JP2005299812A - Fluid-pressure actuator - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid-pressure actuator which curbs the vibrations of a rod so as to achieve an improvement in the durability thereof. <P>SOLUTION: The fluid-pressure actuator comprises a bearing 52 which is mounted in the second chamber R2 and supports a reciprocating rod 40 while permitting the vibrations of the rod 40, and an annular vibration preventing member 53 which is mounted in the second chamber R2 and absorbs the vibrations of the rod 40 by means of a plurality of convex portions 53b and 53c which are provided along the outer circumference of the rod 4 and contact with the rod 40. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、流体圧によるエネルギーを機械的エネルギーに変換する流体圧アクチュエータに関するものである。   The present invention relates to a fluid pressure actuator that converts energy generated by fluid pressure into mechanical energy.

従来、吸気制御弁,バタフライバルブ,ターボチャージャの過給圧を制御するウェイストゲートバルブなどの各種制御弁の駆動や、その他の駆動部品の駆動を行うために用いられる流体圧アクチュエータが知られている(例えば、特許文献1参照)。この種の流体アクチュエータとしては、例えば、図9に示すものがある。図9は従来例に係る流体圧アクチュエータの模式的断面図である。   Conventionally, fluid pressure actuators used for driving various control valves such as an intake control valve, a butterfly valve, a waste gate valve for controlling a supercharging pressure of a turbocharger, and other driving components are known. (For example, refer to Patent Document 1). An example of this type of fluid actuator is shown in FIG. FIG. 9 is a schematic sectional view of a fluid pressure actuator according to a conventional example.

図示のように、流体圧アクチュエータ100は、ロアーカップ101とアッパーカップ102からなるケース内にダイアフラム103が設けられる。このダイアフラム103によって、ケース内が、2つの室に区画される。そして、ロアーカップ101側の室の内部は大気圧に保たれる。一方、アッパーカップ102側の室の内部に外気が導入され、または当該室内から空気が排出されることによって、室内の流体圧力は変動する。この流体圧力の変動に応じてダイアフラム103は変形する。このダイアフラム103の変形にしたがって、ダイアフラム103に固定されたロッド104は移動する。   As illustrated, the fluid pressure actuator 100 includes a diaphragm 103 in a case including a lower cup 101 and an upper cup 102. The diaphragm 103 divides the inside of the case into two chambers. The interior of the chamber on the lower cup 101 side is kept at atmospheric pressure. On the other hand, when the outside air is introduced into the chamber on the upper cup 102 side or the air is discharged from the room, the fluid pressure in the room fluctuates. The diaphragm 103 is deformed in response to the fluctuation of the fluid pressure. In accordance with the deformation of the diaphragm 103, the rod 104 fixed to the diaphragm 103 moves.

このように、アッパーカップ102側の室内の流体圧力を変えて、ダイアフラム103の変形による変位量を制御することで、ロッド104を往復移動させることが可能となる。また、ロッド104のダイアフラム103への固定側とは反対側の端部には、機械的な運動を行わせるための機構が設けられている。例えば、回転軸に固定された回転体の回転中心と偏心する位置に、ロッド104の端部が固定されることで、ロッド104の往復運動を回転軸の回転運動に変換させることができる。この場合、ロッド104は往復移動を行いつつ、揺動することになる。従って、ロッド104の軸受け105は、ロッド104の揺動を許容しつつ、往復移動するロッド104を支持するように構成されている。図示の例では、軸受け105は、断面が樽形状で構成されることにより、ロッド104の揺動を許容しつつ、往復移動するロッド104を支持することができる。   In this way, the rod 104 can be reciprocated by changing the fluid pressure in the chamber on the upper cup 102 side and controlling the amount of displacement due to the deformation of the diaphragm 103. Further, a mechanism for causing mechanical movement is provided at the end of the rod 104 opposite to the side fixed to the diaphragm 103. For example, the end portion of the rod 104 is fixed at a position eccentric to the rotation center of the rotating body fixed to the rotating shaft, whereby the reciprocating motion of the rod 104 can be converted into the rotating motion of the rotating shaft. In this case, the rod 104 swings while reciprocating. Therefore, the bearing 105 of the rod 104 is configured to support the reciprocating rod 104 while allowing the rod 104 to swing. In the illustrated example, the bearing 105 can support the rod 104 that reciprocally moves while allowing the rod 104 to swing while having a barrel-shaped cross section.

以上のように構成される流体圧アクチュエータ100においては、使用環境等によっては、ロッド104やロッド104が固定されたダイアフラム103が激しく振動してしまうことがある。例えば、自動車内の各種制御弁を駆動するために、流体圧アクチュエータ100を用いた場合、吸気や排気の脈動によって、ロッド104が細かく、かつ激しく振動することがある。かかる振動は、ロッド104及びダイアフラム103や、ロッド104に連結された各部部品の磨耗を促進してしまったり、騒音を発生させたりする原因となる。
実公平7−38722号公報
In the fluid pressure actuator 100 configured as described above, the rod 104 and the diaphragm 103 to which the rod 104 is fixed may vibrate violently depending on the use environment or the like. For example, when the fluid pressure actuator 100 is used to drive various control valves in an automobile, the rod 104 may vibrate finely and vigorously due to pulsation of intake or exhaust. Such vibrations cause wear of the rod 104 and the diaphragm 103 and the parts connected to the rod 104, or cause noise.
No. 7-38722

本発明の目的の1つとして、ロッドの振動を抑制することが挙げられる。   One of the objects of the present invention is to suppress the vibration of the rod.

本発明の目的の1つとして、耐久性の向上を図ることが挙げられる。   One of the objects of the present invention is to improve durability.

本発明の目的の1つとして、騒音の発生を抑制することが挙げられる。   One of the objects of the present invention is to suppress the generation of noise.

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。   The present invention employs the following means in order to solve the above problems.

本発明の流体圧アクチュエータは、
ケースの内部を、室内の流体圧力が制御される第1室と室内が大気圧に保たれる第2室に区画するダイアフラムと、
第1室内の流体圧力の変化に応じて変形するダイアフラムに連動して、揺動しつつ往復運動を行うロッドと、を備え、
第1室内の流体圧力によるエネルギーを、前記ダイアフラム及びロッドを利用して機械的エネルギーに変換する流体圧アクチュエータであって、
第2室内に設けられると共に、ロッドの揺動を許容しつつ、往復移動するロッドを支持する軸受けと、
第2室内に設けられると共に、周方向に複数設けられた凸部がロッドに当接して、該ロッドの振動を吸収する環状の防振部材と、を備えることを特徴とする。
The fluid pressure actuator of the present invention is
A diaphragm that divides the interior of the case into a first chamber in which the fluid pressure in the chamber is controlled and a second chamber in which the chamber is maintained at atmospheric pressure;
A rod that reciprocates while swinging in conjunction with a diaphragm that deforms in response to a change in fluid pressure in the first chamber,
A fluid pressure actuator that converts energy generated by fluid pressure in the first chamber into mechanical energy using the diaphragm and the rod,
A bearing that is provided in the second chamber and supports the rod that reciprocates while allowing the rod to swing;
An annular vibration isolating member that is provided in the second chamber and has a plurality of convex portions provided in the circumferential direction abuts on the rod and absorbs vibration of the rod.

本発明の構成によれば、防振部材によって、ロッドの振動が吸収される。また、本発明においては、周方向に複数設けられた凸部がロッドに当接することで、ロッドの振動を吸収する。そのため、ロッドの全周に防振部材が当接する訳ではないので、ロッドに対する摺動抵抗が高くなり過ぎることもない。また、第2室内を密封してしまうこともなく、第2室内は大気圧状態が好適に維持される。以上のことから、ロッドの滑らかな移動を維持できる。   According to the configuration of the present invention, the vibration of the rod is absorbed by the vibration isolating member. Moreover, in this invention, the convex part provided in the circumferential direction contact | abuts to a rod, and absorbs the vibration of a rod. Therefore, since the vibration isolating member does not contact the entire circumference of the rod, the sliding resistance against the rod does not become too high. In addition, the second chamber is suitably maintained in an atmospheric pressure state without sealing the second chamber. From the above, the smooth movement of the rod can be maintained.

また、前記防振部材の外周に、複数の凸部のロッドに対する押圧力を増加させる締め付け部材が設けられるとよい。   Moreover, it is good for the outer periphery of the said vibration-proof member to provide the fastening member which increases the pressing force with respect to the rod of a some convex part.

このように締め付け部材を設ければ、ロッドが停止した際に、ロッドに残る振動を素早く停止させることができる。また、防振部材の凸部が経時劣化により磨耗した場合にあっても、凸部をロッドに対して当接させた状態を維持できる。従って、経時的な防振効果の低下を抑制できる。   If the tightening member is provided in this way, the vibration remaining on the rod can be quickly stopped when the rod is stopped. Moreover, even when the convex portion of the vibration isolating member is worn due to deterioration with time, the state in which the convex portion is in contact with the rod can be maintained. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the vibration isolation effect over time.

以上説明したように、本発明によれば、ロッドの振動を抑制できる。また、これに伴い、各部品の磨耗を抑制することができ、耐久性の向上を図ることができる。更に、ロッドの振動を起因とする騒音の発生を抑制できる。   As described above, according to the present invention, the vibration of the rod can be suppressed. Further, along with this, it is possible to suppress wear of each component, and to improve durability. Furthermore, the generation of noise due to rod vibration can be suppressed.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。   The best mode for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail below with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. .

図1〜図4を参照して、本発明の実施例1に係る流体圧アクチュエータについて説明する。   A fluid pressure actuator according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

<流体圧アクチュエータの全体説明>
図1を参照して、本発明の実施例1に係る流体圧アクチュエータ全体の構成について説明する。図1は本発明の実施例1に係る流体圧アクチュエータの模式的断面図である。
<Overall description of fluid pressure actuator>
With reference to FIG. 1, the structure of the whole fluid pressure actuator which concerns on Example 1 of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a fluid pressure actuator according to a first embodiment of the present invention.

図示のように、流体圧アクチュエータ1は、ロアーカップ10とアッパーカップ20か
らなるケースと、ケース内に設けられるダイアフラム30と、ダイアフラム30に一端が固定されるロッド40とを備える。ロアーカップ10は、おおよそカップの形状をしており、その底に、ロッド40が挿通される挿通孔11が設けられている。アッパーカップ20も、おおよそカップの形状をしており、その底に、配管70が接続される貫通孔21が設けられている。これらのロアーカップ10とアッパーカップ20は、その開口端部同士が合わさるように固定される。そして、ダイアフラム30は、その周囲が、これらのロアーカップ10とアッパーカップ20の固定部にて固定されている。これにより、ダイアフラム30は、ケースの内部を第1室R1と第2室R2に区画している。
As illustrated, the fluid pressure actuator 1 includes a case including a lower cup 10 and an upper cup 20, a diaphragm 30 provided in the case, and a rod 40 having one end fixed to the diaphragm 30. The lower cup 10 has an approximately cup shape, and an insertion hole 11 through which the rod 40 is inserted is provided at the bottom thereof. The upper cup 20 is also approximately cup-shaped, and a through hole 21 to which the pipe 70 is connected is provided at the bottom. The lower cup 10 and the upper cup 20 are fixed so that their open ends are aligned. The periphery of the diaphragm 30 is fixed by a fixing portion between the lower cup 10 and the upper cup 20. Thereby, the diaphragm 30 partitions the inside of the case into a first chamber R1 and a second chamber R2.

ロッド40は、その一端が、ダイアフラム30に対して、例えばネジ止めにより固定される。ここで、ダイアフラム30とロッド40の固定部においては、ダイアフラム30を挟み込むように、第1リテーナ81及び第2リテーナ82が設けられている。これらの第1リテーナ81及び第2リテーナ82によって、ダイアフラム30は、中央付近は変形せず、その周囲のみが変形するように機能する。これにより、ダイアフラム30は、ある程度規則的に変形する。なお、ロッド40はダイアフラム30に対して直接固定させることもできるし、第1リテーナ81及び第2リテーナ82を介して間接的に固定させることもできる(例えば、第1リテーナ81及び第2リテーナ82をロッド40の端部にボルトで締結することによって、これらのリテーナによりダイアフラム30を挟み込んでロッド40を間接的にダイアフラムに固定できる)。また、ダイアフラム30は、ゴムや樹脂などの柔軟性の高い材料によって構成される。そして、第1リテーナ81及び第2リテーナ82は、金属等の剛性の高い材料によって構成される。   One end of the rod 40 is fixed to the diaphragm 30 by, for example, screwing. Here, a first retainer 81 and a second retainer 82 are provided at the fixed portion of the diaphragm 30 and the rod 40 so as to sandwich the diaphragm 30. By the first retainer 81 and the second retainer 82, the diaphragm 30 functions so that only the periphery thereof is deformed without being deformed near the center. Thereby, the diaphragm 30 deforms regularly to some extent. The rod 40 can be directly fixed to the diaphragm 30 or can be indirectly fixed via the first retainer 81 and the second retainer 82 (for example, the first retainer 81 and the second retainer 82). Is fastened to the end of the rod 40 with a bolt, so that the diaphragm 30 can be sandwiched by these retainers and the rod 40 can be indirectly fixed to the diaphragm). The diaphragm 30 is made of a highly flexible material such as rubber or resin. The first retainer 81 and the second retainer 82 are made of a highly rigid material such as metal.

また、ロアーカップ10の内部には、スプリング60が設けられる。このスプリング60は、その一端が、第2リテーナ82に当接し、他端が、ロアーカップ10の底に当接するように配設される。また、ロアーカップ10の底の外側には、流体圧アクチュエータ1を所望の位置に取り付けるための支持部材90が設けられている。   A spring 60 is provided inside the lower cup 10. One end of the spring 60 abuts against the second retainer 82 and the other end abuts against the bottom of the lower cup 10. A support member 90 for attaching the fluid pressure actuator 1 to a desired position is provided outside the bottom of the lower cup 10.

<流体圧アクチュエータの動作>
上述のように構成された流体圧アクチュエータ1において、配管70を介して、第1室R1内に気体(例えば空気)が導入され、または第1室R1内から気体が排出される。このような第1室R1内の気体の量に応じて、第1室R1の内部の流体圧力は変動する。一方、第2室R2内は大気圧に保たれる。また、第1室R1内部の流体圧力の変動に応じてダイアフラム30は変形する。このダイアフラム30の変形は、上記の通りある程度規則性がある。そして、第1室R1内の流体圧力とスプリング60のバネ力との釣り合いによって、ダイアフラム30の変形に伴うロッド40の変位量が定まる。
<Operation of fluid pressure actuator>
In the fluid pressure actuator 1 configured as described above, gas (for example, air) is introduced into the first chamber R1 via the pipe 70, or gas is discharged from the first chamber R1. The fluid pressure inside the first chamber R1 varies according to the amount of gas in the first chamber R1. On the other hand, the inside of the second chamber R2 is maintained at atmospheric pressure. Moreover, the diaphragm 30 deform | transforms according to the fluctuation | variation of the fluid pressure inside 1st chamber R1. The deformation of the diaphragm 30 is regular to some extent as described above. The amount of displacement of the rod 40 accompanying the deformation of the diaphragm 30 is determined by the balance between the fluid pressure in the first chamber R1 and the spring force of the spring 60.

以上のことから、第1室R1内への気体の導入量や排出量を制御することで、第1室R1の内部の流体圧力が変動し、ロッド40の変位量を制御することができる。これにより、例えば、ロッド40を往復運動させることができる。   From the above, by controlling the amount of gas introduced into and discharged from the first chamber R1, the fluid pressure inside the first chamber R1 varies, and the displacement of the rod 40 can be controlled. Thereby, for example, the rod 40 can be reciprocated.

ロッド40におけるダイアフラム30への固定部と反対側の端部には、機械的な運動を行わせるための機構(不図示)への取り付け部41が設けられている。例えば、回転軸に固定された回転体(回転板)に対して、回転軸と偏心する位置に、この取り付け部41が固定される。これにより、ロッド40が往復移動することにより、回転体が回転し回転軸が回転する。これにより、例えば、回転軸に取り付けられた弁体が回転し、弁を開いたり閉じたりする制御を行うことができる。なお、ロッド40の往復運動を他の部材の回転運動に変換する機構等については、公知技術であるので、その詳細説明は省略する。   An attachment portion 41 to a mechanism (not shown) for causing mechanical movement is provided at an end portion of the rod 40 opposite to the fixing portion to the diaphragm 30. For example, with respect to a rotating body (rotating plate) fixed to the rotating shaft, the mounting portion 41 is fixed at a position eccentric from the rotating shaft. Thereby, when a rod 40 reciprocates, a rotary body rotates and a rotating shaft rotates. Thereby, for example, the valve body attached to the rotating shaft rotates, and control for opening and closing the valve can be performed. In addition, about the mechanism etc. which convert the reciprocating motion of the rod 40 into the rotational motion of another member, since it is a well-known technique, the detailed description is abbreviate | omitted.

以上のように、流体圧アクチュエータ1は、流体圧(気圧)によるエネルギーを機械的エネルギーに変換することができる。   As described above, the fluid pressure actuator 1 can convert energy generated by fluid pressure (atmospheric pressure) into mechanical energy.

<軸受け及び防振部材>
特に、図2〜図4を参照して、本発明の実施例1に係る軸受け及び防振部材について説明する。図2は図1中A部の拡大図である。図3は本発明の実施例1に係る防振部材の平面図である。図4は本発明の実施例1に係る防振部材の模式的断面図(軸心を通るように切断した断面図)である。
<Bearing and vibration isolation member>
In particular, a bearing and a vibration isolating member according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. FIG. 3 is a plan view of the vibration isolating member according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view (cross-sectional view cut along the axis) of the vibration isolator according to Embodiment 1 of the present invention.

ロアーカップ10の底に設けられた挿通孔11付近には、ロッド40の軸受け52が設けられている。この軸受け52は環状の部材であり、ロッド40の外周に嵌め込まれる。この軸受け52は、金属や樹脂材など、比較的剛性の高い材料により構成される。また、軸受け52の内周面とロッド40の外周面との間には適度なクリアランスが設けられている。そして、このクリアランスを介して、気体は、第2室R2の内外を自由に行き来することができる。   Near the insertion hole 11 provided at the bottom of the lower cup 10, a bearing 52 for the rod 40 is provided. The bearing 52 is an annular member and is fitted on the outer periphery of the rod 40. The bearing 52 is made of a material having relatively high rigidity such as a metal or a resin material. Further, an appropriate clearance is provided between the inner peripheral surface of the bearing 52 and the outer peripheral surface of the rod 40. The gas can freely travel inside and outside the second chamber R2 through this clearance.

ここで、上記の通り、ロッド40の往復運動を回転軸の回転運動に変換する場合には、ロッド40の端部に設けられた取り付け部41は、回転軸の周囲を回転するように移動する。そのため、ロッド40は往復移動を行いつつ、揺動することになる。従って、軸受け52は、ロッド40の揺動を許容しつつ、往復移動するロッド40を支持するように構成されている。図示の例では、軸受け52は、断面が樽形状で構成されることにより、ロッド40の揺動を許容しつつ、往復移動するロッド40を支持することができる。   Here, as described above, when the reciprocating motion of the rod 40 is converted into the rotational motion of the rotating shaft, the attachment portion 41 provided at the end of the rod 40 moves so as to rotate around the rotating shaft. . Therefore, the rod 40 swings while reciprocating. Therefore, the bearing 52 is configured to support the reciprocating rod 40 while allowing the rod 40 to swing. In the illustrated example, the bearing 52 can support the rod 40 that reciprocates while allowing the rod 40 to swing while the cross section is formed in a barrel shape.

また、軸受け52に隣接して、防振部材53が設けられている。この防振部材53も環状の部材であり、ロッド40の外周に嵌め込まれる。この防振部材53は、ゴム(例えば、HNBR,シリコン、フッ素系ゴム)や樹脂材など弾性材料により構成される。   Further, a vibration isolating member 53 is provided adjacent to the bearing 52. The vibration isolating member 53 is also an annular member and is fitted into the outer periphery of the rod 40. The vibration isolation member 53 is made of an elastic material such as rubber (for example, HNBR, silicon, fluorine rubber) or a resin material.

この防振部材53は、軸受け52に当接して、軸受け52の軸方向の位置決めを行う当接部53aと、ロッド40に当接する凸部53b,53cと、支持部材51が嵌め込まれる溝53dとを備えている。凸部53b,53cは、軸方向の一端側(軸受け52側)と他端側に、それぞれ周方向に等間隔に4個づつ設けられている。これらの凸部53b,53cは、ある程度の締め代をもってロッド40に対して当接するように構成されている。また、これらの凸部53b,53cによるロッド40に対する摺動抵抗は、ロッド40の円滑な移動が妨げられないようにする必要がある。この摺動抵抗の調整は、防振部材53の材質や硬度、あるいは、凸部53b,53cの形状,個数及び締め代等により行うことができる。   The vibration isolating member 53 abuts on the bearing 52, and a contact portion 53a that positions the bearing 52 in the axial direction, convex portions 53b and 53c that abut on the rod 40, and a groove 53d in which the support member 51 is fitted. It has. Four convex portions 53b and 53c are provided at equal intervals in the circumferential direction on one end side (bearing 52 side) and the other end side in the axial direction. These convex parts 53b and 53c are comprised so that it may contact | abut with respect to the rod 40 with a certain amount of interference. Moreover, the sliding resistance with respect to the rod 40 by these convex parts 53b and 53c needs to prevent the smooth movement of the rod 40 from being hindered. The adjustment of the sliding resistance can be performed according to the material and hardness of the vibration isolating member 53, or the shape, number and fastening margin of the convex portions 53b and 53c.

以上のような構成により、ロッド40の振動は、複数の凸部53b,53cを介して防振部材53に吸収されるため、ロッド40の振動が抑制される。また、防振部材53は、複数の凸部53b,53cがロッド40に対して部分的に当接することから、ロッド40の外周面と防振部材53の内周面との間には気体の通り道がある。そのため、気体は、第2室R2の内外を自由に行き来することができる。従って、第2室R2内は大気圧状態が保たれる。   With the above configuration, the vibration of the rod 40 is absorbed by the vibration isolation member 53 via the plurality of convex portions 53b and 53c, and thus the vibration of the rod 40 is suppressed. In addition, since the plurality of convex portions 53b and 53c are partially in contact with the rod 40, the vibration isolating member 53 has gas between the outer peripheral surface of the rod 40 and the inner peripheral surface of the vibration isolating member 53. There is a way. Therefore, the gas can freely travel inside and outside the second chamber R2. Accordingly, the atmospheric pressure state is maintained in the second chamber R2.

支持部材51は、筒状の部材であり、軸受け52と防振部材53の外周に嵌め込まれる。この支持部材51は、金属など、比較的剛性の高い材料により構成される。また、この支持部材51は、筒状部分の一端は外側に折り曲げられており、他端は内側に折り曲げられている。そして、外側に折り曲げられた部分がロアーカップ10の底側に固定され、内側に折り曲げられた部分が防振部材53の溝53dに嵌め込まれる。この支持部材51が、防振部材53の位置決めを行う。   The support member 51 is a cylindrical member and is fitted on the outer periphery of the bearing 52 and the vibration isolation member 53. The support member 51 is made of a material having relatively high rigidity such as metal. In addition, the support member 51 has one end of the cylindrical portion bent outward and the other end bent inward. The portion bent outward is fixed to the bottom side of the lower cup 10, and the portion bent inward is fitted into the groove 53 d of the vibration isolation member 53. The support member 51 positions the vibration isolation member 53.

<本実施例に係る流体圧アクチュエータの効果>
本実施例に係る流体圧アクチュエータ1によれば、防振部材53を設けたことにより、ロッド40の振動を抑制することができる。これにより、各種部品(特に、ロッド40の移動によって駆動される部品)の磨耗を抑制することができる。従って、各種部品の耐久性の向上を図ることができる。また、ロッド40の振動を起因とする騒音の発生を抑制できる。なお、上記の通り、防振部材53を設けても、ロッド40の円滑な運動を妨げるものでもなく、かつ、第2室R2内の大気圧状態は良好に保たれる。
<Effect of the fluid pressure actuator according to this embodiment>
According to the fluid pressure actuator 1 according to the present embodiment, the vibration of the rod 40 can be suppressed by providing the vibration isolation member 53. Thereby, wear of various parts (particularly parts driven by movement of rod 40) can be controlled. Therefore, the durability of various parts can be improved. Further, the generation of noise due to the vibration of the rod 40 can be suppressed. As described above, even if the vibration isolating member 53 is provided, it does not hinder the smooth movement of the rod 40, and the atmospheric pressure state in the second chamber R2 is kept good.

図5及び図6には、本発明の実施例2が示されている。本実施例では、防振部材の形状の変更例を説明する。その他の基本的な構成および作用については実施例1と同一なので、同一の構成部分については、その説明は省略する。図5は本発明の実施例2に係る防振部材の平面図である。図6は本発明の実施例2に係る防振部材の模式的断面図(軸心を通るように切断した断面図)である。   5 and 6 show a second embodiment of the present invention. In this embodiment, an example of changing the shape of the vibration isolation member will be described. Since other basic configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the description of the same components will be omitted. FIG. 5 is a plan view of a vibration isolating member according to Embodiment 2 of the present invention. FIG. 6 is a schematic cross-sectional view (cross-sectional view cut along the axis) of the vibration isolator according to Embodiment 2 of the present invention.

本実施例に係る防振部材53Aは、周方向に等間隔に4個のスリット53eが設けられている。本実施例に係る防振部材53Aにおいては、これらのスリット53e以外の部分が上記実施例1における防振部材53の凸部53bに相当する。つまり、これらのスリット53e以外の部分がロッド40に当接する。なお、本実施例に係る防振部材53Aの内周面側の径は、軸方向で異なっている。すなわち、スリット53eが設けられている領域における径はロッド40の径よりも僅かに小さく、スリット53eが設けられていない領域における径はロッド40の径よりも僅かに大きい。従って、径方向におけるスリット53eが設けられている領域においてのみ、スリット53eが設けられていない部分がロッド40に当接する。   The vibration isolating member 53A according to the present embodiment is provided with four slits 53e at equal intervals in the circumferential direction. In the vibration isolating member 53A according to the present embodiment, portions other than the slits 53e correspond to the convex portions 53b of the vibration isolating member 53 in the first embodiment. That is, portions other than the slits 53e abut on the rod 40. In addition, the diameter of the inner peripheral surface side of the vibration isolating member 53A according to the present embodiment is different in the axial direction. That is, the diameter in the region where the slit 53e is provided is slightly smaller than the diameter of the rod 40, and the diameter in the region where the slit 53e is not provided is slightly larger than the diameter of the rod 40. Accordingly, only in a region where the slit 53e in the radial direction is provided, a portion where the slit 53e is not provided contacts the rod 40.

以上のように構成された防振部材53Aにおいても、上記実施例1と同様の効果を得ることができることは言うまでもない。   It goes without saying that the same effects as those of the first embodiment can be obtained in the vibration isolating member 53A configured as described above.

図7及び図8には、本発明の実施例3が示されている。本実施例では、上記実施例1の構成に、締め付け部材を加えた例を説明する。その他の基本的な構成および作用については実施例1と同一なので、同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は省略する。図7は本発明の実施例3に係る防振部材の模式的断面図(軸心を通るように切断した断面図)である。図8は本発明の実施例3に係る流体圧アクチュエータの模式的断面図の一部拡大図(実施例1における図2に相当する図)である。   7 and 8 show a third embodiment of the present invention. In this embodiment, an example in which a tightening member is added to the configuration of the first embodiment will be described. Since other basic configurations and operations are the same as those of the first embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view (cross-sectional view cut along the axis) of the vibration isolator according to Embodiment 3 of the present invention. FIG. 8 is a partially enlarged view of a schematic cross-sectional view of a fluid pressure actuator according to a third embodiment of the present invention (a diagram corresponding to FIG. 2 in the first embodiment).

本実施例に係る防振部材53Bの基本的な構成は、上記実施例1における防振部材53とほぼ同一である。ただし、本実施例に係る防振部材53Bにおいては、一方の端部側の外周に、締め付け部材としてのスプリング54が嵌め込まれる点のみが実施例1における防振部材53と異なる。このスプリング54を設けたことにより、防振部材53Bが外周側から締め付けられ、凸部53cのロッド40に対する押圧力を増加させることができる。これにより、ロッド40が停止した際に、ロッド40に残る振動を素早く停止させることができる。また、凸部53cが経時劣化により磨耗した場合にあっても、凸部53cをロッド40に対して当接させた状態を維持できる。従って、経時的な防振効果の低下を抑制できる。   The basic configuration of the vibration isolating member 53B according to the present embodiment is substantially the same as that of the vibration isolating member 53 according to the first embodiment. However, the anti-vibration member 53B according to the present embodiment differs from the anti-vibration member 53 according to the first embodiment only in that a spring 54 as a fastening member is fitted on the outer periphery on one end side. By providing this spring 54, the vibration isolating member 53B is tightened from the outer peripheral side, and the pressing force of the convex portion 53c against the rod 40 can be increased. Thereby, when the rod 40 stops, the vibration remaining on the rod 40 can be quickly stopped. Further, even when the convex portion 53c is worn due to deterioration with time, the state in which the convex portion 53c is in contact with the rod 40 can be maintained. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the vibration isolation effect over time.

図1は本発明の実施例1に係る流体圧アクチュエータの模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a fluid pressure actuator according to a first embodiment of the present invention. 図2は図1中A部の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. 図3は本発明の実施例1に係る防振部材の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the vibration isolating member according to Embodiment 1 of the present invention. 図4は本発明の実施例1に係る防振部材の模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the vibration isolator according to Embodiment 1 of the present invention. 図5は本発明の実施例2に係る防振部材の平面図である。FIG. 5 is a plan view of a vibration isolating member according to Embodiment 2 of the present invention. 図6は本発明の実施例2に係る防振部材の模式的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a vibration isolating member according to Embodiment 2 of the present invention. 図7は本発明の実施例3に係る防振部材の模式的断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a vibration isolating member according to Embodiment 3 of the present invention. 図8は本発明の実施例3に係る流体圧アクチュエータの模式的断面図の一部拡大図である。FIG. 8 is a partially enlarged view of a schematic cross-sectional view of a fluid pressure actuator according to a third embodiment of the present invention. 図9は従来例に係る流体圧アクチュエータの模式的断面図である。FIG. 9 is a schematic sectional view of a fluid pressure actuator according to a conventional example.

符号の説明Explanation of symbols

1 流体圧アクチュエータ
10 ロアーカップ
11 挿通孔
20 アッパーカップ
21 貫通孔
30 ダイアフラム
40 ロッド
41 取り付け部
51 支持部材
52 軸受け
53,53A,53B 防振部材
53a 当接部
53b,53c 凸部
53d 溝
53e スリット
54 スプリング
60 スプリング
70 配管
81 第1リテーナ
82 第2リテーナ
90 支持部材
R1 第1室
R2 第2室
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluid pressure actuator 10 Lower cup 11 Insertion hole 20 Upper cup 21 Through-hole 30 Diaphragm 40 Rod 41 Mounting part 51 Support member 52 Bearing 53, 53A, 53B Anti-vibration member 53a Contact part 53b, 53c Convex part 53d Groove 53e Slit 54 Spring 60 Spring 70 Piping 81 First retainer 82 Second retainer 90 Support member R1 First chamber R2 Second chamber

Claims (2)

ケースの内部を、室内の流体圧力が制御される第1室と室内が大気圧に保たれる第2室に区画するダイアフラムと、
第1室内の流体圧力の変化に応じて変形するダイアフラムに連動して、揺動しつつ往復運動を行うロッドと、を備え、
第1室内の流体圧力によるエネルギーを、前記ダイアフラム及びロッドを利用して機械的エネルギーに変換する流体圧アクチュエータであって、
第2室内に設けられると共に、ロッドの揺動を許容しつつ、往復移動するロッドを支持する軸受けと、
第2室内に設けられると共に、周方向に複数設けられた凸部がロッドに当接して、該ロッドの振動を吸収する環状の防振部材と、を備えることを特徴とする流体圧アクチュエータ。
A diaphragm that divides the interior of the case into a first chamber in which the fluid pressure in the chamber is controlled and a second chamber in which the chamber is maintained at atmospheric pressure;
A rod that reciprocates while swinging in conjunction with a diaphragm that deforms in response to a change in fluid pressure in the first chamber,
A fluid pressure actuator that converts energy generated by fluid pressure in the first chamber into mechanical energy using the diaphragm and the rod,
A bearing that is provided in the second chamber and supports the rod that reciprocates while allowing the rod to swing;
A fluid pressure actuator comprising: an annular vibration isolating member that is provided in the second chamber and that has a plurality of protrusions provided in the circumferential direction in contact with the rod and absorbs vibration of the rod.
前記防振部材の外周に、複数の凸部のロッドに対する押圧力を増加させる締め付け部材が設けられることを特徴とする請求項1に記載の流体圧アクチュエータ。   The fluid pressure actuator according to claim 1, wherein a tightening member that increases a pressing force against the rods of the plurality of convex portions is provided on an outer periphery of the vibration isolation member.
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