JP2005327857A

JP2005327857A - Laser device

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Publication number: JP2005327857A
Application number: JP2004143769A
Authority: JP
Inventors: Hirohiko Kuno; 裕彦久野
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2004-05-13
Filing date: 2004-05-13
Publication date: 2005-11-24

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify the structure of an optical system in a laser device including a resonating type laser amplifier and a passing type laser amplifier. <P>SOLUTION: A laser device includes a laser light source which generates laser light, a resonating type laser amplifier which amplifies laser light from the laser light source, a passing type laser amplifier which further amplifies the laser light amplified by the resonating type laser amplifier, a first reflection return light preventing apparatus which is disposed between the laser light source and the resonating type laser amplifier, and a second reflection return light preventing apparatus which is provided between the laser light source and the first reflection return light preventing apparatus. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、フェムト秒（ｆｓ＝１０^−１５秒）レベルの超短パルスのレーザ光を生成するレーザ装置に関し、特に、共振型増幅器とパス型増幅器を備えたレーザ装置に関する。 The present invention relates to a laser device that generates a laser beam having an ultrashort pulse of femtosecond (fs = 10 ⁻¹⁵ seconds) level, and more particularly to a laser device including a resonance amplifier and a path amplifier.

図５を参照して従来のレーザ装置の例を説明する。レーザ装置は、シードレーザと称する短パルスのレーザ光を発生するシードレーザ光源１０と、シードレーザ光源からのレーザ光を増幅する共振型レーザ増幅器（再生増幅器）２０と、共振型レーザ増幅器２０に励起用レーザ光を供給する励起用レーザ光源２１と、共振型レーザ増幅器２０によって増幅されたレーザ光を更に増幅するパス型レーザ増幅器（マルチパスアンプ）３０と、パス型レーザ増幅器３０に励起用レーザ光を供給する励起用レーザ光源３１と、を有する。 An example of a conventional laser device will be described with reference to FIG. The laser apparatus includes a seed laser light source 10 that generates a short-pulse laser beam called a seed laser, a resonant laser amplifier (regenerative amplifier) 20 that amplifies the laser light from the seed laser light source, and excitation to the resonant laser amplifier 20. A pumping laser light source 21 for supplying a laser beam for use, a path type laser amplifier (multipath amplifier) 30 for further amplifying the laser light amplified by the resonance type laser amplifier 20, and a pumping laser beam for the path type laser amplifier 30. And an excitation laser light source 31 for supplying.

共振型レーザ増幅器２０は、レーザに共振を起こさせる共振器を有する。共振器は、レーザ光を反射させる２枚の反射面とその間に配置されたレーザ媒体を有する。レーザ光を２枚の反射面の間にて往復させると、その度に、レーザ光はレーザ媒体を通過し、指数関数的に増幅される。パス型レーザ増幅器３０は、レーザ媒体を通過する単数の又は複数の光路（パス）を備える。レーザ光をパスに通過させると、その度に、レーザ光はレーザ媒体を通過し、増幅される。レーザ媒体として、チタンサファイア等が知られている。 The resonant laser amplifier 20 has a resonator that causes the laser to resonate. The resonator includes two reflecting surfaces that reflect laser light and a laser medium disposed between the reflecting surfaces. Each time the laser beam is reciprocated between the two reflecting surfaces, the laser beam passes through the laser medium and is amplified exponentially. The path-type laser amplifier 30 includes one or a plurality of optical paths (paths) that pass through the laser medium. Each time the laser light passes through the path, the laser light passes through the laser medium and is amplified. As a laser medium, titanium sapphire and the like are known.

こうして２つのレーザ増幅器２０、３０によってレーザ光は増幅され、フェムト秒（ｆｓ＝１０^−１５秒）レベルの超短パルスのレーザ光を得ることができる。 In this way, the laser light is amplified by the two laser amplifiers 20 and 30, and an ultrashort pulse laser light of femtosecond (fs = 10 ⁻¹⁵ seconds) level can be obtained.

図６を参照して、レーザ装置の光学系を伝播するレーザ光の概要を説明する。レーザ装置は、複雑な光学系を有し、その構成は装置毎に異なる。従って、図６では、主要な光学要素のみを示す。尚、励起用レーザ光源２１、３１の図示は省略されている。 With reference to FIG. 6, the outline of the laser beam propagating through the optical system of the laser apparatus will be described. The laser device has a complicated optical system, and the configuration thereof is different for each device. Accordingly, only the main optical elements are shown in FIG. The excitation laser light sources 21 and 31 are not shown.

本例では、シードレーザ光源１０と共振型レーザ増幅器２０の間に第１の反射戻り光防止装置４１及び第１の偏光回転子４３が設けられ、共振型レーザ増幅器２０とパス型レーザ増幅器３０の間に第２の反射戻り光防止装置４２と第２の偏光回転子４４が設けられている。第１の反射戻り光防止装置４１はパルス制御機能を有し、シードレーザ光源１０と共振型レーザ増幅器２０の間に設けられている。 In this example, a first reflected return light prevention device 41 and a first polarization rotator 43 are provided between the seed laser light source 10 and the resonant laser amplifier 20, so that the resonant laser amplifier 20 and the pass laser amplifier 30 A second reflected return light preventing device 42 and a second polarization rotator 44 are provided therebetween. The first reflected return light preventing device 41 has a pulse control function and is provided between the seed laser light source 10 and the resonant laser amplifier 20.

シードレーザ光源１０によって生成されたＳ偏光のレーザ光は、第１の偏光回転子４３によってＰ偏光にされ、共振型レーザ増幅器２０に導かれる。共振型レーザ増幅器２０によって増幅されたＰ偏光のレーザ光は、第１の反射戻り光防止装置４１によってＳ偏光にされ、第２の反射戻り光防止装置４２に導かれる。第２の反射戻り光防止装置４２に導かれたＳ偏光のレーザ光は、Ｐ偏光にされ、第２の偏光回転子４４に導かれる。第２の偏光回転子４４に導かれたＰ偏光のレーザ光は、Ｓ偏光にされ、パス型レーザ増幅器３０に導かれる。パス型レーザ増幅器３０によって増幅されたＳ偏光のレーザ光は出力として取り出される。 The S-polarized laser light generated by the seed laser light source 10 is converted to P-polarized light by the first polarization rotator 43 and guided to the resonant laser amplifier 20. The P-polarized laser light amplified by the resonant laser amplifier 20 is converted to S-polarized light by the first reflected return light prevention device 41 and guided to the second reflected return light prevention device 42. The S-polarized laser light guided to the second reflected return light preventing device 42 is converted to P-polarized light and guided to the second polarization rotator 44. The P-polarized laser light guided to the second polarization rotator 44 is converted to S-polarized light and guided to the pass laser amplifier 30. The S-polarized laser light amplified by the pass type laser amplifier 30 is extracted as an output.

反射戻り光防止装置４１、４２は光アイソレータとも称され、光を一方向に導くが、反射戻り光が伝播することを阻止する。反射戻り光防止装置４１、４２は、また、偏光回転子の機能を有し、Ｐ偏光をＳ偏光に変換し、Ｓ偏光をＰ偏光に変換する。第１の反射戻り光防止装置４１は、共振型レーザ増幅器２０からのＰ偏光のレーザ光をＳ偏光のレーザ光に変換して、第２の反射戻り光防止装置４２に導くが、破線にて示すように、シードレーザ光源１０方向への反射戻り光が伝播することを阻止する。 The reflected return light preventing devices 41 and 42 are also called optical isolators and guide light in one direction, but prevent reflected return light from propagating. The reflected return light prevention devices 41 and 42 also have a function of a polarization rotator, and convert P-polarized light to S-polarized light and convert S-polarized light to P-polarized light. The first reflected return light preventing device 41 converts the P-polarized laser light from the resonant laser amplifier 20 into an S-polarized laser light and guides it to the second reflected returned light preventing device 42. As shown, the reflected return light in the direction of the seed laser light source 10 is prevented from propagating.

第２の反射戻り光防止装置４２は、第２の反射戻り光防止装置４２からのＳ偏光のレーザ光をＰ偏光のレーザに変換して、第２の偏光回転子４４に導くが、破線にて示すように、パス型レーザ増幅器３０からの反射戻り光がシードレーザ光源１０方向に伝播することを阻止する。 The second reflected return light prevention device 42 converts the S-polarized laser light from the second reflected return light prevention device 42 into a P-polarized laser and guides it to the second polarization rotator 44. As shown, the reflected return light from the path type laser amplifier 30 is prevented from propagating in the direction of the seed laser light source 10.

特開平６−１５２０１５号公報JP-A-6-152015 特開２００１−２４４５３０号公報JP 2001-244530 A 特表２００３−５０４８７８号公報JP-T-2003-504878

従来のレーザ装置は、図６に示したように、レーザ増幅器を設ける毎に、反射戻り光防止装置を設ける。レーザ増幅器の数が増加すると、反射戻り光防止装置の数も増加し、構造が複雑となる。反射戻り光防止装置の数が増加すると偏光回転子の数も増加する。従って、構造が複雑となる。 As shown in FIG. 6, the conventional laser device is provided with a reflected return light prevention device each time a laser amplifier is provided. As the number of laser amplifiers increases, the number of reflected return light prevention devices also increases and the structure becomes complicated. As the number of reflected return light prevention devices increases, the number of polarization rotators also increases. Therefore, the structure becomes complicated.

本発明の目的は、共振型レーザ増幅器とパス型レーザ増幅器とを有する形式のレーザ装置において、光学系の構造を簡単化することにある。 An object of the present invention is to simplify the structure of an optical system in a laser apparatus of a type having a resonance type laser amplifier and a path type laser amplifier.

レーザ装置は、レーザ光を発生するレーザ光源と、該レーザ光源からのレーザ光を増幅する共振型レーザ増幅器と、該共振型レーザ増幅器によって増幅されたレーザ光を更に増幅するパス型レーザ増幅器と、上記レーザ光源と上記共振型レーザ増幅器の間に配置された第１の反射戻り光防止装置と、上記レーザ光源と上記第１の反射戻り光防止装置の間に設けられた第２の反射戻り光防止装置と、を有する。 The laser device includes a laser light source that generates laser light, a resonant laser amplifier that amplifies the laser light from the laser light source, a path laser amplifier that further amplifies the laser light amplified by the resonant laser amplifier, A first reflected return light preventing device disposed between the laser light source and the resonant laser amplifier; and a second reflected return light provided between the laser light source and the first reflected return light preventing device. And a prevention device.

本発明のレーザ装置によると、光学系の構造が簡単になる。 According to the laser device of the present invention, the structure of the optical system is simplified.

図１を参照して、本発明によるレーザ装置の例を説明する。図１には、本例のレーザ装置の主要な光学要素のみを示す。本例のレーザ装置は、シードレーザと称する短パルスのレーザ光を発生するシードレーザ光源１０と、シードレーザ光源からのレーザ光を増幅する共振型レーザ増幅器（再生増幅器）２０、共振型レーザ増幅器２０によって増幅されたレーザ光を更に増幅するパス型レーザ増幅器（マルチパスアンプ）３０と、を有し、シードレーザ光源１０と共振型レーザ増幅器２０の間に第１及び第２の反射戻り光防止装置４１、４２が設けられている。本例のレーザ装置を図６のレーザ装置を比較すると、本例のレーザ装置では、第２の反射戻り光防止装置４２がシードレーザ光源１０と第１の反射戻り光防止装置４１の間に設けられ、２つの偏光回転子が除去されている点が異なる。 An example of a laser device according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows only main optical elements of the laser apparatus of this example. The laser apparatus of this example includes a seed laser light source 10 that generates a short pulse laser light called a seed laser, a resonant laser amplifier (regenerative amplifier) 20 that amplifies the laser light from the seed laser light source, and a resonant laser amplifier 20. And a path type laser amplifier (multipath amplifier) 30 for further amplifying the laser light amplified by the first and second reflected return light preventing devices between the seed laser light source 10 and the resonant laser amplifier 20. 41 and 42 are provided. When comparing the laser device of this example with the laser device of FIG. 6, in the laser device of this example, the second reflected return light preventing device 42 is provided between the seed laser light source 10 and the first reflected return light preventing device 41. Except that the two polarization rotators are removed.

第１の反射戻り光防止装置４１はパルス制御機能を有し、シードレーザ光源１０と共振型レーザ増幅器２０の間に設けられている。第２の反射戻り光防止装置４２をシードレーザ光源１０と第１の反射戻り光防止装置４１の間に設けることにより、２つの偏光回転子を除去することができる。従って、本例のレーザ装置は従来のレーザ装置と比較して、構成が簡単となる利点を有する。 The first reflected return light preventing device 41 has a pulse control function and is provided between the seed laser light source 10 and the resonant laser amplifier 20. By providing the second reflection return light preventing device 42 between the seed laser light source 10 and the first reflection return light preventing device 41, the two polarization rotators can be removed. Therefore, the laser device of this example has an advantage that the configuration is simple as compared with the conventional laser device.

尚、図１では、共振型レーザ増幅器２０用の励起用レーザ光源２１とパス型レーザ増幅器３０用の励起用レーザ光源３１の図示は省略されている。 In FIG. 1, the pumping laser light source 21 for the resonant laser amplifier 20 and the pumping laser light source 31 for the pass laser amplifier 30 are not shown.

シードレーザ光源１０によって生成されたＳ偏光のレーザ光は、第２の反射戻り光防止装置４２によってＰ偏光にされ、共振型レーザ増幅器２０に導かれる。共振型レーザ増幅器２０によって増幅されたＰ偏光のレーザ光は、第１の反射戻り光防止装置４１によってＳ偏光にされ、パス型レーザ増幅器３０に導かれる。パス型レーザ増幅器３０によって増幅されたＳ偏光のレーザ光は出力として取り出される。 The S-polarized laser light generated by the seed laser light source 10 is converted to P-polarized light by the second reflected return light preventing device 42 and guided to the resonant laser amplifier 20. The P-polarized laser light amplified by the resonant laser amplifier 20 is converted to S-polarized light by the first reflected return light preventing device 41 and guided to the path-type laser amplifier 30. The S-polarized laser light amplified by the pass type laser amplifier 30 is extracted as an output.

第１の反射戻り光防止装置４１は、共振型レーザ増幅器２０からのＰ偏光のレーザ光をＳ偏光のレーザ光に変換して、パス型レーザ増幅器３０に導くが、破線にて示すように、第２の反射戻り光防止装置４２及びシードレーザ光源１０方向へ反射戻り光が伝播することを阻止する。 The first reflected return light preventing device 41 converts the P-polarized laser light from the resonant laser amplifier 20 into S-polarized laser light and guides it to the path-type laser amplifier 30. The reflected return light is prevented from propagating in the direction of the second reflected return light preventing device 42 and the seed laser light source 10.

第２の反射戻り光防止装置４２は、シードレーザ光源１０からのＳ偏光のレーザ光をＰ偏光のレーザに変換して、共振型レーザ増幅器２０に導くが、破線にて示すように、パス型レーザ増幅器３０からの反射戻り光がシードレーザ光源１０方向に伝播することを阻止する。更に、第２の反射戻り光防止装置４２は、破線にて示すように、第１の反射戻り光防止装置４１からの反射戻り光がシードレーザ光源１０へ伝播することを阻止する。 The second reflected return light preventing device 42 converts the S-polarized laser light from the seed laser light source 10 into a P-polarized laser and guides it to the resonant laser amplifier 20. The reflected return light from the laser amplifier 30 is prevented from propagating in the direction of the seed laser light source 10. Further, the second reflected return light preventing device 42 prevents the reflected return light from the first reflected return light preventing device 41 from propagating to the seed laser light source 10 as indicated by a broken line.

図２を参照して、第１の反射戻り光防止装置４１の構造及び機能を説明する。本例の反射戻り光防止装置は、第１の検光子２０１、ファラデー回転素子２０２、λ／２板２０３、及び、第２の検光子２０４を有する。検光子２０１、２０４は、Ｓ偏光とＰ偏光のうち一方のみを通過させる。本例では、第１の検光子２０１はＰ偏光を通過させるがＳ偏光を遮断し、第２の検光子２０４はＳ偏光を通過させるがＰ偏光を遮断する。 With reference to FIG. 2, the structure and function of the first reflected return light preventing apparatus 41 will be described. The reflection return light preventing apparatus of this example includes a first analyzer 201, a Faraday rotation element 202, a λ / 2 plate 203, and a second analyzer 204. The analyzers 201 and 204 pass only one of S-polarized light and P-polarized light. In this example, the first analyzer 201 passes P-polarized light but blocks S-polarized light, and the second analyzer 204 passes S-polarized light but blocks P-polarized light.

図２Ａに示すように、反射戻り光防止装置に入射されたＰ偏光は、第１の検光子２０１を通過し、ファラデー回転素子２０２を通過することによって、偏光面が＋４５度回転し、λ／２板２０３を通過することによって更に、偏光面が＋４５度回転する。従って、λ／２板２０３からはＳ偏光が出射される。λ／２板２０３からのＳ偏光は、第２の検光子２０４を通過する。即ち、反射戻り光防止装置からＳ偏光が出射される。 As shown in FIG. 2A, the P-polarized light incident on the reflected return light preventing device passes through the first analyzer 201 and passes through the Faraday rotator 202, whereby the plane of polarization rotates +45 degrees, and λ / By passing through the two plates 203, the plane of polarization further rotates by +45 degrees. Accordingly, S-polarized light is emitted from the λ / 2 plate 203. S-polarized light from the λ / 2 plate 203 passes through the second analyzer 204. That is, S-polarized light is emitted from the reflected return light prevention device.

図２Ｂに示すように、反射戻り光のＳ偏光は、第２の検光子２０４を通過し、λ／２板２０３を通過することによって、偏光面が＋４５度回転するが、ファラデー回転素子２０２を通過することによって、偏光面が−４５度回転する。従って、元のＳ偏光に戻る。ファラデー回転素子２０２からのＳ偏光は、第１の検光子２０１によって遮断される。 As shown in FIG. 2B, the S-polarized light of the reflected return light passes through the second analyzer 204 and passes through the λ / 2 plate 203, so that the plane of polarization rotates +45 degrees. By passing, the plane of polarization rotates by -45 degrees. Therefore, the original S-polarized light is restored. S-polarized light from the Faraday rotator 202 is blocked by the first analyzer 201.

図３を参照しては第２の反射戻り光防止装置４２の構造及び機能を説明する。本例では、第１の検光子２０１はＳ偏光を通過させるがＰ偏光を遮断し、第２の検光子２０４はＰ偏光を通過させるがＳ偏光を遮断する。 With reference to FIG. 3, the structure and function of the second reflected return light preventing apparatus 42 will be described. In this example, the first analyzer 201 passes S-polarized light but blocks P-polarized light, and the second analyzer 204 allows P-polarized light to pass but blocks S-polarized light.

図３Ａに示すように、反射戻り光防止装置に入射されたＳ偏光は、第１の検光子２０１を通過し、ファラデー回転素子２０２を通過することによって、偏光面が＋４５度回転し、λ／２板２０３を通過することによって更に、偏光面が＋４５度回転する。従って、λ／２板２０３からはＰ偏光が出射される。λ／２板２０３からのＰ偏光は、第２の検光子２０４を通過する。即ち、反射戻り光防止装置からＰ偏光が出射される。 As shown in FIG. 3A, the S-polarized light incident on the reflected return light prevention device passes through the first analyzer 201 and passes through the Faraday rotation element 202, whereby the polarization plane rotates +45 degrees, and λ / By passing through the two plates 203, the plane of polarization further rotates by +45 degrees. Accordingly, P-polarized light is emitted from the λ / 2 plate 203. P-polarized light from the λ / 2 plate 203 passes through the second analyzer 204. That is, P-polarized light is emitted from the reflected return light prevention device.

図３Ｂに示すように、反射戻り光のＰ偏光は、第２の検光子２０４を通過し、λ／２板２０３を通過することによって、偏光面が＋４５度回転するが、ファラデー回転素子２０２を通過することによって、偏光面が−４５度回転する。従って、元のＰ偏光に戻る。ファラデー回転素子２０２からのＰ偏光は、第１の検光子２０１によって遮断される。 As shown in FIG. 3B, the P-polarized light of the reflected return light passes through the second analyzer 204 and passes through the λ / 2 plate 203, so that the polarization plane rotates +45 degrees. By passing, the plane of polarization rotates by -45 degrees. Therefore, the original P-polarized light is restored. P-polarized light from the Faraday rotator 202 is blocked by the first analyzer 201.

上述のように、反射戻り光防止装置は、（１）Ｓ偏光をＰ偏光へ変換し、又はＰ偏光をＳ偏光に変換する機能、（２）反射戻り光が通過することを阻止する機能、を有する。Ｓ偏光をＰ偏光へ変換する機能、と、Ｐ偏光をＳ偏光に変換する機能のいずれを提供するかは、検光子とλ／２板（偏光回転子）の回転角度を選択することにより決まる。 As described above, the reflected return light preventing device has (1) a function of converting S-polarized light into P-polarized light or a function of converting P-polarized light into S-polarized light, and (2) a function of preventing reflected return light from passing through, Have Whether to provide the function of converting S-polarized light to P-polarized light or the function of converting P-polarized light to S-polarized light is determined by selecting the rotation angle of the analyzer and the λ / 2 plate (polarization rotator). .

図４を参照してパス型レーザ光増幅器３０の構成及び動作を説明する。パス型レーザ光増幅器３０は、レーザ媒体３０１とレーザ光の光路（パス）を形成する複数の反射板３０２〜３０７を有する。これらの光路は、全て、レーザ媒体３０１を通過するように構成されている。 The configuration and operation of the path type laser optical amplifier 30 will be described with reference to FIG. The path-type laser optical amplifier 30 includes a plurality of reflectors 302 to 307 that form an optical path (path) of the laser beam with the laser medium 301. All of these optical paths are configured to pass through the laser medium 301.

共振型レーザ増幅器２０からのレーザ光は、反射板３０２〜３０７を次々と反射することにより、多数の光路を通過してから、出力される。レーザ光は、これらの光路を通過する毎に、レーザ媒体３０１を通過する。レーザ光はレーザ媒体３０１を通過する毎に増幅される。 The laser light from the resonant laser amplifier 20 is output after being reflected by the reflectors 302 to 307 one after another through a large number of optical paths. The laser beam passes through the laser medium 301 every time it passes through these optical paths. The laser light is amplified every time it passes through the laser medium 301.

以上、本発明の例を説明したが、本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内にて様々な変更が可能であることは当業者に理解されよう。 The example of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above-described example, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims. Will be understood.

図１は、本発明のレーザ装置の主要部を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing the main part of the laser apparatus of the present invention. 図２は、本発明による反射戻り光防止装置の例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of the reflected return light preventing apparatus according to the present invention. 図３は、本発明による反射戻り光防止装置の他の例を示す図である。FIG. 3 is a view showing another example of the reflected return light preventing apparatus according to the present invention. 図４は、本発明によるパス型レーザ増幅器の概略を示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing a path type laser amplifier according to the present invention. 図５は、従来のレーザ装置の概略を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an outline of a conventional laser device. 図６は、従来のレーザ装置の主要部を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a main part of a conventional laser device.

Explanation of symbols

１０…シードレーザ光源、２０…共振型レーザ増幅器、２１…励起用レーザ光源、３０…パス型レーザ増幅器、３１…励起用レーザ光源、４１、４２…反射戻り光防止装置、２０１…検光子、２０２…ファラデー回転素子、２０３…λ／２板、２０４…検光子、３０１…レーザ媒体、３０２〜３０７…反射板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Seed laser light source, 20 ... Resonance type laser amplifier, 21 ... Excitation laser light source, 30 ... Pass type laser amplifier, 31 ... Excitation laser light source, 41, 42 ... Reflection return light prevention apparatus, 201 ... Analyzer, 202 ... Faraday rotator, 203 ... λ / 2 plate, 204 ... analyzer, 301 ... laser medium, 302 to 307 ... reflector

Claims

A laser light source for generating laser light, a resonant laser amplifier for amplifying laser light from the laser light source, a path type laser amplifier for further amplifying laser light amplified by the resonant laser amplifier, and the laser light source, A first reflected return light preventing device disposed between the resonant laser amplifiers; a second reflected return light preventing device provided between the laser light source and the first reflected return light preventing device; A laser device.

2. The laser device according to claim 1, wherein the reflected return light preventing device includes a first analyzer, a Faraday rotator, a λ / 2 plate, and a second analyzer.