JP2005339648A - Magnetic recording medium - Google Patents

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Jota Ito
条太 伊藤
Takeshi Omiya
武 大宮
Yutaka Mizuno
裕 水野
Masayuki Tani
谷  正之
Tsutomu Takeda
勉 武田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium which is excellent in sliding durability in repeated high-speed travel and favorable in head contact, has less spacing loss and can cope with an AIT4 format. <P>SOLUTION: Loop stiffness SMD (unit: mN/8 mm) in the length direction of a magnetic recording medium having a metal magnetic thin film on a nonmagnetic support object (for example, a polyamide film) and the loop stiffness STD (unit: mN/8 mm) in the width direction is constituted so that all the following formulas can be satisfied. 1.0≤STD/SMD≤1.4... (1) 10.0<STD... (2) SMD+STD<29.0... (3) The surface roughness Ra of the metal magnetic thin film is 1.0 nm-3.0 nm, Rz is 10 nm-50 nm, the number of projections with projection height of 5 nm or more is 4 million-10 million/mm<SP>2</SP>. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、高密度記録の磁気記録媒体に関し、さらに詳しくはAIT4フォーマット用の高密度記録に対応できる磁気記録媒体に関する。   The present invention relates to a magnetic recording medium for high-density recording, and more particularly to a magnetic recording medium that can support high-density recording for the AIT4 format.

従来より、磁気記録媒体として、非磁性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の磁性材料を、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機結合剤中に分散させた磁性塗料を塗布、乾燥させて作製される、いわゆる塗布型の磁気記録媒体が広く知られている。   Conventionally, as a magnetic recording medium, a magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder is dispersed on a nonmagnetic support in an organic binder such as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, a polyester resin, or a polyurethane resin. A so-called coating-type magnetic recording medium is widely known which is manufactured by applying and drying a magnetic coating material.

しかし、近年、ビデオテープレコーダー等の分野においては、高画質化や、高密度記録化、長時間記録化などが強く要求されている。また、ミニコンピューター、パーソナルコンピューターなどのオフィスコンピューター分野においても、小型化、情報処理能力の増大に相まって、記録の大容量化や小型化を達成するために、コンピューターデータを記録するための磁気テープ(いわゆる、テープストリーマー)の記録容量の向上が強く要求されている。   However, in recent years, in the field of video tape recorders and the like, there is a strong demand for higher image quality, higher density recording, longer recording time, and the like. Also, in the field of office computers such as minicomputers and personal computers, magnetic tapes for recording computer data (in order to achieve large recording capacity and miniaturization in conjunction with downsizing and increased information processing capabilities) There is a strong demand for improving the recording capacity of so-called tape streamers.

一般に、磁気テープは、合成樹脂等の可撓性材料の非磁性支持体上に磁性層が設けられた構成であり、上記のような記録容量(体積記録容量)の向上を達成するためには、磁性層を強磁性金属薄膜にすることによって磁性層自体の記録密度を高めると共に、磁気テープの全厚を薄くすることが有効な方法であるとされている。すなわち、磁気テープとしては、非磁性支持体上に金属磁性薄膜を成膜した蒸着テープ、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が有効である。   In general, a magnetic tape has a structure in which a magnetic layer is provided on a nonmagnetic support made of a flexible material such as a synthetic resin, and in order to achieve the above-described improvement in recording capacity (volume recording capacity). It is said that an effective method is to increase the recording density of the magnetic layer itself by making the magnetic layer a ferromagnetic metal thin film and to reduce the total thickness of the magnetic tape. That is, as the magnetic tape, a vapor-deposited tape obtained by forming a metal magnetic thin film on a nonmagnetic support, that is, a so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium is effective.

このような観点から、高密度記録化への要求に対しては、金属あるいはCo−Ni等の合金からなる強磁性材料を、メッキや真空薄膜形成技術(真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等)によって、非磁性支持体上に直接被着せしめた強磁性金属薄膜よりなる磁性層を有する磁気記録媒体が実用化されている。例えば、上記ビデオテープレコーダー等の分野では、ハイバンド8mmビデオテープレコーダー、デジタルビデオテープレコーダー、8ミリデータストレージフォーマット(AIT)用の蒸着テープ等がある。   From this point of view, to meet the demand for high-density recording, a ferromagnetic material made of metal or an alloy such as Co—Ni is used for plating or vacuum thin film formation technology (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating). For example, a magnetic recording medium having a magnetic layer made of a ferromagnetic metal thin film directly deposited on a nonmagnetic support has been put into practical use. For example, in the field of the video tape recorder and the like, there are a high-band 8 mm video tape recorder, a digital video tape recorder, a vapor deposition tape for 8 mm data storage format (AIT), and the like.

このような金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、保磁力、残留磁化、角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層の厚さをきわめて薄く形成できるため、記録減磁や再生時の厚み損失が小さいこと、磁性層中に非磁性材である結合剤を混入する必要がないため、磁性材料の充填密度を高め、大きな磁化が得られることができる等、数々の利点を有している。   Such a metal magnetic thin film type magnetic recording medium is excellent in coercive force, remanent magnetization, squareness ratio, etc., and not only has excellent electromagnetic conversion characteristics at a short wavelength, but also can be formed with a very thin magnetic layer, The thickness loss at the time of recording demagnetization and reproduction is small, it is not necessary to mix a binder that is a nonmagnetic material in the magnetic layer, so the packing density of the magnetic material can be increased, and a large magnetization can be obtained. Has a number of advantages.

さらに、金属薄膜型の磁気記録媒体の電磁変換特性を向上させ、より大きな出力を得ることができるようにするため、磁気記録媒体の磁性層を形成するに際して、磁性層を斜めに蒸着する、いわゆる斜方蒸着が提案され、高画質VTR用、デジタルVTR用、コンピューター用データストレージ用の磁気テープとして実用化されている。   Further, in order to improve the electromagnetic conversion characteristics of the metal thin film type magnetic recording medium and obtain a larger output, when forming the magnetic layer of the magnetic recording medium, the magnetic layer is deposited obliquely, so-called The oblique vapor deposition has been proposed and put into practical use as a magnetic tape for high-quality VTR, digital VTR, and computer data storage.

上記のような利点を有する磁気記録媒体を実用化する際には、ヘッドと磁性層のスペーシングを小さく保ちながら耐摺動特性を維持するために、均一な高さを持つ微細な突起を表面に配置するという方法がとられている。例えば、この方法によって、DVミニや8ミリデータストレージフォーマット(AIT)用のテープが実現されている。   When a magnetic recording medium having the above-described advantages is put into practical use, fine protrusions with a uniform height are provided on the surface in order to maintain sliding resistance while keeping the spacing between the head and the magnetic layer small. The method of arranging in is taken. For example, by this method, a tape for DV mini or 8 mm data storage format (AIT) is realized.

しかしながら、さらなる記録容量の向上、すなわち記録密度の向上が求められており、金属磁性薄膜型の磁気記録媒体の高記録密度化への新たな対応が要求されている。   However, there is a demand for further improvement in recording capacity, that is, improvement in recording density, and a new response to higher recording density of metal magnetic thin film type magnetic recording media is required.

従来、記録容量の向上ならびに関連特性の改善に対応する方法として、例えば、芳香族ポリアミドフィルムの表面の突起高さ分布や、表面粗さを規定し、磁気記録媒体として用いられたときに出力特性と耐久性(走行性)を改善する方法が提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。
あるいは、0.27μm以上の粗大突起の断面積と単位面積当たりの含有個数をコントロールしたパラ配向芳香族ポリアミドを主成分としたフィルムを用いることによって、磁気記録媒体のドロップアウトを改善する方法が提案されている(例えば、特許文献3参照。)。
Conventionally, as a method corresponding to improvement of recording capacity and improvement of related characteristics, for example, the distribution of protrusion height and surface roughness of the surface of an aromatic polyamide film is specified, and output characteristics when used as a magnetic recording medium And methods for improving durability (running performance) have been proposed (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
Alternatively, a method for improving the dropout of a magnetic recording medium by using a film mainly composed of para-oriented aromatic polyamide with controlled cross-sectional area of coarse protrusions of 0.27 μm or more and the number of contained per unit area is proposed. (For example, see Patent Document 3).

さらに、磁性層に研磨剤を含有する塗布型磁気記録媒体の、該研磨剤の高さ(10nm未満の個数に対する15nm以上、30nm以下の個数の比)と、磁気記録媒体のスティフネス(長手方向に対する幅方向の比)とを規定することによって、ヘッド摩耗、汚れ、ヘッド当たりを改善する方法が提案されている(例えば、特許文献4参照。)。   Furthermore, the height of the abrasive (a ratio of the number of 15 nm to 30 nm with respect to the number less than 10 nm) of the coating type magnetic recording medium containing the abrasive in the magnetic layer, and the stiffness (with respect to the longitudinal direction) of the magnetic recording medium A method for improving head wear, dirt, and head contact has been proposed (for example, refer to Patent Document 4).

また、重層塗布型磁気記録媒体の長さ方向のスティフネス(TDS)と幅方向のスティフネス(MDS)の比(TDS/MDS)を特定の領域(0.8〜1.2)にすることによって回転ヘッドに対する相互当たり特性を改善する方法が提案されている。ここで、各スティフネスは、所定の寸法にカットされた磁気記録媒体の両端をそれぞれ一定のスピードでストレインゲージに押し当て、得られた出力(mV)をもって表現されている(例えば、特許文献5参照。)。   In addition, the ratio of the stiffness (TDS) in the length direction to the stiffness (MDS) in the width direction (TDS / MDS) of the multilayer coating type magnetic recording medium is set to a specific region (0.8 to 1.2). A method for improving the mutual contact characteristic with respect to the head has been proposed. Here, each stiffness is expressed by an output (mV) obtained by pressing both ends of the magnetic recording medium cut to a predetermined size against the strain gauge at a constant speed (see, for example, Patent Document 5). .)

特許第3047471号公報Japanese Patent No. 3047471 特開平10−114038号公報JP-A-10-114038 特開平11−106529号公報JP-A-11-106529 特開2003−16629号公報JP 2003-16629 A 特開2000−123355号公報JP 2000-123355 A

特許文献1〜3によれば、磁性層の剥離や、ドロップアウトなどが改善されるとされているが、この表面の突起高さ分布を規定するのみでは、さらに高密度記録フォーマット(例えば、AIT4フォーマット)に用いた場合の高転送レートにおける高速摺動に十分に耐えられない場合があり、十分とはいえない。
また特許文献4によれば、ヘッド当たりに対して改善効果が期待できるが、塗布型であるため、高密度記録フォーマットの金属薄膜型磁気記録媒体の場合には上記条件が合致するとはいえず、また十分な表面の平滑性が得難くスペーシングロスの低減には限度があるなど条件として十分でない。
さらに特許文献5によれば、重層塗布型磁気記録媒体のヘッド当たりに対して改善効果が期待できるが、さらなる上記高密度記録フォーマットに用いられる金属薄膜型の磁気記録媒体の場合には十分な条件とはいえず、また、十分な表面の平滑性を得るのが難しく、スペーシングロスの低減にも限度がある。
According to Patent Documents 1 to 3, it is said that peeling of the magnetic layer, dropout, and the like are improved. However, only by specifying the projection height distribution on the surface, a higher density recording format (for example, AIT4). In some cases, it may not be able to sufficiently withstand high-speed sliding at a high transfer rate when used for formatting.
According to Patent Document 4, an improvement effect can be expected with respect to the head contact, but since it is a coating type, it cannot be said that the above conditions are met in the case of a metal thin film type magnetic recording medium of a high density recording format. Moreover, it is difficult to obtain sufficient surface smoothness and there is a limit in reducing the spacing loss.
Further, according to Patent Document 5, an improvement effect can be expected with respect to the head-per-layer of the multilayer coating type magnetic recording medium, but sufficient conditions are required in the case of the metal thin film type magnetic recording medium used in the above-described high-density recording format. However, it is difficult to obtain sufficient surface smoothness, and there is a limit to reducing the spacing loss.

金属薄膜型の磁気記録媒体における今後の高記録密度化、例えば、記録容量200GB/巻のAIT4フォーマットに応えるためには、さらなる表面の平滑化によってスペーシングロスを低減する必要があり、なおかつ高密度記録フォーマットにおいて求められる高転送レートへの耐繰返し高速走行性(耐摺動性)を向上させる必要もあり、これらを両立することが求められている。   In order to meet future increases in recording density in metal thin-film magnetic recording media, for example, the AIT4 format with a recording capacity of 200 GB / winding, it is necessary to reduce the spacing loss by further smoothing the surface, and the high density. It is also necessary to improve the high-speed repetitive running property (sliding resistance) to the high transfer rate required in the recording format.

本発明は、上記従来技術に鑑みてなされたものであり、繰返し高速走行における耐摺動性に優れると共にヘッド当たりが良好でスペーシングロスが少なく、高密度記録(AIT4フォーマット)に対応できる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above prior art, and is a metal magnet that is excellent in sliding resistance in repeated high-speed running, has good head contact, has little spacing loss, and can be used for high-density recording (AIT4 format). An object is to provide a thin-film magnetic recording medium.

本発明者らは鋭意検討した結果、磁気記録媒体の剛性を小さくすることによってヘッドとテープ表面の接触圧力が低減して、高速走行における耐摺動性が著しく向上すると同時に、小さくした剛性の領域においてテープの長さ方向と幅方向の各剛性のバランスをとることによって良好なヘッド当たりが実現でき、これと相俟って、さらに金属磁気記録媒体の表面平滑性を制御することによってさらなるスペーシングロスの低減がなされ、上記課題が解決できることを見出し本発明に至った。   As a result of intensive studies, the present inventors have reduced the contact pressure between the head and the surface of the tape by reducing the rigidity of the magnetic recording medium, thereby significantly improving the sliding resistance at high speeds and at the same time reducing the rigidity. In this case, good head contact can be achieved by balancing the rigidity in the tape length direction and width direction, and in combination with this, further spacing can be achieved by controlling the surface smoothness of the metal magnetic recording medium. The present inventors have found that the loss can be reduced and the above problems can be solved, and the present invention has been achieved.

すなわち、本発明は、非磁性支持体上に金属磁性薄膜を有する磁気記録媒体において、長さ方向のループスティフネスSMD(単位:mN/8mm)と幅方向のループスティフネスSTD(単位:mN/8mm)が、次式のすべてを満足することを特徴とする磁気記録媒体である。
1.0≦STD/SMD≦1.4 ・・(1)
10.0<STD ・・(2)
SMD+STD<29.0 ・・(3)
That is, according to the present invention, in a magnetic recording medium having a metal magnetic thin film on a nonmagnetic support, a loop stiffness SMD in the length direction (unit: mN / 8 mm) and a loop stiffness STD in the width direction (unit: mN / 8 mm). However, the magnetic recording medium satisfies all of the following expressions.
1.0 ≦ STD / SMD ≦ 1.4 (1)
10.0 <STD (2)
SMD + STD <29.0 (3)

ここで、前記金属磁性薄膜の表面粗度Raは1.0nm〜3.0nmであり、Rzは10nm〜50nmであり、突起高さ5nm以上の突起数は400万〜1000万個/mm2であることを好適とする。 Here, the surface roughness Ra of the metal magnetic thin film is 1.0 nm to 3.0 nm, Rz is 10 nm to 50 nm, and the number of protrusions having a protrusion height of 5 nm or more is 4 million to 10 million pieces / mm 2 . It is preferable to be.

さらに、前記非磁性支持体として芳香族ポリアミドフィルムを用いたものであることが好ましい。   Furthermore, it is preferable that an aromatic polyamide film is used as the nonmagnetic support.

また、磁気記録媒体はAIT4フォーマット用の磁気テープであることを好適とする。   The magnetic recording medium is preferably an AIT4 format magnetic tape.

本発明の金属磁性薄膜型の磁気記録媒体によれば、ヘリカル磁気記録システムにおいて、良好なヘッド当たりと20000回以上の繰り返し走行耐久性を得ることができ、1.2GB/inch2の高記録密度を有するAIT4フォーマット用の磁気記録媒体として用いることが可能となる。
また、媒体の表面平滑性、特に表面粗度Ra、Rzおよび突起数を制御することで、金属磁性薄膜と磁気ヘッドとのスペーシングロスがより低減され、一層の高密度記録を実現することができる。
さらに、非磁性支持体として芳香族ポリアミドフィルムを用いれば、優れた機械的強度により、ループスティフネスのバランスが好適とされて、一層高密度記録フォーマットの実現を可能にすることができる。
According to the metal magnetic thin film type magnetic recording medium of the present invention, in a helical magnetic recording system, it is possible to obtain good per-head and repeated running durability of 20000 times or more, and a high recording density of 1.2 GB / inch 2. It can be used as a magnetic recording medium for AIT4 format having
In addition, by controlling the surface smoothness of the medium, particularly the surface roughness Ra, Rz and the number of protrusions, the spacing loss between the metal magnetic thin film and the magnetic head can be further reduced, and higher density recording can be realized. it can.
Furthermore, if an aromatic polyamide film is used as the nonmagnetic support, the balance of loop stiffness is made suitable by excellent mechanical strength, and it is possible to realize a higher-density recording format.

以下、本発明の磁気記録媒体の一例について、図を参照して説明する。
図1に本発明の磁気記録媒体の概略断面図を示す。
この磁気記録媒体100は、長尺形状の非磁性支持体101の一主面に、真空薄膜形成技術により形成した金属磁性薄膜からなる磁性層102を有し、磁性層102上に保護層103が形成され、非磁性支持体101の磁性層102とは反対側にバックコート層104が形成された構成を有するものである。通常、磁性層102と、バックコート層104の両表層に所定のフッ素系潤滑剤を塗布した構成とされる。
Hereinafter, an example of the magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium of the present invention.
This magnetic recording medium 100 has a magnetic layer 102 made of a metal magnetic thin film formed by a vacuum thin film forming technique on one main surface of a long nonmagnetic support 101, and a protective layer 103 is formed on the magnetic layer 102. The backcoat layer 104 is formed on the opposite side of the nonmagnetic support 101 from the magnetic layer 102. Usually, a predetermined fluorine-based lubricant is applied to both the surface layers of the magnetic layer 102 and the backcoat layer 104.

上記構成において、例えば、長尺形状の非磁性支持体101の一主面には、真空薄膜形成技術によって形成された厚さ140〜220nm(通常、180nm程度)の磁性層102が設けられ、磁性層102上には厚さ5〜15nmのダイヤモンドライクカーボンからなる保護層103が設けられている。
次に、各構成層について詳細に説明する。
In the above configuration, for example, the main surface of the long nonmagnetic support 101 is provided with the magnetic layer 102 having a thickness of 140 to 220 nm (usually about 180 nm) formed by a vacuum thin film forming technique, and magnetically. A protective layer 103 made of diamond-like carbon having a thickness of 5 to 15 nm is provided on the layer 102.
Next, each constituent layer will be described in detail.

非磁性支持体1には、通常、磁気記録媒体の基体として用いられている公知の材料をいずれも適用することができる。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド等が挙げられる。
上記非磁性支持体のうち、ポリエステルフィルム、主としてPETフィルムは従来から、特にホームビデオカセットテープ(例えば、8mmテープ)やコンピューターのデータバックアップ用のテープストリーマーに用いられている。一方、ポリアミドフィルムは、PETフィルムに比べて強度が高いため、厚さを薄くすることが可能であり、長時間記録化、大容量化等に対応した磁気記録媒体として望ましいものである。非磁性支持体の厚さは通常、3.8〜4.5μmである。
本発明において、金属磁性薄膜の表面平滑性(表面粗度、突起数)を後述するように調整・制御する場合には、非磁性支持体(ベースフィルム)に予め微細な突起を形成し、その表面性を好適に調節しておく。
For the non-magnetic support 1, any known material that is usually used as a substrate of a magnetic recording medium can be applied. For example, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyimide, polyamide, polyetherimide and the like can be mentioned.
Among the nonmagnetic supports, polyester films, mainly PET films, have been conventionally used particularly for home video cassette tapes (for example, 8 mm tapes) and tape streamers for computer data backup. On the other hand, since the polyamide film has higher strength than the PET film, the thickness can be reduced, and it is desirable as a magnetic recording medium corresponding to long-time recording, large capacity, and the like. The thickness of the nonmagnetic support is usually 3.8 to 4.5 μm.
In the present invention, when adjusting and controlling the surface smoothness (surface roughness, number of protrusions) of the metal magnetic thin film as described later, fine protrusions are formed on the nonmagnetic support (base film) in advance, The surface property is suitably adjusted.

次に、磁性層102を形成する金属磁性材料としては、通常磁気テープに適用されるものであれば、いかなるものであってもよい。例えば、Fe,Co,Ni等の強磁性金属、FeCo,CoNi,CoNiFe,CoCr,CoPt,CoPtB,CoCrPt,CoCrTa,CoCrPtTa,CoNiPt,FeCoNi,FeCoB,FeNiB,FeCoNiCr等の強磁性合金等が挙げられる。   Next, the metal magnetic material forming the magnetic layer 102 may be any material as long as it is normally applied to a magnetic tape. Examples thereof include ferromagnetic metals such as Fe, Co, Ni, and ferromagnetic alloys such as FeCo, CoNi, CoNiFe, CoCr, CoPt, CoPtB, CoCrPt, CoCrTa, CoCrPtTa, CoNiPt, FeCoNi, FeCoB, FeNiB, and FeCoNiCr.

磁性層102は、真空下で金属磁性材料を加熱蒸発させ、非磁性支持体101上に沈着させる真空蒸着法や、金属磁性材料の蒸発を放電中で行うイオンプレーティング法、アルゴンを主成分とする雰囲気中でグロー放電を起こしてターゲット表面の原子をアルゴンイオンで叩き出すスパッタ法等のいわゆるPVD技術によって薄膜に形成することができる。   The magnetic layer 102 includes a vacuum evaporation method in which a metal magnetic material is heated and evaporated under vacuum and deposited on the nonmagnetic support 101, an ion plating method in which the metal magnetic material is evaporated in a discharge, and argon as a main component. The film can be formed into a thin film by a so-called PVD technique such as a sputtering method in which glow discharge is generated in an atmosphere and atoms on the target surface are beaten with argon ions.

図2に、磁性層102の成膜に用いられる装置の一例としての連続巻き取り式の蒸着装置の概略構成図を示す。
この蒸着装置200においては、排気口201、202から排気されて真空状態となされた真空室211内に、送りロール212と巻き取りロール213とが設けられており、これらの間に非磁性支持体101が順次走行するようになされている。
In FIG. 2, the schematic block diagram of the continuous winding-type vapor deposition apparatus as an example of the apparatus used for film-forming of the magnetic layer 102 is shown.
In this vapor deposition apparatus 200, a feed roll 212 and a take-up roll 213 are provided in a vacuum chamber 211 that is evacuated from the exhaust ports 201 and 202, and a nonmagnetic support is provided therebetween. 101 runs sequentially.

これら送りロール212と巻き取りロール213との間に、上記非磁性支持体101が走行する途中には、冷却キャン214が設けられている。この冷却キャン214には、冷却装置(図示せず)が設けられ、非磁性支持体101の温度上昇による熱変形等を抑制している。   A cooling can 214 is provided between the feed roll 212 and the take-up roll 213 while the nonmagnetic support 101 travels. The cooling can 214 is provided with a cooling device (not shown) to suppress thermal deformation or the like due to a temperature rise of the nonmagnetic support 101.

非磁性支持体101は、送りロール212から順次送り出され、さらに冷却キャン214周面を通過して巻き取りロール213に巻き取られていくようになされている。なお、ガイドロール215および216により非磁性支持体101には、所定のテンションがかけられ、円滑に走行するようになされている。   The nonmagnetic support 101 is sequentially fed from the feed roll 212, and further passed through the circumferential surface of the cooling can 214 and taken up by the take-up roll 213. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 101 by the guide rolls 215 and 216 so that the non-magnetic support 101 runs smoothly.

真空室211内には、冷却キャン214の下方にルツボ217が設けられており、ルツボ内には、金属磁性材料218が充填されている。一方、真空室211の側壁部には、ルツボ217内に充填された金属磁性材料218を加熱蒸発させるための電子銃219が設けられている。この電子銃219は、これより放出される電子線Bが、ルツボ内217内の金属磁性材料218に照射されるような位置に配置されている。そして、この電子線Bの照射によって蒸発した金属磁性材料218が非磁性支持体101の表面に被着して、磁性層102の形成がなされる。   A crucible 217 is provided in the vacuum chamber 211 below the cooling can 214, and the crucible is filled with a metal magnetic material 218. On the other hand, an electron gun 219 for heating and evaporating the metal magnetic material 218 filled in the crucible 217 is provided on the side wall of the vacuum chamber 211. The electron gun 219 is disposed at a position such that the electron beam B emitted from the electron gun 219 is applied to the metal magnetic material 218 in the crucible 217. Then, the metal magnetic material 218 evaporated by the irradiation of the electron beam B is deposited on the surface of the nonmagnetic support 101, and the magnetic layer 102 is formed.

また、冷却キャン214とルツボ217との間であって、冷却キャン214の近傍には、シャッター220が冷却キャン214の周面を走行する非磁性支持体101の所定領域を覆う形で配置されており、このシャッター220により蒸発した金属磁性材料218が非磁性支持体101に対して所定の入射角度範囲で斜めに蒸着するようになされている。なお、222は防着板である。   A shutter 220 is disposed between the cooling can 214 and the crucible 217 and in the vicinity of the cooling can 214 so as to cover a predetermined area of the nonmagnetic support 101 that runs on the peripheral surface of the cooling can 214. The metal magnetic material 218 evaporated by the shutter 220 is deposited obliquely on the nonmagnetic support 101 within a predetermined incident angle range. Reference numeral 222 denotes an adhesion preventing plate.

さらに、磁性層102の蒸着に際し、真空室211の側壁部を貫通して設けられている酸素ガス導入管221により、非磁性支持体101の表面に酸素ガスが供給されるようになされ、磁性層102の磁気特性、耐久性、および耐候性の向上が図られている。   Further, when the magnetic layer 102 is deposited, oxygen gas is supplied to the surface of the nonmagnetic support 101 by the oxygen gas introduction pipe 221 provided through the side wall of the vacuum chamber 211, so that the magnetic layer The improvement of the magnetic characteristics, durability, and weather resistance of 102 is achieved.

磁気記録媒体100の磁性層102上には、保護層103が形成されるが、この保護層103は、耐久性、耐蝕性の向上を図るため、カーボンを基材として形成することが好適である。   A protective layer 103 is formed on the magnetic layer 102 of the magnetic recording medium 100. The protective layer 103 is preferably formed using carbon as a base material in order to improve durability and corrosion resistance. .

保護層103は、公知の真空成膜技術により形成することができるが、例えば、炭素化合物をプラズマ中で分解して成膜するCVD法によれば、耐磨耗性、耐蝕性、表面被覆率に優れており、平滑な表面形状と高い電気抵抗率をもつダイヤモンドライクカーボンと呼ばれる硬質カーボンを10nm程度の厚さに安定して成膜することができる。   The protective layer 103 can be formed by a known vacuum film formation technique. For example, according to the CVD method in which a carbon compound is decomposed in plasma to form a film, the wear resistance, corrosion resistance, and surface coverage are reduced. In addition, a hard carbon called diamond-like carbon having a smooth surface shape and high electrical resistivity can be stably formed into a thickness of about 10 nm.

図3に、保護層103の成膜に用いられる装置の一例としての連続巻き取り式の成膜装置、すなわちプラズマCVD連続膜形成装置(CVD装置)の概略構成図を示す。
このCVD装置300においては、頭部に設けられた排気系301によって内部が高真空状態となされた真空室311内に、定速回転する送りロール312と巻き取りロール313とが設けられ、これら送りロール312から巻き取りロール313に、磁性層102が形成された非磁性支持体101、すなわち被処理体320が順次走行するようになされている。
FIG. 3 shows a schematic configuration diagram of a continuous winding film forming apparatus as an example of an apparatus used for forming the protective layer 103, that is, a plasma CVD continuous film forming apparatus (CVD apparatus).
In this CVD apparatus 300, a feed roll 312 and a take-up roll 313 that rotate at a constant speed are provided in a vacuum chamber 311 that is made into a high vacuum state by an exhaust system 301 provided at the head. The non-magnetic support 101 on which the magnetic layer 102 is formed, that is, the object to be processed 320, sequentially travels from the roll 312 to the take-up roll 313.

これら送りロール312から巻き取りロール313に、被処理体320が走行する中途部には、対向電極用キャン314が設けられている。この対向電極用キャン314は、被処理体320を図中下方に引き出すように設けられ、図中、時計回り方向に定速回転する構成とされる。   A counter electrode can 314 is provided in the middle of the workpiece 320 traveling from the feed roll 312 to the take-up roll 313. The counter electrode can 314 is provided so as to pull out the workpiece 320 downward in the figure, and is configured to rotate at a constant speed in the clockwise direction in the figure.

被処理体320は、送りロール312から順次送り出され、さらに対向電極用キャン314の周面を通過し、巻き取りロール313に巻き取られていくようになされている。なお、送りロール312と対向電極用キャン314との間、および対向電極用キャン314と巻き取りロール313との間には、それぞれガイドロール315、316が配置されており、被処理体320に所定のテンションをかけ、被処理体320が円滑に走行するようになされている。   The object 320 is sequentially fed from the feed roll 312, passes through the peripheral surface of the counter electrode can 314, and is taken up by the take-up roll 313. Guide rolls 315 and 316 are disposed between the feed roll 312 and the counter electrode can 314, and between the counter electrode can 314 and the take-up roll 313, respectively. Thus, the object to be processed 320 runs smoothly.

また、真空室311内には、対向電極用キャン314の下方に、パイレックス(登録商標)ガラス、プラスチック等よりなる反応管317が設けられている。この反応管317は、一方の端部が真空室311の底部を貫通しており、この端部から成膜ガスが反応管317内に導入されるようになっている。また、反応管317内の中途部には、金属メッシュ等よりなる電極318が取り付けられている。この電極318は、外部に配設されたDC電源319と接続されており、500〜2000Vの電圧が印加されるようになっている。   A reaction tube 317 made of Pyrex (registered trademark) glass, plastic, or the like is provided in the vacuum chamber 311 below the counter electrode can 314. One end of the reaction tube 317 passes through the bottom of the vacuum chamber 311, and a film forming gas is introduced into the reaction tube 317 from this end. In addition, an electrode 318 made of a metal mesh or the like is attached to a middle portion in the reaction tube 317. The electrode 318 is connected to a DC power source 319 disposed outside, and a voltage of 500 to 2000 V is applied.

このCVD装置300では、この電極318に電圧が印加されることで、電極318と対向電極用キャン314との間にグロー放電が生じる。そして、反応管317内に導入された成膜ガスは、この生じたグロー放電によって分解し、被処理体320上に被着され、保護層103が形成される。   In the CVD apparatus 300, glow discharge is generated between the electrode 318 and the counter electrode can 314 by applying a voltage to the electrode 318. Then, the film forming gas introduced into the reaction tube 317 is decomposed by the generated glow discharge, and is deposited on the object 320 to be processed, so that the protective layer 103 is formed.

保護層103の形成に適用する炭素化合物としては、炭化水素系、ケトン系、アルコール系等、従来公知の材料をいずれも使用することができる。また、プラズマ生成時には、炭素化合物の分解を促進するためのガスとして、Ar、H2 等が導入されていてもよい。
その他、ダイヤモンドライクカーボンの膜硬度、耐蝕性の向上を図るため、カーボンが窒素、フッ素と反応した状態であってもよく、ダイヤモンドライクカーボン膜は単層であっても多層であってもよい。また、プラズマ生成時に、炭素化合物の他、N2 、CHF3 、CH22 等のガスを単独あるいは適宜混合した状態で成膜することもできる。
As the carbon compound applied to the formation of the protective layer 103, any conventionally known materials such as hydrocarbons, ketones, and alcohols can be used. Further, during plasma generation, a gas for promoting the decomposition of the carbon compounds, Ar, H 2 or the like may be introduced.
In addition, in order to improve the film hardness and corrosion resistance of diamond-like carbon, carbon may react with nitrogen and fluorine, and the diamond-like carbon film may be a single layer or a multilayer. Further, at the time of plasma generation, it is also possible to form a film in a state where a gas such as N 2 , CHF 3 , CH 2 F 2 or the like is used alone or appropriately mixed in addition to the carbon compound.

保護層103は、5〜15nm(通常10nm程度)の厚さに形成することが望ましい。15nmよりも厚く形成し過ぎるとスペーシングによる損失が増加し、5nmよりも薄過ぎると耐磨耗性および耐蝕性が劣化することがある。   The protective layer 103 is desirably formed to a thickness of 5 to 15 nm (usually about 10 nm). If it is formed thicker than 15 nm, the loss due to spacing increases, and if it is thinner than 5 nm, the wear resistance and corrosion resistance may deteriorate.

また、保護層103を形成する層は上述したカーボン層の他、一般的に金属磁性薄膜型の磁気記録媒体の保護層として使用されるいかなるものも適用できる。
例えば、Cr23 、Al23 、BN、Co酸化物、MgO、SiO2 、Si34 、SiN4 、ZrO2 、TiO2 、TiC等が挙げられる。保護層103はこれらの単層膜であってもよいし、多層膜であってもよい。
In addition to the carbon layer described above, any layer generally used as a protective layer of a metal magnetic thin film type magnetic recording medium can be applied as the layer forming the protective layer 103.
Examples thereof include Cr 2 O 3 , Al 2 O 3 , BN, Co oxide, MgO, SiO 2 , Si 3 O 4 , SiN 4 , ZrO 2 , TiO 2 , and TiC. The protective layer 103 may be a single layer film or a multilayer film.

以上のようにして各構成層が形成されるが、本発明の磁気記録媒体は、長さ方向のループスティフネスSMD(単位:mN/8mm)と幅方向のループスティフネスSTD(単位:mN/8mm)が、次式のすべてを満足するものである。
1.0≦STD/SMD≦1.4 ・・(1)
10.0<STD ・・(2)
SMD+STD<29.0 ・・(3)
Each constituent layer is formed as described above. The magnetic recording medium of the present invention has a loop stiffness SMD in the length direction (unit: mN / 8 mm) and a loop stiffness STD in the width direction (unit: mN / 8 mm). However, it satisfies all of the following expressions.
1.0 ≦ STD / SMD ≦ 1.4 (1)
10.0 <STD (2)
SMD + STD <29.0 (3)

ここで、本発明におけるループスティフネスの測定方法について説明する。
図4は、ループスティフネスを測定する場合の固定治具とサンプル形状を示す説明図である。すなわち、まずサンプルを8mm×8mmの正方形に切り出す。次に、図4のように測定したい方向の辺の長さが4mmだけ固定治具の外側に出るようにし、サンプル端部を固定治具と重ね、両面粘着テープで固定する。
次いで、図5に示すように、サンプルを輪(ループ)状にし、この輪(ループ)の先端部に歪ゲージに接続された三角柱径の触針を押し当てて0.5mmだけ押し込み、そのときの触針にかかる力を測定する。この力を単位mNで表現したものをループスティフネス(mN/8mm)とする。なおこの時の触針先端は十分に鋭角であり、線接触とみなされる。
Here, a method of measuring the loop stiffness in the present invention will be described.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a fixing jig and a sample shape when measuring loop stiffness. That is, a sample is first cut into a square of 8 mm × 8 mm. Next, as shown in FIG. 4, the length of the side in the direction to be measured is 4 mm outside the fixing jig, the sample end is overlapped with the fixing jig, and fixed with a double-sided adhesive tape.
Next, as shown in FIG. 5, the sample is formed into a loop shape, and a stylus having a triangular prism diameter connected to a strain gauge is pressed against the tip of the ring (loop) and pushed by 0.5 mm. Measure the force applied to the stylus. This force expressed in units of mN is defined as loop stiffness (mN / 8 mm). At this time, the tip of the stylus has a sufficiently acute angle and is regarded as a line contact.

上記(1)式において、STD/SMDが1.0よりも小さい場合や、1.4よりも大きい場合には、ヘッド当たりが悪くなってRF波形変動が大きくなる。
また、上記(2)式において、STDが10.0以下である場合には、幅方向のループスティフネスが低過ぎて、走行時にガイドなどに接触した際、テープが挫屈しやすくエッジダメージが入りやすくなり、繰り返し走行耐久性が悪くなる。
さらに、上記(3)式において、SMD+STDが29.0以上である場合、走行によってテープ表面の微細突起が摩耗し、ヘッドとテープの接触荷重が増大して走行に支障をきたす傾向がある。
In the above equation (1), when STD / SMD is smaller than 1.0 or larger than 1.4, the head hit becomes worse and the RF waveform fluctuation becomes larger.
Also, in the above equation (2), when STD is 10.0 or less, the loop stiffness in the width direction is too low, and the tape is likely to bend when the guide is touched during running, and edge damage is likely to occur. And repeated running durability deteriorates.
Further, in the above equation (3), when SMD + STD is 29.0 or more, the fine protrusions on the tape surface are worn by running, and the contact load between the head and the tape tends to increase, thereby hindering running.

上記磁気記録媒体の長さ方向のループスティフネスSMDと幅方向のループスティフネスSTDを制御するには、フィルムの材質や厚みを変化させたり、延伸の仕方を調節する等の各種手法によって行うことができる。   The loop stiffness SMD in the length direction and the loop stiffness STD in the width direction of the magnetic recording medium can be controlled by various methods such as changing the material and thickness of the film and adjusting the stretching method. .

さらに本発明の磁気記録媒体は、前記金属磁性薄膜の表面粗度Ra(中心線平均粗さ)が1.0nm〜3.0nm、Rz(10点平均粗さ)が10nm〜50nm、突起高さ5nm以上の突起が400万〜1000万個/mm2であることを好適とする。
すなわち、上記Ra、Rz、突起数の少なくともいずれか一つが所定の範囲よりも低い値である場合には、初期出力は高いが、ドラム・テープ貼り付きが発生し、十分な走行耐久性が得られず、一方、Ra、Rz、突起の少なくともいずれか一つが所定の範囲よりも大きい値である場合には、スペーシングロスによる出力低下が発生する。
なお、表面粗度Ra(中心線平均粗さ)やRz(10点平均粗さ)は、表面粗さ測定器ET−30HK(小坂研究所製 Surfcorder)を用いて測定された値を示し、表面突起高さの測定は、SPM(Nano ScopeIV、Digital Instruments社製)Tapping AFMで測定された値を示す。
Furthermore, in the magnetic recording medium of the present invention, the metal magnetic thin film has a surface roughness Ra (centerline average roughness) of 1.0 nm to 3.0 nm, an Rz (10 point average roughness) of 10 nm to 50 nm, and a protrusion height. It is preferable that the projections of 5 nm or more are 4 million to 10 million pieces / mm 2 .
That is, when at least one of Ra, Rz, and the number of protrusions is a value lower than the predetermined range, the initial output is high, but drum tape sticking occurs and sufficient running durability is obtained. On the other hand, if at least one of Ra, Rz, and the protrusion has a value larger than the predetermined range, the output is reduced due to the spacing loss.
The surface roughness Ra (centerline average roughness) and Rz (10-point average roughness) are values measured using a surface roughness measuring instrument ET-30HK (Surfcorder manufactured by Kosaka Laboratories). The measurement of protrusion height shows the value measured by SPM (Nano Scope IV, Digital Instruments) Tapping AFM.

本発明における磁気記録媒体の表面平滑性を満たすために必要な微細な突起は、フィルムに無機フィラー(例えば、SiO2)や高分子フィラー等を分散させ、その内添粒子のサイズや量などを選択することによって制御することができる。なお、PETフィルムやPENフィルムにはSiO2フィラーを用いて突起を形成できるが、ポリアミドフィルムの場合には凝集を防ぐために高分子フィラーを用いることが好ましい。
このような表面形状を有する磁気記録媒体とするためには、非磁性支持体(ベースフィルム)の表面形状が、表面粗さRaが0.5〜1.5nm、Rzが5〜25nmであるものが好ましい。
The fine protrusions necessary for satisfying the surface smoothness of the magnetic recording medium in the present invention are obtained by dispersing an inorganic filler (for example, SiO 2 ) or a polymer filler in the film, and adjusting the size and amount of the internally added particles. It can be controlled by selecting. Although the PET film or PEN film to form a projection with a SiO 2 filler, it is preferable to use a polymer filler to prevent aggregation in the case of polyamide film.
In order to obtain a magnetic recording medium having such a surface shape, the surface shape of the nonmagnetic support (base film) has a surface roughness Ra of 0.5 to 1.5 nm and Rz of 5 to 25 nm. Is preferred.

ここで、非磁性支持体として芳香族ポリアミドフィルムを用いれば、走行・耐久性が特に優れており、スペーシングロスを最小限に抑えることが可能である他、耐摩耗性も良好となり、高密度記録フォーマット(AIT4フォーマット)用の磁気記録媒体として好適である。   Here, if an aromatic polyamide film is used as a non-magnetic support, running and durability are particularly excellent, and it is possible to minimize the spacing loss, and the wear resistance is also improved, resulting in high density. It is suitable as a magnetic recording medium for recording format (AIT4 format).

次に、本発明の磁気記録媒体について、具体的な実施例および比較例を挙げて説明する。
以下本実施例では、非磁性支持体としてポリアミドフィルムを用いているが、曲げ剛性が同等となるようなヤング率および厚みを有するフィルム(例えば、PETフィルムあるいはPENフィルム等)でも同様の効果があることは本発明の原理から明らかであり、本発明の非磁性支持体としては、実施例のポリアミドフィルムに限定されるものではない。
Next, the magnetic recording medium of the present invention will be described with specific examples and comparative examples.
Hereinafter, in this example, a polyamide film is used as the nonmagnetic support, but a film having a Young's modulus and thickness (for example, a PET film or a PEN film) having the same bending rigidity has the same effect. This is clear from the principle of the present invention, and the nonmagnetic support of the present invention is not limited to the polyamide film of the examples.

実施例1〜7、比較例1〜16
まず、非磁性支持体として、長さ方向、幅方向のヤング率がそれぞれ異なり、さらに厚みが異なる各種ポリアミドフィルムを用意した。下記表1に、用意したポリアミドフィルムの厚みとヤング率を示す。各ポリアミドフィルムの磁性層を形成する面側には、微細で均一な高さを持った突起を配してあり、本実施例では、磁性層およびカーボン保護膜を成膜後の表面形状が、Ra=2.0nm、Rz=30nm、5nm以上の高さの突起数が700万個/mm2となるように、非磁性支持体表面の形状を調節した。
Examples 1-7, Comparative Examples 1-16
First, various polyamide films having different Young's moduli in the length direction and width direction and different thicknesses were prepared as nonmagnetic supports. Table 1 below shows the thickness and Young's modulus of the prepared polyamide film. On the surface side of each polyamide film on which the magnetic layer is formed, protrusions having a fine and uniform height are arranged, and in this example, the surface shape after forming the magnetic layer and the carbon protective film is as follows: The shape of the surface of the nonmagnetic support was adjusted so that the number of protrusions at a height of Ra = 2.0 nm, Rz = 30 nm, 5 nm or more was 7 million pieces / mm 2 .

Figure 2005339648
Figure 2005339648

表1に示す各ポリアミドフィルムを用いて、前述の発明の実施形態にならい、以下のプロセスフローおよび作成条件に示す手順で各構成層を形成し、磁気記録媒体(サンプル)を作成した。   Using each polyamide film shown in Table 1, according to the above-described embodiment of the present invention, each constituent layer was formed by the procedure shown in the following process flow and production conditions, and a magnetic recording medium (sample) was produced.

[プロセスフローおよび作成条件]
(1) 磁性層の形成:真空蒸着法
前記図1に示した蒸着装置を用い、厚さ4μmのポリアミドフィルムの一面にコバルトを180nmの厚さに蒸着して金属磁性薄膜を形成した。真空度は10-3Pa程度とし、酸素雰囲気中で蒸着を行った。
(2)保護層の形成:CVD法
前記図2に示したCVD装置を用いて磁性層の表面に、CVD法によってカーボンを厚み10nmとなるように成膜を行なって保護層を形成した。カーボン保護膜成膜における原料ガスとしてエチレンを使用した。また、バックグラウンド真空度は10-2Pa程度にして成膜を行った。
(3)バック層の形成:塗布法
カーボンを顔料とし、ポリカポリウレタンをバインダーとした塗布液をポリアミドフィルムの磁性層形成側と反対側に厚みが0.5μmとなるよう塗布を行ない、バックコート層を形成した。
(4)両表層への潤滑剤処理:塗布法
磁性層およびバックコート層のそれぞれの面にフッ素系潤滑剤を塗布した。溶媒としてはアルコールを用いた。
(5)磁気記録媒体の裁断およびカートリッジへの組み込み
上記作成したサンプルを幅8mmに裁断し、AITカートリッジに巻き取った。
[Process flow and creation conditions]
(1) Formation of magnetic layer: vacuum vapor deposition method Using the vapor deposition apparatus shown in FIG. 1, a metal magnetic thin film was formed by depositing cobalt on a surface of a polyamide film having a thickness of 4 μm to a thickness of 180 nm. The degree of vacuum was about 10 −3 Pa, and vapor deposition was performed in an oxygen atmosphere.
(2) Formation of Protective Layer: CVD Method Using the CVD apparatus shown in FIG. 2, the protective layer was formed by depositing carbon on the surface of the magnetic layer to a thickness of 10 nm by the CVD method. Ethylene was used as a source gas in forming the carbon protective film. The film was formed at a background vacuum of about 10 −2 Pa.
(3) Formation of back layer: coating method A coating liquid containing carbon as a pigment and polycarbonate as a binder is applied on the opposite side of the polyamide film to the magnetic layer forming side so that the thickness is 0.5 μm. Formed.
(4) Lubricant treatment on both surface layers: Application method A fluorine-based lubricant was applied to each surface of the magnetic layer and the backcoat layer. Alcohol was used as the solvent.
(5) Cutting of magnetic recording medium and incorporation into cartridge The above-prepared sample was cut into a width of 8 mm and wound around an AIT cartridge.

以上のようにして作成したサンプルについて、ループスティフネス評価(長さ方向および幅方向)、AIT4ドライブによるヘッド当たり評価(RF波形変動)、繰り返し走行耐久性評価をそれぞれ下記条件で行った。   The samples prepared as described above were subjected to loop stiffness evaluation (length direction and width direction), head-to-head evaluation (RF waveform fluctuation) by AIT4 drive, and repeated running durability evaluation under the following conditions.

<ループスティフネス評価>
ループスティフネスは、前述の図4、図5に示したサンプル形状と測定方法に準拠して測定した。すなわち、サンプルを8mm×8mmの正方形に切り出し、これを測定する方向(長さ方向あるいは幅方向)に応じて固定治具に固定してループ状の輪を形成した。次に、三角柱径の触針をループ状の輪に押し当てて、0.5mmだけ押し込み、その際の触針にかかる力を接続された歪ゲージによって測定した。
<Loop stiffness evaluation>
The loop stiffness was measured in accordance with the sample shape and measurement method shown in FIGS. That is, the sample was cut into a square of 8 mm × 8 mm and fixed to a fixing jig in accordance with the direction (length direction or width direction) in which the sample was measured to form a loop-shaped ring. Next, a stylus with a triangular prism diameter was pressed against a loop-shaped ring and pushed in by 0.5 mm, and the force applied to the stylus at that time was measured with a connected strain gauge.

<ヘッド当たり評価(RF波形変動)>
ヘッド当たり波形評価に関しては、AIT4ドライブを用いて次のような条件で測定した。
AIT4ドライブのヘッドの個数は8個(記録4個、再生4個)で、回転速度は8500rpmである。このドライブを用いて、テープの任意の部分について信号を書きながら再生信号を読み、そのRF波形を評価した。RF波形は、理想的には矩形波であるが、ヘッド当たりが悪い場合には、矩形波にならず変動する。そこで、そのRF波形の最大値と最小値の差分をdBで表したものを、ヘッド当たりの指標として評価した。判定は1.0dB以上を「×」とし、1.0dB未満を「○」とした。
<Evaluation per head (RF waveform fluctuation)>
Regarding the waveform evaluation per head, measurement was performed under the following conditions using an AIT4 drive.
The number of heads of the AIT4 drive is 8 (4 recordings, 4 playbacks), and the rotational speed is 8500 rpm. Using this drive, a reproduction signal was read while writing a signal on an arbitrary part of the tape, and its RF waveform was evaluated. The RF waveform is ideally a rectangular wave, but fluctuates instead of a rectangular wave when the head contact is poor. Therefore, the difference between the maximum value and the minimum value of the RF waveform expressed in dB was evaluated as an index per head. In the determination, 1.0 dB or more was set as “x”, and less than 1.0 dB was set as “◯”.

<繰り返し走行耐久性評価>
繰り返し走行耐久性評価に関しては、AIT4ドライブを用いて次のような条件で測定した。
上記のドライブを用いて、テープの長さ20cmの区間を信号を書きながら再生(read after write)して、試験区間の開始部分に巻き戻し、再度信号を書きながら再生をくりかえす試験を行った。記録波長は0.2μm、トラックピッチは4μmである。
試験中は、再生信号の出力をモニターしており、初期に対して3dB出力が落ちるまでの繰り返し回数を走行耐久性の指標として評価した。
試験は、出力が正常な限り20,000回まで行った。さらに、走行後には、テープの表面観察を行い、テープの端が変形していないかどうか(エッジダメージ)を目視で検査し、少しでもあればエッジダメージ「あり」とした。さらにテープの表面に設けてある微細突起が摩耗していないかどうかをAFM(原子間力顕微鏡)によって測定し、Rzが6nm以下となっている場合に、突起摩耗「あり」と記載した。また判定は、20,000回で出力が正常、エッジダメージ「なし」、突起摩耗「なし」を「○」とし、少なくともいずれか一つが上記以外である場合を「×」とした。
上記ループスティフネス、ヘッド当たり評価、走行耐久性評価の各評価結果を下記表2に示す。
<Repeated running durability evaluation>
Regarding repeated running durability evaluation, it was measured under the following conditions using an AIT4 drive.
Using the above-mentioned drive, a test was performed in which a 20 cm long section of the tape was reproduced after reading a signal (read after write), rewound to the start of the test section, and repeated while the signal was written again. The recording wavelength is 0.2 μm and the track pitch is 4 μm.
During the test, the output of the reproduction signal was monitored, and the number of repetitions until the 3 dB output dropped from the initial stage was evaluated as an indicator of running durability.
The test was performed up to 20,000 times as long as the output was normal. Furthermore, after running, the surface of the tape was observed, and it was visually inspected whether the end of the tape was deformed (edge damage). Further, whether or not the fine protrusions provided on the surface of the tape were worn was measured by an AFM (atomic force microscope), and when Rz was 6 nm or less, the protrusion wear was described as “present”. In addition, the judgment is “X” when the output is normal at 20,000 times, the edge damage “none”, the protrusion wear “none” is “◯”, and at least one of them is other than the above.
Table 2 below shows the evaluation results of the loop stiffness, head evaluation, and running durability evaluation.

Figure 2005339648
Figure 2005339648

上記ヘッド当たり評価結果から得られたデータを元にして、長さ方向スティフネスと幅方向スティフネスに対するヘッド当たりの関係を図6にグラフ化した。図中、○はヘッド当たりの判定が「○」のもの、●はヘッド当たりの判定が「×」のものである。
図6から、ループスティフネスの長さ方向の値SMDと幅方向の値STDの関係が、下記(1)式:
1.0≦STD/SMD≦1.4 ・・(1)
の関係を満たすときに、RF波形変動が1.0dB未満となり、良好なヘッド当たりを示し、この領域をはずれるとRF波形変動が1.0dB以上となり、ヘッド当たりが悪くなることが分かる。これは、テープのスティフネスの長手方向と幅方向のバランスがある一定の範囲にあるときに、ヘッド当たりが良好であることを示している。
Based on the data obtained from the evaluation result per head, the relationship per head with respect to the stiffness in the length direction and the stiffness in the width direction is graphed in FIG. In the figure, ◯ indicates that the determination per head is “◯”, and ● indicates that the determination per head is “x”.
From FIG. 6, the relationship between the length direction value SMD of the loop stiffness and the width direction value STD is expressed by the following equation (1):
1.0 ≦ STD / SMD ≦ 1.4 (1)
When the above relationship is satisfied, the RF waveform fluctuation is less than 1.0 dB, indicating good head contact, and if it is outside this region, the RF waveform fluctuation is 1.0 dB or more, and the head contact is poor. This indicates that the head hitting is good when the balance between the longitudinal direction and the width direction of the stiffness of the tape is within a certain range.

また、上記走行耐久性評価結果から得られたデータを元にして、長さ方向スティフネスと幅方向スティフネスに対する走行耐久性の良否の関係を図7にグラフ化した。図中、○は走行耐久性の判定が「○」のもの、●は走行耐久性の判定が「×」のものである。
図7から、ループスティフネスの長さ方向の値SMDと幅方向の値STDの関係が、下記(2)、(3)式:
10.0<STD ・・(2)
SMD+STD<29.0 ・・(3)
の関係を満たすときに、繰り返し走行耐久性が20000回以上の優れた耐久性を示すことが分かる。
これに対して、STDが10.0以下の場合、すなわちスティフネスが弱い場合には、テープにエッジダメージが入り、耐久性が悪いことが分る。これは、テープの剛性が低ければ走行時にガイドなどへの接触が起こった際に、テープが挫屈しやすいということを示している。また、SMD+STDが29.0以上、すなわちスティフネスが強い場合には、走行によってテープ表面の微細突起が摩耗して、ヘッドおよびドラムとの摩擦が高くなって走行できなくなる傾向がある。これは、テープの剛性が高いことで、ヘッドとテープの接触荷重が増大し、耐摺動性が劣るためと考えられる。
Further, based on the data obtained from the results of the running durability evaluation, the relationship between the running durability with respect to the length direction stiffness and the width direction stiffness is graphed in FIG. In the figure, ◯ indicates that the running durability is determined as “◯”, and ● indicates that the traveling durability is determined as “×”.
From FIG. 7, the relationship between the length direction value SMD of the loop stiffness and the width direction value STD is expressed by the following equations (2) and (3):
10.0 <STD (2)
SMD + STD <29.0 (3)
It can be seen that when the above relationship is satisfied, the repeated running durability shows excellent durability of 20000 times or more.
On the other hand, when STD is 10.0 or less, that is, when the stiffness is weak, it can be seen that edge damage enters the tape and the durability is poor. This indicates that if the tape has low rigidity, the tape tends to buckle when contact with the guide or the like occurs during running. Further, when SMD + STD is 29.0 or more, that is, when the stiffness is strong, there is a tendency that fine protrusions on the surface of the tape are worn by running, and friction with the head and the drum becomes high, so that running is impossible. This is thought to be because the contact load between the head and the tape increases due to the high rigidity of the tape and the sliding resistance is poor.

以上の実施例から、高密度記録に適した平滑な表面をもつ磁気記録媒体において、すぐれたヘッド当たりと繰り返し走行耐久性を確保するためには、適度なスティフネスの範囲があることが明確となった。その範囲は、長さ方向のループスティフネスSMD(単位:mN/8mm)と幅方向のループスティフネスSTD(単位:mN/8mm)が、次式のすべてを満足する領域である。
1.0≦STD/SMD≦1.4 ・・(1)
10.0<STD ・・(2)
SMD+STD<29.0 ・・(3)
上記(1)、(2)、(3)の関係式をすべて満たすSMDとSTDの領域を図8に示す。図中、○はヘッド当たりの判定、繰り返し走行耐久性のいずれもが「○」のもの、●はヘッド当たりの判定、繰り返し走行耐久性のいずれかあるいは両方が「×」のものを示す。
From the above examples, it is clear that a magnetic recording medium having a smooth surface suitable for high-density recording has an appropriate stiffness range in order to ensure excellent head hitting and repeated running durability. It was. The range is a region where the loop stiffness SMD in the length direction (unit: mN / 8 mm) and the loop stiffness STD in the width direction (unit: mN / 8 mm) satisfy all of the following expressions.
1.0 ≦ STD / SMD ≦ 1.4 (1)
10.0 <STD (2)
SMD + STD <29.0 (3)
FIG. 8 shows SMD and STD regions that satisfy all of the above relational expressions (1), (2), and (3). In the figure, ◯ indicates that the judgment per head and repeated running durability are both “◯”, and ● indicates that the judgment per head and repeated running durability or both are “x”.

実施例8(実験1〜19)
フィルムの厚みが4μm、表面粗さRaが0.5〜1.5nm、Rzが5〜25nmのポリアミドフィルムを使用し、前記実施例と同様のプロセスフローおよび作成条件で磁気記録媒体サンプル(実験1〜19)をそれぞれ作製した。
Example 8 (Experiments 1-19)
A magnetic recording medium sample (Experiment 1) was used with a process flow and production conditions similar to those of the above-mentioned Examples, using a polyamide film having a film thickness of 4 μm, a surface roughness Ra of 0.5 to 1.5 nm, and an Rz of 5 to 25 nm. To 19) were prepared.

すなわち、長尺形状の非磁性支持体の一主面に、真空薄膜形成技術により厚さ180nmのコバルトよりなる磁性層を形成し、磁性層上にCVDにより厚さ10nmのダイヤモンドライクカーボン保護層を設け、非磁性支持体の磁性層の反対側に厚さ0.5μm程度のバック層を塗布形成した。さらに磁性面およびバック面それぞれにフッ素系潤滑剤をアルコール溶液として塗布した。
上記作成したサンプルを幅8mmに裁断し、AITカートリッジに巻き取った。
That is, a magnetic layer made of cobalt having a thickness of 180 nm is formed on one main surface of a long nonmagnetic support by a vacuum thin film forming technique, and a diamond-like carbon protective layer having a thickness of 10 nm is formed on the magnetic layer by CVD. A back layer having a thickness of about 0.5 μm was applied and formed on the side opposite to the magnetic layer of the nonmagnetic support. Further, a fluorine-based lubricant was applied as an alcohol solution to each of the magnetic surface and the back surface.
The created sample was cut into a width of 8 mm and wound around an AIT cartridge.

ここで、各磁気記録媒体サンプルの作製に際して、長さ方向のループスティフネスAMDと幅方向のループスティフネスSTDは、前記実施例2と同様になるように調節した。   Here, when manufacturing each magnetic recording medium sample, the loop stiffness AMD in the length direction and the loop stiffness STD in the width direction were adjusted to be the same as those in the second embodiment.

実験1〜19の各磁気記録媒体サンプルの2視野平均(30μm×30μm)の3次元表面粗さによる中心線平均粗さRa(nm)、10点平均粗さRz(nm)、突起高さ5nm以上の突起個数(万個/mm2)と、走行耐久性、電磁変換特性の評価結果を下記表3に示す。
なお、磁気記録媒体の表面性は、3次元表面粗さ測定器ET−30HK(小坂研究所 Surfcorder)を用いて測定した。また、突起個数は、SPM(Nano ScopeIV、Digital Instruments社製)Tapping AFMを用いて測定した。
Center line average roughness Ra (nm), 10-point average roughness Rz (nm), and protrusion height 5 nm based on the two-field average (30 μm × 30 μm) three-dimensional surface roughness of each magnetic recording medium sample of Experiments 1 to 19 Table 3 below shows the evaluation results of the number of projections (10,000 / mm 2 ), running durability, and electromagnetic conversion characteristics.
The surface property of the magnetic recording medium was measured using a three-dimensional surface roughness measuring device ET-30HK (Kosaka Laboratory Surfcorder). The number of protrusions was measured using SPM (Nano Scope IV, Digital Instruments) Tapping AFM.

上記により作成したサンプルについて、AIT4ドライブによる電磁変換特性(RF波形:出力)の評価、繰り返し走行(シャトルモード)による走行耐久性の評価をそれぞれ下記条件で行なった。   About the sample created by the above, evaluation of the electromagnetic conversion characteristic (RF waveform: output) by AIT4 drive and evaluation of running durability by repeated running (shuttle mode) were performed under the following conditions, respectively.

<AIT4ドライブによる電磁変換特性の評価(RF波形)>
使用したAITドライブのヘッド個数は8個(記録4個、再生4個)であり、回転速度は8506rpmである。このドライブを用いて、テープの任意の部分に信号を書きながら再生信号を読み、そのRF波形から初期出力を相対評価した。
<Evaluation of electromagnetic conversion characteristics by AIT4 drive (RF waveform)>
The number of heads of the used AIT drive is 8 (4 recordings, 4 playbacks), and the rotational speed is 8506 rpm. Using this drive, the reproduction signal was read while writing a signal on an arbitrary part of the tape, and the initial output was relatively evaluated from the RF waveform.

<走行耐久性の評価>
テープ長30mの磁気テープを用いて、上記AITドライブにより走行耐久性の評価を行った。記録波長は0.2μm、トラックピッチは4μmとし、図9に示すショートシャトル(Short Shuttle)モードによって繰り返し20000回まで走行し、初期に対して3dB出力が落ちるまでの繰り返し回数を走行耐久性の指標として評価した。
<Evaluation of running durability>
Using a magnetic tape having a tape length of 30 m, the running durability was evaluated by the AIT drive. The recording wavelength is 0.2 μm, the track pitch is 4 μm, and the driving is repeated up to 20000 times in the short shuttle mode shown in FIG. As evaluated.

上記AIT4ドライブによる電磁変換特性(出力)、および走行耐久性の各評価結果を下記表3に各サンプルの中心線平均粗さRa、10点平均粗さRz、突起高さ5nm以上の突起個数と併せて示す。   Table 3 below shows the results of evaluation of electromagnetic conversion characteristics (output) and running durability by the AIT4 drive. Table 3 shows the centerline average roughness Ra, 10-point average roughness Rz, and the number of protrusions having a protrusion height of 5 nm or more. Also shown.

Figure 2005339648
Figure 2005339648

以上の実験結果から、実験1〜4、すなわち、中心線平均粗さRa、10点平均粗さRz、突起高さ5nm以上の突起個数において、Raが1.0nmよりも小さいか、Rzが10nmよりも小さいか、当該突起個数が400万個/mm2よりも少ないか、少なくともいずれかが該当する場合には、初期出力は高いが、ドラム・テープ貼り付きが発生し、十分な走行耐久性が得られなかった。
また、実験12〜19、すなわち中心線平均粗さRa、10点平均粗さRz、突起高さ5nm以上の突起個数において、Raが3.0nmよりも大きいか、Rzが50nmよりも大きいか、当該突起個数が1000万個/mm2よりも多いか、少なくともいずれかが該当する場合には、走行耐久性は高いがスペーシングロスによる出力低下があることが分かった。
一方、実験5〜11、すなわち中心線平均粗さRa、10点平均粗さRz、突起高さ5nm以上の突起個数において、いずれもRaが1.0〜3.0nmの範囲、Rzが10〜50nmの範囲、当該突起個数が400万〜1000万個/mm2の範囲に調整・制御されている場合には、電磁変換特性と走行耐久性とを両立させることができた。
From the above experimental results, in Experiments 1 to 4, that is, the number of protrusions having a center line average roughness Ra, a 10-point average roughness Rz, and a protrusion height of 5 nm or more, Ra is smaller than 1.0 nm or Rz is 10 nm. If the number of protrusions is less than 4 million pieces / mm 2 or at least one of them, the initial output is high, but drum tape sticking occurs and sufficient running durability is achieved. Was not obtained.
In addition, in Experiments 12 to 19, that is, in the number of protrusions having a center line average roughness Ra, a 10-point average roughness Rz, and a protrusion height of 5 nm or more, whether Ra is larger than 3.0 nm or Rz is larger than 50 nm, It was found that when the number of protrusions is greater than 10 million pieces / mm 2 or at least one of them corresponds, the running durability is high but the output is reduced due to spacing loss.
On the other hand, in Experiments 5 to 11, that is, center line average roughness Ra, 10-point average roughness Rz, and the number of protrusions having a protrusion height of 5 nm or more, Ra is in the range of 1.0 to 3.0 nm, and Rz is 10 to 10. When the number of protrusions was adjusted and controlled within the range of 50 nm and the range of 4 million to 10 million pieces / mm 2 , both electromagnetic conversion characteristics and running durability could be achieved.

本発明の磁気記録媒体の一例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of an example of the magnetic recording medium of this invention. 図1における磁性層の成膜を行うのに用いられる装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the apparatus used for forming the magnetic layer in FIG. 図1における保護層の成膜を行うのに用いられる装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the apparatus used for forming the protective layer in FIG. 本発明におけるループスティフネスを測定する場合の固定治具とサンプル形状を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the fixing jig and sample shape in the case of measuring the loop stiffness in this invention. 本発明におけるループスティフネスの測定方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the measuring method of the loop stiffness in this invention. 本発明の実施例における評価データを元にして長さ方向スティフネスと幅方向スティフネスに対するヘッド当たりの良否の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the quality per head with respect to the length direction stiffness and the width direction stiffness based on the evaluation data in the Example of this invention. 本発明の実施例における評価データを元に長さ方向スティフネスと幅方向スティフネスに対する走行耐久性の良否の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the quality of driving | running | working durability with respect to the length direction stiffness and the width direction stiffness based on the evaluation data in the Example of this invention. 本発明の実施例における評価データを元に長さ方向スティフネスと幅方向スティフネスに対するヘッド当たりおよび走行耐久性を共に満足させる領域を示すグラフである。It is a graph which shows the area | region which satisfies both the head contact | abutting with respect to the length direction stiffness and the width direction stiffness, and running durability based on the evaluation data in the Example of this invention. 本発明の実施例における走行耐久性評価において適用した繰り返し走行のショートシャトルモードを示す図である。It is a figure which shows the short shuttle mode of the repeated driving | running | working applied in the driving | running | working durability evaluation in the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 磁気記録媒体、101 非磁性支持体、102 磁性層、103 保護層、104 バックコート層、200 蒸着装置、201、202 排気口、211 真空室、212 送りロール、213 巻き取りロール、214 冷却キャン、215、216 ガイドロール、217 ルツボ、218 金属磁性材料、219 電子銃、220 シャッター、221 酸素ガス導入管、222 防着板、B 電子銃、300 CVD装置、301 排気系、311 真空室、312 送りロール、313 巻き取りロール、314 対向電極用キャン、315、316 ガイドロール、317 反応管、318 電極、319 DC電源、320 被処理体

DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Magnetic recording medium, 101 Nonmagnetic support body, 102 Magnetic layer, 103 Protective layer, 104 Backcoat layer, 200 Deposition apparatus, 201, 202 Exhaust port, 211 Vacuum chamber, 212 Feed roll, 213 Winding roll, 214 Cooling can 215, 216 Guide rolls, 217 crucible, 218 Metal magnetic material, 219 Electron gun, 220 Shutter, 221 Oxygen gas introduction tube, 222 Depositing plate, B Electron gun, 300 CVD apparatus, 301 Exhaust system, 311 Vacuum chamber, 312 Feed roll, 313 Winding roll, 314 Counter electrode can, 315, 316 Guide roll, 317 Reaction tube, 318 electrode, 319 DC power supply, 320 Object to be processed

Claims (4)

非磁性支持体上に金属磁性薄膜を有する磁気記録媒体において、長さ方向のループスティフネスSMD(単位:mN/8mm)と幅方向のループスティフネスSTD(単位:mN/8mm)が、次式のすべてを満足することを特徴とする磁気記録媒体。
1.0≦STD/SMD≦1.4 ・・(1)
10.0<STD ・・(2)
SMD+STD<29.0 ・・(3)
In a magnetic recording medium having a metal magnetic thin film on a nonmagnetic support, the lengthwise loop stiffness SMD (unit: mN / 8 mm) and the widthwise loop stiffness STD (unit: mN / 8 mm) are all expressed by the following formulas: A magnetic recording medium characterized by satisfying
1.0 ≦ STD / SMD ≦ 1.4 (1)
10.0 <STD (2)
SMD + STD <29.0 (3)
前記金属磁性薄膜の表面粗度Raが1.0nm〜3.0nmであり、Rzが10nm〜50nmであり、突起高さ5nm以上の突起が400万〜1000万個/mm2であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。 The metal magnetic thin film has a surface roughness Ra of 1.0 nm to 3.0 nm, Rz of 10 nm to 50 nm, and protrusions having a protrusion height of 5 nm or more of 4 million to 10 million pieces / mm 2. The magnetic recording medium according to claim 1. 前記非磁性支持体として芳香族ポリアミドフィルムを用いたものであることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。   The magnetic recording medium according to claim 1, wherein an aromatic polyamide film is used as the nonmagnetic support. AIT4フォーマット用の磁気テープであることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。



2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is an AIT4 format magnetic tape.



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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2024075416A1 (en) * 2022-10-06 2024-04-11 ソニーグループ株式会社 Magnetic tape and tape cartridge

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