JP2005308190A - Linearly guiding bearing device - Google Patents

Linearly guiding bearing device Download PDF

Info

Publication number
JP2005308190A
JP2005308190A JP2004129957A JP2004129957A JP2005308190A JP 2005308190 A JP2005308190 A JP 2005308190A JP 2004129957 A JP2004129957 A JP 2004129957A JP 2004129957 A JP2004129957 A JP 2004129957A JP 2005308190 A JP2005308190 A JP 2005308190A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
guide rail
bearing device
rail
linear guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004129957A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshinori Sato
俊徳 佐藤
Hironobu Shiono
浩信 塩野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP2004129957A priority Critical patent/JP2005308190A/en
Publication of JP2005308190A publication Critical patent/JP2005308190A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
  • Support Of The Bearing (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linearly guiding bearing device capable of preventing thermal deformation such as bend in a guide rail even when the difference in the coefficient of thermal expansion between a base and the guide rail is large. <P>SOLUTION: A plurality of spring holding units 22 are provided on an upper face of a base 12, and a recessed held part 25 to be held on the upper face of the base 12 by the spring holding units 22 is provided on right and left side face parts of a guide rail 15. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば精密位置決めテーブル装置のテーブル案内手段として用いられる直線案内軸受装置に関する。   The present invention relates to a linear guide bearing device used as a table guide means for a precision positioning table device, for example.

半導体やフラットディスプレイパネルの製造工程などで使用される精密位置決めテーブル装置の直動テーブルを案内する手段として、従来、図１６に示すような直線案内軸受装置１が知られている。この直線案内軸受装置１は基台２を有しており、この基台２の上面には、図示しない直動テーブルをその移動方向に案内するリニアガイド３Ａ，３Ｂが互いに平行に設けられている。   Conventionally, a linear guide bearing device 1 as shown in FIG. 16 is known as means for guiding a linear motion table of a precision positioning table device used in a manufacturing process of a semiconductor or a flat display panel. The linear guide bearing device 1 has a base 2, and linear guides 3 </ b> A and 3 </ b> B for guiding a linear motion table (not shown) in the moving direction are provided on the upper surface of the base 2 in parallel with each other. .

リニアガイド３Ａ，３Ｂはエアースライダ４を備えており、直動テーブルはエアースライダ４の上面に搭載されている。また、リニアガイド３Ａ，３Ｂはエアースライダ４を直動テーブルの移動方向に案内する鋼製のガイドレール５を備えており、このガイドレール５は図示しない複数のボルトにより基台２上にリジットに固定されている。
このような直線案内軸受装置では、基台２が熱膨張すると直動テーブルの位置決め精度等が低下するため、基台２を熱膨張係数の小さい非金属材料（例えば斑れい岩等）で形成している場合が多い。 The linear guides 3 </ b> A and 3 </ b> B are provided with an air slider 4, and the linear motion table is mounted on the upper surface of the air slider 4. Each of the linear guides 3A and 3B includes a steel guide rail 5 that guides the air slider 4 in the moving direction of the linear motion table. The guide rail 5 is rigidly provided on the base 2 by a plurality of bolts (not shown). It is fixed.
In such a linear guide bearing device, if the base 2 is thermally expanded, the positioning accuracy of the linear motion table is lowered. Therefore, the base 2 is formed of a nonmetallic material having a low thermal expansion coefficient (for example, gabbro). There are many cases.

しかしながら、基台２を熱膨張係数の小さい非金属材料で形成すると、基台２と鋼製ガイドレール５との熱膨張量差が大きくなる。たとえば、斑れい岩からなる基台２と鋼製ガイドレール５との温度差が２℃で、基台２及びガイドレール５の長さが３ｍの場合、基台２の熱膨張量は約４８μm（＝約８×１０-6（m／m／℃）×２（℃）×３（ｍ））となり、ガイドレール５の熱膨張量は約６０μm（＝約１０×１０-6（m／m／℃）×２（℃）×３（ｍ））となる。このため、基台２とガイドレール５との間に大きな温度差が生じた場合には、ガイドレール５に曲がり等の熱変形が生じ、ガイドレール５の真直度が低下するという問題がある。特に、直動テーブルが大型の直動テーブルの場合には、基台２とガイドレール５との熱膨張量差が大きくなるため、ガイドレール５に曲がり等の熱変形が生じ易くなる。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、基台とガイドレールの熱膨張係数の差が大きい場合でもガイドレールに曲がり等の熱変形が生じることを防止することのできる直線案内軸受装置を提供することを目的とする。 However, if the base 2 is formed of a nonmetallic material having a small thermal expansion coefficient, the difference in thermal expansion between the base 2 and the steel guide rail 5 becomes large. For example, when the temperature difference between the base 2 made of gabbro and the steel guide rail 5 is 2 ° C. and the length of the base 2 and the guide rail 5 is 3 m, the thermal expansion amount of the base 2 is about 48 μm. (= About 8 × 10 −6 (m / m / ° C.) × 2 (° C.) × 3 (m)), and the thermal expansion amount of the guide rail 5 is about 60 μm (= about 10 × 10 −6 (m / m / ° C.) × 2 (° C.) × 3 (m)). For this reason, when a big temperature difference arises between the base 2 and the guide rail 5, there is a problem that thermal deformation such as bending occurs in the guide rail 5 and the straightness of the guide rail 5 is lowered. In particular, when the linear motion table is a large linear motion table, the thermal expansion amount difference between the base 2 and the guide rail 5 becomes large, so that the guide rail 5 is likely to undergo thermal deformation such as bending.
The present invention has been made paying attention to such problems, and prevents the guide rail from undergoing thermal deformation such as bending even when the difference in thermal expansion coefficient between the base and the guide rail is large. An object of the present invention is to provide a linear guide bearing device that can be used.

上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、基台と、この基台の上面に配置されたガイドレールと、このガイドレールの長手方向に移動可能に設けられたスライダとを備えてなる直線案内軸受装置において、前記基台の上面に複数のばね押え部を設けるとともに、前記ばね押え部により前記基台の上面に押圧される凹状若しくは凸状の被押え部を前記ガイドレールの左右側面部に設けたことを特徴とする。   To achieve the above object, the invention of claim 1 comprises a base, a guide rail disposed on the upper surface of the base, and a slider provided so as to be movable in the longitudinal direction of the guide rail. In the linear guide bearing device, a plurality of spring pressing portions are provided on the upper surface of the base, and a concave or convex pressed portion pressed against the upper surface of the base by the spring pressing portion is provided on the guide rail. It is provided on the left and right side portions.

請求項２の発明は、請求項１記載の直線案内軸受装置において、前記ばね押え部が、前記基台の上面に設けられた固定ブロックと、この固定ブロックに取付けられた板状のレール押え用ばねとからなることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項２記載の直線案内軸受装置において、前記被押え部が、前記レール押え用ばねのばね力を受けるばね受け面を有することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the linear guide bearing device according to the first aspect, the spring pressing portion is a fixed block provided on the upper surface of the base and a plate-shaped rail presser attached to the fixed block. It consists of a spring.
According to a third aspect of the present invention, in the linear guide bearing device according to the second aspect, the pressed portion has a spring receiving surface that receives a spring force of the rail pressing spring.

請求項４の発明は、請求項３記載の直線案内軸受装置において、前記被押え部のばね受け面にシート状の低摩擦部材を設けたことを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載の直線案内軸受装置において、前記ガイドレールの左右側面部を前記基台に対して位置決めする複数の位置決め部を前記基台の上面に設けたことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the linear guide bearing device according to the third aspect, a sheet-like low friction member is provided on a spring receiving surface of the pressed portion.
A fifth aspect of the present invention is the linear guide bearing device according to any one of the first to fourth aspects, wherein a plurality of positioning portions for positioning the left and right side surface portions of the guide rail with respect to the base are provided on the base. It is provided on the upper surface.

請求項６の発明は、請求項５記載の直線案内軸受装置において、前記位置決め部が、前記基台の上面に設けられた固定ブロックと、この固定ブロックに保持された位置決め部材とを備えてなり、前記位置決め部材の先端を前記ガイドレールの左右側面部に当接させて前記ガイドレールの側面部を前記基台に対して位置決めするように構成されていることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in the linear guide bearing device according to the fifth aspect, the positioning portion includes a fixed block provided on the upper surface of the base and a positioning member held by the fixed block. The tip of the positioning member is brought into contact with the left and right side surfaces of the guide rail, and the side surface of the guide rail is positioned with respect to the base.

請求項７の発明は、請求項５記載の直線案内軸受装置において、前記位置決め部が、前記基台の上面に設けられた固定ブロックと、前記ガイドレールの側面部に先端を当接させて前記固定ブロックに保持された押しねじと、前記ガイドレールの側面部に形成されたねじ穴に先端部を螺嵌させて前記固定ブロックに保持された引きねじとを備えて構成されていることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the linear guide bearing device according to the fifth aspect, the positioning portion includes a fixed block provided on an upper surface of the base, and a distal end abutting against a side surface portion of the guide rail. A push screw held by the fixed block, and a pull screw held by the fixed block by screwing a tip portion into a screw hole formed in a side surface portion of the guide rail. And

請求項８の発明は、基台と、この基台の上面に配置されたガイドレールと、このガイドレールの長手方向に移動可能に設けられたスライダとを備え、前記ガイドレールを前記基台上に固定するレール固定用ボルトの頭部を前記ガイドレール内に収容する座ぐり穴を前記ガイドレールの上面に形成した直線案内軸受装置において、前記座ぐり穴の底面部と前記レール固定用ボルトの頭部との間に皿ばねを設けたことを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項８記載の直線案内軸受装置において、前記座ぐり穴の底面部と前記皿ばねとの間に低摩擦材からなるワッシャを設けたことを特徴とする。 The invention of claim 8 includes a base, a guide rail disposed on the upper surface of the base, and a slider provided so as to be movable in the longitudinal direction of the guide rail, and the guide rail is disposed on the base. In the linear guide bearing device in which a counterbore hole for accommodating the head of the rail fixing bolt to be fixed to the guide rail is formed on the upper surface of the guide rail, the bottom portion of the counterbore hole and the rail fixing bolt A disc spring is provided between the head and the head.
According to a ninth aspect of the present invention, in the linear guide bearing device according to the eighth aspect, a washer made of a low friction material is provided between a bottom surface portion of the counterbore and the disc spring.

請求項１〜７記載の発明によれば、ガイドレールを複数のボルトで基台上にリジットに固定しなくて済むので、基台とガイドレールの熱膨張係数の差が大きい場合でもガイドレールに曲がり等の熱変形が生じることを防止することができる。
請求項８及び９記載の発明によれば、ガイドレールとレール固定用ボルトの頭部との間に発生する摩擦力を従来よりも小さくすることができ、ガイドレールの熱膨張がレール固定用ボルトによって阻害されるようなことがないので、基台とガイドレールの熱膨張係数の差が大きい場合でもガイドレールに曲がり等の熱変形が生じることを防止することができる。 According to the first to seventh aspects of the present invention, it is not necessary to fix the guide rail to the rigid base on the base with a plurality of bolts, so even if the difference in thermal expansion coefficient between the base and the guide rail is large, It is possible to prevent thermal deformation such as bending.
According to the eighth and ninth aspects of the present invention, the frictional force generated between the guide rail and the head of the rail fixing bolt can be made smaller than before, and the thermal expansion of the guide rail is reduced by the rail fixing bolt. Therefore, even when the difference between the thermal expansion coefficients of the base and the guide rail is large, it is possible to prevent the guide rail from undergoing thermal deformation such as bending.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図６に、本発明の第１の実施形態に係る直線案内軸受装置を示す。図１において、符号１２は熱膨張係数の小さい非金属材料（例えば斑れい岩等）からなる基台であって、この基台１２の上面には、図示しない直動テーブルをその移動方向に案内するリニアガイド１３Ａ，１３Ｂが互いに平行に設置されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 to 6 show a linear guide bearing device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 12 denotes a base made of a non-metallic material having a small thermal expansion coefficient (for example, gabbro). A linear motion table (not shown) is guided on the upper surface of the base 12 in the moving direction. Linear guides 13A and 13B are installed in parallel to each other.

リニアガイド１３Ａ，１３Ｂはエアースライダ１４を備えており、直動テーブルはエアースライダ１４の上面に搭載されている。また、リニアガイド３Ａ，３Ｂはエアースライダ１４を直動テーブルの移動方向に案内する鋼製のガイドレール１５を備えており、基台１２の上面には、図３に示すように、ガイドレール１５の側面部を基台１２に対して位置決めする第１の位置決め部１６がガイドレール１５の両側に設けられているとともに、ガイドレール１５の長手方向端面部を基台１２に対して位置決めする第２の位置決め部１９Ａ〜１９Ｄ（図１参照）が設けられている。   The linear guides 13 </ b> A and 13 </ b> B include an air slider 14, and the linear motion table is mounted on the upper surface of the air slider 14. Further, the linear guides 3A and 3B include a steel guide rail 15 for guiding the air slider 14 in the moving direction of the linear motion table, and the guide rail 15 is provided on the upper surface of the base 12 as shown in FIG. A first positioning portion 16 that positions the side surface portion of the guide rail 15 with respect to the base 12 is provided on both sides of the guide rail 15 and a second end surface portion of the guide rail 15 is positioned with respect to the base 12. Positioning portions 19A to 19D (see FIG. 1) are provided.

第１の位置決め部１６は、図６に示すように、基台１２の上面に設けられた固定ブロック１７と、この固定ブロック１７に保持された位置決め部材としてのクランピングねじ１８とを備えてなり、クランピングねじ１８の先端をガイドレール１５の側面部に当接させてガイドレール１５の側面部を基台１２に対して位置決めするように構成されている。
第２の位置決め部１９Ａ〜１９Ｄは、図１に示すように、基台１２の上面に設けられた固定ブロック２０と、この固定ブロック２０とガイドレール１５の長手方向端面部との間に設けられたコイルばね２１とからなり、コイルばね２１のばね力でガイドレール１５の長手方向端面部を基台１２に対して位置決めするように構成されている。 As shown in FIG. 6, the first positioning unit 16 includes a fixed block 17 provided on the upper surface of the base 12 and a clamping screw 18 as a positioning member held by the fixed block 17. The tip of the clamping screw 18 is brought into contact with the side surface of the guide rail 15 so that the side surface of the guide rail 15 is positioned with respect to the base 12.
As shown in FIG. 1, the second positioning portions 19 </ b> A to 19 </ b> D are provided between the fixed block 20 provided on the upper surface of the base 12 and between the fixed block 20 and the longitudinal end surface portion of the guide rail 15. The coil spring 21 is configured to position the longitudinal end surface portion of the guide rail 15 with respect to the base 12 by the spring force of the coil spring 21.

また、基台１２の上面には、図４に示すように、複数のばね押え部２２が設けられている。これらのばね押え部２２は、図５に示すように、基台１２の上面に設けられた固定ブロック２３と、この固定ブロック２３に取付けられた板状のレール押え用ばね２４とからなり、ガイドレール１５の左右側面部には、ばね押え部２２により基台１２の上面に押圧される凹状の被押え部２５が設けられている。この被押え部２５はレール押え用ばね２４のばね力を受けるばね受け面２５ａ（図５参照）を有しており、ばね受け面２５ａにはシート状の低摩擦部材２６が設けられている。   Further, as shown in FIG. 4, a plurality of spring pressing portions 22 are provided on the upper surface of the base 12. As shown in FIG. 5, these spring retainers 22 include a fixed block 23 provided on the upper surface of the base 12 and a plate-shaped rail retainer spring 24 attached to the fixed block 23. On the left and right side surfaces of the rail 15, there are provided concave pressed portions 25 that are pressed against the upper surface of the base 12 by the spring pressing portions 22. The pressed portion 25 has a spring receiving surface 25a (see FIG. 5) that receives the spring force of the rail pressing spring 24, and a sheet-like low friction member 26 is provided on the spring receiving surface 25a.

低摩擦部材２６はテフロン（登録商標）やモリブデン等で形成されており、レール押え用ばね２４の先端部は低摩擦部材２６の上面に摺動自在に接している。
このように構成される直線案内軸受装置では、基台１２の上面に複数のばね押え部２２を設けるとともに、ばね押え部２２により基台１２の上面に押圧される凹状の被押え部２５をガイドレール１５の左右側面部に設けたことで、ガイドレール１５を基台１２上にリジットに固定しなくてガイドレール１５を基台１２上に位置決めすることができる。したがって、前述した従来技術のように、ガイドレール１５を複数のボルトで基台１２上にリジットに固定しなくて済むので、基台１２とガイドレール１５の熱膨張係数の差が大きい場合でもガイドレール１５に曲がり等の熱変形が生じることを防止することができる。 The low friction member 26 is made of Teflon (registered trademark), molybdenum, or the like, and the tip portion of the rail pressing spring 24 is slidably in contact with the upper surface of the low friction member 26.
In the linear guide bearing device configured as described above, a plurality of spring pressing portions 22 are provided on the upper surface of the base 12, and a concave pressed portion 25 that is pressed against the upper surface of the base 12 by the spring pressing portion 22 is guided. By providing on the left and right side surfaces of the rail 15, the guide rail 15 can be positioned on the base 12 without fixing the guide rail 15 on the base 12 to be rigid. Therefore, unlike the prior art described above, the guide rail 15 does not need to be rigidly fixed on the base 12 with a plurality of bolts. Therefore, even when the difference in thermal expansion coefficient between the base 12 and the guide rail 15 is large, the guide It is possible to prevent the rail 15 from undergoing thermal deformation such as bending.

また、上述した実施の形態ではガイドレール１５の側面部を基台１２に対して位置決めする第１の位置決め部１６をガイドレール１５の両側に設けたことで、ばね押え部２２により基台１２の上面に押え付けられたガイドレール１５の幅方向のがたつきを防止することができる。
さらに、上述した実施の形態ではレール押え用ばね２４の先端部と摺動自在に接するシート状の低摩擦部材２６を被押え部２５のばね受け面２５ａに設けことで、ガイドレール１５の熱膨張に伴って低摩擦部材２６上を摺動するレール押え用ばね２４の摩擦抵抗を小さくすることができる。 In the embodiment described above, the first positioning portions 16 for positioning the side surface portion of the guide rail 15 with respect to the base 12 are provided on both sides of the guide rail 15. Shaking in the width direction of the guide rail 15 pressed against the upper surface can be prevented.
Further, in the above-described embodiment, the sheet rail low friction member 26 slidably contacting the tip of the rail pressing spring 24 is provided on the spring receiving surface 25a of the pressed portion 25, so that the thermal expansion of the guide rail 15 is achieved. Accordingly, the frictional resistance of the rail pressing spring 24 sliding on the low friction member 26 can be reduced.

なお、上述した実施の形態ではガイドレール１５の側面部を基台１２に対して位置決めする位置決め部１６を基台１２の上面に設けられた固定ブロック１７と、この固定ブロック１７に保持された位置決め部材としてのクランピングねじ１８とから構成したが、図７に示す第２の実施形態のように、位置決め部１６をガイドレール１５の側面部に当接する楔状部材２７と、この楔状部材２７を基台１２の上面に固定する固定用ねじ２８とから構成してもよい。また、位置決め部１６をガイドレール１５の両側に設けることができない場合は、図８及び図９に示す第３の実施形態のように、位置決め部１６を基台１２の上面に設けられた固定ブロック１７と、ガイドレール１５の側面部に先端を当接させて固定ブロック１７に保持された押しねじ３０と、ガイドレール１５の側面部に形成された穴部に先端部を挿入されて固定ブロック１７に保持された引きねじ３１とから構成してもよい。
また、上述した実施の形態ではばね押え部２２により基台１２の上面に押圧される凹状の被押え部２５をガイドレール１５の左右側面部に設けたが、凸状の被押え部をガイドレール１５の左右側面部に設けてもよい。 In the embodiment described above, the positioning block 16 for positioning the side surface portion of the guide rail 15 with respect to the base 12 is provided on the upper surface of the base 12, and the positioning held by the fixing block 17. The clamping screw 18 is configured as a member. However, as in the second embodiment shown in FIG. 7, a wedge-shaped member 27 that abuts the positioning portion 16 against the side surface of the guide rail 15, and the wedge-shaped member 27 as a base. You may comprise from the fixing screw 28 fixed to the upper surface of the base 12. FIG. Further, when the positioning portion 16 cannot be provided on both sides of the guide rail 15, the fixed block provided with the positioning portion 16 on the upper surface of the base 12 as in the third embodiment shown in FIGS. 8 and 9. 17, the push screw 30 held at the fixed block 17 with the tip abutting against the side surface of the guide rail 15, and the tip block inserted into the hole formed in the side surface of the guide rail 15. You may comprise from the drawing screw 31 hold | maintained to.
Further, in the above-described embodiment, the concave pressed portion 25 that is pressed against the upper surface of the base 12 by the spring pressing portion 22 is provided on the left and right side surfaces of the guide rail 15, but the convex pressed portion is provided as a guide rail. You may provide in 15 right-and-left side parts.

次に、本発明の第３の実施形態について図１０〜図１３を参照して説明する。
図１０において、基台１２は熱膨張係数の小さい非金属材料（例えば斑れい岩等）で形成されており、この基台１２の上面には、図示しない直動テーブルをその移動方向に案内するリニアガイド１３Ａ，１３Ｂが互いに平行に設置されている。
リニアガイド１３Ａ，１３Ｂはエアースライダ１４を備えており、直動テーブルはエアースライダ１４の上面に搭載されている。また、リニアガイド３Ａ，３Ｂはエアースライダ１４を直動テーブルの移動方向に案内する鋼製のガイドレール１５と、このガイドレール１５を基台１２の上面に固定するレール固定用ボルト３３（図１１参照）を備えており、ガイドレール１５の上面には、図１３に示すように、レール固定用ボルト３３の頭部３３ａをガイドレール１５内に収容するための座ぐり穴３４が形成されている。この座ぐり穴３４の底面部とレール固定用ボルト３３の頭部３３ａとの間には皿ばね３５（図１３参照）が設けられ、皿ばね３５と座ぐり穴３４の底面部との間には、テフロン（登録商標）やモリブデン等の低摩擦材からなるワッシャ３６が設けられている。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In FIG. 10, the base 12 is made of a nonmetallic material having a small thermal expansion coefficient (for example, gabbro), and a linear motion table (not shown) is guided on the upper surface of the base 12 in the moving direction. Linear guides 13A and 13B are installed in parallel to each other.
The linear guides 13 </ b> A and 13 </ b> B include an air slider 14, and the linear motion table is mounted on the upper surface of the air slider 14. The linear guides 3A and 3B include steel guide rails 15 that guide the air slider 14 in the direction of movement of the linear motion table, and rail fixing bolts 33 that fix the guide rails 15 to the upper surface of the base 12 (FIG. 11). As shown in FIG. 13, a counterbore 34 for receiving the head 33 a of the rail fixing bolt 33 in the guide rail 15 is formed on the upper surface of the guide rail 15. . A disc spring 35 (see FIG. 13) is provided between the bottom surface of the counterbore 34 and the head 33 a of the rail fixing bolt 33, and between the disc spring 35 and the bottom surface of the counterbore 34. Is provided with a washer 36 made of a low friction material such as Teflon (registered trademark) or molybdenum.

このように構成される直線案内軸受装置では、ガイドレール１５の上面に形成された座ぐり穴３４の底面部とレール固定用ボルト３３の頭部３３ａとの間に皿ばね３５を設けたことで、ガイドレール１５とレール固定用ボルト３３の頭部３３ａとの間に発生する摩擦力を従来よりも小さくすることができる。これにより、ガイドレール１５の熱膨張がレール固定用ボルト３３によって阻害されるようなことがないので、基台１２とガイドレール１５の熱膨張係数の差が大きい場合でもガイドレール１５に曲がり等の熱変形が生じることを防止することができる。   In the linear guide bearing device configured as described above, the disc spring 35 is provided between the bottom surface portion of the counterbore 34 formed on the upper surface of the guide rail 15 and the head portion 33 a of the rail fixing bolt 33. The frictional force generated between the guide rail 15 and the head 33a of the rail fixing bolt 33 can be made smaller than in the prior art. Thereby, since the thermal expansion of the guide rail 15 is not hindered by the rail fixing bolt 33, even if the difference in the thermal expansion coefficient between the base 12 and the guide rail 15 is large, the guide rail 15 is bent. It is possible to prevent thermal deformation from occurring.

また、上述した実施の形態では座ぐり穴３４の底面部と皿ばね３５との間に低摩擦材からなるワッシャ３６を設けたことで、座ぐり穴３４の底面部と皿ばね３５との間に発生する摩擦力を小さくすることができる。
なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものでない。たとえば、図１３に示した実施の形態では座ぐり穴３４の底面部とレール固定用ボルト３３の頭部３３ａとの間に１個の皿ばね３５を設けたが、図１４に示す第４の実施形態のように、複数の皿ばね３５を並列に重ね合わせたものを座ぐり穴３４の底面部とレール固定用ボルト３３の頭部３３ａとの間に設けてもよいし、あるいは図１５に示す第５の実施形態のように、複数の皿ばね３５を直列に重ね合わせたものを座ぐり穴３４の底面部とレール固定用ボルト３３の頭部３３ａとの間に設けてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the washer 36 made of a low friction material is provided between the bottom surface of the counterbore 34 and the disc spring 35, so that the space between the bottom of the counterbore 34 and the disc spring 35 is provided. It is possible to reduce the frictional force generated in.
In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above. For example, in the embodiment shown in FIG. 13, one disc spring 35 is provided between the bottom surface portion of the counterbore 34 and the head portion 33a of the rail fixing bolt 33. However, in the fourth embodiment shown in FIG. As in the embodiment, a plurality of disc springs 35 stacked in parallel may be provided between the bottom surface of the counterbore 34 and the head 33a of the rail fixing bolt 33, or FIG. As shown in the fifth embodiment, a plurality of disc springs 35 stacked in series may be provided between the bottom surface of the counterbore 34 and the head 33 a of the rail fixing bolt 33.

本発明の第１の実施形態に係る直線案内軸受装置の平面図である。1 is a plan view of a linear guide bearing device according to a first embodiment of the present invention. 図１に示す直線案内軸受装置の側面図である。It is a side view of the linear guide bearing apparatus shown in FIG. 図２のIII−III断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 2. 図２のIV−IV断面図である。It is IV-IV sectional drawing of FIG. 図４に示すばね押え部の拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of a spring presser shown in FIG. 4. 図２に示す第１の位置決め部の断面図である。It is sectional drawing of the 1st positioning part shown in FIG. 本発明の第２の実施形態を示す図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態を示す図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention. 図８のIX−IX断面図である。It is IX-IX sectional drawing of FIG. 本発明の第４の実施形態に係る直線案内軸受装置の正面図である。It is a front view of the linear guide bearing apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 図１０に示す直線案内軸受装置の平面図である。It is a top view of the linear guide bearing apparatus shown in FIG. 図１１に示す直線案内軸受装置の側面図である。It is a side view of the linear guide bearing apparatus shown in FIG. 図１２に示す座ぐり穴の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the counterbore shown in FIG. 本発明の第５の実施形態を示す図である。It is a figure which shows the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６の実施形態を示す図である。It is a figure which shows the 6th Embodiment of this invention. 従来の直線案内軸受装置の正面図である。It is a front view of the conventional linear guide bearing apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

２，１２ 基台
３Ａ，３Ｂ，１３Ａ，１３Ｂ リニアガイド
４，１４ エアースライダ
５，１５ ガイドレール
１６ 第１の位置決め部
１７ 固定ブロック
１８ クランピングねじ
１９Ａ〜１９Ｄ 第２の位置決め部
２０ 固定ブロック
２１ コイルばね
２２ ばね押え部
２３ 固定ブロック
２４ レール押え用ばね
２５ 被押え部
２５ａ ばね受け面
２６ 低摩擦部材
２７ 楔状部材
２８ 固定用ねじ
３１ 押しねじ
３２ 引きねじ
３３ レール固定用ボルト
３３ａ レール固定用ボルトの頭部
３４ 座ぐり穴
３５ 皿ばね
３６ （低摩擦材からなる）ワッシャ
３７ 平座金 2,12 Base 3A, 3B, 13A, 13B Linear guide 4, 14 Air slider 5, 15 Guide rail 16 First positioning portion 17 Fixed block 18 Clamping screw 19A-19D Second positioning portion 20 Fixed block 21 Coil Spring 22 Spring holding portion 23 Fixing block 24 Rail holding spring 25 Pressed portion 25a Spring receiving surface 26 Low friction member 27 Wedge member 28 Fixing screw 31 Push screw 32 Pull screw 33 Rail fixing bolt 33a Head of rail fixing bolt Part 34 Counterbore 35 Disc spring 36 Washer (made of low friction material) 37 Flat washer

Claims (9)

基台と、この基台の上面に配置されたガイドレールと、このガイドレールの長手方向に移動可能に設けられたスライダとを備えてなる直線案内軸受装置において、
前記基台の上面に複数のばね押え部を設けるとともに、前記ばね押え部により前記基台の上面に押圧される凹状若しくは凸状の被押え部を前記ガイドレールの左右側面部に設けたことを特徴とする直線案内軸受装置。 In a linear guide bearing device comprising a base, a guide rail disposed on the top surface of the base, and a slider provided to be movable in the longitudinal direction of the guide rail,
A plurality of spring pressing portions are provided on the upper surface of the base, and concave or convex pressed portions pressed against the upper surface of the base by the spring pressing portions are provided on the left and right side portions of the guide rail. A linear guide bearing device. 前記ばね押え部は、前記基台の上面に設けられた固定ブロックと、この固定ブロックに取付けられた板状のレール押え用ばねとからなることを特徴とする請求項１記載の直線案内軸受装置。   2. The linear guide bearing device according to claim 1, wherein the spring pressing portion includes a fixed block provided on an upper surface of the base and a plate-shaped rail pressing spring attached to the fixed block. . 前記被押え部は、前記レール押え用ばねの先端部と摺動自在に接するばね受け面を有することを特徴とする請求項２記載の直線案内軸受装置。   The linear guide bearing device according to claim 2, wherein the pressed portion has a spring receiving surface that is slidably in contact with a tip portion of the rail pressing spring. 前記被押え部のばね受け面にシート状の低摩擦部材を設けたことを特徴とする請求項３記載の直線案内軸受装置。   The linear guide bearing device according to claim 3, wherein a sheet-like low friction member is provided on a spring receiving surface of the pressed portion. 請求項１〜４のいずれか１項記載の直線案内軸受装置において、前記ガイドレールの左右側面部を前記基台に対して位置決めする複数の位置決め部を前記基台の上面に設けたことを特徴とする直線案内軸受装置。   5. The linear guide bearing device according to claim 1, wherein a plurality of positioning portions for positioning left and right side portions of the guide rail with respect to the base are provided on an upper surface of the base. A linear guide bearing device. 前記位置決め部は、前記基台の上面に設けられた固定ブロックと、この固定ブロックに保持された位置決め部材とを備えてなり、前記位置決め部材の先端を前記ガイドレールの左右側面部に当接させて前記ガイドレールの側面部を前記基台に対して位置決めするように構成されていることを特徴とする請求項５記載の直線案内軸受装置。   The positioning portion includes a fixed block provided on the upper surface of the base and a positioning member held by the fixed block, and the distal end of the positioning member is brought into contact with the left and right side portions of the guide rail. The linear guide bearing device according to claim 5, wherein a side portion of the guide rail is positioned with respect to the base. 前記位置決め部は、前記基台の上面に設けられた固定ブロックと、前記ガイドレールの側面部に先端を当接させて前記固定ブロックに保持された押しねじと、前記ガイドレールの側面部に形成されたねじ穴に先端部を螺嵌させて前記固定ブロックに保持された引きねじとを備えて構成されていることを特徴とする請求項５記載の直線案内軸受装置。   The positioning portion is formed on a fixed block provided on an upper surface of the base, a push screw held at the fixed block with a tip abutting against a side surface of the guide rail, and a side surface of the guide rail. The linear guide bearing device according to claim 5, further comprising: a pull screw held by the fixed block by screwing a tip portion into the screw hole. 基台と、この基台の上面に配置されたガイドレールと、このガイドレールの長手方向に移動可能に設けられたスライダとを備え、前記ガイドレールを前記基台上に固定するレール固定用ボルトの頭部を前記ガイドレール内に収容する座ぐり穴を前記ガイドレールの上面に形成した直線案内軸受装置において、
前記座ぐり穴の底面部と前記レール固定用ボルトの頭部との間に皿ばねを設けたことを特徴とする直線案内軸受装置。 A rail fixing bolt that includes a base, a guide rail disposed on the upper surface of the base, and a slider that is movable in the longitudinal direction of the guide rail, and that fixes the guide rail on the base In the linear guide bearing device in which a counterbore for accommodating the head of the guide rail in the guide rail is formed on the upper surface of the guide rail,
A linear guide bearing device, wherein a disc spring is provided between a bottom surface portion of the counterbore and a head portion of the rail fixing bolt. 請求項８記載の直線案内軸受装置において、前記座ぐり穴の底面部と前記皿ばねとの間に低摩擦材からなるワッシャを設けたことを特徴とする直線案内軸受装置。   9. The linear guide bearing device according to claim 8, wherein a washer made of a low friction material is provided between a bottom surface portion of the counterbore and the disc spring.
JP2004129957A 2004-04-26 2004-04-26 Linearly guiding bearing device Pending JP2005308190A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004129957A JP2005308190A (en) 2004-04-26 2004-04-26 Linearly guiding bearing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004129957A JP2005308190A (en) 2004-04-26 2004-04-26 Linearly guiding bearing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005308190A true JP2005308190A (en) 2005-11-04

Family

ID=35437174

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004129957A Pending JP2005308190A (en) 2004-04-26 2004-04-26 Linearly guiding bearing device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005308190A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016211621A (en) * 2015-04-30 2016-12-15 Toto株式会社 Air stage device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016211621A (en) * 2015-04-30 2016-12-15 Toto株式会社 Air stage device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5755299B2 (en) Scale truck
JP5479250B2 (en) Length measuring device
CA2631112C (en) An apparatus for fastening a cover profile for the transition between two surfaces which are perpendicular with respect to each other
JP2016099342A (en) Length-measuring device
JP2007232061A (en) Limited linear guide unit with misalignment preventing mechanism for cage
JP2005308190A (en) Linearly guiding bearing device
JP4322762B2 (en) Stage guide mechanism
US6729759B2 (en) Track rail mounting structure of rectilinear guide apparatus
JPH07190056A (en) Track rail mounting structure in direct-acting unit
JP2008310927A (en) Optical pickup device
JP2006030085A (en) Linear scale fixing device and fixing method
JP2006253531A (en) Electrical component mounting arrangement
JP2008133939A (en) Linear guide apparatus
JP4295576B2 (en) Linear motion guidance unit
JP5476207B2 (en) Tape scale holding device and holding method
JP2009209957A (en) Linear motion device and table device
US20140097318A1 (en) Linear bearing
WO2014064684A1 (en) Dual material rail for motion systems
JP5169746B2 (en) Linear guide device
JP2000269307A (en) Movable table apparatus
US11395429B2 (en) Wedge clamp for circuit board
JP3281157B2 (en) Track rail mounting structure for linear motion unit
JP2006183747A (en) Linear guide device
JP2008173691A (en) Fixing device
JP6080743B2 (en) Disk unit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061004

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090129

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090327

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090804

A02 Decision of refusal

Effective date: 20091208

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02