JP2005215644A - 光モジュールおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 マイクロレンズアレイと光ファイバを挿入し固定する凹所とのアライメント精度に優れた光モジュールを提供する。
【解決手段】 マイクロレンズアレイ27と光ファイバを挿入し固定する凹所28とのアライメント精度に優れた光モジュール20が、以下のようにして製造される。透明基板21の一方の面21a上にネガ型感光層22を形成し、他方の面21b上にポジ型感光層23を形成する。ネガ型感光層22の側に、ネガ型感光層22から離間して遮光マスク24を配置し、遮光マスク24を通してネガ型感光層22およびポジ型感光層23に対して光源25から光を照射して露光する。露光後、ネガ型感光層22を現像してマイクロレンズアレイ27を形成し、ポジ型感光層23を現像して凹所28を形成する。
【選択図】 図3
Description
透明基板の一方の面上にネガ型感光層を形成する工程と、
透明基板の他方の面上にポジ型感光層を形成する工程と、
ネガ型感光層またはポジ型感光層のいずれか1つの感光層の側に、感光層から離間して遮光マスクを配置する工程と、
遮光マスクを通してネガ型感光層およびポジ型感光層に対して光を照射して露光する工程と、
ネガ型感光層を現像してマイクロレンズアレイを形成する工程と、
ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程とを含むことを特徴とする光モジュールの製造方法である。
凹所が形成されたポジ型感光層を加熱処理する工程を含むことを特徴とする。
凹所が形成されたポジ型感光層を備える透明基板の他方の面をエッチングして透明基板に凹所を形成する工程を含むことを特徴とする。
マイクロレンズアレイが形成されたネガ型感光層を備える透明基板の一方の面をエッチングして透明基板にマイクロレンズアレイを形成する工程を含むことを特徴とする。
ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程の後に、凹所が形成されたポジ型感光層を備える透明基板の他方の面をエッチングして透明基板に凹所を形成する工程とを含むことを特徴とする。
マイクロレンズアレイがネガ型感光材料からなり、
凹所が形成される部材がポジ型感光材料からなり、
マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズと、マイクロレンズに対応する凹所とがアライメントされていることを特徴とする光モジュールである。
Inductively Coupled Plasma:略称ICP)などのドライエッチング法で実現できる。
21 透明基板
22 ネガ型感光層
23,42 ポジ型感光層
24 遮光マスク
25 光源
27,56 マイクロレンズアレイ
28,41,51 凹所
29 光ファイバ
Claims (8)
- 透明基板の一方の面側にマイクロレンズアレイが形成され、透明基板の一方の面に対向する反対側の面である他方の面側に、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズに対応するように光ファイバを挿入する凹所が形成された光モジュールの製造方法において、
透明基板の一方の面上にネガ型感光層を形成する工程と、
透明基板の他方の面上にポジ型感光層を形成する工程と、
ネガ型感光層またはポジ型感光層のいずれか1つの感光層の側に、感光層から離間して遮光マスクを配置する工程と、
遮光マスクを通してネガ型感光層およびポジ型感光層に対して光を照射して露光する工程と、
ネガ型感光層を現像してマイクロレンズアレイを形成する工程と、
ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程とを含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。 - ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程の後に、
凹所が形成されたポジ型感光層を加熱処理する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の光モジュールの製造方法。 - ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程の後に、
凹所が形成されたポジ型感光層を備える透明基板の他方の面をエッチングして透明基板に凹所を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の光モジュールの製造方法。 - ネガ型感光層を現像してマイクロレンズアレイを形成する工程の後に、
マイクロレンズアレイが形成されたネガ型感光層を備える透明基板の一方の面をエッチングして透明基板にマイクロレンズアレイを形成する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の光モジュールの製造方法。 - ネガ型感光層を現像してマイクロレンズアレイを形成する工程の後に、マイクロレンズアレイが形成されたネガ型感光層を備える透明基板の一方の面をエッチングして透明基板にマイクロレンズアレイを形成する工程と、
ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程の後に、凹所が形成されたポジ型感光層を備える透明基板の他方の面をエッチングして透明基板に凹所を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項1記載の光モジュールの製造方法。 - ポジ型感光層を現像して凹所を形成する工程と、ネガ型感光層を現像してマイクロレンズアレイを形成する工程とにおいて用いられる現像液が、アルカリ性現像液であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の光モジュールの製造方法。
- 透明基板の一方の面側に形成されるマイクロレンズアレイと、透明基板の一方の面に対向する反対側の面である他方の面側に、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズに対応するように形成される凹所と、凹所に挿入して固定される光ファイバとを備える光モジュールにおいて、
マイクロレンズアレイがネガ型感光材料からなり、
凹所が形成される部材がポジ型感光材料からなり、
マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズと、マイクロレンズに対応する凹所とがアライメントされていることを特徴とする光モジュール。 - 凹所が形成される部材は、
凹所に臨む部分のコーナが、曲率を有することを特徴とする請求項7記載の光モジュール。
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