JP2005346131A - Process management system, process management method, process management program and recording medium with the program recorded thereon - Google Patents

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Takahiro Inoue
貴裕 井上
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process management system having high responsiveness to change, a process management method and a process management program and a recording medium with the program recorded thereon. <P>SOLUTION: The process management system comprises an end time detection means detecting the work end time of each device; a priority determination means determining the priority of processing of each lot; and an arithmetic processing means calculating a work start time in each device based on the work end time and the priority. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、複数の工程を経て製造される製品の各工程を管理する工程管理システム、工程管理方法、工程管理プログラムおよびそれを記録した記録媒体に関する。   The present invention relates to a process management system, a process management method, a process management program, and a recording medium that records the process management system for managing each process of a product manufactured through a plurality of processes.

最適化問題の考え方の1つとして、各地点を巡回するための最短経路を求めるセールスマン巡回問題がある。このセールスマン巡回問題においては、全ての経路を探索し、最も短い経路を求める方法が一般に使われる。   As one of the ideas of the optimization problem, there is a salesman circulation problem that seeks the shortest route for visiting each point. In the salesman patrol problem, a method of searching all routes and obtaining the shortest route is generally used.

例えば、図1に示すように、ロットA、ロットB、ロットCそれぞれを、装置X、装置Y、装置Zと通していく場合、この方法では全ての順番の組み合わせが計算され、その中で最適な答えが求められる。   For example, as shown in FIG. 1, when each of lot A, lot B, and lot C is passed through apparatus X, apparatus Y, and apparatus Z, this method calculates all combinations of orders, and the optimum among them A simple answer is required.

具体的には、装置Xに通す順番はロットA、ロットB、ロットCそれぞれに対して1番目から3番目の3通りあり、装置Y、装置Zについても同様に、通す順番はロットA、ロットB、ロットCそれぞれに対して1番目から3番目の3通りある。したがって、装置X、装置Yおよび装置Zについては、起こりうる事象は27通りある。この方法では、この中から最適な順番が決められる。   Specifically, the order of passing through the device X is three from the first to the third for each of the lot A, the lot B, and the lot C. Similarly, the order of passing through the devices Y and Z is the lot A, the lot. There are three types, B to C, from the first to the third. Therefore, for device X, device Y and device Z, there are 27 possible events. In this method, the optimum order is determined from these.

一般的に、装置毎に起こりうる事象は装置数のロット数乗となる。したがって、仮に、ロットが5つあり、装置が10個ある場合には10すなわち、10万通りの事象が起こり得ることになり、この中から最適な順番を決める必要がある。これ以上のロット、装置がある場合には起こり得る事象がさらに増加し、処理に莫大な計算時間を要する。 Generally, an event that can occur for each device is the number of devices raised to the power of a lot. Accordingly, if, lots are five, device 105 that is, when there 10, will get occur events 100,000 ways, it is necessary to determine the best order from the. If there are more lots and devices, the number of events that can occur is further increased, and the processing requires enormous calculation time.

一方、従来から使われている工程を最適化するシステムには、アルテミスやアスプロ−バなどがある。これらのシステムでは、各装置の能力や製品毎の各工程に対する負荷を数値化し、納期などの制約条件を基にスケジュール全体を最適化する。   On the other hand, there are Artemis and Asprova as systems for optimizing the processes used conventionally. In these systems, the capacity of each device and the load on each process for each product are quantified, and the entire schedule is optimized based on constraints such as delivery date.

また、標準時間を基に1つの工程が終わる毎に以降の通過予想時間を計算するシステムがある。   In addition, there is a system that calculates the estimated passage time after each process is completed based on the standard time.

例えば、投入する製品の製品フローデータ、処理条件データ、搬送先データ、初期優先度データ、生産計画データやライン稼動計画データと、仕掛り中の製品に関する同様のデータを基にして仮想的に数ヶ月に亘る進捗シミュレーションを行い、所望の結果が得られたところで長期生産計画を作成するホストコンピュータを備えた生産スケジューリングシステムがある(例えば、特許文献1参照)。   For example, a virtual number based on product flow data, processing condition data, transport destination data, initial priority data, production plan data, line operation plan data, and similar data on products in progress. There is a production scheduling system that includes a host computer that performs a progress simulation over months and creates a long-term production plan when a desired result is obtained (see, for example, Patent Document 1).

例えば、ある時点以前の作業の実績に基づいて、その時点以後の日程計画を簡単に修正でき、且つ、各製品にかかる工程が日程計画通りに消化されているか否かを作業者に把握させることができる工程管理システムがある(例えば、特許文献2参照)。
特開平6−176030号公報 特開2003−303009号公報
For example, based on the work results before a certain point in time, the schedule after that point can be easily corrected, and the worker can grasp whether the process for each product is digested according to the schedule. There is a process management system that can do this (for example, see Patent Document 2).
JP-A-6-176030 JP 2003-30309 A

しかし、上述した背景技術には、以下に示すような問題がある。   However, the background art described above has the following problems.

一部の製品(ロット)のみの作業が遅れている場合でも、システム全体についてスケジュールの計算が行われるため、その計算に時間がかかる問題がある。   Even when work for only some products (lots) is delayed, the schedule is calculated for the entire system, and thus there is a problem that it takes time to calculate.

また、スケジュールの計算は予め決められたタイミングで行われるため、その変更に対して柔軟に対応できない問題がある。   Further, since the schedule is calculated at a predetermined timing, there is a problem that the change cannot be flexibly handled.

また、システムごとに予め決められた計算式により装置の能力や負荷は決定されるため、適用範囲に限界があり自由度が低い問題がある。   Moreover, since the capability and load of the apparatus are determined by a calculation formula determined in advance for each system, there is a problem that the application range is limited and the degree of freedom is low.

また、終了した工程から離れた工程では精度が悪く納期を確定できない問題がある。   In addition, there is a problem that the delivery date cannot be determined in a process away from the completed process due to poor accuracy.

そこで、本発明は、かかる事情に鑑み、変化に対して速い応答性を有する工程管理システム、工程管理方法、工程管理プログラムおよびそれを記録した記録媒体を提供することを目的とする。   Therefore, in view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a process management system, a process management method, a process management program, and a recording medium in which the process management system has a quick response to changes.

上記課題を解決するため、本発明にかかる工程管理システムは、複数の工程を経て製造される製品の各工程を管理するための工程管理システムであって、装置の作業終了時刻を検出する終了時刻検出手段と、各製品の処理の優先順位を決定する優先順位決定手段と、作業終了時刻および優先順位に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算する演算処理手段とを備えるものである。   In order to solve the above-described problems, a process management system according to the present invention is a process management system for managing each process of a product manufactured through a plurality of processes, and detects an end time of work of an apparatus. The apparatus includes a detection unit, a priority determination unit that determines the priority of processing of each product, and an arithmetic processing unit that calculates a work start time in each device based on the work end time and the priority.

このようにすることにより、スケジュールの変化に対して速く応答することができる。   In this way, it is possible to respond quickly to changes in the schedule.

さらに、演算処理手段は、装置毎に作業時間を求め、作業時間に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するようにしてもよい。   Further, the arithmetic processing means may obtain a work time for each device, and calculate a work start time in each device based on the work time.

さらに、演算処理手段は、少なくとも1つの装置に対して作業開始時刻のリミッタが設定されている場合に、リミッタに基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するようにしてもよい。   Furthermore, when the work start time limiter is set for at least one device, the arithmetic processing means may calculate the work start time in each device based on the limiter.

また、本発明にかかる工程管理方法は、複数の工程を経て製造される製品の各工程を管理するための工程管理方法であって、装置の作業終了時刻を検出するステップと、各製品の処理の優先順位を決定するステップと、作業終了時刻および優先順位に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するステップとを有する方法である。   The process management method according to the present invention is a process management method for managing each process of a product manufactured through a plurality of processes, the step of detecting the work end time of the apparatus, and the processing of each product And determining the work start time in each device based on the work end time and the priority order.

さらに、装置毎に作業時間を求め、前記作業時間に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するステップを有するようにしてもよい。   Furthermore, a step of obtaining a work time for each device and calculating a work start time in each device based on the work time may be provided.

さらに、少なくとも1つの装置に対して作業開始時刻のリミッタが設定されている場合に、リミッタに基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するステップを有するようにしてもよい。   Furthermore, when a work start time limiter is set for at least one device, a step of calculating the work start time in each device may be included based on the limiter.

また、本発明にかかる工程管理プログラムは、工程管理方法をコンピュータに実行させるものである。   A process management program according to the present invention causes a computer to execute a process management method.

また、本発明にかかるコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、工程管理プログラムを格納するものである。   A computer-readable recording medium according to the present invention stores a process management program.

本発明の実施例によれば、変化に対して速い応答性を有する工程管理システム、工程管理方法、工程管理プログラムおよびそれを記録した記録媒体を実現できる。   According to the embodiment of the present invention, it is possible to realize a process management system, a process management method, a process management program, and a recording medium recording the same, which have quick response to changes.

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を用い、繰り返しの説明は省略する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In all the drawings for explaining the embodiments, the same reference numerals are used for those having the same function, and repeated explanation is omitted.

初めに、本発明の実施例にかかる工程管理システムについて、図2を参照して説明する。   First, a process management system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施例にかかる工程管理システムは、例えば工場100に配置された装置110、装置120および装置130と、各装置110、120および130とオンライン接続された工程管理装置200とを備える。工場100では、装置110、120および130により、ロット、例えばロットA140、ロットC160の処理が行われる。   The process management system according to the present embodiment includes, for example, an apparatus 110, an apparatus 120, and an apparatus 130 disposed in a factory 100, and a process management apparatus 200 that is online-connected to each of the apparatuses 110, 120, and 130. In the factory 100, lots, for example, lot A140 and lot C160 are processed by the devices 110, 120, and 130.

工程管理装置200は、例えばホストコンピュータ200により構成され、データベース(database ; DB)300を備える。また、工程管理装置200は仮想的なシステムを構築し、装置110、120および130とオンライン連携された装置オブジェクト210、220および230を生成する。また、工程管理装置200は、ロットA140に対応するロットオブジェクトA240、ロットC160に対応するロットオブジェクトC260を生成する。   The process management apparatus 200 is configured by, for example, a host computer 200 and includes a database (DB) 300. In addition, the process management apparatus 200 constructs a virtual system and generates apparatus objects 210, 220, and 230 that are linked online with the apparatuses 110, 120, and 130. Further, the process management apparatus 200 generates a lot object A240 corresponding to the lot A140 and a lot object C260 corresponding to the lot C160.

次に、工場100に配置される装置110について説明する。装置120および130については、ロットに対する処理内容が異なる場合が有るが、装置110と同様の構成であるためその説明を省略する。   Next, the apparatus 110 arranged in the factory 100 will be described. The devices 120 and 130 may have different processing contents for the lot, but since they have the same configuration as the device 110, the description thereof is omitted.

装置110は、制御部112と、制御部112と接続された通信部111、記憶部113、開始時刻検出部114および終了時刻検出部115とを備える。   The apparatus 110 includes a control unit 112, a communication unit 111 connected to the control unit 112, a storage unit 113, a start time detection unit 114, and an end time detection unit 115.

開始時刻検出部114は、ロットの処理開始時刻を検出する。例えば、センサにより構成され、ロット投入時に、ロットがそのセンサを通過した時刻を検出し、その時刻をそのロットの処理開始時刻とする。また、例えば、装置110に備えられたバーコードリーダによりロットに貼り付けられたバーコードを読み取ることにより処理が開始される場合には、読み取られた時刻を検出し、その時刻をそのロットの処理開始時刻とするようにしてもよい。また、装置の処理開始ボタンが押された時刻を検出し、その時刻をそのロットの処理開始時刻とするようにしてもよい。   The start time detection unit 114 detects a lot processing start time. For example, it is constituted by a sensor, and when a lot is inserted, the time when the lot passes the sensor is detected, and the time is set as the processing start time of the lot. In addition, for example, when processing is started by reading a barcode attached to a lot by a barcode reader provided in the apparatus 110, the read time is detected and the processing time of the lot is detected. The start time may be set. Alternatively, the time when the processing start button of the apparatus is pressed may be detected, and that time may be used as the processing start time for the lot.

記憶部113は、装置名、工程名、処理内容に関するデータ、装置110を通信部111、開始時刻検出部114および終了時刻検出部115として機能させるためのプログラムなどを記憶する。   The storage unit 113 stores device names, process names, data related to processing contents, programs for causing the device 110 to function as the communication unit 111, the start time detection unit 114, and the end time detection unit 115, and the like.

ここで、このプログラムはコンピュータ読み取り可能な記録媒体、例えばCD−ROMなどに格納され、装置110に備えられたCD−ROMドライブを介して、磁気ディスク等に格納された後、メモリにロードされて実行される。なお、プログラムを記録する記録媒体はCD−ROM以外の他の記録媒体でも良い。   Here, this program is stored in a computer-readable recording medium such as a CD-ROM, and is stored in a magnetic disk or the like via a CD-ROM drive provided in the apparatus 110 and then loaded into a memory. Executed. The recording medium for recording the program may be a recording medium other than the CD-ROM.

終了時刻検出部115は、ロットの処理終了時刻を検出する。例えばセンサにより構成され、ロットの処理終了時に、そのセンサを通過した時刻を検出し、その時刻をそのロットの処理終了時刻とする。また、例えば、装置110に備えられたバーコードリーダによりロットに貼り付けられたバーコードを読み取ることにより処理が終了する場合には、読み取られた時刻を検出し、その時刻をそのロットの処理終了時刻とするようにしてもよい。   The end time detection unit 115 detects the processing end time of the lot. For example, it is constituted by a sensor, and at the end of the lot processing, the time when the lot is passed is detected, and the time is set as the processing end time of the lot. In addition, for example, when the process is completed by reading the barcode attached to the lot by the barcode reader provided in the apparatus 110, the read time is detected and the processing of the lot is completed. You may make it be time.

通信部111は、工程管理装置200との間の通信処理を行う。   The communication unit 111 performs communication processing with the process management apparatus 200.

制御部112は、CPU(Central Processing Unit)、メモリ、キャッシュメモリなどを備え、装置110全体の制御を行う。例えば、記憶部113に記憶されたプログラムをCPUが読み出して実行することにより制御を行う。   The control unit 112 includes a CPU (Central Processing Unit), a memory, a cache memory, and the like, and controls the entire apparatus 110. For example, the CPU performs control by reading and executing a program stored in the storage unit 113.

各装置110、120および130において、ロットの処理開始および処理終了というイベントが起こると、そのイベントが起きた装置はネットワークを介して、対応する装置オブジェクトに通知する。通知を受けた装置オブジェクトは、対応するロットオブジェクトに通知し、通知を受けたロットオブジェクトはDB300に、通知されたデータ、例えば現在の工程、装置、処理開始時刻、処理終了時刻、イベントの履歴などを書き込む。   In each device 110, 120, and 130, when an event of lot processing start and processing end occurs, the device in which the event has occurred notifies the corresponding device object via the network. The notified device object notifies the corresponding lot object, and the received lot object notifies the DB 300 of the notified data, for example, current process, device, processing start time, processing end time, event history, etc. Write.

次に、工程管理装置200について、図3を参照して説明する。   Next, the process management apparatus 200 will be described with reference to FIG.

工程管理装置200は、制御部260と、制御部260と接続された通信部270、演算処理部280、優先順位決定部285、記憶部290およびDB300とを備える。   The process management apparatus 200 includes a control unit 260, a communication unit 270 connected to the control unit 260, an arithmetic processing unit 280, a priority order determination unit 285, a storage unit 290, and a DB 300.

通信部270は、各装置110、120および130との間の通信処理を行う。   The communication unit 270 performs communication processing between the devices 110, 120, and 130.

演算処理部280は、各装置110、120および130において処理されたロット名、装置名、処理開始時間および処理終了時間などの情報を収集し、ロット毎に、各装置へ到着する予定時刻、処理開始時刻、装置での処理時間などを求める演算を行う。   The arithmetic processing unit 280 collects information such as a lot name, a device name, a processing start time, and a processing end time processed in each device 110, 120, and 130, and schedules the time and processing to arrive at each device for each lot. An operation for obtaining a start time, a processing time in the apparatus, and the like is performed.

優先順位決定部285は、各ロットの処理の優先順位を決定する。   The priority order determination unit 285 determines the priority order of processing of each lot.

記憶部290は、装置200を通信部270、演算処理部280および優先順位決定部285として機能させるためのプログラムなどを記憶する。   The storage unit 290 stores a program for causing the device 200 to function as the communication unit 270, the arithmetic processing unit 280, and the priority order determination unit 285.

ここで、このプログラムはコンピュータ読み取り可能な記録媒体、例えばCD−ROMなどに格納され、工程管理装置200に備えられたCD−ROMドライブを介して、磁気ディスク等に格納された後、メモリにロードされて実行される。なお、プログラムを記録する記録媒体はCD−ROM以外の他の記録媒体でも良い。   Here, this program is stored in a computer-readable recording medium, such as a CD-ROM, and stored in a magnetic disk or the like via a CD-ROM drive provided in the process management apparatus 200, and then loaded into a memory. To be executed. The recording medium for recording the program may be a recording medium other than the CD-ROM.

DB300は、後述するロットデータ保持テーブル300−1、履歴データ保持テーブル300−2および仕様データ保持テーブル300−3から構成され、ロット毎に、現在の工程、装置、イベントの履歴などを記憶する。   The DB 300 includes a lot data holding table 300-1, a history data holding table 300-2, and a specification data holding table 300-3, which will be described later, and stores the current process, device, event history, and the like for each lot.

制御部260は、CPU(Central Processing Unit)、メモリ、キャッシュメモリなどを備え、工程管理装置200全体の制御を行う。例えば、記憶部290に記憶されたプログラムをCPUが読み出して実行することにより制御を行う。   The control unit 260 includes a CPU (Central Processing Unit), a memory, a cache memory, and the like, and controls the entire process management apparatus 200. For example, the CPU performs control by reading and executing a program stored in the storage unit 290.

次に、工程管理装置200の演算処理部280の動作について、図4を参照して説明する。   Next, the operation of the arithmetic processing unit 280 of the process management apparatus 200 will be described with reference to FIG.

演算処理部280は、計算部282と、計算部282と接続された装置オブジェクト210、220および230と、計算部282と接続され、各装置オブジェクト210、220および230と接続可能であるロットオブジェクト240および250と、各装置オブジェクト210、220および230と接続された配送オブジェクト284と、各ロットオブジェクト240および250と接続されたロットコントローラ286−1、履歴コントローラ286−2および仕様コントローラ286−3とを生成する。   The arithmetic processing unit 280 includes a calculation unit 282, device objects 210, 220 and 230 connected to the calculation unit 282, and a lot object 240 connected to the calculation unit 282 and connectable to the respective device objects 210, 220 and 230. , 250, a delivery object 284 connected to each of the device objects 210, 220, and 230, and a lot controller 286-1, a history controller 286-2, and a specification controller 286-3 connected to each of the lot objects 240 and 250. Generate.

また、ロットコントローラ286−1はロットデータ保持テーブル300−1と接続され、履歴コントローラ286−2は履歴データ保持テーブル300−2と接続され、仕様コントローラ286−3は仕様データ保持テーブル300−3と接続される。   The lot controller 286-1 is connected to the lot data holding table 300-1, the history controller 286-2 is connected to the history data holding table 300-2, and the specification controller 286-3 is connected to the specification data holding table 300-3. Connected.

装置オブジェクト210、220および230は、工程管理装置200に備えられた通信ポート202を介して装置110、120および130とオンライン連携される。また、装置オブジェクト210、220および230は、装置110、120および130に対応し、各装置110、120および130において、ロットの処理開始および処理終了というイベントが生じた場合に、そのイベントの情報を収集する。   The device objects 210, 220, and 230 are linked online with the devices 110, 120, and 130 via the communication port 202 provided in the process management device 200. The device objects 210, 220, and 230 correspond to the devices 110, 120, and 130. When an event of lot processing start and processing end occurs in each device 110, 120, and 130, information on the event is displayed. collect.

ロットオブジェクト240および250は、ロットA140およびロットB150に対応する。イベントが生じたロットオブジェクトは、装置オブジェクトからイベントの情報を取得する。また、各ロットオブジェクト240、250は、ロットコントローラ286−1を介してロットデータ保持テーブル300−1にアクセスし、履歴コントローラ286−2を介して履歴データ保持テーブル300−2にアクセスし、仕様コントローラ286−3を介して仕様データ保持テーブル300−3にアクセスする。   Lot objects 240 and 250 correspond to lot A140 and lot B150. The lot object in which the event occurs acquires event information from the device object. Each of the lot objects 240 and 250 accesses the lot data holding table 300-1 via the lot controller 286-1, and accesses the history data holding table 300-2 via the history controller 286-2. The specification data holding table 300-3 is accessed via 286-3.

配送オブジェクトは、ロットオブジェクトを、処理が行われる装置オブジェクトに送る。すなわち、ロットオブジェクトと装置オブジェクトとの接続を行う。   The delivery object sends the lot object to the device object on which processing is performed. That is, the lot object and the device object are connected.

計算部282は、各装置110、120および130において処理されたロット名、装置名、処理開始時間、処理終了時間などの情報を、各装置オブジェクト210、220および230、各ロットオブジェクト240および250を介して収集し、ロット毎に、各装置での作業時間、各装置へ到着する予定時刻および処理開始時刻などの演算を行う。   The calculation unit 282 displays information such as the lot name, the device name, the processing start time, and the processing end time processed in each device 110, 120, and 130, the device objects 210, 220, and 230, and the lot objects 240 and 250. For each lot, operations such as work time in each device, scheduled time to arrive at each device, and processing start time are performed.

ロットコントローラ286−1、履歴コントローラ286−2および仕様コントローラ286−3は、ロットデータ保持テーブル300−1、履歴データ保持テーブル300−2および仕様データ保持テーブル300−3に対してデータの書き込みおよびデータの取り出しを行う。   The lot controller 286-1, the history controller 286-2, and the specification controller 286-3 write data and data to the lot data holding table 300-1, the history data holding table 300-2, and the specification data holding table 300-3. Take out.

ロットデータ保持テーブル300−1は、ロット毎に基板の枚数、基板の大きさ、現在の工程、現在の装置に関する情報を保管する。また、履歴データ保持テーブル300−2は、ロット毎に、今まで通ってきた装置、その装置での処理開始時刻、処理終了時刻に関する情報を保管する。また、仕様データ保持テーブル300−3は、各工程、各装置での処理内容を記録する。   The lot data holding table 300-1 stores information on the number of substrates, the size of the substrate, the current process, and the current apparatus for each lot. In addition, the history data holding table 300-2 stores information about a device that has been passed so far, a processing start time and a processing end time in the device, for each lot. The specification data holding table 300-3 records the processing contents in each process and each device.

一例として、ロットA140が、装置110において処理が行われた後、装置120に搬送される場合の演算処理部280での処理について説明する。   As an example, processing in the arithmetic processing unit 280 when the lot A 140 is processed in the apparatus 110 and then transferred to the apparatus 120 will be described.

この場合、ロットA140が装置110において処理が行われる間は、仮想システム上においても、装置オブジェクト210にロットオブジェクト240がある。すなわち、装置オブジェクト210とロットオブジェクト240とが接続された状態である。   In this case, while the lot A 140 is processed in the device 110, the lot object 240 is in the device object 210 even on the virtual system. That is, the device object 210 and the lot object 240 are connected.

各装置オブジェクト210、220および230は、保持しているロットオブジェクトを認識し、またロットオブジェクトは属している装置オブジェクトを認識する。   Each device object 210, 220, and 230 recognizes the lot object that is held, and the lot object recognizes the device object to which it belongs.

装置110において、ロットA140の処理が終了すると、通信ポート202を介して、その終了時刻がシステム上の装置オブジェクト210に通知される。通知された装置オブジェクト210は、計算部282にロットA140の処理の終了時刻を入力する。   When the processing of the lot A 140 is completed in the device 110, the end time is notified to the device object 210 on the system via the communication port 202. The notified device object 210 inputs the processing end time of the lot A 140 to the calculation unit 282.

計算部282は、各ロットオブジェクト240および250に対し、基板の枚数、基板の大きさに関するデータを要求し、各ロットオブジェクト240、250は各コントローラを介して、データベース300からデータを取り出し、計算部282に入力する。例えば、各ロットオブジェクト240および250はロットコントローラ286−1を介して、ロットデータ保持テーブル300−1にアクセスし、保管されているロット毎の基板の枚数、基板の大きさ、現在の工程、現在の装置に関する情報を取り出し、計算部282に入力する。また、計算部282は、装置オブジェクト210〜230に対し、処理時間を計算するための計算式を要求し、各装置オブジェクト210〜230は記憶部290に格納している計算式を計算部282に入力する。   The calculation unit 282 requests the lot objects 240 and 250 for data regarding the number of substrates and the size of the substrate. The lot objects 240 and 250 retrieve data from the database 300 via the controllers, and calculate the calculation unit. Input to 282. For example, each of the lot objects 240 and 250 accesses the lot data holding table 300-1 via the lot controller 286-1, and stores the number of substrates, the size of the substrate, the current process, the current Information regarding the device is extracted and input to the calculation unit 282. Further, the calculation unit 282 requests a calculation formula for calculating the processing time to the device objects 210 to 230, and each device object 210 to 230 sends the calculation formula stored in the storage unit 290 to the calculation unit 282. input.

次に、計算部282は、優先順位を変更するか否かについて判断する。   Next, the calculation unit 282 determines whether to change the priority order.

例えば、納期が近いロット、処理に急を要するロットなどに関しては処理の優先順位を高くする。優先順位は、納期以外の例えば工場の稼動状況、人員の配備状態などに基づいて決定するようにしてもよい。すなわち、各ロットの優先順位は工程、日程などにより変動させることができる。このようにすることにより、ある工程での処理の終了の度に優先順位が見直されるため、スケジュールの変化に対して速く応答することができる。   For example, the priority of processing is increased for a lot whose delivery date is close or a lot that requires rapid processing. Priorities may be determined based on, for example, factory operating conditions, personnel deployment status, etc. other than the delivery date. That is, the priority order of each lot can be changed according to the process, schedule, and the like. By doing so, the priority is reviewed every time processing in a certain process is completed, so that it is possible to respond quickly to changes in the schedule.

例えば、ロットA、Bが同じプロセスで処理される場合について説明する。図5に示すように、ロットA、Bが装置Xに到着するまでは、ロットAの優先順位は「高い」、納期は「余裕あり」に設定されており、ロットBの優先順位は「低い」、納期は「近い」に設定されている。装置XにおいてロットAおよびロットBがともに「待ち」状態である場合、ロットBの納期が「近い」ため、ロットBの優先順位をロットAより上げ、またはロットAの優先順位をロットBより下げロットBを先に装置Xに投入するように設定する。   For example, a case where lots A and B are processed by the same process will be described. As shown in FIG. 5, until the lots A and B arrive at the apparatus X, the priority order of the lot A is set to “high”, the delivery date is set to “allow”, and the priority order of the lot B is “low”. "Delivery date is set to" Close ". When lot A and lot B are both in the “waiting” state in apparatus X, the delivery date of lot B is “close”, so the priority of lot B is raised from lot A or the priority of lot A is lowered from lot B It is set so that the lot B is put into the apparatus X first.

次に、計算部282は、システム上の全ロットオブジェクトのデータ、装置オブジェクトのデータに基づいて、フォワードループによる計算を行う。   Next, the calculation unit 282 performs calculation by a forward loop based on the data of all lot objects and the data of device objects on the system.

このフォワードループについて具体的に説明する。   This forward loop will be specifically described.

初めに、作業時間の割り出しが行われる。本実施例では、基板の大きさ、枚数などのロットの構成状態、各装置への負荷、段取りなどによって各装置における作業時間の計算方法が異なる。このため、これらのパラメータに基づいて装置毎に計算方式を変えて計算が行われる。また、計算方式は、各工程、装置、ロットなどにより変更可能である。このようにすることにより、システム毎に計算方式が決まっている従来の工程管理システムに比べ、装置毎に作業時間などを計算できるため装置の能力や負荷に対するパラメータ設定の自由度を高めることができる。   First, work time is determined. In this embodiment, the calculation method of the working time in each apparatus differs depending on the lot configuration state such as the size and number of substrates, the load on each apparatus, and the setup. For this reason, the calculation is performed by changing the calculation method for each device based on these parameters. The calculation method can be changed according to each process, apparatus, lot, and the like. By doing so, compared to the conventional process management system in which the calculation method is determined for each system, the work time and the like can be calculated for each device, so that the capability of the device and the freedom of parameter setting for the load can be increased. .

図6を参照して説明する。ロットAは、基板の大きさが小さく、その基板の搭載枚数が8枚であり、ロットBは基板の大きさが大きく、その基板の搭載枚数が4枚である。   This will be described with reference to FIG. In lot A, the size of the substrate is small and the number of mounted substrates is 8, and in lot B, the size of the substrate is large and the number of mounted substrates is 4.

例えば、装置Xでは、基板の大きさ×枚数/装置の負荷を計算方式として採用しており、ロットAの作業時間は45分、ロットBの作業時間は1時間15分と計算される。また、装置Yでは、基板の大きさ+枚数×装置の負荷を計算方式として採用しており、ロットAの作業時間は2時間、ロットBの作業時間は1時間30分と計算される。また、装置Zでは、枚数×装置の負荷+段取り時間を計算方式として採用しており、ロットAの作業時間は1時間30分、ロットBの作業時間は2時間2分と計算される。   For example, in the apparatus X, the size of the substrate × the number of sheets / the load of the apparatus is adopted as the calculation method, and the work time of the lot A is calculated as 45 minutes and the work time of the lot B is calculated as 1 hour 15 minutes. In addition, the apparatus Y adopts the size of the substrate + the number of sheets × the load of the apparatus as a calculation method, and the work time of the lot A is calculated as 2 hours and the work time of the lot B is calculated as 1 hour 30 minutes. In the apparatus Z, the number of sheets × the load of the apparatus + the setup time is adopted as a calculation method, and the work time of lot A is calculated as 1 hour 30 minutes, and the work time of lot B is calculated as 2 hours 2 minutes.

次に、求められた作業時間に基づいて、予想到着時刻の計算が行われる。   Next, the expected arrival time is calculated based on the obtained work time.

実際の工場の現場では、予測時間通りにロットが流れるわけではない。このため、ロットが装置から払い出される度に再計算が行われる。このようにすることにより、変化に対して早く応答することができる。また、スケジュールの変更がある場合には、その変更に対して再計算を行うことができ、予め決められたタイミングでスケジュールの計算が行われる従来の工程管理システムに比べ、変更に対して柔軟に対応できる。また、ある工程での作業時間が予測と異なる場合でも、それ以降の工程に対して柔軟に対応できる。   In actual factory sites, lots do not flow as expected. For this reason, recalculation is performed each time a lot is paid out from the apparatus. By doing so, it is possible to respond quickly to changes. In addition, if there is a change in the schedule, the calculation can be recalculated, and the change can be made more flexible than the conventional process management system in which the schedule is calculated at a predetermined timing. Yes. Further, even when the work time in a certain process is different from the prediction, it is possible to flexibly cope with the subsequent processes.

例えば、ロットAが、装置X、装置Y、装置Zの順に処理される場合について説明する。   For example, a case where lot A is processed in the order of apparatus X, apparatus Y, and apparatus Z will be described.

当初のスケジュールでは、図7に示すように予想到達時刻および作業時間が、装置Xについては7:00および1時間、装置Yについては8:00および1.5時間、装置Zについては9:30および2時間である。ここで、ロットが装置に投入され、作業が終了した時刻を次の装置への予想到達時刻とする。   In the initial schedule, as shown in FIG. 7, the expected arrival time and working time are 7:00 and 1 hour for apparatus X, 8:00 and 1.5 hours for apparatus Y, and 9:30 for apparatus Z. And 2 hours. Here, the time when the lot is put into the apparatus and the work is completed is set as the expected arrival time for the next apparatus.

しかし、装置Xでの作業時間は1時間と計算されていたが、実際には3時間かかり、10:00に装置Xから払い出された。この場合、再計算が行われ、装置Xの作業終了時刻が10:00、装置Yへの予想到達時刻が10:00、装置Zへの予想到達時刻が11:30に、装置Yおよび装置Zの予想到達時刻が修正される。ここで、再計算は、作業時刻と優先順位に基づいて行われる。   However, although the working time in the apparatus X was calculated as 1 hour, it actually took 3 hours and was paid out from the apparatus X at 10:00. In this case, recalculation is performed, the work end time of the device X is 10:00, the expected arrival time to the device Y is 10:00, the expected arrival time to the device Z is 11:30, the devices Y and Z The expected arrival time is corrected. Here, the recalculation is performed based on the work time and priority.

また、予想到達時刻の計算が行われる場合、優先順位が低いものに関しては、予想到達時刻が発散または現在の時刻よりかなり先になってしまう場合がある。このため、リミッタを設け、一定の時間を超えて予想到達時刻が計算されると、後述するバックループにより、最後の工程から再計算が行われる。バックループにより再計算が行われた場合においても、一定の時間を超える場合には、再度フォワードループにより再計算が行われる。これらのフォワードループおよびバックループによる再計算の繰り返しを常に行うことにより最適化を行う。このようにすることにより、先頭工程から計算するフォワードループと、最終工程から計算するバックループを交互に行い、安定点を保つように常に再計算を行うことができるため、スケジュールの変更に対して柔軟に対応できる。また、リミッタを設けたことにより、例えば計算式を変更した場合など、前後の工程が互いに影響し合い収束しない場合においても発散しないようにできる。   Further, when the predicted arrival time is calculated, the predicted arrival time may diverge or become much earlier than the current time for those with a low priority. For this reason, when a limiter is provided and the expected arrival time is calculated beyond a certain time, recalculation is performed from the last step by a back loop described later. Even when recalculation is performed by the back loop, if a predetermined time is exceeded, recalculation is performed again by the forward loop. Optimization is performed by always repeating recalculation by the forward loop and the back loop. By doing this, the forward loop calculated from the first process and the back loop calculated from the last process can be alternately performed, and recalculation can be performed constantly to maintain a stable point. It can respond flexibly. Further, by providing the limiter, for example, when the calculation formula is changed, it is possible to prevent divergence even when the preceding and succeeding processes influence each other and do not converge.

例えば、ロットA、ロットB、ロットCおよびロットDが、装置1、装置2、装置3、装置4の順に処理される場合を例として説明する。   For example, a case where lot A, lot B, lot C, and lot D are processed in the order of apparatus 1, apparatus 2, apparatus 3, and apparatus 4 will be described as an example.

各ロットの各装置における作業時間を図8に示す。装置1、装置2、装置3および装置4での処理時間は、ロットAについては2時間、2時間、1時間および1時間であり、ロットBについては1時間、2時間、1時間および1時間であり、ロットCについては1時間、1時間、1時間および1時間であり、ロットDについては2時間、2時間、2時間および2時間である。   The work time in each device of each lot is shown in FIG. The processing time in apparatus 1, apparatus 2, apparatus 3 and apparatus 4 is 2 hours, 2 hours, 1 hour and 1 hour for lot A, and 1 hour, 2 hours, 1 hour and 1 hour for lot B. For lot C, 1 hour, 1 hour, 1 hour and 1 hour, and for lot D 2 hours, 2 hours, 2 hours and 2 hours.

これらの作業時間に基づいて、予想到達時刻の計算が行われる。ロットA、ロットB、ロットC、ロットDの順に処理が行われた場合には、図9に示すように装置1、装置2、装置3、装置4および倉庫への予想到達時刻は、ロットAについては7:00、9:00、11:00、12:00および13:00であり、ロットBについては7:00、10:00、13:00、14:00および15:00であり、ロットCについては7:00、12:00、13:00、15:00および16:00であり、ロットDについては7:00、14:00、16:00、18:00および20:00である。   Based on these work times, the expected arrival time is calculated. When the processing is performed in the order of lot A, lot B, lot C, and lot D, as shown in FIG. 9, the expected arrival time to the apparatus 1, the apparatus 2, the apparatus 3, the apparatus 4, and the warehouse is the lot A Is about 7:00, 9:00, 11:00, 12:00 and 13:00, and for lot B is 7:00, 10:00, 13:00, 14:00 and 15:00, The lot C is 7:00, 12:00, 13:00, 15:00 and 16:00, and the lot D is 7:00, 14:00, 16:00, 18:00 and 20:00 is there.

ここで、ロットDが19:00までに倉庫に到着する必要がある場合には、19:00に装置4での加工を終了する必要がある。この場合、装置4での作業時間は2時間であるので17:00までに装置4での作業を開始する必要がある。すなわち、装置4での作業開始時刻のリミットが17:00となる。   Here, when the lot D needs to arrive at the warehouse by 19:00, it is necessary to finish the processing in the apparatus 4 at 19:00. In this case, since the work time in the apparatus 4 is 2 hours, it is necessary to start the work in the apparatus 4 by 17:00. That is, the limit of the work start time in the apparatus 4 is 17:00.

そこで、装置4の予想到達時刻を17:00としてバックループにより最後から計算を行う。その結果、図10に示すように、ロットDについて、装置1、装置2、装置3、装置4および倉庫への予想到達時刻は、7:00、13:00、15:00、17:00および19:00に変更される。ここで、ロットDを装置2に13:00に到着させるためには、装置1の作業を13:00までに終了させることが必要であり、このためには装置1での作業時間が2時間であるため、11:00までに投入する必要があることがわかる。しかし、11時には、ロットCが装置1に投入されるようにスケジューリングされている。このため、フォワードループによる再計算を行うことにより、ロットA、ロットBおよびロットCの少なくとも1つが修正される。   Therefore, the expected arrival time of the apparatus 4 is set to 17:00, and calculation is performed from the end by a back loop. As a result, as shown in FIG. 10, with respect to lot D, the expected arrival times for device 1, device 2, device 3, device 4 and the warehouse are 7:00, 13:00, 15:00, 17:00 and It is changed to 19:00. Here, in order to make the lot D arrive at the apparatus 2 at 13:00, it is necessary to finish the work of the apparatus 1 by 13:00. For this purpose, the work time in the apparatus 1 is 2 hours. Therefore, it can be seen that it is necessary to input by 11:00. However, at 11 o'clock, the lot C is scheduled to be loaded into the apparatus 1. For this reason, at least one of lot A, lot B, and lot C is corrected by performing recalculation by the forward loop.

その結果、図11に示すように、装置1、装置2、装置3、装置4への予想到達時刻および作業開始時刻、および倉庫への予想到達時刻は、ロットAについて7:00および9:00、11:00および11:00、13:00および13:00、14:00および14:00、および15:00となり、ロットBについて7:00および8:00、9:00および9:00、11:00および11:00、12:00および12:00、および13:00となり、ロットCについて7:00および7:00、8:00および8:00、9:00および9:00、10:00および10:00、および11:00となり、ロットDについて7:00および11:00、13:00および13:00、15:00および15:00、17:00および17:00、および19:00となる。このように、フォワードループとバックループとを繰り返す。   As a result, as shown in FIG. 11, the expected arrival time and work start time for apparatus 1, apparatus 2, apparatus 3, and apparatus 4 and the estimated arrival time for the warehouse are 7:00 and 9:00 for lot A. 11:00 and 11:00, 13:00 and 13:00, 14:00 and 14:00, and 15:00, and for lot B, 7:00 and 8:00, 9:00 and 9:00, 11:00 and 11:00, 12:00 and 12:00, and 13:00, and 7:00 and 7:00, 8:00 and 8:00, 9:00 and 9:00 and 10 for lot C 0:00 and 10:00, and 11:00, and lot D is 7:00 and 11:00, 13:00 and 13:00, 15:00 and 15:00, 17:00 The preliminary 17:00 and 19:00. In this way, the forward loop and the back loop are repeated.

計算が終了すると、計算部282は、その結果を各装置オブジェクト210〜230に入力し、各装置オブジェクト210〜230は、ポート202を介して装置110、120および130に送信する。装置110、120および130は、受信したスケジュールにしたがって処理を行う。各装置110、120および130は表示装置(図示なし)にロットの予想到達時刻を表示する。このように、各装置110、120および130に具体的な日時が渡されるため、各ロットの予想到達時刻を一瞥しただけでわかるようにできる。   When the calculation is completed, the calculation unit 282 inputs the result to each device object 210 to 230, and each device object 210 to 230 transmits the result to the devices 110, 120, and 130 via the port 202. The devices 110, 120, and 130 perform processing according to the received schedule. Each device 110, 120 and 130 displays the expected arrival time of the lot on a display device (not shown). In this way, since specific dates and times are passed to the devices 110, 120, and 130, it is possible to understand the information by simply looking at the expected arrival time of each lot.

ロットA140が、装置120に搬送されると、ロットオブジェクト240は装置オブジェクト220に移動する。すなわち、図12に示すように、ロットオブジェクト240と装置オブジェクト210との接続が解除され、装置オブジェクト220と接続される。   When the lot A 140 is conveyed to the apparatus 120, the lot object 240 moves to the apparatus object 220. That is, as shown in FIG. 12, the connection between the lot object 240 and the device object 210 is released and the device object 220 is connected.

この場合、ロットオブジェクト240は、装置オブジェクト210で処理が終了したことを認識すると、仕様コントローラ286−3を介して、次の工程のデータすなわち装置120の仕様を、仕様データ保持テーブル300−3から取り出す。   In this case, when the lot object 240 recognizes that the processing has been completed in the device object 210, the data of the next process, that is, the specification of the device 120 is transferred from the specification data holding table 300-3 via the specification controller 286-3. Take out.

次に、装置オブジェクト210は配送オブジェクト284を通じて、ロットオブジェクト240を装置オブジェクト220へと送る。このとき、装置オブジェクト240とロットオブジェクト220とが接続される。この場合においてもロットオブジェクト240は装置オブジェクト220と接続していることを認識し、装置オブジェクト220はロットオブジェクト240と接続していることを認識する。   Next, the device object 210 sends the lot object 240 to the device object 220 through the delivery object 284. At this time, the device object 240 and the lot object 220 are connected. Even in this case, the lot object 240 recognizes that it is connected to the device object 220, and the device object 220 recognizes that it is connected to the lot object 240.

次に、工程管理装置200の動作について、図13を参照して説明する。   Next, the operation of the process management apparatus 200 will be described with reference to FIG.

装置110、120および130は、所定の工程の処理が終了するとその処理終了時刻を工程管理装置200に送信する。装置110、120および130から信号を受信すると(ステップS1302)、工程管理装置200の仮想システム内の装置オブジェクト210〜230は受信した情報を計算部282に入力する。   The apparatuses 110, 120, and 130 transmit the process end time to the process management apparatus 200 when the process of the predetermined process ends. When signals are received from the devices 110, 120, and 130 (step S 1302), the device objects 210 to 230 in the virtual system of the process management device 200 input the received information to the calculation unit 282.

次に、計算部282は、各ロットオブジェクト240、250および各装置オブジェクト210、220、230より、計算に必要なデータを収集する(ステップS1304)。   Next, the calculation unit 282 collects data necessary for calculation from the lot objects 240 and 250 and the device objects 210, 220, and 230 (step S1304).

次に、計算部282は、処置の優先順位を変更する必要があるか否かを判断する(ステップS1306)。   Next, the calculation unit 282 determines whether or not it is necessary to change the priority of treatment (step S1306).

優先順位を変える必要がある場合には(ステップS1306:YES)、優先順位を変える必要のあるロットの優先順位を変動させる(ステップS1308)。   When it is necessary to change the priority (step S1306: YES), the priority of the lot whose priority needs to be changed is changed (step S1308).

次に、優先順位に違いがあるか否かについて判断する(ステップS1310)。優先順位に違いがある場合(ステップS1310:YES)、優先順位の高いロットから作業を行うように設定する。ここで、優先順位の高いロットに関しては、フォワードループ、バックループともに影響を受けずに結果を固定する。すなわち、一番優先順位が高いロットについてはどの装置においても、一番初めに装置を通すようにし、二番目に優先順位が高いロットは、優先順位が一番高いロットが通過したあとで、一番目に通すように設定する(ステップS1312)。   Next, it is determined whether or not there is a difference in priority (step S1310). If there is a difference in the priority order (step S1310: YES), it is set so that the work is performed from the lot with the higher priority order. Here, for a lot with high priority, the result is fixed without being affected by both the forward loop and the back loop. In other words, the lot with the highest priority is passed through the device first in any device, and the lot with the second highest priority is passed after the lot with the highest priority passes. It is set so as to pass through (th step S1312).

優先順位に違いがない場合(ステップS1310:NO)、システムでランダムに選び出したロットから計算を始めるように設定する(ステップS1314)。   If there is no difference in the priority order (step S1310: NO), the calculation is set to start from a lot randomly selected by the system (step S1314).

次に、計算を開始する(ステップS1316)。すなわち、フォワードループによる計算を行う。   Next, calculation is started (step S1316). That is, the calculation by the forward loop is performed.

次に、リミッタ作動時間を超えているロットがあるか否かを判断する(ステップS1318)。   Next, it is determined whether or not there is a lot that exceeds the limiter operating time (step S1318).

リミッタ作動時間を超えているロットがある場合(ステップS1318:YES)、リミッタ作動時間を超えているロットの作業時間を超えないように強制的に、予想到着時刻を設定する(ステップS1320)。ここで、優先順位が高いロットに関しては、自ロットより優先順位が下位のロットがリミッタ作動時間を超えた場合においても、一度計算された結果に変動はないようにする。   If there is a lot that exceeds the limiter operating time (step S1318: YES), an expected arrival time is forcibly set so as not to exceed the working time of the lot that exceeds the limiter operating time (step S1320). Here, with respect to a lot having a high priority, even if a lot having a lower priority than the own lot exceeds the limiter operating time, the result once calculated is not changed.

リミッタ作動時間を超えているロットがない場合(ステップS1318:NO)、装置オブジェクトに結果を通知する(ステップS1322)。   If there is no lot exceeding the limiter operating time (step S1318: NO), the result is notified to the device object (step S1322).

次に、バックループによる計算を行う(S1324)。   Next, a back loop calculation is performed (S1324).

次に、同じ時刻に重なっているロットがあるか否かについて調べる(ステップS1326)。すなわち、同じ時刻に1つの装置を通るロットが複数ないか、同じ時刻に1つの装置で複数のロットの作業が開始されていないか、あるいはあるロットが作業中である場合に別のロットがその装置で作業を開始するようになっていないかを調べる。   Next, it is examined whether there are lots overlapping at the same time (step S1326). In other words, if there are not multiple lots that pass through a single device at the same time, work on multiple lots has not been started on a single device at the same time, or another lot is Check if the device is ready to start work.

同じ時刻に重なっているロットがある場合(ステップS1326:YES)、重なっているロットの時間、例えば予想到達時刻、作業開始時刻をずらす処理を行う(ステップS1330)。この場合、自ロットより優先順位が同位であるロット、あるいは下位のロットの時間をずらす。   If there are overlapping lots at the same time (step S1326: YES), processing for shifting the time of the overlapping lots, for example, the expected arrival time and the work start time is performed (step S1330). In this case, the time of the lot having the same priority or the lower lot is shifted from the own lot.

一方、同じ時刻に重なっているロットがない場合(ステップS1326:NO)、装置オブジェクトに結果を通知する(ステップS1328)。   On the other hand, if there is no lot overlapping at the same time (step S1326: NO), the result is notified to the device object (step S1328).

次に、ステップS1316に戻り、フォワードループによる計算が行われる。この場合、ステップS1324において行われたバックループによる計算結果に基づいて、フォワードループによる計算が行われる。また、バックループによる計算で時間が重なり、時間がずらされた場合には、その時間に合うように調整が行われる。また、時間が重ならない場合には空白の時間、例えば、ロットが到達し、かつ装置で作業中のロットがない状態にも関わらず作業が開始されない状態である時間がないか調べ、同様に調整する。このフォワードループによる計算が終了すると、調整された時間がリミッタ作動時間を超えているロットがあるか否かを調べ(ステップS1318)、バックループによる計算が行われる。   Next, it returns to step S1316 and the calculation by a forward loop is performed. In this case, the calculation by the forward loop is performed based on the calculation result by the back loop performed in step S1324. In addition, when the time overlaps in the calculation by the back loop and the time is shifted, the adjustment is performed to match the time. Also, if the time does not overlap, check whether there is a blank time, for example, the time when the lot has arrived and the work is not started despite the fact that there is no lot being worked on in the equipment, and adjust in the same way To do. When the calculation by the forward loop is completed, it is checked whether there is a lot whose adjusted time exceeds the limiter operating time (step S1318), and the calculation by the back loop is performed.

本実施例では、ある工程が終了した場合に、その後ロットが通過する全ての装置に予想到達時刻が通知される場合について説明したが、新規のロットが投入された場合においてもその後ロットが通過する全ての装置に予想到達時刻が通知される。   In the present embodiment, the case where the expected arrival time is notified to all the devices through which the lot passes after the completion of a certain process has been described. However, even when a new lot is inserted, the lot passes thereafter. All devices are notified of the expected arrival time.

上述した実施例においては、3台の装置を備えた工程管理システムについて説明したが、3台以上の装置を備えた場合でも同様に構成することにより工程管理システムを実現できる。   In the above-described embodiments, the process management system including three apparatuses has been described. However, even when three or more apparatuses are provided, the process management system can be realized by configuring similarly.

以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において様々な変形・変更が可能である。   Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and various modifications and changes can be made within the scope described in the claims.

本発明は、各工程を最適化する工程管理システムに適用できる。   The present invention can be applied to a process management system that optimizes each process.

最適化問題を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating an optimization problem. 本実施例にかかる工程管理システムを説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the process management system concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the process management apparatus concerning a present Example. 本実施例にかかる工程管理装置の動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating operation | movement of the process management apparatus concerning a present Example.

符号の説明Explanation of symbols

100 工場
110、120、130 装置
200 工程管理装置
240、250 ロットオブジェクト
100 Factory 110, 120, 130 Device 200 Process management device 240, 250 Lot object

Claims (8)

複数の工程を経て製造される製品の各工程を管理するための工程管理システムであって、
前記装置の作業終了時刻を検出する終了時刻検出手段と、
各製品の処理の優先順位を決定する優先順位決定手段と、
前記作業終了時刻および前記優先順位に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算する演算処理手段と
を備えることを特徴とする工程管理システム。
A process management system for managing each process of a product manufactured through a plurality of processes,
End time detecting means for detecting the work end time of the device;
A priority determining means for determining the processing priority of each product;
A process management system comprising: arithmetic processing means for calculating a work start time in each device based on the work end time and the priority order.
請求項1に記載の工程管理システムにおいて、
前記演算処理手段は、装置毎に作業時間を求め、前記作業時間に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算することを特徴とする工程管理システム。
In the process management system according to claim 1,
The process processing system characterized in that the arithmetic processing means obtains a work time for each device and calculates a work start time in each device based on the work time.
請求項1または2に記載の工程管理システムにおいて、
前記演算処理手段は、少なくとも1つの装置に対して作業開始時刻のリミッタが設定されている場合に、前記リミッタに基づいて、各装置における作業開始時刻を計算することを特徴とする工程管理システム。
In the process management system according to claim 1 or 2,
The process management system characterized in that the arithmetic processing means calculates a work start time in each device based on the limiter when a work start time limiter is set for at least one device.
複数の工程を経て製造される製品の各工程を管理するための工程管理方法であって、
前記装置の作業終了時刻を検出するステップと、
各製品の処理の優先順位を決定するステップと、
前記作業終了時刻および前記優先順位に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するステップと
を有することを特徴とする工程管理方法。
A process management method for managing each process of a product manufactured through a plurality of processes,
Detecting a work end time of the device;
Determining the processing priority of each product;
And a step of calculating a work start time in each device based on the work end time and the priority order.
請求項4に記載の工程管理方法において、
装置毎に作業時間を求め、前記作業時間に基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するステップ
を有することを特徴とする工程管理方法。
In the process management method according to claim 4,
A process management method comprising: calculating a work time for each device and calculating a work start time in each device based on the work time.
請求項4または5に記載の工程管理方法において、
少なくとも1つの装置に対して作業開始時刻のリミッタが設定されている場合に、前記リミッタに基づいて、各装置における作業開始時刻を計算するステップ
を有することを特徴とする工程管理方法。
In the process management method according to claim 4 or 5,
A process management method comprising: calculating a work start time in each device based on the limiter when a work start time limiter is set for at least one device.
請求項4ないし6のいずれか1項に記載の工程管理方法をコンピュータに実行させるための工程管理プログラム。   A process management program for causing a computer to execute the process management method according to claim 4. 請求項7に記載の工程管理プログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
A computer-readable recording medium storing the process management program according to claim 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009104399A (en) * 2007-10-23 2009-05-14 Toshiba Corp Manufacturing support system for product, manufacturing system for product, manufacturing support method for product and manufacturing method for product
JP2019168763A (en) * 2018-03-22 2019-10-03 三菱電機株式会社 Operation start condition conversion device and operation start condition conversion method

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