JP2005258051A - Optical fiber array and substrate for optical fiber array - Google Patents

Optical fiber array and substrate for optical fiber array Download PDF

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Shinsuke Niiyama
慎介 仁井山
Hiroki Itakura
弘樹 板倉
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Sumitomo Riko Co Ltd
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical fiber array which prevents breakage of optical fibers and stress concentration and has a high optical fiber adhesion reliability, and a substrate for the optical fiber array. <P>SOLUTION: V grooves 26 in which naked parts 41 of optical fibers 4 will be placed and positioned are formed on the side of a step surface 23 formed between a V groove formation part 21 having the V grooves 26 formed therein and a plane part 22 having coating parts 42 of optical fibers 4 placed and fixed thereon so that an opening angle θ of the V grooves 26α is gradually widened and the surface roughness of inside wall surfaces of the V grooves 26α is equal to a maximum height Rz≤0.1 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光ファイバアレイ及び光ファイバアレイ用基板に関し、更に詳しくは、光ファイバを位置決めして固定し、光ファイバを他の光学機器などと接続するために用いられる光ファイバアレイ及びその光ファイバアレイ用として好適に用いることができる光ファイバアレイ用基板に関する。   The present invention relates to an optical fiber array and an optical fiber array substrate, and more particularly, an optical fiber array used for positioning and fixing an optical fiber and connecting the optical fiber to another optical device and the like, and the optical fiber. The present invention relates to an optical fiber array substrate that can be suitably used as an array.

光ファイバ同士あるいは光ファイバと他の光学機器等と接続するための部品として、例えば光ファイバアレイが用いられている。   For example, an optical fiber array is used as a component for connecting between optical fibers or between optical fibers and other optical devices.

図8は、従来一般の光ファイバアレイ101を示した外観斜視図であり、図8(a)は組立て前の状態を示し、図8(b)は組立て後の状態を示す。従来一般の光ファイバアレイ101は、光ファイバ104を載置する基板102と、光ファイバ104を載置した基板102に装着する押さえ蓋103とを有する。基板102は、平板状の平面部122と、この平面部122より延設され、高さ方向寸法が高く台地状に形成されるV溝形成部121とを有し、平面部122とV溝形成部121との境界には段差面123が形成される。そしてV溝形成部121の上面125には、基板102の端面124(図8においては見えない背面側の面)から段差面123に至る断面がV字状の溝126が平行して複数形成される。   8A and 8B are external perspective views showing a conventional general optical fiber array 101. FIG. 8A shows a state before assembly, and FIG. 8B shows a state after assembly. The conventional general optical fiber array 101 includes a substrate 102 on which the optical fiber 104 is placed, and a pressing lid 103 that is attached to the substrate 102 on which the optical fiber 104 is placed. The substrate 102 has a flat planar portion 122 and a V-groove forming portion 121 that extends from the planar portion 122 and has a height dimension and is formed in a plateau shape. A step surface 123 is formed at the boundary with the portion 121. On the upper surface 125 of the V-groove forming portion 121, a plurality of grooves 126 having a V-shaped cross section from the end surface 124 (the surface on the back side invisible in FIG. 8) of the substrate 102 to the step surface 123 are formed in parallel. The

そして、光ファイバ104の先端近傍の被覆材を除去して裸の光ファイバ141を露出させ、この裸の部分を断面がV字状の溝126に整列載置し、上方から押さえ蓋103を被せて押圧することにより光ファイバ104の位置決めをする。これにより光ファイバ104は、断面がV字状の溝126の内壁面の2点と押さえ蓋103の下面の3点で位置決めされる。この後、基板102の段差面123あるいは端面124に現れる断面がV字状の溝126の開口部から、光ファイバ104、断面がV字状の溝126及び押さえ蓋103の間に形成される間隙に接着剤を注入する。接着剤は毛管作用によりこの間隙に浸入して充填され、光ファイバ104、基板102及び押さえ蓋103を一体に固着する。   Then, the coating material in the vicinity of the tip of the optical fiber 104 is removed to expose the bare optical fiber 141. This bare portion is placed in alignment in the groove 126 having a V-shaped cross section, and the pressing lid 103 is covered from above. The optical fiber 104 is positioned by pressing it. As a result, the optical fiber 104 is positioned at two points on the inner wall surface of the groove 126 having a V-shaped cross section and three points on the lower surface of the pressing lid 103. Thereafter, a gap formed between the optical fiber 104, the groove 126 having a V-shaped section and the pressing lid 103 from the opening of the groove 126 having a V-shaped section appearing on the stepped surface 123 or the end surface 124 of the substrate 102. Inject adhesive. The adhesive enters and fills this gap by capillary action, and fixes the optical fiber 104, the substrate 102, and the pressing lid 103 together.

更にこの後、V溝形成部121から平面部122へ延びる光ファイバ104の被覆材で覆われる部分142についても、光ファイバ104の被覆材で覆われる部分142の先端近傍を含むように接着剤を塗布等して、光ファイバ104を固定し保護する。   Further, after this, an adhesive is also applied to the portion 142 covered with the coating material of the optical fiber 104 extending from the V groove forming portion 121 to the flat surface portion 122 so as to include the vicinity of the tip of the portion 142 covered with the coating material of the optical fiber 104. The optical fiber 104 is fixed and protected by coating or the like.

このような構成では、溝形成部121と平面部122との段差面123で接着剤の収縮などにより応力集中が発生して損失増加を生じる。また、光ファイバ104が段差面123のエッジ129に接触していることから、光ファイバ104に傷が付きやすく断線するおそれもある。   In such a configuration, stress concentration occurs due to the shrinkage of the adhesive or the like on the step surface 123 between the groove forming portion 121 and the flat surface portion 122, resulting in an increase in loss. Further, since the optical fiber 104 is in contact with the edge 129 of the stepped surface 123, the optical fiber 104 is likely to be damaged and may be disconnected.

基板の段差面での光ファイバの損失増加や破損を防止するため、例えばこの段差面を凸状に湾曲した形状に形成する構成が提案されている(特許文献1参照)。そしてこの特許文献1には、具体的な形状の例として、R状に形成する構成が開示されている。この特許文献1に開示される構成によれば、段差面において光ファイバにかかる応力が緩やかに変化することになるため、応力集中を緩和することができる。また、光ファイバが上下左右に動いた場合には応力支点が移動するため、やはり応力集中を緩和できる。そして光ファイバへの応力集中を緩和することにより、損失増加や破損を防止できる。   In order to prevent an increase in the loss or damage of the optical fiber on the step surface of the substrate, for example, a configuration is proposed in which the step surface is formed into a convexly curved shape (see Patent Document 1). And this patent document 1 is disclosing the structure formed in R shape as an example of a specific shape. According to the configuration disclosed in Patent Document 1, the stress applied to the optical fiber gradually changes on the step surface, so that stress concentration can be reduced. Further, when the optical fiber moves up, down, left and right, the stress fulcrum moves, so that stress concentration can be alleviated. Further, by relaxing the stress concentration on the optical fiber, it is possible to prevent an increase in loss and damage.

しかしながら特許文献1に記載の構成では、光ファイバが基板の段差面のエッジに接触しているという構成は従来と同様である。このため、光ファイバアレイの組立て時において光ファイバを傷つけるおそれがある。また、組立て後においても、光ファイバと接着剤の熱膨張係数が相違すると、温度変化により光ファイバが動き、やはり段差面のエッジで傷を付けるおそれもある。   However, in the configuration described in Patent Document 1, the configuration in which the optical fiber is in contact with the edge of the stepped surface of the substrate is the same as the conventional one. For this reason, there is a risk of damaging the optical fiber during assembly of the optical fiber array. In addition, even after assembly, if the thermal expansion coefficients of the optical fiber and the adhesive are different, the optical fiber may move due to a temperature change and may be damaged at the edge of the step surface.

また、この構成では、接着剤を基板、押さえ蓋及び光ファイバの間隙に毛管作用を用いて浸透させているが、この間隙の横断面積が小さいため、気泡等が混入すると接着力が低下して基板が剥離するおそれもある。   In this configuration, the adhesive is infiltrated into the gap between the substrate, the presser lid, and the optical fiber using capillary action. However, since the cross-sectional area of the gap is small, the adhesive force decreases when bubbles or the like are mixed. There is also a risk that the substrate peels off.

更に、基板のV溝の内壁面や押さえ蓋など、光ファイバとの接触面の表面性状については何ら考慮がなされておらず、これらの表面性状のいかんによっては、光ファイバの表面に傷を付けるおそれもある。   Furthermore, no consideration is given to the surface properties of the contact surface with the optical fiber, such as the inner wall surface of the V groove of the substrate and the holding lid, and the surface of the optical fiber may be damaged depending on the surface properties. There is also a fear.

特開2000−275478号公報JP 2000-275478 A

上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、光ファイバが基板や押さえ蓋のエッジに接触せず、光ファイバの表面に傷が付くことを防止できること、あるいは基板の段差部における応力集中を緩和して光ファイバを破損しないこと、あるいは接着剤を充填する間隙に気泡が生じないようにして接着性を高めること、あるいは光ファイバと基板あるいは押さえ蓋との接触面における傷を防止することができる光ファイバアレイ及び光ファイバアレイ用基板を提供することである。   In view of the above situation, the problem to be solved by the present invention is that the optical fiber does not contact the edge of the substrate or the pressing lid, and the surface of the optical fiber can be prevented from being damaged, or the stress concentration at the step portion of the substrate. To prevent damage to the optical fiber by preventing the damage to the optical fiber, or to improve the adhesion so that no bubbles are generated in the gap filled with the adhesive, or to prevent scratches on the contact surface between the optical fiber and the substrate or the holding lid It is to provide an optical fiber array and a substrate for the optical fiber array.

前記課題を解決するため請求項1に記載の発明は、光ファイバが装着される複数のV溝を有するV溝部が平面部より段差面を介して延設形成されるV溝基板と、該V溝基板の光ファイバが装着されるV溝部に被着されるファイバ押さえ蓋とからなり、これらのV溝基板及び/又はファイバ押さえ蓋の光ファイバとの接触面の表面粗さが最大高さRzで0.1μm以下であることを要旨とするものである。   In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is directed to a V-groove substrate in which a V-groove portion having a plurality of V-grooves to which an optical fiber is mounted extends from a flat surface via a step surface, The surface of the contact surface between the V-groove substrate and / or the optical fiber of the fiber pressing lid is a maximum height Rz. In other words, it is 0.1 μm or less.

ここで、請求項2に記載の発明のように、前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が、平面部側に向かって徐々に広がっていることが好ましい。   Here, as in the invention described in claim 2, it is preferable that the opening angle of the V-groove formed in the V-groove substrate gradually widens toward the plane portion side.

また、請求項3に記載の発明のように、前記V溝基板に形成されるV溝の深さが、平面部側に向かって徐々に深くなっているものであっても良い。   Further, as in the invention described in claim 3, the depth of the V-groove formed in the V-groove substrate may be gradually increased toward the plane portion side.

請求項4に記載の発明は、光ファイバアレイ用基板であって、光ファイバが装着される複数のV溝を有するV溝部が平面部より段差面を介して延設形成されるV溝基板であって、該V溝基板の前記V溝部の光ファイバとの接触面の表面粗さが最大高さRzで0.1μm以下であることを要旨とするものである   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an optical fiber array substrate in which a V-groove portion having a plurality of V-grooves to which optical fibers are mounted is formed extending from a flat surface via a step surface. The gist of the present invention is that the surface roughness of the contact surface of the V-groove substrate with the optical fiber of the V-groove substrate is 0.1 μm or less at the maximum height Rz.

ここで請求項5に記載の発明のように、前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が、平面部側に向かって徐々に広がっていることが好ましい。   Here, as in the invention described in claim 5, it is preferable that the opening angle of the V-groove formed in the V-groove substrate gradually widens toward the plane portion side.

更に請求項6に記載のように、前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が一定である部分を有することが好ましい。   Furthermore, as described in claim 6, it is preferable to have a portion where the opening angle of the V-groove formed in the V-groove substrate is constant.

また前期請求項4に記載の発明は、請求項7に記載のように、前記V溝基板に形成されるV溝の深さが、平面部側に向かって徐々に深くなっていること好ましい。   In the fourth aspect of the invention, as described in the seventh aspect of the invention, it is preferable that the depth of the V-groove formed in the V-groove substrate is gradually increased toward the flat portion side.

更に請求項8に記載のように、前記V溝基板に形成されるV溝の深さが一定である部分を有することが好ましい。   Furthermore, as described in claim 8, it is preferable to have a portion where the depth of the V-groove formed in the V-groove substrate is constant.

請求項9に記載の発明は、前記請求項4から請求項8に記載の発明において、光ファイバアレイ用基板はガラスモールドにより形成されていることを要旨とするものである。   The invention according to claim 9 is characterized in that, in the inventions according to claims 4 to 8, the optical fiber array substrate is formed by a glass mold.

請求項1に記載の発明によれば、V溝基板やファイバ押さえ蓋の光ファイバが接触する面の表面粗さが、最大高さRzで0.1μm以下に形成されることから、光ファイバが接触しても、光ファイバの表面に傷が付きにくい。したがって光ファイバの破損や断線を抑制できる。   According to the first aspect of the present invention, since the surface roughness of the surface of the V-groove substrate and the fiber pressing lid that contacts the optical fiber is formed to be 0.1 μm or less at the maximum height Rz, the optical fiber is Even if contact is made, the surface of the optical fiber is hardly damaged. Therefore, damage and disconnection of the optical fiber can be suppressed.

請求項2又は請求項3に記載の発明によれば、V溝に装着された光ファイバは、平面部との間に形成される段差面に向かうにつれて、徐々にV溝の表面から離れていくことになる。このため段差面での光ファイバの応力集中を緩和して損失増加を抑制することができる。また、段差面近傍では光ファイバがV溝の内壁面から浮いた状態になることから、光ファイバの表面が段差面のエッジに接触して傷が付くことが抑制される。このため、段差面で光ファイバが破損や断線することが防止される。   According to the invention described in claim 2 or claim 3, the optical fiber attached to the V-groove gradually moves away from the surface of the V-groove as it goes to the step surface formed between the V-groove. It will be. For this reason, the stress concentration of the optical fiber on the step surface can be relaxed, and an increase in loss can be suppressed. In addition, since the optical fiber floats from the inner wall surface of the V-groove in the vicinity of the step surface, the surface of the optical fiber is prevented from coming into contact with the edge of the step surface and being damaged. For this reason, the optical fiber is prevented from being damaged or disconnected at the step surface.

また、このような構成では、光ファイバ、V溝の内壁面及び押さえ蓋との間に形成される間隙は、段差面側に向かうにしたがってその断面積が大きくなる。このため、段差面側からこの間隙内に光ファイバとファイバ押さえ蓋を固定する接着剤を注入すると、接着剤が浸入しやすく、気泡の発生が抑制されて接着強が向上する。   Moreover, in such a structure, the gap formed between the optical fiber, the inner wall surface of the V-groove, and the pressing lid has a cross-sectional area that increases toward the step surface side. For this reason, when an adhesive that fixes the optical fiber and the fiber pressing lid is injected into the gap from the stepped surface side, the adhesive easily enters, the generation of bubbles is suppressed, and the adhesive strength is improved.

請求項4に記載の発明によれば、V溝基板やファイバ押さえ蓋の光ファイバが接触する面の表面粗さが、最大高さRzで0.1μm以下に形成されることから、このような基板を用いて光ファイバアレイを組み立てると、光ファイバが接触しても、光ファイバの表面に傷が付きにくい。したがって光ファイバの破損や断線を抑制できる。   According to the fourth aspect of the present invention, the surface roughness of the surface of the V-groove substrate and the fiber pressing lid that contacts the optical fiber is formed to be 0.1 μm or less at the maximum height Rz. When an optical fiber array is assembled using a substrate, the surface of the optical fiber is hardly damaged even if the optical fiber comes into contact. Therefore, damage and disconnection of the optical fiber can be suppressed.

請求項5に記載の発明によれば、V溝に装着された光ファイバは、平面部との間に形成される段差面に向かうにつれて、徐々にV溝の表面から離れていくことになる。このため段差面での光ファイバの応力集中を緩和して損失増加を抑制することができる。また、段差面近傍では光ファイバがV溝の内壁面から浮いた状態になることから、光ファイバの表面が段差面のエッジに接触して傷が付くことが抑制される。このため、段差面で光ファイバが破損や断線することが防止される。   According to the fifth aspect of the present invention, the optical fiber attached to the V-groove gradually moves away from the surface of the V-groove as it goes to the step surface formed between the flat surface portion. For this reason, the stress concentration of the optical fiber on the step surface can be relaxed, and an increase in loss can be suppressed. In addition, since the optical fiber floats from the inner wall surface of the V-groove in the vicinity of the step surface, the surface of the optical fiber is prevented from coming into contact with the edge of the step surface and being damaged. For this reason, the optical fiber is prevented from being damaged or disconnected at the step surface.

そして、このような構成では、光ファイバ、V溝の内壁面及び押さえ蓋との間に形成される間隙は、段差面側に向かうにしたがってその断面積が大きくなる。このため、段差面側からこの間隙内に光ファイバとファイバ押さえ蓋を固定する接着剤を注入すると、接着剤が浸入しやすく、気泡の発生が抑制されて接着強が向上する。   In such a configuration, the gap formed between the optical fiber, the inner wall surface of the V-groove, and the pressing lid increases in cross-sectional area toward the step surface side. For this reason, when an adhesive that fixes the optical fiber and the fiber pressing lid is injected into the gap from the stepped surface side, the adhesive easily enters, the generation of bubbles is suppressed, and the adhesive strength is improved.

ここで、請求項6に記載のように、前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が一定の部分を有すると、この部分で光ファイバの位置決めを行うことができる。このため、この部分以外でV溝の開き角度を変化させたとしても光ファイバの位置決め精度が悪化させることなく、請求項5に記載の発明の作用効果を奏することができる。   Here, as described in claim 6, when the opening angle of the V groove formed in the V groove substrate has a constant part, the optical fiber can be positioned in this part. For this reason, even if it changes the opening angle of V groove | channel other than this part, the effect of the invention of Claim 5 can be show | played, without deteriorating the positioning accuracy of an optical fiber.

請求項7に記載の発明によれば、請求項5に記載の発明と同様の作用効果を得ることができる。そしてこの場合において請求項8に記載のように、V溝の深さが一定である部分を有すると、この部分で光ファイバの位置決めを行うことができ、請求項6に記載の発明と同様の作用効果を奏することができる。   According to the seventh aspect of the invention, the same effect as that of the fifth aspect of the invention can be obtained. In this case, as described in claim 8, if there is a portion where the depth of the V-groove is constant, the optical fiber can be positioned in this portion, which is the same as in the invention described in claim 6. An effect can be produced.

請求項9に記載のように、光ファイバアレイ用基板をガラスモールドにより形成すると、表面性状を均一で滑らかにして、表面粗さを最大高さRzで0.1μm以下に形成することが容易となる。また、一旦金型を製造すれば生産性を向上させることができ、研削加工等に比較して製造が容易である。   When the optical fiber array substrate is formed by a glass mold as described in claim 9, it is easy to form the surface property to be uniform and smooth and to have a surface roughness of 0.1 μm or less at the maximum height Rz. Become. In addition, once the mold is manufactured, productivity can be improved, and manufacturing is easier compared to grinding and the like.

以下に本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、第1の実施形態に係る光ファイバアレイの概略構造を示した外観模式図であり、図1(a)は組み付け前の状態を示した斜視図、図1(b)は組み付け後の状態を示した斜視図である。   FIG. 1 is a schematic external view showing a schematic structure of an optical fiber array according to the first embodiment. FIG. 1 (a) is a perspective view showing a state before assembly, and FIG. 1 (b) is after assembly. It is the perspective view which showed the state.

第1の実施の形態に係る光ファイバアレイ1αは、光ファイバ4を載置する基板2αと、この基板2αの上方から覆い被せて蓋をする押さえ蓋3とを有する。また、固定する光ファイバ4は、端部から所定の距離の間の被覆材を除去して裸の光ファイバ41を露出させて用いる。図中の矢印mは光ファイバ4の裸部41を載置する向きを、矢印nは押さえ蓋3を載置する向きを示す。以下、本明細書においては、光ファイバ4の被覆材で覆われた部分を「光ファイバの被覆部42」と、被覆材を除去して露出させた部分を「光ファイバの裸部41」と称する。   The optical fiber array 1α according to the first embodiment includes a substrate 2α on which the optical fiber 4 is placed, and a pressing lid 3 that covers and covers the substrate 2α from above. Further, the optical fiber 4 to be fixed is used by removing the covering material between a predetermined distance from the end portion and exposing the bare optical fiber 41. The arrow m in the figure indicates the direction in which the bare portion 41 of the optical fiber 4 is placed, and the arrow n indicates the direction in which the holding lid 3 is placed. Hereinafter, in the present specification, the portion of the optical fiber 4 covered with the coating material is referred to as “optical fiber coating portion 42”, and the portion exposed by removing the coating material is referred to as “optical fiber bare portion 41”. Called.

基板2αは、平板状に形成される平面部22と、この平面部22より延設され、高さ方向寸法が高く台地状に形成されるV溝形成部21とを有し、この平面部22とV溝形成部21との境界には段差面23が形成される。そしてV溝形成部21の上面25には、基板2αの端面24(図1においては見えない背面側の面を指す)から段差面23に至る複数のV字状の溝26αが平行して形成される。本明細書においては、断面がV字状の溝を「V溝」と略して称する。このV溝26αの詳細な形態については後述する。なお、図は模式図であって実際の形状寸法を示したものではない。また、V溝26αの条数も図に示す6条に限られるものではなく、単数から5条以下、あるいは7条以上であっても良い。   The substrate 2α includes a flat surface portion 22 formed in a flat plate shape, and a V-groove forming portion 21 extending from the flat surface portion 22 and having a height dimension and formed in a plateau shape. A step surface 23 is formed at the boundary between the V groove forming portion 21 and the V groove forming portion 21. A plurality of V-shaped grooves 26α are formed in parallel on the upper surface 25 of the V-groove forming portion 21 from the end surface 24 of the substrate 2α (referring to the back-side surface not visible in FIG. 1) to the stepped surface 23. Is done. In the present specification, a groove having a V-shaped cross section is abbreviated as “V groove”. The detailed form of the V groove 26α will be described later. In addition, the figure is a schematic diagram and does not show an actual shape dimension. Further, the number of strips of the V-groove 26α is not limited to the six strips shown in the figure, and may be from one to five strips or seven strips or more.

押さえ蓋3は略方形の板状に形成され、基板2αのV溝形成部21の上面25に載置して蓋をする部材である。その形状寸法は、基板2αのV溝形成部21の形状寸法と略同一に形成される。そしてV溝形成部21の上面25に載置した場合において、V溝形成部21の上面25と対向する面32(図1においては見えない下側の面、以下「装着面」と称する)の辺の端縁のうち、少なくとも基板2の段差面23と対向する辺の端縁31は、拡大図に示すように、隅部が鋭くない形状、具体的には例えば円弧状に形成される。   The pressing lid 3 is a member that is formed in a substantially square plate shape and is placed on the upper surface 25 of the V-groove forming portion 21 of the substrate 2α to cover it. The shape dimension is formed substantially the same as the shape dimension of the V groove forming portion 21 of the substrate 2α. Then, when placed on the upper surface 25 of the V-groove forming portion 21, a surface 32 (a lower surface not visible in FIG. 1, hereinafter referred to as “mounting surface”) facing the upper surface 25 of the V-groove forming portion 21. Of the edges of the side, at least the edge 31 of the side facing the stepped surface 23 of the substrate 2 is formed in a shape with a sharp corner, for example, an arc shape, as shown in the enlarged view.

この基板2α及び押さえ蓋3は、熱膨張係数が固定する光ファイバ4と同一あるいは近似する材料から形成されることが好ましい。具体的には、例えば石英ガラスやパイレックス(登録商標)ガラスなどのガラス、あるいはセラミックス等が挙げられる。   The substrate 2α and the presser lid 3 are preferably formed of a material that is the same as or similar to that of the optical fiber 4 whose thermal expansion coefficient is fixed. Specifically, for example, glass such as quartz glass and Pyrex (registered trademark) glass, or ceramics can be used.

また、基板2α及び押さえ蓋3の少なくとも光ファイバ4と接触する面、具体的には基板1αのV溝26αの内壁面及び押さえ蓋3の装着面32は、表面粗さ(最大高さ)Rzが0.1μm以下に形成される。最大高さRzを0.1μm以下とすることにより、光ファイバ4の裸部41がV溝26αの内壁面や押さえ蓋3の装着面32に接触しても、光ファイバ4の裸部41の表面に傷がつくことが抑制できる。また、間隙内への接着剤の流れ性も良くなることから、信頼性の高い光ファイバアレイ1α及び光ファイバアレイ用基板2αを製造することができる。   Further, the surface of the substrate 2α and the pressing lid 3 that contacts at least the optical fiber 4, specifically, the inner wall surface of the V groove 26α of the substrate 1α and the mounting surface 32 of the pressing lid 3 have a surface roughness (maximum height) Rz. Is formed to be 0.1 μm or less. By setting the maximum height Rz to 0.1 μm or less, even if the bare portion 41 of the optical fiber 4 comes into contact with the inner wall surface of the V-groove 26α or the mounting surface 32 of the pressing lid 3, the bare portion 41 of the optical fiber 4 Scratching on the surface can be suppressed. In addition, since the flowability of the adhesive into the gap is improved, the optical fiber array 1α and the optical fiber array substrate 2α with high reliability can be manufactured.

このため、これら基板2α及び押さえ蓋3は、ガラスモールドにより形成されることが好ましい。ガラスモールドによれば、表面性状を均一で滑らかに形成することができるため、表面粗さRzを0.1μm以下に形成しやすい。なお、ガラスモールドでは金型コストはかかるものの、一旦金型を作製すればよいため、生産性の問題が生じることはない。一方、従来一般には砥石を用いた研削加工により製造されているが、研削加工は高度の制御を要する精密加工となり、生産性が良くない。また、研削加工では、加工面にチッピングが生じやすいため、光ファイバ4の裸部41の表面に傷を付けやすい。   For this reason, it is preferable that the substrate 2α and the pressing lid 3 are formed by a glass mold. According to the glass mold, the surface texture can be formed uniformly and smoothly, so that the surface roughness Rz is easily formed to 0.1 μm or less. In addition, although a mold cost is required for a glass mold, there is no problem in productivity because the mold only needs to be manufactured once. On the other hand, it is generally manufactured by grinding using a grindstone, but the grinding is a precision machining that requires a high degree of control, and the productivity is not good. Further, in the grinding process, since chipping is likely to occur on the processed surface, the surface of the bare portion 41 of the optical fiber 4 is easily damaged.

次いで、V溝形成部21に形成されるV溝26αについて説明する。図2(a)は、V溝形成部21を示した部分拡大図である。第1の実施形態では、V溝26αの開き角度θが、基板2αの端面24の側に比較して段差面23の側の方が大きく形成される。具体的には、基板2αの端面24から所定の距離、例えば基板2αの端面24からV溝形成部21の中央近傍までの間は一定で、V溝26αは直線状に形成される。一方、基板2αの段差面23から所定の距離、例えば段差面23からV溝形成部21の中央近傍までの間は、中央近傍から段差面23に向かうに従って徐々に滑らかに大きくなるように形成される。なお、図中において符号Xαは開き角度θが変化する部分を示している。また、図に示す例においては、V溝形成部21の上面25からV溝の溝底28αまでの寸法は、V溝26αの全長にわたり一定に形成される。なお、光ファイバ4の裸部41の位置決めは、V溝26αの開き角度θが一定に形成される部分で行われる。 Next, the V groove 26α formed in the V groove forming portion 21 will be described. FIG. 2A is a partially enlarged view showing the V groove forming portion 21. In the first embodiment, the opening angle θ of the V groove 26α is formed larger on the step surface 23 side than on the end surface 24 side of the substrate 2α. Specifically, a predetermined distance from the end surface 24 of the substrate 2α, for example, the distance from the end surface 24 of the substrate 2α to the vicinity of the center of the V-groove forming portion 21 is constant, and the V-groove 26α is formed in a straight line. On the other hand, a predetermined distance from the step surface 23 of the substrate 2α, for example, from the step surface 23 to the vicinity of the center of the V-groove forming portion 21, is formed so as to gradually and gradually increase from the vicinity of the center toward the step surface 23. The Reference numeral X alpha open angle θ indicates a portion that varies in the figure. In the example shown in the figure, the dimension from the upper surface 25 of the V groove forming portion 21 to the groove bottom 28α of the V groove is formed constant over the entire length of the V groove 26α. The positioning of the bare portion 41 of the optical fiber 4 is performed at a portion where the opening angle θ of the V groove 26α is formed constant.

図2(b)はV溝26αの軸線方向に沿った断面形状の変化を示した図であり、具体的には、断面Aは図2(a)に示したa−a線断面、断面Bはb−b線断面、断面Cはc−c線断面の各断面におけるV溝26αの断面形状を示し、光ファイバ4の裸部41の位置も併せて示している。図に示すように、各断面線でのV溝26αの開き角度θの大小関係は、(断面Aの開き角度θ)<(断面Bの開き角度θ)<(断面Cの開き角度θ)、となる。 FIG. 2B is a diagram showing a change in the cross-sectional shape along the axial direction of the V-groove 26α. Specifically, the cross-section A is a cross-section taken along the line aa and the cross-section B shown in FIG. Indicates the cross-sectional shape of the V groove 26α in each cross section of the cc line cross section, and also shows the position of the bare portion 41 of the optical fiber 4. As shown in the figure, the magnitude relationship of the opening angle θ of the V-groove 26α at each cross-sectional line is as follows: (opening angle θ A of cross-section A ) <(opening angle θ B of cross-section B ) <(opening angle θ of cross-section C) C ).

このような形態では、V溝形成部21の上面25から溝底28αまでに深さ寸法がV溝26αの全長に亘って一定とすれば、光ファイバ4(光ファイバ4の裸部41)の配列ピッチが小さく、V溝26αの頂部27αが先鋭状となる場合には、V溝26αの開き角度θが大きくなるに従ってV溝26αの頂部27αが次第に低くなる。そして、頂部27αから溝底28αまでの高さ寸法Iが、I、I、Iの順に低くなり、頂部27αと溝底28αの高さが近づいてV溝26αが浅くなる形態となる。一方、光ファイバ4(光ファイバ4の裸部41)の配列ピッチが大きく、V溝26αの頂部27αが平坦となる場合には、開き角θが変化する部分Xαに示すように、V溝26αの間の平坦な部分(すなわちV溝形成部21の上面25)が段差面23に向かうにつれて徐々に狭くなる形状となる。 In such a form, if the depth dimension is constant over the entire length of the V-groove 26α from the upper surface 25 to the groove bottom 28α of the V-groove forming portion 21, the optical fiber 4 (the bare portion 41 of the optical fiber 4) When the arrangement pitch is small and the apex 27α of the V-groove 26α is sharp, the apex 27α of the V-groove 26α gradually decreases as the opening angle θ of the V-groove 26α increases. Then, the height dimension I from the top portion 27α to the groove bottom 28α decreases in the order of I A , I B , and I C , and the height of the top portion 27α and the groove bottom 28α approaches and the V groove 26α becomes shallow. . On the other hand, large arrangement pitch of the optical fibers 4 (bare portion 41 of optical fiber 4) is, when the top 27α of V grooves 26α is flat, as shown in the partial X alpha to the opening angle θ is changed, the V-groove The flat portion between 26α (that is, the upper surface 25 of the V groove forming portion 21) gradually becomes narrower toward the step surface 23.

このような構成を有する光ファイバアレイ1αの組立て操作は次のとおりである。図3は、組立後の光ファイバアレイ1αの部分断面図であり、(a)は光ファイバ4の軸線方向に直角に切断した断面図、(b)は光ファイバ4の軸線方向に平行に切断した断面図である。   The assembling operation of the optical fiber array 1α having such a configuration is as follows. 3A and 3B are partial cross-sectional views of the assembled optical fiber array 1α, where FIG. 3A is a cross-sectional view cut at right angles to the axial direction of the optical fiber 4, and FIG. 3B is cut parallel to the axial direction of the optical fiber 4. FIG.

まず光ファイバ4の裸部41をV溝26に、光ファイバ4の被覆部42を平面部22に載置する。そして光ファイバ4の裸部41の上方から押さえ蓋3を載置して光ファイバ4の位置決めをする。覆い被せた押さえ蓋3を矢印qの向き押圧すると、光ファイバ4の裸部41の外周面がV溝26αの内壁面の2点と押さえ蓋3の装着面32の1点の合計3点(実際には点ではなく線)に当接して位置決めされる。   First, the bare portion 41 of the optical fiber 4 is placed on the V-groove 26, and the covering portion 42 of the optical fiber 4 is placed on the flat portion 22. Then, the pressing lid 3 is placed from above the bare portion 41 of the optical fiber 4 to position the optical fiber 4. When the covered cover 3 is pressed in the direction of the arrow q, the outer peripheral surface of the bare portion 41 of the optical fiber 4 is a total of three points (two points on the inner wall surface of the V groove 26α and one point on the mounting surface 32 of the cover 3) ( Actually, it is positioned in contact with a line, not a point.

光ファイバ4の裸部41を位置決めした状態で、基板2αの段差面23から接着剤5を注入する。注入した接着剤5は、毛管作用によって、光ファイバ4の裸部41、V溝26αの内壁面及び押さえ蓋3の装着面32の間に形成される間隙に浸入して充填される。そして接着剤が固化すると、光ファイバ4の裸部41、基板2α及び押さえ蓋3が一体化する。なお、組立て操作時においては、押さえ蓋3は光ファイバ4の裸部41を位置決めできる程度に軽く押圧し、接着剤5により接着して一体化した後は押圧力を開放する。   With the bare portion 41 of the optical fiber 4 positioned, the adhesive 5 is injected from the step surface 23 of the substrate 2α. The injected adhesive 5 enters and fills a gap formed between the bare portion 41 of the optical fiber 4, the inner wall surface of the V groove 26 α and the mounting surface 32 of the pressing lid 3 by capillary action. When the adhesive is solidified, the bare portion 41 of the optical fiber 4, the substrate 2α, and the pressing lid 3 are integrated. At the time of the assembly operation, the pressing lid 3 is lightly pressed to such an extent that the bare portion 41 of the optical fiber 4 can be positioned, and is released from the pressing force after being bonded and integrated by the adhesive 5.

この間隙に充填する接着剤としては、例えば硬化前の粘度が2.0Pa・s程度の紫外線硬化型エポキシ樹脂系接着剤を適用できる。   As an adhesive filling the gap, for example, an ultraviolet curable epoxy resin adhesive having a viscosity before curing of about 2.0 Pa · s can be applied.

V溝26αに収納された光ファイバ4の裸部41が接着剤5により固定された後、光ファイバ4の被覆部42にも接着剤を塗布等し、光ファイバ4の被覆部42を基板2αに固定する。   After the bare portion 41 of the optical fiber 4 accommodated in the V-groove 26α is fixed by the adhesive 5, an adhesive is applied to the covering portion 42 of the optical fiber 4 so that the covering portion 42 of the optical fiber 4 is attached to the substrate 2α. Secure to.

図3から明らかなように、V溝26αをこのような形状に形成すると、V溝形成部21の中央近傍から段差面23の側に向かうにしたがって、光ファイバ4の裸部41はV溝26αの内壁面から徐々に離れ、段差面23でV溝26αの内壁面から浮いた状態となる。また、押さえ蓋3の装着面32の段差面23側の端縁を円弧状に形成することにより、光ファイバ4の裸部41が押さえ蓋3の端縁のエッジと接触することもなくなる。このため、組立て操作時や温度変化による接着剤の膨張収縮等により光ファイバ4の裸部41が上下左右に移動したとしても、光ファイバ4の裸部41の表面が段差面23のエッジ29に接触することはなく、段差面23のエッジ29で傷が付くことが防止できる。また、段差面23が緩やかに変化するため、光ファイバ4の被覆部42に塗布等される接着剤による応力集中を軽減し、損失増加を防止できる。   As is apparent from FIG. 3, when the V groove 26α is formed in such a shape, the bare portion 41 of the optical fiber 4 becomes closer to the step surface 23 from the vicinity of the center of the V groove forming portion 21. Gradually away from the inner wall surface, the stepped surface 23 floats from the inner wall surface of the V-groove 26α. Further, by forming the edge on the stepped surface 23 side of the mounting surface 32 of the presser lid 3 in an arc shape, the bare portion 41 of the optical fiber 4 does not come into contact with the edge of the end of the presser lid 3. For this reason, even if the bare portion 41 of the optical fiber 4 is moved up and down and left and right due to the expansion and contraction of the adhesive due to the temperature change or the assembling operation, the surface of the bare portion 41 of the optical fiber 4 becomes the edge 29 of the step surface There is no contact, and the edge 29 of the step surface 23 can be prevented from being damaged. Further, since the stepped surface 23 changes gently, stress concentration due to the adhesive applied to the coating portion 42 of the optical fiber 4 can be reduced, and an increase in loss can be prevented.

なお、光ファイバ4の裸部41の位置決めはV溝26αの開き角度θが一定に形成される部分で行われる。   The bare portion 41 of the optical fiber 4 is positioned at a portion where the opening angle θ of the V groove 26α is formed constant.

また、段差面23における間隙の開口部面積が大きく、基板2αの端面24に向かって徐々に断面積が小さくなることから、段差面23から接着剤が浸入しやすくなる。このため、接着剤5を段差面23の側から基板2の端面24に向けて毛管作用により浸入させることにより、間隙内に気泡が生じることなくスムーズに接着剤を充填することができ、接着力の低下を防止できる。   Further, since the opening area of the gap in the step surface 23 is large and the cross-sectional area gradually decreases toward the end surface 24 of the substrate 2α, the adhesive easily enters from the step surface 23. For this reason, by allowing the adhesive 5 to enter from the side of the step surface 23 toward the end surface 24 of the substrate 2 by capillary action, the adhesive can be smoothly filled without generating bubbles in the gap, and the adhesive strength Can be prevented.

更に、V溝26αの内壁面及び押さえ蓋3の装着面の表面粗さRz=0.1μm以下とすることにより、光ファイバの装着面において光ファイバに傷が付くことが防止できる。   Furthermore, by setting the surface roughness Rz of the inner wall surface of the V-groove 26α and the mounting surface of the presser lid 3 to 0.1 μm or less, it is possible to prevent the optical fiber from being damaged on the mounting surface of the optical fiber.

次いで、本発明の第2の実施形態について説明する。図4は、第2の実施形態に係る光ファイバアレイ用の基板のV溝形成部の構成を示した図である。なお、第2の実施形態に係る光ファイバアレイ1β及び光ファイバアレイ用の基板2βは、第1の実施の形態に係る光ファイバアレイ及び光ファイバアレイ用の基板とはV溝形成部の形態が異なるのみであり、その他は略同一の構成を有する。したがって、第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付して用い、詳細な説明は省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a diagram showing the configuration of the V-groove forming portion of the optical fiber array substrate according to the second embodiment. The optical fiber array 1β and the optical fiber array substrate 2β according to the second embodiment are different from the optical fiber array and the optical fiber array substrate according to the first embodiment in the form of a V-groove forming portion. Only the difference is made, and the others have substantially the same configuration. Therefore, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図4(a)は、第2の実施形態に係る基板2βのV溝形成部21の部分斜視図である。この図に示すように、V溝形成部21の上面25からV溝26βの溝底28βまでの深さ寸法は、基板2βの端面24の側に比較して段差面23の側が深く形成される。この図4に示す例は、V溝26βの開き角度θは軸線方向にわたって一定とし、V溝形成部21の上面25から溝底28βまでの深さ寸法は次第に大きくなるように形成される。具体的には、基板2βの端面から所定の距離、例えば基板2βの端面からV溝形成部21の中央近傍までの間は一定で、V溝26βは直線状に形成される。一方、V溝形成部21の中央近傍から段差面23までの間は、段差面23の側に向かうに従って徐々に滑らかに深くなるように形成される。図4中の符号Xβは溝底26βの深さ位置が変化する部分を示す。 FIG. 4A is a partial perspective view of the V-groove forming portion 21 of the substrate 2β according to the second embodiment. As shown in this figure, the depth dimension from the upper surface 25 of the V-groove forming portion 21 to the groove bottom 28β of the V-groove 26β is deeper on the side of the step surface 23 than on the end surface 24 side of the substrate 2β. . In the example shown in FIG. 4, the opening angle θ of the V groove 26β is constant over the axial direction, and the depth dimension from the upper surface 25 of the V groove forming portion 21 to the groove bottom 28β is gradually increased. Specifically, a predetermined distance from the end surface of the substrate 2β, for example, the distance from the end surface of the substrate 2β to the vicinity of the center of the V-groove forming portion 21 is constant, and the V-groove 26β is formed linearly. On the other hand, the portion from the vicinity of the center of the V-groove forming portion 21 to the step surface 23 is formed so as to gradually and smoothly become deeper toward the step surface 23 side. Code X beta in Figure 4 shows a portion where a change in the depth position of the groove bottom 26Beta.

なお、光ファイバ4の裸部41の位置決めは、V溝形成部21の上面25からV溝26βの溝底28βまでの深さが一定に形成される部分で行われる。   The bare portion 41 of the optical fiber 4 is positioned at a portion where the depth from the upper surface 25 of the V groove forming portion 21 to the groove bottom 28β of the V groove 26β is formed constant.

このような形態においては、光ファイバ4の配列ピッチが小さく、V溝26βの頂部27βが先鋭形状となる場合には、段差面23の側に向かうに従って(言い換えると上面25から溝底28βまでの深さ寸法が大きくなるに従って)、頂部27βの高さもV溝形成部21の上面25から次第に低くなる。ただし、頂部27βから溝底28βまでの深さ寸法はほぼ一定のままで、V溝26βの横断面積もほぼ一定である。一方、光ファイバ4の裸部41の配列ピッチが大きく、頂部27βが平坦となる場合には、V溝26βの深さが変化する部分Xβに示すように、頂部の平坦な部分(すなわちV溝形成部21の上面25)の幅が、段差面23の側に向かうに従って徐々に狭くなる形状となる。 In such a configuration, when the arrangement pitch of the optical fibers 4 is small and the top portion 27β of the V-groove 26β has a sharp shape, as it goes toward the stepped surface 23 (in other words, from the upper surface 25 to the groove bottom 28β). As the depth dimension increases, the height of the top portion 27β gradually decreases from the upper surface 25 of the V-groove forming portion 21. However, the depth dimension from the top 27β to the groove bottom 28β remains substantially constant, and the cross-sectional area of the V-groove 26β is also substantially constant. On the other hand, large arrangement pitch of the bare portion 41 of optical fiber 4, if the apex 27β is flat, as shown in the partial X beta depth of the V groove 26β changes, the flat portion of the top (i.e. V The width of the upper surface 25) of the groove forming portion 21 is gradually narrowed toward the step surface 23 side.

図4(b)は光ファイバの軸線方向に沿ったV溝の断面形状の変化を模式的に示した断面図であり、それぞれ断面Dは図4(a)のd−d線断面、断面Eは同じくe−e線断面、断面Fは同じくf−f線断面におけるV溝26βの深さ方向の位置及び断面形状を示し、併せて光ファイバ4の裸部41の位置を示す。図4(b)に示すように、各断面線におけるV溝26βの開き角度θは一定であるが、V溝形成部21の上面25から溝底28βまでの深さHは、(断面Dにおける深さH)<(断面Eにおける深さH)<(断面Fにおける深さH)、という関係を有する。 FIG. 4B is a cross-sectional view schematically showing changes in the cross-sectional shape of the V-groove along the axial direction of the optical fiber. Each cross-section D is a cross-section taken along the line dd in FIG. Similarly, a cross section taken along the line ee, and a cross section F shows the position and cross sectional shape of the V groove 26β in the cross section taken along the line ff, and also shows the position of the bare portion 41 of the optical fiber 4. As shown in FIG. 4B, the opening angle θ of the V groove 26β in each cross sectional line is constant, but the depth H from the upper surface 25 of the V groove forming portion 21 to the groove bottom 28β is (in the cross section D). Depth H D ) <(depth H E in cross section E ) <(depth H F in cross section F ).

このような構成によれば、第1の実施形態と同様に、段差面23の側に向かうに従ってV溝26βの内壁面と押さえ蓋3の装着面32との間隔が次第に拡大する。このため、光ファイバ4の裸部41はV溝26βの内壁面から徐々に離れ、段差面23においてはV溝26βの内壁面から浮いた状態となる。また、段差面23に対応する押さえ蓋3の装着面32の辺の端縁を円弧状に形成することにより、光ファイバ4の裸部41が押さえ蓋3の端縁と接触することもなくなる。このため、組立て操作時や温度変化による接着剤の膨張収縮等により光ファイバ4の裸部41が上下左右に移動したとしても、光ファイバ4の裸部41の表面が段差面23のエッジ29に接触せず、傷が付くことが防止される。なお、光ファイバ4の裸部41の位置決めはV溝26βの深さHが一定の直線状の部分で行われる。   According to such a configuration, as in the first embodiment, the distance between the inner wall surface of the V groove 26β and the mounting surface 32 of the pressing lid 3 gradually increases toward the stepped surface 23 side. For this reason, the bare portion 41 of the optical fiber 4 is gradually separated from the inner wall surface of the V-groove 26β, and the stepped surface 23 floats from the inner wall surface of the V-groove 26β. Further, by forming the edge of the side of the mounting surface 32 of the pressing lid 3 corresponding to the stepped surface 23 in an arc shape, the bare portion 41 of the optical fiber 4 is not in contact with the edge of the pressing lid 3. For this reason, even if the bare portion 41 of the optical fiber 4 moves up and down and left and right due to the expansion and contraction of the adhesive due to the temperature change and the assembling operation, the surface of the bare portion 41 of the optical fiber 4 becomes the edge 29 of the step surface 23. No contact and scratching is prevented. The positioning of the bare portion 41 of the optical fiber 4 is performed at a linear portion where the depth H of the V groove 26β is constant.

また、光ファイバ4の裸部41、V溝26βの内壁面及び押さえ蓋3の装着面32の間に形成される間隙の断面積は、段差面23での開口部が大きく、基板2βの端面24側に向かって徐々に小さくなることから、段差面23から接着剤が浸入しやすくなる。このため、接着剤を段差面23から基板2βの端面24に向けて毛管作用により浸入させることにより、間隙内に気泡が生じることなくスムーズに接着剤を充填することができ、接着力の低下を防止できる。   Further, the cross-sectional area of the gap formed between the bare portion 41 of the optical fiber 4, the inner wall surface of the V-groove 26β, and the mounting surface 32 of the pressing lid 3 has a large opening at the step surface 23, and the end surface of the substrate 2β. Since it gradually decreases toward the side 24, the adhesive easily enters from the stepped surface 23. For this reason, by allowing the adhesive to enter from the stepped surface 23 toward the end surface 24 of the substrate 2β by capillary action, the adhesive can be smoothly filled without generating bubbles in the gap, and the adhesive force is reduced. Can be prevented.

このほか、従来技術と同様に段差面が緩やかに変化するため、被覆部及び被覆部載置部に塗布等される接着剤による応力集中を緩和し、損失増加を防止することができる。   In addition, since the step surface changes gently as in the conventional technique, stress concentration due to the adhesive applied to the covering portion and the covering portion mounting portion can be alleviated and an increase in loss can be prevented.

次いで、本発明の実施例について説明する。図5(a)は、ガラスモールドにより作製された本発明の実施例に係る基板のV溝の顕微鏡写真、図5(b)は研削加工により作製された基板のV溝の内壁面の顕微鏡写真である。図より明らかなように、研削加工で作製された基板のV溝の表面は微細な凹凸が多く、光ファイバの裸部が接触すると、この凹凸により傷が付きやすいものと考えられる。これに対しガラスモールドにより作製された本発明に係る基板は、V溝の表面が滑らかであり、光ファイバの裸部が接触しても傷が付きにくいものと考えられる。   Next, examples of the present invention will be described. FIG. 5A is a micrograph of a V-groove of a substrate according to an embodiment of the present invention produced by a glass mold, and FIG. 5B is a micrograph of an inner wall surface of the V-groove of a substrate produced by grinding. It is. As is apparent from the figure, the surface of the V-groove of the substrate manufactured by grinding has many fine irregularities, and it is considered that the irregularities are easily damaged when the bare portion of the optical fiber comes into contact. On the other hand, the substrate according to the present invention manufactured by a glass mold has a smooth V-groove surface, and is considered to be hardly damaged even when the bare portion of the optical fiber comes into contact.

図6(a)は、ガラスモールドにより作製された本発明に係る基板のV溝の表面プロフィールを、図6(b)は研削加工により作製された基板のV溝の表面プロフィールを示す。この図から明らかなように、本発明に係る基板のV溝の表面粗さ(最大高さ)Rzは、0.1以下にある。これに対し、研削加工により作製された基板のV溝の内壁面の表面粗さ(最大高さ)Rzは、約0.5μmである。   6A shows the surface profile of the V-groove of the substrate according to the present invention produced by a glass mold, and FIG. 6B shows the surface profile of the V-groove of the substrate produced by grinding. As is apparent from this figure, the surface roughness (maximum height) Rz of the V groove of the substrate according to the present invention is 0.1 or less. On the other hand, the surface roughness (maximum height) Rz of the inner wall surface of the V groove of the substrate produced by grinding is about 0.5 μm.

なお、これら表面プロフィールの測定条件は次のとおりである。測定にはveeco Japan社製の触針式表面性状測定器(型番:DEKTAK−3030)を用いた。触針はダイヤモンド製で先端曲率半径は12.5μmである。測定距離は15μmとし、測定時の針圧は20mgとしている。   The measurement conditions for these surface profiles are as follows. A stylus type surface texture measuring device (model number: DEKTAK-3030) manufactured by veco Japan was used for the measurement. The stylus is made of diamond and has a tip radius of curvature of 12.5 μm. The measurement distance is 15 μm, and the needle pressure during measurement is 20 mg.

これらの基板を用いて、本発明の効果を検証する実験を行った。図7は、本発明の効果を検証する実験の概略を示した模式図である。図に示すように、光ファイバ4を基板2のV溝26に載置し、段差面23からL=100mm突出させる。そして光ファイバ4を矢印pに示すように左右に1回ずつ振り、光ファイバ4が断線に至るまでの回数を計測する。ここで、光ファイバ4の振れ角ηは22.5degとし、光ファイバ4を振る回数は最大で20回とした。   An experiment for verifying the effect of the present invention was performed using these substrates. FIG. 7 is a schematic diagram showing an outline of an experiment for verifying the effect of the present invention. As shown in the figure, the optical fiber 4 is placed in the V-groove 26 of the substrate 2 and protruded from the step surface 23 by L = 100 mm. Then, the optical fiber 4 is swung left and right once as indicated by the arrow p, and the number of times until the optical fiber 4 is broken is measured. Here, the deflection angle η of the optical fiber 4 was 22.5 deg, and the number of times the optical fiber 4 was shaken was 20 at the maximum.

表1は、検証実験の結果を示す。なお、V溝形状の効果及びV溝内壁面の表面性状の効果を検証するため、比較例として、研削加工で作製した従来形状の基板と、ガラスモールドで作製した従来形状の基板を用いた。実験はそれぞれ10回ずつ行っている。研削加工により作製した従来形状の基板では、平均0.6回で断線し、ガラスモールドにより作製した従来形状の基板では平均13.7回で断線した。これに対し本発明の実施例では、20回以内に断線することはなかった。   Table 1 shows the results of the verification experiment. In order to verify the effect of the V-groove shape and the surface property of the inner wall surface of the V-groove, as a comparative example, a conventional-shaped substrate manufactured by grinding and a conventional-shaped substrate manufactured by a glass mold were used. Each experiment was performed 10 times. In the case of the substrate having the conventional shape manufactured by grinding, the wire was broken on the average 0.6 times, and in the case of the substrate having the conventional shape made by the glass mold, the wire was broken on the average 13.7 times. On the other hand, in the Example of this invention, it did not disconnect within 20 times.

このように、研削加工で形成された表面粗さRzの大きい従来形状の基板は、光ファイバが断線しやすい。また、ガラスモールドで作製して表面粗さを小さくした従来形状の基板では、断線に至る回数が増加するが、本発明に係る基板には及ぶものではない。このことから、基板を本発明に係る形状とし、V溝内壁面の表面粗さRzを0.1μm以下とすることにより、光ファイバが基板の段差面で破損しにくくなることが確認された。   As described above, the optical fiber is likely to break in the conventional substrate having a large surface roughness Rz formed by grinding. Moreover, in the conventional-shaped board | substrate produced with the glass mold and the surface roughness was made small, the frequency | count to which a disconnection increases, but it does not reach the board | substrate which concerns on this invention. From this, it was confirmed that when the substrate is shaped according to the present invention and the surface roughness Rz of the inner wall surface of the V-groove is 0.1 μm or less, the optical fiber is not easily damaged at the stepped surface of the substrate.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は前記実施形態に何ら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。例えば、上記第1の実施形態と第2の実施形態とを組み合わせた構成としても良い。すなわち、V溝形成部の段差面側に向かうにつれて、V溝の開き角度θ及びV溝の深さが共に次第に大きくなるなるように形成してもよい。このような構成によれば、V溝の形状は多少複雑になるものの、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention. For example, it is good also as a structure which combined the said 1st Embodiment and 2nd Embodiment. That is, you may form so that both the opening angle (theta) of V groove and the depth of V groove may become large gradually as it goes to the level | step difference surface side of a V groove formation part. According to such a configuration, although the shape of the V-groove is somewhat complicated, the same effects as those of the first embodiment and the second embodiment can be achieved.

第1の実施の形態に係る光ファイバアレイの外観模式図であり、(a)は組立て前の状態を示した分解斜視図、(b)は組立て後の状態を示した結合斜視図である。It is the external appearance schematic diagram of the optical fiber array which concerns on 1st Embodiment, (a) is the exploded perspective view which showed the state before an assembly, (b) is the combined perspective view which showed the state after an assembly. 第1の実施の形態に係る光ファイバアレイ用の基板のV溝形成部の構成を示した図であり、(a)はV溝形成部の部分拡大図、(b)はV溝の断面形状を模式的に示した断面図である。It is the figure which showed the structure of the V-groove formation part of the board | substrate for optical fiber arrays which concerns on 1st Embodiment, (a) is the elements on larger scale of a V-groove formation part, (b) is the cross-sectional shape of V-groove It is sectional drawing which showed typically. 組立て後の光ファイバの位置状態を示した図であり、(a)はV溝形成部を光ファイバの軸線に直角に切断した断面図、(b)はV溝形成部を光ファイバの軸線方向に平行に切断した断面図である。It is the figure which showed the position state of the optical fiber after an assembly, (a) is sectional drawing which cut | disconnected the V-groove formation part at right angles to the axis line of an optical fiber, (b) is an axial direction of an optical fiber. It is sectional drawing cut | disconnected in parallel with. 第2の実施の形態に係る光ファイバアレイ用の基板のV溝形成部の構成を示した図であり、(a)はV溝形成部の部分拡大図、(b)はV溝の断面形状を模式的に示した断面図である。It is the figure which showed the structure of the V-groove formation part of the board | substrate for optical fiber arrays which concerns on 2nd Embodiment, (a) is the elements on larger scale of a V-groove formation part, (b) is the cross-sectional shape of V-groove It is sectional drawing which showed typically. (a)は本発明に係る基板のV溝の顕微鏡写真、(b)は研削加工により作製された基板のV溝の顕微鏡写真である。(A) is the microscope picture of the V groove of the board | substrate which concerns on this invention, (b) is the microscope picture of the V groove of the board | substrate produced by the grinding process. (a)は本発明に係る基板のV溝の内壁面の表面プロフィール、(b)は研削加工により作製された基板のV溝の内壁面の表面プロフィールである。(A) is the surface profile of the inner wall surface of the V-groove of the substrate according to the present invention, and (b) is the surface profile of the inner wall surface of the V-groove of the substrate manufactured by grinding. 本発明の効果を検証する実験を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the experiment which verifies the effect of this invention. 従来一般の光ファイバアレイの外観模式図であり、(a)は組立て前の状態を示した分解斜視図、(b)は組立て後の状態を示した結合斜視図である。It is the external appearance schematic diagram of the conventional general optical fiber array, (a) is the exploded perspective view which showed the state before an assembly, (b) is the combined perspective view which showed the state after an assembly.

符号の説明Explanation of symbols

1α 第1の実施形態に係る光ファイバアレイ
2α 第1の実施形態に係る基板
3 押さえ蓋
4 光ファイバ
21 V溝形成部
22 平面部
23 段差面
24 端面
25 上面
26α 第1の実施形態に係るV溝
27α 第1の実施形態に係るV溝の頂部
28α 第1の実施形態に係るV溝の溝底
29 段差面のエッジ
31 段差面に対応する端縁
32 装着面
41 裸ファイバ
42 被覆ファイバ
Xα 第1の実施形態に係るV溝断面形状の変化部分
1α Optical fiber array according to the first embodiment 2α Substrate according to the first embodiment 3 Holding lid 4 Optical fiber 21 V-groove forming portion 22 Plane portion
23 Step surface 24 End surface 25 Upper surface 26α V groove 27α according to the first embodiment V groove top portion 28α according to the first embodiment V groove bottom 29 according to the first embodiment 29 Edge 31 of the step surface Step surface The edge 32 corresponding to the mounting surface 41 Bare fiber 42 Coated fiber Xα Changed portion of the V-groove cross-sectional shape according to the first embodiment

Claims (9)

光ファイバが装着される複数のV溝を有するV溝部が平面部より段差面を介して延設形成されるV溝基板と、該V溝基板の光ファイバが装着されるV溝部に被着されるファイバ押さえ蓋とからなり、これらのV溝基板及び/又はファイバ押さえ蓋の光ファイバとの接触面の表面粗さが最大高さRzで0.1μm以下であることを特徴とする光ファイバアレイ   A V-groove portion having a plurality of V-grooves to which optical fibers are mounted is attached to a V-groove substrate formed by extending from a flat surface through a step surface, and a V-groove portion to which optical fibers of the V-groove substrate are mounted. An optical fiber array, wherein the surface roughness of the contact surface of the V-groove substrate and / or the fiber pressing cover with the optical fiber is 0.1 μm or less at the maximum height Rz. 前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が、平面部側に向かって徐々に広がっていることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバアレイ   2. The optical fiber array according to claim 1, wherein an opening angle of the V-groove formed in the V-groove substrate gradually widens toward the plane portion side. 前記V溝基板に形成されるV溝の深さが、平面部側に向かって徐々に深くなっていることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバアレイ   2. The optical fiber array according to claim 1, wherein a depth of the V-groove formed in the V-groove substrate is gradually increased toward the flat portion side. 光ファイバが装着される複数のV溝を有するV溝部が平面部より段差面を介して延設形成されるV溝基板であって、該V溝基板の前記V溝部の光ファイバとの接触面の表面粗さが最大高さRzで0.1μm以下であることを特徴とする光ファイバアレイ用基板   A V-groove substrate having a plurality of V-grooves to which an optical fiber is mounted is formed to extend from a flat surface through a stepped surface, and the contact surface of the V-groove substrate with the optical fiber of the V-groove substrate The surface roughness of the optical fiber array substrate is characterized in that the maximum height Rz is 0.1 μm or less. 前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が、平面部側に向かって徐々に広がっていることを特徴とする請求項4に記載の光ファイバアレイ用基板   5. The optical fiber array substrate according to claim 4, wherein an opening angle of the V-groove formed in the V-groove substrate gradually widens toward the flat portion side. 前記V溝基板に形成されるV溝の開き角度が一定である部分を有することを特徴とする請求項5に記載の光ファイバアレイ用基板   6. The substrate for an optical fiber array according to claim 5, further comprising a portion in which an opening angle of the V groove formed in the V groove substrate is constant. 前記V溝基板に形成されるV溝の深さが、平面部側に向かって徐々に深くなっていることを特徴とする請求項4に記載の光ファイバアレイ用基板   5. The optical fiber array substrate according to claim 4, wherein the depth of the V-groove formed in the V-groove substrate is gradually increased toward the flat portion side. 前記V溝基板に形成されるV溝の深さが一定である部分を有することを特徴とする請求項7に記載の光ファイバアレイ用基板   8. The optical fiber array substrate according to claim 7, further comprising a portion where the depth of the V-groove formed in the V-groove substrate is constant. 前記請求項4から請求項8に記載の光ファイバアレイ用基板はガラスモールドにより形成されていることを特徴とする光ファイバアレイ用基板   9. The optical fiber array substrate according to claim 4, wherein the optical fiber array substrate is formed of a glass mold.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100437180C (en) * 2006-10-25 2008-11-26 武汉海博光技术有限公司 Optical fiber positioning substrate in optical fiber array module and producing method
CN102326110A (en) * 2009-02-18 2012-01-18 肖特公开股份有限公司 Light guide for transmitting radiation and production method
CN103257412A (en) * 2013-05-07 2013-08-21 苏州旭创科技有限公司 Single-module double-layer parallel optical fiber array

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100437180C (en) * 2006-10-25 2008-11-26 武汉海博光技术有限公司 Optical fiber positioning substrate in optical fiber array module and producing method
CN102326110A (en) * 2009-02-18 2012-01-18 肖特公开股份有限公司 Light guide for transmitting radiation and production method
JP2012518189A (en) * 2009-02-18 2012-08-09 ショット アクチエンゲゼルシャフト Optical waveguide for electromagnetic wave transmission and manufacturing method thereof
CN103257412A (en) * 2013-05-07 2013-08-21 苏州旭创科技有限公司 Single-module double-layer parallel optical fiber array
CN103257412B (en) * 2013-05-07 2016-01-20 苏州旭创科技有限公司 A kind of Single-module double-layer parallel optical fiber array

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