JP2005348539A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. コイルと、
   前記コイルに固定された受電部と、
   前記コイルを支持する支持体と、
   前記支持体に固定された給電部とを備え、
   前記受電部は、前記コイルに電気的に接続された受電端子を有し、前記給電部は、給電端子を有し、前記受電端子は、前記給電端子に対して摺動可能な状態で接触することを特徴とするコイルユニット。
2. 前記受電端子は前記給電端子に対して前記コイルの所定方向への熱膨張を許すように摺動可能な状態で接触し、
   前記支持体は前記コイルの前記所定方向への熱膨張を許すように前記コイルを支持することを特徴とする請求項１に記載のコイルユニット。
3. 前記コイルは、略長円形であり、
   前記所定方向とは前記コイルの長手方向であることを特徴とする請求項２に記載のコイルユニット。
4. 前記支持体は、前記コイルがその長手方向に熱膨張することを許す一方で、前記コイルがその短手方向に移動することを規制するように前記コイルを支持することを特徴とする請求項３に記載のコイルユニット。
5. 前記コイル、前記受電部、前記給電部を複数組備え、
   前記複数のコイルは、それらの各長手方向が第１方向に沿うように配置されるとともに、前記第１方向に直交する第２方向に並べて配列されていることを特徴とする請求項４に記載のコイルユニット。
6. 前記受電端子と前記給電端子とを圧接させるための弾性部材を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のコイルユニット。
7. 第１要素と、
   第２要素とを備え、
   前記第１要素が請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のコイルユニットを有し、
   前記第２要素は、前記第１要素の前記コイルユニットが発生する磁界との電磁的相互作用によって前記第１要素に対して相対的に移動する、
   ことを特徴とする電磁アクチュエータ。
8. 基板ステージと、
   原版ステージと、
   前記原版ステージに保持された原版のパターンを前記基板ステージに保持された基板に投影する投影系とを備え、
   前記基板ステージ及び前記原版ステージの少なくとも一方を請求項７に記載の電磁アクチュエータによって駆動することを特徴とする露光装置。
9. 基板ステージと投影系とを有し、
   前記基板ステージに保持された基板に前記投影系を介して露光エネルギーを照射して潜像パターンを形成する露光装置であって、
   前記基板ステージを請求項７に記載の電磁アクチュエータによって駆動することを特徴とする露光装置。
10. デバイス製造方法であって、
    基板に感光剤を塗布する工程と、
    前記基板上の感光剤に請求項８又は請求項９に記載の露光装置によって潜像パターンを形成する工程と、
    前記潜像パターンを現像する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。