JP2005321373A - Sensor and method of measuring mass flow in non-penetrating method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は一般的に質量流量センサー(mass flow sensors)に関し、特にチューブを通して流れる媒体(medium)の質量流量(mass flow)を非貫入式(non−intrusively)に測定するセンサーと方法に関する。 The present invention relates generally to mass flow sensors, and more particularly to a non-intrusive sensor and method for measuring a mass flow of a medium flowing through a tube in a non-intrusive manner.
熱型の貫入式質量流量センサー(Intrusive mass flow sensors of the thermal type)は一般に加熱されたプローブをチューブ壁を通して媒体の流れストリーム(flow stream)内に配置する過程を有する。該質量流量は、該プローブの長さに沿った2点、好ましくは該プローブのベースと先端、で測定された熱的勾配(thermal gradient)に関係する対流熱伝達係数(convection heat transfer coefficient)とのそれの関係により測定される。この様な貫入式質量流量センサーの1例は、2002年12月3日に公告され、”プローブ熱伝導を用いた質量流量測定用の方法とセンサー(Method and Sensors For Mass Flow Measurement Using Probe Heat Conduction)”の名称の、本出願と同じ譲り受け人に譲り渡された、特許文献1で提供される。 Thermal mass flow sensors of the thermal type generally have the process of placing a heated probe through a tube wall and into a flow stream of media. The mass flow rate is a convection heat transfer coefficient related to a thermal gradient measured at two points along the length of the probe, preferably the base and tip of the probe, and Measured by its relationship to. An example of such an intrusive mass flow sensor was published on December 3, 2002, “Methods and Sensors for Mass Flow Measurement Probe Probe Heat Conduction with Method and Sensor for Mass Flow Measurement Using Heat Conduction of Probes. ) ", Which is assigned to the same assignee as the present application.
或る応用では貫入式センサー、すなわち、流れチューブの壁を貫通する少なくとも1つのプローブを有するセンサーを許容出来ない。加えて、電源が限定される応用では、該流れストリーム内でのセンサープローブの電力消費が該電源の容量を越えるかも知れない。更に、該流れストリーム内に貫入式プローブを配置することは圧力降下を生じ、それは該チューブを通る媒体の流れを望ましくなく限定するかも知れない。 Some applications cannot tolerate penetrating sensors, i.e. sensors having at least one probe penetrating the wall of the flow tube. In addition, in applications where the power source is limited, the power consumption of the sensor probe in the flow stream may exceed the capacity of the power source. In addition, placing a penetrating probe within the flow stream creates a pressure drop that may undesirably limit the flow of media through the tube.
従って、望ましいことは媒体流れ内で圧力降下を生じず、低電力消費で機能する非貫入式の代わりの質量流量センサーと方法である。本発明はこの様な代わりの非貫入式質量流量センサーと方法を提供する。
本発明の1側面に依れば、チューブを通して流れる媒体の質量流量を測定するための非貫入式センサーは、該チューブの外壁(external wall)に沿って配置される予め決められた長さを有するプローブ(probe)と、該プローブの該長さに沿う第1点で該プローブを加熱する手段と、該プローブの温度を測定し、そしてそれを表す第1信号Thを発生するために該第1点に配置された第1温度測定デバイス(first temperature measuring device)と、該プローブのもう1つの温度を測定し、それを表す第2信号Ttを発生するために該プローブの長さに沿う該第2点に配置された第2温度測定デバイスと、周囲温度(ambient temperature)を測定し、そしてそれを表す信号Taを発生するために該プローブから或る距離離れて該チューブの該外壁に沿って配置された第3温度測定デバイスと、そして温度差信号の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づき質量流量信号を発生するために該第1,第2そして第3温度測定デバイスに接続された手段とを具備する。 According to one aspect of the present invention, a non-intrusive sensor for measuring the mass flow rate of a medium flowing through a tube has a predetermined length disposed along the external wall of the tube. a probe (probe), said to means for heating the probe at a first point along the said length of the probe, the temperature of the probe is measured, and generates a first signal T h representative thereof A first temperature measuring device located at one point and another temperature of the probe is measured and along the length of the probe to generate a second signal T t representative thereof A second temperature measuring device located at the second point and measuring and representing the ambient temperature No. T a and the third temperature measuring device is disposed along the outer wall of the tube a distance away from the probe to generate a, and the ratio of the temperature difference signal (T h -T a) / ( T means connected to the first, second and third temperature measuring devices for generating a mass flow signal based on t- T a ).
本発明のもう1つの側面に依れば、チューブを通って流れる媒体の質量流量を非貫入式に測定する方法は、予め決められた長さを有するプローブを該チューブの外壁に沿って配置する過程と、該プローブの長さに沿う第1点で該第1プローブを加熱する過程と、該第1点のプローブの温度Thを測定する過程と、該プローブの長さに沿う第2点で該プローブのもう1つの温度Ttを測定する過程と、該プローブから或る距離離れた該チューブの外壁に沿った周囲温度Taを測定する過程と、そして温度差測定値の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づき質量流量を測定する過程と、を具備する。 In accordance with another aspect of the present invention, a non-intrusive method for measuring the mass flow rate of a medium flowing through a tube places a probe having a predetermined length along the outer wall of the tube. process and the steps of heating a first probe at a first point along the length of the probe, the steps of measuring the temperature T h of the probe of the first point, second point along the length of the probe in process and the ratio of the process for measuring the ambient temperature T a along the outer wall of a distance away the tubes from the probe, and the temperature difference measurement for measuring another temperature T t of the probe (T h− T a ) / (T t −T a ) to measure the mass flow rate.
本発明の原理を具体化するのに好適な非貫入式質量流量センサーが図1の図解で示されている。図1を参照すると、媒体の流れを含む流れチューブ(flow tube)10が提供されるが、該媒体は矢印12の方向に該チューブを通る、例えば、気体又は液体であってもよい。本実施例では、該流れチューブ10はステンレス鋼製であるが、本発明は他の材料にも同様に成立することは理解されよう。予め決められた長さを有するプローブ14が該流れチューブ10の外壁(external wall)16に沿って配置される。本実施例では、例えば、金属外装された熱電対ハウジング(metal sheathed thermocouple housing)であってもよい該プローブ14は該外壁16の外周に捲かれる。該プローブは、例えば、該壁16に該プローブを蝋付け(brazing)することにより該外壁16と熱的に接触させられてもよい。本発明の広い原理から逸れることなく該プローブ14を該壁16と接的に接触させる他の方法があることは理解されよう。
A non-intrusive mass flow sensor suitable for embodying the principles of the present invention is shown in the illustration of FIG. Referring to FIG. 1, a
例えば、白金抵抗温度計(Platinum resistive thermometer){ピーアールテー(PRT)}であってもよい加熱要素(heating element)18は、該プローブの長さに沿う第1点22で該プローブ14を加熱(I2R)するために電源20により電力を与えられる。本実施例では、該第1点22は該プローブ14の1端又はベース(base)にある。該加熱要素18は熱蓄積ユニット(heat storage unit)24内に埋め込まれてもよく、該ユニットは該第1点22での加熱温度の安定化を提供するために、例えば、銅の加熱ブロック(heating block of Copper)であってもよい。該加熱ブロック24は該プローブ14のベース22と熱的に結合されており、熱損失を減じるために外部温度から絶縁されてもよい。例えば熱電対であってもよい、第1温度測定デバイス(first temperature measuring device)26は該プローブ14の該第1点22の温度Thを測定しそれを表す信号をワイヤ28上に発生する(generate a signal over wires 28 representative thereof)ため加熱ブロック24と熱的に結合されている。
For example, a
例えば、熱電対の様な、第2温度検出デバイス(A second temperature sensing device)が該プローブ14の長さ内で該長さに沿う第2点30に配置されるが、それは該第2点で該プローブの温度Ttを測定し、それを表す信号をワイヤ32上に発生するためである。好ましくは、該第2温度検出デバイスは該プローブ14の先端に配置され、それはそのベースから実質的距離にあるのがよい。第3温度測定デバイス(A third temperature measuring device)34は、周囲温度Taを測定するために該プローブ14から或る距離36離れて該チューブ10の外壁16に沿って配置される。該距離36は、例えば、該チューブ10の直径の2倍の桁であってもよい。該第3温度測定デバイスは、該外壁16の外周に捲かれた、例えば、金属外装された熱電対ハウジングと、周囲温度Taを測定し、それを表す信号をワイヤ38上に発生するために該ハウジング内に配置された熱電対と、を含んでもよい。該熱電対ハウジング34は、例えば、蝋付けにより壁16と熱的に接触させられてもよい。
For example, a second temperature sensing device, such as a thermocouple, is placed within the length of the
該第1、第2そして第3の熱電対からのそれぞれのワイヤ対28,32及び38はコネクター又は接続ターミナル40に提供され、そこでは該ワイヤは差温度信号Th−Ta及びTt−Taを提供するよう一緒に接続されるが、それは次の説明から更に明らかになるであろう。該信号Th−Ta及びTt−Taは差温度信号の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づく質量流量信号44を発生するための回路42に提供される。図1の実施例で回路要素40及び42として使うために好適な例示的回路実施例が図5で示される。
図5を参照すると、温度Thを測定する熱電対のワイヤ28は相互接続箱(interconnection box)40のターミナル50及び52に接続され、温度Taを測定する熱電対のワイヤ38は該箱40のターミナル54及び56に接続されそして温度Ttを測定する熱電対のワイヤ32は該箱40のターミナル58及び60に接続される。熱電対Taの1つの相互接続ターミナル(interconnecting terminal)56は大地又は回路42の共通電位(common potential)に接続され、Taのもう1つの相互接続ターミナル54は、ターミナル50での温度差信号Th−Taを創る仕方で熱電対Thのターミナル54へ跳び越えている(jumpered)。又Taのもう1つの相互接続ターミナル54はターミナル60で温度差信号Tt−Taを創る仕方で熱電対Ttのターミナル58へ跳び越えている。
Referring to FIG. 5, the
ターミナル50は約100の閉ループ利得(closed−loop gain)を有する反転増幅器回路(inverting amplifier circuit)62に接続される。回路62は、例えば、オーピー200(OP200)でもよい演算増幅器(operational amplifier)、入力抵抗R1(1kΩ)そしてフイードバック抵抗R2(100kΩ)を含む。同様に、ターミナル60は約100の閉ループ利得を有する反転増幅器回路64と接続される。回路64は、例えば、オーピー200(OP200)でもよい演算増幅器、入力抵抗R3(1kΩ)そしてフイードバック抵抗R4(100kΩ)を含む。温度差信号の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づき質量流量信号VOを作るために増幅器62及び64の出力は双整合電界効果トランジスター(dual matched field effect transistor)(FET)対及び双演算増幅器回路構成(dual operational amplifier circuit configuration)に接続される。
特に、増幅器62の出力は抵抗器R5(10kΩ)を通して、例えば、OP200でもよい演算増幅器66の非反転(+)入力と、例えば、整合された対の2N5912でもよいFETs(F1,F2)の1つF1のドレイン(drain)と、に接続される。増幅器66の(+)入力は仮想回路大地(virtual circuit ground)にある。増幅器66の出力はFETsの該対であるF1及びF2のゲートに接続されそれをドライブする。F1のソースは基準電圧に接続される。従って、F1のドレイン又はチャンネル電流I2は温度差信号Th−Taに比例する。同様に、増幅器64の出力は抵抗器R6(10kΩ)を通して該対のFETsのF1およびF2のもう1つF2のドレインに、そして又もう1つの演算増幅器68の反転(−)入力に接続される。増幅器68の該(+)入力は仮想回路大地にある。FETのF2のソース対ドレインは増幅器68の出力対(−)入力間に接続される。かくして、F2のチャンネル電流I1は温度差信号Tt−Taに比例する。前記説明の回路構成に基づき、質量流量を表す増幅器68の出力電圧V0は(I2/I1)Vrefに等しくそれは温度差の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に比例する。
In particular, the output of amplifier 62 is through resistor R5 (10 kΩ), for example, the non-inverting (+) input of
本回路の実施例はアナログ回路要素で説明されたが、丁度同じ様に、個別温度測定信号Th,Ta、そしてTtはデジタル化され、それから質量流量を決定するためマイクロコントローラーシステムにより処理されてもよい。この目的用の例示的マイクロコントローターシステムが、その構造と動作のより詳しい詳細を提供するためにここに引用により組み入れられた、上記で参照された公告済みの特許文献1で説明されている。 Although the embodiment of the circuit has been described with analog circuitry, the individual temperature measurement signals T h , T a , and T t are digitized in exactly the same way and then processed by a microcontroller system to determine mass flow rate. May be. An exemplary microcontroller system for this purpose is described in the above-referenced published US Pat. No. 6,057,031, incorporated herein by reference to provide more detailed details of its structure and operation.
該プローブ14は該流れチューブ10の外壁16に沿い、そしてそれと熱的に接触するよう蝋付けされているので、該プローブ14からの熱は該壁16を通して該チューブ10を流れる媒体へ伝達される。従って、該媒体流量が増大すると、該壁16を通して伝達される熱の量が増加し、より多くの熱が該プローブ14から除去される。これらの条件下でTtはThに対し低下する。同様に、該媒体流量が減じると、TtはThに対し増加する。本実施例では、Thは一定に保持されず、Tt及びThが両者共その比で周囲温度Taに付いて補償される限り、変化することが許される。加えて、該プローブ14の長さに沿う熱電対測定値Th及びTtの分離は、例えば、該媒体の熱流束(heat flux)、該チューブの材料、該プローブの熱伝導等の様な多くの要因に左右される。
Since the
本実施例に関し下記条件でテストが行われた。熱電対ハウジング14及び34は直径約6.35mm(4分の1インチ)のステンレス鋼の流れチューブ10の外壁16に銀蝋付けされた。窒素ガスが室温で約0.689MPa絶対圧(100psia)の圧力で媒体として使われた。該加熱要素は室温で74.6Ωのヒーター抵抗を作るよう並列に構成された2つのピーアールテーエスであり、134maの電流でドライブされた。毎分の標準リットル(standard liters per minute){エスエルピーエム(slpm)}で実際の媒体流量設定(actual medium flow setting)を測定するためにクリチカルオリフイス型デバイス(critical orifice type device)を有する標準流量センサー(standard flow sensor)が使われた。電圧の形での質量流量読み値が各設定について記録された。5つの例示的流量設定のテスト結果が図3の表にリスト化されており、図2のグラフで黒ドットとしてプロットされている。図3の表を参照し、左から右へ移動すると、第1及び第2列はそれぞれボルト及びエスエルピーエムで標準流量センサーの出力を表す。左から右への第3列はテスト下の実施例の出力V0を表す。最後の3つの列は該標準流量読み値とテスト下の実施例からの流量読み値の間の比較を表す。図2のテストプロットは0.9979の相関値(correlation value)R2を有する表現:Y=0.0565X−0.2987により近似される線形関数を生じる。
A test was conducted on the present example under the following conditions.
又本実施例(テストセンサー)の時間応答(time response)を該標準流量センサーのそれと比較するためテストが行われた。図4はこの様な時間応答の比較を例示する時間グラフである。図4を参照すると、縦座標は、その電圧がエスエルピーエム(slpm)で流量を表す該センサーの各々の出力電圧の測定値であり、該横座標の各インクレメント(increment)は分で時間を表す。図4に記録された例示的応答テスト中、流量は時間に期間中に6つの異なるレベルに変更され、該標準及びテストセンサーの出力電圧が時間記録された。 A test was also conducted to compare the time response of this example (test sensor) with that of the standard flow sensor. FIG. 4 is a time graph illustrating such a time response comparison. Referring to FIG. 4, the ordinate is a measurement of the output voltage of each of the sensors whose voltage is expressed in SLPM, and each increment of the abscissa is the time in minutes. Represent. During the exemplary response test recorded in FIG. 4, the flow rate was changed to six different levels over time and the standard and test sensor output voltages were time recorded.
図4で、該標準及びテスト流量センサーの時間応答カーブはそれぞれ電圧出力レベルL1−L6及びL1’−L6’により表される。本例で、該標準流量センサーのレベルL1−L6は下記すなわち:2.0ボルト(28.31slpm)、0.50ボルト(6.964slpm)、1.0ボルト(14.05slpm)、1.5ボルト(21.16slpm)、2.0ボルト(28.31slpm)、そして2.2ボルト(31.18slpm)の電圧と流量に対応する。又該テスト流量センサーのレベルL1’−L6’は下記すなわち:1.3ボルト、0.065ボルト、0.52ボルト、0.92ボルト、1.3ボルト、そして1.44ボルトの電圧に対応する。該テストセンサーが該標準センサーと丁度同じ様に良く流量の変化に応答することを注意されたい。図4の点P10で、該テストセンサーのヒーター電圧は、該テストセンサーが回復するために如何に長く掛かるかを決定するために7から10ボルトへ変えられた。本例では該テストセンサーは約1分内に回復した。 In FIG. 4, the time response curves of the standard and test flow sensors are represented by voltage output levels L1-L6 and L1'-L6 ', respectively. In this example, the level L1-L6 of the standard flow sensor is as follows: 2.0 volts (28.31 slpm), 0.50 volts (6.964 slpm), 1.0 volts (14.05 slpm), 1.5 It corresponds to voltages and flow rates of volts (21.16 slpm), 2.0 volts (28.31 slpm), and 2.2 volts (31.18 slpm). The test flow sensor levels L1'-L6 'correspond to the following voltages: 1.3 volts, 0.065 volts, 0.52 volts, 0.92 volts, 1.3 volts, and 1.44 volts To do. Note that the test sensor responds to changes in flow rate just as well as the standard sensor. At point P10 in FIG. 4, the heater voltage of the test sensor was changed from 7 to 10 volts to determine how long the test sensor would take to recover. In this example, the test sensor recovered within about 1 minute.
本実施例の非貫入式センサーは該流れチューブ自身の圧力降下の他の媒体内圧力降下が無い結果となる。又、加熱される要素は該ヒーターブロック(それは熱的に分離されてもよい)とプローブ熱電対ハウジングのみであり、該流れチューブへの熱伝達は非常に限られるので、該センサーは低電力消費で機能する。これの理由は、該ヒーターにより発生される熱は該加熱ブロックを該流体温度の上に保つのに充分であり、そして該加熱ブロックを外部温度から絶縁し、該Ttセンサーへの伝導路を良い信号を得るために最小となるよう設計することにより熱損失が制御されてもよいからである。従って該熱損失は実質的に該測定用に使われる。 The non-penetrating sensor of this embodiment results in no other pressure drop in the medium other than the pressure drop of the flow tube itself. Also, since the only elements to be heated are the heater block (which may be thermally isolated) and the probe thermocouple housing, and the heat transfer to the flow tube is very limited, the sensor has low power consumption. It works with. The reason for this is that the heat generated by the heater is sufficient to keep the heating block above the fluid temperature, and to insulate the heating block from external temperatures and provide a conduction path to the T t sensor. This is because the heat loss may be controlled by designing it to be minimal in order to obtain a good signal. Therefore, the heat loss is substantially used for the measurement.
本発明が1つ以上の実施例に関連してここに上記で説明されたが、この様な説明は単に例に依り提示されたと理解されるべきである。従って、何れにせよ本発明を例示の実施例に限定するよう意図されてはいない。寧ろ、本発明はここに付属する請求項の記述に従って幅広く解釈されるべきである。 Although the present invention has been described above with reference to one or more embodiments, it should be understood that such description has been presented by way of example only. Accordingly, it is not intended in any way to limit the invention to the illustrated embodiments. Rather, the present invention should be construed broadly according to the claims that follow.
10 流れチューブ
12 媒体流れ方向
14 プローブ
16 外壁
18 加熱要素
20 電源
22 ベース、第1点
24 加熱ブロック
26 第1温度測定デバイス
28 ワイヤ
30 第2点
32 ワイヤ
34 第3温度測定デバイス
36 距離
38 ワイヤ
40 相互接続箱
42 回路
44 質量流量信号
50,52,54、56,58、60 ターミナル
62,64,66,68 演算増幅器
F1,F2 FET
R1,R2,R3,R4,R5、R6 抵抗器
10 Flow tube
12 Media flow direction
14 Probe
16 Exterior wall
18 Heating elements
20 Power supply
22 Base, 1st point
24 Heating block
26 First temperature measuring device
28 wires
30 Second point
32 wires
34 Third temperature measuring device
36 distance
38 wires
40 interconnect box
42 circuits
44 Mass flow signal
50, 52, 54, 56, 58, 60 terminals
62, 64, 66, 68 operational amplifier
F1, F2 FET
R1, R2, R3, R4, R5, R6 resistors
Claims (20)
前記チューブの外壁に沿って配置された予め決められた長さを有するプローブと、
前記プローブの該長さに沿う第1点で前記プローブを加熱するための手段と、
前記プローブの温度を測定しそれを表す第1信号Thを発生するために前記第1点に配置された第1温度測定デバイスと、
前記プローブのもう1つの温度を測定しそれを表す第2信号Ttを発生するために前記プローブの該長さに沿う第2点に配置された第2温度測定デバイスと、
周囲温度を測定しそれを表す信号Taを発生するために前記プローブから或る距離離れて前記チューブの該外壁に沿って配置された第3温度測定デバイスと、
温度差信号の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づき質量流量信号を発生するための前記第1、第2そして第3温度測定デバイスに接続された手段とを具備することを特徴とする該センサー。 A non-penetrating sensor for measuring a mass flow rate of a medium flowing through a tube, wherein the sensor comprises:
A probe having a predetermined length disposed along the outer wall of the tube;
Means for heating the probe at a first point along the length of the probe;
A first temperature measuring device disposed in the first point to generate a first signal T h the temperature measured representative thereof of the probe,
A second temperature measuring device disposed at a second point along the length of the probe to measure another temperature of the probe and generate a second signal T t representative thereof;
A third temperature measuring device positioned along the outer wall of the tube apart a distance from the probe to measure the ambient temperature and generates a signal T a representative thereof,
Means connected to the first, second and third temperature measuring devices for generating a mass flow signal based on a ratio of temperature difference signals (T h -T a ) / (T t -T a ) The sensor.
前記チューブの外壁に沿って予め決められた長さを有するプローブを配置する過程と、
前記プローブの該長さに沿う第1点で前記第1プローブを加熱する過程と、
前記第1点で前記プローブの温度Thを測定する過程と、
前記プローブの該長さに沿う第2点で前記プローブのもう1つの温度Ttを測定する過程と、
前記プローブから或る距離離れた前記チューブの該外壁に沿う周囲温度Taを測定する過程と、そして
温度差測定値の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づき前記質量流量を測定する過程とを具備することを特徴とする該方法。 In a non-intrusive method for measuring the mass flow rate of a medium flowing through a tube, the method comprises:
Placing a probe having a predetermined length along the outer wall of the tube;
Heating the first probe at a first point along the length of the probe;
Measuring the temperature T h of the probe at the first point;
Measuring another temperature T t of the probe at a second point along the length of the probe;
Based on the process of measuring the ambient temperature T a along the outer wall of the tube at a distance from the probe and the ratio of the temperature difference measurements (T h −T a ) / (T t −T a ) Measuring the mass flow rate.
前記チューブの外壁の外周に捲かれ、それと熱的に接触する予め決められた長さを有する熱電対ハウジングと、
前記ハウジングに熱を印加するために前記ハウジングの1端に配置された加熱要素と、
前記1端で前記ハウジングの温度Thを測定するために前記1端に配置された第1熱電対と、
前記ハウジングの該長さに沿う点に配置されており、前記点で前記ハウジングの温度Ttを測定するために該配置されている第2熱電対と、
周囲温度Taを測定するために前記ハウジングから或る距離離れて前記チューブの該外壁に沿って配置された第3熱電対とを具備しており、
該第1、第2そして第3熱電対は温度差測定値信号(Th−Ta)及び(Tt−Ta)をもたらすために相互接続されており、そして該センサーは又、
温度差信号の比(Th−Ta)/(Tt−Ta)に基づき質量流量信号を発生するために前記温度差測定値信号に接続されたアナログ回路を具備することを特徴とする該センサー。 A non-penetrating sensor for measuring a mass flow rate of a medium flowing through a tube, wherein the sensor comprises:
A thermocouple housing having a predetermined length that is wound around and is in thermal contact with the outer periphery of the outer wall of the tube;
A heating element disposed at one end of the housing for applying heat to the housing;
A first thermocouple that is disposed on one end in order to measure the temperature T h of the housing at said one end,
A second thermocouple disposed at a point along the length of the housing, the second thermocouple disposed at the point for measuring the temperature T t of the housing;
And comprises a third thermocouple located along the outer wall of the tube apart a distance from the housing for measuring the ambient temperature T a,
The first, second and third thermocouples are interconnected to provide temperature difference measurement signals (T h −T a ) and (T t −T a ), and the sensor also
An analog circuit connected to the temperature difference measurement signal is provided to generate a mass flow signal based on the temperature difference signal ratio (T h −T a ) / (T t −T a ). The sensor.
Applications Claiming Priority (1)
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US10/839,846 US6883369B1 (en) | 2004-05-06 | 2004-05-06 | Sensor and method of measuring mass flow non-intrusively |
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