JP2005294755A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、半導体チップが基板上に搭載されてなる半導体装置に関し、例えば半導体メモリカードに使用されるものである。 The present invention relates to a semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a substrate, and is used, for example, in a semiconductor memory card.
近年、カード用ケースに内蔵された半導体メモリ、例えば不揮発性メモリを利用して、情報を記録する記憶装置の1つとして半導体メモリカード(以下、メモリカードと記す)が注目されている(例えば、特許文献1参照)。 In recent years, a semiconductor memory card (hereinafter referred to as a memory card) has attracted attention as one of storage devices that record information using a semiconductor memory built in a card case, for example, a nonvolatile memory (for example, Patent Document 1).
これらメモリカードには、半導体チップを搭載した配線基板(以下、半導体装置)がカード用ケースに内蔵された構造を有するものがある。この構造に用いられる配線基板では、通常、配線基板の中央にモールド樹脂が形成されている。図4に、従来の半導体装置の外形を示す。図4(a)は半導体装置の上面図、図4(b)は横から見た半導体装置の側面図、図4(c)は下から見た半導体装置の側面図である。 Some of these memory cards have a structure in which a wiring board (hereinafter referred to as a semiconductor device) on which a semiconductor chip is mounted is built in a card case. In a wiring board used for this structure, a mold resin is usually formed at the center of the wiring board. FIG. 4 shows the external shape of a conventional semiconductor device. 4A is a top view of the semiconductor device, FIG. 4B is a side view of the semiconductor device viewed from the side, and FIG. 4C is a side view of the semiconductor device viewed from the bottom.
図4(a)〜図4(c)に示すように、半導体装置100は、配線基板(インターポーザ)101とこの配線基板の中央に形成されたモールド樹脂102から構成されている。モールド樹脂102内の配線基板101上には半導体チップ(図示しない)が載置されている。また、配線基板101には、方向識別用の切り欠き部101Rが形成されている。
As shown in FIGS. 4A to 4C, the
半導体装置100の製造工程におけるフレーム基板のレイアウトを図5に示す。半導体装置100の製造工程では、図5に示すように、フレーム基板103に複数(ここでは8個)の半導体装置100が配置される。個々の半導体装置100は、4つのサポート部104によって支えられ、それ以外の周囲はスリット105になっている。また、半導体装置100を支える1つのサポート部上には、モールド樹脂102を成形するときに用いられた樹脂注入ゲート106が形成されている。
A layout of the frame substrate in the manufacturing process of the
しかしながら、図4(a)に示したように、モールド樹脂102が配線基板101の中央のみに形成された半導体装置では、半導体チップを十分に保護することができないという問題や、配線基板101への部品搭載面積が小さいという問題が生じる場合がある。
この発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、配線基板上に載置された半導体チップを十分に保護することができ、さらに配線基板上への部品搭載面積を増大できる半導体装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a semiconductor device capable of sufficiently protecting a semiconductor chip mounted on a wiring board and further increasing the component mounting area on the wiring board. The purpose is to do.
この発明の一実施形態によれば、半導体チップと、前記半導体チップが載置され、前記半導体チップと電気的に接続されたパッドを有する配線基板と、前記配線基板上の前記半導体チップを封止し、その側面の一部分が前記配線基板の側面と一致すると共にその側面の他の部分が前記配線基板の側面より内側に形成されたモールド樹脂とを具備する半導体装置が提供される。 According to an embodiment of the present invention, a semiconductor chip, a wiring board on which the semiconductor chip is mounted and having a pad electrically connected to the semiconductor chip, and the semiconductor chip on the wiring board are sealed Then, a semiconductor device is provided that includes a mold resin in which a part of the side surface coincides with the side surface of the wiring board and the other part of the side surface is formed inside the side surface of the wiring board.
この発明によれば、配線基板上に載置された半導体チップを十分に保護することができ、さらに配線基板上への部品搭載面積を増大することができる半導体装置を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor device that can sufficiently protect a semiconductor chip mounted on a wiring board and can further increase a component mounting area on the wiring board.
以下、図面を参照してこの発明の実施形態について説明する。説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the description, common parts are denoted by common reference symbols throughout the drawings.
図1に、この発明の実施形態の半導体装置の外形を示す。図1(a)は半導体装置の上面図、図1(b)は横から見た半導体装置の側面図、図1(c)は下から見た半導体装置の側面図である。 FIG. 1 shows an outline of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. 1A is a top view of the semiconductor device, FIG. 1B is a side view of the semiconductor device viewed from the side, and FIG. 1C is a side view of the semiconductor device viewed from the bottom.
図1(a)〜図1(c)に示すように、半導体装置10は、半導体メモリ(例えば、不揮発性メモリ)を含む半導体チップ11、配線基板(インターポーザ)12、及びモールド樹脂13から構成される。1つ(または複数)の半導体チップ11が配線基板12の一方の面上に載置されている。配線基板12は、半導体チップ11と電気的に接続されたパッドを有している。さらに、配線基板12には、方向識別用の切り欠き部12Rが形成されており、図1(a)に示す上面図において、半導体装置10は矩形と異なる形状(矩形から隣接する2隅部がカットされた形状)を有している。モールド樹脂13は、半導体チップ11が載置された配線基板12上に形成され、半導体チップ11を封止して保護する。
As shown in FIGS. 1A to 1C, the
図1(b)すように、半導体装置10の対向する2つの辺において、モールド樹脂13の側面は配線基板12の側面と一致している。言い換えると、モールド樹脂13の側面と配線基板12の側面とが、対向する1組の辺で面一になっている。一方、半導体装置10のその他の辺において、モールド樹脂13の側面は配線基板12の側面より内側に配置されている。前述のように、モールド樹脂13と配線基板12との側面を一致させるには、モールド樹脂と配線基板とを一度に切断するのがよい。
As shown in FIG. 1B, the side surface of the
また、配線基板12上には、メッキリード14が形成されている。メッキリード14は、配線基板12上の配線から引き出されており、配線基板12上のパッドまたは端子に電解金メッキを施すために使用される。メッキリード14が引き出される配線基板12上の配線は、半導体チップ11と電気的に接続されるパッドに接続された配線を含む。メッキリード14は、切り欠き部12Rを避けて配置されている。言い換えると、メッキリード14は、切り欠き部12Rにて切断されることなく、切り欠き部12R以外の基板外縁まで引き出されている。
A plating
前記構成を持つ半導体装置では、半導体装置10の対向する1組の辺において、モールド樹脂13の端部側面が配線基板12の端部側面に一致するように形成されているため、モールド樹脂13が配線基板12を覆う領域が大きくなり、半導体チップ11の保護機能を向上させることができ、さらに半導体チップなどの部品を搭載可能な配線基板12上の面積を増大させることができる。なお、図1に示した半導体装置は、カード用ケースに設けられた基板収納凹部に組み込まれてメモリカードが構成される。
In the semiconductor device having the above-described configuration, the end surface of the
図2は、前記実施形態の半導体装置の製造工程におけるフレーム基板のレイアウトを示す図である。1つのフレーム基板21から12個の半導体装置が得られる例である。フレーム基板21には、行方向に4個、列方向に3個、計12個の配線基板12が配列されている。切り欠き部12Rは、あらかじめフレーム基板21に基板スリット(穴)22を空けておくことで形成する。
FIG. 2 is a view showing a layout of the frame substrate in the manufacturing process of the semiconductor device of the embodiment. In this example, 12 semiconductor devices are obtained from one
配線基板12上に形成された配線からはメッキリード14が引き出されている。メッキリード14は、配線基板12上の前記配線に接続されたパッドまたは端子に電解金メッキを施すために用いられる。メッキリード14は、基板スリット22(切り欠き部12R)を避けて配置されている。さらに、メッキリード14は、12個の配線基板12を取り巻くように形成されたメッキリード配線23を介して、導通検査パッド24に接続されている。
A plating
このような構成により、図2に示すように、フレーム基板21の状態において、全てのメッキリード14を導通検査パッド24に接続する。これにより、半導体チップ11のパッドと配線基板12のパッドをワイヤーボンディングで接続した際、これらパッド間の導通性を確認することができ、ワイヤーボンディングの接続不良を検出できる。この結果、例えば、複数の半導体チップを含むマルチチップパッケージの製造工程において、ワイヤーボンディングの接続不良を検出できずに不良品に別の半導体チップを搭載するなど、不良を検出できないまま次工程に進めることがある。このような場合の歩留まりロスを低減することができる。なお、図5に示した従来例では、サポート部104を除いてフレーム基板103にスリット105が形成されているので、メッキリードを設けてもフレーム基板の状態で、全てのメッキリードを導通検査パッドに接続することはできない。
With this configuration, as shown in FIG. 2, all the plating leads 14 are connected to the
図2に示したフレーム基板21に、モールド樹脂を形成した状態を図3に示す。なお、メッキリード14及び基板スリット22は省略している。列方向に配列された3個の配線基板12上に、モールド樹脂13が連続的に成形されている。モールド樹脂13の先端には、モールド樹脂13を成形するときに用いられた樹脂注入ゲート13Aが形成されている。このように、モールド樹脂13を金型で成形した後、カットライン25をブレード装置により切断する。これにより、12個の半導体装置10が形成される。
FIG. 3 shows a state in which the mold resin is formed on the
以下に、前記実施形態の半導体装置の製造方法を示す。 A method for manufacturing the semiconductor device according to the embodiment will be described below.
まず、配線基板12上に半導体チップ11を載置する。続いて、半導体チップ11上のパッドと配線基板12上のパッドとの間をワイヤーボンディングにより接続する。次に、導通検査パッド24を用いて、半導体チップ11上のパッドと配線基板12上のパッドとが電気的に接続されたか否かを検査する。これらパッド間が導通していることを確認した後、図3に示すように、配線基板12上にモールド樹脂13を成形する。その後、フレーム基板21上のカットライン25をブレード装置により切断する。以上により、半導体装置10が製造される。
First, the
図5に示した従来例のように、配線基板の中央だけにモールド樹脂を形成する場合、製造工程においてフレーム基板に複数の半導体装置を配置するにあたり、個々の半導体装置間の距離を大きくする必要がある。このため、製造効率が悪くコスト面で不利となるという問題が生じていた。この実施形態では、対向する1組の辺において、モールド樹脂13の側面位置と配線基板12の側面位置とを一致させているので、個々の半導体装置間の距離を大きくする必要はなく、距離を空けずに半導体装置を配置することができる。これにより、製造効率が向上し、製品コストも低下させることができる。すなわち、従来例では、モールド金型間のスペースが必要になるため、1つのフレーム基板から8個しか半導体装置が得られなかったが、この実施形態では図3に示すように、列方向のモールド金型間のスペースが不要であるため、1つのフレーム基板から12個の半導体装置が得られる。したがって、1つのフレーム基板当たりの取り数が増加し、図5に示す従来例よりも製造効率を向上でき、製品コストも低下させることができる。
When the molding resin is formed only at the center of the wiring substrate as in the conventional example shown in FIG. 5, it is necessary to increase the distance between the individual semiconductor devices when arranging a plurality of semiconductor devices on the frame substrate in the manufacturing process. There is. For this reason, the problem that manufacturing efficiency was bad and it became disadvantageous on the cost side had arisen. In this embodiment, since the side surface position of the
また、従来例のように、配線基板の中央だけにモールド樹脂を形成した半導体装置では、フレーム基板においてワイヤーボンディングの電気検査(パスボンディング検査)が行えず、特に複数の半導体チップを含むマルチチップパッケージにおいて歩留まり低下するという問題が生じていた。この実施形態では、全てのメッキリードを導通検査パッドに接続できるので、パスボンディング検査を行うことができ、マルチチップパッケージにおける歩留まり低下を抑制することができる。 In addition, as in the conventional example, in a semiconductor device in which a mold resin is formed only in the center of the wiring substrate, the wire substrate cannot be subjected to electrical inspection (pass bonding inspection) on the frame substrate, and particularly a multi-chip package including a plurality of semiconductor chips. In this case, there was a problem that the yield decreased. In this embodiment, since all the plating leads can be connected to the continuity inspection pad, a pass bonding inspection can be performed, and a decrease in yield in the multichip package can be suppressed.
なお、前述した実施形態は、例えばSD(Secure Digital)カード、ミニSD(Secure Digital)カード、マルチメディアカード、またはXDカードなどに適用することができる。 The embodiment described above can be applied to, for example, an SD (Secure Digital) card, a mini SD (Secure Digital) card, a multimedia card, or an XD card.
また、前述した各実施形態はそれぞれ、単独で実施できるばかりでなく、適宜組み合わせて実施することも可能である。さらに、前述した各実施形態には種々の段階の発明が含まれており、各実施形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することも可能である。 In addition, each of the above-described embodiments can be implemented not only independently but also in an appropriate combination. Furthermore, the above-described embodiments include inventions at various stages, and the inventions at various stages can be extracted by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiments.
11…半導体チップ、12…配線基板、12R…切り欠き部、13…モールド樹脂、14…メッキリード。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記半導体チップが載置され、前記半導体チップと電気的に接続されたパッドを有する配線基板と、
前記配線基板上の前記半導体チップを封止し、その側面の一部分が前記配線基板の側面と一致すると共にその側面の他の部分が前記配線基板の側面より内側に形成されたモールド樹脂と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 A semiconductor chip;
A wiring board having a pad on which the semiconductor chip is mounted and electrically connected to the semiconductor chip;
Sealing the semiconductor chip on the wiring substrate, a part of the side surface thereof coincides with the side surface of the wiring substrate and the other part of the side surface is formed inside the side surface of the wiring substrate; and
A semiconductor device comprising:
前記半導体チップが載置され、前記半導体チップと電気的に接続されたパッドを有する配線基板と、
前記半導体チップ上及び前記配線基板上に形成され、対向する2つの辺においてその側面が前記配線基板の側面と一致すると共にその他の辺においてその側面が前記配線基板の側面より内側に配置されたモールド樹脂と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 A semiconductor chip;
A wiring board having a pad on which the semiconductor chip is mounted and electrically connected to the semiconductor chip;
A mold formed on the semiconductor chip and on the wiring substrate, the side surfaces of the two opposing sides coincide with the side surfaces of the wiring substrate, and the other side surfaces of the mold are disposed on the inner side of the side surfaces of the wiring substrate. Resin,
A semiconductor device comprising:
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---|---|---|---|---|
JP2007172473A (en) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | Method for producing memory card |
JP2007179176A (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | Wiring board and manufacturing method for memory card |
-
2004
- 2004-04-05 JP JP2004111295A patent/JP2005294755A/en active Pending
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