JP2005345142A - Device and method for inspecting chip component - Google Patents

Device and method for inspecting chip component Download PDF

Info

Publication number
JP2005345142A
JP2005345142A JP2004162110A JP2004162110A JP2005345142A JP 2005345142 A JP2005345142 A JP 2005345142A JP 2004162110 A JP2004162110 A JP 2004162110A JP 2004162110 A JP2004162110 A JP 2004162110A JP 2005345142 A JP2005345142 A JP 2005345142A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip component
threshold
chip
luminance
measurement area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004162110A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Takeshima
悟 竹島
Naoki Takeshima
直樹 竹島
Mutsuo Sasaki
睦夫 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2004162110A priority Critical patent/JP2005345142A/en
Publication of JP2005345142A publication Critical patent/JP2005345142A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for inspecting a chip component capable of inspecting easily the chip component of an inspection object by brightness thereof. <P>SOLUTION: This inspection device 2 is provided with an outer shape area determining part 7 for determining an outer shape area of the chip component 1 on the basis of an image signal of the chip component 1 imaged by a camera 6, a brightness measuring area setting part 8 for setting a brightness measuring area in response to the outer shape area of the chip component 1 determined by the outer shape area determining part 7, an average brightness computing part 9 for computing an average brightness value in the brightness measuring area, a threshold value setting part 11 for setting an upper limit threshold value and a lower limit threshold value by adding and subtracting an upper limit off-set value and a lower limit off-set value to/from the computed average brightness value, a binarization image processing 12 for binarization-processing the image signal of the chip component 1, based on the upper limit threshold value and the lower limit threshold value set by the threshold value setting part 11, and a monitor 14 for displaying the binarization-processed image signal. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、チップ部品の検査用装置及び検査方法に関する。   The present invention relates to a chip component inspection apparatus and inspection method.

チップ部品の外観検査として、チップ部品の素体に、ワレ、カケがないか、未剥離のカケがないか、表面に異物が付着していないか、クラックが生じていないか等の項目が検査されている。そして、このような分野の技術としては、特開平7−190739号公報に記載の技術がある。この公報に開示されたチップの検査用装置においては、比較基準用チップを用意し、比較基準用チップ及び検査対象チップの画像を複数の照明レベルで取得し、比較基準用チップの平均濃淡レベルと検査対象チップの平均濃淡レベルとの差をオフセットする補正を行って、チップ部品を検査している。
特開平7−190739号公報
As an appearance inspection of chip parts, items such as chipping, chipping, unpeeled chipping, foreign matter adhering to the surface, or cracks are inspected. Has been. As a technique in such a field, there is a technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 7-190739. In the chip inspection apparatus disclosed in this publication, a comparison reference chip is prepared, images of the comparison reference chip and the inspection target chip are acquired at a plurality of illumination levels, and the average gray level of the comparison reference chip is calculated. The chip component is inspected by performing correction for offsetting the difference from the average gray level of the inspection target chip.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-190739

しかしながら、上述のような検査用装置では、比較基準用チップを必要とし、しかも、照明の照度等の撮像条件が変化すると、比較基準用チップの基準画像を撮像し直す必要がある。また、照明レベルを切り換える必要もある。そのため、検査は煩雑であった。   However, the inspection apparatus as described above requires a comparison reference chip, and if the imaging conditions such as the illumination intensity change, it is necessary to re-image the reference image of the comparison reference chip. It is also necessary to switch the illumination level. Therefore, the inspection was complicated.

そこで、本発明は、検査対象となるチップ部品を簡易に検査することができるチップ部品の検査用装置及び検査方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a chip component inspection apparatus and inspection method that can easily inspect a chip component to be inspected.

本発明に係るチップ部品の検査用装置は、検査対象となるチップ部品の画像信号から、チップ部品における輝度測定エリアの平均輝度値を演算する平均輝度演算手段と、平均輝度演算手段によって演算された平均輝度値に基づいて、閾値を設定する閾値設定手段と、閾値設定手段によって設定された閾値に基づいて、チップ部品の画像信号を2値化処理する2値化画像処理手段とを備えることを特徴とする。   The chip component inspection apparatus according to the present invention is calculated by the average luminance calculation means for calculating the average luminance value of the luminance measurement area in the chip component and the average luminance calculation means from the image signal of the chip component to be inspected. A threshold setting unit configured to set a threshold based on the average luminance value; and a binarized image processing unit configured to binarize the image signal of the chip component based on the threshold set by the threshold setting unit. Features.

このチップ部品の検査用装置によれば、検査対象となるチップ部品の個体差によりチップ部品ごとに輝度が異なっていても、チップ部品ごとにその平均輝度値に基づいて閾値が設定されるため、チップ部品の輝度の変化に影響を受けずに、チップ部品の検査を行うことができる。したがって、閾値が固定的に設定されている場合よりも誤判定は低減され、チップ部品の検査を適正に行うことができる。このとき、検査対象となるチップ部品とは別途に比較基準用チップは特に必要とされないため、高速処理にも適している。   According to this chip component inspection apparatus, even if the brightness is different for each chip component due to individual differences of the chip components to be inspected, the threshold is set based on the average luminance value for each chip component. Chip components can be inspected without being affected by changes in luminance of the chip components. Therefore, erroneous determination is reduced as compared with the case where the threshold value is fixedly set, and the chip component can be properly inspected. At this time, since a comparison reference chip is not particularly required separately from the chip component to be inspected, it is suitable for high-speed processing.

また、上記のチップ部品の検査用装置において、チップ部品の画像信号から、チップ部品の外形の領域を判定する外形領域判定手段と、外形領域判定手段によって判定されたチップ部品の外形の領域に応じて、輝度測定エリアを設定する輝度測定エリア設定手段とをさらに備えると好適である。この構成により、チップ部品の外形の大きさ或いは形状が異なっても、そのチップ部品の外形に応じて輝度測定エリアが設定されるため、チップ部品の検査を適正に行うことができる。   Further, in the above-described chip component inspection apparatus, an outer region determination unit that determines an outer region of the chip component from the image signal of the chip component, and an outer region of the chip component determined by the outer region determination unit It is preferable to further include a luminance measurement area setting means for setting the luminance measurement area. With this configuration, even if the size or shape of the outer shape of the chip component is different, the luminance measurement area is set according to the outer shape of the chip component, so that the chip component can be properly inspected.

また、本発明に係るチップ部品の検査方法は、検査対象となるチップ部品の画像信号から、チップ部品における輝度測定エリアの平均輝度値を演算する平均輝度演算ステップと、平均輝度演算ステップにおいて演算された平均輝度値に基づいて、閾値を設定する閾値設定ステップと、閾値設定ステップによって設定された閾値に基づいて、チップ部品の画像信号を2値化処理する2値化画像処理ステップとを含むことを特徴とする。   The chip component inspection method according to the present invention is calculated in an average luminance calculation step for calculating an average luminance value of a luminance measurement area in the chip component from an image signal of the chip component to be inspected, and an average luminance calculation step. A threshold setting step for setting a threshold based on the average brightness value, and a binarized image processing step for binarizing the image signal of the chip component based on the threshold set by the threshold setting step. It is characterized by.

このチップ部品の検査方法によれば、検査対象となるチップ部品の個体差によりチップ部品ごとに輝度が異なっても、チップ部品ごとにその平均輝度値に基づいて閾値が設定されるため、チップ部品の輝度の変化に影響を受けずに、チップ部品の検査を行うことができる。したがって、閾値が固定的に設定されている場合よりも誤判定は低減され、チップ部品の検査を適正に行うことができる。このとき、検査対象となるチップ部品とは別途に比較基準用チップは特に必要とされないため、高速処理にも適している。   According to this chip component inspection method, even if the luminance differs for each chip component due to individual differences in the chip components to be inspected, the threshold is set based on the average luminance value for each chip component. Chip components can be inspected without being affected by changes in luminance. Accordingly, erroneous determination is reduced as compared with the case where the threshold value is fixedly set, and the chip component can be properly inspected. At this time, since a comparison reference chip is not particularly required separately from the chip component to be inspected, it is suitable for high-speed processing.

また、本発明に係るチップ部品の検査方法は、検査対象となるチップ部品の画像信号から、チップ部品の外形の領域を判定する外形領域判定ステップと、外形領域判定ステップにおいて判定されたチップ部品の外形の領域に応じて、輝度測定エリアを設定する輝度測定エリア設定ステップと、チップ部品における輝度測定エリアの平均輝度値を演算する平均輝度演算ステップと、平均輝度演算ステップにおいて演算された平均輝度値に基づいて、閾値を設定する閾値設定ステップと、閾値設定ステップによって設定された閾値に基づいて、チップ部品の画像信号を2値化処理する2値化画像処理ステップとを含むことを特徴とする。   The chip component inspection method according to the present invention includes an outer region determination step for determining an outer region of a chip component from an image signal of the chip component to be inspected, and the chip component determined in the outer region determination step. A luminance measurement area setting step for setting a luminance measurement area according to the outer region, an average luminance calculation step for calculating an average luminance value of the luminance measurement area in the chip component, and an average luminance value calculated in the average luminance calculation step A threshold value setting step for setting a threshold value based on the threshold value, and a binarized image processing step for binarizing the image signal of the chip component based on the threshold value set by the threshold value setting step. .

このチップ部品の検査方法によれば、チップ部品の外形の大きさ或いは形状が異なっても、そのチップ部品の外形に応じて輝度測定エリアを設定するため、チップ部品の検査を適正に行うことができる。さらに、検査対象となるチップ部品の個体差によりチップ部品ごとに輝度が異なっても、チップ部品ごとの平均輝度値に基づいて閾値が設定されるため、チップ部品の輝度の変化に影響を受けずに、チップ部品の検査を行うことができる。したがって、閾値が固定的に設定されている場合よりも誤判定は低減され、チップ部品の検査を適正に行うことができる。このとき、検査対象となるチップ部品とは別途に比較基準用チップは特に必要とされないため、高速処理にも適している。   According to this chip component inspection method, even if the size or shape of the outer shape of the chip component is different, the luminance measurement area is set according to the outer shape of the chip component, so that the chip component can be properly inspected. it can. In addition, even if the brightness varies from chip part to chip part due to individual differences in the chip parts to be inspected, the threshold is set based on the average brightness value of each chip part, so it is not affected by changes in the brightness of the chip part. In addition, it is possible to inspect chip parts. Accordingly, erroneous determination is reduced as compared with the case where the threshold value is fixedly set, and the chip component can be properly inspected. At this time, since a comparison reference chip is not particularly required separately from the chip component to be inspected, it is suitable for high-speed processing.

本発明によれば、検査対象となるチップ部品をその輝度によって簡易に検査することができる。   According to the present invention, a chip component to be inspected can be easily inspected by its brightness.

以下、添付図面を参照して本発明に係るチップ部品の検査用装置及び検査方法の好適な一実施形態について詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of an inspection apparatus and inspection method for chip parts according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[ チップ部品の検査用装置の構成 ]
図1は、チップ部品1の検査用装置2の構成ブロック図である。チップ部品1は、リング状の照明器具3によって照明され、レンズ4が取り付けられたカメラ6によって撮像される。カメラ6によって撮像されたチップ部品1の撮像信号は検査用装置2に送信される。
[Configuration of inspection equipment for chip parts]
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an inspection device 2 for chip parts 1. The chip component 1 is illuminated by a ring-shaped lighting fixture 3 and imaged by a camera 6 to which a lens 4 is attached. An imaging signal of the chip part 1 imaged by the camera 6 is transmitted to the inspection device 2.

検査用装置2は、外形領域判定部7、輝度測定エリア設定部8、平均輝度演算部9、閾値設定部11、2値化画像処理部12、インターフェイス13、及びモニタ14を備えている。また、インターフェイス13には、文字情報等を入力するためのキーボード16及びポインティングデバイスであるマウス17が接続されている。この検査用装置2は、物理的には、CPU、RAM、ROM等により構成されている。   The inspection apparatus 2 includes an outer region determination unit 7, a luminance measurement area setting unit 8, an average luminance calculation unit 9, a threshold setting unit 11, a binarized image processing unit 12, an interface 13, and a monitor 14. The interface 13 is connected to a keyboard 16 for inputting character information and a mouse 17 as a pointing device. The inspection device 2 is physically composed of a CPU, RAM, ROM, and the like.

図2は、チップ部品1の平面図である。図2に示すように、チップ部品1の表面には、セラミックの素地1aと電極部1bとが表れている。   FIG. 2 is a plan view of the chip component 1. As shown in FIG. 2, a ceramic base 1 a and an electrode portion 1 b appear on the surface of the chip component 1.

図1に戻り、外形領域判定部7は、カメラ6から送信されたチップ部品1の輝度情報を含む画像信号を受けて、チップ部品1の外形領域を求める。すなわち、外形領域判定部7は、チップ部品1とチップ部品1の背景との境界を輝度によって判定し、チップ部品1の外形領域座標を求める(参照図2)。   Returning to FIG. 1, the outer region determination unit 7 receives the image signal including the luminance information of the chip component 1 transmitted from the camera 6 and obtains the outer region of the chip component 1. That is, the outer region determination unit 7 determines the boundary between the chip component 1 and the background of the chip component 1 based on luminance, and obtains the outer region coordinates of the chip component 1 (see FIG. 2).

輝度測定エリア設定部8は、外形領域判定部7によって判定されたチップ部品1の外形領域の座標に応じて、輝度測定エリアBAを設定する。すなわち、輝度測定エリア設定部8は、輝度測定エリアBAとして、チップ部品1の外形領域内であって素地領域1aの中央部に5カ所、左右縁部に3カ所ずつの計11カ所、正方形の輝度測定エリアBA1〜BA11を設定する(参照図2)。   The luminance measurement area setting unit 8 sets the luminance measurement area BA according to the coordinates of the outer region of the chip part 1 determined by the outer region determination unit 7. That is, the luminance measurement area setting unit 8 is a luminance measurement area BA within the outer shape area of the chip component 1, which is a total of 11 squares, 5 at the center of the substrate area 1 a and 3 at the left and right edges. Luminance measurement areas BA1 to BA11 are set (see FIG. 2).

輝度測定エリアBA1〜BA11の中心位置の設定は、次の通りである。ここで、チップ部品1の横方向の長さをL、縦方向の幅をHとする。また、図2に示す各長さを一例として以下のように定義する。
各輝度測定エリアBAの一辺の長さ=H/10 (1)
長さA=L/2 (2)
長さB=H/7 (3)
長さC=L/20 (4)
長さD=H/2 (5)
長さE=H/5 (6)
The setting of the center positions of the luminance measurement areas BA1 to BA11 is as follows. Here, the horizontal length of the chip component 1 is L, and the vertical width is H. Moreover, each length shown in FIG. 2 is defined as follows as an example.
Length of one side of each luminance measurement area BA = H / 10 (1)
Length A = L / 2 (2)
Length B = H / 7 (3)
Length C = L / 20 (4)
Length D = H / 2 (5)
Length E = H / 5 (6)

素地領域1aの中央部に設定される輝度測定エリアBA1〜BA5のうち、中央に位置する輝度測定エリアBA1の中心は、チップ部品1の中心に位置し、両左右の辺縁から長さAの位置であって、上下の辺縁から長さDの位置である。また、輝度測定エリアBA2の中心は、輝度測定エリアBA1の中心から、左横方向に長さB、上方向に長さEだけ離間している。輝度測定エリアBA3の中心は、輝度測定エリアBA1の中心から、左横方向に長さB、下方向に長さEだけ離間している。輝度測定エリアBA4の中心は、輝度測定エリアBA1の中心から、右横方向に長さB、上方向に長さEだけ離間している。輝度測定エリアBA5の中心は、輝度測定エリアBA1の中心から、右横方向に長さB、下方向に長さEだけ離間している。   Of the luminance measurement areas BA1 to BA5 set at the center of the substrate region 1a, the center of the luminance measurement area BA1 located at the center is located at the center of the chip part 1 and has a length A from both left and right edges. It is a position, and is a position of length D from the upper and lower edges. The center of the luminance measurement area BA2 is separated from the center of the luminance measurement area BA1 by a length B in the left lateral direction and a length E in the upward direction. The center of the luminance measurement area BA3 is separated from the center of the luminance measurement area BA1 by a length B in the left lateral direction and a length E in the downward direction. The center of the luminance measurement area BA4 is separated from the center of the luminance measurement area BA1 by a length B in the right lateral direction and a length E in the upward direction. The center of the luminance measurement area BA5 is separated from the center of the luminance measurement area BA1 by a length B in the right lateral direction and a length E in the downward direction.

また、素地領域1aの左縁部に設定される輝度測定エリアBA6〜BA8のうち、輝度測定エリアBA6の中心は、左辺縁から右横方向に長さCだけ離間し、上下の辺縁から長さDの位置(縦方向に中心)である。輝度測定エリアBA7の中心は、輝度測定エリアBA6の中心から、上方向に長さEだけ離間している。輝度測定エリアBA8の中心は、輝度測定エリアBA6の中心から、下方向に長さEだけ離間している。   Of the luminance measurement areas BA6 to BA8 set at the left edge of the substrate region 1a, the center of the luminance measurement area BA6 is separated from the left edge by a length C in the right lateral direction and is long from the upper and lower edges. This is the position D (center in the vertical direction). The center of the luminance measurement area BA7 is separated from the center of the luminance measurement area BA6 by a length E in the upward direction. The center of the luminance measurement area BA8 is spaced downward by a length E from the center of the luminance measurement area BA6.

また、素地領域1aの右縁部に設定される輝度測定エリアBA9〜BA11のうち、輝度測定エリアBA9の中心は、右辺縁から左横方向に長さCだけ離間し、上下の辺縁から長さDの位置(縦方向に中心)である。輝度測定エリアBA10の中心は、輝度測定エリアBA9の中心から、上方向に長さEだけ離間している。輝度測定エリアBA11の中心は、輝度測定エリアBA9の中心から、下方向に長さEだけ離間している。   In addition, among the luminance measurement areas BA9 to BA11 set at the right edge of the substrate region 1a, the center of the luminance measurement area BA9 is separated from the right edge by a length C in the left lateral direction and is long from the upper and lower edges. This is the position D (center in the vertical direction). The center of the luminance measurement area BA10 is separated from the center of the luminance measurement area BA9 by a length E in the upward direction. The center of the luminance measurement area BA11 is separated from the center of the luminance measurement area BA9 by a length E in the downward direction.

このように、輝度測定エリアBA1〜BA11の位置は、チップ部品1の大きさ及び形状によって設定される。そのため、チップ部品1ごとに、その外形の大きさ或いは形状が異なっても、そのチップ部品1の大きさ及び外形に応じて輝度測定エリアBAが設定される。   Thus, the positions of the luminance measurement areas BA1 to BA11 are set according to the size and shape of the chip component 1. Therefore, even if the size or shape of the outer shape of each chip component 1 is different, the luminance measurement area BA is set according to the size and outer shape of the chip component 1.

平均輝度演算部9は、輝度測定エリア設定部8によって設定された輝度測定エリアBA1〜BA11における平均輝度値を演算する。図3は、各輝度測定エリアBAにおける画素の配列を示している。平均輝度演算部9は、図3に示す各輝度測定エリアBAの各画素(01〜42)における輝度値から、各輝度測定エリアBAの平均輝度値を演算し、さらに全輝度測定エリアBA1〜BA11の平均輝度値を演算する。   The average luminance calculation unit 9 calculates average luminance values in the luminance measurement areas BA1 to BA11 set by the luminance measurement area setting unit 8. FIG. 3 shows an arrangement of pixels in each luminance measurement area BA. The average luminance calculation unit 9 calculates the average luminance value of each luminance measurement area BA from the luminance value in each pixel (01 to 42) of each luminance measurement area BA shown in FIG. The average luminance value of is calculated.

図1に戻り、閾値設定部11は、平均輝度演算部9によって演算された平均輝度値に基づいて、画像信号を2値化するための上限閾値及び下限閾値を設定する。ここで、上限閾値及び下限閾値は、チップ部品1のワレ、カケ、異物付着やクラック等の異常が生じている素地1aの輝度が、上限閾値を超えるか下限閾値を下回る輝度となり、下限閾値から上限閾値の範囲内の輝度の素地1aは正常であるように設定する。上限閾値は、平均輝度値に対して所定の上限オフセット値を加算して設定し、下限閾値は、平均輝度値に対して所定の下限オフセット値を減算して設定する。上限オフセット値及び下限オフセット値は、予め閾値設定部11に設定されている。また、上限オフセット値及び下限オフセット値は、予め、複数のチップ部品1にて、正常素地の輝度と異常素地の輝度を測定して、適正に決定しておく。   Returning to FIG. 1, the threshold setting unit 11 sets an upper limit threshold and a lower limit threshold for binarizing the image signal based on the average luminance value calculated by the average luminance calculation unit 9. Here, the upper limit threshold and the lower limit threshold are such that the luminance of the substrate 1a in which abnormality such as cracking, chipping, foreign matter adhesion, or cracking of the chip component 1 occurs exceeds the upper limit threshold or falls below the lower limit threshold. The luminance base 1a within the range of the upper threshold value is set to be normal. The upper limit threshold is set by adding a predetermined upper limit offset value to the average luminance value, and the lower limit threshold is set by subtracting a predetermined lower limit offset value from the average luminance value. The upper limit offset value and the lower limit offset value are set in the threshold setting unit 11 in advance. Further, the upper limit offset value and the lower limit offset value are appropriately determined in advance by measuring the luminance of the normal substrate and the luminance of the abnormal substrate using the plurality of chip components 1.

チップ部品1の個体差に起因してチップ部品1ごとにその輝度は異なるが、上限閾値及び下限閾値は、チップ部品1の平均輝度値に基づいて設定されるため、チップ部品1ごとの輝度の変化に影響を受けないように、チップ部品1の検査を行うことができる。そのため、上限閾値及び下限閾値が固定的に設定されている場合よりも誤判定は低減される。また、チップ部品1の輝度がロッドによって変化しても、チップ部品1の検査を適正に行うことができる。このとき、検査対象となるチップ部品1とは別途に比較基準用チップは特に必要としない。したがって、本検査用装置2は、高速処理にも適している。   Although the luminance differs for each chip component 1 due to individual differences of the chip component 1, the upper threshold and the lower threshold are set based on the average luminance value of the chip component 1. The chip component 1 can be inspected so as not to be affected by the change. Therefore, erroneous determination is reduced as compared with the case where the upper limit threshold and the lower limit threshold are fixedly set. Moreover, even if the brightness | luminance of the chip component 1 changes with a rod, the test | inspection of the chip component 1 can be performed appropriately. At this time, a comparative reference chip is not particularly required separately from the chip component 1 to be inspected. Therefore, this inspection apparatus 2 is also suitable for high-speed processing.

2値化画像処理部12は、閾値設定部11によって設定された上限閾値及び下限閾値に基づいて、チップ部品1の画像信号を2値化処理する。すなわち、チップ部品1の画像信号における画素の輝度値が、上限閾値から下限閾値の範囲の値であれば、モニタ14に白く表示する表示値(例えば「0」)を設定し、チップ部品1の画像信号における画素の輝度値が、上限閾値を超えたか或いは下限閾値を下回る値であれば、モニタ14に黒く表示する表示値(例えば「1」)を設定する。   The binarized image processing unit 12 binarizes the image signal of the chip component 1 based on the upper limit threshold and the lower limit threshold set by the threshold setting unit 11. That is, if the luminance value of the pixel in the image signal of the chip component 1 is a value in the range from the upper threshold value to the lower threshold value, a display value (for example, “0”) that is displayed in white on the monitor 14 is set. If the luminance value of the pixel in the image signal exceeds the upper threshold or falls below the lower threshold, a display value (for example, “1”) displayed in black on the monitor 14 is set.

モニタ14は、2値化画像処理部12によって2値化画像処理により設定された表示値を受け、チップ部品1の画像信号の画素ごとに、正常の範囲である上限閾値から下限閾値の範囲内の輝度値の画素を白く表示し、異常の範囲である上限閾値から下限閾値の範囲外の輝度値の画素を黒く表示する。   The monitor 14 receives the display value set by the binarized image processing unit 12 by the binarized image processing unit 12, and is within the range from the upper limit threshold that is a normal range to the lower limit threshold for each pixel of the image signal of the chip component 1. The pixels having the luminance value are displayed in white, and the pixels having the luminance value outside the range from the upper limit threshold which is the abnormal range to the lower limit threshold are displayed in black.

[ チップ部品の検査方法 ]
図1及び図4を参照してチップ部品1の検査方法について説明する。図4は、チップ部品1の検査用装置2において実行される処理のフローチャートである。
[Inspection method of chip parts]
The inspection method for the chip component 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a flowchart of processing executed in the inspection device 2 for the chip part 1.

カメラ6は、照明器具3によって照明されたチップ部品1を撮像し、チップ部品1の画像信号を検査用装置2に送信する。   The camera 6 images the chip part 1 illuminated by the lighting fixture 3 and transmits an image signal of the chip part 1 to the inspection device 2.

検査用装置2の外形領域判定部7は、カメラ6から送信されたチップ部品1の画像信号を受けて、チップ部品1とチップ部品1の背景との境界を輝度の相違から、座標上におけるチップ部品1の外形領域を判定する(S101)。   The outer region determination unit 7 of the inspection apparatus 2 receives the image signal of the chip part 1 transmitted from the camera 6 and determines the boundary between the chip part 1 and the background of the chip part 1 on the coordinates on the coordinates from the difference in luminance. The outline area of the component 1 is determined (S101).

次いで、輝度測定エリア設定部8によって判定されたチップ部品1の外形領域の座標に応じて、素地領域1aの11カ所の輝度測定エリアBA(参照図2)が設定される(S102)。   Next, 11 luminance measurement areas BA (refer to FIG. 2) of the substrate region 1a are set according to the coordinates of the outer region of the chip part 1 determined by the luminance measurement area setting unit 8 (S102).

さらに、各輝度測定エリアBAの各画素(画素座標01〜42)(参照図3)における輝度値から、全輝度測定エリアBA1〜BA11の平均輝度値が、平均輝度演算部9によって演算される(S103)。   Further, the average luminance calculation unit 9 calculates the average luminance value of all the luminance measurement areas BA1 to BA11 from the luminance value in each pixel (pixel coordinates 01 to 42) (see FIG. 3) in each luminance measurement area BA ( S103).

そして、閾値設定部11によって、平均輝度値に予め設定された上限オフセット値が加算されて上限閾値が設定されると共に、平均輝度値に予め設定された下限オフセット値が減算されて下限閾値が設定される(S104)。   The threshold setting unit 11 adds the preset upper limit offset value to the average luminance value to set the upper limit threshold, and subtracts the preset lower limit offset value to the average luminance value to set the lower limit threshold. (S104).

続いて、閾値設定部11によって設定された上限閾値及び下限閾値に基づいて、上限閾値から下限閾値の範囲内と範囲外とのどちらに、チップ部品1の各画素の輝度が属するかに基づいて、2値化処理が2値化画像処理部12によって行われる(S105)。このとき、チップ部品1の画像信号における画素の輝度値が、上限閾値から下限閾値の範囲内であれば、モニタ14に白く表示する表示値を設定し、上限閾値から下限閾値の範囲外であれば、モニタ14に黒く表示する表示値を設定する。   Subsequently, based on the upper limit threshold and the lower limit threshold set by the threshold setting unit 11, based on whether the luminance of each pixel of the chip component 1 belongs to the range between the upper limit threshold and the lower limit threshold. A binarization process is performed by the binarized image processing unit 12 (S105). At this time, if the luminance value of the pixel in the image signal of the chip component 1 is within the range from the upper limit threshold to the lower limit threshold, a display value to be displayed in white on the monitor 14 is set, and if it is outside the range from the upper limit threshold to the lower limit threshold. For example, the display value displayed in black on the monitor 14 is set.

そのうえで、モニタ14には、2値化画像処理部12によって2値化画像処理により設定された表示値に基づいて、チップ部品1の画像信号の画素ごとに、正常の範囲である上限閾値から下限閾値の範囲内の画素は白く表示され、異常の範囲である上限閾値から下限閾値の範囲外の画素は黒く表示される(S106)。以上の検査方法により、チップ部品1のワレ、カケ、異物付着やクラック等の異常が生じている素地部分が黒く表示される。   In addition, on the monitor 14, based on the display value set by the binarized image processing by the binarized image processing unit 12, for each pixel of the image signal of the chip component 1, the upper limit threshold that is a normal range is set to the lower limit. Pixels within the threshold range are displayed in white, and pixels outside the upper limit threshold, which is an abnormal range, and outside the lower threshold range are displayed in black (S106). By the above inspection method, the base portion where the chip component 1 is abnormal, such as cracks, chips, foreign matter adhesion, cracks, etc., is displayed in black.

図5にチップ部品の検査例を示す。図5(a)は、本実施形態に示したように、平均輝度値に応じて上限閾値及び下限閾値が決定される検査用装置2によって、チップ部品の画像信号が、2値化処理された画像である。すなわち、図5(a)の左側は、チップ部品の画像を、右側は、2値化処理された画像を示している。また、異なる2個のチップ部品についてそれぞれ検査した画像を上下に並べて表している。図5(b)は、個体差のある平均輝度値によらず、上限閾値及び下限閾値が固定的に設定された検査用装置によって、チップ部品の画像信号が、2値化処理された画像である。上下に並べて表した2個のチップ部品は、図5(a)の2個のチップ部品と順序対になっている。   FIG. 5 shows an example of chip component inspection. In FIG. 5A, as shown in this embodiment, the image signal of the chip component is binarized by the inspection apparatus 2 in which the upper limit threshold and the lower limit threshold are determined according to the average luminance value. It is an image. That is, the left side of FIG. 5A shows an image of a chip part, and the right side shows an image subjected to binarization processing. In addition, the images inspected for two different chip components are shown side by side. FIG. 5B is an image in which the image signal of the chip component is binarized by the inspection apparatus in which the upper and lower thresholds are fixedly set regardless of the average luminance value having individual differences. is there. Two chip parts arranged side by side are in order with the two chip parts shown in FIG.

図5(a)に示すように、上側のチップ部品において、素地1aの右縁部には、チッピングが黒く表示されており、素地1aの中央部は、白く正常であることを示している。一方、図5(b)の上側のチップ部品は、図5(a)の上側のチップ部品と同じチップ部品を検査したものであるが、素地1aの中央部は、正常であるにも拘わらず、黒く表示されている。このように、チップ部品1の正常・異常を判定するための上限閾値及び下限閾値は、輝度値の個体差に応じて設定することが重要であることが分かる。なお、図5(a)及び図5(b)の下側に表したチップ部品の2値化処理された画像には、いずれも、左下縁部において、右下がりに延在する直線状の異常部分(直線上に黒く表示された部分)が表れている。つまり、図5(a)及び図5(b)ともに、異常部分が確認されたケースである。   As shown in FIG. 5A, in the upper chip component, the chipping is displayed in black on the right edge portion of the substrate 1a, and the central portion of the substrate 1a is white and normal. On the other hand, the upper chip part in FIG. 5B is obtained by inspecting the same chip part as the upper chip part in FIG. 5A, but the central part of the substrate 1a is normal although it is normal. Is displayed in black. Thus, it can be seen that it is important to set the upper and lower thresholds for determining the normality / abnormality of the chip component 1 according to the individual differences in the luminance values. Note that the binarized images of the chip parts shown on the lower side of FIGS. 5A and 5B are both linear abnormalities extending downward to the lower left edge. The part (the part displayed in black on the straight line) appears. That is, both of FIG. 5 (a) and FIG. 5 (b) are cases where an abnormal part has been confirmed.

なお、本発明に係るチップ部品1の検査用装置2及び検査方法は、上記実施形態に限られない。   Note that the inspection device 2 and the inspection method for the chip component 1 according to the present invention are not limited to the above embodiment.

上記実施形態では、2値化画像処理を行うにあたり、上限閾値及び下限閾値の2つの閾値を設定したが、チップ部品1の輝度の特性によっては、1つの閾値を設定し、2値化画像処理を行うようにしても良い。   In the above embodiment, two threshold values, an upper limit threshold value and a lower limit threshold value, are set when performing binarized image processing. However, depending on the luminance characteristics of the chip component 1, one threshold value is set and binarized image processing is performed. May be performed.

また、輝度測定エリアBAの位置は、図2に示す11カ所の位置でなくともよく、例えば、素地1aの領域内に均等に散在させた位置に存在させても良い。また、輝度測定エリアBAの個数も任意に設定して良い。また、チップ部品1が矩形でない形状であっても、そのチップ部品1の形状に合わせて、輝度測定エリアBAの位置を設定できるようにすると良い。   Further, the position of the luminance measurement area BA does not have to be the 11 positions shown in FIG. 2, and may be present, for example, at positions evenly scattered in the region of the substrate 1 a. Further, the number of luminance measurement areas BA may be arbitrarily set. Even if the chip component 1 has a non-rectangular shape, it is preferable that the position of the luminance measurement area BA can be set according to the shape of the chip component 1.

本発明に係るチップ部品の検査用装置の一実施形態を示す構成ブロック図である。1 is a configuration block diagram showing an embodiment of an inspection device for chip parts according to the present invention. チップ部品の平面図である。It is a top view of a chip component. 輝度測定エリアにおける画素の配列を示す概略図である。It is the schematic which shows the arrangement | sequence of the pixel in a brightness | luminance measurement area. 検査用装置において実行される処理のフローチャートである。It is a flowchart of the process performed in the apparatus for a test | inspection. チップ部品の検査例であり、図5(a)は、平均輝度値に応じて上限閾値及び下限閾値が決定される検査用装置により2値化画像処理されたチップ部品の画像である。図5(b)は、上限閾値及び下限閾値が固定的に設定された検査用装置により2値化画像処理されたチップ部品の画像である。FIG. 5A shows an example of chip component inspection. FIG. 5A is an image of a chip component that has been subjected to binarized image processing by an inspection apparatus in which an upper limit threshold and a lower limit threshold are determined according to an average luminance value. FIG. 5B is an image of a chip component that has been subjected to binarized image processing by an inspection apparatus in which an upper limit threshold and a lower limit threshold are fixedly set.

符号の説明Explanation of symbols

1…チップ部品、2…検査用装置、7…外形領域判定部、8…輝度測定エリア設定部、9…平均輝度演算部、11…閾値設定部、12…2値化画像処理部、BA…輝度測定エリア。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chip component, 2 ... Inspection apparatus, 7 ... Outline area determination part, 8 ... Luminance measurement area setting part, 9 ... Average brightness calculating part, 11 ... Threshold setting part, 12 ... Binary image processing part, BA ... Luminance measurement area.

Claims (4)

検査対象となるチップ部品の画像信号から、前記チップ部品における輝度測定エリアの平均輝度値を演算する平均輝度演算手段と、
前記平均輝度演算手段によって演算された前記平均輝度値に基づいて、閾値を設定する閾値設定手段と、
前記閾値設定手段によって設定された前記閾値に基づいて、前記チップ部品の画像信号を2値化処理する2値化画像処理手段と
を備えることを特徴とするチップ部品の検査用装置。
Average luminance calculation means for calculating an average luminance value of a luminance measurement area in the chip component from the image signal of the chip component to be inspected;
Threshold setting means for setting a threshold based on the average brightness value calculated by the average brightness calculating means;
A chip component inspection apparatus comprising: binarized image processing means for binarizing the image signal of the chip part based on the threshold value set by the threshold value setting means.
前記チップ部品の画像信号から、前記チップ部品の外形の領域を判定する外形領域判定手段と、
前記外形領域判定手段によって判定された前記チップ部品の外形の領域に応じて、前記輝度測定エリアを設定する輝度測定エリア設定手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のチップ部品の検査用装置。
From the image signal of the chip component, an outer region determination unit that determines an outer region of the chip component;
2. The chip component according to claim 1, further comprising: a luminance measurement area setting unit that sets the luminance measurement area according to an outer region of the chip component determined by the outer region determination unit. Inspection device.
検査対象となるチップ部品の画像信号から、前記チップ部品における輝度測定エリアの平均輝度値を演算する平均輝度演算ステップと、
前記平均輝度演算ステップにおいて演算された前記平均輝度値に基づいて、閾値を設定する閾値設定ステップと、
前記閾値設定ステップによって設定された前記閾値に基づいて、前記チップ部品の画像信号を2値化処理する2値化画像処理ステップと
を含むことを特徴とするチップ部品の検査方法。
An average luminance calculation step for calculating an average luminance value of a luminance measurement area in the chip component from an image signal of the chip component to be inspected,
A threshold setting step for setting a threshold based on the average luminance value calculated in the average luminance calculation step;
A chip component inspection method comprising: a binarized image processing step of binarizing the image signal of the chip component based on the threshold set in the threshold setting step.
検査対象となるチップ部品の画像信号から、前記チップ部品の外形の領域を判定する外形領域判定ステップと、
前記外形領域判定ステップにおいて判定された前記チップ部品の外形の領域に応じて、輝度測定エリアを設定する輝度測定エリア設定ステップと、
前記チップ部品における前記輝度測定エリアの平均輝度値を演算する平均輝度演算ステップと、
前記平均輝度演算ステップにおいて演算された前記平均輝度値に基づいて、閾値を設定する閾値設定ステップと、
前記閾値設定ステップによって設定された前記閾値に基づいて、前記チップ部品の画像信号を2値化処理する2値化画像処理ステップと
を含むことを特徴とするチップ部品の検査方法。
From the image signal of the chip component to be inspected, an outer region determination step for determining the outer region of the chip component;
A luminance measurement area setting step for setting a luminance measurement area according to the outline region of the chip part determined in the outer region determination step;
An average luminance calculation step for calculating an average luminance value of the luminance measurement area in the chip component;
A threshold setting step for setting a threshold based on the average luminance value calculated in the average luminance calculation step;
A chip component inspection method comprising: a binarized image processing step of binarizing the image signal of the chip component based on the threshold set in the threshold setting step.
JP2004162110A 2004-05-31 2004-05-31 Device and method for inspecting chip component Pending JP2005345142A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004162110A JP2005345142A (en) 2004-05-31 2004-05-31 Device and method for inspecting chip component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004162110A JP2005345142A (en) 2004-05-31 2004-05-31 Device and method for inspecting chip component

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005345142A true JP2005345142A (en) 2005-12-15

Family

ID=35497684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004162110A Pending JP2005345142A (en) 2004-05-31 2004-05-31 Device and method for inspecting chip component

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005345142A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011027848A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-10 シーシーエス株式会社 Illumination/image-pickup system for surface inspection and data structure
KR20140107971A (en) * 2013-02-28 2014-09-05 엘지이노텍 주식회사 Method for evaluating a luminance of a light source and lighting apparatus
KR20140146336A (en) * 2013-06-17 2014-12-26 엘지이노텍 주식회사 Method for evaluating a luminance of a light source and lighting apparatus

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011027848A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-10 シーシーエス株式会社 Illumination/image-pickup system for surface inspection and data structure
JP4675436B1 (en) * 2009-09-03 2011-04-20 シーシーエス株式会社 Surface inspection illumination / imaging system and data structure
KR20140107971A (en) * 2013-02-28 2014-09-05 엘지이노텍 주식회사 Method for evaluating a luminance of a light source and lighting apparatus
KR102182015B1 (en) 2013-02-28 2020-11-23 엘지이노텍 주식회사 Method for evaluating a luminance of a light source and lighting apparatus
KR20140146336A (en) * 2013-06-17 2014-12-26 엘지이노텍 주식회사 Method for evaluating a luminance of a light source and lighting apparatus
KR102175308B1 (en) 2013-06-17 2020-11-06 엘지이노텍 주식회사 Method for evaluating a luminance of a light source and lighting apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI313576B (en) Board inspecting apparatus, its parameter setting method and parameter setting apparatus
JP2007071586A (en) Image defect inspection device, image defect inspection system, defect classification device, and image defect inspection method
JP5174540B2 (en) Wood defect detection device
KR101129349B1 (en) Parts mount board inspection apparatus
JP5074998B2 (en) Appearance inspection method and apparatus for transparent film
CN112334761B (en) Defect discriminating method, defect discriminating apparatus, and recording medium
JP2015068668A (en) Appearance inspection device
JP2005121546A (en) Defect inspection method
JP2019168388A (en) Image inspection method and image inspection device
KR101892099B1 (en) Method of inspecting terminal of component formed on board and board inspection device
JP2005345142A (en) Device and method for inspecting chip component
JP4652024B2 (en) Surface inspection method and apparatus
JP2002195958A (en) Surface inspecting method
JP2011069742A (en) Defect detector and defect detection method
JP4190243B2 (en) Electronic circuit component visual inspection method, visual inspection apparatus, and electronic circuit component manufacturing method.
JP2005172649A (en) Apparatus for inspecting defect
JP5380223B2 (en) Circular lens inspection apparatus and method
JP4420796B2 (en) Container appearance inspection method
JP4821647B2 (en) Electronic component terminal position detection method
JP7300155B2 (en) Teaching device in solid preparation appearance inspection, and teaching method in solid preparation appearance inspection
JPH08189901A (en) Testing device using picture signal
JP4135367B2 (en) Defect detection method
TWI618927B (en) Inspection device and inspection method
JP2522174B2 (en) Mounting board inspection equipment
JP2012122965A (en) Appearance inspection device and appearance inspection method

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070927

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071002

A02 Decision of refusal

Effective date: 20080401

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02