JP2005338554A - Method for manufacturing liquid crystal display - Google Patents

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Yuzo Hayashi
祐三 林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a liquid crystal display that has neither remaining liquid nor a stain and is free of problems of a alkali residue. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the liquid crystal display includes the stage of forming a 1st alignment film 29a over the entire surface of a pixel electrode 11, and that of discharging a solution containing a constituent material of a 2nd alignment film 29b onto the 1st alignment film 29a of either a transmission type electrode 11b or a reflection type electrode 11a to form the 2nd alignment film 29b different in pretilt angle from the 1st alignment film 29a. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示装置の製造方法に関するものであり、特に、一画素領域内に透過部と反射部とを設けた液晶表示装置の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a method for manufacturing a liquid crystal display device in which a transmission portion and a reflection portion are provided in one pixel region.

近年になって、OCBモードで動作する液晶表示装置が注目を集めている。このOCBモードは、電圧印加時に液晶分子がベント配向状態となり、更に電圧を加えるにつれて一方の配向膜側のプレティルト角が徐々に変化することを利用して階調表示を行うというモードである。このOCBモードは、高速応答が可能であり、高い視野角を有するといった特長がある。
また、最近では、特許文献1に記載されているように、一対の配向膜により挟まれた液晶層のうち、一方の配向膜が平行配向とされ、他方の配向膜が垂直配向とされ、液晶分子がハイブリッド配向されたOCBモードの類似するモードも提案されている。
In recent years, liquid crystal display devices operating in the OCB mode have attracted attention. The OCB mode is a mode in which gradation display is performed by utilizing the fact that liquid crystal molecules are in a bent alignment state when a voltage is applied, and the pretilt angle on one alignment film side gradually changes as a voltage is further applied. This OCB mode is characterized in that it can respond at high speed and has a high viewing angle.
Recently, as described in Patent Document 1, among the liquid crystal layers sandwiched between a pair of alignment films, one alignment film is in parallel alignment, and the other alignment film is in vertical alignment. Similar modes of the OCB mode in which the molecules are hybrid oriented have also been proposed.

そこで、一画素領域内に、OCBモードで動作する透過領域およびOCBモードに類似するモードで動作する反射領域をそれぞれ設け、使用環境に応じて透過領域による表示と反射領域による表示とを切替可能とした半透過型の液晶表示装置の開発が進んでいる。   Therefore, a transmission region that operates in the OCB mode and a reflection region that operates in a mode similar to the OCB mode are provided in one pixel region, and display between the transmission region and display by the reflection region can be switched according to the use environment. A transflective liquid crystal display device has been developed.

ところでOCBモードとOCBモードに類似するモードでは、液晶分子の配向パターンが異なるため、透過領域の配向膜と反射領域の配向膜をそれぞれ別個に形成する必要がある。具体的には、液晶層を挟む一対の基板のうち、共通電極側の基板にはプレティルト角度が小さな配向膜を全面に形成し、一対の基板のうちの所謂アクティブマトリックス基板では、透過領域にプレティルト角が小さな配向膜を形成し、反射領域にプレティルト角度が大きな配向膜を形成する必要がある。例えば、アクティブマトリックス基板の全面に無機系材料の配向膜を形成し、次に透過領域のみに有機系材料からなる配向膜を形成することにより、上述の構成を試行した例が報告されている(例えば下記非特許文献1)。
特開平9−146086号公報 Y.Koike et.al Japan Display Digest,798(1992)
By the way, in the modes similar to the OCB mode and the OCB mode, since the alignment patterns of the liquid crystal molecules are different, it is necessary to separately form the alignment film in the transmissive region and the alignment film in the reflective region. Specifically, among the pair of substrates sandwiching the liquid crystal layer, an alignment film having a small pretilt angle is formed on the entire surface of the substrate on the common electrode side, and in the so-called active matrix substrate of the pair of substrates, the pretilt is formed in the transmission region. It is necessary to form an alignment film having a small angle and to form an alignment film having a large pretilt angle in the reflective region. For example, an example in which the above-described configuration is tried by forming an alignment film made of an inorganic material on the entire surface of an active matrix substrate and then forming an alignment film made of an organic material only in the transmission region has been reported ( For example, the following nonpatent literature 1).
JP-A-9-146086 Y. Koike et. al Japan Display Digest, 798 (1992)

しかし、上記非特許文献2に記載の方法では、配向膜の原料となる有機系材料を基板全面に塗布してからエッチング等を行うことにより、低プレティルト角の配向膜を透過領域のみに形成するが、配向膜上に液残りやシミ等が発生しやすいという不具合がある。また、配向膜のエッチャントとしてアルカリ性溶液を使用するため、残留アルカリによる液晶層の電流上昇(特に高温動作時)が起こり、表示が消失するといった問題もある。   However, in the method described in Non-Patent Document 2, an alignment film having a low pretilt angle is formed only in the transmission region by applying an organic material as a raw material for the alignment film to the entire surface of the substrate and then performing etching or the like. However, there is a problem that liquid residue, spots, etc. are likely to occur on the alignment film. In addition, since an alkaline solution is used as an etchant for the alignment film, there is a problem that the current rise (particularly during high temperature operation) of the liquid crystal layer due to residual alkali occurs and the display disappears.

また最近では、発光ダイオードを光源とし、カラーフィルタを用いずにフルカラー表示を可能とするフィールドシーケンシャル方式(FS方式)が検討されているが、このFS方式では高速スイッチングが要求されるためにTFTアクティブ駆動方式を採用しており、先の残留アルカリによる不具合の影響が大きいという問題もある。   Recently, a field sequential method (FS method) that uses a light emitting diode as a light source and enables full color display without using a color filter has been studied. However, since this FS method requires high-speed switching, TFT active There is also a problem that the drive system is adopted and the influence of the previous residual alkali is large.

本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、液残りやシミの発生がなく、アルカリ残留の問題もない液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device in which no liquid residue or spots are generated and there is no problem of residual alkali.

上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の液晶表示装置の製造方法は、液晶層と、該液晶層を挟んで対向する一対の透明基板とを具備してなり、一方の前記透明基板の内面側に共通電極及び共通配向膜が順次積層されるとともに、他方の前記透明基板の内面側には複数のスイッチング素子と該スイッチング素子に各々接続された複数の画素電極とが設けられ、該画素電極が、前記一方の基板側から入射した光を反射する反射型電極と、前記他方の基板側から前記一方の基板側に光を透過させる透過型電極とから構成されてなる液晶表示装置の製造方法であり、前記画素電極の全面に第1配向膜を形成する工程と、前記透過型電極または前記反射型電極のいずれか一方の前記第1配向膜上に、第2配向膜の構成材料を含む溶液を吐出することにより、プレティルト角度が前記第1配向膜と異なる第2配向膜を形成する工程と、を具備してなることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
The method for producing a liquid crystal display device of the present invention comprises a liquid crystal layer and a pair of transparent substrates facing each other with the liquid crystal layer interposed therebetween, and a common electrode and a common alignment film are provided on the inner surface side of the one transparent substrate. A plurality of switching elements and a plurality of pixel electrodes respectively connected to the switching elements are provided on the inner surface side of the other transparent substrate, and the pixel electrodes are incident from the one substrate side. A liquid crystal display device comprising: a reflective electrode that reflects the reflected light; and a transmissive electrode that transmits light from the other substrate side to the one substrate side, over the entire surface of the pixel electrode. A step of forming a first alignment film, and a pretilt angle by discharging a solution containing a constituent material of the second alignment film onto the first alignment film of either the transmissive electrode or the reflective electrode. Said Forming an alignment film is different from the second alignment film, characterized by comprising comprises a.

上記構成においては、第1配向膜上に第2配向膜の構成材料を含む溶液を吐出して第2配向膜を形成する所謂インクジェット法を採用する。この方法では、前記溶液を吐出してから溶媒のみを蒸発させることで第2配向膜を形成する。これにより、従来の方法のような液残りやシミ発生の問題もなく、アルカリ残留が起きることもない。またインクジェット法を利用することで、第2配向膜の形成位置を精密に制御することができる。   In the above configuration, a so-called inkjet method is employed in which a solution containing a constituent material of the second alignment film is discharged onto the first alignment film to form the second alignment film. In this method, the second alignment film is formed by evaporating only the solvent after discharging the solution. As a result, there is no problem of liquid residue and spot generation as in the conventional method, and alkali residue does not occur. Moreover, the formation position of the second alignment film can be precisely controlled by using the ink jet method.

また本発明の液晶表示装置の製造方法においては、前記第2配向膜を前記透過型電極上に形成し、かつ前記第1配向膜のプレティルト角度を前記第2配向膜のプレティルト角度より大きく設定することが好ましい。
また本発明の液晶表示装置の製造方法においては、前記第2配向膜を前記反射型電極上に形成し、かつ前記第1配向膜のプレティルト角度を前記第2配向膜のプレティルト角度より小さく設定することが好ましい。
また本発明の液晶表示装置の製造方法においては、前記反射型電極が、前記他方の基板上に設けられた凸部上に形成され、前記透過型電極が、前記凸部に対応する凹部に形成されていることが好ましい。
In the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the second alignment film is formed on the transmission electrode, and the pretilt angle of the first alignment film is set larger than the pretilt angle of the second alignment film. It is preferable.
In the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the second alignment film is formed on the reflective electrode, and the pretilt angle of the first alignment film is set smaller than the pretilt angle of the second alignment film. It is preferable.
In the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the reflective electrode is formed on a convex portion provided on the other substrate, and the transmissive electrode is formed in a concave portion corresponding to the convex portion. It is preferable that

また、前記第1配向膜と前記第2配向膜との間に、前記溶液が含浸される溶液受容層を設けてもよい。また前記第1配向膜を溶液受容層として用いてもよい。   A solution receiving layer impregnated with the solution may be provided between the first alignment film and the second alignment film. The first alignment film may be used as a solution receiving layer.

以上説明したように、本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、プレティルト角度の異なる領域を選択的に形成する際に、非接触で迅速かつ必要なパターン精度で配向膜を形成することができる。特に、透過部となる透過型画素電極が溶液を受けやすい凹部とされた場合は、予め形成してある第1配向膜が溶液の受容層の機能を果たすので、第2配向膜の平坦性およびパターン精度が格段に向上するとともに、ピンホールの発生を未然に防止できる。また、アルカリ性のエッチャントを使用しないので、残留アルカリを低減でき、液晶層の電圧保持特性を向上できる。   As described above, according to the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, when selectively forming regions having different pretilt angles, an alignment film can be formed quickly and in a necessary pattern accuracy without contact. it can. In particular, when the transmissive pixel electrode serving as the transmissive portion is a recess that easily receives the solution, the first alignment film formed in advance functions as a solution receiving layer. Pattern accuracy is greatly improved and pinholes can be prevented from occurring. Further, since an alkaline etchant is not used, residual alkali can be reduced, and voltage holding characteristics of the liquid crystal layer can be improved.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせて示してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings below, the film thicknesses and dimensional ratios of the respective components are appropriately changed for easy understanding of the drawings.

図1および図2には、本発明に係る半透過型液晶表示装置(液晶表示装置)の一例を示す。図1に示すように、半透過型液晶表示装置Aは、本体である液晶パネル(液晶セル)1と、この液晶パネル1の背面側に配されたバックライト4とを備えて構成されている。
液晶パネル1は、図1及び図2に示すように、スイッチング素子10が形成された側のアクティブマトリクス基板2と、それに対向して設けられた対向基板3と、各基板2、3の間に保持されている光変調層としての液晶層5とを備えて構成されている。
1 and 2 show an example of a transflective liquid crystal display device (liquid crystal display device) according to the present invention. As shown in FIG. 1, the transflective liquid crystal display device A includes a liquid crystal panel (liquid crystal cell) 1 as a main body and a backlight 4 disposed on the back side of the liquid crystal panel 1. .
As shown in FIGS. 1 and 2, the liquid crystal panel 1 includes an active matrix substrate 2 on the side where the switching element 10 is formed, a counter substrate 3 provided to face the active matrix substrate 2, and the substrates 2 and 3. And a liquid crystal layer 5 as a light modulation layer that is held.

対向基板3は、基板41(一方の透明基板)の内側(液晶層5側)に、カラーフィルタ42、共通電極43及び共通配向膜44が順次配置されて構成されている。また、アクティブマトリックス基板2は、基板6(他方の透明基板)と、基板6上に形成されたスイッチング素子10と、スイッチング素子10に接続された画素電極11と、反射体20と、画素電極11上に積層された配向膜29とから構成されている。そして、配向膜29、44の間に液晶層5が配置されている。
また、画素電極11は、基板6上に積層された透過型電極11aと、絶縁膜20aとともに反射体20を構成する反射型電極11bとから構成されている。これら透過型電極11a及び反射型電極11bはそれぞれ、スイッチング素子10に接続されている。
The counter substrate 3 is configured by sequentially arranging a color filter 42, a common electrode 43, and a common alignment film 44 inside a substrate 41 (one transparent substrate) (on the liquid crystal layer 5 side). The active matrix substrate 2 includes a substrate 6 (the other transparent substrate), a switching element 10 formed on the substrate 6, a pixel electrode 11 connected to the switching element 10, a reflector 20, and a pixel electrode 11. And an alignment film 29 laminated thereon. The liquid crystal layer 5 is disposed between the alignment films 29 and 44.
The pixel electrode 11 includes a transmissive electrode 11a stacked on the substrate 6 and a reflective electrode 11b that constitutes the reflector 20 together with the insulating film 20a. Each of the transmissive electrode 11 a and the reflective electrode 11 b is connected to the switching element 10.

また、対向基板3の外面側には、図示略の位相差板と偏光板とが順次積層されている。また、アクティブマトリックス基板2の外面側にも、図示略の位相差板と偏光板とが積層されている。   Further, on the outer surface side of the counter substrate 3, a phase difference plate (not shown) and a polarizing plate are sequentially laminated. In addition, a retardation plate (not shown) and a polarizing plate are laminated on the outer surface side of the active matrix substrate 2.

上記の構成の半透過型液晶表示装置Aは、外光が十分に得られる場合にはバックライト4を点灯させない反射モードで動作し、外光が得られない環境においてはバックライト4を点灯させて透過モードで動作させるようになっている。   The transflective liquid crystal display device A having the above configuration operates in a reflection mode in which the backlight 4 is not turned on when sufficient external light is obtained, and the backlight 4 is turned on in an environment where no external light is obtained. To operate in transparent mode.

本発明の液晶表示装置は、反射モードではR−OCBモードで動作し、透過モードではOCBモードで動作する。
反射モードでは、対向基板3側の偏光板及び位相差板に入射した光がこの偏光板によって直線偏光にされ、更に位相差板により所定の楕円偏光に変換された光が、液晶層5を通過して反射板で反射される。そして、再度対向基板3側の位相差板を通過後にほぼ直線偏光になるように変換され偏光板を通って出射するように、光学条件(偏光板・位相差板の軸方向、位相差板の位相差値の設定等)が設定されている。
一方、透過モードでは、バックライト4から発せられた光がアクティブマトリックス基板2側の偏光板及び位相差板に入射した光が、偏光板によって直線偏光にされるとともに位相差板によって所定の楕円偏光となって、液晶層5及びさらに対向基板3側の別の位相差板を通過するが、この時位相差板を通過し偏光板に入射する光が、楕円偏光状態からほぼ直線偏光状態に近い状態になるように、偏光板或いは位相差板の光学条件(偏光板・位相差板の軸方向、位相差板の位相差値等)の設定がされる。
The liquid crystal display device of the present invention operates in the R-OCB mode in the reflection mode, and operates in the OCB mode in the transmission mode.
In the reflection mode, the light incident on the polarizing plate and the retardation plate on the counter substrate 3 side is linearly polarized by this polarizing plate, and further, the light converted into predetermined elliptical polarization by the retardation plate passes through the liquid crystal layer 5. And reflected by the reflector. Then, after passing through the retardation plate on the counter substrate 3 side again, the optical conditions (axial direction of the polarizing plate / retardation plate, axial direction of the retardation plate) Phase difference value setting, etc.) are set.
On the other hand, in the transmission mode, the light emitted from the backlight 4 is incident on the polarizing plate and the retardation plate on the active matrix substrate 2 side, and is converted into linearly polarized light by the polarizing plate and predetermined elliptically polarized light by the retardation plate. Then, the light passing through the liquid crystal layer 5 and another retardation plate on the counter substrate 3 side, and the light passing through the retardation plate and incident on the polarizing plate at this time is almost in the linear polarization state from the elliptical polarization state. The optical conditions of the polarizing plate or the retardation plate (the axial direction of the polarizing plate / retardation plate, the retardation value of the retardation plate, etc.) are set so as to be in a state.

基板6には、行方向と列方向に沿って図示略の複数の走査線と信号線が電気的に絶縁されて形成され、各走査線、信号線の交差部の近傍には図2に示すようにTFT(スイッチング素子)10が形成されている。本発明では、上記基板6上において画素電極11(11a、11b)が形成される領域を画素領域Mと呼び、TFT10が形成される領域、走査線及び信号が形成される領域を、それぞれ素子領域、配線領域と呼ぶ。   A plurality of scanning lines and signal lines (not shown) are formed on the substrate 6 along the row direction and the column direction so as to be electrically insulated, and the vicinity of the intersection of each scanning line and signal line is shown in FIG. Thus, a TFT (switching element) 10 is formed. In the present invention, a region where the pixel electrode 11 (11a, 11b) is formed on the substrate 6 is called a pixel region M, and a region where the TFT 10 is formed, a region where a scanning line and a signal are formed are respectively element regions. This is called a wiring area.

TFT10は逆スタガ型の構造を有し、基板6の最下層部から順にゲート電極13、ゲート絶縁膜15、i型半導体層14、ソース電極17及びドレイン電極18が形成され、i型半導体層14の上であってソース電極17とドレイン電極18との間にはエッチングストッパ層9が形成されている。
即ち、走査線の一部が延出されてゲート電極13が形成され、これを覆ったゲート絶縁膜15上にゲート電極13を平面視で跨るようにアイランド状の半導体層14が形成され、このi型半導体層14の両端側の一方にn型半導体層16を介してソース電極17、他方にn型半導体層16を介してドレイン電極18がそれぞれ形成されている。
The TFT 10 has an inverted staggered structure, and a gate electrode 13, a gate insulating film 15, an i-type semiconductor layer 14, a source electrode 17 and a drain electrode 18 are formed in this order from the bottom layer of the substrate 6. An etching stopper layer 9 is formed between the source electrode 17 and the drain electrode 18.
That is, a part of the scanning line is extended to form the gate electrode 13, and the island-like semiconductor layer 14 is formed on the gate insulating film 15 covering the gate line 13 so as to straddle the gate electrode 13 in plan view. A source electrode 17 is formed on one end of the i-type semiconductor layer 14 via an n-type semiconductor layer 16, and a drain electrode 18 is formed on the other end via an n-type semiconductor layer 16.

また、走査線と信号線とが囲む矩形状の領域の中央部に、ITOなどの透明電極材料からなる透過型電極11a(画素電極11)が、基板本体6上に直接位置するように形成されている。このように、透過型電極11aは先のゲート電極13と同一面位置に形成されている。これらの透過型電極11aはその一端11cに乗り上がる形で接続された先のソース電極17の一端の接続部17aに直に接続されるとともに平面視矩形状に形成されている。   In addition, a transmissive electrode 11a (pixel electrode 11) made of a transparent electrode material such as ITO is formed directly on the substrate body 6 at the center of a rectangular region surrounded by the scanning lines and signal lines. ing. Thus, the transmission electrode 11a is formed at the same plane position as the previous gate electrode 13. These transmissive electrodes 11a are directly connected to the connecting portion 17a at one end of the source electrode 17 connected so as to ride on the one end 11c, and are formed in a rectangular shape in plan view.

更に、基板6上には有機材料からなる絶縁膜20a(凸部)が積層され、この絶縁膜20a上にAlやAg等の高反射率の金属材料からなる反射型電極11b(画素電極11)が形成されている。この絶縁膜20aと反射型電極11bとによって反射体20が構成されている。
反射型電極11bは、先の走査線と信号線とが囲む領域よりも若干小さくなるような平面視矩形状になるように絶縁膜20a上に形成されている。
Further, an insulating film 20a (convex portion) made of an organic material is laminated on the substrate 6, and a reflective electrode 11b (pixel electrode 11) made of a highly reflective metal material such as Al or Ag is laminated on the insulating film 20a. Is formed. The insulator 20a and the reflective electrode 11b constitute a reflector 20.
The reflective electrode 11b is formed on the insulating film 20a so as to have a rectangular shape in plan view that is slightly smaller than a region surrounded by the previous scanning line and signal line.

絶縁膜20aは、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ベンゾシクロブテンポリマ(BCB)等からなる有機絶縁膜とされており、TFT10の保護機能を強化するようになっている。この絶縁膜20aは基板6上に比較的厚く積層され、透過型電極11aとTFT10及び各種配線との絶縁を確実にし、透過型電極11aとの間に大きな寄生容量が発生するのを防止するとともに、厚膜の絶縁膜20aによりTFT10や各種配線によって形成された基板6上の段差構造が平坦化されるようになっている。   The insulating film 20a is an organic insulating film made of acrylic resin, polyimide resin, benzocyclobutene polymer (BCB) or the like, and strengthens the protective function of the TFT 10. The insulating film 20a is laminated on the substrate 6 relatively thickly to ensure insulation between the transmissive electrode 11a, the TFT 10, and various wirings, and to prevent a large parasitic capacitance from being generated between the transmissive electrode 11a. The step structure on the substrate 6 formed by the TFT 10 and various wirings is flattened by the thick insulating film 20a.

次に、絶縁膜20aには、各ソース電極17の一端部17aに達するようにコンタクトホール21が設けられるとともに、先の透過型電極11aの上に位置するように凹部22が形成されている。凹部22の形成位置に相当する部分の反射型電極11bには凹部22の開口部22aに合致するような平面形状の透孔23が形成されている。これらの凹部22は絶縁膜20aをその深さ方向に大部分除去してその底部22b側に一部分のみを被覆層20bとして残すように形成されるとともに、凹部22の平面形状は透過型電極11aの平面形状に対応するように透過型電極11aよりも若干短い短冊状に形成されている。   Next, in the insulating film 20a, a contact hole 21 is provided so as to reach one end portion 17a of each source electrode 17, and a recess 22 is formed so as to be positioned on the previous transmission electrode 11a. A planar through hole 23 is formed in the reflective electrode 11b corresponding to the position where the recess 22 is formed so as to match the opening 22a of the recess 22. These recesses 22 are formed so that most of the insulating film 20a is removed in the depth direction and only a part of the insulating film 20a is left as a coating layer 20b on the bottom 22b side, and the planar shape of the recess 22 is the same as that of the transmissive electrode 11a. It is formed in a strip shape slightly shorter than the transmission electrode 11a so as to correspond to the planar shape.

各画素領域において、凹部22の形成領域がアクティブマトリックス基板2側からの入射光(バックライト4から出射された光)を透過する透過部30とされており、反射型電極11bの非透孔部(透孔23が形成されていない部分)が対向基板3側からの入射光を反射する反射部35とされている。   In each pixel region, the formation region of the recess 22 is a transmissive portion 30 that transmits incident light (light emitted from the backlight 4) from the active matrix substrate 2 side, and the non-perforated portion of the reflective electrode 11b. A portion where the through hole 23 is not formed is a reflecting portion 35 that reflects incident light from the counter substrate 3 side.

また、画素電極11(11a、11b)の1つが、ほぼ1つの画素領域に対応し、透孔23の面積が透過表示の際の光通過領域に対応するので、先の画素電極11全体の面積に占める透孔23の面積割合を20〜70%の範囲、例えば50%とすることが好ましい。更に、この実施形態では画素電極11に透孔23を1つのみ形成したが、画素電極11に複数の透孔を形成しても良い。その場合に複数の透孔を合わせた総面積を画素電極11全体の面積の20〜60%の範囲とする。勿論その場合に複数の透孔の形成位置に合わせて各透孔の下にそれぞれ凹部を設けることとなる。   Further, one of the pixel electrodes 11 (11a, 11b) corresponds to approximately one pixel region, and the area of the through hole 23 corresponds to the light passage region in the transmissive display, so that the entire area of the previous pixel electrode 11 It is preferable that the area ratio of the through-holes 23 in the range of 20 to 70%, for example, 50%. Furthermore, in this embodiment, only one through hole 23 is formed in the pixel electrode 11, but a plurality of through holes may be formed in the pixel electrode 11. In this case, the total area of the plurality of through holes is set to a range of 20 to 60% of the entire area of the pixel electrode 11. Of course, in that case, a concave portion is provided under each through hole in accordance with the formation position of the plurality of through holes.

絶縁膜20aに設けたコンタクトホール21には、導電材料からなる導電部25が形成され、この導通部25を介して、反射型電極11bと、絶縁膜20aの下層側に配置されたソース電極17とが電気的に接続されている。従ってソース電極17は透過型電極11aと反射型電極11bの両方に電気的に接続されている。   In the contact hole 21 provided in the insulating film 20a, a conductive portion 25 made of a conductive material is formed. Through the conductive portion 25, the reflective electrode 11b and the source electrode 17 disposed on the lower layer side of the insulating film 20a are formed. And are electrically connected. Therefore, the source electrode 17 is electrically connected to both the transmissive electrode 11a and the reflective electrode 11b.

そして、上述のように構成された基板6上には、更に反射体20及び凹部22を覆うようにラビング等の所定の配向処理が施されたポリイミド等からなる配向膜29が形成されている。この配向膜29は、基板6の全面に積層された第1配向膜29aと、凹部22内のみに積層された第2配向膜29bとから構成されている。すなわち、反射型電極11b上には第1配向膜29aのみが積層され、一方、凹部22内の透過型電極11a上には第1配向膜29aと第2配向膜29bとが順次積層されている。また、第1配向膜29aによる液晶分子のプレティルト角度が、第2配向膜29bによる液晶分子のプレティルト角度よりも大きく設定されている。すなわち、第1配向膜29aのプレティルト角度が40°ないし90°の範囲に設定され、第2配向膜29bのプレティルト角が10°以下の範囲に設定されている。 On the substrate 6 configured as described above, an alignment film 29 made of polyimide or the like subjected to a predetermined alignment process such as rubbing is formed so as to cover the reflector 20 and the recess 22. The alignment film 29 includes a first alignment film 29 a stacked on the entire surface of the substrate 6 and a second alignment film 29 b stacked only in the recess 22. That is, only the first alignment film 29a is stacked on the reflective electrode 11b, while the first alignment film 29a and the second alignment film 29b are sequentially stacked on the transmission electrode 11a in the recess 22. . The pretilt angle of the liquid crystal molecules by the first alignment film 29a is set larger than the pretilt angle of the liquid crystal molecules by the second alignment film 29b. That is, the pre-tilt angle of the first alignment film 29a is set in the range of 40 ° to 90 °, and the pre-tilt angle of the second alignment film 29b is set in the range of 10 ° or less.

第1配向膜29aは、ポリイミド系配向膜の中で垂直配向性を示すもの、例えば、SE−1211,RN1199(以上日産化学製)、JALS204(JSR製)等を挙げることができる。
これらの材料は、溶剤(N−メチルピロリドン、あるいはγブチロラクトン等溶解性の強いものが選択される。)中に固形成分濃度として1〜10質量%(通常3〜6質量%程度が多い。)を含有させ、粘度約10〜40cpのインクとされ、スピンコートあるいは転写印刷(グラビア印刷あるいはフレキソ印刷等の技術が用いられる。)等によって、焼成後の膜厚が300〜1000Åになるように調整される。
そしてさらにこれらの材料系を用いた場合、印刷予備乾燥後に波長250nm〜360nmの偏光または非偏光を、基板面法線方向に対し5°〜50°傾斜した方向から照射したり、アフタキュアとして140℃〜260℃に加熱する等の方法で、プレティルト角の制御を行うことができる。
Examples of the first alignment film 29a include those exhibiting vertical alignment among polyimide alignment films, such as SE-1211, RN1199 (manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.), JALS204 (manufactured by JSR), and the like.
These materials are 1 to 10% by mass (usually about 3 to 6% by mass) as a solid component concentration in a solvent (N-methylpyrrolidone or γ-butyrolactone or other highly soluble material is selected). The ink is made into an ink having a viscosity of about 10 to 40 cp, and is adjusted by spin coating or transfer printing (a technique such as gravure printing or flexographic printing is used) so that the film thickness after baking becomes 300 to 1000 mm. Is done.
Further, when these material systems are used, after printing preliminary drying, polarized or non-polarized light having a wavelength of 250 nm to 360 nm is irradiated from a direction inclined by 5 ° to 50 ° with respect to the normal direction of the substrate surface. The pretilt angle can be controlled by a method such as heating to ˜260 ° C.

また、ポリイミド系ではないが、例えば[化1]で表されるポリビニルシンナメート(ケイ皮酸エステル)系化合物、[化2]で表されるオキシアルキルオキシビフェニル、[化3]で表されるオキシアルキルビフェニルアクリルシンナメート系化合物、あるいは[化4]で表される主鎖にアゾベンゼン基を有するメタクリレート(アクリル酸エステル)系化合物等も第1配向膜19aとして利用可能である。これらの化合物においても、前述と類似の処理法、すなわちUV光照射あるいは熱処理が利用可能であり、これらの併用によって、プレティルト角が70°〜89°の間で制御できる。なお、[化3]において、nが2〜6のときが良好である。またnが10を越えると垂直配向が得られやすくなる。また、[化5]において、nは8以上が好ましく、n=8または16のときがより好ましい。 In addition, although not based on polyimide, for example, a polyvinyl cinnamate (cinnamate) compound represented by [Chemical Formula 1], an oxyalkyloxybiphenyl represented by [Chemical Formula 2], and [Chemical Formula 3] An oxyalkylbiphenylacrylcinnamate compound, a methacrylate (acrylate ester) compound having an azobenzene group in the main chain represented by [Chemical Formula 4], or the like can also be used as the first alignment film 19a. Also in these compounds, treatment methods similar to those described above, that is, UV light irradiation or heat treatment can be used, and by using these in combination, the pretilt angle can be controlled between 70 ° and 89 °. In addition, in [Chemical Formula 3], it is favorable when n 3 is 2 to 6. On the other hand, when n 3 exceeds 10, vertical alignment is easily obtained. In [Chemical Formula 5], n 5 is preferably 8 or more, and more preferably n 5 = 8 or 16.

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更に、やはりポリイミド系の材料ではないが、[化5]で示されるトリメトキシアルキルシラン系化合物あるいは[化6]で示されるトリエトキシアルキルシラン系化合物の場合は、水−アルコール系溶剤注に0.5質量%〜5質量%を溶解させ、転写印刷またはスピンコート法で基板に塗布し、その後100℃〜130℃に加熱する。そしてベンド配向状態で傾斜させたい方向になるようにラビング処理を行うことにより、第1配向膜29aが得られる。   Furthermore, although it is not a polyimide material, the trimethoxyalkylsilane compound represented by [Chemical Formula 5] or the triethoxyalkylsilane compound represented by [Chemical Formula 6] is 0 in the water-alcohol solvent injection. 5% by mass to 5% by mass is dissolved and applied to the substrate by transfer printing or spin coating, and then heated to 100 ° C. to 130 ° C. Then, the first alignment film 29a is obtained by performing a rubbing process so as to be in a direction to be inclined in the bend alignment state.

Figure 2005338554
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次に第2配向膜29bは、例えば、下記[化7]に示す反応式で得られるポリイミドから構成されている。この[化7]に示すポリイミドは、脂環式構造の可溶性ポリイミドで、主鎖に特別な側鎖が導入されていないものである。このポリイミドからなる配向膜はプレティルト角度を4°以下にすることができる。具体例として、日本合成ゴム株式会社製のオプトマーシリーズを例示できる。   Next, the second alignment film 29b is made of, for example, polyimide obtained by the reaction formula shown in [Chemical Formula 7] below. The polyimide shown in [Chemical Formula 7] is a soluble polyimide having an alicyclic structure, and no special side chain is introduced into the main chain. This alignment film made of polyimide can have a pretilt angle of 4 ° or less. As a specific example, an optomer series manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd. can be exemplified.

Figure 2005338554
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次に、絶縁膜20aに形成された凹部22には、絶縁膜20aの厚みに対応する凹部22の側壁である段部22cが形成されている。本実施形態では、この段部22cの傾斜角度が、25°以上55°以下の範囲に設定されている。この構成により、段部22cにおいて光を反射させることができ、透過部30と反射部35との境界が目立たず、表示ムラを防止することができる。特に、段部22cの傾斜角度は、第2配向膜29b上の液晶分子のプレティルト角に一致させることが望ましい。これにより、透過部30と反射部35との境界が目立たず、表示ムラを防止することができる。   Next, in the recess 22 formed in the insulating film 20a, a step portion 22c that is a side wall of the recess 22 corresponding to the thickness of the insulating film 20a is formed. In the present embodiment, the inclination angle of the step portion 22c is set in a range of 25 ° to 55 °. With this configuration, light can be reflected at the stepped portion 22c, the boundary between the transmitting portion 30 and the reflecting portion 35 is not conspicuous, and display unevenness can be prevented. In particular, it is desirable that the inclination angle of the stepped portion 22c matches the pretilt angle of the liquid crystal molecules on the second alignment film 29b. Thereby, the boundary between the transmission part 30 and the reflection part 35 is not conspicuous, and display unevenness can be prevented.

次に、対向基板3は、ガラスやプラスチック等からなる透光性の基板41の液晶層5側の面に、図2に示すようなカラーフィルタ層42が形成されている。
カラーフィルタ層42は、それぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の波長の光を透過するカラーフィルタが周期的に配列された構成とされており、各カラーフィルタは各画素電極11(11a、11b)に対向する位置に設けられている。また、カラーフィルタ層42において、カラーフィルタが形成されていない領域には、ブラックマトリクス等の遮光層が格子状になるように形成されている。
Next, the counter substrate 3 is formed with a color filter layer 42 as shown in FIG. 2 on the surface of the translucent substrate 41 made of glass, plastic or the like on the liquid crystal layer 5 side.
The color filter layer 42 has a structure in which color filters that transmit light of wavelengths of red (R), green (G), and blue (B) are periodically arranged, and each color filter has a pixel electrode. 11 (11a, 11b). In the color filter layer 42, a light shielding layer such as a black matrix is formed in a lattice shape in a region where the color filter is not formed.

また、カラーフィルタ層42は、反射部35上に配置された反射用カラーフィルタ層42aと、この反射用カラーフィルタ層42aに積層された透明樹脂層42bと、透過部30上に配置されて反射用カラーフィルタ層42aと一体である透過用カラーフィルタ層42cとから構成されている。反射用カラーフィルタ層42aの厚みは、透過用カラーフィルタ層42cの2分の1の厚みとされている。また、反射用カラーフィルタ層42a及び透明樹脂層42bの合計厚みと、透過用カラーフィルタ層42cの厚みはほぼ同じ厚みに形成されている。これにより、カラーフィルタ層42の液晶層5側の面が平坦面とされている。   In addition, the color filter layer 42 is disposed on the reflective portion 35, the reflective color filter layer 42a, the transparent resin layer 42b laminated on the reflective color filter layer 42a, and the transmissive portion 30 for reflection. The transmission color filter layer 42c is integral with the color filter layer 42a for transmission. The thickness of the reflective color filter layer 42a is half the thickness of the transmissive color filter layer 42c. The total thickness of the reflective color filter layer 42a and the transparent resin layer 42b and the thickness of the transmissive color filter layer 42c are formed to be substantially the same thickness. Thereby, the surface of the color filter layer 42 on the liquid crystal layer 5 side is a flat surface.

そして、上述のカラーフィルタ層42の液晶層側には、ITO等の透明な対向電極(共通電極)43と共通配向膜44が形成されている。共通配向膜44は、ラビング等の所定の配向処理が施されたポリイミド等からなるものであり、第2配向膜29bのプレティルト角度とほぼ同等のプレティルト角度に設定されている。   A transparent counter electrode (common electrode) 43 such as ITO and a common alignment film 44 are formed on the liquid crystal layer side of the color filter layer 42 described above. The common alignment film 44 is made of polyimide or the like that has been subjected to a predetermined alignment process such as rubbing, and is set to a pretilt angle substantially equal to the pretilt angle of the second alignment film 29b.

そして、上述のように構成された基板2、3は、スペーサ(図示略)によって互いに一定に離間された状態で保持されるとともに、図1に示すように基板周辺部に矩形枠状に塗布された熱硬化性のシール材45によって接着一体化されている。そして、基板2、3及びシール材45によって密閉された空間に液晶が封入されて光変調層としての液晶層5が形成され、液晶セル1が構成されている。   The substrates 2 and 3 configured as described above are held in a state of being spaced apart from each other by a spacer (not shown) and are applied in a rectangular frame shape around the substrate as shown in FIG. The thermosetting sealing material 45 is bonded and integrated. Then, liquid crystal is sealed in a space sealed by the substrates 2 and 3 and the sealing material 45 to form a liquid crystal layer 5 as a light modulation layer, and the liquid crystal cell 1 is configured.

本実施形態の半透過型液晶表示装置Aにおいては、上記のように絶縁膜20aに凹部22が形成され、この凹部部22内にも液晶が導入されることにより、透過部30における液晶層5の厚みdは、反射部35における液晶層5の厚みdより大きい値とされており、好ましくは透過部30における液晶層5の厚みdが、反射部35における液晶層5の厚みdの略2倍の値とされている。即ち、反射体20の厚みと反射部35における液層層5の厚みdとの合計が、透過部30における液晶層5の厚みdに一致している。 In the transflective liquid crystal display device A of the present embodiment, the recess 22 is formed in the insulating film 20a as described above, and liquid crystal is introduced into the recess 22 as well, so that the liquid crystal layer 5 in the transmissive portion 30 is obtained. the thickness d 3 of is the thickness d 4 is greater than value of the liquid crystal layer 5 in the reflective portion 35, preferably the thickness d 3 of the liquid crystal layer 5 in the transmissive portion 30, the thickness of the liquid crystal layer 5 in the reflective portion 35 d The value is approximately twice that of 4 . That is, the sum of the thickness of the reflector 20 and the thickness d 4 of the liquid layer 5 in the reflecting portion 35 is equal to the thickness d 3 of the liquid crystal layer 5 in the transmitting portion 30.

次に、液晶セル1の光学特性について説明する。
液晶層5は、常温でネマチック状態となる液晶分子からなるものである。
透過部30における液晶層5においては、図2に示すように、基準電圧(白表示となる電圧)を印加した際に、共通配向膜44及び第2配向膜29b近傍の液晶分子が平行配向(プレティルト角が0°〜4°)となり、液層層5の中央付近における液層分子が垂直配向となり、全体として弓形に配列するいわゆるベント配向をとる。また、基準電圧から徐々に電圧を加えていくと、配向膜44、29a近傍の液晶分子のプレティルト角が印加電圧に応じて徐々に高くなり、階層表示が可能になる。以上のように、本実施形態の液晶表示装置は、透過部30においては、OCBモードで動作するように構成されている。
Next, the optical characteristics of the liquid crystal cell 1 will be described.
The liquid crystal layer 5 is made of liquid crystal molecules that are in a nematic state at room temperature.
In the liquid crystal layer 5 in the transmissive portion 30, as shown in FIG. 2, when a reference voltage (voltage for white display) is applied, the liquid crystal molecules in the vicinity of the common alignment film 44 and the second alignment film 29b are aligned in parallel ( The pretilt angle is 0 ° to 4 °), the liquid layer molecules in the vicinity of the center of the liquid layer 5 are vertically aligned, and the so-called bent alignment is arranged as a whole in an arcuate shape. Further, when a voltage is gradually applied from the reference voltage, the pretilt angle of the liquid crystal molecules in the vicinity of the alignment films 44 and 29a gradually increases according to the applied voltage, and hierarchical display becomes possible. As described above, in the liquid crystal display device of the present embodiment, the transmission unit 30 is configured to operate in the OCB mode.

一方、反射部35における液層層5においては、図2に示すように、基準電圧(白表示となる電圧)を印加した際に、共通配向膜44の液晶分子が平行配向(プレティルト角が0°〜4°)となり、第1配向膜29a近傍の液晶分子が垂直配向(プレティルト角が88°〜90°)となり、液層層5の中央付近における液層分子が垂直配向となり、全体として半弓形に配列するいわゆるハイブリッド配向をとる。また、基準電圧から徐々に電圧を加えていくと、共通配向膜44近傍の液晶分子のプレティルト角が印加電圧に応じて徐々に高くなり、階層表示が可能になる。以上のように、本実施形態の液晶表示装置は、反射部35においては、OCBモードに類似するモードで動作するように構成されている。   On the other hand, in the liquid layer 5 in the reflective portion 35, as shown in FIG. 2, when a reference voltage (voltage for white display) is applied, the liquid crystal molecules of the common alignment film 44 are aligned in parallel (the pretilt angle is 0). The liquid crystal molecules in the vicinity of the first alignment film 29a are vertically aligned (the pretilt angle is 88 ° to 90 °), and the liquid layer molecules in the vicinity of the center of the liquid layer 5 are vertically aligned. The so-called hybrid orientation is arranged in an arcuate shape. As the voltage is gradually applied from the reference voltage, the pretilt angle of the liquid crystal molecules in the vicinity of the common alignment film 44 gradually increases according to the applied voltage, and hierarchical display is possible. As described above, the liquid crystal display device of the present embodiment is configured to operate in a mode similar to the OCB mode in the reflection unit 35.

以上詳細に説明したように、本実施形態の半透過型液晶表示装置Aによれば、第1配向膜29aのプレティルト角度が第2配向膜29bのプレティルト角度よりも大きく設定されているので、透過モード及び反射モードにおいて、高輝度かつ高コントラストで良好な白表示を得ることができる。
また、透過部30及び反射部35における表示状態を均一にすることができ、表示ムラを防止することができる。特に、コントラストのムラをなくすことができる。
As described above in detail, according to the transflective liquid crystal display device A of the present embodiment, the pretilt angle of the first alignment film 29a is set larger than the pretilt angle of the second alignment film 29b. In the mode and the reflection mode, a good white display with high brightness and high contrast can be obtained.
Moreover, the display state in the transmission part 30 and the reflection part 35 can be made uniform, and display unevenness can be prevented. In particular, contrast unevenness can be eliminated.

また、反射部35におけるカラーフィルタ層42aの厚みが、透過部30におけるカラーフィルタ層42cの厚みの2分の1に設定されているので、透過部30及び反射部35における色ムラの発生を防止してコントラストを一定にできるとともに、輝度を高めることができる。
また、反射部35における透明樹脂層42bと、透過部30におけるカラーフィルタ層42cとが液晶層5側で同一面を形成しているので、液晶セル1のセルギャップを容易に制御することができる。
Moreover, since the thickness of the color filter layer 42a in the reflection part 35 is set to one half of the thickness of the color filter layer 42c in the transmission part 30, the occurrence of color unevenness in the transmission part 30 and the reflection part 35 is prevented. Thus, the contrast can be made constant and the luminance can be increased.
In addition, since the transparent resin layer 42b in the reflection part 35 and the color filter layer 42c in the transmission part 30 form the same surface on the liquid crystal layer 5 side, the cell gap of the liquid crystal cell 1 can be easily controlled. .

更に、反射部35における液層層5の厚みdが、透過部30における液晶層5の厚みdの略2倍に設定されているので、反射部35において液晶層5を透過する光の光路長と、透過部30において液晶層5を透過する光の光路長とをほぼ一致させることができる。 Furthermore, since the thickness d 4 of the liquid layer 5 in the reflection part 35 is set to be approximately twice the thickness d 3 of the liquid crystal layer 5 in the transmission part 30, the light transmitted through the liquid crystal layer 5 in the reflection part 35 The optical path length and the optical path length of the light transmitted through the liquid crystal layer 5 in the transmission part 30 can be made substantially coincident.

次に、本実施形態の半透過型液晶表示装置Aの製造方法について説明する。
まず図3に示すように、基板6上に走査線および信号線と、スイッチング素子10と、透過型電極11aを形成する。更に、基板6上に絶縁膜20aを積層するとともに絶縁膜20a上に反射型電極11bを形成する。また絶縁膜20aには凹部22を設けて透過型電極11aを露出させる。なお、絶縁膜20aの厚みは2μm程度が好ましい。
Next, a manufacturing method of the transflective liquid crystal display device A of this embodiment will be described.
First, as shown in FIG. 3, scanning lines and signal lines, a switching element 10, and a transmission electrode 11a are formed on a substrate 6. Further, the insulating film 20a is laminated on the substrate 6, and the reflective electrode 11b is formed on the insulating film 20a. The insulating film 20a is provided with a recess 22 to expose the transmissive electrode 11a. The thickness of the insulating film 20a is preferably about 2 μm.

次に、図4に示すように、基板6の全面、すなわち反射型電極11bおよび透過型電極11aの上に、第1配向膜29aを形成する。第1配向膜を形成するには、まず、上記の[化1]ないし[化7]に示す構造の化合物が溶解された溶液を用意する。この溶液は、[化1]または[化7]に示すポリイミドを、Nメチルピロリドンまたはγブチロラクトンのいずれかの溶媒に溶解させてワニス化させたものである。
そして、この溶液をスピンコート法、フレキソ印刷法、スピンコート法等で基板6の全面に均一に塗布する。塗布後、熱処理して溶媒を揮発させることにより、塗膜を形成する。そして、形成後の塗膜にラビング処理を施すことによって第1配向膜29bを形成する。なお、第1配向膜29aは、焼成後で400Åないし1000Å程度の厚みに形成することが望ましい。
Next, as shown in FIG. 4, a first alignment film 29a is formed on the entire surface of the substrate 6, that is, on the reflective electrode 11b and the transmissive electrode 11a. In order to form the first alignment film, first, a solution in which the compound having the structure shown in the above [Chemical Formula 1] to [Chemical Formula 7] is dissolved is prepared. This solution is obtained by dissolving the polyimide represented by [Chemical Formula 1] or [Chemical Formula 7] in a solvent of either N-methylpyrrolidone or γ-butyrolactone to be varnished.
Then, this solution is uniformly applied to the entire surface of the substrate 6 by spin coating, flexographic printing, spin coating, or the like. After coating, a coating film is formed by heat treatment to volatilize the solvent. And the 1st orientation film 29b is formed by giving a rubbing process to the coating film after formation. The first alignment film 29a is preferably formed to a thickness of about 400 to 1000 after firing.

第1配向膜29aの製造方法について更に詳細に説明する。
まず、配1配向膜29aの材料として、長鎖アルキル基を有する垂直配向膜材料(前出の日産化学株式会社製SE−1211)を用いる場合について説明する。まず、このSE−1211をNメチルピロリドンからなる溶媒に溶かして5質量%の溶液を調整する。次に、この溶液をスピンコート法または転写印刷法により基板6の全面に塗布する。塗布後、190℃で20分間加熱する。これにより、膜厚が約600Å以下の塗膜が得られる。得られた塗膜に対するラビング処理は、塗膜表面の斜め45°方向から、波長250nm以下、照射量0.5J/cm以下(より好ましくは0.1J/cm以上0.5J/cm以下)のUV光を照射することにより行う。
The manufacturing method of the first alignment film 29a will be described in more detail.
First, the case of using a vertical alignment film material having a long-chain alkyl group (SE-1211 manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) as the material of the alignment film 29a will be described. First, SE-1211 is dissolved in a solvent composed of N-methylpyrrolidone to prepare a 5 mass% solution. Next, this solution is applied to the entire surface of the substrate 6 by spin coating or transfer printing. After coating, heat at 190 ° C. for 20 minutes. Thereby, a coating film having a film thickness of about 600 mm or less is obtained. Rubbing against the resulting coating film, an oblique direction of 45 ° of the coating film surface, wavelength 250nm or less, the irradiation dose 0.5 J / cm 2 or less (more preferably 0.1 J / cm 2 or more 0.5 J / cm 2 The following is performed by irradiating with UV light.

次に、第1配向膜29aの材料として、上記[化1]に記載の化合物を用いる場合について説明する。まず、上記[化1]に示す化合物を塩化メチレンまたはアセトンからなる溶媒に溶かして20質量%の溶液を調整する。次に、この溶液をスピンコート法または転写印刷法により基板6の全面に約400nm以下の厚みに塗布する。塗布後、85℃で40秒間加熱する。これにより塗膜が得られる。得られた塗膜に対するラビング処理は、塗膜表面に、波長254nm、強度1.0mW/cm程度の偏光させたUV光を40分間程度照射することにより行う。UV光は、例えば超高圧水銀ランプ(例えばウシオ製USH−250D型)により照射される。このようにして、プレティルト角が30°ないし40°の範囲に設定される。 Next, a case where the compound described in [Chemical Formula 1] is used as the material of the first alignment film 29a will be described. First, the compound shown in the above [Chemical Formula 1] is dissolved in a solvent composed of methylene chloride or acetone to prepare a 20 mass% solution. Next, this solution is applied to the entire surface of the substrate 6 to a thickness of about 400 nm or less by spin coating or transfer printing. After application, heat at 85 ° C. for 40 seconds. Thereby, a coating film is obtained. The rubbing treatment on the obtained coating film is performed by irradiating the coating film surface with polarized UV light having a wavelength of 254 nm and an intensity of about 1.0 mW / cm 2 for about 40 minutes. The UV light is irradiated by, for example, an ultrahigh pressure mercury lamp (for example, USH-250D type manufactured by USHIO). In this way, the pretilt angle is set in the range of 30 ° to 40 °.

次に、第1配向膜29aの材料として、上記[化2]に記載の化合物を用いる場合について説明する。まず、上記[化2]に示す化合物を塩化メチレンまたはアセトンからなる溶媒に溶かして1.5質量%の溶液を調整する。次に、この溶液をスピンコート法または転写印刷法により基板6の全面に約500Å以下の厚みに塗布する。塗布後、85℃で20秒間加熱する。これにより塗膜が得られる。得られた塗膜に対するラビング処理は、室温において、塗膜表面の30°ないし60°の斜め方向から、波長365nm、強度1.0mW/cm以下の非偏光UV光を4秒間ないし12秒間程度照射することにより行う。UV光は、例えばHg−Xeランプにより照射される。このようにして、プレティルト角が60°ないし85°の範囲に設定される。なお、UV光の照射時間が10秒間を越えると、プレティルト角が最小で20°まで低下する。例えばUV光の照射時間が13秒間ではプレティルト角が45°になる。 Next, the case where the compound described in [Chemical Formula 2] is used as the material of the first alignment film 29a will be described. First, the compound shown in the above [Chemical Formula 2] is dissolved in a solvent composed of methylene chloride or acetone to prepare a 1.5 mass% solution. Next, this solution is applied to the entire surface of the substrate 6 to a thickness of about 500 mm or less by spin coating or transfer printing. After coating, heat at 85 ° C. for 20 seconds. Thereby, a coating film is obtained. The obtained coating film is rubbed at room temperature from a 30 ° to 60 ° oblique direction of the coating surface with unpolarized UV light having a wavelength of 365 nm and an intensity of 1.0 mW / cm 2 or less for about 4 seconds to 12 seconds. This is done by irradiation. The UV light is irradiated by, for example, an Hg-Xe lamp. In this way, the pretilt angle is set in the range of 60 ° to 85 °. When the UV light irradiation time exceeds 10 seconds, the pretilt angle decreases to 20 ° at the minimum. For example, when the irradiation time of UV light is 13 seconds, the pretilt angle is 45 °.

次に、第1配向膜29aの材料として、上記[化3]に記載の化合物を用いる場合について説明する。まず、上記[化3]に示す化合物を塩化メチレンまたはアセトンからなる溶媒に溶かして溶液を調整する。次に、この溶液をスピンコート法または転写印刷法により基板6の全面に約800Å以下の厚みに塗布する。塗布後、室温〜50℃で超高圧水銀ランプで偏光UV光を照射する。UV光は、波長300nm、強度10J/cm以下程度がよい。このようにして、プレティルト角が85°ないし89°の範囲の第1配向膜29aが形成される。 Next, the case where the compound described in [Chemical Formula 3] is used as the material of the first alignment film 29a will be described. First, the compound shown in the above [Chemical Formula 3] is dissolved in a solvent composed of methylene chloride or acetone to prepare a solution. Next, this solution is applied to the entire surface of the substrate 6 to a thickness of about 800 mm or less by spin coating or transfer printing. After the application, irradiation with polarized UV light is performed with an ultrahigh pressure mercury lamp at room temperature to 50 ° C. The UV light preferably has a wavelength of 300 nm and an intensity of 10 J / cm 2 or less. In this way, the first alignment film 29a having a pretilt angle in the range of 85 ° to 89 ° is formed.

次に、第1配向膜29aの材料として、上記[化4]に記載の化合物を用いる場合について説明する。まず、上記[化4]に示す化合物を塩化メチレンまたはアセトンからなる溶媒に溶かして溶液を調整する。次に、この溶液をスピンコート法または転写印刷法により基板6の全面に約400Å以下の厚みに塗布する。基板表面に対して斜め方向60°以下の角度から、波長365nm、強度15J/cm以下の非偏光UV光をHg−Xeランプにより照射する。照射後、100℃で30分間熱処理する。このようにして、プレティルト角が70°ないし85°の範囲の第1配向膜29aが形成される。なお、UV光を照射しない場合はプレティルト角が80°程度になる。 Next, the case where the compound described in [Chemical Formula 4] is used as the material of the first alignment film 29a will be described. First, the compound shown in the above [Chemical Formula 4] is dissolved in a solvent composed of methylene chloride or acetone to prepare a solution. Next, this solution is applied to the entire surface of the substrate 6 to a thickness of about 400 mm or less by spin coating or transfer printing. Non-polarized UV light having a wavelength of 365 nm and an intensity of 15 J / cm 2 or less is irradiated by an Hg-Xe lamp from an angle of 60 ° or less with respect to the substrate surface. After irradiation, heat treatment is performed at 100 ° C. for 30 minutes. In this way, the first alignment film 29a having a pretilt angle in the range of 70 ° to 85 ° is formed. In the case where UV light is not irradiated, the pretilt angle is about 80 °.

次に、第1配向膜29aの材料として、上記[化5]または[化6]に記載の化合物を用いる場合について説明する。まず、上記[化5]または[化6]に示す化合物を水−エタノール混合溶媒(エタノール5%以下)に溶かして0.5〜5質量%の溶液を調整する。次に、この溶液を転写印刷法により基板6の全面に塗布する。塗布後、基板ごと120℃に加熱して溶媒を除去する。そして、次に通常の方法ラビング処理を行う。これにより第1配向膜29aが形成される。   Next, the case where the compound described in the above [Chemical Formula 5] or [Chemical Formula 6] is used as the material of the first alignment film 29a will be described. First, the compound shown in the above [Chemical Formula 5] or [Chemical Formula 6] is dissolved in a water-ethanol mixed solvent (ethanol 5% or less) to prepare a 0.5 to 5 mass% solution. Next, this solution is applied to the entire surface of the substrate 6 by a transfer printing method. After coating, the substrate is heated to 120 ° C. to remove the solvent. Then, a normal method rubbing process is performed. Thereby, the first alignment film 29a is formed.

次に、図5に示すように、基板6上の凹部22、すなわち透過型電極11a上にインクジェット用ノズルNを配置させ、このノズルNから第2配向膜の構成材料を含む溶液Lを吐出させる。この溶液Lは、上記の[化3]に示す構造のポリイミドがγブチロラクトンに溶解されてワニス化されてなるものである。この溶液Lをインクジェット用ノズルNから吐出させることで、溶液Lの液滴を透過型電極11a上に正確に着弾させることが可能になる。なお、透過型電極11aの周辺は絶縁膜20aが除去されて凹部22となっているため、溶液Lが凹部22の外側に溢れ出ることがない。
吐出された溶液Lは、図6に示すように、溶媒であるγブチロラクトンが揮発されて[化3]に示す構造のポリイミド膜となる。積層されたポリイミド膜にはラビング処理が施されて第2配向膜29bが形成される。このようにして、透過型電極11a上の第1配向膜29a上に第2配向膜29bを積層する。なお、第2配向膜29bは、焼成後で400Åないし1000Å程度の厚みに形成することが望ましい。以上のようにして、第1、第2配向膜29a、29bが形成されてなるアクティブマトリックス基板2が得られる。
Next, as shown in FIG. 5, an inkjet nozzle N is disposed on the recess 22 on the substrate 6, that is, the transmission electrode 11 a, and the solution L containing the constituent material of the second alignment film is discharged from the nozzle N. . This solution L is obtained by dissolving the polyimide having the structure shown in the above [Chemical Formula 3] in γ-butyrolactone to be varnished. By discharging the solution L from the inkjet nozzle N, it is possible to accurately land the droplet of the solution L on the transmission electrode 11a. In addition, since the insulating film 20a is removed and the recess 22 is formed around the transmission electrode 11a, the solution L does not overflow to the outside of the recess 22.
As shown in FIG. 6, the discharged solution L becomes a polyimide film having a structure shown in [Chemical Formula 3] by volatilizing γ-butyrolactone as a solvent. The laminated polyimide film is rubbed to form a second alignment film 29b. In this manner, the second alignment film 29b is stacked on the first alignment film 29a on the transmission electrode 11a. The second alignment film 29b is desirably formed to a thickness of about 400 to 1000 mm after firing. As described above, the active matrix substrate 2 formed with the first and second alignment films 29a and 29b is obtained.

第1配向膜29aは、インクジェットノズルNで溶液Lを吐出させる際の溶液受容層としての役割を果たす。すなわち、溶液Lが凹部22内に着弾すると、溶液Lが第1配向膜29aに馴染み、溶液Lが均一に広がり、膜厚が一定である第2配向膜29bが形成される。溶液Lと第1配向膜29aが馴染みやすいのは、第1配向膜29aを構成する材料が上述したポリイミドであり、このポリイミドが溶液Lの溶媒であるγブチロラクトンと親和性が高いためである。
このように凹部形状が溶液受容層になっていることによって、透過部に相当するパターンの形状を形成する際に、インクジェット印刷時の吐出量のコントロールをすれば、形成パターン位置・形状に対する位置精度に対する許容度が広がる。なお、溶液受容層として、予め凹部22内の第1配向膜29a上にポリビニルアルコール層などを形成しておいてもよい。
The first alignment film 29a serves as a solution receiving layer when the solution L is discharged by the inkjet nozzle N. That is, when the solution L lands in the concave portion 22, the solution L becomes familiar with the first alignment film 29a, and the solution L spreads uniformly and the second alignment film 29b having a constant film thickness is formed. The reason why the solution L and the first alignment film 29a are easily adapted is that the material constituting the first alignment film 29a is the polyimide described above, and this polyimide has high affinity with γ-butyrolactone, which is the solvent of the solution L.
Since the recess shape is a solution-receiving layer in this way, when forming the shape of the pattern corresponding to the transmissive part, if the ejection amount during ink jet printing is controlled, the position accuracy with respect to the formation pattern position and shape The tolerance for is widened. As a solution receiving layer, a polyvinyl alcohol layer or the like may be formed on the first alignment film 29a in the recess 22 in advance.

次に、カラーフィルタ層と共通電極と共通配向膜とが形成されてなる共通基板を用意し、この共通基板と先に製造したアクティブマトリックス基板とを一定の間隔をあけてはり合わせ、各基板間に液晶層を封入することにより、図2に示す液晶パネル1が得られる。   Next, a common substrate in which a color filter layer, a common electrode, and a common alignment film are formed is prepared, and this common substrate and the previously produced active matrix substrate are bonded to each other with a certain distance therebetween. The liquid crystal panel 1 shown in FIG. 2 is obtained by encapsulating the liquid crystal layer.

上述したように、本実施形態の液晶表示装置の製造方法では、第1配向膜29a上に、溶液Lを吐出して第2配向膜29bを形成する所謂インクジェット法を採用する。この方法では、前記溶液Lを吐出してから揮発性の溶媒のみを蒸発させることで第2配向膜29bを形成する。これにより、従来の方法のような液残りやシミ発生の問題もなく、アルカリ残留が起きることもない。またインクジェット法を利用することで、第2配向膜29bの形成位置を精密に制御することができる。   As described above, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present embodiment employs a so-called inkjet method in which the solution L is discharged onto the first alignment film 29a to form the second alignment film 29b. In this method, the second alignment film 29b is formed by evaporating only the volatile solvent after discharging the solution L. As a result, there is no problem of liquid residue and spot generation as in the conventional method, and alkali residue does not occur. In addition, the formation position of the second alignment film 29b can be precisely controlled by using the ink jet method.

これにより、プレティルト角度の異なる領域を選択的に形成する際に、非接触で迅速かつ必要なパターン精度で配向膜29a,29bを形成することができる。特に、透過部となる透過型電極11aが溶液を受けやすい凹部と22された場合は、予め形成してある第1配向膜29aが溶液の受容層の機能を果たすので、第2配向膜29bの平坦性およびパターン精度が格段に向上するとともに、ピンホールの発生を未然に防止できる。また、アルカリ性のエッチャントを使用しないので、残留アルカリを低減でき、液晶層の電圧保持特性を向上できる。   As a result, when the regions having different pretilt angles are selectively formed, the alignment films 29a and 29b can be formed in a non-contact manner quickly and with a required pattern accuracy. In particular, when the transmissive electrode 11a serving as a transmissive portion is formed as a concave portion 22 that can easily receive a solution, the first alignment film 29a formed in advance functions as a solution receiving layer, so that the second alignment film 29b The flatness and pattern accuracy are significantly improved, and pinholes can be prevented from occurring. Further, since an alkaline etchant is not used, residual alkali can be reduced, and voltage holding characteristics of the liquid crystal layer can be improved.

なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態では基板6の全面に第1配向膜を形成してからインクジェット法で第2配向膜を透過部30に形成したが、これに代えて、基板全面に第1配向膜を形成してから、次にインクジェット法で第2配向膜を反射部に形成してもよい。この場合、第1配向膜のプレティルト角度を第2配向膜のプレティルト角度よりも小さくすることが望ましい。そのためには、上記実施形態の第1、第2配向膜29a、29bの構成材料を入れ替えれば良い。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the first alignment film is formed on the entire surface of the substrate 6 and then the second alignment film is formed on the transmission part 30 by the ink jet method. Instead, the first alignment film is formed on the entire surface of the substrate. Then, the second alignment film may be formed on the reflective portion by an ink jet method. In this case, it is desirable to make the pretilt angle of the first alignment film smaller than the pretilt angle of the second alignment film. For this purpose, the constituent materials of the first and second alignment films 29a and 29b in the above embodiment may be replaced.

また、インクジェットノズルは1つに限らず、複数のインクジェットノズルから複数の凹部内に同時に溶液を吐出させて、第2配向膜を形成することは勿論可能である。この場合、配向膜の形成を迅速に行なうことができる。   Further, the number of inkjet nozzles is not limited to one, and it is of course possible to form a second alignment film by simultaneously discharging solutions from a plurality of inkjet nozzles into a plurality of recesses. In this case, the alignment film can be formed quickly.

図1は本発明の実施形態である液晶表示装置の一例を示す断面模式図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 図2は本発明の実施形態である液晶表示装置の要部を示す断面模式図。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a main part of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 図3は、本発明の実施形態である液晶表示装置の製造方法の一例を示す工程図。FIG. 3 is a process diagram showing an example of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 図4は、本発明の実施形態である液晶表示装置の製造方法の一例を示す工程図。FIG. 4 is a process diagram showing an example of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 図5は、本発明の実施形態である液晶表示装置の製造方法の一例を示す工程図。FIG. 5 is a process diagram showing an example of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 図6は、本発明の実施形態である液晶表示装置の製造方法の一例を示す工程図。FIG. 6 is a process diagram showing an example of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

5…液晶層、6…他方の基板、10…スイッチング素子、11…画素電極、11a…反射型電極、11b…透過型電極、20a…絶縁膜(凸部)、22…凹部、29a…第1配向膜、29b…第2配向膜、41…一方の基板、43…共通電極、44…共通配向膜、A…液晶表示装置、L…溶液

DESCRIPTION OF SYMBOLS 5 ... Liquid crystal layer, 6 ... The other board | substrate, 10 ... Switching element, 11 ... Pixel electrode, 11a ... Reflection type electrode, 11b ... Transmission type electrode, 20a ... Insulating film (convex part), 22 ... Concave part, 29a ... 1st Alignment film, 29b ... second alignment film, 41 ... one substrate, 43 ... common electrode, 44 ... common alignment film, A ... liquid crystal display device, L ... solution

Claims (4)

液晶層と、該液晶層を挟んで対向する一対の透明基板とを具備してなり、一方の前記透明基板の内面側に共通電極及び共通配向膜が順次積層されるとともに、他方の前記透明基板の内面側には複数のスイッチング素子と該スイッチング素子に各々接続された複数の画素電極とが設けられ、該画素電極が、前記一方の基板側から入射した光を反射する反射型電極と、前記他方の基板側から前記一方の基板側に光を透過させる透過型電極とから構成されてなる液晶表示装置の製造方法であり、
前記画素電極の全面に第1配向膜を形成する工程と、
前記透過型電極または前記反射型電極のいずれか一方の前記第1配向膜上に、第2配向膜の構成材料を含む溶液を吐出することにより、プレティルト角度が前記第1配向膜と異なる第2配向膜を形成する工程と、を具備してなることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A liquid crystal layer and a pair of transparent substrates facing each other with the liquid crystal layer interposed therebetween, and a common electrode and a common alignment film are sequentially laminated on the inner surface side of one of the transparent substrates, and the other transparent substrate A plurality of switching elements and a plurality of pixel electrodes respectively connected to the switching elements are provided on the inner surface side of the reflective electrode, the pixel electrodes reflecting light incident from the one substrate side; A method of manufacturing a liquid crystal display device comprising a transmissive electrode that transmits light from the other substrate side to the one substrate side;
Forming a first alignment film on the entire surface of the pixel electrode;
By discharging a solution containing the constituent material of the second alignment film onto the first alignment film of either the transmissive electrode or the reflective electrode, the second tilt angle is different from that of the first alignment film. And a step of forming an alignment film. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記第2配向膜を前記透過型電極上に形成し、かつ前記第1配向膜のプレティルト角度を前記第2配向膜のプレティルト角度より大きく設定することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。   2. The liquid crystal display according to claim 1, wherein the second alignment film is formed on the transmission electrode, and a pretilt angle of the first alignment film is set larger than a pretilt angle of the second alignment film. Device manufacturing method. 前記第2配向膜を前記反射型電極上に形成し、かつ前記第1配向膜のプレティルト角度を前記第2配向膜のプレティルト角度より小さく設定することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。   2. The liquid crystal display according to claim 1, wherein the second alignment film is formed on the reflective electrode, and a pretilt angle of the first alignment film is set smaller than a pretilt angle of the second alignment film. Device manufacturing method. 前記反射型電極が、前記他方の基板上に設けられた凸部上に形成され、前記透過型電極が、前記凸部に対応する凹部に形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。

The reflective electrode is formed on a convex portion provided on the other substrate, and the transmissive electrode is formed in a concave portion corresponding to the convex portion. Item 4. A method for manufacturing a liquid crystal display device according to Item 3.

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