JP2005227553A - Device and method of connecting optical waveguide and optical element, and optical module - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、光通信または計測等に利用可能であって、光素子と光ファイバあるいは光導波路とを接続する装置およびその接続方法ならびに光モジュールに関する。 The present invention relates to an apparatus for connecting an optical element and an optical fiber or an optical waveguide that can be used for optical communication or measurement, a connection method thereof, and an optical module.
光通信または計測等に利用される光導波路、たとえば光ファイバと発光素子あるいは光ファイバと受光素子を接続する際に、光結合効率が高いこと(結合損失が少ないこと)、接続素子の大きさが小さいこと、および組立、調整に要求される時間すなわち組立コストが低減可能であることが求められている。なお、今日、伝送すべき情報量の増大に伴い、複数チャンネルを接続可能で、しかも大きさが小さいことが望まれている。 Optical waveguides used for optical communication or measurement, for example, when optical fibers and light-emitting elements or optical fibers and light-receiving elements are connected, optical coupling efficiency is high (coupling loss is small), and the size of the connecting elements is It is required to be small and to reduce the time required for assembly and adjustment, that is, the assembly cost. Today, with the increase in the amount of information to be transmitted, it is desired that a plurality of channels can be connected and the size is small.
例えば、光導波路と発光素子あるいは受光素子とを接続する際に、鏡面により直角に光の進行方向を変えて、高密度化する例が提案されている(例えば特許文献1参照)。 For example, when connecting an optical waveguide and a light emitting element or a light receiving element, an example of increasing the density by changing the traveling direction of light at a right angle by a mirror surface has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
また、面発光素子と光ファイバとを接続する際に、鏡面により直角に光の進行方向を変えるとともに、レンズを用いて結合効率を高める例が提案されている(例えば特許文献2参照)。 Moreover, when connecting a surface emitting element and an optical fiber, the example which changes the advancing direction of light at a right angle by a mirror surface, and raises coupling efficiency using a lens is proposed (for example, refer patent document 2).
さらに、光素子や光ファイバの位置決めに、はんだのセルフアライメント機能や、基板(シリコン)に設けられたV溝を用いる例が提案されている(例えば特許文献3参照)。 Furthermore, an example of using a self-alignment function of solder or a V-groove provided on a substrate (silicon) for positioning an optical element or an optical fiber has been proposed (see, for example, Patent Document 3).
なお、単一のレーザチップ(発光素子)と1本の光ファイバとを接続する際に、可動式のマイクロミラーを用いる例が報告されている(非特許文献1)。
しかしながら、特許文献1に開示された提案では、光導波路と発光素子または光導波路と受光素子の相互間に設けられる鏡面の位置精度に高い位置精度が要求されることから、組立に必要な時間が増大して、コストがアップする問題がある。
However, in the proposal disclosed in
また、特許文献2に記載された提案では、特許文献1の問題点に加えて、さらにレンズの位置精度が必要であるから、一層コストが増大する問題がある。なお、調芯機を用いることにより、レンズの位置精度は確保されるが、組立に要求される時間は、増大される。
Further, the proposal described in Patent Document 2 has a problem that the cost is further increased because the positional accuracy of the lens is required in addition to the problems of
さらに、特許文献3の提案では、組立に必要な時間(およびコスト)は低減可能となるが、光ファイバや光素子の位置精度は、はんだの特性あるいは溝の形状および精度に依存し、しかもその特性あるいは形状の精度よりも高い精度による組立は困難である。
Furthermore, in the proposal of
一方、非特許文献1の報告によれば、マイクロミラーを可動する可動機構が複雑で大型であることから、2以上の発光素子と2本以上の光ファイバを、高い実装密度で実装する際の実装方法および可動機構の小型化が求められている。なお、非特許文献1には、可動ミラーを固定する方法が示されていない。
On the other hand, according to the report of Non-Patent
この発明の目的は、複数の発光素子と対応する光導波路との間の光の接続を、高い精度で接続して光結合効率を高めるとともに、実装密度を上げて光接続機構を小型化することである。 The object of the present invention is to increase the optical coupling efficiency by connecting the light connections between a plurality of light emitting elements and corresponding optical waveguides with high accuracy, and to increase the mounting density and reduce the size of the optical connection mechanism. It is.
この発明は、複数設けられ、それぞれ、光を伝搬可能な光導波路と、この光導波路により伝搬すべき光を出力可能な複数の発光素子、または前記光導波路を伝搬される光を受光可能な複数の受光素子の少なくとも一方を含む光素子と、この光素子と前記光導波路との間の所定の位置に設けられ、前記光素子のうちの任意の1つと、その任意の1つの光素子に対応される前記光導波路のうちの任意の1つを光学的に接続可能であって、かつ、前記光素子のうちの所定個数と、それぞれの光素子に対応される所定個数の前記光導波路とを、一括して光学的に接続可能な光接続機構と、を有することを特徴とする光モジュールを提供するものである。 The present invention is provided with a plurality of optical waveguides capable of propagating light, a plurality of light emitting elements capable of outputting light to be propagated through the optical waveguide, or a plurality of light receiving elements capable of receiving light propagating through the optical waveguide. An optical element including at least one of the light receiving elements, and provided at a predetermined position between the optical element and the optical waveguide, and corresponds to an arbitrary one of the optical elements and the arbitrary one optical element. Any one of the optical waveguides can be optically connected, and a predetermined number of the optical elements and a predetermined number of the optical waveguides corresponding to the respective optical elements, An optical module having an optical connection mechanism capable of optically connecting in a lump is provided.
すなわち、上述した光モジュールによれば、光導波路と発光素子または受光素子とを、光強度を調整しながら接続することにより、任意の発光素子と光導波路または任意の光導波路と受光素子により規定されるチャンネル相互の光強度のばらつきが低減可能となる。 In other words, according to the above-described optical module, the optical waveguide and the light emitting element or the light receiving element are connected by adjusting the light intensity, thereby being defined by the arbitrary light emitting element and the optical waveguide or the arbitrary optical waveguide and the light receiving element. Variation in light intensity between channels can be reduced.
また、この発明は、任意の光素子と、その光素子に対応される光導波路とにより規定されるチャンネル毎に光素子と光導波路との間で光路を所定角度におり曲げるとともに、その角度を互いに直交する2軸方向の任意方向に設定可能としたことにより、光素子から光導波路へ入力される光の光強度、または光導波路から光素子へ出力される光の光強度を、チャンネル毎にまたは複数チャンネルを一括して調整可能としたことを特徴とする光接続方法である。 In addition, the present invention bends the optical path at a predetermined angle between the optical element and the optical waveguide for each channel defined by an arbitrary optical element and the optical waveguide corresponding to the optical element. By making it possible to set any two biaxial directions orthogonal to each other, the light intensity of light input from the optical element to the optical waveguide or the light intensity of light output from the optical waveguide to the optical element can be set for each channel. Alternatively, the optical connection method is characterized in that a plurality of channels can be adjusted collectively.
すなわち、上述した光接続方法によれば、任意の光素子と光導波路または光ファイバとを、光強度を調整しながら接続することにより、任意の光素子と光導波路により規定されるチャンネル毎の光強度を、概ね一定に設定できる。 That is, according to the optical connection method described above, by connecting an arbitrary optical element and an optical waveguide or an optical fiber while adjusting the light intensity, light for each channel defined by the arbitrary optical element and the optical waveguide is obtained. The strength can be set almost constant.
また、この発明は、発光素子から光導波路へ、あるいは光導波路から受光素子への光路に設けられ、光路を所定の角度におり曲げると同時に、発光素子と光導波路あるいは光導波路と受光素子との間を案内される光の相互間の光強度を調整可能で、所望の光強度が得られる所定の状態に固定可能な光接続装置が複数設けられることを特徴とする光モジュールを提供するものである。 Further, the present invention is provided in the optical path from the light emitting element to the optical waveguide or from the optical waveguide to the light receiving element, and simultaneously bends the optical path at a predetermined angle, and at the same time, the light emitting element and the optical waveguide or the optical waveguide and the light receiving element. Provided is an optical module comprising a plurality of optical connection devices that can adjust light intensity between light guided between them and can be fixed in a predetermined state where desired light intensity can be obtained. is there.
すなわち、上述した光モジュールによれば、発光素子から光導波路へ、あるいは光導波路から受光素子への光路に設けられ、光路を所定の角度におり曲げると同時に、発光素子と光導波路あるいは光導波路と受光素子との間を案内される光の相互間の光強度を調整可能であり、発光素子と光導波路との間、あるいは光導波路と受光素子の間で、相互に接続される光の強度が独立に設定できる。これにより、チャンネル毎の光強度が、概ね均一に設定できる。 That is, according to the above-described optical module, the optical module is provided in the optical path from the light emitting element to the optical waveguide, or from the optical waveguide to the light receiving element, and at the same time the optical path is bent at a predetermined angle, The light intensity between the light guided between the light receiving element and the light receiving element can be adjusted, and the intensity of the light connected between the light emitting element and the light waveguide or between the light waveguide and the light receiving element can be adjusted. Can be set independently. Thereby, the light intensity for each channel can be set substantially uniformly.
また、この発明は、発光素子から光導波路へ、あるいは光導波路から受光素子へ相互に案内される光の光路を所定の角度におり曲げるとともに、任意の角度に変位可能で、発光素子と光導波路あるいは光導波路と受光素子との間を案内される光の相互間の光強度を、所望の光強度に設置可能とする光接続方法である。 Further, the present invention bends the optical path of light guided from the light emitting element to the optical waveguide or from the optical waveguide to the light receiving element at a predetermined angle and can be displaced to an arbitrary angle. Or it is the optical connection method which makes it possible to install the light intensity between the light guided between the optical waveguide and the light receiving element at a desired light intensity.
すなわち、上述した光接続方法によれば、発光素子から光導波路へ、あるいは光導波路から受光素子へ相互に案内される光の光路を所定の角度におり曲げるとともに、任意の角度に変位可能としたので、チャンネル毎の光強度が、概ね均一に設定できる。 That is, according to the optical connection method described above, the optical path of light guided from the light emitting element to the optical waveguide or from the optical waveguide to the light receiving element is bent at a predetermined angle and can be displaced to an arbitrary angle. Therefore, the light intensity for each channel can be set almost uniformly.
また、この発明は、光が伝送される伝送路と、前記伝送路を伝送される光を受光し、または前記伝送路に光を供給する光素子と、前記光素子と前記伝送路との間に設けられ、前記光の向きを所定方向に変化可能な反射体と、前記反射体の向きを変更する駆動力を発生する反射体駆動機構と、を有することを特徴とする光接続装置を提供するものである。 The present invention also provides a transmission path through which light is transmitted, an optical element that receives light transmitted through the transmission path, or supplies light to the transmission path, and between the optical element and the transmission path. And a reflector driving mechanism that generates a driving force for changing the direction of the reflector, and is provided with a reflector that can change the direction of the light in a predetermined direction. To do.
すなわち、上述した光接続装置によれば、光素子と伝送路との間に設けられ、光の向きを所定方向に変化可能な反射体と、反射体の向きを変更する駆動力を発生する反射体駆動機構により、相互に接続される光の強度が独立に設定できる。これにより、チャンネル毎の光強度が、概ね均一に設定できる。 That is, according to the above-described optical connection device, the reflector that is provided between the optical element and the transmission path and can change the direction of the light in a predetermined direction, and the reflection that generates the driving force to change the direction of the reflector. The intensity of the light connected to each other can be set independently by the body drive mechanism. Thereby, the light intensity for each channel can be set substantially uniformly.
また、この発明は、基板と、前記基板に所定間隔で複数配列され、光を伝送可能な(複数の)光伝送媒体と、前記複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、前記複数の光伝送媒体と同数配置され、前記光伝送媒体が伝送すべき光を出力する(複数の)発光部材と、前記光伝送媒体と前記発光部材との間の光路に配置され、前記発光部材からの光を反射して前記光伝送媒体に入力する光結合素子と、前記光結合素子の向きを、前記発光部材からの光が前記光伝送媒体に入力される量(光強度)が所定の量(光強度)になるよう、任意の方向に設定する駆動機構と、を有することを特徴とする光接続装置を提供するものである。 Further, the present invention provides a substrate, a plurality of optical transmission media arranged on the substrate at a predetermined interval and capable of transmitting light, and the plurality of optical transmission media in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of optical transmission media extend. The light transmission medium is disposed in the same number as the light transmission medium, and the light transmission member outputs light to be transmitted by the light transmission medium, and is disposed in the optical path between the light transmission medium and the light emission member. An optical coupling element that reflects the light of the light and inputs the light into the optical transmission medium, and the direction of the optical coupling element, the amount of light (light intensity) input from the light emitting member to the optical transmission medium is a predetermined amount The present invention provides an optical connecting device characterized by having a drive mechanism that is set in an arbitrary direction so as to achieve (light intensity).
すなわち、上述した光接続装置によれば、所定間隔で複数配列された光伝送媒体と、複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、光伝送媒体と同数配置され、光伝送媒体が伝送すべき光を出力する発光部材と、光伝送媒体と発光部材との間のそれぞれの光路に配置され、個々の発光部材からの光を反射して光伝送媒体に入力する光結合素子と、光結合素子の向きを、発光部材からの光が前記光伝送媒体に入力される光強度が所定の光強度になるよう、任意の方向に設定する駆動機構とにより、複数チャンネルの光伝送媒体と発光部材とを光結合素子により結合する際に、チャンネル毎の光強度を、概ね均一に設定できる。 That is, according to the above-described optical connection device, the same number of optical transmission media are arranged in the direction orthogonal to the direction in which the plurality of optical transmission media are arranged at predetermined intervals and the plurality of optical transmission media extend, and the optical transmission media are transmitted. A light emitting member that outputs light to be transmitted, an optical coupling element that is disposed in each optical path between the light transmission medium and the light emitting member, reflects light from each light emitting member and inputs the light to the optical transmission medium, and light With a drive mechanism that sets the direction of the coupling element in an arbitrary direction so that the light intensity from which light from the light emitting member is input to the optical transmission medium becomes a predetermined light intensity, the multi-channel optical transmission medium and the light emission When the members are coupled by the optical coupling element, the light intensity for each channel can be set substantially uniformly.
また、この発明は、基板と、前記基板に所定間隔で複数配列され、光を伝送可能な(複数の)光伝送媒体と、前記複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、前記複数の光伝送媒体と同数配置され、前記光伝送媒体により伝送される光が入力される(複数の)受光素子と、前記光伝送媒体と前記受光部材との間の光路に配置され、前記受光部材に前記光伝送媒体からの光を入力する光結合素子と、前記光結合素子の向きを、前記光伝送媒体からの光が前記受光素子に入力される量(光強度)が所定の量(光強度)になるよう、任意の方向に設定する駆動機構と、を有することを特徴とする光接続装置を提供するものである。 Further, the present invention provides a substrate, a plurality of optical transmission media arranged on the substrate at a predetermined interval and capable of transmitting light, and the plurality of optical transmission media in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of optical transmission media extend. The light receiving medium is disposed in the same number as the optical transmission medium, and is disposed in the optical path between the optical transmission medium and the light receiving member, and the light receiving member to which light transmitted by the optical transmission medium is input. The optical coupling element that inputs light from the optical transmission medium, the direction of the optical coupling element, and the amount of light (light intensity) input from the optical transmission medium to the light receiving element is a predetermined amount (light And an optical connection device characterized by having a drive mechanism that is set in an arbitrary direction so that the strength becomes (strength).
すなわち、上述した光接続装置によれば、所定間隔で複数配列された光伝送媒体と、複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、光伝送媒体と同数配置され、光伝送媒体により伝送される光が入力される受光素子と、光伝送媒体と受光素子との間のそれぞれの光路に配置され、個々の光伝送媒体からの光を対応する受光素子に向けて反射して案内する光結合素子と、光結合素子の向きを、光伝送媒体からのが受光素子からに入力される際に所定の光強度になるよう、任意の方向に設定する駆動機構とにより、複数チャンネルの光伝送媒体と受光素子とを光結合素子により結合する際に、チャンネル毎の光強度を、概ね均一に設定できる。 That is, according to the above-described optical connection device, the same number of optical transmission media arranged in a predetermined interval and the same number as the optical transmission media are arranged in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of optical transmission media extend, and transmitted by the optical transmission media. Light that is input to the light receiving element, and light that is arranged in each optical path between the light transmission medium and the light receiving element, and reflects and guides the light from each optical transmission medium toward the corresponding light receiving element Multi-channel optical transmission by a coupling element and a drive mechanism that sets the direction of the optical coupling element in an arbitrary direction so that a predetermined light intensity is obtained when light from the optical transmission medium is input to the light receiving element. When the medium and the light receiving element are coupled by the optical coupling element, the light intensity for each channel can be set substantially uniformly.
また、この発明は、基板に所定間隔で複数配列された光を伝送可能な(複数の)光伝送媒体に、光伝送媒体が延びる方向と直交する方向から、光伝送媒体と同数の光伝送媒体が伝送すべき光を出力する(複数の)発光部材を配置し、光伝送媒体と発光部材との間の光路に発光部材からの光を反射して光伝送媒体に入力する光結合素子を設け、発光部材からの光が光伝送媒体に入力される量(光強度)が所定の量(光強度)になるよう、光結合素子の向きを所定の方向に設定する駆動機構により、光結合素子の向きを設定することを特徴とする結合効率を高めることのできる光接続方法である。 Further, the present invention provides the same number of optical transmission media as the optical transmission media from the direction orthogonal to the direction in which the optical transmission media extend to the (multiple) optical transmission media capable of transmitting a plurality of lights arranged on the substrate at predetermined intervals. A plurality of light emitting members that output light to be transmitted are arranged, and an optical coupling element that reflects light from the light emitting members and inputs the light to the optical transmission medium is provided in an optical path between the light transmission medium and the light emitting member The optical coupling element is driven by a drive mechanism that sets the direction of the optical coupling element in a predetermined direction so that the amount (light intensity) of light from the light emitting member input to the optical transmission medium becomes a predetermined amount (light intensity). This is an optical connection method capable of increasing the coupling efficiency, characterized by setting the direction of.
すなわち、上述した光接続方法によれば、所定間隔で複数配列された光伝送媒体と、複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、光伝送媒体と同数配置され、光伝送媒体が伝送すべき光を出力する発光部材と、光伝送媒体と発光部材との間のそれぞれの光路に配置され、個々の発光部材からの光を反射して光伝送媒体に入力する光結合素子と、光結合素子の向きを、発光部材からの光が前記光伝送媒体に入力される光強度が所定の光強度になるよう、任意の方向に設定する駆動機構とにより、複数チャンネルの光伝送媒体と発光部材とを光結合素子により結合する際に、チャンネル毎の光強度を、概ね均一に設定できる。チャンネル毎の光強度が、概ね均一に設定できる。 That is, according to the optical connection method described above, the same number of optical transmission media are arranged in a direction orthogonal to the direction in which a plurality of optical transmission media are arranged at predetermined intervals and the plurality of optical transmission media extend, and the optical transmission media are transmitted. A light emitting member that outputs light to be transmitted, an optical coupling element that is disposed in each optical path between the light transmission medium and the light emitting member, reflects light from each light emitting member and inputs the light to the optical transmission medium, and light With a drive mechanism that sets the direction of the coupling element in an arbitrary direction so that the light intensity from which light from the light emitting member is input to the optical transmission medium becomes a predetermined light intensity, the multi-channel optical transmission medium and the light emission When the members are coupled by the optical coupling element, the light intensity for each channel can be set substantially uniformly. The light intensity for each channel can be set almost uniformly.
また、この発明は、基板に所定間隔で複数配列された光を伝送可能な(複数の)光伝送媒体からの光が入力可能に、光伝送媒体が延びる方向と直交する方向から、光伝送媒体と同数の光伝送媒体により伝送される光を受光する(複数の)受光部材を配置し、光伝送媒体と受光部材との間の光路に光伝送媒体からの光を反射して受光部材に入力する光結合素子を設け、光伝送媒体からの光が受光部材に入力される量(光強度)が所定の量(光強度)になるよう、光結合素子の向きを所定の方向に設定する駆動機構により、光結合素子の向きを設定することを特徴とする結合効率を高めることのできる光接続方法である。 The present invention also provides an optical transmission medium from a direction orthogonal to the direction in which the optical transmission medium extends so that light from the (multiple) optical transmission media capable of transmitting a plurality of lights arranged on the substrate at predetermined intervals can be input. A plurality of light receiving members that receive the light transmitted by the same number of optical transmission media as the number of the optical transmission media, and reflect the light from the optical transmission media to the optical path between the optical transmission media and the light receiving member and input it to the light receiving members Driving to set the direction of the optical coupling element in a predetermined direction so that the amount (light intensity) of light from the optical transmission medium input to the light receiving member becomes a predetermined amount (light intensity) This is an optical connection method capable of increasing the coupling efficiency, characterized in that the orientation of the optical coupling element is set by a mechanism.
すなわち、上述した光接続方法によれば、所定間隔で複数配列された光伝送媒体と、複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、光伝送媒体と同数配置され、光伝送媒体により伝送される光が入力される受光素子と、光伝送媒体と受光素子との間のそれぞれの光路に配置され、個々の光伝送媒体からの光を対応する受光素子に向けて反射して案内する光結合素子と、光結合素子の向きを、光伝送媒体からのが受光素子からに入力される際に所定の光強度になるよう、任意の方向に設定する駆動機構とにより、複数チャンネルの光伝送媒体と受光素子とを光結合素子により結合する際に、チャンネル毎の光強度を、概ね均一に設定できる。チャンネル毎の光強度が、概ね均一に設定できる。 That is, according to the optical connection method described above, the same number of optical transmission media arranged in a predetermined interval and the same number as the optical transmission media are arranged in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of optical transmission media extend, and transmitted by the optical transmission media. Light that is input to the light receiving element, and light that is arranged in each optical path between the light transmission medium and the light receiving element, and reflects and guides the light from each optical transmission medium toward the corresponding light receiving element Multi-channel optical transmission by a coupling element and a drive mechanism that sets the direction of the optical coupling element in an arbitrary direction so that a predetermined light intensity is obtained when light from the optical transmission medium is input to the light receiving element. When the medium and the light receiving element are coupled by the optical coupling element, the light intensity for each channel can be set substantially uniformly. The light intensity for each channel can be set almost uniformly.
本発明によれば、多チャンネルの光モジュールにおいて、光導波路または光ファイバならびに発光素子もしくは受光素子を配置した以降に、それぞれのチャンネル毎に、接続損失が最小となるよう調整(調芯)可能であり、調整(組立)コストが、大幅に低減可能となる。 According to the present invention, in a multi-channel optical module, after arranging an optical waveguide or an optical fiber and a light emitting element or a light receiving element, it is possible to adjust (align) each channel so that the connection loss is minimized. Yes, the adjustment (assembly) cost can be greatly reduced.
また、本発明によれば、多チャンネルの光モジュールにおいて、個々のチャンネル毎に、光素子と光導波路との間の結合の程度が設定でき、アレイ化されたユニットを用いる場合に生じることの多い、特定のチャンネルにおいてのみ、大きな接続損失が生じることが防止される。 In addition, according to the present invention, in a multi-channel optical module, the degree of coupling between the optical element and the optical waveguide can be set for each individual channel, which often occurs when an arrayed unit is used. It is possible to prevent a large connection loss from occurring only in a specific channel.
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1および図2は、この発明の実施の形態が適用される光モジュールの一例を説明する概略図である。なお、図3は、図1および図2に示した光モジュールが発光素子と光ファイバとの接続に用いられる場合の光素子(VCSEL素子)を、図4は、同光モジュールが受光素子と光ファイバとの接続に用いられる場合の光素子(PDユニット)を、それぞれ示している。 1 and 2 are schematic views for explaining an example of an optical module to which the embodiment of the present invention is applied. 3 shows an optical element (VCSEL element) when the optical module shown in FIGS. 1 and 2 is used to connect a light emitting element and an optical fiber, and FIG. 4 shows an optical module in which the optical module is a light receiving element and an optical fiber. Optical elements (PD units) when used for connection with a fiber are shown.
図1および図2に示されるように、発光素子または受光素子と光導波路、たとえば光ファイバとを接続する光モジュール1は、たとえばシリコン(Si)あるいはガラス等からなる第1の基板11と基板11上にさらに積層された第2の基板12を有する。なお、両基板11,12は、一体に形成されてもよい。
As shown in FIGS. 1 and 2, an
第2の基板12の所定位置には、たとえば光ファイバである導波路部材が、複数本配列可能に形成された溝部12aと溝部12aと直交する方向に形成された凹部12bが形成されている。なお、溝部12aは、第1の基板11側すなわち厚さ方向の表面からの距離が大きくなるにつれて幅が狭くなるよう、たとえば「V」字状の断面に形成されている。また、溝部12aは、たとえば異方性ウエットエッチングやドライエッチング、あるいはダイシング(マシニング)により形成される。
At a predetermined position of the
第2の基板12の凹部12bには、反射面の角度が独立に変更可能に形成された、以下に説明する複数の可動ミラー20が、個々の溝部12aすなわち溝部12aに装着される光ファイバに対応して、設けられている。
In the
第2の基板12の所定位置であって、溝部12aと凹部12bと可動ミラー20により定義される光接続部12−1には、可動ミラー20に向けて光を出力する発光素子(VCSEL素子)または可動ミラー20からの光を受光する受光素子(PDユニット)がセットされるために利用されるスタットバンプ13が、複数設けられている。なお、光接続部12−1は、凹部12bに位置される可動ミラー20に対して光を入射させ、あるいはミラー20からの光を受光可能な位置である。また、スタットバンプ13は、たとえばはんだ、または金(Au)等が、たとえばワイヤボンディング、コーティング、溶融リフロー等の手法で形成される。
A light emitting element (VCSEL element) that outputs light toward the
スタットバンプ13には、図3に示したような、たとえば複数(任意数)の発光素子が一体に形成されたVCSEL素子14、あるいは図4に示したような、たとえば複数(任意数)の受光素子が一体に形成されたPDユニット15が固定される。なお、それぞれの素子において、スタットバンプ13と接触される部分は、たとえば電極または電極と同一工程において作成されるとともに、周囲および深さ方向で絶縁されているパット14−1または電極(パット)15−1である。
For example, a
また、VCSEL素子(発光素子)14、あるいはPDユニット(受光素子)15は、スタットバンプ13に対して、たとえばフリップチップ(ボンディングまたは実装と表現を伴うこともある)により実装される。
Further, the VCSEL element (light emitting element) 14 or the PD unit (light receiving element) 15 is mounted on the
可動ミラー20は、たとえば第2の基板12の凹部12bに設けられた支持部12−2に、図6ないし図8により後段に説明するような角度調整/固定機構ならびに図9により後段に説明するミラー支持機構を介して、溝部12aすなわちチャンネル数に応じた個数だけ配列されている。
The
図5は、図3により説明したVCSEL素子14の個々の発光部からの光が個々の可動ミラー20で反射される際の角度の影響を説明している。なお、図4により説明したPDユニット15に光ファイバ等の光導波路により伝達される光が供給される場合は、実質的に、逆であるから、その説明は省略する。
FIG. 5 explains the influence of the angle when the light from each light emitting part of the
たとえば、VCSEL14が4チャンネルであって、それぞれの発光部14a〜14dから出力される光の方向がα,β,γ,δである場合、対応される可動ミラー(便宜上、個々のミラー20に添え字α,β,γ,δを付記して識別する)の角度は、それぞれの光が対応する光軸O1〜O4上に一致されるよう、任意の方向に僅かに変化される。
For example, when the
なお、個々のミラー20α,20β,20γ,20δの角度は、それぞれ、独立して、2軸方向に変化されることはいうまでもない。 Needless to say, the angles of the individual mirrors 20α, 20β, 20γ, and 20δ are independently changed in the biaxial direction.
図6は、個々の可動ミラー20の角度を調整/固定可能な角度調整/固定機構の一例を説明している。
FIG. 6 illustrates an example of an angle adjustment / fixation mechanism that can adjust / fix the angle of each
図6に示されるように、角度調整/固定機構30は、ミラー20が固定される概ね矩形に形成されたミラー板31、ミラー板31の4隅と接続されるとともにミラー板31の各辺と概ね平行に延出された第1ないし第4の変形アーム(フレキシャ)31a〜31d、ミラー板31の面方向と平行に、かつ、ミラー板31に対して所定間隔で配列された第1ないし第4の駆動電極32a〜32dを含む。
As shown in FIG. 6, the angle adjustment /
なお、ミラー20は、たとえばミラー板31上に、別体で形成されたミラーであってもよいが、ミラー板31表面の所定の領域に反射率が所定の大きさよりも大きな金属がコーティングされることにより、ミラー板31と一体に形成されてもよい。また、ミラー20は、ミラー板31の材質が光を反射可能な材質である場合に、たとえば電解研磨等により(ミラー板31の)反射率が向上されるのみであってもよい。
The
駆動電極32a〜32dは、それぞれ通電量(印加される電圧または供給される電流)の大きさに従ってミラー板31との間に静電力を提供する。従って、たとえば光ファイバに向けて光を入力する光モジュールにおいては、図示しない光量モニタ装置を光ファイバの出力端側に設け、モニタされる光量が最大になるよう、任意の電極に供給される電圧または電流の大きさが設定されることにより、ミラー板31上の(もしくはミラー板31と一体に形成された)ミラー20の角度が変化される。なお、ミラー板31と各電極32a〜32dとの間隔Dは、フレキシャ31a〜31dの変形(たわみ)により変化されることはいうまでもない。
Each of the
以下、それぞれのミラー板31またはフレキシャ31a〜31dと電極32a〜32dあるいは第2の基板12の凹部12bに、図示しないが、光硬化性接着剤等が配置され、接着剤の硬化に適した所定波長の光が照射されることにより、フレキシャの変形量が保持される。すなわち、各ミラー20の角度が、調整された角度に固定される。
In the following, although not shown, a photo-curing adhesive or the like is arranged in each
図7は、可動ミラー20の角度を調整/固定可能な角度調整/固定機構の別の例を説明している。
FIG. 7 illustrates another example of an angle adjusting / fixing mechanism that can adjust / fix the angle of the
図7に示されるように、角度調整/固定機構40は、ミラー20が固定される概ね矩形に形成されたミラー板31、ミラー板31の4辺と接続されるとともに、(接続された)ミラー板31の各辺に対して概ね直交する方向に延出された第1ないし第4の変形アーム(フレキシャ)41a〜41d、ミラー板31の面方向と平行に、かつ、ミラー板31に対して所定間隔で配列された第1ないし第4の駆動電極42a〜42dを含む。
As shown in FIG. 7, the angle adjustment /
なお、ミラー20は、図6により前に説明したと同様に、ミラー板31と一体、あるいはミラー板31そのものであってもよい。
The
駆動電極42a〜42dは、それぞれ通電量(印加される電圧または供給される電流)の大きさに従ってミラー板31との間に静電力を提供する。従って、図6により説明した同様に、光ファイバの端部で光量をモニタし、光量が最大になるよう、任意の電極に供給される電圧または電流の大きさが設定されることにより、ミラー板31(すなわちミラー20)の角度が変化される。
Each of the
なお、フレキシャ41a〜41dには、それぞれ、予め決められた大きさの電力が供給されることにより溶断するバイメタルにより形成された固定部41−1〜41−nが一体に形成されている。また、個々のバイメタル41−1〜41−nには対向して、通電電極43a〜43dが、たとえば駆動電極42a〜42dと同一の面に形成されている。
Each of the
この構造(すなわち通電電極とバイメタル)により、それぞれのミラー板31(すなわちミラー20)の角度が調整された時点で、通電電極43a〜43dに所定の電力が供給されることで、通電電極と接触されているバイメタル(固定部)41−1〜41−nが溶断される。従って、個々のフレキシャ41a〜41dの変形量が保持された状態でミラー板31が固定される。すなわち、各ミラー20の角度が、調整された角度に固定される。
With this structure (that is, the energizing electrode and the bimetal), when the angle of each mirror plate 31 (that is, the mirror 20) is adjusted, predetermined power is supplied to the energizing
図8は、可動ミラー20の角度を調整/固定可能な角度調整/固定機構の別の例を説明している。
FIG. 8 illustrates another example of an angle adjusting / fixing mechanism capable of adjusting / fixing the angle of the
図8に示されるように、角度調整/固定機構50は、ミラー20が固定される概ね矩形に形成されたミラー板31、ミラー板31の4隅と接続されるとともに、ミラー板31の各辺と概ね平行に延出された第1ないし第4のアクチュエータ51a〜51dを含む。
As shown in FIG. 8, the angle adjustment /
なお、ミラー20は、図6により前に説明したと同様に、ミラー板31と一体、あるいはミラー板31そのものであってもよい。
The
個々のアクチュエータ51a〜51dは、それぞれ、通電量(印加される電圧もしくは供給される電流)の大きさに従って延びる(熱変形する)ホットアーム51−1とホットアーム51−1の両側に、ホットアーム51−1と少なくとも一点が接続されている固定部(コールドアーム)51−2が設けられたマイクロアクチュエータである。すなわち、電力が供給されたアクチュエータのホットアームが延びることにより、ミラー板31が、任意の方向に傾けられる。従って、図6により説明した同様に、光ファイバの端部で光量をモニタし、光量が最大になるよう、任意のアクチュエータに供給される電圧または電流の大きさが設定されることにより、ミラー板31(すなわちミラー20)の角度が変化される。
Each of the
また、図8に示した角度調整/固定機構50によれば、たとえば図8(b)に示すように、基板12またはそれに準じる絶縁層(52)に対し、図示しないパターンが与えられたパターン電極を含む電源ライン53を形成し、図示しないスルーホール等により個々のアクチュエータ51a〜51dのホットアーム51−1に電力を供給できる。これにより、多チャンネル化に際して、実装密度を高めることができる。
Further, according to the angle adjusting /
以下、それぞれのミラー板31またはアクチュエータ51a〜51dと第2の基板12の凹部12bに、図示しないが、光硬化性接着剤等が配置され、接着剤の硬化に適した所定波長の光が照射されることにより、フレキシャの変形量が保持される。すなわち、各ミラー20の角度が、調整された角度に固定される。
In the following, although not shown, a photocurable adhesive or the like is disposed in each
なお、マイクロアクチュエータは、ホットアーム51−1とコールドアーム51−2を用いる周知の加熱方式以外であってもよく、図示しないが、櫛歯状の電極と電極相互間に作用する静電力を用いる静電型であってもよい。 Note that the microactuator may be other than the well-known heating method using the hot arm 51-1 and the cold arm 51-2. Although not shown, the microactuator uses an electrostatic force acting between the comb-shaped electrodes and the electrodes. It may be an electrostatic type.
図9は、可動ミラー20を図6ないし図8により説明したミラー板とともに所定角度で保持するミラー保持機構の構成の一例およびその動作を説明している。
FIG. 9 illustrates an example of the configuration of a mirror holding mechanism that holds the
図9(a)に示されるように、ミラー保持機構60は、ミラー20が固定される概ね矩形に形成されたミラー支持板61、ミラー支持板61と基板12を、加熱されることにより接続角度が変化可能にミラー支持板61の4辺のうちの基板12と接する辺に設けられたはんだボール62、ミラー支持板61の背面に対してスライド可能に、ミラー支持板61と接触され、ミラー支持板61と基板12との間の角度が変化されることにより接触位置が変化される角度規制部材63を含む。なお、ミラー支持板61の背面の所定位置には、ミラー支持板61と基板12とのなす角が変化される際の変化量を制限するストッパ61aが設けられている。
As shown in FIG. 9A, the
なお、ミラー20は、図6ないし図8により前に説明した角度調整/固定機構30,同40または同50を介して、ミラー支持板61に固定されている。従って、ミラー20の反射面は、図9(a)において基板12側に向けられる。
The
はんだボール62は、周知のはんだのセルフアライメント機能を有する。従って、図9(b)に模式的に示すように、加熱によりはんだボール62が溶融した際に生じる接触角(濡れ性)の変化を利用してミラー支持板61の角度を、ストッパ61aの位置と角度規制部材63の長さとにより、任意に設定できる。なお、ミラー支持板61と基板12との間の角度は、たとえば45°あるいは135°に設定される。また、はんだ(はんだボール62)の材質としては、たとえばSn63Pb37、融点183℃の鉛すず共晶はんだが利用可能である。
The
なお、図9に示した方法によれば、はんだボール62に供給される熱が停止された時点で、ミラー支持板61の角度が所定の角度に設定されるので、図1により説明した第2の基板12における凹部12bに位置されるミラー20を所定の角度で保持する機構が簡略化できる。また、基板12とミラー支持板61に設けられるはんだパットの大きさや、供給されるはんだの量(はんだボールの体積)を制御することにより、ストッパおよび角度規制部材を省略することも可能である。
According to the method shown in FIG. 9, the angle of the
図10は、図6ないし図8に示したミラー板すなわち光結合に用いられるミラーの角度を設定するとともに図9に示したミラー保持機構の動作に用いられるミラー制御部の一例を示している。 FIG. 10 shows an example of the mirror controller used for setting the angle of the mirror plate shown in FIGS. 6 to 8, ie, the mirror used for optical coupling, and used for the operation of the mirror holding mechanism shown in FIG.
ミラー制御部70は、ミラー板31(図6ないし図8参照)に固定されたミラー20を介して入射される光素子14からの光すなわちレーザビームを検出する光検出器71、光検出器71の出力に基づいてミラー板のフレキシャまたはホットアーム(以下、駆動系と略称する)を変形させるために、対応する駆動電極に供給すべき電流または電圧の大きさを設定する制御回路72、制御回路72により設定された大きさの電流または電圧を駆動系に供給する駆動回路73を有する。なお、駆動回路73には、図9に示したミラー保持機構60のミラー支持部61の角度を設定するための加熱装置80も接続されている。
The
ミラー制御部70においては、たとえば光ファイバを介して光検出器71に案内された光の強度が光検出機71により出力される。なお、光検出器71は、たとえばI/V変換器(A/Dコンバータ)等が一体に組み込まれ、その出力が制御回路72に直接入力可能である。
In the
制御回路72に入力された光検出器71の出力は、たとえば制御回路72のファームとして予め保持されているシーケンスに従って、順次、駆動系に供給される電流または電圧が変化されることに対応するミラー20の角度と関連づけられる。以下、制御回路72における判定または図示しない外部からの入力(設定指示)に基づいて、たとえば光検出器71の出力が最大になるように、駆動系に、所定の電流または電圧が供給される。また、たとえば各チャンネルの出力に差が認められる場合には、個々のチャンネルの出力が所定の範囲内になるよう、それぞれのチャンネルのミラーの角度を変更可能に、駆動回路73から出力される電流値または電圧値が所定の大きさになるよう、制御回路72から制御量が指示される。
The output of the
なお、光モジュール1が組み立てられる際には、駆動回路73から、ミラー保持機構のミラー支持板61を、光路すなわち光素子と光ファイバ(または光導波路)とを光学的に接続可能に、制御回路72の制御により角度規制部材63の固定に用いられているはんだボール62を加熱するための所定の熱エネルギーが加熱装置80から出力される。
When the
また、図10に示したミラー制御部70においては、光素子が発光素子(VCSEL素子)14である場合を例に説明したが、光素子が受光素子(PDユニット)15である場合には、光検出器71からの出力に代えてPDユニット15の任意の素子から出力される出力信号を制御回路72に入力し、光導波路または光ファイバから光を入力すればよい。
In the
図11は、図1および図2により前に説明したこの発明の実施形態である光モジュールの別の一例を説明する概略図である。なお、図1および図2に示した光モジュールと同様に、光ファイバに対して接続される光素子は、発光素子(VCSEL素子)および受光素子(PDユニット)のいずれであってもよいことはいうまでもない。 FIG. 11 is a schematic diagram illustrating another example of the optical module according to the embodiment of the present invention described above with reference to FIGS. 1 and 2. As in the optical module shown in FIGS. 1 and 2, the optical element connected to the optical fiber may be either a light emitting element (VCSEL element) or a light receiving element (PD unit). Needless to say.
図11に示されるように、発光素子または受光素子と光導波路、たとえば光ファイバとを接続する光モジュール101は、たとえばシリコン(Si)あるいはガラス等からなる第1の基板111と第1の基板111に対向された第2の基板112を有する。なお、便宜的に4チャンネルの例を示し、各チャンネルに独立して設けられる構成には、「α」,「β」,「γ」,「δ」を付記して識別する。
As shown in FIG. 11, an
第1の基板111の所定位置(すなわち第1の基板111と第2の基板112との間)には、たとえば光ファイバである導波路部材113(α,β,γ,δ)、発光素子(VCSEL素子)または受光素子(PDユニット)である光素子114、導波路部材113(α,β,γ,δ)と光素子114と間の光路の所定の位置に設けられたマイクロレンズアレイ115および導波路部材113(α,β,γ,δ)と光素子114とを光学的に結合するミラー120(α,β,γ,δ)が設けられている。なお、ミラー120αが第2の基板112に隠れている状態が示されている。また、マイクロレンズアレイ115は、個々のチャンネルに対応して設けられた詳述しないマイクロレンズが一体的に形成されたアレイ状レンズである。
In a predetermined position of the first substrate 111 (that is, between the
たとえば発光素子(VCSEL素子)114からの光(レーザビーム)は、図11に示す例では、ミラー120(α,β,γ,δ)によりそれぞれ反射され、マイクロレンズアレイ115の個々のレンズにより、対応する光ファイバ113(α,β,γ,δ)に入射される。
For example, in the example shown in FIG. 11, light (laser beam) from the light emitting element (VCSEL element) 114 is reflected by the mirror 120 (α, β, γ, δ), respectively, and by the individual lenses of the
このように、任意数のチャンネルに対して設けられた光素子と光導波路(光ファイバ)とを光学的に接続する際に、それぞれのチャンネルに対応して設けられ、角度が変更可能な可動ミラーを用いることにより、各チャンネルの光ファイバ(光導波路)に入力される光の強度をチャンネル毎に設定できる。また、各チャンネルの光ファイバ(光導波路)と組み合わせられるレンズの位置精度にばらつきがあったとしても、チャンネル毎にミラーの角度を調整することにより、チャンネル間のばらつきを所定の範囲内に収めることができる。 Thus, when optical elements and optical waveguides (optical fibers) provided for an arbitrary number of channels are optically connected, movable mirrors are provided corresponding to the respective channels and the angle can be changed. By using, the intensity of light input to the optical fiber (optical waveguide) of each channel can be set for each channel. Even if the position accuracy of the lens combined with the optical fiber (optical waveguide) of each channel varies, the variation between channels can be kept within a predetermined range by adjusting the mirror angle for each channel. Can do.
以上説明したように本発明によれば、光導波路または光ファイバと、発光素子もしくは受光素子との光接続に利用することで、接続損失の少ない高精度の接続が可能となる。 As described above, according to the present invention, high-accuracy connection with low connection loss can be achieved by using for optical connection between an optical waveguide or an optical fiber and a light emitting element or a light receiving element.
また、本発明によれば、多チャンネルの光モジュールにおいて、光導波路または光ファイバならびに発光素子もしくは受光素子を配置した以降に、それぞれのチャンネル毎に、接続損失が最小となるよう調整(調芯)可能であり、調整(組立)コストが、大幅に低減可能となる。 Further, according to the present invention, in the multi-channel optical module, after the optical waveguide or the optical fiber and the light emitting element or the light receiving element are arranged, the adjustment is performed so that the connection loss is minimized for each channel (alignment). The adjustment (assembly) cost can be greatly reduced.
さらに、本発明によれば、多チャンネルの光モジュールにおいて、個々のチャンネル毎に、光素子と光導波路との間の結合の程度が設定でき、アレイ化されたユニットを用いる場合に生じることの多い、特定のチャンネルにおいてのみ、大きな接続損失が生じることが防止される。 Furthermore, according to the present invention, in a multi-channel optical module, the degree of coupling between the optical element and the optical waveguide can be set for each individual channel, which often occurs when an arrayed unit is used. It is possible to prevent a large connection loss from occurring only in a specific channel.
なお、この発明は、前記各実施の形態に限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々な変形もしくは変更が可能である。また、各実施の形態は、可能な限り適宜組み合わせて実施されてもよく、その場合、組み合わせによる効果が得られる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications or changes can be made without departing from the scope of the invention when it is implemented. Moreover, each embodiment may be implemented in combination as appropriate as possible, and in that case, the effect of the combination can be obtained.
また、この発明の光接続装置は、たとえば128チャンネル、64チャンネルもしくは32チャンネル等の周知のさまざまな光モジュールに利用可能であり、特にアレイ導波路を用いる光モジュールにおいては、その大きさおよびコストを低減可能である。 The optical connecting device of the present invention can be used for various well-known optical modules such as 128 channels, 64 channels, or 32 channels. Especially, in an optical module using an arrayed waveguide, its size and cost are reduced. It can be reduced.
1…光モジュール、11…第1の基板、12…第2の基板、12a…溝部、12b…凹部、12−1…光接続部、13…スタットバンプ、14…発光素子(光素子)、15…受光素子(光素子)、20…可動ミラー、30…角度調整/固定機構、31…ミラー板、31a〜31d…変形アーム(フレキシャ)、32a〜32d…駆動電極、40…角度調整/固定機構、41a〜41d…変形アーム(フレキシャ)、41−1〜41−n…バイメタル、42a〜42d…駆動電極、43a〜43d…通電電極、50…角度調整/固定機構、51a〜51d…マイクロアクチュエータ、51−1…ホットアーム、51−2…コールドアーム、60…ミラー保持機構、61…ミラー支持板、61a…ストッパ、62…はんだボール、63…角度規制部材、70…ミラー制御部、71…光検出器、72…制御回路、73…駆動回路、80…加熱装置、101…光モジュール、111…第1の基板、112…第2の基板、113…導波路部材(光ファイバ)、114…光素子(受光素子または発光素子)、115…マイクロレンズアレイ、120…可動ミラー。
DESCRIPTION OF
Claims (20)
この光導波路により伝搬すべき光を出力可能な複数の発光素子、または前記光導波路を伝搬される光を受光可能な複数の受光素子の少なくとも一方を含む光素子と、
この光素子と前記光導波路との間の所定の位置に設けられ、前記光素子のうちの任意の1つと、その任意の1つの光素子に対応される前記光導波路のうちの任意の1つを光学的に接続可能であって、かつ、前記光素子のうちの所定個数と、それぞれの光素子に対応される所定個数の前記光導波路とを、一括して光学的に接続可能な光接続機構と、
を有することを特徴とする光モジュール。 A plurality of optical waveguides each capable of propagating light; and
An optical element including at least one of a plurality of light emitting elements capable of outputting light to be propagated by the optical waveguide, or a plurality of light receiving elements capable of receiving light propagated through the optical waveguide;
Arbitrary one of the optical elements and any one of the optical waveguides corresponding to the arbitrary one optical element provided at a predetermined position between the optical element and the optical waveguide An optical connection that can optically connect a predetermined number of the optical elements and a predetermined number of the optical waveguides corresponding to the optical elements in a lump. Mechanism,
An optical module comprising:
前記伝送路を伝送される光を受光し、または前記伝送路に光を供給する光素子と、
前記光素子と前記伝送路との間に設けられ、前記光の向きを所定方向に変化可能な反射体と、
前記反射体の向きを変更する駆動力を発生する反射体駆動機構と、
を有することを特徴とする光接続装置。 A transmission path through which light is transmitted;
An optical element that receives light transmitted through the transmission path or supplies light to the transmission path;
A reflector that is provided between the optical element and the transmission path and capable of changing the direction of the light in a predetermined direction;
A reflector driving mechanism for generating a driving force for changing the direction of the reflector;
An optical connection device comprising:
前記基板に所定間隔で複数配列され、光を伝送可能な光伝送媒体と、
前記複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、前記複数の光伝送媒体と同数配置され、前記光伝送媒体が伝送すべき光を出力する発光部材と、
前記光伝送媒体と前記発光部材との間の光路に配置され、前記発光部材からの光を反射して前記光伝送媒体に入力する光結合素子と、
前記光結合素子の向きを、前記発光部材からの光が前記光伝送媒体に入力される量が所定の量になるよう、任意の方向に設定する駆動機構と、
を有することを特徴とする光接続装置。 A substrate,
A plurality of optical transmission media arranged on the substrate at predetermined intervals and capable of transmitting light;
A light emitting member that is arranged in the same number as the plurality of optical transmission media in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of optical transmission media extends, and that outputs light to be transmitted by the optical transmission media;
An optical coupling element that is disposed in an optical path between the light transmission medium and the light emitting member, reflects light from the light emitting member and inputs the light to the light transmission medium;
A drive mechanism for setting the direction of the optical coupling element in an arbitrary direction so that the amount of light input from the light emitting member to the optical transmission medium is a predetermined amount;
An optical connection device comprising:
前記基板に所定間隔で複数配列され、光を伝送可能な光伝送媒体と、
前記複数の光伝送媒体が延びる方向と直交する方向に、前記複数の光伝送媒体と同数配置され、前記光伝送媒体により伝送される光が入力される受光素子と、
前記光伝送媒体と前記受光部材との間の光路に配置され、前記受光部材に前記光伝送媒体からの光を入力する光結合素子と、
前記光結合素子の向きを、前記光伝送媒体からの光が前記受光素子に入力される量が所定の量になるよう、任意の方向に設定する駆動機構と、
を有することを特徴とする光接続装置。 A substrate,
A plurality of optical transmission media arranged on the substrate at predetermined intervals and capable of transmitting light;
A light receiving element that is arranged in the same direction as the plurality of optical transmission media in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of optical transmission media extends, and that receives light transmitted by the optical transmission medium;
An optical coupling element that is disposed in an optical path between the light transmission medium and the light receiving member, and that inputs light from the light transmission medium to the light receiving member;
A driving mechanism for setting the direction of the optical coupling element in an arbitrary direction so that the amount of light input from the optical transmission medium to the light receiving element is a predetermined amount;
An optical connection device comprising:
光伝送媒体と発光部材との間の光路に発光部材からの光を反射して光伝送媒体に入力する光結合素子を設け、
発光部材からの光が光伝送媒体に入力される量が所定の量になるよう、光結合素子の向きを所定の方向に設定する駆動機構により、光結合素子の向きを設定することを特徴とする結合効率を高めることのできる光接続方法。 A light emitting member that outputs light to be transmitted by the same number of optical transmission media as the optical transmission media from a direction orthogonal to the direction in which the optical transmission media extend to an optical transmission medium capable of transmitting a plurality of lights arranged on the substrate at predetermined intervals And place
An optical coupling element that reflects light from the light emitting member and inputs it to the optical transmission medium is provided in the optical path between the optical transmission medium and the light emitting member,
The direction of the optical coupling element is set by a drive mechanism that sets the direction of the optical coupling element in a predetermined direction so that the amount of light input from the light emitting member to the optical transmission medium becomes a predetermined amount. An optical connection method capable of increasing the coupling efficiency.
光伝送媒体と受光部材との間の光路に光伝送媒体からの光を反射して受光部材に入力する光結合素子を設け、
光伝送媒体からの光が受光部材に入力される量が所定の量になるよう、光結合素子の向きを所定の方向に設定する駆動機構により、光結合素子の向きを設定することを特徴とする結合効率を高めることのできる光接続方法。 Light from an optical transmission medium capable of transmitting a plurality of lights arranged on the substrate at a predetermined interval can be input, and is transmitted by the same number of optical transmission media as the optical transmission medium from a direction orthogonal to the direction in which the optical transmission medium extends. A light receiving member that receives light;
An optical coupling element that reflects light from the optical transmission medium and inputs it to the light receiving member is provided in the optical path between the optical transmission medium and the light receiving member;
The direction of the optical coupling element is set by a drive mechanism that sets the direction of the optical coupling element in a predetermined direction so that the amount of light input from the optical transmission medium to the light receiving member becomes a predetermined amount. An optical connection method capable of increasing the coupling efficiency.
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