JP2005277077A - 配線基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】 表面実装により電子部品の電極を電極パッドに各に正確かつ容易に接続することが可能な、表面実装の信頼性に優れた配線基板を提供すること。
【解決手段】 配線基板9は、上面に表面実装される電子部品の搭載部1aが形成された第1の絶縁層1と、搭載部1aに形成された複数の電極パッド2と、第1の絶縁層1直下に積層された第2の絶縁層5と、第2の絶縁層5の上面に形成された内層配線導体層6と、第2の絶縁層5の上面のうち少なくとも平面視で電極パッド2に重なる部位に形成された内層絶縁層7とを具備している。
【選択図】 図1
【解決手段】 配線基板9は、上面に表面実装される電子部品の搭載部1aが形成された第1の絶縁層1と、搭載部1aに形成された複数の電極パッド2と、第1の絶縁層1直下に積層された第2の絶縁層5と、第2の絶縁層5の上面に形成された内層配線導体層6と、第2の絶縁層5の上面のうち少なくとも平面視で電極パッド2に重なる部位に形成された内層絶縁層7とを具備している。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体素子や容量素子等の電子部品を搭載するための配線基板に関するものである。
従来、例えば半導体素子や容量素子等の電子部品を搭載するための配線基板は、複数の絶縁層が積層されて成る絶縁基板と、最上層の絶縁層(第1の絶縁層)の上面に形成された電子部品の搭載部と、搭載部に形成された複数の電極パッドと、第1の絶縁層よりも下側の絶縁層の上面に形成された内層配線導体層と、内層配線導体と電極パッドとの間や、上下の内層配線導体層の間を接続するようにして絶縁層の上面から下面にかけて形成された貫通導体とを備えた構造である。
絶縁層は、酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミック焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体等の絶縁材料により形成される。
配線基板の搭載部に電子部品を搭載し、電子部品の電極を電極パッドに半田を介して電気的、機械的に接続することにより電子部品が実装され電子装置が形成される。
このような配線基板は、例えば、絶縁層が酸化アルミニウム質焼結体から成る場合、まず、酸化アルミニウムや酸化ケイ素等の原料粉末を有機溶剤,バインダーとともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシート(以下、グリーンシートともいう)を形成し、次に、これらのグリーンシートのうち貫通導体を形成する部位に機械的な打抜き加工やレーザ加工等により貫通孔を形成し、次に、タングステン等の金属の粉末に有機溶剤,バインダーを添加混練して成る金属ペーストを、スクリーン印刷法等により、グリーンシートの表面に所定の電極パッドや内層配線導体層のパターンに印刷塗布するとともに貫通孔内に充填し、次に、これらのグリーンシートを積層して積層体とし、これを高温で焼成することにより形成される。
特開2004−47617号公報
特開2003−309369号公報
近時、搭載部に搭載される電子部品において、電極を配線基板の電極に接続する手段として、従来の半田に代わり、銀−パラジウムあるいは銀をフィラーとする導電性樹脂で、電子部品の下面に形成されている電極に設けられた金属バンプを配線基板の電極パッドに接続する表面実装、いわゆるSBB(Stud Bump Bonding)実装が多用されるようになってきている。
SBB実装の場合、金属バンプが硬く変形しにくいことから金属バンプの下面を、電極パッドの上面に確実に接続するためには、形成された複数の電極パッド上面の平坦度を良好に確保する必要がある。
しかしながら、上記従来の配線基板においては、電極パッドの直下の第1の絶縁層に貫通導体が形成されており、貫通導体となる金属ペーストの焼成時の収縮のばらつき等により貫通導体の上端面の位置にばらつきが生じ、これに応じて、その貫通導体の上に形成されている電極パッドにも歪が生じてしまうため、電極パッドの平坦度を確保することが難しいという問題があった。
また、上記従来の配線基板は、第2の絶縁層の上面に内層配線導体層が形成されていることから、複数の電極パッドが形成されている領域の直下において、内層導体層の部分とそれに隣り合う部分とでは、内層配線導体層の厚みの分だけ高さに差が生じ、この高さの差に追随して直上の第1の絶縁層が曲がるように変形してしまい、複数の電極パッドの間の平坦度を良好に確保することができない。
特に、近年、配線基板の薄型化の傾向が強くなり、絶縁層も薄くなってきており、上記電極パッド間の平坦度の低下が著しくなってきている。
そのため、従来の配線基板においては、複数の電極パッドの平坦度を確保することが難しく、SBB実装等の表面実装により、電子部品の電極を電極パッドに正確にかつ確実に接続することが難しいという問題があった。
本発明は、上記従来の技術における問題に鑑みて完成されたものであり、その目的は、SBB実装等の表面実装により電子部品の電極を電極パッドに正確かつ容易に接続することが可能な、表面実装の信頼性に優れた配線基板を提供することにある。
本発明の配線基板は、上面に表面実装される電子部品の搭載部が形成された第1の絶縁層と、前記搭載部に形成された複数の電極パッドと、該電極パッドと端部同士が接続することによって前記電極パッドに横方向に連続するように形成された配線導体と、該配線導体の前記電極パッドとの接続部と反対側の端部から前記第1の絶縁層の下面にかけて形成された第1の貫通導体と、前記第1の絶縁層直下に積層された第2の絶縁層と、該第2の絶縁層の上面に形成されて前記第1の貫通導体に電気的に接続された内層配線導体層と、前記第2の絶縁層の上面のうち少なくとも平面視で前記電極パッドに重なる部位に形成された内層絶縁層とを具備していることを特徴とするものである。
また、本発明の配線基板は好ましくは、前記内層絶縁層は、前記第2の絶縁層の上面に前記内層配線導体層よりも厚く形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の配線基板は好ましくは、前記内層絶縁層は、前記第2の絶縁層の上面に前記内層配線導体層を介して前記内層配線導体層の厚みの1.01〜3倍の厚みで形成されているものである。
本発明の配線基板によれば、電極パッドは、電極パッドと端部同士が接続することによって電極パッドに横方向に連続するように形成された配線導体を介して、配線導体の電極パッドとの接続部と反対側の端部から第1の絶縁層の下面にかけて形成された第1の貫通導体に接続されていることから、電極パッドの直下に第1の貫通導体が形成されることはなく、第1の貫通導体の上端面の位置がばらついたとしても、電極パッドに歪みが生じることは効果的に防止される。
また、第2の絶縁層の上面のうち少なくとも平面視で電極パッドに重なる部位に内層絶縁層が形成されていることから、例えば内層絶縁層が内層配線導体層の間を埋めることにより、内層絶縁層の厚みにより、内層配線導体層が形成されている部分と、それに隣接する部分との間の高さの差を小さくすることができ、電極パッドが形成されている部位において、直上の第1の絶縁層に曲がり等の変形が生じることは有効に防止され、複数の電極パッドの間の平坦度を良好に確保することができる。
その結果、本発明の配線基板によれば、電極パッドの平坦度を確保することができ、SBB実装等の表面実装により電子部品の電極を電極パッドに正確かつ容易に接続することができる。
また、内層絶縁層は、好ましくは、第2の絶縁層の上面に内層配線導体層よりも厚く形成されていることから、内層配線導体層の全部を内層絶縁層の中に埋め込んだような構造とすることができること、内層絶縁層は、上面に他の導体層等が形成されないので上面の平坦度を容易に確保することができること等から、より一層確実に、電極パッドの平坦度を確保することができ、SBB実装等の表面実装により電子部品の電極を電極パッドにより正確かつ容易に接続することができる。
また、内層絶縁層は、好ましくは、第2の絶縁層の上面に内層配線導体層を介して内層配線導体層の厚みの1.01〜3倍の厚みで形成されていることから、より確実に、内層配線導体層の全部を内層絶縁層の中に埋め込んだような構造とすることができるとともに、内層絶縁層の厚みに妨げられることなく第1の絶縁層となるグリーンシートと第2の絶縁層となるグリーンシートとの間に十分な圧力を加えて両者間を確実に強固に密着させることができ、表面実装が正確かつ容易であるとともに、絶縁基体の機械的強度の特性に優れた配線基板を提供することができる。
本発明の配線基板について添付図面に基づき以下に説明する。図1は、本発明の配線基板の実施の形態の一例を示す断面図である。図1において、1は第1の絶縁層、2は電極パッド、3は配線導体、4は第1の貫通導体、5は第2の絶縁層、6は内層配線導体層、7は内層絶縁層である。これら第1の絶縁層1,電極パッド2,配線導体3,第1の貫通導体4,第2の絶縁層5、内層配線導体層6および内層絶縁層7により本発明の配線基板9が基本的に構成される。
第1の絶縁層1および第2の絶縁層5は、酸化アルミニウム質焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,窒化珪素質焼結体,炭化珪素質焼結体,ガラスセラミック焼結体等の電気絶縁材料により形成される。
第1の絶縁層1の上面には、SBB実装等により表面実装される、IC,LSI等の半導体素子、LD,LED,フォトダイオード,CCD等の光半導体素子、容量素子,圧電素子,水晶振動子,SAWデバイス等の電子部品(図示せず)を搭載し実装するための搭載部1aが形成されている。
第1の絶縁層1および第2の絶縁層5は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合には以下のようにして作製される。まず、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化カルシウム,酸化マグネシウム等の原料粉末に適当な有機バインダー,溶剤を添加混合して泥漿状のセラミックスラリーを作製し、このセラミックスラリーをドクターブレード法やカレンダーロール法等のシート成形技術を採用してシート状となすことによって、四角板状等の複数のグリーンシート(セラミック生シート)を得る。しかる後、グリーンシートを第2の絶縁層5となるものの上に第1の絶縁層1となるものを位置決め積層してグリーンシートの積層体と成す。この積層体を還元雰囲気中で約1600℃の高温で焼成することによって第1の絶縁層1および第2の絶縁層5が製作される。
搭載部1aには、複数の電極パッド2が、例えば縦横に配列形成された形態等で形成されている。
電極パッド2は、例えば円形状や楕円形状、四角形状等の、電子部品のSBB実装等の形態で接続するのに適したパターンであり、タングステンやモリブデン,銅,銀,パラジウム等の金属材料により形成され、SBB実装やワイヤボンディング実装に適するようニッケルめっきや金めっきが施される。電極パッド2は、タングステンから成る場合、第1の絶縁層1となるグリーンシートのうち搭載部1aの領域に、タングステンの粉末に有機溶剤,バインダー等を添加混練して作製した金属ペーストを印刷塗布しておくことにより形成することができる。
また、電極パッド2と端部同士が接続することによって電極パッド2に横方向に連続するようにして配線導体3が形成されており、配線導体3は、電極パッド2との接続部と反対側の端部から第1の絶縁層1の下面にかけて形成された第1の貫通導体4を介して、第1の絶縁層1の下面側に導出されている。
この場合、配線導体3は、例えば、円形状等の電極パッド2の外周の一部から線状に伸び出たような形態で、電極パッド2と接続されている。
配線導体3および第1の貫通導体4は、タングステンやモリブデン,銅,銀,パラジウム等の金属材料により形成される。配線導体3および第1の貫通導体4は、例えば、タングステンから成る場合、第1の絶縁層1となるグリーンシートに予め貫通孔を機械的な打ち抜き加工等により形成しておき、タングステンの粉末に有機溶剤,バインダー等を添加混練して作製した金属ペーストをグリーンシートの表面および貫通孔内に印刷塗布,充填しておくことにより形成することができる。
なお、配線導体3および貫通導体4は、生産性等を考慮すると、電極パッド2と同種の金属材料により形成することが好ましい。
本発明の配線基板9によれば、電極パッド2を、いったん配線導体3を介して横方向に導いて、その配線導体3のうち電極パッド2との接続部と反対側の端部から形成した第1の貫通導体4を介して第1の絶縁層1の下面側に導出するようにしたことから、電極パッド2の直下に第1の貫通導体4が形成されることはなく、第1の貫通導体4の上端面の位置がばらついたとしても、電極パッド2に歪みが生じることは効果的に防止される。
配線導体3および第1の貫通導体4は、配線導体3の長さを0.2mm以上とし、第1の貫通導体4と電極パッド2との間の距離が0.3mm以上となるようにしておくことが好ましい。第1の貫通導体4と電極パッド2との間の距離が0.3mm未満では、電極パッド2に歪が生じやすくなる傾向がある。
また、第1の絶縁層1の直下に第2の絶縁層5が積層され、第2の絶縁層5の上面には第1の貫通導体4に電気的に接続された内層配線導体層6が形成されている。
内層配線導体層6は、第1の貫通導体4と電気的に接続され、第1の貫通導体4を第2の絶縁層5の下面や側面等の外表面に電気的に導出するための導電路として機能する。図1に示した例では、第2の絶縁層5の下側に他の絶縁層を積層し、内層配線導体層6について、第2の絶縁層5に形成された貫通導体(第2の貫通導体)を介して、最下層の絶縁層の下面に導出した例を示しているが、内層配線導体層6は、その一部を第1の絶縁層1と第2の絶縁層5との間の外側面に導出してもよく、また、その導出端部に接するようにして側面導体(図示せず)を形成し、側面導体を介して、最下層の絶縁層の下面の外周部に導出するようにしてもよい。
内層配線導体層6は、タングステンやモリブデン,銅,銀,パラジウム等の金属材料により形成され、配線基板9の生産性等を考慮すると、上述した配線導体3および第1の貫通導体4と同様の材料により形成されることが好ましい。内層配線導体層6は、例えばタングステンから成る場合、第2の絶縁層5となるグリーンシートに予め貫通孔を機械的な打ち抜き加工等により形成しておき、タングステンの粉末に有機溶剤,バインダー等を添加混練して作製した金属ペーストをグリーンシートの表面および貫通孔内に印刷塗布し充填しておくことにより形成することができる。
また、第2の絶縁層5の上面のうち、少なくとも平面視で電極パッド2に重なる部位には、内層絶縁層7が形成されている。
内層絶縁層7は、配線基板9を形成する第1の絶縁層1や第2の絶縁層5と同様の組成の絶縁材料により形成されるのが好ましい。例えば、第1および第2の各絶縁層1,5が酸化アルミニウム質焼結体からなる場合、絶縁層となるグリーンシートと同様の組成のアルミナやガラス等の原料粉末に有機溶剤,樹脂バインダ等を添加し混練してペースト状とすることにより作製されたセラミックペーストを、第2の絶縁層5となるグリーンシートの上面のうち、少なくとも平面視で電極パッド2と重なる部位に、内層配線導体層6となる導体ペーストの全部あるいは一部を覆うように印刷することにより形成される。
そして、搭載部1aに電子部品を搭載するとともに、銀−パラジウムあるいは銀をフィラーとする導電性樹脂で、電子部品の下面に形成されている電極に設けられた金属バンプを配線基板9の電極パッド2に電気的、機械的に接続することにより電子部品が実装されて電子装置が構成される。
本発明の配線基板9の場合、第2の絶縁層5の上面のうち、少なくとも平面視で電極パッド2と重なる部位に内層絶縁層7が形成されていることから、例えば内層絶縁層7が内層配線導体層6の間を埋めることにより、内層絶縁層7の厚みにより、内層配線導体層6が形成されている部分と、それに隣接する部分との間の高さの差を小さくすることができ、電極パッド2が形成されている部位において、直上の第1の絶縁層1に曲がり等の変形が生じることは有効に防止され、複数の電極パッド2の平坦度を良好に確保することができる。
その結果、本発明の配線基板9によれば、電極パッド2の平坦度を確保することができ、SBB実装等の表面実装により電子部品の電極を電極パッド2に正確かつ容易に接続することができる。
なお、内層絶縁層7は、内層配線導体層6よりも厚く形成されていることが望ましい。
この場合、内層配線導体層6の全部を内層絶縁層7の中に埋め込んだような構造とすることができること、内層絶縁層7は、上面に他の導体層等が形成されないので上面の平坦度を容易に確保することができること等から、より一層確実に、電極パッド2の平坦度を確保することができ、SBB実装等の表面実装により電子部品の電極を電極パッド2により正確かつ容易に接続することができる。
また、このように内層絶縁層7を厚く形成する場合、内層絶縁層7は、第1の絶縁層1と第2の絶縁層5との間の層間の全面を覆うようにして形成してもよい。全面に形成するようにしておくと、細かい印刷パターン等の製版を使用する必要が無いので、印刷形成時の作業性が向上し、配線基板9の生産性をより良好に確保することができる。
また、内層絶縁層7は、内層配線導体層6を介して内層配線導体層6の厚みの1.01〜3倍の厚みで形成されていることが望ましい。
この場合、より確実に、内層配線導体層6の全部を内層絶縁層7の中に埋め込んだような構造とすることができるとともに、内層絶縁層7の厚みに妨げられることなく第1の絶縁層1となるグリーンシートと第2の絶縁層5となるグリーンシート5との間に十分な圧力を加えて両者間を確実に強固に密着させることができ、表面実装が正確かつ容易であるとともに、絶縁基体1の機械的強度の特性に優れた配線基板9を提供することができる。
内層絶縁層7の厚みが、内層配線導体層6の厚みの1.01未満である場合、印刷等のばらつきにより、部分的に内層配線導体層6の厚みが、内層絶縁層7の厚みよりも厚くなる部分が形成される可能性があり、その結果、電極パッド2の平坦度に影響を与える場合がある。
また、内層絶縁層7の厚みが、内層配線導体層6の厚みの3倍より厚いと、内層絶縁層7を上面に形成された第2の絶縁層5に、第1の絶縁層1を積層する際に、内層絶縁層7の厚みにより、第1の絶縁層1と第2の絶縁層5間に十分な圧力が加えることが難しく、積層不良が発生する可能性がある。
第1の絶縁層1および第2の絶縁層5を、それぞれ厚さ0.5mmの酸化アルミニウム質焼結体で形成し、内層配線導体層6に対する内層絶縁層7の厚さの比率を表1に示すように変えて試験用の配線基板9を作製し、電極パッド2の歪みを測定した。
第1および第2の絶縁層1,5は、ともに10mm×10mmの板状であり、第1の絶縁層1の上面の中央部に、直径0.2mmの円形状の電極パッド2を、隣接間隔0.2mmで、12個×12個の並びで縦横に形成した。
内層配線導体層6は、厚さ0.03mm、幅0.2mmの折れ線状パターンで、平面視で電極パッド2が形成されている部位に重なるようにして形成した。
内層配線導体層6と電極パッド2との接続は、電極パッド2から横方向に連続させて形成した配線導体3と、配線導体3から第1の絶縁層1を貫通させて形成した第1の貫通導体4とを介して行なっている。
なお、配線導体3、第1の貫通導体1、内層配線導体層6は、いずれもタングステン粉末のペーストを、第1の絶縁層1および第2の絶縁層5とともに同時焼成することにより形成した。
表1より、内層絶縁層7の厚みが内層配線導体層6の厚みの1.01倍未満では、電極パッド2の一部に平坦度が低下する傾向が見られた。
また、内層絶縁層7の厚みが、内層配線導体層6の厚みの3倍を超えると、いわゆるデラミネーション等の積層不良は生じていなかったものの、一部で第1の絶縁層1と第2の絶縁層5との間の密着性が低下する傾向が見られた。
これに対し、内層絶縁層7の厚みが内層配線導体層6の厚みに対して1.01〜3倍の範囲の場合には、平坦度および層間の密着性とも極めて良好であった。
なお、本発明は上記の実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。
1・・・第1の絶縁層
2・・・電極パッド
3・・・配線導体
4・・・第1の貫通導体
5・・・第2の絶縁層
6・・・内層配線導体層
7・・・内層絶縁層
9・・・配線基板
2・・・電極パッド
3・・・配線導体
4・・・第1の貫通導体
5・・・第2の絶縁層
6・・・内層配線導体層
7・・・内層絶縁層
9・・・配線基板
Claims (3)
- 上面に表面実装される電子部品の搭載部が形成された第1の絶縁層と、前記搭載部に形成された複数の電極パッドと、該電極パッドと端部同士が接続することによって前記電極パッドに横方向に連続するように形成された配線導体と、該配線導体の前記電極パッドとの接続部と反対側の端部から前記第1の絶縁層の下面にかけて形成された第1の貫通導体と、前記第1の絶縁層直下に積層された第2の絶縁層と、該第2の絶縁層の上面に形成されて前記第1の貫通導体に電気的に接続された内層配線導体層と、前記第2の絶縁層の上面のうち少なくとも平面視で前記電極パッドに重なる部位に形成された内層絶縁層とを具備していることを特徴とする配線基板。
- 前記内層絶縁層は、前記第2の絶縁層の上面に前記内層配線導体層よりも厚く形成されていることを特徴とする請求項1記載の配線基板。
- 前記内層絶縁層は、前記第2の絶縁層の上面に前記内層配線導体層を介して前記内層配線導体層の厚みの1.01〜3倍の厚みで形成されていることを特徴とする請求項1記載の配線基板。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|
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ID=35176410
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---|---|---|---|
JP2004087700A Pending JP2005277077A (ja) | 2004-03-24 | 2004-03-24 | 配線基板 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012138432A (ja) * | 2010-12-25 | 2012-07-19 | Kyocera Corp | プローブカード用セラミック配線基板 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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