JP2005305828A - Inkjet recording head and inkjet recorder - Google Patents

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JP2005305828A JP2004125753A JP2004125753A JP2005305828A JP 2005305828 A JP2005305828 A JP 2005305828A JP 2004125753 A JP2004125753 A JP 2004125753A JP 2004125753 A JP2004125753 A JP 2004125753A JP 2005305828 A JP2005305828 A JP 2005305828A
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貢 入野田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To widen a variable range of an ink amount to be ejected from ejection ports and to record a halftone image with high gray scale and high quality, in an inkjet recording head. <P>SOLUTION: A first heater 12 and a second heater 13, which can be mutually independently driven, are formed in ink flow channels 11 communicating with one ejection port 15 of the inkjet recording head, and a flow separation wall 14 for separating the ink flow channel 11 into a first and a second ink flow channels 11a, 11b arranged in parallel is formed between the first and the second heaters 12, 13. The first heater 12 is applied with voltage to foam the ink 18, ejecting relatively a small amount of ink droplets. In this case, the first and the second heaters 12, 13 are simultaneously driven with the same voltage waveforms to eject relatively a large amount of ink droplets, with no interruptions between the ink flows in the first ink flow channel 11a and the second ink flow channel 11b. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置に関し、特に、1つのインク吐出口に対して複数の電気熱変換体を設け、吐出口から吐出するインクの量の可変範囲が広く、中間調画像を高階調に表現することができる、インクジェット記録装置やカラーフィルタ製造装置等に利用されるのに好適なインクジェット記録技術に関する。   The present invention relates to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus, and in particular, a plurality of electrothermal transducers are provided for one ink discharge port, and the variable range of the amount of ink discharged from the discharge port is wide, so that a halftone image can be displayed. The present invention relates to an ink jet recording technique suitable for being used in an ink jet recording apparatus, a color filter manufacturing apparatus, and the like that can be expressed with high gradation.

今日広く使用されているインクジェット記録装置において、中間調の表現方法は大別して以下の2つの方法がある。第1の方法は、被記録媒体上における画素あたりのインク滴の打ち込み数の多少によって表現(2値での擬似中間調表現)する方法であり、第2の方法は、1つのインクジェット記録ヘッドでインクの吐出量を多段に変化させることにより表現する方法である。   In an ink jet recording apparatus widely used today, there are roughly the following two methods for expressing halftones. The first method is a method of expressing by the number of ink droplets per pixel on the recording medium (a pseudo halftone expression with two values), and the second method is one inkjet recording head. This is a method of expressing by changing the ink discharge amount in multiple stages.

特許文献1には、画素あたりのインク滴の打ち込み数の多少によって表現する第1の方法を用いたインクジェット記録ヘッドの例が開示されている。
一方、特許文献2〜4には、インクの吐出量を多段に変化させることにより階調性を表現する第2の方法を用いたインクジェットヘッドの例が開示されている。
特許文献2に開示されたインクジェットヘッドは、1つのインク流路内にインクの吐出方向に沿って複数のヒータを配置して、駆動するヒータを独立に制御することで、インクの吐出量を多段に変化させるものである。
特許文献3に開示されたインクジェット記録ヘッドは、複数のインク吐出口を互いに近づけてインク吐出後液滴が吐出口径より広がる際に、近接したインク吐出口から吐出したインク滴が互いに自然に混合するようにして、飛翔するインクの量を変化させるものである。
特許文献4に開示されたインクジェット記録ヘッドは、1つの吐出口に複数のヒータを設け、複数のヒータ毎を包囲する吐出口より小さい包囲壁を形成し、吐出するインクの量に応じて駆動するヒータの数を制御し、吐出するインクの量を多段に制御するものである。
特開2002−337345号公報 特開平10−71718号公報 特開平11−235833号公報 特開2002−273883号公報
Patent Document 1 discloses an example of an ink jet recording head using a first method expressed by the number of ink droplets per pixel.
On the other hand, Patent Documents 2 to 4 disclose examples of an ink jet head using a second method for expressing gradation by changing ink discharge amounts in multiple stages.
The ink-jet head disclosed in Patent Document 2 arranges a plurality of heaters in the ink discharge direction along one ink flow path, and independently controls the heaters to be driven, so that the ink discharge amount can be increased in multiple stages. To change.
The ink jet recording head disclosed in Patent Document 3 naturally mixes ink droplets ejected from adjacent ink ejection ports when a plurality of ink ejection ports are brought close to each other and droplets after ink ejection spread out from the ejection port diameter. In this way, the amount of ink that flies is changed.
The ink jet recording head disclosed in Patent Document 4 is provided with a plurality of heaters at one discharge port, forms a surrounding wall smaller than the discharge port surrounding each of the plurality of heaters, and is driven according to the amount of ink to be discharged. The number of inks to be ejected is controlled in multiple stages by controlling the number of heaters.
JP 2002-337345 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-71718 JP-A-11-235833 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-273833

インクジェット記録装置における中間調の表現方法において、高階調の記録を行なうため、単位画素あたりに階調に応じてインク滴を打ち込む第1の方法は、記録画素が大きくなるため解像度を大幅に上げることができない。そのため、インクの吐出量を多段に変化させることにより階調性を表現する第2の方法が有望である。しかしながら、特許文献2に開示されているように、吐出口が開口するインク流路に2つのヒータを設け、駆動するヒータの数によって吐出するインクの量を制御するインクジェットヘッドの場合、インクの吐出特性を向上させるために各ヒータへ印加する電圧の駆動のタイミングをシフトし、2つのヒータ間の発泡のタイミングをシフトさせ、互いの泡の干渉を抑制しインク吐出特性を向上させるようにしているが、駆動のタイミングをシフトするための駆動回路が必要となり、回路構成が複雑となりコストアップの要因となっていた。また、2つのヒータで発泡するタイミングをシフトさせ、互いの発泡の影響を最小限にしてインク吐出特性を向上させる従来の方法は、多少なりとも必ず泡の干渉の影響があり、理想的なインク吐出特性とはなっていない。   In the halftone expression method in the ink jet recording apparatus, in order to perform high gradation recording, the first method of ejecting ink droplets per unit pixel according to the gradation greatly increases the resolution because the recording pixels are large. I can't. Therefore, a second method for expressing gradation by changing the ink discharge amount in multiple stages is promising. However, as disclosed in Patent Document 2, in the case of an ink jet head in which two heaters are provided in an ink flow path in which an ejection opening opens and the amount of ink ejected is controlled by the number of heaters to be driven, ink ejection In order to improve the characteristics, the drive timing of the voltage applied to each heater is shifted, the timing of foaming between the two heaters is shifted, the mutual interference of bubbles is suppressed, and the ink ejection characteristics are improved. However, a drive circuit for shifting the drive timing is required, which complicates the circuit configuration and causes an increase in cost. In addition, the conventional method of improving the ink ejection characteristics by shifting the timing of foaming by two heaters and minimizing the influence of each other's foaming always has the effect of foam interference, which is an ideal ink. It is not a discharge characteristic.

また、特許文献2に開示されているインクジェットヘッドは、複数のインク吐出口を互いに近づけて、インク吐出後液滴が吐出口径より広がる際に、近接したインク吐出口から吐出した液滴が互いに自然に混合するようにして、飛翔するインクの量を変化させるインクジェットヘッドの例である。このインクジェットヘッドの場合、吐出口から吐出する時に液滴が混合するので、吐出するインク液滴のタイミングのバラツキや吐出するインク液滴量のバラツキによって、混合されたインク滴の吐出方向や被記録媒体へ着弾した時の形状がばらつき、記録された印字の画質が低下するといった問題があった。   In addition, in the inkjet head disclosed in Patent Document 2, when a plurality of ink discharge ports are brought close to each other and the droplets after ink discharge spread out from the diameter of the discharge port, the droplets discharged from the adjacent ink discharge ports are natural to each other. This is an example of an inkjet head in which the amount of ink flying is changed so as to be mixed. In the case of this ink jet head, since the droplets are mixed when ejected from the ejection port, the ejection direction of the mixed ink droplets and the recording target are determined by the variation in the timing of the ejected ink droplets and the variation in the amount of the ejected ink droplets. There has been a problem that the shape when landing on the medium varies and the image quality of the recorded print is lowered.

さらに、特許文献4に開示されているインクジェットヘッドは、1つの吐出口に複数のヒータを有し、その複数のヒータ毎を包囲する吐出口より小さい包囲壁を形成している。吐出するインクの量に応じて駆動するヒータの数を制御し、吐出するインクの量を多段に制御するが、吐出口から吐出するインクの位置が駆動するヒータの数によって異なる。つまり、吐出するインク液滴量によって吐出位置が変化してしまい、結果として記録媒体への着弾位置がインク液適量によって変化し、階調性を確保した場合、画質の劣化が発生するといった不具合があった。
本発明は、以上のような従来のインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置が有する問題点を解決するためのものである。
Furthermore, the ink jet head disclosed in Patent Document 4 has a plurality of heaters at one discharge port, and forms a surrounding wall smaller than the discharge port that surrounds each of the plurality of heaters. The number of heaters to be driven is controlled according to the amount of ink to be ejected, and the amount of ink to be ejected is controlled in multiple stages. The position of the ink ejected from the ejection port varies depending on the number of heaters to be driven. In other words, the discharge position changes depending on the amount of ink droplets to be discharged, and as a result, the landing position on the recording medium changes depending on the appropriate amount of ink liquid, and if gradation is ensured, the image quality deteriorates. there were.
The present invention is to solve the problems of the conventional ink jet head and ink jet recording apparatus as described above.

本発明の請求項1の発明は、共通液室からインクが供給されるインク流路と、該インク流路内に設けられた電気熱変換体からなり、該電気熱変換体の発熱によってインクを発泡させ吐出口からインクを吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記電気熱変換体は1つのインク吐出口に対して複数設けられ、前記インク流路は前記共通液室から前記吐出口に至り前記電気熱変換体が形成されている並列のインク流路部分からなることを特徴とする。   The invention according to claim 1 of the present invention comprises an ink flow path to which ink is supplied from a common liquid chamber, and an electrothermal converter provided in the ink flow path. In the ink jet recording head that foams and discharges ink from the discharge port, a plurality of the electrothermal transducers are provided for one ink discharge port, and the ink flow path extends from the common liquid chamber to the discharge port and the electric heat is supplied. It consists of the parallel ink flow path part in which the conversion body is formed, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の請求項2の発明は、請求項1記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記共通液室から前記吐出口に至る前記インク流路の中心線と前記インク吐出口の中心は、一致することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the ink jet recording head according to the first aspect, the center line of the ink flow path from the common liquid chamber to the discharge port coincides with the center of the ink discharge port. Features.

本発明の請求項3の発明は、請求項1または2記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記並列のインク流路部分のそれぞれの断面積は、互いに異なることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the ink jet recording head according to the first or second aspect, the respective cross-sectional areas of the parallel ink flow path portions are different from each other.

本発明の請求項4の発明は、請求項1乃至3いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記並列のインク流路部分に形成されている電気熱変換体のそれぞれの発熱量は、互いに異なることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the ink jet recording head according to any one of the first to third aspects, the calorific values of the electrothermal transducers formed in the parallel ink flow path portions are different from each other. It is characterized by that.

本発明の請求項5の発明は、請求項1乃至4いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記並列のインク流路部分に形成されている電気熱変換体のそれぞれの面積は、互いに異なることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet recording head according to any one of the first to fourth aspects, the areas of the electrothermal transducers formed in the parallel ink flow path portions are different from each other. It is characterized by.

本発明の請求項6の発明は、請求項1乃至5いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置であることを特徴とする。   A sixth aspect of the present invention is an ink jet recording apparatus equipped with the ink jet recording head according to any one of the first to fifth aspects.

請求項1のインクジェット記録ヘッドは、共通液室から吐出口に至るインク流に対して並列のインク流をなすように電気熱変換体が形成されているインク流路部分を有するので、インク流路内で発泡した泡が互いに干渉せず、泡のサイズを確実に制御できるため、インク吐出量を正確に制御することが可能となる。また、従来例のように吐出するインクの量を制御するため、電気熱変換体を駆動するタイミングをシフトする駆動回路が不用となり、回路構成が簡単となりコストダウンが図れる。さらに、インク吐出前にインク滴が混合され、1つの吐出口から吐出されるため、吐出方向や被記録媒体へ着弾した時の形状が均一となり、記録された印字の画質の劣化がない。   The ink jet recording head according to claim 1 has an ink flow path portion in which an electrothermal transducer is formed so as to form an ink flow parallel to the ink flow from the common liquid chamber to the ejection port. Since the bubbles foamed inside do not interfere with each other and the size of the bubbles can be controlled reliably, the ink discharge amount can be accurately controlled. Further, since the amount of ink to be ejected is controlled as in the conventional example, a driving circuit for shifting the timing for driving the electrothermal converter is not necessary, and the circuit configuration is simplified and the cost can be reduced. Further, since ink droplets are mixed before ink ejection and ejected from one ejection port, the ejection direction and the shape when landed on the recording medium are uniform, and there is no deterioration in the image quality of the recorded print.

請求項2のインクジェット記録ヘッドは、共通液室から吐出口に至るインク流に対して並列のインク流をなすインク流路の中心線とインク吐出口の中心とが一致しているので、複数の電気熱変換体によってインクが発泡した時に、発生した圧力波が吐出口へ向かって均一に伝搬し、吐出するインク滴量の制御性を向上することができる。また、記録媒体への着弾位置がインク液適量によって変化しないので、階調性を確保した場合でも画質の劣化が発生しない。   In the ink jet recording head according to the second aspect, the center line of the ink flow path that forms a parallel ink flow with the ink flow from the common liquid chamber to the discharge port coincides with the center of the ink discharge port. When the ink is foamed by the electrothermal transducer, the generated pressure wave is uniformly propagated toward the ejection port, and the controllability of the ejected ink droplet amount can be improved. In addition, since the landing position on the recording medium does not change depending on the appropriate amount of ink liquid, image quality does not deteriorate even when gradation is ensured.

請求項3記載のインクジェット記録ヘッドは、1つのインク吐出口に対して複数形成された電気熱変換体が形成されているそれぞれのインク流路部分の断面積は互いに異なるので、1つの電気熱変換体によってインクに発生する泡のサイズを正確に制御することが可能となり、吐出するインク滴量を正確に制御することが可能となる。   In the ink jet recording head according to claim 3, since the cross-sectional areas of the respective ink flow path portions in which a plurality of electrothermal transducers formed with respect to one ink discharge port are formed are different from each other, one electrothermal conversion is performed. The size of bubbles generated in the ink by the body can be accurately controlled, and the amount of ink droplets to be ejected can be accurately controlled.

請求項4記載のインクジェット記録ヘッドは、1つのインク吐出口に対して複数形成された電気熱変換体の発熱量が互いに異なるので、インクが発泡する時の泡のサイズが互いに異なり、吐出するインク滴量を細かく制御することが可能となる。   5. The ink jet recording head according to claim 4, wherein a plurality of electrothermal transducers formed with respect to one ink discharge port have different calorific values, so that the sizes of bubbles when the ink is foamed are different from each other, and the ejected ink It is possible to finely control the drop amount.

請求項5記載のインクジェット記録ヘッドは、1つのインク吐出口に対して複数形成された電気熱変換体の面積が互いに異なり、電気熱変換体の面積で発熱量を制御するので、通常のホトリソグラフィ技術によって形成することができ、容易に面積の制御性、つまり電気熱変換体の発熱量の制御することが可能となる。   In the ink jet recording head according to claim 5, the areas of the electrothermal converters formed for one ink discharge port are different from each other, and the amount of heat generated is controlled by the area of the electrothermal converters. It can be formed by a technique, and the controllability of the area, that is, the amount of heat generated by the electrothermal converter can be easily controlled.

請求項6記載のインクジェット記録装置は、請求項1〜5記載のインクジェット記録ヘッドを用いて被記録媒体に画像を記録するので、中間調の画像を高階調で高精細な画像を印刷記録することが可能となる。   Since the ink jet recording apparatus according to claim 6 records an image on a recording medium using the ink jet recording head according to claims 1 to 5, a halftone image is printed and recorded with high gradation and high definition. Is possible.

本発明のインクジェット記録ヘッドは、1つの吐出口に連通するインク流路内に互いに独立して駆動可能な複数の電気熱変換素子を設け、各電気熱変換素子間にはインク流路を複数のインク流路部分に分割している隔壁が設けられ、前記電気熱変換素子を選択的に駆動することによりインク流路部分のインクを発泡させて、前記吐出口より吐出するインク滴量を広範囲に可変することが可能なインクジェット記録ヘッドである。具体的な実施例ついて以下に記述する。   In the ink jet recording head of the present invention, a plurality of electrothermal conversion elements that can be driven independently from each other are provided in an ink flow path communicating with one ejection port, and a plurality of ink flow paths are provided between the electrothermal conversion elements. A partition wall is provided in the ink flow path portion, and the ink in the ink flow path portion is foamed by selectively driving the electrothermal conversion element, so that the amount of ink droplets discharged from the discharge port is wide. This is an inkjet recording head that can be varied. Specific examples are described below.

本発明の実施例1によるインクジェット記録ヘッドについて説明する。
図1は実施例1のインクジェット記録ヘッドを示す図で、図1(A)は平面断面図、図1(B)は図1(A)のA−A′断面図である。
実施例1のインクジェット記録ヘッドは、1つの吐出口15に連通するインク流路11内に互いに独立して駆動可能な第1の電気熱変換体である第1のヒータ12と第2の電気熱変換体である第2のヒータ13が形成されており、第1,第2のヒータ12,13間にはインク流路11を並列する2つのインク流路部分、つまり第1のインク流路11aと第2のインク流路11bに分離する流路隔壁14が設けられている。この時、第1,第2のヒータ12,13間の流路隔壁14の中心線17とインク吐出口15の中心は一致するように配置されている。一方、各吐出口15間の分離は吐出口隔壁16で行なっている。
An ink jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention will be described.
1A and 1B are diagrams showing an ink jet recording head of Example 1, FIG. 1A is a plan cross-sectional view, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.
The ink jet recording head of Example 1 includes a first heater 12 and a second electric heat which are first electrothermal transducers that can be driven independently from each other in an ink flow path 11 communicating with one ejection port 15. A second heater 13 as a converter is formed, and between the first and second heaters 12 and 13, two ink flow path portions in parallel with the ink flow path 11, that is, the first ink flow path 11a. And a flow path partition wall 14 is provided to be separated into the second ink flow path 11b. At this time, the center line 17 of the flow path partition 14 between the first and second heaters 12 and 13 and the center of the ink discharge port 15 are arranged to coincide with each other. On the other hand, the discharge ports 15 are separated by the discharge port partition 16.

インクタンク(不図示)から供給されたインクは共通液室10に一時的に保持され、さらに毛管力により第1のインク流路11a,第2のインク流路11bへ浸入し、吐出口15でメニスカスを形成してインク流路11を満たした状態に保持する。つまり、共通液室10からインク吐出口15に至るインク流に対して互いに並列のインク流をなす第1のインク流路11a,第2のインク流路11bからなるインク流路11が形成されている。   Ink supplied from an ink tank (not shown) is temporarily held in the common liquid chamber 10, and further enters the first ink flow path 11 a and the second ink flow path 11 b by capillary force, and is discharged from the discharge port 15. A meniscus is formed and the ink flow path 11 is filled. That is, the ink flow path 11 including the first ink flow path 11a and the second ink flow path 11b that form an ink flow parallel to the ink flow from the common liquid chamber 10 to the ink discharge port 15 is formed. Yes.

図1に示すインクジェット記録ヘッドにおいて、第1のヒータ12と第2のヒータ13を駆動し、インク流路11内のインクに熱エネルギーを与えることにより、インクに急峻な体積変化(気泡の発泡)を起こさせ、この時発生する力によって吐出口15からインクが吐出される。第1,第2のヒータ12,13のインク吐出口15側には共通電極(不図示)が結線されるとともに、第1,第2のヒータ12,13の共通液室10側には個別電極(不図示)が結線されており、それぞれ独立して駆動することが可能である。   In the ink jet recording head shown in FIG. 1, the first heater 12 and the second heater 13 are driven, and thermal energy is applied to the ink in the ink flow path 11, thereby causing a sudden volume change (bubble foaming) in the ink. Ink is discharged from the discharge port 15 by the force generated at this time. A common electrode (not shown) is connected to the ink discharge port 15 side of the first and second heaters 12 and 13, and an individual electrode is connected to the common liquid chamber 10 side of the first and second heaters 12 and 13. (Not shown) are connected and can be driven independently.

第1のヒータ12と第2のヒータ13を独立に駆動し、吐出するインクの量を変化させる際の動作について説明する。
図2は第1のヒータを独立に駆動し、相対的に少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図2(A)は平面断面図、図2(B)は図2(A)のA−A′断面図である。
図3は第1,第2のヒータを同時に駆動し、相対的に多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図3(A)は平面断面図、図3(B)は図3(A)のA−A′断面図である。
第1,第2のヒータ12,13は、サイズや材料を等しくし、第1,第2のインク流路11a,11bの断面積のサイズも等しくした。
The operation when the first heater 12 and the second heater 13 are driven independently to change the amount of ink to be ejected will be described.
2A and 2B are views showing a state in which the first heater is driven independently and a relatively small amount of ink droplets are ejected. FIG. 2A is a cross-sectional plan view, and FIG. It is AA 'sectional drawing of A).
FIGS. 3A and 3B are diagrams showing a state in which the first and second heaters are simultaneously driven to eject a relatively large amount of ink droplets. FIG. 3A is a plan sectional view, and FIG. It is AA 'sectional drawing of 3 (A).
The first and second heaters 12 and 13 have the same size and material, and the cross-sectional areas of the first and second ink flow paths 11a and 11b have the same size.

このようなインクジェット記録ヘッドにおいて、図2では相対的に少量のインク滴を吐出させるために、第1のヒータ12にのみ電圧を印加し、インクを発泡18させ、吐出したインク滴19の量を測定した結果、3plの値が得られた。
一方、第1のヒータ12と第2のヒータ13を、従来例のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせることなしに、同時に同一の電圧波形で駆動し、第1のヒータ12の発泡18と第2のヒータ13の発泡20によってインクを吐出させ、吐出したインク滴21の量を再現性を含めて測定した結果、毎回、6plの値が得られた。つまり、第1のヒータ12のみで吐出した場合に比較して2倍の吐出量が得られ、従来のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせなくても、設計値通りの吐出量が安定して得られた。
In such an ink jet recording head, in order to eject a relatively small amount of ink droplets in FIG. 2, a voltage is applied only to the first heater 12 to foam the ink 18, and the amount of the ejected ink droplets 19 is determined. As a result of measurement, a value of 3 pl was obtained.
On the other hand, the first heater 12 and the second heater 13 are simultaneously driven with the same voltage waveform without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the conventional example, and the foam 18 of the first heater 12 is driven. As a result of measuring the amount of ejected ink droplets 21 including reproducibility, the value of 6 pl was obtained each time. In other words, twice the discharge amount is obtained as compared with the case where discharge is performed only by the first heater 12, and the discharge amount is stable as designed without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the prior art. Was obtained.

図4は、吐出口を基板面と同じ面に形成して、インクの吐出方向を基板面から垂直方向としたインクジェット記録ヘッドの例を示す図で、図4(A)は平面断面図、図4(B)は図4(A)のA−A′断面図である。
図4に示すように、インクの吐出方向を基板面と同じ面に形成した吐出口22からインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいても、図2、図3と同様の吐出特性が得られた。
FIG. 4 is a diagram showing an example of an ink jet recording head in which ejection openings are formed on the same surface as the substrate surface, and the ink ejection direction is a direction perpendicular to the substrate surface, and FIG. 4 (B) is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 4 (A).
As shown in FIG. 4, the same ejection characteristics as those in FIGS. 2 and 3 were obtained also in the ink jet recording head that ejects ink from the ejection port 22 formed in the same direction as the substrate surface.

一方、比較のため、共通液室10からインク吐出口15へ至るインク流を並列にしない構成、つまり、第1のヒータ12と第2のヒータ13間に流路隔壁14を形成しない従来のインクジェット記録ヘッドの構成において、同様の測定を行なった結果、インクが発泡した時の干渉によって、吐出したインクの量は1.2倍〜2倍であり、測定によってバラツキを生じた。   On the other hand, for comparison, a conventional ink jet in which the ink flow from the common liquid chamber 10 to the ink discharge port 15 is not parallel, that is, the flow path partition 14 is not formed between the first heater 12 and the second heater 13. As a result of performing the same measurement in the configuration of the recording head, the amount of the ejected ink was 1.2 to 2 times due to interference when the ink was foamed, and variation was caused by the measurement.

図5は実施例2のインクジェット記録ヘッドを示す図で、図5(A)は平面断面図、図5(B)は図5(A)のA−A′断面図である。
実施例2のインクジェット記録ヘッドは、実施例1のインクジェット記録ヘッドよりも吐出するインクの量を多段に可変できるようにしたものである。
共通液室10からインク吐出口15に至るインク流に対して並列のインク流をなすインク流路部分、つまり第1のインク流路11aと第2のインク流路11bからなるインク流路11が形成されている構成であり、インク流路の流路断面積についてみると、第2のインク流路11bを第1のインク流路11aよりも小さく形成し、第1のインク流路11a内に第1の電気熱変換体である第1のヒータ12と第2のインク流路11b内に第2の電気熱変換体である第2のヒータ13を各々形成する。これらは互いに独立して駆動可能なヒータである。第1,第2のヒータ12,13間には第1,第2のインク流路11a,11bを構成する流路隔壁14が設けられている。この時、第1,第2のヒータ12,13間の流路隔壁14の中心線17とインク吐出口15の中心は一致するように配置されている。一方、各吐出口15のビット間の分離は吐出口隔壁16で行なっている。
FIGS. 5A and 5B are diagrams showing the ink jet recording head of Example 2, FIG. 5A is a plan sectional view, and FIG. 5B is a sectional view taken along line AA ′ of FIG.
The ink jet recording head of Example 2 is configured so that the amount of ink discharged can be varied in multiple stages as compared with the ink jet recording head of Example 1.
An ink flow path portion that forms a parallel ink flow with respect to the ink flow from the common liquid chamber 10 to the ink discharge port 15, that is, the ink flow path 11 including the first ink flow path 11a and the second ink flow path 11b. With regard to the flow path cross-sectional area of the ink flow path, the second ink flow path 11b is formed smaller than the first ink flow path 11a, and the first ink flow path 11a is formed in the first ink flow path 11a. A first heater 12 that is a first electrothermal transducer and a second heater 13 that is a second electrothermal transducer are formed in the second ink flow path 11b. These are heaters that can be driven independently of each other. Between the first and second heaters 12 and 13, a flow path partition wall 14 constituting the first and second ink flow paths 11a and 11b is provided. At this time, the center line 17 of the flow path partition 14 between the first and second heaters 12 and 13 and the center of the ink discharge port 15 are arranged to coincide with each other. On the other hand, separation between the bits of each discharge port 15 is performed by the discharge port partition 16.

インクタンク(不図示)から供給されたインクは共通液室10に一時的に保持され、さらに毛管力によりインク流路11へ浸入し、吐出口15でメニスカスを形成してインク流路11を満たした状態を保持する。この状態で第1のヒータ12と第2のヒータ13を駆動し、インクに熱エネルギーを与えることによりインクに急峻な体積変化(気泡の発泡)を起こさせ、この時発生する力によって吐出口15からインクが吐出される。第1,第2のヒータ12,13のインク吐出口15側には共通電極(不図示)が結線されるとともに、第1,第2のヒータ12,13の共通液室10側には個別電極(不図示)が結線されており、それぞれ独立して駆動することが可能である。   Ink supplied from an ink tank (not shown) is temporarily held in the common liquid chamber 10 and further enters the ink flow path 11 by capillary force and forms a meniscus at the discharge port 15 to fill the ink flow path 11. Hold the state. In this state, the first heater 12 and the second heater 13 are driven to give thermal energy to the ink, thereby causing a sudden volume change (bubble foaming) in the ink. Ink is discharged from. A common electrode (not shown) is connected to the ink discharge port 15 side of the first and second heaters 12 and 13, and an individual electrode is connected to the common liquid chamber 10 side of the first and second heaters 12 and 13. (Not shown) are connected and can be driven independently.

実施例2のインクジェット記録ヘッドを用いて第1,第2のヒータ12,13を独立して駆動し、吐出するインクの量を実施例1のインクジェット記録ヘッドよりも、さらに細かく変化させる際の動作について説明する。
図6は第2のヒータ13を独立に駆動し、少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図6(A)は平面断面図、図6(B)は図6(A)のA−A′断面図である。
図7は第1のヒータを独立に駆動し、中間量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図7(A)は平面断面図、図7(B)は図7(A)のA−A′断面図である。
図8は第1,第2のヒータを同時に駆動し、多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図8(A)は平面断面図、図8(B)は図8(A)のA−A′断面図である。
実施例2のインクジェット記録ヘッドは、流路断面積が第1のインク流路11aの1/2である第2のインク流路11bを形成し、第1のインク流路11a内に第1の電気熱変換体である第1のヒータ12と第2のインク流路11b内に第2の電気熱変換体である第2のヒータ13を各々形成し、第1のヒータ12と第2のヒータ13は、サイズや材料を等しくした。
Operation when the first and second heaters 12 and 13 are independently driven using the ink jet recording head of the second embodiment and the amount of ink to be ejected is changed more finely than that of the ink jet recording head of the first embodiment. Will be described.
6A and 6B are diagrams showing a state in which the second heater 13 is driven independently to eject a small amount of ink droplets. FIG. 6A is a plan sectional view, and FIG. 6B is a diagram in FIG. It is AA 'sectional drawing.
FIGS. 7A and 7B are diagrams showing a state in which the first heater is driven independently to discharge an intermediate amount of ink droplets. FIG. 7A is a plan sectional view, and FIG. 7B is a diagram in FIG. It is AA 'sectional drawing.
FIGS. 8A and 8B are diagrams showing a state in which the first and second heaters are simultaneously driven to eject a large amount of ink droplets. FIG. 8A is a cross-sectional plan view, and FIG. It is AA 'sectional drawing of).
In the ink jet recording head of Example 2, the second ink channel 11b whose channel cross-sectional area is 1/2 of the first ink channel 11a is formed, and the first ink channel 11a has the first ink channel 11a. A first heater 12 that is an electrothermal converter and a second heater 13 that is a second electrothermal converter are formed in the second ink flow path 11b, and the first heater 12 and the second heater are formed. 13 equalized size and material.

実施例2のインクジェット記録ヘッドを用いて、図6に示すように、第2のヒータ13にのみ電圧を印加し、インクを発泡32させ、吐出したインク滴33の量を測定した結果、1.5plであった。
一方、図7に示すように、第1のヒータ12のみに電圧を印加し、インクを発泡34させ、吐出したインク滴35の量を測定した結果、3plであった。
さらに、図8に示すように、第1のヒータ12と第2のヒータ13を、従来例のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせることなしに、同時に同一の電圧波形で駆動し、第1のヒータ12による発泡32と第2のヒータ13による発泡34によってインクを吐出させ、吐出させたインク滴36の量を再現性を含めて測定した結果、毎回、4.5plの値が得られ、第1のヒータ12でのみ吐出させた場合と第2のヒータ13でのみ吐出させた場合の合計の吐出量が得られた。つまり、従来例のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせなくても設計値通りの吐出量が安定して得られるばかりでなく、インクの吐出量の段階を増やすことが可能であった。
As shown in FIG. 6, using the ink jet recording head of Example 2, a voltage was applied only to the second heater 13 to cause the ink to foam 32, and the amount of ejected ink droplets 33 was measured. 5 pl.
On the other hand, as shown in FIG. 7, when a voltage was applied only to the first heater 12, the ink was foamed 34, and the amount of ejected ink droplets 35 was measured, the result was 3 pl.
Further, as shown in FIG. 8, the first heater 12 and the second heater 13 are simultaneously driven with the same voltage waveform without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the conventional example. As a result of measuring the amount of the ejected ink droplet 36 including reproducibility by ejecting the ink by the foam 32 by the first heater 12 and the foam 34 by the second heater 13, a value of 4.5 pl is obtained each time. Thus, a total discharge amount was obtained when the discharge was performed only by the first heater 12 and the discharge was performed only by the second heater 13. That is, it is possible to stably obtain the ejection amount as designed without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the conventional example, and it is possible to increase the stage of the ink ejection amount.

図9は実施例3のインクジェット記録ヘッドを示す図で、図9(A)は平面断面図、図9(B)は図9(A)のA−A′断面図である。
実施例3のインクジェット記録ヘッドは、実施例1のインクジェット記録ヘッドよりも吐出するインクの量を多段に可変できるようにしたものである。
共通液室10からインク吐出口15に至るインク流に対して並列のインク流をなすインク流路部分、つまり第1のインク流路11aと第2のインク流路11bからなるインク流路11が形成されている構成であり、一つの吐出口15に連通する第1,第2のインク流路11a,11b内に互いに独立して駆動可能な面積の異なる第1の電気熱変換体である第1のヒータ12と第2の電気熱変換体である第2のヒータ41が形成されている。第1,第2のヒータ12,41間には第1のインク流路11aと第2のインク流路11bを形成する流路隔壁14が設けられている。この時、第1,第2のヒータ12,41間の流路隔壁14の中心線17とインク吐出口15の中心は一致するように配置されている。一方、各吐出口15のビット間の分離は吐出口隔壁16で行なっている。インクタンク(不図示)から供給されたインクは共通液室10に一時的に保持され、さらに毛管力により第1,第2のインク流路11a,11bへ浸入し、吐出口15でメニスカスを形成してインク流路11を満たした状態を保持する。
9A and 9B are diagrams showing the ink jet recording head of Example 3. FIG. 9A is a cross-sectional plan view, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.
The ink jet recording head of Example 3 is configured so that the amount of ink discharged can be varied in multiple stages as compared with the ink jet recording head of Example 1.
An ink flow path portion that forms a parallel ink flow with respect to the ink flow from the common liquid chamber 10 to the ink discharge port 15, that is, the ink flow path 11 including the first ink flow path 11a and the second ink flow path 11b. A first electrothermal converter having a different area that can be driven independently from each other in the first and second ink flow paths 11a and 11b communicating with one ejection port 15 is formed. One heater 12 and a second heater 41 as a second electrothermal converter are formed. Between the first and second heaters 12 and 41, there is provided a flow path partition wall 14 that forms a first ink flow path 11a and a second ink flow path 11b. At this time, the center line 17 of the flow path partition 14 between the first and second heaters 12 and 41 and the center of the ink discharge port 15 are arranged to coincide with each other. On the other hand, separation between the bits of each discharge port 15 is performed by the discharge port partition 16. Ink supplied from an ink tank (not shown) is temporarily held in the common liquid chamber 10, and further enters the first and second ink flow paths 11a and 11b by capillary force to form a meniscus at the discharge port 15. Thus, the state where the ink flow path 11 is filled is maintained.

この状態で、第1のヒータ12と第2のヒータ41を駆動し、インクに熱エネルギーを与えることにより、インクに急峻な体積変化(気泡の発泡)を起こさせ、この時発生する力によって吐出口15からインクが吐出される。第1,第2のヒータ12,41のインク吐出口15側には共通電極(不図示)が結線されるとともに、第1,第2のヒータ12,41の共通液室10側には個別電極(不図示)が結線されており、それぞれ独立して駆動することが可能である。   In this state, the first heater 12 and the second heater 41 are driven to give thermal energy to the ink, thereby causing a sudden volume change (bubble bubbling) in the ink. Ink is ejected from the outlet 15. A common electrode (not shown) is connected to the ink discharge port 15 side of the first and second heaters 12 and 41, and an individual electrode is connected to the common liquid chamber 10 side of the first and second heaters 12 and 41. (Not shown) are connected and can be driven independently.

実施例3のインクジェット記録ヘッドを用いて第1,第2のヒータ12,41を独立して駆動し、吐出するインクの量を実施例1のインクジェット記録ヘッドよりも更に細かく変化させる際の動作について説明する。
図10は第2のヒータを独立に駆動し、少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図10(A)は平面断面図、図10(B)は図10(A)のA−A′断面図である。
図11は第1のヒータを独立に駆動し、中間量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図11(A)は平面断面図、図11(B)は図11(A)のA−A′断面図である。
図12は第1,第2のヒータを同時に駆動し、多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図12(A)は平面断面図、図12(B)は図12(A)のA−A′断面図である。
About the operation | movement at the time of driving the 1st, 2nd heaters 12 and 41 independently using the inkjet recording head of Example 3, and changing the amount of the ink to eject more finely than the inkjet recording head of Example 1. explain.
FIGS. 10A and 10B are diagrams illustrating a state where the second heater is driven independently to eject a small amount of ink droplets. FIG. 10A is a cross-sectional plan view, and FIG. 10B is a diagram of FIG. It is AA 'sectional drawing.
FIGS. 11A and 11B are views showing a state in which the first heater is driven independently to discharge an intermediate amount of ink droplets. FIG. 11A is a cross-sectional plan view, and FIG. 11B is a view in FIG. It is AA 'sectional drawing.
12A and 12B are diagrams showing a state in which the first and second heaters are simultaneously driven to eject a large amount of ink droplets. FIG. 12A is a cross-sectional plan view, and FIG. It is AA 'sectional drawing of).

材料が等しくヒータの面積が、第1のヒータ12の1/2.5である第2のヒータ41を第2のインク流路11b内に形成し、第1,第2のインク流路11a,11bの流路断面積を等しくした実施例3のインクジェット記録ヘッドを用いて、図10に示すように、第2のヒータ41にのみ電圧を印加し、インクを発泡42させ、吐出したインク滴43の量を測定した結果、1.5plであった。
一方、図11に示すように、第1のヒータ12にのみに電圧を印加し、インクを発泡44させたインク滴45の量を測定した結果3plであった。
更に、図12に示すように、第1のヒータ12と第2のヒータ41を、従来例のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせることなしに、同時に同一の電圧波形で駆動し、第1のヒータ12による発泡44と第2のヒータ41による発泡42によってインクを吐出させ、吐出したインク滴46の量を再現性を含めて測定した結果、毎回、5plの値が得られた。つまり、第1のヒータ12でのみ吐出させた場合と第2のヒータ41でのみ吐出させた場合の合計の吐出量であり、従来のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせなくても設計値通りの吐出量が安定して得られるばかりでなく、インクの吐出量の段階を増やすことが可能であった。
A second heater 41 having the same material and an area of 1 / 2.5 of the first heater 12 is formed in the second ink channel 11b, and the first and second ink channels 11a, 11a, As shown in FIG. 10, using the inkjet recording head of Example 3 in which the flow path cross-sectional area of 11b is equal, a voltage is applied only to the second heater 41, the ink is foamed 42, and the ejected ink droplet 43 As a result, the amount was 1.5 pl.
On the other hand, as shown in FIG. 11, the voltage was applied only to the first heater 12 and the amount of the ink droplet 45 in which the ink was foamed 44 was measured and found to be 3 pl.
Further, as shown in FIG. 12, the first heater 12 and the second heater 41 are simultaneously driven with the same voltage waveform without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the conventional example. As a result of measuring the amount of the ejected ink droplet 46 including reproducibility by ejecting ink by the foam 44 by the first heater 12 and the foam 42 by the second heater 41, a value of 5 pl was obtained each time. That is, it is the total discharge amount when discharged only by the first heater 12 and when discharged only by the second heater 41, and is designed without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the prior art. In addition to the stable ejection amount being obtained, it was possible to increase the level of ink ejection amount.

一方、比較のため、共通液室10からインク吐出口15へ至るインク流を並列にしない構成、つまり、第1,第2のヒータ12,41間に流路隔壁14を形成しない従来のインクジェット記録ヘッドの構成において、同様の測定を行なった結果、発泡した時の干渉によって吐出したインクの量は1.2〜2倍であり、測定によってバラツキを生じた。   On the other hand, for comparison, conventional ink jet recording in which the ink flow from the common liquid chamber 10 to the ink discharge port 15 is not parallel, that is, the flow path partition 14 is not formed between the first and second heaters 12 and 41. As a result of performing the same measurement in the configuration of the head, the amount of ink ejected due to interference when foaming was 1.2 to 2 times, and variation was caused by the measurement.

図13は実施例4のインクジェット記録ヘッドを示す図で、図13(A)は平面断面図、図13(B)は図13(A)のA−A′断面図である。
実施例4のインクジェット記録ヘッドは、実施例3のインクジェット記録ヘッドよりも吐出するインク量の可変範囲を広げることができるようにしたものである。
共通液室10からインク吐出口15に至るインク流に対して並列のインク流をなすインク流路部分、つまり第1のインク流路11a、第2のインク流路11bからなるインク流路11が形成されている構成であり、インク流路の流路断面積についてみると、第1のインク流路11aよりも小さい第2のインク流路11bを形成し、第1のインク流路11a内に第1の電気熱変換体である第1のヒータ12と第2のインク流路11b内に第2の電気熱変換体である第2のヒータ51を各々形成する。これらは互いに独立して駆動可能なヒータである。この時、第1のヒータ12の面積は第2のヒータ51の面積の2倍に形成した。
13A and 13B are diagrams showing the ink jet recording head of Example 4. FIG. 13A is a cross-sectional plan view, and FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.
The ink jet recording head of Example 4 can expand the variable range of the amount of ink ejected compared to the ink jet recording head of Example 3.
An ink flow path portion that forms a parallel ink flow with respect to the ink flow from the common liquid chamber 10 to the ink discharge port 15, that is, the ink flow path 11 including the first ink flow path 11a and the second ink flow path 11b. In terms of the flow path cross-sectional area of the ink flow path, the second ink flow path 11b smaller than the first ink flow path 11a is formed, and the first ink flow path 11a is formed in the first ink flow path 11a. A first heater 12 that is a first electrothermal converter and a second heater 51 that is a second electrothermal converter are respectively formed in the second ink flow path 11b. These are heaters that can be driven independently of each other. At this time, the area of the first heater 12 was formed to be twice the area of the second heater 51.

第1,第2のヒータ12,51間には第1,第2のインク流路11a,11bを構成する流路隔壁14が設けられている。この時、流路隔壁14の中心線17とインク吐出口15の中心は一致するように配置されている。一方、各吐出口15のビット間の分離は吐出口隔壁16で行なっている。インクタンク(不図示)から供給されたインクは共通液室10に一時的に保持され、さらに毛管力により第1,第2のインク流路11a,11bへ浸入し、吐出口15でメニスカスを形成して第1,第2のインク流路11a,11bを満たした状態を保持する。この状態で第1のヒータ12と第2のヒータ51を駆動し、インクに熱エネルギーを与えることによりインクに急峻な体積変化(気泡の発泡)を起こさせ、この時発生する力によって吐出口15からインクが吐出される。第1,第2のヒータ12,51のインク吐出口15側には共通電極(不図示)が結線されるとともに、第1,第2のヒータ12,51の共通液室10側には個別電極(不図示)が結線されており、それぞれ独立して駆動することが可能である。   Between the first and second heaters 12 and 51, a flow path partition wall 14 constituting the first and second ink flow paths 11a and 11b is provided. At this time, the center line 17 of the flow path partition 14 and the center of the ink discharge port 15 are arranged to coincide. On the other hand, separation between the bits of each discharge port 15 is performed by the discharge port partition 16. Ink supplied from an ink tank (not shown) is temporarily held in the common liquid chamber 10, and further enters the first and second ink flow paths 11a and 11b by capillary force to form a meniscus at the discharge port 15. Thus, the state where the first and second ink flow paths 11a and 11b are filled is maintained. In this state, the first heater 12 and the second heater 51 are driven to give thermal energy to the ink, thereby causing a sudden volume change (bubble bubbling) in the ink. Ink is discharged from. A common electrode (not shown) is connected to the ink discharge port 15 side of the first and second heaters 12 and 51, and an individual electrode is connected to the common liquid chamber 10 side of the first and second heaters 12 and 51. (Not shown) are connected and can be driven independently.

実施例4のインクジェット記録ヘッドを用いて第1,第2のヒータ12,51を独立に駆動し、吐出するインクの量を実施例3のインクジェット記録ヘッドよりも広げる際の動作について説明する。
図14は第2のヒータを独立に駆動し、少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図14(A)は平面断面図、図14(B)は図14(A)のA−A′断面図である。
図15は第1のヒータを独立に駆動し、中間量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図15(A)は平面断面図、図15(B)は図15(A)のA−A′断面図である。
図16は第1,第2のヒータを同時に駆動し、多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図で、図16(A)は平面断面図、図16(B)は図16(A)のA−A′断面図である。
インク流路の流路断面積が第1のインク流路11aの1/2である第2のインク流路11bを形成し、第1のインク流路11a内に第1の電気熱変換体である第1のヒータ12と第2のインク流路11b内に第2の電気熱変換体である第2のヒータ51を各々形成し、第1のヒータ12の面積は第2のヒータ51の面積の2倍とした。
The operation when the first and second heaters 12 and 51 are independently driven using the ink jet recording head of the fourth embodiment and the amount of ink to be ejected is larger than that of the ink jet recording head of the third embodiment will be described.
FIGS. 14A and 14B are views showing a state in which the second heater is driven independently to eject a small amount of ink droplets. FIG. 14A is a cross-sectional plan view, and FIG. 14B is a diagram of FIG. It is AA 'sectional drawing.
FIGS. 15A and 15B are diagrams showing a state in which the first heater is driven independently to eject an intermediate amount of ink droplets. FIG. 15A is a cross-sectional plan view, and FIG. 15B is a diagram in FIG. It is AA 'sectional drawing.
FIGS. 16A and 16B are diagrams showing a state in which the first and second heaters are simultaneously driven to eject a large amount of ink droplets. FIG. 16A is a plan cross-sectional view, and FIG. It is AA 'sectional drawing of).
A second ink channel 11b having a channel cross-sectional area of the ink channel that is 1/2 that of the first ink channel 11a is formed, and the first electrothermal transducer is formed in the first ink channel 11a. A second heater 51, which is a second electrothermal converter, is formed in each of the first heater 12 and the second ink flow path 11b, and the area of the first heater 12 is the area of the second heater 51. 2 times.

このようなインクジェット記録ヘッドで、図14に示すように、第2のヒータ51のみに電圧を印加し、インクを発泡54させ、吐出させたインク滴55の量を測定した結果、1plであった。
一方、図15に示すように、第1のヒータ12のみに電圧を印加し、インクを発泡56させ、インク滴57の量を測定した結果、4plであった。
更に、図16に示すように、第1のヒータ12と第2のヒータ51を、従来例のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせることなしに、同時に同一の電圧波形で駆動し、第1のヒータ12の発泡56と第2のヒータ51の発泡54によってインクを吐出させて吐出させたインク滴58の量を再現性を含めて測定した結果、毎回、5plの値が得られ、第1のヒータ12でのみ吐出させた場合と第2のヒータ51でのみ吐出させた場合の合計の吐出量が得られた。つまり、実施例3よりも広範囲のインク吐出量を制御することが可能であるとともに、従来のように駆動する電圧波形のタイミングをシフトさせなくても設計値通りの吐出量が安定して得られ、インクの吐出量の範囲を増やすことが可能であった。
With such an ink jet recording head, as shown in FIG. 14, the voltage was applied only to the second heater 51, the ink was caused to foam 54, and the amount of ejected ink droplets 55 was measured. .
On the other hand, as shown in FIG. 15, when a voltage was applied only to the first heater 12 to cause the ink to foam 56 and the amount of the ink droplets 57 was measured, the result was 4 pl.
Further, as shown in FIG. 16, the first heater 12 and the second heater 51 are simultaneously driven with the same voltage waveform without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the conventional example. As a result of measuring the amount of ink droplets 58 ejected by the foam 56 of the first heater 12 and the foam 54 of the second heater 51 including reproducibility, a value of 5 pl was obtained each time. A total discharge amount was obtained when the discharge was performed only by the first heater 12 and the discharge was performed only by the second heater 51. In other words, it is possible to control the ink discharge amount in a wider range than in the third embodiment, and the discharge amount as designed can be stably obtained without shifting the timing of the voltage waveform to be driven as in the prior art. It was possible to increase the range of ink discharge amount.

次に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを搭載した実施例5のインクジェット記録装置について説明する。
図17は実施例5のインクジェット記録装置を示す斜視図、図18は同インクジェット記録装置の機構部を示す側面断明図である。
実施例5のインクジェット記録装置は、記録装置本体61の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ73、キャリッジ73に搭載した実施例1〜4のインクジェット記録ヘッドからなる記録ヘッド74、記録ヘッド74へインクを供給するインクカートリッジ75等で構成される印字機構部62等を収納し、装置本体61の下方部には前方側から多数枚の用紙63を積載可能な給紙カセット(或いは、給紙トレイでもよい。)64を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙63を手差しで給紙するための手差しトレイ65を開倒することができ、給紙カセット64或いは手差しトレイ65から給送される用紙63を取り込み、印字機構部62によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ66に排紙する。
Next, an ink jet recording apparatus of Example 5 equipped with the ink jet recording head according to the present invention will be described.
FIG. 17 is a perspective view showing an ink jet recording apparatus of Example 5, and FIG. 18 is a side cutaway view showing a mechanism part of the ink jet recording apparatus.
The ink jet recording apparatus according to the fifth embodiment includes a carriage 73 that can move in the main scanning direction inside the recording apparatus main body 61, a recording head 74 that includes the ink jet recording head according to the first to fourth embodiments mounted on the carriage 73, and the recording head 74. A paper feed cassette (or a paper feed tray) that accommodates a printing mechanism 62 or the like composed of an ink cartridge 75 that supplies ink and can stack a large number of sheets 63 from the front side in the lower part of the apparatus main body 61. It is also possible to insert and unload 64. Also, the manual feed tray 65 for manually feeding the paper 63 can be opened and fed from the paper feed cassette 64 or the manual feed tray 65. The paper 63 to be taken in is recorded, and a required image is recorded by the printing mechanism 62, and then discharged onto a paper discharge tray 66 mounted on the rear side.

印字機構部62は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド71と従ガイドロッド72とでキャリッジ73を主走査方向(図18で紙面垂直方向)に摺動自在に保持し、このキャリッジ73にはイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する本発明の実施例1〜4に係るインクジェット記録ヘッドからなる記録ヘッド74を複数のインク吐出口(ノズル)を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ73には記録ヘッド74に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ75を交換可能に装着している。インクカートリッジ75は上方に大気と連通する大気口、下方には記録ヘッド74へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により記録ヘッド74へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッド74として、ここでは各色のヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。   The printing mechanism 62 holds the carriage 73 slidably in the main scanning direction (the direction perpendicular to the paper in FIG. 18) with a main guide rod 71 and a sub guide rod 72 which are guide members horizontally mounted on left and right side plates (not shown). The carriage 73 is formed of an ink jet recording head according to Embodiments 1 to 4 of the invention that ejects ink droplets of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (Bk). The head 74 is mounted with a plurality of ink ejection openings (nozzles) arranged in a direction crossing the main scanning direction, and the ink droplet ejection direction is directed downward. In addition, each ink cartridge 75 for supplying ink of each color to the recording head 74 is replaceably mounted on the carriage 73. The ink cartridge 75 has an air port that communicates with the atmosphere above, a supply port that supplies ink to the recording head 74 below, and a porous body filled with ink inside. The ink supplied to the recording head 74 by the force is maintained at a slight negative pressure. In addition, although the heads of the respective colors are used here as the recording head 74, a single head having nozzles for ejecting ink droplets of the respective colors may be used.

ここで、キャリッジ73は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド71に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド72に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ73を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ77で回転駆動される駆動プーリ78と従動プーリ79との間にタイミングベルト80を張装し、このタイミングベルト80をキャリッジ73に固定しており、主走査モータ77の正逆回転によりキャリッジ73が往復駆動される。   Here, the carriage 73 is slidably fitted on the main guide rod 71 on the rear side (downstream side in the paper conveyance direction), and is slidably mounted on the sub guide rod 72 on the front side (upstream side in the paper conveyance direction). doing. In order to move and scan the carriage 73 in the main scanning direction, a timing belt 80 is stretched between a driving pulley 78 and a driven pulley 79 that are rotationally driven by a main scanning motor 77, and the timing belt 80 is moved to the carriage 73. The carriage 73 is reciprocally driven by forward and reverse rotations of the main scanning motor 77.

一方、給紙カセット64にセットした用紙63を記録ヘッド74の下方側に搬送するために、給紙カセット64から用紙63を分離給装する給紙ローラ81及びフリクションパッド82と、用紙63を案内するガイド部材83と、給紙された用紙63を反転させて搬送する搬送ローラ84と、この搬送ローラ84の周面に押し付けられる搬送コロ85及び搬送ローラ84からの用紙63の送り出し角度を規定する先端コロ86とを設けている。搬送ローラ84は副走査モータ87によってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ73の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ84から送り出された用紙63を記録ヘッド74の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材89を設けている。この印写受け部材89の用紙搬送方向下流側には、用紙63を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ91、拍車92を設け、さらに用紙63を排紙トレイ66に送り出す排紙ローラ93及び拍車94と、排紙経路を形成するガイド部材95,96とを配設している。   On the other hand, in order to convey the sheet 63 set in the sheet feed cassette 64 to the lower side of the recording head 74, the sheet feed roller 81 and the friction pad 82 for separating and feeding the sheet 63 from the sheet feed cassette 64 and the sheet 63 are guided. A guide member 83 for conveying, a conveyance roller 84 for conveying the fed sheet 63 in a reversed manner, a conveyance roller 85 pressed against the peripheral surface of the conveyance roller 84, and a feeding angle of the sheet 63 from the conveyance roller 84. A tip roller 86 is provided. The transport roller 84 is rotationally driven by a sub-scanning motor 87 through a gear train. A printing receiving member 89 is provided as a paper guide member that guides the paper 63 fed from the transport roller 84 on the lower side of the recording head 74 corresponding to the movement range of the carriage 73 in the main scanning direction. A conveyance roller 91 and a spur 92 that are rotationally driven to send out the paper 63 in the paper discharge direction are provided on the downstream side of the printing receiving member 89 in the paper conveyance direction, and the paper 63 is further delivered to the paper discharge tray 66. A roller 93 and a spur 94, and guide members 95 and 96 that form a paper discharge path are disposed.

記録時には、キャリッジ73を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド74を駆動することにより、停止している用紙63にインクを吐出して1行分を記録し、用紙63を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙63の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙63を排紙する。また、キャリッジ73の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド74の吐出不良を回復するための回復装置97を配置している。回復装置97はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ73は印字待機中にはこの回復装置97側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド74がキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中等に記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。   At the time of recording, the recording head 74 is driven according to the image signal while moving the carriage 73, thereby ejecting ink onto the stopped sheet 63 to record one line. Record the line. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the sheet 63 has reached the recording area, the recording operation is terminated and the sheet 63 is discharged. Further, a recovery device 97 for recovering defective ejection of the recording head 74 is disposed at a position outside the recording area on the right end side in the movement direction of the carriage 73. The recovery device 97 includes a cap unit, a suction unit, and a cleaning unit. The carriage 73 is moved to the recovery device 97 side during printing standby, and the recording head 74 is capped by the capping unit, and the ejection port portion is kept in a wet state to prevent ejection failure due to ink drying. Further, by ejecting ink that is not related to recording during recording or the like, the ink viscosity of all the ejection ports is made constant and stable ejection performance is maintained.

吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド74の吐出口(ノズル)を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜(不図示)に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。   In the case where a discharge failure occurs, the discharge port (nozzle) of the recording head 74 is sealed with a capping unit, and bubbles and the like are sucked out from the discharge port with the suction unit through the tube. Etc. are removed by the cleaning means, and the ejection failure is recovered. Further, the sucked ink is discharged to a waste ink reservoir (not shown) installed at the lower part of the main body and absorbed and held by an ink absorber inside the waste ink reservoir.

このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。   As described above, since the inkjet head embodying the present invention is mounted in this inkjet recording apparatus, there is no ink droplet ejection failure due to vibration plate drive failure, stable ink droplet ejection characteristics are obtained, and image quality is improved. improves.

なお、実施例1〜5においては、本発明をインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置に適用したが、インク以外の液、例えばパターニング用の液体レジストやDNAを吐出する液吐出ヘッドにも適用することできる。   In the first to fifth embodiments, the present invention is applied to the ink jet recording head and the ink jet recording apparatus. However, the present invention can also be applied to a liquid ejection head that ejects a liquid other than ink, for example, a liquid resist for patterning or DNA. .

実施例1のインクジェット記録ヘッドを示す図である。1 is a diagram illustrating an ink jet recording head of Example 1. FIG. 第1のヒータを独立に駆動し、相対的に少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 1st heater independently and discharging a relatively small amount of ink droplets. 第1,第2のヒータを同時に駆動し、相対的に多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode at the time of driving a 1st, 2nd heater simultaneously, and discharging a comparatively large amount of ink droplets. 吐出口を基板面と同じ面に形成して、インクの吐出方向を基板面から垂直方向としたインクジェット記録ヘッドの例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of an ink jet recording head in which ejection ports are formed on the same surface as a substrate surface and the ink ejection direction is a direction perpendicular to the substrate surface. 実施例2のインクジェット記録ヘッドを示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an ink jet recording head of Example 2. 第2のヒータを独立に駆動し、少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 2nd heater independently and discharging a small amount of ink droplets. 第1のヒータを独立に駆動し、中間量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 1st heater independently and discharging an intermediate amount of ink droplets. 第1,第2のヒータを同時に駆動し、多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode at the time of driving a 1st, 2nd heater simultaneously, and discharging a large amount of ink droplets. 実施例3のインクジェット記録ヘッドを示す図である。6 is a diagram illustrating an inkjet recording head of Example 3. FIG. 第2のヒータを独立に駆動し、少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 2nd heater independently and discharging a small amount of ink droplets. 第1のヒータを独立に駆動し、中間量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 1st heater independently and discharging an intermediate amount of ink droplets. 第1,第2のヒータを同時に駆動し、多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode at the time of driving a 1st, 2nd heater simultaneously, and discharging a large amount of ink droplets. 実施例4のインクジェット記録ヘッドを示す図である。6 is a diagram illustrating an inkjet recording head of Example 4. FIG. 第2のヒータを独立に駆動し、少量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 2nd heater independently and discharging a small amount of ink droplets. 第1のヒータを独立に駆動し、中間量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows a mode at the time of driving a 1st heater independently and discharging an intermediate amount of ink droplets. 第1,第2のヒータを同時に駆動し、多量のインク滴を吐出する際の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode at the time of driving a 1st, 2nd heater simultaneously, and discharging a large amount of ink droplets. 実施例5のインクジェット記録装置を示す斜視図である。6 is a perspective view showing an ink jet recording apparatus of Example 5. FIG. 実施例5のインクジェット記録装置の機構部を示す側面断明図である。FIG. 10 is a side cutaway view showing a mechanism part of the ink jet recording apparatus of Example 5.

符号の説明Explanation of symbols

11…インク流路、11a…第1のインク流路、11b…第2のインク流路、12…第1のヒータ、13,41,51…第2のヒータ、14…流路隔壁、15,22…吐出口、16…吐出口隔壁、17…(流路隔壁の)中心線、18,20,32,34,42,44,54,56…(インクの)発泡、19,21,33,35,43,45,46,55,57,58…インク滴、61…記録装置本体、62…印字機構部、63…用紙、64…給紙カセット、65…手差しトレイ、66…排紙トレイ、71…主ガイドロッド、72…従ガイドロッド、73…キャリッジ、74…記録ヘッド74、75…インクカートリッジ、77…主走査モータ、78…駆動プーリ、79…従動プーリ、80…タイミングベルト、81…給紙ローラ、82…フリクションパッド、83…ガイド部材、84…搬送ローラ、85…搬送コロ、86…先端コロ、87…副走査モータ、89…印写受け部材、91…搬送コロ、92…拍車、93…排紙ローラ、94…拍車、95,96…ガイド部材、97…回復装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Ink flow path, 11a ... 1st ink flow path, 11b ... 2nd ink flow path, 12 ... 1st heater, 13, 41, 51 ... 2nd heater, 14 ... Flow path partition, 15, 22 ... discharge port, 16 ... discharge port partition, 17 ... center line (of the flow channel partition), 18, 20, 32, 34, 42, 44, 54, 56 ... (ink) foaming, 19, 21, 33, 35, 43, 45, 46, 55, 57, 58 ... ink droplets, 61 ... recording device main body, 62 ... printing mechanism, 63 ... paper, 64 ... paper feed cassette, 65 ... manual feed tray, 66 ... paper discharge tray, 71: Main guide rod, 72: Sub guide rod, 73: Carriage, 74: Recording head 74, 75 ... Ink cartridge, 77 ... Main scanning motor, 78 ... Drive pulley, 79 ... Drive pulley, 80 ... Timing belt, 81 ... Feed roller, 82 ... free 83 ... guide member, 84 ... conveying roller, 85 ... conveying roller, 86 ... front end roller, 87 ... sub-scanning motor, 89 ... printing receiving member, 91 ... conveying roller, 92 ... spur, 93 ... discharge roller 94 ... Spurs, 95, 96 ... Guide members, 97 ... Recovery device.

Claims (6)

共通液室からインクが供給されるインク流路と、該インク流路内に設けられた電気熱変換体からなり、該電気熱変換体の発熱によってインクを発泡させ吐出口からインクを吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記電気熱変換体は1つのインク吐出口に対して複数設けられ、前記インク流路は前記共通液室から前記吐出口に至り前記電気熱変換体が形成されている並列のインク流路部分からなることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
An ink jet comprising an ink flow path to which ink is supplied from a common liquid chamber and an electrothermal converter provided in the ink flow path, wherein the ink is foamed by the heat generated by the electrothermal converter and the ink is discharged from a discharge port. In the recording head,
A plurality of the electrothermal converters are provided for one ink discharge port, and the ink flow path extends from the common liquid chamber to the discharge port from a parallel ink flow path portion where the electrothermal converter is formed. An ink jet recording head.
請求項1記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記共通液室から前記吐出口に至る前記インク流路の中心線と前記インク吐出口の中心は、一致することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
The ink jet recording head according to claim 1.
An ink jet recording head, wherein a center line of the ink flow path from the common liquid chamber to the discharge port coincides with a center of the ink discharge port.
請求項1または2記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記並列のインク流路部分のそれぞれの断面積は、互いに異なることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
The inkjet recording head according to claim 1 or 2,
An ink jet recording head, wherein the parallel ink flow path portions have different cross-sectional areas.
請求項1乃至3いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記並列のインク流路部分に形成されている前記電気熱変換体のそれぞれの発熱量は、互いに異なることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
The inkjet recording head according to any one of claims 1 to 3,
An ink jet recording head according to claim 1, wherein each of the electrothermal transducers formed in the parallel ink flow path portions has different heat generation amounts.
請求項1乃至4いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記並列のインク流路部分に含まれる前記電気熱変換体のそれぞれの面積は、互いに異なることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
The inkjet recording head according to any one of claims 1 to 4,
An ink jet recording head according to claim 1, wherein areas of the electrothermal transducers included in the parallel ink flow path portions are different from each other.
請求項1乃至5いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。   An ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head according to claim 1.
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