JP2005302774A - Method of manufacturing multilayered ceramic electronic component - Google Patents

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博道 徳田
Takeshi Tatsukawa
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a multilayered ceramic electronic component which can improve the productivity without causing any printing dirt at the time of printing a conductive paste or ceramic paste on a carrier film. <P>SOLUTION: The conductive paste is printed on the carrier film 17. Then, the conductive paste is crimped and transferred onto a ceramic green sheet 11. This process is repeated to form a coil conductor pattern 15. On top of the ceramic green sheet 11 formed with the coil pattern 15, another ceramic green sheet is stacked to form a laminate. Then, the laminate is burned. At least a portion of the carrier film 17 where the conductive paste is printed consists of a porous film. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、積層セラミック電子部品、特に、積層インダクタ、積層コンデンサ、LやCを含む積層複合電子部品、セラミック多層基板などの積層セラミック電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, in particular, a multilayer inductor, a multilayer capacitor, a multilayer composite electronic component including L and C, and a multilayer ceramic electronic component such as a ceramic multilayer substrate.

従来、積層インダクタや積層コンデンサは、特許文献1,2に記載されているように、キャリアフィルム上に所定形状に印刷したセラミックペーストや導電性ペーストをセラミックシート上に転写し、この転写済みセラミックシートを他のセラミックシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成することで製造していた。   Conventionally, as described in Patent Documents 1 and 2, multilayer inductors and multilayer capacitors are obtained by transferring a ceramic paste or conductive paste printed in a predetermined shape on a carrier film onto a ceramic sheet, and transferring the transferred ceramic sheet. Are laminated together with other ceramic sheets to form a laminate, and the laminate is fired.

キャリアフィルム上に導電性ペーストやセラミックペーストを塗布するとき、一般的にはスクリーン印刷法を採用しているが、印刷汚れが発生しやすいという問題点を生じていた。その原因は、キャリアフィルムとしては平滑なポリエチレンテレフタレート樹脂などからなるため、ペーストに含まれている溶剤が残存して乾きにくく、この溶剤が印刷時に印刷版の裏側に回り込み、糸引き状の印刷汚れが発生するのである。それゆえ、連続印刷性が悪く、生産性が低下する要因となっていた。
特開2001−358018号公報 特開2000−315618号公報
When applying a conductive paste or a ceramic paste on a carrier film, a screen printing method is generally adopted, but there is a problem that printing stains are likely to occur. The cause is that the carrier film is made of a smooth polyethylene terephthalate resin, etc., so the solvent contained in the paste remains and does not dry easily. Will occur. For this reason, continuous printability is poor and productivity is reduced.
JP 2001-358018 A JP 2000-315618 A

そこで、本発明の目的は、導電性ペーストやセラミックペーストをキャリアシート上に印刷する際に印刷汚れを生じることなく、生産性の向上を図ることのできる積層セラミック電子部品の製造方法を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component capable of improving productivity without causing printing stains when printing a conductive paste or a ceramic paste on a carrier sheet. It is in.

前記目的を達成するため、第1の発明は、キャリアフィルム上に導電性ペーストを印刷する工程と、前記キャリアフィルム上に印刷された導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に転写する工程と、前記セラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成する工程とを含む積層セラミック電子部品の製造方法であって、前記キャリアフィルムは少なくとも導電性ペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムからなることを特徴とする。   In order to achieve the object, the first invention includes a step of printing a conductive paste on a carrier film, a step of transferring the conductive paste printed on the carrier film onto a ceramic green sheet, and the ceramic A method for producing a laminated ceramic electronic component comprising: a step of laminating a green sheet together with another ceramic green sheet to form a laminated body, and firing the laminated body, wherein the carrier film is printed with at least a conductive paste The surface portion is made of a porous film.

また、第2の発明は、キャリアフィルム上にセラミックペーストを印刷する工程と、前記キャリアフィルム上に印刷されたセラミックペーストをセラミックグリーンシート上に転写する工程と、前記セラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成する工程とを含む積層セラミック電子部品の製造方法であって、前記キャリアフィルムは少なくともセラミックペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムからなることを特徴とする。   The second invention includes a step of printing a ceramic paste on a carrier film, a step of transferring the ceramic paste printed on the carrier film onto a ceramic green sheet, and the ceramic green sheet as another ceramic green. A laminated ceramic electronic component including a step of laminating together with a sheet to form a laminated body and firing the laminated body, wherein the carrier film has at least a surface portion on which a ceramic paste is printed from a porous film. It is characterized by becoming.

また、第3の発明は、キャリアフィルム上に導電性ペースト及びセラミックペーストを印刷する工程と、前記キャリアフィルム上に印刷された導電性ペースト及びセラミックペーストをセラミックグリーンシート上に転写する工程と、前記セラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成する工程とを含む積層セラミック電子部品の製造方法であって、前記キャリアフィルムは少なくとも導電性ペースト及びセラミックペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムからなることを特徴とする。   The third invention includes a step of printing a conductive paste and a ceramic paste on a carrier film, a step of transferring the conductive paste and the ceramic paste printed on the carrier film onto a ceramic green sheet, A method for producing a laminated ceramic electronic component comprising: laminating a ceramic green sheet together with other ceramic green sheets to form a laminate, and firing the laminate, wherein the carrier film comprises at least a conductive paste and a ceramic The surface portion on which the paste is printed is made of a porous film.

以上の本願発明において、キャリアフィルムは少なくとも印刷面部分が多孔質フィルムからなるため、印刷された導電性ペーストあるいはセラミックペーストに含まれている溶剤が印刷面部分の孔に吸収され、ペーストの乾燥が速まり、印刷版の裏面に回り込むなどの糸引き現象がなくなる。それゆえ、連続印刷が可能となり、生産性が向上する。   In the above invention of the present application, since at least the printing surface portion of the carrier film is made of a porous film, the solvent contained in the printed conductive paste or ceramic paste is absorbed by the holes in the printing surface portion, and the paste is dried. Faster and eliminates stringing phenomena such as wrapping around the back of the printing plate. Therefore, continuous printing is possible and productivity is improved.

本願発明において、前記キャリアフィルムは多孔質フィルムからなる層と無孔フィルムからなる層との少なくとも2層から構成されていてもよい。   In the present invention, the carrier film may be composed of at least two layers of a layer made of a porous film and a layer made of a nonporous film.

また、導電性ペーストは粒径1〜3μmの導電性粉末を含むものを使用することが好ましい。セラミックペーストは粒径1〜3μmのガラス粉末を含む非磁性体ペースト、あるいは、粒径0.5〜3μmのセラミック粉末を含む磁性体ペーストを使用することが好ましい。   Moreover, it is preferable to use the conductive paste containing conductive powder having a particle size of 1 to 3 μm. The ceramic paste is preferably a non-magnetic paste containing glass powder having a particle size of 1 to 3 μm or a magnetic paste containing ceramic powder having a particle size of 0.5 to 3 μm.

以下、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法の実施例について添付図面を参照して説明する。   Embodiments of a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

(積層セラミック電子部品、図1参照)
図1に、本発明によって製造された積層セラミック電子部品(積層インダクタ)を示す。この積層インダクタ1は、直方体形状のセラミック積層体2内にコイル5を内蔵したもので、該コイル5の端部5a,5aは積層体2の両端部に設けた外部電極9,9と電気的に接続されている。
(Multilayer ceramic electronic components, see Fig. 1)
FIG. 1 shows a multilayer ceramic electronic component (multilayer inductor) manufactured according to the present invention. The multilayer inductor 1 includes a coil 5 built in a rectangular parallelepiped ceramic multilayer body 2, and ends 5 a and 5 a of the coil 5 are electrically connected to external electrodes 9 and 9 provided at both ends of the multilayer body 2. It is connected to the.

セラミック積層体2は、多数枚の磁性体セラミックグリーンシートあるいは誘電体セラミックグリーンシートを積層し、焼成したものである。コイル5は、ビアホール7によって電気的に接続されたコイル導体パターン15,16にて構成され、以下に説明するように、セラミックグリーンシート上に転写されたものである。   The ceramic laminate 2 is obtained by laminating and firing a large number of magnetic ceramic green sheets or dielectric ceramic green sheets. The coil 5 is composed of coil conductor patterns 15 and 16 electrically connected by via holes 7, and is transferred onto a ceramic green sheet as described below.

(第1実施例、図2〜図5参照)
前記積層インダクタ1を製造するための第1実施例を説明する。この積層インダクタ1は、図2に示すように、下部外層となるセラミックグリーンシート11上に、コイル導体パターン(導電性ペースト)15を順次転写して積み重ね、ビアホール7を形成したセラミックグリーンシート12を介して、さらに、コイル導体パターン(導電性ペースト)16を順次転写して積み重ね、その上に上部外層となるセラミックグリーンシート13を積層したものである。
(Refer to the first embodiment, FIGS. 2 to 5)
A first embodiment for manufacturing the multilayer inductor 1 will be described. As shown in FIG. 2, the multilayer inductor 1 includes a ceramic green sheet 12 on which a via hole 7 is formed by sequentially transferring and stacking a coil conductor pattern (conductive paste) 15 on a ceramic green sheet 11 serving as a lower outer layer. Further, coil conductor patterns (conductive paste) 16 are sequentially transferred and stacked, and a ceramic green sheet 13 serving as an upper outer layer is laminated thereon.

コイル導体パターン15,16の形成、転写は以下の工程を経て行われる。即ち、図3に示すように、キャリアフィルム17を所定の塗布位置に供給してコイル導体パターン(導電性ペースト)15を印刷し、該導電性ペーストを既に積層されている下部外層となるセラミックグリーンシート11上に圧着、転写する。そして、キャリアフィルム17を剥離し、さらに、同様の工程にて順次4層(4層に限らないが)のコイル導体パターン(導電性ペースト)15を圧着、転写する。   The formation and transfer of the coil conductor patterns 15 and 16 are performed through the following steps. That is, as shown in FIG. 3, a carrier film 17 is supplied to a predetermined application position, a coil conductor pattern (conductive paste) 15 is printed, and the ceramic green serving as a lower outer layer on which the conductive paste is already laminated. Crimp and transfer onto the sheet 11. Then, the carrier film 17 is peeled off, and further, four layers (not limited to four layers) of the coil conductor pattern (conductive paste) 15 are sequentially crimped and transferred in the same process.

次に、セラミックグリーンシート11及びコイル導体パターン15上にビアホール7を有するセラミックグリーンシート12を圧着、積層する。さらに、セラミックグリーンシート12上に、前記同様にキャリアフィルム17上に印刷したコイル導体パターン(導電性ペースト)16を順次圧着、転写し、所定層数からなるコイル導体パターン16を積層する。その後、その上に上部外層となる所定枚数のセラミックグリーンシート13を圧着、積層する。これにてセラミック積層体2が形成され、該積層体2は所定の温度で焼成される。   Next, the ceramic green sheet 12 having the via hole 7 is pressed and laminated on the ceramic green sheet 11 and the coil conductor pattern 15. Further, a coil conductor pattern (conductive paste) 16 printed on the carrier film 17 in the same manner as described above is sequentially crimped and transferred onto the ceramic green sheet 12, and the coil conductor pattern 16 having a predetermined number of layers is laminated. Thereafter, a predetermined number of ceramic green sheets 13 to be the upper outer layer are pressure-bonded and laminated thereon. Thus, the ceramic laminate 2 is formed, and the laminate 2 is fired at a predetermined temperature.

以上の製造工程において、キャリアフィルム17は少なくとも導電性ペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムから構成されている。このキャリアフィルム17は多孔質フィルムからなる層と無孔フィルムからなる層との少なくとも2層から構成されていてもよい。   In the manufacturing process described above, the carrier film 17 is formed of a porous film at least on the surface portion on which the conductive paste is printed. The carrier film 17 may be composed of at least two layers of a layer made of a porous film and a layer made of a nonporous film.

多孔質フィルムの材料としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)や超高分子ポリエチレンなどを好適に用いることができる。そして、キャリアフィルム17は少なくとも印刷面部分が多孔質フィルムからなるため、印刷された導電性ペーストに含まれている溶剤が印刷面部分の孔に吸収され、該ペーストの乾燥が速まることになり、該ペーストが印刷版の裏面に回り込むなどの糸引き現象が解消される。それゆえ、連続印刷が可能となり、積層インダクタ1の生産性が向上する。   As a material for the porous film, polytetrafluoroethylene (PTFE), ultrahigh molecular weight polyethylene, or the like can be suitably used. And since the carrier film 17 is made of a porous film at least on the printing surface portion, the solvent contained in the printed conductive paste is absorbed into the holes in the printing surface portion, and the drying of the paste is accelerated. The stringing phenomenon such that the paste wraps around the back side of the printing plate is eliminated. Therefore, continuous printing is possible, and the productivity of the multilayer inductor 1 is improved.

なお、キャリアフィルム17の微小孔はその厚み方向に延在する孔であってもよく、繊維を編み込んだ様な孔であってもよく、あるいは、スポンジや軽石に形成されている網目状の孔であってもよく、その形状、構成は任意である。また、導電性ペーストの印刷はスクリーン印刷法を採用したがこれに限定するものではない。   The microholes of the carrier film 17 may be holes extending in the thickness direction, may be holes knitted with fibers, or mesh-like holes formed in a sponge or pumice stone. The shape and configuration thereof are arbitrary. Moreover, although the screen printing method was employ | adopted for printing of the electrically conductive paste, it is not limited to this.

本第1実施例において、セラミックグリーンシート11,12,13としては、Ni−Cu・Zn系フェライトを使用した。また、コイル導体パターン15,16となる導電性ペーストとしては、粒径1〜3μmのAg粉末を主成分とし、溶剤としてブチルカルビトールを添加し、さらに、エトセル樹脂を添加したものを使用した。   In the first embodiment, Ni—Cu · Zn-based ferrite was used as the ceramic green sheets 11, 12, and 13. Moreover, as the conductive paste for forming the coil conductor patterns 15 and 16, a paste containing Ag powder having a particle size of 1 to 3 μm as a main component, butyl carbitol as a solvent, and further adding an ethosyl resin was used.

ここで、PTFEからなるキャリアフィルムの平均孔径及び気孔率と前記導電性ペーストの印刷滲み量との関係を本発明者らの実験に基づいて説明する。平均孔径とは略球状の空孔の平均径であり、気孔率とはフィルム全体の重量に対する空孔の重量%(有空孔フィルムの重量÷無空孔フィルムの重量)を意味する。   Here, the relationship between the average pore diameter and porosity of the carrier film made of PTFE and the amount of printing bleeding of the conductive paste will be described based on experiments by the inventors. The average pore diameter is the average diameter of substantially spherical pores, and the porosity means the weight percent of the pores with respect to the total weight of the film (weight of the porous film ÷ weight of the non-porous film).

平均孔径と印刷滲み量との関係は図4に示すとおりであり、滲み量が20μm以下の場合を良と評価した。従って、平均孔径は約110μm以下であることが好ましく、より好ましくは20〜60μmの範囲である。   The relationship between the average hole diameter and the amount of printing bleeding is as shown in FIG. 4, and the case where the amount of bleeding was 20 μm or less was evaluated as good. Accordingly, the average pore diameter is preferably about 110 μm or less, and more preferably in the range of 20 to 60 μm.

気孔率と印刷滲み量との関係は図5に示すとおりであり、滲み量が20μm以下の場合を良と評価した。従って、気孔率は約65%以下であることが好ましく、より好ましくは10〜45%の範囲である。   The relationship between the porosity and the print bleeding amount is as shown in FIG. 5, and the case where the bleeding amount is 20 μm or less was evaluated as good. Therefore, the porosity is preferably about 65% or less, and more preferably in the range of 10 to 45%.

(第2実施例、図6及び図7参照)
次に、前記積層インダクタ1を製造するための第2実施例を説明する。本第2実施例では、キャリアフィルム17上にコイル導体パターン15,16となる導電性ペースト及び段差解消用のセラミックシート14となるセラミックペーストを印刷し、順次積層する。
(Refer to the second embodiment, FIGS. 6 and 7)
Next, a second embodiment for manufacturing the multilayer inductor 1 will be described. In the second embodiment, a conductive paste to be the coil conductor patterns 15 and 16 and a ceramic paste to be the step-removing ceramic sheet 14 are printed on the carrier film 17 and sequentially laminated.

即ち、図7に示すように、キャリアフィルム17を所定の塗布位置に供給してコイル導体パターン(導電性ペースト)15及びセラミックシート(セラミックペースト)14を印刷し、図6に示すように、該導電性ペースト及びセラミックペーストを既に積層されている下部外層となるセラミックグリーンシート11上に圧着、転写する。そして、キャリアフィルム17を剥離し、さらに、同様の工程にて順次5層(5層に限らないが)のコイル導体パターン15及びセラミックシート14を圧着、転写する。   That is, as shown in FIG. 7, the carrier film 17 is supplied to a predetermined application position to print the coil conductor pattern (conductive paste) 15 and the ceramic sheet (ceramic paste) 14, and as shown in FIG. The conductive paste and the ceramic paste are pressure-bonded and transferred onto the ceramic green sheet 11 which is the lower outer layer already laminated. Then, the carrier film 17 is peeled off, and the coil conductor pattern 15 and the ceramic sheet 14 of five layers (not limited to five layers) are sequentially crimped and transferred in the same process.

次に、コイル導体パターン15及びセラミックシート14上にビアホール7を有するセラミックグリーンシート12を圧着、積層する。さらに、セラミックグリーンシート12上に、前記同様にキャリアフィルム17上に印刷したコイル導体パターン(導電性ペースト)16及びセラミックシート(セラミックペースト)14を順次圧着、積層し、所定層数からなるコイル導体パターン16及びセラミックシート14を積層する。その後、その上に上部外層となる所定枚数のセラミックグリーンシート13を圧着、転写する。これにてセラミック積層体2が形成され、該積層体2は所定の温度で焼成される。   Next, the ceramic green sheet 12 having the via hole 7 is pressed and laminated on the coil conductor pattern 15 and the ceramic sheet 14. Further, a coil conductor pattern (conductive paste) 16 and a ceramic sheet (ceramic paste) 14 printed on the carrier film 17 in the same manner as described above are sequentially pressed and laminated on the ceramic green sheet 12 to form a coil conductor having a predetermined number of layers. The pattern 16 and the ceramic sheet 14 are laminated. Thereafter, a predetermined number of ceramic green sheets 13 to be the upper outer layer are pressure-bonded and transferred thereon. Thus, the ceramic laminate 2 is formed, and the laminate 2 is fired at a predetermined temperature.

本第2実施例において、キャリアフィルム17、セラミックグリーンシート11,12,13及び導電性ペーストの材料は前記第1実施例と同様である。そして、段差解消用のセラミックシート14となるセラミックペーストとしては、粒径0.5〜3μmのセラミック粉末を主成分とし、溶剤としてテルピネオールを添加し、さらに、アクリル樹脂を添加した磁性体セラミックペーストを使用した。   In the second embodiment, the materials of the carrier film 17, the ceramic green sheets 11, 12, 13 and the conductive paste are the same as those in the first embodiment. And as a ceramic paste used as the ceramic sheet 14 for level | step difference elimination, the magnetic ceramic paste which added the terpineol as a solvent as a main component, the ceramic powder with a particle size of 0.5-3 micrometers, and also added the acrylic resin further used.

また、キャリアフィルム17を用いた本第2実施例の利点は、前記第1実施例と同様であって、導電性ペースト及び磁性体セラミックペーストのキャリアフィルム17への印刷時に印刷汚れを生じることが防止され、積層インダクタ1の生産性が向上する。   The advantage of the second embodiment using the carrier film 17 is the same as that of the first embodiment, and printing stains may occur when printing the conductive paste and the magnetic ceramic paste on the carrier film 17. Thus, the productivity of the multilayer inductor 1 is improved.

導電性ペーストに関するキャリアフィルム17の平均孔径及び気孔率と印刷滲み量との関係は図4及び図5を参照して説明したとおりである。磁性体セラミックペーストに関するキャリアフィルム17の平均孔径及び気孔率と印刷滲み量との関係も図4及び図5を参照して説明した実験結果とほぼ同様であった。   The relationship between the average pore diameter and porosity of the carrier film 17 relating to the conductive paste and the amount of printing bleeding is as described with reference to FIGS. The relationship between the average pore diameter and porosity of the carrier film 17 relating to the magnetic ceramic paste and the amount of printing bleeding was almost the same as the experimental results described with reference to FIGS.

なお、導電性ペースト及びセラミックペーストの印刷はスクリーン印刷法を採用したがこれに限定するものではなく、特にセラミックペーストはスキージによって塗布してもよい。   The printing of the conductive paste and the ceramic paste employs a screen printing method, but is not limited to this, and the ceramic paste may be applied with a squeegee.

(第3実施例、図8参照)
本第3実施例は図8に示すように積層型のコモンモードチョークコイル20の製造方法である。コモンモードチョークコイル20は、下部外層となるセラミックグリーンシート11上に、引出し導体パターン(導電性ペースト)25を転写すると共にセラミックシート31を転写し、さらに、コイル導体パターン26、セラミックシート32、コイル導体パターン27、セラミックシート33、引出し導体パターン28を順次転写して積み重ね、その上に上部外層となるセラミックグリーンシート13を積層したものである。
(Refer to the third embodiment, FIG. 8)
The third embodiment is a method of manufacturing a laminated common mode choke coil 20 as shown in FIG. The common mode choke coil 20 transfers the lead conductor pattern (conductive paste) 25 and the ceramic sheet 31 onto the ceramic green sheet 11 as the lower outer layer, and further transfers the coil conductor pattern 26, the ceramic sheet 32, the coil. The conductor pattern 27, the ceramic sheet 33, and the lead conductor pattern 28 are sequentially transferred and stacked, and the ceramic green sheet 13 serving as the upper outer layer is laminated thereon.

引出し導体パターン25とコイル導体パターン26とはセラミックシート31の開口31aを介して電気的に接続されている。引出し導体パターン28とコイル導体パターン27とはセラミックシート33の開口33aを介して電気的に接続されている。   The lead conductor pattern 25 and the coil conductor pattern 26 are electrically connected through the opening 31 a of the ceramic sheet 31. The lead conductor pattern 28 and the coil conductor pattern 27 are electrically connected through an opening 33 a of the ceramic sheet 33.

即ち、本第3実施例においては、引出し導体パターン25となる導電性ペーストを多孔質の前記キャリアフィルム17上に印刷して既に積層されている下部外層となるセラミックグリーンシート11上に圧着、転写する。そして、セラミックシート31となるセラミックペーストをキャリアフィルム17上に印刷してセラミックシート11及び引出し導体パターン25上に圧着、転写する。以下同様に、コイル導体パターン26となる導電性ペースト、セラミックシート32となるセラミックペースト、コイル導体パターン27となる導電性ペースト、及び、セラミックシート33となるセラミックペーストをそれぞれ前記キャリアフィルム17上に印刷して順次圧着、転写する。   That is, in the third embodiment, the conductive paste to be the lead conductor pattern 25 is printed on the porous carrier film 17 and pressed and transferred onto the ceramic green sheet 11 as the lower outer layer already laminated. To do. Then, a ceramic paste to be the ceramic sheet 31 is printed on the carrier film 17, and is pressed and transferred onto the ceramic sheet 11 and the drawn conductor pattern 25. Similarly, the conductive paste to be the coil conductor pattern 26, the ceramic paste to be the ceramic sheet 32, the conductive paste to be the coil conductor pattern 27, and the ceramic paste to be the ceramic sheet 33 are printed on the carrier film 17, respectively. Then press and transfer sequentially.

最後に、セラミックシート33及び引出し導体パターン28上に上部外層となる所定枚数のセラミックグリーンシート13を圧着、積層する。これにてセラミック積層体が形成され、該積層体は所定の温度で焼成される。   Finally, a predetermined number of ceramic green sheets 13 as an upper outer layer are pressure-bonded and laminated on the ceramic sheet 33 and the lead conductor pattern 28. Thus, a ceramic laminate is formed, and the laminate is fired at a predetermined temperature.

本第3実施例において、キャリアフィルム17、セラミックグリーンシート11,12,13及び導電性ペーストの材料は前記第1実施例と同様である。そして、セラミックシート31,32,33となるセラミックペーストとしては、粒径1〜3μmのガラス粉末を主成分とし、溶剤としてテルピネオールを添加し、さらに、アクリル樹脂を添加した非磁性体セラミックペーストを使用した。   In the third embodiment, the materials of the carrier film 17, the ceramic green sheets 11, 12, 13 and the conductive paste are the same as those in the first embodiment. And as a ceramic paste used as the ceramic sheets 31, 32, 33, the nonmagnetic ceramic paste which added glass powder with a particle size of 1-3 micrometers as a main component, added terpineol as a solvent, and also added acrylic resin is used. did.

また、キャリアフィルム17を用いた本第3実施例の利点は、前記第1及び第2実施例と同様であって、導電性ペースト及び非磁性体セラミックペーストのキャリアフィルム17への印刷時に印刷汚れを生じることが防止され、積層型のコモンモードチョークコイル20の生産性が向上する。   Further, the advantage of the third embodiment using the carrier film 17 is the same as that of the first and second embodiments, and printing stains occur when the conductive paste and the non-magnetic ceramic paste are printed on the carrier film 17. And the productivity of the laminated common mode choke coil 20 is improved.

導電性ペーストに関するキャリアフィルム17の平均孔径及び気孔率と印刷滲み量との関係は図4及び図5を参照して説明したとおりである。非磁性体セラミックペーストに関するキャリアフィルム17の平均孔径及び気孔率と印刷滲み量との関係も図4及び図5を参照して説明した実験結果とほぼ同様であった。   The relationship between the average pore diameter and porosity of the carrier film 17 relating to the conductive paste and the amount of printing bleeding is as described with reference to FIGS. The relationship between the average pore diameter and porosity of the carrier film 17 relating to the nonmagnetic ceramic paste and the amount of printing bleeding was almost the same as the experimental results described with reference to FIGS.

(他の実施例)
なお、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
(Other examples)
In addition, the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component which concerns on this invention is not limited to the said Example, It can change variously within the range of the summary.

たとえば、前記各実施例で説明した、導電性ペーストやセラミックペーストの材料やキャリアフィルム17の材料はあくまで一例である。また、コイル導体パターン15,16,26,27の形状などは任意であることは勿論である。   For example, the materials of the conductive paste and ceramic paste and the material of the carrier film 17 described in the above embodiments are merely examples. Of course, the shape of the coil conductor patterns 15, 16, 26, 27 is arbitrary.

さらに、本発明によって製造される積層セラミック電子部品としては、前記実施例に示した積層インダクタや積層型のコモンモードチョークコイルに限らず、積層コンデンサ、LやCを含む積層複合電子部品、セラミック多層基板など広範囲にわたる。   Furthermore, the multilayer ceramic electronic component manufactured according to the present invention is not limited to the multilayer inductor and multilayer common mode choke coil shown in the above embodiment, but also a multilayer capacitor, a multilayer composite electronic component including L and C, a ceramic multilayer Wide range of substrates.

本発明によって製造された積層セラミック電子部品を示し、(A)は外観斜視図、(B)は内部構造の斜視図である。The laminated ceramic electronic component manufactured by this invention is shown, (A) is an external appearance perspective view, (B) is a perspective view of an internal structure. 本発明に係る製造方法の第1実施例にて製造される電子部品の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the electronic component manufactured in 1st Example of the manufacturing method which concerns on this invention. 前記第1実施例における製造工程の要部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the principal part of the manufacturing process in the said 1st Example. 本発明に係る製造方法で使用されるキャリアフィルムの平均孔径と印刷滲み量の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the average hole diameter of the carrier film used with the manufacturing method which concerns on this invention, and the amount of printing bleeding. 本発明に係る製造方法で使用されるキャリアフィルムの気孔率と印刷滲み量の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the porosity of the carrier film used with the manufacturing method which concerns on this invention, and the amount of printing bleeding. 本発明に係る製造方法の第2実施例にて製造される電子部品の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the electronic component manufactured in 2nd Example of the manufacturing method which concerns on this invention. 前記第2実施例における製造工程の要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the manufacturing process in the said 2nd Example. 本発明に係る製造方法の第3実施例にて製造される電子部品の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the electronic component manufactured in 3rd Example of the manufacturing method which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層インダクタ
2…セラミック積層体
5…コイル
7…ビアホール
11,12,13…セラミックグリーンシート
14,31,32,33…セラミックシート(セラミックペースト)
15,16,26,27…コイル導体パターン(導電性ペースト)
17…キャリアフィルム
20…コモンモードチョークコイル
25,28…引出し導体パターン(導電性ペースト)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer inductor 2 ... Ceramic laminated body 5 ... Coil 7 ... Via hole 11, 12, 13 ... Ceramic green sheet 14, 31, 32, 33 ... Ceramic sheet (ceramic paste)
15, 16, 26, 27 ... Coil conductor pattern (conductive paste)
17 ... Carrier film 20 ... Common mode choke coil 25, 28 ... Lead-out conductor pattern (conductive paste)

Claims (7)

キャリアフィルム上に導電性ペーストを印刷する工程と、
前記キャリアフィルム上に印刷された前記導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に転写する工程と、
前記セラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成する工程と、
を含む積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記キャリアフィルムは少なくとも前記導電性ペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムからなること、
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
Printing a conductive paste on a carrier film;
Transferring the conductive paste printed on the carrier film onto a ceramic green sheet;
Laminating the ceramic green sheet together with other ceramic green sheets to form a laminate, and firing the laminate;
A method for producing a multilayer ceramic electronic component comprising:
The carrier film is formed of a porous film at least on the surface portion on which the conductive paste is printed;
A method for producing a multilayer ceramic electronic component characterized by the above.
キャリアフィルム上にセラミックペーストを印刷する工程と、
前記キャリアフィルム上に印刷された前記セラミックペーストをセラミックグリーンシート上に転写する工程と、
前記セラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成する工程と、
を含む積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記キャリアフィルムは少なくとも前記セラミックペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムからなること、
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
Printing ceramic paste on a carrier film;
Transferring the ceramic paste printed on the carrier film onto a ceramic green sheet;
Laminating the ceramic green sheet together with other ceramic green sheets to form a laminate, and firing the laminate;
A method for producing a multilayer ceramic electronic component comprising:
The carrier film has at least a surface portion on which the ceramic paste is printed composed of a porous film,
A method for producing a multilayer ceramic electronic component characterized by the above.
キャリアフィルム上に導電性ペースト及びセラミックペーストを印刷する工程と、
前記キャリアフィルム上に印刷された前記導電性ペースト及び前記セラミックペーストをセラミックグリーンシート上に転写する工程と、
前記セラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートと共に積層して積層体を形成し、該積層体を焼成する工程と、
を含む積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記キャリアフィルムは少なくとも前記導電性ペースト及び前記セラミックペーストが印刷される面部分が多孔質フィルムからなること、
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
Printing a conductive paste and a ceramic paste on a carrier film;
Transferring the conductive paste printed on the carrier film and the ceramic paste onto a ceramic green sheet;
Laminating the ceramic green sheet together with other ceramic green sheets to form a laminate, and firing the laminate;
A method for producing a multilayer ceramic electronic component comprising:
The carrier film is composed of a porous film at least on the surface portion on which the conductive paste and the ceramic paste are printed;
A method for producing a multilayer ceramic electronic component characterized by the above.
前記キャリアフィルムは多孔質フィルムからなる層と無孔フィルムからなる層との少なくとも2層から構成されていることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   4. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the carrier film is composed of at least two layers of a porous film layer and a non-porous film layer. Manufacturing method. 前記導電性ペーストは粒径1〜3μmの導電性粉末を含むことを特徴とする請求項1、請求項3又は請求項4に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the conductive paste contains a conductive powder having a particle diameter of 1 to 3 μm. 前記セラミックペーストは粒径1〜3μmのガラス粉末を含む非磁性体ペーストであることを特徴とする請求項2、請求項3又は請求項4に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   5. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2, wherein the ceramic paste is a non-magnetic paste containing glass powder having a particle diameter of 1 to 3 μm. 前記セラミックペーストは粒径0.5〜3μmのセラミック粉末を含む磁性体ペーストであることを特徴とする請求項2、請求項3又は請求項4に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   5. The method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2, wherein the ceramic paste is a magnetic paste containing a ceramic powder having a particle size of 0.5 to 3 [mu] m.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013089755A (en) * 2011-10-18 2013-05-13 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing ceramic electronic component

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013089755A (en) * 2011-10-18 2013-05-13 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing ceramic electronic component

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