JP2005316111A - マイクロレンズ及びこのマイクロレンズを備える固体撮像素子、液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像素子は半導体基板表面に受光部2と電荷転送部4が形成され,前記受光部上部にマイクロレンズ10を有する。前記マイクロレンズ上に表面が極めて平坦な透明樹脂膜を備える。表面平坦性は3度以下であることが望ましい。前記マイクロレンズの屈折率を2、前記透明樹脂膜の屈折率をn1としたとき,1<n1<n2(ここで、1は空気の屈折率)の関係を有する。
【選択図】図1
Description
図4は特許文献1に開示された固体撮像素子の構成を示し、半導体基板1に受光部2と電荷転送部4が形成され,この半導体基板1の上に、転送電極3,遮光膜6,層間絶縁膜5が形成され、さらに平坦化膜14が形成される。この平坦化膜14の上に光を受光部2に集光するようにマイクロレンズ10を配置し、マイクロレンズ10の表面に、熱非軟化性薄膜層15を形成している。熱非軟化性薄膜層15は、フッ素原子を含む混合ガスを用いたプラズマ雰囲気中で加熱することにより形成しているので、熱非軟化性薄膜層15は、フッ素原子を含む低屈折率層となり、マイクロレンズ表面に沿った形状となる。よって、マイクロレンズ10の表面での入射光の反射を抑えることができ、マイクロレンズ10の集光効果の低下を防ぐことができる。
さらに、本発明は入射光の焦点距離を所望のとおり長くすることができるマイクロレンズを提供するものである。
前記透明樹脂膜の表面平坦性は極めて平坦であることが要求され、表面平坦度が3度以下であることを特徴とする。更に、前記透明樹脂膜は、前記マイクロレンズの屈折率よりも低い屈折率を有するフッ素系樹脂よりなることを特徴とする。
本発明の固体撮像素子は、半導体基板に受光部と電荷転送部が形成され,該受光部上部に前記いずれかのマイクロレンズを備えることを特徴とする。本発明の液晶表示装置は、基板に絵素部と半導体部が形成され,前記絵素部上部に請求項1乃至4のいずれかに記載のマイクロレンズを備えることを特徴とする。
マイクロレンズ10及び透明樹脂膜11の各屈折率をn2及びn1とし、1<n1<n2(1は空気の屈折率)の関係を有する場合、空気の屈折率1との比較による表面反射率は、フレネルの法則により、屈折率の高いマイクロレンズ10の方が反射率が高くなる。 よって、屈折率の低い透明樹脂膜11は、反射率が低く抑えられ透過率は高くなる。即ち、マイクロレンズ10と平坦性の良い表面界面との間を屈折率の低い透明樹脂膜11が埋めていることにより、マイクロレンズの入射面の屈折率が低くなり表面反射率が低下し、入射効率を向上させることができる。その結果、マイクロレンズへの入射光は増大し、入射光を最大限有効利用することができ、効率良く感度の向上を図ることができる。
図3に示すように、本発明の構成の場合、垂直入射光12は、透明樹脂膜11の中をまっすぐに進行し、屈折率n2を有するマイクロレンズ10にて、フレネルの法則に従って屈折する。そしてマイクロレンズ10によって集光された入射光は、焦点位置13で集光される。
透明樹脂膜11、マイクロレンズ10の屈折率を各々n1及びn2としたとき、1<n1<n2(1は空気の屈折率)の関係にすることにより、集光位置13を延長でき、所望の焦点距離を得ることができる。
以上には固体撮像素子に本発明のマイクロレンズを適用した場合を説明したが、液晶表示装置に本発明のマイクロレンズを適用して、表示装置の輝度向上を図ることが可能である。
2 受光部
4 電荷転送部
10 マイクロレンズ
11 透明樹脂膜
Claims (6)
- マイクロレンズ上に、表面が平坦な界面を有する透明樹脂膜を備えることを特徴とするマイクロレンズ。
- 前記マイクロレンズの屈折率をn2、前記透明樹脂膜の屈折率をn1としたとき,
1<n1<n2
ここで、1は空気の屈折率
の関係を有することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズ。 - 前記透明樹脂膜の表面平坦性が3度以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロレンズ。
- 前記透明樹脂膜は、前記マイクロレンズの屈折率よりも低い屈折率を有するフッ素系樹脂よりなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のマイクロレンズ。
- 半導体基板に受光部と電荷転送部が形成され,前記受光部上部に請求項1乃至4のいずれかに記載のマイクロレンズを備えることを特徴とする固体撮像素子。
- 基板に絵素部と半導体部が形成され,前記絵素部上部に請求項1乃至4のいずれかに記載のマイクロレンズを備えることを特徴とする液晶表示装置。
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JP2004133715A JP2005316111A (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | マイクロレンズ及びこのマイクロレンズを備える固体撮像素子、液晶表示装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009043772A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
US8368096B2 (en) | 2005-01-04 | 2013-02-05 | Aac Technologies Japan R&D Center Co., Ltd. | Solid state image pick-up device and method for manufacturing the same with increased structural integrity |
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2004
- 2004-04-28 JP JP2004133715A patent/JP2005316111A/ja active Pending
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