JP2005292799A - Image blurring correcting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To miniaturize a position detection device of an image blurring correcting device. <P>SOLUTION: The image blurring correcting device 30 of a photographic device comprises a mobile part 30a, having a photographing element 39a1 and capable of moving in a first direction x orthogonal to the optical axis of a photographic lens and in a second direction y orthogonal to the optical axis and the first direction x; and a fixing part 30b for movably supporting the mobile part 30a in the first and second directions. The mobile part 30a includes a Hall element part, having a horizontal Hall element hh10 used for position detection of the first direction x of the mobile part 30a and a vertical Hall element hv10, used for position detection of the second direction y of the mobile part 30a; a first drive coil 31a used for drive in the first direction x of the mobile part 30a; and a second drive coil 32a used for drive in the second direction y of the mobile part 30a. The horizontal Hall element hh10 is arranged in a winding of the first drive coil 31a. The vertical Hall element hv10 is arranged in a winding of the second drive coil 32a. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、撮像装置における像ブレ補正装置に関し、特に像ブレ補正のために移動した撮像素子などの可動部の位置検出装置に関する。   The present invention relates to an image blur correction apparatus in an imaging apparatus, and more particularly to a position detection apparatus for a movable part such as an image sensor that has moved for image blur correction.

従来、カメラなどの撮像装置において撮像中に生じた手ブレ量に応じて、像ブレ補正レンズまたは撮像素子を光軸と垂直な平面上を移動させることにより結像面上での像ブレを抑制する像ブレ補正装置が提案されている。   Conventionally, image blurring on the image plane is suppressed by moving the image blur correction lens or image sensor on a plane perpendicular to the optical axis in accordance with the amount of camera shake that occurs during imaging in an imaging device such as a camera. An image blur correction device has been proposed.

特許文献1は、像ブレ補正レンズを含む可動部について磁石とコイルによって移動を行い、その移動前後の位置検出はホール素子と磁石によって行う装置を開示する。
特開2002−229090号公報
Patent Document 1 discloses an apparatus in which a movable part including an image blur correction lens is moved by a magnet and a coil, and position detection before and after the movement is performed by a Hall element and a magnet.
JP 2002-229090 A

しかし、可動部の位置検出に使用する磁石及びヨークは、可動部の駆動に使用する磁石及びヨークを光軸と垂直な平面方向に延長する形で構成しており、磁石及びヨークが光軸と垂直な平面方向に大型化していた。   However, the magnet and yoke used for detecting the position of the movable part are configured by extending the magnet and yoke used for driving the movable part in a plane direction perpendicular to the optical axis. The size was increased in the vertical plane direction.

したがって本発明の目的は、像ブレ補正装置のホール素子などの磁界変化検出素子を使用した位置検出において小型化した磁石及びヨークを有する装置を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an apparatus having a magnet and a yoke that are miniaturized in position detection using a magnetic field change detection element such as a Hall element of an image blur correction apparatus.

本発明に係る撮像装置の像ブレ補正装置は、撮像素子または像ブレ補正レンズのいずれか一方を有し、撮影レンズの光軸に直交する第1方向と、光軸及び前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な可動部と、可動部を第1、第2方向に移動自在に支持する固定部とを備え、可動部は、可動部の第1方向の位置検出に使用される水平方向磁界変化検出素子と、可動部の第2方向の位置検出に使用される鉛直方向磁界変化検出素子とを有する磁界変化検出部と、可動部の第1方向の駆動に使用される第1駆動用コイルと、可動部の第2方向の駆動に使用される第2駆動用コイルとを有し、水平方向磁界変化検出素子は、第1駆動用コイルの巻線内に配置され、鉛直方向磁界変化検出素子は、第2駆動用コイルの巻線内に配置される。   An image blur correction apparatus for an image pickup apparatus according to the present invention includes either an image pickup element or an image blur correction lens, and is orthogonal to a first direction orthogonal to the optical axis of the photographing lens, and to the optical axis and the first direction. A movable portion movable in the second direction and a fixed portion that supports the movable portion in a movable manner in the first and second directions, and the movable portion is used for detecting the position of the movable portion in the first direction. A magnetic field change detection unit having a horizontal magnetic field change detection element and a vertical magnetic field change detection element used for detecting the position of the movable part in the second direction, and a first used for driving the movable part in the first direction. The driving coil and the second driving coil used for driving the movable part in the second direction are arranged. The horizontal direction magnetic field change detecting element is arranged in the winding of the first driving coil, and the vertical direction The magnetic field change detection element is disposed in the winding of the second drive coil.

これにより、可動部の駆動及び位置検出に使用される磁石やヨークを小型化することが可能になる。   This makes it possible to reduce the size of the magnet and yoke used for driving the movable part and detecting the position.

好ましくは、水平方向磁界変化検出素子は、第1駆動用コイルの巻線の第1方向に対し中心近傍に配置され、鉛直方向磁界変化検出素子は、第2駆動用コイルの巻線の第2方向に対し中心近傍に配置される。これにより、可動部の移動範囲と位置検出範囲の中心を合わせることが可能になり、両範囲を効率良く利用することが可能になる。   Preferably, the horizontal direction magnetic field change detecting element is disposed near the center with respect to the first direction of the winding of the first driving coil, and the vertical direction magnetic field change detecting element is the second of the winding of the second driving coil. It is arranged near the center with respect to the direction. As a result, the moving range of the movable part and the center of the position detection range can be matched, and both ranges can be used efficiently.

また、好ましくは、第1、第2駆動用コイルは、巻線の外周部分から中心に向かって渦巻き状のコイルパターンが形成されたシートコイルである。これにより、コイルの光軸方向の厚みを薄くすることが可能になり、可動部と固定部の間隔を狭めて像ブレ補正装置の小型化を図ることが可能になる。   Preferably, the first and second driving coils are sheet coils in which a spiral coil pattern is formed from the outer peripheral portion of the winding toward the center. As a result, it is possible to reduce the thickness of the coil in the optical axis direction, and it is possible to reduce the size of the image blur correction apparatus by narrowing the distance between the movable part and the fixed part.

さらに好ましくは、第1、第2駆動用コイルは、コイルパターンが光軸と平行な第3方向に重ねられて形成される多層のシートコイルである。これにより、第3方向の厚みを殆ど増やすことなく、可動部の駆動に使用される磁石との間の磁束密度を高めることが可能になる。   More preferably, the first and second driving coils are multilayer sheet coils formed by overlapping a coil pattern in a third direction parallel to the optical axis. This makes it possible to increase the magnetic flux density with the magnet used for driving the movable part without increasing the thickness in the third direction.

また、さらに好ましくは、第1駆動用コイルのコイルパターンと水平方向磁界変化検出素子とは積層されて可動部の多層基板に配置され、第2駆動用コイルのコイルパターンと鉛直方向磁界変化検出素子とは積層されて多層基板に配置される。   More preferably, the coil pattern of the first driving coil and the horizontal magnetic field change detecting element are stacked and arranged on the multilayer substrate of the movable part, and the coil pattern of the second driving coil and the vertical magnetic field change detecting element are arranged. Are stacked and placed on a multilayer substrate.

また、好ましくは、固定部は、可動部の第1、第2方向の位置検出及び駆動に使用される第1、第2位置検出及び駆動用磁石を、それぞれ水平方向磁界変化検出素子、鉛直方向磁界変化検出素子に対向する位置に有する。   Preferably, the fixed portion includes a first and second position detection and driving magnets used for position detection and driving in the first and second directions of the movable portion, respectively, a horizontal magnetic field change detection element and a vertical direction. At a position facing the magnetic field change detecting element.

また、好ましくは、磁界変化検出部は、水平方向磁界変化検出素子と鉛直方向磁界変化検出素子を1つずつ有する。   Preferably, the magnetic field change detection unit has one horizontal magnetic field change detection element and one vertical magnetic field change detection element.

また、好ましくは、磁界変化検出部は、1軸ホール素子であり、水平方向磁界変化検出素子、鉛直方向磁界変化検出素子は、いずれもホール素子である。   Preferably, the magnetic field change detection unit is a uniaxial Hall element, and both the horizontal magnetic field change detection element and the vertical magnetic field change detection element are Hall elements.

また、本発明に係る他の撮像装置の像ブレ補正装置は、撮像素子または像ブレ補正レンズのいずれか一方を有し、撮影レンズの光軸に直交する平面上を移動可能な可動部と、可動部を平面上で支持する固定部とを備え、可動部は、可動部の位置検出に使用される磁界変化検出部と、可動部の移動に使用される駆動用コイルとを有し、磁界変化検出部は、駆動用コイルの巻線内に配置される。   Further, an image blur correction device of another imaging apparatus according to the present invention has either one of an image sensor or an image blur correction lens, and a movable part that can move on a plane orthogonal to the optical axis of the photographing lens; A movable portion having a fixed portion that supports the movable portion on a plane, the movable portion including a magnetic field change detecting portion used for detecting the position of the movable portion, and a driving coil used for moving the movable portion, The change detection unit is disposed in the winding of the driving coil.

以上のように本発明によれば、像ブレ補正装置のホール素子などの磁界変化検出素子を使用した位置検出において小型化した磁石及びヨークを有する装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide an apparatus having a magnet and a yoke that are miniaturized in position detection using a magnetic field change detection element such as a Hall element of an image blur correction apparatus.

以下、本発明の実施形態について、図を用いて説明する。撮像装置1はデジタルカメラであるとして説明する。なお、方向を説明するために、撮像装置1において光軸LXと直交する水平方向を第1方向x、光軸LXと直交する鉛直方向を第2方向y、光軸LXと平行な水平方向を第3方向zとして説明する。なお、図5は、図4のA−A線の断面における構成図を示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The imaging device 1 will be described as a digital camera. In order to describe the direction, in the imaging device 1, the horizontal direction orthogonal to the optical axis LX is the first direction x, the vertical direction orthogonal to the optical axis LX is the second direction y, and the horizontal direction parallel to the optical axis LX is The third direction z will be described. FIG. 5 shows a configuration diagram in a cross section taken along line AA of FIG.

撮像装置1の撮像に関する部分は、主電源のオンオフ切り替えを行うPonボタン11、レリーズボタン13、LCDモニタ17、CPU21、撮像ブロック22、AE部23、AF部24、像ブレ補正装置30の撮像部39a、及び撮影レンズ67から構成される。Ponボタン11の押下に対応してPonスイッチ11aのオンオフ状態が切り替えられ、これにより撮像装置1の主電源のオンオフ状態が切り替えられる。被写体像は、撮像部39aを駆動する撮像ブロック22によって撮影レンズ67を介した光学像として撮像され、LCDモニタ17によって撮像された画像が表示される。また被写体像は光学ファインダ(不図示)によって光学的に観察することも可能である。   The parts related to the imaging of the imaging device 1 are the Pon button 11 for switching on / off the main power source, the release button 13, the LCD monitor 17, the CPU 21, the imaging block 22, the AE unit 23, the AF unit 24, and the imaging unit of the image blur correction device 30. 39a and a photographing lens 67. The on / off state of the Pon switch 11a is switched in response to the pressing of the Pon button 11, and thereby the on / off state of the main power supply of the imaging device 1 is switched. The subject image is captured as an optical image through the photographing lens 67 by the imaging block 22 that drives the imaging unit 39a, and the image captured by the LCD monitor 17 is displayed. The subject image can also be optically observed with an optical viewfinder (not shown).

レリーズボタン13は、半押しすることにより測光スイッチ12aがオン状態にされ測光や測距及び合焦動作が行われ、全押しすることによりレリーズスイッチ13aがオン状態にされ撮像が行われ、撮影像がメモリされる。   When the release button 13 is half-pressed, the photometry switch 12a is turned on to perform photometry, distance measurement, and focusing operation. When the release button 13 is fully pressed, the release switch 13a is turned on to take an image. Is stored in memory.

CPU21は、撮像に関する各部の制御、後述する像ブレ補正に関する各部の制御を行う。   The CPU 21 controls each part related to imaging and controls each part related to image blur correction described later.

撮像ブロック22は、撮像部39aを駆動する。AE部23は、被写体の測光動作を実行して露光値を演算し、この露光値に基づき撮影に必要となる絞り値及び露光時間を演算する。AF部24は、測距を行い、この測距結果に基づき撮影レンズ67を光軸方向に変位させ焦点調節を行う。   The imaging block 22 drives the imaging unit 39a. The AE unit 23 performs a photometric operation of the subject to calculate an exposure value, and calculates an aperture value and an exposure time necessary for photographing based on the exposure value. The AF unit 24 performs distance measurement, and performs focus adjustment by displacing the photographing lens 67 in the optical axis direction based on the distance measurement result.

撮像装置1の像ブレ補正に関する部分は、像ブレ補正ボタン14、CPU21、角速度検出部25、ドライバ回路29、像ブレ補正装置30、ホール素子信号処理回路部45、撮影レンズ67から構成される。   The part relating to image blur correction of the image pickup apparatus 1 includes an image blur correction button 14, a CPU 21, an angular velocity detection unit 25, a driver circuit 29, an image blur correction device 30, a Hall element signal processing circuit unit 45, and a photographing lens 67.

像ブレ補正ボタン14は、押下することにより像ブレ補正スイッチ14aがオン状態にされ、測光など他の動作と独立して、一定時間ごとに、角速度検出部25、及び像ブレ補正装置30が駆動されて像ブレ補正が行われる。像ブレ補正スイッチ14aがオン状態にされた補正モードの場合にパラメータIS=1、像ブレ補正スイッチ14aがオフ状態にされた補正モードでない場合にパラメータIS=0と設定する。本実施形態ではこの一定時間を1msであるとして説明する。   When the image blur correction button 14 is pressed, the image blur correction switch 14a is turned on, and the angular velocity detection unit 25 and the image blur correction device 30 are driven at regular intervals independently of other operations such as photometry. Thus, image blur correction is performed. The parameter IS = 1 is set in the correction mode in which the image blur correction switch 14a is turned on, and the parameter IS = 0 is set in the correction mode in which the image blur correction switch 14a is not turned off. In the present embodiment, this fixed time will be described as 1 ms.

これらのスイッチの入力信号に対応する各種の出力はCPU21によって制御される。測光スイッチ12a、レリーズスイッチ13a、像ブレ補正スイッチ14aのオン/オフ情報は、それぞれ1ビットのデジタル信号としてCPU21のポートP12、P13、P14に入力される。撮像ブロック22、AE部23、及びAF部24は、それぞれポートP3、P4、P5で信号の入出力が行われる。   Various outputs corresponding to the input signals of these switches are controlled by the CPU 21. On / off information of the photometry switch 12a, release switch 13a, and image blur correction switch 14a is input to the ports P12, P13, and P14 of the CPU 21 as 1-bit digital signals, respectively. The imaging block 22, the AE unit 23, and the AF unit 24 input and output signals at ports P3, P4, and P5, respectively.

次に、角速度検出部25、ドライバ回路29、像ブレ補正装置30、ホール素子信号処理回路部45についての詳細、及びCPU21との入出力関係について説明する。   Next, details of the angular velocity detection unit 25, the driver circuit 29, the image blur correction device 30, the Hall element signal processing circuit unit 45, and the input / output relationship with the CPU 21 will be described.

角速度検出部25は、第1、第2角速度センサ26、27とアンプ・ハイパスフィルタ回路28とを有する。第1、第2角速度センサ26、27は、撮像装置1の一定時間(1ms)ごとの第1方向x及び第2方向yの角速度を検出する。第1角速度センサ26は、第1方向xの角速度を、第2角速度センサ27は第2方向yの角速度を検出する。アンプ・ハイパスフィルタ回路28は、角速度に関する信号を増幅した後、第1、第2角速度センサ26、27のヌル電圧やパンニングをカットし、第1、第2角速度vx、vyとしてアナログ信号をCPU21のA/D0、A/D1に入力する。   The angular velocity detection unit 25 includes first and second angular velocity sensors 26 and 27 and an amplifier / high pass filter circuit 28. The first and second angular velocity sensors 26 and 27 detect angular velocities in the first direction x and the second direction y every fixed time (1 ms) of the imaging device 1. The first angular velocity sensor 26 detects the angular velocity in the first direction x, and the second angular velocity sensor 27 detects the angular velocity in the second direction y. The amplifier / high-pass filter circuit 28 amplifies the signal related to the angular velocity, cuts the null voltage and panning of the first and second angular velocity sensors 26 and 27, and outputs an analog signal as the first and second angular velocities vx and vy of the CPU 21. Input to A / D0 and A / D1.

CPU21は、A/D0、A/D1に入力された第1、第2角速度vx、vyをA/D変換した後、焦点距離などを考慮した変換係数によって一定時間(1ms)に生じた像ブレ量を演算する。従って、角速度検出部25とCPU21は、像ブレ量演算機能を有する。   The CPU 21 performs A / D conversion on the first and second angular velocities vx and vy input to A / D0 and A / D1, and then performs image blurring that occurs in a certain time (1 ms) by a conversion coefficient that takes into account the focal length and the like. Calculate the quantity. Therefore, the angular velocity detection unit 25 and the CPU 21 have an image blur amount calculation function.

CPU21は、演算により求められた像ブレ量に応じた撮像部39aの移動すべき位置Sを第1方向x、第2方向yごとに演算し設定する。位置Sの第1方向x成分をsx、第2方向y成分をsyとする。撮像部39aを含む可動部30aの移動は、後述する電磁力によって行われる。可動部30aをこの位置Sまで移動させるためにドライバ回路29を駆動する駆動力Dの第1方向x成分を第1PWMデューティdx、第2方向y成分を第2PWMデューティdyとする。   The CPU 21 calculates and sets the position S to be moved of the imaging unit 39a according to the image blur amount obtained by the calculation for each of the first direction x and the second direction y. The first direction x component of the position S is sx, and the second direction y component is sy. Movement of the movable part 30a including the imaging part 39a is performed by an electromagnetic force described later. In order to move the movable part 30a to this position S, the first direction x component of the driving force D that drives the driver circuit 29 is defined as a first PWM duty dx, and the second direction y component is defined as a second PWM duty dy.

像ブレ補正装置30は、CPU21が演算した移動すべき位置Sに撮像部39aを移動させることによって、ブレによって生じた被写体像の結像面における光軸LXのずれを無くし、被写体像と結像面位置を一定に保ち、像ブレを補正する装置であり、撮像部39aを含み移動可能領域をもつ可動部30aと、固定部30bとを有する。また、像ブレ補正装置30は、コイルに流れる電流の方向と磁石の磁界の向きにより生じた電磁力により可動部30aを移動させる駆動用部分と、可動部30aの位置を検出する位置検出部分とに分けて考えることもできる。   The image blur correction device 30 moves the imaging unit 39a to the position S to be moved calculated by the CPU 21, thereby eliminating the deviation of the optical axis LX on the imaging plane of the subject image caused by the blur and imaging with the subject image. This is a device that keeps the surface position constant and corrects image blur, and includes a movable part 30a including an imaging part 39a and a movable area, and a fixed part 30b. In addition, the image blur correction device 30 includes a driving part that moves the movable part 30a by an electromagnetic force generated by the direction of the current flowing through the coil and the direction of the magnetic field of the magnet, and a position detection part that detects the position of the movable part 30a. It can be divided into two categories.

像ブレ補正装置30の可動部30aの駆動は、CPU21のPWM0から第1PWMデューティdx、PWM1から第2PWMデューティdyの出力を受けたドライバ回路29により行われる。ドライバ回路29の駆動により移動した可動部30aの移動前または移動後の位置Pはホール素子部44a、ホール素子信号処理回路部45によって検出される。検出された位置Pの情報は、第1検出位置信号pxが第1方向x成分として、第2検出位置信号pyが第2方向y成分としてそれぞれCPU21のA/D2、A/D3に入力される。第1、第2検出位置信号px、pyはA/D2、A/D3を介してA/D変換される。第1、第2検出位置信号px、pyに対してA/D変換後の位置Pの第1方向x成分、第2方向y成分をそれぞれpdx、pdyとする。検出された位置P(pdx、pdy)のデータと移動すべき位置S(sx、sy)のデータによりPID制御が行われる。   The movable portion 30a of the image blur correction device 30 is driven by a driver circuit 29 that receives the output of the first PWM duty dx from the PWM0 and the second PWM duty dy from the PWM1 of the CPU 21. The position P before or after the movement of the movable part 30a moved by driving the driver circuit 29 is detected by the Hall element part 44a and the Hall element signal processing circuit part 45. Information on the detected position P is input to A / D2 and A / D3 of the CPU 21 as the first detection position signal px as the first direction x component and the second detection position signal py as the second direction y component, respectively. . The first and second detection position signals px and py are A / D converted via A / D2 and A / D3. The first direction x component and the second direction y component of the position P after A / D conversion with respect to the first and second detection position signals px and py are set to pdx and pdy, respectively. PID control is performed based on the data of the detected position P (pdx, pdy) and the data of the position S (sx, sy) to be moved.

可動部30aは、第1、第2駆動用コイル31a、32a、撮像部39a、ホール素子部44a、可動基板49a、移動用シャフト50a、第1〜第3水平移動用軸受け部51a〜53a、プレート64aとを有する。   The movable portion 30a includes first and second drive coils 31a and 32a, an imaging portion 39a, a hall element portion 44a, a movable substrate 49a, a movement shaft 50a, first to third horizontal movement bearing portions 51a to 53a, and a plate. 64a.

固定部30bは、位置検出用磁石部として2つの第1、第2位置検出及び駆動用磁石411b、412b、第1、第2位置検出及び駆動用ヨーク431b、432b、第1〜第4鉛直移動用軸受け部54b〜57b、ベース板65bとを有する。   The fixed portion 30b includes two first and second position detection and drive magnets 411b and 412b, first and second position detection and drive yokes 431b and 432b, and first to fourth vertical movements as position detection magnet portions. Bearing portions 54b to 57b and a base plate 65b.

可動部30aの第3方向zから見てコの字型をした移動用シャフト50aは、固定部30bのベース板65bに取り付けられた第1〜第4鉛直移動用軸受け部54b〜57bと鉛直方向(第2方向y)に移動自在に支持される。第1、第2鉛直移動用軸受け部54b、55bは、第1方向xからみて第2方向yに延びる長穴形状を有している。これにより、可動部30aは、固定部30bに対して鉛直方向に移動が可能になる。   The U-shaped moving shaft 50a viewed from the third direction z of the movable portion 30a is perpendicular to the first to fourth vertical moving bearing portions 54b to 57b attached to the base plate 65b of the fixed portion 30b. It is supported so as to be movable in the (second direction y). The first and second vertical movement bearing portions 54b and 55b have a long hole shape extending in the second direction y when viewed from the first direction x. Thereby, the movable part 30a can move in the vertical direction with respect to the fixed part 30b.

また移動用シャフト50aは、可動部30aの第1〜第3水平移動用軸受け部51a〜53aと水平方向(第1方向x)に移動自在に支持される。これにより、移動用シャフト50aを除く可動部30aは、移動用シャフト50a及び固定部30bに対して水平方向に移動が可能になる。   The moving shaft 50a is supported so as to be movable in the horizontal direction (first direction x) with the first to third horizontal moving bearing portions 51a to 53a of the movable portion 30a. Thereby, the movable part 30a excluding the moving shaft 50a can move in the horizontal direction with respect to the moving shaft 50a and the fixed part 30b.

撮像素子39a1の撮像範囲を最大限活用するために、撮影レンズ67の光軸LXが撮像素子39a1の中心近傍を通る位置関係にある時に、第1方向x、第2方向yともに可動部30aが移動範囲の中心に位置する(移動中心位置にある)ように可動部30aと固定部30bの位置関係を設定する。撮像素子39a1の中心とは、撮像素子39a1の撮像面を形成する矩形が有する2つの対角線の交点をいう。   In order to make maximum use of the imaging range of the image sensor 39a1, when the optical axis LX of the photographic lens 67 is in a positional relationship passing through the vicinity of the center of the image sensor 39a1, the movable portion 30a is provided in both the first direction x and the second direction y. The positional relationship between the movable part 30a and the fixed part 30b is set so as to be located at the center of the movement range (at the movement center position). The center of the image sensor 39a1 refers to the intersection of two diagonal lines of a rectangle that forms the imaging surface of the image sensor 39a1.

可動部30aは、撮影レンズ67の方向からみて光軸方向に撮像部39a、プレート64a、可動基板49aが取り付けられる。撮像部39aは、撮像素子39a1、ステージ39a2、押さえ部39a3、光学ローパスフィルタ39a4とを有し、ステージ39a2とプレート64aとで撮像素子39a1、押さえ部39a3、光学ローパスフィルタ39a4を挟み付勢する。第1〜第3水平移動用軸受け部51a〜53aは、ステージ39a2に取り付けられる。プレート64aは、撮像素子39a1が取り付けられることにより、撮像素子39a1が撮影レンズ67の光軸LXに垂直になるように位置決めを行う。またプレート64aが金属材料で出来ている場合には、撮像素子39a1と接触することによりさらに放熱効果も有する。   The movable unit 30a is attached with an imaging unit 39a, a plate 64a, and a movable substrate 49a in the optical axis direction when viewed from the direction of the photographing lens 67. The imaging unit 39a includes an imaging device 39a1, a stage 39a2, a pressing unit 39a3, and an optical low-pass filter 39a4. The stage 39a2 and the plate 64a sandwich and urge the imaging device 39a1, the pressing unit 39a3, and the optical low-pass filter 39a4. The first to third horizontal movement bearing portions 51a to 53a are attached to the stage 39a2. The plate 64 a is positioned so that the image sensor 39 a 1 is perpendicular to the optical axis LX of the photographic lens 67 when the image sensor 39 a 1 is attached. Further, when the plate 64a is made of a metal material, the plate 64a is further brought into a heat radiation effect by being in contact with the image sensor 39a1.

可動基板49aは、シート状でかつ渦巻き状のコイルパターンが形成された第1、第2駆動用コイル31a、32a、及びホール素子部44aとが取り付けられている。第1駆動用コイル31aは、第1駆動用コイル31aの電流の方向と第1位置検出及び駆動用磁石411bの磁界の向きから生じる電磁力により第1駆動用コイル31aを含む可動部30aを第1方向xに移動させるべく、第1方向x、第2方向yのいずれか一方と平行な線で形成されるコイルパターンを有する。第2駆動用コイル32aは、第2駆動用コイル32aの電流の方向と第2位置検出及び駆動用磁石412bの磁界の向きから生じる電磁力により第2駆動用コイル32aを含む可動部30aを第2方向yに移動させるべく、第1方向x、第2方向yのいずれか一方と平行な線で形成されるコイルパターンを有する。ホール素子部44aについては後述する。   The movable substrate 49a is attached with first and second driving coils 31a and 32a on which a sheet-like and spiral coil pattern is formed, and a hall element portion 44a. The first driving coil 31a has a movable part 30a including the first driving coil 31a by the electromagnetic force generated from the direction of the current of the first driving coil 31a and the direction of the magnetic field of the first position detection and driving magnet 411b. In order to move in one direction x, a coil pattern formed by a line parallel to either the first direction x or the second direction y is provided. The second driving coil 32a has the movable part 30a including the second driving coil 32a in the first position by the electromagnetic force generated from the direction of the current of the second driving coil 32a and the direction of the magnetic field of the second position detecting and driving magnet 412b. In order to move in two directions y, a coil pattern formed by a line parallel to either the first direction x or the second direction y is provided. The Hall element portion 44a will be described later.

また、第1、第2駆動用コイル31a、32aは、それぞれ巻線の外周部分から中心に向かって渦巻き状のコイルパターンが形成されたシートコイルである。そのため、第1、第2駆動用コイル31a、32aの第3方向zの厚さを薄くすることが可能になる。また、第1、第2位置検出及び駆動用磁石411b、412bとの間の磁束密度を高めるために、第3方向zにシートコイルが複数枚重ねられても、第3方向zの厚さは殆ど増加しない。第1、第2駆動用コイル31a、32aを使用することにより、可動部30aと固定部30bの間隔を狭めて像ブレ補正装置30の小型化を図ることが可能になる。   Each of the first and second drive coils 31a and 32a is a sheet coil in which a spiral coil pattern is formed from the outer peripheral portion of the winding toward the center. Therefore, it is possible to reduce the thickness of the first and second drive coils 31a and 32a in the third direction z. Further, in order to increase the magnetic flux density between the first and second position detection and drive magnets 411b and 412b, even if a plurality of sheet coils are stacked in the third direction z, the thickness in the third direction z is Little increase. By using the first and second driving coils 31a and 32a, it is possible to reduce the size of the image blur correction device 30 by narrowing the distance between the movable portion 30a and the fixed portion 30b.

図6は、シートコイルが第3方向zに2層に重ねられた第1駆動用コイル31aと、後述する水平方向ホール素子hh10とが、第3方向zに積層される構成図を示す。第2駆動用コイル32aは、第1駆動用コイル31aと同様に、シートコイルが第3方向zに2層に積層され、さらに、鉛直方向ホール素子hv10が第3方向zに重ねられる(不図示)。ただし、第1、第2駆動用コイル31a、32aの積層数は2層に限られない。   FIG. 6 shows a configuration diagram in which a first driving coil 31a in which sheet coils are stacked in two layers in the third direction z and a horizontal hall element hh10 described later are stacked in the third direction z. Similarly to the first driving coil 31a, the second driving coil 32a has a sheet coil stacked in two layers in the third direction z, and a vertical hall element hv10 stacked in the third direction z (not shown). ). However, the number of stacked first and second driving coils 31a and 32a is not limited to two.

第1、第2駆動用コイル31a、32aは、フレキシブル基板(不図示)を介してこれらを駆動するドライバ回路29と接続される。ドライバ回路29は、CPU21のPWM0、PWM1から第1、第2PWMデューティdx、dyのそれぞれが入力される。ドライバ回路29は、入力された第1、第2PWMデューティdx、dyの値に応じて第1、第2駆動用コイル31a、32aに電力を供給し、可動部30aを駆動する。   The first and second driving coils 31a and 32a are connected to a driver circuit 29 for driving them via a flexible substrate (not shown). The driver circuit 29 receives the first and second PWM duties dx and dy from the PWM0 and PWM1 of the CPU 21, respectively. The driver circuit 29 supplies power to the first and second drive coils 31a and 32a in accordance with the input first and second PWM duties dx and dy, and drives the movable portion 30a.

第1位置検出及び駆動用磁石411bは、第1駆動用コイル31a及び水平方向ホール素子hh10と対向するように固定部30bの可動部30a側に取り付けられる。第2位置検出及び駆動用磁石412bは、第2駆動用コイル32a及び鉛直方向ホール素子hv10と対向するように固定部30bの可動部30a側に取り付けられる。   The first position detection and drive magnet 411b is attached to the movable portion 30a side of the fixed portion 30b so as to face the first drive coil 31a and the horizontal hall element hh10. The second position detection and drive magnet 412b is attached to the movable portion 30a side of the fixed portion 30b so as to face the second drive coil 32a and the vertical hall element hv10.

第1位置検出及び駆動用磁石411bは、第3方向zにおいて固定部30bのベース板65b上で且つ可動部30a側に取り付けられた第1位置検出及び駆動用ヨーク431bの上であって、第1方向xにN極とS極が並べて取り付けられる。第1位置検出及び駆動用磁石411bの第2方向yの長さは、可動部30aが第2方向yに移動した際に第1駆動用コイル31a及び水平方向ホール素子hh10に及ぼす磁界が変化しない程度に第1駆動用コイル31aの第2方向yの第1有効長L1に比べて長めに設定される。   The first position detection and drive magnet 411b is on the base plate 65b of the fixed portion 30b and the first position detection and drive yoke 431b attached to the movable portion 30a side in the third direction z. N pole and S pole are mounted side by side in one direction x. The length of the first position detection and drive magnet 411b in the second direction y is such that the magnetic field exerted on the first drive coil 31a and the horizontal hall element hh10 does not change when the movable portion 30a moves in the second direction y. The first driving coil 31a is set to be longer than the first effective length L1 in the second direction y.

第2位置検出及び駆動用磁石412bは、第3方向zにおいて固定部30bのベース板65b上で且つ可動部30a側に取り付けられた第2位置検出及び駆動用ヨーク432bの上であって、第2方向yにN極とS極が並べて取り付けられる。第2位置検出及び駆動用磁石412bの第1方向xの長さは、可動部30aが第1方向xに移動した際に第2駆動用コイル32a及び鉛直方向ホール素子hv10に及ぼす磁界が変化しない程度に第2駆動用コイル32aの第1方向xの第2有効長L2に比べて長めに設定される。   The second position detection and drive magnet 412b is on the base plate 65b of the fixed portion 30b and the second position detection and drive yoke 432b attached to the movable portion 30a side in the third direction z. N pole and S pole are mounted side by side in two directions y. The length of the second position detection and drive magnet 412b in the first direction x does not change the magnetic field exerted on the second drive coil 32a and the vertical hall element hv10 when the movable part 30a moves in the first direction x. The second driving coil 32a is set to be longer than the second effective length L2 in the first direction x.

第1位置検出及び駆動用ヨーク431bは、第2方向yから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体材料で構成され、第1位置検出及び駆動用磁石411b、第1駆動用コイル31a、及び水平方向ホール素子hh10を第3方向zで挟む形で、固定部30bのベース板65b上に取り付けられる。第1位置検出及び駆動用ヨーク431bにおける第1位置検出及び駆動用磁石411bと接する側の部分は、第1位置検出及び駆動用磁石411bの磁界が周囲に漏れないようにする役目を果たす。第1位置検出及び駆動用ヨーク431bにおける第1位置検出及び駆動用磁石411b、第1駆動用コイル31a、及び可動基板49aと対向する側の部分は、第1位置検出及び駆動用磁石411bと第1駆動用コイル31a、及び第1位置検出及び駆動用磁石411bと水平方向ホール素子hh10との間の磁束密度を高める役目を果たす。   The first position detecting / driving yoke 431b is formed of a polygonal soft magnetic material having a U-shape when viewed from the second direction y, and the first position detecting / driving magnet 411b, first driving The coil 31a and the horizontal hall element hh10 are mounted on the base plate 65b of the fixed portion 30b so as to sandwich the coil 31a and the horizontal hall element hh10 in the third direction z. The portion of the first position detection and drive yoke 431b on the side in contact with the first position detection and drive magnet 411b serves to prevent the magnetic field of the first position detection and drive magnet 411b from leaking to the surroundings. The first position detection and drive magnet 411b, the first drive coil 31a, and the portion facing the movable substrate 49a in the first position detection and drive yoke 431b are the same as the first position detection and drive magnet 411b. The first driving coil 31a and the first position detection and driving magnet 411b serve to increase the magnetic flux density between the horizontal hall element hh10.

第2位置検出及び駆動用ヨーク432bは、第1方向xから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体材料で構成され、第2位置検出及び駆動用磁石412b、第2駆動用コイル32a、及び鉛直方向ホール素子hv10を第3方向zで挟む形で、固定部30bのベース板65b上に取り付けられる。第2位置検出及び駆動用ヨーク432bにおける第2位置検出及び駆動用磁石412bと接する側の部分は、第2位置検出及び駆動用磁石412bの磁界が周囲に漏れないようにする役目を果たす。第2位置検出及び駆動用ヨーク432bにおける第2位置検出及び駆動用磁石412b、第2駆動用コイル32a、及び可動基板49aと対向する側の部分は、第2位置検出及び駆動用磁石412bと第2駆動用コイル32a、及び第2位置検出及び駆動用磁石412bと鉛直方向ホール素子hv10との間の磁束密度を高める役目を果たす。   The second position detection and drive yoke 432b is made of a polygonal soft magnetic material having a U-shape when viewed in the first direction x, and the second position detection and drive magnet 412b and second drive The coil 32a and the vertical hall element hv10 are mounted on the base plate 65b of the fixed portion 30b so as to be sandwiched between the third direction z. The portion of the second position detection and drive yoke 432b on the side in contact with the second position detection and drive magnet 412b serves to prevent the magnetic field of the second position detection and drive magnet 412b from leaking to the surroundings. The second position detection and drive magnet 412b, the second drive coil 32a, and the portion facing the movable substrate 49a in the second position detection and drive yoke 432b are connected to the second position detection and drive magnet 412b and the second magnet. The second driving coil 32a and the second position detection and driving magnet 412b serve to increase the magnetic flux density between the vertical hall element hv10.

ホール素子部44aは、ホール効果を利用した磁電変換素子(磁界変化検出素子)であるホール素子を2つ有し、可動部30aの第1方向x、第2方向yの現在位置P(第1検出位置信号px、第2検出位置信号py)を検出する1軸ホール素子である。2つのホール素子のうち第1方向xの位置検出用のホール素子を水平方向ホール素子hh10、第2方向yの位置検出用のホール素子を鉛直方向ホール素子hv10とする。   The hall element unit 44a has two hall elements that are magnetoelectric conversion elements (magnetic field change detection elements) using the Hall effect, and the current position P (first direction) in the first direction x and the second direction y of the movable part 30a. This is a uniaxial Hall element that detects a detection position signal px and a second detection position signal py). Of the two hall elements, a hall element for position detection in the first direction x is a horizontal hall element hh10, and a hall element for position detection in the second direction y is a vertical hall element hv10.

水平方向ホール素子hh10は、第3方向zから見て可動部30aの可動基板49a上であって、固定部30bの第1位置検出及び駆動用磁石411bと対向する位置に取り付けられる。鉛直方向ホール素子hv10は、第3方向zから見て可動部30aの可動基板49a上であって、固定部30bの第2位置検出及び駆動用磁石412bと対向する位置に取り付けられる。   The horizontal hall element hh10 is mounted on the movable substrate 49a of the movable part 30a as viewed from the third direction z and at a position facing the first position detection and driving magnet 411b of the fixed part 30b. The vertical hall element hv10 is mounted on the movable substrate 49a of the movable part 30a as viewed from the third direction z and at a position facing the second position detection and drive magnet 412b of the fixed part 30b.

水平方向ホール素子hh10は、第1駆動用コイル31aの巻線内に配置され、特に第1方向xに対し中心近傍に配置されるのが望ましい。鉛直方向ホール素子hv10は、第2駆動用コイル32aの巻線内に配置され特に第2方向yに対し中心近傍に配置されるのが望ましい。可動部30aの移動範囲と位置検出範囲の中心を合わせることが可能になり、両範囲を効率良く利用することが可能になるからである。   The horizontal hall element hh10 is preferably arranged in the winding of the first driving coil 31a, and particularly in the vicinity of the center with respect to the first direction x. The vertical hall element hv10 is preferably disposed in the winding of the second drive coil 32a, and particularly disposed near the center with respect to the second direction y. This is because the moving range of the movable part 30a and the center of the position detection range can be matched, and both ranges can be used efficiently.

可動基板49aの水平方向ホール素子hh10がある部分は、第1駆動用コイル31aの2層と、水平方向ホール素子hh10の1層が積層され(図6参照)、鉛直方向ホール素子hv10がある部分は、第2駆動用コイル32aの2層と、鉛直方向ホール素子hv10の1層が積層される。従って、可動基板49aは多層基板である。   The portion of the movable substrate 49a where the horizontal hall element hh10 is located is a portion where two layers of the first driving coil 31a and one layer of the horizontal hall element hh10 are laminated (see FIG. 6) and the vertical hall element hv10 is present. The two layers of the second drive coil 32a and the one layer of the vertical hall element hv10 are laminated. Therefore, the movable substrate 49a is a multilayer substrate.

従来の技術では、第1駆動用コイル31aと水平方向ホール素子hh10は、第2方向yに並べられて可動基板49a上に配置されていた。同様に第2駆動用コイル32aと鉛直方向ホール素子hv10は、第1方向xに並べられて稼働基板49a上に配置されていた。そのため、第1位置検出及び駆動用磁石411b、第1位置検出及び駆動用ヨーク431bは、対向する第1駆動用コイル31aと水平方向ホール素子hh10の第2方向yの長さと移動量を加えた長さを第2方向yに必要としていた。同様に第2位置検出及び駆動用磁石412b、第1位置検出及び駆動用ヨーク432bは、対向する第2駆動用コイル32aと鉛直方向ホール素子hv10の第1方向xの長さと移動量を加えた長さを第1方向xに必要としていた。   In the conventional technique, the first driving coil 31a and the horizontal hall element hh10 are arranged on the movable substrate 49a in the second direction y. Similarly, the second drive coil 32a and the vertical hall element hv10 are arranged in the first direction x and arranged on the working substrate 49a. Therefore, the first position detecting and driving magnet 411b and the first position detecting and driving yoke 431b are added with the length and the moving amount in the second direction y of the opposing first driving coil 31a and the horizontal hall element hh10. The length was required in the second direction y. Similarly, the second position detecting / driving magnet 412b and the first position detecting / driving yoke 432b are obtained by adding the length of the second driving coil 32a and the length of the vertical hall element hv10 in the first direction x and the amount of movement. The length was required in the first direction x.

本実施形態では、水平方向ホール素子hh10は、第1駆動用コイル31aの巻線内に配置されるため、第1位置検出及び駆動用磁石411b、第1位置検出及び駆動用ヨーク431bの第2方向yの長さは、第1駆動用コイル31aの第2方向yの長さと移動量を考慮するだけで良い。そのため、第1位置検出及び駆動用磁石411b、第1位置検出及び駆動用ヨーク431bの第2方向yの長さを短縮化でき、像ブレ補正装置30の小型化を図ることが可能になる。また、水平方向ホール素子hh10と、第1駆動用コイル31aは可動基板49a上に積層されるので、水平方向ホール素子hh10を第1駆動用コイル31aの巻線の内側に配置しても、第3方向zに殆ど厚さが増えることはない。   In the present embodiment, since the horizontal hall element hh10 is arranged in the winding of the first driving coil 31a, the second position of the first position detecting and driving magnet 411b and the first position detecting and driving yoke 431b. The length in the direction y only needs to take into account the length in the second direction y and the amount of movement of the first drive coil 31a. Therefore, the lengths of the first position detection and drive magnet 411b and the first position detection and drive yoke 431b in the second direction y can be shortened, and the image blur correction device 30 can be downsized. In addition, since the horizontal hall element hh10 and the first driving coil 31a are stacked on the movable substrate 49a, the horizontal hall element hh10 may be disposed inside the winding of the first driving coil 31a. The thickness hardly increases in the three directions z.

同様に、鉛直方向ホール素子hv10は、第2駆動用コイル32aの巻線内に配置されるため、第2位置検出及び駆動用磁石412b、第2位置検出及び駆動用ヨーク432bの第1方向xの長さは、第2駆動用コイル32aの第1方向xの長さと移動量を考慮するだけで良い。そのため、第1位置検出及び駆動用磁石412b、第2位置検出及び駆動用ヨーク432bの第1方向xの長さを短縮化でき、像ブレ補正装置30の小型化を図ることが可能になる。また、鉛直方向ホール素子hv10と、第2駆動用コイル32aは可動基板49a上に積層されるので、鉛直方向ホール素子hv10を第2駆動用コイル32aの巻線の内側に配置しても、第3方向zに殆ど厚さが増えることはない。   Similarly, since the vertical hall element hv10 is disposed in the winding of the second drive coil 32a, the first direction x of the second position detection and drive magnet 412b and the second position detection and drive yoke 432b. This length need only take into account the length of the second drive coil 32a in the first direction x and the amount of movement. Therefore, the lengths of the first position detection and drive magnet 412b and the second position detection and drive yoke 432b in the first direction x can be shortened, and the image blur correction device 30 can be downsized. In addition, since the vertical hall element hv10 and the second driving coil 32a are stacked on the movable substrate 49a, the vertical hall element hv10 may be disposed inside the winding of the second driving coil 32a. The thickness hardly increases in the three directions z.

直線的な変化量を使って精度の高い位置検出が行える範囲を最大限活用して位置検出を行うため、水平方向ホール素子hh10の第1方向xの位置は、撮像素子39a1の中心近傍が光軸LXを通る位置関係にある時に、第1位置検出及び駆動用磁石411bのN極、S極と等距離近傍にあるのが望ましい。同様に、鉛直方向ホール素子hv10の第2方向yの位置は、撮像素子39a1の中心近傍が光軸LXを通る位置関係にある時に、第2位置検出及び駆動用磁石412bのN極、S極と等距離近傍にあるのが望ましい。   In order to perform position detection by making the most of the range in which position detection with high accuracy can be performed using the linear change amount, the position of the horizontal hall element hh10 in the first direction x is light near the center of the image sensor 39a1. When in a positional relationship passing through the axis LX, it is desirable that the first position detection and driving magnet 411b be near the same distance as the north and south poles. Similarly, the position of the vertical hall element hv10 in the second direction y is the N pole and S pole of the second position detecting and driving magnet 412b when the vicinity of the center of the imaging element 39a1 is in a positional relationship passing through the optical axis LX. It is desirable to be in the vicinity of the same distance.

ベース板65bは、固定部30bにおいて第1、第2位置検出及び駆動用ヨーク431b、432bなどを取り付けるベースとなる板状部材で、撮像素子39a1の撮像面と平行に配置される。本実施形態では、ベース板65bは、第3方向zにおいて、可動基板49aよりも撮影レンズ67に近い側にあるが、可動基板49aの方が撮影レンズ67に近い側にあるような位置関係であってもよい。この場合、第1、第2駆動用コイル31a、32a、ホール素子部44aは可動基板49aの撮影レンズ67がある側と逆側に、第1、第2位置検出及び駆動用磁石411b、412bはベース板65bの撮影レンズ67がある側に配置される。   The base plate 65b is a plate-like member that serves as a base to which the first and second position detection and drive yokes 431b and 432b are attached in the fixed portion 30b, and is arranged in parallel with the imaging surface of the imaging element 39a1. In the present embodiment, the base plate 65b is closer to the photographing lens 67 than the movable substrate 49a in the third direction z, but the positional relationship is such that the movable substrate 49a is closer to the photographing lens 67. There may be. In this case, the first and second drive coils 31a and 32a and the hall element portion 44a are on the opposite side of the movable substrate 49a from the side where the photographing lens 67 is located, and the first and second position detection and drive magnets 411b and 412b are The base plate 65b is disposed on the side where the photographing lens 67 is present.

ホール素子信号処理回路部45は、水平方向ホール素子hh10の出力信号から水平方向ホール素子hh10における出力端子間の水平方向電位差x10を検出し、これから第1方向xの位置を特定する第1検出位置信号pxをCPU21のA/D2に出力する第1ホール素子信号処理回路450と、鉛直方向ホール素子hv10の出力信号から、鉛直方向ホール素子hv10における出力端子間の鉛直方向電位差y10を検出し、これから第2方向yの位置を特定する第2検出位置信号pyをCPU21のA/D3に出力する第2ホール素子信号処理回路460とを有する。   The hall element signal processing circuit unit 45 detects the horizontal potential difference x10 between the output terminals of the horizontal hall element hh10 from the output signal of the horizontal hall element hh10, and identifies the position in the first direction x based on the detected horizontal potential difference x10. A vertical potential difference y10 between the output terminals of the vertical hall element hv10 is detected from the first hall element signal processing circuit 450 that outputs the signal px to the A / D2 of the CPU 21 and the output signal of the vertical hall element hv10. A second hall element signal processing circuit 460 for outputting a second detection position signal py for specifying the position in the second direction y to the A / D 3 of the CPU 21.

第1、第2ホール素子信号処理回路450、460における水平方向ホール素子hh10、鉛直方向ホール素子hv10それぞれの入出力信号に関する回路構成を説明する(図7参照)。   A circuit configuration relating to input / output signals of the horizontal hall element hh10 and the vertical hall element hv10 in the first and second hall element signal processing circuits 450 and 460 will be described (see FIG. 7).

第1ホール素子信号処理回路450における水平方向ホール素子hh10の出力部は第1回路451、第3回路453を有し、入力部は第6回路456を有する。第2ホール素子信号処理回路460における鉛直方向ホール素子hv10の出力部は第11回路461、第13回路463を有し、入力部は第16回路466を有する。   In the first hall element signal processing circuit 450, the output section of the horizontal hall element hh10 has a first circuit 451 and a third circuit 453, and the input section has a sixth circuit 456. In the second hall element signal processing circuit 460, the output section of the vertical hall element hv10 includes an eleventh circuit 461 and a thirteenth circuit 463, and the input section includes a sixteenth circuit 466.

水平方向ホール素子hh10の出力端子は、第1回路451と接続され、第1回路451は、第3回路453と接続される。第1回路451は、水平方向ホール素子hh10の出力端子間における信号差を増幅する差動増幅回路である。第3回路453は増幅した信号差と基準電圧Vrefとの差異から水平方向ホール素子hh10における出力端子間の水平方向電位差x10(ホール出力電圧)を求め、これに一定の増幅率を乗算して第1検出位置信号pxを求める減算増幅回路である。   An output terminal of the horizontal hall element hh10 is connected to the first circuit 451, and the first circuit 451 is connected to the third circuit 453. The first circuit 451 is a differential amplifier circuit that amplifies a signal difference between the output terminals of the horizontal hall element hh10. The third circuit 453 obtains a horizontal potential difference x10 (hall output voltage) between the output terminals of the horizontal hall element hh10 from the difference between the amplified signal difference and the reference voltage Vref, and multiplies it by a certain amplification factor to obtain the first potential. It is a subtraction amplification circuit for obtaining one detection position signal px.

第1回路451は、第1〜第3抵抗R1〜R3、第1、第2オペアンプA1、A2とを有する。水平方向ホール素子hh10の出力端子の一方は、第1オペアンプA1の非反転入力端子と接続され、もう一方の端子は、第2オペアンプA2の非反転入力端子と接続される。第1オペアンプA1の反転入力端子は第1、第2抵抗R1、R2と接続され、第2オペアンプA2の反転入力端子は第1、第3抵抗R1、R3と接続される。第1オペアンプA1の出力端子は第2抵抗R2及び第3回路453の第7抵抗R7と接続される。第2オペアンプA2の出力端子は第3抵抗R3及び第3回路453の第9抵抗R9と接続される。   The first circuit 451 includes first to third resistors R1 to R3, first and second operational amplifiers A1 and A2. One of the output terminals of the horizontal hall element hh10 is connected to the non-inverting input terminal of the first operational amplifier A1, and the other terminal is connected to the non-inverting input terminal of the second operational amplifier A2. The inverting input terminal of the first operational amplifier A1 is connected to the first and second resistors R1 and R2, and the inverting input terminal of the second operational amplifier A2 is connected to the first and third resistors R1 and R3. The output terminal of the first operational amplifier A1 is connected to the second resistor R2 and the seventh resistor R7 of the third circuit 453. The output terminal of the second operational amplifier A2 is connected to the third resistor R3 and the ninth resistor R9 of the third circuit 453.

第3回路453は、第7〜第10抵抗R7〜R10、第5オペアンプA5とを有する。第5オペアンプA5の反転入力端子は第7抵抗R7及び第8抵抗R8と接続され、非反転入力端子は第9抵抗R9及び第10抵抗R10と接続され、出力端子は第8抵抗R8と接続され、水平方向電位差x10に一定の増幅率を乗算した第1検出位置信号pxが出力される。第10抵抗R10の一方の端子は基準電圧Vrefの電源に接続される。   The third circuit 453 includes seventh to tenth resistors R7 to R10 and a fifth operational amplifier A5. The inverting input terminal of the fifth operational amplifier A5 is connected to the seventh resistor R7 and the eighth resistor R8, the non-inverting input terminal is connected to the ninth resistor R9 and the tenth resistor R10, and the output terminal is connected to the eighth resistor R8. The first detection position signal px obtained by multiplying the horizontal potential difference x10 by a constant amplification factor is output. One terminal of the tenth resistor R10 is connected to the power source of the reference voltage Vref.

第2、第3抵抗R2、R3は同じ抵抗値、第7、第9抵抗R7、R9は同じ抵抗値、第8、第10抵抗R8、R10は同じ抵抗値に設定される。   The second and third resistors R2 and R3 are set to the same resistance value, the seventh and ninth resistors R7 and R9 are set to the same resistance value, and the eighth and tenth resistors R8 and R10 are set to the same resistance value.

第6回路456は、第19抵抗R19、第8オペアンプA8とを有する。第8オペアンプA8の反転入力端子は第19抵抗R19及び水平方向ホール素子hh10の入力端子の一方と接続される。第8オペアンプA8の非反転入力端子の電位は水平方向ホール素子hh10の入力端子における定電流値に対応した第1定電圧XVfに設定される。第8オペアンプA8の出力端子は水平方向ホール素子hh10の入力端子の一方と接続される。第19抵抗R19の一方の端子は接地される。   The sixth circuit 456 includes a nineteenth resistor R19 and an eighth operational amplifier A8. The inverting input terminal of the eighth operational amplifier A8 is connected to one of the nineteenth resistor R19 and the input terminal of the horizontal hall element hh10. The potential of the non-inverting input terminal of the eighth operational amplifier A8 is set to the first constant voltage XVf corresponding to the constant current value at the input terminal of the horizontal hall element hh10. The output terminal of the eighth operational amplifier A8 is connected to one input terminal of the horizontal hall element hh10. One terminal of the nineteenth resistor R19 is grounded.

鉛直方向ホール素子hv10の出力端子は、第11回路461と接続され、第11回路461は、第13回路463と接続される。第11回路461は、鉛直方向ホール素子hv10の出力端子間における信号差を増幅する差動増幅回路である。第13回路463は増幅した信号差と基準電圧Vrefとの差異から鉛直方向ホール素子hv10における出力端子間の鉛直方向電位差y10(ホール出力電圧)を求め、これに一定の増幅率を乗算して第2検出位置信号pyを求める減算増幅回路である。   The output terminal of the vertical hall element hv10 is connected to the eleventh circuit 461, and the eleventh circuit 461 is connected to the thirteenth circuit 463. The eleventh circuit 461 is a differential amplifier circuit that amplifies a signal difference between the output terminals of the vertical hall element hv10. The thirteenth circuit 463 obtains a vertical potential difference y10 (hall output voltage) between the output terminals of the vertical hall element hv10 from the difference between the amplified signal difference and the reference voltage Vref, and multiplies it by a constant amplification factor to obtain the first potential. 2 is a subtraction amplification circuit for obtaining a detection position signal py.

第11回路461は、第21〜第23抵抗R21〜R23、第21、第22オペアンプA21、A22とを有する。鉛直方向ホール素子hv10の出力端子の一方は、第21オペアンプA21の非反転入力端子と接続され、もう一方の端子は、第22オペアンプA22の非反転入力端子と接続される。第21オペアンプA21の反転入力端子は第21、第22抵抗R21、R22と接続され、第22オペアンプA22の反転入力端子は第21、第23抵抗R21、R23と接続される。第21オペアンプA21の出力端子は第22抵抗R22及び第13回路463の第27抵抗R27と接続される。第22オペアンプA22の出力端子は第23抵抗R23及び第13回路463の第29抵抗R29と接続される。   The eleventh circuit 461 includes 21st to 23rd resistors R21 to R23, 21st and 22nd operational amplifiers A21 and A22. One of the output terminals of the vertical hall element hv10 is connected to the non-inverting input terminal of the twenty-first operational amplifier A21, and the other terminal is connected to the non-inverting input terminal of the twenty-second operational amplifier A22. The inverting input terminal of the twenty-first operational amplifier A21 is connected to the twenty-first and twenty-second resistors R21 and R22, and the inverting input terminal of the twenty-second operational amplifier A22 is connected to the twenty-first and twenty-third resistors R21 and R23. The output terminal of the twenty-first operational amplifier A21 is connected to the twenty-second resistor R22 and the twenty-seventh resistor R27 of the thirteenth circuit 463. The output terminal of the 22nd operational amplifier A22 is connected to the 23rd resistor R23 and the 29th resistor R29 of the 13th circuit 463.

第13回路463は、第27〜第30抵抗R27〜R30、第25オペアンプA25とを有する。第25オペアンプA25の反転入力端子は第27抵抗R27及び第28抵抗R28と接続され、非反転入力端子は第29抵抗R29及び第30抵抗R30と接続され、出力端子は第28抵抗R28と接続され、鉛直方向電位差y10に一定の増幅率を乗算した第2検出位置信号pyが出力される。第30抵抗R30の一方の端子は基準電圧Vrefの電源に接続される。   The thirteenth circuit 463 includes 27th to 30th resistors R27 to R30 and a 25th operational amplifier A25. The inverting input terminal of the 25th operational amplifier A25 is connected to the 27th resistor R27 and the 28th resistor R28, the non-inverting input terminal is connected to the 29th resistor R29 and the 30th resistor R30, and the output terminal is connected to the 28th resistor R28. The second detection position signal py obtained by multiplying the vertical potential difference y10 by a constant amplification factor is output. One terminal of the thirtieth resistor R30 is connected to the power source of the reference voltage Vref.

第22、第23抵抗R22、R23は同じ抵抗値、第27、第29抵抗R27、R29は同じ抵抗値、第28、第30抵抗R28、R30は同じ抵抗値に設定される。   The 22nd and 23rd resistors R22 and R23 are set to the same resistance value, the 27th and 29th resistors R27 and R29 are set to the same resistance value, and the 28th and 30th resistors R28 and R30 are set to the same resistance value.

第16回路466は、第39抵抗R39、第28オペアンプA28とを有する。第28オペアンプA28の反転入力端子は第39抵抗R39及び鉛直方向ホール素子hv10の入力端子の一方と接続される。第28オペアンプA28の非反転入力端子の電位は鉛直方向ホール素子hv10の入力端子における定電流値に対応した第2定電圧YVfに設定される。第28オペアンプA28の出力端子は鉛直方向ホール素子hv10の入力端子の一方と接続される。第39抵抗R39の一方の端子は接地される。   The sixteenth circuit 466 includes a 39th resistor R39 and a 28th operational amplifier A28. The inverting input terminal of the 28th operational amplifier A28 is connected to one of the 39th resistor R39 and the input terminal of the vertical hall element hv10. The potential at the non-inverting input terminal of the 28th operational amplifier A28 is set to the second constant voltage YVf corresponding to the constant current value at the input terminal of the vertical hall element hv10. The output terminal of the 28th operational amplifier A28 is connected to one input terminal of the vertical hall element hv10. One terminal of the 39th resistor R39 is grounded.

次に、一定時間(1ms)ごとに割り込み処理として他の動作と独立して行われる像ブレ補正処理について手順を図8のフローチャートで説明する。   Next, the procedure of image blur correction processing that is performed independently of other operations as interrupt processing at regular time intervals (1 ms) will be described with reference to the flowchart of FIG.

ステップS11で、像ブレ補正処理の割り込み動作が始まると、ステップS12で、角速度検出部25から出力された第1、第2角速度vx、vyが、CPU21のA/D0、A/D1を介しA/D変換され入力される。ステップS13で、ホール素子部44aで位置検出され、ホール素子信号処理回路部45で演算された第1、第2検出位置信号px、pyがCPU21のA/D2、A/D3を介しA/D変換され入力され、現在位置P(pdx、pdy)が求められる。   When the image blur correction process interrupt operation starts in step S11, the first and second angular velocities vx and vy output from the angular velocity detection unit 25 in step S12 are converted to A via the A / D0 and A / D1 of the CPU 21, respectively. / D converted and input. In step S13, the first and second detected position signals px and py detected by the Hall element unit 44a and calculated by the Hall element signal processing circuit unit 45 are A / D via A / D2 and A / D3 of the CPU 21. The current position P (pdx, pdy) is obtained after being converted and input.

ステップS14で、IS=0か否かが判断される。IS=0すなわち補正モードでない場合は、ステップS15で、可動部30aの移動すべき位置S(sx、sy)が、可動部30aの移動中心位置と同じに設定される。IS=1すなわち補正モードの場合は、ステップS16で、ステップS12で求めた第1、第2角速度vx、vyから可動部30aの移動すべき位置S(sx、sy)が演算され設定される。   In step S14, it is determined whether IS = 0. When IS = 0, that is, when the correction mode is not set, in step S15, the position S (sx, sy) to which the movable part 30a should move is set to be the same as the movement center position of the movable part 30a. In the case of IS = 1, that is, in the correction mode, in step S16, the position S (sx, sy) to which the movable part 30a should move is calculated and set from the first and second angular velocities vx, vy obtained in step S12.

ステップS17で、ステップS15またはステップS16で設定した位置S(sx、sy)と現在位置P(pdx、pdy)より可動部30aの移動に必要な駆動力Dすなわち第1、第2駆動用コイル31a、32aを駆動するのに必要な第1、第2PWMデューティdx、dyが演算される。ステップS18で第1、第2PWMデューティdx、dyによりドライバ回路29を介し第1、第2駆動用コイル31a、32aが駆動され可動部30aが移動せしめられる。ステップS17、S18の動作は、一般的な比例、積分、微分演算を行うPID自動制御で用いられる自動制御演算である。   In step S17, the driving force D required to move the movable portion 30a from the position S (sx, sy) and the current position P (pdx, pdy) set in step S15 or step S16, that is, the first and second driving coils 31a. , 32a required to drive the first and second PWM duties dx, dy are calculated. At step S18, the first and second drive coils 31a and 32a are driven by the first and second PWM duties dx and dy via the driver circuit 29, and the movable portion 30a is moved. The operations in steps S17 and S18 are automatic control calculations used in PID automatic control that performs general proportional, integral, and differential calculations.

また、撮像素子39a1を含む撮像部39aが可動部30aに配置されて移動する形態を説明したが、撮像部39aは固定で、像ブレ補正レンズを可動部30aに配置して移動させる形態でも同様の効果が得られる。   In addition, the imaging unit 39a including the imaging element 39a1 has been described as being arranged and moved on the movable unit 30a. However, the imaging unit 39a is fixed, and the same applies to the configuration in which the image blur correction lens is arranged and moved on the movable unit 30a. The effect is obtained.

また、磁界変化検出素子として、ホール素子を利用した位置検出を説明したが、磁界変化検出素子として別の検出素子を利用してもよい。具体的には、磁界の変化を検出することにより、可動部の位置検出情報を求めることが可能なMIセンサ(高周波キャリア型磁界センサ)、磁気共鳴型磁界検出素子、MR素子(磁気抵抗効果素子)が挙げられる。これらは、ホール素子を利用した本実施形態と同様の効果が得られる。   Further, although the position detection using the Hall element has been described as the magnetic field change detection element, another detection element may be used as the magnetic field change detection element. Specifically, an MI sensor (high frequency carrier type magnetic field sensor), a magnetic resonance type magnetic field detection element, an MR element (magnetoresistance effect element) capable of obtaining position detection information of the movable part by detecting a change in the magnetic field. ). These can obtain the same effects as those of the present embodiment using Hall elements.

なお、本実施形態では、可動部30aは、固定部30bに対して、第1方向x、第2方向yに移動可能であり、第1方向xの位置、第2方向yの位置を検出することによって、可動部30aの位置検出を行うこととしたが、可動部30aの移動、及び位置検出はこれに限られず、光軸LXに垂直な平面上(例えば、1次元方向のみの移動)を動く他の形態であってもよい。   In the present embodiment, the movable part 30a is movable in the first direction x and the second direction y with respect to the fixed part 30b, and detects the position in the first direction x and the position in the second direction y. Thus, the position of the movable part 30a is detected. However, the movement and position detection of the movable part 30a are not limited to this, but on a plane perpendicular to the optical axis LX (for example, movement only in the one-dimensional direction). Other forms that move are also possible.

本実施形態における撮像装置の外観を示す背面からみた斜視図である。It is the perspective view seen from the back which shows the appearance of the imaging device in this embodiment. 撮像装置の正面図である。It is a front view of an imaging device. 撮像装置の回路構成図である。It is a circuit block diagram of an imaging device. 像ブレ補正装置の構成図である。It is a block diagram of an image blur correction apparatus. 図4のA−A線における断面の構成図である。It is a block diagram of the cross section in the AA of FIG. 第1駆動用コイルと水平方向ホール素子と、第1位置検出及び駆動用磁石の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a 1st drive coil, a horizontal direction Hall element, and a 1st position detection and drive magnet. ホール素子部と、ホール素子信号処理回路部の回路構成図である。It is a circuit block diagram of a Hall element part and a Hall element signal processing circuit part. 一定時間ごとに割り込み処理として行われる像ブレ補正処理のフローチャートである。It is a flowchart of an image blur correction process performed as an interrupt process at regular intervals.

符号の説明Explanation of symbols

1 撮像装置
11 Ponボタン
12a 測光スイッチ
13 レリーズボタン
13a レリーズスイッチ
14 像ブレ補正ボタン
14a 像ブレ補正スイッチ
17 LCDモニタ
21 CPU
22 撮像ブロック
23 AE部
24 AF部
25 角速度検出部
26、27 第1、第2角速度センサ
28 アンプ・ハイパスフィルタ回路
29 ドライバ回路
30 像ブレ補正装置
30a 可動部
30b 固定部
31a、32a 第1、第2駆動用コイル
39a 撮像部
39a1 撮像素子
39a2 ステージ
39a3 押さえ部
39a4 光学ローパスフィルタ
411b、412b 第1、第2位置検出及び駆動用磁石
431b、432b 第1、第2位置検出及び駆動用ヨーク
44a ホール素子部
45 ホール素子信号処理回路部
451、453、456 第1、第3、第6回路
461、463、466 第11、第13、第16回路
49a 可動基板
50a 移動用シャフト
51a〜53a 第1〜第3水平移動用軸受け部
54b〜57b 第1〜第4鉛直移動用軸受け部
64a プレート
65b ベース板
67 撮影レンズ
A1、A2、A5、A8 第1、第2、第5、第8オペアンプ
A21、A22、A25、A28 第21、第22、第25、第28オペアンプ
dx、dy 第1、第2PWMデューティ
hh10 水平方向ホール素子
hv10 鉛直方向ホール素子
L1、L2 第1、第2有効長
LX 撮影レンズの光軸
px、py 第1、第2検出位置信号
vx、vy 第1、第2角速度

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Imaging device 11 Pon button 12a Metering switch 13 Release button 13a Release switch 14 Image blur correction button 14a Image blur correction switch 17 LCD monitor 21 CPU
22 Imaging block 23 AE unit 24 AF unit 25 Angular velocity detection unit 26, 27 First and second angular velocity sensors 28 Amplifier / high pass filter circuit 29 Driver circuit 30 Image blur correction device 30a Movable unit 30b Fixed unit 31a, 32a First, first Two driving coils 39a Imaging unit 39a1 Imaging element 39a2 Stage 39a3 Holding unit 39a4 Optical low-pass filter 411b, 412b First and second position detection and driving magnets 431b and 432b First and second position detection and driving yoke 44a Hall element Part 45 Hall element signal processing circuit part 451, 453, 456 First, third, sixth circuit 461, 463, 466 Eleventh, thirteenth, sixteenth circuit 49a Movable substrate 50a Moving shaft 51a-53a First-first 3 Horizontal movement bearings 54b to 57b 4 Vertical movement bearing portion 64a Plate 65b Base plate 67 Shooting lens A1, A2, A5, A8 First, second, fifth, eighth operational amplifier A21, A22, A25, A28 21, 21, 22, 25th 28 operational amplifier dx, dy first and second PWM duty hh10 horizontal hall element hv10 vertical hall element L1, L2 first and second effective length LX optical axis px, py first and second detection position signals vx, vy first and second angular velocities

Claims (9)

撮像素子または像ブレ補正レンズのいずれか一方を有し、撮影レンズの光軸に直交する第1方向と、前記光軸及び前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な可動部と、
前記可動部を前記第1、第2方向に移動自在に支持する固定部とを備え、
前記可動部は、前記可動部の第1方向の位置検出に使用される水平方向磁界変化検出素子と、前記可動部の第2方向の位置検出に使用される鉛直方向磁界変化検出素子とを有する磁界変化検出部と、前記可動部の前記第1方向の駆動に使用される第1駆動用コイルと、前記可動部の前記第2方向の駆動に使用される第2駆動用コイルとを有し、
前記水平方向磁界変化検出素子は、前記第1駆動用コイルの巻線内に配置され、前記鉛直方向磁界変化検出素子は、前記第2駆動用コイルの巻線内に配置されることを特徴とする像ブレ補正装置。
A movable part having either one of an image sensor or an image blur correction lens, movable in a first direction orthogonal to the optical axis of the photographing lens, and in a second direction orthogonal to the optical axis and the first direction;
A fixed portion that movably supports the movable portion in the first and second directions;
The movable part includes a horizontal magnetic field change detection element used for detecting the position of the movable part in the first direction, and a vertical magnetic field change detection element used for detecting the position of the movable part in the second direction. A magnetic field change detecting unit; a first driving coil used for driving the movable unit in the first direction; and a second driving coil used for driving the movable unit in the second direction. ,
The horizontal magnetic field change detecting element is disposed in a winding of the first driving coil, and the vertical magnetic field change detecting element is disposed in a winding of the second driving coil. Image blur correction device.
前記水平方向磁界変化検出素子は、前記第1駆動用コイルの巻線の前記第1方向に対し中心近傍に配置され、前記鉛直方向磁界変化検出素子は、前記第2駆動用コイルの巻線の前記第2方向に対し中心近傍に配置されることを特徴とする請求項1に記載の像ブレ補正装置。   The horizontal direction magnetic field change detecting element is disposed in the vicinity of the center of the winding of the first driving coil with respect to the first direction, and the vertical direction magnetic field change detecting element is formed of the winding of the second driving coil. The image blur correction device according to claim 1, wherein the image blur correction device is disposed near a center with respect to the second direction. 前記第1、第2駆動用コイルは、前記巻線の外周部分から中心に向かって渦巻き状のコイルパターンが形成されたシートコイルであることを特徴とする請求項1に記載の像ブレ補正装置。   2. The image blur correction apparatus according to claim 1, wherein the first and second driving coils are sheet coils in which a spiral coil pattern is formed from an outer peripheral portion of the winding toward the center. 3. . 前記第1、第2駆動用コイルは、前記コイルパターンが光軸と平行な第3方向に重ねられて形成される多層のシートコイルであることを特徴とする請求項3に記載の像ブレ補正装置。   The image blur correction according to claim 3, wherein the first and second driving coils are multilayer sheet coils formed by overlapping the coil pattern in a third direction parallel to the optical axis. apparatus. 前記第1駆動用コイルの前記コイルパターンと前記水平方向磁界変化検出素子とは積層されて前記可動部の多層基板に配置され、前記第2駆動用コイルの前記コイルパターンと前記鉛直方向磁界変化検出素子とは積層されて前記多層基板に配置されることを特徴とする請求項3に記載の像ブレ補正装置。   The coil pattern of the first driving coil and the horizontal magnetic field change detecting element are stacked and arranged on a multilayer substrate of the movable part, and the coil pattern of the second driving coil and the vertical magnetic field change detecting element are arranged. The image blur correction apparatus according to claim 3, wherein elements are stacked and disposed on the multilayer substrate. 前記固定部は、前記可動部の第1、第2方向の位置検出及び駆動に使用される第1、第2位置検出及び駆動用磁石を、それぞれ前記水平方向磁界変化検出素子、鉛直方向磁界変化検出素子に対向する位置に有することを特徴とする請求項1に記載の像ブレ補正装置。   The fixed portion includes first and second position detection and driving magnets used for position detection and driving in the first and second directions of the movable portion, the horizontal magnetic field change detecting element, and the vertical magnetic field change, respectively. The image blur correction device according to claim 1, wherein the image blur correction device is provided at a position facing the detection element. 前記磁界変化検出部は、前記水平方向磁界変化検出素子と前記鉛直方向磁界変化検出素子を1つずつ有することを特徴とする請求項1に記載の像ブレ補正装置。   The image blur correction apparatus according to claim 1, wherein the magnetic field change detection unit includes one horizontal magnetic field change detection element and one vertical magnetic field change detection element. 前記磁界変化検出部は、1軸ホール素子であり、
前記水平方向磁界変化検出素子、鉛直方向磁界変化検出素子は、いずれもホール素子であることを特徴とする請求項1に記載の像ブレ補正装置。
The magnetic field change detection unit is a uniaxial Hall element,
The image blur correction apparatus according to claim 1, wherein both the horizontal magnetic field change detection element and the vertical magnetic field change detection element are Hall elements.
撮像素子または像ブレ補正レンズのいずれか一方を有し、撮影レンズの光軸に直交する平面上を移動可能な可動部と、
前記可動部を前記平面上で支持する固定部とを備え、
前記可動部は、前記可動部の位置検出に使用される磁界変化検出部と、前記可動部の前記移動に使用される駆動用コイルとを有し、
前記磁界変化検出部は、前記駆動用コイルの巻線内に配置されることを特徴とする像ブレ補正装置。
A movable part having either one of an image sensor or an image blur correction lens and movable on a plane perpendicular to the optical axis of the photographing lens;
A fixed portion that supports the movable portion on the plane;
The movable part has a magnetic field change detection part used for position detection of the movable part, and a driving coil used for the movement of the movable part,
The image blur correction device, wherein the magnetic field change detection unit is disposed in a winding of the driving coil.
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