity. The assembly including the yoke body, plunger guide, plunger, valve head and the like is inserted into the central cavity of the solenoid case 16. The configuration of the upper end portion of the solenoid case is shown in FIG. A solenoid cap 18 is attached to the upper end of the solenoid case 16. The solenoid cap 18 is fixed to the solenoid case 16 by a solenoid cap fixing screw 19. An offset ring 20 is fitted into the inner periphery of the solenoid cap 18. As shown in FIG. 5, the offset ring 20 is fixed by a shaft inclination adjusting screw 21 that is screwed into the solenoid cap from three radial directions. The shaft inclination adjusting screw 21 is used to adjust the inclination of the axis of the assembly including the yoke body, the plunger guide, the plunger, the valve head and the like in a manner described in detail later. A screw is cut in the inner periphery of the offset ring 20, and a valve head height adjusting nut 22 is screwed into the screw. The valve head height adjusting nut 22 is not only threaded on the outer periphery but also on the inner periphery. The pitches of the outer peripheral thread portion and the inner peripheral thread portion of the valve head height adjusting nut 22 are different, and the outer periphery is rough and the inner periphery is fine. The top of the yoke body 14 is screwed into the inner peripheral screw of the valve head height adjusting nut 22. Therefore, when the valve head height adjusting nut 22 is turned, the assembly comprising the yoke body, plunger guide, plunger, valve head, etc. is finely divided by the difference in pitch between the outer screw and the inner screw of the valve head height adjusting nut. It moves up and down in the direction and the height of this assembly is adjusted. After the height of the assembly is adjusted in this way, the yoke fixing nut 23 is screwed into the valve head height adjusting nut 22 until it comes into contact with the upper end surface of the solenoid cap 18, and the yoke body, plunger guide, The entire assembly comprising the plunger, valve head, etc. is fixed.
次に、図２を参照して、ヨーク本体、プランジャガイド、プランジャ、弁頭等からなる組立体の軸線の傾きの調整について説明する。本発明は、金属製あるいは化学的、機械的に安定な材料、例えばＡｌ2Ｏ3等の硬質の材料を弁頭と弁座に用いる弁であることから、弁座と弁頭との接合面の平行度がリーク等に対して極めて重要である。従って、本発明においては、軸傾斜調整ねじ２１による傾斜調整機構を設けて、弁の接合面の所望通りの平行度を確保するようにしている。軸の傾きを調整は、図５に示すように、径方向三方向からオフセットリング２０を支持している３つの軸傾斜調整ねじ２１を、一方のねじを緩め、他方のねじを締め込むことによって、オフセットリング２０の軸線方向の傾きを自由に変えることによって行うことができる。オフセットリング２０は弁頭高さ調整ナット２２を介してヨーク本体２３に固定されているので、オフセットリング２０の軸線の傾きが変わることによって、ヨーク本体、プランジャガイド、プランジャ、弁頭等からなる組立体全体の軸線の傾きが変わり（図２におけるθ）、弁座４に対する弁頭３の傾きが変え、両者の接合面の平行度を正確に調整することができる。このようにして、軸線の傾きが調整された後に軸傾斜調整ねじ２１はロックされ、更に、上記したようにして弁頭高さ調整ナット２２によって弁頭の高さが調整され、ヨーク固定ナット２３によって高さも固定される。 Next, with reference to FIG. 2, adjustment of the inclination of the axis of the assembly including the yoke body, the plunger guide, the plunger, the valve head, and the like will be described. Since the present invention is a valve using a metal or a chemically and mechanically stable material, for example, a hard material such as Al 2 O 3 for the valve head and the valve seat, the joint surface between the valve seat and the valve head The degree of parallelism is extremely important for leakage and the like. Therefore, in the present invention, a tilt adjusting mechanism using the shaft tilt adjusting screw 21 is provided to ensure the desired parallelism of the joint surface of the valve. As shown in FIG. 5, the inclination of the shaft is adjusted by loosening one of the three shaft inclination adjusting screws 21 supporting the offset ring 20 from three radial directions and tightening the other screw. This can be done by freely changing the inclination of the offset ring 20 in the axial direction. Since the offset ring 20 is fixed to the yoke main body 23 via the valve head height adjusting nut 22, the set of the yoke main body, plunger guide, plunger, valve head, etc. is changed by changing the inclination of the axis of the offset ring 20. The inclination of the axis of the entire solid body changes (θ in FIG. 2), the inclination of the valve head 3 with respect to the valve seat 4 changes, and the parallelism of the joint surfaces of both can be accurately adjusted. In this way, after the inclination of the axis is adjusted, the shaft inclination adjusting screw 21 is locked, and the height of the valve head is adjusted by the valve head height adjusting nut 22 as described above, and the yoke fixing nut 23 is adjusted. The height is also fixed by.
以上のようにして組み立てられ且つ調整された制御弁において、ソレノイドコイル１７８に通電がなされると、プランジャ１１がディスクスプリング１０の付勢力に抗してヨーク本体１４側へと引き上げられて弁頭３が弁座４から離れ、図１において矢印で示すように、流体が、流体入口６から弁（弁頭３と弁座４との隙間）を介して流体出口９へと流れる。ソレノイドコイルへの供給電圧の大きさに応じて弁の開口度を制御することができ、制御された両の流体を流すことができる。 In the control valve assembled and adjusted as described above, when the solenoid coil 178 is energized, the plunger 11 is lifted toward the yoke body 14 against the urging force of the disk spring 10 and the valve head 3. 1 moves away from the valve seat 4 and fluid flows from the fluid inlet 6 through the valve (gap between the valve head 3 and the valve seat 4) to the fluid outlet 9 as shown by the arrow in FIG. The degree of opening of the valve can be controlled according to the magnitude of the supply voltage to the solenoid coil, and both controlled fluids can flow.
更に、本発明においては、図３に関して既に説明したように、軸傾斜及び高さ調整機能に加え、弁座４に、流体が弁座面へ入る前に、弁座面と同軸の環状溝４ｄを経由して流体を一旦上方へ向かわせた流路構造としている。一般に、流体流量が増加すると、流体の流れによって弁頭が受ける力が大きくなり、力の弱い小型のソレノイドでは流せる流量に限界があった。しかしながら、本発明の弁においては、開動作時に、同軸状の外周部から弁頭を押し上げるように流体が流入すると共に中心の穴に向かい流出するため、弁頭が、一方的に弁座方向に力を受けることが防止でき、小型のソレノイドでも大流量の制御弁が実現できる。また、同軸状の外周部から弁頭を押し上げるように流入した流体を、流体出口に直接導く通路をベース２に追加しても良い。 Furthermore, in the present invention, as already described with reference to FIG. 3, in addition to the function of adjusting the shaft inclination and height, the annular groove 4d coaxial with the valve seat surface is formed in the valve seat 4 before fluid enters the valve seat surface. It is set as the flow-path structure which once made the fluid go upwards via. In general, when the fluid flow rate increases, the force that the valve head receives due to the fluid flow increases, and there is a limit to the flow rate that can be flowed by a small solenoid with a weak force. However, in the valve of the present invention, during the opening operation, fluid flows in so as to push up the valve head from the coaxial outer peripheral portion and flows out toward the center hole. A large flow rate control valve can be realized even with a small solenoid. Further, a passage may be added to the base 2 that directly guides the fluid that has flowed so as to push up the valve head from the coaxial outer peripheral portion to the fluid outlet.
尚、本実施例で示した、弁体および弁座の平行度調整機構は、金属等以外の、一部が平坦に仕上げられた他の材質から成る弁頭、弁座の制御弁においても同様に有効であることは言うまでも無い。 The parallelism adjusting mechanism of the valve body and the valve seat shown in the present embodiment is the same for a valve head made of another material partially flattened other than metal or the like and a control valve for the valve seat. Needless to say, it is effective.
本発明は、脱ガスの発生が好ましくない半導体製造用プロセスガスの流量を制御するのに特に有効であるけれども、これに限らず、あらゆる流体の流量制御のために有効に使用することができる。 The present invention is particularly effective for controlling the flow rate of a process gas for semiconductor manufacturing in which the occurrence of degassing is not preferable. However, the present invention is not limited to this, and can be effectively used for flow rate control of any fluid.
１ 弁、 ２ ベース、 ３ 弁頭、
４ 弁座、 ４ａ 弁座本体、 ４ｂ 円筒部材、
４ｃ 径方向貫通穴、 ４ｄ 環状の溝、 ４ｅ 軸線方向貫通穴、
５、５’ Ｏ−リング、 ６ 流体入口、 ７ 流体流入路、
８ 流体出口、 ９ 流体流出路、 １０ ディスクスプリング、
１１ プランジャ、 １２ プランジャガイド、 １３ ばね押さえ、
１４ ヨーク本体、 １５ Ｏ−リング、 １６ ソレノイドケース、
１７ ソレノイドコイル、 １８ ソレノイドキャップ、
１９ ソレノイドキャップ固定ねじ、 ２０ オフセットリング、
２１ 軸傾斜調整ねじ、 ２２ 弁頭高さ調整ナット
２３ ヨーク固定ナット
1 valve, 2 base, 3 valve head,
4 valve seat, 4a valve seat body, 4b cylindrical member,
4c radial through hole, 4d annular groove, 4e axial through hole,
5, 5 ′ O-ring, 6 fluid inlet, 7 fluid inlet,
8 Fluid outlet, 9 Fluid outlet, 10 Disc spring,
11 Plunger, 12 Plunger guide, 13 Spring retainer,
14 Yoke body, 15 O-ring, 16 Solenoid case,
17 solenoid coil, 18 solenoid cap,
19 Solenoid cap fixing screw, 20 Offset ring,
21 Shaft tilt adjusting screw, 22 Valve head height adjusting nut 23 Yoke fixing nut
Claims (6)
弁座シール面に対する弁頭面の角度を任意に調整できる角度調整機構を備えたことを特徴とする制御弁。 A plunger driven by a magnetic force by a solenoid, a hollow guide portion that accommodates the plunger so as to be movable in an axial direction, a yoke portion that guides the magnetic force by the solenoid to the plunger, and the plunger is elastic with respect to the yoke portion A disc spring to be held, a valve head fixed to the plunger via the disc spring and partially flattened, and a seal surface facing the valve head and partially flattened A fluid flow control valve having a valve seat,
A control valve comprising an angle adjusting mechanism capable of arbitrarily adjusting an angle of a valve head surface with respect to a valve seat seal surface.
前記角度調整機構が、前記ヨーク部の軸線の傾きを同ヨーク部の軸線に対して直角の方向から調整することによって前記弁頭面の角度を調整するようになされている、制御弁。 The control valve according to claim 1,
The control valve, wherein the angle adjusting mechanism adjusts the angle of the valve head surface by adjusting the inclination of the axis of the yoke portion from a direction perpendicular to the axis of the yoke portion.
前記角度の調整が、前記ヨーク部の端部において、複数の径方向から調整ねじで調整することに行うようになされた、制御弁。 The control valve according to claim 2,
The control valve is configured such that the angle is adjusted by adjusting screws from a plurality of radial directions at an end portion of the yoke portion.
前記弁座に対する弁頭の隙間を調整する弁頭高さ調整機構に更に備えた流体制御弁。 The control valve according to any one of claims 1 to 3,
The fluid control valve further provided in the valve head height adjustment mechanism which adjusts the clearance of the valve head with respect to the said valve seat.
前記弁頭高さ調整機構が、前記ヨーク端部に軸線方向に沿って設けられたねじ部と螺合する調整ナットを回すことにより調整するようになされた制御弁。 The control valve according to claim 4,
A control valve in which the valve head height adjusting mechanism is adjusted by turning an adjusting nut that is screwed with a screw portion provided along an axial direction at the yoke end portion.
前記弁座が、同弁座の中心に設けられた流体流路と同心状に、同中心の流体流路の周囲に設けられた環状溝からなる流体流路とを有することを特徴とする制御弁。
The control valve according to claim 1,
The valve seat has a fluid flow path formed of an annular groove concentrically with the fluid flow path provided at the center of the valve seat and around the fluid flow path at the same center. valve.
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