JP2005232484A - Terminal, and component and product having the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low cost terminal in which the prevention in the production of whiskers and satisfactory solderability at a low temperature are made to coexist, and a surface coating layer is made thin and uniform. <P>SOLUTION: In the terminal, an Sn layer is formed on the whole face or a part of an electrically conductive substrate, and an Sn alloy layer is formed on the Sn layer. The Sn layer is the one with a thickness of 0.1 to 20 μm composed of Sn and formed by electroplating. The Sn alloy layer is the one with a thickness of 0.1 to 20 μm composed of Sn and formed by electroplating. The Sn alloy layer is the one with a thickness of 0.1 to 20 μ composed of any one selected from an Sn-Ag binary alloy, an Sn-Ag-Cu ternary alloy, and an Sn-Ag-Cu-Bi quarternary alloy and formed by electroplating. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電気、電子製品や半導体製品あるいは自動車、ケーブル、太陽電池等において広く接続を目的として用いられている端子(たとえばコネクタ端子、リレー端子、スライドスイッチ端子、バンプ、はんだ付端子、フラットケーブル端子等)に関するものであり、より詳細にははんだ付性および接触信頼性等が各要求される用途に特に適する端子およびそれを有する部品(たとえばコネクタ、リレー、スライドスイッチ、フラットケーブル、抵抗、コンデンサ、コイル、基板等)、ならびにそれを有する製品(たとえば半導体製品、電気製品、電子製品、太陽電池、自動車等)に関する。   The present invention relates to terminals widely used for connection in electrical, electronic products, semiconductor products, automobiles, cables, solar cells, etc. (for example, connector terminals, relay terminals, slide switch terminals, bumps, solder terminals, flat cables) Terminals, etc., and more specifically, terminals particularly suitable for applications where solderability and contact reliability are required, and parts having the terminals (for example, connectors, relays, slide switches, flat cables, resistors, capacitors) , Coils, substrates, etc.) and products having the same (for example, semiconductor products, electrical products, electronic products, solar cells, automobiles, etc.).

半導体製品、電気製品、電子製品、自動車、ケーブル、太陽電池等の各種製品や部品において、電気を導通させる手段としては、導電性基体からなる端子を用いてはんだ付や接触を行なう方法を挙げることができる。   In various products and parts such as semiconductor products, electrical products, electronic products, automobiles, cables, solar cells, etc., means for conducting electricity include soldering and contact using terminals made of conductive substrates. Can do.

このような端子は、通常、導電性基体の表面に対してはんだ付性を改善したり耐食性を改善したりすることを目的として、Au、Ag、Pd、Cu、Ni、In、SnおよびSn−Pb合金等の金属でその表面を被覆することが行なわれている(たとえば特許文献1)。これらの金属の中でも、コスト等を考慮するとSnおよびSn−Pb合金を使用することが最も一般的であり、またその被覆方法としては電気めっき法を採用することが多い。   Such terminals are usually Au, Ag, Pd, Cu, Ni, In, Sn, and Sn− for the purpose of improving solderability and improving corrosion resistance with respect to the surface of the conductive substrate. The surface is coated with a metal such as a Pb alloy (for example, Patent Document 1). Among these metals, it is most common to use Sn and Sn—Pb alloys in view of cost and the like, and the electroplating method is often adopted as the coating method.

しかし、Snを単独で電気めっきした場合、そのような表面被覆層中において巨大な柱状の単結晶が発生し、これが原因となってウィスカの発生が助長されていた。ウィスカが発生すると電気的短絡の原因となるため、その発生を防止することが要求される。   However, when Sn was electroplated alone, a huge columnar single crystal was generated in such a surface coating layer, and this caused the generation of whiskers. When a whisker is generated, it causes an electrical short circuit, so that it is required to prevent the whisker from occurring.

このようなウィスカの発生を防止する一つの手段として、従来、Snを合金化すること、すなわちSn−Pb合金等の使用が試みられてきたが、Pbは周知の通り有毒金属であるため、環境的配慮からその使用が制限されている。   As one means for preventing the generation of such whiskers, conventionally, alloying of Sn, that is, the use of Sn—Pb alloy or the like has been attempted. However, since Pb is a toxic metal as well known, Its use is restricted due to consideration.

そこで、Sn−Pb合金に代わる種々のSn系合金を電気めっきにより形成する方法の開発が試みられている。たとえば、Sn−Cu合金は、Sn99.3質量%、Cu0.7質量%において融点が最小(227℃)となり、良好なはんだ付性を示すが、Cuの含有量が少ないため、ウィスカ(柱状結晶)の発生を有効に防止することができない。これに対して、Cuの含有量を増加させると、融点が急激に上昇するためはんだ付性が悪化することになる。   Then, development of the method of forming the various Sn type | system | group alloys replaced with a Sn-Pb alloy by electroplating is tried. For example, the Sn—Cu alloy has a minimum melting point (227 ° C.) at Sn 99.3 mass% and Cu 0.7 mass% and exhibits good solderability, but has a low Cu content, so whiskers (columnar crystals) ) Cannot be effectively prevented. On the other hand, when the Cu content is increased, the melting point is rapidly increased, so that the solderability is deteriorated.

一方、Sn−Pb合金以外のSn系合金を電気めっきで形成する場合、SnまたはSn合金を陽極として用いると、めっき液中に存在する合金形成元素が該陽極表面に析出し(所謂置換現象)、電気めっきを行なうことができなくなることがある。このため、該陽極のメンテナンスにかなりの費用を投入しなければならず、もって生産コストの高騰を招く結果となっていた。   On the other hand, when an Sn-based alloy other than the Sn-Pb alloy is formed by electroplating, when Sn or Sn alloy is used as the anode, the alloy-forming element present in the plating solution is deposited on the anode surface (so-called substitution phenomenon). In some cases, electroplating cannot be performed. For this reason, considerable cost must be invested in the maintenance of the anode, resulting in an increase in production cost.

これに対して、SnまたはSn合金を陽極として用いることなく、Snを含む合金構成元素を全て塩としてめっき浴に供給する方法が考えられるが、この方法により大面積のSn合金層や厚い厚みのSn合金層を形成させるためには高価な塩を多量に使用しなければならず、コスト的な要求を満たすことができない状況にあった。   On the other hand, a method of supplying all the alloy constituent elements containing Sn as a salt to the plating bath without using Sn or an Sn alloy as an anode is conceivable. In order to form the Sn alloy layer, a large amount of expensive salt must be used, and the cost requirement cannot be satisfied.

このように、ウィスカの発生防止と良好なはんだ付性(すなわち低融点)を両立させ、かつコスト的な要求をも満たしたSn系合金を表面被覆層として電気めっきにより形成した端子は未だ開発されていない現状にある。   As described above, a terminal formed by electroplating with a Sn-based alloy that has both a prevention of whisker generation and good solderability (that is, a low melting point) and also satisfies cost requirements has been developed. Not in the current situation.

なお、上記のような端子を単に接着することのみを目的として、Sn系合金をはんだディップやクリームはんだ等の溶融はんだに用いることがあり、このようなSn系合金として、Sn、Ag、Cu等からなる合金を用いる場合がある。   For the purpose of simply bonding the terminals as described above, an Sn-based alloy may be used for molten solder such as solder dip or cream solder. As such an Sn-based alloy, Sn, Ag, Cu, etc. An alloy made of may be used.

しかし、このような用いられ方をするSn系合金は、Sn、Ag、Cu等の各金属(またはこれらの各金属を溶融混合して得られるインゴット)を単に熱溶融(溶融はんだ)することによって接着作用を示すものに過ぎず、その塗布厚を制御することができないことから該端子上において100μm以下の薄い厚みでかつ均一にコートすることはできなかった。   However, Sn-based alloys that are used in this way are obtained by simply thermally melting (melting solder) each metal such as Sn, Ag, Cu, etc. (or an ingot obtained by melting and mixing these metals). Since only the adhesive action was exhibited and the coating thickness could not be controlled, it was not possible to uniformly coat the terminal with a thin thickness of 100 μm or less.

このように薄い厚みでかつ均一にコートできなければ外観性状の安定性に欠けるばかりではなく、電気的短絡の原因ともなる。しかも、ピンホール等が容易に発生し、耐食性を悪化させることになる。
特開平1−298617号公報
If the film cannot be uniformly coated with such a thin thickness, it not only lacks stability in appearance properties, but also causes an electrical short circuit. Moreover, pinholes and the like are easily generated, and the corrosion resistance is deteriorated.
JP-A-1-298617

本発明は、上述のような現状に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウィスカの発生防止と低温での良好なはんだ付性を両立させ、かつ表面被覆層の厚みを薄くかつ均一なものとするとともにコスト的にも安価な端子を提供することにある。   The present invention has been made in view of the present situation as described above, and the object of the present invention is to achieve both prevention of whisker generation and good solderability at low temperatures, and reduce the thickness of the surface coating layer. It is another object of the present invention to provide a terminal that is uniform and inexpensive in terms of cost.

本発明の端子は、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなるものであって、該Sn層は、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmのSnからなる層であり、該Sn合金層は、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmの、Sn−Ag二元合金、Sn−Ag−Cu三元合金、またはSn−Ag−Cu−Bi四元合金のいずれかからなる層であることを特徴としている。   The terminal of the present invention is formed by forming a Sn layer on the entire surface or part of a conductive substrate, and forming an Sn alloy layer on the Sn layer, and the Sn layer is formed by electroplating. A Sn layer having a thickness of 0.1 to 20 μm, and the Sn alloy layer is formed by electroplating and has a thickness of 0.1 to 20 μm, Sn—Ag binary alloy, Sn—Ag—Cu ternary alloy, Or it is the layer which consists of either Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloy, It is characterized by the above-mentioned.

上記Sn層は、上記導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることにより形成されるものとすることができ、上記Sn合金層は、上記Sn層を形成した導電性基体をめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極とするとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって形成されるものとすることができる。   The Sn layer can be formed by immersing the conductive substrate in a plating bath and electroplating using Sn as an anode, and the Sn alloy layer is formed by forming the Sn layer. Is immersed in a plating bath, and a metal other than Sn and Sn alloy is used as an anode, and each element constituting the Sn alloy is supplied as a salt, and then electroplated.

上記Sn−Ag二元合金は、Agが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成することができ、上記Sn−Ag−Cu三元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成することができ、上記Sn−Ag−Cu−Bi四元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、Biが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成することができる。   The Sn-Ag binary alloy can be configured with a content ratio in which Ag is 0.1 to 20% by mass and the balance is Sn. The Sn-Ag-Cu ternary alloy has an Ag of 0.1 to 0.1%. 20 mass%, Cu can be comprised at a content ratio of 0.1 to 20 mass%, and the balance is Sn. The Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy has an Ag content of 0.1 to 20 mass%. , Cu is 0.1 to 20% by mass, Bi is 0.1 to 20% by mass, and the balance is Sn.

上記導電性基体は、金属または絶縁性基体上の表面に金属が積層されたものとすることができ、また上記導電性基体と上記Sn層との間に、下地層を形成することができる。   The conductive substrate may be a metal or a metal layer on the surface of an insulating substrate, and a base layer may be formed between the conductive substrate and the Sn layer.

上記電気めっきは、バレルめっき装置、引掛けめっき装置または連続めっき装置のいずれかを用いて行なうことができる。   The electroplating can be performed using any of a barrel plating apparatus, a hook plating apparatus, or a continuous plating apparatus.

上記Sn層は無光沢めっきとすることができ、上記Sn合金層は無光沢めっきまたは半光沢めっきとすることができる。   The Sn layer can be matte plating, and the Sn alloy layer can be matte or semi-gloss plating.

上記端子は、コネクタ端子、リレー端子、スライドスイッチ端子、バンプ、はんだ付端子またはフラットケーブル端子のいずれかとすることができる。   The terminal can be any of a connector terminal, a relay terminal, a slide switch terminal, a bump, a solder terminal, or a flat cable terminal.

本発明の部品は、上記端子を有するものであって、コネクタ、リレー、スライドスイッチ、フラットケーブル、抵抗、コンデンサ、コイルまたは基板のいずれかとすることができる。   The component of the present invention has the above-described terminal, and can be any of a connector, a relay, a slide switch, a flat cable, a resistor, a capacitor, a coil, or a substrate.

本発明の製品は、上記端子を有するものであって、半導体製品、電気製品、電子製品、太陽電池または自動車のいずれかとすることができる。   The product of the present invention has the terminal, and can be any one of a semiconductor product, an electrical product, an electronic product, a solar cell, or an automobile.

本発明の端子の製造方法は、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなる端子の製造方法であって、上記導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることによって上記導電性基体上の全面または部分にSn層を形成するステップと、上記Sn層を形成した導電性基体をめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって上記Sn層上にSn合金層を形成するステップと、を含むことができる。   The terminal manufacturing method of the present invention is a terminal manufacturing method in which an Sn layer is formed on the whole or part of a conductive substrate, and an Sn alloy layer is formed on the Sn layer. A step of forming an Sn layer on the whole or part of the conductive substrate by immersing in a plating bath and electroplating with Sn as an anode; and immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed in a plating bath; And forming a Sn alloy layer on the Sn layer by electroplating by using a metal other than the Sn alloy as an anode and supplying each element constituting the Sn alloy as a salt.

本発明の端子は、上記のような構成、とりわけ導電性基体上に特定のSn層を形成し、その上に特定のSn合金層を形成してなる構成としたことにより、Sn合金層がSn層でのウィスカの発生を防止するとともにそれ自体低融点であるため良好なはんだ付性を提供するものである。しかも、Sn層とSn合金層との両者により端子表面を被覆する層(表面被覆層)を形成したものであるため、Sn合金層単独で表面被覆層を形成する場合に比し、電気めっき時に使用するSn合金を構成する元素の塩の使用量を抑制することができ、以ってコスト的にも優れたものとなる。さらに、これらの表面被覆層を電気めっきにより形成したことにより表面被覆層の厚みを薄くかつ均一なものとすることができ、ピンホールの発生や電気的短絡を防止することが可能である。   The terminal of the present invention has the above-described configuration, in particular, a configuration in which a specific Sn layer is formed on a conductive substrate and a specific Sn alloy layer is formed thereon, so that the Sn alloy layer is Sn In addition to preventing the formation of whiskers in the layer, it provides a good solderability because of its low melting point. In addition, since the layer covering the terminal surface (surface coating layer) is formed by both the Sn layer and the Sn alloy layer, compared with the case where the surface coating layer is formed by the Sn alloy layer alone, the electroplating is performed. The amount of elemental salt constituting the Sn alloy to be used can be suppressed, so that the cost is excellent. Furthermore, by forming these surface coating layers by electroplating, the thickness of the surface coating layers can be made thin and uniform, and pinholes and electrical shorts can be prevented.

<端子>
本発明の端子は、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成した構成を有することを特徴とする。
<Terminal>
The terminal of the present invention is characterized in that a Sn layer is formed on the entire surface or part of a conductive substrate, and an Sn alloy layer is formed on the Sn layer.

このような端子は、後述するような部品や製品が目的とする機能を十分に発揮できるように、たとえばはんだ付により電気的に導通するものや接触により電気的に導通するものが含まれる。またこのような端子は、高度な耐食性や外観性状の安定性が求められるような用途に好適に用いることができる。   Such terminals include, for example, those that are electrically conducted by soldering and those that are electrically conducted by contact so that the functions intended by the components and products described below can be sufficiently exhibited. Further, such a terminal can be suitably used for applications that require high corrosion resistance and stability in appearance.

このような端子の具体例としては、たとえばコネクタ端子、リレー端子、スライドスイッチ端子、バンプ、はんだ付端子、フラットケーブル端子等を挙げることができ、用途的にはたとえば抵抗の端子、コンデンサの端子、コイルの端子等を挙げることができる。   Specific examples of such terminals include connector terminals, relay terminals, slide switch terminals, bumps, solder terminals, flat cable terminals, and the like. For example, resistance terminals, capacitor terminals, Examples include a coil terminal.

さらにこのような端子には、回路基板の回路(配線部)、ビア等も含まれるとともに、フラットケーブル、電線、太陽電池のリード部等も含まれる。   Further, such terminals include circuits (wiring portions) of circuit boards, vias, and the like, as well as flat cables, electric wires, lead portions of solar cells, and the like.

<導電性基体>
本発明の端子を構成する導電性基体は、電気、電子製品や半導体製品あるいは自動車等の用途に用いられる従来公知の導電性基体であればいずれのものであっても用いることができる。
<Conductive substrate>
As the conductive substrate constituting the terminal of the present invention, any conventionally known conductive substrate used for applications such as electric, electronic products, semiconductor products, and automobiles can be used.

このような導電性基体としては、金属または絶縁性基体上の表面に金属が積層されたものを好適に用いることができる。たとえば、銅(Cu)、リン青銅、黄銅、ベリリウム銅、チタン銅、洋白(Cu、Ni、Zn)等の銅合金系素材、鉄(Fe)、Fe−Ni合金、ステンレス鋼等の鉄合金系素材、その他ニッケル系素材等の金属、ならびにポリマーフィルやセラミック等の絶縁性基体の少なくとも表面にこのような金属が積層されたもの等を挙げることができる。したがって、たとえば各種基板上の銅パターン等も含まれる。   As such a conductive substrate, a metal or a substrate on which a metal is laminated on an insulating substrate can be suitably used. For example, copper alloy materials such as copper (Cu), phosphor bronze, brass, beryllium copper, titanium copper, white (Cu, Ni, Zn), iron alloys such as iron (Fe), Fe-Ni alloy, stainless steel Examples thereof include metals such as nickel-based materials and other nickel-based materials, and those obtained by laminating such metals on at least the surface of an insulating substrate such as a polymer fill or ceramic. Therefore, for example, copper patterns on various substrates are included.

このように、本発明の導電性基体としては、各種の金属、またはポリマーフィルムやセラミック等からなる絶縁性基体上に金属層(すなわち各種の回路パターン)が形成されているもの等を好適な例として挙げることができる。   As described above, suitable examples of the conductive substrate of the present invention include those in which a metal layer (that is, various circuit patterns) is formed on an insulating substrate made of various metals, polymer films, ceramics, or the like. Can be mentioned.

なお、このような導電性基体の形状は、たとえばテープ状のものなど平面的なものに限らず、プレス成型品のような立体的なものも含まれ、その他いずれのような形状のものであっても差し支えない。   The shape of such a conductive substrate is not limited to a flat shape such as a tape shape, but also includes a three-dimensional shape such as a press-molded product, and any other shape. There is no problem.

<表面被覆層>
本発明の端子の表面被覆層とは、本発明において便宜的に使用される用語であり、端子表面を被覆する層であって、上記導電性基体上の全面または部分に形成されるSn層と、そのSn層上に形成されるSn合金層との両者を含めた総称的な呼称である。
<Surface coating layer>
The surface coating layer of the terminal of the present invention is a term used for convenience in the present invention, and is a layer that covers the surface of the terminal, and is an Sn layer formed on the entire surface or part of the conductive substrate. These are generic names including both the Sn alloy layer formed on the Sn layer.

<Sn層>
本発明のSn層は、上記導電性基体上の全面または部分に形成されるものであって、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmのSnからなる層である。このようなSn層は、不可避不純物を除きSn単独で構成される。
<Sn layer>
The Sn layer of the present invention is formed on the entire surface or part of the conductive substrate, and is a layer made of Sn having a thickness of 0.1 to 20 μm formed by electroplating. Such an Sn layer is composed of Sn alone except for inevitable impurities.

Sn層の厚みは、端子の目的および用途に応じて、上記範囲内の任意の厚みを選択することが可能であるが、より好ましくはその上限を12μm、さらに好ましくは8μm、その下限を0.5μm、さらに好ましくは1.5μmとすることが好適である。   As for the thickness of the Sn layer, an arbitrary thickness within the above range can be selected according to the purpose and use of the terminal, but the upper limit is more preferably 12 μm, still more preferably 8 μm, and the lower limit is set to 0. It is preferable that the thickness is 5 μm, more preferably 1.5 μm.

また、このようなSn層は、上記の通り電気めっきにより形成されるものである。これは、電気めっきではなく溶融はんだやリフローにより形成すると、その厚み自体を制御することが困難であり、薄くかつ均一な厚みのSn層を形成させることができないからである。このように厚みを制御することができないと、電気的短絡やピンホールの原因となってしまう。   Moreover, such a Sn layer is formed by electroplating as described above. This is because, when it is formed not by electroplating but by molten solder or reflow, it is difficult to control the thickness itself, and a thin and uniform Sn layer cannot be formed. If the thickness cannot be controlled in this way, an electrical short circuit or a pinhole is caused.

また、このようなSn層は、上記のような電気めっきにより無光沢めっきとすることが好ましい。無光沢めっきとするためには、光沢付与の目的で添加される所謂2次系添加剤を含有せず、所謂1次系添加剤のみを配合しためっき浴を用いることにより行なうことができる。   Further, such an Sn layer is preferably matte plating by electroplating as described above. The matte plating can be performed by using a plating bath that does not contain a so-called secondary additive added for the purpose of imparting luster and contains only a so-called primary additive.

このような1次系添加剤としては、従来公知のものであればいずれのものであっても用いることができ、たとえばSBS−M(ユケン工業製)や513Y(石原薬品製)という商品名で市販されているものを例示することができる。   As such a primary additive, any conventionally known additive can be used. For example, SBS-M (manufactured by Yuken Industry) or 513Y (manufactured by Ishihara Pharmaceutical) What is marketed can be illustrated.

<Sn合金層>
本発明のSn合金層は、上記Sn層の上に形成されるものであって、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmの、Sn−Ag二元合金、Sn−Ag−Cu三元合金、またはSn−Ag−Cu−Bi四元合金のいずれかからなる層である。これらのSn合金は、不可避不純物の含有を除きそれぞれの合金構成元素のみにより後述のような含有比率(合金比率)で構成される。
<Sn alloy layer>
The Sn alloy layer of the present invention is formed on the Sn layer, and is formed by electroplating and has a thickness of 0.1 to 20 μm, Sn—Ag binary alloy, Sn—Ag—Cu ternary. It is a layer made of either an alloy or a Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy. These Sn alloys are constituted by the content ratios (alloy ratios) described later only with the respective alloy constituent elements except for the inclusion of inevitable impurities.

なお、これらの合金はその含有比率にもよるが、Sn−Ag二元合金よりもSn−Ag−Cu三元合金の方が低い融点を示す傾向にあり、さらにSn−Ag−Cu三元合金よりもSn−Ag−Cu−Bi四元合金の方がより低い融点を示す傾向にあるため、所望される用途やはんだ付される温度に応じてこれら3種の合金の中から任意のものを選択して用いることができる。すなわち、Sn合金層としてこれら3種の合金を選択しているのは、その融点の選択を豊富化させるためである。   Although these alloys depend on the content ratio, Sn-Ag-Cu ternary alloys tend to exhibit a lower melting point than Sn-Ag binary alloys, and Sn-Ag-Cu ternary alloys. Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloys tend to exhibit a lower melting point than any of these three types of alloys, depending on the desired application and soldering temperature. It can be selected and used. That is, the reason why these three types of alloys are selected as the Sn alloy layer is to enrich the selection of their melting points.

また、このようなSn合金層の厚みは、端子の目的および用途に応じて、上記範囲内の任意の厚みを選択することが可能であるが、より好ましくはその上限を5μm、さらに好ましくは1.5μm、その下限を0.3μm、さらに好ましくは0.5μmとすることが好適である。その厚みが0.1μm未満の場合、Sn層に発生するウィスカが表面に突出するのを防止することができなくなる可能性があり、またその厚みが20μmを超えてもウィスカの突出防止効果に大差なく却って経済的に不利となる。   The thickness of the Sn alloy layer can be selected from any thickness within the above range depending on the purpose and application of the terminal, but the upper limit is more preferably 5 μm, and even more preferably 1 It is preferable that the lower limit is 0.5 μm, and the lower limit is 0.3 μm, more preferably 0.5 μm. If the thickness is less than 0.1 μm, it may not be possible to prevent whisker generated in the Sn layer from protruding to the surface, and even if the thickness exceeds 20 μm, the whisker's protrusion prevention effect is very different. On the contrary, it becomes economically disadvantageous.

ここで、上記Sn−Ag二元合金は、Agが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成される。より好ましくは、Agの含有比率の上限が10質量%、さらに好ましくは5質量%、その下限が1質量%、さらに好ましくは2.5質量%である。Agの含有比率が0.1質量%未満の場合には、ウィスカの発生が助長され、20質量%を超えると融点が高くなり良好なはんだ付性が示されなくなる。   Here, the said Sn-Ag binary alloy is comprised by the content ratio from which Ag will be 0.1-20 mass%, and the remainder will be Sn. More preferably, the upper limit of the content ratio of Ag is 10% by mass, more preferably 5% by mass, and the lower limit is 1% by mass, more preferably 2.5% by mass. When the Ag content is less than 0.1% by mass, whisker generation is promoted, and when it exceeds 20% by mass, the melting point becomes high and good solderability is not exhibited.

また、上記Sn−Ag−Cu三元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成される。より好ましくは、Agの含有比率の上限が10質量%、さらに好ましくは5質量%、その下限が1質量%、さらに好ましくは2.5質量%である。Agの含有比率が0.1質量%未満の場合には、ウィスカの発生が助長され、20質量%を超えると融点が高くなり良好なはんだ付性が示されなくなる。一方、上記Cuの含有比率は、より好ましくはその上限が8質量%、さらに好ましくは3質量%、その下限が0.2質量%、さらに好ましくは0.3質量%である。Cuの含有比率が0.1質量%未満の場合には、ウィスカの発生が助長され、20質量%を超えると融点が高くなり良好なはんだ付性が示されなくなる。   The Sn-Ag-Cu ternary alloy is composed of a content ratio in which Ag is 0.1 to 20% by mass, Cu is 0.1 to 20% by mass, and the balance is Sn. More preferably, the upper limit of the content ratio of Ag is 10% by mass, more preferably 5% by mass, and the lower limit is 1% by mass, more preferably 2.5% by mass. When the Ag content is less than 0.1% by mass, whisker generation is promoted, and when it exceeds 20% by mass, the melting point becomes high and good solderability is not exhibited. On the other hand, the Cu content ratio is more preferably 8% by mass, more preferably 3% by mass, and 0.2% by mass, and still more preferably 0.3% by mass. When the Cu content is less than 0.1% by mass, whisker generation is promoted, and when it exceeds 20% by mass, the melting point becomes high and good solderability is not exhibited.

また、上記Sn−Ag−Cu−Bi四元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、Biが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成される。より好ましくは、Agの含有比率の上限が10質量%、さらに好ましくは5質量%、その下限が1質量%、さらに好ましくは2.5質量%である。Agの含有比率が0.1質量%未満の場合には、ウィスカの発生が助長され、20質量%を超えると融点が高くなり良好なはんだ付性が示されなくなる。一方、上記Cuの含有比率は、より好ましくはその上限が8質量%、さらに好ましくは3質量%、その下限が0.2質量%、さらに好ましくは0.3質量%である。Cuの含有比率が0.1質量%未満の場合には、ウィスカの発生が助長され、20質量%を超えると融点が高くなり良好なはんだ付性が示されなくなる。さらに、Biの含有比率は、より好ましくはその上限が15質量%、さらに好ましくは10質量%、その下限が0.5質量%、さらに好ましくは1質量%である。Biの含有比率が0.1質量%未満の場合には、ウィスカの発生が助長され、20質量%を超えると脆性が増し十分な強度が得られなくなる。   In the Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloy, Ag is 0.1 to 20% by mass, Cu is 0.1 to 20% by mass, Bi is 0.1 to 20% by mass, and the remainder is Sn. Consists of content ratio. More preferably, the upper limit of the content ratio of Ag is 10% by mass, more preferably 5% by mass, and the lower limit is 1% by mass, more preferably 2.5% by mass. When the Ag content is less than 0.1% by mass, whisker generation is promoted, and when it exceeds 20% by mass, the melting point becomes high and good solderability is not exhibited. On the other hand, the Cu content ratio is more preferably 8% by mass, more preferably 3% by mass, and 0.2% by mass, and still more preferably 0.3% by mass. When the Cu content is less than 0.1% by mass, whisker generation is promoted, and when it exceeds 20% by mass, the melting point becomes high and good solderability is not exhibited. Furthermore, the upper limit of the Bi content ratio is more preferably 15% by mass, further preferably 10% by mass, and the lower limit thereof is 0.5% by mass, and more preferably 1% by mass. When the Bi content is less than 0.1% by mass, whisker generation is promoted, and when it exceeds 20% by mass, brittleness increases and sufficient strength cannot be obtained.

このようなSn合金は、上記のような合金比率を有することにより、その融点が140〜240℃となるものが好ましく、より好ましくはその上限が230℃、さらに好ましくは215℃、その下限が150℃、さらに好ましくは180℃である。このような範囲の融点を示すことにより、良好な低温はんだ付性が示される。   Such an Sn alloy preferably has an alloy ratio as described above, so that its melting point is 140 to 240 ° C, more preferably its upper limit is 230 ° C, more preferably 215 ° C, and its lower limit is 150. ° C, more preferably 180 ° C. By showing the melting point in such a range, good low-temperature solderability is shown.

なお、本願のSn合金の融点は、合金単独の状態において上記のような低融点を示すものであるが、電気めっきにより上記Sn層上に形成させる場合には、合金単独の状態での融点よりもさらに低い融点を示す傾向にある。これは、該Sn合金が電気めっきで形成されると、後述のように微小な結晶粒子の集合体として存在するためであると考えられる。   In addition, although the melting point of the Sn alloy of the present application shows the low melting point as described above in the state of the alloy alone, in the case of forming on the Sn layer by electroplating, the melting point in the state of the alloy alone Tends to exhibit a lower melting point. This is considered to be because when the Sn alloy is formed by electroplating, it exists as an aggregate of fine crystal particles as described later.

このように上記Sn層上にSn合金層を形成すると、表面が良好なはんだ付性(すなわち低融点)を示すとともにSn層によるウィスカの発生を防止することができる。特に、図1と図2とを比較すれば明らかな通り、Sn層(厚み約1.5μm)上にSn合金層(厚み約1.5μm)としてSn−Ag−Cu三元合金を形成した端子の、FIB装置を用いた断面の顕微鏡写真である図1においては、Snの巨大な柱状結晶上にSn合金からなる微小な結晶が多数存在することによりウィスカの発生を防止しているのに対して、Sn層のみのを形成させた端子の断面の顕微鏡写真である図2においては、巨大な柱状結晶が存在しており、これがウィスカの発生の原因となることを示している。   When the Sn alloy layer is formed on the Sn layer in this manner, the surface exhibits good solderability (that is, low melting point) and whisker generation by the Sn layer can be prevented. In particular, as is apparent from a comparison between FIG. 1 and FIG. 2, a terminal in which a Sn—Ag—Cu ternary alloy is formed as an Sn alloy layer (thickness about 1.5 μm) on a Sn layer (thickness about 1.5 μm). In FIG. 1, which is a micrograph of a cross section using an FIB apparatus, whisker generation is prevented by the presence of a large number of small crystals made of an Sn alloy on a huge columnar crystal of Sn. In FIG. 2, which is a micrograph of the cross section of the terminal on which only the Sn layer is formed, there is a huge columnar crystal, which indicates that this causes the generation of whiskers.

さらにこのようなSn合金層は、電気めっきにより形成されるものであるため、厚みを薄くかつ均一なものとすることができるとともに、その硬度を自由に制御することができる。また、電気めっき以外の方法でSn合金層を形成すると、図1に示したような微小な結晶粒子状の形成を呈することができなくなる。   Furthermore, since such an Sn alloy layer is formed by electroplating, the thickness can be made thin and uniform, and the hardness thereof can be freely controlled. In addition, when the Sn alloy layer is formed by a method other than electroplating, it is impossible to exhibit the formation of fine crystal particles as shown in FIG.

そして、本発明のように微小な結晶粒子によりSn合金層が形成されると、結晶粒子間の空隙に存在する各種添加剤が結晶粒子に対する不純物として作用し、はんだ付時においてより低温で溶融することによって、はんだ付性がさらに向上することになる。   When the Sn alloy layer is formed of fine crystal particles as in the present invention, various additives present in the voids between the crystal particles act as impurities for the crystal particles and melt at a lower temperature during soldering. As a result, the solderability is further improved.

これに対して、電気めっきではなく、溶融はんだやリフローによりSn合金層を形成すると、内部構造が微小な結晶粒子状ではなく塊状に形成されてしまい、以って良好なはんだ付性を期待することはできなくなってしまう。そればかりではなく、Sn合金層の厚み自体を制御することが困難であり、薄くかつ均一な厚みの表面被覆層を形成させることができず、以って電気的短絡やピンホールの原因となってしまう。また、導電性基体が複雑な形状を呈する場合、該導電性基体の表面全域に亘ってSn合金層を均一に形成することができなくなり、導電性基体全体を取り込んだ塊状となる場合さえある。   On the other hand, when the Sn alloy layer is formed not by electroplating but by molten solder or reflow, the internal structure is formed not in the form of fine crystal particles but in the form of a lump, so that good solderability is expected. I can't do that. In addition, it is difficult to control the thickness of the Sn alloy layer itself, and it is impossible to form a thin and uniform surface coating layer, which causes electrical shorts and pinholes. End up. In addition, when the conductive substrate has a complicated shape, the Sn alloy layer cannot be uniformly formed over the entire surface of the conductive substrate, and may even be a lump that incorporates the entire conductive substrate.

本発明のようにSn合金層を電気めっきにより形成することによって、如上の欠点を悉く解消することができる。   By forming the Sn alloy layer by electroplating as in the present invention, the above drawbacks can be overcome.

なお、このようなSn合金層は、上記のような電気めっきにより無光沢めっきまたは半光沢めっきとすることが好ましい。無光沢めっきとするためには、前記同様、光沢付与の目的で添加される所謂2次系添加剤を含有せず、所謂1次系添加剤のみを配合しためっき浴を用いることにより行なうことができる。一方半光沢めっきとするためには、1次系添加剤に加えて少量の2次系添加剤を配合しためっき浴を用いることにより行なうことができる。   In addition, it is preferable that such an Sn alloy layer is matte plating or semi-gloss plating by electroplating as described above. In order to achieve matte plating, as described above, it is possible to use a plating bath that does not contain so-called secondary additives added for the purpose of imparting gloss, but contains only so-called primary additives. it can. On the other hand, semi-gloss plating can be performed by using a plating bath containing a small amount of a secondary additive in addition to the primary additive.

このような1次系添加剤としては、上記と同様のものを用いることができ、また2次系添加剤としても、従来公知のものであればいずれのものであっても用いることができ、たとえばLSA(ユケン工業製)やティンブライトNo.2(石原薬品製)という商品名で市販されているものを例示することができる。   As such a primary additive, the same ones as described above can be used, and as the secondary additive, any conventionally known additive can be used, For example, LSA (manufactured by Yuken Industry) 2 (made by Ishihara Pharmaceutical Co., Ltd.) can be exemplified.

<下地層>
本発明の下地層は、上記導電性基体と上記Sn層との間に所望により形成されるものであって、次のような作用を奏するものである。
<Underlayer>
The underlayer of the present invention is formed as desired between the conductive substrate and the Sn layer, and has the following effects.

すなわち、このような下地層は原則として導電性基体とSn層との間の密着性を向上させる作用を奏するものであるが、たとえば導電性基体が鉄により構成されている場合には錆の発生を防止したり、また該導電性基体が黄銅で構成されている場合には黄銅に含まれる亜鉛がSn層に拡散するのを防止する作用をも奏するものとすることができる。   That is, such a base layer has the effect of improving the adhesion between the conductive substrate and the Sn layer in principle. For example, when the conductive substrate is made of iron, rust is generated. In addition, when the conductive substrate is made of brass, it can also have an effect of preventing zinc contained in the brass from diffusing into the Sn layer.

したがって、このような下地層の形成は、導電性基体の種類に応じて選択することができ(この点、導電性基体の種類によっては下地層を形成する必要のない場合もある)、その厚みも導電性基体の種類に応じて任意に選択することができる。   Therefore, the formation of such an underlayer can be selected according to the type of the conductive substrate (this point may not require the formation of the underlayer depending on the type of the conductive substrate), and its thickness Can be arbitrarily selected according to the type of the conductive substrate.

このような下地層を構成する素材としては、導電性基体の種類に応じて任意に選択することができるものであるが、たとえばNiまたはCuにより形成することができる。   The material constituting such an underlayer can be arbitrarily selected according to the type of the conductive substrate, but can be formed of, for example, Ni or Cu.

下地層をNiで形成する場合、好ましくは電気めっきにより形成することができ、ワット浴やスルファミン酸浴を使用することができる。一方、下地層をCuで形成する場合、好ましくは電気めっきにより形成することができ、シアン化銅浴や硫酸銅浴を使用することができる。   When the underlayer is formed of Ni, it can be preferably formed by electroplating, and a Watt bath or a sulfamic acid bath can be used. On the other hand, when the underlayer is formed of Cu, it can be preferably formed by electroplating, and a copper cyanide bath or a copper sulfate bath can be used.

また、このような下地層の厚みは、好ましくは0.01〜20μmとすることができ、さらに好ましくは0.5〜5μmとすることができる。その厚みが0.01μm未満の場合は、上記のような作用を十分に奏することができなくなり、20μmを超えて形成させても上記作用に大差なく、却って経済的に不利となる。   Moreover, the thickness of such an underlayer can be preferably 0.01 to 20 μm, and more preferably 0.5 to 5 μm. When the thickness is less than 0.01 μm, the above-described effect cannot be sufficiently achieved, and even if the thickness exceeds 20 μm, there is not much difference in the above-described effect, which is economically disadvantageous.

<電気めっき装置>
本発明の上記Sn層、Sn合金層および下地層は、上述の通り、通常電気めっき法により形成されるが、特にその電気めっき装置としてはバレルめっき装置、引掛けめっき装置または連続めっき装置のいずれかを用いることにより実行することが好ましい。これらの装置を用いることにより上記端子を極めて効率良く製造することができる。
<Electroplating equipment>
As described above, the Sn layer, the Sn alloy layer and the underlayer of the present invention are usually formed by electroplating. Particularly, as the electroplating apparatus, any of a barrel plating apparatus, a hook plating apparatus or a continuous plating apparatus is used. It is preferable to execute by using these. By using these devices, the terminals can be manufactured very efficiently.

ここで、バレルめっき装置とは、端子を一個づつ個別にめっきする装置であり、連続めっき装置とは、一度に複数個の端子を連続的にメッキする装置であり、また引掛けめっき装置とは、前二者の中間に位置するものであり中規模の製造効率を持った装置である。これらの装置は、めっき業界において良く知られた装置であり、構造自体も公知のものである限るいずれのものも使用することができる。   Here, the barrel plating apparatus is an apparatus for individually plating the terminals one by one, and the continuous plating apparatus is an apparatus for continuously plating a plurality of terminals at a time, and the hook plating apparatus is It is an intermediate device between the former two and has medium-scale production efficiency. These apparatuses are well known in the plating industry, and any apparatus having a known structure can be used.

<部品>
本発明の部品は、上記端子を有するものである。たとえば、コネクタ、リレー、スライドスイッチ、フラットケーブル、抵抗、コンデンサ、コイル、基板等として用いられる電気部品、電子部品、半導体部品、太陽電池部品、自動車部品等を挙げることができるが、これらのみに限られるものではなく、またその形状の別を問うものでもない。
<Parts>
The component of this invention has the said terminal. Examples include connectors, relays, slide switches, flat cables, resistors, capacitors, coils, electrical parts used as substrates, electronic parts, semiconductor parts, solar battery parts, automobile parts, etc. It is not something that can be done, nor is it a question of its shape.

<製品>
本発明の製品は、上記端子を有するものである。たとえば、半導体製品、電気製品、電子製品、太陽電池、自動車等を挙げることができるが、これらのみに限られるものではない。
<Product>
The product of this invention has the said terminal. For example, a semiconductor product, an electrical product, an electronic product, a solar cell, an automobile, and the like can be given, but the invention is not limited to these.

<端子の製造方法>
本発明の端子の製造方法は、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなる端子の製造方法であって、該導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることによって該導電性基体上の全面または部分にSn層を形成するステップと、該Sn層を形成した導電性基体をめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって該Sn層上にSn合金層を形成するステップと、を含むことを特徴としている。
<Manufacturing method of terminal>
The method for manufacturing a terminal of the present invention is a method for manufacturing a terminal in which an Sn layer is formed on the entire surface or part of a conductive substrate, and an Sn alloy layer is formed on the Sn layer. A step of forming a Sn layer on the whole or part of the conductive substrate by immersing in a plating bath and electroplating with Sn as an anode; and immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed in a plating bath; And forming a Sn alloy layer on the Sn layer by electroplating by using a metal other than the Sn alloy as an anode and supplying each element constituting the Sn alloy as a salt. Yes.

ただし、上記製造方法はこれのみに限られるものではなく、たとえばSn合金層を形成するステップにおいて陽極としてSnを用いるとともにSn以外の合金構成元素を塩として供給したり、またあるいは陽極としてSn合金を用いたりする方法を採用することもできる。   However, the manufacturing method is not limited to this. For example, in the step of forming the Sn alloy layer, Sn is used as an anode and an alloy constituent element other than Sn is supplied as a salt, or an Sn alloy is used as an anode. The method of using can also be employ | adopted.

また、本発明の端子の製造方法は、上記の各ステップ以外にも、前処理工程や下地層形成工程等を含むことができる。以下、より具体的に説明する。   Moreover, the manufacturing method of the terminal of this invention can include a pre-processing process, a base layer formation process, etc. besides said each step. More specific description will be given below.

<前処理工程>
まず、本発明の端子の製造方法においては、上記導電性基体上の全面または部分に、Sn層およびSn合金層からなる表面被覆層を形成するステップに先立ち、該導電性基体を前処理する前処理工程を含むことができる。
<Pretreatment process>
First, in the method for manufacturing a terminal according to the present invention, prior to the step of forming a surface coating layer made of an Sn layer and an Sn alloy layer on the entire surface or part of the conductive substrate, before the pretreatment of the conductive substrate. Processing steps can be included.

この前処理工程は、上記表面被覆層が密着性高くしかもピンホールの発生なく安定に形成されることを目的として行なわれるものである。すなわち、導電性基体の表面に付着している汚れや酸化物を除去することを主目的としている。導電性基体が、リン青銅等の金属を圧延したようなものである場合に、この前処理工程は特に有効となる。   This pretreatment step is performed for the purpose of forming the surface coating layer stably with high adhesion and without occurrence of pinholes. That is, the main purpose is to remove dirt and oxide adhering to the surface of the conductive substrate. This pretreatment step is particularly effective when the conductive substrate is a rolled metal such as phosphor bronze.

このような前処理工程は、上記導電性基体の表面被覆層が形成される部分に対して、少なくともpH5以下の酸を作用させること(酸処理)により行なうことができる。さらに本発明の前処理工程は、水溶液に上記導電性基体を浸漬する第1の洗浄処理と、水溶液中で上記導電性基体を電解する第2の洗浄処理と、pH5以下の酸を上記導電性基体に作用させる酸処理と、を含むことが好ましい。なお、これらの各処理間には、3〜4回の水洗処理を含むことが好ましい。   Such a pretreatment step can be performed by causing an acid having a pH of 5 or less to act on the portion of the conductive substrate on which the surface coating layer is formed (acid treatment). Furthermore, the pretreatment process of the present invention includes a first cleaning process in which the conductive substrate is immersed in an aqueous solution, a second cleaning process in which the conductive substrate is electrolyzed in the aqueous solution, and an acid having a pH of 5 or less. And acid treatment to act on the substrate. In addition, it is preferable to include the water washing process 3-4 times between each of these processes.

より具体的には、まず水溶液を充填した槽に上記導電性基体を浸漬させることにより第1の洗浄処理を行ない、数回水洗を繰り返す。   More specifically, the first cleaning process is performed by first immersing the conductive substrate in a tank filled with an aqueous solution, and the water washing is repeated several times.

ここで、第1の洗浄処理における水溶液のpHは、0.01以上とすることが好ましく、より好ましくは、pHが9以上のアルカリ性で処理することが好適である。さらにそのpHの範囲を特定すると、その上限を13.8、さらに好ましくは13.5、一方そのpHの下限は9.5、さらに好ましくは10である。pHが0.01未満になったり、pHが13.8を超えると、導電性基体表面が過度に粗化または劣化されるため好ましくない。   Here, the pH of the aqueous solution in the first cleaning treatment is preferably 0.01 or more, and more preferably, the treatment is performed with an alkali having a pH of 9 or more. Further specifying the pH range, the upper limit is 13.8, more preferably 13.5, while the lower limit of the pH is 9.5, more preferably 10. If the pH is less than 0.01 or the pH exceeds 13.8, the surface of the conductive substrate is excessively roughened or deteriorated.

なお、上記pHの範囲となる限り、使用するアルカリは特に限定されず、たとえば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、キレート剤、界面活性剤等広範囲のものが使用できる。また、第1の洗浄処理における水溶液の温度は、20〜90℃、好ましくは40〜60℃である。   In addition, as long as it becomes the said pH range, the alkali to be used is not specifically limited, For example, a wide range, such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, a chelating agent, and surfactant, can be used. Moreover, the temperature of the aqueous solution in a 1st washing process is 20-90 degreeC, Preferably it is 40-60 degreeC.

続いて、上記導電性基体を電極として水溶液中で電解する第2の洗浄処理を行ない、再度数回の水洗を繰り返す。これにより、上記導電性基体表面においてガス(水素または酸素)が発生し、このガスによる酸化還元作用とガスの気泡による物理的作用により導電性基体表面の汚染がさらに効率良く除去されることになる。   Subsequently, a second cleaning process is performed in which electrolysis is performed in an aqueous solution using the conductive substrate as an electrode, and washing with water is repeated several times. As a result, a gas (hydrogen or oxygen) is generated on the surface of the conductive substrate, and the contamination of the surface of the conductive substrate is further efficiently removed by the redox action of the gas and the physical action of the gas bubbles. .

ここで、第2の洗浄処理における水溶液のpHは、0.01以上とすることが好ましく、より好ましくは、pHが8以上のアルカリ性で処理することが好適である。さらにそのpHの範囲を特定すると、その上限を13.8、さらに好ましくは13.5、一方そのpHの下限は8.5、さらに好ましくは9である。pHが0.01未満になったり、pHが13.8を超えると、導電性基体表面が過度に粗化または劣化されるため好ましくない。   Here, the pH of the aqueous solution in the second cleaning treatment is preferably 0.01 or more, and more preferably, the treatment is performed with an alkali having a pH of 8 or more. Further specifying the pH range, the upper limit is 13.8, more preferably 13.5, while the lower limit of the pH is 8.5, more preferably 9. If the pH is less than 0.01 or the pH exceeds 13.8, the surface of the conductive substrate is excessively roughened or deteriorated.

なお、上記pHの範囲となる限り、使用するアルカリは特に限定されず、たとえば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、キレート剤、界面活性剤等広範囲のものが使用できる。   In addition, as long as it becomes the said pH range, the alkali to be used is not specifically limited, For example, a wide range, such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, a chelating agent, and surfactant, can be used.

また、上記電解の条件としては、液温20〜80℃、好ましくは30〜60℃、電流密度0.1〜20A/dm、好ましくは1〜10A/dm、電解時間0.1〜5分間、好ましくは0.5〜2分間とすることができる。また、導電性基体は、陽極としても陰極としてもどちらでもよく、処理中に陽極と陰極とを順次切り替える所謂PR法や高速反転法を採用することもできる。特に導電性基体を陰極とすると、導電性基体表面の酸化物を還元により除去することができるため好適である。 The electrolysis conditions are as follows: liquid temperature 20 to 80 ° C., preferably 30 to 60 ° C., current density 0.1 to 20 A / dm 2 , preferably 1 to 10 A / dm 2 , electrolysis time 0.1 to 5 Minutes, preferably 0.5 to 2 minutes. In addition, the conductive substrate may be either an anode or a cathode, and a so-called PR method or a high-speed inversion method that sequentially switches between the anode and the cathode during the processing can be employed. In particular, it is preferable to use a conductive substrate as a cathode because the oxide on the surface of the conductive substrate can be removed by reduction.

その後、硫酸、塩酸、過硫酸アンモニウム、過酸化水素等の酸を含有した槽に該導電性基体を浸漬させ、該導電性基体の表面に対して酸を作用させることにより酸処理(活性化処理)を行なうことができる。   Thereafter, the conductive substrate is immersed in a bath containing an acid such as sulfuric acid, hydrochloric acid, ammonium persulfate, hydrogen peroxide, etc., and acid treatment (activation treatment) is performed by causing the acid to act on the surface of the conductive substrate. Can be performed.

ここで、酸のpHは、7未満とすることが好ましく、より好ましくは、そのpHの上限を3、さらに好ましくは2、一方そのpHの下限は0.001、さらに好ましくは0.1である。pHが7を超えると、十分な活性化処理を行なうことができず、またpHが0.001未満になると、導電性基体表面が過度に粗化または劣化されるため好ましくない。   Here, the pH of the acid is preferably less than 7, more preferably the upper limit of pH is 3, more preferably 2, while the lower limit of pH is 0.001, more preferably 0.1. . If the pH exceeds 7, sufficient activation treatment cannot be performed, and if the pH is less than 0.001, the surface of the conductive substrate is excessively roughened or deteriorated.

また、前記酸を含有した槽に該導電性基体を浸漬させる浸漬時間は、0.1〜10分間とすることが好ましく、より好ましくは、その上限を5分間、さらに好ましくは3分間、一方その下限は0.5分間、さらに好ましくは1分間である。浸漬時間が0.1分間未満となる場合は、十分な活性化処理を行なうことができず、また10分間を超えると、導体表面が過度に粗化または劣化されるため好ましくない。また、上記浸漬槽の液温は、10〜90℃、好ましくは20〜50℃である。   In addition, the immersion time for immersing the conductive substrate in the acid-containing tank is preferably 0.1 to 10 minutes, more preferably the upper limit is 5 minutes, more preferably 3 minutes, The lower limit is 0.5 minutes, more preferably 1 minute. When the immersion time is less than 0.1 minutes, sufficient activation treatment cannot be performed, and when the immersion time exceeds 10 minutes, the conductor surface is excessively roughened or deteriorated. Moreover, the liquid temperature of the said immersion tank is 10-90 degreeC, Preferably it is 20-50 degreeC.

なお、該導電性基体がポリマーフィルム上に銅または銅合金からなる銅層を回路状に形成させたものである場合は、上記のような第1および第2の洗浄処理を行なうことなく、酸による処理(酸処理)のみを行なうようにすることもできる。アルカリによる洗浄処理によりポリマーフィルムが劣化するのを防止するためである。なお、この場合にも酸による処理(酸処理)は上記と同様の条件を採用することができる。   In the case where the conductive substrate is a polymer film in which a copper layer made of copper or a copper alloy is formed in a circuit shape, the acid cleaning can be performed without performing the first and second cleaning treatments as described above. It is also possible to perform only the treatment by acid (acid treatment). This is to prevent the polymer film from being deteriorated by the washing treatment with alkali. In this case as well, the same conditions as described above can be adopted for the treatment with acid (acid treatment).

このように、導電性基体の表面に対して前処理を行なうことにより、上記表面被覆層をピンホールの発生なく均一かつ強力な密着力をもって導電性基体上に形成させることが可能となる。   Thus, by performing a pretreatment on the surface of the conductive substrate, the surface coating layer can be formed on the conductive substrate with uniform and strong adhesion without the occurrence of pinholes.

<下地層形成工程>
本発明の端子の製造方法においては、上記の前処理工程に続いて下地層形成工程を実施することができる。このような下地層形成工程は、導電性基体がたとえばSUSや鉄である場合のように表面被覆層と密着しにくい素材の場合や、導電性基体が黄銅で構成され該黄銅に含まれているZnが表面被覆層に拡散しはんだ付性を阻害するような場合に有効となる。
<Underlayer formation process>
In the method for manufacturing a terminal of the present invention, the underlayer forming step can be performed following the pretreatment step. Such a base layer forming step is performed when the conductive substrate is made of a material that is difficult to adhere to the surface coating layer, for example, when the conductive substrate is SUS or iron, or when the conductive substrate is made of brass and contained in the brass. This is effective when Zn diffuses into the surface coating layer and hinders solderability.

本発明においては、このように下地層が形成されている場合であっても、導電性基体上の全面または部分にSn層が形成されているという表現をとるものとし、この点該下地層が金属で構成されている限り該下地層は導電性基体自体と解することもできる。   In the present invention, even when the underlayer is formed in this way, it is assumed that the Sn layer is formed on the entire surface or part of the conductive substrate. As long as it is made of metal, the underlayer can be understood as the conductive substrate itself.

このような下地層としては、たとえば導電性基体がSUSである場合、Niを0.01〜20μm、好ましくは0.5〜5μmの厚みで電気めっきすることにより形成することができる。また、導電性基体が黄銅である場合には、上記と同じ程度の厚みでNiまたはCuを電気めっきすることにより下地層を形成することができる。   Such an underlayer can be formed by electroplating Ni with a thickness of 0.01 to 20 μm, preferably 0.5 to 5 μm, for example, when the conductive substrate is SUS. When the conductive substrate is brass, the base layer can be formed by electroplating Ni or Cu with the same thickness as described above.

なお前述の通り、下地層をNiで形成する場合、ワット浴やスルファミン酸浴を使用することができる。一方、下地層をCuで形成する場合は、シアン化銅浴や硫酸銅浴を使用することができる。   As described above, when the base layer is formed of Ni, a Watt bath or a sulfamic acid bath can be used. On the other hand, when the underlayer is formed of Cu, a copper cyanide bath or a copper sulfate bath can be used.

<Sn層を形成するステップ>
導電性基体(上記のような前処理工程および/または下地層形成工程を実行したものは、これらの工程を実行した後の導電性基体)をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることによって上記導電性基体上の全面または部分にSn層を形成することができる。
<Step of forming Sn layer>
A conductive substrate (a conductive substrate after the above pretreatment step and / or underlayer forming step as described above is performed) is immersed in a plating bath and electroplated with Sn as an anode. Thus, the Sn layer can be formed on the entire surface or part of the conductive substrate.

ここで、上記電気めっきの条件として、まずめっき液の組成は、有機酸浴、フッ化浴、アルカリ浴等、従来公知の組成のものをいずれも使用することができる。たとえば有機酸浴の場合、金属Snとして1〜90g/l、好ましくは30〜60g/l、有機酸を50〜250g/l、好ましくは70〜130g/l、その他少量の添加剤(ただし2次系添加剤を含まず1次系添加剤のみにより構成)を1〜100cc/l、好ましくは30〜50cc/l含む組成のものを挙げることができる。   Here, as the conditions for the electroplating, the composition of the plating solution may be any conventionally known composition such as an organic acid bath, a fluorination bath, or an alkali bath. For example, in the case of an organic acid bath, the metal Sn is 1 to 90 g / l, preferably 30 to 60 g / l, the organic acid is 50 to 250 g / l, preferably 70 to 130 g / l, and other small amounts of additives (however, secondary) And a composition containing 1 to 100 cc / l, preferably 30 to 50 cc / l, which is composed of only the primary additive without containing the system additive.

また、めっき液の液温は10〜70℃、好ましくは15〜50℃とすることができ、電流密度は0.1〜40A/dm、好ましくは0.5〜30A/dmとすることができる。 The temperature of the plating solution can be 10 to 70 ° C., preferably 15 to 50 ° C., and the current density is 0.1 to 40 A / dm 2 , preferably 0.5 to 30 A / dm 2. Can do.

そして、上記導電性基体を陰極、Snを陽極とすることにより電気めっきを実行すると、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成することができる。なお、この場合、めっき液中において陽極から逐次Snが供給されることになるため、めっき液中のSn濃度はほとんど変化することはなく一定に保たれることになる。   When electroplating is performed using the conductive substrate as a cathode and Sn as an anode, an Sn layer can be formed on the entire surface or part of the conductive substrate. In this case, since Sn is successively supplied from the anode in the plating solution, the Sn concentration in the plating solution hardly changes and is kept constant.

<Sn合金層を形成するステップ>
上記Sn層を形成した導電性基体をめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって上記Sn層上にSn合金層を形成することができる。本発明の端子は、このステップを実行することにより完成されるものである。
<Step of forming Sn alloy layer>
The Sn layer is formed by immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed in a plating bath, and electroplating by using a metal other than Sn and Sn alloy as an anode and supplying each element constituting the Sn alloy as a salt. An Sn alloy layer can be formed thereon. The terminal of the present invention is completed by executing this step.

なお、前述の通り、本ステップはこのようなもののみに限られるものではなく、たとえば陽極としてSnを用いるとともにSn以外の合金構成元素を塩として供給したり、またあるいは陽極としてSn合金を用いたりする方法を採用することもできる。   As described above, this step is not limited to this. For example, Sn is used as an anode and an alloy constituent element other than Sn is supplied as a salt, or an Sn alloy is used as an anode. It is also possible to adopt a method to do this.

ここで、上記SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いる場合の電気めっきの条件として、まずめっき液の組成は、Sn−Ag二元合金、Sn−Ag−Cu三元合金およびSn−Ag−Cu−Bi四元合金のいずれの場合においても、Sn合金を構成する各元素の塩を含むものであり、有機酸浴、フッ化浴、アルカリ浴等をいずれも使用することができる。中でも、有機酸浴を用いることが特に好ましい。   Here, as a condition for electroplating when a metal other than Sn and Sn alloy is used as an anode, the composition of the plating solution is as follows: Sn—Ag binary alloy, Sn—Ag—Cu ternary alloy and Sn—Ag— In any case of the Cu—Bi quaternary alloy, it contains a salt of each element constituting the Sn alloy, and any of an organic acid bath, a fluoride bath, an alkali bath, and the like can be used. Among these, it is particularly preferable to use an organic acid bath.

このように有機酸浴を用いる場合、Sn合金を構成する各元素の塩は、該各元素と有機酸との塩となる。本発明で用いる塩という表現は、水溶液中で電離しイオンの状態となって存在しているような場合も含むものとする。   Thus, when using an organic acid bath, the salt of each element which comprises Sn alloy turns into a salt of this each element and organic acid. The expression salt used in the present invention includes the case where it is ionized in an aqueous solution and exists in the form of ions.

このようなめっき液の組成についてより具体的には、Sn−Ag二元合金のめっき液の組成としては、金属Snを10〜90g/l、好ましくは30〜60g/l、金属Agを0.1〜20g/l、好ましくは1〜5g/l、有機酸を20〜200g/l、好ましくは80〜130g/l、キレート剤1〜50g/l、好ましくは10〜30g/l、その他少量の添加剤(1次系添加剤に加え2次系添加剤を少量含んでいても良い)を1〜100cc/l、好ましくは30〜50cc/l含む組成のものを挙げることができる。   More specifically, regarding the composition of such a plating solution, the composition of the Sn—Ag binary alloy plating solution is 10 to 90 g / l of metal Sn, preferably 30 to 60 g / l, and 0. 1-20 g / l, preferably 1-5 g / l, organic acid 20-200 g / l, preferably 80-130 g / l, chelating agent 1-50 g / l, preferably 10-30 g / l, other small amounts A composition containing 1 to 100 cc / l, preferably 30 to 50 cc / l of additives (may contain a small amount of secondary additives in addition to the primary additives) can be mentioned.

また、Sn−Ag−Cu三元合金のめっき液の組成としては、金属Snを10〜90g/l、好ましくは30〜60g/l、金属Agを0.1〜20g/l、好ましくは1〜5g/l、金属Cuを0.1〜20g/l、好ましくは1〜5g/l、有機酸を20〜200g/l、好ましくは80〜130g/l、キレート剤1〜50g/l、好ましくは10〜30g/l、その他少量の添加剤(1次系添加剤に加え2次系添加剤を少量含んでいても良い)を1〜100cc/l、好ましくは30〜50cc/l含む組成のものを挙げることができる。   Moreover, as a composition of the plating solution of Sn-Ag-Cu ternary alloy, metal Sn is 10 to 90 g / l, preferably 30 to 60 g / l, metal Ag is 0.1 to 20 g / l, preferably 1 to 5 g / l, metal Cu 0.1-20 g / l, preferably 1-5 g / l, organic acid 20-200 g / l, preferably 80-130 g / l, chelating agent 1-50 g / l, preferably 10-30 g / l and other small amount of additive (may contain a small amount of secondary additive in addition to primary additive) 1-100 cc / l, preferably 30-50 cc / l Can be mentioned.

また、Sn−Ag−Cu−Bi四元合金のめっき液の組成としては、金属Snを10〜90g/l、好ましくは30〜60g/l、金属Agを0.1〜20g/l、好ましくは1〜5g/l、金属Cuを0.1〜20g/l、好ましくは1〜5g/l、金属Biを0.1〜20g/l、好ましくは1〜5g/l、有機酸を20〜200g/l、好ましくは80〜130g/l、キレート剤1〜50g/l、好ましくは10〜30g/l、その他少量の添加剤(1次系添加剤に加え2次系添加剤を少量含んでいても良い)を1〜100cc/l、好ましくは30〜50cc/l含む組成のものを挙げることができる。   Moreover, as a composition of the plating solution of Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloy, metal Sn is 10 to 90 g / l, preferably 30 to 60 g / l, metal Ag is 0.1 to 20 g / l, preferably 1-5 g / l, metal Cu 0.1-20 g / l, preferably 1-5 g / l, metal Bi 0.1-20 g / l, preferably 1-5 g / l, organic acid 20-200 g / L, preferably 80 to 130 g / l, chelating agent 1 to 50 g / l, preferably 10 to 30 g / l, and other small amounts of additives (in addition to primary additives, secondary additives are included in small amounts) May be included) in a composition containing 1 to 100 cc / l, preferably 30 to 50 cc / l.

また、上記各めっき液の液温は10〜60℃、好ましくは20〜40℃とすることができ、電流密度は0.1〜40A/dm、好ましくは0.5〜30A/dmとすることができる。 The temperature of each plating solution can be 10 to 60 ° C., preferably 20 to 40 ° C., and the current density is 0.1 to 40 A / dm 2 , preferably 0.5 to 30 A / dm 2 . can do.

また、上記のように各めっき液においては、キレート剤を含有することが好ましい。これは、該キレート剤を使用しなければ、Ag、CuおよびBi等のSn以外の金属がめっき液から分離析出してしまい、Sn合金層として所望の合金比率のものを電気めっきにより形成することが困難となるからである。   Further, as described above, each plating solution preferably contains a chelating agent. If this chelating agent is not used, metals other than Sn, such as Ag, Cu and Bi, separate from the plating solution, and a Sn alloy layer having a desired alloy ratio is formed by electroplating. This is because it becomes difficult.

また、このようなキレート剤としては、Sn−Ag−Cu三元合金のめっき液またはSn−Ag−Cu−Bi四元合金のめっき液においては、少なくとも2以上のものを用いることが好ましい。これは、Ag、Cu、Biのそれぞれの金属の分離析出を防止するのに好適なキレート剤の種類が互いに異なるからである。   In addition, as such a chelating agent, it is preferable to use at least two or more Sn—Ag—Cu ternary alloy plating solution or Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy plating solution. This is because the types of chelating agents suitable for preventing the separation and precipitation of Ag, Cu, and Bi metals are different from each other.

すなわち、たとえば無機系キレート剤はAgおよびBiの分離析出を防止する好適なキレート剤となり、一方有機系キレート剤はCuの分離析出を防止する好適なキレート剤となる。しかし、有機系キレート剤であってもAgおよびBiの分離析出を有効に防止するものもあり(特に4−(2−ピリジルアゾ)レゾルシンはBiの分離析出を有効に防止する)、また無機系キレート剤であってもCuの分離析出を有効に防止するものもある。   That is, for example, an inorganic chelating agent is a suitable chelating agent that prevents the separation and precipitation of Ag and Bi, while an organic chelating agent is a suitable chelating agent that prevents the separation and precipitation of Cu. However, some organic chelating agents effectively prevent the separation and precipitation of Ag and Bi (particularly 4- (2-pyridylazo) resorcin effectively prevents the separation and precipitation of Bi). Some agents effectively prevent Cu separation and precipitation.

また、単独のキレート剤によりこれらの金属のうち2種の金属の分離析出を有効に防止するものもある(この場合2種の金属としてはAgとBiの組み合せとなる傾向が強い)が、Ag、Cu、Biの3種の金属の分離析出を同時に防止する単独のキレート剤は未だ知られていない。したがって、結果的に少なくとも2以上のキレート剤を用いることが必要となるのであり、特に無機系キレート剤と有機系キレート剤とを併用することが好適である。   Some of these metals effectively prevent the separation and precipitation of two kinds of metals by a single chelating agent (in this case, the two kinds of metals tend to be a combination of Ag and Bi). A single chelating agent that simultaneously prevents the separation and precipitation of three kinds of metals, Cu and Bi, is not yet known. Therefore, it is necessary to use at least two chelating agents as a result, and it is particularly preferable to use an inorganic chelating agent and an organic chelating agent in combination.

このような無機系キレート剤としては、たとえば縮合リン酸塩系キレート剤、アルミニウム塩系キレート剤、マンガン塩系キレート剤、マグネシウム塩系キレート剤、金属フルオロ錯体系キレート剤(たとえば(TiF2-)OH、(SiF2-)OH等)等を挙げることができる。 Examples of such inorganic chelating agents include condensed phosphate chelating agents, aluminum salt chelating agents, manganese salt chelating agents, magnesium salt chelating agents, metal fluoro complex chelating agents (for example, (TiF 2− )). OH, and the like can be given (SiF 2-) OH, etc.).

また有機系キレート剤としては、たとえばニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ヒドロキシエチレンジアミン三酢酸、ジピバロイルメタナート、ラウリル二酢酸、4−(2−ピリジルアゾ)レゾルシン、メチレンジアミン類、ポルフィリン類、フタロシアニン類等を挙げることができる。   Examples of organic chelating agents include nitrilotriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, hydroxyethylenediaminetriacetic acid, dipivaloylmethanate, lauryldiacetic acid, 4- (2-pyridylazo) resorcin, and methylenediamines. Examples include porphyrins and phthalocyanines.

そして、本ステップにおいては、上記Sn層を形成した導電性基体を陰極とし、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いることにより電気めっきを実行することができる。これにより上記Sn層上にSn合金層が形成され、本発明の端子が得られる。なお、上記Sn層を形成する場合とは異なり、めっき液中において陽極からSnが供給されることはないため、上記のようなSn合金を構成する各元素の塩を逐次めっき液中に供給することにより、めっき液中のSn合金を構成する各元素の塩濃度は一定に保たれることになる。   In this step, electroplating can be performed by using the conductive substrate on which the Sn layer is formed as a cathode and using a metal other than Sn and an Sn alloy as an anode. Thereby, an Sn alloy layer is formed on the Sn layer, and the terminal of the present invention is obtained. Unlike the case where the Sn layer is formed, Sn is not supplied from the anode in the plating solution. Therefore, the salt of each element constituting the Sn alloy as described above is sequentially supplied to the plating solution. As a result, the salt concentration of each element constituting the Sn alloy in the plating solution is kept constant.

上記のようなSn合金を構成する各元素の塩は、上記Sn層の形成に用いる陽極としてのSnに比し高価なものであるが、前述の通り本発明においては表面被覆層をSn合金層とSn層との両者で構成するものであるから、Sn合金層のみで表面被覆層を形成する場合に比し塩の使用量は少量で済み、以って端子のコストを低減することができる。   The salt of each element constituting the Sn alloy as described above is more expensive than Sn as an anode used for forming the Sn layer. As described above, in the present invention, the surface coating layer is used as the Sn alloy layer. And the Sn layer, the amount of salt used is small compared with the case where the surface coating layer is formed only by the Sn alloy layer, and the cost of the terminal can be reduced. .

ここで、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるのは、Ag、Cu、Bi等Sn以外の金属が陽極表面に析出する所謂置換現象を防止するためである。   Here, the metal other than Sn and the Sn alloy is used as the anode in order to prevent a so-called substitution phenomenon in which a metal other than Sn such as Ag, Cu, Bi, etc. is deposited on the anode surface.

このような陽極としては、たとえばPt、Ir、Ru、Rh、またはこれらのいずれか1以上によりTiからなる電極の表面をコートしたもの等を挙げることができる。これらの中でもTiからなる電極の表面にPtをコートしたものを用いることにより、上記置換現象をより有効的に防止することができるため特に好適な例とすることができる。   Examples of such an anode include Pt, Ir, Ru, Rh, or those obtained by coating the surface of an electrode made of Ti with one or more of these. Among these, the use of an electrode made of Ti coated on the surface of Pt can effectively prevent the above-described substitution phenomenon, and can be a particularly suitable example.

なお、上記の電気めっきを実施するのに使用されるめっき装置としては、特に限られるものではないが、たとえば前述の通りバレルめっき装置、引掛けめっき装置または連続めっき装置のいずれかを用いることにより実施することが好ましい。これらの装置を用いることにより本発明の端子を極めて効率良く製造することができる。   The plating apparatus used for carrying out the above electroplating is not particularly limited. For example, as described above, by using any of the barrel plating apparatus, the hook plating apparatus, or the continuous plating apparatus. It is preferable to implement. By using these devices, the terminal of the present invention can be manufactured very efficiently.

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these.

<実施例1>
まず、導電性基体として厚さ0.3mm、幅30mmに圧延加工したテープ状の銅を、コネクタの形状にプレス加工し、連続状のコネクタ端子状としたものを長さ100mにカットした後、リールに巻き取った。そして、このリールを連続めっき装置の送出しシャフトにセットした。
<Example 1>
First, after tape-shaped copper rolled into a thickness of 0.3 mm and a width of 30 mm as a conductive substrate is pressed into the shape of a connector and a continuous connector terminal is cut to a length of 100 m, I wound it on a reel. And this reel was set to the delivery shaft of a continuous plating apparatus.

次いで、液温48℃の水酸化ナトリウムを含有する水溶液(エスクリーン30(奥野製薬工業製)を50g/l使用、pH12.5)を充填した上記連続めっき装置の浸漬浴に、上記導電性基体を1分間連続的に浸漬させることにより、第1の洗浄処理を行なった。その後、数回の水洗を行なった。   Next, the conductive substrate is immersed in the immersion bath of the continuous plating apparatus filled with an aqueous solution containing sodium hydroxide having a liquid temperature of 48 ° C. (Eglace 30 (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.), 50 g / l used, pH 12.5). The first cleaning treatment was performed by continuously immersing the material for 1 minute. Thereafter, washing was performed several times.

続いて、上記連続めっき装置のpHをアルカリとした電解槽(水酸化ナトリウム水溶液としてNCラストール(奥野製薬工業製)を100g/l使用、pH13.2)において、上記の第1の洗浄処理を経た導電性基体を陰極として、液温50℃、電流密度5A/dmの条件下1分間電解を行なうことにより第2の洗浄処理を行なった後、再度5回の水洗を繰り返した。 Subsequently, in the electrolytic bath in which the pH of the continuous plating apparatus was alkaline (NC lastol (made by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.) as a sodium hydroxide aqueous solution was used at 100 g / l, pH 13.2), the first cleaning treatment was performed. A second washing process was performed by conducting electrolysis for 1 minute under the conditions of a liquid temperature of 50 ° C. and a current density of 5 A / dm 2 using the conductive substrate as a cathode, and then washing with water five times was repeated.

次いで、このように洗浄処理された導電性基体を、pH0.5の硫酸が充填された液温30℃の活性化槽に1分間浸漬することにより、導電性基体の表面に対して酸を作用させる酸による酸処理を行なった。その後水洗を3回繰り返した。   Next, the conductive substrate thus cleaned is immersed in an activation bath at 30 ° C. and filled with sulfuric acid having a pH of 0.5 for 1 minute, so that an acid acts on the surface of the conductive substrate. The acid treatment with the acid to be performed was performed. Thereafter, washing with water was repeated three times.

次に、上記の処理を経た導電性基体に対して、電気めっきすることによりSnからなるSn層を形成するステップを実施した。すなわち、上記の処理を経た導電性基体を上記の連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、該導電性基体を陰極とするとともに陽極としてSnを用い、そして該連続めっき装置のめっき浴にめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、添加剤(SBS−M、ユケン工業株式会社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で2分間、電気めっきすることにより、該導電性基体上にSn層を形成した。 Next, a step of forming a Sn layer made of Sn by electroplating was performed on the conductive substrate subjected to the above treatment. That is, the conductive substrate subjected to the above treatment is immersed in the plating bath of the continuous plating apparatus, the conductive substrate is used as a cathode and Sn is used as the anode, and a plating solution ( Filled with 110 g / l organic acid (Metas AM, manufactured by Yuken Kogyo), Sn 60 g / l, additive (SBS-M, manufactured by Yuken Kogyo Co., Ltd.) 30 cc / l, liquid temperature 35 ° C., pH 0.5, current An Sn layer was formed on the conductive substrate by electroplating under conditions of a density of 4 A / dm 2 for 2 minutes.

続いて、上記のようにSn層を形成した導電性基体を引き続き上記連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、電気めっきすることにより上記Sn層上にSn−Ag二元合金からなるSn合金層を形成するステップを実施した。すなわち、Sn層を形成した導電性基体を陰極とし、陽極としてTiからなる電極の表面にPtをコートしたものを用い、そして上記の連続めっき装置のめっき浴にSn−Ag二元合金のめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、Ag3g/l、添加剤(FCM−C、FCM社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で0.5分間、電気めっきすることにより、Sn−Ag二元合金からなるSn合金層を形成した。その後、水洗を4回行なった後、エアによる水切り後、70℃の熱風で2分間乾燥することにより本発明の端子を得た。 Subsequently, the Sn base layer formed of the Sn-Ag binary alloy is formed on the Sn layer by continuously immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed as described above in a plating bath of the continuous plating apparatus and performing electroplating. A forming step was performed. That is, a conductive substrate on which an Sn layer is formed is used as a cathode, a surface of an electrode made of Ti as an anode is coated with Pt, and a plating solution of Sn—Ag binary alloy is used in the plating bath of the above continuous plating apparatus. (Organic acid (Metas AM, Yuken Kogyo) 110 g / l, Sn 60 g / l, Ag 3 g / l, additive (FCM-C, manufactured by FCM) 30 cc / l) was charged, and the liquid temperature was 35 ° C., pH 0. 5. An Sn alloy layer made of a Sn—Ag binary alloy was formed by electroplating under conditions of a current density of 4 A / dm 2 for 0.5 minutes. Then, after performing water washing 4 times, after draining with air, the terminal of this invention was obtained by drying for 2 minutes with a 70 degreeC hot air.

このようにして得られた端子について、端から10mの地点と90mの地点においてサンプリングを行ない、FIB装置を用いて断面をカットし厚みを測定したところ、Sn層の厚みは4μmであり、Sn−Ag二元合金からなるSn合金層の厚みは1μmであった。しかも、そのSn合金層は図1に示したような微小な結晶粒子の集合体であり、極めて均一なものであった。   The terminal thus obtained was sampled at a point 10 m and a point 90 m from the end, the cross section was cut using a FIB apparatus, and the thickness was measured. As a result, the thickness of the Sn layer was 4 μm. The thickness of the Sn alloy layer made of the Ag binary alloy was 1 μm. Moreover, the Sn alloy layer is an aggregate of fine crystal particles as shown in FIG. 1 and is extremely uniform.

また、EPMA(電子線マイクロアナライザ、日本電子株式会社製)を用いてSn合金層の合金比率を測定したところ、Sn96.5質量%、Ag3.5質量%という含有比率であった。また、このSn合金層の融点は、221℃であり、良好なはんだ付性を示すものであった。   Moreover, when the alloy ratio of the Sn alloy layer was measured using EPMA (Electron Beam Microanalyzer, manufactured by JEOL Ltd.), the content ratio was Sn 96.5% by mass and Ag 3.5% by mass. Further, the melting point of this Sn alloy layer was 221 ° C., which showed good solderability.

<実施例2>
まず、導電性基体として厚さ0.3mm、幅30mmに圧延加工したテープ状のリン青銅を、コネクタの形状にプレス加工し、連続状のコネクタ端子状としたものを長さ100mにカットした後、リールに巻き取った。そして、このリールを連続めっき装置の送出しシャフトにセットした。
<Example 2>
First, after tape-shaped phosphor bronze rolled to a thickness of 0.3 mm and a width of 30 mm as a conductive substrate is pressed into a connector shape, and a continuous connector terminal shape is cut to a length of 100 m And wound on a reel. And this reel was set to the delivery shaft of a continuous plating apparatus.

次いで、液温48℃の水酸化ナトリウムを含有する水溶液(エスクリーン30(奥野製薬工業製)を50g/l使用、pH12.5)を充填した上記連続めっき装置の浸漬浴に、上記導電性基体を1分間連続的に浸漬させることにより、第1の洗浄処理を行なった。その後、数回の水洗を行なった。   Next, the conductive substrate is immersed in the immersion bath of the continuous plating apparatus filled with an aqueous solution containing sodium hydroxide having a liquid temperature of 48 ° C. (Eglace 30 (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.), 50 g / l used, pH 12.5). The first cleaning treatment was performed by continuously immersing the material for 1 minute. Thereafter, washing was performed several times.

続いて、上記連続めっき装置のpHをアルカリとした電解槽(水酸化ナトリウム水溶液としてNCラストール(奥野製薬工業製)を100g/l使用、pH13.2)において、上記の第1の洗浄処理を経た導電性基体を陰極として、液温50℃、電流密度5A/dmの条件下1分間電解を行なうことにより第2の洗浄処理を行なった後、再度5回の水洗を繰り返した。 Subsequently, in the electrolytic bath in which the pH of the continuous plating apparatus was alkaline (NC lastol (made by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.) as a sodium hydroxide aqueous solution was used at 100 g / l, pH 13.2), the first cleaning treatment was performed. A second washing process was performed by conducting electrolysis for 1 minute under the conditions of a liquid temperature of 50 ° C. and a current density of 5 A / dm 2 using the conductive substrate as a cathode, and then washing with water five times was repeated.

次いで、このように洗浄処理された導電性基体を、pH0.5の硫酸が充填された液温30℃の活性化槽に1分間浸漬することにより、導電性基体の表面に対して酸を作用させる酸による酸処理を行なった。その後水洗を3回繰り返した。   Next, the conductive substrate thus cleaned is immersed in an activation bath at 30 ° C. and filled with sulfuric acid having a pH of 0.5 for 1 minute, so that an acid acts on the surface of the conductive substrate. The acid treatment with the acid to be performed was performed. Thereafter, washing with water was repeated three times.

次に、上記の処理を経た導電性基体に対して、Niからなる下地層を形成する下地層形成工程を実施した。すなわち、上記の連続めっき装置のめっき浴にNiめっき液(硫酸ニッケル240g/l、塩化ニッケル45g/l、硼酸40g/l含有)を充填し、液温55℃、pH3.8、電流密度4A/dmの条件下で5分間、電気めっきすることにより、Niからなる下地層を形成した。その後、水洗を3回行なった。 Next, a base layer forming step for forming a base layer made of Ni was performed on the conductive substrate that had undergone the above treatment. That is, a Ni plating solution (containing nickel sulfate 240 g / l, nickel chloride 45 g / l, boric acid 40 g / l) was filled in the plating bath of the above continuous plating apparatus, the solution temperature 55 ° C., pH 3.8, current density 4 A / A base layer made of Ni was formed by electroplating under the condition of dm 2 for 5 minutes. Thereafter, washing with water was performed three times.

続いて、上記の処理を経た導電性基体に対して、電気めっきすることによりSnからなるSn層を形成するステップを実施した。すなわち、上記の処理を経た導電性基体を上記の連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、該導電性基体を陰極とするとともに陽極としてSnを用い、そして該連続めっき装置のめっき浴にめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、添加剤(SBS−M、ユケン工業株式会社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で2分間、電気めっきすることにより、上記下地層を形成した導電性基体上にSn層を形成した。 Then, the step which forms the Sn layer which consists of Sn by electroplating with respect to the electroconductive base which passed through said process was implemented. That is, the conductive substrate subjected to the above treatment is immersed in the plating bath of the continuous plating apparatus, the conductive substrate is used as a cathode and Sn is used as the anode, and a plating solution ( Filled with 110 g / l organic acid (Metas AM, manufactured by Yuken Kogyo), Sn 60 g / l, additive (SBS-M, manufactured by Yuken Kogyo Co., Ltd.) 30 cc / l, liquid temperature 35 ° C., pH 0.5, current An Sn layer was formed on the conductive substrate on which the underlayer was formed by electroplating under conditions of a density of 4 A / dm 2 for 2 minutes.

次いで、上記のようにSn層を形成した導電性基体を引き続き上記連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、電気めっきすることにより上記Sn層上にSn−Ag−Cu三元合金からなるSn合金層を形成するステップを実施した。すなわち、Sn層を形成した導電性基体を陰極とし、陽極としてTiからなる電極の表面にPtをコートしたものを用い、そして上記の連続めっき装置のめっき浴にSn−Ag−Cu三元合金のめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、Ag3g/l、Cu2g/l、無機系キレート剤(Agの分離析出防止用、FCM−A、FCM社製)15g/l、有機系キレート剤(Cuの分離析出防止用、FCM−B、FCM社製)10g/l、添加剤(FCM−C、FCM社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で0.5分間、電気めっきすることにより、Sn−Ag−Cu三元合金からなるSn合金層を形成した。その後、水洗を4回行なった後、エアによる水切り後、70℃の熱風で2分間乾燥することにより本発明の端子を得た。 Next, the Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu ternary alloy is formed on the Sn layer by subsequently immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed as described above in a plating bath of the continuous plating apparatus and performing electroplating. The step of forming was carried out. That is, a conductive substrate on which an Sn layer is formed is used as a cathode, and the surface of an electrode made of Ti as an anode is coated with Pt, and the Sn-Ag-Cu ternary alloy is used in the plating bath of the above continuous plating apparatus. Plating solution (Organic acid (Metas AM, Yuken Kogyo) 110 g / l, Sn 60 g / l, Ag 3 g / l, Cu 2 g / l, inorganic chelating agent (for preventing separation and precipitation of Ag, FCM-A, manufactured by FCM) 15 g / L, filled with organic chelating agent (for Cu separation and precipitation prevention, FCM-B, manufactured by FCM) 10 g / l, additive (FCM-C, manufactured by FCM) 30 cc / l), and liquid temperature 35 An Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu ternary alloy was formed by electroplating for 0.5 minutes under the conditions of ° C., pH 0.5, and current density 4 A / dm 2 . Then, after performing water washing 4 times, after draining with air, the terminal of this invention was obtained by drying for 2 minutes with a 70 degreeC hot air.

このようにして得られた端子について、端から10mの地点と90mの地点においてサンプリングを行ない、FIB装置を用いて断面をカットし厚みを測定したところ、Niからなる下地層の厚みは1μmであり、Sn層の厚みは4μmであり、Sn−Ag−Cu三元合金からなるSn合金層の厚みは1μmであった。しかも、そのSn合金層は図1に示したような微小な結晶粒子の集合体であり、極めて均一なものであった。   The terminal obtained in this way was sampled at 10 m and 90 m from the end, and when the cross section was cut using a FIB apparatus and the thickness was measured, the thickness of the underlayer made of Ni was 1 μm. The thickness of the Sn layer was 4 μm, and the thickness of the Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu ternary alloy was 1 μm. Moreover, the Sn alloy layer is an aggregate of fine crystal particles as shown in FIG. 1 and is extremely uniform.

また、EPMA(電子線マイクロアナライザ、日本電子株式会社製)を用いてSn合金層の合金比率を測定したところ、Sn94質量%、Ag5質量%、Cu1質量%という含有比率であった。また、このSn合金層の融点は、216℃であり、良好なはんだ付性を示すものであった。   Moreover, when the alloy ratio of the Sn alloy layer was measured using EPMA (Electron Beam Microanalyzer, manufactured by JEOL Ltd.), the content ratio was 94% by mass of Sn, 5% by mass of Ag, and 1% by mass of Cu. Further, the melting point of this Sn alloy layer was 216 ° C., which showed good solderability.

<実施例3>
まず、導電性基体として厚さ0.3mm、幅30mmに圧延加工したテープ状の鉄を、コネクタの形状にプレス加工し、連続状のコネクタ端子状としたものを長さ100mにカットした後、リールに巻き取った。そして、このリールを連続めっき装置の送出しシャフトにセットした。
<Example 3>
First, after tape-shaped iron rolled into a thickness of 0.3 mm and a width of 30 mm as a conductive substrate is pressed into a connector shape, and a continuous connector terminal shape is cut into a length of 100 m, I wound it on a reel. And this reel was set to the delivery shaft of a continuous plating apparatus.

次いで、液温48℃の水酸化ナトリウムを含有する水溶液(エスクリーン30(奥野製薬工業製)を50g/l使用、pH12.5)を充填した上記連続めっき装置の浸漬浴に、上記導電性基体を1分間連続的に浸漬させることにより、第1の洗浄処理を行なった。その後、数回の水洗を行なった。   Next, the conductive substrate is immersed in the immersion bath of the continuous plating apparatus filled with an aqueous solution containing sodium hydroxide having a liquid temperature of 48 ° C. (Eglace 30 (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.), 50 g / l used, pH 12.5). The first cleaning treatment was performed by continuously immersing the material for 1 minute. Thereafter, washing was performed several times.

続いて、上記連続めっき装置のpHをアルカリとした電解槽(水酸化ナトリウム水溶液としてNCラストール(奥野製薬工業製)を100g/l使用、pH13.2)において、上記の第1の洗浄処理を経た導電性基体を陰極として、液温50℃、電流密度5A/dmの条件下1分間電解を行なうことにより第2の洗浄処理を行なった後、再度5回の水洗を繰り返した。 Subsequently, in the electrolytic bath in which the pH of the continuous plating apparatus was alkaline (NC lastol (made by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.) as a sodium hydroxide aqueous solution was used at 100 g / l, pH 13.2), the first cleaning treatment was performed. A second washing process was performed by conducting electrolysis for 1 minute under the conditions of a liquid temperature of 50 ° C. and a current density of 5 A / dm 2 using the conductive substrate as a cathode, and then washing with water five times was repeated.

次いで、このように洗浄処理された導電性基体を、pH0.5の硫酸が充填された液温30℃の活性化槽に1分間浸漬することにより、導電性基体の表面に対して酸を作用させる酸による酸処理を行なった。その後水洗を3回繰り返した。   Next, the conductive substrate thus cleaned is immersed in an activation bath at 30 ° C. and filled with sulfuric acid having a pH of 0.5 for 1 minute, so that an acid acts on the surface of the conductive substrate. The acid treatment with the acid to be performed was performed. Thereafter, washing with water was repeated three times.

次に、上記の処理を経た導電性基体に対して、Cuからなる下地層を形成する下地層形成工程を実施した。すなわち、上記の連続めっき装置のめっき浴にCuめっき液(シアン化銅70g/l、シアン化ナトリウム20g/lからなるもの)を充填し、液温50℃、電流密度2.5A/dmの条件下で1分間、電気めっきすることにより、Cuからなる下地層を形成した。その後、水洗を3回行なった。 Next, the base layer formation process which forms the base layer which consists of Cu with respect to the electroconductive base | substrate which passed through the said process was implemented. That is, a Cu plating solution (made of copper cyanide 70 g / l, sodium cyanide 20 g / l) is filled in the plating bath of the above continuous plating apparatus, the solution temperature is 50 ° C., and the current density is 2.5 A / dm 2 . An underlayer made of Cu was formed by electroplating under conditions for 1 minute. Thereafter, washing with water was performed three times.

続いて、上記の処理を経た導電性基体に対して、電気めっきすることによりSnからなるSn層を形成するステップを実施した。すなわち、上記の処理を経た導電性基体を上記の連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、該導電性基体を陰極とするとともに陽極としてSnを用い、そして該連続めっき装置のめっき浴にめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、添加剤(SBS−M、ユケン工業株式会社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で2分間、電気めっきすることにより、上記下地層を形成した導電性基体上にSn層を形成した。 Then, the step which forms the Sn layer which consists of Sn by electroplating with respect to the electroconductive base which passed through said process was implemented. That is, the conductive substrate subjected to the above treatment is immersed in the plating bath of the continuous plating apparatus, the conductive substrate is used as a cathode and Sn is used as the anode, and a plating solution ( Filled with 110 g / l organic acid (Metas AM, manufactured by Yuken Kogyo), Sn 60 g / l, additive (SBS-M, manufactured by Yuken Kogyo Co., Ltd.) 30 cc / l, liquid temperature 35 ° C., pH 0.5, current An Sn layer was formed on the conductive substrate on which the underlayer was formed by electroplating under conditions of a density of 4 A / dm 2 for 2 minutes.

次いで、上記のようにSn層を形成した導電性基体を引き続き上記連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、電気めっきすることにより上記Sn層上にSn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層を形成するステップを実施した。すなわち、Sn層を形成した導電性基体を陰極とし、陽極としてTiからなる電極の表面にPtをコートしたものを用い、そして上記の連続めっき装置のめっき浴にSn−Ag−Cu−Bi四元合金のめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、Ag3g/l、Cu2g/l、Bi1g/l、無機系キレート剤(AgとBiの分離析出防止用、FCM−A、FCM社製)15g/l、有機系キレート剤(Cuの分離析出防止用、FCM−B、FCM社製)10g/l、添加剤(FCM−C、FCM社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で0.5分間、電気めっきすることにより、Sn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層を形成した。その後、水洗を4回行なった後、エアによる水切り後、70℃の熱風で2分間乾燥することにより本発明の端子を得た。 Next, the conductive substrate on which the Sn layer is formed as described above is subsequently immersed in a plating bath of the continuous plating apparatus and electroplated to form Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloy on the Sn layer. A step of forming an alloy layer was performed. That is, a conductive substrate on which an Sn layer is formed is used as a cathode, a surface of an electrode made of Ti as an anode is coated with Pt, and Sn—Ag—Cu—Bi quaternary is used as a plating bath of the above continuous plating apparatus. Alloy plating solution (Organic acid (Metas AM, Yuken Kogyo) 110 g / l, Sn 60 g / l, Ag 3 g / l, Cu 2 g / l, Bi 1 g / l, inorganic chelating agent (for preventing precipitation of Ag and Bi, FCM) -A, manufactured by FCM) 15 g / l, organic chelating agent (for preventing Cu separation and precipitation, FCM-B, manufactured by FCM) 10 g / l, additive (FCM-C, manufactured by FCM) 30 cc / l ), And electroplating for 0.5 minutes under conditions of a liquid temperature of 35 ° C., pH 0.5, and current density of 4 A / dm 2 , thereby forming an Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy Formed. Then, after performing water washing 4 times, after draining with air, the terminal of this invention was obtained by drying for 2 minutes with a 70 degreeC hot air.

このようにして得られた端子について、端から10mの地点と90mの地点においてサンプリングを行ない、FIB装置を用いて断面をカットし厚みを測定したところ、Cuからなる下地層の厚みは1μmであり、Sn層の厚みは4μmであり、Sn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層の厚みは1μmであった。しかも、そのSn合金層は図1に示したような微小な結晶粒子の集合体であり、極めて均一なものであった。   The terminal thus obtained was sampled at 10 m and 90 m from the end, and when the cross section was cut using a FIB apparatus and the thickness was measured, the thickness of the underlying layer made of Cu was 1 μm. The thickness of the Sn layer was 4 μm, and the thickness of the Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy was 1 μm. Moreover, the Sn alloy layer is an aggregate of fine crystal particles as shown in FIG. 1 and is extremely uniform.

また、EPMA(電子線マイクロアナライザ、日本電子株式会社製)を用いてSn合金層の合金比率を測定したところ、Sn93質量%、Ag5質量%、Cu1質量%、Bi1質量%という含有比率であった。また、このSn合金層の融点は、212.5℃であり、良好なはんだ付性を示すものであった。   Moreover, when the alloy ratio of the Sn alloy layer was measured using EPMA (Electron Beam Microanalyzer, manufactured by JEOL Ltd.), it was a content ratio of Sn 93% by mass, Ag 5% by mass, Cu 1% by mass, and Bi1% by mass. . Moreover, the melting point of this Sn alloy layer was 212.5 ° C., indicating good solderability.

<比較例1>
実施例1において、Sn層の厚みを5μmとすること、およびSn−Ag二元合金からなるSn合金層を形成しないことを除き、他は全て実施例1と同様にして端子を得た。
<Comparative Example 1>
In Example 1, a terminal was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the Sn layer was 5 μm and the Sn alloy layer made of the Sn—Ag binary alloy was not formed.

<比較例2>
実施例1において、Sn層を形成しないこと、およびSn−Ag二元合金からなるSn合金層の厚みを5μmとすることを除き、他は全て実施例1と同様にして端子を得た。
<Comparative example 2>
In Example 1, a terminal was obtained in the same manner as in Example 1 except that the Sn layer was not formed and the thickness of the Sn alloy layer made of the Sn—Ag binary alloy was 5 μm.

<比較例3>
実施例2において、Sn層を形成しないこと、およびSn−Ag−Cu三元合金からなるSn合金層の厚みを5μmとすることを除き、他は全て実施例2と同様にして端子を得た。
<Comparative Example 3>
In Example 2, a terminal was obtained in the same manner as Example 2 except that the Sn layer was not formed and the thickness of the Sn alloy layer made of the Sn—Ag—Cu ternary alloy was 5 μm. .

<比較例4>
実施例3において、Sn層を形成しないこと、およびSn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層の厚みを5μmとすることを除き、他は全て実施例3と同様にして端子を得た。
<Comparative example 4>
In Example 3, except that the Sn layer is not formed and the thickness of the Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy is set to 5 μm, the terminals are formed in the same manner as in Example 3. Obtained.

<はんだ濡れ性試験>
上記で得られた各実施例の端子および各比較例の端子を用いて、はんだ濡れ性試験を行なった。
<Solder wettability test>
A solder wettability test was performed using the terminal of each example obtained above and the terminal of each comparative example.

具体的には、同一形状にした各端子を250℃に加熱され溶融状態にあるSn−Ag−Cuはんだ浴に浸漬し、端子の表面が溶融して前記はんだ浴中のはんだと濡れ始めるまでの時間を測定することにより行なった。該時間が短い程、良好なはんだ付性を示すことになる。その結果を以下の表1に示す。   Specifically, each terminal having the same shape is immersed in a molten Sn—Ag—Cu solder bath heated to 250 ° C. until the terminal surface melts and begins to get wet with the solder in the solder bath. This was done by measuring the time. The shorter the time, the better the solderability. The results are shown in Table 1 below.

<ウィスカ発生試験>
上記で得られた各実施例の端子および各比較例の端子を用いて、ウィスカ発生試験を行なった。
<Whisker generation test>
A whisker generation test was conducted using the terminal of each example obtained above and the terminal of each comparative example.

具体的には、各端子を高温高湿槽(60℃、湿度90%)で168時間保持した後、ウィスカの発生の有無を確認することにより行なった。その結果を以下の表1に示す。   Specifically, each terminal was held in a high-temperature and high-humidity tank (60 ° C., humidity 90%) for 168 hours, and then the presence or absence of whisker generation was confirmed. The results are shown in Table 1 below.

<コスト比較>
比較例1の端子のコストを100(指数)とした場合に、それぞれの端子のコストを相対的な指数として示した。指数が大きな数値となる程コスト的に不利となることを示している。その比較を以下の表1に示す。
<Cost comparison>
When the cost of the terminal of Comparative Example 1 was 100 (index), the cost of each terminal was shown as a relative index. The larger the index, the more disadvantageous the cost. The comparison is shown in Table 1 below.

Figure 2005232484
Figure 2005232484

表1より明らかなように、Sn合金層を形成していない比較例1の端子は、コスト的には有利であるが、はんだ濡れ性が劣るとともにウィスカの発生を伴うものであった。これに対して、比較例2〜4のものは、実施例1〜3のものと比較して、はんだ濡れ性およびウィスカの発生有無に関しては同程度の性能を示したが、コスト的に極めて劣るものであった。これらの結果より、本発明の各実施例の端子は、優れた性能(ウィスカの発生防止と良好なはんだ付性の両立)とコストとを両立させたものであることが理解される。   As is apparent from Table 1, the terminal of Comparative Example 1 in which the Sn alloy layer was not formed was advantageous in terms of cost, but was poor in solder wettability and accompanied by whisker generation. On the other hand, the comparative examples 2 to 4 showed the same performance with respect to the solder wettability and the presence or absence of whisker compared with those of the examples 1 to 3, but the cost was extremely inferior. It was a thing. From these results, it is understood that the terminal of each example of the present invention achieves both excellent performance (coexistence of whisker generation and good solderability) and cost.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

Sn層上にSn合金層としてSn−Ag−Cu三元合金を形成した端子の断面の顕微鏡写真である。It is a microscope picture of the cross section of the terminal which formed Sn-Ag-Cu ternary alloy as a Sn alloy layer on Sn layer. Sn層のみを形成させた端子の断面の顕微鏡写真である。It is a microscope picture of the cross section of the terminal in which only the Sn layer was formed.

本発明の端子は、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなるものであって、該Sn層は、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmのSnからなる層であり、該Sn合金層は、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmであってその融点が230℃以下のSn−Ag−Cu三元合金からなる層であることを特徴としている。 The terminal of the present invention is formed by forming a Sn layer on the entire surface or part of a conductive substrate, and forming an Sn alloy layer on the Sn layer, and the Sn layer is formed by electroplating. Sn—Ag—Cu ternary alloy having a thickness of 0.1 to 20 μm and a melting point of 230 ° C. or less. It is characterized by being a layer consisting of

上記Sn層は、上記導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることにより形成されるものとすることができ、上記Sn合金層は、上記Sn層を形成した導電性基体をキレート剤を含むめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極とするとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって形成されるものとすることができる。 The Sn layer can be formed by immersing the conductive substrate in a plating bath and electroplating using Sn as an anode, and the Sn alloy layer is formed by forming the Sn layer. was immersed in a plating bath containing a chelating agent, it shall be formed by electroplating by metals other than Sn and Sn alloy supplying each element constituting the Sn alloy with an anode as a salt it can.

記Sn−Ag−Cu三元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成することができる。 Upper Symbol Sn-Ag-Cu ternary alloy, Ag is 0.1 to 20 mass%, Cu is 0.1 to 20 mass%, can be composed of a content ratio of the residual is Sn.

本発明の端子の製造方法は、導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなる端子の製造方法であって、上記導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることによって上記導電性基体上の全面または部分にSn層を形成するステップと、上記Sn層を形成した導電性基体をキレート剤を含むめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって上記Sn層上にSn合金層を形成するステップと、を含むことができる。 The terminal manufacturing method of the present invention is a terminal manufacturing method in which an Sn layer is formed on the whole or part of a conductive substrate, and an Sn alloy layer is formed on the Sn layer. A step of forming an Sn layer on the whole or part of the conductive substrate by immersing in a plating bath and electroplating using Sn as an anode, and the conductive substrate on which the Sn layer is formed in a plating bath containing a chelating agent Dipping and using a metal other than Sn and Sn alloy as an anode and forming an Sn alloy layer on the Sn layer by electroplating by supplying each element constituting the Sn alloy as a salt. be able to.

<Sn合金層>
本発明のSn合金層は、上記Sn層の上に形成されるものであって、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmの、その融点が230℃以下のSn−Ag−Cu三元合金からなる層である。これらのSn合金は、不可避不純物の含有を除きそれぞれの合金構成元素のみにより後述のような含有比率(合金比率)で構成される。
<Sn alloy layer>
The Sn alloy layer of the present invention is formed on the above Sn layer, and is Sn-Ag-Cu ternary having a thickness of 0.1 to 20 μm and a melting point of 230 ° C. or less formed by electroplating. It is a layer made of an alloy . These Sn alloys are constituted by the content ratios (alloy ratios) described later only with the respective alloy constituent elements except for the inclusion of inevitable impurities.

ここで、上記SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いる場合の電気めっきの条件として、まずめっき液の組成は、Sn合金を構成する各元素の塩を含むものであり、有機酸浴、フッ化浴、アルカリ浴等をいずれも使用することができる。中でも、有機酸浴を用いることが特に好ましい。 Here, as a condition for electroplating when a metal other than Sn and the Sn alloy is used as an anode, the composition of the plating solution first contains a salt of each element constituting the Sn alloy. Either a chemical bath or an alkali bath can be used. Among these, it is particularly preferable to use an organic acid bath.

また、上記のように各めっき液においては、キレート剤を含有することが好ましい。これは、該キレート剤を使用しなければ、Ag、Cu等のSn以外の金属がめっき液から分離析出してしまい、Sn合金層として所望の合金比率のものを電気めっきにより形成することが困難となるからである。 Further, as described above, each plating solution preferably contains a chelating agent. If this chelating agent is not used, metals other than Sn, such as Ag and Cu, separate from the plating solution, and it is difficult to form a Sn alloy layer having a desired alloy ratio by electroplating. Because it becomes.

また、このようなキレート剤としては、Sn−Ag−Cu三元合金のめっき液においては、少なくとも2以上のものを用いることが好ましい。これは、Ag、Cuのそれぞれの金属の分離析出を防止するのに好適なキレート剤の種類が互いに異なるからである。 In addition, such chelating agents in the plating solution Sn-Ag-Cu ternary alloy, it is preferred to use at least 2 or more. This is because the types of chelating agents suitable for preventing the separation and precipitation of Ag and Cu metals are different from each other.

すなわち、たとえば無機系キレート剤はAgの分離析出を防止する好適なキレート剤となり、一方有機系キレート剤はCuの分離析出を防止する好適なキレート剤となる。しかし、有機系キレート剤であってもAgの分離析出を有効に防止するものもあり、また無機系キレート剤であってもCuの分離析出を有効に防止するものもある。 That is, for example, an inorganic chelating agent is a suitable chelating agent that prevents the separation and precipitation of Ag , while an organic chelating agent is a suitable chelating agent that prevents the separation and precipitation of Cu. However, there is also an organic chelating agent Ri mower as to effectively prevent the separation precipitation of Ag, also be an inorganic chelating agent is also intended to effectively prevent the separation deposition of Cu.

たがって、結果的に少なくとも2以上のキレート剤を用いることが必要となるのであり、特に無機系キレート剤と有機系キレート剤とを併用することが好適である。 Therefore, consequently it than it is necessary to use at least two or more chelating agents, it is preferable to particularly used together with the inorganic chelating agent and the organic chelating agent.

ここで、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるのは、Ag、Cu等Sn以外の金属が陽極表面に析出する所謂置換現象を防止するためである。 Here, the reason why the metal other than Sn and Sn alloy is used as the anode is to prevent a so-called substitution phenomenon in which a metal other than Sn, such as Ag and Cu , is deposited on the surface of the anode.

<参考例1>
まず、導電性基体として厚さ0.3mm、幅30mmに圧延加工したテープ状の銅を、コネクタの形状にプレス加工し、連続状のコネクタ端子状としたものを長さ100mにカットした後、リールに巻き取った。そして、このリールを連続めっき装置の送出しシャフトにセットした。
<Reference Example 1>
First, after tape-shaped copper rolled into a thickness of 0.3 mm and a width of 30 mm as a conductive substrate is pressed into the shape of a connector and a continuous connector terminal is cut to a length of 100 m, I wound it on a reel. And this reel was set to the delivery shaft of a continuous plating apparatus.

続いて、上記のようにSn層を形成した導電性基体を引き続き上記連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、電気めっきすることにより上記Sn層上にSn−Ag二元合金からなるSn合金層を形成するステップを実施した。すなわち、Sn層を形成した導電性基体を陰極とし、陽極としてTiからなる電極の表面にPtをコートしたものを用い、そして上記の連続めっき装置のめっき浴にSn−Ag二元合金のめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、Ag3g/l、添加剤(FCM−C、FCM社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で0.5分間、電気めっきすることにより、Sn−Ag二元合金からなるSn合金層を形成した。その後、水洗を4回行なった後、エアによる水切り後、70℃の熱風で2分間乾燥することにより端子を得た。 Subsequently, the Sn base layer formed of the Sn-Ag binary alloy is formed on the Sn layer by continuously immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed as described above in a plating bath of the continuous plating apparatus and performing electroplating. A forming step was performed. That is, a conductive substrate on which an Sn layer is formed is used as a cathode, a surface of an electrode made of Ti as an anode is coated with Pt, and a plating solution of Sn—Ag binary alloy is used in the plating bath of the above continuous plating apparatus. (Organic acid (Metas AM, Yuken Kogyo) 110 g / l, Sn 60 g / l, Ag 3 g / l, additive (FCM-C, manufactured by FCM) 30 cc / l) was charged, and the liquid temperature was 35 ° C., pH 0. 5. An Sn alloy layer made of a Sn—Ag binary alloy was formed by electroplating under conditions of a current density of 4 A / dm 2 for 0.5 minutes. Then, after performing 4 times with water, after draining by the air, to obtain a Litan child by the drying for 2 minutes with hot air at 70 ° C..

<実施例1>
まず、導電性基体として厚さ0.3mm、幅30mmに圧延加工したテープ状のリン青銅を、コネクタの形状にプレス加工し、連続状のコネクタ端子状としたものを長さ100mにカットした後、リールに巻き取った。そして、このリールを連続めっき装置の送出しシャフトにセットした。
<Example 1>
First, after tape-shaped phosphor bronze rolled to a thickness of 0.3 mm and a width of 30 mm as a conductive substrate is pressed into a connector shape, and a continuous connector terminal shape is cut to a length of 100 m And wound on a reel. And this reel was set to the delivery shaft of a continuous plating apparatus.

<参考例2>
まず、導電性基体として厚さ0.3mm、幅30mmに圧延加工したテープ状の鉄を、コネクタの形状にプレス加工し、連続状のコネクタ端子状としたものを長さ100mにカットした後、リールに巻き取った。そして、このリールを連続めっき装置の送出しシャフトにセットした。
<Reference Example 2>
First, after tape-shaped iron rolled into a thickness of 0.3 mm and a width of 30 mm as a conductive substrate is pressed into a connector shape, and a continuous connector terminal shape is cut into a length of 100 m, I wound it on a reel. And this reel was set to the delivery shaft of a continuous plating apparatus.

次いで、上記のようにSn層を形成した導電性基体を引き続き上記連続めっき装置のめっき浴に浸漬し、電気めっきすることにより上記Sn層上にSn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層を形成するステップを実施した。すなわち、Sn層を形成した導電性基体を陰極とし、陽極としてTiからなる電極の表面にPtをコートしたものを用い、そして上記の連続めっき装置のめっき浴にSn−Ag−Cu−Bi四元合金のめっき液(有機酸(メタスAM、ユケン工業製)110g/l、Sn60g/l、Ag3g/l、Cu2g/l、Bi1g/l、無機系キレート剤(AgとBiの分離析出防止用、FCM−A、FCM社製)15g/l、有機系キレート剤(Cuの分離析出防止用、FCM−B、FCM社製)10g/l、添加剤(FCM−C、FCM社製)30cc/l含有)を充填し、液温35℃、pH0.5、電流密度4A/dmの条件下で0.5分間、電気めっきすることにより、Sn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層を形成した。その後、水洗を4回行なった後、エアによる水切り後、70℃の熱風で2分間乾燥することにより端子を得た。 Next, the conductive substrate on which the Sn layer is formed as described above is subsequently immersed in a plating bath of the continuous plating apparatus and electroplated to form Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloy on the Sn layer. A step of forming an alloy layer was performed. That is, a conductive substrate on which an Sn layer is formed is used as a cathode, a surface of an electrode made of Ti as an anode is coated with Pt, and Sn—Ag—Cu—Bi quaternary is used as a plating bath of the above continuous plating apparatus. Alloy plating solution (Organic acid (Metas AM, Yuken Kogyo) 110 g / l, Sn 60 g / l, Ag 3 g / l, Cu 2 g / l, Bi 1 g / l, inorganic chelating agent (for preventing precipitation of Ag and Bi, FCM) -A, manufactured by FCM) 15 g / l, organic chelating agent (for preventing Cu separation and precipitation, FCM-B, manufactured by FCM) 10 g / l, additive (FCM-C, manufactured by FCM) 30 cc / l ), And electroplating for 0.5 minutes under conditions of a liquid temperature of 35 ° C., pH 0.5, and current density of 4 A / dm 2 , thereby forming an Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy Formed. Then, after performing 4 times with water, after draining by the air, to obtain a Litan child by the drying for 2 minutes with hot air at 70 ° C..

<比較例1>
参考例1において、Sn層の厚みを5μmとすること、およびSn−Ag二元合金からなるSn合金層を形成しないことを除き、他は全て参考例1と同様にして端子を得た。
<Comparative Example 1>
In Reference Example 1 , terminals were obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that the thickness of the Sn layer was 5 μm and the Sn alloy layer made of the Sn—Ag binary alloy was not formed.

<比較例2>
参考例1において、Sn層を形成しないこと、およびSn−Ag二元合金からなるSn合金層の厚みを5μmとすることを除き、他は全て参考例1と同様にして端子を得た。
<Comparative example 2>
In Reference Example 1 , terminals were obtained in the same manner as Reference Example 1 except that the Sn layer was not formed and the thickness of the Sn alloy layer made of the Sn—Ag binary alloy was 5 μm.

<比較例3>
実施例1において、Sn層を形成しないこと、およびSn−Ag−Cu三元合金からなるSn合金層の厚みを5μmとすることを除き、他は全て実施例1と同様にして端子を得た。
<Comparative Example 3>
In Example 1 , a terminal was obtained in the same manner as Example 1 except that the Sn layer was not formed and that the thickness of the Sn alloy layer made of the Sn—Ag—Cu ternary alloy was 5 μm. .

<比較例4>
参考例2において、Sn層を形成しないこと、およびSn−Ag−Cu−Bi四元合金からなるSn合金層の厚みを5μmとすることを除き、他は全て参考例2と同様にして端子を得た。
<Comparative example 4>
In Reference Example 2 , except that the Sn layer is not formed and the thickness of the Sn alloy layer made of Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy is set to 5 μm, all the other steps were performed in the same manner as in Reference Example 2. Obtained.

<はんだ濡れ性試験>
上記で得られた実施例1の端子および各比較例の端子を用いて、はんだ濡れ性試験を行なった。
<Solder wettability test>
A solder wettability test was performed using the terminal of Example 1 obtained above and the terminal of each comparative example.

<ウィスカ発生試験>
上記で得られた実施例1の端子および各比較例の端子を用いて、ウィスカ発生試験を行なった。
<Whisker generation test>
A whisker generation test was performed using the terminal of Example 1 obtained above and the terminal of each comparative example.

Figure 2005232484
Figure 2005232484

表1より明らかなように、Sn合金層を形成していない比較例1の端子は、コスト的には有利であるが、はんだ濡れ性が劣るとともにウィスカの発生を伴うものであった。これに対して、比較例2〜4のものは、実施例1のものと比較して、はんだ濡れ性およびウィスカの発生有無に関しては同程度の性能を示したが、コスト的に極めて劣るものであった。これらの結果より、本発明の実施例1の端子は、優れた性能(ウィスカの発生防止と良好なはんだ付性の両立)とコストとを両立させたものであることが理解される。 As is clear from Table 1, the terminal of Comparative Example 1 in which the Sn alloy layer was not formed was advantageous in terms of cost, but was poor in solder wettability and accompanied by whisker generation. In contrast, Comparative Examples 2 to 4 showed comparable performance with respect to solder wettability and the presence or absence of whiskers compared to Example 1 , but were extremely inferior in cost. there were. From these results, it is understood that the terminal of Example 1 of the present invention has both excellent performance (both prevention of whisker generation and good solderability) and cost.

Claims (15)

導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなる端子であって、
前記Sn層は、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmのSnからなる層であり、
前記Sn合金層は、電気めっきにより形成される厚み0.1〜20μmの、Sn−Ag二元合金、Sn−Ag−Cu三元合金、またはSn−Ag−Cu−Bi四元合金のいずれかからなる層であることを特徴とする端子。
A terminal formed by forming a Sn layer on the entire surface or part of a conductive substrate and forming a Sn alloy layer on the Sn layer;
The Sn layer is a layer made of Sn having a thickness of 0.1 to 20 μm formed by electroplating,
The Sn alloy layer is any one of Sn-Ag binary alloy, Sn-Ag-Cu ternary alloy, or Sn-Ag-Cu-Bi quaternary alloy having a thickness of 0.1 to 20 μm formed by electroplating. A terminal characterized by being a layer comprising:
前記Sn層は、前記導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることにより形成されるものであり、前記Sn合金層は、前記Sn層を形成した導電性基体をめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極とするとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって形成されるものであることを特徴とする請求項1記載の端子。   The Sn layer is formed by immersing the conductive substrate in a plating bath and electroplating using Sn as an anode, and the Sn alloy layer is formed by plating the conductive substrate on which the Sn layer is formed. 2. It is formed by dipping in a metal, electroplating by using a metal other than Sn and Sn alloy as an anode and supplying each element constituting the Sn alloy as a salt. Terminal. 前記Sn−Ag二元合金は、Agが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成されることを特徴とする請求項1記載の端子。   2. The terminal according to claim 1, wherein the Sn—Ag binary alloy is configured with a content ratio in which Ag is 0.1 to 20 mass% and the balance is Sn. 前記Sn−Ag−Cu三元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成されることを特徴とする請求項1記載の端子。   The Sn-Ag-Cu ternary alloy is constituted by a content ratio in which Ag is 0.1 to 20 mass%, Cu is 0.1 to 20 mass%, and the balance is Sn. The listed terminal. 前記Sn−Ag−Cu−Bi四元合金は、Agが0.1〜20質量%、Cuが0.1〜20質量%、Biが0.1〜20質量%、残余がSnとなる含有比率で構成されることを特徴とする請求項1記載の端子。   The Sn—Ag—Cu—Bi quaternary alloy has a content ratio in which Ag is 0.1 to 20 mass%, Cu is 0.1 to 20 mass%, Bi is 0.1 to 20 mass%, and the balance is Sn. The terminal according to claim 1, comprising: 前記導電性基体は、金属または絶縁性基体上の表面に金属が積層されたものであることを特徴とする請求項1記載の端子。   2. The terminal according to claim 1, wherein the conductive substrate is a metal or a metal layer laminated on a surface of an insulating substrate. 前記導電性基体と前記Sn層との間に、下地層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の端子。   The terminal according to claim 1, wherein an underlayer is formed between the conductive substrate and the Sn layer. 前記電気めっきは、バレルめっき装置、引掛けめっき装置または連続めっき装置のいずれかを用いて行なわれることを特徴とする請求項1記載の端子。   The terminal according to claim 1, wherein the electroplating is performed using any one of a barrel plating apparatus, a hook plating apparatus, and a continuous plating apparatus. 前記Sn層は無光沢めっきであり、前記Sn合金層は無光沢めっきまたは半光沢めっきであることを特徴とする請求項1記載の端子。   The terminal according to claim 1, wherein the Sn layer is matte plating, and the Sn alloy layer is matte plating or semi-gloss plating. 前記端子は、コネクタ端子、リレー端子、スライドスイッチ端子、バンプ、はんだ付端子またはフラットケーブル端子のいずれかであることを特徴とする、請求項1記載の端子。   The terminal according to claim 1, wherein the terminal is one of a connector terminal, a relay terminal, a slide switch terminal, a bump, a solder terminal, or a flat cable terminal. 請求項1記載の端子を有する部品。   A component having the terminal according to claim 1. 前記部品は、コネクタ、リレー、スライドスイッチ、フラットケーブル、抵抗、コンデンサ、コイルまたは基板のいずれかである、請求項11記載の部品。   The component according to claim 11, wherein the component is any one of a connector, a relay, a slide switch, a flat cable, a resistor, a capacitor, a coil, and a board. 請求項1記載の端子を有する製品。   A product comprising the terminal according to claim 1. 前記製品は、半導体製品、電気製品、電子製品、太陽電池または自動車のいずれかである、請求項13記載の製品。   The product according to claim 13, wherein the product is one of a semiconductor product, an electrical product, an electronic product, a solar cell, or an automobile. 導電性基体上の全面または部分にSn層を形成し、そのSn層上にSn合金層を形成してなる端子の製造方法であって、
前記導電性基体をめっき浴に浸漬し、Snを陽極として電気めっきすることによって前記導電性基体上の全面または部分にSn層を形成するステップと、
前記Sn層を形成した導電性基体をめっき浴に浸漬し、SnおよびSn合金以外の金属を陽極として用いるとともにSn合金を構成する各元素を塩として供給することにより電気めっきすることによって前記Sn層上にSn合金層を形成するステップと、
を含むことを特徴とする端子の製造方法。
A method for producing a terminal comprising: forming a Sn layer on the entire surface or part of a conductive substrate; and forming a Sn alloy layer on the Sn layer,
Immersing the conductive substrate in a plating bath and electroplating with Sn as an anode to form a Sn layer on the entire surface or part of the conductive substrate;
The Sn layer is formed by immersing the conductive substrate on which the Sn layer is formed in a plating bath, and electroplating by using a metal other than Sn and Sn alloy as an anode and supplying each element constituting the Sn alloy as a salt. Forming a Sn alloy layer thereon;
The manufacturing method of the terminal characterized by including.
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