JP2005292290A

JP2005292290A - 移動ステージ装置及びプロジェクタ装置

Info

Publication number: JP2005292290A
Application number: JP2004104373A
Authority: JP
Inventors: Hiromasa Kobayashi; 裕昌小林; Koji Tanaka; 幸司田中
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2004-03-31
Publication date: 2005-10-20

Abstract

【課題】簡易な構成で、所望の軸上における全ての座標位置に移動させたい物体を移動することができる移動ステージ、及び、これを備えて高解像度の画像を投影可能なプロジェクタ装置を提供すること。
【解決手段】移動ステージ装置１０６は、下ステージ１０５と、下ステージ１０５に対向して配された上ステージ１０３と、下ステージ１０５と上ステージ１０３とをリンクする３個のストロークユニット１３１、１３２、１３３と、下ステージ１０５に対する上ステージ１０３の位置及び姿勢を６自由度で制御する制御部（制御手段）１３５とを備え、各ストロークユニットは、下ステージ１０５と上ステージ１０３とをリンクするとともに自らの長さを変化できるアクチュエータアーム１３６と、下ステージ１０５と上ステージ１０３との相対的な動きに応じて長さを変化して下ステージ１０５と上ステージ１０３との間隔を固定できるロックアーム１３７とを備えている。
【選択図】図３

Description

本発明は、パラレルメカニズムを用いて６軸の長さ調整を行うことによって、６軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ、θｘ、θｙ、θｚ）の所望の位置にステージ移動を可能とする移動ステージ装置及び、この移動ステージ装置を用いたプロジェクタ装置に関する。

プロジェクタに代表される投影装置は、バルブランプの光源光を空間変調素子に投射し、空間変調素子で調整された光を拡大投影しスクリーンに投影するものである。
近年は空間変調素子の解像度やバルブランプの発光量が飛躍的に向上したことで、明るく高解像な映像を投影することが可能となってきた。
しかしながら、光源となるバルブランプの発光量は無限ではなく、空間変調素子に投射する光量が制限される為、複数の投影装置を複合して投影する必要性があった。又、空間変調素子の解像度も製作上、制限が加わるために、スクリーン上に高解像度の画像を投影するためには、複数の投影装置を複合して投影する必要性があった。

このように、複数の投影装置を使ってスクリーンに投影する場合には、夫々の投影装置の投影位置を狙いの位置に投影する必要があり、複数の投影装置の位置関係を確認しズレ分を補正する必要がある。
このようなズレを補正するものとして、投影装置を移動可能な６軸移動ステージに乗せ、カメラでスクリーン上での投影装置の位置関係をとり込んで解析することで、ステージにズレ分の補正値を指示し、投影装置の位置を所望の位置関係にすることができるものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

また、物体の位置を把握して調整する方法としては、物体の干渉縞画像をとり込み解析することで物体の姿勢位置を把握し６軸移動ステージのそれぞれに移動量の指示を与えることにより、移動ステージ、しいては物体の位置調整する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
さらに、６軸に対応した移動ステージを有さずに物体移動させる方法としては、伸び縮み可能な６本のアクチュエータとアクチュエータの両端に設けた関節により、６軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ、θｘ、θｙ、θｚ）の移動を可能にする方法や（例えば、特許文献３参照。）、伸び縮み可能な３本のアクチュエータとアクチュエータの両端に設けた関節により、３軸（θｘ、θｙ、Ｚ）の移動を可能にする方法が提案されている（例えば、特許文献４参照。）。
特開平８−１６８０３９号公報特開平８−８６６３１号公報特開平９−１０５７０６号公報特開平８−１１０８０号公報

しかしながら、上記特許文献１、２に記載の技術は、画像をとり込んで解析した後、各移動ステージに移動量を指示するもので、移動ステージは各軸に独立対応して構成されている。そのため、移動ステージを６軸移動させる場合、６つの移動ステージで構成する必要性がある。このため、１軸移動に対して１移動ステージが必要となることから、６つの移動ステージが必要となり、装置が大型化してしまうこととなる。

また、上記特許文献３に記載の技術では、６軸全てにアクチュエータが必要となるため、それぞれのアクチュエータを構成する要素が多くなり、構成が複雑化することとなる。
さらに、特許文献４に記載の技術では、移動する軸が３つに決められてしまうので、６軸等これと異なる自由度を要する移動に対応できるものではない。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、簡易な構成で、所望の軸上における全ての座標位置に移動させたい物体を移動することができる移動ステージ、及び、これを備えてスクリーン上に高解像度の画像を投影可能なプロジェクタ装置を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明に係る移動ステージ装置は、パラレルメカニズムを用いる移動ステージ装置であって、ベース部とされるベースステージと、該ベースステージに対向して配されたエンドエフェクタ部とされるエンドステージと、互いに離間して配されて前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクする３個のストロークユニットと、前記３個のストロークユニットを駆動制御して前記ベースステージに対する前記エンドステージの位置及び姿勢を６自由度で制御する制御手段とを備え、前記ストロークユニットが、前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクするとともに自らの長さを変化できるアクチュエータアームと、前記ベースステージと前記エンドステージとの相対的な動きに応じて長さを変化して前記ベースステージと前記エンドステージとの間隔を固定できるロックアームと、前記ベースステージ又は前記エンドステージと前記アクチュエータアーム及び前記ロックアームのリンク連結位置における所定の一軸回りの回動をロックできる回動ロック手段とを備えていることを特徴とする。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記制御手段が、制御対象を前記アクチュエータアームと、前記ロックアームと、前記回動ロック手段とされ、前記ベースステージに対する前記エンドステージの位置及び姿勢を一自由度ずつ制御する際に、前記ロックアームと前記回動ロック手段のロック動作を解除した後、前記アクチュエータアームの長さを変化して前記ロックアームの長さを所定の長さに変化させ、前記ロックアームと前記回動ロック手段とをロックする一連の動作を、前記ストロークユニットそれぞれに対し順次行い、前記ロックアーム全ての長さを固定した後に前記回動ロック手段のロック動作を解除して、前記アクチュエータアームを所定の長さに変化させることを特徴とする。

この移動ステージ装置は、３つのストロークユニットにおいてアクチュエータアームとロックアームとの長さをそれぞれ変化させることにより、ベースステージに対してエンドステージを６軸方向に移動制御することができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、パラレルメカニズムを用いる移動ステージ装置であって、ベース部とされるベースステージと、該ベースステージに対向して配されたエンドエフェクタ部とされるエンドステージと、互いに離間して配されて前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクする複数のストロークユニットと、前記複数のストロークユニットを駆動制御して前記ベースステージに対する前記エンドステージの位置及び姿勢を制御する制御手段とを備え、前記ストロークユニットが、前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクするとともに自らの長さを変化できるアクチュエータアームと、前記ベースステージと前記エンドステージとの相対的な動きに応じて長さを変化して前記ベースステージと前記エンドステージとの間隔を固定できるロックアームと、前記ベースステージ又は前記エンドステージと前記アクチュエータアーム及び前記ロックアームのリンク連結位置における所定の一軸回りの回動をロックできる回動ロック手段とを備え、前記制御手段が、前記アクチュエータアームの本数をＡ、前記ロックアームの本数をＢ、前記回動ロック手段の数をＣとした際、Ｎ＝Ａ＋（Ｂ＋Ｃ）／２で表される自由度を制御可能とされていることを特徴とする。

この移動ステージ装置は、複数のストロークユニットにおいてＡ個のアクチュエータアームとＢ個のロックアームとの長さをそれぞれ変化させることにより、ベースステージに対してエンドステージのＮ軸移動を制御することができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記Ａ、前記Ｂ、及び、前記Ｃが３とされていることを特徴とする。
この移動ステージ装置は、３つずつのアクチュエータアームとロックアームとの長さをそれぞれ変化させることにより、ベースステージに対してエンドステージを６軸方向に移動制御することができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記一つのストロークユニットを構成する前記アクチュエータアームの一端及び前記ロックアームの一端、又は、前記アクチュエータアームの他端及び前記ロックアームの他端の何れか一方が互いに隣接して配され、他方が互いに離間して配されていることを特徴とする。
この移動ステージ装置は、各ストロークユニットをアクチュエータアームとロックアームとを二辺とする三角形に形成することができ、エンドステージの位置制御をより好適に行うことができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記回動ロック手段が、互いに離間して配された前記アクチュエータアームの端部に連結された第１の回動軸と、前記ロックアームの端部に連結された第２の回動軸と、前記アクチュエータアームの前記第１の回動軸回りの回動をロックする第１の接続部と、前記ロックアームの前記第２の回動軸回りの回動をロックする第２の接続部とを備え、前記第１の回動軸と前記第２の回動軸とが平行に配されていることを特徴とする。
また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記回動ロック手段が、互いに隣接して配された前記アクチュエータアームの端部と前記ロックアームの端部とにそれぞれ連結された回動軸と、前記アクチュエータアームの前記回動軸回りの回動と前記ロックアームの前記回動軸回りの回動とを共にロックする接続部とを備えていることを特徴とする。
この移動ステージ装置は、アクチュエータアームの端部とロックアームの端部とをそれぞれ同一方向の軸回りに回動させることができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記各ストロークユニットに係る前記第１の回動軸及び前記第２の回動軸の軸方向が、互いに交差する角度で配されていることを特徴とする。
この移動ステージ装置は、第１の回動軸及び第２の回動軸回りの回動を各ストロークユニットで異なる方向にすることができ、エンドステージの制御自由度を増やすことができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記各ストロークユニットに係る前記回動軸の軸方向が、互いに交差する角度で配されていることを特徴とする。
この移動ステージ装置は、回動軸回りの回動を各ストロークユニットで異なる方向にすることができ、エンドステージの制御をより好適に行うことができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記角度が６０度とされていることを特徴とする。
この移動ステージによれば、６自由度制御を好適に行うことができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記ベースステージと前記エンドステージとの温度を略同一温度に調整する温度調整手段を備えていることを特徴とする。
この移動ステージ装置は、ベースステージとエンドステージとの相対温度差によって制御目標位置と移動量とから算出される実際の位置が変動してしまうのを抑えて高精度の位置制御を行うことができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記各ストロークユニットと前記エンドステージとのリンク連結位置を内接する円の直径を第１の直径とし、前記各ストロークユニットと前記ベースステージとのリンク連結位置を内接する円の直径を第２の直径とするとき、前記第１の直径が、前記第２の直径よりも小さいことを特徴とする。
この移動ステージ装置は、より好適にエンドステージの位置制御を行うことができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記リンク連結位置を前記円の半径方向にスライドさせるステージ移動精度切換手段を備え、前記制御手段が、前記エンドステージの面方向に高い精度を必要とする移動の際に、前記第１の直径と前記第２の直径との差分が大きくなるように前記ステージ移動精度切換手段を制御して前記リンク連結位置を調整することを特徴とする。
この移動ステージ装置は、アクチュエータアーム、ロックアームの長さの単位変化量に対するステージ面に直交する方向のステージ移動量を小さくすることができ、この方向の移動精度を高めることができる。

また、本発明に係る移動ステージ装置は、前記移動ステージ装置であって、前記リンク連結位置を前記円の半径方向にスライドさせるステージ移動精度切換手段を備え、前記制御手段が、前記エンドステージ面と直交する方向に高い精度を必要とする移動の際に、前記第１の直径と前記第２の直径との差分が小さくなるように前記ステージ移動精度切換手段を制御して前記リンク連結位置を調整することを特徴とする。
この移動ステージ装置は、アクチュエータアーム、ロックアームの長さの単位変化量に対するステージ面に接する方向のステージ移動量を小さくすることができ、この方向の移動精度を高めるることができる。

本発明に係るプロジェクタ装置は、本発明に係る移動ステージ装置と、前記ベースステージ面上に載置され、光学系を介して投影画像を出射する第１の画像手段と、前記エンドステージ面上に載置され、光学系を介して投影画像を出射する第２の画像手段と、前記第１の画像手段が出射した投影画像と、前記第２の画像手段が出射した投影画像とを合成した投影画像をスクリーン面に投影する投影光学手段とを備えていることを特徴とする。
このプロジェクタ装置は、第１の画像手段と第２の画像手段との位置を高精度に制御することができる。

本発明によれば、簡易なロック機構を備えることによって、移動制御に必要な自由度よりも少ないアクチュエータの駆動で、ベースステージに対してエンドステージを６軸制御することができる。したがって、より高画素の映像に対しても高精度の照射を行うことができる。

本発明に係る第１の実施形態について、図１から図１６を参照して説明する。
本実施形態に係るプロジェクタ装置１０１は、図１に示すように、スクリーン面１０２に投射光を照射して投影するための装置であって、図２に示すように、上ステージ（エンドステージ）１０３と下ステージ（ベースステージ）１０５とを有してパラレルメカニズムを用いてこれらの位置制御を行う移動ステージ装置１０６と、上ステージ１０３面上に載置され、第１の光学系１０７を介して投影画像を出射する第１のプロジェクタ（第１の画像手段）１０８と、下ステージ１０５面上に載置され、第２の光学系１１０を介して投影画像を出射する第２のプロジェクタ（第２の画像手段）１１１と、入力した映像を第１のプロジェクタ１０８及び第２のプロジェクタ１１１に供給する画像再生装置１１２と、画像再生装置１１２と同期して接続される画像処理装置１１３と、下ステージ１０５に載置され、第１のプロジェクタ１０８が出射した投影画像と第２のプロジェクタ１１１が出射した投影画像とを光学的に合成した合成投影画像１１５をスクリーン１０２に投影する投影光学手段１１６と、第１のプロジェクタ１０８が出射した投影画像と第２のプロジェクタ１１１が出射した投影画像とを所望の精度で合成するために第２のプロジェクタ１１１に対する第１のプロジェクタ１０８の位置を把握するためのモニタ光学手段１１７とを備えている。

第１の光学系１０７は、第１のプロジェクタ１０８から射出された光を波長施光作用によって全てＳ偏光とする第１の偏光板１１８と、第１の偏光板１１８を通過した光を略平行光とする第１のリレー光学系１２０と、略平行光の光路を後述する偏光ビームスプリッタ１２５に向かって折り曲げる第１の反射鏡１２１とを備えている。
第２の光学系１１０は、第２のプロジェクタ１１１から射出された光を波長施光作用によって全てＰ偏光とする第２の偏光板１２２と、第２の偏光板１２２を通過した光を略平行光とする第２のリレー光学系１２３とを備えている。

投影光学手段１１６は、第１のプロジェクタ１０８から射出された光と第２のプロジェクタ１１１から射出された光とを合成する偏光ビームスプリッタ１２５を備えている。
モニタ光学手段１１７は、偏光ビームスプリッタ１２５から漏れた光を反射する第２の反射鏡１２６と、第２の反射鏡１２６からの光が導光されて所望の画像サイズに調光するモニタ投影光学系１２７と、モニタ投影光学系１２７を通過した光が投影されるモニタスクリーン１２８と、モニタスクリーン１２８に投影された映像をとらえるモニタ結像手段１３０とを備えている。

移動ステージ装置１０６は、図２及び図３に示すように、ベース部とされる下ステージ１０５と下ステージ１０５に対向して配されたエンドエフェクタ部とされる上ステージ１０３との他に、互いに離間して配されて下ステージ１０５と上ステージ１０３とをリンクする３個のストロークユニット１３１、１３２、１３３と、３個のストロークユニット１３１、１３２、１３３を駆動制御して下ステージ１０５に対する上ステージ１０３の位置及び姿勢を６自由度で制御する制御部（制御手段）１３５とを備え、各ストロークユニット１３１、１３２、１３３は、下ステージ１０５と上ステージ１０３とをリンクするとともに自らの長さを変化できるアクチュエータアーム１３６と、下ステージ１０５と上ステージ１０３との相対的な動きに応じて長さを変化して下ステージ１０５と上ステージ１０３との間隔を固定できるロックアーム１３７と、下ステージ１０５上に配されてアクチュエータアーム１３６の一端１３６ａとロックアーム１３７の一端１３７ａとを連結してリンク連結位置の一軸回りの回動を可能とする回動軸１３８を有して回動軸１３８の回転をロックできる回動ロック手段１４０とを備えている。

各ストロークユニット１３１、１３２、１３３にはそれぞれ、アクチュエータアーム１３６、ロックアーム１３７、回動軸１３８とが正三角形を形成するように、アクチュエータアーム１３６の一端１３６ａ及びロックアーム１３７の一端１３７ａが互いに離間して配され、アクチュエータアーム１３６の他端１３６ｂ及びロックアーム１３７の他端１３７ｂが互いに隣接して配されている。
各ストロークユニット１３１、１３２、１３３は、下ステージ１０５の中心に対して互いに１２０度ずつの角度で離間した位置に、回動軸１３８の軸方向が６０度の角度で配されており、下ステージ１０５に対する各ストロークユニット１３１、１３２、１３３の姿勢角度が７０度とされている。

図４及び図５に示すように、上ステージ１０３に対してアクチュエータアーム１３６の他端１３６ｂと、ロックアーム１３７の他端１３７ｂとは、ジョイント凹１４１とジョイント凸１４２とからなるボールジョイント１４３にて回動自在に嵌合されている。
アクチュエータアーム１３６の一端１３６ａは、回転ピン１４５を中心に回動軸１３８の軸方向に回動可能に第１の２軸ジョイント（第１の接続部）１４６に結合されており、第１の２軸ジョイント１４６は回動軸１３８に固定ビス１３８ａで固定されている。
ロックアーム１３７の一端１３７ａは、第１の２軸ジョイント１４６と同様の構成を有する第２の２軸ジョイント（第２の接続部）１４７に、アクチュエータアーム１３６の一端１３６ａと同様に支持されている。

図５及び図６に示すように、回動ロック手段１４０は、下ステージ１０５上に固定されて回動軸１３８の一端１３８ａ側と他端１３８ｂ側とを回動自在に支持する２個の軸受け１４８と、回動軸１３８の他端１３８ｂ側に固定されて回動軸１３８とともに回動する回動軸ディスク１５０と、回動軸ディスク１５０を挟んで配され、制御部１３５の指示により出し入れすることによって、任意の位置に回動軸ディスク１５０、すなわち、回動軸１３８の回転をフリー又はロック状態にすることが可能な一対の回動軸ロックパッド１５１を有する回動軸ロック部１５２とを備えている。

アクチュエータアーム１３６は、一端１３６ａ側で第１の２軸ジョイント１４６に連結される第１の固定軸１５３と、他端１３６ｂ側で第１の固定軸１５３の軸回りに回動可能な移動回動軸１５５と、第１の固定軸１５３に配され、制御部１３５からの指示で駆動するモータ１５６と、モータ１５６に取り付けられた第１のウォームギア１５７と、移動回動軸１５５に配されて第１のウォームギア１５７の回転が伝達される第２のウォームギア１５８と、移動回動軸１５５と第１の固定軸１５３とにまたがって配されたアクチュエータアーム制御手段１６０とを備えている。
アクチュエータアーム制御手段１６０は、移動回動軸１５５と第１の固定軸１５３とのストローク位置関係を測定して制御部１３５に測定データを伝達するようにされている。

ロックアーム１３７は、第２の２軸ジョイント１４７に連結される第２の固定軸１６１と、第２の固定軸１６１の軸方向に移動可能な移動軸１６２と、第２の固定軸１６１に配されて移動軸１６２の軸方向の移動を制御部１３５からの指示で制御するロックキャリパ１６３と、移動軸１６２と第２の固定軸１６１とにまたがって配され、第２の固定軸１６１に対する移動軸１６２のストローク位置関係を測定して測定データを制御部１３５に伝達するロックアーム制御手段１６５とを備えている。
ロックキャリパ１６３は、本体１６６と、本体の内部に配されて先端に微細な凹凸部１６７Ａが形成されたロックアームシリンダ１６７が取り付けられており、制御部１３５の指示により出し入れが可能とされている。移動軸１６２の外周面には、ロックアームシリンダ１６７を出した状態でロックアームシリンダ１６７の凹凸部１６７Ａと係合可能な微細溝１６８が配されており、凹凸部１６７Ａと微細溝１６８とが係合されることによって移動軸１６２と第２の固定軸１６１とが固定される。

制御部１３５は、制御対象をアクチュエータアーム１３６と、ロックアーム１３７と、回動ロック手段１４０とされ、下ステージ１０５に対する上ステージ１０３の位置及び姿勢を一自由度ずつ制御する際に、ロックアーム１３７と回動ロック手段１４０のロック動作を解除した後、アクチュエータアーム１３６の長さを変化してロックアーム１３７の長さを所定の長さに変化させ、ロックアーム１３７と回動ロック手段１４０とをロックする一連の動作を、ストロークユニット１３１、１３２、１３３のそれぞれに対し順次行い、ロックアーム１３７全ての長さを固定した後に回動ロック手段１４０のロック動作を解除して、アクチュエータアーム１３６を所定の長さに変化させるものとされている。

モニタスクリーン１２８には、画像再生装置１１２からの指示により第１のプロジェクタ１０８及び第２のプロジェクタ１１１に予め設定された表示タイミングで第１のプロジェクタ１０８及び第２のプロジェクタ１１１の位置を示すマークがモニタスクリーン１２８上の任意の位置に投影される。
図７に示すように、画像処理装置１１３は、これと同期してモニタ結像手段１３０に撮影指示を出して位置を示すマークを各撮影タイミングで撮影するとともに、制御部１３５が備える位置解析ソフトによって第１のプロジェクタ１０８及び第２のプロジェクタ１１１の位置関係を把握して所望の移動量を解析し、解析結果を各ストロークユニット１３１、１３２、１３３に伝達して上ステージ１０３を所望の位置に移動させる。

なお、第１のプロジェクタ１０８及び第２のプロジェクタ１１１の位置を調整して高機能化する手段として高精細化を図る場合には、Ｐ／２画素ピッチ分ずらした位置に第１のプロジェクタ１０８を移動すれば良い。
また、第１のプロジェクタ１０８を第２のプロジェクタ１１１と同位置に移動すれば高輝度出力を得ることができ、第１のプロジェクタ１０８に左眼用、第２のプロジェクタ１１１に右目用の画像を入力することによって３Ｄ映像を得ることができる。

次に、本実施形態に係るプロジェクタ装置１０１における移動ステージ装置１０６の作用・効果として、画像処理装置１１３の位置解析ソフトにより第１のプロジェクタ１０８と第２のプロジェクタ１１１との位置関係の補正量が、Ｘ軸方向に＋２０ｍｍ移動する必要があると判断した場合について、図８から図１６までを用いて説明する。
第１のプロジェクタ１０８の補正量が制御Ｉ／Ｆを介して制御部１３５に伝達されると、制御部１３５ではパラレルメカニズムの算出により、アクチュエータアーム１３６とロックアーム１３７との長さが決定され、移動ステージ各部位の制御が開始される。ここで、全てのアクチュエータアーム１３６とロックアーム１３７の初期状態における長さを図８に示すように、５９０．８８１ｍｍとする。

図９及び図１０に示すように、制御部１３５からの指示により、ストロークユニット１３１のロックアームシリンダ１６７と回動ロック手段１４０のロックを解除する。これによって、それぞれ移動制限方向に対して自由動状態となる。
次にアクチュエータアーム１３６のモータ１５６を、アクチュエータアーム１３６の全体の長さが短くなる方向に回転させて第１のウォームギア１５７を回転し、この回転力を第２のウォームギア１５８に伝達して、移動回動軸１５５を第１の固定軸１５３に対して回転させながら全体の長さを変更する。このとき、ロックアーム１３７の移動軸１６２は第２の固定軸１６１に対して同一方向に移動する。

この間、ストロークユニット１３２、１３３はアクチュエータアーム１３６及びロックアーム１３７とも長さが変化しないため、軸１７０の位置が固定された状態で、この軸１７０を回転中心として上ステージ１０３が回転して下ステージ１０５に対する姿勢角度が変化する。この際、ボールジョイント１４３内のジョイント凸１４２に対し、ジョイント凹１４１が動くことで上ステージの姿勢が変化する。
ロックアーム制御手段１６５から逐次制御部１３５にロックアーム１３７の長さ情報を伝達させ、図１１に示すように、ロックアーム１３７の長さが５８７．３８８ｍｍになったところで、制御部１３５よりアクチュエータアーム１３６のモータ１５６停止、及び、ロックアームシリンダ１６７のロック、回動ロック手段１４０のロックの指示がなされ、一旦全ての可動部が固定される。

続いて、ストロークユニット１３２のロックアームシリンダ１６７と回動ロック手段１４０のロックを解除する。そして、アクチュエータアーム１３６のモータ１５６を回転して移動回動軸１５５を回転させながら長さを変更する。このとき、ストロークユニット１３１、１３３はアクチュエータアーム１３６及びロックアーム１３７とも長さが変化しないため、ストロークユニット１３１における長さ制御をした時と同様に、上ステージ１０３が軸１７１を回転中心として回動することで、下ステージ１０５に対する姿勢角度が変化する。
そして、ロックアーム制御手段１６５から逐次制御部１３５にロックアーム１３７の長さ情報を伝達し、図１２に示すように、ロックアーム１３７の長さが５９２．８７２ｍｍになったところで、制御部１３５よりアクチュエータアーム１３６のモータ１５６停止、及び、ロックアームシリンダ１６７のロック、回動ロック手段１４０のロックの指示がなされ、全ての可動部が固定される。
ストロークユニット１３３に対しても同様の操作を行い、図１３に示すように、ストロークユニット１３３のロックアーム１３７の長さが５９２．８７２ｍｍになったところで、制御部１３５よりアクチュエータアーム１３６のモータ１５６停止、及び、ロックアームシリンダ１６７のロック、回動ロック手段１４０をロックする。

次に、図９及び図１０に示すように、制御部１３５からの指示によって、ストロークユニット１３２、１３３の回動ロック手段１４０のロックを解除し回動軸１３８を回転自由状態にする。その後、ストロークユニット１３１のアクチュエータアーム１３６のモータ１５６をアクチュエータアーム１３６の全体の長さが長くなる方向に回転させ、移動回動軸１５５を回転させながら移動して図１４に示すように、アクチュエータアーム１３６の長さを変更する。このとき、ロックアームシリンダ１６７はロックされているので、ロックアーム１３７の長さは変化しない。
したがって、アクチュエータアーム１３６の長さが長くなるにつれて、アクチュエータアーム１３６の一端１３６ａが、第１の２軸ジョイント１４６に対して回転ピン１４５回りにロックアーム１３７方向に回転する。また、ロックアーム１３７の一端１３７ａが、第２の２軸ジョイント１４７に対して回転ピン１４５回りに同一方向に回転する。

このとき、ストロークユニット１３２、１３３はアクチュエータアーム１３６及びロックアーム１３７とも長さが変化しないため、それぞれ回動軸１３８が回転して下ステージ１０５に対する姿勢角度が変化する。
アクチュエータアーム制御手段１６０から逐次制御部１３５にアクチュエータアーム１３６の長さ情報を伝達し、図１４に示すように、アクチュエータアーム１３６の長さが５９５．０２５ｍｍになったところで、制御部１３５よりアクチュエータアーム１３６のモータ１５６停止の指示がなされ全ての可動部が固定される。
この間、アクチュエータアーム１３６の他端１３６ａ及びロックアーム１３７の他端１３７ｂとがそれぞれボールジョイント１４３に接続されているので、上ステージ１０３がストロークユニット１３１の長さ変化に応じて移動する。
同様の操作をストロークユニット１３２に対して行い、図１５に示すように、アクチュエータアーム１３６の長さを５８９．０５２ｍｍとする。そして、ストロークユニット１３３のアクチュエータアーム１３６の長さを５８９．０５２ｍｍとすると、図１６に示すように、上ステージ１０３が最終的にＸ軸方向に＋２０ｍｍ移動する。
こうして、第１のプロジェクタ１０８と第２のプロジェクタ１１１とを所望の位置関係とすることができる。

この移動ステージ装置１０６及びプロジェクタ装置１０１によれば、３つのストロークユニット１３１、１３２、１３３においてアクチュエータアーム１３６とロックアーム１３７との長さをそれぞれ変化させることによって、下ステージ１０５に対して上ステージ１０３を６軸方向に移動することができる。
したがって、６軸すべてにアクチュエータを設けなくても簡易な構成で下ステージに対して上ステージを６軸制御することができ、第１のプロジェクタ１０８と第２のプロジェクタ１１０との位置を高精度に制御して、より高画素の映像に対しても高精度の照射を行うことができる。

次に、第２の実施形態について図１７を参照しながら説明する。
なお、上述した第１の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第２の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るプロジェクタ装置２０１が備える移動ステージ装置２０２が、上ステージ２０３と下ステージ２０４の温度を略同一温度に調整する温度調整手段２０５を備えている点である。

温度調整手段２０５は、上ステージ２０３内の全面にわたって配設された第１の温調配管２０６と、下ステージ２０４内の全面にわたって配設された第２の温調配管２０７と、第１の温調配管２０６及び第２の温調配管２０７に温度調整用の水等の液体媒体を流通させる温度調整機２０８と、上ステージ２０３及び下ステージの中央部に配されて温度を測定する温度センサ２１０とを備えている。
第１の温調配管２０６及び第２の温調配管２０７の一方には温度調整機２０８とそれぞれ連通される第１の往路温調配管２１１及び第２の往路温調配管２１２がそれぞれ接続され、他方には温度調整機２０８とそれぞれ連通された第１の復路温調配管２１３及び第２の復路温調配管２１５が接続されている。温度調整機２０８は、媒体を加熱、冷却させる不図示の加熱・冷却部と、排出する媒体量を調整して、上ステージ２０３、下ステージ２０４の単独制御と、温度差が小さくなったときの熱交換の微調整とを行う不図示の制御弁と、温度センサ２１５にて測定した温度と設定温度との温度差をなくすための不図示の温度制御部とを備えている。

次に、本実施形態に係る移動ステージ装置２０２及びプロジェクタ装置２０１において、温度調整に係る作用、及び効果について説明する。
まず、上ステージ２０３及び下ステージ２０４上の設定温度をそれぞれ温度調整機２０８にセットして、各ステージに配設された温度センサ２１０により実際の温度を把握する。
温度センサ２１０で感知した温度が低い場合には、温度制御部の指示により温度調整機２０８が有する加熱機能によって媒体を設定温度よりも高温に加熱し、或いは、温度センサ２１０で感知した温度が高い場合には、温度制御部の指示により温度調整機２０８が有する冷却機能によって媒体を設定温度よりも低温に冷却する。そして、温度調整された媒体を温度調整機２０８より送り出し、第１の往路温調配管２１１及び第２の往路温調配管２１２を経由して各ステージに送り込む。

各ステージに送り込まれた媒体は、第１の温調配管２０６及び第２の温調配管２０７内を流れながら各ステージを加熱又は冷却し、第１の復路温調配管２１３及び第２の復路温調配管２１５を経由して温度調整機２０８に取り込まれる。なお、制御弁の制御によって上ステージ２０３、下ステージ２０４それぞれを単独に制御することができるとともに、温度差が小さくなった際に媒体の流量の微調整を行う。
この移動ステージ装置２０２及びプロジェクタ装置２０１によれば、上述の作用を繰り返すことで、各ステージの温度を一定に保つことができ、ステージ上に載置されたプロジェクタのように放熱する物体に対し、その他のステージを構成する各構成品が温度膨張等の影響を受けることを抑えて、パラレルメカニズムによる、より正確な位置制御を行うことができる。

次に、第３実施形態について図１８を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第３の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るプロジェクタ装置３０１の移動ステージ装置３０２が、各ストロークユニット３０３，３０５，３０６と上ステージ１０３との第１のリンク連結位置（リンク連結位置）３０７を内接する第１の円（円）３０８の直径を第１の直径３１０とし、各ストロークユニット３０３，３０５，３０６と下ステージ１０５との第２のリンク連結位置（リンク連結位置）３１１を内接する第２の円（円）３１２の直径を第２の直径３１３とするとき、第１の直径３１０が、第２の直径３１３よりも小さくされて、アクチュエータアーム１３６、ロックアーム１３７、回動軸１３８が正三角形をなすように長さ調整され、各ストロークユニット３０３，３０５，３０６が１２０度ずつ均等に配され、下ステージ１０５に対する姿勢角度が４５度とされているとした点である。

この移動ステージ装置３０２及びプロジェクタ装置３０１によれば、姿勢角度を小さくすることによってアクチュエータアーム１３６、ロックアーム１３７のそれぞれの長さの単位変化量に対して下ステージ１０５面に直交する方向の上ステージ１０３移動量を小さくすることができる。したがって、この方向の移動精度を高めることができる。

次に、第４実施形態について図１９を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第４の実施形態と第３の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るプロジェクタ装置４０１の移動ステージ装置４０２が、第２のリンク連結位置３１１を第２の円３１２の半径方向にスライドさせるステージ移動精度切換手段４０３を備え、制御部１３５が、上ステージ１０３の面方向に高い精度を必要とする移動の際に、第１の直径３１０と第２の直径３１３との差分が大きくなるようにステージ移動精度切換手段４０３を制御して第２のリンク連結位置３１１を調整し、上ステージ１０３面と直交する方向に高い精度を必要とする移動の際に、第１の直径３１０と第２の直径３１３との差分が小さくなるようにステージ移動精度切換手段４０３を制御して第２のリンク連結位置３１１を調整するとした点である。

ステージ移動精度切換手段４０３は、各ストロークユニット３０３、３０５、３０６に対応して下ステージ１０５に配されており、各ストロークユニット３０３、３０５、３０６を載置する移動部４０５と、移動部４０５を第２の円３１２の径方向に移動させる図示しない駆動部とを備えている。
駆動部は、ストロークユニット３０３、３０５、３０６の姿勢角度を４５度乃至７０度の範囲で可変可能に移動部４０５を下ステージ１０５上で移動させる機能を有する。

次に、本実施形態に係るプロジェクタ装置４０１の移動ステージ装置４０２における作用・効果について説明する。
上ステージ１０３に対して下ステージ１０５面に接する方向の移動精度が必要となる場合、制御部１３５がストロークユニット３０３、３０５、３０６と下ステージ１０５とのなす姿勢角度を４５度から７０度に変更する指示を各ステージ移動精度切換手段４０３に出す。このとき、駆動部によって移動部４０５を下ステージ１０５の第２の円３１２の径方向内方に移動して固定する。

一方、上ステージ１０３に対して下ステージ１０５面に直交する方向の移動精度が必要となる場合、制御部１３５がストロークユニット３０３、３０５、３０６と下ステージ１０５とのなす姿勢角度を７０度から４５度に変更する指示を各ステージ移動精度切換手段４０３に出す。このとき、駆動部によって移動部４０５を下ステージ１０５の第２の円３１２の径方向外方に移動して固定する。
その後は、上述の操作によってそれぞれ上ステージ１０３を下ステージ１０５に対して移動させる。

この移動ステージ装置４０２及びプロジェクタ装置４０１によれば、移動部４０５の移動方向によって、各ストロークユニット３０３、３０５、３０６の下ステージ１０５に対する姿勢角度を変化することができ、ステージ面に接する方向のステージ移動量、或いは、ステージ面に直交する方向のステージ移動量の何れか一方を小さくして、この方向の移動精度を高くすることができる。

次に、第５実施形態について図２０及び図２１を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第５の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るプロジェクタ装置５０１の移動ステージ装置５０２における各ストロークユニット５０３、５０５、５０６にて、アクチュエータアーム１３６の一端１３６ａ及びロックアーム１３７の一端１３７ａが隣接して配され、アクチュエータアーム１３６の他端１３６ｂ及びロックアーム１３７の他端１３７ｂが互いに離間して配されているとした点である。

アクチュエータアーム１３６の一端１３６ａとロックアーム１３７の一端１３７ａとは、回転ピン１４５を中心に回動軸１３８の軸方向に回動可能に一つの２軸ジョイント（接続部）５０７に結合されている。その他の構成は第１の実施形態に係るプロジェクタ装置５０１及び移動ステージ装置５０２と同様とされている。
この移動ステージ装置５０２及びプロジェクタ装置５０１によれば、第１の実施形態と同様の作用・効果を得ることができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、上ステージを６自由度で位置制御するとしているが、アクチュエータアームの本数をＡ、ロックアームの本数をＢ、回動ロック手段の数をＣとして、Ｎ＝Ａ＋（Ｂ＋Ｃ）／２で表される自由度を制御させても構わない。
この場合、Ａ、Ｂ、及び、Ｃを３とすることによって、上記実施形態と同様の作用・効果を得ることができる。

また、上記実施形態では、回動ロック手段の回動軸はアクチュエータアームとロックアームとで共通とされているが、アクチュエータアームの第１の回動軸回りの回動をロックする第１の接続部が連結された第１の回動軸と、ロックアームの第２の回動軸回りの回動をロックする第２の接続部が連結された第２の回動軸とを備え、第１の回動軸と第２の回動軸とが平行に配されているとしても構わない。
この場合も、一つの回動軸の場合と同様にアクチュエータアームとロックアームとを支持することができ、各ストロークユニットに係る第１の回動軸及び第２の回動軸の軸方向が、互いに交差する角度（例えば、６０度）で配することによって、上記実施形態と同様の作用・効果を得ることができる。

本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置の使用形態示す概念図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す概略構成図である。（ａ）本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す概略側面図、（ｂ）移動ステージ装置の概略平面図および概略側面図（ｃ）移動ステージ装置の概略正面図である。（ａ）本発明の第１の実施形態に係る移動ステージ装置を示す側面図、（ｂ）本発明の第１の実施形態に係る移動ステージの要部を示す拡大図、（ｃ）本発明の第１の実施形態に係るストロークユニットの要部を示す拡大図である。（ａ）本発明の第１の実施形態に係る移動ステージ装置を示す概略側面図、（ｂ）本発明の第１の実施形態に係るストロークユニットを示す斜視図、（ｃ）本発明の第１の実施形態に係る回動ロック手段の要部を示す拡大図である。（ａ）本発明の第１の実施形態に係る移動ステージ装置を示す概略側面図、（ｂ）本発明の第１の実施形態に係るストロークユニットを示す斜視図、（ｃ）本発明の第１の実施形態に係るロックアームの要部を示す拡大図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す制御ブロック図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す概略平面図である。本発明の第１の実施形態に係る移動ステージ装置におけるステージ移動操作を説明する制御フロー図である。本発明の第１の実施形態に係る移動ステージ装置におけるステージ移動操作を説明する制御フロー図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置におけるステージ移動状態を説明する概略平面図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置におけるステージ移動状態を説明する概略平面図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置におけるステージ移動状態を説明する概略平面図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置におけるステージ移動状態を説明する概略平面図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置におけるステージ移動状態を説明する概略平面図である。本発明の第１の実施形態に係るプロジェクタ装置におけるステージ移動状態を説明する概略平面図である。（ａ）本発明の第２の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す概略側面図、（ｂ）移動ステージ装置の概略平面図（ｃ）移動ステージ装置の概略側面図である。（ａ）本発明の第３の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す概略側面図、（ｂ）移動ステージ装置の概略平面図（ｃ）移動ステージ装置の概略正面図（ｄ）移動ステージの側面図（ｅ）（ｂ）におけるＢ矢視図である。（ａ）本発明の第４の実施形態に係るプロジェクタ装置を示す概略側面図、（ｂ）移動ステージ装置の概略平面図（ｃ）移動ステージ装置の概略正面図（ｄ）移動ステージの側面図（ｅ）（ｂ）におけるＣ矢視図である。（ａ）本発明の第５の実施形態に係る移動ステージ装置を示す概略側面図、（ｂ）本発明の第５の実施形態に係るストロークユニットを示す斜視図、（ｃ）本発明の第５の実施形態に係る回動ロック手段の要部を示す拡大図である。（ａ）本発明の第５の実施形態に係る移動ステージ装置を示す側面図、（ｂ）本発明の第５の実施形態に係る移動ステージの要部を示す拡大図である。

符号の説明

１０１、２０１、３０１、４０１、５０１プロジェクタ装置
１０２スクリーン面
１０３、２０３上ステージ（エンドステージ）
１０５、２０４下ステージ（ベースステージ）
１０６、２０２、３０２、４０２、５０２移動ステージ装置
１０８第１のプロジェクタ（第１の画像手段）
１１１第２のプロジェクタ（第２の画像手段）
１１６投影光学手段
１３１、１３２、１３３、３０３、３０５、３０６、５０３、５０５、５０６ストロークユニット
１３５制御部（制御手段）
１３６アクチュエータアーム
１３７ロックアーム
１３８回動軸
１４０回動ロック手段
１４６第１の２軸ジョイント（第１の接続部）
１４７第２の２軸ジョイント（第２の接続部）
２０５温度調整手段
３０７第１のリンク連結位置（リンク連結位置）
３０８第１の円（円）
３１０第１の直径
３１１第２のリンク連結位置（リンク連結位置）
３１２第２の円（円）
３１３第２の直径
４０３ステージ移動精度切換手段
５０７２軸ジョイント（接続部）

Claims

パラレルメカニズムを用いる移動ステージ装置であって、
ベース部とされるベースステージと、
該ベースステージに対向して配されたエンドエフェクタ部とされるエンドステージと、
互いに離間して配されて前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクする３個のストロークユニットと、
前記３個のストロークユニットを駆動制御して前記ベースステージに対する前記エンドステージの位置及び姿勢を６自由度で制御する制御手段とを備え、
前記ストロークユニットが、
前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクするとともに自らの長さを変化できるアクチュエータアームと、
前記ベースステージと前記エンドステージとの相対的な動きに応じて長さを変化して前記ベースステージと前記エンドステージとの間隔を固定できるロックアームと、
前記ベースステージ又は前記エンドステージと前記アクチュエータアーム及び前記ロックアームのリンク連結位置における所定の一軸回りの回動をロックできる回動ロック手段とを備えていることを特徴とする移動ステージ装置。
パラレルメカニズムを用いる移動ステージ装置であって、
ベース部とされるベースステージと、
該ベースステージに対向して配されたエンドエフェクタ部とされるエンドステージと、
互いに離間して配されて前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクする複数のストロークユニットと、
前記複数のストロークユニットを駆動制御して前記ベースステージに対する前記エンドステージの位置及び姿勢を制御する制御手段とを備え、
前記ストロークユニットが、
前記ベースステージと前記エンドステージとをリンクするとともに自らの長さを変化できるアクチュエータアームと、
前記ベースステージと前記エンドステージとの相対的な動きに応じて長さを変化して前記ベースステージと前記エンドステージとの間隔を固定できるロックアームと、
前記ベースステージ又は前記エンドステージと前記アクチュエータアーム及び前記ロックアームのリンク連結位置における所定の一軸回りの回動をロックできる回動ロック手段とを備え、
前記制御手段が、前記アクチュエータアームの本数をＡ、前記ロックアームの本数をＢ、前記回動ロック手段の数をＣとした際、Ｎ＝Ａ＋（Ｂ＋Ｃ）／２で表される自由度を制御可能とされていることを特徴とする移動ステージ装置。
前記Ａ、前記Ｂ、及び、前記Ｃが３とされていることを特徴とする請求項２に記載の移動ステージ装置。
前記制御手段が、制御対象を前記アクチュエータアームと、前記ロックアームと、前記回動ロック手段とされ、
前記ベースステージに対する前記エンドステージの位置及び姿勢を一自由度ずつ制御する際に、前記ロックアームと前記回動ロック手段のロック動作を解除した後、前記アクチュエータアームの長さを変化して前記ロックアームの長さを所定の長さに変化させ、前記ロックアームと前記回動ロック手段とをロックする一連の動作を、前記ストロークユニットそれぞれに対し順次行い、前記ロックアーム全ての長さを固定した後に前記回動ロック手段のロック動作を解除して、前記アクチュエータアームを所定の長さに変化させることを特徴とする請求項１から３の何れか一つに記載の移動ステージ装置。
前記一つのストロークユニットを構成する前記アクチュエータアームの一端及び前記ロックアームの一端、又は、前記アクチュエータアームの他端及び前記ロックアームの他端の何れか一方が互いに隣接して配され、他方が互いに離間して配されていることを特徴とする請求項１から４の何れか一つに記載の移動ステージ装置。
前記回動ロック手段が、
互いに離間して配された前記アクチュエータアームの端部に連結された第１の回動軸と、
前記ロックアームの端部に連結された第２の回動軸と、
前記アクチュエータアームの前記第１の回動軸回りの回動をロックする第１の接続部と、
前記ロックアームの前記第２の回動軸回りの回動をロックする第２の接続部とを備え、
前記第１の回動軸と前記第２の回動軸とが平行に配されていることを特徴とする請求項５に記載の移動ステージ装置。
前記回動ロック手段が、
互いに隣接して配された前記アクチュエータアームの端部と前記ロックアームの端部とにそれぞれ連結された回動軸と、
前記アクチュエータアームの前記回動軸回りの回動と前記ロックアームの前記回動軸回りの回動とを共にロックする接続部とを備えていることを特徴とする請求項５に記載の移動ステージ装置。
前記各ストロークユニットに係る前記第１の回動軸及び前記第２の回動軸の軸方向が、互いに交差する角度で配されていることを特徴とする請求項６に記載の移動ステージ装置。
前記各ストロークユニットに係る前記回動軸の軸方向が、互いに交差する角度で配されていることを特徴とする請求項７に記載の移動ステージ装置。
前記角度が６０度とされていることを特徴とする請求項８又は９に記載の移動ステージ装置。
前記ベースステージと前記エンドステージとの温度を略同一温度に調整する温度調整手段を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の移動ステージ装置。
前記各ストロークユニットと前記エンドステージとのリンク連結位置を内接する円の直径を第１の直径とし、前記各ストロークユニットと前記ベースステージとのリンク連結位置を内接する円の直径を第２の直径とするとき、
前記第１の直径が、前記第２の直径よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載の移動ステージ装置。
前記リンク連結位置を前記円の半径方向にスライドさせるステージ移動精度切換手段を備え、
前記制御手段が、前記エンドステージの面方向に高い精度を必要とする移動の際に、前記第１の直径と前記第２の直径との差分が大きくなるように前記ステージ移動精度切換手段を制御して前記リンク連結位置を調整することを特徴とする請求項１２に記載の移動ステージ装置。
前記リンク連結位置を前記円の半径方向にスライドさせるステージ移動精度切換手段を備え、
前記制御手段が、前記エンドステージ面と直交する方向に高い精度を必要とする移動の際に、前記第１の直径と前記第２の直径との差分が小さくなるように前記ステージ移動精度切換手段を制御して前記リンク連結位置を調整することを特徴とする請求項１２に記載の移動ステージ装置。
請求項１又は２に記載の移動ステージ装置と、
前記ベースステージ面上に載置され、光学系を介して投影画像を出射する第１の画像手段と、
前記エンドステージ面上に載置され、光学系を介して投影画像を出射する第２の画像手段と、
前記第１の画像手段が出射した投影画像と、前記第２の画像手段が出射した投影画像とを合成した投影画像をスクリーン面に投影する投影光学手段とを備えていることを特徴とするプロジェクタ装置。