JP2005339949A - Organic el element, its manufacturing method and electronic equipment - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL element capable of stabilizing, in particular, an interfacial surface between a hole injection/transportation layer and a luminescent layer and thereby improving a characteristic; and to provide its manufacturing method and electronic equipment. <P>SOLUTION: This organic EL element 10 is provided, between a first electrode 3 and a second electrode 4, with a functional layer 5 having the hole injection/transportation layer 8 comprising at least organic compound and the luminescent layer 9. The hole injection/transportation layer 8 is formed by a gas phase method, and the luminescent layer 9 is formed by a liquid phase method. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、特に正孔注入/輸送層を気相法で形成し、発光層を液相法で形成するようにした有機EL素子とその製造方法、並びに電子機器に関する。   The present invention particularly relates to an organic EL element in which a hole injection / transport layer is formed by a vapor phase method and a light emitting layer is formed by a liquid phase method, a manufacturing method thereof, and an electronic device.

近年、自発光型ディスプレイとして、発光層に有機物を用いた有機エレクトロルミネセンス素子(以下、有機EL素子と称する)の開発が進められている。具体的には、液相で成膜可能な高分子型の発光材料が開発され(例えば、非特許文献1参照)、さらに、正孔注入/輸送材料についてもポリチオフェン誘導体の発見により、液相で成膜が可能となっている(例えば、非特許文献2参照)。   In recent years, as a self-luminous display, development of an organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) using an organic substance in a light emitting layer has been advanced. Specifically, a polymer-type light-emitting material capable of forming a film in a liquid phase has been developed (see, for example, Non-Patent Document 1). Further, with respect to hole injection / transport materials, the discovery of polythiophene derivatives has led to the development of Film formation is possible (for example, refer nonpatent literature 2).

そして、このような液相での成膜が可能な塗布型の正孔注入/輸送層形成材料、および発光層形成材料を用いた技術として、インクジェット法によってフルカラーディスプレイを製造する方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。インクジェット法によるパターニングは、直接画素を描画できるためマスクを必要とせず、したがって高精細なディスプレイの製造が可能となる。また、液相プロセスであるため真空を必要とせず、したがってエネルギーコストおよび材料コストの面でも有利となり、特に大面積のパターニングに有効となっている。   As a technique using such a coating type hole injection / transport layer forming material capable of forming a film in the liquid phase and a light emitting layer forming material, a method of manufacturing a full color display by an inkjet method is disclosed. (For example, refer to Patent Document 1). Patterning by the ink jet method does not require a mask because pixels can be directly drawn, and thus a high-definition display can be manufactured. Further, since it is a liquid phase process, a vacuum is not required, and therefore it is advantageous in terms of energy cost and material cost, and is particularly effective for patterning of a large area.

ところで、有機EL素子はさらなる高性能化が望まれている。このような背景のもとに、電極界面にバッファ層を導入することで、駆動電圧の低下と発光効率の向上などが図られている。また、耐久性向上の試みとして、陽極(ITO)と正孔注入輸送帯(正孔注入輸送層)との界面にフタロシアニン錯体などのポルフィリン化合物を、ホール注入性層として挿入させた素子が開示されている(例えば、特許文献2参照)。   By the way, the organic EL element is desired to have higher performance. Against this background, by introducing a buffer layer at the electrode interface, a reduction in driving voltage and an improvement in luminous efficiency have been attempted. As an attempt to improve durability, an element in which a porphyrin compound such as a phthalocyanine complex is inserted as a hole injecting layer at the interface between the anode (ITO) and the hole injecting and transporting zone (hole injecting and transporting layer) is disclosed. (For example, refer to Patent Document 2).

さらに、素子特性の向上のため、三重項励起子からの発光をEL発光に利用しようとする試みもなされている(例えば、特許文献3参照)。この技術では、PVK(ポリビニルカルバゾール)をホスト材料とし、三重項発光材料であるIr(ppy)(トリス−2−フェニルピリジン−イリジウム)をドーピングすることで、高効率な有機EL素子を実現している。
Nature,347(1990)539 Nature,357(1992)477 特開平10−153967号公報 特開昭63−295695号公報 特開2001−257076号公報
Furthermore, in order to improve device characteristics, attempts have been made to use light emitted from triplet excitons for EL light emission (see, for example, Patent Document 3). In this technology, PVK (polyvinylcarbazole) is used as a host material, and Ir (ppy) 3 (tris-2-phenylpyridine-iridium), which is a triplet light emitting material, is doped to realize a highly efficient organic EL device. ing.
Nature, 347 (1990) 539 Nature, 357 (1992) 477 JP-A-10-153967 JP-A 63-295695 Japanese Patent Laid-Open No. 2001-257076

しかしながら、前記の正孔注入/輸送材料および発光材料をそれぞれインクジェット法で塗布し、フルカラーディスプレイを製造する方法では、正孔注入/輸送層と発光層とを共に液相法で形成するため、特に正孔注入/輸送層が十分に平坦化せず、その表面が均一な平坦面となりにくいことにより、この正孔注入/輸送層と発光層との間の界面が不安定になり、正孔輸送層性が安定しないといった課題があった。また、正孔注入/輸送層形成材料および発光層形成材料を共に液相法で塗布することから、これら各材料については、溶媒または分散媒に溶解しあるいは分散させて塗布する。ところが、発光層形成材料に用いる溶媒または分散媒については、正孔注入/輸送層を再溶解させないようなものを選択する必要上、その溶媒または分散媒の選択自由度が低いといった課題もあった。   However, in the method of manufacturing the full color display by applying the hole injection / transport material and the light emitting material, respectively, by the inkjet method, both the hole injection / transport layer and the light emitting layer are formed by the liquid phase method. The hole injection / transport layer is not sufficiently flattened, and its surface is difficult to be a uniform flat surface, so that the interface between the hole injection / transport layer and the light emitting layer becomes unstable, and hole transport is performed. There was a problem that the layer properties were not stable. In addition, since both the hole injection / transport layer forming material and the light emitting layer forming material are applied by a liquid phase method, these materials are applied dissolved or dispersed in a solvent or a dispersion medium. However, the solvent or dispersion medium used for the light emitting layer forming material needs to be selected so as not to redissolve the hole injection / transport layer, and there is a problem that the degree of freedom of selection of the solvent or dispersion medium is low. .

また、陽極(ITO)と正孔注入輸送帯(正孔注入輸送層)との界面にポルフィリン化合物を挿入させた素子では、ポルフィリン化合物がホール注入性層として機能することで、ホール輸送層へのホール注入性を改善することはできるものの、基本的にこの素子は、各層を気相法で形成したものであり、前述した液相法、特にインクジェット法による利点を有し得ない。   Further, in a device in which a porphyrin compound is inserted at the interface between the anode (ITO) and the hole injection transport zone (hole injection transport layer), the porphyrin compound functions as a hole injecting layer, so that Although the hole injection property can be improved, this device is basically formed by forming each layer by a vapor phase method and cannot have the advantages of the liquid phase method described above, particularly the ink jet method.

また、三重項励起子からの発光をEL発光に利用したものでは、ホール輸送層として液相法で形成されるPEDOT:PSS(ポリエチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホネート)が用いられており、したがって、前述したようにこれの上に形成される発光層との間の界面が不安定になり、正孔輸送層性が安定しないといった課題があった。   In addition, in the case where light emission from triplet excitons is used for EL light emission, PEDOT: PSS (polyethylenedioxythiophene-polystyrenesulfonate) formed by a liquid phase method is used as the hole transport layer. As described above, the interface with the light emitting layer formed thereon becomes unstable, and there is a problem that the hole transport layer property is not stable.

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、特に正孔注入/輸送層と発光層との間の界面を安定させ、これによって特性の向上を図った有機EL素子とその製造方法、並びに電子機器を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and its object is to stabilize the interface between the hole injecting / transporting layer and the light emitting layer, thereby improving the characteristics thereby. And a manufacturing method thereof, and an electronic device.

前記目的を達成するため本発明の有機EL装置の製造方法は、第1の電極と第2の電極との間に、少なくとも有機化合物からなる正孔注入/輸送層と発光層とを有した機能層を備えてなる有機EL素子の製造方法において、前記第1の電極上に前記正孔注入/輸送層を気相法で形成する気相工程と、前記正孔注入/輸送層上に前記発光層を液相法で形成する液相工程と、を備えたことを特徴としている。
この有機EL素子の製造方法によれば、気相法で正孔注入/輸送層を形成するため、その表面が液相法で形成した場合に比べ均一な平坦面となり、したがってこの上に形成する発光層との間の界面が安定化し、正孔注入/輸送層から発光層への正孔輸送層性が向上する。また、気相法で正孔注入/輸送層を形成するため、この正孔注入/輸送層の形成材料として比較的溶媒に溶解しにくい材料を用いることができ、したがってこれの上に形成する発光層の形成材料に用いる溶媒または分散媒の選択自由度が大となる。
In order to achieve the above object, the method of manufacturing an organic EL device according to the present invention has a function having a hole injection / transport layer made of at least an organic compound and a light emitting layer between the first electrode and the second electrode. In the method of manufacturing an organic EL device comprising a layer, a gas phase step of forming the hole injection / transport layer on the first electrode by a gas phase method, and the light emission on the hole injection / transport layer And a liquid phase step of forming a layer by a liquid phase method.
According to this method for producing an organic EL element, the hole injection / transport layer is formed by a vapor phase method, so that the surface becomes a uniform flat surface as compared with the case where it is formed by a liquid phase method. The interface with the light emitting layer is stabilized, and the hole transport layer property from the hole injection / transport layer to the light emitting layer is improved. In addition, since the hole injection / transport layer is formed by a vapor phase method, a material that is relatively difficult to dissolve in a solvent can be used as a material for forming the hole injection / transport layer. The degree of freedom of selection of the solvent or dispersion medium used for the layer forming material is increased.

また、前記有機EL装置の製造方法においては、前記液相工程では、前記発光層をインクジェット法等の液滴吐出法で形成するのが好ましい。
このようにすれば、直接画素を描画できるためマスクを必要とせず、したがって高精細なディスプレイの製造が可能となる。また、液相プロセスであるため真空を必要とせず、したがってエネルギーコストおよび材料コストの面でも有利となり、特に大面積のパターニングに有効となる。
In the method of manufacturing the organic EL device, it is preferable that the light emitting layer is formed by a droplet discharge method such as an ink jet method in the liquid phase process.
In this way, since a pixel can be drawn directly, a mask is not required, and thus a high-definition display can be manufactured. Further, since it is a liquid phase process, a vacuum is not required, and therefore it is advantageous in terms of energy cost and material cost, and is particularly effective for patterning of a large area.

本発明の有機EL素子は、第1の電極と第2の電極との間に、少なくとも有機化合物からなる正孔注入/輸送層と発光層とを有した機能層を備えてなる有機EL素子において、前記正孔注入/輸送層が気相法で形成されてなり、前記発光層が液相法で形成されてなることを特徴としている。
この有機EL素子によれば、正孔注入/輸送層が気相法で形成されてなるので、前述したように発光層との間の界面が安定化して正孔注入/輸送層から発光層への正孔輸送層性が向上し、駆動安定性が高まる。また、発光層の形成材料に用いる溶媒または分散媒の選択自由度が大となる。
The organic EL device of the present invention is an organic EL device comprising a functional layer having at least a hole injection / transport layer made of an organic compound and a light emitting layer between a first electrode and a second electrode. The hole injection / transport layer is formed by a vapor phase method, and the light emitting layer is formed by a liquid phase method.
According to this organic EL device, since the hole injection / transport layer is formed by a vapor phase method, the interface with the light emitting layer is stabilized as described above, and the hole injection / transport layer is changed to the light emitting layer. As a result, the hole transport layer property is improved and driving stability is improved. In addition, the degree of freedom in selecting the solvent or dispersion medium used for the material for forming the light emitting layer is increased.

また、前記有機EL素子においては、前記正孔注入/輸送層がポルフィリン化合物からなるのが好ましい。また、前記ポルフィリン化合物としてはフタロシアニン錯体であるのが好ましく、その場合にフタロシアニン錯体としてはバナジルフタロシアニンであるのが好ましい。
このようにすれば、より駆動安定性が良好になるとともに、得られる発光の色純度が高まる。
In the organic EL device, the hole injection / transport layer is preferably made of a porphyrin compound. The porphyrin compound is preferably a phthalocyanine complex, and in that case, the phthalocyanine complex is preferably vanadyl phthalocyanine.
In this way, the driving stability is further improved and the color purity of the light emission obtained is increased.

また、前記有機EL素子においては、前記正孔注入/輸送層が芳香族アミン化合物からなっていてもよい。
このようにしても、駆動安定性が良好になり、得られる発光の色純度が高まる。
In the organic EL element, the hole injection / transport layer may be made of an aromatic amine compound.
Even if it does in this way, drive stability becomes favorable and the color purity of the light emission obtained increases.

また、前記有機EL素子においては、前記発光層が、三重項励起子からの発光が可能な発光材料を含有しているのが好ましい。
このようにすれば、発光効率が向上し、表示特性に優れた有機EL素子となる。
Moreover, in the said organic EL element, it is preferable that the said light emitting layer contains the luminescent material which can light-emit from a triplet exciton.
If it does in this way, luminous efficiency will improve and it will become an organic EL element excellent in a display characteristic.

また、前記有機EL素子においては、前記発光層が、カルバゾール基を有した発光材料を含有しているのが好ましい。
このようにすれば、発光効率が向上し、表示特性に優れた有機EL素子となる。
In the organic EL element, the light emitting layer preferably contains a light emitting material having a carbazole group.
If it does in this way, luminous efficiency will improve and it will become an organic EL element excellent in a display characteristic.

本発明の電子機器は、前記の有機EL素子を備えたことを特徴としている。
この電子機器によれば、前述したように正孔輸送層性が向上して駆動安定性が高まり、また、発光層の形成材料に用いる溶媒または分散媒の選択自由度が大となった有機EL素子を備えているので、この電子機器自体も表示特性や生産性が向上したものとなる。
An electronic apparatus according to the present invention includes the organic EL element described above.
According to this electronic device, as described above, the hole transport layer property is improved, the driving stability is increased, and the organic EL device has a greater degree of freedom in selecting a solvent or a dispersion medium used for the material for forming the light emitting layer. Since the device is provided, this electronic device itself has improved display characteristics and productivity.

以下、本発明を詳しく説明する。
図1は、本発明の有機EL素子を備えた有機EL装置の一実施形態を示す要部側断面図であり、図1中符号1は有機EL装置である。この有機EL装置1は、基体2上に陽極として機能する透明電極(第1の電極)3と陰極(第2の電極)4とを有し、これら透明電極3と陰極4との間に機能層5を備えたもので、機能層5で発光した光を基体2側から出射する、いわゆるボトムエミッションと呼ばれるタイプのものである。なお、透明電極3と陰極4と機能層5とにより、本発明の有機EL素子10が構成されている。
The present invention will be described in detail below.
FIG. 1 is a side cross-sectional view showing a main part of an embodiment of an organic EL device provided with the organic EL element of the present invention, and reference numeral 1 in FIG. 1 denotes the organic EL device. The organic EL device 1 has a transparent electrode (first electrode) 3 and a cathode (second electrode) 4 that function as an anode on a substrate 2, and functions between the transparent electrode 3 and the cathode 4. The layer 5 is of a type called so-called bottom emission in which light emitted from the functional layer 5 is emitted from the substrate 2 side. The transparent electrode 3, the cathode 4, and the functional layer 5 constitute the organic EL element 10 of the present invention.

基体2は、ガラス基板等の透明基板(図示せず)上に、TFT素子からなる駆動素子(図示せず)や各種配線等を形成して構成されたもので、これら駆動素子や各種配線の上に絶縁膜や平坦化膜を介して透明電極3を形成したものである。
透明電極3は、基体2上に形成される単一ドット領域毎にパターニングされて形成され、かつ、TFT素子からなる前記駆動素子や前記各種配線等と接続されたもので、本実施形態ではITO(インジウム錫酸化物:Indium Tin Oxide)によって形成されている。
The base 2 is configured by forming a driving element (not shown) made of a TFT element, various wirings, etc. on a transparent substrate (not shown) such as a glass substrate. A transparent electrode 3 is formed thereon via an insulating film or a planarizing film.
The transparent electrode 3 is formed by patterning for each single dot region formed on the substrate 2, and is connected to the driving element made of a TFT element, the various wirings, and the like. (Indium Tin Oxide).

この透明電極3の周囲には、単一ドット領域、すなわち、赤色、緑色、青色の各色のうちの一つを表示するドット領域を区画する無機バンク6及び有機バンク7が形成されており、これら無機バンク6及び有機バンク7に囲まれた凹部には、前記機能層5が設けられている。
機能層5は、本実施形態では正孔注入/輸送層8と発光層9とから構成されている。なお、必要に応じて、前記正孔注入/輸送層8、発光層9に加えて、該発光層9上に電子輸送/注入層(図示せず)を設けるようにしてもよい。
Around the transparent electrode 3 are formed a single dot area, that is, an inorganic bank 6 and an organic bank 7 that define a dot area for displaying one of the colors red, green, and blue. The functional layer 5 is provided in the recess surrounded by the inorganic bank 6 and the organic bank 7.
The functional layer 5 includes a hole injection / transport layer 8 and a light emitting layer 9 in this embodiment. If necessary, in addition to the hole injection / transport layer 8 and the light emitting layer 9, an electron transport / injection layer (not shown) may be provided on the light emitting layer 9.

正孔注入/輸送層8の形成材料としては、蒸着法等の気相法で成膜される材料、例えばポルフィリン化合物や芳香族アミン化合物が好適に用いられる。
ポルフィリン化合物は、ポルフィリン自体も含めて、ポルフィリン構造から誘導されるかそれを含む天然または合成の化合物のどれであってもよい。好ましいポルフィリン化合物としては、以下の構造式(1)に示すものが挙げられる。
As a material for forming the hole injection / transport layer 8, a material formed by a vapor phase method such as a vapor deposition method, for example, a porphyrin compound or an aromatic amine compound is preferably used.
The porphyrin compound may be any natural or synthetic compound derived from or containing a porphyrin structure, including the porphyrin itself. Preferred porphyrin compounds include those shown in the following structural formula (1).

Figure 2005339949
Figure 2005339949

前記の構造式(1)において、Qは−N=あるいは−C(R)=であり、Mは金属、金属酸化物、または金属ハロゲン化物である。また、Rは水素、アルキル基、またはアリール基であり、TとTは水素を表すか、あるいは一緒になって不飽和六員環を完成し、それはアルキルあるいはハロゲンのような置換基を含む。好ましい六員環は炭素、硫黄、及び窒素の環炭素で形成されるものである。好ましいアルキル成分は約1個から6個の炭素原子を含み、一方、フェニルは好ましいアリール成分を構成する。 In the structural formula (1), Q is —N═ or —C (R) ═, and M is a metal, a metal oxide, or a metal halide. R is hydrogen, an alkyl group, or an aryl group, and T 1 and T 2 represent hydrogen, or together, complete an unsaturated six-membered ring, which has a substituent such as alkyl or halogen. Including. Preferred six-membered rings are those formed with carbon, sulfur, and nitrogen ring carbons. Preferred alkyl moieties contain about 1 to 6 carbon atoms, while phenyl constitutes a preferred aryl moiety.

また、このようなポルフィリン化合物において特に好ましいものとしては、フタロシアニン錯体を挙げることができる。ポルフィリン化合物は一般的に、また、フタロシアニンは特定的に、2または2より大きい正の価数を有する金属を含有した構造をとる。このような金属として具体的には、マグネシウム、亜鉛、パラジウム、ニッケル、銅、鉛、白金等が挙げられる。また、特に酸化バナジウム(VO)を含有してなるバナジルフタロシアニン(酸化バナジウムフタロシアニン)が、フタロシアニン錯体の中でも好適とされる。   Moreover, a phthalocyanine complex can be mentioned as an especially preferable thing in such a porphyrin compound. Porphyrin compounds generally and phthalocyanines specifically have a structure containing a metal having a positive valence of 2 or greater. Specific examples of such a metal include magnesium, zinc, palladium, nickel, copper, lead, and platinum. In particular, vanadyl phthalocyanine (vanadium oxide phthalocyanine) containing vanadium oxide (VO) is preferable among the phthalocyanine complexes.

一方、芳香族アミン化合物は、立体性があってアモルファス状態の形成に適しており、具体的には、以下の構造式(2)に示すTPDや、構造式(3)に示すα−NPD等が好適とされる。   On the other hand, the aromatic amine compound has steric properties and is suitable for formation of an amorphous state. Specifically, TPD shown in the following structural formula (2), α-NPD shown in the structural formula (3), etc. Is preferred.

Figure 2005339949
Figure 2005339949

Figure 2005339949
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発光層9の形成材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。特に、本実施形態では、フルカラー表示を行うべく、前述したようにその発光波長帯域が光の三原色にそれぞれ対応したものが用いられる。すなわち、発光波長帯域が赤色に対応した発光層、緑色に対応した発光層、青色に対応した発光層の三つの発光層(ドット)により、1画素が構成され、これらが階調して発光することにより、有機EL装置1が全体としてフルカラー表示をなすようになっている。   As a material for forming the light emitting layer 9, a known light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence is used. In particular, in the present embodiment, in order to perform full-color display, those whose emission wavelength bands correspond to the three primary colors of light as described above are used. That is, one pixel is constituted by three light emitting layers (dots) of a light emitting layer corresponding to red, a light emitting layer corresponding to green, and a light emitting layer corresponding to blue, and these pixels emit light in gradation. As a result, the organic EL device 1 performs full color display as a whole.

この発光層9の形成材料として具体的には、(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系などの高分子系材料が好適に用いられる。
また、これらの高分子系材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもでき、これらドープ材料を適宜に選択することで、所望の色の発光を得ることができる。例えば、ルブレンをドープすることで黄(赤)色の発光を得ることができ、ペリレンをドープすることで青色の発光を得ることができる。
Specific examples of the material for forming the light emitting layer 9 include (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), polyvinylcarbazole ( PVK), polythiophene derivatives, and polysilane-based polymer materials such as polymethylphenylsilane (PMPS) are preferably used.
These polymer materials include polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, Nile red, coumarin 6, A low molecular material such as quinacridone can also be used by doping, and light emission of a desired color can be obtained by appropriately selecting these doping materials. For example, yellow (red) light emission can be obtained by doping rubrene, and blue light emission can be obtained by doping perylene.

特に、本発明においては、前記の高分子系材料に、三重項励起子からの発光が可能な発光材料(燐光材料)を添加(ドープ)したものを用いるのが好ましい。具体的には、ポリビニルカルバゾール(PVK)等のカルバゾール基を有した発光材料に、Ir(ppy)[トリス−2−フェニルピリジン−イリジウム]等の三重項励起子からの発光が可能な発光材料を添加(ドープ)したものが好適に用いられる。なお、ポリビニルカルバゾール(PVK)にIr(ppy)をドープしたものでは、緑色の発光を得ることができる。 In particular, in the present invention, it is preferable to use a material obtained by adding (doping) a light-emitting material (phosphorescent material) capable of emitting light from triplet excitons to the polymer material. Specifically, a light-emitting material capable of emitting light from triplet excitons such as Ir (ppy) 3 [tris-2-phenylpyridine-iridium] in a light-emitting material having a carbazole group such as polyvinyl carbazole (PVK) What added (dope) is used suitably. Note that when polyvinyl carbazole (PVK) is doped with Ir (ppy) 3 , green light emission can be obtained.

陰極4は、全ての画素領域を覆うようにして形成されたもので、バソクプロイン(BCP)とセシウム(Cs)との共蒸着膜と、この共蒸着膜上に積層されたアルミニウム層とから、形成されたものである。
また、陰極4上には封止層11が形成されている。この封止層11は、エポキシ樹脂等からなる保護層及び接着層と、ガラス基板等からなる封止基板とによって形成された公知の構成のものである。
The cathode 4 is formed so as to cover all pixel regions, and is formed from a co-deposited film of bathocuproine (BCP) and cesium (Cs) and an aluminum layer laminated on the co-deposited film. It has been done.
A sealing layer 11 is formed on the cathode 4. The sealing layer 11 has a known configuration formed by a protective layer and an adhesive layer made of an epoxy resin or the like, and a sealing substrate made of a glass substrate or the like.

このような構成の有機EL装置1を製造するには、まず、従来と同様にして透明基板上にTFT素子や各種配線等を形成し、さらに層間絶縁膜や平坦化膜を形成して基体2を得る。
次に、この基板2上に蒸着法等によってITOを成膜し、さらにパターニングすることによって透明電極3を形成する。
In order to manufacture the organic EL device 1 having such a configuration, first, a TFT element, various wirings, and the like are formed on a transparent substrate in the same manner as in the prior art, and further, an interlayer insulating film and a planarizing film are formed to form a substrate 2. Get.
Next, an ITO film is formed on the substrate 2 by vapor deposition or the like, and further patterned to form the transparent electrode 3.

続いて、前記透明電極3の周囲を囲むようにして基体2上にSiOからなる無機バンク6を形成し、さらにこの無機バンク6上に樹脂からなる有機バンク7を形成し、これにより図2(a)に示すように透明電極3上に凹部12を形成する。前記有機バンク7に用いられる材料としては、ポリイミド、アクリル樹脂などが挙げられる。これらの材料にあらかじめフッ素元素を含んだ構造のものを用いてもよい。
なお、無機バンク6及び有機バンク7を形成して凹部12を形成した後、必要に応じて基体2を酸素プラズマ-CFプラズマの連続処理を行うことにより、基体上の濡れ性を制御するようにしてもよい。
Subsequently, an inorganic bank 6 made of SiO 2 is formed on the substrate 2 so as to surround the transparent electrode 3, and an organic bank 7 made of resin is further formed on the inorganic bank 6, whereby FIG. ), Recesses 12 are formed on the transparent electrode 3. Examples of the material used for the organic bank 7 include polyimide and acrylic resin. These materials having a structure containing a fluorine element in advance may be used.
After forming the concave portion 12 has an inorganic bank 6 and the organic bank 7, by performing the continuous process in an oxygen plasma -CF 4 plasma substrate 2 as necessary to control the wettability on the substrate It may be.

次いで、気相工程として、気相法である蒸着法により、例えばマスク(図示せず)を用いて前記凹部12内に前記の正孔注入/輸送層8の形成材料を選択的に配し、図2(b)に示すように正孔注入/輸送層8を形成する。このように気相法で正孔注入/輸送層8を形成すると、同じく気相法(蒸着法)で形成された平坦な透明電極3上に良好に密着し、得られた正孔注入/輸送層8もその表面が例えば液相法で形成した場合に比べ、十分に均一な平坦面となる。   Next, as the vapor phase step, the material for forming the hole injection / transport layer 8 is selectively arranged in the concave portion 12 by using, for example, a mask (not shown) by a vapor deposition method that is a vapor phase method, As shown in FIG. 2B, a hole injection / transport layer 8 is formed. When the hole injection / transport layer 8 is formed by the vapor phase method as described above, the hole injection / transport layer is obtained by being closely adhered to the flat transparent electrode 3 also formed by the vapor phase method (vapor deposition method). The layer 8 also has a sufficiently uniform flat surface as compared with the case where the surface is formed by a liquid phase method, for example.

次いで、図2(c)に示すように前記凹部12内の正孔注入/輸送層8上に、液相工程として発光層9を形成する。この発光層9の形成では、液相法として特に液滴吐出法(インクジェット法)が好適に採用される。すなわち、この発光層9の形成にあたっては、赤色の発光層、緑色の発光層、青色の発光層をそれぞれ作り分ける必要があるが、液滴吐出法によれば、各発光層の形成材料をそれぞれ所望位置に打ち分けるだけで、容易に各発光層を形成することができるからである。なお、この発光層9の形成にあたっては、特に発光層形成材料を溶解する溶媒として、前記正孔注入/輸送層8を再溶解させないようなものを用いるのが、正孔注入/輸送層8を良好な状態に保持できることから好ましい。   Next, as shown in FIG. 2C, a light emitting layer 9 is formed on the hole injection / transport layer 8 in the recess 12 as a liquid phase process. In forming the light emitting layer 9, a droplet discharge method (inkjet method) is particularly preferably employed as the liquid phase method. That is, in forming the light emitting layer 9, it is necessary to make a red light emitting layer, a green light emitting layer, and a blue light emitting layer, respectively. This is because it is possible to easily form each light emitting layer only by placing it at a desired position. In forming the light emitting layer 9, a solvent that does not re-dissolve the hole injection / transport layer 8 is used as a solvent for dissolving the light emitting layer forming material. It is preferable because it can be kept in a good state.

本発明では、正孔注入/輸送層8を気相法で形成するため、この正孔注入/輸送層8の形成材料として比較的溶媒に溶解しにくい材料を用いることができる。したがって、これの上に形成する発光層9の形成材料に用いる溶媒または分散媒については、正孔注入/輸送層8を液相法で形成する場合に比べ、その選択の自由度が大きくなる。すなわち、正孔注入/輸送層8を液相法で形成する場合、その形成材料としては溶媒に溶解し易い材料を用いる必要があり、したがってその分、発光層9の形成材料に用いる溶媒または分散媒については、その選択の自由度が小さくなってしまうからである。   In the present invention, since the hole injection / transport layer 8 is formed by a vapor phase method, a material that is relatively hardly dissolved in a solvent can be used as a material for forming the hole injection / transport layer 8. Accordingly, the solvent or dispersion medium used as the material for forming the light emitting layer 9 formed thereon has a greater degree of freedom in selection than when the hole injection / transport layer 8 is formed by the liquid phase method. That is, when the hole injecting / transporting layer 8 is formed by a liquid phase method, it is necessary to use a material that is easily dissolved in a solvent as the forming material. Therefore, the solvent or dispersion used for the forming material of the light emitting layer 9 accordingly. This is because the degree of freedom in selecting the medium is reduced.

次いで、従来と同様に蒸着法によって発光層9および有機バンク7を覆った状態にバソクプロイン(BCP)とセシウムとの共蒸着膜を成膜し、さらにこの上にAl(アルミニウム)を成膜することにより、共蒸着膜/Alの積層構造からなる陰極4を形成する。
その後、陰極4上に保護層、接着層を形成し、さらに封止基板を貼設して封止層11を形成することにより、図1に示した有機EL装置1を得る。
Next, a vapor-deposited film of bathocuproine (BCP) and cesium is formed so as to cover the light emitting layer 9 and the organic bank 7 by vapor deposition as in the conventional method, and further, Al (aluminum) is formed thereon. Thus, the cathode 4 having a laminated structure of co-deposited film / Al is formed.
Thereafter, a protective layer and an adhesive layer are formed on the cathode 4, and a sealing substrate is attached to form the sealing layer 11, thereby obtaining the organic EL device 1 shown in FIG. 1.

このようにして得られた有機EL装置1にあっては、正孔注入/輸送層8が気相法で形成されてなるので、前述したように発光層9との間の界面が安定化して正孔注入/輸送層8から発光層9への正孔輸送層性が向上し、駆動安定性が高いものとなる。また、発光層の形成材料に用いる溶媒または分散媒の選択自由度が大となり、生産性の向上が図られたものとなる。   In the organic EL device 1 thus obtained, since the hole injection / transport layer 8 is formed by the vapor phase method, the interface with the light emitting layer 9 is stabilized as described above. The hole transport layer property from the hole injection / transport layer 8 to the light emitting layer 9 is improved, and the driving stability is high. Further, the degree of freedom in selecting a solvent or a dispersion medium used for the material for forming the light emitting layer is increased, and the productivity is improved.

(実施例1)
図3に示すように、図1に示した構成とほぼ同じ構成の有機EL装置(有機EL素子)1aを以下のようにして作製した。
すなわち、この実施例1では、ガラス基板(基体2)上にITOからなる透明電極3をスパッタ法で形成し、続いて形成した透明電極3の表面を洗浄し、さらに酸素プラズマ処理を施した。
(Example 1)
As shown in FIG. 3, an organic EL device (organic EL element) 1a having substantially the same configuration as that shown in FIG. 1 was produced as follows.
That is, in Example 1, the transparent electrode 3 made of ITO was formed on the glass substrate (base 2) by the sputtering method, and then the surface of the formed transparent electrode 3 was washed and further subjected to oxygen plasma treatment.

次に、前記透明基板3上に、蒸着法によってVOPc(バナジルフタロシアニン)を厚さ50nm程度に成膜し、正孔注入/輸送層8を形成した。
次いで、PVK(ポリビニルカルバゾール)とPBD(2−(4−ビフェニル)−5−(4−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール)とIr(ppy)とを、70:30:3の混合比(重量比)で混合し、さらにジクロロエタン、クロロホルム、トルエン、シクロヘキサン等の有機溶媒を用いて液状化して緑色用の発光層形成材料を形成し、これを液相法としてのスピンコート法で塗布し、さらに乾燥して厚さ75nm程度の発光層9を形成した。
次いで、発光層9を覆った状態にバソクプロイン(BCP)とセシウムとの共蒸着膜を成膜し、さらにこの上にAl(アルミニウム)を成膜することにより、共蒸着膜/Alの積層構造からなる陰極4を形成した。
その後、陰極4上にエポキシ樹脂を塗布して保護層(接着層)を形成し、さらにガラス基板(封止基板)を貼設して封止層11を形成することにより、有機EL装置(有機EL素子)1aを得た。
Next, VOPc (vanadyl phthalocyanine) was formed into a thickness of about 50 nm on the transparent substrate 3 by vapor deposition to form a hole injection / transport layer 8.
Next, PVK (polyvinylcarbazole), PBD (2- (4-biphenyl) -5- (4-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole) and Ir (ppy) 3 were prepared at 70:30: The mixture is mixed at a mixing ratio (weight ratio) of 3, and further liquefied using an organic solvent such as dichloroethane, chloroform, toluene, cyclohexane, etc. to form a light emitting layer forming material for green, and this is spin coated as a liquid phase method The light emitting layer 9 having a thickness of about 75 nm was formed by coating by the method and further drying.
Next, a co-deposited film of bathocuproine (BCP) and cesium is formed in a state of covering the light emitting layer 9, and further, Al (aluminum) is formed thereon, thereby forming a co-deposited film / Al laminated structure. A cathode 4 was formed.
Thereafter, an epoxy resin is applied on the cathode 4 to form a protective layer (adhesive layer), and a glass substrate (sealing substrate) is further pasted to form the sealing layer 11, thereby forming an organic EL device (organic). EL element) 1a was obtained.

このようにして得られた有機EL装置1aの輝度半減寿命を、室温にて初期輝度を200cd/mとし、定電流駆動で発光させることで測定したところ、200時間であった。また、得られた発光光の色純度を調べたところ、CIE色度座標が(0.27,0.64)となった。 The luminance half-life of the organic EL device 1a thus obtained was 200 hours when measured by emitting light at a constant current drive with an initial luminance of 200 cd / m 2 at room temperature. Further, when the color purity of the obtained emitted light was examined, the CIE chromaticity coordinates were (0.27, 0.64).

(実施例2)
図3に示した構成とほぼ同じ構成の有機EL装置(有機EL素子)を以下のようにして作製した。
すなわち、この実施例2では、図3に示した透明電極3上に、液相法(スピンコート法)でPEDOT:PSS(ポリエチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホネート)を塗布し、乾燥して正孔注入層(図示せず)を形成した。
次いで、図3に示した実施例1と同様に、PEDOT:PSSからなる正孔注入層上にVOPc(バナジルフタロシアニン)を厚さ50nm程度に成膜して正孔注入/輸送層8を形成し、さらにPVKとPBDとIr(ppy)とからなる混合物によって発光層9を液相法で形成した。その後、図3に示した実施例1と同様にして封止層11を形成し、有機EL装置(有機EL素子)を得た。
(Example 2)
An organic EL device (organic EL element) having substantially the same configuration as that shown in FIG. 3 was produced as follows.
That is, in Example 2, PEDOT: PSS (polyethylenedioxythiophene-polystyrene sulfonate) was applied on the transparent electrode 3 shown in FIG. 3 by a liquid phase method (spin coating method), and dried to inject holes. A layer (not shown) was formed.
Next, similarly to Example 1 shown in FIG. 3, VOPc (vanadyl phthalocyanine) is formed to a thickness of about 50 nm on the hole injection layer made of PEDOT: PSS to form the hole injection / transport layer 8. Further, a light emitting layer 9 was formed by a liquid phase method using a mixture of PVK, PBD, and Ir (ppy) 3 . Then, the sealing layer 11 was formed like Example 1 shown in FIG. 3, and the organic EL apparatus (organic EL element) was obtained.

このようにして得られた有機EL装置1aの輝度半減寿命を、室温にて初期輝度を200cd/mとし、定電流駆動で発光させることで測定したところ、150時間であった。また、得られた発光光の色純度を調べたところ、CIE色度座標が(0.30,0.61)となった。 The luminance half life of the organic EL device 1a thus obtained was 150 hours when measured by emitting light with constant current drive at an initial luminance of 200 cd / m 2 at room temperature. Further, when the color purity of the obtained emitted light was examined, the CIE chromaticity coordinates were (0.30, 0.61).

(比較例)
図3に示した構成の有機EL装置(有機EL素子)1aに対し、正孔注入/輸送層8についてのみ以下のように形成し、それ以外は前記有機EL装置(有機EL素子)1aと同様にして比較例の有機EL装置(有機EL素子)を作製した。
すなわち、気相法によるVOPc(バナジルフタロシアニン)からなる正孔注入/輸送層8に代えて、液相法(スピンコート法)でPEDOT:PSS(ポリエチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホネート)を塗布し、乾燥することで正孔注入/輸送層8を形成した。
(Comparative example)
With respect to the organic EL device (organic EL element) 1a having the configuration shown in FIG. 3, only the hole injection / transport layer 8 is formed as follows, and the rest is similar to the organic EL device (organic EL element) 1a. Thus, an organic EL device (organic EL element) of a comparative example was produced.
That is, in place of the hole injection / transport layer 8 made of VOPc (vanadyl phthalocyanine) by a vapor phase method, PEDOT: PSS (polyethylenedioxythiophene-polystyrenesulfonate) is applied by a liquid phase method (spin coating method) and dried. As a result, the hole injection / transport layer 8 was formed.

このようにして得られた有機EL装置の輝度半減寿命を、室温にて初期輝度を200cd/mとし、定電流駆動で発光させることで測定したところ、30時間であった。また、得られた発光光の色純度を調べたところ、CIE色度座標が(0.32,0.60)となった。
実施例1、実施例2、比較例の結果より、本発明の実施例1、2は、従来法による比較例に比べ、輝度半減寿命が30時間から200時間、150時間と大幅に延びたことで、駆動安定性が向上したことが確認された。また、色純度についても、比較例に比べてCIE色度座標におけるX値が小さく、Y値が大きくなることにより、緑色としての色純度が高まったことが確認された。
The luminance half life of the organic EL device thus obtained was 30 hours when measured by emitting light with constant current drive at an initial luminance of 200 cd / m 2 at room temperature. Further, when the color purity of the obtained emitted light was examined, the CIE chromaticity coordinates were (0.32, 0.60).
From the results of Example 1, Example 2, and Comparative Example, Examples 1 and 2 of the present invention have a luminance half-life significantly increased from 30 hours to 200 hours and 150 hours as compared with Comparative Examples by the conventional method. It was confirmed that the driving stability was improved. Further, regarding the color purity, it was confirmed that the color purity as green was increased by decreasing the X value in the CIE chromaticity coordinates and increasing the Y value as compared with the comparative example.

なお、前記実施形態では本発明をボトムエミッションタイプの有機EL装置(有機EL素子)に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、基体とは反対の側から発光光を出射する、いわゆるトップエミッションと呼ばれるタイプのものにも適用することができる。   In the above embodiment, the case where the present invention is applied to a bottom emission type organic EL device (organic EL element) has been described. However, the present invention is not limited to this, and the emitted light is emitted from the side opposite to the substrate. Can be applied to a so-called top emission type.

このような本発明の有機EL装置(有機EL素子)は、例えばワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置や、携帯電話、腕時計型電子機器など、各種の電子機器における表示部として好適に用いることができる。
図4は、このような電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。図4において符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は前記の有機EL装置1を用いた表示部を示している。
図4に示した電子機器(携帯電話)は、前記の有機EL装置からなる表示部1001を備えているので、特に表示部1001の表示特性や生産性が向上したものとなる。
Such an organic EL device (organic EL element) of the present invention is preferably used as a display unit in various electronic devices such as portable information processing devices such as word processors and personal computers, mobile phones and wristwatch-type electronic devices. Can do.
FIG. 4 is a perspective view showing a mobile phone as an example of such an electronic apparatus. In FIG. 4, reference numeral 1000 denotes a mobile phone body, and reference numeral 1001 denotes a display unit using the organic EL device 1.
Since the electronic apparatus (mobile phone) shown in FIG. 4 includes the display unit 1001 made of the organic EL device, display characteristics and productivity of the display unit 1001 are particularly improved.

本発明の有機EL装置(素子)の要部側断面図である。It is principal part sectional drawing of the organic electroluminescent apparatus (element) of this invention. (a)〜(c)は有機EL装置の製造方法の工程説明図である。(A)-(c) is process explanatory drawing of the manufacturing method of an organic electroluminescent apparatus. 実施例の有機EL装置(素子)の要部側断面図である。It is principal part side sectional drawing of the organic electroluminescent apparatus (element) of an Example. 電子機器の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

1、1a…有機EL装置、2…基体、3…透明電極(第1の電極)、
4…陰極(第2の電極)、5…機能層、8…正孔注入/輸送層、9…発光層、
10…有機EL素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a ... Organic EL apparatus, 2 ... Base | substrate, 3 ... Transparent electrode (1st electrode),
4 ... cathode (second electrode), 5 ... functional layer, 8 ... hole injection / transport layer, 9 ... light emitting layer,
10 ... Organic EL element

Claims (10)

第1の電極と第2の電極との間に、少なくとも有機化合物からなる正孔注入/輸送層と発光層とを有した機能層を備えてなる有機EL素子の製造方法において、
前記第1の電極上に前記正孔注入/輸送層を気相法で形成する気相工程と、
前記正孔注入/輸送層上に前記発光層を液相法で形成する液相工程と、を備えたことを特徴とする有機EL素子の製造方法。
In the method for producing an organic EL device comprising a functional layer having at least a hole injection / transport layer made of an organic compound and a light emitting layer between the first electrode and the second electrode,
A vapor phase step of forming the hole injection / transport layer on the first electrode by a vapor phase method;
And a liquid phase step of forming the light emitting layer on the hole injection / transport layer by a liquid phase method.
前記液相工程では、前記発光層を液滴吐出法で形成することを特徴とする請求項1記載の有機EL素子の製造方法。   2. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein in the liquid phase step, the light emitting layer is formed by a droplet discharge method. 第1の電極と第2の電極との間に、少なくとも有機化合物からなる正孔注入/輸送層と発光層とを有した機能層を備えてなる有機EL素子において、
前記正孔注入/輸送層が気相法で形成されてなり、
前記発光層が液相法で形成されてなることを特徴とする有機EL素子。
In an organic EL element comprising a functional layer having at least a hole injection / transport layer made of an organic compound and a light emitting layer between a first electrode and a second electrode,
The hole injection / transport layer is formed by a vapor phase method,
An organic EL element, wherein the light emitting layer is formed by a liquid phase method.
前記正孔注入/輸送層がポルフィリン化合物からなることを特徴とする請求項3記載の有機EL素子。   4. The organic EL device according to claim 3, wherein the hole injection / transport layer is made of a porphyrin compound. 前記ポルフィリン化合物がフタロシアニン錯体であることを特徴とする請求項4記載の有機EL素子。   The organic EL device according to claim 4, wherein the porphyrin compound is a phthalocyanine complex. 前記フタロシアニン錯体がバナジルフタロシアニンであることを特徴とする請求項5記載の有機EL素子。   6. The organic EL device according to claim 5, wherein the phthalocyanine complex is vanadyl phthalocyanine. 前記正孔注入/輸送層が芳香族アミン化合物からなることを特徴とする請求項3記載の有機EL素子。   4. The organic EL device according to claim 3, wherein the hole injection / transport layer is made of an aromatic amine compound. 前記発光層が、三重項励起子からの発光が可能な発光材料を含有していることを特徴とする請求項3〜7のいずれか一項に記載に有機EL素子。   The organic light-emitting device according to claim 3, wherein the light-emitting layer contains a light-emitting material capable of emitting light from triplet excitons. 前記発光層が、カルバゾール基を有した発光材料を含有していることを特徴とする請求項3〜8のいずれか一項に記載に有機EL素子。   The organic light-emitting device according to any one of claims 3 to 8, wherein the light-emitting layer contains a light-emitting material having a carbazole group. 請求項3〜9のいずれか一項に記載の有機EL素子を備えたことを特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the organic EL element according to claim 3.
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