JP2005204415A - Detector and motor bearing abrasion detector - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bearing abrasion detector which detects the abrasion of a bearing, eliminating the influence due to the temperature of detecting coils A, R1, R2, R3, by detecting the position of a rotor in the state of operation stop of a canned motor and adjusting the zero point. <P>SOLUTION: A stator is provided with the detecting coils A, R1, R2, R3. This abrasion detector applies a high frequency signal, where DC at the same value as the effective value of a sine wave is superposed on this sine wave, from a high frequency power source 62 to the detecting coils A, R1, R2, R3. This detects a sine wave signal by means of sine wave signal detecting means 66 and 76, from the output of the detecting coils A, R1, R2, R3 where high frequency signals are applied, and detects DC resistance values with DC resistance value detecting means 67 and 77. This detects the inductance of the detecting coils A, R1, R2, R3 being obtained by subtracting the amount of the DC resistance value from the detected sine wave signal, by means of an inductance detection means 82. This detects the axial position of the rotor from the inductance of the detecting coils A, R1, R2, R3, by means of an axial position detecting means 83, and detects the radial position of the rotor by means of a radial position detecting means 84. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、検出コイルのインダクタンスを検出する検出装置、およびモータの軸受摩耗を検出する軸受摩耗検出装置に関する。   The present invention relates to a detection device that detects the inductance of a detection coil and a bearing wear detection device that detects bearing wear of a motor.

従来、キャンドモータは、主としてポンプ駆動用に採用されており、例えばキャンドモータポンプの場合には、キャンドモータとポンプとが一体構造の液漏れが無い構造となっているため、内部の状態は目視で監視することができない。ポンプの羽根車を回転駆動するキャンドモータの回転子はポンプ取扱液で潤滑される軸受で支承されていることが多いが、このキャンドモータを効率よく運転するには軸受の摩耗状態を外部から監視する必要がある。   Conventionally, a canned motor has been mainly used for driving a pump. For example, in the case of a canned motor pump, the canned motor and the pump have a structure in which there is no liquid leakage. Cannot be monitored. The rotor of the canned motor that rotates the impeller of the pump is often supported by a bearing that is lubricated with the pump handling liquid. To efficiently operate this canned motor, the wear state of the bearing is monitored from the outside. There is a need to.

そこで、キャンドモータの固定子の軸方向両端部に検出コイルを設け、運転時の回転子の回転によって両端部の検出コイルに誘起される電圧の差を比較することで、軸受に支承された回転子の軸方向位置を検出し、この回転子の軸方向位置から軸方向の軸受摩耗量を推測しようとした軸受摩耗検出装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   Therefore, by providing detection coils at both axial ends of the stator of the canned motor and comparing the difference in voltage induced in the detection coils at both ends by the rotation of the rotor during operation, rotation supported by the bearing There has been proposed a bearing wear detection device that detects the axial position of a rotor and tries to estimate the axial bearing wear amount from the axial position of the rotor (see, for example, Patent Document 1).

また、キャンドモータの固定子の180°間隔で対向する2つの歯部にそれぞれ歯部全周に巻回された2つの半径方向位置検出コイルを設けるとともに、これら半径方向検出コイルを基本波が互いに打ち消されるように直列に接続し、運転時の回転子の回転によって両半径方向位置検出コイルに誘起されて基本波が打ち消された電圧信号によって、軸受に支承された回転子の半径方向位置を検出し、この回転子の半径方向位置から半径方向の軸受摩耗量を推測しようとした軸受摩耗検出装置が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。   In addition, two radial position detection coils wound around the entire circumference of each tooth portion are provided on two tooth portions facing each other at 180 ° intervals of the stator of the canned motor, and the fundamental waves are mutually connected to the radial direction detection coils. Connected in series so as to cancel each other, and the radial position of the rotor supported by the bearing is detected by the voltage signal that is induced in both radial position detection coils by the rotation of the rotor during operation and the fundamental wave is canceled. Then, a bearing wear detection device has been proposed which tries to estimate the bearing wear amount in the radial direction from the radial position of the rotor (see, for example, Patent Document 2).

また、キャンドモータの回転子または回転軸に磁性体である位置検出用ターゲットを設けるとともに、この位置検出用ターゲットの外周位置に対応して固定子キャンの周囲に複数の検出コイルを周方向に間隔をあけて等間隔に設け、そして、キャンドモータの運転時に、検出コイルに高周波信号を印加し、この高周波信号が印加された検出コイルのインダクタンスを検出し、この検出コイルのインダクタンスの変化から回転子の軸方向位置および半径方向位置を検出する位置検出装置が提案されている(例えば、特許文献3、4参照。)。
特開平9−233769号公報(第3−4頁、図1−2) 特開2000−308312号公報(第3頁、図5) 特開平8−43010号公報(第6−9頁、第17頁、図1−4、図20) 特表2001−505310号公報(第21−23頁、図1−3)
In addition, a position detection target that is a magnetic material is provided on the rotor or rotation shaft of the can motor, and a plurality of detection coils are circumferentially spaced around the stator can corresponding to the outer peripheral position of the position detection target. The high frequency signal is applied to the detection coil during the operation of the canned motor, the inductance of the detection coil to which the high frequency signal is applied is detected, and the rotor is detected from the change in the inductance of the detection coil. A position detection device that detects the axial position and the radial position of the sensor has been proposed (for example, see Patent Documents 3 and 4).
JP-A-9-233769 (page 3-4, Fig. 1-2) Japanese Patent Laid-Open No. 2000-308312 (page 3, FIG. 5) JP-A-8-43010 (pages 6-9, 17 and FIGS. 1-4, 20) JP 2001-505310 A (pages 21-23, FIG. 1-3)

ところで、従来の軸受摩耗検出装置において、検出コイルに誘起される電圧から回転子の軸方向位置もしくは半径方向位置を正確に検出するには、検出コイルに誘起する電圧信号と軸受に支承された回転子の軸方向位置もしくは半径方向位置とを合わせる零点調整を必要としている。この零点調整は、キャンドモータの運転により回転子を回転させて検出コイルに電圧が誘起された状態で、キャンドモータの運転中に回転子を軸方向および半径方向に移動させるための調整用装置などによって回転する回転子を軸方向もしくは半径方の任意の位置に移動させ、この回転子の軸方向位置もしくは半径方向位置と検出コイルに誘起する電圧とを対応させている。   By the way, in the conventional bearing wear detection device, in order to accurately detect the axial position or radial position of the rotor from the voltage induced in the detection coil, the voltage signal induced in the detection coil and the rotation supported by the bearing are detected. Zero adjustment is required to match the axial position or radial position of the child. This zero point adjustment is an adjustment device for moving the rotor in the axial direction and the radial direction during the operation of the canned motor in a state where the rotor is rotated by the operation of the canned motor and the voltage is induced in the detection coil. Thus, the rotating rotor is moved to an arbitrary position in the axial direction or the radial direction, and the axial position or radial position of the rotor is made to correspond to the voltage induced in the detection coil.

そのため、零点調整が面倒で工数がかかるとともに、キャンドモータの運転中に回転子を軸方向もしくは半径方向に移動させるための調整用装置を必要とするために、零点調整が可能な設備を有する工場以外のキャンドモータの使用場所では零点調整が困難であり、キャンドモータの使用場所において軸受や回転子を交換したり、ガスケットの締め増しを伴う整備を必要とする場合には、キャンドモータを使用場所から工場に運び込んで零点調整しなければならない問題がある。   For this reason, the zero point adjustment is troublesome and takes time, and a factory having equipment capable of zero point adjustment is required because an adjustment device for moving the rotor in the axial direction or the radial direction during operation of the canned motor is required. If it is difficult to adjust the zero point at other locations where the canned motor is used, and the bearing or rotor needs to be replaced at the location where the canned motor is used, or if maintenance is required with additional gasket tightening, the location where the canned motor is used There is a problem that you have to bring it to the factory and adjust the zero point.

また、上述した位置検出装置では、運転停止時に零点調整する場合には位置検出用ターゲットの周方向位置を管理しないと零点調整ができず、また、ゲインが運転停止時と運転時とで大幅に異なるため正確な零点調整は困難であり、運転時に零点調整するほうが望ましい。しかしながら、運転時の零点調整に関しては従来の軸受摩耗検出装置と同様に上述の問題がある。   Further, in the above-described position detection device, when the zero point is adjusted when the operation is stopped, the zero point cannot be adjusted unless the circumferential position of the position detection target is managed, and the gain is greatly reduced between the operation stop and the operation. Since it is different, accurate zero adjustment is difficult, and it is desirable to adjust the zero during operation. However, the zero point adjustment during operation has the above-mentioned problem as in the conventional bearing wear detection device.

また、この位置検出装置では、検出コイルに高周波信号を印加し、この高周波信号が印加された検出コイルのインダクタンスを検出し、この検出コイルのインダクタンスの変化のみから回転子の軸方向位置および半径方向位置を検出しているため、例えばポンプ取扱液の温度、雰囲気温度およびモータ温度の変化によって検出コイルの直流抵抗値が変化したときに、この検出コイルの直流抵抗値の変化の影響を受けてインダクタンスが変化し、回転子の位置検知に誤差が生じる問題がある。   In this position detection device, a high-frequency signal is applied to the detection coil, the inductance of the detection coil to which the high-frequency signal is applied is detected, and the axial position and radial direction of the rotor are determined only from the change in the inductance of the detection coil. Because the position is detected, for example, when the DC resistance value of the detection coil changes due to changes in the temperature of the pump liquid, ambient temperature, and motor temperature, the inductance is affected by the change in the DC resistance value of the detection coil. Changes, and there is a problem that an error occurs in detecting the position of the rotor.

本発明は、このような点に鑑みなされたもので、検出コイルの温度による影響を排除して検出コイルの正確なインダクタンスを検出できる検出装置、および、運転停止状態のときに回転子の位置を検出できて零点調整ができ、しかも、検出コイルの温度による影響を排除して回転子の位置を正確に検出できるモータの軸受摩耗検出装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and a detection device capable of detecting the accurate inductance of the detection coil by eliminating the influence of the temperature of the detection coil, and the position of the rotor when the operation is stopped. It is an object of the present invention to provide a motor bearing wear detection device that can detect and adjust the zero point, and can accurately detect the position of the rotor by eliminating the influence of the temperature of the detection coil.

請求項1記載の検出装置は、検出コイルのインダクタンスを検出する検出装置において、この検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加する高周波信号印加手段と、高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段と、高周波信号が印加された検出コイルの出力から直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段と、前記正弦波信号検出手段で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段で検出された直流抵抗値分を除いた前記検出コイルのインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段とを具備しているものである。   The detection device according to claim 1, wherein the detection device detects an inductance of the detection coil, and applies a high frequency signal in which a direct current of the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on the sine wave to the detection coil. Application means, sine wave signal detection means for detecting a sine wave signal from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied, and DC resistance value detection means for detecting a DC resistance value from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied And inductance detecting means for detecting the inductance of the detection coil obtained by subtracting the DC resistance value detected by the DC resistance value detecting means from the sine wave signal detected by the sine wave signal detecting means. It is.

そして、この構成では、検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加し、この高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、これら検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた検出コイルのインダクタンスを検出するため、検出コイルの温度による影響を除き、検出コイルの正確なインダクタンスを検出可能になる。   In this configuration, a high frequency signal in which a direct current having the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on the sine wave is applied to the detection coil, and the sine wave signal and the output from the detection coil to which the high frequency signal is applied Detects the DC resistance value and detects the inductance of the detection coil by removing the DC resistance value from the detected sine wave signal. Therefore, it is possible to detect the exact inductance of the detection coil without the influence of the temperature of the detection coil. become.

請求項2記載のモータの軸受摩耗検出装置は、モータの固定子側に設けられた検出コイルと、この検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加する高周波信号印加手段と、高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段と、高周波信号が印加された検出コイルの出力から直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段と、前記正弦波信号検出手段で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段で検出された直流抵抗値分を除いた前記検出コイルのインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段と、前記検出コイルのインダクタンスから前記モータの回転子の軸方向位置を検出する軸方向位置検出手段とを具備しているものである。   A motor bearing wear detection device according to claim 2 is a high-frequency detection coil provided on the stator side of the motor, and a high frequency obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on the detection coil. A high frequency signal applying means for applying a signal, a sine wave signal detecting means for detecting a sine wave signal from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied, and a DC resistance value is detected from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied. DC resistance value detecting means for detecting, and inductance detecting means for detecting the inductance of the detection coil obtained by removing the DC resistance value detected by the DC resistance value detecting means from the sine wave signal detected by the sine wave signal detecting means, And an axial position detecting means for detecting the axial position of the rotor of the motor from the inductance of the detection coil.

そして、この構成では、モータの固定子側に設けられた検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加し、この高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、これら検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた検出コイルのインダクタンスを検出し、この検出コイルのインダクタンスからモータの回転子の軸方向位置を検出するため、モータの運転状態または運転停止状態にかかわらず回転子の軸方向位置が検出可能になり、そのため運転停止状態のときに回転子の軸方向位置を検出できて零点調整が可能になり、しかも、検出コイルの温度による影響を除くことで回転子の軸方向位置を正確に検出可能になる。   In this configuration, a high frequency signal obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on the sine wave is applied to the detection coil provided on the stator side of the motor, and the high frequency signal is applied. A sine wave signal and a direct current resistance value are detected from the output of the detection coil, respectively, and an inductance of the detection coil obtained by removing the direct current resistance value from the detected sine wave signal is detected, and the rotor of the motor is detected from the inductance of the detection coil. Because it detects the axial position of the rotor, the axial position of the rotor can be detected regardless of whether the motor is operating or stopped, so the rotor's axial position can be detected when the operation is stopped. Adjustment is possible, and the axial position of the rotor can be accurately detected by removing the influence of the temperature of the detection coil.

請求項3記載のモータの軸受摩耗検出装置は、モータの固定子側に設けられた検出コイルと、この検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加する高周波信号印加手段と、高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段と、高周波信号が印加された検出コイルの出力から直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段と、前記正弦波信号検出手段で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段で検出された直流抵抗値分を除いた前記検出コイルのインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段と、前記検出コイルのインダクタンスから前記モータの回転子の半径方向位置を検出する半径方向位置検出手段とを具備しているものである。   A motor bearing wear detection device according to claim 3 is a detection coil provided on the stator side of the motor, and a high frequency in which a direct current of the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on the detection coil. A high frequency signal applying means for applying a signal, a sine wave signal detecting means for detecting a sine wave signal from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied, and a DC resistance value is detected from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied. DC resistance value detection means for detecting, and inductance detection means for detecting the inductance of the detection coil obtained by removing the DC resistance value detected by the DC resistance value detection means from the sine wave signal detected by the sine wave signal detection means, And a radial position detecting means for detecting the radial position of the rotor of the motor from the inductance of the detection coil.

そして、この構成では、モータの固定子側に設けられた検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加し、高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、これら検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた検出コイルのインダクタンスを検出し、この検出コイルのインダクタンスからモータの回転子の半径方向位置を検出するため、モータの運転状態または運転停止状態にかかわらず回転子の半径方向位置が検出可能になり、そのため運転停止状態のときに回転子の半径方向位置を検出できて零点調整が可能になり、しかも、検出コイルの温度による影響を除くことで回転子の半径方向位置を正確に検出可能になる。   In this configuration, a high frequency signal in which a direct current having the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on a sine wave is applied to a detection coil provided on the stator side of the motor, and the high frequency signal is applied. A sine wave signal and a direct current resistance value are detected from the output of the coil, respectively, and an inductance of the detection coil obtained by removing the direct current resistance value from the detected sine wave signal is detected. From the inductance of the detection coil, the motor rotor is detected. Since the radial position is detected, the radial position of the rotor can be detected regardless of whether the motor is operating or stopped, so that the rotor's radial position can be detected when the operation is stopped and zero adjustment is performed. In addition, it is possible to accurately detect the radial position of the rotor by removing the influence of the temperature of the detection coil.

請求項1記載の検出装置によれば、検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加し、この高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、これら検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた検出コイルのインダクタンスを検出するため、検出コイルの温度による影響を除くことができ、検出コイルの正確なインダクタンスを検出できる。   According to the detection device of claim 1, a high frequency signal in which a direct current having the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on a sine wave is applied to the detection coil, and the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied. Since the sine wave signal and the DC resistance value are detected from the detected sine wave signal, and the detection coil inductance is detected by removing the DC resistance value from the detected sine wave signal, the influence of the temperature of the detection coil can be removed and detected. The exact inductance of the coil can be detected.

請求項2記載のモータの軸受摩耗検出装置によれば、モータの固定子側に設けられた検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加し、この高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、これら検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた検出コイルのインダクタンスを検出し、この検出コイルのインダクタンスからモータの回転子の軸方向位置を検出するため、モータの運転状態または運転停止状態にかかわらず回転子の軸方向位置が検出でき、そのため運転停止状態のときに回転子の軸方向位置を検出できて零点調整ができ、しかも、検出コイルの温度による影響を除くことで回転子の軸方向位置を正確に検出できる。   According to the bearing wear detecting device for a motor according to claim 2, a high frequency signal obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on a sine wave is applied to a detection coil provided on the stator side of the motor. Then, a sine wave signal and a direct current resistance value are detected from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied, and the inductance of the detection coil obtained by removing the direct current resistance value from the detected sine wave signal is detected. Since the axial position of the rotor of the motor is detected from the inductance of the detection coil, the axial position of the rotor can be detected regardless of whether the motor is operating or stopped. The direction position can be detected and the zero point can be adjusted, and the axial position of the rotor can be accurately detected by removing the influence of the temperature of the detection coil.

請求項3記載のモータの軸受摩耗検出装置によれば、モータの固定子側に設けられた検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加し、高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、これら検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた検出コイルのインダクタンスを検出し、この検出コイルのインダクタンスからモータの回転子の半径方向位置を検出するため、モータの運転状態または運転停止状態にかかわらず回転子の半径方向位置が検出でき、そのため運転停止状態のときに回転子の半径方向位置を検出できて零点調整ができ、しかも、検出コイルの温度による影響を除くことで回転子の半径方向位置を正確に検出できる。   According to the bearing wear detecting device for a motor according to claim 3, a high frequency signal obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on a sine wave is applied to a detection coil provided on the stator side of the motor. Then, a sine wave signal and a direct current resistance value are detected from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied, and the inductance of the detection coil obtained by removing the direct current resistance value from the detected sine wave signal is detected. Since the radial position of the rotor of the motor is detected from the inductance of the coil, the radial position of the rotor can be detected regardless of whether the motor is operating or stopped. The position can be detected, the zero point can be adjusted, and the radial position of the rotor can be accurately detected by removing the influence of the temperature of the detection coil.

以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図2において、11はキャンドモータポンプで、このキャンドモータポンプ11は、モータとしてのキャンドモータ12とポンプ13とが液密に一体に結合されて構成されている。   In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a canned motor pump. The canned motor pump 11 is constituted by a canned motor 12 as a motor and a pump 13 which are integrally coupled in a liquid-tight manner.

キャンドモータ12は、固定子鉄心14の固定子溝15に固定子巻線16が巻回されて構成される固定子17を有し、この固定子17が固定子枠18内に挿着されるとともに固定子17の内周面にステンレスなどの非磁性体で薄肉円筒状に形成された固定子キャン19が密着挿入され、この固定子キャン19の両端縁が固定子枠18に液密に溶着されている。固定子17と固定子枠18との間で固定子キャン19の周囲には固定子キャン19を補強する補強環20,21が装着されている。   The canned motor 12 has a stator 17 formed by winding a stator winding 16 in a stator groove 15 of a stator iron core 14, and the stator 17 is inserted into a stator frame 18. At the same time, a stator can 19 formed in a thin cylindrical shape with a non-magnetic material such as stainless steel is closely attached to the inner peripheral surface of the stator 17, and both end edges of the stator can 19 are welded to the stator frame 18 in a liquid-tight manner. Has been. Reinforcing rings 20 and 21 for reinforcing the stator can 19 are mounted between the stator 17 and the stator frame 18 around the stator can 19.

さらに、キャンドモータ12は、回転子鉄心22の回転子溝23に回転子導体24が装着されて構成される回転子25を有し、この回転子25が回転軸26に挿着され、回転子25の外周面にステンレスなどの非磁性体で薄肉円筒状に形成された回転子キャン27が被着されている。   Further, the canned motor 12 has a rotor 25 configured by mounting a rotor conductor 24 in a rotor groove 23 of the rotor core 22, and this rotor 25 is inserted into a rotating shaft 26, and the rotor A rotor can 27 formed of a non-magnetic material such as stainless steel and having a thin cylindrical shape is attached to the outer peripheral surface of 25.

そして、固定子17の内側に回転子25が挿入され、これら固定子17の固定子キャン19と回転子25の回転子キャン27とがキャン隙間28を介して対向配設されている。   A rotor 25 is inserted inside the stator 17, and a stator can 19 of the stator 17 and a rotor can 27 of the rotor 25 are disposed to face each other with a can gap 28 interposed therebetween.

また、固定子枠18にはポンプ13側である前側とその反対側である後側とに軸受箱31,32が取り付けられ、これら軸受箱31,32に回転軸26を回転可能に支承するすべり軸受である軸受33,34が装着されている。各軸受33,34には回転軸26を回転可能に支承するスリーブ35,36およびスラストカラー37,38が取り付けられている。すなわち、回転子25は、両スリーブ35,36を介して軸受33,34により回転可能に軸支され、軸方向には両スラストカラー37,38と軸受33,34とによって規制される。   The stator frame 18 is provided with bearing housings 31 and 32 on the front side which is the pump 13 side and the rear side which is the opposite side, and a slide which rotatably supports the rotating shaft 26 on the bearing housings 31 and 32. Bearings 33 and 34 which are bearings are mounted. Sleeves 35 and 36 and thrust collars 37 and 38 for rotatably supporting the rotary shaft 26 are attached to the bearings 33 and 34, respectively. That is, the rotor 25 is rotatably supported by the bearings 33 and 34 via both sleeves 35 and 36, and is restricted by the thrust collars 37 and 38 and the bearings 33 and 34 in the axial direction.

また、図2および図3に示すように、キャンドモータ12の固定子17の後側で、回転子25が内側に位置する容器41である補強環21の外周に沿って軸方向位置検出コイルAが巻回されている。この軸方向位置検出コイルAが巻回される位置は、回転子25の後側の端部の外周位置としている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the axial position detection coil A is disposed along the outer periphery of the reinforcing ring 21, which is a container 41 in which the rotor 25 is located inside, on the rear side of the stator 17 of the canned motor 12. Is wound. The position where the axial position detection coil A is wound is the outer peripheral position of the rear end of the rotor 25.

固定子17の固定子鉄心14が有する複数の歯部のうち120°の角度位置で等間隔に位置する3つの各歯部には、1歯部毎に軸方向の全周に亘って径方向位置検出コイルR1,R2,R3がそれぞれ巻回されている。   Of the plurality of tooth portions of the stator core 14 of the stator 17, three tooth portions positioned at equal intervals at an angular position of 120 ° are radially arranged over the entire circumference in the axial direction for each tooth portion. Position detection coils R1, R2, and R3 are wound respectively.

また、ポンプ13は、キャンドモータ12の固定子枠18に液密に取り付けられたケーシング51、およびこのケーシング51内で回転軸26に取り付けられた羽根車52を有している。ポンプ13内の羽根車52はスリーブ35,36を介して軸受33,34に支持された回転子25によって回転駆動され、軸方向にはスラストカラー37,38と軸受33,34とによって動きが制限されている。   The pump 13 also has a casing 51 that is liquid-tightly attached to the stator frame 18 of the canned motor 12 and an impeller 52 that is attached to the rotary shaft 26 in the casing 51. The impeller 52 in the pump 13 is rotationally driven by the rotor 25 supported by the bearings 33 and 34 via the sleeves 35 and 36, and its movement is restricted in the axial direction by the thrust collars 37 and 38 and the bearings 33 and 34. Has been.

次に、図1に軸受摩耗検出装置の回路図を示す。   Next, FIG. 1 shows a circuit diagram of the bearing wear detector.

61は軸受摩耗検出装置の制御回路で、この制御回路61に、軸方向位置検出コイルAの一方の端部、および各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の一方の端部がそれぞれ接続されている。軸方向位置検出コイルAの他方の端部および半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の他方の端部は共通端子に接地されている。   Reference numeral 61 denotes a control circuit for the bearing wear detection device, to which one end of the axial position detection coil A and one end of each of the radial position detection coils R1, R2, and R3 are respectively connected. ing. The other end of the axial position detection coil A and the other end of the radial position detection coils R1, R2, and R3 are grounded to a common terminal.

制御回路61に接続された軸方向位置検出コイルAの一方の端部には、高周波信号印加手段としての高周波電源62から、キャンドモータ12を駆動する電源周波数より高くかつキャンドモータ12の駆動によって回転子25の回転数と回転子25の溝数とに関連して発生する高調波信号より高い正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した交流信号である高周波信号が印加される。この軸方向位置検出コイルAの一方の端部は、高周波回路63を通じて同期検波器64に接続されているとともに、低周波回路65にそれぞれ接続されている。   One end of the axial position detection coil A connected to the control circuit 61 is rotated by a drive of the canned motor 12 from a high frequency power supply 62 as a high frequency signal applying means, which is higher than the power supply frequency for driving the canned motor 12. A high-frequency signal, which is an alternating current signal in which a direct current of the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on a sine wave higher than the harmonic signal generated in relation to the rotational speed of the rotor 25 and the number of grooves of the rotor 25, is applied. The One end of the axial position detection coil A is connected to the synchronous detector 64 through the high frequency circuit 63 and to the low frequency circuit 65.

高周波回路63は、軸方向位置検出コイルAの出力信号から正弦波信号のみを通過させる例えばバンドパスフィルタなどの高周波フィルタを有し、また、同期検波器64は、高周波電源62から得られる高周波信号に同期した正弦波信号を取り出す。これら高周波回路63と同期検波器64は、軸方向位置検出コイルAの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段66として構成されている。   The high-frequency circuit 63 has a high-frequency filter such as a band-pass filter that passes only the sine wave signal from the output signal of the axial position detection coil A, and the synchronous detector 64 is a high-frequency signal obtained from the high-frequency power source 62. A sine wave signal synchronized with is extracted. The high frequency circuit 63 and the synchronous detector 64 are configured as sine wave signal detecting means 66 for detecting a sine wave signal from the output of the axial position detection coil A.

低周波回路65は、例えばローパスフィルタなどの低周波フィルタを有し、軸方向位置検出コイルAの出力から直流信号のみを通過させて直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段67として構成されている。   The low-frequency circuit 65 has a low-frequency filter such as a low-pass filter, for example, and is configured as a DC resistance value detection means 67 that detects only a DC signal from the output of the axial position detection coil A and detects a DC resistance value. Yes.

同期検波器64からの正弦波信号は増幅器68で増幅されて、低周波回路65からの直流抵抗値信号は増幅器69で増幅されて、制御装置70にそれぞれ入力される。   The sine wave signal from the synchronous detector 64 is amplified by the amplifier 68, and the DC resistance value signal from the low frequency circuit 65 is amplified by the amplifier 69 and input to the control device 70, respectively.

また、制御回路61に接続された半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の一方の端部には、これら半径方向位置検出コイルR1,R2,R3を順次切り換えて接続する切換スイッチ72に接続されている。この切換スイッチ72は、図には原理図を示すものであって、実際には回路内で電気的に切り換えるように構成されている。   One end of each of the radial position detection coils R1, R2, R3 connected to the control circuit 61 is connected to a changeover switch 72 for sequentially switching and connecting these radial position detection coils R1, R2, R3. ing. The change-over switch 72 shows a principle diagram in the figure, and is actually configured to be electrically switched in the circuit.

半径方向位置検出コイルR1,R2,R3を順次切り換えて接続する切換スイッチ72には、高周波信号印加手段としての高周波電源62から、キャンドモータ12を駆動する電源周波数より高くかつキャンドモータ12の駆動によって回転子25の回転数と回転子25の溝数とに関連して発生する高調波信号より高い正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した交流信号である高周波信号が印加される。この切換スイッチ72は、高周波回路73を通じて同期検波器74に接続されているとともに、低周波回路75にそれぞれ接続されている。   A changeover switch 72 for sequentially switching and connecting the radial position detection coils R1, R2, and R3 is supplied from a high frequency power source 62 as a high frequency signal applying means, higher than a power source frequency for driving the canned motor 12, and driven by the canned motor 12. A high-frequency signal, which is an alternating current signal in which a direct current of the same value as the effective value of the sine wave is superimposed on a higher sine wave than the harmonic signal generated in relation to the rotational speed of the rotor 25 and the number of grooves of the rotor 25, is applied. Is done. The changeover switch 72 is connected to the synchronous detector 74 through the high frequency circuit 73 and to the low frequency circuit 75.

高周波回路73は、半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力信号から正弦波信号のみを通過させる例えばバンドパスフィルタなどの高周波フィルタを有し、また、同期検波器74は、高周波電源62から得られる高周波信号に同期した正弦波信号を取り出す。これら高周波回路73と同期検波器74は、半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段76として構成されている。   The high-frequency circuit 73 has a high-frequency filter such as a bandpass filter that allows only the sine wave signal to pass from the output signals of the radial position detection coils R1, R2, and R3, and the synchronous detector 74 is supplied from the high-frequency power source 62. A sine wave signal synchronized with the obtained high frequency signal is extracted. The high-frequency circuit 73 and the synchronous detector 74 are configured as sine wave signal detection means 76 for detecting a sine wave signal from the outputs of the radial position detection coils R1, R2, and R3.

低周波回路75は、例えばローパスフィルタなどの低周波フィルタを有し、半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力から直流信号のみを通過させて直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段77として構成されている。   The low-frequency circuit 75 has a low-frequency filter such as a low-pass filter, for example, and a DC resistance value detecting unit 77 that detects a DC resistance value by passing only a DC signal from the outputs of the radial position detection coils R1, R2, and R3. It is configured as.

同期検波器74からの正弦波信号は増幅器78で増幅されて、低周波回路75からの直流抵抗値信号は増幅器79で増幅されて、制御装置70に入力される。   The sine wave signal from the synchronous detector 74 is amplified by the amplifier 78, and the DC resistance value signal from the low frequency circuit 75 is amplified by the amplifier 79 and input to the control device 70.

そして、制御装置70は、高周波信号が印加された軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスを検出するものであって、正弦波信号検出手段66,76で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段67,77で検出された直流抵抗値分を除いた軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段82の機能、軸方向位置検出コイルAのインダクタンスから回転子25の軸方向位置を検出する軸方向位置検出手段83の機能、半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスから回転子25の半径方向位置を検出する半径方向位置検出手段84の機能を有している。   The control device 70 detects the inductance of the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3 to which the high frequency signal is applied, and is detected by the sine wave signal detection means 66 and 76. Detection means for detecting the inductances of the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3 obtained by removing the DC resistance value detected by the DC resistance value detection means 67 and 77 from the received sine wave signal 82 function, the function of the axial position detection means 83 for detecting the axial position of the rotor 25 from the inductance of the axial position detection coil A, the radius of the rotor 25 from the inductance of the radial position detection coils R1, R2, R3 It has a function of radial position detecting means 84 for detecting the direction position.

制御装置70には、回転子25の軸方向および径方向の位置を検出するとともに軸受33,34の摩耗状態を検出するためのプログラムおよびデータや零点調整によって設定された基準値などを記憶するメモリ85、軸受33,34の摩耗状態を表示する表示装置86が接続されている。   The control device 70 stores a program and data for detecting the axial and radial positions of the rotor 25 and detecting the wear state of the bearings 33 and 34, a reference value set by zero adjustment, and the like. 85, a display device 86 for displaying the wear state of the bearings 33 and 34 is connected.

制御装置70には、初期時の軸方向位置検出コイルAの出力および半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力と回転子25の位置とを合わせるための零点調整をする零点調整装置87と通信する通信回路88、および摩耗信号などのデータを外部の監視装置やコンピュータに出力する出力回路89が接続されている。   The control device 70 includes a zero point adjusting device 87 for adjusting a zero point to match the position of the rotor 25 with the output of the axial position detection coil A and the output of the radial position detection coils R1, R2, and R3 at the initial stage. A communication circuit 88 for communication and an output circuit 89 for outputting data such as wear signals to an external monitoring device or a computer are connected.

次に、軸受摩耗検出装置における軸方向軸受摩耗検出の零点調整について説明する。   Next, zero point adjustment for axial bearing wear detection in the bearing wear detector will be described.

キャンドモータ12の運転停止状態において、軸方向位置検出コイルAに高周波電源62から高周波信号を印加し、軸方向位置検出コイルAを励磁して回転子25の位置に応じた出力信号を出力させる。軸方向位置検出コイルAの出力からは、高周波回路63および同期検波器64によって高周波電源62から得られる高周波信号に同期した正弦波信号を取り出し、低周波回路65によって直流抵抗値信号を取り出す。取り出した正弦波信号および直流抵抗値信号を制御装置70に入力する。   When the operation of the canned motor 12 is stopped, a high frequency signal is applied from the high frequency power source 62 to the axial position detection coil A, and the axial position detection coil A is excited to output an output signal corresponding to the position of the rotor 25. From the output of the axial position detection coil A, a sine wave signal synchronized with the high frequency signal obtained from the high frequency power source 62 is extracted by the high frequency circuit 63 and the synchronous detector 64, and a DC resistance value signal is extracted by the low frequency circuit 65. The extracted sine wave signal and DC resistance value signal are input to the control device 70.

この状態で、軸方向軸受摩耗の零点調整をするために、回転子25を軸方向の例えば後側へ向けてスラストカラー38と軸受34とによって動きが制限されるまで移動させ、零点調整装置87の操作部を操作することにより、制御装置70に入力される軸方向位置検出コイルAの正弦波信号、直流抵抗値信号、正弦波信号から直流抵抗値分を除いたインダクタンス値などを後側の基準値としてメモリ85に記憶させる。   In this state, in order to adjust the zero point of the axial bearing wear, the rotor 25 is moved toward the rear side in the axial direction until the movement is restricted by the thrust collar 38 and the bearing 34, and the zero point adjusting device 87 The sine wave signal of the axial position detection coil A input to the control device 70, the DC resistance value signal, the inductance value obtained by subtracting the DC resistance value from the sine wave signal, etc. It is stored in the memory 85 as a reference value.

回転子25を軸方向の前側へ向けてスラストカラー37と軸受33とによって動きが制限されるまで移動させ、零点調整装置87の操作部を操作することにより、制御装置70に入力される軸方向位置検出コイルAの正弦波信号、直流抵抗値信号、正弦波信号から直流抵抗値分を除いたインダクタンス値などを前側の基準値としてメモリ85に記憶させる。   Move the rotor 25 toward the front side in the axial direction until the movement is limited by the thrust collar 37 and the bearing 33, and operate the operation part of the zero adjustment device 87 to input the axial direction to the control device 70. A sine wave signal, a DC resistance value signal of the position detection coil A, an inductance value obtained by removing a DC resistance value from the sine wave signal, and the like are stored in the memory 85 as a reference value on the front side.

零点調整装置87の操作部で回転子25の軸方向における遊びの値を入力し、メモリ85に記憶させる。   The play value in the axial direction of the rotor 25 is input by the operation unit of the zero adjustment device 87 and stored in the memory 85.

温度計で軸方向位置検出コイルAの温度を測定して、零点調整装置87の操作部で初期温度値を基準値として入力し、メモリ85に記憶する。なお、このような初期調整をし、温度を表示・出力する機能を追加すれば、検出コイル温度・表示出力が可能となる。   The temperature of the axial position detection coil A is measured with a thermometer, and the initial temperature value is input as a reference value at the operation unit of the zero adjustment device 87 and stored in the memory 85. If such initial adjustment is performed and a function for displaying and outputting the temperature is added, the detection coil temperature and display can be output.

次に、軸受摩耗検出装置における半径方向軸受摩耗検出の零点調整について説明する。   Next, zero point adjustment for radial bearing wear detection in the bearing wear detector will be described.

キャンドモータ12の運転停止状態において、各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に切換スイッチ72で順次切り換えて高周波電源62から高周波信号を印加し、各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3を励磁して回転子25の位置に応じた出力信号を順に出力させる。各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力からは、高周波回路73および同期検波器74によって高周波電源62から得られる高周波信号に同期した正弦波信号を取り出し、低周波回路75によって直流抵抗値信号を取り出す。取り出した正弦波信号および直流抵抗値信号を制御装置70に入力する。   When the operation of the canned motor 12 is stopped, each radial position detection coil R1, R2, R3 is sequentially switched by the changeover switch 72 and a high frequency signal is applied from the high frequency power supply 62, and each radial position detection coil R1, R2, R3 is connected. Energized to sequentially output an output signal corresponding to the position of the rotor 25. A sine wave signal synchronized with the high frequency signal obtained from the high frequency power supply 62 is extracted from the output of each radial position detection coil R1, R2, R3 by the high frequency circuit 73 and the synchronous detector 74, and the direct current resistance value is extracted by the low frequency circuit 75. Retrieve the signal. The extracted sine wave signal and DC resistance value signal are input to the control device 70.

この状態で、半径方向軸受摩耗の零点調整をするために、回転子25を半径方向の例えば上側などの所定方向へ向けて軸受33,34とスリーブ35,36とによって動きが制限されるまで移動させ、零点調整装置87の操作部を操作することにより、制御装置70に順に入力される各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の正弦波信号、直流抵抗値信号、正弦波信号から直流抵抗値分を除いたインダクタンス値などを後側の基準値としてメモリ85に記憶させる。このような処理を半径方向の複数方向について同様に行う。   In this state, in order to adjust the zero point of radial bearing wear, the rotor 25 is moved in a predetermined direction such as the upper side in the radial direction until the movement is restricted by the bearings 33 and 34 and the sleeves 35 and 36. By operating the operation part of the zero adjustment device 87, the DC resistance is obtained from the sine wave signal, DC resistance value signal, and sine wave signal of each of the radial position detection coils R1, R2, and R3 that are sequentially input to the control device 70. The inductance value excluding the value is stored in the memory 85 as a rear reference value. Such processing is similarly performed for a plurality of radial directions.

零点調整装置87の操作部で回転子25の半径方向における遊びの値を入力し、メモリ85に記憶させる。   The play value in the radial direction of the rotor 25 is input by the operation unit of the zero adjustment device 87 and stored in the memory 85.

次に、キャンドモータポンプ11の運転時における軸受摩耗検出装置の軸方向軸受摩耗検出動作を説明する。   Next, an axial bearing wear detection operation of the bearing wear detection device during operation of the canned motor pump 11 will be described.

キャンドモータ12の運転状態において、軸方向位置検出コイルAに高周波電源62から高周波信号を印加し、軸方向位置検出コイルAを励磁して回転子25の位置に応じた出力信号を出力させる。軸方向位置検出コイルAの出力からは、高周波回路63および同期検波器64によって軸方向位置検出コイルAに印加した高周波信号以外の周波数をカットして高周波電源62から得られる高周波信号に同期した正弦波信号のみを取り出し、低周波回路65によって直流抵抗分の信号のみを通過させて直流抵抗値を取り出す。取り出した正弦波信号および直流抵抗値信号を制御装置70に入力する。   In an operating state of the canned motor 12, a high frequency signal is applied to the axial position detection coil A from the high frequency power source 62, and the axial position detection coil A is excited to output an output signal corresponding to the position of the rotor 25. From the output of the axial position detection coil A, a frequency other than the high frequency signal applied to the axial position detection coil A is cut by the high frequency circuit 63 and the synchronous detector 64 to synchronize with the high frequency signal obtained from the high frequency power source 62. Only the wave signal is taken out, and only the DC resistance signal is passed through the low frequency circuit 65 to take out the DC resistance value. The extracted sine wave signal and DC resistance value signal are input to the control device 70.

そして、制御装置70は、入力した正弦波信号および直流抵抗値信号から演算処理して軸受33,34の軸方向軸受摩耗状態を検出する。この制御装置70の演算処理を図4のフローチャートを参照して説明する。   Then, the control device 70 performs arithmetic processing from the input sine wave signal and DC resistance value signal to detect the axial bearing wear state of the bearings 33 and 34. The arithmetic processing of the control device 70 will be described with reference to the flowchart of FIG.

制御装置70は、メモリ85から予め零点調整によって記憶されている各基準値を読み込み(ステップ1)、制御装置70に入力される回転子位置信号である正弦波信号を取得し(ステップ2)、制御装置70に入力される温度補正信号である直流抵抗値信号を取得する(ステップ3)。   The control device 70 reads each reference value stored in advance by zero adjustment from the memory 85 (step 1), acquires a sine wave signal that is a rotor position signal input to the control device 70 (step 2), A DC resistance value signal, which is a temperature correction signal input to the control device 70, is acquired (step 3).

正弦波信号から軸方向位置検出コイルAのインピーダンスZの変化を求め(ステップ4)、直流抵抗値信号から軸方向位置検出コイルAの抵抗値Rの変化を求める(ステップ5)。   A change in impedance Z of axial position detection coil A is obtained from the sine wave signal (step 4), and a change in resistance value R of axial position detection coil A is obtained from the DC resistance value signal (step 5).

軸方向位置検出コイルAのインピーダンスZから抵抗値Rの変化分を除いて温度補正することにより、軸方向位置検出コイルAのインダクタンスLの変化を求める(ステップ6)。   A change in the inductance L of the axial position detection coil A is obtained by correcting the temperature by removing the change in the resistance value R from the impedance Z of the axial position detection coil A (step 6).

そして、軸方向位置検出コイルAのインダクタンスLを基準値と比較し、軸受33,34の軸方向摩耗状態を求める(ステップ7)。   Then, the inductance L of the axial position detection coil A is compared with a reference value to determine the axial wear state of the bearings 33 and 34 (step 7).

軸受33,34の摩耗状態に応じた摩耗表示信号を表示装置86に転送してこの表示装置86で摩耗状態を表示させ(ステップ8)、出力回路89に基準化した摩耗信号を出力する(ステップ9)。   A wear display signal corresponding to the wear state of the bearings 33 and 34 is transferred to the display device 86, the wear state is displayed on the display device 86 (step 8), and the normalized wear signal is output to the output circuit 89 (step). 9).

また、図5は、軸方向摩耗によって回転子25が後側に移動した場合の出力回路89の出力を示すグラフである。グラフの横軸は回転子25の軸方向位置を示し、縦軸は出力回路89に出力される摩耗信号の電圧を示す。   FIG. 5 is a graph showing the output of the output circuit 89 when the rotor 25 moves rearward due to axial wear. The horizontal axis of the graph indicates the axial position of the rotor 25, and the vertical axis indicates the voltage of the wear signal output to the output circuit 89.

次に、キャンドモータポンプ11の運転時における軸受摩耗検出装置の半径方向軸受摩耗検出動作を説明する。   Next, the radial bearing wear detection operation of the bearing wear detection device during operation of the canned motor pump 11 will be described.

キャンドモータ12の運転状態において、各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に対して切換スイッチ72で順次切り換えて高周波電源62から高周波信号を印加し、各半径方向位置検出コイルR1,R2,R3を励磁して回転子25の位置に応じた出力信号を順に出力させる。半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力からは、高周波回路73および同期検波器74によって半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に印加した高周波信号以外の周波数をカットして高周波電源62から得られる高周波信号に同期した正弦波信号のみを取り出し、低周波回路75によって直流抵抗分の信号のみを通過させて直流抵抗値を取り出す。取り出した正弦波信号および直流抵抗値信号を制御装置70に入力する。   In the operating state of the canned motor 12, each radial position detection coil R1, R2, R3 is sequentially switched by the changeover switch 72 to apply a high frequency signal from the high frequency power supply 62, and each radial position detection coil R1, R2, R3 Are output in order according to the position of the rotor 25. From the output of the radial position detection coils R1, R2, and R3, the high frequency circuit 73 and the synchronous detector 74 cut frequencies other than the high frequency signal applied to the radial position detection coils R1, R2, and R3 and from the high frequency power supply 62. Only the sine wave signal synchronized with the obtained high frequency signal is taken out, and the low frequency circuit 75 passes only the signal corresponding to the direct current resistance to take out the direct current resistance value. The extracted sine wave signal and DC resistance value signal are input to the control device 70.

そして、制御装置70は、入力した正弦波信号および直流抵抗値信号から演算処理して軸受33,34の半径方向軸受摩耗状態を検出する。この制御装置70の演算処理を図6のフローチャートを参照して説明する。   Then, the control device 70 performs arithmetic processing from the input sine wave signal and DC resistance value signal to detect the radial bearing wear state of the bearings 33 and 34. The arithmetic processing of the control device 70 will be described with reference to the flowchart of FIG.

制御装置70は、メモリ85から予め零点調整によって記憶されている各基準値を読み込み(ステップ11)、制御装置70に入力される回転子位置信号である正弦波信号を取得し(ステップ12)、制御装置70に入力される温度補正信号である直流抵抗値信号を取得する(ステップ13)。   The control device 70 reads each reference value stored in advance by zero adjustment from the memory 85 (step 11), acquires a sine wave signal that is a rotor position signal input to the control device 70 (step 12), A DC resistance value signal, which is a temperature correction signal input to the control device 70, is acquired (step 13).

正弦波信号から半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインピーダンスZ,Z,Zの変化を求め(ステップ14)、直流抵抗値信号から半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の抵抗値R,R,Rの変化を求める(ステップ15)。 Changes in impedances Z 1 , Z 2 , and Z 3 of radial position detection coils R 1 , R 2, and R 3 are obtained from the sine wave signal (step 14), and the resistances of radial position detection coils R 1, R 2, and R 3 are determined from the DC resistance value signal. Changes in values R 1 , R 2 , R 3 are obtained (step 15).

半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインピーダンスZ,Z,Zから抵抗値R,R,Rの変化分を除いて温度補正することにより、半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスL,L,Lの変化を求める(ステップ16)。 Impedance Z 1 of the radial position detection coils R1, R2, R3, Z 2, by excluding from Z 3 to change in the resistance value R 1, R 2, R 3 temperature correction, radial position detection coils R1, Changes in inductances L 1 , L 2 , and L 3 of R2 and R3 are obtained (step 16).

そして、半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスL,L,Lを基準値と比較し、軸受33,34の半径方向摩耗状態を求める(ステップ17)。 Then, the inductances L 1 , L 2 , and L 3 of the radial position detection coils R1, R2, and R3 are compared with a reference value to determine the radial wear state of the bearings 33 and 34 (step 17).

軸受33,34の摩耗状態に応じた摩耗表示信号を表示装置86に転送してこの表示装置86で摩耗状態を表示させ(ステップ18)、出力回路89に基準化した摩耗信号を出力する(ステップ19)。   A wear display signal corresponding to the wear state of the bearings 33 and 34 is transferred to the display device 86, the wear state is displayed on the display device 86 (step 18), and a normalized wear signal is output to the output circuit 89 (step). 19).

また、図7は、半径方向摩耗が生じた場合の軸方向摩耗信号および半径方向摩耗信号の出力の変化を示すグラフである。グラフの横軸は時間を示し、縦軸は出力回路89に出力される摩耗信号の電圧を示す。半径方向摩耗が生じている状態において、キャンドモータ12を起動し、ポンプ13にポンプ取扱液の負荷が加わることにより(タイミングP)、回転子25が半径方向に移動し、半径方向摩耗信号が増加するが、軸方向摩耗信号は影響を受けず略一定状態を保つ。   FIG. 7 is a graph showing changes in the output of the axial wear signal and the radial wear signal when radial wear occurs. The horizontal axis of the graph represents time, and the vertical axis represents the wear signal voltage output to the output circuit 89. In a state where radial wear has occurred, the canned motor 12 is started and the pump 13 is loaded with the pump handling liquid (timing P), whereby the rotor 25 moves in the radial direction and the radial wear signal increases. However, the axial wear signal is not affected and remains substantially constant.

次に、温度補正について説明する。   Next, temperature correction will be described.

軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に対して正弦波に直流重畳した高周波信号を印加することにより、軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3からは次の出力信号Vzが得られる。   By applying a high frequency signal superimposed on a sine wave to the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, R3, the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, The next output signal Vz is obtained from R3.

Vz=RI+jωLI+RI
R:検出コイルの直流抵抗値
:正弦波電流の実効値
ω:正弦波電流の角周波数
L:検出コイルのインダクタンス
:直流電流値
この出力信号Vzを、高周波回路63および同期検波器64で正弦波信号Vに、低周波回路65で直流信号Vにそれぞれ分離する。
Vz = RI 1 + jωLI 1 + RI 2
R: DC resistance value of the detection coil I 1 : Effective value of the sine wave current ω: Angular frequency of the sine wave current L: Inductance of the detection coil I 2 : DC current value The output signal Vz is converted to the high frequency circuit 63 and the synchronous detector. a sinusoidal signal V L at 64, separated to the DC signal V R at the low-frequency circuit 65.

=RI+jωLI
=RI
軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に対してI=Iとなるように正弦波に直流重畳した高周波信号を印加しており、正弦波信号Vから直流信号Vを除くことで、軸方向位置検出コイルAの抵抗分信号を排除し、温度の影響を受けない軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンス分信号Vのみが得られる。
V L = RI 1 + jωLI 1
V R = RI 2
Axial position detection coils A and radial position detection coils R1, R2, R3 and by applying a high frequency signal DC superimposed on a sine wave such that I 1 = I 2 relative to the DC from the sine wave signal V L by excluding the signal V R, eliminates the resistance component signal of the axial position detection coil a, the axial position detection coils a and radial position detection coils R1 is not affected by temperature, R2, R3 of the inductance component signal V Only 0 is obtained.

=jωLI
そして、この温度の影響を受けない軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンス分信号Vによって、正確な軸受摩耗検出ができる。
V 0 = jωLI 1
The bearing wear detection can be accurately performed by the inductance component signal V 0 of the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3 which are not affected by the temperature.

また、図8は、キャンドモータポンプ11の運転時の軸方向摩耗信号および半径方向摩耗信号の出力の変化、ポンプ取扱液の液温の変化を示すグラフである。グラフの横軸は時間を示し、左縦軸は出力回路89に出力される摩耗信号の電圧を示し、右縦軸は液温を示す。   FIG. 8 is a graph showing changes in the output of the axial wear signal and the radial wear signal during the operation of the canned motor pump 11, and changes in the liquid temperature of the pump handling liquid. The horizontal axis of the graph represents time, the left vertical axis represents the voltage of the wear signal output to the output circuit 89, and the right vertical axis represents the liquid temperature.

キャンドモータ12の電源オンによって運転を開始することにより、ポンプ13の羽根車52の回転によるポンプ取扱液の送液によって回転子25の位置が変化し、軸方向摩耗信号および半径方向摩耗信号の出力が変化する。電源オン後には、キャンドモータ12が発生する熱によってキャンドモータ12内の液温が徐々に上昇し、キャンドモータ12内の温度上昇によって軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3も温度上昇して抵抗値が変化するが、上述した温度補正によって軸方向摩耗信号および半径方向摩耗信号の出力に影響は受けない。   By starting operation when the power of the canned motor 12 is turned on, the position of the rotor 25 is changed by the pumping liquid supplied by the rotation of the impeller 52 of the pump 13, and the axial wear signal and the radial wear signal are output. Changes. After the power is turned on, the liquid temperature in the can motor 12 gradually rises due to the heat generated by the can motor 12, and the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2,. R3 also rises in temperature and changes its resistance value. However, the temperature correction described above does not affect the output of the axial wear signal and the radial wear signal.

ポンプ取扱液の流量を変更し、キャンドモータ12内を通過するポンプ取扱液の流量が増加した場合には、液温が徐々に低下し、その後徐々に上昇する変化が生じるが、上述した温度補正により軸方向摩耗信号および半径方向摩耗信号の出力に影響は受けない。   When the flow rate of the pump handling liquid is changed and the flow rate of the pump handling liquid passing through the canned motor 12 increases, the temperature of the liquid gradually decreases and then gradually rises. Therefore, the output of the axial wear signal and the radial wear signal is not affected.

このように温度補正することにより、軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の温度による影響を除くことで回転子25の軸方向位置および半径方向位置を正確に検出できる。すなわち、正弦波に直流重畳した高周波信号を軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に印加し、この高周波信号が印加された軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の出力から正弦波信号および直流抵抗値をそれぞれ検出し、検出された正弦波信号から直流抵抗値分を除いた軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスを検出するため、軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3の温度による影響を除くことで回転子25の軸方向位置および半径方向位置を正確に検出できる。   By correcting the temperature in this way, the axial position and the radial position of the rotor 25 can be accurately detected by eliminating the influence of the temperature of the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3. . That is, a high-frequency signal superimposed on a sine wave is applied to the axial position detection coil A and radial position detection coils R1, R2, and R3, and the axial position detection coil A and radial position detection to which the high-frequency signal is applied. A sine wave signal and a DC resistance value are detected from the outputs of the coils R1, R2, and R3, respectively, and the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2 are obtained by removing the DC resistance value from the detected sine wave signal. , R3 inductance can be detected, and the axial position and radial position of the rotor 25 can be accurately detected by removing the influence of the temperature of the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, R3. .

また、軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に高周波信号を印加し、高周波信号が印加された軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスを検出し、軸方向位置検出コイルAおよび半径方向位置検出コイルR1,R2,R3のインダクタンスから回転子25の軸方向位置および半径方向位置を検出するため、キャンドモータ12の運転状態または運転停止状態にかかわらず回転子25の軸方向位置および半径方向位置が検出でき、したがって、運転停止状態のときに回転子25の軸方向位置および半径方向位置を検出できて零点調整ができる。   Further, a high frequency signal is applied to the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3, and the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3 to which the high frequency signal is applied are applied. In order to detect the inductance and detect the axial position and the radial position of the rotor 25 from the inductances of the axial position detection coil A and the radial position detection coils R1, R2, and R3, the operation state or the operation stop of the canned motor 12 is detected. Regardless of the state, the axial position and radial position of the rotor 25 can be detected. Therefore, the axial position and radial position of the rotor 25 can be detected when the operation is stopped, and zero adjustment can be performed.

そのため、キャンドモータ12の製造工程で零点調整を容易にでき、生産性を向上できるとともに、キャンドモータ12の使用場所において軸受や回転子を交換したりガスケットの締め増しを伴う整備をした場合でもその場所で容易に零点調整できる。   Therefore, the zero point adjustment can be facilitated in the manufacturing process of the canned motor 12 and the productivity can be improved, and even when the bearing or rotor is replaced at the place where the canned motor 12 is used or maintenance is performed with tightening of the gasket. The zero point can be adjusted easily at the place.

また、図9に示すように、切換スイッチ72によって、制御回路61に接続された半径方向位置検出コイルR1,R2,R3に加えて、制御回路61に接続された軸方向位置検出コイルAを順次切り換えて接続するように構成することができる。この場合、高周波回路73、同期検波器74、低周波回路75、増幅器78,79などが一組だけで済み、回路構成を簡素化できる。   Further, as shown in FIG. 9, in addition to the radial position detection coils R1, R2, and R3 connected to the control circuit 61, the axial position detection coil A connected to the control circuit 61 is sequentially switched by the changeover switch 72. It can be configured to switch and connect. In this case, only one set of the high-frequency circuit 73, the synchronous detector 74, the low-frequency circuit 75, the amplifiers 78 and 79, etc. is required, and the circuit configuration can be simplified.

なお、軸方向位置検出コイルAは、固定子17の前側の補強環20の外周に沿って巻回することもでき、固定子17の前後の両補強環20,21の外周に沿って巻回することもでき、補強環20,21を使用しないときには固定子キャン19の外周に沿って直接巻回することもできる。また、固定子17の固定子鉄心14の両端部に一対の軸方向検出コイルを設置し、これら軸方向検出コイルのインダクタンスの差から回転子25の軸方向位置を検出することもできる。   The axial position detection coil A can also be wound along the outer periphery of the reinforcing ring 20 on the front side of the stator 17, and can be wound along the outer periphery of both the reinforcing rings 20 and 21 before and after the stator 17. When the reinforcing rings 20 and 21 are not used, they can be wound directly along the outer periphery of the stator can 19. Also, a pair of axial detection coils can be installed at both ends of the stator core 14 of the stator 17, and the axial position of the rotor 25 can be detected from the difference in inductance between these axial detection coils.

また、半径方向位置検出コイルは、固定子17の固定子鉄心14が有する複数の歯部のうち120°の角度位置で等間隔に位置する3つの各歯部に設置する場合に限らず、固定子17の固定子鉄心14が有する複数の歯部のうち90°の角度位置で等間隔に位置する4つの各歯部に設置することもできる。   In addition, the radial position detection coil is not limited to the case where it is installed on each of the three tooth portions positioned at equal intervals at an angular position of 120 ° among the plurality of tooth portions of the stator core 14 of the stator 17. Of the plurality of tooth portions of the stator core 14 of the child 17, it can be installed on each of the four tooth portions located at equal intervals at an angular position of 90 °.

なお、零点調整装置87は制御回路61の外部に設けるほか、制御回路61の内部に設けてもよい。   The zero adjustment device 87 may be provided outside the control circuit 61 or inside the control circuit 61.

また、前記実施の形態では、キャンドモータ12をキャンドモータポンプ11に適用した例を示したが、例えばキャンドモータ攪拌機やキャンドモータブロアなどにも適用できる。   Moreover, in the said embodiment, although the example which applied the canned motor 12 to the canned motor pump 11 was shown, it can apply also to a canned motor agitator, a canned motor blower, etc., for example.

また、軸受摩耗検出装置は、キャンドモータ12に限らず、ウェットモータなど、すべり軸受を使用した他のモータにも適用できる。   Further, the bearing wear detection device is not limited to the canned motor 12, but can be applied to other motors using a sliding bearing such as a wet motor.

また、特に図示していないが、本発明の適用は、キャンドモータ12の軸受摩耗を検出する軸受磨耗検出装置に限らず、磁気軸受制御用の回転子位置センサなどのインダクタンスを検出する検出装置に対しても適用することができ、同様の作用効果が得られる。   Although not particularly illustrated, the application of the present invention is not limited to the bearing wear detection device that detects the bearing wear of the canned motor 12, but also to a detection device that detects inductance such as a rotor position sensor for magnetic bearing control. The same effect can be obtained.

本発明の第1の実施の形態を示す軸受摩耗検出装置の回路図である。1 is a circuit diagram of a bearing wear detection device showing a first embodiment of the present invention. 同上軸受摩耗検出装置を適用したキャンドモータポンプの断面図である。It is sectional drawing of the canned motor pump to which a bearing wear detection apparatus same as the above is applied. 同上軸受摩耗検出装置の補強環および軸方向位置検出コイルの斜視図である。It is a perspective view of the reinforcing ring and axial direction position detection coil of a bearing wear detection apparatus same as the above. 同上軸受摩耗検出装置の軸方向軸受摩耗検出動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the axial direction bearing wear detection operation | movement of a bearing wear detection apparatus same as the above. 同上軸受摩耗検出装置からの出力であり軸方向摩耗によって回転子が後側に移動した場合の軸方向摩耗信号の出力の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the output of an axial direction wear signal when it is an output from a bearing wear detection apparatus same as the above, and a rotor moves to the back side by axial direction wear. 同上軸受摩耗検出装置の半径方向軸受摩耗検出動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the radial direction bearing wear detection operation | movement of a bearing wear detection apparatus same as the above. 同上軸受摩耗検出装置からの出力であって半径方向摩耗が生じた場合の軸方向摩耗信号および半径方向摩耗信号の出力の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the output of an axial direction wear signal and a radial direction wear signal when it is an output from a bearing wear detection apparatus same as the above and radial wear occurs. 同上軸受摩耗検出装置からの出力であってキャンドモータポンプの運転時の軸方向摩耗信号、半径方向摩耗信号および液温の変化を示すグラフである。It is an output from a bearing wear detection apparatus same as the above, and is a graph showing changes in the axial wear signal, radial wear signal, and liquid temperature during operation of the canned motor pump. 本発明の第2の実施の形態を示す軸受摩耗検出装置の回路図である。It is a circuit diagram of the bearing wear detection apparatus which shows the 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

12 モータとしてのキャンドモータ
17 固定子
25 回転子
62 高周波信号印加手段としての高周波電源
66,76 正弦波信号検出手段
67,77 直流抵抗値検出手段
82 インダクタンス検出手段
83 軸方向位置検出手段
84 半径方向位置検出手段
A 軸方向位置検出コイル
R1,R2,R3 半径方向位置検出コイル
12 Canned motor as motor
17 Stator
25 rotor
62 High frequency power supply as high frequency signal applying means
66, 76 Sinusoidal signal detection means
67, 77 DC resistance value detection means
82 Inductance detection means
83 Axial position detection means
84 Radial position detection means A Axial position detection coil
R1, R2, R3 Radial position detection coil

Claims (3)

検出コイルのインダクタンスを検出する検出装置において、
この検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加する高周波信号印加手段と、
高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段と、
高周波信号が印加された検出コイルの出力から直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段と、
前記正弦波信号検出手段で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段で検出された直流抵抗値分を除いた前記検出コイルのインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段と
を具備していることを特徴とする検出装置。
In the detection device for detecting the inductance of the detection coil,
High-frequency signal applying means for applying a high-frequency signal obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on the sine wave to the detection coil;
Sine wave signal detection means for detecting a sine wave signal from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied;
DC resistance value detecting means for detecting a DC resistance value from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied;
Inductance detection means for detecting the inductance of the detection coil obtained by subtracting the DC resistance value detected by the DC resistance value detection means from the sine wave signal detected by the sine wave signal detection means. Detection device.
モータの固定子側に設けられた検出コイルと、
この検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加する高周波信号印加手段と、
高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段と、
高周波信号が印加された検出コイルの出力から直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段と、
前記正弦波信号検出手段で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段で検出された直流抵抗値分を除いた前記検出コイルのインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段と、
前記検出コイルのインダクタンスから前記モータの回転子の軸方向位置を検出する軸方向位置検出手段と
を具備していることを特徴とするモータの軸受摩耗検出装置。
A detection coil provided on the stator side of the motor;
High-frequency signal applying means for applying a high-frequency signal obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on the sine wave to the detection coil;
Sine wave signal detection means for detecting a sine wave signal from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied;
DC resistance value detecting means for detecting a DC resistance value from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied;
Inductance detection means for detecting the inductance of the detection coil obtained by removing the DC resistance value detected by the DC resistance value detection means from the sine wave signal detected by the sine wave signal detection means,
An axial position detection means for detecting the axial position of the rotor of the motor from the inductance of the detection coil.
モータの固定子側に設けられた検出コイルと、
この検出コイルに対して正弦波にこの正弦波の実効値と同値の直流を直流重畳した高周波信号を印加する高周波信号印加手段と、
高周波信号が印加された検出コイルの出力から正弦波信号を検出する正弦波信号検出手段と、
高周波信号が印加された検出コイルの出力から直流抵抗値を検出する直流抵抗値検出手段と、
前記正弦波信号検出手段で検出された正弦波信号から直流抵抗値検出手段で検出された直流抵抗値分を除いた前記検出コイルのインダクタンスを検出するインダクタンス検出手段と、
前記検出コイルのインダクタンスから前記モータの回転子の半径方向位置を検出する半径方向位置検出手段と
を具備していることを特徴とするモータの軸受摩耗検出装置。
A detection coil provided on the stator side of the motor;
High-frequency signal applying means for applying a high-frequency signal obtained by superimposing a direct current of the same value as the effective value of the sine wave on the sine wave to the detection coil;
Sine wave signal detection means for detecting a sine wave signal from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied;
DC resistance value detecting means for detecting a DC resistance value from the output of the detection coil to which the high frequency signal is applied;
Inductance detection means for detecting the inductance of the detection coil obtained by removing the DC resistance value detected by the DC resistance value detection means from the sine wave signal detected by the sine wave signal detection means,
A motor bearing wear detecting device comprising: a radial position detecting means for detecting a radial position of a rotor of the motor from an inductance of the detection coil.
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