JP2005317462A5 - - Google Patents
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Description
本発明のプラズマ装置は、電磁波を出力する電磁波源と、この電磁波から出力された電磁波を伝播する電磁波分配用導波管と、この電磁波分配用導波管の電界面又は磁界面から垂直方向に分岐し、互いに平行に並べて設けられた複数の電磁波放射用導波管と、これら電磁波放射用導波管に夫々設けられ、導波管アンテナを構成する複数のスロットと、内部に前記スロットから放射された電磁波が入射される処理容器とを具備し、前記スロットから前記処理容器の内部に入射された電磁波によってプラズマを生成させ、このプラズマによってプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、前記電磁波放射用導波管内の幅ａ２、前記電磁波放射用導波管内の高さｂ２、及び、前記電磁波放射用導波管が互いに並ぶ周期ｐ、前記電磁波源から出力された電磁波の自由空間波長をλ０としたときに、λ０＞ｐ＞ａ２＞ｂ２の関係を満たすように設定されている。
Claims (1)
- 電磁波を出力する電磁波源と、
この電磁波から出力された電磁波を伝播する電磁波分配用導波管と、
この電磁波分配用導波管の電界面又は磁界面から垂直方向に分岐し、互いに平行に並べて設けられた複数の電磁波放射用導波管と、
これら電磁波放射用導波管に夫々設けられ、導波管アンテナを構成する複数のスロットと、
内部に前記スロットから放射された電磁波が入射される処理容器とを具備し、
前記スロットから前記処理容器の内部に入射された電磁波によってプラズマを生成させ、このプラズマによってプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
前記電磁波放射用導波管内の幅ａ２、前記電磁波放射用導波管内の高さｂ２、及び、前記電磁波放射用導波管が互いに並ぶ周期ｐ、前記電磁波源から出力された電磁波の自由空間波長をλ０としたときに、
λ０＞ｐ＞ａ２＞ｂ２
の関係を満たすように設定されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2004136522A JP2005317462A (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004136522A JP2005317462A (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005317462A JP2005317462A (ja) | 2005-11-10 |
| JP2005317462A5 true JP2005317462A5 (ja) | 2006-04-06 |
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ID=35444641
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| JP2004136522A Abandoned JP2005317462A (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
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