JP2005235607A - Optical processor - Google Patents
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Abstract
Description
この発明はエキシマランプを使った光照射装置に関する。特に、有機物質を含む水溶性または気体の分析試料を完全酸化分解して無機化する光照射装置に関する。 The present invention relates to a light irradiation apparatus using an excimer lamp. In particular, the present invention relates to a light irradiation apparatus for completely mineralizing a water-soluble or gaseous analysis sample containing an organic substance by oxidative decomposition.
従来から有機物(汚染物質)の酸化分解について、いくつかの方法が提案されており、その多くは光化学反応によるものである。これらの酸化技術は、大型の技術開発であり、ほとんどは生物的処理場における最終ゴミの前段階に、毒性のある汚染水の処理のため開発された。 Conventionally, several methods have been proposed for oxidative decomposition of organic substances (contaminants), many of which are based on photochemical reactions. These oxidation technologies are large-scale technological developments, mostly developed for the treatment of toxic contaminated water, prior to the final waste in biological treatment plants.
また、誘電体バリア放電を利用したエキシマランプを使った光化学反応による酸化技術が存在する。しかしながら、必ずしも満足できる照射処理ができるわけではなかった。
この発明が解決しようとする課題は、小型で簡単な構造の光照射装置を提供して、有機汚染物質を含む試料を無機化することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a light irradiation device having a small and simple structure and to mineralize a sample containing an organic contaminant.
上記課題を解決するために、この発明の光照射装置は、一対の電極間に誘電体材料を介在させた放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが容器内に充填されたエキシマランプを光源とした光照射装置において、有機物質を含む試料が、エキシマランプの容器壁の一部を兼ねた細い試料用流路を通過しながら照射処理により無機化されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a light irradiation apparatus according to the present invention uses an excimer lamp in which a discharge gas for generating excimer molecules by discharge with a dielectric material interposed between a pair of electrodes is filled in a container as a light source. The light irradiation apparatus is characterized in that a sample containing an organic substance is mineralized by irradiation while passing through a thin sample channel that also serves as a part of a container wall of an excimer lamp.
さらに、請求項2の光照射装置は、前記エキシマランプに対する冷却用流路が当該エキシマランプの容器壁の一部に形成されたことを特徴とする。
Furthermore, the light irradiation apparatus according to
さらに、請求項3の光照射装置は、前記エキシマランプは概略円筒形状であって、前記試料用流路は当該エキシマランプの外周壁の一部に形成されたことを特徴とする。 Furthermore, the light irradiation apparatus according to claim 3 is characterized in that the excimer lamp has a substantially cylindrical shape, and the sample channel is formed in a part of an outer peripheral wall of the excimer lamp.
さらに、請求項4の光照射装置は、前記エキシマランプは内側管と外側管を同軸に配置した概略ニ重円筒形状であって、前記試料用流路は当該内側管の内側に形成されたことを特徴とする。
Furthermore, in the light irradiation device according to
さらに、請求項5の光照射装置は、前記試料用流路は内部が1mm以下であることを特徴とする。
Furthermore, the light irradiation apparatus according to
本発明の光照射装置は、気体あるいは液体の試料を一方向に連続的に流す条件において、真空紫外線(波長200nm以下の光)によって光化学的に誘発される酸化分解反応を用いて有機物の無機化を行うものである。
この結果、本発明の光照射装置は、補助的な酸化剤または触媒などを添加することなく、エキシマランプからの放射光のみによって処理することができる。特に、局所的に高濃度のOH、HO2ラジカルを生成できるため、小型の装置によって確実な照射処理を達成できる。
The light irradiation apparatus of the present invention uses a oxidative decomposition reaction that is photochemically induced by vacuum ultraviolet rays (light having a wavelength of 200 nm or less) under the condition that a gas or liquid sample flows continuously in one direction. Is to do.
As a result, the light irradiation apparatus of the present invention can be processed only by the emitted light from the excimer lamp without adding an auxiliary oxidizing agent or catalyst. In particular, since highly concentrated OH and HO 2 radicals can be generated locally, reliable irradiation treatment can be achieved with a small apparatus.
図1は本発明のエキシマ光照射装置と周辺機器の概略構成を示す。
エキシマランプ1には、試料用流路2が内部を貫通しており、冷却手段3と給電装置4が接続している。冷却装置3は、冷却水などの冷却媒体をエキシマランプ1に流してエキシマランプ1の冷却を行っており、また、給電装置4からはエキシマランプ1に対して発光に必要な電力を供給している。また、本発明では、エキシマランプ1、冷却手段3、給電装置4をエキシマ光照射装置としている。
試料用流路2の入力側端部は容器5につながり、ポンプ6によって容器5に内蔵している試料Sを試料用流路2内に吸い上げている。また、ポンプ6は酸素用ボンベ7にもつながり試料用流路2内に酸素を混入させている。従って、試料用流路2の内部には、酸素が混ざった試料Sが連続的に流れることとなり、エキシマランプ1の内部を流過したときに、エキシマランプ1から放射される光、特に真空紫外光の照射を受けることとなる。
光照射を受けた試料Sは、冷却容器8を通過して貯蔵容器9に蓄積される。
FIG. 1 shows a schematic configuration of an excimer light irradiation apparatus and peripheral devices according to the present invention.
The excimer lamp 1 has a
The input side end of the
The sample S that has been irradiated with light passes through the cooling container 8 and accumulates in the storage container 9.
図2は本発明のエキシマ光照射装置と周辺機器の他の構成を示す。
試料用流路2は、酸素用ボンベ7と窒素用ボンベ7’がつながり、酸素用ボンベ7から酸素が水蒸気を飽和させて送られ、窒素用ボンベ7’から試料蒸気が運ばれ、両者が混ざってエキシマランプ1に送られる。エキシマランプ1で照射処理を受けたガスは、直接、ガスクロマトグラフィ、HPLCで分析される。ガスクロマトグラフィには6つの穴を有するバルブが装着されて、測定時にはガスがガスクロマトグラフィに運ばれ、それ以外の時は外部に放出される。また、エキシマランプ1の前後に接続されたバルブからも適宜試料が排出される。
FIG. 2 shows another configuration of the excimer light irradiation apparatus and peripheral devices of the present invention.
In the
図3は、図1、図2に示したエキシマランプ1の拡大構造を示し、(a)は横断面図、(b)は(a)のA−A断面図を示す。
エキシマランプ1は、2つの円筒状の管を同軸に配置させて、端部に円盤状ガラス部材を溶接させたもので、外側管部10a、内側管部10b、端部10cからなる概略円筒状の放電容器10を構成している。
放電容器10の内部には、放電空間11が形成されて、誘電体材料を介在する放電(いわゆる、誘電体バリア放電)によってエキシマ分子を形成するとともに、このエキシマ分子から真空紫外光を放射する放電用ガス、例えばキセノンガスが封入される。
放電容器10の材質は、誘電体として機能するとともに、真空紫外光を良好透過する材料、例えば合成石英ガラスからなる。
エキシマランプ1は、放電用ガスとしてキセノンガスを充填させた場合に、波長172±12nmの光が発生する。
3 shows an enlarged structure of the excimer lamp 1 shown in FIGS. 1 and 2, wherein (a) is a transverse sectional view and (b) is an AA sectional view of (a).
The excimer lamp 1 has two cylindrical tubes arranged coaxially, and a disc-shaped glass member is welded to the end thereof, and has a substantially cylindrical shape composed of an outer tube portion 10a, an
A
The material of the
When the excimer lamp 1 is filled with xenon gas as a discharge gas, light having a wavelength of 172 ± 12 nm is generated.
外側管部10aの外面には、第一電極12がほぼ全領域に配置している。この第一電極12は、例えば網形状の光透過性電極であり、放電空間11で発生する放射光が網目を介して放射する。なお、第一電極12について、1本の金属線をシームレスに編んだ構成にすると、放電容器10との密着性が増し発光効率を高めることができる。
On the outer surface of the outer tube portion 10a, the
内側管部10bの外面(放電空間11と反対面)には、試料S(処理物)が流過する試料用流路20と冷却用流路30が形成されている。試料用流路20は、放電容器10の壁の一部分、具体的に内側管部10bを兼ねて形成しており、放電空間11からの放射光が効率的に光照射できる構成になっている。
冷却用流路30は、内側管部10bの内部の貫通空間に挿入されたパイプ状のものであり、放電容器10と同軸に形成される。
また、冷却用流路30は、図1、図2に示した冷却手段3に接続しており、水などの冷却媒体が内部を流れる構造になっている。さらに、冷却用流路30は、例えば金属線からなる他方の電極13が内部を貫通するように配置している。この場合は冷却媒体も導電体として機能することで電極の役割を果たす。
A
The
Further, the
第一電極12と第二電極13は、図1に示した給電装置4に接続されており、給電装置4から発光に必要な所定の電力が供給されると、放電空間11内部でエキシマ分子が生成してエキシマ発光が生じる。
因みに、電流の流れは、給電装置4→第一電極12→放電容器10の外側管部10a→放電空間11→放電容器10の内側管部10b→試料用流路20→冷却用流路30→第二電極13→給電装置4となり、交流電流が印加された場合は、極性が反転して逆の経路も形成される。
エキシマランプ1は、一例をあげると、1kW以下の電気入力であり、より具体的には10W〜150Wが好ましい。
The
Incidentally, the current flow is as follows:
For example, the excimer lamp 1 has an electric input of 1 kW or less, and more specifically, 10 W to 150 W is preferable.
図4はエキシマランプ1の他の構造を示す。
図3で紹介したエキシマランプとは、試料用流路20の構造が異なり、その他の構造は基本的に同じである。
試料用流路2は、放電容器10の内部空間(内側管で形成される空間であって、放電空間11ではない)において、放電容器10の外壁(内側管)に沿って螺旋状の形成されている。具体的には、パイプ状の冷却用流路30の外周面に仕切り壁21を螺旋状に溶着形成して、試料Sが螺旋状に旋回しながら流過する構造となっている。
FIG. 4 shows another structure of the excimer lamp 1.
The excimer lamp introduced in FIG. 3 is different from the excimer lamp in the structure of the
The
図5はエキシマランプ1の他の構造を示す。
図3、図4に示したエキシマランプと試料用流路2の構造、冷却用流路の構造、および第一電極、第二電極の形態などが異なっている。
試料用流路20は、放電容器10の外周(外側管の外周)に形成されており、光処理効率を高めるために図4と同様に螺旋形状を有している。冷却水用流路14は、放電容器10及び試料用流路2の全体を覆うように形成されている。
なお、本実施例において第一の電極は、反射機能を持たせるために面状金属部材であることが望ましい。放電空間11からの放射光を第一の電極13で反射させて処理効率を高めることができるからである。
また、試料用流路20は螺旋形状でなくてもかまわない。
FIG. 5 shows another structure of the excimer lamp 1.
The structures of the excimer lamp and the
The
In the present embodiment, the first electrode is preferably a planar metal member in order to have a reflecting function. This is because the processing efficiency can be increased by reflecting the radiated light from the
Further, the
図6はエキシマランプ1の他の構造を示す。
この構造は、図4に示した構造と図5に示した構造を組み合わせたものであり、試料Sは放電容器10の内部の貫通空間を流過した後に放電容器10の外周面を流過する構造となっている。なお、いずれの流路においても処理効率の観点から螺旋構造を採用することが好ましいが、螺旋構造に限定されるわけではない。
この構造によれば、放電空間から放射される真空紫外光を効果的に利用することができるため、光処理効率が格段に向上する利点を有する。
FIG. 6 shows another structure of the excimer lamp 1.
This structure is a combination of the structure shown in FIG. 4 and the structure shown in FIG. 5, and the sample S flows through the outer peripheral surface of the
According to this structure, since the vacuum ultraviolet light radiated from the discharge space can be used effectively, there is an advantage that the light processing efficiency is remarkably improved.
図7はエキシマランプ1の他の構造を示す。
図3〜図6に示したエキシマランプが概略円筒状であるのに対し、図7に示すエキシマランプは概略平板形状である点で異なっている。
第一電極12と第ニ電極13は放電容器10の外面に設けられており、第一電極12と放電容器10の間には試料用流路20が形成されている。試料用流路2は、例えば渦巻き状に形成されており、外周の一部から流入された後、渦巻きに沿って中心まで導かれて、その後外方に排出される構造になっている。
この構造によれば、処理物の被照射面積に対する試料用流路の容積を最大にすることが可能となる。
FIG. 7 shows another structure of the excimer lamp 1.
The excimer lamp shown in FIGS. 3 to 6 is substantially cylindrical, but the excimer lamp shown in FIG. 7 is different in that it has a substantially flat plate shape.
The
According to this structure, it is possible to maximize the volume of the sample channel with respect to the irradiated area of the processing object.
図8はエキシマランプ1の他の構造を示す。
この図に示すエキシマランプ1も平板形状であり、(a)に示す構造を積み重ねて(b)に示す構造のものとなる。なお、図7に示すものが渦巻き型の試料流路であるのに対し、この図に示す試料流路は蛇行する構造である。
FIG. 8 shows another structure of the excimer lamp 1.
The excimer lamp 1 shown in this figure also has a flat plate shape, and the structure shown in FIG. In addition, what is shown in FIG. 7 is a spiral sample channel, whereas the sample channel shown in this figure has a meandering structure.
上記実施例の全てにおいて、液体または気体からなる試料S(処理物)は、試料用流路(2、20)を通過する間にエキシマランプ1から放射される真空紫外光を受けることになり、これにより有機物質を含む試料Sは完全に無機化される。
特に、本発明の構造によれば、試料がエキシマランプの中を一度通り抜けるだけで、有機物質の完全無機化を達成することができる。また、本発明の光照射装置によれば、局所的に高濃度のOH、HO2ラジカルを生成できるため、補助的な酸化剤や触媒の添加を必要としない。
In all of the above embodiments, the sample S (processed product) made of liquid or gas receives the vacuum ultraviolet light emitted from the excimer lamp 1 while passing through the sample flow path (2, 20). Thereby, the sample S containing an organic substance is completely mineralized.
In particular, according to the structure of the present invention, it is possible to achieve complete mineralization of an organic substance only by passing a sample once through an excimer lamp. Further, according to the light irradiation device of the present invention, it is possible to produce a high local concentration of OH, HO 2 radical, do not require the addition of supplemental oxidant and catalyst.
本発明の光照射装置においては、試料用流路は、少なくともエキシマ光の照射を受ける領域において幅1mm以下であることが望ましい。上記のように、局所的に高濃度のOH、HO2ラジカルを生成させて効率良く反応させるためである。
また、試料用流路2は、例えば、上記のように螺旋構造とすることで、試料を乱流化あるいは乱流化を促進させる構造とすることが望ましい。
また、試料用流路2は、試料が液体である場合において、光照射前に酸素または空気などの気体の泡を混入させることが好ましく、また、試料が気体である場合において、水蒸気を混入させることが好ましいい。これらにより、試料の輸送量を増加できるからである。
また、本発明の光照射による有機物の無機化処理は、圧力が6bar以下、より好ましくは1bar以下の減圧下で行なうことが好ましい。
そして、少なくとも500ppm Cの濃度までの処理物について完全に無機化することができる。また、体積比10%以下の有機物を含む気体の処理物を完全に無機化することができる。
In the light irradiation apparatus of the present invention, it is desirable that the sample channel has a width of 1 mm or less in at least a region that receives the excimer light irradiation. As described above, this is because local high-concentration OH and HO 2 radicals are generated and reacted efficiently.
Further, it is desirable that the
The
Moreover, it is preferable to perform the mineralization process of the organic substance by light irradiation of the present invention under a reduced pressure of 6 bar or less, more preferably 1 bar or less.
Then, the treated product up to a concentration of at least 500 ppm C can be completely mineralized. In addition, it is possible to completely mineralize a gas processed product containing an organic substance having a volume ratio of 10% or less.
また、本発明の光照射処理によれば、炭化水素を完全無機化することで二酸化炭素と水が生成できる。また、塩素の化合した有機物を無機化することで塩酸が生成できる。このように、相当する置換基に由来する無機酸を生成することができる。 Further, according to the light irradiation treatment of the present invention, carbon dioxide and water can be generated by completely mineralizing the hydrocarbon. Moreover, hydrochloric acid can be produced by mineralizing organic compounds combined with chlorine. In this way, an inorganic acid derived from the corresponding substituent can be generated.
なお、エキシマランプは、誘電体バリア放電ランプとも称するが、単一波長の真空紫外光を強く放射するという、従来の低圧水銀ランプや高圧放電ランプにはない優れた特徴を有している。
単一波長の光は、放電容器内の封入ガスによって決まり、上記のようにキセノンガス(Xe)の場合は波長172nmの光、アルゴンガス(Ar)と塩素ガス(CL)の場合は波長175nmの光、クリプトン(Kr)と沃素(I)の場合は波長191nmの光、アルゴン(Ar)とフッ素(F)の場合は波長193nmの光、クリプトン(Kr)と臭素(Br)の場合は波長207nmの光、クリプトン(Kr)と塩素(CL)の場合は波長222nmの光を放射する。さらに、必要に応じて瞬時(1秒以内)に点滅点灯できるという特徴も有する。
The excimer lamp is also referred to as a dielectric barrier discharge lamp, and has an excellent feature that does not exist in conventional low-pressure mercury lamps or high-pressure discharge lamps.
The light of a single wavelength is determined by the sealed gas in the discharge vessel. As described above, the light of wavelength 172 nm is used for xenon gas (Xe), and the wavelength of 175 nm is used for argon gas (Ar) and chlorine gas (CL). Light, light with a wavelength of 191 nm for krypton (Kr) and iodine (I), light with a wavelength of 193 nm for argon (Ar) and fluorine (F), wavelength of 207 nm for krypton (Kr) and bromine (Br) In the case of krypton (Kr) and chlorine (CL), light having a wavelength of 222 nm is emitted. Further, it has a feature that it can be blinked and lighted instantaneously (within 1 second) as necessary.
エキシマ発光のために、給電装置からエキシマランプに供給する電圧波形は、正弦波に限定されるものではなく、パルス波形であってもかまわない。この場合、パルスを連続的に供給するのではなく、間隔(休止期間)を設けるパルス波形が発光効率の点で好ましく、また、パルス波形は急峻な立ちあがり波形で印加することが望ましい。これは急峻な立ち上がり波形の電圧を印加すると、正弦波電圧のような緩やかな電圧を印加する場合に比べて、放電容器内のガスそのものに直接電圧を印加するような状態に近づくためであり、また、休止期間を設けることは一度生成したエキシマ分子を破壊させないためである。 The voltage waveform supplied from the power supply device to the excimer lamp for excimer light emission is not limited to a sine wave, and may be a pulse waveform. In this case, instead of continuously supplying pulses, a pulse waveform providing an interval (rest period) is preferable in terms of light emission efficiency, and the pulse waveform is preferably applied in a steep rising waveform. This is because applying a voltage having a steep rising waveform approaches a state in which a voltage is directly applied to the gas itself in the discharge vessel as compared to applying a gentle voltage such as a sine wave voltage. The rest period is provided so that excimer molecules once generated are not destroyed.
図3に示した構造のエキシマランプを使って下記実験例1、実験例2を行った。
エキシマランプは、放電容器10の全長は140mm、外径は14mmである。試料用流路20は、放電容器10の壁の一部と冷却用流路30によって仕切られた空間として形成されるものであり、その隙間は0.5mm、断面積は5.5mm2の管形状である。第一電極12と第ニ電極13に印加される電圧は、5kV、250kHzの正弦波である。
Experimental Example 1 and Experimental Example 2 below were performed using the excimer lamp having the structure shown in FIG.
The excimer lamp has a
実験例1は、試料として60ppmCの2,4-Dichlorophenolを使い、試料中に酸素を飽和溶解させた。試料の流量は0.5mリットル/分であり、エキシマランプは入力電力50Wで点灯させた。
この結果、TOC分析器でCO2分析したところ炭素の無機化度98%以上、イオンクロマトグラフイーで分析したところ塩素の分離度98%以上であった。
In Experimental Example 1, 60 ppmC of 2,4-Dichlorophenol was used as a sample, and oxygen was saturatedly dissolved in the sample. The flow rate of the sample was 0.5 ml / min, and the excimer lamp was turned on with an input power of 50 W.
As a result, CO2 analysis with a TOC analyzer revealed a carbon mineralization degree of 98% or more, and analysis with ion chromatography revealed a chlorine separation degree of 98% or more.
実施例2は、試料として80ppmCの2,4-Dichlorophenolを使い、試料中に酸素を飽和溶解させた。この場合の流量は0.4mリットル/分であり、エキシマランプは入力電力50Wで点灯させた。
この結果、TOC分析器でCO2分析したところ炭素の無機化度98%以上、イオンクロマトグラフイーで分析したところ塩素の分離度98%以上であって。
つまり、実験例1、実験例2の両事例で、TOC、TOXの値は、誤差の再現不可能な範囲にまで減少できた。
In Example 2, 80
As a result, CO2 analysis with a TOC analyzer revealed a carbon mineralization degree of 98% or more, and analysis with ion chromatography revealed a chlorine separation degree of 98% or more.
That is, in both cases of Experimental Example 1 and Experimental Example 2, the values of TOC and TOX could be reduced to a range where the error could not be reproduced.
次に、図4に示した構造のエキシマランプを使って下記実験例3を行った。
試料用流路20は、螺旋状に形成されて、その隙間は0.5mm、断面積は2.1mm2である。第一電極12と第ニ電極13に印加される電圧は、5kV、250kHzの正弦波である。
Next, Experimental Example 3 below was performed using an excimer lamp having the structure shown in FIG.
The
実験例3は、試料として過剰のEDTA(20ppmC)を含むCd{EDTA}2- (2ppm Cd2+)水溶液を使い、この場合の流量は0.5mリットル/分であり、エキシマランプは入力電力50Wで点灯させた。
この結果、ASV(Anodic Stripping Voltametry)で分析したところカドミウムの分離度99%以上であった。また、ASVにおける、原液の完全に抑圧された信号は、単一流下の方式において真空紫外線の照射により、完全に回復した。
In Example 3, a Cd {EDTA} 2− (2 ppm Cd 2+ ) aqueous solution containing excess EDTA (20 ppmC) was used as a sample. In this case, the flow rate was 0.5 ml / min. It was lit at 50W.
As a result, when analyzed by ASV (Anodic Stripping Voltametry), the separation degree of cadmium was 99% or more. In addition, the completely suppressed signal of the stock solution in ASV was completely recovered by irradiation with vacuum ultraviolet rays in a single flow system.
次に、図5に示した構造のエキシマランプを使った実験例4を行った。
試料用流路20sは、螺旋状に形成されて、その隙間は0.5mm、断面積は2.6mm2である。第一電極12と第ニ電極13に印加される電圧は、5kV、250kHzの正弦波である。
Next, Experimental Example 4 using an excimer lamp having the structure shown in FIG. 5 was performed.
The sample channel 20s is formed in a spiral shape, and the gap is 0.5 mm and the cross-sectional area is 2.6 mm 2 . The voltage applied to the
実施例4は、試料として、170ppmCの2,4-Dichlorophenolを使い、試料の中に酸素を飽和溶解させた。この場合の流量は0.5mリットル/分であり、エキシマランプは入力電力50Wで点灯させた。
この結果、TOC分析器でCO2を分析したところ、炭素の無機化度98%以上であり、イオンクロマトグラフイーで分析したところ塩素の分離度98%以上であった。
In Example 4, 170
As a result, when CO2 was analyzed with a TOC analyzer, the degree of mineralization of carbon was 98% or more, and when analyzed by ion chromatography, the degree of separation of chlorine was 98% or more.
次に、図6に示した構造のエキシマランプを使って実験例5を行った。
印加された電圧は5kV、周波数250kHzである。
Next, Experimental Example 5 was performed using an excimer lamp having the structure shown in FIG.
The applied voltage is 5 kV and the frequency is 250 kHz.
実施例5は、試料として、230ppmCの2,4-Dichlorophenolを使い、試料の中に酸素を飽和溶解させた。この場合の流量は0.5mリットル/分であり、エキシマランプは入力電力50Wで点灯させた。
この結果、TOC分析器でCO2を分析したところ、炭素の無機化度98%以上であり、イオンクロマトグラフイーで分析したところ塩素の分離度98%以上であった。
In Example 5, 230
As a result, when CO2 was analyzed with a TOC analyzer, the degree of mineralization of carbon was 98% or more, and when analyzed by ion chromatography, the degree of separation of chlorine was 98% or more.
1 エキシマランプ
2 試料用流路
3 冷却手段
4 給電手段
10 放電容器
11 放電空間
12 第一電極
13 第二電極
20 試料用流路
30 冷却用流路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (5)
有機物質を含む試料が、エキシマランプの容器壁の一部を兼ねた細い試料用流路を通過しながら照射処理により無機化されることを特徴とする光照射装置。 In a light irradiation apparatus using an excimer lamp filled with a discharge gas for generating excimer molecules by discharge with a dielectric material interposed between a pair of electrodes in a container,
A light irradiation apparatus characterized in that a sample containing an organic substance is mineralized by irradiation treatment while passing through a thin sample channel that also serves as a part of a container wall of an excimer lamp.
The light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the sample channel has an inside of 1 mm or less.
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- 2004-02-20 JP JP2004043916A patent/JP2005235607A/en not_active Withdrawn
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