JP2005264964A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. バルブ本体に、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路が形成されると共に主弁体及び主弁座からなる主弁が配設され、バルブ本体内の弁室において主弁体が主弁座との対向位置で排気流路の軸線と平行方向に移動可能に配設されていて、主弁体のシール位置では主弁体の主弁シールが主弁座と接触して排気流路の連通が遮断されると共に、主弁体の非シール位置では主弁体が主弁座から所定距離だけ離隔され、さらに、該主弁体が排気流路の軸線に対して垂直方向に移動して、上記弁室に隣接する同じくバルブ本体内の収納室の収納位置に収納されるように構成されたゲートバルブにおいて、
   弁室の上記対向位置と収納室の上記収納位置との間の移動空間で、主弁体を排気流路の軸線と垂直な平面視において直線移動させるためのアクチュエータを備えており、
   該アクチュエータが、直動形で、主弁体の上記直線移動方向と平行に往復動する出力部材を有していて、バルブ本体内で該出力部材の先端部を主弁体における上記直線移動方向の一端部に連結されると共に、該バルブ本体において上記移動空間に隣接させ、主弁体における相対する他端部側に向けて上記直線移動方向と平行に配設されている、
   ことを特徴とするゲートバルブ。
2. 上記アクチュエータが空気圧シリンダで、上記出力部材がそのピストンロッドであって、該空気圧シリンダのシリンダチューブが、上記バルブ本体と一体に形成されている請求項１のゲートバルブ。
3. バルブ本体に、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路が形成されると共に主弁体及び主弁座からなる主弁が配設され、バルブ本体内の弁室において主弁体が主弁座との対向位置で排気流路の軸線と平行方向に移動可能に配設されていて、主弁体のシール位置では主弁体の主弁シールが主弁座と接触して排気流路の連通が遮断されると共に、主弁体の非シール位置では主弁体が主弁座から所定距離だけ離隔され、さらに、該主弁体が排気流路の軸線に対して垂直方向に移動して、上記弁室に隣接する同じくバルブ本体内の収納室の収納位置に収納されるように構成されたゲートバルブにおいて、
   弁室の上記対向位置と収納室の上記収納位置との間の移動空間で、主弁体を排気流路の軸線と垂直な平面視において直線移動させるためのアクチュエータを備えており、
   上記バルブ本体内において、上記移動空間に主弁体の上記直線移動方向と平行な軌道が配設され、該軌道に沿って台車が移動可能に支持され、該台車の主弁座側に主弁体が支持され、上記アクチュエータにより揺動運動する揺動軸が排気流路の軸線と平行に支持され、滑り溝が形成された受動アームが該揺動軸に固定され、台車に固定された係合軸が受動アームの滑り溝に係合されることにより、揺動軸の揺動運動が受動アームにより係合軸の直線運動に変換されるように構成されており、
   上記アクチュエータが、上記バルブ本体外面における排気流路が開口する面上に配設されている、
   ことを特徴とするゲートバルブ。
4. バルブ本体に、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路が形成されると共に主弁体及び主弁座からなる主弁が配設され、バルブ本体内の弁室において主弁体が主弁座との対向位置で排気流路の軸線と平行方向に移動可能に配設されていて、主弁体のシール位置では主弁体の主弁シールが主弁座と接触して排気流路の連通が遮断されると共に、主弁体の非シール位置では主弁体が主弁座から所定距離だけ離隔され、さらに、該主弁体が排気流路の軸線に対して垂直方向に移動して、上記弁室に隣接する同じくバルブ本体内の収納室の収納位置に収納されるように構成されたゲートバルブにおいて、
   弁室の上記対向位置と収納室の上記収納位置との間の移動空間で、主弁体を排気流路の軸線と垂直な平面視において直線移動させるためのアクチュエータを備えており、
   バルブ本体内において、上記移動空間の互いに対向する両側壁が主弁体の上記直線移動方向と平行に形成され、該両側壁に沿って主弁体が移動可能に支持され、上記アクチュエータにより揺動運動する揺動軸が排気流路の軸線と平行に支持され、滑り溝が形成された受動アームが該揺動軸に固定され、主弁体に固定された係合軸が受動アームの滑り溝に係合されることにより、揺動軸の揺動運動が受動アームにより係合軸の直線運動に変換されるように構成されており、
   上記アクチュエータが、上記バルブ本体外面における排気流路が開口する面上に配設されている、
   ことを特徴とするゲートバルブ。
5. 上記アクチュエータが空気圧シリンダであって、そのピストンロッドが上記揺動軸に固定された駆動アームに連結されている請求項３又は４のゲートバルブ。
6. 主弁体にばね、ローラー軸、ローラーからなる浮上機構が配設され、主弁体にばねの基端部が固定され、ばねの先端部にローラー軸が保持され、ローラー軸にローラーが回転自在に支持され、ローラーが弁室底面又は収納室底面に常に接触し、ばねの付勢力により主弁体が弁室底面又は収納室底面から所定距離だけ離隔するようにされた請求項１、２又は４のゲートバルブ。
7. 主弁体にばね、ローラー軸、側面ローラーからなる支持機構が配設され、主弁体にばねの基端部が固定され、ばねの先端部にローラー軸が保持され、ローラー軸には支持部が配設され、ローラー軸の支持部に側面ローラーが回転自在に支持され、側面ローラーがバルブ本体の両側壁に常に接触するようにされた請求項４のゲートバルブ。